WO2019064449A1 - 部品実装機 - Google Patents

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WO2019064449A1
WO2019064449A1 PCT/JP2017/035286 JP2017035286W WO2019064449A1 WO 2019064449 A1 WO2019064449 A1 WO 2019064449A1 JP 2017035286 W JP2017035286 W JP 2017035286W WO 2019064449 A1 WO2019064449 A1 WO 2019064449A1
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WO
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suction
component
nozzle
nozzles
head
Prior art date
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PCT/JP2017/035286
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English (en)
French (fr)
Inventor
水谷　豊
Original Assignee
株式会社Ｆｕｊｉ
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Publication date
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Priority to PCT/JP2017/035286 priority patent/WO2019064449A1/ja
Priority to JP2019545507A priority patent/JP6853374B2/ja
Priority to EP17926918.8A priority patent/EP3691432B1/en
Priority to US16/648,265 priority patent/US11357146B2/en
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    • H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0813—Controlling of single components prior to mounting, e.g. orientation, component geometry
    • H—ELECTRICITY
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    • H05K13/0882—Control systems for mounting machines or assembly lines, e.g. centralized control, remote links, programming of apparatus and processes as such

Definitions

  • the present specification discloses a component mounter.
  • the component mounting machine which equips a mounting head which has several adsorption
  • a component holdable range is set around each component holding center, and simultaneous operation from a plurality of component take-out positions by the plurality of suction nozzles is performed.
  • a component mounter is disclosed which aligns each component pick-up position into each component holding area when performing such component pick-up.
  • the component mounting machine calculates the amount of positional deviation between the center of gravity of the overlapping range of each of the virtual component holding ranges and the respective component holding centers for a plurality of suction nozzles, and calculates the calculated amount of positional deviation of the head unit. This is the amount of correction for the movement position.
  • the component mounting machine also detects the amount of displacement of the holding position of the component taken out in the past from the component holding center, corrects the detected amount of displacement by multiplying the coefficient in the range of 0.1 to 1, and corrects it The next part holding target center is set based on the correction value.
  • the present disclosure has as its main object to accurately perform a simultaneous suction operation in which a plurality of components are simultaneously suctioned to a plurality of nozzles.
  • the present disclosure takes the following measures in order to achieve the above-mentioned main objects.
  • the present disclosure is a component mounting machine that adsorbs components supplied from a plurality of parts feeders arranged in a component supply unit and mounts the components on a substrate, and includes a plurality of heads having a plurality of nozzles capable of adsorbing the components.
  • a lifting device capable of individually lifting the nozzle
  • a moving device for relatively moving the head relative to the substrate along a plane orthogonal to the lifting direction of the nozzle, and a suction operation for suctioning components by the nozzle Controlling the moving device and the lifting device such that one of the nozzles descends above the component supply unit to cause the one nozzle to adsorb the component; and above the component supply unit It is possible to execute a second suction operation for controlling a plurality of parts simultaneously by controlling the moving device and the lifting and lowering device so that the plurality of nozzles descend simultaneously.
  • the suction operation and the mounting operation for one type of component are repeatedly performed, first, the first suction operation is performed by each of the plurality of nozzles and the suction is performed by each of the plurality of nozzles in the first suction operation.
  • a control device for learning the correction value for correcting the displacement of the suction position of the component, and performing the second suction operation using the learned correction value after the predetermined condition is satisfied.
  • the component mounting machine of the present disclosure includes a control device capable of executing a first suction operation and a second suction operation (simultaneous suction operation) as a suction operation for suctioning a component to a nozzle.
  • a first suction operation one nozzle is lowered above the component supply unit to cause the one nozzle to suction the component.
  • the plurality of nozzles are simultaneously lowered above the component supply unit, and the plurality of components are simultaneously suctioned by the plurality of nozzles.
  • the first suction operation is initially performed by each of the plurality of nozzles and the suction is performed by each of the plurality of nozzles in the first suction operation.
  • the correction value for correcting the displacement of the suction position of the component is learned, and after the predetermined condition is satisfied, the second suction operation is performed using the learned correction value.
  • the component mounting machine of the present disclosure repeats the suction operation and the mounting operation for the same type of component, the component mounting machine executes the first suction operation for each of the plurality of nozzles to correct the displacement of the suction position. After learning the correction value, the process proceeds to the second suction operation.
  • the component mounting machine of this indication can perform accurately simultaneous suction operation which makes a plurality of nozzles suction a plurality of components simultaneously.
  • “orthogonal” may be approximately orthogonal even if it is not strictly orthogonal (same below).
  • FIG. 1 is a configuration diagram showing an outline of a configuration of a component mounting system 1;
  • FIG. 2 is a configuration diagram showing an outline of a configuration of a mounting head 40.
  • FIG. 7 is an explanatory view for explaining the arrangement of the nozzle holder 42 and the arrangement of the first Z-axis drive device 70 and the second Z-axis drive device 75. It is an explanatory view explaining an air piping course.
  • It is a block diagram which shows the outline of a structure of the pressure supply apparatus 80.
  • FIG. 3 is an explanatory view showing an electrical connection relationship between a control device 90 and a management device 100.
  • 6 is a flowchart illustrating an example of a head attachment process routine. It is a flowchart which shows an example of an implementation control routine. It is a flow chart which shows an example of single adsorption processing routine. It is a flow chart which shows an example of a simultaneous adsorption processing routine.
  • FIG. 1 is a block diagram schematically showing the configuration of the component mounting system 1.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the mounting head 40.
  • FIG. 3 is an explanatory view for explaining the arrangement of the nozzle holder 42 and the arrangement of the first Z-axis drive device 70 and the second Z-axis drive device 75.
  • FIG. 4 is an explanatory view for explaining an air piping path.
  • FIG. 5 is a block diagram schematically showing the configuration of the pressure supply device 80.
  • FIG. FIG. 6 is an explanatory view showing an electrical connection relationship between the control device 90 and the management device 100. As shown in FIG. The left and right direction in FIG.
  • the component mounting system 1 is provided with the component mounting machine 10 and the management apparatus 100 which controls the whole system, as shown in FIG.
  • the component mounting system 1 includes a plurality of component mounters 10 in the embodiment.
  • the component mounter 10 includes a housing 12, a component supply unit 22, a substrate transfer device 24, an XY robot 30, a mounting head 40, and a control device 90 (see FIG. 6). Equipped with In addition to these components, the component mounter 10 also includes a part camera 26, a mark camera 28, a nozzle station 29, and the like.
  • the parts camera 26 is provided between the component supply unit 22 and the substrate transfer device 24 and is for imaging the posture of the component P sucked by the suction nozzle 44 of the mounting head 40 from below.
  • the mark camera 28 is provided on the mounting head 40 and is for imaging and reading the positioning reference mark attached to the substrate S from above.
  • the nozzle station 29 is provided between the component supply unit 22 and the substrate transfer device 24 and is for stocking the suction nozzle 44 attached to the nozzle holder 42 of the mounting head 40.
  • the component supply unit 22 is provided at the front of the component mounter 10, and a plurality of tape feeders 23 are arranged along the X-axis direction (left-right direction).
  • the tape feeder 23 is provided with a reel that accommodates the tape T in which the components P are arranged, and supplies the components P to the component supply position by pulling out the tape T from the reel and feeding it backward (in the Y-axis direction).
  • the tape T has a plurality of recesses formed at predetermined intervals in the longitudinal direction.
  • the components P of the same type are accommodated in the plurality of recesses, respectively.
  • the component P accommodated in the recess is protected by a film covering the surface of the tape T, the film is peeled off and exposed before the component supply position, and is adsorbed by the suction nozzle 44 at the component supply position.
  • the substrate transfer device 24 has a pair of conveyor belts provided at intervals in the front and back of FIG. 1 and bridged in the X-axis direction (left-right direction).
  • the substrate S is transported by the conveyor belt of the substrate transport apparatus 24 from left to right in the drawing.
  • the XY robot 30 moves the mounting head 40 in the XY axis direction (front and rear, left and right directions), and includes an X axis slider 32 and a Y axis slider 34, as shown in FIG.
  • the X-axis slider 32 is supported by a pair of upper and lower X-axis guide rails 31 provided on the front surface of the Y-axis slider 34 so as to extend in the X-axis direction (left and right direction). It is movable in the X-axis direction by the drive of.
  • the Y-axis slider 34 is supported by a pair of left and right Y-axis guide rails 33 provided so as to extend in the Y-axis direction (longitudinal direction) in the upper stage portion of the housing 12, and the Y-axis motor 38 (see FIG. 6) It is movable in the Y-axis direction by the drive of.
  • the X-axis slider 32 detects the position in the X-axis direction by the X-axis position sensor 37 (see FIG. 6), and the Y-axis slider 34 detects the position in the Y-axis direction by the Y-axis position sensor 39 (see FIG. 6). Is detected.
  • a mounting head 40 is attached to the X-axis slider 32. For this reason, the mounting head 40 can move to any position on the XY plane (horizontal plane) by controlling the drive of the XY robot 30 (X-axis motor 36 and Y-axis motor 38).
  • the mounting head 40 includes a head body 41, a plurality of (eight in the embodiment) nozzle holders 42, a plurality (eight in the embodiment) suction nozzles 44, and an R-axis drive.
  • a device 50, a Q-axis drive 60, a first Z-axis drive 70, a second Z-axis drive 75, and side cameras 47 and 48 are provided.
  • the mounting head 40 is attachable to and detachable from the X-axis slider 32, and can be replaced as appropriate.
  • the head main body 41 is a rotating body that can be rotated by the R-axis drive device 50.
  • the nozzle holders 42 are arranged at predetermined angular intervals (in the embodiment, 45 degrees in the circumferential direction) in the circumferential direction with respect to the head main body 41, and are supported by the head main body 41 so as to be able to move up and down.
  • a suction nozzle 44 is attached to the tip of the nozzle holder 42.
  • the suction nozzle 44 is attachable to and detachable from the nozzle holder 42, and is replaced with one suitable for the suction according to the type of the component P to be suctioned.
  • the R-axis drive device 50 turns (revolves) the plurality of nozzle holders 42 (the plurality of suction nozzles 44) in the circumferential direction around the central axis of the head main body 41.
  • the R-axis drive unit 50 rotates the R-axis motor 51, the R-axis 52 axially extended from the central axis of the head main body 41, and the R-axis motor 51.
  • a transmission gear 53 for transmitting for transmitting.
  • the R-axis drive device 50 rotates the head main body 41 by rotationally driving the R-axis 52 by the R-axis motor 51 via the transmission gear 53.
  • Each nozzle holder 42 rotates (revolves) in the circumferential direction integrally with the suction nozzle 44 by the rotation of the head main body 41.
  • the R-axis drive device 50 also includes an R-axis position sensor 55 (see FIG. 6) for detecting the rotational position of the R-axis 52, that is, the turning position of each nozzle holder 42 (suction nozzle 44). .
  • the Q-axis drive device 60 rotates (rotations) each nozzle holder 42 (each suction nozzle 44) about its central axis.
  • the Q-axis drive device 60 includes a Q-axis motor 61, a cylindrical gear 62, a transmission gear 63, and a Q-axis gear 64.
  • the R shaft 52 is coaxially and relatively rotatably inserted into the cylindrical gear 62, and a flat outer tooth 62a is formed on the outer peripheral surface.
  • the transmission gear 63 transmits the rotation of the Q-axis motor 61 to the cylindrical gear 62.
  • the Q-axis gear 64 is provided at the upper portion of each nozzle holder 42, and engages with the external teeth 62a of the cylindrical gear 62 in the Z-axis direction (vertical direction) so as to be slidable.
  • the Q-axis driving device 60 rotationally drives the cylindrical gear 62 by the Q-axis motor 61 via the transmission gear 63 to collectively rotate the Q-axis gears 64 meshing with the external teeth 62 a of the cylindrical gear 62 in the same direction. be able to.
  • Each nozzle holder 42 rotates integrally with the suction nozzle 44 by rotation of the Q-axis gear 64 and rotates (rotationally) about its central axis.
  • the Q-axis drive device 60 also detects the rotational position of the Q-axis gear 64, that is, the Q-axis position sensor 65 (see FIG. 6) for detecting the rotational position of each nozzle holder 42 (suction nozzle 44). Prepare.
  • the first and second Z-axis drive devices 70 and 75 are configured to be able to move the nozzle holder 42 separately at two points on the orbit of the nozzle holder 42.
  • the first Z-axis drive device 70 can elevate the nozzle holder 42 located at the 0 degree position (hereinafter also referred to as Z1) of the nozzle holder 42 supported by the head main body 41 It is.
  • the second Z-axis drive device 75 is capable of moving up and down the nozzle holder 42 located at a position of 180 degrees (hereinafter also referred to as Z2) of the nozzle holder 42 supported by the head main body 41.
  • the position of 0 degrees is a position on the upstream side in the substrate transfer direction among two points on a line parallel to the X-axis direction (substrate transfer direction) passing through the central axis of the head main body 41 (A in FIG.
  • the position of 180 degrees is the position on the downstream side in the substrate transfer direction of the above two points (E in FIG. 3).
  • each of the first and second Z-axis drive devices 70, 75 includes Z-axis sliders 72, 77 and Z-axis motors 71, 76 for moving the corresponding Z-axis sliders 72, 77 up and down. Equipped with The first and second Z-axis drive devices 70 and 75 respectively drive the Z-axis motors 71 and 76 to move the corresponding Z-axis sliders 72 and 77 up and down, so that the nozzle holders below the Z-axis sliders 72 and 77 The nozzle holder 42 is moved up and down integrally with the suction nozzle 44 in contact with the nozzle 42.
  • the first and second Z-axis drive units 70 and 75 may use linear motors as the Z-axis motors 71 and 76 to move the Z-axis sliders 72 and 77 up and down, or the rotary motor and the feed screw mechanism.
  • the Z-axis sliders 72 and 77 may be raised and lowered by using them.
  • the first and second Z-axis drive devices 70, 75 may be replaced with the Z-axis motors 71, 76 and used to move the Z-axis sliders 72, 77 up and down using an actuator such as an air cylinder.
  • the mounting head 40 includes the two Z-axis driving devices 70 and 75 capable of individually moving the nozzle holder 42 (the suction nozzle 44) individually, and suctioning is performed using the Z-axis driving devices 70 and 75.
  • the suction operation of the component P by the nozzle 44 can be performed individually.
  • the mounting head 40 corresponds to the tape feeder corresponding to the two parts P so as to be aligned in the X-axis direction (left-right direction) at the same interval as the two suction nozzles 44 which can be moved up and down By supplying from 23, the two suction nozzles 44 can be lowered simultaneously to suction the two parts P at the same time.
  • first and second Z-axis driving devices 70 and 75 also detect the elevation position of the corresponding Z-axis sliders 72 and 77, that is, the elevation position of the corresponding nozzle holder 42 (suction nozzle 44).
  • Z-axis position sensors 73, 78 are also provided.
  • the suction nozzle 44 can mount the component P to the substrate S by suction or suction of the component P by the pressure (negative pressure, positive pressure) supplied by the pressure supply device 80.
  • the pressure supply device 80 supplies negative pressure and positive pressure to the suction ports of the negative pressure source (negative pressure pump) 81, the positive pressure source (factory air) 82, and the suction nozzles 44.
  • a switching valve 86 switchable between pressure and atmospheric pressure. The switching valve 86 communicates with the negative pressure channel 83 communicating with the negative pressure source 81, the positive pressure channel 84 communicating with the positive pressure source 82, the atmospheric pressure channel 85 communicating with the atmosphere, and the adsorption port of the adsorption nozzle 44.
  • the switching valve 86 switches the valve position to a position (negative pressure supply position) in which the holder channel 42 a communicates with the negative pressure channel 83 and blocks from the other channels, so that negative pressure is applied to the suction port of the suction nozzle 44. Can be supplied. Further, the switching valve 86 is switched to the suction port of the suction nozzle 44 by switching the valve position to a position (atmospheric pressure supply position) in which the holder channel 42a communicates with the atmospheric pressure channel 85 and blocks from other channels. Atmospheric pressure can be supplied.
  • the switching valve 86 switches the valve position to a position (positive pressure supply position) at which the holder channel 42a communicates with the positive pressure channel 84 and blocks it from the other channels, so that the suction port of the suction nozzle 44 is positive. It can supply pressure.
  • the switching valve 86 is provided corresponding to each nozzle holder 42 (holder flow channel 42 a), and a negative pressure flow channel via a radial flow channel 41 a radially extending from the axial center of the head main body 41. It is connected to the positive pressure flow path 84 via a radial flow path (not shown) which is connected to 83 and extends similarly.
  • the negative pressure flow path 83 is provided with a pressure sensor 88 for detecting the pressure (negative pressure) inside the negative pressure flow path 83.
  • the switching valve 86 does not have an automatic return function, and the valve position is switched between the negative pressure supply position, the atmospheric pressure supply position, and the positive pressure supply position by the operation of the valve operating lever 87. .
  • the valve operating lever 87 is operated by any of the first and second valve drive devices 45 and 46 as shown in FIG.
  • the first valve drive device 45 can drive the valve operation lever 87 of the switching valve 86 corresponding to the nozzle holder 42 at the position (Z1) where the first Z-axis drive device 70 can move up and down.
  • the second valve drive device 46 can drive the valve control lever 87 of the switching valve 86 corresponding to the nozzle holder 42 at the position (Z2) where the second Z-axis drive device 75 can move up and down.
  • the first and second valve drive devices 45 and 46 can be configured, for example, using a motor and a conversion mechanism (a cam mechanism, a link mechanism, etc.) that converts the rotational movement of the motor into a stroke movement.
  • the side cameras 47 and 48 are configured to image the vicinity of the tip of the suction nozzle 44 from the side in order to determine whether or not the component suction or suction of the suction nozzle 44 is performed after the suction operation of the suction nozzle 44 is performed. is there.
  • the suction nozzle 44 is swung one ahead by the R-axis drive device 50. An image of the suction nozzle 44 can be taken.
  • the side camera 48 performs the suction operation when the suction nozzle 44 is swung forward by the R-axis drive device 50 by one.
  • the nozzle 44 can be imaged.
  • the control device 90 is configured as a microprocessor centering on the CPU 91 and, in addition to the CPU 91, includes a ROM 92, an HDD 93, a RAM 94, an input / output interface 95, and the like. These are connected via a bus 96.
  • the control device 90 receives various detection signals from the X-axis position sensor 37, Y-axis position sensor 39, R-axis position sensor 55, Q-axis position sensor 65, Z-axis position sensors 73, 78, pressure sensor 88, etc. ing. Further, image signals and the like from the part camera 26, the mark camera 28, and the side cameras 47 and 48 are also input to the control device 90 through the input / output interface 95.
  • control device 90 the tape feeder 23, the substrate transfer device 24, the X-axis motor 36, the Y-axis motor 38, the R-axis motor 51, the Q-axis motor 61, the Z-axis motors 71, 76, the first and second valves
  • Various control signals to the drive devices 45 and 46, the part camera 26, the mark camera 28, the side cameras 47 and 48, and the like are output.
  • the management device 100 is, for example, a general-purpose computer, and as shown in FIG. 6, is configured of a CPU 101, a ROM 102, an HDD 103, a RAM 104, an input / output interface 105, and the like.
  • An input signal from the input device 107 is input to the management apparatus 100 via the input / output interface 105.
  • a display signal to the display 108 is output from the management device 100 via the input / output interface 105.
  • the HDD 103 stores job information including a production program of the substrate S and other production information.
  • the production program is a program that defines which component P is to be mounted on which substrate S and in which order in the component mounter 10, and how many substrates S mounted in such a manner are to be produced.
  • component information on the component P to be mounted on the substrate S type of component P and its component supply position
  • nozzle information on the suction nozzle 44 to be used target mounting position of component P (XY coordinates), etc.
  • the management device 100 is communicably connected to the control device 90 of the component mounter 10, and exchanges various information and control signals.
  • the component mounter 10 of the embodiment configured as described above executes the suction operation, the imaging operation, and the mounting operation as one cycle when the management apparatus 100 receives the job information.
  • the suction operation the mounting head 40 is moved above the component supply position, and each nozzle holder 42 (suction nozzle 44) is rotated so that the component P abuts the suction port of the suction nozzle 44 at the component supply position. This is an operation of lowering the nozzle holder 42 and supplying a negative pressure to the suction port of the corresponding suction nozzle 44.
  • the imaging operation is an operation of imaging the component P adsorbed by the adsorption nozzle 44 by the adsorption operation with the part camera 26 and processing the obtained captured image to detect an adsorption deviation and correct the target mounting position of the component P It is.
  • the imaging operation is performed by imaging the head mark M attached to the mounting head 40 together with the component P absorbed by the suction nozzle 44 with the part camera 26 so that the part P based on the head mark M is It is performed by recognizing the suction position.
  • the mounting head 40 is moved above the target mounting position on the substrate S, and each nozzle holder 42 (suction nozzle 44) is pivoted so that the component P adsorbed by the suction nozzle 44 abuts on the target mounting position.
  • the corresponding nozzle holder 42 is lowered to supply positive pressure to the suction port of the corresponding suction nozzle 44.
  • FIG. 7 is a flowchart showing an example of a head attachment process routine executed by the CPU 91 of the control device 90.
  • This routine is executed when a new mounting head 40 is attached to the X-axis slider 32.
  • the CPU 91 of the control device 90 first executes calibration of the static operation (S100).
  • the calibration of the static operation is performed by the positions of the part camera 26, the mark camera 28 and the head mark M, the position when the nozzle holder 42 is elevated with respect to the head mark M, and the inclined position when the nozzle holder 42 is lowered.
  • the measurement of the position of the parts camera 26 can be performed using the mark camera 28, and the measurement of other positions and the like can be performed using the parts camera 26.
  • the CPU 91 executes calibration of the dynamic operation (S110).
  • the calibration of the dynamic operation measures the operation of each nozzle holder 42 assuming a single suction operation described later and the operation of each nozzle holder 42 assumed a simultaneous suction operation described later, and adjusts these operations Processing.
  • the XY robot 30 moves the mounting head 40 to the upper side of the part camera 26, and the R axis drive device 50 turns each nozzle holder 42 to drive the first and second Z axes This is performed by lowering the corresponding nozzle holder 42 by either of the devices 70 and 75 and capturing the stop position of the nozzle holder 42 with the parts camera 26.
  • the XY robot 30 moves the mounting head 40 to the upper side of the part camera 26, and the R axis drive device 50 causes each nozzle holder 42 to pivot while the first and second Z This is achieved by simultaneously lowering the corresponding two corresponding nozzle holders 42 by both of the axis drive devices 70 and 75 and measuring the stop positions of the two nozzle holders 42 with the parts camera 26. The measurement of these operations is performed for each nozzle holder 42.
  • the CPU 91 sets a value of 0 to the simultaneous suction permission flag F indicating whether or not the simultaneous suction operation is performed (S120), and ends the head attachment processing routine.
  • the simultaneous suction permission flag F is a flag indicating whether or not the simultaneous suction operation can be performed.
  • the simultaneous suction flag F indicates that the simultaneous suction operation is prohibited when the value is 0, and indicates that the simultaneous suction operation is permitted when the value is 1.
  • the CPU 91 determines that the lowering position accuracy of the suction nozzle 44 may not be sufficient, and the simultaneous suction flag F is set to the value 0, and the simultaneous suction operation is temporarily performed. Ban.
  • FIG. 8 is a flowchart showing an example of the mounting control routine executed by the CPU 91 of the control device 90. This routine is executed when job information is received from the management apparatus 100. In the embodiment, the mounting control routine is applied to the case where the operation of suctioning the component P of the same type and mounting it on the substrate S is repeatedly performed.
  • the CPU 91 of the control device 90 first determines whether the simultaneous suction permission flag F has a value of 0 (S200).
  • the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag has the value 0, it determines that the simultaneous suction operation is prohibited, and executes a single suction operation for suctioning the component P onto one suction target nozzle (S210).
  • the single adsorption operation is performed by executing a single adsorption processing routine illustrated in FIG. The description of the single suction process routine will be described later.
  • the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag has the value 1, it determines that the simultaneous suction operation is permitted, and executes the simultaneous suction operation for causing the two suction target nozzles to simultaneously suction the component P ((1) S220).
  • the simultaneous suction operation is performed by executing the simultaneous suction processing routine illustrated in FIG.
  • the next suction target nozzle can be moved up and down by Z1 or Z2 (the first Z-axis drive 70 or the second Z-axis drive 75 While controlling the R-axis drive device 50 (R-axis motor 51) to come to the position) (S240), the process returns to S200 and repeats the processing of S200 to S240 (single suction operation or simultaneous suction operation).
  • the CPU 91 determines that the predetermined number of parts P are adsorbed by the plurality of suction nozzles 44 in S230, the CPU 91 controls the XY robot 30 such that the mounting head 40 is above the parts camera 26 (S260). Subsequently, the CPU 91 captures an image of the component P sucked by the plurality of suction nozzles 44 by the parts camera 26 (S270). Then, the CPU 91 recognizes the component P from the obtained captured image, and determines whether or not a suction error occurs in which the component P to be suctioned by any of the plurality of suction nozzles 44 is not suctioned ( S270).
  • the CPU 91 determines that a suction error occurs in any of the plurality of suction nozzles 44, the CPU 91 sets the simultaneous suction permission flag F to a value of 0 (S370). Then, the CPU 91 controls the R-axis drive device 50 so that the nozzle holder 42 for mounting the suction nozzle 44 in which the suction error has occurred comes to Z1 or Z2 (S380), returns to S200, and a suction error occurs. The suction nozzle 44 sucks the component P again.
  • the CPU 91 determines that no suction error occurs in any of the suction nozzles 44, the component P and the head mark M are recognized from the captured image and the suction deviation of the component P suctioned by each suction nozzle 44 The amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) is measured (S280).
  • the suction shift amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) is a shift amount between the center of the suction nozzle 44 and the center of the component P in the XY axis direction, and is measured for each suction nozzle 44.
  • the CPU 91 determines whether or not the simultaneous suction permission flag F has a value of 0 (S290). If the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag F is not the value 0 but the value 1, the process proceeds to S350. On the other hand, when the CPU 91 determines that the simultaneous suction permission flag F has the value 0, the CPU 91 performs Z1 next time on the basis of the suction displacement amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) of the component P sucked by the suction nozzle 44 lowered by Z1.
  • the head position correction values ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) of the mounting head 40 when the suction nozzle 44 is lowered to suction the component P are learned (S300).
  • the learning of the head position correction value ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) is performed by subtracting the adsorption displacement amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) multiplied by the coefficient k from the current head position correction value ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1).
  • the coefficient k is a reflection ratio when reflecting the suction displacement amount on the head position correction value, and is set to a value larger than the value 0 and smaller than the value 1.
  • the coefficient k may be a fixed value, for example, initially set to a large value (e.g. 0.5) and then set a small value (e.g. 0.3 or 0.2) , May be smaller according to the progress of learning.
  • the CPU 91 lowers the suction nozzle 44 at Z2 next time to suction the component P based on the suction shift amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) of the component P sucked by the suction nozzle 44 lowered at Z2.
  • the head position correction value ( ⁇ Xhz2, ⁇ Yhz2) of the mounting head 40 is learned (S310).
  • the learning of the head position correction value ( ⁇ Xhz2, ⁇ Yhz2) is performed by subtracting the adsorption displacement amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) multiplied by the coefficient k from the current head position correction value ( ⁇ Xhz2, ⁇ Yhz2).
  • the CPU 91 calculates the average value and 3 ⁇ of the adsorption shift amounts ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) in the XY axis direction (S320), and determines whether the calculated value is within a predetermined range (S330).
  • the predetermined range is for determining whether or not the suction position accuracy of the component P by the suction nozzle 44 is stable by learning the head movement correction value, and can be determined as appropriate.
  • the CPU 91 evaluates the suction position accuracy using 3 ⁇ that indicates the variation of the adsorption shift amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd), but may use ⁇ or 2 ⁇ .
  • the CPU 91 determines that the calculated value is within the predetermined range, it sets the simultaneous suction permission flag F to the value 1 (S340), proceeds to S350, and if it is determined that the calculated value is not within the predetermined range, skips S340. Then, proceed to S350.
  • the CPU 91 initially sucks the component P by the single suction operation, advances learning of the head movement correction value, and shifts to the simultaneous suction operation when the suction position accuracy is stabilized. As a result, frequent occurrence of a suction error can be suppressed by execution of the simultaneous suction operation.
  • the CPU 91 corrects the target mounting position of the component P to be mounted based on the suction displacement amount ( ⁇ Xd, ⁇ Yd) measured in S280 (S350), and mounts the component P at the corrected target mounting position. Execution is performed (S360), and the mounting control routine is ended.
  • the CPU 91 first determines whether or not the current single suction operation is to be performed at Z1 (S400). In the embodiment, the execution order is determined such that the single adsorption operation of Z1 and the single adsorption operation of Z2 are alternately performed. If the CPU 91 determines that the single suction operation this time is to be performed at Z1, the suction target component to be suctioned by the suction nozzle 44 lowered at Z1 is sent by the target feed amount Fz1 and supplied to the component supply position. The control signal is output to the tape feeder 23 (S410).
  • the CPU 91 determines whether there is a head movement correction value ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) set in S300 of the mounting control routine described above (S420). When the mounting head 40 is replaced and the single suction operation is performed first, the head movement correction values ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) are not set yet. If the CPU 91 determines that the head movement correction value ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) does not exist, the process proceeds to S440.
  • the CPU 91 determines that the head movement correction value ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) exists, the head movement correction value ( ⁇ Xhz1, ⁇ Yhz1) is added to the current target head position (Xh, Yh) to obtain the target head position (Xh, Yh) is corrected (S430), and the process proceeds to S440.
  • the correction of the target head position is performed by adding a part of the head movement correction value (the head movement correction value multiplied by a coefficient larger than 0 and smaller than 1) to the current target head position. It may be Next, the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 comes to the target head position (Xh, Yh) (S440).
  • the CPU 91 controls the first Z-axis drive device 70 so that the suction target nozzle descends (Z1 holder descend) and controls the first valve drive device 45 so that a negative pressure is supplied to the suction port of the suction target nozzle. (Z1 valve open) (S450), and the single suction processing routine is ended.
  • the CPU 91 determines in S400 that the single suction operation this time is to be performed by Z2 instead of Z1, the suction target component to be suctioned by the suction nozzle 44 lowered by Z2 is sent by the target feed amount Fz2 and the component supply position A control signal is output to the corresponding tape feeder 23 to be supplied to the printer (S460). Subsequently, the CPU 91 determines whether there is a head movement correction value ( ⁇ Xhz2, ⁇ Yhz2) set in S310 of the mounting control routine described above (S470). When the mounting head 40 is replaced and the single suction operation is performed first, the head movement correction values ( ⁇ Xhz2, ⁇ Yhz2) are not set yet.
  • the process proceeds to S490.
  • the CPU 91 determines that the head movement correction value (.DELTA.Xhz2, .DELTA.Yhz2) exists, the head movement correction value (.DELTA.Xhz2, .DELTA.Yhz2) is added to the current target head position (Xh, Yh) to obtain the target head position (Xh, Yh). Yh) is corrected (S430), and the process proceeds to S490.
  • the correction of the target head position is performed by adding a part of the head movement correction value (the head movement correction value multiplied by a coefficient larger than 0 and smaller than 1) to the current target head position. It may be Next, the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 comes to the target head position (Xh, Yh) (S490). Then, the CPU 91 controls the second Z-axis drive device 75 so that the suction target nozzle descends (Z2 holder descend) and controls the second valve drive device 46 so that a negative pressure is supplied to the suction port of the suction target nozzle. (Z2 valve open) (S500) and the single suction processing routine is ended.
  • the simultaneous suction processing routine the CPU 91 first corrects the target feed amounts Fz1, Fz2 of the two suction target components to be suctioned by the two suction target nozzles simultaneously lowered by Z1 and Z2, respectively (S550).
  • the correction of the target feed amount Fz1 is performed by adding the head movement correction value ⁇ Yhz1 in the Y-axis direction set in S300 of the mounting control routine to the current target feed amount Fz1.
  • correction of the target feed amount Fz2 is performed by adding the head movement correction value ⁇ Yhz2 in the Y-axis direction set in S310 of the mounting control routine to the current target feed amount Fz2.
  • the target feed amount is corrected by dividing the current target feed amount by a part of the head movement correction value in the Y-axis direction (the head movement correction value multiplied by a coefficient larger than 0 and smaller than 1). It may be done by adding. Subsequently, the CPU 91 outputs a control signal to the corresponding tape feeder 23 so that each suction target component is supplied with the corrected target feed amounts Fz1 and Fz2 (S560). Next, the CPU 91 corrects the target head position Xh in the X-axis direction (S570).
  • the correction of the target head position Xh in the X-axis direction is the head movement correction value ⁇ Xhz1 in the X-axis direction set in S300 of the mounting control routine and the current target head position Xh in the X-axis direction This is performed by adding the sum of the head movement correction value ⁇ Xhz 2 divided by the value 2.
  • the correction of the target head position in the X-axis direction is a part of the calculated value obtained by dividing the sum of the head movement correction values ⁇ Xhz1 and ⁇ Zhz2 in the X-axis direction by the value 2 at the current target head position in the X-axis direction This may be done by adding a value multiplied by a factor greater than 0 and less than 1.
  • the target head position Yh in the Y-axis direction is not corrected.
  • the CPU 91 controls the XY robot 30 so that the mounting head 40 comes to the target head position (Xh, Yh) (S 580).
  • the CPU 91 controls the first Z-axis drive device 70 and the second Z-axis drive device 75 so that the suction target nozzle in Z1 and the suction target nozzle in Z2 simultaneously descend, and suction ports of the two suction target nozzles
  • the first valve drive unit 45 and the second valve drive unit 46 are controlled to supply a negative pressure to the valve (S590), and the simultaneous adsorption processing routine is ended.
  • the head movement correction values (.DELTA.Xhz1, .DELTA.Yhz1) and (.DELTA.Xhz2, .DELTA.Yhz2) of the mounting head 40 are first learned while performing the single suction operation, and suction of the suction target nozzle is performed.
  • the operation shifts to the simultaneous suction operation.
  • the component mounting machine 10 according to the embodiment performs the simultaneous suction operation using the learned head movement correction value, so that the suction position accuracy can be sufficiently ensured even in the simultaneous suction operation. The occurrence of a suction error can be suppressed also at the time of suction.
  • the component mounter 10 of the embodiment corrects the target head position Xh in the X axis direction of the mounting head 40 in the simultaneous suction operation using the head movement correction values ⁇ Xhz1 and ⁇ Xhz2 in the X axis direction,
  • the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the two tape feeders 23 that supply the two suction target parts are corrected using the head movement correction values ⁇ Yhz1 and ⁇ Yhz2.
  • the component mounting machine 10 can individually correct the suction deviation in the Y-axis direction with Z1 and Z2 in the simultaneous suction operation, so that the suction position accuracy in the Y-axis direction can be further enhanced.
  • the component mounter 10 executes the simultaneous suction operation from the beginning even if the size of the component P to be suctioned is a predetermined size or more. Of course it is good.
  • the component supply unit 22 of the embodiment corresponds to a component supply unit of the present disclosure
  • the tape feeder 23 corresponds to a parts feeder
  • the component mounter 10 corresponds to a component mounter
  • the suction nozzle 44 corresponds to a nozzle
  • the head 40 corresponds to a head
  • the first and second Z-axis driving devices 70 and 75 correspond to a lifting device
  • the XY robot 30 corresponds to a moving device
  • the control device 90 corresponds to a control device.
  • the mounting head 40 corresponds to a rotary head
  • the nozzle holder 42 corresponds to a nozzle holder
  • the first Z-axis drive device 70 corresponds to a first lifting device
  • the second Z-axis drive device 75 corresponds to a second lifting device Do.
  • the component mounting machine 10 performs, as a suction operation, a first suction operation in which one nozzle is lowered and negative pressure is supplied to the suction port of the one nozzle to suction a component to one nozzle ( Single suction operation) and a second suction operation (simultaneous suction operation) in which a plurality of nozzles are simultaneously lowered and negative pressure is supplied to the suction ports of the plurality of nozzles to simultaneously suction components onto the plurality of nozzles.
  • a controller 90 capable of When the control device 90 repeatedly performs the suction operation and the mounting operation for the same type of component, the first suction operation is initially performed by each of the plurality of suction nozzles 44 and the plurality of suction nozzles 44 in the first suction operation.
  • the correction value for correcting the displacement of the suction position of the component P suctioned in each of is learned, and after the predetermined condition is satisfied, the second suction operation is performed using the learned correction value.
  • the component mounting machine 10 of the present disclosure repeats the suction operation and the mounting operation for the same type of component, the component suction machine 10 executes the first suction operation with each of the plurality of suction nozzles 44 to learn the correction value. To the second suction operation.
  • the component mounter 10 of the present disclosure can accurately perform the simultaneous suction operation for simultaneously suctioning the plurality of components by the plurality of suction nozzles 44.
  • the component mounting machine 10 measures the variation (the average value and the 3 ⁇ of the adsorption deviation amount) of the suction position of the component P suctioned by the suction nozzle 44 in the first suction operation (single suction operation) After the variation converges within the predetermined range, the second suction operation (simultaneous suction operation) is performed.
  • the component mounting machine 10 can improve the accuracy of the second suction operation by performing the second suction operation based on the correction value learned in the first suction operation, for example, 0.4 mm Simultaneous suction of extremely small parts such as chip parts of 0.2 mm can be realized.
  • the component mounter 10 of the embodiment corrects the target head position Xh in the X axis direction of the mounting head 40 using the head movement correction values ⁇ Xhz1 and ⁇ Xhz2 in the X axis direction. Then, the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the corresponding two tape feeders 23 are corrected using the head movement correction values ⁇ Yhz1 and ⁇ Yhz2 in the Y-axis direction. In this way, the component mounting machine 10 can separately correct the Y-axis suction deviation in Z1 and Z2 in the second suction operation, so that the suction position accuracy in the Y-axis direction can be further improved. it can.
  • the component mounter 10 of the embodiment sets the value 0 to the simultaneous suction permission flag F to prohibit the simultaneous suction operation.
  • the component mounter 10 is provided with the rotary type mounting head 40 in which the plurality of nozzle holders 42 are arranged in the circumferential direction with respect to the head main body 41.
  • the component mounting machine 10 is a parallel type mounting having nozzle holders (suction nozzles) arranged at the same pitch as the parts feeder (tape feeder 23) along the arrangement direction of the parts feeder (tape feeder 23) and capable of moving up and down independently.
  • the head may be provided.
  • the mounting head 40 is provided with two Z-axis drive devices 70 and 75 that individually raise and lower the two nozzle holders 42 (suction nozzles 44) at predetermined positions.
  • the mounting head 40 may have three or more Z-axis driving devices, and three or more suction nozzles can be simultaneously lowered by three or more Z-axis driving devices, and three or more Z-axis driving devices may be provided for each suction nozzle.
  • the parts P may be simultaneously suctioned.
  • the CPU 91 corrects the target feed amounts Fz1 and Fz2 of the two tape feeders 23 that supply the two suction target components using the head movement correction values ⁇ Yhz1 and ⁇ Yhz2 in the Y-axis direction in the simultaneous suction operation. did. Further, the CPU 91 corrects the target head position Xh in the X-axis direction of the mounting head 40 using the head movement correction values ⁇ Xhz1 and ⁇ Xhz2 in the X-axis direction, and does not correct the target head position Yh in the Y-axis direction of the mounting head 40 It was a thing.
  • the CPU 91 may correct the target head position Yh in the Y-axis direction of the mounting head 40 using the head movement correction values ⁇ Yhz1 and ⁇ Yhz2 in the Y-axis direction instead of correcting the target feed amounts Fz1 and Fz2.
  • the CPU 91 corrects the target head position Yh by adding the sum of the head movement correction value ⁇ Yhz1 and the head movement correction value ⁇ Yhz2 divided by the value 2 to the current target head position Yh in the Y-axis direction. do it.
  • the CPU 91 shifts to the simultaneous suction operation after the suction position accuracy (the average value of the suction shift amount and 3 ⁇ ) of the suction nozzle 44 converges within the predetermined range in the single suction operation.
  • the CPU 91 may shift to the simultaneous suction operation when the progress of learning of the head movement correction value has reached a predetermined level in the single suction operation (for example, when the number of times of learning has reached the predetermined number).
  • the CPU 91 sets the simultaneous adsorption permission flag F to a value of 0 to inhibit the simultaneous adsorption operation when the mounting head 40 is replaced and when an adsorption error occurs in the simultaneous adsorption operation.
  • the present invention is not limited to this, and the CPU 91 may set the value 0 to the simultaneous suction permission flag F when the tape feeder 23 is replaced.
  • the XY robot 30 moves the mounting head 40 in the XY axis direction, but may move the substrate B in the XY axis direction.
  • the component mounter 10 is provided with position sensors 37, 39, 55, 65, 73, 78 for detecting the position of each axis (X axis, Y axis, R axis, Q axis and Z axis)
  • the "position sensor” may include an encoder and a linear scale.
  • the present invention is applicable to, for example, the manufacturing industry of component mounters.
  • SYMBOLS 1 component mounting system 10 component mounting machines, 12, housing

Landscapes

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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  • Operations Research (AREA)
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Abstract

部品実装機は、部品を吸着可能なノズルを複数有するヘッドと、複数のノズルを個別に昇降可能な昇降装置と、ノズルの昇降方向に直交する面に沿って基板に対してヘッドを相対移動させる移動装置と、ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、部品供給部の上方で一つのノズルを下降させて当該一つのノズルに部品を吸着させる第１吸着動作と、部品供給部の上方で複数のノズルを同時的に下降させて当該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる第２吸着動作とを実行可能な制御装置と、を備える。制御装置は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は複数のノズルのそれぞれで第１吸着動作を実行すると共に第１吸着動作において複数のノズルのそれぞれで吸着された部品の吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は学習した補正値を用いて第２吸着動作を実行する。

Description

部品実装機
　本明細書は、部品実装機について開示する。
　従来より、複数の吸着ノズルを有する実装ヘッドを備え、複数の吸着ノズルで複数の部品を同時吸着する部品実装機が知られている。例えば、特許文献１には、実装ヘッドが有する複数の吸着ノズルについて、それぞれの部品保持中心を中心としてその周囲に部品保持可能範囲を設定し、複数の吸着ノズルによる複数の部品取り出し位置からの同時的な部品の取り出しを行なう場合に、それぞれの部品保持可能範囲の中に、それぞれの部品取り出し位置が入るように位置合わせする部品実装機が開示されている。この部品実装機は、複数の吸着ノズルについて、それぞれの仮想的な部品保持可能範囲の重複範囲の重心とそれぞれの部品保持中心との位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量をヘッド部の移動位置の補正量とする。また、部品実装機は、過去に取り出した部品の保持位置の部品保持中心に対する位置ずれ量を検出し、検出した位置ずれ量に、０．１から１の範囲の係数を掛けて補正し、その補正値に基づいて次回の部品保持目標中心を設定する。
特開２００４－３５６３７６号公報
　しかしながら、上述した部品実装機は、位置ずれ量の補正が安定していない間も複数の部品の同時吸着が実行されるため、十分な精度が得られず、吸着エラーが生じるおそれがある。
　本開示は、複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる同時吸着動作を精度良く行なうことを主目的とする。
　本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
　本開示は、部品供給部に配列された複数のパーツフィーダから供給される部品を吸着して基板に実装する部品実装機であって、前記部品を吸着可能なノズルを複数有するヘッドと、複数の前記ノズルを個別に昇降可能な昇降装置と、前記ノズルの昇降方向に直交する面に沿って前記基板に対して前記ヘッドを相対移動させる移動装置と、前記ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、前記部品供給部の上方で一つの前記ノズルが下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該一つのノズルに前記部品を吸着させる第１吸着動作と、前記部品供給部の上方で複数の前記ノズルが同時的に下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる第２吸着動作とを実行可能であり、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は前記複数のノズルのそれぞれで前記第１吸着動作を実行すると共に前記第１吸着動作において前記複数のノズルのそれぞれで吸着された部品の吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は前記学習した補正値を用いて前記第２吸着動作を実行する制御装置と、を備えることを要旨とする。
　この本開示の部品実装機では、ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、第１吸着動作と、第２吸着動作（同時吸着動作）とを実行可能な制御装置を備える。第１吸着動作は、部品供給部の上方で一つのノズルを下降させて当該一つのノズルに部品を吸着させる。第２吸着動作は、部品供給部の上方で複数のノズルを同時的に下降させて当該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる。制御装置は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は複数のノズルのそれぞれで第１吸着動作を実行すると共に第１吸着動作において複数のノズルのそれぞれで吸着された部品の吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は学習した補正値を用いて第２吸着動作を実行する。このように、本開示の部品実装機は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返す場合、複数のノズルのそれぞれで第１吸着動作を実行して吸着位置のずれを補正するための補正値を学習してから第２吸着動作へ移行する。これにより、本開示の部品実装機は、複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる同時吸着動作を精度良く行なうことができる。ここで、「直交」は、厳密に直交でなくても、概ね直交であればよい（以下、同じ）。
部品実装システム１の構成の概略を示す構成図である。 実装ヘッド４０の構成の概略を示す構成図である。 ノズルホルダ４２の配列と第１Ｚ軸駆動装置７０および第２Ｚ軸駆動装置７５の配置を説明する説明図である。 エア配管経路を説明する説明図である。 圧力供給装置８０の構成の概略を示す構成図である。 制御装置９０および管理装置１００の電気的な接続関係を示す説明図である。 ヘッド装着時処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。 実装制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。 単吸着処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。 同時吸着処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。
　次に、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。
　図１は、部品実装システム１の構成の概略を示す構成図である。図２は、実装ヘッド４０の構成の概略を示す構成図である。図３は、ノズルホルダ４２の配列と第１Ｚ軸駆動装置７０および第２Ｚ軸駆動装置７５の配置を説明する説明図である。図４は、エア配管経路を説明する説明図である。図５は、圧力供給装置８０の構成の概略を示す構成図である。図６は、制御装置９０および管理装置１００の電気的な接続関係を示す説明図である。なお、図１の左右方向がＸ軸方向であり、前（手前）後（奥）方向がＸ軸方向と概ね直交するＹ軸方向であり、上下方向がＸ軸方向およびＹ軸方向（水平面）に概ね直交するＺ軸方向である。
　部品実装システム１は、図１に示すように、部品実装機１０と、システム全体をコントロールする管理装置１００と、を備える。部品実装システム１は、実施形態では、複数台の部品実装機１０を備える。
　部品実装機１０は、図１に示すように、筐体１２と、部品供給部２２と、基板搬送装置２４と、ＸＹロボット３０と、実装ヘッド４０と、制御装置９０（図６参照）と、を備える。また、部品実装機１０は、これらの他に、パーツカメラ２６やマークカメラ２８、ノズルステーション２９なども備えている。なお、パーツカメラ２６は、部品供給部２２と基板搬送装置２４との間に設けられ、実装ヘッド４０の吸着ノズル４４に吸着された部品Ｐの姿勢を下方から撮像するためのものである。また、マークカメラ２８は、実装ヘッド４０に設けられ、基板Ｓに付された位置決め基準マークを上方から撮像して読み取るためのものである。ノズルステーション２９は、部品供給部２２と基板搬送装置２４との間に設けられ、実装ヘッド４０のノズルホルダ４２に装着する吸着ノズル４４をストックするためのものである。
　部品供給部２２は、図１に示すように、部品実装機１０の前部に設けられ、Ｘ軸方向（左右方向）に沿って複数のテープフィーダ２３が配列される。なお、テープフィーダ２３は、部品Ｐが並ぶテープＴを収容したリールを備え、リールからテープＴを引き出して後方（Ｙ軸方向）へ送り出すことにより部品Ｐを部品供給位置まで供給するものである。テープＴは、長手方向に所定の間隔で形成された複数の凹部を有する。複数の凹部には、それぞれ同一種類の部品Ｐが収容されている。凹部に収容された部品Ｐは、テープＴの表面を覆うフィルムによって保護されており、部品供給位置の手前でフィルムが剥がされて露出し、部品供給位置にて吸着ノズル４４により吸着される。
　基板搬送装置２４は、図１の前後に間隔を開けて設けられＸ軸方向（左右方向）に架け渡された１対のコンベアベルトを有している。基板Ｓは、基板搬送装置２４のコンベアベルトにより図中左から右へと搬送される。
　ＸＹロボット３０は、実装ヘッド４０をＸＹ軸方向（前後左右の方向）に移動させるものであり、図１に示すように、Ｘ軸スライダ３２と、Ｙ軸スライダ３４と、を備える。Ｘ軸スライダ３２は、Ｙ軸スライダ３４の前面にＸ軸方向（左右方向）に延在するように設けられた上下一対のＸ軸ガイドレール３１に支持され、Ｘ軸モータ３６（図６参照）の駆動によってＸ軸方向に移動可能である。Ｙ軸スライダ３４は、筐体１２の上段部にＹ軸方向（前後方向）に延在するように設けられた左右一対のＹ軸ガイドレール３３に支持され、Ｙ軸モータ３８（図６参照）の駆動によってＹ軸方向に移動可能である。なお、Ｘ軸スライダ３２は、Ｘ軸位置センサ３７（図６参照）によりＸ軸方向の位置が検知され、Ｙ軸スライダ３４は、Ｙ軸位置センサ３９（図６参照）によりＹ軸方向の位置が検知される。Ｘ軸スライダ３２には実装ヘッド４０が取り付けられている。このため、実装ヘッド４０は、ＸＹロボット３０（Ｘ軸モータ３６およびＹ軸モータ３８）を駆動制御することにより、ＸＹ平面（水平面）上の任意の位置に移動可能である。
　実装ヘッド４０は、図２に示すように、ヘッド本体４１と、複数（実施形態では、８個）のノズルホルダ４２と、複数（実施形態では、８個）の吸着ノズル４４と、Ｒ軸駆動装置５０と、Ｑ軸駆動装置６０と、第１Ｚ軸駆動装置７０と、第２Ｚ軸駆動装置７５と、側面カメラ４７，４８とを備える。実装ヘッド４０は、Ｘ軸スライダ３２に対して着脱可能であり、適宜交換することができる。
　ヘッド本体４１は、Ｒ軸駆動装置５０によって回転可能な回転体である。ノズルホルダ４２は、ヘッド本体４１に対して円周方向に所定角度間隔（実施形態では、４５度間隔）で配列され、且つ、ヘッド本体４１に昇降自在に支持されている。ノズルホルダ４２の先端部には、吸着ノズル４４が装着される。吸着ノズル４４は、ノズルホルダ４２に対して着脱可能であり、吸着する部品Ｐの種類に応じてその吸着に適したものに交換される。
　Ｒ軸駆動装置５０は、複数のノズルホルダ４２（複数の吸着ノズル４４）をヘッド本体４１の中心軸回りに円周方向に旋回（公転）させるものである。Ｒ軸駆動装置５０は、図２に示すように、Ｒ軸モータ５１と、ヘッド本体４１の中心軸から軸方向に延出されたＲ軸５２と、Ｒ軸モータ５１の回転をＲ軸５２に伝達する伝達ギヤ５３と、を備える。Ｒ軸駆動装置５０は、Ｒ軸モータ５１により伝達ギヤ５３を介してＲ軸５２を回転駆動することにより、ヘッド本体４１を回転させる。各ノズルホルダ４２は、ヘッド本体４１の回転によって、吸着ノズル４４と一体となって円周方向に旋回（公転）する。また、Ｒ軸駆動装置５０は、この他に、Ｒ軸５２の回転位置、即ち各ノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）の旋回位置を検知するためのＲ軸位置センサ５５（図６参照）も備える。
　Ｑ軸駆動装置６０は、各ノズルホルダ４２（各吸着ノズル４４）をその中心軸回りに回転（自転）させるものである。Ｑ軸駆動装置６０は、図２に示すように、Ｑ軸モータ６１と、円筒ギヤ６２と、伝達ギヤ６３と、Ｑ軸ギヤ６４と、を備える。円筒ギヤ６２は、その内部にＲ軸５２が同軸かつ相対回転可能に挿通され、外周面に平歯の外歯６２ａが形成されている。伝達ギヤ６３は、Ｑ軸モータ６１の回転を円筒ギヤ６２に伝達するものである。Ｑ軸ギヤ６４は、各ノズルホルダ４２の上部に設けられ、円筒ギヤ６２の外歯６２ａとＺ軸方向（上下方向）にスライド可能に噛み合うものである。Ｑ軸駆動装置６０は、Ｑ軸モータ６１により伝達ギヤ６３を介して円筒ギヤ６２を回転駆動することにより、円筒ギヤ６２の外歯６２ａと噛み合う各Ｑ軸ギヤ６４を纏めて同方向に回転させることができる。各ノズルホルダ４２は、Ｑ軸ギヤ６４の回転によって、吸着ノズル４４と一体となってその中心軸回りに回転（自転）する。また、Ｑ軸駆動装置６０は、この他に、Ｑ軸ギヤ６４の回転位置、即ち各ノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）の回転位置を検知するためのＱ軸位置センサ６５（図６参照）も備える。
　第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、ノズルホルダ４２の旋回（公転）軌道上の２箇所においてノズルホルダ４２を個別に昇降可能に構成されている。実施形態では、図３に示すように、第１Ｚ軸駆動装置７０は、ヘッド本体４１に支持されるノズルホルダ４２のうち０度の位置（以下、Ｚ１ともいう）にあるノズルホルダ４２を昇降可能である。また、第２Ｚ軸駆動装置７５は、ヘッド本体４１に支持されるノズルホルダ４２のうち１８０度の位置（以下、Ｚ２ともいう）にあるノズルホルダ４２を昇降可能である。なお、０度の位置とは、ヘッド本体４１の中心軸を通りＸ軸方向（基板搬送方向）に平行な線上にある２点のうち基板搬送方向上流側の位置であり（図３中、Ａ）、１８０度の位置は、上記２点のうち基板搬送方向下流側の位置である（図３中、Ｅ）。
　第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、何れも、図２に示すように、Ｚ軸スライダ７２，７７と、対応するＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるＺ軸モータ７１，７６と、を備える。第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、それぞれＺ軸モータ７１，７６を駆動して対応するＺ軸スライダ７２，７７を昇降させることにより、Ｚ軸スライダ７２，７７の下方にあるノズルホルダ４２と当接して、当該ノズルホルダ４２を吸着ノズル４４と一体的に昇降させる。なお、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、Ｚ軸モータ７１，７６としてリニアモータを用いてＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるものとしてもよいし、回転モータと送りねじ機構とを用いてＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるものとしてもよい。また、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、Ｚ軸モータ７１，７６に代えてエアシリンダなどのアクチュエータを用いてＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるものとしてもよい。このように、実施形態の実装ヘッド４０は、それぞれノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を個別に昇降可能な２つのＺ軸駆動装置７０，７５を備え、Ｚ軸駆動装置７０，７５を用いて吸着ノズル４４による部品Ｐの吸着動作を個別に行なうことができる。このため、実装ヘッド４０は、２つのＺ軸駆動装置７０，７５によって昇降可能な２つの吸着ノズル４４と同じ間隔でＸ軸方向（左右方向）に並ぶように２つの部品Ｐを対応するテープフィーダ２３から供給することにより、２つの吸着ノズル４４を同時に下降させて当該２つの部品Ｐを同時に吸着させることができる。また、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、この他に、対応するＺ軸スライダ７２，７７の昇降位置、即ち対応するノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）の昇降位置を検知するためのＺ軸位置センサ７３，７８（図６参照）も備える。
　吸着ノズル４４は、圧力供給装置８０によって供給される圧力（負圧，正圧）により部品Ｐの吸着や吸着した部品Ｐの基板Ｓへの実装が可能である。圧力供給装置８０は、図５に示すように、負圧源（負圧ポンプ）８１と、正圧源（工場エア）８２と、各吸着ノズル４４の吸着口に供給する圧力を負圧と正圧と大気圧とのいずれかに切り替え可能な切替弁８６と、を備える。切替弁８６は、負圧源８１と連通する負圧流路８３と、正圧源８２と連通する正圧流路８４と、大気と連通する大気圧流路８５と、吸着ノズル４４の吸着口と連通するノズルホルダ４２内部に形成されたホルダ流路４２ａとが接続された４ポート３位置弁である。切替弁８６は、弁位置をホルダ流路４２ａが負圧流路８３と連通すると共に他の流路から遮断する位置（負圧供給位置）に切り替えることにより、吸着ノズル４４の吸着口に負圧を供給することができる。また、切替弁８６は、弁位置をホルダ流路４２ａが大気圧流路８５と連通すると共に他の流路から遮断する位置（大気圧供給位置）に切り替えることにより、吸着ノズル４４の吸着口に大気圧を供給することができる。さらに、切替弁８６は、弁位置をホルダ流路４２ａが正圧流路８４と連通すると共に他の流路から遮断する位置（正圧供給位置）に切り替えることにより、吸着ノズル４４の吸着口に正圧を供給することができる。切替弁８６は、図４に示すように、各ノズルホルダ４２（ホルダ流路４２ａ）にそれぞれ対応して設けられ、ヘッド本体４１の軸中心から放射状に延びる放射状流路４１ａを介して負圧流路８３に接続されると共に同様に延びる放射状流路（図示せず）を介して正圧流路８４に接続されている。また、負圧流路８３には、その内部の圧力（負圧）を検出するための圧力センサ８８が設けられている。
　また、切替弁８６は、自動復帰機能を有しておらず、弁操作レバー８７の操作によって弁位置が負圧供給位置と大気圧供給位置と正圧供給位置とに切り替えられるようになっている。弁操作レバー８７は、図２に示すように、第１および第２弁駆動装置４５，４６の何れかによって操作される。第１弁駆動装置４５は、第１Ｚ軸駆動装置７０により昇降可能な位置（Ｚ１）にあるノズルホルダ４２に対応する切替弁８６の弁操作レバー８７を駆動することができる。第２弁駆動装置４６は、第２Ｚ軸駆動装置７５により昇降可能な位置（Ｚ２）にあるノズルホルダ４２に対応する切替弁８６の弁操作レバー８７を駆動することができる。なお、第１および第２弁駆動装置４５，４６は、例えば、モータと、モータの回転運動をストローク運動に変換する変換機構（カム機構やリンク機構など）とを用いて構成することができる。
　側面カメラ４７，４８は、吸着ノズル４４による吸着動作の実行後に当該吸着ノズル４４の部品吸着有無や部品吸着姿勢を判定するために、当該吸着ノズル４４の先端部付近を側方から撮像するものである。実施形態では、側面カメラ４７は、第１Ｚ軸駆動装置７０により吸着ノズル４４を下降させて吸着動作を実行した後、当該吸着ノズル４４がＲ軸駆動装置５０により１つ先に旋回されたときに当該吸着ノズル４４を撮像可能である。また、側面カメラ４８は、第２Ｚ軸駆動装置７５により吸着ノズル４４を下降させて吸着動作を実行した後、当該吸着ノズル４４がＲ軸駆動装置５０により１つ先に旋回されたときに当該吸着ノズル４４を撮像可能である。
　制御装置９０は、図６に示すように、ＣＰＵ９１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ９１の他に、ＲＯＭ９２やＨＤＤ９３、ＲＡＭ９４、入出力インタフェース９５などを備える。これらはバス９６を介して接続されている。制御装置９０には、Ｘ軸位置センサ３７やＹ軸位置センサ３９、Ｒ軸位置センサ５５、Ｑ軸位置センサ６５、Ｚ軸位置センサ７３，７８、圧力センサ８８などからの各種検知信号が入力されている。また、制御装置９０には、パーツカメラ２６やマークカメラ２８、側面カメラ４７，４８からの画像信号なども入出力インタフェース９５を介して入力されている。一方、制御装置９０からは、テープフィーダ２３や基板搬送装置２４、Ｘ軸モータ３６、Ｙ軸モータ３８、Ｒ軸モータ５１、Ｑ軸モータ６１、Ｚ軸モータ７１，７６、第１および第２弁駆動装置４５，４６、パーツカメラ２６、マークカメラ２８、側面カメラ４７，４８などへの各種制御信号が出力されている。
　管理装置１００は、例えば、汎用のコンピュータであり、図６に示すように、ＣＰＵ１０１やＲＯＭ１０２、ＨＤＤ１０３、ＲＡＭ１０４、入出力インタフェース１０５等により構成される。管理装置１００には、入力デバイス１０７からの入力信号が入出力インタフェース１０５を介して入力されている。管理装置１００からは、ディスプレイ１０８への表示信号が入出力インタフェース１０５を介して出力されている。ＨＤＤ１０３には、基板Ｓの生産プログラムやその他の生産情報を含むジョブ情報が記憶されている。ここで、生産プログラムは、部品実装機１０において、どの基板Ｓにどの部品Ｐをどの順番で実装するか、また、そのように実装した基板Ｓを何枚作製するかを定めたプログラムをいう。また、生産情報には、基板Ｓに実装すべき部品Ｐに関する部品情報（部品Ｐの種類やその部品供給位置）や使用する吸着ノズル４４に関するノズル情報、部品Ｐの目標実装位置（ＸＹ座標）等が含まれる。管理装置１００は、部品実装機１０の制御装置９０と通信可能に接続され、各種情報や制御信号のやり取りを行なう。
　こうして構成された実施形態の部品実装機１０は、管理装置１００によりジョブ情報を受信したときに、吸着動作と撮像動作と実装動作とを１サイクルとして実行する。吸着動作は、実装ヘッド４０を部品供給位置の上方へ移動させ、部品供給位置において吸着ノズル４４の吸着口に部品Ｐが当接するように各ノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を旋回させつつ対応するノズルホルダ４２を下降させると共に、対応する吸着ノズル４４の吸着口に負圧を供給する動作である。撮像動作は、吸着動作で吸着ノズル４４に吸着させた部品Ｐをパーツカメラ２６で撮像し、得られた撮像画像を処理することにより吸着ずれを検出して部品Ｐの目標実装位置を補正する動作である。なお、撮像動作は、実施形態では、吸着ノズル４４に吸着させた部品Ｐと共に実装ヘッド４０に付されたヘッドマークＭをパーツカメラ２６で撮像することにより、ヘッドマークＭを基準とした部品Ｐの吸着位置を認識することにより行なわれる。実装動作は、実装ヘッド４０を基板Ｓにおける目標実装位置の上方へ移動させ、吸着ノズル４４に吸着させた部品Ｐが目標実装位置に当接するように各ノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を旋回させつつ対応するノズルホルダ４２を下降させ、対応する吸着ノズル４４の吸着口に正圧を供給する動作である。
　次に、実装ヘッド４０が交換された場合における部品実装機１０の動作について説明する。図７は、制御装置９０のＣＰＵ９１により実行されるヘッド装着時処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、新たな実装ヘッド４０がＸ軸スライダ３２に装着されたときに実行される。ヘッド装着時処理ルーチンが実行されると、制御装置９０のＣＰＵ９１は、まず、静的動作のキャリブレーションを実行する（Ｓ１００）。ここで、静的動作のキャリブレーションは、パーツカメラ２６，マークカメラ２８およびヘッドマークＭの位置や、ヘッドマークＭに対する各ノズルホルダ４２の上昇時の位置、各ノズルホルダ４２の下降時の傾き位置、吸着ノズル４４の曲がりの有無、吸着ノズル４４の位置を測定して、これらの位置を調整するための処理である。なお、パーツカメラ２６の位置の測定は、マークカメラ２８を用いて行なうことができ、その他の位置等の測定は、パーツカメラ２６を用いて行なうことができる。
　続いて、ＣＰＵ９１は、動的動作のキャリブレーションを実行する（Ｓ１１０）。動的動作のキャリブレーションは、後述する単吸着動作を想定した各ノズルホルダ４２の動作と後述する同時吸着動作を想定した各ノズルホルダ４２の動作とを測定して、これらの動作を調整するための処理である。単吸着動作を想定した動作の測定は、ＸＹロボット３０により実装ヘッド４０をパーツカメラ２６の上方へ移動させ、Ｒ軸駆動装置５０により各ノズルホルダ４２を旋回させつつ、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５の何れかにより対応するノズルホルダ４２を下降させ、そのノズルホルダ４２の停止位置をパーツカメラ２６で撮像することにより行なわれる。また、同時吸着動作を想定した動作の測定は、ＸＹロボット３０により実装ヘッド４０をパーツカメラ２６の上方へ移動させ、Ｒ軸駆動装置５０により各ノズルホルダ４２を旋回させつつ、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５の両方により対応する対応する２つのノズルホルダ４２を同時に下降させ、その２つのノズルホルダ４２の停止位置をパーツカメラ２６で測定することにより行なわれる。なお、これらの動作の測定は、ノズルホルダ４２ごとに行なわれる。
　そして、ＣＰＵ９１は、同時吸着動作の可否を示す同時吸着許可フラグＦに値０を設定して（Ｓ１２０）、ヘッド装着時処理ルーチンを終了する。ここで、同時吸着許可フラグFは、同時吸着動作の実行可否を示すフラグである。同時吸着フラグＦは、値０の場合には同時吸着動作が禁止されていることを示し、値１の場合には同時吸着動作が許可されていることを示す。実施形態では、実装ヘッド４０が交換されると、ＣＰＵ９１は、吸着ノズル４４の下降位置精度が十分でない可能性があると判断し、同時吸着フラグＦが値０に設定し、同時吸着動作を一旦禁止する。
　次に、単吸着動作または同時吸着動作を用いて部品Ｐを吸着して基板Ｓに実装する場合における部品実装機１０の動作について説明する。図８は、制御装置９０のＣＰＵ９１により実行される実装制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、管理装置１００からジョブ情報を受信したときに実行される。なお、実装制御ルーチンは、実施形態では、同一種類の部品Ｐを吸着して基板Ｓに実装する動作を繰り返し実行する場合に適用される。実装制御ルーチンが実行されると、制御装置９０のＣＰＵ９１は、まず、同時吸着許可フラグＦが値０であるか否かを判定する（Ｓ２００）。ＣＰＵ９１は、同時吸着許可フラグが値０であると判定すると、同時吸着動作が禁止されていると判断し、１つの吸着対象ノズルに部品Ｐを吸着させる単吸着動作を実行する（Ｓ２１０）。単吸着動作は、図９に例示する単吸着処理ルーチンを実行することにより行なわれる。なお、単吸着処理ルーチンの説明は後述する。一方、ＣＰＵ９１は、同時吸着許可フラグが値１であると判定すると、同時吸着動作が許可されていると判断し、２つの吸着対象ノズルにそれぞれ部品Ｐを同時に吸着させる同時吸着動作を実行する（Ｓ２２０）。同時吸着動作は、図１０に例示する同時吸着処理ルーチンを実行することにより行なわれる。なお、同時吸着処理ルーチンの説明は後述する。ＣＰＵ９１、単吸着動作または同時吸着動作を実行すると、実装ヘッド４０の複数の吸着ノズル４４に予定数の部品Ｐが吸着されたか否かを判定する（Ｓ２３０）。ＣＰＵ９１は、複数の吸着ノズル４４に所定数の部品Ｐが吸着されていないと判定すると、次の吸着対象ノズルがＺ１またはＺ２（第１Ｚ軸駆動装置７０または第２Ｚ軸駆動装置７５により昇降可能な位置）に来るようＲ軸駆動装置５０（Ｒ軸モータ５１）を制御しつつ（Ｓ２４０）、Ｓ２００に戻ってＳ２００～Ｓ２４０の処理（単吸着動作または同時吸着動作）を繰り返す。
　ＣＰＵ９１は、Ｓ２３０で複数の吸着ノズル４４に予定数の部品Ｐが吸着されたと判定すると、実装ヘッド４０がパーツカメラ２６の上方に来るようにＸＹロボット３０を制御する（Ｓ２６０）。続いて、ＣＰＵ９１は、複数の吸着ノズル４４に吸着された部品Ｐをパーツカメラ２６により撮像する（Ｓ２７０）。そして、ＣＰＵ９１は、得られた撮像画像から部品Ｐを識認し、複数の吸着ノズル４４の何れかに吸着すべき部品Ｐが吸着されていない吸着エラーが発生しているか否かを判定する（Ｓ２７０）。ＣＰＵ９１は、複数の吸着ノズル４４の何れかに吸着エラーが発生していると判定すると、同時吸着許可フラグＦに値０を設定する（Ｓ３７０）。そして、ＣＰＵ９１は、吸着エラーが発生した吸着ノズル４４を装着するノズルホルダ４２がＺ１またはＺ２に来るようＲ軸駆動装置５０を制御し（Ｓ３８０）、Ｓ２００に戻って、吸着エラーが発生している吸着ノズル４４に部品Ｐを再度、吸着させる。一方、ＣＰＵ９１は、何れの吸着ノズル４４にも吸着エラーが発生していないと判定すると、撮像画像から部品ＰとヘッドマークＭとを認識して各吸着ノズル４４に吸着された部品Ｐの吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）を測定する（Ｓ２８０）。吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）は、吸着ノズル４４の中心と部品Ｐの中心とのＸＹ軸方向のずれ量であり、吸着ノズル４４ごとに測定される。
　次に、ＣＰＵ９１は、同時吸着許可フラグＦが値０であるか否かを判定する（Ｓ２９０）。ＣＰＵ９１は、同時吸着許可フラグＦが値０でなく値１であると判定すると、Ｓ３５０に進む。一方、ＣＰＵ９１は、同時吸着許可フラグＦが値０であると判定すると、Ｚ１で下降された吸着ノズル４４に吸着された部品Ｐの吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）に基づいて、次回にＺ１で吸着ノズル４４を下降させて部品Ｐを吸着する際の実装ヘッド４０のヘッド位置補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）を学習する（Ｓ３００）。ヘッド位置補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）の学習は、吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）に係数ｋを乗じたものを、現在のヘッド位置補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）から減じることにより行なわれる。係数ｋは、吸着ずれ量をヘッド位置補正値に反映させる際の反映率であり、値０よりも大きく値１よりも小さい値に定められる。係数ｋは、固定値であってもよいし、例えば、最初は大きな値（例えば０．５）に設定し、その後、小さな値（例えば０．３や０．２）を設定するなどのように、学習の進行に合わせて小さくしてもよい。また、ＣＰＵ９１は、Ｚ２で下降された吸着ノズル４４に吸着された部品Ｐの吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）に基づいて、次回にＺ２で吸着ノズル４４を下降させて部品Ｐを吸着する際の実装ヘッド４０のヘッド位置補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）を学習する（Ｓ３１０）。ヘッド位置補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）の学習は、吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）に上記係数ｋを乗じたものを、現在のヘッド位置補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）から減じることにより行なわれる。そして、ＣＰＵ９１は、ＸＹ軸方向における吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）の平均値および３σを計算し（Ｓ３２０）、計算値が所定範囲内にあるか否かを判定する（Ｓ３３０）。所定範囲は、ヘッド移動補正値の学習により吸着ノズル４４による部品Ｐの吸着位置精度が安定したか否かを判定するためのものであり、適宜定めることができる。なお、実施形態では、ＣＰＵ９１は、吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）のばらつきを示す３σを用いて吸着位置精度を評価したが、σや２σを用いてもよい。ＣＰＵ９１は、計算値が所定範囲内にあると判定すると、同時吸着許可フラグＦを値１に設定して（Ｓ３４０）、Ｓ３５０に進み、計算値が所定範囲内にないと判定すると、Ｓ３４０をスキップして、Ｓ３５０に進む。このように、実施形態では、ＣＰＵ９１は、最初は単吸着動作により部品Ｐを吸着し、ヘッド移動補正値の学習が進んで吸着位置精度が安定した段階で、同時吸着動作に移行するのである。これにより、同時吸着動作の実行によって吸着エラーが頻発するのを抑制することができる。
　そして、ＣＰＵ９１は、Ｓ２８０で測定した吸着ずれ量（ΔＸｄ，ΔＹｄ）に基づいて実装する部品Ｐの目標実装位置を補正し（Ｓ３５０）、補正した目標実装位置に当該部品Ｐを実装させる実装動作を実行して（Ｓ３６０）、実装制御ルーチンを終了する。
　次に、図９の単吸着処理ルーチンについて説明する。単吸着処理ルーチンでは、ＣＰＵ９１は、まず、今回の単吸着動作をＺ１で実行するか否かを判定する（Ｓ４００）。実施形態では、Ｚ１の単吸着動作とＺ２の単吸着動作とが交互に実行されるように、実行順序が定められている。ＣＰＵ９１は、今回の単吸着動作をＺ１で実行すると判定すると、Ｚ１で下降される吸着ノズル４４で吸着されるべき吸着対象部品が目標送り量Ｆｚ１だけ送られて部品供給位置へ供給されるよう対応するテープフィーダ２３に制御信号を出力する（Ｓ４１０）。続いて、ＣＰＵ９１は、上述した実装制御ルーチンのＳ３００で設定されるヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）が存在するかを判定する（Ｓ４２０）。実装ヘッド４０が交換されて最初に単吸着動作を実行する場合、ヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）は、未だ設定されていない。ＣＰＵ９１は、ヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）が存在しないと判定すると、Ｓ４４０に進む。一方、ＣＰＵ９１は、ヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）が存在すると判定すると、現在の目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）にヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）を加えることにより目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）を補正して（Ｓ４３０）、Ｓ４４０に進む。なお、目標ヘッド位置の補正は、現在の目標ヘッド位置にヘッド移動補正値の一部（当該ヘッド移動補正値に値０よりも大きく値１よりも小さい係数を乗じたもの）を加えることによって行なわれてもよい。次に、ＣＰＵ９１は、実装ヘッド４０が目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）に来るようにＸＹロボット３０を制御する（Ｓ４４０）。そして、ＣＰＵ９１は、吸着対象ノズルが下降するよう第１Ｚ軸駆動装置７０を制御（Ｚ１ホルダ下降）すると共に当該吸着対象ノズルの吸着口に負圧が供給されるよう第１弁駆動装置４５を制御（Ｚ１バルブ開）して（Ｓ４５０）、単吸着処理ルーチンを終了する。
　ＣＰＵ９１は、Ｓ４００において、今回の単吸着動作をＺ１でなくＺ２で実行すると判定すると、Ｚ２で下降される吸着ノズル４４で吸着されるべき吸着対象部品が目標送り量Ｆｚ２だけ送られて部品供給位置へ供給されるよう対応するテープフィーダ２３に制御信号を出力する（Ｓ４６０）。続いて、ＣＰＵ９１は、上述した実装制御ルーチンのＳ３１０で設定されるヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）が存在するかを判定する（Ｓ４７０）。実装ヘッド４０が交換されて最初に単吸着動作を実行する場合、ヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）は、未だ設定されていない。ＣＰＵ９１は、ヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）が存在しないと判定すると、Ｓ４９０に進む。一方、ＣＰＵ９１は、ヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）が存在すると判定すると、現在の目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）にヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）を加えることにより目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）を補正して（Ｓ４３０）、Ｓ４９０に進む。なお、目標ヘッド位置の補正は、現在の目標ヘッド位置にヘッド移動補正値の一部（当該ヘッド移動補正値に値０よりも大きく値１よりも小さい係数を乗じたもの）を加えることによって行なわれてもよい。次に、ＣＰＵ９１は、実装ヘッド４０が目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）に来るようにＸＹロボット３０を制御する（Ｓ４９０）。そして、ＣＰＵ９１は、吸着対象ノズルが下降するよう第２Ｚ軸駆動装置７５を制御（Ｚ２ホルダ下降）すると共に当該吸着対象ノズルの吸着口に負圧が供給されるよう第２弁駆動装置４６を制御（Ｚ２バルブ開）して（Ｓ５００）、単吸着処理ルーチンを終了する。
　次に、同時吸着処理ルーチンについて説明する。同時吸着処理ルーチンでは、ＣＰＵ９１は、まず、Ｚ１，Ｚ２でそれぞれ同時に下降される２つの吸着対象ノズルに吸着されるべき２つの吸着対象部品の目標送り量Ｆｚ１，Ｆｚ２を補正する（Ｓ５５０）。目標送り量Ｆｚ１の補正は、現在の目標送り量Ｆｚ１に、実装制御ルーチンのＳ３００で設定したＹ軸方向のヘッド移動補正値ΔＹｈｚ１を加えることにより行なわれる。また、目標送り量Ｆｚ２の補正は、現在の目標送り量Ｆｚ２に、実装制御ルーチンのＳ３１０で設定したＹ軸方向のヘッド移動補正値ΔＹｈｚ２を加えることにより行なわれる。なお、目標送り量の補正は、現在の目標送り量にＹ軸方向のヘッド移動補正値の一部（当該ヘッド移動補正値に値０よりも大きく値１よりも小さい係数を乗じたもの）を加えることによって行なわれてもよい。続いて、ＣＰＵ９１は、補正した目標送り量Ｆｚ１，Ｆｚ２でそれぞれの吸着対象部品が供給されるよう対応するテープフィーダ２３に制御信号を出力する（Ｓ５６０）。次に、ＣＰＵ９１は、Ｘ軸方向の目標ヘッド位置Ｘｈを補正する（Ｓ５７０）。Ｘ軸方向の目標ヘッド位置Ｘｈの補正は、現在のＸ軸方向の目標ヘッド位置Ｘｈに、実装制御ルーチンのＳ３００で設定したＸ軸方向のヘッド移動補正値ΔＸｈｚ１とＳ３１０で設定したＸ軸方向のヘッド移動補正値ΔＸｈｚ２との和を値２で除したものを加えることにより行なわれる。なお、Ｘ軸方向の目標ヘッド位置の補正は、現在のＸ軸方向の目標ヘッド位置にＸ軸方向のヘッド移動補正値ΔＸｈｚ１，ΔＺｈｚ２の和を値２で除した計算値の一部（当該計算値に値０よりも大きく値１よりも小さい係数を乗じたもの）を加えることによって行なわれてもよい。なお、Ｙ軸方向の目標ヘッド位置Ｙｈは補正されない。続いて、ＣＰＵ９１は、実装ヘッド４０が目標ヘッド位置（Ｘｈ，Ｙｈ）に来るようにＸＹロボット３０を制御する（Ｓ５８０）。そして、ＣＰＵ９１は、Ｚ１にある吸着対象ノズルとＺ２にある吸着対象ノズルとが同時に下降するよう第１Ｚ軸駆動装置７０と第２Ｚ軸駆動装置７５とを制御すると共に２つの吸着対象ノズルの吸着口に負圧が供給されるよう第１弁駆動装置４５と第２弁駆動装置４６とを制御して（Ｓ５９０）、同時吸着処理ルーチンを終了する。
　ここで、Ｚ１，Ｚ２で２つの吸着対象ノズルを同時に下降させて２つの吸着対象部品を同時に吸着させる場合、２つの吸着対象ノズル間のピッチ（Ｘ軸方向のピッチ）が固定されているため、各部の公差などの影響により、２つの吸着対象ノズルは、２つの吸着対象部品の中心を狙って同時に吸着することができない。このため、部品実装機１０は、例えば、０．４ｍｍ×０．２ｍｍのチップ部品などのように、吸着する部品Ｐのサイズが小さくなるほど、同時吸着動作の実行が困難となる。これに対して、実施形態の部品実装機１０では、最初は単吸着動作を行ないつつ実装ヘッド４０のヘッド移動補正値（ΔＸｈｚ１，ΔＹｈｚ１）および（ΔＸｈｚ２，ΔＹｈｚ２）を学習し、吸着対象ノズルの吸着位置精度が安定すると、同時吸着動作に移行する。実施形態の部品実装機１０は、学習したヘッド移動補正値を用いて同時吸着動作を実行することにより、同時吸着動作においても吸着位置精度を十分に確保することができ、サイズの小さな部品Ｐの吸着に際しても吸着エラーの発生を抑制することができる。また、実施形態の部品実装機１０は、同時吸着動作において、Ｘ軸方向のヘッド移動補正値ΔＸｈｚ１，ΔＸｈｚ２を用いて実装ヘッド４０のＸ軸方向の目標ヘッド位置Ｘｈを補正し、Ｙ軸方向のヘッド移動補正値ΔＹｈｚ１，ΔＹｈｚ２を用いて２つの吸着対象部品を供給する２つのテープフィーダ２３の目標送り量Ｆｚ１，Ｆｚ２を補正する。これにより、部品実装機１０は、同時吸着動作において、Ｙ軸方向の吸着ずれを、Ｚ１とＺ２とで個別に補正することができるため、Ｙ軸方向の吸着位置精度をより高めることができる。なお、部品Ｐのサイズが小さいほど同時吸着動作が困難になるのであるから、部品実装機１０は、吸着する部品Ｐのサイズが所定サイズ以上の場合には最初から同時吸着動作を実行してもよいことは勿論である。
　ここで、実施形態の構成要素と請求の範囲に記載の本開示の構成要素との対応関係を明らかにする。実施形態の部品供給部２２が本開示の部品供給部に相当し、テープフィーダ２３がパーツフィーダに相当し、部品実装機１０が部品実装機に相当し、吸着ノズル４４がノズルに相当し、実装ヘッド４０がヘッドに相当し、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５が昇降装置に相当し、ＸＹロボット３０が移動装置に相当し、制御装置９０が制御装置に相当する。また、実装ヘッド４０がロータリヘッドに相当し、ノズルホルダ４２がノズルホルダに相当し、第１Ｚ軸駆動装置７０が第１昇降装置に相当し、第２Ｚ軸駆動装置７５が第２昇降装置に相当する。
　以上説明した実施形態の部品実装機１０は、吸着動作として、一つのノズルを下降させると共に当該一つのノズルの吸着口に負圧を供給して一つのノズルに部品を吸着させる第１吸着動作（単吸着動作）と、複数のノズルを同時的に下降させると共に当該複数のノズルの吸着口に負圧を供給して複数のノズルに部品を同時的に吸着させる第２吸着動作（同時吸着動作）とを実行可能な制御装置９０を備える。制御装置９０は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は複数の吸着ノズル４４のそれぞれで第１吸着動作を実行すると共に第１吸着動作において複数の吸着ノズル４４のそれぞれで吸着された部品Ｐの吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は学習した補正値を用いて第２吸着動作を実行する。このように、本開示の部品実装機１０は、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返す場合、複数の吸着ノズル４４のそれぞれで第１吸着動作を実行して補正値を学習してから第２吸着動作へ移行する。これにより、本開示の部品実装機１０は、複数の吸着ノズル４４に複数の部品を同時的に吸着させる同時吸着動作を精度良く行なうことができる。
　また、実施形態の部品実装機１０は、第１吸着動作（単吸着動作）において吸着ノズル４４に吸着された部品Ｐの吸着位置のばらつき（吸着ずれ量の平均値および３σ）を測定し、そのばらつきが所定範囲内に収束した以降に第２吸着動作（同時吸着動作）を実行する。こうすれば、部品実装機１０は、第１吸着動作において学習した補正値に基づいて第２吸着動作を実行することで、第２吸着動作の精度をより高めることができ、例えば、０．４ｍｍ×０．２ｍｍのチップ部品などの極小部品の同時吸着を実現することができる。
　さらに、実施形態の部品実装機１０は、第２吸着動作（同時吸着動作）において、Ｘ軸方向のヘッド移動補正値ΔＸｈｚ１，ΔＸｈｚ２を用いて実装ヘッド４０のＸ軸方向の目標ヘッド位置Ｘｈを補正し、Ｙ軸方向のヘッド移動補正値ΔＹｈｚ１，ΔＹｈｚ２を用いて対応する２つのテープフィーダ２３の目標送り量Ｆｚ１，Ｆｚ２を補正する。こうすれば、部品実装機１０は、第２吸着動作において、Ｙ軸方向の吸着ずれを、Ｚ１とＺ２とで個別に補正することができるため、Ｙ軸方向の吸着位置精度をより高めることができる。
　また、実施形態の部品実装機１０は、実装ヘッド４０が交換されたり、同時吸着動作において吸着エラーが発生すると、同時吸着許可フラグＦに値０を設定して同時吸着動作を禁止する。これにより、吸着位置精度が低下している状況下において同時吸着動作が実行されるのを回避し、吸着エラーの頻発を抑制することができる。
　なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
　例えば、上述した実施形態では、部品実装機１０は、ヘッド本体４１に対して複数のノズルホルダ４２が周方向に配列されたロータリ型の実装ヘッド４０を備えるものとした。しかし、部品実装機１０は、パーツフィーダ（テープフィーダ２３）の配列方向に沿って当該パーツフィーダと同ピッチで配列され且つそれぞれ独立して昇降可能なノズルホルダ（吸着ノズル）を有する並列型の実装ヘッドを備えるものとしてもよい。
　上述した実施形態では、実装ヘッド４０は、所定位置にある２つのノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）をそれぞれ個別に昇降させる２つのＺ軸駆動装置７０，７５を備えるものとした。しかし、実装ヘッド４０は、Ｚ軸駆動装置を３つ以上備えてもよく、３つ以上のＺ軸駆動装置により３つ以上の吸着ノズルを同時的に下降させ、各吸着ノズルに３つ以上の部品Ｐを同時的に吸着するものとしてもよい。
　上述した実施形態では、ＣＰＵ９１は、同時吸着動作において、Ｙ軸方向のヘッド移動補正値ΔＹｈｚ１，ΔＹｈｚ２を用いて２つの吸着対象部品を供給する２つのテープフィーダ２３の目標送り量Ｆｚ１，Ｆｚ２を補正した。また、ＣＰＵ９１は、Ｘ軸方向のヘッド移動補正値ΔＸｈｚ１，ΔＸｈｚ２を用いて実装ヘッド４０のＸ軸方向の目標ヘッド位置Ｘｈを補正し、実装ヘッド４０のＹ軸方向の目標ヘッド位置Ｙｈを補正しないものとした。しかし、ＣＰＵ９１は、目標送り量Ｆｚ１，Ｆｚ２の補正に代えて、Ｙ軸方向のヘッド移動補正値ΔＹｈｚ１，ΔＹｈｚ２を用いて実装ヘッド４０のＹ軸方向の目標ヘッド位置Ｙｈを補正してもよい。この場合、ＣＰＵ９１は、現在のＹ軸方向の目標ヘッド位置Ｙｈに、ヘッド移動補正値ΔＹｈｚ１とヘッド移動補正値ΔＹｈｚ２との和を値２で除したものを加えることにより、目標ヘッド位置Ｙｈを補正すればよい。
　上述した実施形態では、ＣＰＵ９１は、単吸着動作において吸着ノズル４４の吸着位置精度（吸着ずれ量の平均値および３σ）が所定範囲内に収束した以降に同時吸着動作に移行した。しかし、ＣＰＵ９１は、単吸着動作においてヘッド移動補正値の学習の進捗状況が所定程度まで達したとき（例えば、学習回数が所定回数に達したとき）に、同時吸着動作に移行してもよい。
　上述した実施形態では、ＣＰＵ９１は、実装ヘッド４０が交換された場合と、同時吸着動作において吸着エラーが発生した場合とに同時吸着許可フラグＦに値０を設定して同時吸着動作を禁止するものとした。しかし、これに限定されるものではなく、ＣＰＵ９１は、テープフィーダ２３が交換された場合に同時吸着許可フラグＦに値０を設定してもよい。
　上述した実施形態では、ＸＹロボット３０は、実装ヘッド４０をＸＹ軸方向に移動させるものとしたが、基板ＢをＸＹ軸方向に移動させてもよい。
　上述した実施形態では、部品実装機１０は、各軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｒ軸、Ｑ軸およびＺ軸）の位置を検出する位置センサ３７，３９，５５，６５，７３，７８を備えたが、「位置センサ」には、エンコーダやリニアスケールが含まれてもよい。
　本発明は、部品実装機の製造産業などに利用可能である。
　１　部品実装システム、１０　部品実装機、１２、筐体、２２　部品供給部、２３　テープフィーダ、２４　基板搬送装置、２６　パーツカメラ、２８　マークカメラ、２９　ノズルステーション、３０　ＸＹロボット、３１　Ｘ軸ガイドレール、３２　Ｘ軸スライダ、３３　Ｙ軸ガイドレール、３４　Ｙ軸スライダ、３６　Ｘ軸モータ、３７　Ｘ軸位置センサ、３８　Ｙ軸モータ、３９　Ｙ軸位置センサ、４０　実装ヘッド、４１　ヘッド本体、４１ａ　放射状流路、４２　ノズルホルダ、４２ａ　ホルダ流路、４４　吸着ノズル、４５　第１弁駆動装置、４６　第２弁駆動装置、４７，４８　側面カメラ、５０　Ｒ軸駆動装置、５１　Ｒ軸モータ、５２　Ｒ軸、５３　伝達ギヤ、５５　Ｒ軸位置センサ、６０　Ｑ軸駆動装置、６１　Ｑ軸モータ、６２　円筒ギヤ、６２ａ　外歯、６４　Ｑ軸ギヤ、６５　Ｑ軸位置センサ、７０　第１Ｚ軸駆動装置、７１，７６　Ｚ軸モータ、７２，７７　Ｚ軸スライダ、７３，７８　Ｚ軸位置センサ、７５　第２Ｚ軸駆動装置、８０　圧力供給装置、８１　負圧源、８２　正圧源、８３　負圧流路、８４　正圧流路、８５　大気圧流路、８６　切替弁、８７　弁操作レバー、８８　圧力センサ、９０　制御装置、９１　ＣＰＵ、９２　ＲＯＭ　９３　ＨＤＤ、９４　ＲＡＭ、９５　入出力インタフェース、９６　バス、１００　管理装置、１０１　ＣＰＵ、１０２　ＲＯＭ、１０３　ＨＤＤ、１０４　ＲＡＭ、１０５　入出力インタフェース、１０７　入力デバイス、１０８　ディスプレイ、Ｐ　部品、Ｓ　基板。

Claims (7)

  1. 　部品供給部に配列された複数のパーツフィーダから供給される部品を吸着して基板に実装する部品実装機であって、
    　前記部品を吸着可能なノズルを複数有するヘッドと、
    　複数の前記ノズルを個別に昇降可能な昇降装置と、
    　前記ノズルの昇降方向に直交する面に沿って前記基板に対して前記ヘッドを相対移動させる移動装置と、
    　前記ノズルに部品を吸着させる吸着動作として、前記部品供給部の上方で一つの前記ノズルが下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該一つのノズルに前記部品を吸着させる第１吸着動作と、前記部品供給部の上方で複数の前記ノズルが同時的に下降するよう前記移動装置と前記昇降装置とを制御して該複数のノズルに複数の部品を同時的に吸着させる第２吸着動作とを実行可能であり、同一種類の部品に対する吸着動作と実装動作とを繰り返し実行する場合、最初は前記複数のノズルのそれぞれで前記第１吸着動作を実行すると共に前記第１吸着動作において前記複数のノズルのそれぞれで吸着された部品の吸着位置のずれを補正するための補正値を学習し、所定条件が成立した以降は前記学習した補正値を用いて前記第２吸着動作を実行する制御装置と、
    　を備える部品実装機。
  2. 　請求項１に記載の部品実装機であって、
    　前記制御装置は、前記第１吸着動作において前記ノズルに吸着された部品の吸着位置の精度を測定し、前記所定条件として前記吸着位置の精度が所定範囲内になった以降に前記第２吸着動作を実行する、
    　部品実装機。
  3. 　請求項１または２に記載の部品実装機であって、
    　前記制御装置は、前記所定条件として前記学習の進行状況が所定程度に達した以降に前記第２吸着動作を実行する、
    　部品実装機。
  4. 　請求項１ないし３いずれか１項に記載の部品実装機であって、
    　前記制御装置は、前記第２吸着動作において、前記学習した補正値に基づいて前記ヘッドの移動位置を補正する、
    　部品実装機。
  5. 　請求項１ないし３いずれか１項に記載の部品実装機であって、
    　前記パーツフィーダは、同一種類の複数の部品を収容したテープを所定方向に供給するテープフィーダであり、
    　前記部品供給部には、複数の前記ノズルで同時的に吸着される複数の部品を供給するよう前記所定方向と直交する方向に沿って複数の前記テープフィーダが配列され、
    　前記制御装置は、前記第２吸着動作において、前記学習した補正値に基づいて、前記複数の前記テープフィーダにおける前記テープの供給量をそれぞれ補正すると共に前記テープの供給方向と直交する方向の前記ヘッドの移動位置を補正する、
    　部品実装機。
  6. 　請求項１ないし５いずれか１項に記載の部品実装機であって、
    　前記制御装置は、前記パーツフィーダの交換、前記ヘッドの交換または吸着エラーの発生に基づいて前記第２吸着動作の実行を終了する、
    　部品実装機。
  7. 　請求項１ないし６いずれか１項に記載の部品実装機であって、
    　前記ヘッドは、前記ノズルを保持するノズルホルダが周方向に配列されると共に該ノズルホルダを昇降可能に支持する回転体を有し、該回転体の回転により前記複数のノズルホルダを周方向に旋回させるロータリヘッドであり、
    　前記昇降装置は、前記複数のノズルホルダのうち第１の位置にあるノズルホルダを昇降させる第１の昇降装置と、前記複数のノズルホルダのうち前記第１の位置とは異なる第２の位置にあるノズルホルダを昇降させる第２の昇降装置と、を有する、
    　部品実装機。
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