JPWO2009145082A1 - 搬送装置、位置教示方法及びセンサ治具 - Google Patents

搬送装置、位置教示方法及びセンサ治具 Download PDF

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Abstract

通常の搬送動作を行うことにより、搬送位置の教示情報を取得することが可能な、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する搬送装置、位置教示方法及びセンサ治具を提供する。センサ治具（３０）に、透過光式センサ（３２）を、光軸（４１）と光軸（４２）の投影面への投影線分が互いに交差し、かつ、光軸（４１）の投影線分と光軸（４２）の投影線分が共にＸ方向及びＹ方向とならないように設ける。位置教示時には、当該センサ治具（３０）を、ウエハ搬送部（２４）に把持させて設置し、目標部材（５１、５２）を検出させる。

Description

本発明は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持し、予め設定された搬送軌跡上を搬送する搬送装置、その搬送装置に搬送軌跡上の所定の目標位置を教示する位置教示方法、及び教示するための情報を得るためのセンサ治具に関する。特に、半導体ウエハ、液晶パネル、有機ＥＬパネル、太陽電池用パネル等の薄物状物を被搬送物として搬送するための搬送装置、位置教示方法及びセンサ治具に関する。
従来、半導体ウエハ、液晶パネル、有機ＥＬパネル、太陽電池用パネル等の薄物状物の搬送装置に搬送位置を教示する作業は、作業者が被搬送物（搬送対象物）もしくは教示用の治具を搬送先（搬送ポート）に設置し、搬送装置を搬送位置まで誘導して、目視にて教示位置を確認していた。そのため、時間のかかる作業であり、作業者の熟練度により、精度に大きな差を生じやすいものであった。また、搬送装置によっては、作業者が目視確認するのが困難なものも多く、さらには搬送装置の可動範囲内に入っての作業もあり、危険な場合もあった。そこで、様々なセンサや教示用の治具を使用して、搬送対象物を検出して、自動的に搬送装置に搬送位置を教示するオートティーチングの方法が提案されている。
例えば、特許文献１では、半導体ウエハを設置する位置に教示用治具を設置し、ロボット（搬送装置）のハンドの先端に設けた透過式センサで教示用治具を検出することにより、半導体ウエハの位置を教示する方法が提案されている。また、特許文献２では、搬送装置のアームに取り付けられた光センサヘッドにより、搬送位置に設けられた被検出物を非接触で検出し、検出した被検出物の位置情報から搬送位置の教示情報を取得するシステムが提案されている。
ＷＯ２００３／０２２５３４号公報 特許第３３０６３９８号公報
しかしながら、従来の方法では、搬送装置のアームの伸縮方向（Ｙ方向）及びその伸縮方向に概ね直行する方向（Ｘ方向）が光軸となる透過光式センサを利用しているため、教示情報を取得するには通常の搬送動作とは異なる回避動作をしていた。例えば、Ｘ方向及びＹ方向の位置情報を、それぞれ別の異なる動作により取得して搬送位置の教示情報を算出するために、Ｘ方向及びＹ方向への直線移動をする回避動作をしなければならなかった。そのため、実際の搬送動作を行うときに、回避動作との違いによって生じた搬送装置の各軸のガタ（以下、バックラッシュと呼ぶ）を補正しなければならないという問題があった。
また、オートティーチングではあるが、全ての動作を自動で実行することはなく、作業者の目視による動作可否の確認も必要であった。
本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、通常の搬送動作を行うことにより、搬送位置の教示情報を取得することが可能な、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する搬送装置、位置教示方法及びセンサ治具を提供する。
上述した従来の問題点を解決すべく下記の発明を提供する。
本発明の第１の態様にかかる搬送装置は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサと、前記光軸を遮光することが可能な１つ以上の目標部材と、前記目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を前記透過光式センサから取得し、前記位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出する教示情報算出手段と、前記教示情報算出手段によって算出された前記目標位置についての前記教示情報に基づいて、前記被搬送物の搬送位置を制御する制御手段と、を備え、前記透過光式センサは、前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に前記目標部材が設置されていることを特徴とする。
これにより、搬送装置の通常の搬送動作によって、即ち、教示作業のための回避動作をすることなく、搬送位置の教示情報を取得することができる。例えば、アームの伸縮により、Ｘ方向及びＹ方向の位置情報を取得して、搬送位置の教示情報を算出することができる。したがって、搬送装置の各軸のバックラッシュを考慮せずに教示情報を算出することができる。即ち、教示情報の算出を容易な方法で行うことができるとともに、算出時間を短縮することができる。
ここで、アームとは、複数の部材をその先端部分と基端部分とを連結して長尺一体化し、駆動源により伸縮運動可能としたものである。アームの先端部は搬送物搬送部であって、搬送物をアームの先端部上の一定位置に位置決めする公知のグリップ機構を備えている。
また、目標部材は、搬送部の先端部または目標位置の近傍部に既に設置されている部材であっても、搬送部の先端部または目標位置の近傍部に設置した遮光治具に取り付けられている部材であっても良いが、円柱（ピン）状のものが最も好ましい。
また、透過光式センサは、搬送部の先端部または目標位置の近傍部に設置したセンサ治具に取り付けられているセンサである。
また、鉛直方向をＺ方向とし、鉛直方向に対して直角な平面上の設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向とする。したがって、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は、設計上の方向を示す。また、Ｒ方向を、搬送部（アームの先端部）の直進方向としている。また、搬送部の回転中心軸をθ軸という。
本発明の第２の態様にかかる搬送装置は、本発明の第１の態様にかかる搬送装置の前記目標部材が２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする。
これにより、精度のより高い教示情報を取得することができる。即ち、少なくとも２つの目標部材を通る方向を所定の既知の方向に合わせることにより、正確な搬送位置についての教示情報を取得することができる。
本発明の第３の態様にかかる搬送装置は、本発明の第２の態様にかかる搬送装置において、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする。
これにより、より簡単な計算によって精度のより高い教示情報を取得することができる。
本発明の第４の態様にかかる搬送装置は、本発明の第１から３のいずれか１つの態様にかかる搬送装置において、前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、前記教示情報算出手段が、Ｚ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に移動させて、当該目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出するＺ軸補正情報算出手段と、１つの前記目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するθ軸補正情報算出部と、前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出するＸ軸補正情報算出手段と、前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出するＹ軸補正情報算出部と、を備えていることを特徴とする。
搬送装置は、Ｚ軸補正情報算出手段によって搬送位置に対するＺ軸方向の位置補正値を算出し、θ軸補正情報算出部によって搬送部の直進方向（Ｒ方向）とＹ方向を合わせるような（以下、θ軸補正と呼ぶ）、即ち、搬送部の直進方向がＹ方向となるような補正値を算出し、Ｘ軸補正情報算出手段によって搬送位置に対するＸ軸方向の位置補正値を算出し、Ｙ軸補正情報算出部によって搬送位置に対するＹ軸方向の位置補正値を算出する。
これにより、搬送位置に対する搬送装置のＺ軸方向位置補正、θ軸補正、Ｘ軸方向位置補正、及びＹ方向位置補正をするための教示情報を、通常の搬送動作を繰り返すことにより算出することができる。
本発明の第５の態様にかかる搬送装置は、本発明の第４の態様にかかる搬送装置において、２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、前記教示情報算出手段が、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するＳ軸補正情報算出手段を備えていることを特徴とする。
搬送装置は、Ｓ軸補正情報算出手段によって、例えば、設置上のＹ方向であるとした目標位置を通る中心軸（Ｓ軸）と搬送部の直進方向（Ｒ方向）を合わせるような補正値を算出する。即ち、θ軸補正情報算出部によってＲ方向はＹ方向に一致するように補正されているので、Ｓ軸補正情報算出手段によってＳ軸とＹ方向が一致するような補正を算出する。または、例えば、設置上のＸ方向であるとした目標位置を通る中心軸（Ｓ軸）と設計上のＸ方向を合わせるような補正値を算出する。即ち、Ｓ軸補正情報算出手段によってＳ軸とＸ方向が一致するような補正を算出する。
これにより、搬送位置のＹ方向の中心軸補正をするための教示情報、または、搬送位置のＸ方向の中心軸補正をするための教示情報を、通常の搬送動作を繰り返すことにより算出することができる。
本発明の第６の態様にかかる搬送装置は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサと、前記光軸を遮光することが可能な１つ以上の目標部材と、前記光軸を遮ることが可能な前記目標部材に対する相対位置が既知である１つ以上の仮補正目標部材と、前記目標部材及び前記仮補正目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を前記透過光式センサから取得し、前記位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出する教示情報算出手段と、前記教示情報算出手段によって算出された前記目標位置についての前記教示情報に基づいて、前記被搬送物の搬送位置を制御する制御手段と、を備え、前記透過光式センサは前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に前記目標部材及び前記仮補正目標部材が設置され、かつ、前記透過光式センサと前記目標部材との間に前記仮補正目標部材が設置されていることを特徴とする。
これにより、搬送装置の通常の搬送動作によって、即ち、教示作業のための回避動作をすることなく、搬送位置の教示情報を取得することができる。例えば、アームの伸縮により、Ｘ方向及びＹ方向の位置情報を取得して、搬送位置の教示情報を算出することができる。したがって、搬送装置の各軸のバックラッシュを考慮せずに教示情報を算出することができる。即ち、教示情報の算出を容易な方法で行うことができるとともに、算出時間を短縮することができる。
また、目標位置の周囲の空間領域が狭く、目標位置についての教示情報を取得するために搬送装置を動作させたとき、目標位置の周りの機器等の部材と搬送部との衝突が起こる可能性があるような場合、例えば、目標位置に目標部材を設置し、目標位置の周りの機器等の部材と搬送部との接触が起こらない目標位置と搬送部の間に設置することにより、目標位置の周りの機器等の部材と搬送部との接触とを防止しながら、目標位置についての教示情報を取得することができる。
本発明の第７の態様にかかる搬送装置は、本発明の第６の態様にかかる搬送装置の前記目標部材が２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする。
これにより、精度のより高い教示情報を取得することができる。即ち、少なくとも２つの目標部材を通る方向を所定の既知の方向に合わせることにより、正確な搬送位置についての教示情報を取得することができる。
本発明の第８の態様にかかる搬送装置は、本発明の第７の態様にかかる搬送装置において、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする。
これにより、より簡単な計算によって精度のより高い教示情報を取得することができる。
本発明の第９の態様にかかる搬送装置は、本発明の第６から第８のいずれか１つの態様にかかる搬送装置において、前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、前記教示情報算出手段が、Ｚ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に移動させて、当該仮補正目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出するＺ軸補正情報算出手段と、前記仮補正目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するθ軸補正情報算出部と、前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する１次Ｘ方軸補正情報算出手段と、前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出するＹ軸補正情報算出部と、を備えていることを特徴とする。
搬送装置は、Ｚ軸補正情報算出手段によって搬送位置に対するＺ軸方向の位置補正値を算出し、θ軸補正情報算出部によって搬送部の直進方向（Ｒ方向）とＹ方向を合わせるような（以下、θ軸補正と呼ぶ）、即ち、搬送部の直進方向がＹ方向となるような補正値を算出し、１次Ｘ軸補正情報算出手段によって搬送位置に対するＸ軸方向の位置補正値を算出し、Ｙ軸補正情報算出部によって搬送位置に対するＹ軸方向の位置補正値を算出する。
これにより、搬送位置に対する搬送装置のＺ軸方向位置補正、θ軸補正、Ｘ軸方向位置補正、及びＹ軸方向位置補正をするための教示情報を、通常の搬送動作を繰り返すことにより算出することができる。
本発明の第１０の態様にかかる搬送装置は、本発明の第９の態様にかかる搬送装置において、２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、前記教示情報算出手段が、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するＳ軸補正情報算出手段と、前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する２次Ｘ軸補正情報算出手段と、を備えていることを特徴とする。
搬送装置は、Ｓ軸補正情報算出手段によって、例えば、設置上のＹ方向であるとした目標位置を通る中心軸（Ｓ軸）と搬送部の直進方向（Ｒ方向）を合わせるような補正値を算出する。即ち、θ軸補正情報算出部によってＲ方向はＹ方向に一致するように補正されているので、Ｓ軸補正情報算出手段によってＳ軸とＹ方向が一致するような補正を算出する。または、例えば、設置上のＸ方向であるとした目標位置を通る中心軸（Ｓ軸）と設計上のＸ方向を合わせるような補正値を算出する。即ち、Ｓ軸補正情報算出手段によってＳ軸とＸ方向が一致するような補正を算出する。
また、２次Ｘ軸補正情報算出手段によって搬送位置に対するＸ軸方向の正確な位置補正値を算出する。
これにより、搬送位置のＹ方向の中心軸補正または搬送位置のＸ方向の中心軸補正、及びＸ軸方向位置補正をするための教示情報を、通常の搬送動作を繰り返すことにより算出することができる。
本発明の第１の態様にかかる位置教示方法は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置に、前記搬送軌跡上の所定の目標位置を教示する位置教示方法であって、鉛直方向をＺ方向とし、設計上の直線移動方向をＹ方向とし、前記平面上にあるＹ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、（ａ）前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサを、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に設置された１つ以上の目標部材に対して相対的に移動させることにより、前記目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を取得し、取得した前記位置情報に基づいて、前記目標位置についての教示情報を算出する工程を備えていることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第１の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第２の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第１の態様にかかる位置教示方法の前記目標部材が、２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第２の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第３の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第２の態様にかかる位置教示方法において、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第３の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第４の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第１から第３のいずれか１つの態様にかかる位置教示方法において、前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、前記工程（ａ）が、（ｂ）Ｚ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に移動させて、当該目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出する工程と、（ｃ）１つの前記目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、（ｄ）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、（ｅ）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出す工程と、の４つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第４の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第５の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第１から第４のいずれか１つの態様にかかる位置教示方法において、２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、前記工程（ａ）が、（ｆ）前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、（ｇ）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、を備えていることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第５の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第６の態様にかかる位置教示方法は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置に、前記搬送軌跡上の所定の目標位置を教示する位置教示方法であって、鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、（ａ１）前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサを、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に設置された１つ以上の目標部材、及び、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部で前記透過光式センサと前記目標部材との間に設置された前記目標部材に対する相対位置が既知である１つ以上の仮補正目標部材に対して相対的に移動させることにより、前記目標部材及び前記仮補正目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を取得し、取得した前記位置情報に基づいて、前記目標位置についての教示情報を算出する工程を備えていることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第６の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第７の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第６の態様にかかる位置教示方法の前記目標部材が、２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第７の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第８の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第７の態様にかかる位置教示方法において、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第８の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第９の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第６から第８のいずれか１つの態様にかかる位置教示方法において、前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、前記工程（ａ１）が、（ｂ１）Ｚ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に移動させて、当該目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出する工程と、（ｃ１）前記仮補正目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、（ｄ１）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、（ｅ１）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出す工程と、の４つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第９の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第１０の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第６から第９のいずれか１つの態様にかかる位置教示方法において、２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、前記工程（ａ１）が、（ｆ１）前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、（ｇ１）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、の２つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第１０の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第１の態様にかかるセンサ治具は、目標部材との相対的な平行移動により、前記目標部材を検出するセンサ治具であって、透過光式センサの投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸が同一投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記投影面上に投影した前記目標部材への相対的な移動方向及び前記移動方向に対して直角な方向に対して平行でないように前記投光部及び前記受光部を配置したことを特徴とする。
被搬送物を予め設定された搬送軌跡上を搬送する搬送装置の搬送部の先端部、または、前記搬送軌跡上の所定の目標位置の近傍部に設置してすることにより、上述した本発明の第１から第１０のいずれか１つの態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明の第１１の態様にかかる搬送装置は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、本発明の第１の態様にかかるセンサ治具を備え、前記センサ治具の前記透過光式センサにより取得した、前記目標部材が前記光軸を投光から遮光したときまたは遮光から投光したときの位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出することを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第１から第１０のいずれか１つの態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
本発明によれば、搬送装置の通常の搬送動作によって、即ち、教示作業のための回避動作をすることなく、搬送位置の教示情報を取得することができる。例えば、アームの伸縮により、Ｘ方向及びＹ方向の位置情報を取得して、搬送位置の教示情報を算出することができる。したがって、搬送装置の各軸のバックラッシュを考慮せずに教示情報を算出することができる。即ち、教示情報の算出が容易に行うことができるとともに、算出時間が短縮することができる。
また、搬送位置の周囲の空間領域が狭く、搬送位置についての教示情報を取得するために搬送装置を動作させたとき、搬送位置の周りの機器等の部材と搬送部との衝突が起こる可能性があるような場合、例えば、目標位置に目標部材を設置し、目標位置の周りの機器等の部材と搬送部との接触が起こらない目標位置と搬送部の間に設置することにより、目標位置の周りの機器等の部材と搬送部との接触とを防止しながら、目標位置についての教示情報を取得することができる。
本発明の一実施形態に係る搬送装置を説明するための図である。 搬送ロボット１２を説明するための図である。 センサ治具の一例を示す図である。 センサ治具の取り付け状態を説明するための図である。 遮光治具の一例を示す図である。 ウエハ搬送装置１０におけるオートティーチングの制御機構の一例を示すブロック図である。 オートティーチングの概略処理手順の一例を示すフローチャート図である。 別の遮光治具の一例を示す図である。 Ｚ軸補正処理（Ｓ１０１）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。 搬送ロボット１２の初期位置の一例を説明するための図である。 θ軸補正処理（Ｓ１０２）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。 搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。 θ軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。 Ｘ軸補正処理（Ｓ１０３）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。 搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。 Ｘ軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。 Ｓ軸補正処理（Ｓ１０４）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。 搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。 Ｓ軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。 ２次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０５）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。 Ｙ軸補正処理（Ｓ１０６）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。 搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。 別のセンサ治具の一例を示す図である。 さらに別のセンサ治具の一例を示す図である。
１０ ウエハ搬送装置
１５０ ウエハ収納容器
１２ 搬送ロボット（本体部）
１１ ロードポート
１３ Ｘ軸テーブル
２１ 支柱部
２２ 第１アーム
２３ 第２アーム
２４ ウエハ搬送部２４
２５ 旋回部
３０ センサ治具
３２ 透過光式センサ
４１、４２ 光軸
５０ 遮光治具
５１、５２ 遮光ピン
６０ 教示情報算出部
６１ Ｚ軸補正情報算出部
６２ θ軸補正情報算出部
６３ Ｘ軸補正情報算出部
６４ Ｙ軸補正情報算出部
６５ Ｓ軸補正情報算出部
７０ 制御部
７５ 駆動部
７６ ワイヤレス信号発信機
７７ バッテリー
この発明の一実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施態様は説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと同等なもので置換した実施態様を採用することが可能であるが、これらの実施態様も本発明の範囲に含まれる。
予め設定された搬送軌跡に沿って、被搬送物を搬送する搬送装置に該搬送軌跡上の所定の搬送位置（目標位置）を自動的に教示させる（オートティーチング）を実施する搬送装置について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送装置を説明するための図であり、図１（ａ）は、概略上面図であり、図１（ｂ）は概略側面図である。以下、また、搬送装置として半導体ウエハを収納したウエハ収納容器（ＦＯＵＰ）とウエハ処理装置との間の半導体ウエハの搬送を実行するウエハ搬送装置（ＥＦＥＭ：Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）を例に挙げて説明する。
図１に示すように、ウエハ搬送装置１０は、ウエハ収納容器１５０とウエハ処理装置１００との間の半導体ウエハの搬送を実行する。ウエハ搬送装置１０は、半導体ウエハを把持して本体部（搬送ロボット）１２と、ロードポート１１と、Ｘ軸テーブル１３を備えている。ロードポート１１は、ウエハ収納容器１５０を搭載し、ウエハ収納容器１５０のドア（図示せず）を開けて、搬送ロボット１２がウエハ収納容器１５０の中の半導体ウエハを搬送可能な位置まで移動する装置である。また、Ｘ軸テーブル１３は、搬送ロボット１２を設置することによって、鉛直方向（Ｚ方向）に対して直角な図中のＸ軸方向（Ｘ方向）に搬送ロボット１２を平行移動させる装置である。
尚、Ｚ方向及びＸ方向に対して直角な方向をＹ方向としている。また、ここでは、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向をウエハ搬送装置１０の設計上の方向とし、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向を、ウエハ搬送装置１０の設置上のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に対応する方向とする。
次に、図２を参照して、搬送ロボット１２について説明する。図２は、搬送ロボット１２を説明するための図であり、図２（ａ）は、搬送ロボット１２の概略側面図であり、図２（ｂ）は搬送ロボット１２の概略上面図である。
図２に示すように、搬送ロボット１２は、Ｚ軸方向に上下移動が可能な円筒状の支柱部２１と、支柱部２１の中心軸２６を中心にＺ軸方向に対して直角な平面（旋回面）上を旋回する旋回部２５を備えている。旋回部２５は、第１アーム２２と、第２アーム２３と、ウエハ搬送部２４とを備えている。第１アーム２２は、支柱部２１の中心軸２６を中心に旋回面上を旋回可能に支柱部２１に取り付けられている。また、第２アーム２３は、旋回面と平行な平面上を旋回自在に、第１アーム２２の先端に第１アーム２２と一定の速度比をもって取り付けられている。また、ウエハ搬送部２４は、旋回面と平行な平面上を旋回自在に、第２アーム２３の先端に第２アーム２３と一定の速度比をもって取り付けられている。
旋回部２５は、第１アーム２２の中心軸２６を中心とした旋回運動が、一定の速度比をもって第２アーム２３及びウエハ搬送部２４へと伝達され、ウエハ搬送部２４の中心軸２６を通り中心軸２６に対して直角な方向（Ｒ方向）への伸縮運動に変化する構成となっている。尚、ウエハ搬送装置１０は、搬送ロボット１２のＲ方向がＹ方向となるようにＸ軸テーブル１３に取り付けられている。従って、Ｒ方向がＹ軸方向となる。
したがって、図１及び図２に示すように、搬送ロボット１２は、旋回部２５を中心軸２６の回りに旋回させる移動（旋回移動）、旋回部２５をＹ軸方向へ伸縮させるＹ軸移動（直線移動）及び旋回部２５をＺ軸方向へ上下移動させるＺ軸移動（鉛直方向の上下移動）の３自由度を有している。また、Ｘ軸テーブル１３は、搬送ロボット１２をＸ軸方向へ移動させるＸ軸移動（平行移動）の１自由度を有していることから、ウエハ搬送装置１０は４自由度を有している。
次に、図３、図４及び図５を参照して、ウエハ搬送装置１０に取り付けて、搬送位置（目標位置）についての教示情報を取得するためのセンサ治具及び遮光治具を説明する。
図３は、センサ治具の一例を示す図であり、図３（ａ）は、センサ治具の概略斜視図であり、図３（ｂ）は、センサ治具の概略上面図である。また、図４は、センサ治具の取り付け状態を説明するための図であり、図４（ａ）は、センサ治具の取り付け状態を示す概略斜視図であり、図４（ｂ）は、センサ治具の取り付け状態を示す概略上面図である。また、図５は、遮光治具の一例を示す図であり、図５（ａ）は、遮光治具の概略斜視図であり、図５（ｂ）は、遮光ピンがＹ方向に並んでいる場合の遮光治具の概略上面図であり、図５（ｃ）は、遮光ピンがＸ方向に並んでいる場合の遮光治具の概略上面図であり、図５（ｄ）は、遮光ピンがＹ方向と角度δをなす線上に並んでいる場合の遮光治具の概略上面図である。
図３に示すように、センサ治具３０には、透過光式センサ３２が設置されている。また、透過光式センサ３２は投光部３２ａ及び３２ｂと受光部３２ｃ及び３２ｄを備え、図示していない透過光式センサ３２の制御部からコネクタ３４を介して伝達された電気信号がアンプ３３によって光信号に変換されて投光部３２ａ及び３２ｂへ導かれる。また、受光部３２ｃ及び３２ｄからの光信号はアンプ３３によって電気信号に変換され、コネクタ３４を介して透過光式センサ３２の制御部へ伝達される。透過光式センサ３２の制御部は、後述の図６に示す教示情報算出部６０に接続されており、上記の各電気信号が教示情報算出部６０との間で伝達される。
また、図４に示すように、センサ治具３０は、透過光式センサ３２がウエハ搬送部２４の先端部となるようにウエハ搬送部２４に把持されて設置されている。ウエハ搬送部２４は、２つの最先端部にウエア止め２６ａ、２６ｂが固定され、基端側にＹ方向に前後移動可能なグリップ具２７ａ、２７ｂが設けられており、グリップ具２７ａ、２７ｂが載置された半導体ウエハを押して常に位置決めできる機構となっている。即ち、半導体ウエハの替わりにセンサ冶具３０、又は遮光冶具５０を載置させて、ウエハ搬送部２４上で位置決めする。
また、センサ治具３０は、ウエハ搬送部２４のＸ方向の幅と概ね同じＸ方向の幅であり、ウエハ搬送部２４の先端の開口部と概ね同じ開口部３５を形成している。また、センサ治具３０は、ウエハ搬送部２４が半導体ウエハと同様にセンサ治具３０を把持できる形状になっている。
また、透過光式センサ３２の投光部３２ａ及び３２ｂと受光部３２ｃ及び３２ｄは、投光部３２ａから受光部３２ｃへ向かう光軸４１と、投光部３２ｂから受光部３２ｄへ向かう光軸４２のＸ−Ｙ平面に平行な面（以下、投影面と呼ぶ）への投影線分が互いに交差し、かつ、光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分が共にＸ軸方向及びＹ軸方向とならないように、センサ治具３０に配置されている。また、ウエハ搬送装置１０の中心軸２６を通るＹ軸方向の直線（Ｙ軸）上の投影面への光軸４１と光軸４２の投影線分は、Ｙ軸上で交差し、このＹ軸に対して光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分は互いに線対称となるように、センサ治具３０に投光部３２ａ及び３２ｂと受光部３２ｃ及び３２ｄ配置されている。ここでは、透過光式センサ３２は、光軸４１と光軸４２が、Ｙ軸上で交差し、このＹ軸に対して光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分は互いに線対称となる場合を説明する。
尚、ここでは、投影面をＸ−Ｙ平面としているが、Ｘ−Ｚ平面であっても、Ｘ−Ｚ平面であっても良い。
また、上述したウエハ搬送部２４は、機械的にウエア止め２６ａ、２６ｂ、及びグリップ具２７ａ、２７ｂで、半導体ウエハを固定する手段であったが、半導体ウエハを吸着して固定する手段であっても、該ウエハ搬送部２４にピンや段差を設けることで固定する手段等の様々な手段であっても良い。即ち、ウエハ搬送部２４の対応する半導体ウエハの固定手段を利用して、導体ウエハの替わりにセンサ冶具３０、又は遮光冶具５０を載置させて、ウエハ搬送部２４上で位置決めする。
次に、遮光治具を説明する。図５（ａ）に示すように、遮光治具５０は、２つの円柱状の遮光ピン（目標部材）５１及び５２を備えている。例えば、搬送位置として、図１に示したロードポート１１が設定されている場合、遮光治具５０は、ロードポート１１に設置される。
したがって、ロードポート１１に設置できるように、遮光治具５０の裏面に、ウエハ収納容器１５０の裏面と同様な位置決め用の加工が施されている。尚、遮光ピン５１及び５２の遮光治具５０の基準位置に対する相対的な位置、及び、形状寸法は既知である。したがって、遮光ピン５１及び５２の中心を通る中心軸（Ｓ軸）の方向は既知である。即ち、図５（ｄ）に示すように、遮光治具５０を搬送位置（ロードポート１１）に配置したとき、遮光ピン５１及び５２の中心を通る中心軸（Ｓ軸）とＹ方向とのなす角度δが既知であり、遮光治具５０の基準位置に対する遮光ピン５１及び５２の位置及び遮光ピン５１及び５２の形状寸法が既知である。
尚、遮光治具５０は、例えば、図５（ｂ）に示すように、遮光治具５０を搬送位置（ロードポート１１）に配置したとき、遮光ピン５１及び５２の中心を通る中心軸（Ｓ軸）が、ウエハ搬送装置１０のＹ方向に平行となるように遮光ピン５１及び５２が配置されていたり、図５（ｃ）に示すように、Ｓ軸が、ウエハ搬送装置１０のＸ方向に平行となるように遮光ピン５１及び５２が配置されていたりした場合、より簡単な計算で補正処理を実行することができる。
そこで、以下では、遮光治具５０を搬送位置（ロードポート１１）に配置したとき、遮光治具５０は、遮光ピン５１及び５２の中心を通る中心軸（Ｓ軸）が、ウエハ搬送装置１０のＹ方向に概ね平行となるように配置される場合を例に挙げて説明する。
次に、図６を参照して、オートティーチングを実施するウエハ搬送装置１０の制御機構について説明する。図６は、ウエハ搬送装置１０におけるオートティーチングの制御機構の一例を示すブロック図である。センサ治具３０に設けられた透過光式センサ３２は、図示しない制御部を介して教示情報算出部６０に接続されている。透過光式センサ３２の制御部は、図３に示したアンプ３３への電源供給を行うとともに、アンプ３３によって変換された透過光式センサ３２の透過／遮光によるＯＮ／ＯＦＦ信号をアンプ３３から受信し、その受信信号を教示情報算出部６０に送信している。すなわち、透過光式センサ３２の制御部は、教示情報算出部６０と透過光式センサ３２との間の信号伝送の中継を行っており、ＣＣ−Ｌｉｎｋ（登録商標）やユニワイヤ（登録商標）に代表される伝送システムにおけるＩ／Ｏターミナルの役割を有している。
教示情報算出部６０と透過光式センサ３２との間の信号伝送の別の手段として、例えば図２４に示すように、アンプ３３によって変換された電気信号をブルートゥース等のワイヤレス信号に変換して発信するワイヤレス信号発信機７６と、アンプ３３及びワイヤレス信号発信機７６に電源供給を行うバッテリー７７とをセンサ治具３０上に搭載するように構成することもできる。この場合には、教示情報算出部６０に所定の受信機を接続し、ワイヤレス信号発信機７６から発信された信号を教示情報算出部６０で受信させる。このような構成とすることにより、図３に示したコネクタ３４及び透過光式センサ３２の制御部が不要となる。その結果、位置教示作業を開始する前に、教示情報算出部６０に接続された透過光式センサ３２の制御部にコネクタ３４を接続する手間を省くことができ、センサ治具３０をウエハ搬送部２４上に載置するだけで位置教示作業を開始することができる。
図６に示すように、教示情報算出部６０は、搬送位置についての教示情報を取得するための搬送動作情報を制御部７０に送信する。制御部７０は、受信した搬送動作情報に基づいて、ウエハ搬送装置１０の駆動部７５を制御して、ウエハ搬送装置１０を移動させると共にウエハ搬送部２４に設置されているセンサ治具３０を移動させる。
このセンサ治具３０の移動動作によって、透過光式センサ３２より取得した搬送位置に設置されている遮光治具５０による光軸４１と光軸４２の遮光及び投光のタイミング情報と、制御部７０より取得した遮光及び投光のタイミング情報を取得したときのウエハ搬送装置１０のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の駆動情報とに基づいて、教示情報算出部６０は、搬送位置についての教示情報を算出する。また、制御部７０は、教示情報算出部６０によって算出された教示情報に基づいて、半導体ウエハの搬送位置を制御する。また、教示情報算出部６０は、以下の補正についての教示情報を算出する。
（１）ウエハ搬送装置１０のＺ軸移動に対する補正（Ｚ軸補正）
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部６０のＺ軸補正情報算出部６１で実行される。搬送ロボット１２を−Ｚ軸方向に移動しながら、光軸４１または光軸４２のどちらか一方の光軸の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＺ軸方向の駆動情報から遮光ピン５１のＺ方向上端の中心位置を算出し、搬送位置のＺ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＺ軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット１２の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述（図９及び図１０の説明を参照）する。
（２）ウエハ搬送装置１０のθ軸移動に対する補正（θ軸補正）
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部６０のθ軸補正情報算出部６２で実行される。搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１または光軸４２のどちらか一方の光軸の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報と、更に、搬送ロボット１２をＸ軸方向に移動しながら、遮光した光軸４１または光軸４２のどちらか一方の光軸の遮光ピン５１に対する投光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の駆動情報とから、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とＹ方向とのズレ角度を算出する。即ち、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とＹ方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。ここで、ウエハ搬送部２４の回転中心軸をθ軸と呼ぶ。尚、搬送ロボット１２の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述（図１１、図１２及び図１３の説明を参照）する。
（３）ウエハ搬送装置１０のＸ軸移動に対する補正（Ｘ軸補正）
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部６０のＸ軸補正情報算出部６３で実行される。搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とのズレ量を算出する。即ち、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット１２の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述（図１４、図１５、図１６、及び図２０の説明を参照）する。
（４）ウエハ搬送装置１０のＹ軸移動に対する補正（Ｙ軸補正）
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部６０のＹ軸補正情報算出部６４で実行される。搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、搬送位置のＹ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット１２の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述（図２１及び図２２の説明を参照）する。
（５）遮光治具５０のＹ方向補正またはＸ方向補正（Ｓ軸補正）
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部６０のＳ軸補正情報算出部６５で実行される。Ｓ軸がＹ方向であるときは、遮光ピン５１の中心位置から搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度を算出する。即ち、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。
また、Ｓ軸がＸ方向であるときは、遮光ピン５１の中心位置から搬送ロボット１２を＋Ｘ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の駆動情報から、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＸ方向とのズレ角度を算出する。即ち、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＸ方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。
また、Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なるときは、遮光ピン５１の中心位置から搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、設置上の遮光治具５０のＳ軸から算出されるＹ方向と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度を算出する。即ち、遮光治具５０Ｓ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。
ここでは、図５に示すように、Ｓ軸がＹ方向となるように遮光治具が設置されているので、遮光治具５０Ｓ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット１２の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述（図１７、図１８及び図１９の説明を参照）する。
次に、図７を参照して、オートティーチングの概略処理手順を説明し、図９から図２１を参照して、オートティーチングの詳細処理手順を説明する。
図７は、オートティーチングの概略処理手順の一例を示すフローチャート図である。
図７に示すように、まず、ロードポート１１に遮光治具５０を設置し、搬送ロボット１２のウエハ搬送部２４にセンサ治具３０を設置する（Ｓ１００）。
次に、搬送ロボット１２を−Ｚ軸方向に移動しながら、光軸４１または光軸４２のどちらか一方の光軸の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＺ軸方向の駆動情報から遮光ピン５１のＺ方向上端の中心位置を算出する（Ｓ１０１）。
次に、搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１または光軸４２のどちらか一方の光軸の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報と、更に、搬送ロボット１２をＸ軸方向に移動しながら、遮光した光軸４１または光軸４２のどちらか一方の光軸の遮光ピン５１に対する投光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の駆動情報とから、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とＹ方向とのズレ角度を算出する（Ｓ１０２）。算出したズレ角度を補正することにより、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とＹ方向とが一致する。
次に、搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とのズレ量を算出する（Ｓ１０３）。算出したＸ軸方向のズレ量を補正することにより、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とが一致する。
次に、遮光ピン５１の中心位置から搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度を算出する（Ｓ１０４）。算出したズレ角度を補正することにより、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とが一致する。
尚、図５に示すように、Ｓ軸がＹ方向となるように遮光治具が設置されているので、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＹ方向とを一致するように補正する教示情報を算出しているが、Ｓ軸がＸ方向となるように遮光治具が設置されている場合は、遮光ピン５１の中心位置から搬送ロボット１２を＋Ｘ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の駆動情報から、遮光治具５０のＳ軸と搬送位置の設計上のＸ方向とのズレ角度を算出する。また、Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なるように遮光治具が設置されている場合は、遮光ピン５１の中心位置から搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、設置上の遮光治具５０のＳ軸から算出されるＹ方向と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度を算出する。
次に、搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、ステップＳ１０４の補正により生じた搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とのズレ量を、ステップＳ１０３と同様に算出する（Ｓ１０５）。算出したＸ軸方向のズレ量を補正することにより、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とが一致する。
最後に、搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向に移動しながら、光軸４１及び光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報から、搬送位置のＹ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する（Ｓ１０６）。
次に、図９及び図１０を参照して、図７のＺ軸補正処理（Ｓ１０１）の詳細を説明する。図９は、Ｚ軸補正処理（Ｓ１０１）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。図１０は、搬送ロボット１２の初期位置の一例を説明するための図であり、図１０（ａ）は概略上面図であり、図１０（ｂ）は概略側面図である。
図９に示すように、まず、予め設定された初期位置まで搬送ロボット１２を移動させる（Ｓ２０１）。図１０に示すように、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の初期位置は、搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させたときに、遮光ピン５１により光軸４１及び光軸４２が遮光されることが予想される位置である。更に、遮光ピン５１以外の遮光治具５０や周辺部材と、搬送ロボット１２及びセンサ治具３０が接触しないような位置である。
次に、搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ、初期位置から、光軸４１が遮光ピン５１を通過するまで移動させる（Ｓ２０２）。
次に、ステップＳ２０２の移動中の、光軸４１の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＹ軸方向の駆動情報と、遮光ピン５１の形状寸法とに基づいて、遮光ピン５１のＹ軸方向の中心位置（位置Ａ）を算出する（Ｓ２０３）。
次に、位置Ａを光軸４１が通るように、搬送ロボット１２を−Ｙ軸方向へ移動させ（Ｓ２０４）、更に、光軸４１が投光状態となるまで搬送ロボット１２を＋Ｚ軸方向へ移動させる（Ｓ２０５）。
次に、ステップＳ２０５において＋Ｚ軸方向へ移動させた距離だけ、−Ｚ軸方向へ移動させ（Ｓ２０６）、光軸４１の遮光ピン５１に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置１０のＺ軸方向の駆動情報と、遮光ピン５１の形状寸法とに基づいて、遮光ピン５１のＺ軸方向の上端位置（位置Ｂ）を算出し、搬送位置のＺ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＺ軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する（Ｓ２０７）。
次に、図１１から図１３を参照して、図７のθ軸補正処理（Ｓ１０２）の詳細を説明する。図１１は、θ軸補正処理（Ｓ１０２）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。図１２は、搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。また、図１３は、θ軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。
図１１に示すように、まず、図９のステップＳ２０７の位置Ｂに基づいて算出した、遮光ピン５１が光軸４１を遮光可能なＺ軸方向の位置まで、搬送ロボット１２を位置Ｂから−Ｚ軸方向へ移動させる（Ｓ３０１）。このとき、遮光ピン５１により光軸４１が遮光していることを確認する。
次に、光軸４１が投光する位置まで搬送ロボット１２を−Ｙ軸方向へ移動させ（Ｓ３０２）、次に、搬送ロボット１２を、光軸４１の遮光ピン５１に対する遮光が開始する位置（位置Ｃ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ３０３）。即ち、図１２の（状態１）である位置Ｃまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、搬送ロボット１２を、位置Ｃから、光軸４１の投光が開始する位置（位置Ｄ）まで＋Ｘ軸方向へ移動させる（Ｓ３０４）。即ち、図１２の（状態２）である位置Ｄまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、位置Ｃと位置Ｄから、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とウエハ搬送装置１０の設計上のＹ方向とのズレ角度βを算出する（Ｓ３０５）。
以下に、ズレ角度βの算出方法を説明する。図１３（ａ）に示すように、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向に対して直角で、かつ、光軸４１と光軸４２の交点Ｏを通る線分を、即ち、Ｘ軸方向の線分を線分６０とし、交点Ｏを通るＹ軸方向の線分を線分６１とする。光軸４１と光軸４２のそれぞれと線分６０との角度を光軸角度といい、ここではαとする。
図１３（ｂ）に示すように、位置Ｃにおける光軸４１を光軸４１ｃとし、位置Ｄにおける光軸４１を光軸４１ｄとする。また、位置Ｃにおける光軸４２を光軸４２ｃとし、位置Ｄにおける光軸４２を光軸４２ｄとする。また、位置Ｃにおける線分６０を線分６０ｃとし、位置Ｄにおける線分６０を線分６０ｄとする。また、位置Ｃにおける線分６１を線分６１ｃとし、位置Ｄにおける線分６１を線分６１ｄとする。また、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とＹ方向とのズレ角度をβとする。
図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示すように、位置Ｃから位置Ｄへウエハ搬送装置１０を移動したときにできる三角形６３は、下記の関係式（１）を満足する。
ｓｉｎ（α＋β）＝ｄ／ａ ・・・・・（１）
ここで、ａは、位置Ｃから位置ＤへのＸ軸方向への移動量であり、ｄは、遮光ピン５１の直径である。
関係式（１）から、ズレ角度βは、下記の関係式（２）で表される。
β＝ｓｉｎ-1（ｄ／ａ）−α ・・・・・（２）
関係式（２）を使用して、上述のステップＳ３０５で、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向とＹ方向とのズレ角度βを算出する。
次に、図１４から図１６を参照して、図７の１次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０３）の詳細を説明する。図１４は、１次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０３）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。図１５は、搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。また、図１６は、Ｘ軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。
図１４に示すように、まず、図９のステップＳ２０７の位置Ｂに基づいて算出した、遮光ピン５１が光軸４１を遮光可能なＺ軸方向の位置まで、θ軸補正処理の結果に基づいて補正された搬送ロボット１２を、位置Ｂから−Ｚ軸方向へ移動させる（Ｓ４０１）。このとき、遮光ピン５１により光軸４１が遮光していることを確認する。
次に、光軸４１が投光する位置まで搬送ロボット１２を−Ｙ軸方向へ移動させ（Ｓ４０２）、次に、搬送ロボット１２を、光軸４１の遮光ピン５１に対する遮光が開始する位置（位置Ｃ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ４０３）。即ち、図１５の（状態１）である位置Ｃまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、搬送ロボット１２を、位置Ｃから、光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光が開始する位置（位置Ｅ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ４０４）。即ち、図１５の（状態２）である位置Ｅまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、位置Ｃと位置Ｅから、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とズレ量ｘを算出する（Ｓ４０５）。
以下に、Ｘ方向のズレ量ｘの算出方法を説明する。図１６（ａ）に示すように、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向に対して直角で、かつ、光軸４１と光軸４２の交点Ｏを通る線分を、即ち、Ｘ軸方向の線分を線分６０とし、交点Ｏを通るＹ軸方向の線分を線分６１とする。光軸４１と光軸４２のそれぞれと線分６０との角度を光軸角度といい、ここではαとする。
図１６（ｂ）に示すように、位置Ｃにおける光軸４１を光軸４１ｃとし、位置Ｅにおける光軸４１を光軸４１ｅとする。また、位置Ｃにおける光軸４２を光軸４２ｃとし、位置Ｅにおける光軸４２を光軸４２ｅとする。また、位置Ｃにおける線分６０を線分６０ｃとし、位置Ｅにおける線分６０を線分６０ｅとする。また、位置Ｃにおける線分６１を線分６１ｃとし、位置Ｅにおける線分６１を線分６１ｅとする。ここでは、線分６１ｃと線分６１ｅとは一致する。また、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向と搬送位置のＹ方向との設計上の角度をθとする。尚、本実施例では、θ＝０としている。また、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とズレ量をｘとする。
図１６（ｂ）及び図１６（ｃ）に示すように、位置Ｃから位置Ｅへウエハ搬送装置１０を移動したときにできる三角形６４は、下記の関係式（３）及び関係式（４）を満足する。
ｔａｎα＝（ｙ／２）／ｘ´ ・・・・・（３）
ｃｏｓθ＝ｘ´／ｘ ・・・・・（４）
ここで、ｙは、位置Ｃから位置ＥへのＹ軸方向への移動量である。
関係式（３）及び関係式（４）から、ズレ量ｘは、下記の関係式（５）で表される。
ｘ＝ｙ／（２ｔａｎα・ｃｏｓθ） ・・・・・（５）
関係式（５）を使用して、上述のステップＳ４０５で、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とズレ量ｘを算出する。尚、本実施例では、θ＝０であるので、下記の関係式（５´）を使用して、上述のステップＳ４０５で、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とズレ量ｘを算出する。
ｘ＝ｙ／（２ｔａｎα） ・・・・・（５´）
次に、図１７から図１９を参照して、図７のＳ軸補正処理（Ｓ１０４）の詳細を説明する。図１７は、Ｓ軸補正処理（Ｓ１０４）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。図１８は、搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。また、図１９は、Ｓ軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。
図１７に示すように、まず、θ軸補正処理及び１次Ｘ軸補正処理の結果に基づいて補正された搬送ロボット１２によって、光軸４１及び光軸４２の交点Ｏが遮光ピン５１の中心位置となるように移動する（Ｓ５０１）。
次に、搬送ロボット１２を、光軸４１の遮光ピン５２に対する遮光が開始する位置（位置Ｆ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ５０２）。即ち、図１８の（状態１）である位置Ｆまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、搬送ロボット１２を、位置Ｆから、光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光が開始する位置（位置Ｇ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ５０３）。即ち、図１８の（状態２）である位置Ｇまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、位置Ｆと位置Ｇから、遮光治具５０を設置上のＹ方向（Ｓ軸）と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度γを算出する（Ｓ５０４）。
以下に、ズレ角度γの算出方法を説明する。図１９（ａ）に示すように、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向に対して直角で、かつ、光軸４１と光軸４２の交点Ｏを通る線分を、即ち、Ｘ軸方向の線分を線分６０とし、交点Ｏを通るＹ軸方向の線分を線分６１とする。光軸４１と光軸４２のそれぞれと線分６０との角度を光軸角度といい、ここではαとする。
図１９（ｂ）に示すように、位置Ｆにおける光軸４１を光軸４１ｆとし、位置Ｇにおける光軸４１を光軸４１ｇとする。また、位置Ｆにおける光軸４２を光軸４２ｆとし、位置Ｇにおける光軸４２を光軸４２ｇとする。また、位置Ｆにおける線分６０を線分６０ｆとし、位置Ｇにおける線分６０を線分６０ｇとする。また、位置Ｆにおける線分６１を線分６１ｆとし、位置Ｇにおける線分６１を線分６１ｇとする。ここでは、線分６１ｆと線分６１ｇとは一致する。また、ウエハ搬送装置１０のＹ軸方向と搬送位置のＹ方向との設計上の角度をθとする。尚、本実施例では、θ＝０としている。また、遮光治具５０を設置上のＹ方向（Ｓ軸）と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度をγとする。
図１９（ｂ）及び図１９（ｃ）に示すように、位置Ｆから位置Ｇへウエハ搬送装置１０を移動したときにできる三角形６５は、下記の関係式（６）を満足する。
ｓｉｎγ＝ｘ´´／ｂ ・・・・・（６）
ここで、ｂは遮光ピン５１の中心と遮光ピン５２の中心との間に距離である。
また、関係式（５）より、ｘ´´は、下記の関係式（７）で表される。
ｘ´´＝ｙ´／（２ｔａｎα・ｃｏｓθ） ・・・・・（７）
ここで、ｙ´は、位置Ｆから位置ＧへのＹ軸方向への移動量である。
したがって、関係式（６）及びは関係式（７）から、ズレ角度γは、下記の関係式（８）で表される。
γ＝ｓｉｎ-1｛ｙ´／（２ｂ・ｔａｎα・ｃｏｓθ）｝ ・・・・・（８）
関係式（８）を使用して、上述のステップＳ５０４で、遮光治具５０を設置上のＹ方向（Ｓ軸）と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度γを算出する。尚、本実施例では、θ＝０であるので、下記の関係式（８´）を使用して、上述のステップＳ５０４で、遮光治具５０を設置上のＹ方向（Ｓ軸）と搬送位置の設計上のＹ方向とのズレ角度γを算出する。
γ＝ｓｉｎ-1｛ｙ´／（２ｂ・ｔａｎα）｝ ・・・・・（８´）
次に、図２０を参照して、図７の２次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０５）の詳細を説明する。図２０は、２次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０５）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。尚、２次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０５）は１次Ｘ軸補正処理（Ｓ１０３）と同様である。１次Ｘ軸補正処理では遮光ピン５１についての光軸４１及び光軸４２の遮光した位置でズレ量を算出しているが、２次Ｘ軸補正処理では遮光ピン５２についての光軸４１及び光軸４２の遮光した位置でズレ量を算出している。
図２０に示すように、まず、θ軸補正処理、１次Ｘ軸補正処理及びＳ軸補正処理の結果に基づいて補正された搬送ロボット１２を、図１７のステップＳ５０２の位置Ｆから−Ｙ軸方向へ移動させ（Ｓ６０１）、次に、搬送ロボット１２を、光軸４１の遮光ピン５２に対する遮光が開始する位置（位置Ｈ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ６０２）。
次に、搬送ロボット１２を、位置Ｈから、光軸４２の遮光ピン５２に対する遮光が開始する位置（位置Ｉ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ６０３）。
次に、位置Ｈと位置Ｉから、搬送位置のＸ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＸ軸方向の位置情報とズレ量を算出する（Ｓ６０４）。
次に、図２１及び図２２を参照して、図７のＹ軸補正処理（Ｓ１０６）の詳細を説明する。図２１は、Ｙ軸補正処理（Ｓ１０６）の処理手順の一例を示すフローチャート図である。図２２は、搬送ロボット１２の動作の一例を説明するための図である。
図２１に示すように、まず、θ軸補正処理、１次Ｘ軸補正処理、Ｓ軸補正処理及び２次Ｘ軸補正処理の結果に基づいて補正された搬送ロボット１２を、図１７のステップＳ５０２の位置Ｆから−Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ７０１）。即ち、図２２の（状態１）である位置まで搬送ロボット１２を位置Ｆから−Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、搬送ロボット１２を、光軸４１の遮光ピン５１に対する遮光が開始する位置（位置Ｊ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ７０２）。即ち、図２２の（状態２）である位置Ｊまで搬送ロボット１２を＋Ｙ軸方向へ移動させる。
次に、搬送ロボット１２を、位置Ｊから、光軸４２の遮光ピン５１に対する遮光が開始する位置（位置Ｋ）まで＋Ｙ軸方向へ移動させる（Ｓ７０３）。ここで、搬送ロボット１２に設置されたセンサ治具３０は、図３に示したように投影面上においてＹ軸に対して光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分が線対称であり、かつ、搬送ロボット１２は、θ軸補正処理、１次Ｘ軸補正処理、Ｓ軸補正処理及び２次Ｘ軸補正処理による補正が施されているので、位置Ｊと位置Ｋは概ね同じで、位置Ｊと位置Ｋとの差は誤差となる。
次に、位置Ｊと位置Ｋによる透過光式センサ３２の誤差を考慮するために位置Ｊと位置Ｋとの中間位置をＹ軸方向位置として算出し、搬送位置のＹ方向の位置情報とウエハ搬送装置１０のＹ軸の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する（Ｓ７０４）。
上述したようなウエハ搬送装置１０にセンサ治具３０を、搬送位置に遮光治具５０を設置して、通常の搬送動作を行うことによって、即ち、教示作業のための回避動作をすることなく、搬送位置の教示情報を取得することができる。したがって、ウエハ搬送装置１０の各軸のバックラッシュを考慮せずに教示情報を算出することができる。即ち、教示情報の算出が容易に行うことができるとともに、算出時間が短縮することができる。
上述したウエハ搬送装置１０及び位置教示方法では、搬送位置に設置された遮光治具５０のＳ軸とＹ方向とのズレ角度γを考慮しているが、遮光治具５０の設置によるズレ角度γが小さい場合は、Ｓ軸補正情報算出部６５の無い、Ｓ軸補正処理Ｓ１０４を実行しないような構成にしても良い。また、このとき、遮光治具５０に設置する遮光ピンは１つであっても良い。
また、上述したウエハ搬送装置１０及び位置教示方法では、ウエハ搬送装置１０にセンサ治具３０を設置し、搬送位置に遮光治具５０を設置した場合であったが、ウエハ搬送装置１０に遮光治具５０を設置し、搬送位置にセンサ治具３０を設置しても良い。
また、センサ治具３０の透過光式センサ３２の光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分は、ウエハ搬送装置１０の中心軸２６を通る投影面上のＹ方向の直線（Ｙ軸）上で交差し、このＹ軸に対して光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分は互いに線対称となるように、センサ治具３０に投光部３２ａ及び３２ｂと受光部３２ｃ及び３２ｄが配置されているが、図２３（ａ）に示すように、光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分が投影面上で互いに交差し、光軸４１の投影線分がＹ軸に対して直角で光軸４２がＹ軸に対して平行でない場合であっても良い。
また、図２３（ｂ）に示すように、光軸４１の投影線分と光軸４２の投影線分が投影面上で互いに交差し、光軸４２の投影線分がＹ軸に対して直角で光軸４１の投影線分がＹ軸に対して平行でない場合であっても良い。また、図２３（ｃ）及び図２３（ｄ）に示すように、光軸４１の投影線分の延長線と光軸４２の投影線分の延長線が投影面上で互いに交差し、光軸４１の投影線分がＹ軸に対して直角で光軸４２の投影線分がＹ軸に対して平行でない場合であっても良い。また、図２３（ｅ）に示すように、透過光式センサ３２の投光部３２ａ及び３２ｂと受光部３２ｃは、投光部３２ａから受光部３２ｃへ向かう光軸４１と、投光部３２ｂから受光部３２ｃへ向かう光軸４２とが投影面上に有るような場合であっても良い。また、センサ治具３０の透過光式センサ３２は、光軸が２つある場合であったが、図２３（ｆ）に示すように、透過光式センサ３２の投光部３２ａと受光部３２ｃにより、投光部３２ａから受光部３２ｃへ向かう光軸４１のみの場合であっても良い。
また、上述した位置教示方法では、遮光治具５０を搬送位置に配置していたが、遮光治具５０の替わりに、搬送位置の近傍に既に存在する、搬送位置の基準位置との相対位置及び形状寸法が既知の部材であっても良い。
また、教示作業を実行するときに、搬送位置の周りの移動区間領域が狭く、ウエハ搬送装置１０及びセンサ治具３０と搬送位置の周り機器や部材とが接触してしまう恐れがあるような環境の場合、遮光治具５０の替わりに、図８に示すような、遮光治具５５を使用しても良い。
遮光治具５５は遮光治具５０と一体化したセンサ治具３０と対向する方向（−Ｙ方向）に突き出た形状の凸部５６を有し、円柱状の仮遮光ピン（仮目標部材）５７及び５８を備えている。尚、仮遮光ピン５７及び５８の遮光治具５０の基準位置に対する相対的な位置、及び、形状寸法が既知である。また、ウエハ搬送装置１０及びセンサ治具３０と搬送位置の周り機器や部材とが接触しない位置に仮遮光ピン５７及び５８が配置されるように凸部５６のＹ方向の長さに形成されている。
上述したウエハ搬送装置１０及び位置教示方法に遮光治具５５を使用する場合は、Ｚ軸補正処理、θ軸補正処理及び１次Ｘ軸補正処理において、遮光ピン５１及び５２の替りに仮遮光ピン５７及び５８を使用して教示情報を算出する。また、Ｓ軸補正処理、２次Ｘ軸補正処理及びＹ軸補正処理において、遮光治具５０を使用したときと同様に遮光ピン５１及び５２使用して教示情報を算出する。
上述したようなウエハ搬送装置１０にセンサ治具３０を、搬送位置に遮光治具５５を設置して、通常の搬送動作を行うことによって、搬送位置の周囲の空間領域が狭く、搬送位置についての教示情報を取得するためにウエハ搬送装置１０を動作させたとき、搬送位置の周りの機器や部材とウエハ搬送装置１０やセンサ治具３０との接触が起こる可能性があるような場合、搬送位置の周りの機器や部材とウエハ搬送装置１０やセンサ治具３０との接触を防止しながら、搬送位置についての教示情報を取得することができる。

Claims (22)

  1. アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、
    鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、
    投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサと、
    前記光軸を遮光することが可能な１つ以上の目標部材と、
    前記目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を前記透過光式センサから取得し、前記位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出する教示情報算出手段と、
    前記教示情報算出手段によって算出された前記目標位置についての前記教示情報に基づいて、前記被搬送物の搬送位置を制御する制御手段と、
    を備え、
    前記透過光式センサは、前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に前記目標部材が設置されていることを特徴とする搬送装置。
  2. 前記目標部材は、２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
  3. 少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
  4. 前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、
    前記教示情報算出手段は、
    Ｚ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に移動させて、当該目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出するＺ軸補正情報算出手段と、
    １つの前記目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するθ軸補正情報算出部と、
    前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出するＸ軸補正情報算出手段と、
    前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出するＹ軸補正情報算出部と、
    を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
  5. ２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、
    前記教示情報算出手段は、
    前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するＳ軸補正情報算出手段を備えていることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
  6. アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、
    鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、
    投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサと、
    前記光軸を遮光することが可能な１つ以上の目標部材と、
    前記光軸を遮ることが可能な前記目標部材に対する相対位置が既知である１つ以上の仮補正目標部材と、
    前記目標部材及び前記仮補正目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を前記透過光式センサから取得し、前記位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出する教示情報算出手段と、
    前記教示情報算出手段によって算出された前記目標位置についての前記教示情報に基づいて、前記被搬送物の搬送位置を制御する制御手段と、
    を備え、
    前記透過光式センサは前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に前記目標部材及び前記仮補正目標部材が設置され、かつ、前記透過光式センサと前記目標部材との間に前記仮補正目標部材が設置されていることを特徴とする搬送装置。
  7. 前記目標部材は、２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
  8. 少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
  9. 前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、
    前記教示情報算出手段は、
    Ｚ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に移動させて、当該仮補正目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出するＺ軸補正情報算出手段と、
    前記仮補正目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するθ軸補正情報算出部と、
    前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する１次Ｘ軸補正情報算出手段と、
    前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出するＹ軸補正情報算出部と、
    を備えていることを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の搬送装置。
  10. ２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、
    前記教示情報算出手段は、
    前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するＳ軸補正情報算出手段と、
    前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する２次Ｘ軸補正情報算出手段と、
    を備えていることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
  11. アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置に、前記搬送軌跡上の所定の目標位置を教示する位置教示方法であって、
    鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、
    （ａ）前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサを、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に設置された１つ以上の目標部材に対して相対的に移動させることにより、前記目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を取得し、取得した前記位置情報に基づいて、前記目標位置についての教示情報を算出する工程を備えていることを特徴とする位置教示方法。
  12. 前記目標部材は、２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする請求項１１に記載の位置教示方法。
  13. 少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする請求項１２に記載の位置教示方法。
  14. 前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、
    前記工程（ａ）は、
    （ｂ）Ｚ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に移動させて、当該目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出する工程と、
    （ｃ）１つの前記目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、
    （ｄ）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、
    （ｅ）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出す工程と、
    の４つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする請求項１１から１３のいずれか１項に記載の位置教示方法。
  15. ２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、
    前記工程（ａ）は、
    （ｆ）前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、
    （ｇ）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、の２つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする請求項１１から１４のいずれか１項に記載の位置教示方法。
  16. アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置に、前記搬送軌跡上の所定の目標位置を教示する位置教示方法であって、
    鉛直方向をＺ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に対して直角な方向をＸ方向としたとき、
    （ａ１）前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向の中の所望の２方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記所望の２方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサを、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に設置された１つ以上の目標部材、及び、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部で前記透過光式センサと前記目標部材との間に設置された前記目標部材に対する相対位置が既知である１つ以上の仮補正目標部材に対して相対的に移動させることにより、前記目標部材及び前記仮補正目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を取得し、取得した前記位置情報に基づいて、前記目標位置についての教示情報を算出する工程を備えていることを特徴とする位置教示方法。
  17. 前記目標部材は、２つ以上であり、かつ、少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向とＹ方向またはＸ方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする請求項１６に記載の位置教示方法。
  18. 少なくとも２つの前記目標部材の中心を通るＳ軸の方向が、Ｙ方向またはＸ方向であることを特徴とする請求項１７に記載の位置教示方法。
  19. 前記搬送部の直進方向をＲ方向としたとき、
    前記工程（ａ１）は、
    （ｂ１）Ｚ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に移動させて、当該仮補正目標部材により１つの当該光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＺ方向の位置補正をする前記教示情報を算出する工程と、
    （ｃ１）前記仮補正目標部材により１つの前記光軸を遮光するまで、相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、該光軸が投光するまで、Ｘ方向へ当該光軸を当該仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、Ｒ方向とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、
    （ｄ１）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を前記仮補正目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、
    （ｅ１）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が交差する場合は２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、また、２つの前記光軸が交差しない場合は少なくとも１つの前記光軸が遮光したときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＲ方向の前記教示情報を算出す工程と、
    の４つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする請求項１６から１８のいずれか１項に記載の位置教示方法。
  20. ２つ以上の前記目標部材を有し、かつ、Ｓ軸を通る前記目標部材のうちの１つの前記目標部材を第１目標部材とし、前記第１目標部材とは別の前記目標部材を第２目標部材としたとき、
    前記工程（ａ１）は、
    （ｆ１）前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＸ方向である場合は、前記第１目標部材の中心からＸ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、Ｓ軸とＸ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出し、前記投影面上で互いに平行でない前記光軸を２つ有し、かつ、前記Ｓ軸がＹ方向及びＸ方向と異なる場合は、前記第１目標部材の中心からＲ方向へ一方の前記光軸を前記第２目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸が遮光したときの各前記位置情報に基づいて、設置上のＳ軸から算出されるＹ方向と設計上のＹ方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、
    （ｇ１）前記光軸を２つ有する場合に、Ｒ方向へ前記光軸を１つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、２つの前記光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのＸ方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、
    の２つの工程のうち少なくとも１つの工程を備えていることを特徴とする請求項１６から１９のいずれか１項に記載の位置教示方法。
  21. 目標部材との相対的な平行移動により、前記目標部材を検出するセンサ治具であって、
    透過光式センサの投光部から受光部への光軸を少なくとも１つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸が同一投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも１つの前記光軸が前記投影面上に投影した前記目標部材への相対的な移動方向及び前記移動方向に対して直角な方向に対して平行でないように前記投光部及び前記受光部を配置したことを特徴とするセンサ治具。
  22. アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、
    請求項２１に記載のセンサ治具を備え、前記センサ治具の前記透過光式センサにより取得した、前記目標部材が前記光軸を投光から遮光したときまたは遮光から投光したときの位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出することを特徴とする搬送装置。
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