CN101713790B - 检查治具、电极结构及电极结构的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查治具、电极结构及电极结构的制造方法，利用包含如筒状接触件及棒状接触件的构造的接触件(同轴接触件)时，适当地利用于此种接触件，并达到电极部的结构的细微化及简易化。探针(1)包含：第1接触件(2)，以导电材料形成大致筒形形状；及第2接触件(3)，以导电材料形成细长状，并以与第1接触件(2)绝缘状态插入第1接触件(2)内。接触导通于该第1及第2接触件(2、3)的第1电极部(22)与第2电极部(23)从俯视观察，以第1电极部(22)的中心与第2电极部(23)的中心分离的方式配置。俯视观察的第1电极部(22)的最大宽度设定为小于第1接触件(2)的外径。

Description

检查治具、电极结构及电极结构的制造方法

技术领域

本发明是关于用以检查待检查基板的检查对象的电特性的检查治具、电极结构及电极结构的制造方法。 

背景技术

就有关设在待检查基板的布线图案等的检查对象电特性的检查方法而言，有设置电流供给用接触件与电压测量用接触件的2个接触件，并使该2个接触件同时接触于检查点以进行检查对象的检查的方法(所谓4接点法)(例如专利文献1)。该4接点法中，通过分开电流供给用接触件与电压测量用接触件，能将流动于电压测量用接触件与检查点之间的电流抑制到可实质上忽略的程度，因此实质上排除电压测量用接触件与检查点的接触电阻的影响，能够正确地测量出电压测量用接触件所接触的2处检查点间的电压。 

此种4接点法所使用的以往的探针及检查治具，被设置为以绝缘状态下并列配置的针状的2个针状接触件为一组而对应至各检查点，并使该2个接触件同时接触于各检查点。 

又，近年来，由于设在基板的布线图案等的细密化急剧进展，因此对于检查治具也要求对应检查对象的细密化。 

为对应此种细密化，有人提出专利文献2所公开的基板检查治具。该专利文献2所公开的技术中，于导电性的筒状接触件及该筒状接触件的内部在内部收纳棒状接触件，由此可对应于狭小间距。 

【专利文献1】日本特开2004-184374号公报 

【专利文献2】日本特开2007-205808号公报 

利用如专利文献2所公开的接触件时，进行以下的方法：将与检查装置导通连接的电极部形成与接触件的剖面同样形状，或者使用收纳筒 状接触件的凹部形状的连接器等。 

然而，此种电极部的构造中，成为直径比筒状接触件的外径大的电极部(构件)，存在电极部的间距无法对应于狭小间距，或者电极部的构造变复杂的问题。 

发明内容

因此，本发明欲解决的课题为：提供检查治具、电极结构及电极结构的制造方法，在如上述利用具有如筒状接触件及棒状接触件的构造的接触件(同轴接触件)时，被很好地利用于此种接触件，并达到电极部的结构的细微化及简易化。 

为解决上述课题，技术方案1的发明中提供一种检查治具，多个探针，其一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部；保持体，其将上述探针的两端分别引导至既定的上述检查点及上述电极部，并保持该探针；及电极体，其包含多个上述电极部，上述探针具有：第1接触件，其以导电材料形成大致筒形形状；及第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，上述电极部具有：第1电极部，其用以与上述第1接触件导通接触；及第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触件导通接触，上述第1电极部与该第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极部的中心与上述第2电极部的中心分离，且俯视观察的上述第1电极部的最大宽度小于上述第1接触件的外径。 

又，技术方案2的发明，是在技术方案1的发明的检查治具中，上述第1电极部从俯视观察，形成与上述第2电极部大致相同的尺寸且大致相同的形状，或形成小于上述第2电极部的尺寸且为相似的形状。 

又，技术方案3的发明，是在技术方案1或2的发明的检查治具中，上述第2电极部相对于探针的径向配置在大致中央处，上述第1电极部配置成：使该第1电极部与上述第2电极部的连线对于多个探针的排列方向倾斜既定角度。 

又，技术方案4的发明，是在技术方案3的发明的检查治具中，上 述既定角度约为45度。 

又，技术方案5的发明，是在技术方案1至4中任意一项的发明的检查治具中，上述第1电极部及上述第2电极部从该电极体的表面突出而形成。 

又，技术方案6的发明，是在技术方案1至5中任意一项的发明的检查治具中，上述第1电极部及上述第2电极部各包含：线状的电极本体，其插入到设于上述电极体的贯通孔，且该电极本体的上述待检查基板侧的端面与上述电极体的表面位于同一平面；及突出部，其通过电镀形成在上述电极本体的电极保持构件的上述端面，从上述电极体的上述表面向上述待检查基板侧突起。 

又，技术方案7的发明，是在技术方案2的发明的检查治具中，上述第2电极部的外径小于上述第1接触件的内径，上述第2电极部配置为相比上述第1接触件的内周位于更内侧，上述第1电极部配置为相比上述第2接触件的外周位于更外侧，且可与上述第1接触件的端部抵接的位置。 

又，技术方案8的发明，是在技术方案7的发明的检查治具中，上述第2电极部以其中心与上述第2接触件的中心轴大致一致的方式配置。 

又，技术方案9的发明，是在技术方案7的发明的检查治具中，上述第2电极部以其中心偏离上述第2接触件的中心轴的方式配置。 

又，技术方案10的发明，是在技术方案7至9中的任意一项的发明的检查治具中，上述第1电极部的外径小于上述第2电极部的外径。 

又，技术方案11的发明中提供一种电极结构，该电极结构设置于基板检查用治具；该基板检查用治具包括多个探针，该多个探针的一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部，其特征在于，上述探针具有：第1接触件，其以导电材料形成大致筒形形状；及第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，上述电极部具有：第1电极部，其用以与上述第1接 触件导通接触；及第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触件导通接触，上述第1电极部与上述第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极部的中心与上述第2电极部的中心分离，俯视观察的上述第1电极部的最大宽度小于上述第1接触件的外径。 

又，技术方案12的发明，是在技术方案11的发明的电极结构的方法中，将分别形成该第1电极部及该第2电极部的导电性的线状构件贯穿配置于具有保持上述线状构件的保持孔的保持体中，并将从上述保持体突出的上述线状构件的突出部分切断去除使其与上述保持体成为同一平面。 

依技术方案1、11及12项所述的发明，由于第1电极部与第2电极部从俯视观察，以第1电极部的中心与第2电极部的中心分离的方式配置，且俯视观察的第1电极部的最大宽度小于第1接触件的外径，因此在利用如同轴接触件的接触件时，可使电极部间的间距缩窄，即使是以4接点法进行的检查，也能以高可靠性来实施。 

依技术方案2所述的发明，由于第1电极部从俯视观察，形成与第2电极部大致相同尺寸且大致相同形状，或形成小于第2电极部的尺寸且为相似的形状，因此可进一步使电极部间的间距缩短。 

尤其，第1电极部与第2电极部形成相同形状时，可利用同一构件，进行成本降低。另一方面，为相似形状时，可轻易地掌握第1及第2电极部的位置。 

依技术方案3所述的发明，由于第2电极部对于探针的径向配置在大致中央处，第1电极部配置为：第1电极部与第2电极部的连线相对排列有多个探针的排列方向倾斜既定角度，因此可进一步使电极部间的间距缩短。 

依技术方案4所述的发明，由于既定角度约为45度，因此可进一步使电极部间的间距缩短。 

依技术方案5所述的发明，由于第1电极部及第2电极部从电极体的表面突出而形成，因此各电极部导通接触于第1及第2接触件时可更稳定接触。 

依技术方案6所述的发明，由于第1电极部及第2电极部由线状的电极本体，及以电镀从该电极本体突出的突出部所形成，因此可轻易地制造电极部。又，由于突出部通过厚度调节较容易的电镀来形成，因此可轻易地调节第1及第2电极部的突出部从电极保持构件的表面突起的高度。 

依技术方案7项所述的发明，由于第2电极部的外径小于第1接触件的内径；第2电极部配置为相比该第1接触件的内周位于内侧，第1电极部配置为相比第2接触件的外周位于外侧，且可与第1接触件的端部抵接的位置，因此各电极部与各接触件可稳定电性接触。 

依技术方案8所述的发明，由于第2电极部以其中心与第2接触件的中心轴大致一致的方式配置，因此第2电极部与第2接触件可更稳定接触。 

依技术方案9所述的发明，由于第2电极部以其中心偏离第2接触件的中心轴的方式配置，因此第2接触件为筒状构件时，第2电极部变成抵接至第2接触件的筒状端部而接触，可更稳定接触。 

依技术方案10所述的发明，由于第1电极部的外径小于第2电极部的外径，故可使各电极部间的间距更缩短而形成。因此，通过利用本发明，可实施对凸块间距等较短的检查物的测定。 

依技术方案12所述的发明，由于将分别形成第1电极部及第2电极部的导电性的线状构件贯穿配置于具有保持线状构件的保持孔的保持体中，并将从保持体突出的线状构件的突出部分切断去除使其与该保持体成为同一平面，因此可轻易地制造电极结构。 

附图说明

图1是从侧方观察依本发明的一实施方式的检查治具所使用的探针的图。 

图2中，(a)是从侧方观察图1的探针所包含的第1接触件的图，(b)从侧方观察图1的探针所包含的第2接触件的图。 

图3是表示使用图1的探针的依本发明的一实施方式的检查治具的结构的剖面图。 

图4是放大表示图3的部分结构的图。 

图5是表示图3的检查治具的各探针所包含的第1及第2接触件与第1及第2电极部的位置关系等的图。 

图6中，(a)与(b)是第1及第2电极部的突出部的制作工序的说明图。 

图7是表示图5所示的结构的变形例的图。 

图8是表示图3及图4所示的检查治具的变形例的图。 

图9是表示图8所示的结构的各探针所包含的第1及第2接触件与第1及第2电极部的位置关系等的图。 

图10是表示图3及图4所示的检查治具的另一变形例的图。 

图11是表示图10所示的结构的各探针所包含的第1及第2接触件与第1及第2电极部的位置关系等的图。 

符号说明如下： 

1～探针；2～第1接触件；3～第2接触件；6～待检查基板；7～焊锡凸块；20～检查治具；21～探针保持构件；22～第1电极部；23～第2电极部；24～电极保持构件；26～插通孔；27、28～贯通孔；31、32～电极本体；33、34～突出部。 

具体实施方式

[探针的结构] 

图1是从侧方观察依本发明的一实施方式的检查治具所使用的探针的图。图2(a)是从侧方观察图1的探针所包含的第1接触件的图，图2(b)是从侧方观察图1的探针所包含的第2接触件的图。 

依本实施方式的探针1如图1、图2(a)及图2(b)所示，包含形成大致筒状形状的第1接触件2及细长形状的第2接触件3而构成，用以检查待检查基板的检查对象的电特性。就检查对象而言，可举例如设在待 检查基板的布线图案；设置于该布线图案的焊锡凸块；或者布线图案及焊锡凸块二者。就检查内容而言，可举例如检查布线图案是否导通等的导通检查；检查布线图案间是否绝缘等的绝缘检查等。尤其，依本实施方式的探针1如后述，形成将第2接触件3以绝缘状态插入第1接触件2内的同轴构造，通过使该2个第1及第2接触件2、3电接触于检查对象的同一检查点，能以4接点法对检查对象的电特性作检查。又，于图1等中，示出第2接触件3比第1接触件2稍长的状态。 

第1接触件2如图2(a)所示，形成大致筒形形状。图1等所示的探针的结构中，第1接触件2形成比起后述第2接触件3稍微短，但接触于检查点而实施检查时，只要第1及第2接触件均能接触，则不对该长度做特殊限定；又，使其中之一(第1接触件2或第2接触件)形成较长，并在形成较长的接触件设置伸缩构件(例如弹簧构件)，由此在抵接至检查点时恰收缩该长度，也可使两接触件同时接触于检查点。 

将图1或图2所示的接触件2、3电连接于待检查基板的检查点与电极部22、23时，由于受检查点与电极部22、23所夹持，而接触件2、3本身弯曲，接触件2、3的两端分别推压检查点与电极部。如此利用接触件2、3弯曲，可得到检查点与电极部22、23的导通状态。 

例如，该第1接触件2可在其轴方向的至少1处(本实施方式中未图示)设置伸缩部；通过包含该伸缩部，当第2接触件3也接触于检查点时，以检查时可同时接触方式形成。该伸缩部可形成大致螺旋弹簧形状，于第1接触件2的轴方向弹性伸缩。又，作为变形例也可在第1接触件2的轴方向的多处设置伸缩部。该伸缩部是使用激光等将形成第1接触件2的筒状构件的一部分切割成大致螺旋状所形成。形成第1接触件2的筒状构件的材料使用金属材料(例如镍(Ni)或铜铍(CuBe)等)。 

第2接触件3以导电材料形成细长状，并插入第1接触件2内(更具体而言，以其中心轴与第1接触件2的中心轴大致一致方式插入第1接触件2内)。该第2接触件3如图2(b)所示，也可形成细长的棒状，但亦可形成直径比第1接触件2细的筒状形状。 

本实施方式中虽不进行详细说明，但将第2接触件3形成大致筒形形状时，与第1接触件2同样地，可在其轴方向的至少1处设置伸缩部。 

此时，伸缩部于第2接触件3的轴方向形成弹性伸缩的大致螺旋弹簧形状。又，作为变形例也可在第2接触件3的轴方向的多处设置伸缩部。伸缩部是使用激光等将形成第2接触件3的筒状构件的一部分切割成大致螺旋状所形成。形成第2接触件3的筒状构件的材料使用金属材料(例如镍(Ni)或铜铍(CuBe)等)。 

由于第2接触件3插入第1接触件2内，因此第2接触件3的外径设定为小于第1接触件2的内径。又，为确保第1接触件2与第2接触件3之间的绝缘，在第2接触件3的外周侧面(外周面的朝径向外方的面)设置由绝缘材料(例如树脂)构成的绝缘层。可采用在构成第2接触件3的棒状构件或筒状构件设置绝缘层后，再形成伸缩部的方法；或者在筒状构件或棒状构件形成伸缩部，再设置绝缘层的方法。 

又，在与检查对象或后述电极部电连接的筒状的第2接触件3的轴方向的两端面(或者两端面及位于其附近的外周侧面)，并未设有绝缘层。作为变形例也可在第2接触件3的外周侧面与第1接触件2的内周部间夹设绝缘性的间隔物。就间隔物的构成而言，可举例如环状、缘筒状或薄片状。为薄片状的间隔物时，可采用绕设于第2接触件3的外周侧面而插入第1接触件2内等的构成。 

在此，第1接触件2的轴方向的长度设定为例如5～100mm。又，如后述图4所示，第1接触件2的外径R21设定为例如50～100μm，其内径R22设定为例如40～90μm。第2接触件3的轴方向的长度设定为例如5～100mm，其外径R31设定为例如20～80μm。又，第2接触件3如图4所示为筒状构件时，其内径R32设定为例如10～70μm。 

如上述，依本实施方式的探针1，形成所谓同轴状态，即由导电材料形成细长状的第2接触件3以与第1接触件2绝缘的状态插入由导电材料所形成的大致筒形形状的第1绝缘件2内。因此，一面确保外侧的第1接触件2与内侧的第2接触件3的绝缘状态，一面可轻易地以高位置精度接近而配置。其结果，充分对应了设在待检查基板的检查对象(例如布线图案)的细密化，能以高可靠性实施以4接点法所进行的检查。 

又，由于构成探针1的第1及第2接触件2、3形成大致筒形形状或棒状形状，因此使第1及第2接触件2、3的前端接触于待检查基板 的检查对象时，即使是焊锡凸块等容易因第1及第2接触件2、3的前端而受损伤的检查对象，也能够减轻该检查对象所受的损伤的同时，使第1及第2接触件2、3与检查对象的电连接状态(例如接触电阻)稳定。关于此点，例如在以往的针状接触件中，有时使接触件接触于检查对象时，接触件的前端会侵入焊锡凸块等的检查对象，而增大对检查对象的损害。 

又，最好是在构成探针1的第1及第2接触件2、3的至少1处(本实施方式中为1处)分别设置沿轴方向弹性伸缩的伸缩部。通过设置此种伸缩部，轴方向压缩时的排斥力稳定。其结果，第1及第2接触件2、3的前端接触于待检查基板的检查对象时，能使第1及第2接触件2、3的前端与检查对象之间；以及第1及第2接触件2、3的后端与基板检查装置本体侧的电极部之间的推压力稳定，并可使第1及第2接触件2、3与检查对象及电极部之间的电连接状态(例如接触电阻)稳定。 

又，由于伸缩部是将形成第1及第2接触件2、3的筒状构件的一部分切割成大致螺旋状所形成，因此可轻易地制作包含大致螺旋弹簧状的伸缩部的第1及第2接触件2、3。 

已说明上述说明的探针1通过利用伸缩部，以压接至检查点与电极部的探针构造；但也可将探针1形成如下：第1接触件2及/或第2接触件3本身以带有可挠性的构件形成，其中的一或两接触件从两端受推压时弯曲，由此成为同时接触于检查点与电极部。 

本发明的电极构造，无论是包含伸缩部的情形；还是利用接触件本身的可挠性的情形；甚至利用二者的情形，只要是如上述所说明的同轴接触件，均可适当地利用。 

[检查治具的结构] 

图3是表示使用图1的探针的依本发明的一实施方式的检查治具的结构的剖面图。图4是放大显示图3的部分结构的图。图5是表示图3的检查治具的各探针所包含的第1及第2接触件与第1及第2电极部的位置关系等的图。又，图4及后述图8、图10中，为方便说明而省略探针保持构件21。又，图3、图8、图9的结构中，示出第2接触件3为 棒状构件的情形；图4、图5、图10、图11的结构中，表示第2接触件3为筒状构件的情形。 

该检查治具20如图3至图5所示，包含至少1个探针1、探针保持构件21、与探针1组数相同的第1及第2电极部22、23、及电极保持构件24，此检查治具20用以检查待检查基板6的检查对象的电特性。又，探针保持构件21相当于依本发明的保持体，第1及第2电极部22、23相当于电极部，组装第1及第2电极部22、23，与电极保持构件24等所构成的构件相当于电极体。 

图3所示的例中，探针1的前端1a接触于待检查基板6的布线图案所设置的焊锡凸块7。因此，探针1的第1及第2接触件2、3的前端2a、3a接触于待检查基板6的1个检查点(焊锡凸块7等)。通过第1及第2接触件2、3的其中之一对待检查基板6侧供给检查用电流，通过另一个进行检查点的电位测量。由此，以4接点法进行关于待检查基板6所设置的检查对象的电特性的检查。 

又，图3所示的探针1中，第1接触件2的后端2b与第2接触件3的后端3b以成为大致同平面方式配置；第1接触件2的前端2a与第2接触件3的前端3a以沿靠成为检查对象的凸块的表面形状，即圆弧状的形状方式配置，且如图3所示，成为第1接触件2的前端2a配置于从第2接触件3的前端3a突出的位置。通过如此来配置第1接触件2与第2接触件3，各个接触件2、3可确实地接触于电极部22、23与检查点。 

探针保持构件21如图3所示，是保持探针1的构件，主要以绝缘材料形成，例如设有插入穿通有探针1的多个插通孔26。另外，在探针1被保持在插通孔26内的状态下，探针1的前端1a侧从探针保持构件21的待检查基板6侧的面突出。另一方面，探针1的后端1b形成可与由后述电极保持构件24所保持的第1及第2电极部22、23抵接的状态。又，探针保持构件21也可在探针1的轴方向重合多板片而构成。而且此时，也可以沿探针1的轴方向在构成探针保持构件21的板片间空出间隔的状态进行配置。 

第1电极部22与第2电极23如图3及图4所示，对于探针1的每 一第1接触件2及每一第2接触件3以电性独立的方式设置，并与第1接触件2的后端2b及第2接触件3的后端3b接触(抵接)而电连接。此种第1及第2电极部22、23的组合以其组数与探针1的数量相同方式设置。第1及第2电极部22、23的更详细结构如后述。 

电极保持构件24主要以绝缘材料形成，分别插入第1及第2电极部22、23，并设有贯通孔27、28，用以保持插入各贯通孔27、28的第1及第2电极部22、23。 

第1及第2电极部22、23各包含电极本体31、32与突出部33、34而构成。电极本体31、32以大致线状的导电体(例如金属线或金属线的外周侧面被以绝缘包层的附有包层的金属线)构成，其待检查基板侧的部分从电极保持构件24的与待检查基板6相反侧的面插入电极保持构件24的贯通孔27、28而得到保持。此受保持的状态下，电极本体31、32的待检查基板6侧的端面31a、32a位在与电极保持构件24的待检查基板6侧的表面24a大致同一平面上。 

突出部33、34通过电镀形成于电极本体31、32的端面31a、32a，从电极保持构件24的表面24a往待检查基板6侧突起。突出部33、34从电极保持构件24的表面24a突起的高度H3、H4(参照图4)设定为例如0.1～5μm。又，有关突出部33、34的制作工序的更详细内容，依据图6(a)及图6(b)叙述如后。 

另外，当以既定固定具将安装有探针1的探针保持构件21，及设有第1及第2电极部22、23的电极保持构件24互相固定时，各组合的第1及第2电极部22、23的突出部33、34抵接至对应的探针1的第1及第2接触件2、3的后端2b、3b而电连接。 

如上述，由于第1及第2电极部22、23的待检查基板6侧的端部设有从电极保持构件24的表面24a往待检查基板6侧突起的突出部33、34，因此可简单且确实地抵接至与第1及第2电极部22、23的突出部33、34对应的第1及第2接触件2、3的后端2b、3b而电连接。 

又，第1及第2电极部22、23的电极本体31、32插入电极保持构件24上设置的贯通孔27、28而受保持，且其待检查基板6侧的端面31a、 32a位在与电极保持构件24的表面24a大致同一平面上。另外，从电极保持构件24的表面24a往待检查基板6侧突起的突出部33、34通过电镀形成于第1及第2电极部22、23的电极本体31、32的待检查基板6侧的端面31a、32a。因此，可轻易地制作待检查基板6侧的端部从电极保持构件24的表面24a往待检查基板6侧突起的第1及第2电极部22、23。 

又，由于突出部33、34以厚度调节较容易的电镀形成，因此可轻易地调节第1及第2电极部22、23的突出部33、34从电极保持构件24的表面24a突起的高度H3、H4。 

在此，参照图6(a)及图6(b)，说明第1及第2电极部22、23的突出部33、34的制作工序。首先，如图6(a)所示，制作第1及第2电极部22、23的电极本体31、32。该图6(a)的结构中，电极本体31、32插入电极保持构件24上设置的贯通孔27、28而受保持，且其待检查基板6侧的端面31a、32a位在与电极保持构件24的表面24a大致同一平面上。就此结构的制作方法而言，可采用如下的方法：例如将制作电极本体31、32的金属线(或附有包层的金属线)插入穿通于电极保持构件24的贯通孔27、28，并以切除机构(例如刀具)切除该金属线(或附有包层的金属线)从电极保持构件24的表面24a往待检查基板6侧突出的部分(突出部分)。以此方法，可轻易地制作第1及第2电极部22、23。 

接着，如图6(b)所示，将如上述设于电极保持构件24的电极本体31、32的待检查基板6侧的端面31a、31b浸在电镀槽36的电镀溶液37，对电极本体31、32的端面31a、31b施加电镀。由此，电极本体31、32的端面31a、31b形成从电极保持构件24的表面24a往待检查基板6侧突起的突出部33、34。 

其次，参照图4及图5，说明探针1的第1及第2接触件2、3与第1及第2电极部22、23的位置关系等。 

本实施方式中，如图4及图5所示，第1电极部22与第2电极部23俯视观察，以第1电极部22的中心与第2电极部23的中心分离的方式配置。第1电极部22的中心与第2电极部23的中心的距离设定为大于第1电极部22的半径与第2电极部23的半径之和。又，俯视观察的 第1电极部22的最大宽度(本实施方式中为外径R5)设定为小于第1接触件2的外径R21。亦即，本实施方式的第1电极部22与第2电极部23的配置形态不同于如第2电极部23围绕第1电极部22的外周的多重构造(例如同心圆状构造)。因此，可使第1及第2电极部22、23的组合间之间距缩窄，即使是以4接点法进行的检查，也能以高可靠性实施。 

第1及第2电极部22、23的从待检查基板6侧观察的平面形状呈大致圆形，但可采用矩形等任意的形状。又，图4及图5所示的结构中，第1电极部22的平面形状与第2电极部23的平面形状设定为尺寸及形状相同。因此，可利用相同构件以形成第1及第2电极部22、23，达到成本降低。就其它结构而言，如后述图11所示的结构，第1电极部22的平面形状与第2电极部23的平面形状也可为尺寸不同的相似形状。为相似形状时，有可轻易地掌握第1及第2电极部22、23的位置的优点。 

又，本实施方式中，如图4及图5所示，第2电极部23的突出部34的外径R6设定为超过第2接触件3的内径R32，且小于第1接触件2的内径R22的尺寸。更具体而言，本实施方式中，突出部34的外径R6设定为大于第2接触件3的内径R32，并小于第2接触件3的外径R31的尺寸。又，第1电极部22的突出部33的外径R5虽无特别限制，但本实施方式中是与第2电极部23的突出部34的外径R6呈大致相同尺寸。 

另外，第2电极部23以其外缘部位于比对应的探针1的第1接触件2的内周2c内侧的方式所配置。更具体而言，本实施方式中，第2电极部23以其外缘部位于比对应的探针1的第2接触件3的外周3c内侧的方式所配置。 

另一方面，第1电极部22配置于相比对应的探针1的第2接触件3的后端3b的外周3c处于外侧，且可与第1接触件2的后端2b抵接的位置。最好是第1电极部22以最接近于对应的探针1的中心轴C1的部分22a大致位于第1接触件2的后端2b的内周2c与外周2d间的方式配置。 

通过此种结构，组装检查治具20时，一面确实地避免第1电极部 22误与第2接触件3接触，或者第2电极部23误与第1接触件2接触等不良情形，一面可使第1及第2接触件2、3的后端2b、3b与第1及第2电极部22、23确实地抵接而电连接。 

又，本实施方式中，第2电极部23以其中心C23与对应的包含第2接触件3的探针1的中心轴C1(此中心轴C1与第1接触件2的中心轴大致一致)大致一致的方式配置。由此，可使第2电极部23的周缘部的任一个部分(或者涵盖大致全周的部分)确实地与第2接触件3的后端3b抵接而电连接。 

又，本实施方式中，如图5所示，以各组合的第2电极部23为基准而观察时，可变更此时第1电极部22对第2电极部23的分离方向。图5所示的结构中，将第1及第2电极部22、23配置成为：各组合中的第1电极部22的中心与第2电极部23的中心的连线L1相对多个探针1并排的排列方向L2倾斜既定角度θ(例如约45度)。由此，即使探针1间之间距变短时，也可轻易地使第1及第2电极部22、23的各组合间的间距缩短来进行对应。此效果在将既定角度θ设定在约45度时最能有效发挥。 

就有关此点的变形例而言，如图7所示，也可以将第1及第2电极部22、23配置成为：各组合的第1电极部22的中心与第2电极部23的中心的连线L1，与多个探针1并排的排列方向L2呈大致平行。 

又，图4及图5中，已说明第2接触件3为筒状构件的情形，但即使为棒状构件，也可发挥同样的效果。 

以下，记载依上述实施方式的结构的变形例。 

图8及图9所示的变形例中，第2电极部23以其中心C23稍微偏离于对应的包含第2接触件3的探针1的中心轴C1(此中心轴C1与第1接触件2的中心轴大致一致)的方式配置。 

此时，第1电极部22与第2电极部23设定为可分别接触于第1接触件2与第2接触件3的后端面。因此，第1电极部22与第2电极部23的分离距离以具有第1接触件2与第2接触件3的间隙量的尺寸的方式形成。 

又，当第2接触件3以筒状构件形成时，第2电极部23的突出部34的外径R6设定为与第2接触件3的内径大致一致的尺寸，且第2电极部23的突出部34以与第2接触件3的后端面的一部分导通接触方式形成，第1电极部22的突出部33以与第1接触件2的后端面的一部分导通接触方式形成。 

图10及图11所示的变形例中，第1电极部22的外径R5为了与第1接触件2的后端面的一部分导通接触而形成为与第1接触件2的径向的厚度大致相同或较之稍大。第2电极部23的外径R6以比第2接触件的外径小或大致相同的方式形成。又，第1电极部22的外径R5设定为小于第2电极部23的外径R6。由此，可实现第1及第2电极部22、23的各组合间的狭小间距化。此时，第2电极部23的突出部34与第2接触件3的周缘导通接触，并且突出部34的前端的一部分收纳于第2接触件3的内部。通过如此形成，第2电极部23可稳定地与第2接触件3导通接触，并能使第2接触件3的位置稳定，可确实地使各电极部22、23与各接触件2、3导通接触。又，该图10的结构中，第2接触件3利用筒状构件，但也可利用棒状构件。 

又，图11中，各个电极部22、23以并列配置方式所配置；但也可如图5配置在45度的位置，以进一步使各电极部22、23间之间距缩短，此时更能对应凸块的狭小间距化。 

又，就其它变形例而言，还可以设置从上述探针1的第1接触件2的外周侧面向径向外方延伸的凸缘部，并在探针保持构件21的插通孔26内设置从待检查基板6侧抵接于该凸缘部而防止探针1脱离的抵接部(例如台阶部)，在该抵接部与电极部22、23之间使探针1以沿轴方向被压缩的状态进行保持。 

又，图3、图4及图10所示的电极构造中，示出第2电极部23的中心轴与第2接触件3的中心轴形成为大致同轴配置的情形。此时，第2接触件3为筒状构件时，第2电极部23的外径以大于第2接触件3的内径的方式形成。又，第2接触件3为棒状构件时，第2电极部23的外径以小于第1接触件2的内径或小于第2接触件3的外径的方式形成。 

又，图8所示的电极构造中，第2电极部23的中心轴与第2接触件3的中心轴形成为稍微偏离配置。此时，第2接触件3为筒状构件时，第2电极部23的外径以大于第2接触件3的厚度的方式形成，并以与第2接触件3的部分底面导通接触方式配置。又，第2接触件3为棒状构件时，第2电极部23的外径需要考虑第1接触件2与第2接触件3的间隙与厚度，而形成不接触于第1接触件2的程度的尺寸。 

又，第1电极部22与第2电极部23最好具有相同外径。这是由于以如上述制造方法所形成，而无须区别使用第1或第2电极部22、23所使用的构件，因此通过使用相同构件，即导电线，可轻易地制造。 

Claims (12)

1.一种检查治具，其特征在于，包括：

多个探针，其一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部；

保持体，其将上述探针的两端分别引导至既定的上述检查点及上述电极部，并保持该探针；及

电极体，其包含多个上述电极部，

上述探针具有：

第1接触件，其以导电材料形成筒形形状；及

第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，

上述电极部具有：

第1电极部，其用以与上述第1接触件导通接触；及

第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触件导通接触，

上述第1电极部与该第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极部的中心与上述第2电极部的中心分离，且俯视观察的上述第1电极部的最大宽度小于上述第1接触件的外径。

2.根据权利要求1所述的检查治具，其特征在于，上述第1电极部从俯视观察，形成与上述第2电极部相同的尺寸且相同的形状，或形成小于上述第2电极部的尺寸且为相似的形状。

3.如权利要求1或2所述的检查治具，其特征在于，

上述第2电极部相对于探针的径向配置在中央处，

上述第1电极部配置成：使该第1电极部与上述第2电极部的连线对于多个探针的排列方向倾斜既定角度。

4.如权利要求3所述的检查治具，其特征在于，上述既定角度为45度。

5.如权利要求1、2、4中任一项所述的检查治具，其特征在于，上述第1电极部及上述第2电极部从上述电极体的表面突出而形成。

6.如权利要求1、2、4中任一项所述的检查治具，其特征在于，

上述第1电极部及上述第2电极部各包含：

线状的电极本体，其插入到设于上述电极体的贯通孔，且该电极本体的上述待检查基板侧的端面与上述电极体的表面位于同一平面；及

突出部，其通过电镀形成在上述电极本体的上述端面，从上述电极体的上述表面向上述待检查基板侧突起。

7.如权利要求2所述的检查治具，其特征在于，

上述第2电极部的外径小于上述第1接触件的内径，

上述第2电极部配置为相比上述第1接触件的内周位于更内侧，

上述第1电极部配置为相比上述第2接触件的外周位于更外侧，且可与上述第1接触件的端部抵接的位置。

8.如权利要求7所述的检查治具，其特征在于，上述第2电极部配置成使其中心与上述第2接触件的中心轴一致。

9.如权利要求7所述的检查治具，其特征在于，上述第2电极部配置成使其中心偏离上述第2接触件的中心轴。

10.如权利要求7至9中任一项所述的检查治具，其特征在于，上述第1电极部的外径小于上述第2电极部的外径。

11.一种电极结构，设置于基板检查用治具；该基板检查用治具包括多个探针，该多个探针的一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部，该电极结构的特征在于，

上述探针具有：

第1接触件，其以导电材料形成筒形形状；及

第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，

上述电极部具有：

第1电极部，其用以与上述第1接触件导通接触；及

第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触件导通接触，

上述第1电极部与上述第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极部的中心与上述第2电极部的中心分离，俯视观察的上述第1电极部的最大宽度小于上述第1接触件的外径。

12.一种电极结构的制造方法，是权利要求11所述的电极结构的制造方法，其特征在于，

将分别形成上述第1电极部及上述第2电极部的导电性的线状构件贯穿配置于具有保持上述线状构件的保持孔的保持体中，

将从上述保持体突出的上述线状构件的突出部分切断去除，使其与该保持体成为同一平面。

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