CN101503815A - 表面处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的表面处理装置，对于表面处理、水洗处理及干燥处理等，能以流水作业的方式自动地实施，而且能以节省空间的设置面积进行实施。本发明的表面处理装置包括：将投入的工件向下游的表面处理机(3)的处理容器(8)内供给的供给机(2)；一边使处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液以对工件实施表面处理的表面处理机；使处理容器上下翻转、将水从下方喷向处理容器内使工件流出、将工件收集在回收容器(45)内的工件回收机(4)；从工件回收机接受回收容器并使回收容器内的工件暴露在空气中使工件干燥的干燥机(5)；以及将处理容器在表面处理机彼此之间以及表面处理机与工件回收机之间输送的输送机(6)，包括一台以上的表面处理机。

Description

表面处理装置

技术领域

本发明涉及一种将收容有工件的处理容器向一系列的机械依次输送而供各机械进行作业从而得到进行了表面处理的工件的表面处理装置。作为工件例如有0.5～5000μm的粉末、片状电容器、二极管、连接器、簧片开关、钉子、螺栓、螺母、垫圈等小物件(小型零件)。另外，作为表面处理例如有镍、锡等的电镀处理。

背景技术

作为对工件进行表面处理的表面处理装置例如已知有专利文献1、2所示的装置。这些装置中，在将处理容器载放在托板的状态下对工件进行表面处理和水洗或对处理容器进行清洗等。

专利文献1：日本专利特表平11—505295号公报

专利文献2：美国专利第5,879,520公报

然而，以往的上述装置中，由于利用一台装置进行表面处理和水洗等各种处理，因而效率差，而且有可能各处理本身不够充分。

发明内容

为此，希望有一种表面处理装置，对于表面处理、水洗处理及干燥处理等，能以流水作业的方式自动地实施，而且能以节省空间的设置面积实施。

本案第一发明的表面处理装置是将投入后的工件依次向一系列的机械输送以供各机械进行作业、从而得到进行了表面处理的工件的表面处理装置，其特征在于，包括：供给机，其将投入后的工件向下游的表面处理机的处理容器内供给；表面处理机，其一边使处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液，对工件实施表面处理；工件回收机，其使处理容器上下翻转，将水从下方喷向处理容器内使工件流出，将工件收集在回收容器内；干燥机，其从工件回收机接受回收容器，使回收容器内的工件暴露在空气中使工件干燥；以及输送机，其将处理容器在表面处理机彼此之间以及表面处理机与工件回收机之间输送，表面处理装置包括一台以上的表面处理机。

本案第二发明的供给机是将投入后的工件向下游的机械供给的供给机，其特征在于，包括：存放投入后的工件的投入用容器；支撑投入用容器的支撑部件；使投入用容器通过支撑部件水平移动的移动机构；以及使投入用容器通过支撑部件上下移动的升降机构，使投入用容器水平及上下移动，使投入用容器下部的可开闭的投入口位于下游的机械的规定位置。

本案第三发明的表面处理机是一边使收容了工件的处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液、对工件实施表面处理的表面处理机，其特征在于，包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，阳极支撑机构包括保管阳极的阳极保管槽，阳极保管槽收容表面处理液以浸渍阳极。

本案第四发明的表面处理机是一边使收容了工件的处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液、对工件实施表面处理的表面处理机，其特征在于，包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，阳极支撑机构包括：支撑阳极的阳极支撑部件；支撑阳极承接盘的承接盘支撑部件；通过阳极支撑部件使阳极上下移动的升降机构；通过阳极支撑部件使阳极水平移动的阳极移动机构；通过承接盘支撑部件使阳极承接盘水平移动的承接盘移动机构；以及连接阳极支撑部件和承接盘支撑部件的连接机构，当阳极通过阳极移动机构从阳极保管槽的上方或从处理容器的上方开始移动并且阳极承接盘通过承接盘移动机构位于阳极下方时，连接机构将两个支撑部件连接。

本案第五发明的工件回收机是对处理容器内的经表面处理后的工件予以回收的工件回收机，其特征在于，包括：载放处理容器的托板；覆盖托板上的处理容器的漏斗；使托板上的处理容器与漏斗一起上下翻转的翻转机构；将洗净水喷向翻转后的处理容器内的洗净水供给装置；利用过滤器部件滤取收集被洗净水从处理容器冲出的工件的回收容器；使回收容器上升来使回收容器从下方堵塞翻转后的漏斗的排出口的升降机构；以及盛接使用后的洗净水的回收槽，漏斗具有从内侧堵塞排出口的盖部件，盖部件受到从内侧朝向排出口的施力，升降机构使围住回收容器的筒体上下移动，筒体在内部具有与回收容器抵接并抬起回收容器的承接部，盖部件被回收容器上推而打开排出口。

本案第六发明的干燥机是使收容在回收容器内的工件暴露在空气中使工件干燥的干燥机，其特征在于，包括：载放回收容器的托板；对载放在托板上的回收容器从上下予以密闭的罩；以及对罩内供给、排出空气的空气给排装置，托板在面对构成回收容器底部的过滤器部件的部分上具有通孔，空气给排装置包括：送出空气的鼓风机、用于将来自鼓风机的空气向托板上方供给的供给管、用于从托板下方排出空气的排出管。

采用本案第一发明的表面处理装置，将操作人员投入供给机内的工件自动地依次向表面处理机、工件回收机及干燥机输送，能得到进行了表面处理的干燥的工件。而且，上述处理能利用一台装置内的机械完成。因此，采用本发明的表面处理装置，对于表面处理、水洗处理及干燥处理等，能以流水作业的方式自动地实施，而且能以节省空间的设置面积进行实施。

采用本案第二发明的供给机，能将操作人员投入后的工件自动地投放到安放在下游的机械上的处理容器内，因此能提高工作效率。

采用本案第三发明的表面处理机，在非动作时能将阳极预先浸渍在阳极保管槽内收容的表面处理液内，可防止阳极的劣化。

采用本案第四发明的表面处理机，当阳极在阳极保管槽的上方与处理容器的上方之间移动时，由于阳极承接盘配置在阳极的下方并与阳极一起移动，因而可承接从阳极滴下的表面处理液。因而能防止表面处理机周围被表面处理液污染。

采用本案第五发明的工件回收机，能将载放在托板上的处理容器内的工件自动地回收到回收容器内。

采用本案第六发明的干燥机，能可靠地使来自鼓风机的空气流过回收容器内。即，能使回收容器内的工件可靠地暴露在来自鼓风机的空气中。因此，能可靠地使工件干燥。而且，由于空气在回收容器内从上朝下流过，因而工件被朝下推压。因此能防止操作过程中工件飞散。

附图说明

图1是表示本发明一实施方式的表面处理装置的正面透视图。

图2是表示本实施方式的装置的俯视透视图。

图3是表示本实施方式的供给机及表面处理机的正面剖视图。

图4是图3的IV向视图，表示第一供给部。

图5是图3的V向视图。

图6是本实施方式的罐(pot)的放大剖视图。

图7是表示本实施方式的供给机的工作状态的剖视图。

图8是图2的VIII—VIII剖视图。

图9是本实施方式的阳极支撑机构的透视立体图。

图10是本实施方式的处理容器的纵剖视图。

图11是表示本实施方式的工件回收机及干燥机的工作开始状态的纵剖视图。

图12是表示本实施方式的工件回收机及干燥机的工作过程中的状态的纵剖视图。

图13是本实施方式的工件回收机的回收容器的立体图。

图14是本实施方式的工件回收机的筒体的俯视图。

图15是表示本实施方式的工件回收机的工作过程中的状态的放大局部剖视图。

图16是图1的XVI向视纵剖视图，是表示干燥机的工作开始状态的图。

图17是表示图16的干燥机的工作过程中的状态的图。

图18是本实施方式的输送机的整体立体图。

图19是表示处理容器的变形结构的纵剖视图。

图20是表示回收容器的变形结构的下方立体图。

图21是表示工件回收机的变形结构的纵截面局部图。

具体实施方式

以下对本发明的表面处理装置的一实施方式进行说明。

(A)对本实施方式的表面处理装置的结构进行说明。

(1)整体结构

图1是表示本实施方式的表面处理装置的正面透视图。图2是其俯视透视图。该表面处理装置1是一种用于通过将放入的工件依次向一系列的机械输送以供给各机械进行作业从而得到进行了表面处理的工件的装置。表面处理装置1包括供给机2、两台表面处理机3、工件回收机4、干燥机5、输送机6。在表面处理装置1中，所有的这些机械收容在一个长方体状的箱体7内。箱体7包括将内部空间分隔成上下两个空间70A、70B的隔板71、构成顶部空间70C的顶板72。供给机2、两台表面处理机3、工件回收机4、干燥机5在箱体7内的正面侧排列配置，输送机6配置在箱体7内的背面侧。工件例如是片状电容器(chip condenser)。第一台表面处理机3所实施的表面处理例如是镀镍处理，第二台表面处理机3所实施的表面处理例如是镀锡处理。

供给机2将放入后的工件向下游(日文：次段)的表面处理机3的处理容器8内供给。表面处理机3一边旋转处理容器8一边向处理容器8内供给表面处理液，对工件进行表面处理。工件回收机4将处理容器8上下翻转，从下方朝处理容器8内喷水以使工件流出，将工件收集在回收容器41内。干燥机5从工件回收机4接受回收容器41，使回收容器41内的工件暴露在空气中以使工件干燥。输送机6将处理容器8在第一台表面处理机3与第二台表面处理机3之间进行输送，或在表面处理机3与工件回收机4之间进行输送。

(2)供给机2

图3是表示供给机2及表面处理机3的正面剖视图。供给机2包括第一供给部2A和第二供给部2B。图4是图3的IV向视图，表示第一供给部2A。图5是图3的V向视图。

(2—1)第一供给部2A

第一供给部2A包括：存放放入的模型(dummy)的第一斜道(chute)211；存放放入的工件的第二斜道212；将从第一斜道211放出的模型以及从第二斜道212放出的工件引向下游的漏斗(hopper)22；使两个斜道211、212及漏斗22上下移动的整体升降机构23；使第一斜道211的一端部上下移动的第一升降机构241；使第二斜道212的一端部上下移动的第二升降机构242。

两个斜道211、212通过水平轴213支撑在漏斗22的两壁221之间，一旦上下移动一端部就会绕水平轴213转动。

特别是如图4所示，整体升降机构23固定在水平的隔板71上，而隔板71固定在箱体7上。整体升降机构23包括固定在隔板71上的两根平行的垂直导轨231、架设在两根垂直导轨231下端上的水平板232、固定在水平板232上的垂直缸233、固定在缸233的缸杆2331上的水平板234、架设在两根垂直导轨231上端上的水平板235、贯通水平板235的两个垂直筒导轨236、从水平板234垂直延伸并可在垂直筒导轨236内滑动的两根缸杆237、架设在两根缸杆237上端的水平板238。

漏斗22固定在水平板238上。因此，当缸233动作时，缸杆2331进行进退动作，水平板234随两根缸杆237及水平板238上下移动，其结果是，漏斗22及两个斜道211、212上下移动。

第一升降机构241是下端固定在水平板234上的垂直缸，缸杆2411的前端通过水平轴2413可转动地与第一斜道211的一端部连接。第二升降机构242是下端固定在水平板234上的垂直缸，缸杆2412的前端通过水平轴2414可转动地与第二斜道212的一端部连接。因此，第一升降机构241动作而使缸杆2411伸长，第一斜道211绕水平轴213转动，存放在第一斜道211内的模型向漏斗22内放出。而第二升降机构242动作而使缸杆2412伸长，第二斜道212绕水平轴213转动，存放在第二斜道212内的工件向漏斗22内放出。

(2—2)第二供给部2B

第二供给部2B包括存放由漏斗22引导的工件及模型的罐(投入用容器)26、对罐26进行支撑的支撑部件27、通过支撑部件27将罐26水平移动的移动机构28、通过支撑部件27将罐26上下移动的升降机构29。

支撑部件27包括水平臂271和垂直柱272。罐26支撑在水平臂271的前端上。垂直柱272从水平臂271的基端贯通隔板71朝下方延伸。在隔板71的上方，垂直柱272被从隔板71朝上方延伸的内侧套筒273和从水平臂271朝下方延伸的外侧套筒274围住。即使水平臂271位于上限时，内侧套筒273与外侧套筒274也局部重叠。

如图6所示，罐26是一种在上表面的局部具有流入口261、在下部具有打开成圆锥状的放出部262的容器。在放出部262设有对放出部262进行密闭的圆锥状的盖263。盖263的直径D1比放出部262的开口2621的直径D2稍大。盖263通过外表面2631与放出部262的内表面2622抵接来堵塞放出部262。盖263通过固定在水平臂271上的垂直缸264的作用来进行上下移动。即，盖263通过缸264对放出部262进行开闭。缸264的升降行程S1设定为1～10mm。

移动机构28及升降机构29设置在隔板71的下方的空间70A内。移动机构28具有转台281。转台281设置在垂直柱272的下端上，使垂直柱272绕轴旋转。因此，当转台281动作时，水平臂271以垂直柱272为轴进行转动，使罐26水平移动。升降机构29包括垂直的滚珠丝杠291、使滚珠丝杠291旋转的电动机292。转台281通过螺母293安装在滚珠丝杠291上。因此，当电动机292动作时，滚珠丝杠291旋转，转台281上下移动，其结果是，垂直柱272、水平臂271及罐26上下移动。

在图3中，罐26处于待机位置，在图7中，罐26处于工作位置。在待机位置时，罐26的流入口261位于漏斗22的正下方。在工作位置时，罐26位于表面处理机3上设有的处理容器8内。在工作位置，从处理容器8的底面811至罐26的处于打开状态的盖263的下表面的垂直距离H设定为1mm～2cm。

(3)表面处理机3

(3—1)整体结构

图8是图2的VIII—VIII剖视图。如图2、图3及图8所示，表面处理机3包括：载放处理容器8的水平的托板31；使托板31在水平面内旋转的旋转驱动机构32；位于托板31下方并承接表面处理液及洗净水的承接槽33；用于从上方覆盖托板31上的处理容器8的盖体34；使盖体34相对于处理容器8开闭的开闭机构35；为了将阳极360用于表面处理而对其进行支撑的阳极支撑机构36(图2)；与承接槽33连通的排水机构37。

(3—2)排水机构37

如图8所示，排水机构37设置成与承接槽33的排出口331连通，并配置在输送机6的下方且处于隔板71下方的空间70A内。排水机构37包括与排出口331连通的承接容器371、与承接容器371连通并向下方延伸的挠性软管372、两个桶(trunk)、使承接容器371在水平面内的规定范围内转动的转动机构374。一个桶375用于回收表面处理液，另一个桶(未图示)用于回收洗净水。在图8中，仅表示了一个桶375。桶375的上表面具有可供软管372的前端部连通的进口376。其他桶也一样。转动机构374通过电动机使承接容器371的转动轴3711转动。因此，当承接容器371转动时，软管372的前端部在桶375的进口376与另一个桶的进口之间水平移动。

(3—3)阳极支撑机构36

图9是阳极支撑机构36的透视立体图。阳极支撑机构36包括：支撑阳极360的阳极支撑部件36A；支撑阳极承接盘361的承接盘支撑部件36B；通过阳极支撑部件36A使阳极360上下移动的升降机构36C；通过阳极支撑部件36A使阳极360水平移动的阳极移动机构36D；通过承接盘支撑部件36B使阳极承接盘361水平移动的承接盘移动机构36E；连接阳极支撑部件36A和承接盘支撑部件36B的连接机构36F；用于保管阳极360的阳极保管槽36G；用于供给表面处理液及洗净水的供给机构36H。

阳极保管槽36G与托板31在横向上分离并设置在隔板71上。阳极保管槽36G中收容有表面处理液以能将阳极360浸渍。阳极保管槽36G的底部与两根排出管394、395连接，排出管394与用于回收表面处理液的桶371连接，排出管395与用于回收洗净水的桶连接。

阳极支撑部件36A具有：将阳极360保持在前端部的水平臂363；从水平臂363的基端部沿上下延伸的轴体364。轴体364通过轴承391贯通隔板71。

承接盘支撑部件36B包括：将阳极承接盘361支撑在前端部上的水平臂365；从水平臂365的基端部以围住轴体364的形态朝上方延伸的筒体366。筒体366通过轴承392贯通顶板72。水平臂365在基端通过垂直部365a及水平部365b与筒体366连接。阳极承接盘361的底部与排出管396连接，排出管396与用于回收表面处理液的桶371连接。阳极承接盘361的底面以朝向排出管396降低的形态倾斜。

阳极移动机构36D包括固定在轴体364下端的转台367，并配置在隔板71下方的空间70A内。因此，当转台367旋转时，轴体364绕轴转动，其结果是，水平臂363前端部的阳极360水平移动。即，阳极360可在载放在托板31上的处理容器8的上方与阳极保管槽36G的上方之间水平移动。

升降机构36C包括从下方对转台367予以支撑的垂直缸368，并配置在隔板71下方的空间70A内。转台367固定在缸368的缸杆3681的上端。因此，当缸368动作而使缸杆3681进退时，轴体364及水平臂363上下移动，其结果是，阳极360上下移动。即，阳极360可相对于阳极保管槽36G进出，而且也可相对于载放在托板31上的处理容器8进出。

承接盘移动机构36E包括：电动机381、固定在电动机381的输出轴上的第一带轮382、固定在筒体366上的第二带轮383、连接两个带轮382、383的皮带384。因此，当电动机381动作时，第二带轮383及筒体366在第一带轮382及皮带384的作用下转动，其结果是，阳极承接盘361水平移动。

连接机构36F包括通过支架385固定在第二带轮383上的气动卡盘386。气动卡盘386位于轴体364的上端部并能把持轴体364。因此，当气动卡盘386把持轴体364时，轴体364的转动传递给筒体366，轴体364与筒体366一起转动，其结果是，阳极360与阳极承接盘361一起水平移动。此时，电动机381停止动作。当阳极360在阳极移动机构36D的作用下从阳极保管槽36G的上方或从处理容器8的上方开始水平移动时，且阳极承接盘361在承接盘移动机构36E的作用下位于阳极360的下方时，气动卡盘386连接轴体364和筒体366。

供给机构36H包括供给表面处理液的第一供给装置、供给洗净水的第二供给装置。第一供给装置包括：盛放表面处理液的桶(未图示)、从桶通过泵延伸至水平臂363的前端部并朝着下方的供给管398。第二供给装置包括：盛放洗净水的桶(未图示)、从桶通过泵延伸至水平臂363的前端部并朝着下方的供给管(未图示)。

(3—4)其他

旋转驱动机构32利用电动机322驱动垂直转轴321旋转。

盖体34在中央具有开口341。

开闭机构35包括：从盖体34的侧部延伸的臂351、与臂351连接的垂直缸352。臂351的一端与盖体34连接，另一端353固定在隔板71上并可自由转动。缸352的缸杆3521的前端与臂351的中途连接并可自由转动。因此，当缸352动作而使缸杆3521朝上方伸长时，臂351就会以另一端353为支点朝上方转动，其结果是，盖体34如图8中的点划线所示地打开。

(4)处理容器8

图10是处理容器8的纵剖视图。处理容器8通过将非导电性底板81、电极环82、盖83按照此顺序从下开始重叠并利用贯通电极环82的螺栓84进行一体化而成，并且处理容器8具有使表面处理液从处理容器8内朝外流出的流出机构(未图示)。盖83为圆顶状，在中央具有开口831。

从表面处理机3的托板31经由螺栓84可向电极环82通电。表面处理机3使收容有工件的处理容器8旋转，一边使工件与电极环82接触一边通过流出机构使表面处理液从处理容器8内朝外流通，通过从阳极360对处理容器8内的表面处理液通电来对工件进行表面处理。

作为流出机构采用了在底板81与电极环82之间构成的间隙通路。间隙通路是这样构成的：在圆周方向上空开适当的间隔对底板81与电极环82之间配置同样大小的树脂制的片状部件(未图示)，利用底板81和电极环82夹住该片状部件，在相邻的片状部件之间形成间隙通路。

在底板81的外周面形成有在圆周方向上连续的槽沟89。在盖83的上缘的外周形成有在圆周方向上连续的朝外的凸缘88。处理容器8的凸缘88的直径尺寸D3小于处理容器8的最大直径D4。

(5)工件回收机4

图11是表示工件回收机4及干燥机5的纵剖视图。图11表示开始工作状态，图12表示工作过程中的状态。工件回收机4包括：载放处理容器8的托板41、覆盖托板41上的处理容器8的漏斗42、使托板41上的处理容器8和漏斗42一起上下翻转的翻转机构43、向翻转后的处理容器8内喷射洗净水的洗净水供给装置44、利用过滤器部件对在洗净水的作用下从处理容器8流出的工件进行滤取收集的回收容器45、使回收容器45上升以从下方堵塞翻转后的漏斗42的排出口423的升降机构46、盛接使用后的洗净水的回收槽47。托板41、漏斗42、翻转机构43及洗净水供给装置44配置在隔板71上方的空间70B内，回收容器45、升降机构46及回收槽47配置在隔板71下方的空间70A内。

托板41包括从横向夹住载放着的处理容器8从而予以把持的把持机构48。把持机构48包括：从横向两侧嵌入处理容器8的槽沟89内的一对把持突部(把持部件)481、使一对把持突部481分别横向移动的水平缸482。因此，当缸482动作而使缸杆4821收缩时，把持突部481嵌入槽沟89内，其结果是，把持机构48能把持处理容器8。

漏斗42被托板41的横向两侧固定的一对垂直缸421支撑。在一对缸421的缸杆4211的前端架设有臂422，漏斗42支撑在臂422的中央。在图11的工作开始状态，漏斗42位于载放在托板41上的处理容器8的上方，漏斗42的覆盖部42A朝下方较大地开口，排出部42B朝上方较小地开口。在排出部42B的排出口423设有盖部件42C。盖部件42C被设置成受到从内侧朝向排出口423的施力，以从内侧堵塞排出口423。盖部件42C的内侧部分420呈向内尖锐的圆锥状。

翻转机构43包括：将托板41、漏斗42及缸421一体地支撑的水平转动轴431；使水平转动轴431转动的电动机432。水平转动轴431在横向两侧通过轴承433及导轨434支撑在隔板71上。水平转动轴431可沿两根导轨434在图2的Y方向(前后方向)移动。

洗净水供给装置44具有从洗净水供给源(未图示)延伸到漏斗42内的供给管441。供给管441的前端具有自动喷水器(sprinkler)442，自动喷水器442设置成在漏斗42覆盖处理容器8时朝处理容器8的内部喷出洗净水。

如图13所示，回收容器45是具有底部451的大致圆筒状的容器，底部451由可滤取工件的过滤器部件构成。过滤器部件例如由网板构成，该网板具有许多大小为工件及模型不能通过的通孔。在回收容器45的内部设有从架设成十字的框架457朝上平行延伸的两个销452。销452从回收容器45的上缘朝上方稍许突出。回收容器45在上缘具有在圆周方向上连续的朝外凸缘453。凸缘453在相对位置具有用于定位的缺口454。回收容器45在底部外周的相对位置具有定位用的横向销455。缺口454与横向销455俯视处于重叠的位置。

升降机构46包括：载放回收容器45的托板461、设置成围住载放在托板461上的回收容器45的筒体462、使筒体462上下移动的垂直缸463。托板461固定在支柱465的上端，支柱465在筒体462内上下延伸。图14是筒体462的俯视图。筒体462的内部的横向两侧具有一对托板(承接部)466。一对托板466之间的间隙467具有托板461及支柱465可通过但回收容器45不可通过的大小。即，托板461俯视为细长形状。筒体462被从缸463的缸杆4631的前端朝横向延伸的臂468支撑。臂468设置成可沿导向件469上下滑动。因此，当缸463动作而使缸杆4631伸长时，筒体462上升，托板466与回收容器45的下表面抵接并上升，其结果是，筒体462将回收容器45抬起。

回收槽47设置成从下方覆盖处于工作开始状态的筒体462。

图15是表示回收容器45从下方接近翻转后的漏斗42的排出部42B的状态，是纵截面放大图。在漏斗42的排出部42B设有横穿排出口423的框架425，导棒426从框架425的中央朝上方延伸。盖部件42C设置成从上方覆盖导棒426。在导棒426的前端部427与盖部件42C的外侧端部428之间设有沿导棒426延伸的弹簧429。弹簧429设置成对盖部件42C朝排出口423施力。另一方面，回收容器45的两个销452设置成避开框架425且可插入排出口423内。因此，当回收容器45上升时，两个销452从下方与盖部件42C抵接，将盖部件42C克服弹簧429的施力沿导棒426上推，其结果是，将排出口423打开。

(6)干燥机5

图16是图1的XVI向视纵剖视图，图16表示干燥机5的工作开始状态，图17表示干燥机5的工作过程中的状态。干燥机5包括：从工件回收机4搬运回收容器45的搬运机构51；载放搬运来的回收容器45的托板52；对载放在托板52上的回收容器45从上下予以密闭的罩53；对罩53内供给并排出空气的空气给排装置54。

搬运机构51包括：把持回收容器45的把持机构51A；使把持机构51A上下移动的升降机构51B；使升降机构51B沿图2的X方向(左右方向)移动的移动机构51C。

把持机构51A包括：一对把持臂511、驱动一对把持臂511的水平缸512。一对把持臂511分别在前端部具有朝向内侧的把持板5111。把持机构51A通过将回收容器45的凸缘453载放在把持板5111上来把持回收容器45。把持板5111具有嵌入凸缘453的缺口454内的朝上的销5112。缸512驱动一对把持臂511使一对把持臂511之间的相对间隔扩大或缩小。

升降机构51B包括：前端支撑把持机构51A的水平臂513、将水平臂513支撑成可滑动的垂直导轨514；使水平臂513沿垂直导轨514上下移动的垂直缸515。水平臂513的基端固定在缸515的缸杆5151的上端。

移动机构51C包括：支撑垂直导轨514的水平臂516、使水平臂516沿X方向移动的水平缸517。垂直导轨514设置成可沿上导轨518和下导轨519在X方向上移动。

托板52在其面对载放的回收容器45的底451的部分具有通孔521。在通孔521周缘的相对位置上设有供回收容器45的横向销455嵌入的承接部522。罩53包括：在托板52的上方覆盖回收容器45来确保空间的上罩部531、在托板52的下方确保空间的下罩部532、以及开闭上罩部531的开闭机构533。开闭机构533具有：固定在上罩部531上的水平转动轴535、以及驱动水平转动轴535转动的缸536。当水平转动轴535转动时，上罩部531绕水平转动轴535转动即进行开闭。缸536的缸杆5361的前端通过连杆537与水平转动轴535连接，由此，缸536通过缸杆5361的进退动作使水平转动轴535转动。在下罩部532的最下部设有排水口538。

空气给排装置54包括：送出空气(理想的是热风)的鼓风机(未图示)、用于将来自鼓风机的空气朝上罩部531内供给的供给管542、用于从下罩部532内排出空气的排出管543。

(7)输送机6

图18是输送机6的整体立体图。输送机6包括：把持处理容器8的把持装置61、使把持装置61上下移动的升降机构62、使升降机构62整体前后移动的前后移动机构63、使升降机构62整体及前后移动机构63整体左右移动的左右移动机构64。

把持装置61包括：一对把持臂611、驱动一对把持臂611的水平缸612。一对把持臂611分别在前端部具有朝向内侧的把持板6111。把持装置61通过将处理容器8的凸缘88载放在把持板6111上来把持处理容器8。缸612驱动一对把持臂611使一对把持臂611之间的相对间隔扩大或缩小。一对把持臂611设置成可沿固定在缸612上的X方向的水平导轨613移动。

升降机构62包括支撑把持装置61的垂直缸621。在缸621的下端固定有把持装置61的缸612。

前后移动机构63包括：两根Y方向的水平导轨631；可沿水平导轨631移动的板部件632；沿Y方向延伸的滚珠丝杠633，其一端与板部件632连接；电动机635，其通过皮带634与滚珠丝杠633的另一端连接并驱动滚珠丝杠633旋转。升降机构62的缸621的缸杆622的上端固定在板部件632的下表面上。因此，前后移动机构63支撑升降机构62及把持装置61。

左右移动机构64包括：两根X方向的水平导轨641、可沿水平导轨641移动的框体642、使框体642沿水平导轨641移动的电动机(未图示)。电动机设置成通过转动无端环状皮带644使与皮带644连接的框体642沿水平导轨641移动。框体642上固定有前后移动机构63的两根水平导轨631。因此，左右移动机构64支撑前后移动机构63、升降机构62及把持装置61。

(B)下面对上述结构的表面处理装置1的动作及效果进行说明。

(a)在即将动作之前，空着的第一处理容器8安放在第一台表面处理机3上，空着的第二处理容器8安放在工件回收机4上。另外，输送机6的把持装置61位于第一台表面处理机3附近。

(b)操作人员将模型放入供给机2的第一斜道211内，将工件放入第二斜道212内，之后按下操作开始按钮。

(c)首先供给机2(图2～图7)动作。

在开始动作前的供给机2中，如图3所示，缸233的缸杆2331处于最缩入的状态，漏斗22的出口224插入罐26的流入口261，罐26的盖263关闭。

(c—1)当动作开始时，第一升降机构241动作使缸杆2411伸长，第一斜道211绕水平轴213转动，其结果是，第一斜道211内的模型在漏斗22的引导下放入罐26内。

此时，由于漏斗22的出口224插入在罐26的流入口261内，因而可防止模型的飞散。

(c—2)接着，缸233动作使缸杆2331伸长，漏斗22离开罐26上升。接着，转台281动作，垂直柱272随着水平臂271绕轴转动90度。然后电动机292动作使转台281上升，其结果是，罐26处于高于安放在表面处理机3上的处理容器8的位置。然后，转台281动作，垂直柱272随着水平臂271进一步绕轴转动90度，其结果是，罐26位于处理容器8的上方。接着，电动机292动作使转台281下降，其结果是，罐26的放出部262位于第一处理容器8内。接着，缸264动作使盖263下降，其结果是，放出部262打开。由此，罐26内的模型在盖263的外表面2631上滑落，从放出部262放出。下降后的盖263的下表面与处理容器8的底面811之间的垂直距离H为1mm～2cm。另一方面，此时，在表面处理机3中，处理容器8缓慢地旋转着。

这样，操作人员放入第一斜道211内的模型自动地投放到处理容器8内，可提高工作效率。另外，罐26内的模型在盖263的圆锥状的外表面2631上滑落，向处理容器8内放出，因此模型在处理容器8的底面811上大范围地扩散。而且，此时，由于处理容器8正在旋转，模型能更大范围地扩散。因此模型能与此后投入的工件高效地混合。而且，由于距离H为1mm～2cm，因而能缓和模型及处理容器8的底面811所受到的冲击，能防止两者的破损。另外，由于使盖263的外表面2631与放出部262的内表面2622成为面接触，放出部262关闭，因而可防止模型在投放之前从罐26漏出。

(c—3)接着，当结束了模型向处理容器8的投放后，缸264动作使盖263上升，其结果是，放出部262关闭。然后电动机292动作使转台281上升，其结果是，罐26从处理容器8朝上方出来。然后，转台281动作使垂直柱272随着水平臂271绕轴转动90度，其结果是，罐26横向离开处理容器8。接着，电动机292动作使转台281下降，其结果是，罐26下降。接着，转台281动作使垂直柱272随着水平臂271绕轴进一步转动90度使罐26位于漏斗22的下方。接着，缸233动作使缸杆2331缩回，漏斗22的出口224插入罐26的流入口261。

(c—4)接着第二升降机构242动作使缸杆2412伸长，第二斜道212绕水平轴213转动，其结果是，第二斜道212内的工件在漏斗22的引导下朝罐26内放出。此后，进行与上述(c—2)相同的动作，将工件投入处理容器8内。

这样，操作人员投入第二斜道212内的工件被自动地投入处理容器8内，因此能提高工作效率。另外，罐26内的工件在盖263的圆锥状的外表面2631上滑落，朝处理容器8内放出，因而工件在处理容器8的底面811上大范围地扩散。而且，此时，由于处理容器8正在旋转，工件能更大范围地扩散。由于模型已经在处理容器8内扩散，因此工件与模型能高效地混合。而且，由于距离H为1mm～2cm，因而能缓和工件及处理容器8的底面811所受到的冲击，能防止两者的破损。另外，由于使盖263的外表面2631与放出部262的内表面2622成为面接触，放出部262关闭，因而可防止工件在投放之前从罐26漏出。

(c—5)当结束了工件向处理容器8的投放后，供给机2进行与上述(c—3)相同的动作，返回图3的状态。

如上所述，采用供给机2，模型和工件可分开投入处理容器8内，可防止工件被模型压扁。垂直柱272被内侧套筒273及外侧套筒274围住，而且由于移动机构28及升降机构29配置在隔板71下方的空间70A内，即使表面处理液飞散也可防止它们被表面处理液污染。

(d)接着第一台表面处理机3(图8、图9)动作。

在开始动作前的表面处理机3中，盖体34关闭，阳极360收容在阳极保管槽36G内，阳极承接盘361横向离开阳极360，气动卡盘386为非把持状态。

(d—1)开始动作后，缸368动作使转台367、轴体364及水平臂363一体地上升，其结果是，阳极360从阳极保管槽36G出来而位于上方。接着，电动机381动作，通过第一带轮382、皮带384及第二带轮383使筒体366旋转，其结果是，阳极承接盘361移动而位于阳极360的正下方。然后，气动卡盘386把持轴体364，且转台367动作，由此轴体364与筒体366一体转动，即，水平臂363与水平臂365一体转动，其结果是，阳极承接盘361在保持处于阳极360正下方的情况下与阳极360一体地水平移动，与阳极360一起位于处理容器8的上方。接着，气动卡盘386成为非把持状态，电动机381动作，通过第一带轮382、皮带384及第二带轮383使筒体366旋转，其结果是，阳极承接盘361从阳极360正下方朝横向离开的位置移动。然后，缸368动作使转台367、轴体364及水平臂363一体地下降，其结果是，阳极360插入处理容器8内。

(d—2)然后通过阳极360施加电压并利用第一供给装置向处理容器8内供给表面处理液，同时对工件实施表面处理。此时，从处理容器8流出的表面处理液经由承接槽33、承接容器371及软管372朝桶375排出。

(d—3)表面处理结束后，利用第二供给装置向处理容器8内供给洗净水，对工件实施水洗处理。此时，从处理容器8流出的洗净水经由承接槽33、承接容器371及软管372向另一个桶排出。

(d—4)水洗处理结束后，缸368动作使转台367、轴体364及水平臂363一体地上升，其结果是，阳极360从处理容器8出来而位于上方。接着，电动机381动作，通过第一带轮382、皮带384及第二带轮383使筒体366旋转，其结果是，阳极承接盘361移动而位于阳极360的正下方。然后，气动卡盘386把持轴体364，且转台367动作，由此轴体364与筒体366一体转动，即，水平臂363与水平臂365一体转动，其结果是，阳极承接盘361在保持处于阳极360正下方的情况下与阳极360一体地水平移动，与阳极360一起位于阳极保管槽36G的上方。接着，气动卡盘386成为非把持状态，电动机381动作，通过第一带轮382、皮带384及第二带轮383使筒体366旋转，其结果是，阳极承接盘361从阳极360正下方朝横向离开的位置移动。然后，缸368动作使转台367、轴体364及水平臂363一体地下降，其结果是，阳极360收容在阳极保管槽36G内。

这样，对处理容器8内的工件实施表面处理及水洗处理。在表面处理机3的非动作时，阳极360收容在阳极保管槽36G内并浸在表面处理液内，可防止阳极360的劣化，而且可防止粘附在阳极360上的表面处理液结晶。当阳极360在阳极保管槽36G与处理容器8之间移动时，由于阳极承接盘361处于阳极360的正下方，因而可用阳极承接盘361来承接从阳极360滴下的表面处理液。因而能防止表面处理机3周围被表面处理液污染。另外，由于阳极承接盘361的底面朝排出管396降低地倾斜，因而能使阳极承接盘361所承接的表面处理液可靠地排出，而且能容易地清洗阳极承接盘361。

(d—5)表面处理及水洗处理结束后，旋转驱动机构32停止，处理容器8的旋转停止。接着开闭机构35动作使盖体34打开。

(e)接着输送机6(图18)动作。

开始动作前的输送机6中，如图18所示，缸612使一对把持臂611的相对间隔最大，板部件632处于从表面处理机3朝图2的Y2方向(后方)离开的位置。

(e—1)首先，电动机635动作使滚珠丝杠633旋转，其结果是，板部件632沿导轨631朝表面处理机3移动而位于表面处理机3的附近。

(e—2)接着，缸621动作使把持装置61下降，其结果是，把持板6111位于比处理容器8的凸缘88低的位置。接着，缸612动作使一对把持臂611的相对间隔减小，其结果是，把持板6111位于处理容器8的凸缘88的正下方。接着，缸621动作使把持板6111上升，其结果是，把持板6111与处理容器8的凸缘88的下表面抵接，将处理容器8逐渐抬起。

(e—3)接着电动机635动作使滚珠丝杠633旋转，其结果是，板部件632沿导轨631朝离开表面处理机3的方向(图2的Y2方向)移动，从而位于表面处理机3的背面侧。

(e—4)接着，电动机(未图示)动作使皮带644移动，其结果是，框体642移动而位于第二台表面处理机3的背面侧。

(e—5)接着，电动机635动作使滚珠丝杠633旋转，其结果是，板部件632沿导轨631朝第二台表面处理机3向图2的Y1方向(前方)移动，从而位于表面处理机3附近。

(e—6)接着，缸621动作，把持装置61在把持着处理容器8的状态下下降，其结果是，处理容器8载放到表面处理机3的托板31上，把持板6111进一步下降，位于处理容器8的凸缘88的下方。接着，缸612动作使一对把持臂611的相对间隔增大，其结果是，把持板6111处于从处理容器8的凸缘88的正下方朝横向离开的位置。接着，缸621动作使把持板6111上升。

(e—7)接着，电动机635动作使滚珠丝杠633旋转，其结果是，板部件632沿导轨631朝离开表面处理机3的方向移动而位于表面处理机3的背面侧。

这样，安放在第一台表面处理机3上的处理容器8被输送机6输送并安放到第二台表面处理机3上。采用输送机6，由于将处理容器8朝背面侧移动输送，能减小表面处理装置1的上下方向空间，因而能实现装置的小型化。另外，由于处理容器8的凸缘88的直径尺寸D3小于处理容器8的最大直径D4，因而能减小把持装置61的X方向尺寸，实现输送机6的小型化。

(f)接着，第二台表面处理机3动作。该动作与第一台表面处理机3相同。不过，第二台表面处理机3中，使用与第一台表面处理机3不同的表面处理液。

(g)接着，输送机6动作，将处理容器8从第二台表面处理机3向工件回收机4输送。该动作与上述(e)相同。不过，此处的搬运目的地是工件回收机4的托板41上。

(h)接着，工件回收机4动作。

在开始动作前的工件回收机4中，如图11所示，漏斗42以排出口423在上的状态位于处理容器8的上方，把持机构48为非把持状态，回收容器45载放在托板461上，筒体462位于下限。另外，处理容器8载放在托板41上。

(h—1)首先，缸482动作使缸杆4821收缩，把持突起481嵌入托板41上的处理容器8的槽沟89内，其结果是，处理容器8被把持在托板41上。

(h—2)接着，缸421动作使缸杆4211收缩，漏斗42下降，其结果是，漏斗42的覆盖部42A从上方覆盖处理容器8。

(h—3)接着，电动机432动作使水平转动轴431转动，其结果是，使托板41上的处理容器8和覆盖处理容器8的漏斗42翻转。

此时，由于处理容器8被把持机构48把持，因而即使处理容器8与漏斗42之间存在间隙也可防止翻转时处理容器8离开托板41而与漏斗42的覆盖部42A碰撞。因此，即使将所使用的处理容器8变更为高度不同的处理容器8，也可防止处理容器8与漏斗42的覆盖部42A碰撞的不良情况，因而能无障碍地应对处理容器8的高度变更。

(h—4)接着，如图12所示，缸463动作使筒体462上升，托板466从下方与回收容器45的底部451抵接而逐渐抬起回收容器45，其结果是，回收容器45一直上升至堵住漏斗42的排出口423的位置。此时，如图15所示，回收容器45的两个销452经过排出口423将盖部件42C克服弹簧429上推，其结果是，排出口423打开。

(h—5)接着，洗净水供给装置44动作，洗净水从自动喷水器442喷出，其结果是，处理容器8内的工件及模型被洗净水冲洗而流出，从漏斗42的排出口423向回收容器45内流下。

此时，从处理容器8流出的工件及模型也会掉落在漏斗42的盖部件42C上，但由于盖部件42C的内侧部分420呈圆锥状，因而能顺畅地在盖部件42C表面滑落。因此，能防止工件及模型附着在盖部件42C上而残留在漏斗42内。而且，盖部件42C设置在漏斗42内，暴露在从自动喷水器442喷出的洗净水中。因此，这点也能防止工件及模型附着在盖部件42C上而残留在漏斗42内。

(h—6)从漏斗42的排出口423与洗净水一起流出的工件及模型被回收容器45的底部451的过滤器部件滤取。另一方面，洗净水经过回收容器45的底部451流入筒体462内，积留在回收槽47内。由此，工件及模型被回收到回收容器45内。

此时，从漏斗42的排出口423流出的洗净水经过回收容器45而流过筒体462内，并流入回收槽47，因此，回收容器45及筒体462一起起到防止洗净水飞散的作用。因此，能可靠地防止洗净水的飞散。

(h—7)工件及模型的回收结束后，洗净水供给装置44停止，接着缸463动作使筒体462下降至下限，接着翻转机构43动作使托板41上的处理容器8和覆盖处理容器8的漏斗42翻转，接着缸421动作使漏斗42上升至上限，把持机构48成为非把持状态。

(i)干燥机5动作。

在开始动作前的干燥机5中，把持机构51A位于托板52的上方的上限，一对把持臂511具有最大的相对间隔，上罩部531关闭。

(i—1)首先，搬运机构51动作，将回收容器45从工件回收机4搬运到托板52的上方。即，首先，移动机构51C的缸517动作使把持机构51A朝图2的X1方向移动，其结果是，把持机构51A位于工件回收机4的回收容器45的上方。接着，升降机构51B的缸515动作使把持机构51A下降，其结果是，把持板5111处于比回收容器45的凸缘453低的位置。接着，把持机构51A的缸512动作，使一对把持臂511的相对间隔逐渐减小，其结果是，把持板5111位于回收容器45的凸缘453的正下方。接着，升降机构51B的缸515动作，把持机构51A上升，由此，把持板5111从下方与回收容器45的凸缘453抵接，将回收容器45逐渐抬起至上限。此时，把持板5111的销5112嵌入凸缘453的缺口454内。

(i—2)接着，开闭机构533的缸536动作使上罩部531打开。

(i—3)接着，搬运机构51动作，将回收容器45载放在托板52上。即，首先，移动机构51C的缸517动作，把持机构51A朝图2的X2方向移动，其结果是，被把持着的回收容器45位于托板52的上方。接着，升降机构51B的缸515动作使把持机构51A下降，由此，被把持着的回收容器45载放在托板52上，而把持板5111位于回收容器45的凸缘453的正下方。此时，回收容器45的销455嵌入托板52的承接部522内。接着，把持机构51A的缸512动作使一对把持臂511的相对间隔逐渐增大，其结果是，把持板5111处于从回收容器45的凸缘453的正下方横向离开的位置。接着，升降机构51B的缸515动作使把持机构51A上升，其结果是，把持机构51A位于托板52上方的上限。移动机构51C的缸517动作使把持机构51A朝图2的X1方向移动，其结果是，把持机构51A从托板52的上方退避。

(i—4)接着，开闭机构533的缸536动作使上罩部531关闭。

(i—5)接着，空气给排装置54动作。即，空气从鼓风机送出，经过供给管542向上罩部531内供给，并流过回收容器45的底部451及通孔521，经过下罩部532内，从排出管543排出。此时，回收容器45内的工件及模型暴露在流过回收容器45的空气中而得到干燥。另一方面，因干燥产生的水分从排水口538排出。从鼓风机送出的空气例如具有1～14kpa的压力、1～3m³/分钟的风量及0～300℃的温度。

此时，供给到上罩部531内的空气必然流过回收容器45。因此，能可靠地使回收容器45内的工件及模型干燥。另外，由于空气在回收容器45内从上朝下流过，因而工件及模型被朝下推压。因此能防止工件及模型飞散。而且，空气不是直接吹向回收容器45内，而是从横向朝上罩部531内供给并在扩散后流入回收容器45内。因此，能防止工件及模型因空气的风压而分散。此外，产生的水分从下罩部532内的最下部的排水口538排出，因而能防止因流过的空气使水分飞散。

(i—6)干燥处理结束后，开闭机构533的缸536动作使上罩部531打开。

(i—7)接着，操作人员从托板52拿下回收容器45，从回收容器45取出工件及模型，然后使回收容器45返回托板52上。此时，将回收容器45的销455嵌入托板52的承接部522内。

(i—8)搬运机构51进行与上述相反的动作，对托板52上的回收容器45进行搬运并将其载放到工件回收机4的托板41上。

此时，通过把持板5111的销5112嵌入凸缘453的缺口454内，回收容器45得到定位。由此，载放在工件回收机4的托板41上的回收容器45被保持在销452能上推漏斗42的盖部件42C的状态。

采用上述结构的干燥机5，由于与工件回收机4共用回收容器45，因而可节省在工件回收机4与干燥机5之间转移工件及模型的麻烦。

(j)在上述结构的表面处理装置1中，在开始动作前，第一处理容器8安放在第一台表面处理机3上，第二处理容器8安放在工件回收机4上。对第一处理容器8按照上述(d)～(h)操作，对第二处理容器8进行以下的操作。

即，在第一处理容器8被第二台表面处理机3使用时，第二处理容器8被输送机6从工件回收机4向第一台表面处理机3输送。接着与第一处理容器8同样地对第二处理容器8进行上述(d)～(h)的操作。利用第二处理容器8处理的工件及模型由操作人员预先投入供给机2。

另一方面，对第一处理容器8进行上述(d)～(h)的操作，在工件回收机4中的使用结束后，进行与第二处理容器8相同的操作。

这样，第一处理容器8与第二处理容器8并行反复使用。

(C)变形结构

上述结构的表面处理装置1也可采用以下的变形结构。

(i)不使用模型。即斜道为一个。

(ii)斜道为三个以上。

(iii)表面处理机3为一台或三台以上。

(iv)处理容器8也可没有槽沟89，而是如图19所示，在底板81的外周面上具有在圆周方向上连续的突部89A。此时，工件回收机4的把持机构48具有从上方与突部89A抵接的抵接部481A。或者把持机构48具有从上下把持突部89A的把持部。由此，也可发挥与槽沟89及把持突部481时相同的作用效果。

(v)表面处理机3的阳极保管槽36G没有收容表面处理液。此时，可在阳极保管槽36G内清洗阳极360，由此，能防止附着在阳极360上的表面处理液干燥结晶而混入表面处理液中。

(vi)阳极保管槽36G由在隔板71表面上形成的凹部构成。因而能简化阳极保管槽36G的结构。

(vii)设有对罐26施加振动的加振机构。由此，能容易且可靠地将工件及模型从罐26放出。

(viii)如图20所示，构成回收容器45的底部451的过滤器部件具有多个开口4511。开口4511具有工件及模型不可通过的大小。或者构成回收容器45的底部451的过滤器部件是形成有许多冲孔的多孔板或具有许多气泡的多孔质板。冲孔或气泡具有工件及模型不可通过的大小。

(ix)如图21所示，在工件回收机4中，两个销452不是设置在回收容器45上而是设置在盖部件42C上。此时，当回收容器45上升时，回收容器45的底部451与两个销452的下端抵接，将盖部件42C抬起。

(x)在干燥机5中用于干燥的空气是热风。这样可提高干燥效率。

(xi)在干燥机5中用于干燥的空气是加压空气或减压空气。这样可提高干燥效率。

(xii)输送机6具有以下的结构。即，输送机6包括：把持处理容器8的把持装置61、使把持装置61前后移动的前后移动机构63、使前后移动机构63整体上下移动的升降机构62、使前后移动机构63整体及升降机构62整体左右移动的左右移动机构64。具体而言，在图18中，该输送机6的把持装置61固定在前后移动机构63的板部件632上，升降机构62设置在前后移动机构63的水平导轨631与框体642之间。更具体地说，把持装置61的缸612固定在板部件632上，升降机构62的垂直缸621固定在水平导轨631上，且缸杆622的上端固定在框体642上。

在该输送机6中，处理容器8被把持装置61把持，被前后移动机构63朝后方移动，被升降机构62抬起，被左右移动机构64朝下游的机械的后方移动，被升降机构62下降，被前后移动机构63朝前方移动，解除把持装置61的把持，设置在下游的机械上。利用该输送机6也可发挥与上述实施方式的输送机6相同的效果。

工业上利用的可能性

本发明的表面处理装置1将操作人员投入供给机的工件自动地依次向表面处理机、工件回收机及干燥机输送，能得到进行了表面处理的干燥的工件，工业上的利用价值很大。

Claims (19)

1.一种表面处理装置，将投入后的工件依次向一系列的机械输送以供各机械进行作业，从而得到进行了表面处理的工件，其特征在于，包括：

供给机，其将投入后的工件向下游的表面处理机的处理容器内供给；

表面处理机，其一边使处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液，对工件实施表面处理；

工件回收机，其使处理容器上下翻转，将水从下方喷向处理容器内使工件流出，将工件收集在回收容器内；

干燥机，其从工件回收机接受回收容器，使回收容器内的工件暴露在空气中使工件干燥；以及

输送机，其将处理容器在表面处理机彼此之间以及表面处理机与工件回收机之间输送，

包括一台以上的表面处理机。

2.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，所述所有机械收容在一个长方体状的箱体内，

供给机、表面处理机、工件回收机和干燥机在箱体内的正面侧排列配置，

输送机配置在箱体内的背面侧。

3.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，供给机包括：存放投入后的工件的投入用容器；支撑投入用容器的支撑部件；使投入用容器通过支撑部件水平移动的移动机构；以及使投入用容器通过支撑部件上下移动的升降机构，

使投入用容器水平及上下移动，使投入用容器下部的可开闭的投入口位于下游的表面处理机的处理容器内。

4.如权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，供给机固定在水平的隔板上，

移动机构及升降机构的各驱动源配置在隔板下方的空间内。

5.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，表面处理机包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，

阳极支撑机构包括保管阳极的阳极保管槽。

6.如权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，阳极支撑机构还包括：

支撑阳极的阳极支撑部件；

支撑阳极承接盘的承接盘支撑部件；

通过阳极支撑部件使阳极上下移动的升降机构；

通过阳极支撑部件使阳极水平移动的阳极移动机构；

通过承接盘支撑部件使阳极承接盘水平移动的承接盘移动机构；以及

连接阳极支撑部件和承接盘支撑部件的连接机构，

当阳极通过阳极移动机构从阳极保管槽的上方或从处理容器的上方开始移动并且阳极承接盘通过承接盘移动机构位于阳极下方时，连接机构将两个支撑部件连接。

7.如权利要求6所述的表面处理装置，其特征在于，阳极支撑部件具有：将阳极保持在前端部的水平臂、从水平臂的基端部上下延伸的轴体，

承接盘支撑部件具有：在前端部支撑阳极承接盘的水平臂、从水平臂的基端部以围住阳极支撑部件的所述轴体的形态朝上方延伸的筒体，

升降机构设置成使阳极支撑部件的所述轴体上下移动，

阳极移动机构设置成使阳极支撑部件的所述轴体绕轴转动，

承接盘移动机构设置成使承接盘支撑部件的所述筒体绕轴转动，

连接机构通过固定在承接盘支撑部件的所述筒体上的把持机构对阳极支撑部件的所述轴体进行把持来连接两个支撑部件。

8.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，工件回收机包括：

载放处理容器的托板；

覆盖托板上的处理容器的漏斗；

使托板上的处理容器与漏斗一起上下翻转的翻转机构；

将洗净水喷向翻转后的处理容器内的洗净水供给装置；

利用过滤器部件滤取收集被洗净水从处理容器冲出的工件的回收容器；

使回收容器上升来使回收容器从下方堵塞翻转后的漏斗的排出口的升降机构；以及

盛接使用后的洗净水的回收槽，

漏斗具有从内侧堵塞排出口的盖部件，

盖部件受到从内侧朝向排出口的施力，

升降机构使围住回收容器的筒体上下移动，

筒体在内部具有与回收容器抵接并抬起回收容器的承接部，

盖部件被回收容器上推而打开排出口。

9.如权利要求8所述的表面处理装置，其特征在于，盖部件的内侧部分具有向内尖锐的圆锥形状。

10.如权利要求8所述的表面处理装置，其特征在于，托板具有利用把持部件从横向两侧把持处理容器的把持机构。

11.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，干燥机包括：

从工件回收机搬运回收容器的搬运机构；

载放搬运来的回收容器的托板；

对载放在托板上的回收容器从上下予以密闭的罩；以及

对罩内供给、排出空气的空气给排装置，

托板在面对构成回收容器底部的过滤器部件的部分上具有通孔，

空气给排装置包括：送出空气的鼓风机、用于将来自鼓风机的空气向托板上方供给的供给管、用于从托板下方排出空气的排出管。

12.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，输送机包括：

把持处理容器的把持装置；

使把持装置上下移动的升降机构；

使升降机构整体前后移动的前后移动机构；以及

使升降机构整体及前后移动机构整体左右移动的左右移动机构，

对于设置在上游的机械上的处理容器，利用把持装置予以把持，利用升降机构抬起，利用前后移动机构朝后方移动，利用左右移动机构朝下游的机械的后方移动，利用前后移动机构朝前方移动，利用升降机构下降，解除把持装置的把持，设置在下游的机械上。

13.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，输送机包括：

把持处理容器的把持装置；

使把持装置前后移动的前后移动机构；

使前后移动机构整体上下移动的升降机构；以及

使前后移动机构整体及升降机构整体左右移动的左右移动机构，

对于设置在上游的机械上的处理容器，利用把持装置予以把持，利用前后移动机构朝后方移动，利用升降机构抬起，利用左右移动机构朝下游的机械的后方移动，利用升降机构下降，利用前后移动机构朝前方移动，解除把持装置的把持，设置在下游的机械上。

14.一种供给机，将投入后的工件向下游的机械供给，其特征在于，包括：

存放投入后的工件的投入用容器；支撑投入用容器的支撑部件；使投入用容器通过支撑部件水平移动的移动机构；以及使投入用容器通过支撑部件上下移动的升降机构，

使投入用容器水平及上下移动，使投入用容器下部的可开闭的投入口位于下游的机械的规定位置。

15.一种表面处理机，其一边使收容了工件的处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液，对工件实施表面处理，其特征在于，

包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，

阳极支撑机构包括保管阳极的阳极保管槽。

16.一种表面处理机，其一边使收容了工件的处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液，对工件实施表面处理，其特征在于，

包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，

阳极支撑机构包括：

支撑阳极的阳极支撑部件；

支撑阳极承接盘的承接盘支撑部件；

通过阳极支撑部件使阳极上下移动的升降机构；

通过阳极支撑部件使阳极水平移动的阳极移动机构；

通过承接盘支撑部件使阳极承接盘水平移动的承接盘移动机构；以及

连接阳极支撑部件和承接盘支撑部件的连接机构，

当阳极通过阳极移动机构从阳极保管槽的上方或从处理容器的上方开始移动并且阳极承接盘通过承接盘移动机构位于阳极下方时，连接机构将两个支撑部件连接。

17.如权利要求16所述的表面处理机，其特征在于，阳极支撑部件具有：将阳极保持在前端部的水平臂、从水平臂的基端部上下延伸的轴体，

承接盘支撑部件具有：在前端部支撑阳极承接盘的水平臂、从水平臂的基端部以围住阳极支撑部件的所述轴体的形态朝上方延伸的筒体，

升降机构设置成使阳极支撑部件的所述轴体上下移动，

阳极移动机构设置成使阳极支撑部件的所述轴体绕轴转动，

承接盘移动机构设置成使承接盘支撑部件的所述筒体绕轴转动，

连接机构通过固定在承接盘支撑部件的所述筒体上的把持机构对阳极支撑部件的所述轴体进行把持来连接两个支撑部件。

18.一种工件回收机，对处理容器内的经表面处理后的工件予以回收，其特征在于，包括：

载放处理容器的托板；

覆盖托板上的处理容器的漏斗；

使托板上的处理容器与漏斗一起上下翻转的翻转机构；

将洗净水喷向翻转后的处理容器内的洗净水供给装置；

利用过滤器部件滤取收集被洗净水从处理容器冲出的工件的回收容器；

使回收容器上升来使回收容器从下方堵塞翻转后的漏斗的排出口的升降机构；以及

盛接使用后的洗净水的回收槽，

漏斗具有从内侧堵塞排出口的盖部件，

盖部件受到从内侧朝向排出口的施力，

升降机构使围住回收容器的筒体上下移动，

筒体在内部具有与回收容器抵接并抬起回收容器的承接部，

盖部件被回收容器上推而打开排出口。

19.一种干燥机，使收容在回收容器内的工件暴露在空气中使工件干燥，其特征在于，包括：

载放回收容器的托板；

对载放在托板上的回收容器从上下予以密闭的罩；以及

对罩内供给、排出空气的空气给排装置，

托板在面对构成回收容器底部的过滤器部件的部分上具有通孔，

空气给排装置包括：送出空气的鼓风机、用于将来自鼓风机的空气向托板上方供给的供给管、用于从托板下方排出空气的排出管。

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