CN101171826A - 描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置 - Google Patents

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Abstract

利用照相机(26)检测预先设置在基板(12)上的规定位置的多个基准标记(12a)，由检测位置信息取得机构(52)取得对该基准标记(12a)的位置进行表示的检测位置信息，根据该取得的检测位置信息，由曝光轨迹信息取得机构(54)取得对曝光头(30)的各微反射镜(38)在基板(12)上的实际曝光轨迹进行表示的曝光轨迹信息，在曝光数据取得机构(56)中从曝光图像数据中取得与每个微反射镜(38)的曝光轨迹信息对应的曝光点数据，根据该取得的曝光点数据，由曝光头(30)曝光基板(12)。从而可在使曝光头相对基板移动的同时，对应于该移动，在基板上依次形成曝光点，对曝光图像进行曝光，无论基板是否变形等，都在基板上的期望位置曝光期望的曝光图像。

Description

描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置
技术领域
本发明涉及一种在使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对基板移动的同时，对应于该移动来依次形成描绘点、描绘图像的描绘方法及装置和用于该描绘方法及装置的取得描绘点数据的描绘点数据取得方法及装置。
背景技术
以往，作为在印刷布线板或平板显示器的基板上记录规定图案的装置，提出了各种利用光刻法技术的曝光装置。
作为上述的曝光装置，例如提出了通过使光束在涂抹了光致抗蚀剂的基板上沿主扫描方向及副扫描方向扫描，并且，根据表示布线图案的图像数据调制该光束，从而形成布线图案的曝光装置。
作为上述的曝光装置，例如提议了各种利用数字微反射镜装置(下面称为DMD)等空间光调制元件，对应于图像数据，并利用空间光调制元件调制光束来进行曝光的曝光装置。
而且，作为上述使用了DMD的曝光装置，例如提出了如下的曝光装置：在使DMD相对曝光面沿规定的扫描方向移动的同时，对应于沿该扫描方向的移动，将由对应于多个微反射镜的多个描绘点数据构成的帧数据输入到DMD的存储单元，按时间序列依次形成与DMD的微反射镜对应的描绘点群，从而在曝光面上形成期望的图像(例如参照特开2004-233718号公报)。
这里，利用上述的曝光装置形成的印刷布线板的布线图案等具有日益高精细化的倾向，例如在形成多层印刷布线板的情况下，需要使各层布线图案高精度地对位。
为了进行上述的对位，各层的布线图案在相对基板预先设定的位置被曝光，但在形成多层印刷布线板时，由于存在着在粘接各层的冲压(press)工序中对基板加热，使得基板会因该热度而变形的情况，所以如上所述担心因在预先设定的位置曝光各层的布线图案，使得各层的布线图案产生记录位置偏移，导致各层的布线图案难以高精度地对位。
并且，在平板显示器中也担心当曝光滤色器图案时，由于对基板施加加热处理，所以基板基于该热度而伸缩，产生R、G、B各色的记录位置偏移。
另外，例如在通过使基板沿着规定的扫描方向移动、由光束在基板上扫描时，存在着对应于使基板移动的移动机构的控制精度，在基板的移动方向产生偏移的情况，因而担心一旦产生这种偏移，则难以使布线图案等高精度地对位。
发明内容
本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于，提供一种在上述曝光装置的描绘方法及装置中，不受基板变形或基板的移动方向偏移等影响，可在基板上的期望位置描绘所期望图像的描绘方法及装置、和用于该描绘方法及装置的取得描绘点数据的方法及装置。
本发明的第一描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，在该描绘点数据取得方法中，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。
本发明的第二描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，在该描绘点数据取得方法中，取得在描绘图像时描绘对象上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。
本发明的第三描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，在该描绘点数据取得方法中，取得在描绘对象上的图像空间中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。
而且，在上述本发明的第二及第三描绘点数据取得方法中，可检测在描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，并根据该取得的检测位置信息，取得描绘轨迹信息。
并且，可取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，根据该取得的偏移信息，取得描绘轨迹信息。
另外，可取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，根据该取得的偏移信息及检测位置信息，取得描绘轨迹信息。
此外，可使从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量，对应于由描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。
而且，在上述本发明的第一～第三描绘点数据取得方法中，可取得对图像描绘时描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的描绘对象的规定相对移动速度的变动进行表示的速度变动信息，根据该取得的速度变动信息，按照越是在描绘对象的实际相对移动速度相对慢的描绘对象上的描绘区域，从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量越多的方式，从各像素数据中取得描绘点数据。
并且，作为通过多个描绘点形成区域取得在进行描绘时使用的描绘点数据的描绘点数据取得方法，可按每个描绘点形成区域取得描绘点数据。
另外，可将描绘点形成区域设为由空间光调制元件形成的聚束点(beam spot)。
此外，可在描绘点数据轨迹信息中附带取得描绘点数据的间距成分。
而且，可具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
并且，可将多个描绘点形成区域排列成二维状。
本发明的第一描绘方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于：取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘点。
本发明的第二描绘方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于：取得在描绘图像时描绘对象上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘点。
本发明的第三描绘方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于：取得在描绘对象上的图像空间中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘点。
而且，在上述本发明的第二及第三描绘方法中，可检测在描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，根据该取得的检测位置信息，取得描绘轨迹信息。
并且，可取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，根据该取得的偏移信息，取得描绘轨迹信息。
另外，可取得图像描绘时基板的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的基板的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，根据该取得的偏移信息及检测位置信息，取得描绘轨迹信息。
此外，可使从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量，对应于由描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。
而且，在上述本发明的第一～第三描绘方法中，可取得对图像描绘时描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的描绘对象的规定相对移动速度的变动进行表示的速度变动信息，根据该取得的速度变动信息，按照越是在描绘对象的实际相对移动速度相对慢的描绘对象上的描绘区域，从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量越多的方式，从各像素数据中取得描绘点数据。
并且，作为利用多个描绘点形成区域进行描绘的描绘方法，可按每个描绘点形成区域取得描绘点数据。
另外，可将描绘点形成区域设为由空间光调制元件形成的聚束点。
此外，可在描绘点数据轨迹信息中附带取得描绘点数据的间距成分。
而且，可具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
并且，可将多个描绘点形成区域排列成二维状。
本发明的第一描绘点数据取得装置使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，其特征在于，具备：描绘点数据轨迹信息取得机构，其取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和描绘点数据取得机构，其根据由描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。
本发明的第二描绘点数据取得装置使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，其特征在于，具备：描绘轨迹信息取得机构，其取得在描绘图像时描绘对象上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息；描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和描绘点数据取得机构，其根据由描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。
本发明的第三描绘点数据取得装置使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，其特征在于，具备：描绘轨迹信息取得机构，其取得在描绘对象上的图像空间中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息；描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和描绘点数据取得机构，其根据由描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。
而且，在上述本发明的第二及第三描绘点数据取得装置中，还具备位置信息检测机构，其检测在基板上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，可以使描绘轨迹信息取得机构根据由位置信息检测机构取得的检测位置信息来取得描绘轨迹信息。
并且，还具备偏移信息取得机构，其取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，可以使描绘点轨迹信息取得机构根据由偏移信息取得机构取得的偏移信息来取得描绘轨迹信息。
另外，还具备偏移信息取得机构，其取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，可以使描绘点轨迹取得机构根据由偏移信息取得机构取得的偏移信息及由位置信息检测机构取得的检测位置信息来取得描绘轨迹信息。
此外，描绘点数据取得机构可使从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量，对应于由描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。
而且，在上述本发明的第一～第三描绘点数据取得装置中，还具备速度变动信息取得机构，其取得对图像描绘时描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的描绘对象的规定相对移动速度的变动进行表示的速度变动信息，可使描绘点数据取得机构根据由速度变动信息取得机构取得的速度变动信息，按照越是在描绘对象的实际相对移动速度相对慢的描绘对象上的描绘区域，从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量越多的方式，从各像素数据中取得描绘点数据。
并且，可具有多个描绘点形成区域，使描绘点数据取得机构按每个描绘点形成区域取得描绘点数据。
另外，可具备形成描绘点形成区域的空间光调制元件。
此外，可在描绘点数据轨迹信息中附带取得描绘点数据的间距成分。
而且，可具备多个描绘点形成区域，使描绘点数据轨迹信息取得机构按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
并且，可将多个描绘点形成区域排列成二维状。
本发明的第一描绘装置使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于，具备：描绘点数据轨迹信息取得机构，其取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；描绘点数据取得机构，其根据由描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据；和描绘机构，其根据由描绘点数据取得机构取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘点。
本发明的第二描绘装置使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于，具备：描绘轨迹信息取得机构，其取得在图像的描绘对象上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息；描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；描绘点数据取得机构，其根据由描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据；和描绘机构，其根据由描绘点数据取得机构取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘点。
本发明的第三描绘装置使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于，具备：描绘轨迹信息取得机构，其取得在描绘对象上的图像空间中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息；描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；描绘点数据取得机构，其根据由描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据；和描绘机构，其根据由描绘点数据取得机构取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘点。
而且，在上述本发明的第二及第三描绘装置中，还具备位置信息检测机构，其检测在基板上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，可以使描绘轨迹信息取得机构根据由位置信息检测机构取得的检测位置信息来取得描绘轨迹信息。
并且，还具备偏移信息取得机构，其取得图像描绘时基板的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，可使描绘点轨迹信息取得机构根据由偏移信息取得机构取得的偏移信息来取得描绘轨迹信息。
另外，还具备偏移信息取得机构，其取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，可使描绘点轨迹取得机构根据由偏移信息取得机构取得的偏移信息及由位置信息检测机构取得的检测位置信息来取得描绘轨迹信息。
此外，可设描绘点数据取得机构使从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量，对应于由描绘轨迹信息表示的距离而变化。
而且，在上述本发明的第一～第三描绘装置中，还具备速度变动信息取得机构，其取得对图像描绘时描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的描绘对象的规定相对移动速度的变动进行表示的速度变动信息，可设描绘点数据取得机构根据由速度变动信息取得机构取得的速度变动信息，按照越是在描绘对象的实际相对移动速度相对慢的描绘对象上的描绘区域，从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量越多的方式，从各像素数据中取得描绘点数据。
并且，可具有多个描绘点形成区域，设描绘点数据取得机构按每个描绘点形成区域取得描绘点数据。
另外，可具备形成描绘点形成区域的空间光调制元件。
此外，可在描绘点数据轨迹信息中附带取得描绘点数据的间距成分。
而且，可具备多个描绘点形成区域，设描绘点数据轨迹信息取得机构按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
并且，可将多个描绘点形成区域排列成二维状。这里，上述「描绘点形成区域」是指，如果是在基板上形成描绘点的区域，则可是由任何方式形成的区域，例如可以是由DMD等空间光调制元件的各调制元件反射的光束形成的聚束点，也可是由从光源发出的射束光本身形成的聚束点，或者还可以是从喷墨方式打印机的各喷嘴喷出的墨水所附着的区域。
发明效果
根据本发明第一～第三描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置，由于取得在表示图像的图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据，所以，例如如果预先取得图像描绘时基板上或该图像空间上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该描绘轨迹信息，取得上述描绘点数据轨迹信息，则例如由于在基板上产生变形或位置偏移时，也可预先取得基板上或图像空间上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，从图像数据中取得与该描绘轨迹信息对应的描绘点数据，所以，可在基板上描绘与上述变形或位置偏移对应的图像。这时，例如在形成多层印刷布线板时，由于可对应于该各层的变形来形成各层的布线图案，所以可使各层的布线图案对位。
而且，例如在如上所述通过使基板沿规定的扫描方向移动、以光束在基板上扫描时，由于既便在基板的移动方向产生了偏移的情况下，也可预先取得与该移动方向的偏移对应的描绘轨迹信息，从图像数据中取得与该描绘轨迹信息对应的描绘点数据，所以，可不受上述移动方向的偏移影响，在基板上的规定位置描绘期望的图像。
另外，由于可沿上述描绘点数据轨迹计算出存储图像数据的存储器的地址、取得描绘点数据，所以可容易地计算上述地址。
附图说明
图1是表示使用了本发明的描绘方法及装置的第一～第四实施方式的曝光装置的示意结构立体图。
图2是表示图1的曝光装置的扫描仪的结构立体图。
图3A是表示在基板的曝光面上形成的已曝光区域的俯视图。
图3B是表示各曝光头形成的曝光区域的排列的俯视图。
图4是表示图1的曝光装置的曝光头中的DMD的图。
图5是表示使用了本发明第一实施方式的曝光装置的电气控制系统的结构框图。
图6是表示在理想形状的基板上基准标记与规定的微反射镜的通过位置信息的关系示意图。
图7是用于说明微反射镜的曝光轨迹信息的取得方法的图。
图8是用于说明微反射镜的曝光轨迹信息的取得方法的图。
图9是用于说明根据微反射镜的曝光轨迹信息来取得曝光点数据的方法的图。
图10是对图9的粗线框内进行提取后的图。
图11是用于说明根据微反射镜的曝光轨迹信息来取得曝光点数据的方法的图。
图12是表示各微反射镜的曝光点数据列的图。
图13是表示各帧数据的图。
图14A是表示倾斜载置基板的状态图。
图14B是表示与基板边缘的倾斜对应的曝光点数据轨迹信息的图。
图15是用于说明基板沿扫描方向伸缩的图。
图16是用于说明与基板的伸缩对应的曝光点数据的取得方法的图。
图17是表示在对应于基板伸缩而加减曝光点数据时曝光点数据轨迹信息上的该加减点的图。
图18是表示本发明利用了第二实施方式的曝光装置的电气控制系统的结构框图。
图19是用于说明移动台架(stage)移动方向的偏移的图。
图20是表示规定的微反射镜的曝光轨迹图。
图21是用于说明根据微反射镜的曝光轨迹信息来取得曝光点数据的方法的图。
图22是对图21的粗线框内进行提取后的图。
图23是本发明使用了第三实施方式的曝光装置的电气控制系统的结构框图。
图24是用于说明微反射镜的曝光轨迹信息的取得方法的图。
图25是表示本发明使用了第四实施方式的曝光装置的电气控制系统的结构框图。
图26是表示微反射镜的曝光轨迹和基于该微反射镜的曝光定时(timing)的图。
图27是用于说明根据移动台架的速度变动信息来取得曝光点数据的方法的图。
图28A是用于说明蜿蜒(蛇行)的图。
图28B是用于说明偏航(yawing)的图。
图29A是用于说明偏航的图。
图29B是表示偏航时的曝光点的图。
图30是表示在使曝光点数据的读出间距(pitch)变化时曝光点数据轨迹信息上的该变化点的图。
图31是用于对全部使用了本发明第一～第四实施方式的结构的曝光装置的作用进行说明的流程图。
图32是用于对全部使用可本发明第一～第四实施方式的结构的曝光装置的作用进行说明的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图，对使用了本发明的描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置的第一实施方式的曝光装置进行详细说明。图1是表示使用了本发明的第一实施方式的曝光装置的示意结构立体图。使用了本发明的第一实施方式的曝光装置是对多层印刷布线板各层的布线图案等各种图案进行曝光的装置，虽然在用于曝光该图案的曝光点数据取得方法上具有特征，但首先对曝光装置的示意结构进行说明。
曝光装置10如图1所示，具备将基板12吸附于表面而保持的平板状移动台架14。而且，在由4根脚部16支撑的厚板状设置台18的上面设置有沿着台架移动方向延伸的2根导向件20。移动台架14被配置成其长度方向朝着台架移动方向，并且被支承为能够通过导向件20往复移动。
在设置台18的中央部，按照跨过移动台架14的移动路径的方式设置有コ字状的门(gate)22。コ字状的门22的各端部固定在设置台18的两侧面。隔着该门22，在一方侧设置有扫描仪24，在另一方侧设置有多个照相机26，该照相机26用于检测基板12的前端及后端和预先设置在基板12上的圆形状的多个基准标记12a的位置。
这里，基板12上的基准标记12a是根据预先设定的基准标记位置信息在基板12上形成的、例如孔。另外，除孔之外也可使用连接盘(land)、通孔或蚀刻标记。而且，也可将基板12上形成的规定图案、例如要曝光的层的下层图案等利用为基准标记12a。此外，图1虽然仅示出6个基准标记12a，但实际上可设置多个基准标记12a。
将扫描仪24及照相机26分别安装于门22，固定配置在移动台架14的移动路径的上方。另外，将扫描仪24及照相机26与控制它们的后述控制器连接。
扫描仪24如图2及图3B所示，具备排列成2行5列大致矩阵状的10个曝光头30(30A～30J)。
在各曝光头30的内部，如图4所示，设置有作为对射入的光束进行空间调制的空间光调制元件(SLM)的数字微反射镜装置(DMD)36。DMD36在正交的方向2维状地排列有多个微反射镜38，按照该微反射镜38的列方向与扫描方向构成规定的设定倾斜角度θ的方式安装。因此，各曝光头30的曝光区域32成为相对扫描方向倾斜的矩形状区域。随着台架14的移动，在基板12上按每个曝光头30形成了带状的已曝光区域34。另外，就射入到各曝光头30的光束的光源而言，虽然省略了图示，但例如可利用激光光源等。
设置在曝光头30各自中的DMD36以微反射镜38为单位被开/关控制，与DMD36的微反射镜38的像(聚束点)对应的点图案(黑/白)被曝光于基板12。上述的带状已曝光区域34由图4所示的与微反射镜38对应的2维排列的点形成。二维排列的点图案可通过相对扫描方向倾斜，使得沿扫描方向排列的点在与扫描方向交叉的方向排列的点之间通过，来谋求高分辨率。另外，由于倾斜角度的调整偏差，有时也存在不利用的点，例如图4中，成为斜线的点为不利用的点，对应于该点的DMD36中的微反射镜38总是处于关闭(off)状态。
而且，如图3A及B所示，排列成线状的各行的曝光头30分别在其排列方向错开规定间隔配置，以使带状的已曝光区域34分别与相邻的已曝光区域34局部重合。因此，例如位于第一行最左侧的曝光区域32A与位于曝光区域32A右邻的曝光区域32C之间不能曝光的部分，由位于第二行最左侧的曝光区域32B曝光。同样，曝光区域32B与位于曝光区域32B右邻的曝光区域32D之间不能曝光的部分由曝光区域32C曝光。
下面，说明曝光装置10的电气结构。曝光装置10如图5所示，具备：光栅转换处理部50，其接收从具有CAM(Computer AidedManufacturing)工作站的数据制作装置40输出的、表示应曝光的布线图案的矢量数据，将该矢量数据转换成光栅数据(位图数据)；检测位置信息取得机构52，其根据由照相机26拍摄到的基准标记12a的图像，取得基准标记12a的检测位置信息；曝光轨迹信息取得机构54，其根据由检测位置信息取得机构52取得的检测位置信息，取得在实际曝光时基板12上的图像空间上的各微反射镜38的曝光轨迹信息；曝光点数据取得机构56，其根据由曝光轨迹信息取得机构54取得的每个微反射镜38的曝光轨迹信息和从光栅转换处理部50输出的光栅数据的曝光图像数据，取得每个微反射镜38的曝光点数据；曝光头控制部58，其根据由曝光点数据取得机构56取得的每个微反射镜38的曝光点数据，控制曝光头30，以使由曝光头30的DMD36进行曝光；使移动台架14向台架移动方向移动的移动机构60；和控制本曝光装置整体的控制器70。其中，只要移动机构60是使移动台架14沿导向件20往复移动的机构，则可采用任何已知的结构。另外，后面将详述上述各构成要素的作用。
下面，参照附图对使用了上述第一实施方式的曝光装置10的作用进行说明。
首先，在数据制作装置40中，形成对基板12上应曝光的布线图案进行表示的矢量数据。然后，将该矢量数据输入到光栅转换处理部50，在光栅转换处理部50中转换成光栅数据，输出到曝光点数据取得机构56，由曝光点数据取得机构56暂时存储。
另外，如果如上所述将矢量数据输入到光栅转换处理部50，则控制整个曝光装置10的动作的控制器70向移动机构60输出控制信号，移动机构60在对应该控制信号使移动台架14从图1所示的位置沿导向件20暂时移动至上游侧的规定初始位置之后，向下游侧以期望的速度移动。另外，上述上游侧是指图1中的右侧、即相对门22设置有扫描仪24一侧，上述下游侧是指图1中的左侧、即相对门22设置有照相机26一侧。
然后，在如上所述而移动的移动台架14上的基板12通过多个照相机26的下方时，由这些照相机26拍摄基板12，将表示该拍摄图像的拍摄图像数据输入到检测位置信息取得机构52。检测位置信息取得机构52根据被输入的拍摄图像数据，取得对基板12的基准标记12a的位置进行表示的检测位置信息。就基准标记12a的检测位置信息取得方法而言，例如只要通过抽取圆形状的图像来进行取得即可，但也可采用其他任何已知的取得方法。而且，具体而言，取得上述基准标记12a的检测位置信息作为坐标值，但该坐标值的原点例如可以为基板12的拍摄图像数据的4个角中的1个角，也可以是拍摄图像数据中预先设定的规定位置，还可为多个基准标记12a中的1个基准标记12a的位置。如上所述，在本实施方式中，由照相机62和检测位置信息取得机构52构成位置信息检测机构。
接着，如上所述而取得的基准标记12a的检测位置信息从检测位置信息取得机构52被输出到曝光轨迹信息取得机构54。
然后，在曝光轨迹信息取得机构54中，根据所输入的检测位置信息，取得在实际曝光时基板12上的图像空间上每个微反射镜38的曝光轨迹信息。具体而言，在曝光轨迹信息取得机构54中，对每个微反射镜38预先设定表示各曝光头30的DMD36的各微反射镜38的像所通过的位置的通过位置信息。上述通过位置信息根据各曝光头30相对移动台架14上基板12的设置位置的设置位置预先设置，将与上述基准标记位置信息及上述检测位置信息相同的点作为原点，用矢量或多个点的坐标值进行表示。图6表示未经冲压工序等的理想形状的基板12、即不产生形变等变形并配置在预先设定了基准标记12a的基准标记位置信息12b所表示的位置的基板12、和规定的微反射镜38的通过位置信息12c的关系的示意图。
而且，在曝光轨迹信息取得机构54中如图7所示，针对和扫描方向正交的方向而言，求出连接相邻的检测位置信息12d的直线、与对各微反射镜38的通过位置信息12c进行表示的直线的交点的坐标值。即，求出图7中×记号的点的坐标值，并且，求出×号与在上述正交方向相邻于该×号的各检测位置信息12d的距离，并求出上述相邻的检测位置信息12d中一方的检测位置信息12d和×记号的距离、与另一方检测位置信息12d和×号的距离之比。具体而言，求出图7中的a1：b1、a2：b2、a3：b3及a4：b4作为曝光轨迹信息。如上所述求出的比，表示变形后的基板12上的微反射镜38的曝光轨迹。这里，在捕捉各基准标记位置信息12b作为表示下层的图案位置的信息时，所求出的曝光轨迹表示在实际曝光时基板12上的图像空间上光束的曝光轨迹。另外，例如通过位置信息12c如图8所示，在位于检测位置信息12d包围的范围之外时，如图8所示，求出检测位置信息12d与×记号的比。
然后，将如上所述对每个微反射镜38求出的曝光轨迹信息输入给曝光点数据取得机构56。
在曝光点数据取得机构56中，如上所述暂时存储作为光栅数据的曝光图像数据D。曝光点数据取得机构56根据如上所述而输入的曝光轨迹信息，从曝光图像数据D取得每个微反射镜38的曝光点数据。
具体而言，如图9所示，对存储于曝光点数据取得机构56中的曝光图像数据D，附加配置在上述基准标记位置信息12b表示的位置所对应的位置上的曝光图像数据基准位置信息12e，求出根据曝光轨迹信息所表示的比将对在与扫描方向正交的方向上相邻的曝光图像数据基准位置信息12e进行连接的直线实施分割后的点的坐标值。即，求出满足下式的点的坐标值。另外，图9中的阴影线部分表示应曝光的布线图案的一例。
a1∶b1＝A1∶B1
a2∶b2＝A2∶B2
a3∶b3＝A3∶B3
a4∶b4＝A4∶B4
而且，位于将如上所述而求出的点连接的直线(数据读出轨迹或数据轨迹)上的像素数据d，实际上是与微反射镜38的曝光轨迹信息对应的曝光点数据。因此，可取得上述直线在曝光图像数据D上通过的点的像素数据d作为曝光点数据。另外，像素数据d是指构成曝光图像数据D的最小单位的数据。图10表示将图9的用粗线包围的范围提出后的图。具体而言，取得图10的阴影线部分的像素数据作为曝光点图像数据。另外，在将根据曝光轨迹信息所表示的比实施分割的点进行连接的直线不存在于曝光图像数据D上时，取该直线上的曝光点数据为0。
此外，可以如上所述，用直线连接根据曝光轨迹信息表示的比来进行分割的点，取得在该直线上的像素数据作为曝光点数据，也可以如图11所示，通过样条内插(spline interpolation)等用曲线连接上述点，取得在该曲线上的像素数据作为曝光点数据。如上所述，若通过样条内插等用曲线连接，则可取得更忠实于基板12的变形的曝光点数据。而且，如果在上述样条内插等的运算方法中反映了基板12的材质特性(例如仅沿特定的方向伸缩等)，则可进一步取得更忠实于基板12的变形的曝光点数据。
然后，与上述相同，就每个微反射镜38而言，分别取得多个曝光点数据，将该每个微反射镜38的曝光点数据输出到曝光点控制部58。
另外，如上所述，在将每个微反射镜38的曝光点数据输出到曝光点控制部58的同时，使移动台架14再次向上游侧以期望的速度移动。
然后，若由照相机26检测到基板12的前端(或者若根据由传感器检测出的台架的位置确定基板12的描绘区域的位置)，则开始曝光。具体而言，从曝光头控制部58向各曝光头30的DMD36输出基于上述曝光点数据的控制信号，曝光头30根据被输入的控制信号，使DMD36的微反射镜开、关，曝光基板12。
另外，在从曝光头控制部58向各曝光头30输出控制信号时，与各曝光头30相对基板12的各位置对应的控制信号随着移动台架14的移动，依次从曝光头控制部58输出到各曝光头30，但这时例如如图12所示，也可从按每个微反射镜38取得的m个曝光点数据的列的各列中一个一个依次读出与各曝光头30的各位置对应的曝光点数据，输出到各曝光点30的DMD36，还可对图12所示而取得的曝光点数据实施旋转90度处理或使用了矩阵的转置转换等，如图13所示，生成与各曝光头30相对基板12的各位置对应的帧数据1～m，将该帧数据1～m依次输出到各曝光头30。
然后，随着移动台架14的移动，依次向各曝光头30输出控制信号进行曝光，若由照相机12检测到基板12的后端，则结束曝光。
根据使用了上述第一实施方式的曝光装置10，由于检测出预先设定在基板12上的规定位置的多个基准标记12a，取得对该基准标记12a的位置进行表示的检测位置信息，根据该取得的检测位置信息来取得各微反射镜38的曝光轨迹信息，从曝光图像数据D中取得与该每个微反射镜38的曝光轨迹信息对应的像素数据d作为曝光点数据，所以，可取得与基板12的变形对应的曝光点数据，能够在基板12上曝光与基板12的变形对应的曝光图像。因此，例如由于可对应于其各层曝光时的变形，形成在多层印刷布线板等中的各层的图案，所以可使各层的图案对位。
另外，在上述说明中，说明了对在冲压工序等中发生了变形的基板12进行曝光时的曝光点数据的取得方法，但对于未变形、理想形状的基板12进行曝光时而言，也可采用与上述相同的方法取得曝光点数据。例如，也可取得对每个微反射镜38预先设定的上述通过位置信息所对应的、曝光图像数据上的曝光点数据轨迹信息，根据该取得的曝光点数据轨迹信息，从曝光图像数据中取得与曝光点数据轨迹对应的多个曝光点数据。
而且，如上所述，根据每个微反射镜38的通过位置信息，预先在曝光图像数据上设定曝光点数据轨迹信息，并根据该曝光点数据轨迹取得曝光点数据的方法，例如也可以在曝光图像均未被曝光的基板上最初对曝光图像进行曝光时采用。另外，在使曝光图像数据对应于基板的变形而变形时也可采用该方法。在采用该方法时，可沿曝光点数据轨迹计算对曝光图像数据进行存储的存储器的地址，取得曝光点数据，因此，可容易地进行地址的计算。
并且，例如也可如图14A所示，在基板12倾斜设置在工作台14上时，由照相机26检测出该基板12的边缘，取得边缘相对微反射镜38的通过位置信息12c的斜度，根据该取得的斜度，如图14B所示，在曝光图像数据上设定曝光点轨迹信息(图14B中的箭头)，取得该曝光点数据轨迹信息上的曝光点数据。
进而，例如还可以如图15所示，当基板12在扫描方向伸缩时对应于其伸缩的程度，使从曝光图像数据D中的1个像素数据d取得的曝光点数据的数量变化。具体而言，例如如上所述，基板12沿扫描方向伸缩，检测位置信息12d与通过位置信息12c成为图15所示的关系，当存在扫描方向上相邻的检测位置信息12d的间隔为理想长度L的区域A、基板12沿扫描方向延伸使得上述间隔为长度L的2倍的区域B、基板12沿扫描方向收缩使得上述间隔为长度L的1/2的区域C时，例如也可如图16所示，就与区域A对应的曝光点数据而言，对1个像素数据d取得1个曝光点数据，就与区域B对应的曝光点数据而言，对1个像素数据d取得2个曝光点数据，就区域C的曝光点数据而言，对2个像素数据取得1个曝光点数据。其中，图16中的虚线箭头表示针对各区域取得的曝光点数据的数量和与该曝光点数据对应的像素数据d。而且，在对2个像素数据取得1个曝光点数据时，只要选择取得2个像素数据中的1个像素数据作为曝光点数据即可。此外，在上述说明中，说明了基板12仅沿着扫描方向伸缩时的曝光点数据的取得方法，但不限于上述的情况，既便在基板12沿其他方向发生了变形的情况下，在由基板12的检测位置信息12d划分的每个区域中，微反射镜38的通过位置信息的长度不同时，也可与上述相同，对应于该长度使从1个像素数据中取得的曝光点数据的数量变化。如上所述，如果对应于基板12的伸缩使曝光点数据的数量变化，则可在基板12上的期望位置曝光所期望的曝光图像。
另外，如上所述，在使对应于基板12的伸缩而取得的曝光点数据的数量加减时，如图17所示，优选对于各微反射镜38的曝光点数据轨迹信息(图17中的箭头)而言，在曝光图像数据D的图像空间上的扫描方向加减相同部位(图17中的黑三角)的曝光点数据。
接着，对使用了本发明的描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置的第二实施方式的曝光装置25进行详细说明。就曝光装置25的外观示意结构而言，与使用了图1所示的本发明第一实施方式的曝光装置10相同。
曝光装置25如图18所示，具备：光栅转换处理部50；偏移信息取得机构80，其取得移动台架14的向与台架移动方向正交的方向的偏移信息；曝光轨迹信息取得机构82，其根据偏移信息取得机构80所取得的偏移信息，取得实际曝光时基板12上的各微反射镜38的曝光轨迹信息；曝光点数据取得机构84，其根据由曝光轨迹信息取得机构82取得的每个微反射镜38的曝光轨迹信息和从光栅转换处理部50输出的光栅数据的曝光图像数据，取得每个微反射镜38的曝光点数据；曝光头控制部58；移动机构60；和控制本曝光装置整体的控制器70。其中，对于图18中附以和图5相同的符号的结构而言，其作用与使用了上述本发明第一实施方式的曝光装置10相同。
下面，参照附图说明曝光装置25的作用。
首先，对于在曝光点数据取得机构84中暂时存储数据之前的作用，与使用了上述第一实施方式的曝光装置10相同。
然后，接着由偏移信息取得机构80取得移动台架14的上述偏移信息。所谓偏移信息如图19所示，表示移动台架14的实际移动方向相对预先设定的台架移动方向的偏移。具体而言，如图19所示，是按规定的间隔取得移动台架14的实际移动轨迹相对向预先设定的台架移动方向的移动轨迹的、与台架移动方向正交的方向的偏移量。图19所示的虚线箭头的朝向和长度表示偏移量。
这里，如上所述，在移动台架14的移动轨迹存在偏移时，曝光时各微反射镜38在基板12上的实际曝光轨迹如图20所示，相对预先设定的各微反射镜38的通过位置信息12c对应于上述偏移量发生偏移。因此，需要取得与各微反射镜38的实际曝光轨迹对应的曝光点数据。而且，如图20所示，微反射镜m1和微反射镜m2通过基板12上的相同位置，但若如上所述的移动台架14的移动轨迹上存在偏移，则它们实际的曝光轨迹发生相位偏移。因此，需要考虑该相位偏移来取得曝光点数据。
鉴于此，在曝光装置25中，取得与上述各微反射镜38的曝光轨迹偏移量对应的曝光点数据。具体而言，预先测量移动台架14的偏移量，该测量出的偏移量如上所述，由偏移量取得机构80取得。然后，偏移量取得机构80将取得的偏移量输出到曝光轨迹信息取得机构82。作为偏移量的测量方法，例如可采用IC晶片步进(stepper)装置等中所利用的使用了激光的测定方法。例如，在移动台架14上设置沿台架移动方向延伸的反射面，并且设置朝向该反射面射出激光的激光光源及检测在上述反射面中反射的反射光的检测部，伴随移动台架14的移动，可通过由检测部依次检测反射光的相位偏移来测量上述偏移量。
在曝光轨迹信息取得机构82中设定有每个微反射镜38的通过位置信息12c，曝光轨迹信息取得机构82根据被输入的偏移量和每个微反射镜38的通过位置信息12c，取得对曝光时每个微反射镜38在基板12上的实际曝光轨迹进行表示的曝光轨迹信息。其中，对于上述通过位置信息12c而言，与使用了上述第一实施方式的曝光装置10的说明相同。
然后，将该每个微反射镜38的曝光轨迹信息输出到曝光点数据取得机构84。接着，曝光点数据取得机构84从暂时存储的曝光图像数据D中取得与每个微反射镜38的曝光轨迹信息对应的曝光点数据。
具体而言，取得图21所示的曝光图像数据D中配置在用曲线表示的曝光轨迹信息M1、M2上的曝光点数据d。图22表示将图21的用粗线包围的范围进行提取后的图。具体而言，取得图22的被划上阴影线的部分的像素数据作为曝光点数据。其中，图21所示的曝光轨迹信息M1是图20所示的微反射镜m1的曝光轨迹信息，图21所示的曝光轨迹信息M2是图20所示的微反射镜m2的曝光轨迹信息。而且，曝光图像数据D具有与通过位置信息12c相对的位置关系，曝光图像数据D的成为各像素数据d的配置基准的原点和上述通过位置信息12c的原点一致。
然后，与上述相同，针对每个微反射镜38分别取得多个曝光点数据，将该每个微反射镜38的曝光点数据输出到曝光头控制部58。
另一方面，如上所述，在将每个微反射镜38的曝光点数据输出到曝光头控制部58的同时，移动台架14以期望的速度向上游侧移动。
然后，一旦照相机26检测到基板12的前端，则开始曝光。具体而言，从曝光头控制部58向各曝光头30的DMD36输出基于上述曝光点数据的控制信号，曝光头30根据被输入的控制信号使DMD36的微反射镜开关，对基板12进行曝光。
根据使用了上述第二实施方式的曝光装置25，由于可取得曝光图像曝光时基板12的实际相对移动方向相对预先设定的基板12的规定相对移动方向的偏移信息，根据该取得的偏移信息取得曝光轨迹信息，从曝光图像数据D中取得与该曝光轨迹信息对应的曝光点数据，所以可不受基板12的移动方向的偏移影响，在基板12上的期望位置曝光期望的曝光图像。
下面，详细地说明使用了本发明描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置的第三实施方式的曝光装置35。
曝光装置35如图23所示，兼备使用了上述第一实施方式的曝光装置10的结构和使用了上述第二实施方式的曝光装置25的结构两者。
在曝光装置35中，将如上所述在检测位置信息取得机构52中取得的基准标记12a的检测位置信息、和如上所述在偏移信息取得机构80中取得的偏移信息输入给曝光轨迹信息取得机构86。
然后，曝光轨迹信息取得机构86根据被输入的上述检测位置信息和上述偏移信息，取得对曝光时每个微反射镜38在基板12上的图像空间上的实际曝光轨迹进行表示的曝光轨迹信息。
具体而言，在曝光轨迹信息取得机构86中，与上述第一实施方式相同，求出对在与扫描方向正交的方向相邻的检测位置信息12d之间进行连接的直线、和表示各微反射镜38的通过位置信息12c的直线的交点的坐标值，求出该交点与在上述正交于该交点的方向相邻的各检测位置信息12d的距离，从而求出上述相邻的检测位置信息12d中一方的检测位置信息12d和上述交点的距离、与另一方的检测位置信息12d和上述交点的距离之比。
另外，曝光轨迹信息取得机构86与上述第二实施方式相同，根据被输入的偏移量和每个微反射镜38的通过位置信息12c，取得图21中用曲线表示的、每个微反射镜38在基板12上的预曝光轨迹信息。
然后，曝光轨迹信息取得机构86将如上所述而求出的比和预曝光轨迹信息作为曝光轨迹信息，输出到曝光点数据取得机构88。
然后，曝光点数据取得机构56与上述第一实施方式相同，如图24所示，在曝光图像数据D中，求出根据所输入的比将连接在正交于扫描方向的方向相邻的曝光图像数据基准位置信息12e的直线进行分割的点后，求出连接该点的直线，使预曝光轨迹信息倾斜该直线相对扫描方向的斜率，求出表示曝光轨迹信息的曲线，从而取得该曲线上的像素数据d作为曝光点数据。即，取得图22的被划阴影线部分的像素数据作为曝光点数据。另外，图22中的A1∶B1、A2∶B2在从曝光轨迹信息取得机构86输入的比为a1∶b1、a2∶b2的情况下，是满足a1∶b1＝A1∶B1、a2∶b2＝A2∶B2的比。
然后，与上述相同地求出对每个微反射镜38的曝光轨迹信息进行表示的曲线，取得各曲线上的像素数据d作为每个微反射镜38的曝光点数据。
然后，将如上所述而取得的每个微反射镜38的曝光点数据输出到曝光头控制部58。
另外，在如上所述将每个微反射镜38的曝光点数据输出到曝光头控制部58的同时，使移动台架14以期望的速度向上游侧移动。
然后，一旦照相机26检测到基板12的前端，则开始曝光。具体而言，从曝光头控制部58向各曝光头30的DMD36输出基于上述曝光点数据的控制信号，曝光头30根据被输入的控制信号使DMD36的微反射镜开关，曝光基板12。
下面，详细说明使用了本发明描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置的第四实施方式的曝光装置45。就曝光装置45的外观示意结构而言，与图1中示出的使用了本发明第一实施方式的曝光装置10相同。
曝光装置45如图25所示，除使用了上述第一实施方式的曝光装置10的结构之外，还具备预先对基板12的移动速度变动信息进行取得的速度变动信息取得机构90。而且，曝光点数据取得机构91根据由速度变动信息取得机构90取得的速度变动信息，从各像素数据取得曝光点数据，以使移动台架14的移动速度越慢、从各像素数据取得的曝光点数据的数量越多。其中，就图25中附以与图5相同符号的结构而言，其作用与使用了上述第一实施方式的曝光装置10相同。
另外，上述基板12的移动速度变动信息在本实施方式中是指对应于移动台架14的移动机构60的控制精度而产生的移动速度的不均。
图26表示在实际曝光时的基板12上规定的微反射镜38的曝光轨迹和利用该微反射镜38对曝光点进行曝光的定时。其中，图26中的虚线箭头表示在移动台架没有速度变动时微反射镜38的曝光轨迹和曝光定时，实线箭头表示在移动台架有速度变动时微反射镜38的曝光轨迹和曝光定时。而且，在直线上附加了箭头的部分表示微反射镜38的曝光点的曝光定时。另外，在图26中为了方便说明，用不同的直线表示2个曝光轨迹，但这些曝光轨迹是同一微反射镜的曝光轨迹。而且，图26中的P1～P8表示构成在基板12上被曝光的图像的各像素。而且，预先根据相对的关系设定了曝光定时和移动台架14，以边可以用期望的分辨率在基板12上对曝光图像进行曝光。
如图26所示，在移动台架14没有速度变动的情况下，各像素P1～P8通过微反射镜38从1个曝光点被曝光。即，对于1个像素，微反射镜38所曝光的曝光点的数量为1个。
另外，在移动台架14有速度变动的情况下，曝光各像素P1～P8的曝光点的数量对应于该速度变动不同而不同。具体而言，当移动台架14在1个像素的宽度中移动的期间曝光定时在2次以上时，即对于移动台架14以相对慢的速度移动而被曝光的区域而言，各像素通过2个以上的曝光点被曝光。而且，当移动台架14在1个像素的宽度中移动的期间完全没有曝光定时时，即对于移动台架14以相对快的速度移动而被曝光的区域而言，各像素未被曝光。
图26中，在曝光像素P1、P5时，移动台架14以相对慢的速度移动，在曝光像素P4、P8时，移动台架14以相对快的速度移动，在曝光像素P2、P3、P6、P7时，移动台架14以预先设定的恒定速度移动。
因此，需要根据上述的移动台架的速度变动来取得曝光点数据。
鉴于此，曝光点数据取得机构91从曝光图像数据D的1个像素数据d中，取得由速度变动信息取得机构90取得的速度变动信息所对应的数量的曝光点数据。具体而言，所谓速度变动信息例如是在规定的曝光定时间距中移动台架14沿台架移动方向的移动距离的变动信息，预先设定在速度变动信息取得机构90。
然后，将如上所述被预先设定于速度变动信息取得机构90的速度变动信息输出到曝光点数据取得机构91，曝光点数据取得机构91例如在移动台架14的移动速度没有变化时，即在速度变动信息与预先设定的移动距离相同的情况下，如图27中用虚线箭头所示，针对1个像素数据d取得1个曝光点数据pn(n例如为1～8)。另外，在移动台架14的移动速度有变化时，即在速度变动信息比预先设定的移动距离短或长的情况下，从曝光图像数据D的1个像素数据d取得对应于该速度变动的个数的曝光点数据。例如当存在图26的用实线箭头表示的速度变动时，如图27的由实线箭头所示，对用于曝光像素P1的曝光点数据从1个像素数据d取得3个曝光点数据p1，同样对用于曝光像素P5的曝光点数据从1个像素数据d取得3个曝光点数据p5。而且，不取得用于曝光像素P4及像素P8的曝光点数据。并且，对用于曝光像素P2、P3、P6、P7的曝光数据从1个像素数据d取得1个曝光点数据p2、p3、p6、p7。即，当存在图26所示的速度变动时，取得3个曝光点数据p1、1个曝光点数据p2、p3、3个曝光点数据p5和1个曝光点数据p6、p7作为曝光点数据点数据。
然后，将如上所述而取得的曝光点数据对应移动台架14的移动依次输出到曝光头控制部58，从曝光头控制部58向各曝光头30的微反射镜38输出对应于该曝光点数据的控制信号，根据该控制信号使微反射镜开关，在基板12上对曝光点进行曝光。
根据使用了上述第四实施方式的曝光装置45，由于取得了对曝光图像的曝光时基板12的实际相对移动速度相对预先设定的基板12的规定相对移动速度的变动进行表示的速度变动信息，根据该取得的速度变动信息，从各像素数据d取得曝光点数据pn，以使越是基板12的实际相对移动速度相对慢的基板12上的曝光区域，从各像素数据d取得的曝光点数据pn的数量越多，所以，可不受移动台架14的移动速度不均的影响，在基板12上的期望位置曝光期望的曝光图像。
另外，在上述第四实施方式的曝光装置45中，对于由检测位置信息取得机构52取得检测位置信息，并根据该检测位置信息在曝光轨迹信息取得机构54中取得曝光轨迹信息，在曝光点数据取得机构56中确定与上述曝光轨迹信息对应的像素数据之前的作用而言，与上述第一实施方式的曝光装置10相同。而且，在从如上所述而确定的像素数据d中读出曝光点数据时，可采用如上所述的方法。
并且，也可在上述第二、第三实施方式的曝光装置中使用与上述相同方法取得曝光点数据。在这种情况下，对确定与曝光轨迹信息对应的像素数据之前的作用而言，与上述第二、第三实施方式的曝光装置相同。
另外，在上述第二实施方式的曝光装置中，如果如上述第四实施方式的曝光装置那样，使取得的曝光点数据的数量对应于速度变动信息而变化，则不仅可补正如图28A所示的移动台架14的蜿蜒，而且还可进行考虑了图28B所示的偏航的补正，即考虑了基板的移动姿势的补正。其中，所谓偏航是在图28A所示的移动台架14的蜿蜒中增加了移动台架14的旋转。由于在通过上述的移动台架14的旋转，不仅各微反射镜38在基板12上的像的位置发生变化，而且在规定的曝光定时间距中移动台架14向台架移动方向的移动距离产生变化，即由于通过上述旋转，移动台架14产生局部的速度变动，所以只要对应于上述像的位置变动及速度变动信息改变曝光点数据的数量即可。另外，也可设蜿蜒成分为0，仅考虑旋转成分。
例如图29A所示，在台架14(基板12)偏航的情况、对应点B的移动距离确定了曝光定时时，由于点A的移动距离不是恒定的，所以如图29B所示，通过点A的曝光轨迹上的曝光点的间隔不恒定。因此，只要对应于点A的移动距离使通过点A的曝光点数据轨迹信息上的曝光点数据的读出间距变化即可。
而且，如上所述，在使曝光点数据轨迹上的曝光点数据的读出间距变化时，如图29所示，优选在各微反射镜38的曝光数据轨迹信息(图30中的箭头)上、在时间上相同的部位(图30中的黑三角)加减读出间距。
另外，也可制作全部使用上述第一～第四实施方式的曝光装置。针对这样构成时的曝光装置的作用，使用图31及图32的流程图来简单地说明。其中，详细的作用与上述说明相同。
首先，将各曝光头30的DMD36的各微反射镜38的通过位置信息输入设定到曝光轨迹信息取得机构54中(S10)，将移动台架14的偏移信息及速度变动信息分别输入设定到偏移信息取得机构、速度变动信息取得机构90中(S12)。然后，将对在数据制作装置40中形成的布线图案进行表示的矢量数据输入给光栅转换处理部50，在光栅转换处理部50中转换成光栅数据，并输出到曝光点数据取得机构56，由曝光点数据取得机构56暂时存储，将其作为曝光图像数据(S14)。
另一方面，若如上所述将矢量数据输入到光栅转换处理部50，则控制整个曝光装置10的动作的控制器70向移动机构60输出控制信号，移动机构60根据该控制信号，使移动台架14从图1所示的位置开始沿导向件20暂时移动至上游侧的规定初始位置之后，以期望的速度向台架移动方向移动(S16)。
然后，对如上所述而移动的移动台架14上的基板12，利用照相机26拍摄基准标记12a，根据该拍摄图像数据，通过检测位置信息取得机构52取得检测位置信息(S18)。
然后，在将如上所述而取得的检测位置信息从检测位置信息取得机构52输出给曝光轨迹信息取得机构的同时，将偏移信息取得机构中设定的偏移信息输出给曝光轨迹信息取得机构。并且，在曝光轨迹信息取得机构中计算出基板12上各微反射镜38的曝光轨迹信息，具体而言，首先如在第一实施方式的曝光装置中说明的那样，求出对在正交于扫描方向的方向相邻的检测位置信息12d进行连接的直线与对各微反射镜38的通过位置信息12c进行表示的直线的交点坐标值，求出该交点与上述正交于该交点的方向上相邻的各检测位置信息12d的距离之比。具体而言，求出图7中的a1∶b1、a2∶b2、a3∶b3及a4∶b4作为曝光轨迹信息。另外，上述比在从如上所述那样取得的检测位置信息中减去偏移量之后求出(S20)。
而且，在曝光轨迹信息取得机构中计算出如上所述的比，并且，根据被输入的偏移量和各微反射镜38的通过位置信息，求出每个微反射镜38的预曝光轨迹信息，取得该预曝光轨迹信息和上述比作为曝光轨迹信息，并输出给曝光点数据取得机构。另外，求取比和预曝光轨迹的顺序也可以相反。然后，在曝光点数据取得机构中如图22中说明那样求出对应于曝光轨迹信息的曲线，确定曝光图像数据D中上述曲线上的像素数据作为应曝光的像素数据(S24)。然后，将在速度变动信息取得机构中取得的速度变动信息输入给曝光点数据取得机构，如在上述第四实施方式的曝光装置中说明的那样，根据曝光图像数据中的各像素数据取得与上述速度变动信息对应的数量的曝光点数据(S26)。另外，优选这时不仅考虑速度变动信息，还考虑基板12沿扫描方向的伸缩，即，还考虑以基板12的检测位置信息12d划分的每个区域的微反射镜38的通过位置信息的长度来确定曝光点数据的数量。
然后，对如上所述而取得的每个微反射镜38的曝光点数据列实施90度旋转处理或使用了矩阵的转置转换等，如图13所示，生成各曝光头30相对基板12的各位置所对应的帧数据1～m(S28)。然后，将该帧数据1～m对应于移动台架14的移动依次输出到各曝光头30，由各曝光头30在基板12上曝光基于帧数据的曝光图像(S30)。然后，将全部的帧数据输入给曝光头30，一旦曝光结束，则移动台架14再次移动至初期位置(S32)。而且，当存在下一个基板12时，在更换成该基板12之后，再次执行从S16开始的处理，在没有下一个基板12时直接结束(S34)。
此外，上述实施方式中的曝光点数据取得机构包含描绘点数据轨迹取得机构和描绘点数据取得机构两者。
而且，在上述实施方式中，说明了具备DMD作为空间光调制元件的曝光装置，但除了这种反射型空间光调制元件之外，还可使用透过型空间光调制元件。
并且，在上述实施方式中，举出了所谓平板型(flat-bed-type)曝光装置为例，但也可以是具有缠上感光材料的鼓的、所谓外鼓型(或内鼓型)的曝光装置。
另外，上述实施方式的作为曝光对象的基板12除了印刷布线基板之外，也可以是平板显示器的基板。这时，图案也可以是构成液晶显示器等的滤色器、黑矩阵、TFT等半导体电路等的图案。而且，基板12的形状既可以是薄板状，也可是长条状(挠性基板等)。
此外，本实施方式中的描绘方法及装置也可以应用于喷墨方式等的打印机中的描绘。例如，可与本发明同样地形成喷出墨水而产生的描绘点。即，可将本发明中的描绘点形成区域考虑成从喷墨方式打印机的各喷嘴喷出的墨水所附着的区域。
而且，本实施方式中的描绘轨迹信息可以使用实际基板上的描绘点形成区域的描绘轨迹作为描绘轨迹信息，也可以将对实际基板上的描绘点形成区域的描绘轨迹进行近似后的信息作为描绘轨迹信息，还可以将对实际基板上的描绘点形成区域的描绘轨迹进行预测后的信息作为描绘轨迹信息。
并且，在本实施方式中，也可通过描绘轨迹的距离越长、越增多描绘点数据的数量，距离越短、越减少描绘点数据的数量，来对应于由描绘轨迹信息表示的距离，使从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数量变化。
另外，本实施方式中的图像空间也可是以基板上应描绘或描绘出的图像为基准的坐标空间。
此外，如上所述，本实施方式中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息可利用基板坐标空间中的描绘轨迹、和图像坐标空间中的描绘轨迹这两方来捕捉。并且，存在着基板坐标与图像坐标不同的情况。
而且，在上述实施方式中，也可以按每2个以上的微反射镜(束(beam))取得1个曝光点数据轨迹。例如，可以按由构成微透镜阵的1个微透镜会聚的多束求出曝光点数据轨迹。
并且，可以使数据读出间距信息附带在各曝光点数据轨迹信息中。这时，可在间距信息中包含取样率(对描绘点数据进行切换的最小束移动距离(在未补正时为全部束共同)与图像的分辨率(像素间距)之比)。而且，可使伴随曝光轨迹的长度补正的曝光点数据的加减信息包含在间距信息中。并且，也可使加减的位置与曝光点数据的加减信息一起包含在间距信息中，附带于曝光轨迹上。此外，作为各曝光点数据轨迹信息，可持有全部与各帧对应的数据读出地址(x，y)(时间序列顺序的读出地址)。
另外，可使图像数据上沿数据读出轨迹的方向与存储器上地址的连续方向一致。例如，在图9的实例中，可按照横方向成为地址的连续方向的方式在存储器中存储图像数据。这时，可按每个束高速地进行读出图像数据的处理。其中，作为存储器可使用DRAM，但如果可沿地址连续的方向依次高速地读出存储的数据，则可使用任何存储器。例如，也可使用SRAM(Static Random Access Memory)等即便随机存取也可实现高速的存储器，这时，可将存储器上的地址的连续方向定义成沿着曝光轨迹的方向，并沿着该连续方向读出数据。并且，存储器也可被预先布线或编程，以便沿着地址的连续方向读出数据。另外，也可设地址的连续方向为沿着统一读出连续的多个位大小的路径的方向。

Claims (52)

1.一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于：
取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，
根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。
2.一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于：
取得在描绘所述图像时所述描绘对象上的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息，
根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，
根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。
3.一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于：
取得在所述描绘对象上的图像空间中的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息，
根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，
根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。
4.根据权利要求2或3所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
检测在所述描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，
根据该取得的检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。
5.根据权利要求2或3所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
根据该取得的偏移信息，取得所述描绘轨迹信息。
6.根据权利要求4所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
根据该取得的偏移信息及所述检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。
7.根据权利要求2～6中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
使从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量，对应于由所述描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。
8.根据权利要求1～7中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
取得速度变动信息，所述速度变动信息表示所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动速度的变动，
根据该取得的速度变动信息，按照越是在所述描绘对象的实际相对移动速度相对慢的所述描绘对象上的描绘区域，从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量越多的方式，从所述各像素数据中取得所述描绘点数据。
9.根据权利要求1～8中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于，取得在通过多个所述描绘点形成区域进行所述描绘时所使用的所述描绘点数据，按每个所述描绘点形成区域取得所述描绘点数据。
10.根据权利要求1～9中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
所述描绘点形成区域是由空间光调制元件形成的聚束点。
11.根据权利要求1～10中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
在所述描绘点数据轨迹信息中附带有取得所述描绘点数据的间距成分。
12.根据权利要求1～11中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
13.根据权利要求1～12中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于：
所述多个描绘点形成区域被排列成二维状。
14.一种描绘方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于：
取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，
根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据，
根据该取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象上形成所述描绘点。
15.一种描绘方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于：
取得在描绘所述图像时所述描绘对象上的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息，
根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，
根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据，
根据该取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象上形成所述描绘点。
16.一种描绘方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于：
取得在所述描绘对象上的图像空间中的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息，
根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，
根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据，
根据该取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象上形成所述描绘点。
17.根据权利要求15或16所述的描绘方法，其特征在于：
检测在所述描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，
根据该取得的检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。
18.根据权利要求15或16所述的描绘方法，其特征在于：
取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
根据该取得的偏移信息，取得所述描绘轨迹信息。
19.根据权利要求17所述的描绘方法，其特征在于：
取得所述图像描绘时所述基板的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述基板的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
根据该取得的偏移信息及所述检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。
20.根据权利要求15～19中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
使从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量，对应于由所述描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。
21.根据权利要求14～20中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
取得速度变动信息，所述速度变动信息表示所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动速度的变动，
根据该取得的速度变动信息，按照越是在所述描绘对象的实际相对移动速度相对慢的所述描绘对象上的描绘区域，从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量越多的方式，从所述各像素数据中取得所述描绘点数据。
22.根据权利要求14～21中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
通过多个所述描绘点形成区域进行所述描绘，按每个所述描绘点形成区域中取得所述描绘点数据。
23.根据权利要求14～22中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
所述描绘点形成区域是由空间光调制元件形成的聚束点。
24.根据权利要求14～23中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
在所述描绘点数据轨迹信息中附带有取得所述描绘点数据的间距成分。
25.根据权利要求14～24中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
26.根据权利要求14～25中任意一项所述的描绘方法，其特征在于：
多个描绘点形成区域被排列成二维状。
27.一种描绘点数据取得装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于，具备：
描绘点数据轨迹信息取得机构，其取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和
描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。
28.一种描绘点数据取得装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于，具备：
描绘轨迹信息取得机构，其取得在描绘所述图像时所述描绘对象上的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息；
描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由该描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和
描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。
29.一种描绘点数据取得装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于，具备：
描绘轨迹信息取得机构，其取得在所述描绘对象上的图像空间中的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息；
描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由该描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和
描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。
30.根据权利要求28或29所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
还具备位置信息检测机构，其检测在所述基板上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，
所述描绘轨迹信息取得机构根据由所述位置信息检测机构取得的检测位置信息取得所述描绘轨迹信息。
31.根据权利要求28或29所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
还具备偏移信息取得机构，其取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
所述描绘点轨迹信息取得机构根据由所述偏移信息取得机构取得的偏移信息取得所述描绘轨迹信息。
32.根据权利要求30所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
还具备偏移信息取得机构，其取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
所述描绘点轨迹取得机构根据由所述偏移信息取得机构取得的偏移信息及由所述位置信息检测机构取得的检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。
33.根据权利要求28～32中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
所述描绘点数据取得机构使从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量，对应于由所述描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。
34.根据权利要求27～33中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
还具备速度变动信息取得机构，其取得速度变动信息，所述速度变动信息表示所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动速度的变动，
所述描绘点数据取得机构根据由所述速度变动信息取得机构取得的速度变动信息，按照越是在所述描绘对象的实际相对移动速度相对慢的所述描绘对象上的描绘区域，从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量越多的方式，从所述各像素数据中取得所述描绘点数据。
35.根据权利要求27～34中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
具有多个所述描绘点形成区域，
所述描绘点数据取得机构按每个所述描绘点形成区域取得所述描绘点数据。
36.根据权利要求27～35中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
具备形成所述描绘点形成区域的空间光调制元件。
37.根据权利要求27～36中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
在所述描绘点数据轨迹信息中附带有取得所述描绘点数据的间距成分。
38.根据权利要求27～37中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
具备多个描绘点形成区域，
所述描绘点数据轨迹信息取得机构按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
39.根据权利要求27～38中任意一项所述的描绘点数据取得装置，其特征在于：
多个描绘点形成区域被排列成二维状。
40.一种描绘装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于，具备：
描绘点数据轨迹信息取得机构，其取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；
描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据；和
描绘机构，其根据由该描绘点数据取得机构取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象上形成所述描绘点。
41.一种描绘装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于，具备：
描绘轨迹信息取得机构，其取得在描绘所述图像时所述描绘对象上的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息；
描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由该描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和
描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据；和
描绘机构，其根据由该描绘点数据取得机构取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象上形成所述描绘点。
42.一种描绘装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于，具备：
描绘轨迹信息取得机构，其取得在所述描绘对象上的图像空间中的所述描绘点形成区域的描绘轨迹信息；
描绘点数据轨迹信息取得机构，其根据由该描绘轨迹信息取得机构取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；
描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据；和
描绘机构，其根据由该描绘点数据取得机构取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象上形成所述描绘点。
43.根据权利要求41或42所述的描绘装置，其特征在于：
还具备位置信息检测机构，其检测在所述基板上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，
所述描绘轨迹信息取得机构根据由所述位置信息检测机构取得的检测位置信息取得所述描绘轨迹信息。
44.根据权利要求41或42所述的描绘装置，其特征在于：
还具备偏移信息取得机构，其取得所述图像描绘时所述基板的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
所述描绘点轨迹信息取得机构根据由所述偏移信息取得机构取得的偏移信息取得所述描绘轨迹信息。
45.根据权利要求43所述的描绘装置，其特征在于：
还具备偏移信息取得机构，其取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，
所述描绘点轨迹取得机构根据由所述偏移信息取得机构取得的偏移信息及由所述位置信息检测机构取得的检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。
46.根据权利要求41～45中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
所述描绘点数据取得机构使从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量，对应于由所述描绘轨迹信息表示的距离而变化。
47.根据权利要求40～46中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
还具备速度变动信息取得机构，其取得速度变动信息，所述速度变动信息表示所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动速度的变动，
所述描绘点数据取得机构根据由所述速度变动信息取得机构取得的速度变动信息，按照越是所述描绘对象的实际相对移动速度相对慢的所述描绘对象上的描绘区域，从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数量越多的方式，从所述各像素数据中取得所述描绘点数据。
48.根据权利要求40～47中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
具有多个所述描绘点形成区域，
所述描绘点数据取得机构按每个所述描绘点形成区域取得所述描绘点数据。
49.根据权利要求40～48中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
具备形成所述描绘点形成区域的空间光调制元件。
50.根据权利要求49～49中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
在所述描绘点数据轨迹信息中附带有取得所述描绘点数据的间距成分。
51.根据权利要求40～50中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
具备多个描绘点形成区域，
所述描绘点数据轨迹信息取得机构按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。
52.根据权利要求40～51中任意一项所述的描绘装置，其特征在于：
多个描绘点形成区域被排列成二维状。
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