JP4931041B2 - 描画点データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 - Google Patents
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Description
その取得したずれ情報に基づいて描画軌跡情報を取得するようにすることができる。
その取得したずれ情報および検出位置情報に基づいて描画軌跡情報を取得するようにすることができる。
a2:b2=A2:B2
a3:b3=A3:B3
a4:b4=A4:B4
そして、上記のようにして求められた点を結ぶ線(データ読み出し軌跡またはデータ軌跡)上にある画素データdが、実際にマイクロミラー38の露光軌跡情報に対応した露光点データである。したがって、露光画像データD上を上記直線が通過する点の画素データdが露光点データとして取得される。なお、画素データdとは露光画像データDを構成する最小単位のデータである。図9の太線で囲まれた範囲を抽出した図を図10に示す。具体的には、図10のハッチングされた部分の画素データが露光点画像データとして取得される。なお、露光軌跡情報の示す比に基づいて分割した点を結んだ直線が、露光画像データD上に存在しない場合には、その直線上の露光点データは0として取得される。
そして、上記のようにして取得された検出位置情報が、検出位置情報取得手段52から露光軌跡情報取得手段に出力されるとともに、ずれ情報取得手段において設定されたずれ情報が露光軌跡情報取得手段に出力される。そして、露光軌跡情報取得手段において、基板12上における各マイクロミラー38の露光軌跡情報が算出されるが、具体的には、まず、第1の実施形態の露光装置において説明したように、走査方向に直交する方向について隣接する検出位置情報12dを結ぶ直線と各マイクロミラー38の通過位置情報12cを表わす直線との交点の座標値が求められ、その交点とその交点に上記直交する方向に隣接する各検出位置情報12dとの距離の比が求められる。具体的には、図7におけるa1:b1、a2:b2、a3:b3およびa4:b4が露光軌跡情報として求められる。なお、上記比は、上記のようにして取得された検出位置情報からずれ量を差し引いた後に求められる。(S20)。
12 基板
12a 基準マーク
12b 基準マーク位置情報
12c 通過位置情報
12d 検出位置情報
14 移動ステージ
18 設置台
20 ガイド
22 ゲート
24 スキャナ
26 カメラ
30 露光ヘッド(描画手段)
32 露光エリア
36 DMD
52 検出位置情報取得手段
54,82,86 露光軌跡情報取得手段(描画軌跡情報取得手段)
56,84,88,91 露光点データ取得手段(描画点データ軌跡取得手段、描画
点データ取得手段)
80 ずれ情報取得手段
90 速度変動情報取得手段
D 露光画像データ(画像データ)
d 画素データ
Claims (48)
- 描画点データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、描画対象に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記描画対象上に順次形成して前記描画対象上に画像を描画する際に用いられる前記描画点データを取得する描画点データ取得方法において、
前記画像の描画を行う際の前記描画対象上における前記描画点形成領域の通過位置を表す描画軌跡の情報を取得し、
該取得した描画軌跡情報を、前記画像を表す画像データ上に対応付けて該画像データ上おける前記描画点形成領域の描画点データ軌跡の情報を取得し、
該取得した描画点データ軌跡情報に基づいて表される前記画像データの線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得することを特徴とする描画点データ取得方法。 - 前記描画対象上の所定位置にある複数の基準マークおよび/または基準部位を検出して該基準マークおよび/または基準部位の位置を示す検出位置情報を取得し、
該取得した検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項1記載の描画点データ取得方法。 - 前記相対的な移動方向に直交する方向に隣接した前記検出位置情報を結んだ直線と、前記描画点形成領域の通過位置である直線との交点を求め、該交点によって前記検出位置情報を結んだ直線が分割される比を前記露光軌跡情報として取得し、
該取得した比に基づいて、前記画像を表す画像データ上において前記直交する方向に対応する方向に隣接して配置された基準位置情報を結んだ直線を分割し、該分割した比を前記描画点データ軌跡情報として取得し、
該取得した比によって分割された点を前記相対的な移動方向に対応する方向について結んだ線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得することを特徴とする請求項2記載の描画点データ取得方法。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得し、
該取得したずれ情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項1記載の描画点データ取得方法。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得し、
該取得したずれ情報および前記検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項2または3記載の描画点データ取得方法。 - 前記描画軌跡情報によって表わされる描画軌跡の距離に応じて前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数を変化させることを特徴とする請求項1から5いずれか1項記載の描画点データ取得方法。
- 予め設定された前記描画対象の所定相対移動速度に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動速度の変動を示す速度変動情報を取得し、
該取得した速度変動情報に基づいて、前記描画対象の実相対移動速度が相対的に遅い前記描画対象上の描画領域ほど前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数が多くなるように前記各画素データから前記描画点データを取得することを特徴とする請求項1から6いずれか1項記載の描画点データ取得方法。 - 複数の前記描画点形成領域によって前記描画を行う際に用いられる前記描画点データを取得する描画点データ取得方法であって、
前記描画点形成領域毎に前記描画点データの取得を行うことを特徴とする請求項1から7いずれか1項記載の描画点データ取得方法。 - 前記描画点形成領域が空間光変調素子によって形成されるビームスポットであることを特徴とする請求項1から8いずれか1項記載の描画点データ取得方法。
- 前記描画点データ軌跡情報に前記描画点データを取得するピッチ成分が付随していることを特徴とする請求項1から9いずれか1項記載の描画点データ取得方法。
- 複数の描画点形成領域を備え、2つ以上の描画点形成領域毎に1つの描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項1から10いずれか1項記載の描画点データ取得方法。
- 前記複数の描画点形成領域が2次元状に配列されていることを特徴とする請求項1から11いずれか1項記載の描画点データ取得方法。
- 描画点データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、描画対象に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記描画対象上に順次形成して前記描画対象上に画像を描画する描画方法において、
前記画像の描画を行う際の前記描画対象上における前記描画点形成領域の通過位置を表す描画軌跡の情報を取得し、
該取得した描画軌跡情報を、前記画像を表す画像データ上に対応付けて該画像データ上における前記描画点形成領域の描画点データ軌跡の情報を取得し、
該取得した描画点データ軌跡情報に基づいて表される前記画像データの線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得し、
該取得した描画点データに基づいて前記描画点形成領域によって前記描画点を前記描画対象上に形成することを特徴とする描画方法。 - 前記描画対象上の所定位置にある複数の基準マークおよび/または基準部位を検出して該基準マークおよび/または基準部位の位置を示す検出位置情報を取得し、
該取得した検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項13記載の描画方法。 - 前記相対的な移動方向に直交する方向に隣接した前記検出位置情報を結んだ直線と、前記描画点形成領域の通過位置である直線との交点を求め、該交点によって前記検出位置情報を結んだ直線が分割される比を前記露光軌跡情報として取得し、
該取得した比に基づいて、前記画像を表す画像データ上において前記直交する方向に対応する方向に隣接して配置された基準位置情報を結んだ直線を分割し、該分割した比を前記描画点データ軌跡情報として取得し、
該取得した比によって分割された点を前記相対的な移動方向に対応する方向について結んだ線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得することを特徴とする請求項14記載の描画方法。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得し、
該取得したずれ情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項13記載の描画方法。 - 予め設定された前記基板の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記基板の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得し、
該取得したずれ情報および前記検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項14または15記載の描画方法。 - 前記描画軌跡情報によって表わされる描画軌跡の距離に応じて前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数を変化させることを特徴とする請求項13から17いずれか1項記載の描画方法。
- 予め設定された前記描画対象の所定相対移動速度に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動速度の変動を示す速度変動情報を取得し、
該取得した速度変動情報に基づいて、前記描画対象の実相対移動速度が相対的に遅い前記描画対象上の描画領域ほど前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数が多くなるように前記各画素データから前記描画点データを取得することを特徴とする請求項13から18いずれか1項記載の描画方法。 - 複数の前記描画点形成領域によって前記描画を行う描画方法であって、
前記描画点形成領域毎に前記描画点データの取得を行うことを特徴とする請求項13から19いずれか1項記載の描画方法。 - 前記描画点形成領域が空間光変調素子によって形成されるビームスポットであることを特徴とする請求項13から20いずれか1項記載の描画方法。
- 前記描画点データ軌跡情報に前記描画点データを取得するピッチ成分が付随していることを特徴とする請求項13から21いずれか1項記載の描画方法。
- 複数の描画点形成領域を備え、2つ以上の描画点形成領域毎に1つの描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項13から22いずれか1項記載の描画方法。
- 複数の描画点形成領域が2次元状に配列されていることを特徴とする請求項13から23いずれか1項記載の描画方法。
- 描画点データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、描画対象に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記描画対象上に順次形成して前記描画対象上に画像を描画する際に用いられる前記描画点データを取得する描画点データ取得装置において、
前記画像の描画を行う際の前記描画対象上における前記描画点形成領域の通過位置を表す描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得手段と、
該描画軌跡情報取得手段により取得された描画軌跡情報を、前記画像を表す画像データ上に対応付けて該画像データ上における前記描画点形成領域の描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得手段と、
該描画点データ軌跡情報取得手段により取得された描画点データ軌跡情報に基づいて表される前記画像データの線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得する描画点データ取得手段とを備えたことを特徴とする描画点データ取得装置。 - 前記基板上の所定位置にある複数の基準マークおよび/または基準部位を検出して該基準マークおよび/または基準部位の位置を示す検出位置情報を取得する位置情報検出手段をさらに備え、
前記描画軌跡情報取得手段が、前記位置情報検出手段により取得された検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項25記載の描画点データ取得装置。 - 前記描画軌跡情報取得手段が、前記相対的な移動方向に直交する方向に隣接した前記検出位置情報を結んだ直線と、前記描画点形成領域の通過位置である直線との交点を求め、該交点によって前記検出位置情報を結んだ直線が分割される比を前記露光軌跡情報として取得するものであり、
前記描画点データ軌跡情報取得手段が、前記描画軌跡情報取得手段によって取得された比に基づいて、前記画像を表す画像データ上において前記直交する方向に対応する方向に隣接して配置された基準位置情報を結んだ直線を分割し、該分割した比を前記描画点データ軌跡情報として取得するものであり、
前記描画点データ取得手段が、前記描画点データ軌跡情報取得手段によって取得された比によって分割された点を前記相対的な移動方向に対応する方向について結んだ線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得するものであることを特徴とする請求項26記載の描画点データ取得装置。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得するずれ情報取得手段をさらに備え、
前記描画点軌跡情報取得手段が、前記ずれ情報取得手段により取得されたずれ情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項25記載の描画点データ取得装置。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得するずれ情報取得手段をさらに備え、
前記描画点軌跡取得手段が、前記ずれ情報取得手段により取得されたずれ情報および前記位置情報検出手段により取得された検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項26または27記載の描画点データ取得装置。 - 前記描画点データ取得手段が、前記描画軌跡情報によって表わされる描画軌跡の距離に応じて前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数を変化させるものであることを特徴とする請求項25から29いずれか1項記載の描画点データ取得装置。
- 予め設定された前記描画対象の所定相対移動速度に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動速度の変動を示す速度変動情報を取得する速度変動情報取得手段をさらに備え、
前記描画点データ取得手段が、前記速度変動情報取得手段により取得された速度変動情報に基づいて、前記描画対象の実相対移動速度が相対的に遅い前記描画対象上の描画領域ほど前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数が多くなるように前記各画素データから前記描画点データを取得するものであることを特徴とする請求項25から30いずれか1項記載の描画点データ取得装置。 - 前記描画点形成領域を複数有し、
前記描画点データ取得手段が、前記描画点形成領域毎に前記描画点データの取得を行うものであることを特徴とする請求項25から31いずれか1項記載の描画点データ取得装置。 - 前記描画点形成領域を形成する空間光変調素子を備えたことを特徴とする請求項25から32いずれか1項記載の描画点データ取得装置。
- 前記描画点データ軌跡情報に前記描画点データを取得するピッチ成分が付随していることを特徴とする請求項25から33いずれか1項記載の描画点データ取得装置。
- 複数の描画点形成領域を備え、
前記描画点データ軌跡情報取得手段が、2つ以上の描画点形成領域毎に1つの描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項25から34いずれか1項記載の描画点データ取得装置。 - 複数の描画点形成領域が2次元状に配列されていることを特徴とする請求項25から35いずれか1項記載の描画点データ取得装置。
- 描画点データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、描画対象に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記描画対象上に順次形成して前記描画対象上に画像を描画する描画装置において、
前記画像の描画を行う際の前記描画対象上における前記描画点形成領域の通過位置を表す描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得手段と、
該描画軌跡情報取得手段により取得された描画軌跡情報を、前記画像を表す画像データ上に対応付けて該画像データ上における前記描画点形成領域の描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得手段と、
該描画点データ軌跡情報取得手段により取得された描画点データ軌跡情報に基づいて表される前記画像データの線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得する描画点データ取得手段と、
該描画点データ取得手段により取得された描画点データに基づいて前記描画点形成領域によって前記描画点を前記描画対象上に形成する描画手段とを備えたことを特徴とする描画装置。 - 前記基板上の所定位置にある複数の基準マークおよび/または基準部位を検出して該基準マークおよび/または基準部位の位置を示す検出位置情報を取得する位置情報検出手段をさらに備え、
前記描画軌跡情報取得手段が、前記位置情報検出手段により取得された検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項37記載の描画装置。 - 前記描画軌跡情報取得手段が、前記相対的な移動方向に直交する方向に隣接した前記検出位置情報を結んだ直線と、前記描画点形成領域の通過位置である直線との交点を求め、該交点によって前記検出位置情報を結んだ直線が分割される比を前記露光軌跡情報として取得するものであり、
前記描画点データ軌跡情報取得手段が、前記描画軌跡情報取得手段によって取得された比に基づいて、前記画像を表す画像データ上において前記直交する方向に対応する方向に隣接して配置された基準位置情報を結んだ直線を分割し、該分割した比を前記描画点データ軌跡情報として取得するものであり、
前記描画点データ取得手段が、前記描画点データ軌跡情報取得手段によって取得された比によって分割された点を前記相対的な移動方向に対応する方向について結んだ線上に沿って、前記画像データを構成する画素データを取得することによって前記線の部分を前記描画対象上に描画する際の複数の前記描画点データを取得するものであることを特徴とする請求項38記載の描画装置。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記基板の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得するずれ情報取得手段をさらに備え、
前記描画点軌跡情報取得手段が、前記ずれ情報取得手段により取得されたずれ情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項37記載の描画装置。 - 予め設定された前記描画対象の所定相対移動方向および/または移動姿勢に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動方向および/または移動姿勢のずれ情報を取得するずれ情報取得手段をさらに備え、
前記描画点軌跡取得手段が、前記ずれ情報取得手段により取得されたずれ情報および前記位置情報検出手段により取得された検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項38または39記載の描画装置。 - 前記描画点データ取得手段が、前記描画軌跡情報によって表わされる距離に応じて前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数を変化させるものであることを特徴とする請求項37から41いずれか1項記載の描画装置。
- 予め設定された前記描画対象の所定相対移動速度に対する前記画像の描画の際の前記描画対象の実相対移動速度の変動を示す速度変動情報を取得する速度変動情報取得手段をさらに備え、
前記描画点データ取得手段が、前記速度変動情報取得手段により取得された速度変動情報に基づいて、前記描画対象の実相対移動速度が相対的に遅い前記描画対象上の描画領域ほど前記画像データを構成する各画素データから取得される前記描画点データの数が多くなるように前記各画素データから前記描画点データを取得するものであることを特徴とする請求項37から42いずれか1項記載の描画装置。 - 前記描画点形成領域を複数有し、
前記描画点データ取得手段が、前記描画点形成領域毎に前記描画点データの取得を行うものであることを特徴とする請求項37から43いずれか1項記載の描画装置。 - 前記描画点形成領域を形成する空間光変調素子を備えたことを特徴とする請求項37から44いずれか1項記載の描画装置。
- 前記描画点データ軌跡情報に前記描画点データを取得するピッチ成分が付随していることを特徴とする請求項37から45いずれか1項記載の描画装置。
- 複数の描画点形成領域を備え、
前記描画点データ軌跡情報取得手段が、2つ以上の描画点形成領域毎に1つの描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項37から46いずれか1項記載の描画装置。 - 複数の描画点形成領域が2次元状に配列されていることを特徴とする請求項37から47いずれか1項記載の描画装置。
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