JP2007094116A - フレームデータ作成装置、方法及び描画装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロミラー単位データ等の描画点形成要素単位データから描画ユニット単位のフレームデータへの転置処理を高速かつ簡易に行う。
【解決手段】複数のマイクロミラー40を備えるDMD36により描画面に形成しようとする画像に対応する画像データ102(又は画像データ104)から複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給するマイクロミラー単位データ106を作成し、作成したマイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出して中間データ114を作成し、作成した中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させることでマイクロミラー単位データ106からDMD36単位のフレームデータ116への転置処理を行う。
【選択図】図15
【解決手段】複数のマイクロミラー40を備えるDMD36により描画面に形成しようとする画像に対応する画像データ102(又は画像データ104)から複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給するマイクロミラー単位データ106を作成し、作成したマイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出して中間データ114を作成し、作成した中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させることでマイクロミラー単位データ106からDMD36単位のフレームデータ116への転置処理を行う。
【選択図】図15
Description
この発明は、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画点形成要素を備える描画ユニットを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記描画ユニット単位のフレームデータを前記描画ユニットに順次供給し、前記描画ユニットにより前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像(2次元パターン)を形成する描画装置に組み込まれるフレームデータ作成装置、前記描画装置に適用されるフレームデータ作成方法、及び描画装置に関する。
従来から、画像データが表す所望の画像を描画面上に形成する描画装置が種々知られている。
このような描画装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス(以下、DMDという)等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて前記空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。
DMDは、シリコン等の半導体基板上のメモリアレイ(SRAMアレイ)に、微小なマイクロミラーが2次元状に多数配置されて構成されたものである。そして、メモリアレイに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができ、この反射面の角度変化により描画面上の所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができるものである。
そして、上記のようなDMDを用いた露光装置としては、たとえば、DMDを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてDMDのメモリアレイにマイクロミラー群に対応した複数の描画点形成要素データからなるフレームデータを入力し、DMDのマイクロミラー群に対応した描画点群を露光面に時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されている(特許文献1)。
また、露光面上に形成される画像の解像度を上げるため、DMDを走査方向に対して所定の角度だけ傾けて上記のような露光を行う露光装置も提案されている。
このような露光装置を用いて露光を行う際には、DMDの走査方向への相対的な移動に応じてフレームデータをDMDに入力する必要があるので、露光の前に予め露光面に対するDMDの位置に対応した複数のフレームデータを作成しておく必要がある。
ここで、たとえば、図16A〜図16E、図17A〜図17E、図18A〜図18Eに示すような数字の「2」を露光面上に形成する場合における従来のフレームデータの作成方法について説明する。なお、図16A〜図18Eに示す丸1〜丸8は、1個のDMDを構成する8個のマイクロミラーを模式的に示したものである。
そして、図16A〜図18Eの下部に示すフレーム1〜フレーム15は、それぞれの図において示される位置にDMDがある時に、DMDに入力されるフレームデータを模式的に示したものである。
従来は、たとえば、先ず、図16A〜図18Eに示す各画素に対応する画素データからなる画像データをDRAM等のメモリに一旦記憶し、図16A〜図18Eに示すように、DMDの各位置について、DMDの各マイクロミラー丸1〜丸8に対応する画素データを上記メモリから順次読み出すことにより描画点データからなる各フレームデータを作成していた。
なお、図16A〜図18Eに示す白四角と斜線四角の画素に対応する画素データはDMDを構成する各マイクロミラーのオフデータ「0」であり、黒四角の画素に対応する画素データはオンデータ「1」である。また、斜線四角部分の範囲は、描画面上に描画される画像の実質的な範囲を示すものであり、画素データとしては白四角と同じ「0」である。
しかしながら、上記のように各マイクロミラーに対応する画素データを丸1〜丸8まで順次読み出してフレームデータを作成したのでは、たとえば、図16A〜図18Eの各図における走査方向に直交する方向に、連続するアドレスが割り当てられ、そのアドレスが連続する方向に順次各マイクロミラーのデータが読み出されるようにメモリの読み出しが制御されるような場合には、各マイクロミラーに対応するデータが格納されたアドレスは、メモリを制御する制御手段からみたメモリのアドレス空間において離散的に配置されており、このような配置のアドレスに1つ1つアクセスしながらデータを読み出すのはメモリの制御上、非常に時間がかかり、全てのフレームデータを取得するのに膨大な時間がかかってしまう。
この問題を解決するために、この出願人は、以下に説明する技術を考案している(特願2005−045111号明細書)。
すなわち、メモリには、図19に示すように、画素データからなる画像データを、メモリのアドレスが連続する方向と走査方向とを一致させて格納する。
次いで、図19に示したようにメモリに格納された画像データに対して、予め設定されている各マイクロミラーによる描画点形成軌跡データを参照し、図20A〜図20D及び図21A〜図21Dに示すように、図20A〜図21Dの示す順に、位置情報のオフセット情報を含む各マイクロミラー毎のデータ(マイクロミラー単位データという。)を読み出し、図22Bに示すように、フレームデータメモリに格納する。
このとき、図22Bに示すように、フレームデータメモリのアドレスが連続する方向と、同じフレームデータ(換言すれば同じDMDに属するマイクロミラーのデータ)が格納される配列方向とが一致するように画像データを、DMD毎のデータであるフレームデータとしてフレームデータメモリに格納する。
そして、図22Bのように格納したフレームデータメモリからアドレスが連続する方向にフレームデータを順次読み出し、DMDを構成する丸1〜丸8のマイクロミラーにそれぞれデータ(描画点データ)を供給し、かつDMDを露光面の走査方向に対して相対的に移動させることで、図19に示した画像データに対応する「2」を表す画像(2次元パターン)を露光面に形成することができる。
ここで、理解の容易化のために、上記したマイクロミラー単位データの群からなるデータ、通常、メモリに一時的に格納保持されるデータであるマイクロミラー単位データ群データを図22Aに示す。
ところで、図20A〜図21Dを参照して説明したように、メモリに格納された画像データから各マイクロミラー単位データを読み出すことはメモリのアドレスが連続する方向となっているので、高速に行うことができる。しかし、そのようにして読み出したマイクロミラー単位データの各描画点データ、すなわち図22Aに示したマイクロミラー単位データ群データを構成するマイクロミラー単位データの各描画点データを、図22Bに示すように、置き場所を変えてフレームデータメモリに格納する処理(転置処理という。)は、アドレスが連続していないので、この転置処理をソフトウエアにより実行しようとすると時間がかかる。
転置処理のための時間が長くかかると、上記のように、DMDを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてDMDのメモリアレイにマイクロミラー群に対応した複数のマイクロミラー単位データからなるフレームデータを入力し、DMDのマイクロミラー群に対応した描画点群を露光面に時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置では、走査方向への移動速度に制限を与える。
高速描画が要求される場合、特に量産時等には、この制限を解消するため、前記複数のマイクロミラー単位データ、換言すれば、前記マイクロミラー単位データ群データのフレームデータへの描画点データの場所を置き変える転置処理は、ハードウエアにより行う。ただ、ハードウエアは、ソフトウエアに比較して、高価となる。
この発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、マイクロミラー単位データ等の描画点形成要素単位データから描画ユニット単位のフレームデータへの転置処理を高速かつ簡易に行うことを可能とするフレームデータ作成装置、方法及び描画装置を提供することを目的とする。
また、この発明は、描画点形成要素単位データが圧縮データである場合に、その圧縮データである描画点形成要素単位データから描画ユニット単位のフレームデータへの転置処理を行う際に、解凍処理を併せて行い、結果、転置・解凍処理を高速かつ簡易に行うことを可能とするフレームデータ作成装置、方法及び描画装置を提供することを目的とする。
この発明に係るフレームデータ作成装置は、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画点形成要素を備える描画ユニットを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記描画ユニット単位のフレームデータを前記描画ユニットに順次供給し、前記描画ユニットにより前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像を形成する描画装置に組み込まれるフレームデータ作成装置であって、前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれに順次供給する描画点形成要素単位データを作成する描画点形成要素単位データ作成部と、前記描画点形成要素単位データのデータ変化点を抽出した中間データを作成した後、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成するフレームデータ作成部と、を備えることを特徴とする。
また、この発明に係るフレームデータ作成方法は、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画点形成要素を備える描画ユニットを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記描画ユニット単位のフレームデータを前記描画ユニットに順次供給し、前記描画ユニットにより前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像を形成する描画装置に適用されるフレームデータ作成方法であって、前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれに順次供給する描画点形成要素単位データを作成する描画点形成要素単位データ作成ステップと、前記描画点形成要素単位データのデータ変化点を抽出した中間データを作成した後、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成するフレームデータ作成ステップと、を備えることを特徴とする。
この発明によれば、前記複数の描画点形成要素を備える前記描画ユニットにより前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する前記画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれに順次供給する描画点形成要素単位データを作成し、作成した前記描画点形成要素単位データのデータ変化点を抽出して中間データを作成し、作成した前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させることで前記描画点形成要素単位データから前記描画ユニット単位のフレームデータへの転置処理を行うようにしているので、転置処理を高速かつ簡易に行うことができる。
なお、描画点形成要素単位データを圧縮データとすることで、描画点形成要素単位データを格納する記憶手段の記憶容量を少なくすることができる。また、圧縮データのデータ変化点を抽出して中間データを作成し、作成した中間データ中のデータ変化点毎にデータを反転させることで、転置・解凍処理を高速に行うことができる。
圧縮データとしては、例えばランレングス圧縮データ、その累積データ等とすることができる。可逆圧縮データであることが好ましい。
また、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成する際、ある時点に前記描画ユニットに供給される前記描画ユニット単位のフレームデータをFnとし、前記ある時点の1つ前の時点に前記描画ユニットに供給される前記描画ユニット単位のフレームデータをFn−1とするとき、Fnを、Fn←Fn−1 XOR Fn 但し、n=2,3,…として求めることができる。XOR(排他的論理和)を使用する転置処理は、ソフトウエアで好適に行うことができる。
また、前記フレームデータ作成装置を組み込んだ前記描画装置及び前記フレームデータ作成方法が適用された前記描画装置も、前記課題を解決するので、この発明に含まれる。
描画ユニットとして、DMD、インクジェット記録ヘッド等が含まれる。
すなわち、この発明は、描画ユニットとしてDMD等の空間光変調素子に限らず、インクジェット記録ヘッドを備えた描画装置にも適用できることから、一般的に、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画点形成要素を備える描画ユニットを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記描画ユニット単位のフレームデータを前記描画ユニットに順次供給し、前記描画ユニットにより前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像(2次元パターン)を形成する描画装置に組み込まれるフレームデータ作成装置、前記描画装置に適用されるフレームデータ作成方法、及び前記描画装置に適用することができる。
この発明によれば、描画点形成要素単位データから描画ユニット単位のフレームデータを作成するための転置処理を高速かつ簡易に行うことができる。
描画点形成要素単位データが圧縮データである場合に、その圧縮データである描画点形成要素単位データから描画ユニット単位のフレームデータへの転置処理を行う際に、解凍処理を併せて行い、結果、転置・解凍処理を高速かつ簡易に行うことができる。
以下、図面を参照してこの発明に係る描画装置、この描画装置に組み込まれるフレームデータ作成装置、前記描画装置に適用されるフレームデータ作成方法について、これらの一実施形態が適用された露光記録システムを例として説明する。
図1は、この発明の一実施形態が適用された露光記録システム4の構成を示している。
この露光記録システム4は、画像データを作成しベクトルデータとして出力するCAD装置(CADサーバ)6と、CAD装置6から送信されたベクトルデータをラスタイメージデータであるビットマップデータに変換した後、このビットマップデータをランレングス符号化処理し、ランレングスデータ(圧縮データ)を画像データとして出力するラスタイメージプロセッサ(RIP)8と、RIP8から送信された画像データをフレームデータに変換し、このフレームデータに基づき、基板(記録媒体)の描画面に画像を露光記録(形成)する露光記録装置10と、CAD装置6、RIP8及び露光記録装置10の管理制御を行うシステム管理サーバ11とから基本的に構成される。
ここで、露光記録装置10は、ビットマップデータに基づいて積層プリント配線基板等の露光処理を行う装置であり、図2に示すように構成される。
すなわち、露光記録装置10は、複数の脚部12によって支持された変形の極めて小さい定盤14を備え、この定盤14上には、2本のガイドレール16を介して露光ステージ18が矢印Y方向に往復移動可能に設置される。露光ステージ18には、感光材料が塗布された長方形状の基板Fが吸着保持される。基板Fの感光材料塗布面が描画面になる。
定盤14の中央部には、ガイドレール16を跨ぐようにして門型のコラム20が設置される。このコラム20の一方の側部には、基板Fの先端及び後端を検知するCCDカメラ22a、22bが固定され、コラム20の他方の側部には、基板Fに対して画像を露光記録する複数の露光ヘッド24a〜24jが位置決め保持されたスキャナ26が固定される。
露光ヘッド24a〜24jは、基板Fの移動方向(矢印Y方向)と直交する方向に2列で千鳥状(略マトリクス状)に配列される。
図3は、各露光ヘッド24a〜24jの構成を示す。露光ヘッド24a〜24jには、例えば、光源ユニット28を構成する複数の半導体レーザから出力されたレーザビームLが合波され光ファイバ30を介して導入される。レーザビームLが導入された光ファイバ30の出射端には、ロッドレンズ32、反射ミラー34及び描画ユニット(描画点形成要素群)としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)36が順に配列される。
ここで、DMD36は、図4に示すように、SRAMアレイ(メモリアレイ)38の上に格子状に配列された多数のマイクロミラー40(描画点形成要素)を揺動可能な状態で配置したものであり、各マイクロミラー40の表面には、アルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。SRAMアレイ38にDMDコントローラ42からフレームデータに従ったデジタル信号が書き込まれると、その信号に応じて各マイクロミラー40が所定方向に傾斜し、その傾斜状態に従ってレーザビームLのオンオフ状態が実現される。
オンオフ状態が制御されたDMD36によって反射されたレーザビームLの射出方向には、拡大光学系である第1結像光学レンズ44、46、DMD36の各マイクロミラー40に対応して多数のレンズを配設したマイクロレンズアレー48、ズーム光学系である第2結像光学レンズ50、52が順に配列される。なお、マイクロレンズアレー48の前後には、迷光を除去するとともに、レーザビームLを所定の径に調整するためのマイクロアパーチャアレー54、56が配置される。
各露光ヘッド24a〜24jに組み込まれるDMD36は、図5及び図6に示すように、高い解像度を実現すべく、基板Fの移動方向(矢印Y方向)に対して所定角度傾斜した状態に設定される。すなわち、DMD36を基板Fの移動方向に対して傾斜させることにより、DMD36を構成するマイクロミラー40の矢印Y方向と直交する方向(矢印X方向)に対する間隔を狭くし、これによって、矢印X方向に記録される画像の解像度を高くすることができる。矢印Y方向の解像度は、基板Fの移動速度によって調整することができる。なお、各露光ヘッド24a〜24jにより一度に露光される範囲である露光エリア58a〜58jは、露光ヘッド24a〜24j間の継ぎ目が生じることのないよう、図6に示すように矢印X方向に重畳するように設定される。
露光記録装置10の制御回路は、図1に示すように、CCDカメラ22a、22bを用いて取得した基板Fの先端及び後端に基づき、RIP8から供給された画像データを、各マイクロミラー40の基板Fの描画面に対して、予め設定されている各マイクロミラー40による描画点形成軌跡データを参照し、マイクロミラー単位データ(描画点形成要素単位データ)に変換する画像データ処理部70と、画像データ処理部70から供給されたマイクロミラー単位データからフレームデータを作成し、DMD36を駆動して基板Fに画像を露光記録する露光部72とを備える。
画像データ処理部70は、マイクロミラー単位データ作成部(描画点形成要素データ作成部)75等として機能するCPU74を有する、例えばパーソナルコンピュータにより構成される。CPU74には、RIP8から送信された画像データを受信するインタフェース(I/F)76と、CCDカメラ22a、22bを用いて取得した基板Fの先端及び後端等のアライメント情報データを受信するインタフェース(I/F)78と、受信した前記画像データと取得した前記アライメント情報データとシステム管理サーバ11から図示しないインタフェースを介して受信した各マイクロミラー40による描画点形成軌跡データとをハードディスクドライブ(HDD)80を介して記憶するハードディスク(HD)82と、主記憶装置であるメモリ84と、マイクロミラー単位データ作成部75により作成されたマイクロミラー単位データを露光部72に送信するインタフェース(I/F)86と、がバス88を介して接続される。
マイクロミラー単位データ作成部75は、基板Fの描画面に形成しようとする画像に対応する前記画像データから前記複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給する前記マイクロミラー単位データを作成する。
露光部72は、画像データ処理部70のI/F86から送信された前記マイクロミラー単位データを一旦記憶する等のメモリであるバッファ90と、バッファ90に記憶された前記マイクロミラー単位データを、DMD36を構成する複数のマイクロミラー40の配列に従ったフレームデータに変換するフレームデータ作成部92と、フレームデータを一時記憶するメモリであるバッファ94と、バッファ94に記憶されたフレームデータに基づき、DMD36を構成するマイクロミラー40を制御し、基板Fに画像を露光記録するDMDコントローラ42とを備える。
フレームデータ作成部92は、バッファ90に記憶された前記マイクロミラー単位データのデータ変化点を抽出した中間データ(エッジフレームデータともいう。)を作成した後、前記中間データ中の前記データ変化点ごとにデータを反転させて前記フレームデータを作成する。
この実施形態に係る露光記録システム4は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作及び作用効果について、図7に示すフローチャートに基づいて説明する。
先ず、ステップS1において、CAD装置6を用いて、基板Fに露光記録する画像に対応する画像データを作成する。
CAD装置6で作成された画像データは、ベクトルデータ形式でRIP8に送信される。
ステップS2において、RIP8は、ベクトルデータを図8に示すラスタイメージデータ形式の画像データ102に変換する。
次いで、RIP8は、画像データ102をランレングス符号化処理し、図9に示す圧縮されたランレングスデータ形式の画像データ104に変換する(ステップS3)。
ここで、画像データ104は、図9に示すように、例えば、画像のライン1〜8中、各ラインについて、画像データ102を構成する「0」の画素が、ライン方向に連続する数と、画像データ104を構成する「1」の画素が、ライン方向に連続する数とを用いて表すことができる。例えば、ライン1及びライン2について説明すれば、図8の画像データ102中、ライン1は「0」の画素がライン方向に16個連続しているので、ランレングスデータ形式の画像データ104は、「16」になる。また、ライン2は、ライン方向に、「0」が2個連続、「1」が4個連続、「0」が4個連続、「1」が4個連続、「0」が2個連続しているので、ランレングス形式の画像データ104は、「2,4,4,4,2」になる。なお、ランレングス形成の画像データ「2,4,4,4,2」は、同様に圧縮データである累積データとして表せば、「2,6,10,14,16」となる。
このようにして、RIP8で作成されたランレングスデータ形式の画像データ104は、RIP8から露光記録装置10を構成する画像データ処理部70のI/F76、バス88、HDD80を通じてHD82に記憶される。
次いで、画像データ処理部70のマイクロミラー単位データ作成部75は、基板Fの描画面に形成しようとする画像に対応する画像データ104と、各マイクロミラー40による描画点形成軌跡データとから複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給するマイクロミラー単位データを作成する。実際上、画像データ104は、ランレングス形式の圧縮データであるが、圧縮データでなくともマイクロミラー単位データを作成することができる。
図10は、理解の容易化のために、DMD36の数が、露光ヘッド24a〜24jに対応する10個のDMD36ではなく、3個のDMD1〜3であると仮定し、この3個のDMD1〜3がそれぞれ、位置に応じて番号1〜6が付けられた6個のマイクロミラー40から構成されるものと仮定した場合の各マイクロミラー40から基板Fに照射される光ビームの走査軌跡である描画点形成軌跡データ110を模式的に示している。
このように仮定した場合、例えばDMD1を構成する番号1のマイクロミラー40と番号4のマイクロミラー40とは、走査方向上同一ライン1(図8も参照)上の描画点形成軌跡データ110となることが分かり、DMD1を構成する番号2のマイクロミラー40と番号5のマイクロミラー40とは、同一ライン2(図8も参照)上の描画点形成軌跡データ110となることが分かる。
また、描画点形成軌跡データ110には、各マイクロミラー40(各ビーム)の初期位置から画像先端までの距離を解像度で割ったオフセット値(オフセット情報)と、各マイクロミラー40(各ビーム)の画像後端位置から終止位置までの距離を解像度で割ったオフセット値とが含まれる。
なお、図10に示す描画点形成軌跡データ110は、画像のライン方向に平行したものとなっているが、実際には、基板F等にも変形が発生している場合があり、その場合には、例えばCCDカメラ22a、22bから得られる画像情報に基づき描画点形成軌跡データ110を修正して利用することができる。
図11は、図10に示した描画点形成軌跡データ110と、画像データ104(圧縮データ)あるいは画像データ102とに基づいて作成されたマイクロミラー単位データ106の群データ(マイクロミラー単位データ群データ)108を示している。例えば、DMD1の番号2のマイクロミラー40では、初期位置から画像先端までのオフセット値が「5」(描画点データとしては、露光しないので、「0」値)、画像データ102のライン2の最初の2描画点データはオフデータであるので、「0」値が2個で計7個が「0」値、次いで、「1」値が4個、「0」値が4個、「1」値が4個、「0」値が2個と画像後端位置から終止位置までのオフセット値が「4」で計6個の「0」値が連続する。したがって、DMD1の番号2のマイクロミラー40のマイクロミラー単位データ106は、「7(「0」値),4(「1」値),4(「0」値),4(「1」値),6(「0」値)」となる。
このようにして作成された、マイクロミラー単位データ106からなるマイクロミラー単位データ群データ108(図11参照)は、画像データ処理部70のメモリ84からI/F86を通じて露光部72のバッファ90に送信され記憶される。
次いで、ステップS5において、フレームデータ作成部92は、バッファ90に記憶されたマイクロミラー単位データ群データ108を構成する各マイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出した中間データを作成した後、前記中間データ中の前記データ変化点ごとにデータを反転させて前記フレームデータを作成する。
図12は、フレームデータ作成部92により実行される前記フレームデータの作成フローチャートを示している。このフレームデータの作成処理は、排他的論理和(XOR)処理を利用して行われる。
このとき、先ず、ステップS51において、図13に示すように、バッファ94のフレームデータのメモリ領域をゼロクリアすることで初期化した(1ビットが保持される各メモリセルにゼロを書き込んだ)ゼロデータ112を作成する。
ここで、バッファ94のゼロデータ112のメモリ領域のメモリ容量は、図11のマイクロミラー単位データ群データ108を参照すれば理解されるように、露光ヘッド24a〜24j(ここでは、3個の露光ヘッドに収容されるDMD1〜DMD3に限定して説明している。)の相対移動方向(基板Fの移動方向)である矢印Y方向に25描画点分、矢印Y方向と直交する方向である矢印X方向に、マイクロミラー40の数に対応する18描画点分の合計450(25×18)描画点分を考慮すれば、450ビット分であることが分かる。
次いで、バッファ90に格納されている図11に示すマイクロミラー単位データ群データ108を参照して、各マイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出し、図14に示すように、その変化点に対応するゼロデータ112のフレームデータのメモリ領域の該当メモリセルの列にフラグ=「1」を立てた中間データ114を作成する。
一例として、DMD1のミラー番号2のマイクロミラー40についてのデータ変化点についての抽出及び中間データ114の作成について説明すれば、マイクロミラー単位データ106は、「7,4,4,4,6」であるので、5個のオフセット描画点を含むフレームデータ番号1〜7までの最初の7個のメモリセル(描画点)は「0」値、フレームデータ番号7からフレームデータ番号8になると、ランレングスデータが「7」から「4」に変化するので、フレームデータ番号8のメモリセル(描画点)をフラグ=「1」値とする。次に、フレームデータ番号11(11=7+4)からフレームデータ番号12になると、ランレングスデータが「4」から「4」に変化するので、そのフレームデータ番号12のメモリセル(描画点)をフラグ=「1」値とする。以下、同様である。なお、この中間データ114は、エッジデータ(エッジ抽出データ)と考えることもできる。
次いで、ステップS53では、図14に示す中間データ114中、各マイクロミラー40のミラー番号に対応する矢印Y方向の中間データ114中のフラグ=「1」を立てたデータ変化点毎にデータを反転することで、図15Bに示すフレームデータ116を作成する。一例として、上述したDMD1のミラー番号2のマイクロミラー40についての中間データ114からフレームデータを作成する手順を説明すれば、フレームデータ番号7までの最初の7個のメモリセル(描画点)は「0」値で、フレームデータ番号8でデータが、「0」値から「1」値に変化するので、次のデータ変化点であるフレームデータ番号12の1つ前までのデータを「0」値から「1」値に反転する。次に、フレームデータ番号12が中間データ114のデータ変化点となるので、次のデータ変化点であるフレームデータ番号16の1つ前までのデータを「1」値から「0」値に反転する。以下、同様である。
実際上、このフレームデータ作成処理は、フレームデータの上下のデータ同士で排他的論理和(XOR)を掛ける。そして、このとき、XORを掛けた結果は元のデータに上書きし、次は、その更新されたデータを使ってXORを掛ける。これをフレーム番号nをn=2,3…,25まで行えば、図15Bに示すフレームデータ116が作成される。
数式で示せば、ある時点で3個の描画ユニットに対応する3個のDMD1〜3に供給されるDMD1〜3各単位のフレームデータをFnとし、ある時点の1つ前の時点に前記描画ユニットに供給されるDMD1〜3各単位のフレームデータをFn−1とするとき、Fnを、次の(1)式で求めることができる。
Fn←Fn−1 XOR Fn 但し、n=2,3,… …(1)
Fn←Fn−1 XOR Fn 但し、n=2,3,… …(1)
すなわち、図15A(図14を再掲)に示す中間データ114から上記(1)式によるXOR処理を行うことにより、図15Bに示すフレームデータ116を高速に作成することができる。このXORを使用する転置処理は、フレームデータ作成部92のCPUの性能・仕様によるが、通常、32ビットのデータずつ、XORを掛けることは容易でありソフトウエアにより高速に実行することができる。
このようにしてXOR処理によりフレームデータ116をバッファ94に作成したとき、ステップS5の画像形成処理が実行される。
ステップS5において、露光記録装置10は、露光ステージ18をスキャナ26側からCCDカメラ22a、22b側に移動させ、DMDコントローラ42は、バッファ94に記憶されたフレームデータ116をDMD1〜3に供給し、基板Fに所望の画像を露光記録する。
以下、図2、図3の構成にもどって説明すれば、光源ユニット28から出力されたレーザビームLは、光ファイバ30を介して各露光ヘッド24a〜24jに導入される。導入されたレーザビームLは、ロッドレンズ32から反射ミラー34を介してDMD36に入射する。
DMDコントローラ42は、バッファ94からフレームデータを読み出し、このフレームデータの「1」値及び「0」値に従いDMD36を構成する各マイクロミラー40をオンオフ制御する。DMD36を構成する各マイクロミラー40により所望の方向に選択的に反射されたレーザビームLは、第1結像光学レンズ44、46によって拡大された後、マイクロアパーチャアレー54、マイクロレンズアレー48及びマイクロアパーチャアレー56を介して所定の径に調整され、次いで、第2結像光学レンズ50、52により所定の倍率に調整されて基板Fに導かれる。
露光ステージ18は、定盤14に沿って移動し、基板Fには、露光ステージ18の移動方向と直交する方向に配列される複数の露光ヘッド24a〜24jを構成するDMD36により所望の画像が露光記録されて形成される。
以上説明したように、上述した実施形態によれば、複数の描画点からなる描画点群を基板Fの描画面上に形成する複数の描画点形成要素であるマイクロミラー40を複数備えるDMD36を前記描画面に対して所定の走査方向である矢印Y方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記DMD36単位(毎)のフレームデータをDMD36に順次供給し、DMD36により前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像を形成する描画装置としての露光記録装置10に組み込まれるフレームデータ作成装置(露光部72)であって、前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データ102(又は画像データ104)から複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給するマイクロミラー単位データ106を作成するマイクロミラー単位データ作成部(描画点形成要素単位データ作成部)としての画像データ処理部70と、マイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出した中間データ114を作成した後、中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させてフレームデータ116を作成するフレームデータ作成部92とを備える。
また、上述した実施形態によれば、複数の描画点からなる描画点群を基板Fの描画面上に形成する複数の描画点形成要素であるマイクロミラー40を備えるDMD36を前記描画面に対して所定の走査方向である矢印Y方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じてDMD36単位(毎)のフレームデータをDMD36に順次供給し、DMD36により前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像を形成する描画装置としての露光記録装置10に適用されるフレームデータ作成方法であって、前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データ102(又は画像データ104)から複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給するマイクロミラー単位データ106を作成するマイクロミラー単位データ作成ステップ(描画点形成要素単位データ作成ステップ)S4と、マイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出した中間データ114を作成した後、中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させてフレームデータ116を作成するフレームデータ作成ステップS5とを備える。
この実施形態によれば、複数のマイクロミラー40を備えるDMD36により前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データ102(又は画像データ104)から複数のマイクロミラー40のそれぞれに順次供給するマイクロミラー単位データ106を作成し、作成したマイクロミラー単位データ106のデータ変化点を抽出して中間データ114を作成し、作成した中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させることでマイクロミラー単位データ106からDMD36単位のフレームデータ116への転置処理を行うようにしているので、転置処理を高速かつ簡易に行うことができる。
なお、マイクロミラー単位データ106を圧縮データとしているので、これを格納するメモリ84の記憶容量を少なくすることができる。また、圧縮データのデータ変化点を抽出して中間データ114を作成し、作成した中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させることで、マイクロミラー単位データ106からDMD36単位のフレームデータ116への転置・解凍処理を高速に行うことができる。
圧縮データとしては、例えばランレングス圧縮データ、その累積データ等とすることができる。可逆圧縮データであることが好ましい。
また、中間データ114中のデータ変化点毎にデータを反転させてフレームデータ116を作成する際、ある時点にDMD36に供給されるDMD36単位のフレームデータをFnとし、前記ある時点の1つ前の時点にDMD36に供給されるDMD36単位のフレームデータをFn−1とするとき、Fnを、Fn←Fn−1 XOR Fn 但し、n=2,3,…として求めることができる。XOR(排他的論理和)を使用する転置処理は、ソフトウエアで好適に行うことができる。
なお、上述した露光記録装置10は、例えば、多層プリント配線基板(PWB:Printed Wiring Board)の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト(DFR:Dry Film Resist)の露光、液晶表示装置(LCD)の製造工程におけるカラーフィルタの形成、TFTの製造工程におけるDFRの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)の製造工程におけるDFRの露光等の用途に好適に用いることができる。また、描画ユニットとしては、DMD36等の空間光変調素子に限らず、インクジェット記録ヘッドを備えた描画装置にも適用することができる。
4…露光記録システム 6…CAD装置
8…RIP 10…露光記録装置
11…システム管理サーバ 18…露光ステージ
24a〜24j…露光ヘッド 36…DMD
70…画像データ処理部 72…露光部
74…CPU 75…マイクロミラー単位データ作成部
92…フレームデータ作成部 F…基板
8…RIP 10…露光記録装置
11…システム管理サーバ 18…露光ステージ
24a〜24j…露光ヘッド 36…DMD
70…画像データ処理部 72…露光部
74…CPU 75…マイクロミラー単位データ作成部
92…フレームデータ作成部 F…基板
Claims (8)
- 複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画点形成要素を備える描画ユニットを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記描画ユニット単位のフレームデータを前記描画ユニットに順次供給し、前記描画ユニットにより前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像を形成する描画装置に組み込まれるフレームデータ作成装置であって、
前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれに順次供給する描画点形成要素単位データを作成する描画点形成要素単位データ作成部と、
前記描画点形成要素単位データのデータ変化点を抽出した中間データを作成した後、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成するフレームデータ作成部と、
を備えることを特徴とするフレームデータ作成装置。 - 請求項1記載のフレームデータ作成装置において、
前記描画点形成要素単位データは、圧縮データとする
ことを特徴とするフレームデータ作成装置。 - 請求項1記載のフレームデータ作成装置において、
前記フレームデータ作成部が、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成する際、ある時点に前記描画ユニットに供給される前記描画ユニット単位のフレームデータをFnとし、前記ある時点の1つ前の時点に前記描画ユニットに供給される前記描画ユニット単位のフレームデータをFn−1とするとき、Fnを、
Fn←Fn−1 XOR Fn 但し、n=2,3,…
として求める
ことを特徴とするフレームデータ作成装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のフレームデータ作成装置を組み込んだ前記描画装置。
- 複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画点形成要素を備える描画ユニットを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、前記走査方向への移動に応じて前記描画ユニット単位のフレームデータを前記描画ユニットに順次供給し、前記描画ユニットにより前記描画点群を前記描画面に時系列的に形成することで前記描画面に画像を形成する描画装置に適用されるフレームデータ作成方法であって、
前記描画面に形成しようとする前記画像に対応する画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれに順次供給する描画点形成要素単位データを作成する描画点形成要素単位データ作成ステップと、
前記描画点形成要素単位データのデータ変化点を抽出した中間データを作成した後、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成するフレームデータ作成ステップと、
を備えることを特徴とするフレームデータ作成方法。 - 請求項5記載のフレームデータ作成方法において、
前記描画点形成要素単位データは、圧縮データとする
ことを特徴とするフレームデータ作成方法。 - 請求項5記載のフレームデータ作成方法において、
前記フレームデータ作成ステップで、前記中間データ中の前記データ変化点毎にデータを反転させて前記フレームデータを作成する際、ある時点に前記描画ユニットに供給される前記描画ユニット単位のフレームデータをFnとし、前記ある時点の1つ前の時点に前記描画ユニットに供給される前記描画ユニット単位のフレームデータをFn−1とするとき、Fnを、
Fn←Fn−1 XOR Fn 但し、n=2,3,…
として求める
ことを特徴とするフレームデータ作成方法。 - 請求項5〜7のいずれか1項に記載のフレームデータ作成方法が適用された前記描画装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122730A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Orc Mfg Co Ltd | 多重露光装置 |
KR20120046831A (ko) * | 2010-10-27 | 2012-05-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 마스크리스 노광 장치 및 노광 방법 |
JP2015513208A (ja) * | 2011-11-29 | 2015-04-30 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置用の所望のデバイスパターンのベクタ形式表現を変換する装置および方法、プログラマブルパターニングデバイスにデータを供給する装置および方法、リソグラフィ装置、デバイス製造方法 |
KR101900883B1 (ko) * | 2015-08-14 | 2018-09-21 | 주식회사 에스디에이 | 디지털 마이크로미러 디바이스 제어기 및 그의 노광 이미지 출력 처리 방법 |
WO2019035520A1 (ko) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 주식회사 에스디에이 | 고속 미세 선폭 노광을 위한 디지털 마이크로미러 디바이스 제어기의 노광 이미지 출력 제어 방법 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104170054B (zh) * | 2012-01-18 | 2018-11-02 | 株式会社尼康 | 空间光调制器的驱动方法、曝光用图案的生成方法、以及曝光方法和装置 |
CN102778819B (zh) * | 2012-07-31 | 2014-10-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种用于点阵式无掩模光刻的曝光帧数据的产生方法 |
US10571809B1 (en) * | 2019-02-19 | 2020-02-25 | Applied Materials, Inc. | Half tone scheme for maskless lithography |
US10495979B1 (en) * | 2019-02-19 | 2019-12-03 | Applied Materials, Inc. | Half tone scheme for maskless lithography |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6359695B1 (en) * | 1992-02-26 | 2002-03-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Repeated image forming apparatus with neighboring image boundary gradiation correction |
US6493867B1 (en) | 2000-08-08 | 2002-12-10 | Ball Semiconductor, Inc. | Digital photolithography system for making smooth diagonal components |
US6606739B2 (en) | 2000-11-14 | 2003-08-12 | Ball Semiconductor, Inc. | Scaling method for a digital photolithography system |
JP2003337425A (ja) * | 2002-05-20 | 2003-11-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光装置 |
JP2005022249A (ja) | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
JP2005022250A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
JP2006264319A (ja) | 2005-02-22 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像データ格納方法および制御装置並びにプログラム、フレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、データ取得方法および装置、描画方法および装置 |
JP4931041B2 (ja) | 2005-03-31 | 2012-05-16 | 富士フイルム株式会社 | 描画点データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 |
JP4823751B2 (ja) | 2005-04-21 | 2011-11-24 | 富士フイルム株式会社 | 描画点データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 |
JP4448075B2 (ja) | 2005-04-21 | 2010-04-07 | 富士フイルム株式会社 | 描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 |
-
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122730A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Orc Mfg Co Ltd | 多重露光装置 |
KR20120046831A (ko) * | 2010-10-27 | 2012-05-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 마스크리스 노광 장치 및 노광 방법 |
KR101693047B1 (ko) | 2010-10-27 | 2017-01-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 마스크리스 노광 장치 및 노광 방법 |
JP2015513208A (ja) * | 2011-11-29 | 2015-04-30 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置用の所望のデバイスパターンのベクタ形式表現を変換する装置および方法、プログラマブルパターニングデバイスにデータを供給する装置および方法、リソグラフィ装置、デバイス製造方法 |
US10346729B2 (en) | 2011-11-29 | 2019-07-09 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and method for converting a vector-based representation of a desired device pattern for a lithography apparatus, apparatus and method for providing data to a programmable patterning device, a lithography apparatus and a device manufacturing method |
KR101900883B1 (ko) * | 2015-08-14 | 2018-09-21 | 주식회사 에스디에이 | 디지털 마이크로미러 디바이스 제어기 및 그의 노광 이미지 출력 처리 방법 |
WO2019035520A1 (ko) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 주식회사 에스디에이 | 고속 미세 선폭 노광을 위한 디지털 마이크로미러 디바이스 제어기의 노광 이미지 출력 제어 방법 |
Also Published As
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US8035852B2 (en) | 2011-10-11 |
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