JP7455265B1 - 露光装置および露光方法 - Google Patents
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Abstract
Description
30 DMD
60 ラスタ変換部
70 抽出部
80 露光部
Claims (7)
- 光変調素子アレイの露光エリアが相対移動する走査バンド領域に対し、ベクタデータ分割のため露光エリア相対移動方向に沿って連なるように定められた単位領域に合わせて、ベクタデータを分割し、分割ベクタデータを生成する分割ベクタデータ生成部と、
前記分割ベクタデータを、光変調素子アレイを構成する光変調素子の投影領域よりもサイズの小さいセル単位で構成される細分ラスタデータに変換するラスタデータ変換部と、
前記光変調素子アレイの露光エリアの相対位置に応じて、前記細分ラスタデータの中から、各光変調素子に対応する画素データを抽出し、描画ラスタデータを生成するラスタデータ抽出部と、
生成した前記描画ラスタデータに基づいて、各光変調素子を駆動制御する露光部とを備え、
前記単位領域が、前記細分ラスタデータのセル単位のサイズに応じて、定められることを特徴とする露光装置。 - 前記細分ラスタデータを格納可能なラスタメモリをさらに備え、
前記ラスタデータ抽出部が、前記光変調素子アレイの露光エリアの相対位置に応じて、前記ラスタメモリに格納された前記細分ラスタデータの中から、各光変調素子に対応する画素データを抽出し、描画ラスタデータを生成し、
前記ラスタメモリのメモリ領域が、前記走査バンド領域における、前記光変調素子アレイの露光エリアよりも大きい領域に相当するメモリ領域であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記細分ラスタデータのセル単位のサイズが、光変調素子の投影領域の1/10以下であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記単位領域の露光エリア相対移動方向に沿った幅が、前記露光エリアの相対移動方向に沿った幅よりも小さく、かつ、露光ピッチよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 光変調素子アレイの露光エリアが相対移動する走査バンド領域に対し、ベクタデータ分割のため露光エリア相対移動方向に沿って連なるように定められるとともに、前記細分ラスタデータのセル単位のサイズに応じて定められる単位領域に合わせて、ベクタデータを分割し、
ベクタデータ分割によって生成された分割ベクタデータを、光変調素子の投影領域よりもサイズの小さいセル単位で構成される細分ラスタデータに変換し、
前記光変調素子アレイの露光エリアの相対位置に応じて、細分ラスタデータの中から、各光変調素子に対応する画素データを抽出して、描画ラスタデータを生成し、
生成した描画ラスタデータに基づいて、各光変調素子を駆動制御することを特徴とする露光方法。 - 前記走査バンド領域における、前記光変調素子アレイの露光エリアよりも大きい領域に相当するメモリ領域を有するラスタメモリに、前記細分ラスタデータを格納し、
前記光変調素子アレイの露光エリアの相対位置に応じて、前記ラスタメモリに格納された前記細分ラスタデータの中から、各光変調素子に対応する画素データを抽出して、描画ラスタデータを生成することを特徴とする請求項5に記載の露光方法。 - 前記ラスタメモリの空き状態に応じて、前記細分ラスタデータに変換することを特徴とする請求項6に記載の露光方法。
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Citations (7)
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