JP4179478B2 - 描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 - Google Patents
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Description
まず、データ作成装置40において、基板12に露光される露光パターンを表すベクトルデータが作成される。なお、本実施形態の説明においては、液晶ディスプレイの露光パターンを表わすベクトルデータが作成される。液晶ディスプレイの露光パターンRは、図6に示すように、(r、g、b)を表示するための3つのTFTからなるLCD画素Pが直交する方向に2次元状に多数配列された表示部と、その表示部に接続される配線からなる配線部とから構成される。なお、図6においては、rを表示するためのTFTをT1、gを表示するためのTFTをT2、bを表示するためのTFTをT3で表し、配線部を実線で表している。データ作成装置40においては、図6に示すような露光パターンRを表すベクトルデータが作成される。
Δx = x2 − x1 ・ ・ ・ (2)
Δy = y2 −(y1+L0) ・ ・ ・ (3)
pitch_x = Δx/N ・ ・ ・ (4)
pitch_y = pitch_y0 × (L0+Δy)/L0 ・ ・ ・ (5)
具体的には、例えば、N = 4096、pitch_y0 = 0.75μm等となる。
ここで、k=(LCD画素データのy方向サイズ+余裕値α)/L0 ・ ・ ・ (7)
とすることが望ましい。
v ’ = INT( v / stp ) × stp ・ ・ ・ (8)
または
v ’ = ( INT( v / stp ) + 0.5 ) × stp ・ ・ ・ (9)
とする。
そして、上記のようにして第2のテンプレート記憶部54aに記憶されたテンプレートデータは、画像処理部50において取得された、後述する露光点データ情報に基づいて読み出され、露光ヘッド制御部55に出力されるが、次に、その露光点データ情報について、およびその露光点データ情報の取得方法について説明する。
なお、本実施形態においては、隣接するトレース点12gを直線で結んでベクトルV3としたが、これに限らず、たとえば、隣接するトレース点12gを曲線で結んだり、もしくは折れ線で結んだりしてベクトルV3としてもよい。特に、x方向に隣接する位置情報12fを結ぶ直線とベクトルV3の交点の部分については、折れ線で近似することが望ましい。
ただし、w1,w2は重み付けの定数
そして、上記のようにして取得された1つのトレースデータ番号に対応するトレースデータが第1のテンプレート記憶部50cから読み出され、トレースデータ番号とともに露光点データ情報作成部50eに出力される。なお、このとき、読出開始位置が0の場合は、トレースデータは先頭から読み出され、読出開始位置が、たとえば、m1である場合には、m1の位置から読み出される。また、露光点データは上記露光点データ数Nだけ読み出すようにすればよい。
次に、上記のようにして画像処理部50において取得された各ベクトルV3の露光点データ情報に基づいて、表示部データにおける露光点データを取得する方法を説明する。
次に、上記のようにして取得された各マイクロミラー38毎の露光点データに基づいて基板12上に露光する方法について説明する。
12 基板
12a 基準マーク
12b 基準マーク位置情報
12c 通過位置情報
12d 検出位置情報
14 移動ステージ
18 設置台
20 ガイド
22 ゲート
24 スキャナ
26 カメラ
30 露光ヘッド
32 露光エリア
36 DMD
50,80 画像処理部
50a,80a 露光画像データ記憶部
50b,80b サンプリングデータ取得部
50c,80c 第1のテンプレートデータ記憶部(仮想描画データ記憶部)
50d,80d トレースデータ特定部(対応関係設定部、仮想描画データ取得条件
取得部、仮想描画データ特定部、仮想描画点
データ軌跡情報取得部、誤差取得部)
50e,80e 露光点データ情報作成部(差分データ取得部、差分符号化データ取
得部、
51 検出位置情報取得部
52 露光軌跡情報取得部(描画軌跡情報取得部)
53 露光点データ軌跡情報取得部(描画データ取得条件取得部、描画点データ軌
跡情報取得部、
54,84 露光点データ取得部(対応関係設定部、データ加算部、描画データ取
得部)
54a,84a 第2のテンプレート記憶部(仮想描画データ記憶部)
54b,84b 差分復号化部(差分データ復号化部)
82 露光点位置情報取得部(描画データ取得条件取得部)
Claims (18)
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、
前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データから前記描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて複数の仮想描画データを取得して予め記憶するとともに、前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記画像の描画の際の前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データから前記描画データを取得するための描画データ取得条件を取得し、
該取得した描画データ取得条件に基づいて前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、
前記取得した描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件を取得し、
該取得した仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、
前記特定した仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得し、
該取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、
該取得した差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化し、
該復号化した差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現し、
該再現したサンプリングデータを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。 - 前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする請求項1記載の描画データ取得方法。
- 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得し、
前記描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件として、前記誤差が最も小さい仮想描画データ取得条件を取得することを特徴とする請求項1または2記載の描画データ取得方法。 - 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、
予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、
該複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記原画像データからそれぞれ取得し、
該取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、
該取得した描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、
前記描画点データ軌跡上の前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、
前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得し、
該取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し
該特定した仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得し、
該取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、
該取得した差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化し、
該復号化した差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現し、
該再現したサンプリングデータを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。 - 前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする請求項4記載の描画データ取得方法。
- 前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して所定の範囲内の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項4または5記載の描画データ取得方法。
- 前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して最小の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項6記載の描画データ取得方法。
- 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得し、
前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記誤差が最も小さい仮想描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項4または5記載の描画データ取得方法。 - 請求項1から8いずれか1項記載の描画データ取得方法を用いて描画データを取得し、該取得した描画データに基づいて前記基板上に画像を描画することを特徴とする描画方法。
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、
前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データから前記描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、
前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、
前記画像の描画の際の前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データから前記描画データを取得するための描画データ取得条件を取得する描画データ取得条件取得部と、
該描画データ取得条件取得部によって取得された描画データ取得条件に基づいて前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得するサンプリングデータ取得部と、
前記描画データ取得条件取得部によって取得された描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件を取得する仮想描画データ取得条件取得部と、
該仮想描画データ取得条件取得部によって取得された仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定する仮想描画データ特定部と、
前記仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得する差分データ取得部と、
該差分データ取得部によって取得された差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得する差分符号化データ取得部と、
該差分符号化データ取得部によって取得された差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化する差分データ復号化部と、
該差分データ復号化部によって復号化された差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現するデータ加算部と、
該データ加算部によって再現されたサンプリングデータを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。 - 前記描画データ取得部が、前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データを前記描画データとして取得するものであることを特徴とする請求項10記載の描画データ取得装置。
- 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得する誤差取得部をさらに備え、
前記仮想描画データ取得条件取得部が、前記描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件として、前記誤差取得部によって取得された誤差が最も小さい仮想描画データ取得条件を取得するものであることを特徴とする請求項10または11記載の描画データ取得装置。 - 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、
予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて取得された複数の仮想描画点データ軌跡の情報に基づいて前記原画像データから取得された前記仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、
前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得部と、
該描画軌跡情報取得部によって取得された描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得部と、
該描画点データ軌跡情報取得部によって取得された描画点データ軌跡上の前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得するサンプリングデータ取得部と、
前記描画点データ軌跡情報取得部によって取得された描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得する仮想描画点データ情報取得部と、
該仮想描画点データ情報取得部によって取得された仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定する仮想描画データ特定部と、
該仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得する差分データ取得部と、
該差分データ取得部によって取得された差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得する差分符号化データ取得部と、
該差分符号化データ取得部によって取得された差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化する差分データ復号化部と、
該差分データ復号化部によって復号化された差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現するデータ加算部と、
該データ加算部によって再現されたサンプリングデータを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。 - 前記描画データ取得部が、前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データを前記描画データとして取得するものであることを特徴とする請求項13記載の描画データ取得装置。
- 前記仮想描画点データ軌跡情報取得部が、前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して所定の範囲内の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項13または14記載の描画データ取得装置。
- 前記仮想描画点データ軌跡情報取得部が、前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して最小の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項15記載の描画データ取得装置。
- 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得する誤差取得部をさらに備え、
前記仮想描画点データ軌跡取得部が、前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記誤差が最も小さい仮想描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項13または14記載の描画データ取得装置。 - 請求項10から17いずれか1項記載の描画データ取得装置と、
前記描画データ取得装置により取得された描画データに基づいて前記基板上に画像を描画する描画手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
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