WO2007037166A1

WO2007037166A1 - 描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置

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Publication number: WO2007037166A1
Application number: PCT/JP2006/318743
Authority: WO
Inventors: Naoto Kinjo
Original assignee: Fujifilm Corporation
Priority date: 2005-09-29
Filing date: 2006-09-21
Publication date: 2007-04-05
Also published as: JP2007094034A; JP4179478B2

Abstract

　露光ヘッドにより基板上に露光パターンを露光する際に用いられる露光点データの取得方法であって、基板の変形などに応じて予め記憶された複数のトレースデータの１つを読み出して露光点データを取得する露光点データ取得方法において、トレースデータの削減を図るとともに、適切な露光点データを取得する。　複数の仮想露光点データ軌跡に対応したトレースデータを取得して予め記憶するとともに、露光の際の基板上における露光軌跡に対応する露光点データ軌跡情報を取得し、その露光点データ軌跡情報に基づいて露光画像データをサンプリングし、そのサンプリングデータと露光点データ軌跡情報に近似する仮想露光点データ軌跡情報に対応するトレースデータとの差分データを取得し、その差分データを符号化して差分符号化データを取得した後、その差分符号化データと上記トレースデータとに基づいて露光点データを取得する。

Description

明細書

描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置

技術分野

[0001] 本発明は、描画データに基づいて基板上に画像を描画する際に用いられる描画データを取得する描画データ取得方法および装置並びにその描画データ取得方法および装置により取得された描画データに基づ!/ヽて基板上に画像を描画する描画方法および装置に関するものである。

背景技術

[0002] 従来、プリント配線板や液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの基板に所定のパターンを記録する装置として、フォトリソグラフの技術を利用した露光装置が種々提案されている。

[0003] 上記のような露光装置としては、たとえば、フォトレジストが塗布された基板上に光ビ一ムを主走査および副走査方向に走査させるとともに、その光ビームを、露光パターンを表す露光画像データに基づいて変調することにより露光パターンを形成する露光装置が提案されている。

[0004] 上記のような露光装置として、たとえば、デジタル 'マイクロミラー'デバイス（以下、 DMDという）等の空間光変調素子を利用し、露光画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。

[0005] そして、上記のような DMDを用いた露光装置としては、たとえば、 DMDを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて DMDのメモリセルに多数のマイクロミラーに対応した描画データを入力し、 D MDのマイクロミラーに対応した描画点群を時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されて、る（たとえば特開 2004 - 23371 8号公報

参照)。

[0006] ここで、上記のような露光装置を用いて、たとえば、多層プリント配線板の露光パターンを形成する際には、各層を張り合わせるプレス工程において基板に熱が加えられ、その熱により基板が変形してしまう場合があるため、各層の露光パターンの位置合わせを高精度に行うためには、上記のような基板の変形に応じた露光パターンを各層にお、て形成する必要がある。

[0007] また、フラットパネルディスプレイにおいてもカラーフィルタパターンを露光する際、基板に加熱処理が施されるのでその熱によって基板が伸縮し、 R、 G、 Bの各色の記録位置ずれが生じてしまうおそれがあるため、上記のような基板の変形に応じた露光ノターンを形成する必要がある。

[0008] し力しながら、たとえば、同じ露光パターンを多数の基板に形成する場合などにおいて、リアルタイムに基板毎の変形量に応じた露光画像データを生成し、その露光画像データに基づ、て露光を行うようにしたのでは、基板の変形量に応じた露光画像データの生成に時間が力かり生産効率の低下を招くおそれがある。

[0009] そこで、上記のような基板の変形を想定し、その基板の変形に応じた露光画像データを画像処理装置で予め複数種類生成して露光部に予め記憶しておき、実際に露光する際に、基板の変形量の情報を取得し、その変形量に応じた露光画像データを読み出して利用することによって、上記のような生産効率の低下を招くことなく露光画像データを取得する方法が考えられる。

[0010] しカゝしながら、想定される基板変形に応じた露光画像データを全て生成し、予め記憶するようにしたのではその容量が膨大となり、これらを記憶しておくメモリも容量が膨大なものが必要となり、コストアップになる。

[0011] 本発明は、上記のような描画方法および装置に用いられる描画データの取得方法および装置の改良に関する。

発明の開示

[0012] 本発明の第 1の描画データ取得方法は、描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる描画データを取得する描画データ取得方法にぉ、て、基板上の描画面と描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて画像を表す原画像データから描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる上記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて複数の仮想描画データを取得して予め記憶するとともに、仮想描画データ取得条件と仮想描画データとの対応関係を予め設定し、画像の描画の際の基板上の描画面と描画点形成領域との実位置関係に基づいて原画像データ力描画データを取得するための描画データ取得条件を取得し、その取得した描画データ取得条件に基づいて原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、上記取得した描画データ取得条件に近似する仮想描画データ取得条件を取得し、その取得した仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、その特定した仮想描画データとサンプリングデータとの差分データを取得し、その取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、その取得した差分符号化データに復号化処理を施して差分データを復号化し、その復号化した差分データと上記特定した仮想描画データとを加算してサンプリングデータを再現し、その再現したサンプリングデータを描画データとして取得することを特徴とする。

[0013] また、上記本発明の第 1の描画データ取得方法においては、サンプリングデータと上記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、上記特定した仮想描画データを描画データとして取得するようにすることができる。

[0014] また、サンプリングデータと複数の仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得し、描画データ取得条件に近似する仮想描画データ取得条件として、上記誤差が最も小さ！ヽ仮想描画データ取得条件を取得するようにすることができる。

[0015] 本発明の第 2の描画データ取得方法は、描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、その移動に応じて描画点を基板上に順次形成して画像を描画する際に用ヽられる描画データを取得する描画データ取得方法において、予め設定された基板上における描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と画像を表わす原画像データとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを原画像データからそれぞれ取得し、その取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、仮想描画点データ軌跡情報と仮想描画データとの対応関係を予め設定し、画像の描画の際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、その取得した描画軌跡情報と原画像データとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、描画点データ軌跡上の原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報を取得し、その取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、その特定した仮想描画データとサンプリングデータとの差分データを取得し、その取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、その取得した差分符号化データに復号化処理を施して差分データを復号化し、その復号化した差分データと上記特定した仮想描画データとを加算してサンプリングデータを再現し、その再現したサンプリングデータを描画データとして取得することを特徴とする。

[0016] また、上記本発明の第 2の描画データ取得方法においては、サンプリングデータと上記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、上記特定した仮想描画データを描画データとして取得するようにすることができる。

[0017] また、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報として、描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して所定の範囲内の差の始点位置および終点位置を有する仮想描画点データ軌跡情報を取得するようにすることができる。

[0018] また、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報として、描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して最小の差の始点位置および終点位置を有する仮想描画点データ軌跡情報を取得するようにすることができる。

[0019] また、サンプリングデータと複数の仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得し、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報として、上記誤差が最も小さ、仮想描画点データ軌跡情報を取得するよう〖こすることがでさる。

[0020] 本発明の描画方法は、上記本発明の第 1および第 2の描画データ取得方法を用いて描画データを取得し、その取得した描画データに基づ!/ヽて基板上に画像を描画することを特徴とする。

[0021] 本発明の第 1の描画データ取得装置は、描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる描画データを取得する描画データ取得装置において、基板上の描画面と描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて画像を表す原画像データから描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる上記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、仮想描画データ取得条件と仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、画像の描画の際の基板上の描画面と描画点形成領域との実位置関係に基づいて原画像データ力描画データを取得するための描画データ取得条件を取得する描画データ取得条件取得部と、描画データ取得条件取得部によって取得された描画データ取得条件に基づいて原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得するサンプリングデータ取得部と、描画データ取得条件取得部によって取得された描画データ取得条件に近似する仮想描画データ取得条件を取得する仮想描画データ取得条件取得部と、仮想描画データ取得条件取得部によって取得された仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定する仮想描画データ特定部と、仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データとサンプリングデータとの差分データを取得する差分データ取得部と、差分データ取得部によって取得された差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得する差分符号ィ匕データ取得部と、差分符号ィ匕データ取得部によって取得された差分符号化データに復号化処理を施して差分データを復号化する差分データ復号化部と、差分データ復号化部によって復号化された差分データと上記特定した仮想描画データとを加算してサンプリングデータを再現するデータ加算部と、データ加算部によって再現されたサンプリングデータを描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする。

[0022] また、上記本発明の第 1の描画データ取得装置においては、描画データ取得部を、サンプリングデータと上記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データを描画データとして取得するものとすることができる。

[0023] また、サンプリングデータと複数の仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得する誤差取得部をさらに備えたものとし、仮想描画データ取得条件取得部を、描画データ取得条件に近似する仮想描画データ取得条件として、誤差取得部によって取得された誤差が最も小さい仮想描画データ取得条件を取得するものとすることができる。

[0024] 本発明の第 2の描画データ取得装置は、描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、その移動に応じて描画点を基板上に順次形成して画像を描画する際に用ヽられる描画データを取得する描画データ取得装置において、予め設定された基板上における描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と画像を表わす原画像データとを対応付けて取得された複数の仮想描画点データ軌跡の情報に基づいて原画像データから取得された仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、仮想描画点データ軌跡情報と仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、画像の描画の際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得部と、描画軌跡情報取得部によって取得された描画軌跡情報と原画像データとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得部と、描画点データ軌跡情報取得部によって取得された描画点データ軌跡上の原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得するサンプリングデータ取得部と、描画点データ軌跡情報取得部によって取得された描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報を取得する仮想描画点データ情報取得部と、仮想描画点データ情報取得部によって取得された仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定する仮想描画データ特定部と、仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データとサンプリングデータとの差分データを取得する差分データ取得部と、差分データ取得部によって取得された差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得する差分符号化データ取得部と、差分符号化データ取得部によって取得された差分符号化データに復号化処理を施して差分データを復号ィ匕する差分データ復号化部と、差分データ復号化部によって復号化された差分データと特定した仮想描画データとを加算してサンプリングデータを再現するデータ加算部と、データ加算部によって再現されたサンプリングデータを描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする。

[0025] また、上記本発明の第 2の描画データ取得装置においては、描画データ取得部を、サンプリングデータと上記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データを描画データとして取得するものとすることができる。

[0026] また、仮想描画点データ軌跡情報取得部を、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報として、描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して所定の範囲内の差の始点位置および終点位置を有する仮想描画点データ軌跡情報を取得するものとすることができる。

[0027] また、仮想描画点データ軌跡情報取得部を、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報として、描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して最小の差の始点位置および終点位置を有する仮想描画点データ軌跡情報を取得するものとすることができる。

[0028] また、サンプリングデータと複数の仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得する誤差取得部をさらに備えたものとし、仮想描画点データ軌跡取得部を、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報として、上記誤差が最も小さ！、仮想描画点データ軌跡情報を取得するものとすることがでさる。

[0029] 本発明の描画装置は、上記本発明の第 1および第 2の描画データ取得装置と、描画データ取得装置により取得された描画データに基づ!/ヽて基板上に画像を描画する描画手段とを備えたことを特徴とする。 [0030] ここで、上記「描画点形成領域」とは、基板上に描画点を形成する領域であれば如何なるものによって形成される領域でもよぐたとえば、 DMDのような空間光変調素子の各変調素子によって反射されたビーム光によって形成されるビームスポットでもょ、し、光源力も発せられたビーム光自体によって形成されるビームスポットでもよヽし、もしくはインクジェット方式のプリンタの各ノズルから吐出されたインクが付着する領域としてもよい。

[0031] なお、本発明は、描画点形成領域による描画面への個別の描画処理に際し、描画点形成領域と描画面との間の想定される複数の仮想的な位置関係に基づいて予め用意された複数の仮想描画データセットから、描画点形成領域と描画面との間の実際の位置関係に基づいて最適なものを選択する方法 Z装置であってもよい。この場合、仮想描画データセットは、描画点形成領域に時系列的に与えられるデータの集合であってもよ!/ヽし、グループ化された複数の描画点形成領域に同時に与えられるデータの集合であってもよい。また、各仮想描画データセットは、 1セット毎又は数セット毎に符号化されていてもよぐこの場合、最適な仮想描画データのセットが選択されると、その復号化処理が行われる。

[0032] また、本発明は、描画点形成領域による描画面への個別の描画処理の際に選択可能なように、描画点形成領域と描画面との間の想定される複数の仮想的な位置関係に基づいて予め複数の仮想描画データのセットを用意する方法 Z装置であってもよい。

[0033] 本発明の第 1の描画データ取得方法および装置によれば、互いに異なる複数の仮想描画データ取得条件を用いて複数の仮想描画データを取得して予め記憶するとともに、画像の描画の際の基板上の描画面と描画点形成領域との実位置関係に基づいて原画像データ力描画データを取得するための描画データ取得条件を取得し、その取得した描画データ取得条件に基づいて原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、上記取得した描画データ取得条件に近似する仮想描画データ取得条件を取得し、その取得した仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づ、て予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、その特定した仮想描画データとサンプリングデータとの差分データを取得し、その取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、その取得した差分符号化データに復号化処理を施して差分データを復号化し、その復号ィ匕した差分データと上記特定した仮想描画データとを加算してサンプリングデータを再現し、その再現したサンプリングデータを描画データとして取得するようにしたので、たとえば、描画データ取得条件と同等の仮想描画データ取得条件およびその仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データが存在しなヽ場合にお!ヽても、描画データ取得条件に対応する描画データを取得することができる。

[0034] そして、さらに、上記のように差分データを取得し、これを符号化して差分符号化データを生成するようにしたので、サンプリングデータそのもののデータ転送を行う必要がなくデータ転送量を低減でき、その分データ転送処理を高速化することができる。

[0035] 本発明の第 2の描画データ取得方法および装置によれば、互いに異なる複数の仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、その複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを原画像データ力もそれぞれ取得して予め記憶するとともに、画像の描画の際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、その取得した描画軌跡情報と原画像デ一タとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、描画点データ軌跡上の原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、描画点データ軌跡情報に近似する仮想描画点データ軌跡情報を取得し、その取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中力特定し、その特定した仮想描画データとサンプリングデータとの差分データを取得し、その取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、その取得した差分符号化データに復号化処理を施して差分データを復号化し、その復号化した差分データと上記特定した仮想描画データとを加算してサンプリングデータを再現し、その再現したサンプリングデータを描画データとして取得するようにしたので、たとえば、描画点データ軌跡情報と同等の仮想描画点データ軌跡情報およびその仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データが存在しない場合においても、描画点データ軌跡情報に対応する描画データを取得することができる。

[0036] 本発明の描画方法および装置の効果についても、上記本発明の第 1および第 2の描画データ取得方法および装置と同様である。

図面の簡単な説明

[0037] [図 1]本発明の描画方法および装置の第 1および第 2の実施形態を用いた露光装置の概略構成を示す斜視図

[図 2]図 1の露光装置のスキャナの構成を示す斜視図

[図 3A]基板の露光面上に形成される露光済み領域を示す平面図

[図 3B]各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す平面図

[図 4]図 1の露光装置の露光ヘッドにおける DMDを示す図

[図 5]本発明の第 1の実施形態を用いた露光装置の電気的構成を示すブロック図

[図 6]液晶ディスプレイの露光パターンを示す図

[図 7]トレースデータの作成方法を説明するための図

[図 8A]ベクトル VI (仮想描画点データ軌跡情報)の始点の設定位置の一例を示す図

[図 8B]ベクトル VI (仮想描画点データ軌跡情報)の始点の設定位置の一例を示す図

[図 9]ベクトル VI (仮想描画点データ軌跡情報）とトレースデータとの対応関係を示す図

[図 10]テンプレートデータを示す図

[図 11]理想的な形状の基板上における基準マークと所定のマイクロミラーの通過位置情報との関係を示す模式図

[図 12]マイクロミラーの露光軌跡情報の取得方法を説明するための図

[図 13]マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいて露光点データ軌跡情報を取得する方法を説明するための図

[図 14]マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいて露光点データ軌跡情報を取得する方法を説明するための図

[図 15]ベクトル VI (仮想描画点データ軌跡情報)のその他の設定方法を説明するための図

[図 16]ベクトル V3 (露光点データ軌跡情報）に対応するトレースデータ番号を求めるその他の方法を説明するための図

[図 17]トレースデータ番号と先頭アドレスとの対応関係を示す図

[図 18]トレースデータとサンプリングデータとから差分データを算出する作用を説明するための図

[図 19]露光点データ情報のデータ構造の一例を示す図

[図 20]トレースデータと差分データとからサンプリングデータを算出する作用を説明するための図

[図 21]各マイクロミラー毎の露光点データ列を示す図

[図 22]各フレームデータを示す図

[図 23]本発明の第 2の実施形態を用いた露光装置の電気的構成を示すブロック図 [図 24]マイクロミラー列とそのマイクロミラー列に対応するベクトル V4n (仮想描画点データ位置情報)を示す図

[図 25]基準ベクトル V41およびベクトル V41 ' (仮想描画点データ位置情報）に対応するトレースデータを取得する方法を説明するための図

[図 26]基準ベクトル V41およびベクトル V41 ' (仮想描画点データ位置情報）とトレースデータとの対応関係を示す図

[図 27]検出ベクトル (描画位置情報)のその他の取得方法を説明するための図発明を実施するための最良の形態

[0038] 以下、図面を参照して本発明の描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置の第 1の実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。図 1は、本露光装置の概略構成を示す斜視図である。本露光装置は、所定の露光パターンを露光する装置であって、特に、その露光パターンを露光するために用いられる露光画像データの作成方法に特徴を有するものであるが、まずは、露光装置の概略構成について説明する。

[0039] 露光装置 10は、図 1に示すように、基板 12を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ 14を備えている。そして、 4本の脚部 16に支持された厚い板状の設置台 18の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた 2本のガイド 20が設置されている。移動ステージ 14は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド 20によって往復移動可能に支持されている。

[0040] 設置台 18の中央部には、移動ステージ 14の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート 22が設けられている。コの字状のゲート 22の端部の各々は、設置台 18の両側面に固定されている。このゲート 22を挟んで一方の側にはスキャナ 24が設けられ、他方の側には基板 12の先端および後端と、基板 12に予め設けられている円形状の複数の基準マーク 12aの位置とを検知するための複数のカメラ 26が設けられている。

[0041] ここで、基板 12における基準マーク 12aは、予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基板 12上に形成された、たとえば孔である。なお、孔の他にランドゃヴィァゃエッチングマークを用いてもよい。また、基板 12に形成された所定のパターン、たとえば、露光しょうとする層の下層のパターンなどを基準マーク 12aとして利用するようにしてもよい。また、図 1においては、基準マーク 12aを 6個し力示していないが実際には多数の基準マーク 12aが設けられている。

[0042] スキャナ 24およびカメラ 26はゲート 22に各々取り付けられて、移動ステージ 14の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ 24およびカメラ 26は、これらを制御する後述するコントローラに接続されて、る。

[0043] スキャナ 24は、図 2および図 3Bに示すように、 2行 5列の略マトリックス状に配列された 10個の露光ヘッド 30 (30A〜30J)を備えて!/、る。

[0044] 各露光ヘッド 30の内部には、図 4に示すように入射された光ビームを空間変調する空間光変調素子（SLM)であるデジタル 'マイクロミラ一'デバイス (DMD) 36が設けられている。 DMD36は、マイクロミラー 38が直交する方向に 2次元状に多数配列されたものであり、そのマイクロミラー 38の列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度 Θをなすように取り付けられている。したがって、各露光ヘッド 30による露光エリア 32 は、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。そして、図 3Aに示すように、移動ステージ 14の移動に伴い、基板 12には露光ヘッド 30毎の帯状の露光済み領域 34が形成される。なお、各露光ヘッド 30に光ビームを入射する光源については図示省略してある力たとえば、レーザ光源などを利用することができる。 [0045] 露光ヘッド 30の各々に設けられた DMD36は、マイクロミラー 38単位でオン/オフ制御され、基板 12には、 DMD36のマイクロミラー 38に対応したドットパターン (黒/ 白）が露光される。前述した帯状の露光済み領域 34は、図 4に示すマイクロミラー 38 に対応した 2次元配列されたドットによって形成される。二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、高解像度化を図ることができる。なお、傾斜角度の調整のバラツキによって、利用しないドットが存在する場合もあり、たとえば、図 4では、斜線としたドットは利用しないドットとなり、このドットに対応する DMD36におけるマイクロミラー 38は常にオフ状態となる。

[0046] また、図 3Aおよび Bに示すように、帯状の露光済み領域 34のそれぞれが、隣接する露光済み領域 34と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド 30の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、たとえば、 1行目の最も左側に位置する露光エリア 32A、露光エリア 32Aの右隣に位置する露光エリア 32Cとの間の露光できない部分は、 2行目の最も左側に位置する露光エリァ 32Bにより露光される。同様に、露光エリア 32Bと、露光エリア 32Bの右隣に位置する露光エリア 32Dとの間の露光できない部分は、露光エリア 32Cにより露光される

[0047] 次に、露光装置 10の電気的構成について説明する。

[0048] 本露光装置 10は、図 5に示すように、 CAM (Computer Aided Manufacturing)ステーシヨンを有するデータ作成装置 40から出力された、露光すべき露光パターンを表わすベクトル形式の露光画像データを受け付け、該露光画像データに基づいて、後述するテンプレートデータを生成するとともに、後述する露光点データ軌跡情報に基づ、て、各マイクロミラー 38毎の露光点データを取得するための露光点データ情報を生成する画像処理部 50と、カメラ 26により撮影された基準マーク 12aの画像に基づいて基準マーク 12aの検出位置情報を取得する検出位置情報取得部 51と、検出位置情報取得部 51により取得された検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板 12上の各マイクロミラー 38の露光軌跡の情報を取得する露光軌跡情報取得部 52と、露光軌跡情報取得部 52により取得された各マイクロミラー 38毎の露光軌跡情報に基づ、て露光画像データの座標系における露光点データ軌跡情報を取得する露光点データ軌跡情報取得部 53と、画像処理部 50により取得された露光点データ情報に基づいて、各マイクロミラー 38毎の露光点データを取得する露光点データ取得部 54、露光点データ取得部 54により取得された露光点データに基づいて各マイクロミラーに供給される制御信号を生成し、その制御信号を各露光ヘッド 30〖こ出力する露光ヘッド制御部 55と、本露光装置全体を制御するコントローラ 70とを備えている。

[0049] また、本露光装置 10は、移動ステージ 14をステージ移動方向へ移動させる移動機構 60を備えている。移動機構 60は、移動ステージ 14をガイド 20に沿って往復移動させるものであれば如何なる既知の構成を採用してもよい。

[0050] なお、上記各構成要素の作用については後で詳述する。

[0051] 次に、本露光装置 10の作用について図面を参照しながら説明する。

[0052] 本露光装置 10は、移動ステージ 14上に設置された基板 12を、ステージ移動方向に移動させ、その移動にともなって順次露光ヘッド制御部 55から露光ヘッド 30に制御信号を出力し、基板 12上に時系列に露光点を形成することによって所望の露光パターンを基板 12上に露光するものである。

[0053] そして、本露光装置 10は、予め露光点データ取得部 54に記憶されたテンプレートデータ力所定のトレースデータを選択し、その選択されたトレースデータに基づいて各マイクロミラー 38毎の露光点データを取得し、その取得した露光点データに基づいて露光ヘッド制御部 55から露光ヘッド 30の各マイクロミラー 38に制御信号を出力して基板 12に露光パターンを露光するものである。

[0054] まずは、露光点データ取得部 54に予め記憶されるテンプレートデータおよびその作成方法について説明する。

[0055] [テンプレートデータの作成方法]

まず、データ作成装置 40において、基板 12に露光される露光パターンを表すべクトルデータが作成される。なお、本実施形態の説明においては、液晶ディスプレイの露光パターンを表わすベクトルデータが作成される。液晶ディスプレイの露光パターン Rは、図 6に示すように、（r、g、b)を表示するための 3つの TFTからなる LCD画素 Pが直交する方向に 2次元状に多数配列された表示部と、その表示部に接続される配線力もなる配線部とから構成される。なお、図 6においては、 rを表示するための TF Tを Tl、 gを表示するための TFTを T2、 bを表示するための TFTを Τ3で表し、配線部を実線で表している。データ作成装置 40においては、図 6に示すような露光バターン Rを表すベクトルデータが作成される。

[0056] そして、データ作成装置 40にお、て作成されたベクトルデータは、画像処理部 50 に出力される。そして、画像処理部 50において、表示部を表わす表示部データと、配線部を表わす配線部データとに分離される。そして、表示部データおよび配線部データは、それぞれラスターデータに変換され、露光画像データ記憶部 50aそれぞれ記憶される。

[0057] そして、上記のようにして記憶された表示部データについて、テンプレートデータが作成される。なお、本実施形態においては、配線部データについてはテンプレートデータを作成しな、が、配線部データ力露光点データを取得する方法にっ、ては後述する。

[0058] 画像処理部 50においては、図 7に示すように、表示部データ Dにおける 1つの LC D画素データ PDと各マイクロミラー 38により露光される基板上の露光点の座標系とが対応付けられ、 1つの LCD画素データ PD内の所定の始点 s (xl,yl)から所定の終点 e (x2,y2)までを結んだベクトル VIの延長ベクトル Vlt上の LCD画素データ力所定のサンプリングピッチでサンプリングされ、部分露光点データ列が取得される。なお、図 7における y方向は、マイクロミラー 38の基板 12に対する走査方向に対応する方向であり、 X方向は上記走査方向に直交する方向に対応する方向である。つまり、ベタトル VIは、マイクロミラー 38の像が基板 12上を通過し得る軌跡の一部を意味する

[0059] ここで、 y方向に平行な方向のベクトルで、かつ、 y方向について所定の長さ L0を有するベクトルを基準ベクトルとし、所定の露光点データ数を N、基準ベクトルの y方向サンプリングピッチを pitch とする。

[0060] また、ベクトル VIの始点を s(xl, yl)、終点を e(x2, y2)、露光点データの x方向のサンプリングピッチを pitch_x、 y方向のサンプリングピッチを pitch j、終点 eの変動幅を x方向に Δχ、 y方向に Ayとすると、以下の様な関係になる。

[0061] L0 = N X pitch j0 · · · (1)

Ay = y2 (yl+LO) · · · (3)

pitch— x = Δχ/Ν · · · (4)

pitch j = pitch X (LO+ Ay)/LO · · · (5)

具体的には、例えば、 N = 4096、 pitch = 0.75 μ m等となる。

[0062] また、延長ベクトル Vltとは、ベクトル VIの終点 e(x2,y2)をベクトル VIの終点側に延長したベクトルであり、以下の関係で表すことができる。

[0063] Vlt = VI X ( 1 + k) · · · (6)

ここで、 k= (LCD画素データの y方向サイズ +余裕値 a ) /LO · · · (7) とすることが望ましい。

[0064] ただし、 k〉0は必須ではなぐ k=0(即ち Vlt=Vl)とすることも可能である。

[0065] そして、具体的には、図 7に示すように、 1つの LCD画素データ内の 1つの始点 sに対して、上記基準ベクトル VIが設定され、その基準ベクトル VIの延長ベクトル Vlt 上における LCD画素データ PDがサンプリングピッチ pitchijOでサンプリングされるとともに、上記基準ベクトル VIの始点 sと、基準ベクトルの終点 eを中心とした所定の変動範囲 Wに位置する複数の終点 eとをそれぞれ結んだベクトル VIが設定され、その設定された各ベクトル VIの延長ベクトル Vlt上における LCD画素データ PDがサンプリングピッチ pitch_x、 pitch_yでサンプリングされ、各ベクトル Vlt毎にそれぞれ部分露光点データ列が取得される。なお、変動範囲 Wのサイズは、基板 12の変形の程度に応じて予め設定されてヽるものとする。

[0066] ここで、本実施形態の露光装置においては、 1つの LCD画素データ PD中における一部の露光点の位置が始点 sとされるとともに、変動範囲 Wに位置する一部の露光点が終点 eとされる。

[0067] たとえば、図 8Aに示すように、x方向について所定の露光点列数毎に間隔を空けて始点 sを設定するようにしてもよいし、図 8Bに示すように、さらに y方向について所定の露光点列数毎に間隔を空けて始点 sを設定するようにしてもよ!、。始点 sの設定位置については、 LCD画素データ PD内の一部の露光点を始点 sとして設定するのであれば如何なる位置に設定してもよ！/、。

[0068] また、終点 eについても、上記始点 sと同様にして変動範囲 W内の一部の露光点の位置を終点 eの設定位置とするようにすればょ、。

[0069] そして、上記のようにして設定された始点 eおよび終点 eを結ぶベクトル VIが設定され、その各ベクトル VIの延長ベクトル Vlt毎にそれぞれ部分露光点データ列が取得される。なお、上記のようにして取得された部分露光点データ列を、以下「トレースデータ」という。

[0070] そして、始点 sの座標 (xl,yl)とその始点 sに結ばれた終点 eの変動量（ Δχ, Ay)との組み合わせについて、図 9に示すように、トレースデータ番号が付される。なお、上記変動量（Δχ, Δγ)とは、上述したように、上記基準ベクトルの終点 eの位置を基準とした場合における、変動範囲 W内の各終点 eの X方向および y方向へのずれ量を示すものである。したがって、上記基準ベクトルの終点 eの変動量 Δχ,変動量 Ayはともに 0ということになる。

[0071] 本実施形態の露光装置においては、上記のように始点 sおよび終点 eを設定するようにしたので、ベクトル VIの数を削減することができ、トレースデータの容量を削減することがでさる。

[0072] そして、図 9に示す対応関係はトレースデータ特定部 50dに設定されるとともに、画像処理部 50から露光点データ取得部 54に出力され、露光点データ取得部 54にも設定される。

[0073] また、各トレースデータは、それぞれ対応するトレースデータ番号と対応付けられて、図 10に示すようなテンプレートデータとしてまとめられ、第 1のテンプレート記憶部 5 Ocに記憶されるとともに、画像処理部 50から露光点データ取得部 54に出力され、第 2のテンプレート記憶部 54aにも記憶される。

[0074] なお、上記のようにして各ベクトル VIについて取得されたトレースデータを互いに比較し、全ての露光点データが一致するベクトル VI同士については、そのトレースデータを共通化し、同じトレースデータ番号を付するようにしてもょ、。

[0075] また、各ベクトル VIを所定の量子化ピッチで量子化するようにしてもよい。たとえば、各ベクトル VIを特定するための数値である、各ベクトル VIの始点 s、終点 e、中点の座標値および各ベクトル VIの傾き等を量子化するようにすればょ、。

[0076] 具体的には、入力値 (例えば座標値 Xまたは y)を v、量子化結果を v'、量子化ピッチを stpとすると、

V， = INT( V / stp ) X stp · · · (8)

または

v ' = ( INT( v / stp ) + 0.5 ) X stp · · · (9)

とする。

[0077] 例えば、量子化幅を x方向に stp_x=0.05 μ m、 y方向に stp j=0.25 μ mとし、（8)式または (9)式の変数 stpに当てればよ!、。

[0078] 上記のように量子化することによりベクトル VIの数を減らすことができ、その分べタトル VIに対応するトレースデータの数を減らすことができ、テンプレート記憶部 56aの容量を削減することができる。

[0079] また、本実施形態においては、始点 sと終点 eとを直線で結ぶようにした力これに限らず、たとえば、曲線で結んだり、もしくは折れ線で結んだりするようにしてもよい。

[0080] また、本実施形態にぉ、ては、ラスターデータとされた表示部データ D力ベクトル VIに対応する露光点データを取得するようにした力必ずしもラスターデータにする必要はなぐベクトルデータのままの表示部データ力ベクトル VIに対応する露光点データを取得するようにしてもょ、。

[0081] [露光点データ情報の取得]

そして、上記のようにして第 2のテンプレート記憶部 54aに記憶されたテンプレートデータは、画像処理部 50において取得された、後述する露光点データ情報に基づいて読み出され、露光ヘッド制御部 55に出力されるが、次に、その露光点データ情報について、およびその露光点データ情報の取得方法について説明する。

[0082] まず、コントローラ 70が移動機構 60に制御信号を出力し、移動機構 60はその制御信号に応じて移動ステージ 14を、図 1に示す位置力もガイド 20に沿ってー且上流側の所定の初期位置まで移動させた後、下流側に向けて所望の速度で移動させる。なお、上記上流側とは、図 1における右側、つまりゲート 22に対してスキャナ 24が設置されている側のことであり、上記下流側とは、図 1における左側、つまりゲート 22に対してカメラ 26が設置されている側のことである。

[0083] そして、上記のようにして移動する移動ステージ 14上の基板 12が複数のカメラ 26 の下を通過する際、これらのカメラ 26により基板 12が撮影され、その撮影画像を表す撮影画像データが検出位置情報取得部 51に入力される。検出位置情報取得部 5 1は、入力された撮影画像データに基づ！、て基板 12の基準マーク 12aの位置を示す検出位置情報を取得する。基準マーク 12aの検出位置情報の取得方法については、たとえば、円形状の画像を抽出することにより取得するようにすればよいが、他の如何なる既知の取得方法を採用してもよい。また、上記基準マーク 12aの検出位置情報は、具体的には座標値として取得される力その座標系は各マイクロミラー 38により露光される露光点の座標系と同じである。

[0084] そして、上記のようにして取得された基準マーク 12aの検出位置情報は、検出位置情報取得部 51から露光軌跡情報取得部 52に出力される。

[0085] そして、露光軌跡情報取得部 52において、入力された検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板 12上の各マイクロミラー 38毎の露光軌跡の情報が取得される。具体的には、露光軌跡情報取得部 52には、各露光ヘッド 30の DMD36 の各マイクロミラー 38の像が通過する位置を示す通過位置情報力各マイクロミラー 38毎に予め設定されている。上記通過位置情報は、移動ステージ 14上の基板 12の設置位置に対する、各露光ヘッド 30の設置位置によって予め設定されているものであり、複数のベクトルまたは複数点の座標値で表わされるものである。図 11に、プレス工程などを経ていない理想的な形状の基板 12、つまり、歪などの変形が生じておらず、基準マーク 12aが予め設定された基準マーク位置情報 12bの示す位置に配置している基板 12と、所定のマイクロミラー 38の通過位置情報 12cとの関係を示す模式図を示す。なお、上記通過位置情報の座標系も、マイクロミラー 38により露光される露光点の座標系と同じである。そして、上記通過位置情報 12cにおける複数の基準点 12e (図 11に示す白丸）によって区切られるベクトル V2の長さと、上述した基準べタトルの長さとは同じ長さに設定されている。

[0086] そして、露光軌跡情報取得部 52においては、図 12に示すように、通過位置情報 1 2cと検出位置情報 12dとが対応付けられ、通過位置情報 12cにおける各基準点 12e について、検出位置情報 12dとの位置関係が求められる。具体的には、たとえば、図 13に示すように、基準点 12eとその基準点 12eを囲む検出位置情報 12dとで決定される矩形 Sa、 Sb、 Sc、 Sdの面積が求められる。そして、上記のような面積が、各基準点 12eにつ、てそれぞれ求められ、露光軌跡情報として露光点データ軌跡情報取得部 53に出力される。なお、上記のような露光軌跡情報は、各マイクロミラー 38の通過位置情報 12c毎に求められ、露光点データ軌跡情報取得部 53に出力される。

[0087] そして、露光点データ軌跡情報取得部 53は、上記のようにして入力された露光軌跡情報に基づ、て、その露光軌跡情報に対応する露光点データ軌跡情報を取得する。

[0088] 具体的には、露光点データ軌跡取得部 53には、図 14に示すように、露光画像データの座標系における基準マーク 12aの位置情報 12fが予め設定されており、以下の式 (10)を満たすようなトレース点 12gの座標力各基準点 12eについてそれぞれ求められる。そして、図 15に示すように、各トレース点 12gを結んだベクトル V3の情報が露光点データ軌跡情報として画像処理部 50に出力される。

[0089] Sa : Sb : Sc : Sd=Ta:Tb :Tc :Td · · · (10)

なお、本実施形態においては、隣接するトレース点 12gを直線で結んでベクトル V3 としたが、これに限らず、たとえば、隣接するトレース点 12gを曲線で結んだり、もしくは折れ線で結んだりしてベクトル V3としてもよい。特に、 X方向に隣接する位置情報 1 2fを結ぶ直線とベクトル V3の交点の部分にっ、ては、折れ線で近似することが望ましい。

[0090] そして、画像処理部 50は、入力された各ベクトル V3の情報に基づ、て、露光点データ情報を取得する。具体的には、画像処理部 50のトレースデータ特定部 50dが、各ベクトル V3の始点と終点の座標値を取得し、その座標値を、 1つの LCD画素データ中の露光点の座標系における座標値に相対変換し、その相対変換された始点と終点の座標値に基づいて終点の変動量（Δχ, Ay)を求める。そして、各ベクトル V3について、図 9に示す対応関係に基づいて、上記始点の座標値および終点の変動量（ Δχ, Δ_Υ)がー致するトレースデータ番号を取得する。 [0091] なお、トレースデータの数をさらに削減するため、始点 sの y方向についての位置を、図 15に示す斜線部（すなわち、一部分)の範囲のみに設定してトレースデータを作成するようにしてもよいが、上記のようにして始点 sの位置を設定した場合、たとえば、画像処理部 50において取得された、相対変換後の始点の座標力図 15に示すような位置である場合には、相対変換後の始点の座標値と同じ座標値が図 9に示す対応関係に存在しないことになる。

[0092] したがって、上記のような場合には、たとえば、図 16に示すように、相対変換された始点 P1および終点 P2によって表されるベクトル V3を始点 P1側に延長し、その延長線上における、図 9に示す対応関係に存在する始点 POを求める。そして、図 9に示す対応関係に基づいて、始点 POの座標値および始点 POからみた変動量（ Δχ, Ay) がー致するトレースデータ番号を求める。なお、上記のようにベクトルの延長線上における始点 POを求めて、トレースデータ番号を求めた場合には、トレースデータ番号だけでなぐ始点 POに対する始点 P1の y方向についてのずれ量が求められ、そのずれ量が読出開始位置として取得される。

[0093] 上記のようにしてトレースデータ特定部 50dおいて、トレースデータ番号および読出開始位置が各ベクトル V3につ、て求められ、各ベクトル V3に対応する露光点データ情報として露光点データ取得部 54に出力される。なお、相対変換された始点の座標値と図 9に示す対応関係の座標値と一致する場合には、読出開始位置は 0ということになる。

[0094] ここで、本実施形態の露光装置にお!、ては、上述したように、トレースデータの容量を削減するため、 1つの LCD画素データ PD中における始点の位置を一部の位置に制限するとともに、終点 eの位置も一部の位置に制限している。

[0095] したがって、上記のようにして露光点データ情報を取得する際、ベクトル V3または上記のようにベクトル V3を始点側に延長したベクトル（以下「延長ベクトル V3」 t 、う。 )と同等のベクトル VI (トレースデータ番号）が存在しない場合がある。なお、上記「同等」とは、同じものだけでなぐ実質的に同じものであると考えることができるものも含むものとする。

[0096] そこで、本実施形態の露光装置においては、ベクトル V3または延長ベクトル V3と同等のベクトル VIが存在しない場合には、まず、ベクトル V3または延長ベクトル V3 に近似するベクトル VIのトレースデータ番号および読出開始位置を取得する。

[0097] 具体的には、トレースデータ特定部 50dが、ベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 sの座標値とその始点の座標値の差が所定の範囲内であり、かつベクトル V3または延長ベクトル V3の変動量（ Δχ, Ay)とその変動量の差が所定の範囲内のトレースデータ番号および読出開始位置が取得される。

[0098] なお、上記のようなトレースデータ番号が複数存在する場合には、たとえば、上記差が最も小さ、トレースデータ番号を取得するようにすればよ!、。

[0099] また、必ずしも、上記差が最も小さいトレースデータ番号を取得するようにしなくてもよぐたとえば、予め設定された所定の規則にしたがっていずれか 1つのトレースデータ番号を取得するようにすればょ、。

[0100] また、上記のように近似するベクトル VIを特定する方法としては、たとえば、以下のような方法を採用することができる。

[0101] 第 1の方法は、まず、ベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 sの座標値とその始点の座標値の差が所定の範囲内であるベクトル VIを検索し、上記差が最も小さいベタトル VIが存在する場合には、変動量（Δχ, Ay)をみることなくそのベクトル VIを近似するベクトル VIとして特定する。そして、上記差が最も小さいベクトル VIが複数存在する場合には、ベクトル V3または延長ベクトル V3の変動量（ Δχ, Ay)にその変動量（ Δχ, Ay)が最も近いベクトル VIを近似するベクトルとして特定する。

[0102] 第 2の方法は、まず、ベクトル V3または延長ベクトル V3の変動量（ Δ X, Δ y)とその変動量の差が所定の範囲内であるベクトル VIを検索し、上記差が最も小さいベタトル VIが存在する場合には、始点 sの座標値をみることなくそのベクトル VIを近似するベクトル VIとして特定する。そして、上記差が最も小さいベクトル VIが複数存在する場合には、ベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 sの座標値にその始点の座標値が最も近いベクトル VIを近似するベクトルとして特定する。

[0103] 第 3の方法は、まず、ベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 sの X座標値に最も近ぃ始点の X座標値を有するベクトル VIを検索し、上記のようなベクトル VIが 1つである場合には、そのベクトルを近似するベクトル VIとして特定し、上記のようなベクトル VIが複数ある場合には、次に、その複数のベクトル VIの中から、ベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 sの y座標値に最も近い始点の y座標値を有するベクトル VIを検索し、上記のようなベクトル VIが 1つである場合には、そのベクトルを近似するべクトル VIとして特定し、上記のようなベクトル VIが複数ある場合には、次に、その複数のベクトル VIの中から、ベクトル V3または延長ベクトル V3の終点 eの X座標値に最も近い終点の X座標値を有するベクトル VIを検索し、上記のようなベクトル VIが 1つである場合には、そのベクトルを近似するベクトル VIとして特定し、上記のようなベタトル VIが複数ある場合には、次に、その複数のベクトル VIの中から、ベクトル V3または延長ベクトル V3の終点 eの y座標値に最も近い終点の y座標値を有するベクトル VI を検索し、そのベクトル VIを近似するベクトル VIとして特定する。

[0104] 第 4の方法は、各ベクトル VIにつ!/、て、その始点とベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 sとの距離 dsをそれぞれ求めるとともに、その終点とベクトル V3または延長ベクトル V3の始点 eとの距離 deをそれぞれ求め、各ベクトル VI毎に、下式に従って総点数 Tを求め、この総点数 Tが最も小さいベクトル VIを近似するベクトル VIとして特定する。

[0105] T = ds Xwl + de Xw2

ただし、 wl,w2は重み付けの定数

そして、上記のようにして取得された 1つのトレースデータ番号に対応するトレースデータが第 1のテンプレート記憶部 50cから読み出され、トレースデータ番号とともに露光点データ情報作成部 50eに出力される。なお、このとき、読出開始位置が 0の場合は、トレースデータは先頭力読み出され、読出開始位置力たとえば、 mlである場合には、 mlの位置力読み出される。また、露光点データは上記露光点データ数 Nだけ読み出すようにすればょ、。

[0106] また、トレースデータ番号とトレースデータの記憶領域との関係については、たとえば、図 17に示すような、トレースデータ番号とそのトレースデータ番号のトレースデータが記憶された記憶領域の先頭アドレスとの対応関係を予め設定しておくようにすればよい。そして、ベクトル V3または延長ベクトル V3に対応するレースデータ番号と図 17に示す対応関係とから先頭アドレスを求め、その先頭アドレスと読出開始位置とから読出開始アドレスを求め、その読出開始アドレスによって示されるアドレス力露光点データを読み出すようにすればよ!、。

[0107] 一方、露光点データ軌跡情報取得部 53において取得されたベクトル V3の情報は、サンプリングデータ取得部 50bに出力され、サンプリングデータ取得部 50bにおいて、各ベクトル V3と露光画像データの座標系とが対応付けられ、ベクトル V3上にある露光点データ力露光画像データ記憶部 50aに記憶された露光画像データカもサンプリングされて読み出され、露光点データ情報作成部 50eに出力される。

[0108] そして、露光点データ情報作成部 50eおいて、図 18に示すように、サンプリングデータ取得部 50bから出力されたサンプリングデータ Sから、トレースデータ特定部 50d 力も出力されたトレースデータ Tが減算され、差分データ Subが求められる。そして、差分データ Subに対し、ランレングス符号化処理が施され、差分符号化データが作成される。なお、上記減算は、サンプリングデータ Sとトレースデータ Tの各ビット毎の露光点データの排他的論理和を演算することによって行われる。

[0109] そして、露光点データ情報作成部 50eにおいて、トレースデータ特定部 50dによつて取得されたトレースデータ番号および読出開始位置に、上記のようにして取得した差分符号化データが付加され、図 19に示すようなデータ構造の露光点データ情報が生成され、露光点データ取得部 54に出力される。上記のように差分符号化データを取得してトレースデータ番号とともに露光点データ取得部 54に出力するようにすれば、たとえば、サンプリングデータ取得部 50bにおいて取得されたサンプリングデータをそのまま露光点データ取得部 54に出力する場合と比較すると、その転送データ量を削減することができ、転送処理を高速化することができる。なお、上記トレースデータ Tと上記サンプリングデータ Sとは互いのデータの内容がそれ程異なるものではないため、差分データとしては 0の値が多ぐランレングス符号ィ匕を施すことによってより転送データ量を小さくできるものと考えられる。

[0110] なお、露光点データ情報には、図 19に示すようにフラグが設けられており、このフラグは、トレースデータ番号に対応するトレースデータがベクトル V3に近似するが同一ではないベクトル VIに対応するトレースデータである場合には差分符号ィ匕データが必要なため 1とし、後続に差分符号化データが存在することを示し、一方、トレースデータ番号に対応するトレースデータがベクトル V3と同等のベクトル VIに対応するトレースデータである場合には差分符号ィ匕データが全て 0値であるので差分符号ィ匕デ一タが必要でな、ため 0とし、後続に差分符号化データが存在しな!ヽことを示す。

[0111] また、上記フラグは必ずしも設ける必要はなぐフラグを利用しない場合には、たとえば、トレースデータ番号に対応するトレースデータがベクトル V3と同等のベクトル V 1に対応するトレースデータである場合には、全て 0のデータ力なる差分データをランレングス符号化した差分符号化データを付加するようにすればよ、。

[0112] なお、本実施形態の露光装置においては、ベクトル V3または延長ベクトル V3と同等のベクトルのトレースデータ番号が複数存在する場合には、たとえば、始点の座標値の差および変動量（ Δ X, Δ y)の差が最も小さ、トレースデータ番号を取得するようにしたが、これに限らず、上記複数のトレースデータ番号に対応するトレースデータをそれぞれ取得し、上記のようにして取得されたサンプリングデータとの誤差をそれぞれ求め、上記誤差が最も小さいトレースデータに対応するトレースデータ番号を、ベタトル V3または延長ベクトル V3に近似するベクトル VIのトレースデータ番号として取得するようにしてもよい。なお、上記誤差は、たとえば、サンプリングデータとトレースデータを対応付けて 1ビットずつそのデータを比較し、互、のデータが異なるビットの数をカウントすることによって求めるようにすればよい。

[0113] また、本実施形態の露光装置においては、ベクトル V3または延長ベクトル V3と同等のベクトル VIが存在しない場合には、上記のようにベクトル V3または延長ベクトル V3に近似するベクトル VIのトレースデータを取得するとともにサンプリングデータを取得し、これらの差分データを算出し、この差分データとトレースデータとに基づいて露光点データを取得するようにした力たとえば、ベクトル V3または延長ベクトル V3 とこれに近似するベクトル VIとの始点 eの座標値および変動量（Δχ, Ay)の差が、所定の範囲内である場合には、上記のようにサンプリングデータおよび差分データを取得することなぐベトル V3または延長ベクトル V3に近似するベクトル VIのトレースデータ番号および読出開始位置を露光点データ情報として取得し、その露光点データ情報を画像処理部 50から露光点データ取得部 54に出力し、露光点データ取得部 5 4において、上記トレースデータ番号および読出開始位置に基づいて読み出されたトレースデータを露光点データとして取得するようにしてもょ、。上記のようにして露光点データ情報を取得することにより、露光点データ情報のデータ量をより削減することができ、画像処理部 50から露光点データ取得部 54へのデータ転送速度の高速ィ匕を図ることができる。

[0114] また、ベクトル V3または延長ベクトル V3と同等のベクトル VIが存在しない場合において、ベクトル V3または延長ベクトル V3に近似するベクトル VIに対応するトレースデータと上記サンプリングデータとの誤差が所定の範囲内である場合には、上記のように差分データを取得することなぐベトル V3または延長ベクトル V3に近似するべタトル VIのトレースデータ番号および読出開始位置を露光点データ情報として取得し、その露光点データ情報を画像処理部 50から露光点データ取得部 54に出力し、露光点データ取得部 54において、上記トレースデータ番号および読出開始位置に基づ、て読み出されたトレースデータを露光点データとして取得するようにしてもょヽ。なお、上記誤差は、たとえば、サンプリングデータとトレースデータを対応付けて 1ビットずつそのデータを比較し、互いのデータが異なるビットの数をカウントすることによつて求めるようにすればよ!、。上記のようにして露光点データ情報を取得することにより、露光点データ情報のデータ量をより削減することができ、画像処理部 50から露光点データ取得部 54へのデータ転送処理の高速ィ匕を図ることができる。

[0115] また、サンプリングデータ取得部 50bとトレースデータ特定部 50dは、並列処理で独立して動作するようにしてもよ!ヽ。

[0116] あるいは、サンプリングデータ取得部 50bは、トレースデータ特定部 50dの結果により、ベクトル V3または延長ベクトル V3と同等のベクトル VIが存在しない場合にのみサンプリングデータ取得処理を実行するようにしてもょ、。上記のようにすれば統合的な演算量を低減することができる。

[0117] [露光点データの取得]

次に、上記のようにして画像処理部 50において取得された各ベクトル V3の露光点データ情報に基づ、て、表示部データにおける露光点データを取得する方法を説明する。

[0118] 露光点データ取得部 54に露光点データ情報が入力されると、まず、その先頭にあるトレースデータ番号と読出開始位置が取得され、第 2のテンプレート記憶部 54aから上記トレースデータ番号に対応するトレースデータが読み出される。トレースデータの読出方法については、上記画像処理部 50における方法と同様である。

[0119] 次に、露光点データ情報におけるフラグ力^である力 1であるかが認識され、フラグ力 SOである場合には、上記のようにして読み出されたトレースデータがそのまま露光点データとして取得される。また、フラグが 1である場合には、その後に続く差分符号ィ匕データが取得され、差分復号化部 54bにおいて復号処理が施され、差分データ Sub が復号化される。そして、図 20に示すように、トレースデータ Tと復号化された差分データ Subとが加算されてサンプリングデータ Sが取得され、このサンプリングデータ S が露光点データとして取得される。なお、上記加算は、差分データ Subとトレースデータ Tの各ビット毎の露光点データの排他的論理和を演算することによって行われる

[0120] そして、上記のように各ベクトル V3について、それぞれ露光点データを取得し、これらを繋ぎ合わせることによって 1つのマイクロミラー 38の露光点データ軌跡に対応した露光点データ列が取得される。

[0121] そして、上記と同様にして、各マイクロミラー 38毎の露光点データ列が取得される。

[0122] なお、トレースデータを作成する際、ベクトル VIを所定のピッチで量子化した場合には、その量子化に合わせて各ベクトル V3を量子化するようにしてもよい。量子化の方法については、ベクトル VIの量子化の方法と同様である。上記のように各ベクトル V3を量子化することにより、ベクトル V3に対応するトレースデータをより高速に取得することができる。たとえば、各ベクトル V3の始点 s、終点 e、中点の座標値および各ベクトル V3の傾き等を量子化するようにすればょ、。

[0123] 具体的には、例えば、量子化幅を X方向に stp_x=0.05 μ m、 y方向に stpj=0.25 μ m とし、上記 (8)式または (9)式の該当する変数に適用し、量子化後の値を取得するようにすればよい。

[0124] ここまで表示部データ力の露光点データの取得について説明した力次に、配線部データにおける露光点データを取得する方法について説明する。

[0125] 上述したように、配線部データはラスター変換されて露光画像データ記憶部 50aに記憶されてある。そして、露光画像データ記憶部 50aに記憶された配線部データは、サンプリングデータ取得部 50bに出力される。また、上記のようにして露光点データ軌跡情報取得部 53において取得された各マイクロミラー 38毎の露光点データ軌跡情報もサンプリングデータ取得部 50bに出力される。そして、サンプリングデータ取得部 50bは上記露光点データ軌跡情報の各ベクトル V3と配線部データとを対応付け、各ベクトル V3上の配線部データを所定のサンプリングピッチでサンプリングして露光点データとして読み出す。そして、上記のようにして取得された各マイクロミラー 38毎の露光点データ列を露光点データ取得部 54に出力する。なお、図 6に示す配線部データにおける表示部データに該当する部分は 0データになっているものとする。

[0126] そして、露光点データ取得部 54において、上記のようにして取得された表示部データについての各マイクロミラー 38毎の露光点データ列と、配線部データについての各マイクロミラー 38毎の露光点データ列とが合成されて、液晶ディスプレイの露光パターン Rを表す、各マイクロミラー 38毎の露光点データ列が生成される。なお、上記合成は、表示部データについての露光点データ列と配線部データについての露光点データ列との論理和を演算することによって行われる。

[0127] [露光]

次に、上記のようにして取得された各マイクロミラー 38毎の露光点データに基づいて基板 12上に露光する方法について説明する。

[0128] 上記のようにして取得された各マイクロミラー 38毎の露光点データは露光ヘッド制御部 55に出力される。そして、上記出力とともに移動ステージ 14力再び上流側に所望の速度で移動させられる。

[0129] そして、基板 12の先端力 Sカメラ 26により検出されると露光が開始される。具体的には、露光ヘッド制御部 55から各露光ヘッド 30の DMD36に上記露光点データに基づいた制御信号が出力され、露光ヘッド 30は入力された制御信号に基づいて DMD

36のマイクロミラーをオン ·オフさせて基板 12を露光する。

[0130] なお、露光ヘッド制御部 55から各露光ヘッド 30へ制御信号が出力される際には、基板 12に対する各露光ヘッド 30の各位置に対応した制御信号が、移動ステージ 14 の移動にともなって順次露光ヘッド制御部 55から各露光ヘッド 30に出力される力このとき、たとえば、図 26に示すように、各マイクロミラー 38毎に取得された L個の露光点データ列の各列から、各露光ヘッド 30の各位置に応じた露光点データを 1つずつ順次読み出して各露光ヘッド 30の DMD36に出力するようにしてもょ、し、図 26に示すように取得された露光点データに 90度回転処理もしくは行列を用いた転置変換などを施し、図 27に示すように、基板 12に対する各露光ヘッド 30の各位置に応じたフレームデータ 1〜Lを生成し、このフレームデータ 1〜Lを各露光ヘッド 30に順次出力するようにしてちょい。

[0131] そして、移動ステージ 14の移動にともなって順次各露光ヘッド 30に制御信号が出力されて露光が行われ、基板 12の後端力 Sカメラ 12により検出されると露光が終了する。

[0132] なお、上記説明にお、ては、プレス工程などにぉ、て変形した基板 12に露光する際の露光点データの取得方法について説明したが、変形してない理想的な形状の基板 12に露光する際についても、上記と同様の方法を採用して露光点データを取得することができる。たとえば、各マイクロミラー 38毎に予め設定された上記通過位置情報に対応する露光点データ軌跡の情報を取得し、その取得した露光点データ軌跡情報に基づ、て露光点データ情報を取得し、その露光点データ情報に基づ、て、上記と同様にして露光点データを取得するようにすればよ!、。

[0133] また、上記実施形態においては、基板 12上における基準マーク 12aを検出し、その検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板 12上の各マイクロミラー 38の露光軌跡情報を取得するようにした力これに限らず、たとえば、移動ステージ 14のステージ移動方向と直交する方向へのずれ情報を取得するずれ情報取得手段を設け、そのずれ情報取得手段に取得されたずれ情報に基づいて、実際の露光の際における基板 12上の各マイクロミラー 38の露光軌跡情報を取得し、その露光軌跡情報に基づ、てベクトル V3からなる露光点データ軌跡情報を取得し、各ベクトル V3 について、上記と同様にして露光点データを取得するようにしてもよい。なお、上記ずれ情報は、ずれ情報取得手段に予め設定しておけばよい。ずれ情報の計測方法としては、たとえば、 ICゥエーハ'ステッパー装置などで利用されるレーザ光を用いた測定方法を用いることができる。たとえば、移動ステージ 14に、ステージ移動方向に延びる反射面を設けるとともに、その反射面に向けてレーザ光を射出するレーザ光源および上記反射面において反射した反射光を検出する検出部を設け、移動ステージ 14の移動にともなって、反射光の位相ずれを順次検出部により検出することによって上記ずれ量を計測することができる。

[0134] また、移動ステージ 14のョーイングも考慮して露光軌跡情報を取得するようにしてちょい。

[0135] また、基準マーク 12aの検出位置情報と上記ずれ情報との両方を考慮して露光軌跡情報を取得するようにしてもょ、。

[0136] また、基板 12の移動の速度変動情報を予め取得する速度変動情報取得手段を設け、速度変動情報取得手段により取得された速度変動情報に基づいて、基板 12の移動の速度が遅い基板 12上の領域ほど露光点データの密度が大となるように、上記基準ベクトルのサンプリングピッチ pitch j0を小とし、露光点データを取得するようにしてもよい。なお、上記基板 12の移動の速度変動情報とは、移動ステージ 14の移動機構 60の制御精度に応じて発生する移動速度のムラである。

[0137] また、上記実施形態では、 LCD画素データ PDが y方向に繰り返して配置された表示部データの露光点データを、トレースデータを利用して取得する方法を説明したが、露光点データを取得する対象である原画像データは必ずしも表示部データのようなデータ構造でなくてもよい。ただし、その場合には、ベクトル VIの始点 sとしては、上記のように 1つの LCD画素データ PD中における始点 sだけでなぐ原画像データ全体における露光点の位置を始点 sとしてベクトル VIを設定し、そのベクトル VIに対応するトレースデータを取得する必要がある。なお、ベクトル VIの始点および終点 e の位置の設定の方法については上記と同様である。そして、ベクトル V3に対応するトレースデータを取得する際には、上記のようにベクトル V3の始点 sおよび終点 eの座標を相対変換することなぐベクトル V3の始点 sおよび終点 eの座標をそのまま利用して、上記と同様にしてトレースデータを取得するようにすればよ!、。

[0138] また、上記実施形態では、ベクトル V3毎に差分データを 1次元データとしてランレングス符号ィ匕した例を示した力差分データを所定サイズのエリア毎にまとめて、 2次元的に符号ィ匕および復号ィ匕処理を適用することもできる。たとえば、周知技術の JPE G方式を利用することができる。上記のようにすれば差分データの符号化データの情報量をさらに低減することができる。

[0139] 次に、本発明の第 2の実施形態を用いた露光装置について説明する。

[0140] 本発明の第 2の実施形態を用いた露光装置 25は、その概略構成は図 1に示す第 1 の実施形態を用いた露光装置と同様である。

[0141] そして、露光装置 25は、予め記憶するテンプレートデータおよびそのテンプレートデータの作成方法が異なる。具体的には、第 1の実施形態を用いた露光装置 10においては、マイクロミラー 38の像が基板 12上を通過し得る軌跡を想定し、その軌跡に応じたトレースデータを取得してテンプレートデータとするようにしたが、第 2の実施形態を用いた露光装置 25においては、 DMD36における所定のマイクロミラーの列力基板 12上を露光し得る露光点列を想定し、その露光点列に応じたトレースデータを取得してテンプレートデータとする。

[0142] 露光装置 25は、図 23に示すように、データ作成装置 40から出力された、露光すベき露光パターンを表わすベクトル形式の露光画像データを受け付け、該露光画像データに基づいて、後述するテンプレートデータを生成するとともに、後述する露光点データ位置情報に基づいて、各マイクロミラー 38毎の露光点データを取得するための露光点データ情報を生成する画像処理部 80と、実際の露光の際の基板 12上におけるマイクロミラー 38の列の露光点列の位置情報を取得する露光点位置情報取得部 82と、画像処理部 80により取得された露光点データ情報に基づいて、マイクロミラー列の露光点データ列を取得する露光点データ取得部 84とを備えている。

[0143] 次に、本発明の第 2の実施形態の露光装置 25の作用について説明する。

[0144] 以下、露光装置 25のテンプレートデータの作成方法について説明する。

[0145] まず、図 24に点線で示すように、 DMD36が所定のマイクロミラー列に仮想的に分割される。そして、画像処理部 80において、露光画像データと、マイクロミラー 38により基板 12上に露光される露光点の座標系とが対応付けられる。そして、上記のようにして分割されたマイクロミラー列のうちの 1つのマイクロミラー列 38aによって所定のタイミングで順次露光される基板上の露光点列 38bが、上記座標系および露光画像データに対応付けられる。なお、このときの露光点列 38bの位置は、 DMD36が基板 1 2に対して理想的に配置されている場合における露光点列の位置である。また、この露光点列の位置の情報は、予め設定されて、るものとする。

[0146] そして、各露光点列 38bの一端の露光点と他端の露光点とを結ぶ基準ベクトル V4 l〜V4nが設定される。そして、図 25に示すように、たとえば、基準ベクトル V41に対して角度変動 Θの範囲内におけるベクトル V41 'が複数設定され、基準ベクトル V41 、ベクトル V41 '上にある露光点データ力露光画像データ力それぞれサンプリングされ、基準ベクトル V41およびベクトル V41 'に対応するトレースデータが取得される。そして、さらに、基準ベクトル V41の始点 sの位置を、たとえば、図 25の斜線で示す所定の範囲内で動かし、それぞれの始点 sの基準ベクトル V41について、上記と同様にベクトル V41 'が設定され、上記と同様にして基準ベクトル V41とベクトル V41 ' に対応するトレースデータが取得される。なお、上記角度変動 Θおよび上記所定の範囲は、基板 12に対する DMDの配置の変動量に応じて適宜設定されるものである。また、始点 sは図 25の範囲内の一部の露光点の位置について設定される。

[0147] そして、基準ベクトル V42〜V4n、ベクトル V42'〜V4n'についても、それぞれ上記と同様にしてそれぞれトレースデータが取得される。

[0148] そして、基準ベクトル V41〜V4nとベクトル V41，〜V4n，につ!/、て、それぞれ始点 sの位置および基準ベクトルに対する角度の変動量 Δ Θと、トレースデータ番号とが対応付けられ、図 26に示すような対応関係が取得され、この対応関係はトレースデータ特定部 80dに設定されるとともに、露光点データ取得部 84に出力され、露光点データ取得部 84にも設定される。

[0149] また、基準ベクトル V41〜V4nとベクトル V41，〜V4n'に対応するトレースデータ力上記トレースデータ番号と対応付けられてテンプレートデータとされ、第 1のテンプレート記憶部 80cに記憶されるとともに、画像処理部 80から露光点データ取得部 8 4に出力され、露光点データ取得部 84における第 2のテンプレート記憶部 84aにも記憶される。

[0150] 次に、上記のようにして作成されたテンプレートデータを用いてマイクロミラー列 38a の露光点データを取得する方法について説明する。

[0151] まず、マイクロミラー列 38aにより実際に露光される露光点列の基板 12上における位置情報が測定される。この位置情報の測定は、たとえば、実際に基板 12上に露光画像を露光する際の移動速度と同様の速度で移動ステージ 14を移動させるとともに、実際の露光タイミングと同様のタイミングで DMD36におけるマイクロミラー列 38aを ONさせ、移動ステージ 14上に設けられた検出器によってマイクロミラー列 38aの光を検出することによって測定することができる。

[0152] そして、上記のようにして測定された露光点列の位置情報に基づいて、露光点列の一端の露光点と他端の露光点とを結ぶ検出ベクトル V51〜V5nが取得され、その検出ベクトル V51〜V5nの情報が、露光点位置情報として露光点位置情報取得部 82 によって取得され、露光点位置情報取得部 82は、検出ベクトル V51〜V5nの情報を画像処理部 80に出力する。

[0153] そして、トレースデータ特定部 80dにおいて、図 26に示す対応関係に基づいて、検出ベクトル V51〜V5nと同じ始点と角度の変動量 Δ Θであるトレースデータ番号がそれぞれ取得され、そのトレースデータ番号が露光点データ情報として露光点データ取得部 84に出力される。

[0154] ここで、上記のようにして露光点データ情報を取得する際、検出ベクトル V51〜V5 nと同等のベクトル V41〜V4n,V41，〜V4n，のトレースデータ番号が存在しない場合がある。

[0155] そこで、本実施形態の露光装置においては、検出ベクトル V51〜V5nと同等のベタトル VIが存在しない場合には、まず、検出ベクトル V51〜V5nに近似するベクトル

V41〜V4n,V41，〜V4n，のトレースデータ番号を取得する。

[0156] 具体的には、トレースデータ特定部 80d力検出ベクトル V51〜V5nの始点 sの座標値とその始点の差が所定の範囲内であり、かつ検出ベクトル V51〜V5nの変動量

Δ Θとその変動量の差が所定の範囲内のトレースデータ番号が取得される。

[0157] なお、上記のようなトレースデータ番号が複数存在する場合には、たとえば、上記差が最も小さ、トレースデータ番号を取得するようにすればよ!、。

[0158] また、必ずしも、上記差が最も小さいトレースデータ番号を取得するようにしなくてもよぐたとえば、予め設定された所定の規則にしたがっていずれ力 1つのトレースデータ番号を取得するようにすればょ、。 [0159] そして、上記のようにして取得された 1つのトレースデータ番号に対応するトレースデータが第 1のテンプレート記憶部 80cから読み出され、トレースデータ番号とともに露光点データ情報作成部 80eに出力される。

[0160] 一方、露光点位置情報取得部 82において取得された検出ベクトル V51〜V5nの情報は、サンプリングデータ取得部 80bに出力され、サンプリングデータ取得部 80b において、検出ベクトル V51〜V5nと露光画像データの座標系とが対応付けられ、検出ベクトル V51〜V5n上にある露光点データ力露光画像データ記憶部 50aに記憶された露光画像データ力サンプリングされて読み出され、露光点データ情報作成部 80eに出力される。

[0161] そして、露光点データ情報作成部 80eおいて、上記第 1の実施形態と同様に、サンプリングデータ取得部 80bから出力されたサンプリングデータ Sからトレースデータ特定部 50dから出力されたトレースデータ Tが減算され、差分データ Subが求められる。そして、差分データ Subに対し、ランレングス符号化処理が施され、差分符号化データが作成される。

[0162] そして、露光点データ情報作成部 80eにおいて、トレースデータ特定部 80dによつて取得されたトレースデータ番号に、上記のようにして取得した差分符号ィ匕データが付加され、図 19に示すようなデータ構造の露光点データ情報が生成され、露光点データ取得部 54に出力される。

[0163] 次に、上記のようにして画像処理部 80において取得された検出ベクトル V51〜V5 nの露光点データ情報に基づいて露光点データを取得する方法を説明する。

[0164] 露光点データ取得部 84に露光点データ情報が入力されると、まず、その先頭にあるトレースデータ番号が取得され、第 2のテンプレート記憶部 84aから上記トレースデータ番号に対応するトレースデータが読み出される。トレースデータの読出方法については、上記第 1の実施形態と同様である。

[0165] 次に、露光点データ情報におけるフラグ力^である力 1でるかが認識され、フラグが 0である場合には、上記のようにして読み出されたトレースデータがそのまま露光点データとして取得される。また、フラグが 1である場合には、その後に続く差分符号化データが取得され、差分復号化部 84bにおいて復号化処理が施され、差分データ Sub が復号化される。そして、上記第 1の実施形態と同様に、トレースデータ τと復号化された差分データ Subとが加算されてサンプリングデータ Sが取得され、このサンプリングデータ Sが露光点データとして取得される。

[0166] そして、上記のようにして検出ベクトル V51〜V5nについての露光点データを取得することによって、マイクロミラー列 38aの各露光タイミングにおける露光点データが取得される。

[0167] なお、上記説明にお、ては、マイクロミラー列 38aの露光点データを取得する場合について説明した力その他のマイクロミラー列についても、上記と同様にして露光点データを取得するようにすればよ!、。

[0168] そして、各露光タイミングにおける各マイクロミラー列の露光点データ列を合わせることによって、各露光タイミングにおける DMD36のフレームデータが取得される。

[0169] なお、上記フレームデータに基づいて露光を行う作用については、上記第 1の実施形態の露光装置と同様である。

[0170] なお、上記説明においては、 DMD36を、図 24に示すようなマイクロミラー列で分割するようにしたが、その分割の方法は、図 24に示す態様に限らず、その他の分割方法でもよい。例えば、 DMD36をマイクロミラーの行単位で分割するようにしてもよい。また、 DMD36内のマイクロミラーを角形状の領域毎に複数のグループに分け、各グループに対してテンプレートを作成するようにしてもよい。その場合、角形状の領域の例えば頂点のマイクロミラーに対応する基板上の露光点位置を基準にして領域内の各マイクロミラーの露光点位置を想定することによって、テンプレートを作成することができる。

[0171] また、図 24に示すマイクロミラー列をさらに分割し、その分割マイクロミラーに対応させて分割基準ベクトルを設定し、その分割基準ベクトルについて、上記と同様にしてトレースデータを取得し、テンプレートデータとしてもよい。そして、上記説明においては、測定された露光点列の一端の露光点と他端の露光点とを直線で結ぶ検出べタトルを取得するようにしたが、一端の露光点と他端の露光点との間を、図 27に示すように折れ線で近似して折れ線検出ベクトル V6を取得し、その折れ線検出ベクトル V6 の各線分ベクトル V61, V62に対応する露光点データを取得し、これらを繋ぐことによってマイクロミラー列に対応する露光点データを取得するようにしてもよい。なお、上記のようにして露光点データを取得する際には、マイクロミラー列の分割方法と、検出ベクトルの折れ線近似とが対応する関係である必要がある。上記のようにして露光点データを取得することにより DMD36の歪みを補正することができる。

[0172] また、上記実施形態では、空間光変調素子として DMDを備えた露光装置にっ、て説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することちできる。

[0173] また、上記実施形態では、 V、わゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置としてもよい。

[0174] また、上記実施形態の露光対象である基板 12は、プリント配線基板だけでなぐフラットパネルディスプレイの基板であってもよい。また、基板 12の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。

[0175] また、本発明における描画方法および装置は、インクジェット方式などのプリンタにおける描画にも適用することができる。たとえば、インクの吐出による描画点を、本発明と同様に形成することができる。つまり、本発明における描画点形成領域を、インクジェット方式のプリンタの各ノズルから吐出されたインクが付着する領域として考えることができる。

[0176] また、本発明における描画軌跡情報は、実際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡を用いて描画軌跡情報としてもよ!ヽし、実際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡を近似したものを描画軌跡情報としてもょ、し、実際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡を予測したものを描画軌跡情報としてもよい。

[0177] また、テンプレートイ匕する画像パターンは、繰り返しパターン以外に、離散的に何度も現れる画像であってもよ、。

[0178] また、テンプレートイ匕する繰り返しパターンは、複数種類の画像パターンが繰り返し現れるものであってもよい。この場合、画像パターンの種類毎にテンプレートを作成するようにしてもよいし、画像パターンの並び方に規則性がある場合には、その並び方の種類毎にテンプレートイ匕を行ってもよい。 [0179] また、露光対象を LSIとしてもよぐその場合メモリセル等の同一パターンをテンプレー卜ィ匕することちできる。

[0180] また、テンプレートを作成する装置と、テンプレートを読み出す装置とを、別体で構成するようにしてちょい。

Claims

請求の範囲

[1] 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法にぉ、て、

前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データ力前記描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用

V、て複数の仮想描画データを取得して予め記憶するとともに、前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、

前記画像の描画の際の前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データ力前記描画データを取得するための描画データ取得条件を取得し、

該取得した描画データ取得条件に基づいて前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、

前記取得した描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件を取得し、

該取得した仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づ!/、て前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、前記特定した仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得し、該取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、該取得した差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化し、該復号化した差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現し、

該再現したサンプリングデータを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。

[2] 前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする請求項 1記載の描画データ取得方法。

[3] 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得し、

前記描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件として、前記誤差が最も小さい仮想描画データ取得条件を取得することを特徴とする請求項 1または 2記載の描画データ取得方法。

[4] 描画データに基づ!/ヽて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、

予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、該複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記原画像データからそれぞれ取得し、

該取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、

前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、

該取得した描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、

前記描画点データ軌跡上の前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得し、

前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得し該取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し該特定した仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得し、該取得した差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得し、該取得した差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化し、該復号化した差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現し、

[5] 前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする請求項 4記載の描画データ取得方法。

[6] 前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して所定の範囲内の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項 4または 5記載の描画データ取得方法。

[7] 前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して最小の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項 6記載の描画データ取得方法。

[8] 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得し、

前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記誤差が最も小さい仮想描画点データ軌跡情報を取得することを特徴とする請求項 4または 5記載の描画データ取得方法。

[9] 請求項 1から 8 、ずれか 1項記載の描画データ取得方法を用いて描画データを取得し、該取得した描画データに基づヽて前記基板上に画像を描画することを特徴とする描画方法。

[10] 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、

前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データ力前記描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、

前記画像の描画の際の前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データ力前記描画データを取得するための描画データ取得条件を取得する描画データ取得条件取得部と、

該描画データ取得条件取得部によって取得された描画データ取得条件に基づいて前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得するサンプリングデータ取得部と、

前記描画データ取得条件取得部によって取得された描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件を取得する仮想描画データ取得条件取得部と、該仮想描画データ取得条件取得部によって取得された仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定する仮想描画データ特定部と、

前記仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得する差分データ取得部と、

該差分データ取得部によって取得された差分データに符号化処理を施して差分符号化データを取得する差分符号化データ取得部と、

該差分符号化データ取得部によって取得された差分符号化データに復号化処理を施して前記差分データを復号化する差分データ復号化部と、

該差分データ復号化部によって復号化された差分データと前記特定した仮想描画データとを加算して前記サンプリングデータを再現するデータ加算部と、

該データ加算部によって再現されたサンプリングデータを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。

[11] 前記描画データ取得部が、前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データを前記描画データとして取得するものであることを特徴とする請求項 10記載の描画データ取得装置。

[12] 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得する誤差取得部をさらに備え、

前記仮想描画データ取得条件取得部が、前記描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件として、前記誤差取得部によって取得された誤差が最も小さい仮想描画データ取得条件を取得するものであることを特徴とする請求項 10または 11記載の描画データ取得装置。

[13] 描画データに基づ!/ヽて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、

予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて取得された複数の仮想描画点データ軌跡の情報に基づいて前記原画像データから取得された前記仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、

前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、

前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得部と、

該描画軌跡情報取得部によって取得された描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得部と該描画点データ軌跡情報取得部によって取得された描画点データ軌跡上の前記原画像データをサンプリングしてサンプリングデータを取得するサンプリングデータ取得部と、

前記描画点データ軌跡情報取得部によって取得された描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得する仮想描画点データ情報取得部と、

該仮想描画点データ情報取得部によって取得された仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定する仮想描画データ特定部と、

該仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データと前記サンプリングデータとの差分データを取得する差分データ取得部と、

[14] 前記描画データ取得部が、前記サンプリングデータと前記特定した仮想描画データとの誤差が所定の範囲内である場合には、前記仮想描画データ特定部によって特定された仮想描画データを前記描画データとして取得するものであることを特徴とする請求項 13記載の描画データ取得装置。

[15] 前記仮想描画点データ軌跡情報取得部が、前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して所定の範囲内の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項 13または 14記載の描画データ取得装置。

[16] 前記仮想描画点データ軌跡情報取得部が、前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記描画点データ軌跡情報の始点位置および終点位置に対して最小の差の始点位置および終点位置を有する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項 15記載の描画データ取得装置。

[17] 前記サンプリングデータと前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データとの誤差をそれぞれ取得する誤差取得部をさらに備え、

前記仮想描画点データ軌跡取得部が、前記描画点データ軌跡情報に近似する前記仮想描画点データ軌跡情報として、前記誤差が最も小さ!ヽ仮想描画点データ軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項 13または 14記載の描画データ取得装置。

[18] 請求項 10から 17いずれか 1項記載の描画データ取得装置と、

前記描画データ取得装置により取得された描画データに基づ!、て前記基板上に画像を描画する描画手段とを備えたことを特徴とする描画装置。