JP2006323330A - 描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板12上の露光ヘッド30のマイクロミラーの仮想的な描画軌跡の情報に対応する、原画像データ上の仮想露光点データ軌跡の情報を複数取得し、その仮想描画点データ軌跡に対応したトレースデータを原画像データからそれぞれ取得して予めテンプレート記憶部56aに記憶し、実際の露光の際の基板12上におけるマイクロミラーの露光軌跡の情報に対応する仮想露光点データ軌跡情報を特定し、その特定された仮想渡航点データ軌跡情報に対応するトレースデータを、実際の露光軌跡情報に対応した露光点データとして取得する。
【選択図】 図5
Description
まず、データ作成装置40において、基板12に露光される露光パターンを表すベクトルデータが作成される。なお、本実施形態の説明においては、液晶ディスプレイの露光パターンを表わすベクトルデータが作成される。液晶ディスプレイの露光パターンRは、図6に示すように、(r、g、b)を表示するための3つのTFTからなるLCD画素Pが直交する方向に2次元状に多数配列された表示部と、その表示部に接続される配線からなる配線部とから構成される。なお、図6においては、rを表示するためのTFTをT1、gを表示するためのTFTをT2、bを表示するためのTFTをT3で表し、配線部を実線で表している。データ作成装置40においては、図6に示すような露光パターンRを表すベクトルデータが作成される。
Δx = x2 − x1 ・ ・ ・ (2)
Δy = y2 −(y1+L0) ・ ・ ・ (3)
pitch_x = Δx/N ・ ・ ・ (4)
pitch_y = pitch_y0 × (L0+Δy)/L0 ・ ・ ・ (5)
具体的には、例えば、N = 4096、pitch_y0 = 0.75μm等となる。
ここで、k=(LCD画素データのy方向サイズ+余裕値α)/L0 ・ ・ ・ (7)
とすることが望ましい。
v ’ = INT( v / stp ) × stp ・ ・ ・ (8)
または
v ’ = ( INT( v / stp ) + 0.5 ) × stp ・ ・ ・ (9)
とする。
そして、上記のようにしてテンプレート記憶部56aに記憶されたテンプレートデータは、露光点データ情報取得部54において取得された露光点データ情報に基づいて読み出され、露光ヘッド制御部58に出力されるが、次に、露光点データ情報取得部54における露光点データ情報の取得について説明する。
そして、露光点データ情報取得部54は、入力された各ベクトルV3の情報に基づいて、露光点データ情報を取得する。具体的には、露光点データ情報取得部54は、各ベクトルV3の始点と終点の座標値を取得し、その座標値を、1つのLCD画素データ中の露光点の座標系における座標値に相対変換し、その相対変換された始点と終点の座標値に基づいて終点の変動量(Δx,Δy)を求め、上記相対変換された始点の座標値および終点の変動量(Δx,Δy)と、図8に示す対応関係とに基づいて、各ベクトルV3に対応するトレースデータ番号を求める。
次に、上記のようにして露光点データ情報取得部54において取得された各ベクトルV3の露光点データ情報に基づいて、表示部データにおける露光点データを取得する方法を説明する。
次に、上記のようにして取得された各マイクロミラー38毎の露光点データに基づいて基板12上に露光する方法について説明する。
12 基板
12a 基準マーク
12b 基準マーク位置情報
12c 通過位置情報
12d 検出位置情報
14 移動ステージ
18 設置台
20 ガイド
22 ゲート
24 スキャナ
26 カメラ
30 露光ヘッド
32 露光エリア
36 DMD
50 画像処理部(仮想描画点データ軌跡情報取得部、繰返画像データ部抽出部)
51 検出位置情報取得部(位置情報検出手段)
52 露光軌跡情報取得部(描画軌跡情報取得部)
53 露光点データ軌跡情報取得部(描画データ取得条件取得部、描画点データ軌
跡情報取得部)
54 露光点データ情報取得部(対応関係設定部、仮想描画データ取得条件取得部
仮想描画点データ軌跡情報特定部)
55 サンプリングデータ取得部
56,86 露光点データ取得部(描画データ取得部)
56a,86a テンプレート記憶部(仮想描画データ記憶部)
80 画像処理部(仮想描画点データ位置情報取得部)
82 露光点位置情報取得部(描画位置情報取得部、描画点データ位置情報取得
部)
84 露光点データ情報取得部(対応関係設定部、仮想描画点データ位置情報特定
部)
Claims (40)
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、
前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データから前記描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて複数の仮想描画データを取得して予め記憶するとともに、前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記画像の描画の際の前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データから前記描画データを取得するための描画データ取得条件を取得し、
該取得した描画データ取得条件に対応する前記仮想描画データ取得条件を取得し、
該取得した仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、
該特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。 - 前記予め記憶した仮想描画データに対応する前記複数の仮想描画データ取得条件の中に前記描画データ取得条件に対応する前記仮想描画データ取得条件がない場合には、
前記描画データ取得条件に基づいて前記原画像データをサンプリングして前記描画データを取得することを特徴とする請求項1記載の描画データ取得方法。 - 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、
予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、
該複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記原画像データからそれぞれ取得し、
該取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、
該取得した描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、
該取得した描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得し、該取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、
該特定された仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。 - 前記予め記憶した仮想描画データに対応する前記複数の仮想描画点データ軌跡情報の中に前記描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報がない場合には、
前記描画点データ軌跡情報に基づいて前記原画像データをサンプリングして前記描画データを取得することを特徴とする請求項3記載の描画データ取得方法。 - 前記基板上の所定位置に予め設けられた複数の基準マークを検出して該基準マークの位置を示す検出位置情報を取得し、
該取得した検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得することを特徴とする請求項3または4記載の描画データ取得方法。 - 前記仮想描画点データ軌跡および/または前記描画点データ軌跡を特定するための数値を所定の量子化ピッチで量子化することを特徴とする請求項3から5いずれか1項記載の描画データ取得方法。
- 前記仮想描画点データ軌跡情報と該仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データが記憶された記憶部の記憶領域を示すアドレスとを対応付けたアドレス対応関係を予め設定し、
前記描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得し、
該取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記アドレスを前記アドレス対応関係に基づいて特定し、
該特定されたアドレスに予め記憶された前記仮想描画データを取得することを特徴とする請求項3から6いずれか1項記載の描画データ取得方法。 - 前記仮想描画点データ軌跡情報として該仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを示す情報と該仮想描画データにおける前記描画点データ軌跡情報に対応する範囲を示す情報とを予め設定し、
前記描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得し、
該取得した仮想描画点データ軌跡情報における前記仮想描画データを示す情報に基づいて、前記複数の仮想描画データの中から前記仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを特定し、
前記仮想描画点データ軌跡情報における前記描画点データ軌跡情報に対応する範囲に基づいて、前記特定された仮想描画データのうちの前記描画点データ軌跡情報に対応する範囲を前記描画データとして取得することを特徴とする請求項3から7いずれか1項記載の描画データ取得方法。 - 前記仮想描画点データ軌跡を所定のピッチで区切り、該区切られた部分仮想描画点データ軌跡を直線、曲線または折れ線で近似することを特徴とする請求項3から8いずれか1項記載の描画データ取得方法。
- 前記描画点データ軌跡を所定のピッチで区切り、該区切られた部分描画点データ軌跡を直線、曲線または折れ線で近似することを特徴とする請求項3から9いずれか1項記載の描画データ取得方法。
- 前記原画像データを、部分原画像データを前記相対的移動方向について繰り返し配置した繰返画像データ部を有するものとし、
前記部分画像データと前記各仮想描画点データ軌跡の一部の部分仮想描画点データ軌跡をそれぞれ対応付けて該複数の部分仮想描画点データ軌跡に対応した部分仮想描画データを前記部分原画像データからそれぞれ取得し、
該取得した複数の部分仮想描画データを予め記憶するとともに、前記部分仮想描画点データ軌跡の情報と前記部分仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記描画点データ軌跡を前記部分仮想描画点データ軌跡に対応させて複数の部分描画点データ軌跡に区切って部分描画点データ軌跡の情報を取得し、
該取得した部分描画点データ軌跡情報に対応する前記部分仮想描画点データ軌跡情報をそれぞれ特定し、
該特定した部分仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記部分仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の部分仮想描画データの中からそれぞれ特定し、
該特定した部分仮想描画データを繋ぎ合わせて前記描画点データ軌跡に対応した前記描画データを取得することを特徴とする請求項3から10いずれか1項記載の描画データ取得方法。 - 前記原画像データを、部分原画像データを前記相対的移動方向について繰り返し配置した繰返画像データ部を有するものとし、
前記原画像データから前記繰返画像データ部を抽出し、
該抽出された繰返画像データ部についてのみ前記仮想描画データを用いて前記描画データを取得することを特徴とする請求項3から10いずれか1項記載の描画データ取得方法。 - 前記描画点データ軌跡が前記繰返画像データ部と該繰返画像データ部以外の前記原画像データとに位置する場合には、
前記仮想描画点データ軌跡情報に例外処理情報と前記描画点データ軌跡における前記繰返画像データ部の範囲を指定する情報とを含め、
前記仮想描画点データ軌跡情報における例外処理情報と前記繰返画像データ部の範囲を指定する情報に基づいて、前記指定された範囲の描画データを取得することを特徴とする請求項12記載の描画データ取得方法。 - 互いに異なる前記仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データが全て同じである場合には該仮想描画データを共通化して記憶することを特徴とする請求項3から13いずれか1項記載の描画データ取得方法。
- 前記描画点データ軌跡情報および/または前記仮想描画点データ軌跡情報にピッチ成分が含まれていることを特徴とする請求項3から14いずれか1項記載の描画データ取得方法。
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を所定の描画タイミングで前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、
予め設定された前記描画タイミングでの前記描画点形成領域の前記基板上における仮想的な描画位置情報であって、互いに異なる複数の仮想描画位置情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画位置情報に対応する仮想描画点データ位置情報をそれぞれ取得し、
該複数の仮想描画点データ位置情報に基づいて該仮想描画点データ位置に対応した仮想描画データを前記原画像データからそれぞれ取得し、
該取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、前記仮想描画点データ位置情報と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画タイミングでの前記描画点形成領域の描画位置の情報を取得し、
該取得した描画位置情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画位置情報に対応する描画点データ位置の情報を取得し、
該取得した描画点データ位置情報に対応する前記仮想描画点データ位置情報を取得し、
該取得した仮想描画点データ位置情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、
該特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。 - 前記予め記憶された仮想描画データに対応する前記複数の仮想描画点データ位置情報の中に前記描画点データ位置情報に対応する前記仮想描画点データ位置情報がない場合には、
前記描画点データ位置情報に基づいて前記原画像データから前記描画データを取得することを特徴とする請求項16記載の描画データ取得方法。 - 複数の前記描画点形成領域によって前記描画を行う際に用いられる前記描画点データを取得する描画データ取得方法であって、
前記描画点形成領域毎に前記描画データの取得を行うことを特徴とする請求項1から17いずれか1項記載の描画データ取得方法。 - 前記描画点形成領域を空間光変調素子によって形成することを特徴とする請求項1から18いずれか1項記載の描画データ取得方法。
- 請求項1から19いずれか1項記載の描画データ取得方法を用いて描画データを取得し、該取得した描画データに基づいて前記基板上に画像を描画することを特徴とする描画方法。
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、
前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データから前記描画データを取得する仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、
前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、
前記画像の描画の際の前期基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データから前記描画データを取得するための描画データ取得条件を取得する描画データ取得条件取得部と、
該描画データ取得条件取得部により取得された描画データ取得条件に対応する前記仮想描画データ取得条件を取得する仮想描画データ取得条件取得部と、
該仮想描画データ取得条件取得部により取得された仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の描画データの中から特定し、該特定した仮想描画データを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。 - 前記描画データ取得部が、前記予め記憶された仮想描画データに対応する前記複数の仮想描画データ取得条件の中に前記描画データ取得条件に対応する前記仮想描画データ取得条件がない場合には、前記描画データ取得条件に基づいて前記原画像データをサンプリングして前記描画データを取得するものであることを特徴とする請求項21記載の描画データ取得装置。
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、
予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得する仮想描画点データ軌跡情報取得部と、
該仮想描画点データ軌跡情報に基づいて前記原画像データからそれぞれ取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、
前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得部と、
該描画軌跡情報取得部により取得された描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得部と、
該描画点データ軌跡情報取得部により取得された描画点データ軌跡に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報を特定する仮想描画点データ軌跡情報特定部と、
該仮想描画点データ軌跡情報特定部により特定された仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、該特定された仮想描画データを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。 - 前記描画データ取得部が、前記予め記憶された仮想描画データに対応する前記複数の仮想描画点データ軌跡情報の中に前記描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報がない場合には、前記描画点データ軌跡情報に基づいて前記原画像データをサンプリングして前記描画データを取得するものであることを特徴とする請求項23記載の描画データ取得装置。
- 前記基板上の所定位置に予め設けられた複数の基準マークを検出して該基準マークの位置を示す検出位置情報を取得する位置情報検出手段をさらに備え、
前記描画軌跡情報取得部が、前記位置情報検出手段により取得された検出位置情報に基づいて前記描画軌跡情報を取得するものであることを特徴とする請求項23または24記載の描画データ取得装置。 - 前記仮想描画点データ軌跡および/または前記描画点データ軌跡を特定するための数値が所定の量子化ピッチで量子化されたものであることを特徴とする請求項23から25いずれか1項記載の描画データ取得装置。
- 前記仮想描画点データ軌跡情報と該仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データが記憶された仮想描画データ記憶部の記憶領域を示すアドレスとを対応付けたアドレス対応関係が予め設定されたアドレス対応関係設定部を備え、
前記描画データ取得部が、前記仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記アドレスを前記アドレス対応関係に基づいて特定し、該特定されたアドレスに予め記憶された前記仮想描画データを取得するものであることを特徴とする請求項23から26いずれか1項記載の描画データ取得装置。 - 前記仮想描画点データ軌跡情報が、該仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを示す情報と該仮想描画データにおける前記描画点データ軌跡情報に対応する範囲を示す情報を有し、
前記描画データ取得部が、前記仮想描画点データ軌跡情報特定部により特定された前記仮想描画点データ軌跡情報における前記仮想描画データを示す情報に基づいて、前記複数の仮想描画データの中から前記特定された仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを特定し、前記特定された仮想描画点データ軌跡情報における前記描画点データ軌跡情報に対応する範囲に基づいて、前記特定された仮想描画データのうちの前記描画点データ軌跡情報に対応する範囲の描画データとして取得するものであることを特徴とする請求項23から27いずれか1項記載の描画データ取得装置。 - 前記仮想描画点データ軌跡が所定のピッチで区切られ、該区切られた部分仮想描画点データ軌跡が直線、曲線または折れ線で近似されたものであることを特徴とする請求項23から28いずれか1項記載の描画データ取得装置。
- 前記描画点データ軌跡が所定のピッチで区切られ、該区切られた部分描画点データ軌跡が直線、曲線または折れ線で近似されたものであることを特徴とする請求項23から29いずれか1項記載の描画データ取得装置。
- 前記原画像データが、部分画像データを前記相対移動方向について繰り返し配置した繰返画像データ部を有するものであり、
前記仮想描画データ記憶部が、前記各仮想描画点データ軌跡の一部の部分仮想描画点データ軌跡に基づいて前記部分画像データから取得された、前記部分描画点データ軌跡に対応した部分仮想描画データが予め記憶されたものであり、
前記対応関係設定部が、前記部分仮想描画点データ軌跡の情報と前記部分仮想描画データとの対応関係が予め設定されたものであり、
前記描画点データ軌跡情報取得部が、前記描画点データ軌跡を前記部分仮想描画点データ軌跡に対応させて複数の部分描画点データ軌跡に区切って部分描画点データ軌跡の情報を取得するものであり、
前記仮想描画点データ軌跡情報特定部が、前記各部分描画点データ軌跡に対応する前記部分仮想描画点データ軌跡情報をそれぞれ特定するものであり、
前記描画データ取得部が、前記仮想描画点データ軌跡情報特定部により特定された部分仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記部分仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の部分仮想描画データの中から特定し、該特定した部分仮想描画データを繋ぎ合わせて前記描画点データ軌跡に対応した描画データを取得するものであることを特徴とする請求項23から30いずれか1項記載の描画データ取得装置。 - 前記原画像データが、部分画像データを前記相対移動方向について繰り返し配置した繰返画像データ部を有するものであり、
前記原画像データから前記繰返画像データ部を抽出する繰返画像データ部抽出部をさらに備え、
前記描画データ記憶部が、前記繰返画像データ部の画像データ上における前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて取得された前記複数の描画データを予め記憶するものであることを特徴とする請求項23から30いずれか1項記載の描画データ取得装置。 - 前記仮想描画点データ軌跡情報取得部が、前記描画点データ軌跡が前記繰返画像データ部と該繰返画像データ部以外の前記原画像データとに位置する場合には、前記仮想描画点データ軌跡情報に例外処理情報と前記描画点データ軌跡における前記繰返画像データ部の範囲を指定する情報とを含めるものであり、
前記描画データ取得部が、前記仮想描画点データ軌跡情報における例外処理情報と前記繰返部分画像データの範囲を指定する情報に基づいて、前記指定された範囲の描画データを取得するものであることを特徴とする請求項32記載の描画データ取得装置。 - 前記仮想描画データ記憶部が、互いに異なる前記仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データが同じである場合には該仮想描画データを共通化して記憶するものであることを特徴とする請求項23から33いずれか1項記載の描画データ取得装置。
- 前記描画点データ軌跡情報および/または前記仮想描画点データ軌跡情報にピッチ成分が含まれていることを特徴とする請求項23から34いずれか1項記載の描画データ取得装置。
- 描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を所定の描画タイミングで前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、
予め設定された前記描画タイミングでの前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画位置の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画位置情報と前記画像を表わす原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画位置情報に対応する仮想描画点データ位置の情報をそれぞれ取得する仮想描画点データ位置情報取得部と、
該仮想描画点データ位置情報に基づいて前記原画像データからそれぞれ取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、
前記仮想描画点データ位置情報と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画タイミングでの前記描画点形成領域の描画位置の情報を取得する描画位置情報取得部と、
該描画位置情報取得部により取得された描画位置情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画位置情報に対応する描画点データ位置の情報を取得する描画点データ位置情報取得部と、
該描画点データ位置情報取得部により取得された描画点データ位置に対応する前記仮想描画点データ位置情報を特定する仮想描画点データ位置情報特定部と、
該仮想描画点データ位置情報特定部により特定された仮想描画点データ位置情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、該特定された仮想描画データを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。 - 前記描画データ取得部が、前記予め記憶された仮想描画データに対応する前記複数の仮想描画点データ位置情報の中に前記描画点データ位置情報に対応する前記仮想描画点データ位置情報がない場合には、前記描画点データ位置情報に基づいて前記原画像データをサンプリングして前記描画データを取得するものであることを特徴とする請求項36記載の描画データ取得装置。
- 前記描画点形成領域を複数有し、
前記描画点形成領域毎に前記描画データの取得を行うものであることを特徴とする請求項21から37いずれか1項記載の描画データ取得装置。 - 前記描画点形成領域を形成する空間光変調素子を備えたものであることを特徴とする請求項21から38いずれか1項記載の描画データ取得装置。
- 請求項21から39いずれか1項記載の描画データ取得装置と、
前記描画データ取得装置により取得された描画データに基づいて前記基板上に画像を描画する描画手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
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Cited By (3)
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