KR20080000645A - 묘화 방법 및 장치 - Google Patents

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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

묘화 데이터에 의거하여 묘화점이 형성된 묘화점 형성 영역에 의해 기판(12)상에 화상이 형성된다. 조건을 가상의 묘화 데이터 취득 조건하에 미리 취득된 가상의 묘화 데이터가 기억되고, 가상 묘화 데이터 취득 조건과 가상 묘화 데이터 사이의 대응관계가 미리 설정된다. 묘화 데이터 취득 조건이 취득되고, 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터 취득 조건이 취득되고, 취득된 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터가 기억된 가상 묘화 데이터로부터 특정되고, 특정된 가상 묘화 데이터가 묘화 데이터로서 취득된다.
묘화 장치, 묘화 방법, 묘화 데이터 취득 방법, 묘화 데이터 취득 장치

Description

묘화 방법 및 장치{METHOD OF AND SYSTEM FOR DRAWING}
본 발명은 기판상에 화상을 묘화하기 위한 묘화 데이터를 취득하는 방법 및 장치, 그리고 이 묘화 데이터 취득 방법 및 장치에 의해 취득된 묘화 데이터에 의거하여 기판상에 화상을 묘화하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
프린트 배선판 및 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 기판상에 소정 패턴을 기록하는 장치로서 포토리소그래피를 이용한 다양한 노광 장치가 제안되어 있다.
이러한 노광 장치로서 노광 패턴을 나타내는 노광 화상 데이터에 의거하여 광빔을 변조하면서 포토레지스트가 도포된 기판상에 광빔을 주주사 방향 및 부주사 방향으로 주사시키는 것이 제안되어 있다.
또한, 상기와 같은 노광 장치로서 DMD(digital micro mirror device) 등의 공간 광 변조 소자를 이용해서 노광 화상 데이터에 의거하여 광빔을 변조하는 것이 제안되어 있다.
DMD를 이용한 노광 장치로서, DMD를 노광면에 대하여 소정 주사 방향으로 상대적으로 이동시킴과 아울러 DMD의 주사 방향으로의 이동에 따라 DMD의 메모리셀에 다수의 마이크로 미러에 대응한 묘화 데이터를 입력하여 DMD의 마이크로 미러에 대 응한 묘화점군을 시계열로 순차 형성함으로써 소망하는 화상을 형성하는 것이 제안되어 있다. 예컨대, 일본 특허 공개 2004-233718호 공보를 참조하라.
상기 노광 장치에 의해 다층 프린트 배선판용 노광 패턴을 형성할 때 다층이 적층되는 프레스 공정에 있어서 기판에 열이 가해진다. 프레스 공정에 있어서 기판에 가해진 열에 의해 기판이 변형될 수 있다. 따라서, 층의 노광 패턴을 정확히 위치 결정하기 위하여 상기 기판의 변형에 따라 각 층상에 노광 패턴을 형성할 필요가 있다.
또한, 플랫 패널 디스플레이에 있어서 컬러 필터 패턴을 노광할 때 기판이 가열 처리되어 열에 의해 기판이 신축될 수 있다. 기판이 변형(신축)되면 R, G, B의 묘화점이 서로에 대하여 위치 어긋남이 발생할 수 있다. 따라서, 상기 기판의 변형에 따라 노광 패턴을 형성할 필요가 있다.
그러나, 예컨대, 같은 노광 패턴을 다수의 기판에 형성할 경우 실시간으로 기판의 변형에 따라 노광 화상 데이터를 생성하고, 이 노광 화상 데이터에 의거하여 기판을 노광하면 기판의 변형에 따른 노광 화상 데이터의 생성에 긴 시간이 걸려서 생산 효율의 저하를 초래할 우려가 있다.
상기 관찰 및 설명을 고려하여, 본 발명의 주요 목적은 생산 효율를 저하시키지 않고 기판의 변형에 따른 묘화 데이터를 취득할 수 있는 기판상에 화상을 묘화하기 위한 묘화 데이터를 취득하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 묘화 데이터를 취득하는 방법 및 장치에 의해 취득된 묘화 데이터에 의거하여 기판상에 화상을 묘화하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 묘화 데이터에 의거하여 묘화점이 형성되는 묘화점 형성 영역에 의해 기판상에 화상을 묘화하는 경우에 사용되는 묘화 데이터를 취득하는 제 1 묘화 데이터 취득 방법으로서: 기판상의 묘화면과 묘화점 형성 영역의 미리 설정된 상대 위치에 의거하여 화상을 나타내는 원화상 데이터로부터 묘화 데이터를 취득하기 위한 것이고, 서로 다른 묘화면과 묘화점 형성 영역의 상대 위치에 의거한 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건하에 미리 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 기억함과 아울러 가상 묘화 데이터 취득 조건과 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 단계; 기판상에 묘화하는 경우에 기판상의 묘화면과 묘화점 형성 영역의 실제 상대 위치에 의거하여 원화상 데이터로부터 묘화 데이터를 취득하기 위한 묘화 데이터 취득 조건을 취득하는 단계; 취득된 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터 취득 조건을 취득하는 단계; 설정된 대응 관계에 의거하여 기억된 가상 묘화 데이터 중에서 취득된 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터를 특정하는 단계; 및 특정된 가상 묘화 데이터를 묘화 데이터로서 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제 1 묘화 데이터 취득 방법이 제공된다.
본 발명에 의한 제 1 묘화 데이터 취득 방법에 있어서, 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건 중에서 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터 취득 조건이 없는 경우에 묘화 데이터 취득 조건에 의거하여 원화상 데이터를 샘플링하여 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
본 발명에 의하면, 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판상에 순차로 형성하여 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 제 2 묘화 데이터 취득 방법으로서: 미리 설정된 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 가상적인 묘화 궤적의 정보이며, 서로 번호가 다른 가상 묘화 데이터 궤적 정보와 상기 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 미리 설정된 상기 묘화점 형성 영역의 상기 가상 묘화 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 단계; 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 가상 묘화 데이터를 상기 원화상 데이터로부터 취득하는 단계; 상기 취득된 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 단계; 상기 화상의 묘화시의 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 묘화점 형성 영역의 가상 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 형성 영역의 가상 궤적 정보 중 하나를 상기 설정된 대응 관계에 의거하여 상기 기억된 가상 묘화 데이터 중에서 특정하는 단계; 및 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제 2 묘화 데이터 취득 방법이 더욱 제공된다.
또한, 상기 본 발명에 의한 제 2 묘화 데이터 취득 방법에 있어서, 상기 미리 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 중에서 상기 취득된 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 기판상의 소정 위치에 제공된 복수의 기준 마크를 검출하여 상기 기준 마크의 위치를 나타내는 검출 위치 정보를 취득하고, 상기 취득된 검출 위치 정보에 의거하여 상기 묘화점 형성 영역의 궤적 정보를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 묘화점 데이터 궤적을 특정하기 위한 수치를 소정의 양자화 피치로 양자화하도록 할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터가 기억된 기억 영역의 어드레스를 링크시킨 어드레스 대응 관계를 미리 설정하고, 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 어드레스를 상기 어드레스 대응 관계에 의거하여 특정하고, 상기 특정된 어드레스에 미리 기억된 상기 가상 묘화 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 궤적 정보로서 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보와 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화 데이터의 범위의 정보를 미리 설정하고, 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화 데이터 궤적 정보에 있어서의 상기 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보에 의거하여 상기 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 특정하고, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 범위에 의거하여 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 특정된 가상 묘화 데이터의 범위를 상기 묘화 데이터로서 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적을 소정의 피치로 분할하고, 상기 분할된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되도록 할 수 있다.
또한, 상기 묘화점 데이터 궤적을 소정의 피치로 분할하고, 상기 분할된 부분 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되도록 할 수 있다.
또한, 상기 원화상 데이터가 부분 원화상 데이터가 상기 상대적 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 구비하면 상기 부분 화상 데이터와 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적의 일부인 부분 가상 묘화점 데이터 궤적을 링크시켜서 상기 복수의 부분 가상 묘화점 데이터 궤적에 대응하는 부분 가상 묘화 데이터를 상기 부분 화상 데이터로부터 취득하고, 상기 취득된 부분 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 상기 부분 가상 묘화 데이터 궤적의 정보와 상기 부분 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고, 상기 부분 묘화점 데이터 궤적을 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적에 링크시켜서 복수의 부분 묘화점 데이터로 분할하여 부분 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하고, 상기 취득된 부분 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 특정하고, 상기 특정된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 부분 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 부분 가상 묘화 데이터를 서로 연결시켜서 상기 묘화점 데이터 궤적에 대응하는 상기 묘화 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 부분 원화상 데이터가 상기 상대적 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 상기 원화상 데이터가 구비하면 상기 원화상 데이터로부터 상기 반복 화상 데이터부를 추출하고, 상기 추출된 반복 화상 데이터부에 대해서만 상기 가상 묘화 데이터를 이용하여 상기 묘화 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 묘화점 데이터 궤적이 상기 반복 화상 데이터부와 이 반복 화상 데이터부 이외의 원화상 데이터에 위치하면 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 예외 처리 정보와 상기 묘화점 데이터에 있어서의 상기 반복 화상 데이터의 범위를 지정하는 정보를 포함시키고, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 예외 처리 정보와 상기 반복 화상 데이터를 지정하는 정보에 의거하여 상기 지정된 범위의 묘화 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 서로 다른 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터는 모두 같으면 상기 가상 묘화 데이터를 공통화하여 기억하도록 할 수 있다.
또한, 상기 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적에 피치 성분이 포함되도록 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 소정의 묘화 타이밍으로 상기 기판상에 형성하여 화상을 기판상에 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 제 3 묘화 데이터 취득 방법 으로서: 미리 설정된 상기 묘화 타이밍에서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 기판상에 있어서의 가상적인 묘화 위치 정보인 서로 다른 복수의 가상 묘화 위치 정보와 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 가상 묘화 위치 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 위치 정보를 취득하는 단계; 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 가상 묘화점 데이터 위치에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 원화상 데이터로부터 취득하는 단계; 상기 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 단계; 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화 타이밍에서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 위치의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 가상 묘화 위치 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 기판에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 위치 정보에 대응하는 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하는 단계; 및 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제 3 묘화 데이터 취득 방법이 더 제공된다.
본 발명에 의한 제 3 묘화 데이터 취득 방법에 있어서, 상기 기억된 가상 묘화점 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 위치 정보 중에서 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 본 발명의 제 1 내지 제 3 묘화 데이터 취득 방법에 있어서는 복수의 상기 묘화점 형성 영역이 존재하고, 상기 묘화 데이터를 상기 각 묘화점 형성 영역마다 취득하도록 할 수 있다.
또한, 상기 묘화점 형성 영역을 공간 광 변조 소자에 의해 형성하도록 할 수 있다.
본 발명의 묘화 방법은 상기 본 발명의 제 1 내지 제 3 중 어느 하나의 묘화 데이터 취득 방법을 이용하여 묘화 데이터를 취득하고, 상기 취득된 묘화 데이터에 의거하여 상기 기판상에 화상을 묘화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역에 의해 기판상에 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 장치로서: 상기 기판상의 묘화면과 상기 묘화점 형성 영역의 미리 설정된 위치 관계에 의거하여 상기 화상을 나타내는 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하기 위한 조건으로서 서로 다른 상기 묘화면과 상기 묘화점 형성 영역의 위치 관계에 의거한 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건하에 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 미리 기억하는 가상 묘화 데이터 기억부; 상기 가상 묘화 데이터 취득 조건과 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 대응 관계 설정부; 상기 화상을 상기 기판상에 묘화하는 경우에 상기 기판상의 묘화면과 상기 묘화점 형성 영역의 실제 위치 관계에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하기 위한 묘화 데이터 취득 조건을 취득하는 묘화 데이터 취득 조건 취득부; 상기 묘화 데이터 취득 조건 취득부에 의해 취득된 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터 취득 조건을 취득하는 가상 묘화 데이터 취득 조건 취득부; 및 상기 가상 묘화 데이터 취득 조건 취득부에 의해 취득된 가상 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 설정된 대응 관계에 의거하여 상기 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 묘화 데이터 취득부를 구비한 것을 특징으로 하는 제 1 묘화 데이터 취득 장치가 제공된다.
본 발명에 의한 제 1 묘화 데이터 취득 장치에 있어서, 상기 묘화 데이터 취득부는 상기 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건 중에서 상기 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터 취득 조건이 없을 경우에는 상기 묘화 데이터 취득 조건에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
본 발명에 의하면, 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판상에 순차로 형성하여 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 제 2 묘화 데이터 취득 장치로서: 미리 설정된 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 가상적인 묘화 궤적이며, 서로 번호가 다른 가상 묘화 데이터 궤적 정보와 상기 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 미리 설정된 묘화점 형성 영역의 상기 가상 묘화 궤적에 대응하는 가상 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부; 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 취득된 가상 묘화 데이터를 미리 기억하는 가상 묘화 데이터 기억부; 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 대응 관계 설정부; 상기 화상의 묘화시의 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적의 정보를 취득하는 묘화 궤적 정보 취득부; 상기 묘화 궤적 정보 취득부에 의해 취득된 묘화점 형성 영역의 궤적 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 궤적 정보에 대응하는 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부; 상기 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부에 의해 취득된 가상 묘화점 형성 영역의 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 특정하는 가상 묘화점 데이터 궤적 특정부; 및 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 특정부에 의해 특정된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 형성 영역의 궤적 정보 중 하나를 상기 설정된 대응 관계에 의거하여 상기 기억된 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 묘화 데이터 취득부를 구비한 것을 특징으로 하는 제 2 묘화 데이터 취득 장치가 더 제공된다.
또한, 상기 본 발명의 제 2 묘화 데이터 취득 장치에 있어서는 상기 묘화 데이터 취득부는 상기 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 중에서 상기 취득된 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 묘화 데이터 취득 장치는 상기 기판상의 소정 위치에 제공된 복수의 기준 마크를 검출하는 위치 정보 검출 수단을 더욱 구비하여 상기 묘화 궤적 정보 취득부가 상기 취득된 검출 위치 정보에 의거하여 상기 묘화점 형성 영역의 궤적을 취득할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 묘화점 데이터 궤적을 특정하기 위한 수치는 소정의 양자화 피치로 양자화되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 묘화 데이터 취득 장치가 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터가 기억된 기억 영역의 어드레스를 링크시킨 어드레스 대응 관계를 미리 설정하는 어드레스 대응 관계 설정부를 더욱 구비하면, 상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 어드레스를 상기 어드레스 대응 관계에 의거하여 특정하고, 상기 특정된 어드레스에 미리 기억된 상기 가상 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 궤적 정보는 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보와 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화 데이터의 범위를 나타내는 정보를 구비하고, 상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 특정부에 의해 특정된 상기 가상 묘화 데이터 궤적에 있어서의 상기 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보에 의거하여 상기 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 특정하고, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 범위에 의거하여 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 특정된 가상 묘화 데이터의 범위를 상기 묘화 데이터로서 취득할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적은 소정의 피치로 분할되고, 상기 분할된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되도록 할 수 있다.
또한, 상기 묘화점 데이터 궤적은 소정의 피치로 분할되고, 상기 분할된 부분 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되도록 할 수 있다.
또한, 상기 원화상 데이터가 부분 원화상 데이터가 상기 상대 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 구비하면 상기 가상 묘화 데이터 기억부는 복수의 부분 가상 묘화 데이터 궤적에 대응하는 부분 가상 묘화 데이터로부터 취득된 상기 부분 가상 묘화 데이터를 미리 기억하고, 상기 대응 관계 설정부는 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적의 정보와 상기 부분 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고, 상기 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부는 상기 부분 묘화점 데이터 궤적을 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적에 링크시켜서 복수의 부분 묘화점 데이터를 분할하는 부분 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하고, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 특정부는 상기 부분 묘화점 데이터 궤적정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 특정하고, 상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 특정부에 의해 특정된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 부분 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 부분 가상 묘화 데이터를 서로 연결시켜서 상기 묘화점 데이터 궤적에 대응하는 상기 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
부분 원화상 데이터가 상기 상대 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 상기 원화상 데이터가 구비하면 상기 원화상 데이터로부터 상기 반복 화상 데이터부를 추출하는 반복 화상 데이터부 추출부를 더욱 구비하고, 묘화 데이터 취득부를 반복 화상 데이터부에 대해서만 가상 묘화 데이터를 이용하여 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 상기 묘화점 데이터 궤적이 상기 반복 화상 데이터부와 상기 반복 화상 데이터부 이외의 상기 원화상 데이터에 위치할 경우에는, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 예외 처리 정보와 상기 반복 화상 데이터의 범위를 지정하는 정보를 포함시키고, 상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 예외 처리 정보와 상기 반복 화상 데이터부를 지정하는 정보에 의거하여 상기 지정된 범위에 있어서의 상기 묘화 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 상기 가상 묘화 데이터 기억부는 서로 다른 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터가 같을 경우에는 상기 가상 묘화 데이터를 공통화하여 기억할 수 있다.
또한, 묘화점 데이터 궤적 및/또는 가상 묘화점 데이터 궤적에 피치 성분을 포함하도록 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 소정의 타이밍으로 상기 기판상에 형성하여 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 장치로서: 미리 설정된 상기 타이밍에서의 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 가상적인 묘화 위치의 정보인 서로 다른 복수의 가상 묘화 위치 정보와 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 가상 묘화 위치 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하는 가상 묘화점 데이터 위치 정보 취득부; 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 취득된 가상 묘화 데이터를 미리 기억하는 가상 묘화 데이터 기억부; 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 대응 관계 설정부; 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화 타이밍에서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 위치의 정보를 취득하는 묘화 위치 정보 취득부; 상기 묘화점 데이터 위치 정보 취득부에 의해 취득된 묘화 위치 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 위치 정보에 대응하는 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하는 묘화점 데이터 위치 정보 취득부; 상기 묘화점 데이터 위치 정보 취득부에 의해 취득된 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 정보를 특정하는 가상 묘화점 데이터 특정부; 및 상기 가상 묘화점 데이터 특정부에 의해 특정된 가상 묘화점 데이터 정보에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 이 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 묘화 데이터 취득부를 구비한 것을 특징으로 하는 제 3 묘화 데이터 취득 장치가 더 제공된다.
본 발명의 제 3 묘화 데이터 취득 장치에 있어서는 상기 묘화점 취득부는 상기 기억된 가상 묘화점 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 위치 정보 중에서 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화점을 취득할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 1 내지 제 3 묘화 데이터 취득 장치에 있어서는 복수의 묘화점 형성 영역이 존재하면 상기 묘화 데이터를 상기 각 묘화점 형성 영역마다 취득할 수 있다.
또한, 상기 제 1 내지 제 3 묘화 데이터 취득 장치는 묘화점 형성 영역을 형성하는 공간 광 변조 소자를 구비할 수 있다.
본 발명의 묘화 장치는 제 1 내지 제 3 묘화 데이터 취득 방법 중 어느 하나 또는 제 1 내지 제 3 묘화 데이터 취득 장치 중 어느 하나에 의해 취득된 묘화 데이터에 의거하여 상기 기판상에 화상을 묘화하는 묘화 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 "묘화점 형성 영역"은 기판상에 묘화점을 형성하는 영역이면 어떠한 수단에 의해서도 형성될 수 있다. 예컨대, DMD와 같은 공간 광 변조 소자의 각 변조 소자에 의해 반사된 광빔에 의해 형성되는 묘화점이라도 좋고, 광원으로부터 발생한 광빔 자체에 의해 형성되는 묘화점이라도 좋고, 또는 잉크젯 프린터의 각 노즐로부터 토출된 잉크에 의해 형성되는 묘화점이라도 좋다.
본 발명은 묘화점 형성 영역과 묘화면 사이의 복수의 가상적인 위치 관계에 의거하여 미리 준비된 복수의 가상 묘화 데이터 세트로부터 묘화점 형성 영역과 묘화면 사이의 실제 위치 관계에 의거하여 최적의 가장 묘화 데이터 세트를 선택하는 방법/장치에 적용할 수도 있다. 이 경우, 가상 묘화 데이터 세트는 묘화점 형성 영역에 시계열적으로 주어지는 데이터의 집합 또는 그룹화된 묘화점 형성 영역에 동시에 주어지는 데이터의 집합이어도 좋다. 또한, 각 가상 묘화 데이터 세트는 1세트마다 또는 복수의 세트마다 압축되어 있어도 좋다. 이 경우, 최적의 가상 묘화 데이터의 세트가 선택되면 가상 묘화 데이터 세트가 압축 해제된다.
또한, 본 발명은 묘화점 형성 영역에 의한 묘화면으로의 개별 묘화 처리시에 최적의 가상 묘화 데이터 세트를 선택 가능하도록 묘화점 형성 영역과 묘화면 사이의 복수의 가상적인 위치 관계에 의거하여 미리 복수의 가상 묘화 데이터의 세트를 준비하는 방법/장치에 적용될 수 있다.
본 발명의 제 1 묘화 데이터 취득 방법 및 장치에 의하면, 서로 다른 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건하에 복수의 가상 묘화 데이터를 취득하여 미리 기억함과 아울러 가상 묘화 데이터 취득 조건과 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고, 상기 화상을 상기 기판상에 묘화할 때 기판상의 묘화면과 묘화점 형성 영역의 실제 위치 관계에 의거하여 묘화 데이터를 취득하기 위한 묘화 데이터 취득 조건을 취득하고, 상기 취득된 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터 취득 조건을 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 묘화 데이터로서 취득하도록 한다. 따라서, 상기 묘화 데이터 취득 조건에 따른 묘화 데이터의 취득 시간을 단축할 수 있고, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다.
본 발명의 제 2 묘화 데이터 취득 방법 및 장치에 의하면, 서로 다른 복수의 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 이 가상 묘화점 데이터 궤적에 대응한 가상 묘화 데이터를 원화상 데이터로부터 각각 취득하고, 이 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고, 상기 화상을 상기 기판상에 묘화할 때 기판상에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적의 정보를 취득하고, 상기 취득된 묘화 궤적 정보와 원화상 데이터를 링크시켜서 원화상 데이터상에 있어서의 기판상의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적 정보에 대응하는 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하고, 상기 취득된 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 미리 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 묘화 데이터로서 취득하도록 한다. 따라서, 상기 묘화 궤적 정보에 따른 묘화 데이터의 취득 시간을 단축할 수 있고, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다.
본 발명의 제 3 묘화 데이터 취득 방법 및 장치에 의하면, 서로 다른 복수의 가상 묘화 데이터 위치 정보에 의거하여 이 가상 묘화점 데이터 위치에 대응한 가상 묘화 데이터를 원화상 데이터로부터 각각 취득하고, 이 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 가상 묘화점 데이터 위치 정보와 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고, 상기 화상을 상기 기판상에 묘화할 때 기판상에 있어서의 미리 설정된 묘화 타이밍에서의 묘화점 형성 영역의 묘화 위치의 정보를 취득하고, 상기 취득된 묘화 위치 정보와 원화상 데이터를 링크시켜서 기판상의 묘화점 형성 영역의 묘화 위치 정보에 대응하는 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하고, 상기 취득된 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 위치 정보를 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 미리 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 묘화 데이터로서 취득하도록 한다. 따라서, 상기 묘화 데이터 취득 조건에 따른 묘화 데이터의 취득 시간을 단축할 수 있고, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 의해 기판상에 화상을 묘화하는 장치를 이용한 노광 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 노광 장치의 스캐너의 사시도이다.
도 3(A)는 기판의 노광면상의 노광된 영역을 나타내는 평면도이다.
도 3(B)는 각 노광 헤드에 의한 노광 에어리어의 배열을 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 노광 장치의 노광 헤드에 있어서의 DMD를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태를 이용한 노광 장치의 전기적 구성을 나타내는 블록도이다.
도 6은 액정 디스플레이의 노광 패턴을 나타내는 도면이다.
도 7은 트레이스 데이터의 작성 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 벡터(V1)(가상 묘화 데이터 궤적 정보)와 트레이스 데이터의 대응 관계를 나타내는 도면이다.
도 9(A) 및 도 9(B)는 트레이스 데이터의 공통화에 대하여 설명하기 위한 도 면이다.
도 10(A)~도 10(C)는 트레이스 데이터의 공통화에 대하여 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 벡터 데이터로부터 노광점 데이터를 취득하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 이상적인 형상의 기판상에 있어서의 기준 마크와 소정의 마이크로 미러의 통과 위치 정보의 관계를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 13은 마이크로 미러의 노광 궤적 정보의 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 노광 빔의 궤적 정보에 의거하여 노광점 데이터 궤적 정보를 취득하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 마이크로 미러의 노광 궤적 정보에 의거하여 노광점 데이터 궤적 정보를 취득하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 벡터(V1)(가상 묘화점 데이터 궤적 정보)의 다른 설정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 벡터(V3)(노광점 데이터 궤적 정보)에 대응하는 트레이스 데이터 번호를 구하는 다른 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 템플릿 데이터를 나타내는 도면이다.
도 19는 트레이스 데이터와 선두 어드레스의 대응 관계를 나타내는 도면이다.
도 20은 마이크로 미러의 노광점 데이터 궤적에 대응하는 노광점 데이터 열의 다른 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 21(A)는 벡터(V3)의 일부가 표시부 데이터상에 위치하고, 벡터(V3)의 다른 부분이 배선부 데이터상에 위치할 경우를 나타내는 도면이다.
도 21(B)는 벡터(V3)가 도 21(A)에 도시된 바와 같은 위치에 있을 경우에 있어서의 트레이스 데이터의 판독 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 22는 판독 범위를 지정할 경우에 있어서의 노광점 데이터 정보의 데이터 구조를 나타내는 도면이다.
도 23은 벡터(V3)의 일부가 배선 데이터부에 위치할 경우에 있어서의 노광점 데이터의 다른 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 24(A) 및 도 24(B)는 벡터(V3)의 일부가 배선 데이터부에 위치할 경우에 있어서의 노광점 데이터의 다른 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 25(A) 및 도 25(B)는 벡터(V3)의 일부가 배선 데이터부에 위치할 경우에 있어서의 노광점 데이터의 다른 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 26은 각 마이크로 미러 마다의 노광점 데이터 열을 나타내는 도면이다.
도 27은 각프레임 데이터를 나타내는 도면이다.
도 28은 본 발명의 제 2 실시형태를 이용한 노광 장치의 전기적 구성을 나타내는 블록도이다.
도 29는 마이크로 미러 열과 이 마이크로 미러 열에 대응하는 벡터(V4n)(가상 묘화점 데이터 위치 정보)를 나타내는 도면이다.
도 30은 기준 벡터(V41) 및 벡터(V41')(가상 묘화점 데이터 위치 정보)에 대응하는 트레이스 데이터를 취득하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 31은 기준 벡터(V41) 및 벡터(V41')(가상 묘화점 데이터 위치 정보)와 트레이스 데이터의 대응 관계를 나타내는 도면이다.
도 32는 검출 벡터(묘화 위치 정보)의 다른 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 묘화 데이터 취득 방법 및 장치 그리고 묘화 방법 및 장치의 제 1 실시형태를 이용한 노광 장치에 대하여 상세히 설명한다. 노광 장치는 소정의 노광 패턴을 노광하는 장치이며, 특히, 소정 노광 패턴을 노광하는데 사용되는 노광 화상 데이터의 작성 방법에 특징을 갖는다. 우선은 노광 장치의 구성에 대하여 설명한다.
노광 장치(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이 유리 기판(12)을 표면에 흡착하여 유지하는 평판상의 이동 스테이지(14)를 구비하고 있다. 그리고, 4개의 다리부(16)에 의해 지지된 두꺼운 판상의 설치대(18)의 상면에는 이동 스테이지 이동 방향을 따라 연장된 한쌍의 가이드(20)가 설치되어 있다. 이동 스테이지(14)는 이 길이 방향이 이동 스테이지 이동 방향을 향하도록 배치됨과 아울러 가이드(20)에 의해 왕복 이동 가능하게 지지되어 있다.
설치대(18)의 중앙부에는 이동 스테이지(14)의 이동 경로를 걸치도록 거의 U자형 게이트(22)가 연장되어 있다. U자형 게이트(22)의 단부 각각은 설치대(18)의 양측면에 고정되어 있다. 이 게이트(22)의 일방측에는 스캐너(24)가 설치되고, 타방측에는 유리 기판(12)의 선단 및 후단과, 기판(12)상의 원형의 복수의 기준 마크(12a)의 위치를 검지하기 위한 복수의 카메라(26)가 설치되어 있다.
기판(12)에 있어서의 기준 마크(12a)는 미리 설정된 기준 마크 위치 정보에 의거하여 기판(12)상에 형성된 예컨대 구멍이다. 구멍의 이외에 랜드(land) 또는 에칭 마크(etching mark)를 이용해도 좋다. 또한, 기판(12)에 형성된 소정의 패턴, 예컨대, 노광하려고 하는 층의 하층의 패턴 등을 기준 마크(12a)로서 이용하도록 해도 좋다. 또한, 도 1에 있어서는 기준 마크(12a)를 6개만 도시하고 있지만 실제로는 다수의 기준 마크(12a)가 형성되어 있다.
스캐너(24) 및 카메라(26)는 게이트(22)에 각각 장착되어 이동 스테이지(14)의 이동 경로의 상방에 고정 배치되어 있고, 이것들을 제어하는 컨트롤러(후술함)에 접속되어 있다.
스캐너(24)는, 도 2 및 도 3(B)에 도시된 바와 같이, 2행×5열의 거의 매트릭스상으로 배열된 10개의 노광 헤드(30)(30A∼30J)를 구비하고 있다.
각 노광 헤드(30)의 내부에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 입사된 광빔을 공간 변조하는 공간 광 변조 소자(SLM)인 복수의 DMD(36)가 설치되어 있다. DMD(36)는 마이크로 미러(38)가 2차원상으로 다수 배열된 것이며, 이 마이크로 미러(38)의 열방향이 주사 방향과 소정의 설정 경사 각도(θ)를 이루도록 장착되어 있다. 따라서, 각 노광 헤드(30)에 의한 노광 에어리어(32)는 주사 방향에 대하여 기울어진 직사각형의 에어리어가 된다. 그리고, 도 3(A)에 도시된 바와 같이 이동 스테이 지(14)의 이동에 따라 기판(12)에는 노광 헤드(30)마다 스트립 형상의 노광된 영역(34)이 형성된다. 각 노광 헤드(30)에 광빔을 입사하는 광원에 대해서는 도시하지 않았지만 예컨대, 레이저를 이용할 수 있다.
노광 헤드(30)의 각각에 설치된 DMD(36)는 마이크로 미러(38) 단위로 온/오프되고, 기판(12)에는 DMD(36)의 마이크로 미러(38)에 대응한 도트 패턴(흑/백)이 노광된다. 전술한 스트립 형상의 노광된 영역(34)은 도 4에 도시된 마이크로 미러(38)에 대응하여 2차원 배열된 도트에 의해 형성된다. 이차원 배열의 도트 패턴은 주사 방향에 대하여 기울어져 있고, 주사 방향으로 배열된 도트가 주사 방향과 교차하는 방향으로 배열된 도트 사이를 통과하게 되어 있기 때문에 고해상도화를 도모할 수 있다. 경사 각도 조정의 변동에 의해, 이용하지 않는 도트가 존재할 경우도 있어, 예컨대, 도 4에서는 사선으로 도시된 도트는 이용하지 않는 도트가 되고, 이 도트에 대응하는 DMD(36)에 있어서의 마이크로 미러(38)는 항상 오프 상태가 된다.
또한, 도 3(A) 및 도 3(B)에 도시된 바와 같이, 스트립 형상의 노광된 영역(34)의 각각이 인접하는 노광된 영역(34)과 부분적으로 겹치도록 라인 형상으로 배열된 각 행의 노광 헤드(30) 각각은 이 배열 방향으로 소정 간격 시프팅되어 배치되어 있다. 따라서, 예컨대, 첫째줄의 가장 좌측에 위치하는 노광 에어리어(32A)와 노광 에어리어(32A)의 우측에 위치하는 노광 에어리어(32C) 사이의 노광할 수 없는 부분은 2줄째의 가장 좌측에 위치하는 노광 에어리어(32B)에 의해 노광된다. 마찬가지로, 노광 에어리어(32B)와 노광 에어리어(32B)의 우측에 위치하는 노광 에 어리어(32D) 사이의 노광할 수 없는 부분은 노광 에어리어(32C)에 의해 노광된다.
이어서, 노광 장치(10)의 전기적 구성에 대하여 설명한다.
노광 장치(10)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 데이터 작성 장치(40)로부터 출력된 노광해야 할 노광 패턴을 나타내는 벡터 데이터를 접수하는 화상 처리부(50)와, 카메라(26)에 의해 촬영된 기준 마크(12a)의 화상에 의거하여 기준 마크(12a)의 검출 위치 정보를 취득하는 검출 위치 정보 취득부(51)와, 검출 위치 정보 취득부(51)에 의해 취득된 검출 위치 정보에 의거하여 실제 노광시에 있어서의 기판(12)상의 각 마이크로 미러(38)의 노광 궤적의 정보를 취득하는 노광 궤적 정보 취득부(52)와, 노광 궤적 정보 취득부(52)에 의해 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광 궤적 정보에 의거하여 노광 화상 데이터의 좌표계에 있어서의 노광점 데이터 궤적 정보를 취득하는 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)와, 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)에 의해 취득된 노광점 데이터 궤적 정보에 의거하여 후술하는 노광점 데이터 정보를 취득하는 노광점 데이터 정보 취득부(54)와, 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)에 의해 취득된 노광점 데이터 궤적 정보에 의거하여 후술하는 배선부 데이터로부터 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터를 샘플링하는 샘플링 데이터 취득부(55)와, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 의해 취득된 노광점 데이터 정보에 의거하여 후술하는 노광점 데이터를 취득하는 노광점 데이터 취득부(56)와, 노광점 데이터 취득부(56)에 의해 취득된 노광점 데이터에 의거하여 각 마이크로 미러에 공급되는 제어 신호를 생성하고, 이 제어 신호를 각 노광 헤드(30)로 출력하는 노광 헤드 제어부(58)와, 노광 장치 전체를 제어하는 컨트롤 러(70)를 구비하고 있다.
또한, 노광 장치(10)는 이동 스테이지(14)를 스테이지 이동 방향으로 이동시키는 이동 기구(60)를 구비하고 있다. 이동 기구(60)는 이동 스테이지(14)를 가이드(20)를 따라 왕복 이동시키는 것이면 어떠한 공지의 구성을 채용해도 좋다.
상기 각 구성 요소의 작용에 대해서는 나중에 상세히 설명한다.
이어서, 노광 장치(10)의 작용에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
노광 장치(10)는 이동 스테이지(14)상에 설치된 기판(12)을 스테이지 이동 방향으로 이동시키고, 이 이동에 따라 순차적으로 노광 헤드 제어부(58)로부터 노광 헤드(30)로 제어 신호를 출력하고, 기판(12)상에 시계열로 노광점을 형성함으로써 소망하는 노광 패턴을 기판(12)상에 노광하는 것이다.
그리고, 노광 장치(10)는 미리 노광점 데이터 취득부(56)에 기억된 복수의 템플릿 데이터(template data)로부터 소정의 트레이스 데이터를 선택하고, 이 선택된 트레이스 데이터에 의거하여 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열을 취득하고, 이 취득된 노광점 데이터 열에 의거하여 노광 헤드 제어부(58)로부터 노광 헤드(30)의 각 마이크로 미러(30)로 제어 신호를 출력하여 기판(12)에 소망의 노광 패턴을 노광하는 것이다.
우선, 노광점 데이터 취득부(56)에 미리 기억되는 템플릿 데이터 및 이 작성 방법에 대하여 설명한다.
[템플릿 데이터의 작성 방법]
우선, 데이터 작성 장치(40)에 있어서, 기판(12)에 노광되는 노광 패턴을 나 타내는 벡터 데이터가 작성된다. 본 실시형태의 설명에 있어서는 액정 모니터의 노광 패턴을 나타내는 벡터 데이터가 작성된다. 액정 모니터의 노광 패턴(R)은, 도 6에 도시된 바와 같이 (r, g, b)를 표시하기 위한 3개의 TFT로 이루어지는 복수의 LCD 화소(P)가 직교하는 방향으로 2차원상으로 다수 배열된 표시부와, 이 표시부에 접속되는 배선으로 이루어지는 배선부로 구성된다. 도 6에 있어서는 r을 표시하기 위한 TFT를 T1, g를 표시하기 위한 TFT를 T2, b를 표시하기 위한 TFT를 T3으로 표현하고, 배선부를 실선으로 나타내고 있다. 데이터 작성 장치(40)에 있어서는, 도 6에 도시된 바와 같은 노광 패턴(R)을 나타내는 벡터 데이터가 작성된다.
데이터 작성 장치(40)에 있어서 작성된 벡터 데이터는 화상 처리부(50)로 출력된다. 그리고, 화상 처리부(50)에 있어서, 표시부를 나타내는 표시부 데이터와, 배선부를 나타내는 배선부 데이터로 분리된다. 표시부 데이터 및 배선부 데이터는 각각 래스터 데이터(raster data)로 변환되어 각각 일시 기억된다.
그리고, 상기 방식으로 일시 기억된 표시부 데이터에 대하여 템플릿 데이터가 작성된다. 본 실시형태에 있어서는 배선부 데이터에 대해서는 템플릿 데이터를 작성하지 않지만 배선부 데이터로부터 노광점 데이터를 취득하는 방법에 대해서는 후술한다.
화상 처리부(50)에 있어서는, 도 7에 도시된 바와 같이, 표시부 데이터(D)에 있어서의 1개의 LCD 화소 데이터(PD)와 각 마이크로 미러(38)에 의해 노광되는 기판상의 노광점의 좌표계가 링크되고, 1개의 LCD 화소 데이터(PD)내의 소정의 시점(starting point)(s)(x1, y1)으로부터 소정의 종점(e)(x2, y2)까지를 연결한 벡 터(V1)의 연장 벡터(V1t)상의 LCD 화소 데이터(PD)가 소정의 샘플링 피치로 샘플링 되어 부분 노광점 데이터 열이 취득된다. 도 7에 있어서의 y 방향은 마이크로 미러(38)의 기판(12)에 대한 주사 방향에 대응하는 방향이며, x 방향은 상기 주사 방향과 직교하는 방향에 대응하는 방향이다. 즉, 벡터(V1)는 마이크로 미러(38)의 상이 기판(12)을 통과할 수 있는 궤적의 일부를 의미한다.
여기서, y 방향과 평행한 방향의 벡터이며 y 방향에 대하여 소정의 길이(L0)를 갖는 벡터를 기준 벡터로 하여 소정의 노광점 데이터수를 N, 기준 벡터의 y 방향 샘플링 피치를 pitch_y0으로 한다.
또한, 벡터(V1)의 시점을 s(x1, y1), 종점을 e(x2, y2), 노광점 데이터의 x 방향의 샘플링 피치를 pitch_x, y 방향의 샘플링 피치를 pitch_y, 종점(e)의 변동 폭을 x 방향으로 Δx, y 방향으로 Δy로 하면, 이하와 같은 관계가 된다.
L0=N×pitch_y0 ㆍㆍㆍ(1)
Δx=x2-x1 ㆍㆍㆍ(2)
Δy=y2-(y1+L0) ㆍㆍㆍ(3)
pitch_x=Δx/N ㆍㆍㆍ(4)
pitch_y=pitch_y0×(L0+Δy)/L0 ㆍㆍㆍ(5)
구체적으로는 예컨대, N=4096, pitch_y0=0.75㎛ 이다.
또한, 연장 벡터(V1t)는 벡터(V1)의 종점(e)(x2, y2)을 벡터(V1)의 종점측으로 연장한 벡터이며, 이하의 관계로 나타낼 수 있다.
V1t=V1×(1+ k) ㆍㆍㆍ(6)
여기서, k= (LCD 화소 데이터의 y 방향 사이즈+여유값α)/L0 ㆍㆍㆍ(7) 으로 하는 것이 바람직하다.
단, k>0은 필수적이지 않고, k=0(즉, V1t=V1)으로 하는 것도 가능하다.
그리고, 구체적으로는, 도 7에 도시된 바와 같이 1개의 LCD 화소 데이터내의 1개의 시점(s)에 대하여 상기 기준 벡터(V1)가 설정되고, 이 기준 벡터(V1)의 연장 벡터(V1t)상에 있어서의 LCD 화소 데이터(PD)가 샘플링 피치(pitchi_y0)로 샘플링되고, 동시에 상기 기준 벡터(V1)의 시점(s)과, 기준 벡터의 종점(e)을 중심으로 한 소정의 변동 범위(W)에 위치하는 복수의 종점(e)을 각각 연결한 벡터(V1)가 설정되고, 이 설정된 각 벡터(V1)의 연장 벡터(V1t)상에 있어서의 LCD 화소 데이터(PD)가 샘플링 피치(pitch_x, pitch_y)로 샘플링되어 각 설정된 벡터(V1)의 연장 벡터(V1t)마다 각각 부분 노광점 데이터 열이 취득된다. 변동 범위(W)의 사이즈는 기판(12) 변형의 정도에 따라 미리 설정되어 있는 것으로 한다.
1개의 LCD 화소 데이터(PD) 중에 있어서의 모든 노광점의 위치를 시점(s)으로 하고, 각각의 시점(s)에 대하여 상기 방식으로 소정의 변동 범위(W)에 위치하는 종점(e)까지를 연결한 벡터(V1)가 설정되고, 이 각 설정된 벡터(V1)의 연장 벡터(V1t) 마다 각각 부분 노광점 데이터 열이 취득된다. 상기 방식으로 취득된 부분 노광점 데이터 열을 이하 "트레이스 데이터"라 한다.
그리고, 1개의 LCD 화소 데이터(PD) 중의 모든 시점(s)의 좌표(x1, y1)와 이 시점(s)에 연결된 종점(e)의 변동량(Δx, Δy)의 조합에 대하여, 도 8에 도시된 바와 같이 트레이스 데이터 번호가 첨부된다. 상기 변동량(Δx, Δy)은, 상기한 바와 같이 상기 기준 벡터의 종점(e)의 위치를 기준으로 했을 경우에 있어서의 변동 범위(W)내의 각 종점(e)의 x 방향 및 y 방향으로의 차이량을 나타내는 것이다. 따라서, 상기 기준 벡터의 종점(e)의 변동량(Δx) 및 변동량(Δy)은 모두 0으로 된다.
도 8에 도시된 대응 관계와 각 트레이스 데이터 번호에 대응하는 트레이스 데이터가 화상 처리부(50)로부터 출력된다. 그리고, 도 8에 도시된 대응 관계는 노광점 데이터 정보 취득부(54)에서 설정된다. 각 트레이스 데이터는 각각 대응하는 트레이스 데이터 번호와 링크되어 템플릿 데이터로 합쳐져서 노광점 데이터 취득부(56)의 템플릿 기억부(56a)에 기억된다.
상기 방식으로 트레이스 데이터를 취득할 때, 예컨대, 도 9(A) 및 도 9(B)에 도시된 바와 같이, 마이크로 미러(38)에 의해 노광되는 노광점의 해상도가 0.05㎛이며, 표시부 데이터(D)의 해상도가 0.25㎛이며 상기 노광점의 해상도보다도 클 경우에는 시점(s)의 y 방향의 위치가 같고, 표시부 데이터에 있어서의 1개의 표시 화소 데이터의 x 방향의 범위에 시점과 종점의 양쪽이 포함되는 복수의 벡터(V1)가 존재한다.
이 복수의 벡터(V1)에 대해서는 이 벡터(V1)상의 노광점 데이터가 같다. 이 경우, 이것들의 트레이스 데이터를 공통화하고, 트레이스 데이터에 같은 트레이스 데이터 번호를 첨부하도록 해도 좋다. 따라서, 트레이스 데이터를 공통화하면 트레이스 데이터의 데이터량을 삭감할 수 있고, 템플릿 기억부(56a)의 용량을 삭감할 수 있다.
도 9(B)에 도시된 바와 같이, 시점이 공통이더라도 종점이 1개의 표시 화소 데이터의 x 방향의 범위에 포함되지 않는 벡터(V1)에 대해서는 이 벡터(V1)상의 노광점 데이터가 다르므로 개별적으로 취득할 필요가 있다. 상기 표시 화소 데이터는 표시부 데이터(D)의 해상도에 의해 결정된다. 즉, 표시 화소 데이터는 표시부 데이터(D)를 구성하는 최소 단위의 데이터이다. 상기 설명에서는 LCD 화소 데이터(PD)에 있어서의 모든 노광점의 위치가 시점(s)이 되고, 각 시점(s)마다 벡터(V1)가 설정되고, 벡터(V1)의 각 연장 벡터(V1t)에 대하여 트레이스 데이터를 취득하도록 했지만 모든 노광점의 위치를 시점(s)으로 할 필요는 없다.
예컨대, x 방향으로 배열된 노광점 중 일부의 노광점에 대해서는 시점(s)으로 하지 않도록 하여 벡터(V1)의 수를 절감하도록 즉, 트레이스 데이터의 용량을 절감하도록 해도 좋다. 또한, 종점(e)에 대해서도 변동 범위(W)에 위치하는 노광점의 모두를 종점(e)으로 할 필요는 없고, 변동 범위(W)에 위치하는 노광점 중 일부의 노광점만을 종점(e)으로 함으로써 벡터(V1)의 수를 절감하도록 해도 좋다.
또한, 종점(e)을 x 방향으로 변동시키지 않도록 하고, y 방향과 평행한 벡터(V1)만을 설정함으로써 벡터(V1)의 수를 절감하도록 해도 좋다.
또한, 벡터(V1)상의 노광점 데이터를 샘플링할 때의 y 방향의 샘플링 피치가 예컨대, 도 10(A)에 도시된 바와 같이, 0.75㎛이며, 1개의 표시 화소 데이터의 y 방향의 해상도가 0.25㎛일 경우에는 0.25㎛의 범위에서 벡터(V1)의 시점(s)을 움직여도 각 벡터(V1)상의 노광점 데이터는 모두 같은 것이 된다.
따라서, 벡터(V1)의 시점(s)의 y 방향의 위치는 상기 표시 화소 데이터의 y 방향의 해상도에 대응한 3개의 패턴(0.075/0.25)만을 고려할 수 있다(도 10(A)∼ 도 10(C) 참조). 상기 샘플링 피치가 상기 y 방향의 해상도의 n(자연수)배일 때는 이 n개소의 위치에 대해서만 시점(s)을 움직여서 각각의 n개소의 위치에서의 트레이스 데이터를 취득하도록 할 수 있다.
또한, 각 벡터(V1)를 소정의 피치로 양자화하도록 해도 좋다. 예컨대, 각 벡터(V1)를 특정하기 위한 수치인 각 벡터(V1)의 시점(s), 종점(e), 중점(midpoint)의 좌표값 및 각 벡터(V1)의 경사 등을 양자화하도록 하면 좋다.
구체적으로는 입력값(예컨대, 가로 좌표값 x 또는 세로 좌표값 y)을 v, 양자화 결과를 v', 양자화 피치를 stp라고 하면,
v'=INT(v/stp)×stp ㆍㆍㆍ (8)
또는
v'={INT(v/stp)+0.5}×stp ㆍㆍㆍ (9)
로 된다.
예컨대, 양자화 폭을 x 방향으로 stp_x=0.05㎛, y 방향으로 stp_y=0.25㎛로 하여 이 값을 식(8) 또는 식(9)에서 치환할 수 있다.
상기 양자화에 의해 벡터(V1)의 수를 절감할 수 있고, 이 벡터(V1)에 대응하는 트레이스 데이터의 수를 절감할 수 있고, 템플릿 기억부(56a)의 용량을 삭감할 수 있다.
본 실시형태에 있어서는 직선으로 연결했지만, 시점(s)과 종점(e)을 곡선으로 연결하거나 파선으로 연결해도 좋다.
래스터 데이터로 변환된 표시부 데이터(D)로부터 벡터(V1)에 대응하는 노광 점 데이터를 취득하도록 했지만, 표시부 데이터(D)를 래스터 데이터로 변환할 필요는 없고, 벡터 데이터인채로의 표시부 데이터(D)로부터 벡터(V1)에 대응하는 노광점 데이터를 취득하도록 해도 좋다. 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이, 벡터 데이터에 의해 표시되는 노광 패턴(F)의 윤곽 벡터(VR)를 취득하고, 이 윤곽 벡터(VR)와 벡터(V1)의 교점(C1, C2)을 구하고, 벡터(V1)의 시점(s)으로부터 교점(C1)까지의 부분 벡터(Vp1)에 대해서는 0의 노광점 데이터를 소정의 샘플링 피치로 취득하고, 교점(C1)으로부터 교점(C2)까지의 부분 벡터(Vp2)에 대해서는 1의 노광점 데이터를 소정의 샘플링 피치로 취득하고, 교점(C2)으로부터 종점(e)까지의 부분 벡터(Vp3)에 대해서는 0의 노광점 데이터를 소정의 샘플링 피치로 취득하고, 이 벡터들을 서로 연결시킴으로써 벡터(V1)에 대응하는 트레이스 데이터를 취득하도록 해도 좋다. 벡터(V1)의 설정 방법은 상기한 바와 같다.
또는, 교점(C1, C2)의 y 좌표를 각각 y 방향 샘플링 피치(pitch_y)로 나누고, 정수로 변환된 데이터 사이의 차이를 사용함으로써 "0" 또는 "1"의 연속하는 데이터 개수를 계산하는 방법에 의해 데이터 열을 취득할 수 있다.
각 벡터(V1)의 연장 벡터(V1t)와 윤곽 벡터(VR)의 교점 계산도 가능하다. 이 경우, 도 11에 도시된 각 벡터(V1)의 연장 방향으로 연장 벡터(V1t)가 연장되고, 벡터(V1)의 종점(e)의 우측으로 연장 벡터(V1t)의 종점(e')이 존재하는 것으로 한다.
[노광점 데이터 정보의 취득]
상기 방식으로 템플릿 기억부(56a)에 기억된 템플릿 데이터는 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 의해 취득된 노광점 데이터 정보에 의거하여 판독되어 노광 헤드 제어부(58)로 출력된다. 이어서, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 의한 노광점 데이터 정보의 취득에 대하여 설명한다.
우선, 컨트롤러(70)가 이동 기구(60)로 제어 신호를 출력하고, 이동 기구(60)는 이 제어 신호에 따라서 이동 스테이지(14)를 도 1에 도시된 위치로부터 가이드(20)를 따라 일단 상류측의 소정의 초기 위치까지 이동시킨 후 하류측을 향하여 소망하는 속도로 이동시킨다. 상기 "상류측"은 도 1에 있어서의 우측, 즉 게이트(22)에 대하여 스캐너(24)가 설치되어 있는 측이며, 상기 "하류측"은 도 1에 있어서의 좌측, 즉 게이트(22)에 대하여 카메라(26)가 설치되어 있는 측이다.
상기 방식으로 이동하는 이동 스테이지(14)상의 기판(12)이 복수의 카메라(26) 아래를 통과할 때 이 카메라(26)에 의해 기판(12)이 촬영되고, 이 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터가 검출 위치 정보 취득부(51)에 입력된다. 검출 위치 정보 취득부(51)는 입력된 촬영 화상 데이터에 의거하여 기판(12)의 기준 마크(12a)의 검출된 위치의 정보를 나타내는 검출 위치 정보를 취득한다. 기준 마크(12a)의 검출 위치 정보의 취득 방법에 대해서는 예컨대, 원형의 화상을 추출함으로써 취득하도록 하면 좋지만, 어떠한 공지의 취득 방법을 이용해도 좋다. 또한, 상기 기준 마크(12a)의 검출 위치 정보는 구체적으로는 좌표값으로서 취득되지만 이 좌표계는 각 마이크로 미러(38)에 의해 노광되는 노광점의 좌표계와 같다.
이와 같이 취득된 기준 마크(12a)의 검출 위치 정보는 검출 위치 정보 취득부(51)로부터 노광 궤적 정보 취득부(52)로 출력된다.
노광 궤적 정보 취득부(52)에 있어서, 입력된 검출 위치 정보에 의거하여 실제 노광시에 있어서의 기판(12)상의 각 마이크로 미러(38)마다의 노광 궤적의 정보가 취득된다. 구체적으로는 노광 궤적 정보 취득부(52)에는 각 노광 헤드(30)의 DMD(36)의 각 마이크로 미러(38)의 상이 통과하는 위치를 나타내는 통과 위치 정보가 각 마이크로 미러(38)마다 미리 설정되어 있다. 상기 통과 위치 정보는 이동 스테이지(14)상의 기판(12)의 설치 위치에 대하여 각 노광 헤드(30)의 설치 위치에 의해 미리 설정되어 있는 것이며, 복수의 벡터 또는 복수점의 좌표값으로 나타내지는 것이다. 도 12에, 프레스 공정 등을 경과하지 않은 이상적인 형상의 기판(12) 즉, 찌그러짐 등의 변형이 발생하지 않아서 기준 마크(12a)가 미리 설정된 기준 마크 위치 정보(12b)가 나타내는 위치에 배치되어 있는 기판(12)과, 소정의 마이크로 미러(38)의 통과 위치 정보(12c)의 관계를 나타낸다. 상기 통과 위치 정보의 좌표계도 마이크로 미러(38)에 의해 노광되는 노광점의 좌표계와 같다. 그리고, 상기 통과 위치 정보(12c)에 있어서의 복수의 기준점(12e)(도 12에서 백색원으로 도시됨)에 의해 분할되는 벡터(V2)의 길이와 상기 기준 벡터의 길이는 동일하게 설정되어 있다.
그리고, 노광 궤적 정보 취득부(52)에 있어서는, 도 13에 도시된 바와 같이, 통과 위치 정보(12c)와 검출 위치 정보(12d)가 서로 링크되고, 통과 위치 정보(12c)에 있어서의 각 기준점(12e)에 대한 검출 위치 정보(12d)의 위치 관계가 얻 어진다. 구체적으로는 예컨대, 도 14에 도시된 바와 같이, 기준점(12e)과 이 기준점(12e)을 둘러싸는 검출 위치 정보(12d)에 의해 결정되는 직사각형(Sa, Sb, Sc, Sd)의 면적이 얻어진다. 이러한 면적이 각 기준점(12e)에 대하여 각각 얻어져서 노광 궤적 정보로서 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)로 출력된다. 이러한 노광 궤적 정보는 각 통과 위치 정보(12c)마다 취득되어 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)로 출력된다.
노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)는 상기한 바와 같이 이 입력된 노광 궤적 정보에 대응하는 노광점 데이터 궤적 정보를 취득한다.
구체적으로는 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)에는, 도 15에 도시된 바와 같이, 노광 화상 데이터의 좌표계에 있어서의 위치 정보(12f)가 미리 설정되어 있고, 이하의 식(10)을 충족시키도록 트레이스 점(12g)의 좌표가 각 기준점(12e)에 대하여 각각 얻어진다. 그리고, 도 15에 도시된 바와 같이 각 트레이스 점(12g)을 연결한 벡터(V3)의 정보가 노광점 데이터 궤적 정보로서 노광점 데이터 정보 취득부(54)로 출력된다.
Sa:Sb:Sc:Sd=Ta:Tb:Tc:Td ㆍㆍㆍ(10)
그리고, 노광점 데이터 정보 취득부(54)는 입력된 각 벡터(V3)의 정보에 의거하여 노광점 데이터 정보를 취득한다. 구체적으로는 노광점 데이터 정보 취득부(54)는 각 벡터(V3)의 시점과 종점의 좌표값을 취득하고, 이 좌표값을 1개의 LCD 화소 데이터중의 노광점의 좌표계에 있어서의 좌표값으로 상대 변환하고, 이 상대 변환된 시점과 종점의 좌표값에 의거하여 종점의 변동량(Δx, Δy)을 구하고, 상기 상대 변환된 시점의 좌표값 및 종점의 변동량(Δx, Δy)과, 도 8에 도시된 대응 관계에 의거하여 각 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터 번호를 구한다.
본 실시형태에 있어서는 상술한 것 같이 1개의 LCD 화소 데이터 중에 있어서의 모든 노광점의 위치를 시점(s)으로 하고, 이 시점(s)에 대하여 벡터(V1)를 설정하여 트레이스 데이터를 취득하도록 했지만, 예컨대, 시점(s)의 y 방향에 관한 위치를 도 16에 도시된 사선부(즉, 일부분)만으로 하여 트레이스 데이터의 수를 삭감하도록 해도 좋다.
그리고, 상기 방식으로 트레이스 데이터의 수를 삭감했을 경우, 예컨대, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 의해 취득된 상대 변환후의 시점의 좌표가 도 16에 도시된 위치일 경우, 상대 변환후의 시점의 좌표값과 같은 좌표값이 도 8에 도시된 대응 관계에 있지 않게 된다.
이러한 경우, 예컨대, 도 17에 도시된 바와 같이, 상대 변환된 시점(P1) 및 종점(P2)에 의해 나타내지는 벡터(V3)를 시점(P1)측으로 연장하고, 이 연장선상에서 있어서의 도 8에 도시된 대응 관계에 존재하는 시점(P0)을 구한다. 그리고, 이 시점(P0) 및 상기 변동량(Δx, Δy)과 도 8에 도시된 대응 관계에 의거하여 이 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터 번호를 구한다. 상기한 바와 같이 벡터의 연장선상에 있어서의 시점(P0)을 구하여 트레이스 데이터 번호를 구했을 경우에는 트레이스 데이터 번호뿐만 아니라 시점(P0)으로부터 시점(P1)의 y 방향으로의 차이량이 판독 개시 위치로서 취득된다.
노광점 데이터 정보 취득부(54)에 있어서는 상기 방식으로 트레이스 데이터 번호 및 판독 개시 위치가 각 벡터(V3)에 대하여 구해지고, 노광점 데이터 정보로서 노광점 데이터 취득부(56)로 출력된다. 상대 변환된 시점의 좌표값과 도 8에 도시된 대응 관계의 좌표값이 일치할 경우에는 판독 개시 위치는 0으로 된다.
본 실시형태에 있어서는 인접하는 트레이스 점(12g)을 직선으로 연결하여 벡터(V3)로 했지만 본 발명은 이에 배열로 한정되지 않는다. 예컨대, 인접하는 트레이스 점(12g)을 곡선으로 연결하거나, 또는 파선으로 연결하여 벡터(V3)로 해도 좋다. 특히, x 방향으로 인접하는 위치 정보를 연결하는 직선과 벡터(V3)의 교점의 부분에 대해서는 파선으로 근사하는 것이 바람직하다.
벡터(V3) 및/또는 트레이스 데이터에 피치 성분이 포함되어 벡터(V3)로부터 트레이스 데이터를 검색할 때에 피치 성분을 고려하도록 해도 좋다.
[노광점 데이터의 취득]
이어서, 상기 방식으로 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 의해 취득된 각 벡터(V3)의 노광점 데이터 정보에 의거하여 표시부 데이터에 있어서의 노광점 데이터를 취득하는 방법을 설명한다.
노광점 데이터 취득부(56)에는, 도 18에 도시된 바와 같이, 각 트레이스 데이터가 트레이스 데이터 번호(1∼n)와 대응되어 기억된다. 각 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터 정보가 입력되면 노광점 데이터 취득부(56)는 이 노광점 데이터 정보에 있어서의 트레이스 데이터 번호의 트레이스 데이터를 선택하고, 이 선택된 트레이스 데이터에 있어서의 노광점 데이터 정보의 판독 개시 위치로부터 노광점 데이터를 판독한다. 판독 개시 위치가 0인 경우에 트레이스 데이터는 선두로부터 판 독된다. 판독 개시 위치가 m1일 경우에는, 도 14에 도시된 바와 같이, m1의 위치로부터 트레이스 데이터가 판독된다. 노광점 데이터로서 상기 노광점 데이터수(N)만 판독해도 좋다.
트레이스 데이터 번호와 트레이스 데이터의 기억 영역의 관계에 대해서는 예컨대, 도 19에 도시된 바와 같은 트레이스 데이터 번호와 이 트레이스 데이터 번호의 트레이스 데이터가 기억된 기억 영역의 선두 어드레스의 대응 관계를 미리 설정해 두도록 하면 좋다.
또한, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에, 미리 도 19에 도시된 바와 같은 대응 관계를 설정해 두고, 각 벡터(V3)에 대하여 얻어진 트레이스 데이터 번호와 도 19에 도시된 대응 관계로부터 선두 어드레스를 구하고, 이 선두 어드레스와 판독 개시 위치로부터 판독 개시 어드레스를 구하고, 이 판독 개시 어드레스를 노광점 데이터 취득부(56)로 출력하여 노광점 데이터 취득부(56)가 입력된 판독 개시 어드레스에 의해 가리켜지는 어드레스로부터 노광점 데이터를 판독하도록 해도 좋다.
상기한 바와 같이 각 벡터(V3)에 대하여 각각 노광점 데이터를 취득하고, 복수의 노광점 데이터를 서로 연결시킴으로써 1개의 마이크로 미러(38)의 노광점 데이터 궤적에 대응한 노광점 데이터 열이 취득된다.
또한, 상기와 마찬가지 방식으로 각 마이크로 미러(38)마다의 통과 위치 정보와 검출 위치 정보에 의거하여 각 마이크로 미러(38)마다의 표시부 데이터상에 있어서의 노광점 데이터 궤적 정보가 구해지고, 이 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 궤적 정보에 의거하여 트레이스 데이터 번호와 판독 개시 위치로 이루 어지는 노광점 데이터 정보가 구해짐으로써 이 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 정보에 의거하여 트레이스 데이터가 판독되어 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열이 취득된다.
한편, 트레이스 데이터를 작성할 때 벡터(V1)를 소정의 피치로 양자화했을 경우에는 이 양자화에 따라 각 벡터(V3)를 양자화하도록 해도 좋다. 벡터(V3)의 양자화의 방법은 벡터(V1)의 양자화 방법과 같다. 상기한 바와 같이 각 벡터(V3)를 양자화함으로써 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터를 보다 고속으로 취득할 수 있다.
예컨대, 각 벡터(V3)의 시점(s), 종점(e), 중점의 좌표값 및 각 벡터(V3)의 경사 등을 양자화하도록 하면 좋다.
구체적으로는 예컨대, 양자화 폭을 x 방향으로 stp_x=0.05㎛, y 방향으로 stp_y=0.25㎛로 한 경우에 상기 식(8) 또는 식(9)에 해당하는 변수에 적용하여 양자화후의 값을 취득하도록 하면 좋다.
상기 설명에 있어서는 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 있어서, 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터 번호가 발견되었을 경우에 있어서의 노광점 데이터의 취득 방법에 대하여 설명했지만 예컨대, 기판(12) 변형의 정도가 상정되어 있었던 범위보다 큰 것으로 인해 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터 번호가 존재하지 않을 경우가 있다. 이러한 경우에도 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터를 적절하게 취득할 필요가 있다.
따라서, 예컨대 샘플링 데이터 취득부(55)에도 미리 표시부 데이터를 기억해 두고, 상기한 바와 같이 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터 번호가 발견되지 않을 경우에는 이 벡터(V3)의 정보를 샘플링 데이터 취득부(55)로 출력하고, 샘플링 데이터 취득부(55)에 있어서, 표시부 데이터로부터 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터를 샘플링하고, 이 샘플링된 노광점 데이터를 노광점 데이터 취득부(56)로 출력하고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 다른 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터와 샘플링된 노광점 데이터를 서로 연결시키도록 하면 좋다.
또한, 1개의 마이크로 미러의 노광점 데이터 정보 중 일부의 벡터(V3)에 대하여 트레이스 데이터 번호가 존재하고, 동일한 마이크로 미러에 있어서의 이 일부 이외의 벡터(V3)에 대하여 트레이스 데이터 번호가 존재하지 않을 경우에는 트레이스 데이터 번호가 존재하는 벡터(V3)에 대해서는 트레이스 데이터를 판독함으로써 노광점 데이터를 취득하고, 트레이스 데이터 번호가 존재하지 않는 벡터(V3)에 대해서는 상기한 바와 같이 샘플링 하여 노광점 데이터를 취득하고, 트레이스 데이터의 판독에 의해 얻어진 노광점 데이터와의 샘플링에 의한 노광점 데이터를 서로 연결시켜서 1개의 마이크로 미러의 노광점 데이터 궤적에 대응하는 노광점 데이터 열을 취득하도록 하면 좋다.
또한, 도 20에 도시된 바와 같이 트레이스 데이터에 의거한 노광점 데이터와 0 데이터로부터 1개의 마이크로 미러의 노광점 데이터 궤적에 대응하는 길이의 노광점 데이터 열과, 샘플링된 데이터에 의거한 노광점 데이터와 0 데이터로부터 1개의 마이크로 미러의 노광점 데이터 궤적에 대응하는 같은 길이의 노광점 데이터 열을 생성함으로써 그리고, 이 데이터 열의 논리합을 연산함으로써 1개의 마이크로 미러의 노광점 데이터 궤적에 대응하는 노광점 데이터 열을 취득하도록 해도 좋다.
상기 설명에서는 벡터(V3) 단위로 트레이스 데이터의 판독, 또는 샘플링을 스위칭했지만, 벡터(V3)를 더욱 분할하고, 이 분할된 벡터(V3) 단위로 트레이스 데이터의 판독, 또는 샘플링을 스위칭하도록 해도 좋다.
표시부 데이터로부터의 노광점 데이터의 취득에 대하여 설명했지만 이어서, 배선부 데이터에 있어서의 노광점 데이터를 취득하는 방법에 대하여 설명한다.
상기한 바와 같이, 배선부 데이터는 래스터 변환되어서 화상 처리부(50)에 일시 기억되어 있다. 화상 처리부(50)에 일시 기억된 배선부 데이터는 샘플링 데이터 취득부(55)로 출력된다. 또한, 상기 방식으로 노광점 데이터 궤적 정보 취득부(53)에 있어서 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 궤적 정보도 샘플링 데이터 취득부(55)로 출력된다. 그리고, 샘플링 데이터 취득부(55)는 상기 노광점 데이터 궤적 정보의 각 벡터(V3)와 배선부 데이터를 링크시켜서 각 벡터(V3)상의 배선부 데이터를 소정의 샘플링 피치로 샘플링 하고, 샘플링된 배선부 데이터를 노광점 데이터로서 판독한다. 그리고, 샘플링 데이터 취득부(55)는 상기 방식으로 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열을 노광점 데이터 취득부(56)로 출력한다. 배선부 데이터에 있어서의 표시부 데이터에 해당하는 부분은 0 데이터로 되어 있는 것으로 한다.
그리고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 트레이스 데이터를 판독함으로써 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열과, 샘플링 데이터 취득부(55)에 있어서 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열이 합성되어 서 액정 모니터의 노광 패턴(R)을 나타내는 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열이 생성된다. 상기 합성은 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 정보에 대하여 트레이스 데이터를 판독함으로써 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열과 샘플링 데이터 취득부(55)에 있어서 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터 열의 논리합을 연산함으로써 행해진다.
노광점 데이터 정보 취득부(54)에 있어서 노광점 데이터 정보를 취득할 때 예컨대, 도 21(A)에 도시된 바와 같이, 노광점 데이터 정보의 벡터(V3)의 일부가 표시부 데이터상에 위치하고, 벡터(V3)의 다른 부분이 배선부 데이터상에 위치하는 경우에는 이 표시부 데이터상에 위치하는 범위를 노광점 데이터 정보로서 트레이스 데이터 번호와 함께 노광점 데이터 정보 취득부(54)로부터 노광점 데이터 취득부(56)로 출력하고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 트레이스 데이터의 상기 범위에 대응하는 노광점 데이터를 노광점 데이터 취득부(56)에서 취득하도록 하면 좋다.
예컨대, 벡터(V3)의 양단이 배선부 데이터상에 위치할 경우에는, 도 21(B)에 도시된 바와 같이, 트레이스 데이터에 있어서의 t1∼t2의 범위의 노광점 데이터를 판독하도록 하면 좋다. t1∼t2의 범위가 아닌 배선부 데이터상에 위치하는 부분에 대해서는 0 데이터를 부가하도록 하면 좋다. 표시부 데이터와 배선부 데이터를 합성할 때는 상기 방식으로 부가한 0 데이터와 배선부 데이터를 샘플링함으로써 취득된 노광점 데이터의 논리합을 연산하도록 하면 좋다.
또한, 상기한 바와 같이 범위를 지정하여 노광점의 판독을 행할 경우에는 노 광점 데이터 궤적 정보의 데이터 구조는 예컨대, 도 22에 도시된 바와 같이, 판독 개시 위치를 나타내는 바이트 중의 특정 bit를 예외 처리 플래그용으로서 이용하고, 상기 비트에 후속하는 바이트에 범위 지정 바이트를 형성한 데이터 구조로 하면 좋다. 또한, 상기한 바와 같이 노광점 데이터 궤적 정보의 벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터상에 위치하는 경우에는 예외 처리 플래그(예컨대, 1)를 이렉팅(erecting)시키도록 하고, 통상 처리시에는 예외 처리 플래그를 오프(예컨대, 0)로 하여 후속 바이트에 범위 지정 바이트가 존재하지 않는다.
그리고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서 예외 처리 플래그(예컨대, 1)가 검출되었을 경우에는 통상 처리와 마찬가지로 판독 개시 위치로부터 노광점 데이터의 판독을 개시한 후 범위 지정 바이트에 의해 지정된 범위의 트레이스 데이터를 유효로 하고, 이 범위 이외의 노광점 데이터를 0으로 한다. 한편, 예외 처리 플래그가 오프(예컨대, 0)인 경우에는 범위 지정 바이트는 존재하지 않고, 상기 통상처리로서 판독 개시 위치로부터 트레이스 데이터를 판독하도록 하면 좋다.
벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터상에 위치할 경우에 노광점 데이터를 취득하는 다른 방법은 예컨대, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에도 템플릿 데이터를 기억해 두고, 상기 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터로부터 표시부 범위의 노광점 데이터를 판독함과 아울러 배선부 데이터에 위치하는 부분에 0 데이터를 부가하고, 이 노광점 데이터 열의 선두에, 도 20에 도시된 바와 같이, 예컨대 예외 처리 바이트(m 바이트에서 전체 bit가 "1"을 나타냄)를 부가하여 이 예외 처리 바이트가 부가된 노광점 데이터를 노광점 데이터 취득부(56)로 출력하도록 해도 좋다.
그리고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 상기 예외 처리 바이트를 검출했을 경우에는 템플릿 기억부(56a)로부터 노광점 데이터를 판독하는 것이 아니라 예외 처리 바이트에 후속하는 데이터를 상기 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터로서 취득하도록 하면 좋다.
또한, 상기 설명에서는 표시부 데이터와 배선부 데이터를 서로 분리하여 배선부 데이터를 샘플링 데이터 취득부(55)에 기억하고, 샘플링 데이터 취득부(55)에 있어서 취득된 노광점 데이터 열과 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서 취득된 노광점 데이터 열을 합성하도록 했지만 표시부 데이터와 배선부 데이터를 분리하지 않도록 해도 좋다.
예컨대, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 분리전의 노광 화상 데이터를 기억시킴과 아울러 표시부 데이터의 범위를 나타내는 정보를 기억시킨다. 그리고, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 있어서, 입력된 노광점 데이터 궤적의 벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터에 위치하는지의 여부를 상기 표시부 데이터의 범위를 나타내는 정보에 의거하여 판별한다.
벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터에 위치하지 않는다고 판별되었을 경우에는 벡터(V3)의 노광점 데이터 정보(트레이스 데이터 번호와 판독 개시 위치)를 취득하고, 이 노광점 데이터 정보의 선두에, 도 24(A)에 도시된 바와 같이, 식별 플래그 "0"을 부가하고, 이 식별 플래그를 갖는 노광점 데이터 정보를 노광 데이터 취득부(56)로 출력한다.
한편, 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 있어서, 입력된 노광점 데이터 궤적 의 벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터에 위치한다고 판별되었을 경우에는 미리 기억된 노광 화상 데이터로부터 벡터(V3)에 대응하는 부분의 노광점 데이터를 샘플링하고, 이 샘플링 데이터의 선두에, 도 24(B)에 도시된 바와 같이, 식별 플래그 "1"을 부가하고, 이 식별 플래그를 갖는 샘플링 데이터를 노광점 데이터 취득부(56)로 출력한다. 샘플링 데이터는 런 랭스 시스템(run length system)으로 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 식별 플래그 "0"이 검출되었을 경우에는 식별 플래그 "0"에 후속하는 노광점 데이터 정보를 판독하고, 이 노광점 데이터 정보에 의거하여 상기 방식으로 트레이스 데이터를 판독하여 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터를 취득한다.
한편, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 식별 플래그 "1"이 검출되었을 경우에는 식별 플래그 "1"에 후속하는 샘플링 데이터를 판독하고, 샘플링 데이터가 런 랭스 시스템으로 이루어진 경우에는 샘플링 데이터를 디코딩하여 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터를 취득한다.
또한, 상기 설명에서는 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 있어서, 입력된 노광점 데이터 궤적의 벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터에 위치한다고 판별되었을 경우에는, 도 24(B)에 도시된 바와 같은 데이터를 노광점 데이터 취득부(56)로 출력하도록 했지만, 이 경우에 있어서의 데이터 구조는 이것에 한정되지 않고, 다른 데이터 구조를 채용해도 좋다.
예컨대, 도 25(A) 및 도 25(B)에 도시된 바와 같이, 벡터(V3)의 배선부 데이 터에 위치하는 부분에 대응하는 샘플링 데이터와, 벡터(V3)의 표시부 데이터에 위치하는 부분에 대응하는 노광점 데이터 정보로 데이터를 구성하도록 해도 좋다. 벡터(V3)의 배선부 데이터에 위치하는 부분에 대응하는 샘플링 데이터를 상기 방식으로 노광점 데이터 정보 취득부(54)에 미리 기억된 노광 화상 데이터로부터 샘플링 하도록 하면 좋다. 샘플링 데이터는 런 랭스 시스템으로 이루어지는 것이 바람직하다.
구체적으로, 도 25(B)에 도시된 바와 같이, 노광점 데이터 정보는 벡터(V3)의 표시부 데이터에 위치하는 부분에 대응하는 트레이스 데이터 번호 및 판독 개시 위치와 판독될 노광점 데이터 열의 길이 즉 노광점 데이터의 길이를 나타내는 데이터를 갖게 하도록 하면 좋다. 또한, 노광점 데이터 정보에는, 도 25(B)에 도시된 바와 같이, 타이프 플래그(type flag)를 형성해 두고, 벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터에 위치하지 않을 경우에는 타이프 플래그를 "0"으로 하고, 벡터(V3)의 일부가 배선부 데이터에 위치할 경우에는 타이프 플래그를 "1"로 하도록 하면 좋다. 타이프 플래그가 "0"인 경우는 노광점 데이터 정보에 샘플링 데이터는 부가되지 않고, 또한, 노광점 데이터 정보에 길이 데이터는 포함되지 않는다.
그리고, 도 25(A)에 도시된 바와 같은 데이터를 노광점 데이터 취득부(56)로 출력하고, 노광점 데이터 취득부(56)에 있어서, 선두의 1의 데이터를 검출하고, 후속하는 샘플링 데이터를 취득하고, 노광점 데이터 정보의 선두에 첨부된 0의 데이터를 검출하고, 이 계속되는 트레이스 데이터 번호, 타이프 플래그, 및 판독 개시 위치를 취득한다. 타이프 플래그가 "1"일 경우에는 후속하는 길이 데이터도 취득한 다.
상기 방식으로 취득된 트레이스 데이터 번호에 대응하는 트레이스 데이터를 상기 판독 개시 위치로부터 길이 데이터가 나타내는 길이만큼 판독하고, 표시부의 노광점 데이터를 취득한다. 또한, 샘플링 데이터의 선두의 1의 데이터를 검출하고, 후속하는 샘플링 데이터를 취득한다.
그리고, 상기 방식으로 취득된 샘플링 데이터와 트레이스 데이터를 서로 연결시킴으로써 상기 벡터(V3)에 대응하는 노광점 데이터를 취득할 수 있다.
도시되진 않았지만 도 25(A)에 도시된 데이터에는 샘플링 데이터의 길이를 나타내는 정보도 포함되어 있는 것으로 한다.
[노광]
이어서, 상기 방식으로 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터에 의거하여 기판(12)상에 노광하는 방법에 대하여 설명한다.
상기 방식으로 취득된 각 마이크로 미러(38)마다의 노광점 데이터는 노광 헤드 제어부(58)로 출력되고, 상기 출력과 함께 이동 스테이지(14)가 다시 상류측으로 소망하는 속도로 이동된다.
기판(12)의 선단이 카메라(26)에 의해 검출되면 노광이 개시된다. 구체적으로는, 노광 헤드 제어부(58)로부터 각 노광 헤드(30)의 DMD(36)로 제어 신호가 출력되고, 노광 헤드(30)는 입력된 제어 신호에 의거하여 DMD(36)의 마이크로 미러를 온/오프 시켜서 기판(12)을 노광한다.
노광 헤드 제어부(58)로부터 각 노광 헤드(30)로 제어 신호가 출력되는 경우 에는 기판(12)에 대한 각 노광 헤드(30)의 각 위치에 대응한 제어 신호가 이동 스테이지(14)의 이동에 따라 순차적으로 노광 헤드 제어부(58)로부터 각 노광 헤드(30)로 출력된다. 이때, 예컨대, 도 26에 도시된 바와 같이, 각 마이크로 미러(38)마다 취득된 L개의 노광점 데이터 열의 각 열로부터 각 노광 헤드(30)의 각 위치에 대응하는 노광점 데이터 열을 1개씩 순차적으로 판독하고, 각 노광 헤드(30)의 DMD(36)로 출력하도록 해도 좋고, 도 26에 도시된 바와 같이, 취득된 노광점 데이터에 90도 회전 처리 또는 행렬을 이용한 전치 변환(conversion) 등을 수행하고, 도 27에 도시된 바와 같이, 기판(12)에 대한 각 노광 헤드(30)의 각 위치에 따른 복수의 프레임 데이터(1∼L)를 생성하고, 이 프레임 데이터(1∼L)를 각 노광 헤드(30)로 순차적으로 출력하도록 해도 좋다.
이동 스테이지(14)의 이동에 따라 순차적으로 각 노광 헤드(30)로 제어 신호가 출력된 후 기판(12)의 후단이 카메라(12)에 의해 검출되면 노광이 종료된다.
상기 설명에 있어서는 프레스 공정 등에 있어서 변형된 기판(12)에 노광할 때의 노광점 데이터의 취득 방법에 대하여 설명했지만, 변형되지 않은 이상적인 형상의 기판(12)에 노광할 때 상기와 같은 방법을 사용하여 노광점 데이터를 취득할 수 있다. 예컨대, 각 마이크로 미러(38)마다 미리 설정된 상기 통과 위치 정보에 대응하는 노광점 데이터 궤적의 정보를 취득하고, 이 취득된 노광점 데이터 궤적 정보에 의거하여 노광점 데이터 정보를 취득하고, 이 노광점 데이터 정보에 의거하여 트레이스 데이터를 판독하도록 하면 좋다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는 기판(12)상에 있어서의 기준 마크(12a)를 검출하고, 이 검출된 기준 마크(12a) 위치 정보에 의거하여 각 마이크로 미러(38)의 노광 궤적 정보를 취득하도록 했지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 이동 스테이지(14)의 스테이지 이동 방향과 직교하는 방향으로의 편차 정보를 취득하는 차이 정보 취득 수단에 의해 취득된 차이 정보에 의거하여 실제 노광시에 있어서의 기판(12)상의 노광 궤적 정보를 취득하고, 이 노광 궤적 정보에 의거하여 벡터(V3)로 이루어지는 노광점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 각 벡터(V3)에 대하여 상기 방식으로 노광점 데이터를 취득하도록 해도 좋다. 상기 차이 정보는 차이 정보 취득 수단에 미리 설정해 두면 좋다. 차이 정보의 계측 방법으로서는 예컨대, IC 웨이퍼 스테퍼 장치(IC wafer stepper system) 등에 이용되는 레이저 광을 사용한 측정 방법을 이용할 수 있다. 예컨대, 이동 스테이지(14)에 스테이지 이동 방향으로 연장되는 반사면을 제공함과 아울러 이 반사면을 향하여 레이저 광을 출사하는 레이저 광원 및 상기 반사면에 있어서 반사된 반사광을 검출하는 검출부를 제공하고, 이동 스테이지(14)의 이동에 따라 반사광의 위상 차이를 순차적으로 검출부에 의해 검출함으로써 상기 차이량을 계측할 수 있다.
이동 스테이지(14)의 요잉(yawing)도 고려하여 노광 궤적 정보를 취득하도록 해도 좋다.
또한, 검출 위치 정보와 상기 차이 정보를 모두 고려하여 노광 궤적을 취득하도록 해도 좋다.
기판(12)의 이동의 속도 변동 정보를 미리 취득하는 속도 변동 정보 취득 수단을 제공하여 속도 변동 정보 취득 수단에 의해 취득된 기판(12)의 이동 속도 변 동 정보에 의거하여 기판(12)의 이동의 속도가 느린 기판(12)상의 영역에 있어서 기판(12)의 이동 속도가 느려짐에 따라 노광점 데이터의 밀도가 크게 되도록 샘플링 피치(pitch_y0)를 작게 하여 노광점 데이터를 취득하도록 해도 좋다. 상기 기판(12) 이동의 속도 변동 정보는 이동 스테이지(14)의 이동 기구(60)의 제어 정밀도에 따라 발생되는 기판(12)의 이동 속도의 불균일에 대한 정보이다.
또한, 상기 실시형태에서는 LCD 화소 데이터(PD)가 y 방향으로 반복적으로 배치된 표시부 데이터의 노광점 데이터를 트레이스 데이터를 이용하여 취득하는 방법을 설명했지만, 노광점 데이터를 취득하는 대상인 원화상 데이터는 반드시 표시부 데이터와 같은 데이터 구조가 아니어도 좋다. 그러나, 원화상 데이터가 표시부 데이터와 같은 데이터 구조로 이루어지지 않은 경우에 상기한 바와 같이 1개의 LCD 화소 데이터(PD)중에 있어서의 시점(s)뿐만 아니라 원화상 데이터 전체에 있어서의 노광점의 위치를 시점(s)으로서 벡터(V1)를 설정하여 이 벡터(V1)에 대응하는 트레이스 데이터를 취득할 필요가 있다. 벡터(V1)의 종점(e) 설정의 방법은 상기한 바와 같다. 벡터(V3)에 대응하는 트레이스 데이터를 취득하는 경우에는 벡터(V3)의 시점(s) 및 종점(e)의 좌표를 상대 변환하지 않고 벡터(V3)의 시점(s) 및 종점(e)의 좌표를 그대로 이용하여 상기 방식으로 트레이스 데이터를 취득하도록 하면 좋다.
이어서, 본 발명의 제 2 실시형태를 이용한 노광 장치를 설명한다.
본 발명의 제 2 실시형태를 이용한 노광 장치(20)는 도 1에 도시된 본 발명의 제 1 실시형태를 이용한 노광 장치와 구조에 있어서 동일하다.
그리고, 노광 장치(20)는 미리 기억될 템플릿 데이터 및 이 템플릿 데이터의 작성 방법이 다르다. 구체적으로는, 본 발명의 제 1 실시형태를 이용한 노광 장치(10)에 있어서는 마이크로 미러(38)의 상이 기판(12)상을 통과하는 궤적을 상정하고, 이 궤적에 따른 트레이스 데이터에 의해 템플릿 데이터를 작성한다. 한편, 본 발명의 제 2 실시형태를 이용한 노광 장치(20)에 있어서는 DMD(36)에 있어서의 소정의 마이크로 미러의 열이 기판(12)을 노광할 수 있는 노광점 열을 상정하고, 이 노광점 열에 따른 트레이스 데이터를 취득하여 템플릿 데이터가 작성된다.
노광 장치(20)는, 도 28에 도시된 바와 같이, 노광해야 할 노광 패턴을 나타내는 화상 데이터에 소정의 처리를 실시하는 화상 처리부(80)와, 실제의 노광시의 기판(12)상에 있어서의 마이크로 미러(38) 열의 노광점 열의 위치 정보를 취득하는 노광점 위치 정보 취득부(82)와, 노광점 위치 정보 취득부(82)에 의해 취득된 노광점 위치 정보에 의거하여 후술하는 노광점 데이터 정보를 취득하는 노광점 데이터 정보 취득부(84)와, 노광점 데이터 정보 취득부(84)에 의해 취득된 노광점 데이터 정보에 의거하여 마이크로 미러 열의 노광점 데이터 열을 취득하는 노광점 데이터 취득부(86)를 구비하고 있다.
이어서, 본 발명의 제 2 실시형태를 이용한 노광 장치(20)의 작용에 대하여 설명한다.
이하, 노광 장치(20)의 템플릿 데이터의 작성 방법에 대하여 설명한다.
도 29에 도시된 바와 같이, DMD(36)가 소정의 마이크로 미러 열로 가상적으로 분할된다. 화상 처리부(80)에 있어서, 노광 화상 데이터와 마이크로 미러(38)에 의해 기판(12)상에 노광되는 노광점의 좌표계가 링크된다. 분할된 마이크로 미러 열 중 1개의 마이크로 미러 열(38a)에 의해 소정의 타이밍으로 순차적으로 기판(12)을 노광하는 기판(12)상의 노광점 열(38b)이 상기 좌표계 및 노광 화상 데이터를 링크시킨다. 이때의 노광점 열(38b)의 위치는 DMD(36)가 기판(12)에 대하여 이상적으로 배치되어 있을 경우에 있어서의 노광점 열의 위치이다. 이때의 노광점 열의 위치 정보는 미리 설정되어 있는 것으로 한다.
그리고, 각 노광점 열의 일단의 노광점과 노광점 열의 타단의 노광점을 연결하는 기준 벡터(V41∼V4n)가 설정된다. 도 30에 도시된 바와 같이, 예컨대, 기준 벡터(V41)에 대하여 변동 각도(θ)의 범위내에 있어서의 복수의 벡터(V41')가 설정되고, 기준 벡터(V41)와 벡터(V41')상의 노광점 데이터가 화상 데이터로부터 각각 샘플링되어 기준 벡터(V41) 및 벡터(V41')에 대응하는 트레이스 데이터가 취득된다. 또한, 기준 벡터(V41)의 시점(s)의 위치를 예컨대, 도 30의 사선으로 도시된 소정의 범위내에서 움직이고, 각각의 시점(s)을 갖는 기준 벡터(V41)에 대하여 상기와 같은 방식으로 벡터(V41')가 설정되어기준 벡터(V41)와 벡터(V41')에 대응하는 트레이스 데이터가 취득된다. 상기 변동 각도(θ) 및 상기 소정의 범위는 기판(12)에 대한 DMD 배치의 변동량에 따라 적절하게 설정되는 것이다.
그리고, 기준 벡터(V42∼V4n) 및 벡터(V42'∼V4n')에 대해서도 상기 방식으로 각각 트레이스 데이터가 취득된다.
그리고, 기준 벡터(V41∼V4n)와 벡터(V41'∼V4n')에 대하여 각각 시점(s)의 위치 및 기준 벡터에 대한 각도의 변동량(Δθ)과 트레이스 데이터 번호가 링크되 어, 도 31에 도시된 바와 같은 대응 관계가 취득된다. 이 대응 관계는 노광점 데이터 정보 취득부(84)에서 설정된다.
기준 벡터(V41∼V4n)와 벡터(V41'∼V4n')에 대응하는 트레이스 데이터가 상기 트레이스 데이터 번호와 링크되어 템플릿 데이터가 작성되고, 화상 처리부(80)로부터 노광점 데이터 취득부(86)로 출력되어 템플릿 기억부(86a)에 기억된다.
이어서, 상기 방식으로 작성된 템플릿 데이터를 이용하여 마이크로 미러 열의 노광점 데이터를 취득하는 방법에 대하여 설명한다.
우선, 마이크로 미러 열(38a)에 의해 실제로 노광되는 노광점 열의 기판(12)상에 있어서의 위치 정보가 측정된다. 이 위치 정보는 실제로 기판(12)상에 화상을 노광할 때의 이동 속도와 같은 속도로 이동 스테이지(14)를 이동시킴과 아울러 실제의 노광 타이밍과 같은 타이밍으로 DMD(36)에 있어서의 마이크로 미러 열(38a)을 온이 되게 하고, 이동 스테이지(14)상에 제공된 검출기에 의해 마이크로 미러 열(38a)로부터의 광을 검출함으로써 측정할 수 있다.
노광점 열의 위치 정보에 의거하여 노광점 열의 일단의 노광점과 노광점 열의 타단의 노광점을 연결하는 검출 벡터(V51∼V5n)가 취득되고, 이 검출 벡터(V51∼V5n)의 정보가 노광점 위치 정보로서 노광점 위치 정보 취득부(82)에 의해 취득되고, 노광점 위치 정보 취득부(82)는 검출 벡터(V51∼V5n)의 정보를 노광점 데이터 정보 취득부(84)로 출력한다.
그리고, 노광점 데이터 정보 취득부(84)에 있어서, 도 31에 도시된 대응 관계에 의거하여 검출 벡터(V51∼V5n)와 같은 시점(s)과 같은 각도 변동량(Δθ)을 갖는 트레이스 데이터 번호가 각각 취득되고, 이 트레이스 데이터 번호가 노광점 정보로서 노광점 데이터 취득부(86)로 출력된다.
노광점 데이터 취득부(86)에 있어서, 검출 벡터(V51∼V5n)의 각각 대응하는 트레이스 데이터 번호에 대하여 템플릿 데이터가 참조되어 검출 벡터(V51∼V5n)에 대응하는 트레이스 데이터가 각각 판독된다.
상기 방식으로 취득된 각 트레이스 데이터가 마이크로 미러 열(38a)의 각 타이밍에 있어서의 노광점 데이터로서 취득된다.
상기 설명에 있어서는 마이크로 미러 열(38a)의 노광점 데이터를 취득할 경우에 대하여 설명했지만, 다른 마이크로 미러 열에 대해서도 동일한 방식으로 마이크로 미러 열에 대한 노광점 데이터를 취득하도록 하면 좋다.
각 노광 타이밍에 있어서의 각 마이크로 미러 열의 노광점 데이터 열을 합침으로써 각 노광 타이밍에 있어서의 DMD(36)의 프레임 데이터가 취득된다. 상기 프레임 데이터에 의거하여 노광을 행하는 작용은 상기 제 1 실시형태와 마찬가지 방식으로 이루어진다.
상기 설명에 있어서는 DMD(36)를, 도 29에 도시된 바와 같은 소정 마이크로 미러 열로 분할하도록 했지만, 이 분할의 방법은 도 29에 도시된 것에 한정되지 않고, 다른 분할 방법을 이용할 수 있다. 예컨대, DMD(36)를 마이크로 미러의 행단위로 분할하도록 해도 좋다. 또한, DMD(36)를 삼각형 영역마다 복수의 그룹으로 분할하고, 각 그룹에 대하여 템플릿을 작성하도록 해도 좋다. 이 경우, 삼각형 영역의 예컨대 정점의 마이크로 미러에 대응하는 기판상의 노광점 위치를 기준으로 하여 영역내의 각 마이크로 미러의 노광점 위치를 상정함으로써 템플릿을 작성할 수 있다.
또한, 도 29에 도시된 마이크로 미러 열을 더욱 분할하고, 이 분할 마이크로 미러에 대응시켜서 복수의 분할 기준 벡터를 설정하고, 이 분할 기준 벡터에 대하여 상기 방식으로 트레이스 데이터를 취득하고, 템플릿 데이터를 작성해도 좋다. 그리고, 상기 설명에 있어서는 측정된 노광점 열의 일단의 노광점과 노광점 열의 타단의 노광점을 직선으로 연결하는 검출 벡터를 취득하도록 했지만, 노광점 열의 일단의 노광점과 타단의 노광점의 사이 부분을, 도 32에 도시된 바와 같이, 파선 검출 벡터(V6)에서 근사시킨다. 이 경우, 이 파선 검출 벡터(V6)의 각 선분 벡터(V61, V62)에 대응하는 트레이스 데이터를 각각 템플릿 데이터로부터 판독하고, 서로 연결시켜서 마이크로 미러 열에 대응하는 노광점 데이터를 취득하도록 해도 좋다. 상기 방식으로 노광점 데이터를 취득하는 경우에는 마이크로 미러 열의 분할 방법과 검출 벡터의 파선에서의 근사가 대응하는 관계일 필요가 있다. 상기 방식으로 노광점 데이터를 취득함으로써 DMD(36)의 변형을 보정할 수 있다.
또한, 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 마이크로 미러의 노광점 위치와 기준 마크(12a)의 검출 위치의 상대적인 위치 관계에 의거하여 소망하는 템플릿을 선택하도록 해도 좋다.
상기 실시형태에서는 공간 광 변조 소자로서 DMD를 포함하는 노광 장치에 대하여 설명했지만 이러한 반사형 공간 광 변조 소자의 이외에 투과형 공간 광 변조 소자를 사용할 수도 있다.
상기 실시형태에서는 소위 플랫 베드 타입(flat bed type)의 노광 장치를 예로 들었지만, 감광 재료가 권회된 드럼을 제공한 소위 아웃터 드럼 타입(outer drum type)의 노광 장치에 본 발명을 적용할 수 있다.
본 발명의 상기 실시형태에 의해 노광되는 기판(12)은 프린트 배선 기판뿐만 아니라, 예컨대, 플랫 패널 디스플레이용 기판이어도 좋다. 기판(12)의 형상은 시트(sheet) 형상, 연속된 길이 형상(예컨대, 플렉서블 기판)이어도 좋다.
또한, 본 발명에 있어서의 묘화 방법 및 장치는 잉크젯 방식 등의 프린터에 의한 묘화에도 적용할 수 있다. 예컨대, 잉크의 토출에 의한 묘화점을 본 발명과 마찬가지 방식으로 형성할 수 있다. 즉, 본 발명에 있어서의 묘화점 형성 영역을 잉크젯 방식 프린터의 각 노즐로부터 토출된 잉크가 부착되는 영역으로서 간주할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서의 묘화 궤적 정보는 실제의 기판상에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적을 이용한 묘화 궤적 정보로 해도 좋고, 실제의 기판상에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적을 근사한 것을 묘화 궤적 정보로 해도 좋고, 실제의 기판상에 있어서의 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적을 예측한 것을 묘화 궤적 정보로 해도 좋다.
도 8에 있어서, 트레이스 데이터 번호와 링크될 정보로서, 변동량(Δx 및 Δy) 대신 샘플링 피치(pitch_x 및 pitch_y)를 사용할 수 있다.
템플릿을 제작할 화상 패턴은 반복된 패턴에 한정되지 않고, 이산적으로 반복적으로 나타나는 화상이 될 수 있다.
또한, 템플릿을 제작할 화상 패턴은 디지털적으로 서로 일치된 패턴에 한정되지 않고, 실질상 동일한 것과 근사할 수 있는 패턴이어도 좋다.
또한, 템플릿을 제작할 화상 패턴은 복수 종류의 화상 패턴이 반복적으로 나타나는 것이어도 좋다. 이 경우, 화상의 종류마다 템플릿을 작성하도록 하거나 화상 패턴의 배열 방법에 규칙성이 있을 경우에는 각 종류의 배열마다 템플릿을 제작해도 좋다.
또한, 본 발명에 의해 노광될 부재는 LSI가 될 수 있다. 이 경우, 메모리셀 등의 동일 패턴이 템플릿으로 제작될 수 있다.
또한, 템플릿을 작성하는 장치와 템플릿을 판독하는 장치를 개별적으로 구성하도록 해도 좋다.
또한, 템플릿은 하나씩 또는 복수로 압축되어 있어도 좋다. 이 경우, 묘화에 사용해야 할 템플릿이 선택되면, 템플릿이 압축 해제되어 노광 헤드로 전송된다.

Claims (40)

  1. 묘화점 형성 영역에 의해 각각 형성된 묘화점에 의해 기판상에 화상을 묘화하는데 이용되는 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 방법으로서:
    묘화면상에 묘화점이 형성될 때의 상기 묘화점 형성 영역과 상기 묘화면의 실제 상대 위치에 의거하여 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하는데 이용될 수 있는 조건을 취득하는 단계; 및
    복수의 가상 조건에 대응하고, 상기 취득된 조건에 의해 검색될 수 있는 복수의 가상 묘화 데이터로부터 상기 취득된 조건에 의거하여 상기 화상 데이터를 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 취득된 조건에 대응하는 가상 조건이 없는 경우에 상기 묘화 데이터를 취득하기 위해 취득된 상기 조건에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  3. 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판상에 순차로 형성하여 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 방법으로서: 미리 설정된 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 가상적인 묘화 궤적의 정보이며, 서로 번호가 다른 가상 묘화 데이터 궤적 정보와 상기 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 미리 설정된 상기 묘화점 형성 영역의 상기 가상 묘화 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 단계; 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 가상 묘화 데이터를 상기 원화상 데이터로부터 취득하는 단계; 상기 취득된 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 단계; 상기 화상의 묘화시의 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 묘화점 형성 영역의 가상 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고, 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 묘화점 형성 영역의 가상 궤적 정보 중 하나를 상기 설정된 대응 관계에 의거하여 상기 기억된 가상 묘화 데이터 중에서 특정하는 단계; 및 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 미리 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데 이터 궤적 정보 중에서 상기 취득된 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 기판상의 소정 위치에 제공된 복수의 기준 마크를 검출하여 상기 기준 마크의 위치를 나타내는 검출 위치 정보를 취득하고, 상기 취득된 검출 위치 정보에 의거하여 상기 묘화점 형성 영역의 궤적 정보를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 묘화점 데이터 궤적을 특정하기 위한 수치를 소정의 양자화 피치로 양자화하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터가 기억된 기억 영역의 어드레스를 링크시킨 어드레스 대응 관계를 미리 설정하고,
    상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고,
    상기 취득된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 어드레스를 상기 어드레스 대응 관계에 의거하여 특정하고,
    상기 특정된 어드레스에 미리 기억된 상기 가상 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  8. 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 궤적 정보로서 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보와 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화 데이터의 범위의 정보를 미리 설정하고,
    상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 데이터 궤적 정보를 취득하고,
    상기 취득된 가상 묘화 데이터 궤적 정보에 있어서의 상기 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보에 의거하여 상기 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 특정하고,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 범위에 의거하여 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 특정된 가상 묘화 데이터의 범위를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  9. 제 3 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적을 소정의 피치로 분할하고, 상기 분할된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  10. 제 3 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 묘화점 데이터 궤적을 소정의 피치로 분할하고, 상기 분할된 부분 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  11. 제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 원화상 데이터는 부분 원화상 데이터가 상기 상대적 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 구비하고,
    상기 부분 화상 데이터와 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적의 일부인 부분 가상 묘화점 데이터 궤적을 링크시켜서 상기 복수의 부분 가상 묘화점 데이터 궤적에 대응하는 부분 가상 묘화 데이터를 상기 부분 화상 데이터로부터 취득하고,
    상기 취득된 부분 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 상기 부분 가상 묘화 데이터 궤적의 정보와 상기 부분 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고,
    상기 부분 묘화점 데이터 궤적을 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적에 링크시켜서 복수의 부분 묘화점 데이터로 분할하여 부분 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하고,
    상기 취득된 부분 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 특정하고,
    상기 특정된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 부분 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고,
    상기 특정된 부분 가상 묘화 데이터를 서로 연결시켜서 상기 묘화점 데이터 궤적에 대응하는 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  12. 제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 원화상 데이터는 부분 원화상 데이터가 상기 상대적 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 구비하고,
    상기 원화상 데이터로부터 상기 반복 화상 데이터부를 추출하고,
    상기 추출된 반복 화상 데이터부에 대해서만 상기 가상 묘화 데이터를 이용하여 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 묘화점 데이터 궤적은 상기 반복 화상 데이터부와 이 반복 화상 데이터부 이외의 원화상 데이터에 위치하고,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 예외 처리 정보와 상기 묘화점 데이터에 있어서의 상기 반복 화상 데이터의 범위를 지정하는 정보를 포함시키고,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 예외 처리 정보와 상기 반복 화상 데이터를 지정하는 정보에 의거하여 상기 지정된 범위의 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  14. 제 3 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    서로 다른 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터는 모두 같고, 상기 가상 묘화 데이터를 공통화하여 기억하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  15. 제 3 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적에 피치 성분이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  16. 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 소정의 묘화 타이밍으로 상기 기판상에 형성하여 화상을 기판상에 묘화할 때 에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 방법으로서: 미리 설정된 상기 묘화 타이밍에서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 기판상에 있어서의 가상적인 묘화 위치 정보인 서로 다른 복수의 가상 묘화 위치 정보와 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 가상 묘화 위치 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 위치 정보를 취득하는 단계; 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 가상 묘화점 데이터 위치에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 원화상 데이터로부터 취득하는 단계; 상기 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 미리 기억함과 아울러 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 단계; 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화 타이밍에서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 위치의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 가상 묘화 위치 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 기판에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 위치 정보에 대응하는 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 정보를 취득하는 단계; 상기 취득된 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하는 단계; 및 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 기억된 가상 묘화점 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 위치 정보 중에서 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  18. 제 1 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 묘화점 형성 영역이 존재하고, 상기 묘화 데이터는 상기 각 묘화점 형성 영역마다 취득되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  19. 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 묘화점 형성 영역을 공간 광 변조 소자에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 방법.
  20. 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 기재된 묘화 데이터 취득 방법을 이용하여 묘화 데이터를 취득하고, 상기 취득된 묘화 데이터에 의거하여 상기 기판상에 화상을 묘화하는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
  21. 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역에 의해 기판상에 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 장치로서:
    상기 기판상의 묘화면과 상기 묘화점 형성 영역의 미리 설정된 위치 관계에 의거하여 상기 화상을 나타내는 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하기 위한 조건으로서, 서로 다른 상기 묘화면과 상기 묘화점 형성 영역의 위치 관계에 의거한 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건하에 취득된 복수의 가상 묘화 데이터를 미리 기억하는 가상 묘화 데이터 기억부;
    상기 가상 묘화 데이터 취득 조건과 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 대응 관계 설정부;
    상기 화상을 상기 기판상에 묘화하는 경우에 상기 기판상의 묘화면과 상기 묘화점 형성 영역의 실제 위치 관계에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 상기 묘화 데이터를 취득하기 위한 묘화 데이터 취득 조건을 취득하는 묘화 데이터 취득 조건 취득부;
    상기 묘화 데이터 취득 조건 취득부에 의해 취득된 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터 취득 조건을 취득하는 가상 묘화 데이터 취득 조건 취득부; 및
    상기 가상 묘화 데이터 취득 조건 취득부에 의해 취득된 가상 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 가상 묘화 데이터를 상기 설정된 대응 관계에 의거하여 상기 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 묘화 데이터 취득부를 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 묘화 데이터 취득부는 상기 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화 데이터 취득 조건 중에서 상기 묘화 데이터 취득 조건에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터 취득 조건이 없을 경우에는 상기 묘화 데이터 취득 조건에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  23. 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판상에 순차로 형성하여 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 장치로서: 미리 설정된 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 가상적인 묘화 궤적이며, 서로 번호가 다른 가상 묘화 데이터 궤적 정보와 상기 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 미리 설정된 묘화점 형성 영역의 상기 가상 묘화 궤적에 대응하는 가상 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부; 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 취득된 가상 묘화 데이터를 미리 기억하는 가상 묘화 데이터 기억부; 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 대응 관계 설정부; 상기 화상의 묘화시의 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 궤적의 정보를 취득하는 묘화 궤적 정보 취득부; 상기 묘화 궤적 정보 취득부에 의해 취득된 묘화점 형성 영역의 궤적 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 궤적 정보에 대응하는 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하는 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부; 상기 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부에 의해 취득된 가상 묘화점 형성 영역의 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 특정하는 가상 묘화점 데이터 궤적 특정부; 및 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 특정부에 의해 특정된 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화점 형성 영역의 궤적 정보 중 하나를 상기 설정된 대응 관계에 의거하여 상기 기억된 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 묘화 데이터 취득부를 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 묘화 데이터 취득부는 상기 기억된 가상 묘화 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 중에서 상기 취득된 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화 데이터를 취득할 수 있는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  25. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 기판상의 소정 위치에 제공된 복수의 기준 마크를 검출하는 위치 정보 검출 수단을 더욱 구비하여 상기 묘화 궤적 정보 취득부가 상기 취득된 검출 위치 정보에 의거하여 상기 묘화점 형성 영역의 궤적을 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  26. 제 23 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 묘화점 데이터 궤적을 특정하기 위한 수치는 소정의 양자화 피치로 양자화되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  27. 제 23 항 내지 제 26 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보와 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터가 기억된 기억 영역의 어드레스를 링크시킨 어드레스 대응 관계를 미리 설정하는 어드레스 대응 관계 설정부를 더욱 구비하고,
    상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 어드레스를 상기 어드레스 대응 관계에 의거하여 특정하고, 상기 특정된 어드레스에 미리 기억된 상기 가상 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  28. 제 23 항 내지 제 27 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 궤적 정보는 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보와 상기 가상 묘화점 궤적 정보에 대응하는 상기 묘화 데이터의 범위를 나타내는 정보를 구비하고,
    상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 특정부에 의해 특정된 상기 가상 묘화 데이터 궤적에 있어서의 상기 가상 묘화 데이터를 나타내는 정보에 의거하여 상기 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터를 특정하고, 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 범위에 의거하여 상기 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 특정된 가상 묘화 데이터의 범위를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  29. 제 23 항 내지 제 28 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적은 소정의 피치로 분할되고, 상기 분할된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  30. 제 23 항 내지 제 29 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 묘화점 데이터 궤적은 소정의 피치로 분할되고, 상기 분할된 부분 묘화점 데이터 궤적이 직선, 곡선, 또는 파선으로 근사되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  31. 제 23 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 원화상 데이터는 부분 원화상 데이터가 상기 상대 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 구비하고,
    상기 가상 묘화 데이터 기억부는 복수의 부분 가상 묘화 데이터 궤적에 대응하는 부분 가상 묘화 데이터로부터 취득된 상기 부분 가상 묘화 데이터를 미리 기억하고,
    상기 대응 관계 설정부는 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적의 정보와 상기 부분 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하고,
    상기 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부는 상기 부분 묘화점 데이터 궤적을 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적에 링크시켜서 복수의 부분 묘화점 데이터를 분할하는 부분 묘화점 데이터 궤적의 정보를 취득하고,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 특정부는 상기 부분 묘화점 데이터 궤적정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보를 특정하고,
    상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 특정부에 의해 특정된 부분 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 상기 부분 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 부분 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 상기 특정된 부분 가상 묘화 데이터를 서로 연결시켜서 상기 묘화점 데이터 궤적에 대응하는 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  32. 제 23 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 원화상 데이터는 부분 원화상 데이터가 상기 상대 이동 방향으로 반복되는 반복 화상 데이터부를 구비하고, 상기 원화상 데이터로부터 상기 반복 화상 데이터부를 추출하는 반복 화상 데이터부 추출부를 더욱 구비하고, 상기 묘화 데이터 기억부는 상기 반복 화상 데이터부의 화상 데이터상에 있어서의 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 의해 취득된 상기 복수의 묘화 데이터를 미리 기억하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 묘화점 데이터 궤적이 상기 반복 화상 데이터부와 상기 반복 화상 데이터부 이외의 상기 원화상 데이터에 위치할 경우에는,
    상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 예외 처리 정보와 상기 반복 화상 데이터의 범위를 지정하는 정보를 포함시키고,
    상기 묘화 데이터 취득부는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 있어서의 예외 처리 정보와 상기 반복 화상 데이터부를 지정하는 정보에 의거하여 상기 지정된 범위에 있어서의 상기 묘화 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  34. 제 23 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가상 묘화 데이터 기억부는 서로 다른 상기 가상 묘화점 데이터 궤적 정보에 대응하는 가상 묘화 데이터가 같을 경우에는 상기 가상 묘화 데이터를 공통화하여 기억하는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  35. 제 23 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 묘화점 데이터 궤적 및/또는 상기 가상 묘화점 데이터 궤적에 피치 성분이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  36. 묘화 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 묘화점 형성 영역을 기판에 대하여 상대적으로 이동시킴과 아울러 상기 묘화점 형성 영역의 이동에 따라 상기 묘화점을 소정의 타이밍으로 상기 기판상에 형성하여 화상을 묘화할 때에 이용되는 상기 묘화 데이터를 취득하는 묘화 데이터 취득 장치로서: 미리 설정된 상기 타이밍에서의 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 가상적인 묘화 위치의 정보인 서로 다른 복수의 가상 묘화 위치 정보와 화상을 나타내는 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 원화상 데이터상에 있어서의 상기 가상 묘화 위치 정보에 대응하는 가상 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하는 가상 묘화점 데이터 위치 정보 취득부; 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터로부터 취득된 가상 묘화 데이터를 미리 기억하는 가상 묘화 데이터 기억부; 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보와 상기 가상 묘화 데이터의 대응 관계를 미리 설정하는 대 응 관계 설정부; 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화 타이밍에서의 상기 묘화점 형성 영역의 묘화 위치의 정보를 취득하는 묘화 위치 정보 취득부; 상기 묘화점 데이터 위치 정보 취득부에 의해 취득된 묘화 위치 정보와 상기 원화상 데이터를 링크시켜서 상기 기판상에 있어서의 상기 묘화점 형성 영역의 상기 묘화 위치 정보에 대응하는 묘화점 데이터 위치의 정보를 취득하는 묘화점 데이터 위치 정보 취득부; 상기 묘화점 데이터 위치 정보 취득부에 의해 취득된 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 정보를 특정하는 가상 묘화점 데이터 특정부; 및 상기 가상 묘화점 데이터 특정부에 의해 특정된 가상 묘화점 데이터 정보에 대응하는 상기 가상 묘화 데이터를 상기 대응 관계에 의거하여 상기 미리 기억된 복수의 가상 묘화 데이터 중에서 특정하고, 이 특정된 가상 묘화 데이터를 상기 묘화 데이터로서 취득하는 묘화 데이터 취득부를 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  37. 제 36 항에 있어서,
    상기 묘화점 취득부는 상기 기억된 가상 묘화점 데이터에 대응하는 상기 복수의 가상 묘화점 데이터 위치 정보 중에서 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 대응하는 상기 가상 묘화점 데이터 위치 정보가 없을 경우에는 상기 묘화점 데이터 위치 정보에 의거하여 상기 원화상 데이터를 샘플링하여 상기 묘화점을 취득할 수 있는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  38. 제 21 항 내지 제 37 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 묘화점 형성 영역이 존재하고,
    상기 묘화 데이터는 상기 각 묘화점 형성 영역마다 취득되는 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  39. 제 21 항 내지 제 38 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 묘화점 형성 영역을 형성하는 공간 광 변조 소자를 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 데이터 취득 장치.
  40. 제 21 항 내지 제 39 항 중 어느 한 항에 기재된 묘화 데이터 취득 장치와, 상기 묘화 데이터 취득 장치에 의해 취득된 묘화 데이터에 의거하여 상기 기판상에 화상을 묘화하는 묘화 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
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