JP6109692B2 - データ補正方法、データ変換方法、データ補正装置、データ変換装置、描画システムおよびプログラム - Google Patents
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Description
3 基板保持部
7 データ変換装置
9 基板
25 主走査機構
61 光変調素子制御部
72 データ補正装置
73 ランレングス生成部
81 図形要素
81a 補正済み図形要素
82 アライメントマーク
83 端点
84 補助点
100 描画システム
461 光変調素子
707 プログラム
721 記憶部
722 歪み取得部
723 単位距離決定部
724 補助点設定部
725 位置補正部
800 単位領域
801 走査線
810 配置領域
811 辺
813 第1点
814 第2点
815 第3点
d0 差分ベクトル
d1 第1歪みベクトル
d2 第2歪みベクトル
d3 第3歪みベクトル
d21 第1仮差分ベクトル
d32 第2仮差分ベクトル
dn 辺歪みベクトル
S11〜S16,S131,S132,S141〜S151 ステップ
Claims (10)
- 基板上にパターンを描画する描画装置にて利用される描画データの生成において、図形要素を含む領域を第1の方向を向く直線にて予め定められたアドレスピッチ毎に分割し、分割された各領域のランレングスの実質的な集合として前記図形要素を表すランレングスデータである要素出力データを生成する際に、前記図形要素に対応するベクトルデータである要素入力データを補正するデータ補正方法であって、
a)それぞれが直線である複数の辺にて囲まれた図形要素を表す要素入力データを準備する工程と、
b)前記基板上に設けられた複数の目印の基準位置からのずれ量に基づいて、前記基板上の前記図形要素が配置される配置領域の歪みを取得する工程と、
c)前記複数の目印の基準位置からのずれ量、および、前記アドレスピッチに基づいて、単位距離を決定する工程と、
d)前記図形要素の前記複数の辺のうち一の辺について、一方の端点を第1点とし、前記第1点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を第2点とし、前記第2点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を第3点とする工程と、
e)前記b)工程において取得された前記配置領域の歪みに基づいて、前記第1点における歪みを示す第1歪みベクトル、前記第2点における歪みを示す第2歪みベクトル、および、前記第3点における歪みを示す第3歪みベクトルを求める工程と、
f)前記第2歪みベクトルと前記第1歪みベクトルとの差である第1仮差分ベクトル、および、前記第3歪みベクトルと前記第2歪みベクトルとの差である第2仮差分ベクトルを求め、前記第2仮差分ベクトルと前記第1仮差分ベクトルとの差である差分ベクトルを求める工程と、
g)前記差分ベクトルの前記辺の法線方向成分である辺歪みベクトルを求める工程と、
h)前記辺歪みベクトルの前記第1の方向成分の長さである第1成分長さ、または、前記辺歪みベクトルの前記第1の方向に垂直な第2の方向成分の長さである第2成分長さが、前記アドレスピッチ以下にて予め定められた歪み閾値以上である場合、前記第2点を補助点として設定する工程と、
i)前記h)工程において、前記第1成分長さまたは前記第2成分長さが前記歪み閾値以上である場合、前記補助点、前記第3点、および、前記第3点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を新たに第1点、第2点および第3点として、前記第3点が前記辺上に存在する限り、前記e)工程ないし前記h)工程を繰り返し、前記第1成分長さおよび前記第2成分長さが前記歪み閾値よりも小さい場合、前記第3点および前記第3点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を新たに第2点および第3点として、前記第3点が前記辺上に存在する限り、前記e)工程ないし前記h)工程を繰り返す工程と、
j)前記複数の辺のそれぞれについて、前記d)工程ないし前記i)工程を行う工程と、
k)前記b)工程において取得された前記配置領域の歪みに基づいて、前記複数の辺上の端点および補助点の位置を補正する工程と、
を備えることを特徴とするデータ補正方法。 - 請求項1に記載のデータ補正方法であって、
前記c)工程が、
c1)前記複数の目印のうち2つの目印の各組み合わせについて、前記2つの目印に対応する2つの基準位置の間の距離をL1とし、一方の目印に対応する一方の基準位置から前記一方の目印へと向かう第1目印歪みベクトルと他方の目印に対応する他方の基準位置から前記他方の目印へと向かう第2目印歪みベクトルとの差分ベクトルの長さをL2とし、前記アドレスピッチをPとし、L1・P/L2を仮単位距離閾値として求める工程と、
c2)前記単位距離を、前記各組み合わせの仮単位距離閾値のうち最小の仮単位距離閾値以下の値に決定する工程と、
を備えることを特徴とするデータ補正方法。 - 請求項1または2に記載のデータ補正方法であって、
前記歪み閾値が前記アドレスピッチに等しいことを特徴とするデータ補正方法。 - 要素入力データを変換して要素出力データを生成するデータ変換方法であって、
前記要素入力データを、請求項1ないし3のいずれかに記載のデータ補正方法により補正して補正済みデータを生成する工程と、
前記補正済みデータが表す図形要素を含む領域を、前記第1の方向を向く直線にて前記アドレスピッチ毎に分割し、分割された各領域のランレングスの実質的な集合として前記図形要素を表すランレングスデータである要素出力データを生成する工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 基板上にパターンを描画する描画装置にて利用される描画データの生成において、図形要素を含む領域を第1の方向を向く直線にて予め定められたアドレスピッチ毎に分割し、分割された各領域のランレングスの実質的な集合として前記図形要素を表すランレングスデータである要素出力データを生成する際に、前記図形要素に対応するベクトルデータである要素入力データを補正するデータ補正装置であって、
それぞれが直線である複数の辺にて囲まれた図形要素を表す要素入力データを記憶する記憶部と、
前記基板上に設けられた複数の目印の基準位置からのずれ量に基づいて、前記基板上の前記図形要素が配置される配置領域の歪みを取得する歪み取得部と、
前記複数の目印の基準位置からのずれ量、および、前記アドレスピッチに基づいて、単位距離を決定する単位距離決定部と、
前記複数の辺のそれぞれに補助点を設定する補助点設定部と、
前記歪み取得部により取得された前記配置領域の歪みに基づいて、前記複数の辺上の端点および補助点の位置を補正する位置補正部と、
を備え、
前記補助点設定部による補助点の設定が、
a)前記図形要素の前記複数の辺のうち一の辺について、一方の端点を第1点とし、前記第1点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を第2点とし、前記第2点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を第3点とする工程と、
b)前記歪み取得部により取得された前記配置領域の歪みに基づいて、前記第1点における歪みを示す第1歪みベクトル、前記第2点における歪みを示す第2歪みベクトル、および、前記第3点における歪みを示す第3歪みベクトルを求める工程と、
c)前記第2歪みベクトルと前記第1歪みベクトルとの差である第1仮差分ベクトル、および、前記第3歪みベクトルと前記第2歪みベクトルとの差である第2仮差分ベクトルを求め、前記第2仮差分ベクトルと前記第1仮差分ベクトルとの差である差分ベクトルを求める工程と、
d)前記差分ベクトルの前記辺の法線方向成分である辺歪みベクトルを求める工程と、
e)前記辺歪みベクトルの前記第1の方向成分の長さである第1成分長さ、または、前記辺歪みベクトルの前記第1の方向に垂直な第2の方向成分の長さである第2成分長さが、前記アドレスピッチ以下にて予め定められた歪み閾値以上である場合、前記第2点を補助点として設定する工程と、
f)前記e)工程において、前記第1成分長さまたは前記第2成分長さが前記歪み閾値以上である場合、前記補助点、前記第3点、および、前記第3点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を新たに第1点、第2点および第3点として、前記第3点が前記辺上に存在する限り、前記b)工程ないし前記e)工程を繰り返し、前記第1成分長さおよび前記第2成分長さが前記歪み閾値よりも小さい場合、前記第3点および前記第3点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を新たに第2点および第3点として、前記第3点が前記辺上に存在する限り、前記b)工程ないし前記e)工程を繰り返す工程と、
g)前記複数の辺のそれぞれについて、前記a)工程ないし前記f)工程を行う工程と、
を備えることを特徴とするデータ補正装置。 - 請求項5に記載のデータ補正装置であって、
前記単位距離決定部による前記単位距離の決定が、
h)前記複数の目印のうち2つの目印の各組み合わせについて、前記2つの目印に対応する2つの基準位置の間の距離をL1とし、一方の目印に対応する一方の基準位置から前記一方の目印へと向かう第1目印歪みベクトルと他方の目印に対応する他方の基準位置から前記他方の目印へと向かう第2目印歪みベクトルとの差分ベクトルの長さをL2とし、前記アドレスピッチをPとし、L1・P/L2を仮単位距離閾値として求める工程と、
i)前記単位距離を、前記各組み合わせの仮単位距離閾値のうち最小の仮単位距離閾値以下の値に決定する工程と、
を備えることを特徴とするデータ補正装置。 - 請求項5または6に記載のデータ補正装置であって、
前記歪み閾値が前記アドレスピッチに等しいことを特徴とするデータ補正装置。 - 要素入力データを変換して要素出力データを生成するデータ変換装置であって、
前記要素入力データを補正して補正済みデータを生成する請求項5ないし7のいずれかに記載のデータ補正装置と、
前記補正済みデータが表す図形要素を含む領域を、前記第1の方向を向く直線にて前記アドレスピッチ毎に分割し、分割された各領域のランレングスの実質的な集合として前記図形要素を表すランレングスデータである要素出力データを生成するランレングス生成部と、
を備えることを特徴とするデータ変換装置。 - 基板上にパターンを描画する描画システムであって、
請求項8に記載のデータ変換装置と、
前記データ変換装置により生成された前記要素出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置と、
を備え、
前記描画装置が、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板に光を照射する光変調素子と、
前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第1の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、
前記要素出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部と、
を備えることを特徴とする描画システム。 - 基板上にパターンを描画する描画装置にて利用される描画データの生成において、図形要素を含む領域を第1の方向を向く直線にて予め定められたアドレスピッチ毎に分割し、分割された各領域のランレングスの実質的な集合として前記図形要素を表すランレングスデータである要素出力データを生成する際に、前記図形要素に対応するベクトルデータである要素入力データを補正するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)それぞれが直線である複数の辺にて囲まれた図形要素を表す要素入力データを準備する工程と、
b)前記基板上に設けられた複数の目印の基準位置からのずれ量に基づいて、前記基板上の前記図形要素が配置される配置領域の歪みを取得する工程と、
c)前記複数の目印の基準位置からのずれ量、および、前記アドレスピッチに基づいて、単位距離を決定する工程と、
d)前記図形要素の前記複数の辺のうち一の辺について、一方の端点を第1点とし、前記第1点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を第2点とし、前記第2点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を第3点とする工程と、
e)前記b)工程において取得された前記配置領域の歪みに基づいて、前記第1点における歪みを示す第1歪みベクトル、前記第2点における歪みを示す第2歪みベクトル、および、前記第3点における歪みを示す第3歪みベクトルを求める工程と、
f)前記第2歪みベクトルと前記第1歪みベクトルとの差である第1仮差分ベクトル、および、前記第3歪みベクトルと前記第2歪みベクトルとの差である第2仮差分ベクトルを求め、前記第2仮差分ベクトルと前記第1仮差分ベクトルとの差である差分ベクトルを求める工程と、
g)前記差分ベクトルの前記辺の法線方向成分である辺歪みベクトルを求める工程と、
h)前記辺歪みベクトルの前記第1の方向成分の長さである第1成分長さ、または、前記辺歪みベクトルの前記第1の方向に垂直な第2の方向成分の長さである第2成分長さが、前記アドレスピッチ以下にて予め定められた歪み閾値以上である場合、前記第2点を補助点として設定する工程と、
i)前記h)工程において、前記第1成分長さまたは前記第2成分長さが前記歪み閾値以上である場合、前記補助点、前記第3点、および、前記第3点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を新たに第1点、第2点および第3点として、前記第3点が前記辺上に存在する限り、前記e)工程ないし前記h)工程を繰り返し、前記第1成分長さおよび前記第2成分長さが前記歪み閾値よりも小さい場合、前記第3点および前記第3点から前記辺が向く方向に前記単位距離だけ離れた点を新たに第2点および第3点として、前記第3点が前記辺上に存在する限り、前記e)工程ないし前記h)工程を繰り返す工程と、
j)前記複数の辺のそれぞれについて、前記d)工程ないし前記i)工程を行う工程と、
k)前記b)工程において取得された前記配置領域の歪みに基づいて、前記複数の辺上の端点および補助点の位置を補正する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
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