JP5009822B2 - データ変換方法、描画システムおよびプログラム - Google Patents
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Description
3 基板保持部
8 描画領域
7,7a,7b データ変換装置
9 基板
25 主走査機構
61 光変調素子制御部
80 単位領域
80a 注目単位領域
81〜86 セル
100,100a,100b 描画システム
461 光変調素子
700 バッファ
800 セル分割領域
811〜813,821,831,832 ポリゴン
7041 プログラム
S11〜S17,S21〜S27,S31〜S37,S41〜S48,S111,S161〜S166,S221 ステップ
Claims (9)
- それぞれが少なくとも1つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
a)コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第1の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
b)コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第1の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第1の方向に垂直な第2の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第2の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を備え、
前記b)工程が、
b1)一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
b2)前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
b3)各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
b4)前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第2の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b5)全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b6)前記注目単位領域の前記第2の方向に隣接する次の単位領域と重なる一または複数の図形要素群と前記注目図形要素群とが一致しない場合に、前記単位ランレングスリピート回数を0とする工程と、
b7)前記単位ランレングスリピート回数が1以上である場合に、前記次の単位領域の単位ランレングスデータとして前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記単位ランレングスリピート回数から1を減算するとともに前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記b6)工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が0である場合に、前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記b2)工程に戻る工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - それぞれが少なくとも1つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
a)コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第1の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
b)コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第1の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第1の方向に垂直な第2の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第2の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を備え、
前記b)工程が、
b1)一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
b2)前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
b3)各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
b4)前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第2の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b5)前記注目単位領域から前記第2の方向に向かって単位領域が新たな図形要素群と重なる直前までの単位領域の数をリピート停止回数として取得する工程と、
b6)全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数および前記リピート停止回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b7)前記単位ランレングスリピート回数が1以上である場合に、前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数だけ前記第2の方向に並ぶ単位領域の単位ランレングスデータとして前記単位ランレングスリピート回数分の前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記注目単位領域を前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数に1を加えた数だけ前記第2の方向に離れた単位領域に変更して前記b2)工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が0である場合に、前記注目単位領域を前記第2の方向に隣接する単位領域に変更して前記b2)工程に戻る工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1または2に記載のデータ変換方法であって、
前記a)工程と前記b)工程との間に、
c)コンピュータが、前記各図形要素群において前記第2の方向に連続する複数の同一ランレングスが存在する場合に、前記第2の方向における前記複数の同一ランレングスの開始位置である同一ランレングス開始位置と前記複数の同一ランレングスに含まれるランレングスの個数である同一ランレングス数とを求める工程をさらに備え、
前記b4)工程において、前記注目図形要素群の前記注目ランレングスが前記第2の方向に連続する複数の同一ランレングスに含まれる場合に、前記複数の同一ランレングスの同一ランレングス開始位置および同一ランレングス数に基づいて前記注目図形要素群の前記局所ランレングスリピート回数が求められることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1または2に記載のデータ変換方法であって、
前記複数の図形要素群に含まれる多階層図形要素群が、それぞれが少なくとも1つの図形要素により構成される複数の下位図形要素群により構成され、
前記b4)工程が、
b41)前記a)工程において前記多階層図要素域群が分割されて得られた複数の下位単位領域の1つを最初の注目下位単位領域として決定する工程と、
b42)前記注目下位単位領域と重なる一または複数の下位図形要素群を注目下位図形要素群として抽出する工程と、
b43)各注目下位図形要素群の前記注目下位単位領域と重なるランレングスを注目下位ランレングスとして取得する工程と、
b44)前記各注目下位図形要素群について、注目下位図形要素群の注目下位ランレングスと同一のランレングスが前記第2の方向に連続して存在する個数を前記注目下位図形要素群の下位局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b45)前記注目下位単位領域から前記第2の方向に向かって下位単位領域が新たな下位図形要素群と重なる直前までの下位単位領域の数を下位リピート停止回数として取得する工程と、
b46)全ての注目下位図形要素群に関して取得された下位局所ランレングスリピート回数および前記下位リピート停止回数の最小値を前記多階層図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - それぞれが少なくとも1つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
a)コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第1の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
b)コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第1の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第1の方向に垂直な第2の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第2の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を備え、
前記b)工程が、
b1)一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
b2)前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
b3)各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成する工程と、
b4)既に生成されてバッファに保存されている単位ランレングスデータである先行単位ランレングスデータが存在する場合に、前記b3)工程にて生成された単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータと前記先行単位ランレングスデータとを比較する工程と、
b5)前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと異なる、または、前記先行単位ランレングスデータが存在しない場合に、前記カレント単位ランレングスデータをフォーマット変換して前記出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータを出力するとともに前記バッファに保存し、さらに、前記カレント単位ランレングスデータを先行単位ランレングスデータとして前記バッファに保存し、前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと同じ場合に、前記バッファに保存されている変換済み単位ランレングスデータを出力する工程と、
b6)前記注目単位領域を前記第2の方向に隣接する次の単位領域に変更して前記b2)工程に戻る工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 基板上にパターンを描画する描画システムであって、
請求項1ないし5のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、
前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置と、
を備え、
前記描画装置が、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板に光を照射する光変調素子と、
前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第1の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、
前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部と、
を備えることを特徴とする描画システム。 - それぞれが少なくとも1つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第1の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
b)前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第1の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第1の方向に垂直な第2の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第2の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を実行させ、
前記b)工程が、
b1)一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
b2)前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
b3)各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
b4)前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第2の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b5)全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b6)前記注目単位領域の前記第2の方向に隣接する次の単位領域と重なる一または複数の図形要素群と前記注目図形要素群とが一致しない場合に、前記単位ランレングスリピート回数を0とする工程と、
b7)前記単位ランレングスリピート回数が1以上である場合に、前記次の単位領域の単位ランレングスデータとして前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記単位ランレングスリピート回数から1を減算するとともに前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記b6)工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が0である場合に、前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記b2)工程に戻る工程と、
を備えることを特徴とするプログラム。 - それぞれが少なくとも1つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第1の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
b)前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第1の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第1の方向に垂直な第2の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第2の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を実行させ、
前記b)工程が、
b1)一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
b2)前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
b3)各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
b4)前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第2の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b5)前記注目単位領域から前記第2の方向に向かって単位領域が新たな図形要素群と重なる直前までの単位領域の数をリピート停止回数として取得する工程と、
b6)全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数および前記リピート停止回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
b7)前記単位ランレングスリピート回数が1以上である場合に、前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数だけ前記第2の方向に並ぶ単位領域の単位ランレングスデータとして前記単位ランレングスリピート回数分の前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記注目単位領域を前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数に1を加えた数だけ前記第2の方向に離れた単位領域に変更して前記b2)工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が0である場合に、前記注目単位領域を前記第2の方向に隣接する単位領域に変更して前記b2)工程に戻る工程と、
を備えることを特徴とするプログラム。 - それぞれが少なくとも1つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第1の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
b)前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第1の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第1の方向に垂直な第2の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第2の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を実行させ、
前記b)工程が、
b1)一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
b2)前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
b3)各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成する工程と、
b4)既に生成されてバッファに保存されている単位ランレングスデータである先行単位ランレングスデータが存在する場合に、前記b3)工程にて生成された単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータと前記先行単位ランレングスデータとを比較する工程と、
b5)前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと異なる、または、前記先行単位ランレングスデータが存在しない場合に、前記カレント単位ランレングスデータをフォーマット変換して前記出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータを出力するとともに前記バッファに保存し、さらに、前記カレント単位ランレングスデータを先行単位ランレングスデータとして前記バッファに保存し、前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと同じ場合に、前記バッファに保存されている変換済み単位ランレングスデータを出力する工程と、
b6)前記注目単位領域を前記第2の方向に隣接する次の単位領域に変更して前記b2)工程に戻る工程と、
を備えることを特徴とするプログラム。
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