JP5225762B2 - 画像記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、光の照射により記録媒体に画像を記録する画像記録装置に関する。

半導体装置製造技術を利用して基板上に固定リボンと可撓リボンとを交互に形成し、可撓リボンを固定リボンに対して撓ませることにより回折格子の深さを変更することができる回折格子型の光変調素子が開発されている。このような回折格子では溝の深さを変更することにより正反射光や回折光の強度が変化するため、各種記録媒体に画像を記録する画像記録装置への利用が提案されている。

例えば、画像記録装置に複数の回折格子型の光変調素子を設けて光を照射し、固定リボンと可撓リボンとが基準面から同じ高さに位置する状態の光変調素子からの反射光（０次光）を記録媒体へと導き、可撓リボンが撓んだ状態の光変調素子からの非０次回折光（主として１次回折光）を遮光することにより、記録媒体への画像記録が実現される。

特許文献１では、このような画像記録装置において、光変調素子がＯＮ−ＯＦＦ間で遷移するタイミングを補正することにより、光変調素子がＯＦＦ状態からＯＮ状態へと遷移するときとＯＮ状態からＯＦＦ状態へと遷移するときの非対称性、感光材料毎の特性の相違、および、光変調素子毎の照射領域の走査方向の長さの相違や位置のずれに起因して生じる描画領域のずれを補正する技術が開示されている。
特開２００４−４５２５号公報

ところが、特許文献１の画像記録装置では、１画素に相当する時間内で、順次僅かな時間だけずれたクロック群から１つのクロックを選択することにより、当該クロックに対応する画素の画素値に従った駆動電圧が光変調素子に入力されるため、１画素に相当する時間を超えて遷移タイミングをシフトさせる（または、１画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせる）ことができない。

本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、記録媒体に画像を記録する際に、１画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせることが可能な画像記録装置を提供することを目的としている。

請求項１に記載の発明は、光の照射により記録媒体に画像を記録する画像記録装置であって、光変調素子を有する光変調器と、前記光変調器からの信号光により画像が記録される記録媒体を保持する保持部と、前記保持部を前記光変調器に対して相対的に移動して前記光変調素子からの光が照射される記録媒体上の照射位置を走査方向に連続的に移動する移動機構と、記録媒体への記録対象である対象画像において、前記走査方向に対応する列方向に複数の画素が並ぶ各画素列にて画素値が変化する２つの画素の間の位置である各変化点に関して、画素の描画ずれを補正するために前記光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量を求める演算部と、前記移動機構に同期しつつ、前記対象画像および前記シフト量に基づいて前記光変調器を制御する制御部とを備え、前記制御部が、記録媒体上の前記照射位置が、前記対象画像の前記各画素列における１以上の画素に相当する設定距離だけ前記走査方向に移動する毎にベースクロックを発生するとともに、１画素に相当する距離を所定数に等分割した距離だけ前記走査方向に移動する毎にディレイクロックを発生するクロック発生部と、カウント開始位置が前記設定距離だけ順にシフトしており、前記ベースクロックに基づいて、それぞれが前記設定距離のＫ倍のカウント区間（Ｋは２以上の整数）毎に前記ディレイクロックのカウントを開始するＫ個のカウンタと、前記Ｋ個のカウンタからそれぞれ入力されるカウント数が設定値以上となる際に、前記光変調素子からの出力光量の遷移を指示する信号を出力するＫ個のコンパレータと、前記各画素列において各カウンタの各カウント区間の最初の設定距離における始点から前記最初の設定距離に含まれる変化点までの距離と前記変化点に対するシフト量との和を前記始点からの前記ディレイクロックのカウント数に換算した設定値を、前記各カウンタに接続されたコンパレータに入力する設定値入力部とを備える。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の画像記録装置であって、前記光変調器が複数の光変調素子を有し、前記制御部が、前記複数の光変調素子のそれぞれに対して前記Ｋ個のカウンタ、前記Ｋ個のコンパレータおよび前記設定値入力部を有し、前記複数の光変調素子が、前記対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画を行う。

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の画像記録装置であって、前記演算部が、前記各変化点に対する前記シフト量が、１つの画素に対応する記録媒体上の領域の前記走査方向の幅に前記設定距離の（Ｋ−１）倍を加算したシフト上限距離を超える場合に、前記各変化点が前記列方向に移動するように前記対象画像の画素の画素値を変更するとともに、前記各変化点に対する前記シフト量を、前記シフト量から前記各変化点が移動した画素数に相当する距離を減算した値に修正して、前記シフト上限距離以下となる修正後のシフト量を取得する。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の画像記録装置であって、前記演算部において、前記各変化点に対して、前記２つの画素の画素値の組合せに基づいて修正前の前記シフト量が求められ、前記演算部が、複数通りの２つの画素値の組合せのそれぞれに対する変化点の移動量を示す画素加工テーブルを記憶する第１テーブル記憶部と、前記各画素列の各変化点における２つの画素値の組合せを用いて前記画素加工テーブルを参照することにより、前記各変化点の移動量を取得して前記各変化点を前記列方向に移動する画像変更部と、前記複数通りの２つの画素値の組合せのそれぞれに対する修正後のシフト量を示す修正シフト量テーブルを記憶する第２テーブル記憶部と、前記各画素列の前記各変化点における２つの画素値の組合せを用いて前記修正シフト量テーブルを参照することにより、前記各変化点に対する前記修正後のシフト量を取得するシフト量取得部とを備える。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の画像記録装置であって、前記光変調器が複数の光変調素子を有し、前記制御部が、前記複数の光変調素子のそれぞれに対して前記Ｋ個のカウンタ、前記Ｋ個のコンパレータおよび前記設定値入力部を有し、前記複数の光変調素子が、前記対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画を行い、前記複数の光変調素子にそれぞれ対応する複数の画素加工テーブルおよび複数の修正シフト量テーブルが前記第１テーブル記憶部および前記第２テーブル記憶部に記憶される。

請求項６に記載の発明は、光の照射により記録媒体に画像を記録する画像記録装置であって、光変調素子を有する光変調器と、前記光変調器からの信号光により画像が記録される記録媒体を保持する保持部と、前記保持部を前記光変調器に対して相対的に移動して前記光変調素子からの光が照射される記録媒体上の照射位置を走査方向に連続的に移動する移動機構と、記録媒体への記録対象である対象画像において、前記走査方向に対応する列方向に複数の画素が並ぶ各画素列にて画素値が変化する２つの画素の間の位置である各変化点に関して、画素の描画ずれを補正するために前記光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量を求める演算部と、前記移動機構に同期しつつ、前記対象画像および前記シフト量に基づいて前記光変調器を制御する制御部とを備え、前記制御部が、記録媒体上の前記照射位置が、前記対象画像の前記各画素列における１以上の画素に相当する設定距離だけ前記走査方向に移動する毎にベースクロックを発生するとともに、１画素に相当する距離を所定数に等分割した距離だけ前記走査方向に移動する毎にディレイクロックを発生するクロック発生部と、前記ベースクロックに基づいて、前記設定距離のＫ倍のカウント区間（Ｋは２以上の整数）毎に前記ディレイクロックのカウントを開始する１つのカウンタと、１ないしＫの番号にそれぞれに対応付けられるとともに、前記１つのカウンタから入力されるカウント数が設定値以上となる際に、前記光変調素子からの出力光量の遷移を指示する信号を出力するＫ個のコンパレータと、前記Ｋ個のコンパレータに対して前記番号に従って前記設定距離だけ順にシフトした開始位置から前記カウント区間に等しい長さの重複カウント区間が順次設定され、前記番号が１であるコンパレータの各重複カウント区間が前記１つのカウンタの前記カウント区間と重なっており、前記各画素列において各重複カウント区間の最初の設定距離における始点から前記最初の設定距離に含まれる変化点までの距離と前記変化点に対するシフト量との和を前記始点からの前記ディレイクロックのカウント数に換算したシフト換算値が求められ、前記各重複カウント区間に対応するコンパレータの番号から１を減じた値に前記設定距離に相当するカウント数を乗じた番号換算値を前記シフト換算値に加算した値が、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数を超えない場合に前記加算した値を設定値とし、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数を超える場合に、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数から前記番号換算値を減算した値を、前記シフト換算値から減算して得られる値を設定値として、前記各重複カウント区間に対応するコンパレータに入力する設定値入力部とを備える。

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の画像記録装置であって、前記光変調器が複数の光変調素子を有し、前記制御部が、前記複数の光変調素子のそれぞれに対して前記１つのカウンタ、前記Ｋ個のコンパレータおよび前記設定値入力部を有し、前記複数の光変調素子が、前記対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画を行う。

請求項８に記載の発明は、請求項２、５または７に記載の画像記録装置であって、前記複数の光変調素子のそれぞれが、帯状の固定反射面と可撓反射面とが交互に配列された回折格子型の光変調素子である。

本発明によれば、記録媒体に画像を記録する際に、１画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせることができる。

また、請求項２、５および７の発明では、画像を高速に記録することができ、請求項３ないし５の発明では、記録媒体に画像を記録する際に、シフト上限距離を超えて遷移位置をシフトさせることができ、請求項４の発明では、画素加工テーブルおよび修正シフト量テーブルを利用することにより、シフト上限距離を超える遷移位置のシフトを容易に実現することができる。

図１は本発明の第１の実施の形態に係る画像記録装置１の側面図であり、図２は画像記録装置１の平面図である。画像記録装置１は、液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）上の感光材料に光を照射して画像を記録する装置（パターン描画装置とも呼ばれる。）である。図１および図２に示すように、画像記録装置１は、（＋Ｚ）側の主面９１（以下、「上面９１」という。）上に感光材料の層が形成された基板９を保持する基板保持部３、基台１１上に設けられて基板保持部３をＺ方向に垂直なＸ方向およびＹ方向に移動する保持部移動機構２、基板保持部３および保持部移動機構２を跨ぐように基台１１に固定されるフレーム１２、並びに、フレーム１２に取り付けられて基板９上の感光材料に変調された光を照射する光照射部４を備える。また、画像記録装置１は、図１に示すように、保持部移動機構２や光照射部４等の各構成を制御する制御部６を備え、制御部６は、光照射部４に接続される変調器制御部６０を有する。変調器制御部６０には、各種演算を行うＣＰＵおよび各種情報を記憶するメモリを有する主演算部６２が設けられる。

基板保持部３は、基板９が載置されるステージ３１、ステージ３１を回転可能に支持する支持プレート３３、および、支持プレート３３上において、基板９の上面９１に垂直な回転軸３２１を中心としてステージ３１を回転するステージ回転機構３２を備える。

保持部移動機構２は、基板保持部３を図１および図２中のＸ方向（以下、「副走査方向」という。）に移動する副走査機構２３、副走査機構２３を介して支持プレート３３を支持するベースプレート２４、並びに、基板保持部３をベースプレート２４と共にＸ方向に垂直なＹ方向（以下、「主走査方向」という。）に連続的に移動する主走査機構２５を備える。画像記録装置１では、保持部移動機構２により、基板９の上面９１に平行な主走査方向および副走査方向に基板保持部３が移動される。

図１および図２に示すように、副走査機構２３は、支持プレート３３の下側（すなわち、（−Ｚ）側）において、ステージ３１の主面に平行、かつ、主走査方向に垂直な副走査方向に伸びるリニアモータ２３１、並びに、リニアモータ２３１の（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側において副走査方向に伸びる一対のリニアガイド２３２を備える。主走査機構２５は、ベースプレート２４の下側において、ステージ３１の主面に平行な主走査方向に伸びるリニアモータ２５１、リニアモータ２５１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側において主走査方向に伸びる一対のエアスライダ２５２、並びに、図示省略のリニアスケールを備える。

図２に示すように、光照射部４は、副走査方向に沿って等ピッチにて配列されてフレーム１２に取り付けられる複数（本実施の形態では、８つ）の光学ヘッド４１を備える。また、光照射部４は、図１に示すように、各光学ヘッド４１に接続される光源光学系４２、並びに、紫外光を出射するＵＶ光源４３および光源駆動部４４を備える。ＵＶ光源４３は固体レーザであり、光源駆動部４４が駆動されることにより、ＵＶ光源４３から例えば波長３５５ｎｍの紫外光が出射され、光源光学系４２を介して光学ヘッド４１へと導かれる。

各光学ヘッド４１は、ＵＶ光源４３からの光を下方に向けて出射する出射部４５、出射部４５からの光を反射して空間光変調器４６へと導く光学系４５１、光学系４５１を介して照射された出射部４５からの光を変調しつつ反射する空間光変調器４６、および、空間光変調器４６からの変調された光を基板９の上面９１に設けられた感光材料上へと導く光学系４７を備える。

図３は、空間光変調器４６を拡大して示す図である。図３に示すように、空間光変調器４６は、出射部４５を介して照射されたＵＶ光源４３からの光を基板９の上面９１へと導く回折格子型の複数の光変調素子４６１を備える。光変調素子４６１は半導体装置製造技術を利用して製造され、格子の深さを変更することができる回折格子となっている。光変調素子４６１には複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが交互に平行に配列形成され、複数の可撓リボン４６１ａは背後の基準面に対して個別に昇降移動可能とされ、複数の固定リボン４６１ｂは基準面に対して固定される。回折格子型の光変調素子としては、例えば、ＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ）（シリコン・ライト・マシーンズ（サニーベール、カリフォルニア）の登録商標）が知られている。

図４．Ａおよび図４．Ｂは、可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂに対して垂直な面における光変調素子４６１の断面を示す図である。図４．Ａに示すように可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが基準面４６１ｃに対して同じ高さに位置する（すなわち、可撓リボン４６１ａが撓まない）場合には、光変調素子４６１の表面は面一となり、入射光Ｌ１の反射光が０次光（正反射光）Ｌ２として導出される。一方、図４．Ｂに示すように可撓リボン４６１ａが固定リボン４６１ｂよりも基準面４６１ｃ側に撓んで可撓リボン４６１ａと固定リボン４６１ｂとの高さの差が所定の値とされる場合には、可撓リボン４６１ａが回折格子の溝の底面となり、１次回折光Ｌ３（さらには、高次回折光）が光変調素子４６１から導出され、０次光Ｌ２は消滅する。実際の光変調素子４６１では、可撓リボン４６１ａと固定リボン４６１ｂとの高さの差を複数通りに変更することにより０次光Ｌ２の強度が複数通りに変更され、回折格子を利用した多階調の光変調が行われる。

図１に示す光照射部４では、ＵＶ光源４３からの光が光源光学系４２により線状光（光束断面が線状の光）とされ、出射部４５を介して空間光変調器４６のライン状に配列された複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂ（図４．Ａおよび図４．Ｂ参照）上に照射される。光変調素子４６１では、隣接する各１本の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂを１つのリボン対とすると、３つ以上のリボン対が描画されるパターンの１つの画素に対応する。もちろん、光変調素子４６１が１つのリボン対とされ、１つのリボン対が１つの画素に対応していてもよい。

光変調素子４６１では、各空間光変調器４６に接続される変調器制御部６０からの信号に基づいてパターンの各画素に対応するリボン対の可撓リボン４６１ａがそれぞれ制御され、各画素に対応するリボン対が複数通りの出力光量（強度）の０次光を出射する複数の状態の間で遷移可能とされる。光変調素子４６１から出射される０次光は光学系４７へと導かれ、非０次回折光（主として１次回折光（（＋１）次回折光および（−１）次回折光））は光学系４７とは異なる方向へと導かれる。なお、迷光となることを防止するために１次回折光は図示を省略する遮光部により遮光される。

光変調素子４６１からの０次光は、光学系４７を介して基板９の上面９１へと導かれ、これにより、基板９の上面９１上においてＸ方向（すなわち、副走査方向）に並ぶ複数の照射位置のそれぞれに変調された光が照射される。以上のように、光変調素子４６１の各画素に対応するリボン対は多階調（基板９上に描画用の光が照射されない階調を含む。）にて基板９上に光を照射することが可能とされる。

図１および図２に示す画像記録装置１では、保持部移動機構２の主走査機構２５により主走査方向に移動される基板９に対し、光照射部４の光変調素子４６１から変調された光が照射される。換言すれば、主走査機構２５は、光変調素子４６１から基板９へと導かれた光の基板９上における照射領域の位置（すなわち、照射位置）を、基板９に対して相対的にかつ連続的に主走査方向へと移動する照射位置移動機構となっている。なお、画像記録装置１では、基板９を移動することなく、光学ヘッド４１が主走査方向に移動することにより基板９上の照射位置が主走査方向に移動されてもよい。画像記録装置１では、制御部６の変調器制御部６０により、光変調素子４６１からの光の変調が制御されることにより、基板９への記録対象である画像（以下、「対象画像」という。）を示すパターンが基板９上に記録される。

ここで、画像記録装置１における対象画像では、主走査方向に対応する列方向および副走査方向に対応する行方向に複数の画素が配列されており、画像記録（パターン描画）の際には、列方向に並ぶ複数の画素を画素列として、各光変調素子４６１により１つの画素列に対する描画が行われる。また、画素列において画素値が変化する２つの画素の間の位置が、光変調素子４６１から照射領域に照射される出力光量の遷移を示す変化点とされ、図１の主演算部６２では、各変化点に関して基板９上における画素の描画ずれを補正するために出力光量の遷移位置をシフトするシフト量が、当該変化点を挟む２つの画素の画素値の組合せに基づいて求められる。以下の説明では、対象画像が１ないし４の４値の画像であるものとするが、もちろん、５以上の階調レベルを有する画像、あるいは、２または３の階調レベルを有する画像であってもよい。

図５は変調器制御部６０の一部の構成を示す図であり、変調器制御部６０における各光変調素子４６１の駆動に係る要素（以下、「素子駆動要素６１」という。）の一部を示している。

図５の素子駆動要素６１は、第１レジスタ６１１１、ＦＩＦＯレジスタ６１１２、出力レジスタ６１１３、シフト部６１３およびＤ／Ａコンバータ６１２、並びに、Ｄ／Ａコンバータ６１２からの出力を光変調素子４６１の実際の駆動電圧（以下、「実駆動電圧」という。）へと変換する回路を有し、シフト部６１３はセレクタ６１６２、第１および第２コンパレータ６１４１，６１４２、第１および第２カウンタ６１５１，６１５２、タイミングコントローラ６１６１、並びに、第２、第４および第５レジスタ６１６３，６１６４，６１６５を有する。

変調器制御部６０はクロック発生部６０１をさらに備え、クロック発生部６０１には主走査機構２５のリニアスケールからの信号が入力される。そして、図６の上段に示すように、基板９上における各光変調素子４６１からの光の照射位置が一定の距離Ｗ（以下、「設定距離Ｗ」という。）だけ主走査方向（Ｙ方向）に移動する毎にクロック発生部６０１にてベースクロック８１３が発生し、図５に示す第１レジスタ６１１１、ＦＩＦＯレジスタ６１１２、並びに、シフト部６１３の第２レジスタ６１６３およびタイミングコントローラ６１６１に入力される。図５では、符号８１３を付す矢印にて第１レジスタ６１１１、ＦＩＦＯレジスタ６１１２、第２レジスタ６１６３およびタイミングコントローラ６１６１に順次入力されるベースクロックを示している（後述の駆動電圧データ８１１、シフトディレイ数データ８１２、ディレイクロック８１４、イーブンストアパルス８１５、イーブンリセットパルス８１６、オッドストアパルス８１７、オッドリセットパルス８１８、シフト済みタイミングパルス８１９、第２タイミングパルス８１９ａ、第１タイミングパルス８１９ｂおよびセレクト信号８２０、並びに、第３の実施の形態における図２１および図２２において同様）。

本実施の形態では、図６の下段に示すように、基板９上の照射位置が設定距離Ｗだけ主走査方向に移動する間に、画素列における１つの画素７１の描画が行われ、クロック発生部６０１では、図６の中段に示すように、１画素に相当する距離を所定数に等分割した距離（本実施の形態では、２００に等分割した距離であり、例えば、１０ナノメートル（ｎｍ））だけ基板９上の照射位置が主走査方向に移動する毎にディレイクロック８１４が発生し、第１および第２カウンタ６１５１，６１５２、セレクタ６１６２およびタイミングコントローラ６１６１に入力される。なお、主走査機構２５による基板９の主走査方向への移動速度はほぼ一定であるため、図６の上段および中段のそれぞれでは、横軸を時間と捉えることも可能である（後述の図７．Ａないし図７．Ｄ、図８、図１１、図１６ないし図１８、図２０、図２３．Ａないし図２３．Ｄ、並びに、図２６において同様）。

図７．Ａないし図７．Ｄは、素子駆動要素６１のタイミングチャートである。図７．Ａないし図７．Ｄは１つのタイミングチャートを上下左右に４分割したものであり、それぞれ左上、右上、左下、右下の部分を示す。実際には、図７．Ａの右端部を図７．Ｂの左端部にて重複して示し、図７．Ｃの右端部を図７．Ｄの左端部にて重複して示し、図７．Ｃおよび図７．Ｄにもベースクロックおよびディレイクロックを示している（後述の第３の実施の形態における図２３．Ａないし図２３．Ｄにおいて同様）。以下、図５、並びに、図７．Ａないし図７．Ｄを参照して、素子駆動要素６１の動作について詳細に説明する。

変調器制御部６０では、ベースクロック８１３が発生する毎に、実駆動電圧が時間とともに漸次変化して最終的に到達する目標となる電圧（以下、「目標駆動電圧」という。）を示す駆動電圧データ８１１の値が図５の素子駆動要素６１の第１レジスタ６１１１に出力される。例えば、図７．Ａの最上段において符号８１３ｃを付すベースクロックが発生する際には、画素値２に対応する駆動電圧データ８１１の値（以下、駆動電圧データ８１１の値８１１ｃと表現する。以下同様。）が第１レジスタ６１１１に入力され、ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロックに応答して入力されていた画素値０に対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｂが複数の画素値が記憶可能なＦＩＦＯレジスタ６１１２に出力される。図７．Ｃおよび図７．Ｄの下から２段目では、第１レジスタ６１１１が保持（記憶）する値を、「第１レジスタ出力値」として駆動電圧データ８１１の値に付す符号にて記しており、さらに、当該符号に括弧書きにて対応する画素値を付加している。図７．Ｃおよび図７．Ｄの上から３段目、および、後述の第３の実施の形態の図２３．Ａないし図２３．Ｄにおいて同様である。

後述するように、ベースクロック８１３ｃに応答して第１レジスタ６１１１に入力される駆動電圧データ８１１の値８１１ｃは、ベースクロック８１３ｃよりも後のベースクロック８１３に対応する描画にて利用される。

また、変調器制御部６０では、シフト部６１３の第２レジスタ６１６３には光変調素子４６１の動作位置（動作タイミング）を調整するために利用されるシフトディレイ数データ８１２の値がベースクロック８１３毎に出力される。本実施の形態では、シフトディレイ数データ８１２の値は、シフト量をディレイクロック８１４のカウント数に換算したものとされる。具体的には、ベースクロック８１３ｃが発生する際には、カウント数１５５を示すシフトディレイ数データ８１２の値（ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロックにおける駆動電圧データ８１１の値８１１ｂに対応するものであり、以下、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂと表現する。以下同様。）が第２レジスタ６１６３に出力される。このとき、タイミングコントローラ６１６１では、ベースクロック８１３ｃの発生により、図７．Ａの上から６段目に示すようにイーブンストアパルス８１５が生成されて第４レジスタ６１６４に入力され、これにより、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂが第２レジスタ６１６３にて記憶されるとともに、ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロックの際に第２レジスタ６１６３に入力されていたカウント数１９３を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ａが第４レジスタ６１６４に入力される。

図７．Ｃおよび図７．Ｄの下から３段目および４段目では、第２レジスタ６１６３および第４レジスタ６１６４が保持する値を、「第２レジスタ出力値」および「第４レジスタ出力値」としてシフトディレイ数データ８１２の値に付す符号にて記しており、さらに、当該符号に括弧書きにて当該値が示すカウント数を付加している。図７．Ｃおよび図７．Ｄの下から５段目および６段目、並びに、後述の第３の実施の形態の図２３．Ａないし図２３．Ｄにおいて同様である。

なお、変調器制御部６０では、実際には、互いに対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｂ（ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロックにて第１レジスタ６１１１に入力される値）、および、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂは同時に生成されるが、内部のレジスタによりシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂを駆動電圧データ８１１の値８１１ｂに対して遅延させて素子駆動要素６１に入力している。

タイミングコントローラ６１６１では、図７．Ａの上から６段目に示すように、ベースクロック８１３ｃに応答してイーブンリセットパルス８１６がイーブンストアパルス８１５と同時に生成されて第２カウンタ６１５２に入力される。第２カウンタ６１５２では、ディレイクロック８１４がカウントされており、イーブンリセットパルス８１６により第２カウンタ６１５２におけるカウント数が０に戻される（リセットされる）。また、タイミングコントローラ６１６１からＦＩＦＯレジスタ６１１２に第１コンパレータ６１４１の選択を示すセレクト信号８２０も出力される。図７．Ｃおよび図７．Ｄの最下段では、タイミングコントローラ６１６１からＦＩＦＯレジスタ６１１２に出力されるセレクト信号を「オッド」または「イーブン」と記しており、「オッド」は第１コンパレータ６１４１の選択を示し、「イーブン」は第２コンパレータ６１４２の選択を示している（後述の第３の実施の形態の図２３．Ａないし図２３．Ｄにおいて同様）。

第２コンパレータ６１４２では、第４レジスタ６１６４が保持する値（すなわち、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ａが示すカウント数１９３）と第２カウンタ６１５２からのカウント数とが比較され、第２カウンタ６１５２からのカウント数が１９３となると、図７．Ａの下から２段目に示すように、第２コンパレータ６１４２からセレクタ６１６２にベースクロック８１３ｃに対して遅延したタイミングパルス（以下、「第２タイミングパルス」という。）８１９ａが出力される。

このとき、セレクタ６１６２にはＦＩＦＯレジスタ６１１２から第２コンパレータ６１４２の選択を示すセレクト信号８２０が出力されており（図７．Ｃの上から３段目では、第２コンパレータ６１４２の選択を示すセレクト信号を「イーブン」と記している。）、第２タイミングパルス８１９ａの直後のディレイクロック８１４に同期してシフト済みタイミングパルス８１９がＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。これにより、ＦＩＦＯレジスタ６１１２から、既に入力されている駆動電圧データ８１１の値８１１ａが出力されて出力レジスタ６１１３にて保持される。

既述のように、駆動電圧データ８１１の値は光変調素子４６１を１回駆動する際の目標駆動電圧に対応しており、出力レジスタ６１１３の出力はＤ／Ａコンバータ６１２を経由して電流源５１に入力されて電流へとさらに変換される。電流源５１は一端が抵抗５２を介して高電位Ｖｃｃ側に接続され、他端が接地される。また、電流源５１の両端は、接続パッド５３を介して光変調素子４６１の可撓リボン４６１ａおよび基準面４６１ｃに接続される。したがって、駆動電圧データ８１１の値がＤ／Ａコンバータ６１２および電流源５１を介して電流へと変換されると、抵抗５２による電圧降下により両接続パッド５３間の実駆動電圧へと変換される。なお、接続パッド５３間は浮遊容量を有するため、接続パッド５３間の実際の駆動電圧（実駆動電圧）は接続パッド５３間の時定数に従った変化を行い、時間と共に目標駆動電圧へと向かう。

このようにして、素子駆動要素６１では、各光変調素子４６１の照射位置が、ベースクロック８１３ｃが発生した位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ａに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ａに従った当該光変調素子４６１からの出力光量の遷移が行われる。図７．Ａおよび図７．Ｂの最下段では、Ｄ／Ａコンバータ６１２の出力信号を示しており、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ａと同符号を付す矢印にてベースクロック８１３ｃの発生位置からの距離を示している。また、図７．Ａおよび図７．Ｂの最下段では縦方向に出力光量を示しており、駆動電圧データ８１１の値８１１ａと同符号を付す点にてその大きさを示している（以下同様）。

また、ＦＩＦＯレジスタ６１１２では、シフト済みタイミングパルス８１９に応答して第１コンパレータ６１４１の選択を示すセレクト信号８２０がセレクタ６１６２に出力される。図７．Ｃの上から３段目では、第１コンパレータ６１４１の選択を示すセレクト信号を「オッド」と記している。

続いて、基板９が直前のベースクロック８１３ｃの位置から設定距離だけ移動して次のベースクロック８１３ｄが発生する際には、第１レジスタ６１１１では画素値０に対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｄが入力されるとともに（図７．Ｃの下から２段目参照）、ＦＩＦＯレジスタ６１１２に駆動電圧データ８１１の値８１１ｃが入力される。

また、ベースクロック８１３ｄの発生により、図７．Ａの上から５段目に示すようにタイミングコントローラ６１６１にてオッドストアパルス８１７が生成されて第５レジスタ６１６５に入力される。このとき、第２レジスタ６１６３にはカウント数２０１を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが出力されており、ベースクロック８１３ｄおよびオッドストアパルス８１７が第２レジスタ６１６３および第５レジスタ６１６５にそれぞれ入力されることにより、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが第２レジスタ６１６３にて記憶されるとともに、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂが第５レジスタ６１６５から出力される（図７．Ｃの下から３段目および５段目参照）。

さらに、タイミングコントローラ６１６１では、図７．Ａの上から５段目に示すように、ベースクロック８１３ｄに応答してオッドリセットパルス８１８がオッドストアパルス８１７と同時に生成されて第１カウンタ６１５１に入力される。第１カウンタ６１５１では、ディレイクロック８１４がカウントされており、オッドリセットパルス８１８により第１カウンタ６１５１におけるカウント数が０に戻される（リセットされる）。また、タイミングコントローラ６１６１からＦＩＦＯレジスタ６１１２に第２コンパレータ６１４２の選択を示すセレクト信号８２０も出力される。

第１コンパレータ６１４１では、第５レジスタ６１６５が保持する値（すなわち、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂが示すカウント数１５５）と第１カウンタ６１５１からのカウント数とが比較され、第１カウンタ６１５１からのカウント数が１５５となると、図７．Ａの下から３段目に示すように、第１コンパレータ６１４１からセレクタ６１６２にベースクロック８１３ｄに対して遅延したタイミングパルス（以下、「第１タイミングパルス」という。）８１９ｂが出力される。

既述のように、セレクタ６１６２にはＦＩＦＯレジスタ６１１２から第１コンパレータ６１４１の選択を示すセレクト信号８２０が出力されており（図７．Ｃの上から３段目参照）、第１タイミングパルス８１９ｂの直後のディレイクロック８１４に同期してシフト済みタイミングパルス８１９がＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。これにより、ＦＩＦＯレジスタ６１１２からの駆動電圧データ８１１の値８１１ｂが出力レジスタ６１１３にて保持される。

出力レジスタ６１１３の出力はＤ／Ａコンバータ６１２を経由して電流源５１に入力されることにより、各光変調素子４６１の照射位置が、ベースクロック８１３ｄが発生した位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ｂに従った当該光変調素子４６１からの出力光量の遷移が行われる。また、ＦＩＦＯレジスタ６１１２では、このシフト済みタイミングパルス８１９の入力に応答して、第２コンパレータ６１４２の選択を示すセレクト信号８２０がセレクタ６１６２に出力される。

基板９が直前のベースクロック８１３ｄの位置から設定距離だけさらに移動して次のベースクロック８１３ｅが発生する際には、第１レジスタ６１１１では画素値３に対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｅが入力されるとともに、ＦＩＦＯレジスタ６１１２に駆動電圧データ８１１の値８１１ｄが入力される。また、カウント数１９７を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが第２レジスタ６１６３に入力されるとともに、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが第４レジスタ６１６４に入力される。さらに、イーブンリセットパルス８１６が第２カウンタ６１５２に入力されてカウント数が０に戻される。

そして、第２コンパレータ６１４２において、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが示すカウント数２０１と第２カウンタ６１５２からのカウント数とが一致すると、セレクタ６１６２にベースクロック８１３ｅに対して遅延した第２タイミングパルス８１９ａが出力され、シフト済みタイミングパルス８１９がＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。このシフト済みタイミングパルス８１９に応答して、ＦＩＦＯレジスタ６１１２から駆動電圧データ８１１の値８１１ｃが出力レジスタ６１１３に出力され、ベースクロック８１３ｅに対応する位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ｃに従った出力光量の遷移が行われる。

このとき、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが、隣接する２つのベースクロック８１３間のカウント数１９９よりも多いカウント数２０１を示すものであるため、実際には、ベースクロック８１３ｅに対応する第２タイミングパルス８１９ａ（およびシフト済みタイミングパルス８１９）は、ベースクロック８１３ｅの次のベースクロック８１３ｆが発生した後に生成される（図７．Ａの最上段、上から４段目および下から２段目参照）。したがって、駆動電圧データ８１１の値８１１ｃに従った出力光量の遷移は、基板９上の照射位置がベースクロック８１３ｆの発生位置よりもさらに進んだ位置にて行われる。

ベースクロック８１３ｆが発生する際には（既述のように、この時点では、直前のベースクロック８１３ｅに対応するシフト済みタイミングパルス８１９は未だ生成されていない。）、第１レジスタ６１１１では駆動電圧データ８１１における値８１１ｅの次の値が入力されるとともに、ＦＩＦＯレジスタ６１１２に駆動電圧データ８１１の値８１１ｅが入力される。また、カウント数１７０を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｅが第２レジスタ６１６３に入力されるとともに、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが第５レジスタ６１６５に入力される。さらに、オッドリセットパルス８１８が第１カウンタ６１５１に入力されてカウント数が０に戻される。

そして、第１コンパレータ６１４１において、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが示すカウント数１９７と第１カウンタ６１５１からのカウント数とが一致すると、セレクタ６１６２にベースクロック８１３ｆに対して遅延した第１タイミングパルス８１９ｂが出力され、シフト済みタイミングパルス８１９がＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。このシフト済みタイミングパルス８１９に応答して、ＦＩＦＯレジスタ６１１２の駆動電圧データ８１１の値８１１ｄが出力レジスタ６１１３から出力され、ベースクロック８１３ｆに対応する位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ｄに従った出力光量の遷移が行われる。

このとき、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが、隣接する２つのベースクロック８１３間のカウント数１９９よりも少ないカウント数１９７を示すものであるため、ベースクロック８１３ｆに対応するシフト済みタイミングパルス８１９は、ベースクロック８１３ｆの次のベースクロック８１３ｇの発生前に生成される。また、既述のように、ベースクロック８１３ｅに対応するシフト済みタイミングパルス８１９がベースクロック８１３ｆが発生した後に生成される。したがって、実際には隣接する２つのベースクロック８１３ｆ，８１３ｇの間に、光変調素子４６１からの出力光量の遷移が２度行われることとなる（図７．Ｂの最下段参照）。

なお、上記の例では、各ベースクロック８１３に応じて第１レジスタ６１１１に入力される駆動電圧データ８１１の値が、当該ベースクロック８１３の直前のベースクロック８１３における駆動電圧データ８１１の値と異なるものとされているが、あるベースクロック８１３における駆動電圧データ８１１の値が直後のベースクロック８１３におけるものと同じである場合には（すなわち、実際の出力光量の遷移が行われない場合には）、当該駆動電圧データ８１１の値に対応するシフトディレイ数データ８１２の値が設定距離分のカウント数よりも少ない一定のカウント数（例えば、設定距離の半分に相当するカウント数）を示すものとされ、当該駆動電圧データ８１１の値が示す画素値から同じ画素値への出力光量の遷移が行われるものとして光変調素子４６１の駆動が制御される（実際の出力光量の変化は生じない。）。

以上のように、各素子駆動要素６１では、イーブンリセットパルス８１６とオッドリセットパルス８１８とがベースクロック８１３毎に交互に生成されるとともに、第２カウンタ６１５２では一のイーブンリセットパルス８１６の生成から次のイーブンリセットパルス８１６の生成までの照射位置の移動範囲をカウント区間としてディレイクロック８１４のカウントが行われ、第１カウンタ６１５１では一のオッドリセットパルス８１８の生成から次のオッドリセットパルス８１８の生成までの照射位置の移動範囲をカウント区間としてディレイクロック８１４のカウントが行われる。すなわち、第１および第２カウンタ６１５１，６１５２では、カウント開始位置を設定距離だけ互いにシフトさせて（ずらして）、ベースクロック８１３に基づいて設定距離の２倍のカウント区間毎にディレイクロックのカウントが開始される。

また、画像記録装置１では、ベースクロック８１３が生成される毎に駆動電圧データ８１１の値およびシフトディレイ数データ８１２の値を素子駆動要素６１に入力するとともに、イーブンストアパルス８１５とオッドストアパルス８１７とを交互に発生させることにより、当該素子駆動要素６１に対応する画素列において各カウンタ６１５１，６１５２の各カウント区間の最初の設定距離における画素を、当該カウンタ６１５１，６１５２に接続されたコンパレータ６１４１，６１４２に割り当てつつ、当該画素と直前の画素との間の変化点に対するシフト量を当該カウント区間の始点からのディレイクロック８１４のカウント数に換算したシフトディレイ数データ８１２の値が設定値としてコンパレータ６１４１，６１４２に入力されることとなる。そして、第１および第２コンパレータ６１４１，６１４２では、第１および第２カウンタ６１５１，６１５２からそれぞれ入力されるカウント数が設定値以上となる際に、光変調素子４６１からの出力光量の遷移を指示する信号が出力されることにより、素子駆動要素６１では、ディレイクロック８１４に対応する距離を最小分解能としつつ、シフトディレイ数データ８１２に基づいて光変調素子４６１の動作位置をベースクロック８１３に対応する位置からシフトさせ（調整する）、基板９上に対象画像を記録することが可能となる。

ところで、素子駆動要素にて１つのカウンタおよび１つのコンパレータのみが設けられる比較例の画像記録装置を想定した場合に、１画素に相当する周期にて発生するベースクロック毎にカウンタをリセットするときには、１画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせることができない。これに対し、図１の画像記録装置１では、２つのカウンタ６１５１，６１５２および２つのコンパレータ６１４１，６１４２が設けられ、２つのカウンタ６１５１，６１５２がベースクロック８１３毎に交互にリセットされることにより、１画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせることが実現される。

図７．Ａないし図７．Ｄを参照して説明した動作例では、基板９上の照射位置が設定距離だけ主走査方向に移動する間に１つの画素の描画制御が行われるが、図８の下段に示すように、隣接する２つのベースクロック８１３間の距離である設定距離Ｗが複数（図８の下段では４個）の画素７１に対応付けられ（ただし、当該複数の画素７１には１つの変化点のみが含まれる。）、照射位置が設定距離Ｗだけ移動する間に複数の画素の描画制御が行われてもよい。すなわち、ベースクロック８１３が発生する周期を決定する設定距離は、対象画像の各画素列における１以上の画素に相当する距離とされる。

ところで、図７．Ａないし図７．Ｄを参照して説明した動作例では、２つのカウンタ６１５１，６１５２がベースクロック８１３毎に交互にリセットされることにより、２以上の画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせることができない。以下、第２の実施の形態として多数の画素に相当する距離を超えて遷移位置をシフトさせることが可能な高度な手法について説明する。なお、以下の説明では、設定距離が複数の画素７１に対応するものとする。

図９は、第２の実施の形態に係る変調器制御部６０の構成を示すブロック図である。変調器制御部６０は、既述の素子駆動要素６１および主演算部６２に加えて、プログラミング可能な電子回路であるＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）制御要素６３（図９中にて破線のブロックにて示す。）を備える。実際には、変調器制御部６０には、各光変調素子４６１に対して１つの素子駆動要素６１および１つのＦＰＧＡ制御要素６３が設けられるが、図９では１つの光変調素子４６１に対応する素子駆動要素６１およびＦＰＧＡ制御要素６３のみを図示している。

主演算部６２は、画像記録の際に利用される各種テーブルを生成するテーブル生成部６２２、および、後述のテーブル生成時にテーブルの生成に係る条件を検出するシフト量超過検出部６２１を備える。ＦＰＧＡ制御要素６３では、対象画像の変更（画素の加工）に用いられる画素加工テーブル６３１１を記憶するメモリ６３１、画素加工テーブル６３１１を用いて対象画像の画素の画素値を変更する画素列加工部６３２、および、変更後の画像を素子駆動要素６１用のデータフォーマットに変換する出力データ生成部６３３の機能が実現される。

また、各素子駆動要素６１は、図５に示す構成に加えて、シフトディレイ数データ８１２を取得する修正シフト量取得部６１８、駆動電圧データ８１１を取得する駆動電圧取得部６１９、および、メモリ６１７を有し、光変調素子４６１毎に準備される後述の修正シフト量テーブル６１７１、全光変調素子４６１にて共通の基準位置アドレステーブル６１７２、および、描画時の複数階調の出射光量に対応する目標駆動電圧を示す駆動電圧テーブル６１７３が主演算部６２からメモリ６１７に入力されて記憶される。

既述のように、画像記録装置１における記録対象である対象画像では、主走査方向に対応する列方向および副走査方向に対応する行方向に複数の画素が配列されており、画像記録（パターン描画）では、列方向に並ぶ複数の画素を画素列として、各光変調素子４６１により１つの画素列に対する描画が行われる。以下の説明では、各画素列は、それぞれが列方向に連続して同一の画素値を有する複数の画素群の集合とされ（すなわち、各画素列はそれぞれが２以上の画素の集合である複数の画素群にて構成され）、画素列において隣接する２つの画素群の間の位置が、光変調素子４６１から照射領域に照射される出力光量の遷移を示す変化点とされる。

各光変調素子４６１の素子駆動要素６１に接続される画素列加工部６３２には、当該光変調素子４６１に対応する画素列のデータ（以下、「画素列データ」という。）６９１がランレングスデータとして入力され、後述するように画素加工テーブル６３１１を用いて画素列データ６９１が加工される。そして、出力データ生成部６３３では、加工後の画素列データ６９１が素子駆動要素６１用のデータフォーマットに変換され、ベースクロック８１３が発生する毎に変換画素データ６９２として素子駆動要素６１に順次出力される。

ここで、ベースクロック８１３を示す図８の上段、および、１つの画素列の画素を示す図８の下段のように、本実施の形態における画像記録装置１では、隣接する２つのベースクロック８１３間の期間（以下、「ベースクロック期間」という。）において、対象画像の各画素列における２以上の画素７１（図８の下段の例では４個の画素７１）が描画制御の対象とされる。換言すれば、ベースクロック期間にて描画制御の対象とされる画素の個数をベースクロック間画素数として、ベースクロック期間において光変調素子４６１からの光の照射位置が主走査方向に移動する設定距離は、ベースクロック間画素数の画素７１に相当する距離（図８の上段にて符号Ｗを付す矢印にて示す距離）とされる。以下の説明では、図８の上段および下段において、対象画像の各画素７１の先頭に対応する主走査方向の位置（符号Ａ１を付す矢印にて示す位置）を当該画素の「基準位置」といい、隣接する２つの基準位置間の距離（すなわち、設定距離をベースクロック間画素数で除した距離であり、描画における論理的な最小分解能と捉えることができる。）を「基準距離」という。図８の下段では、基準距離を符号Ｔを付す矢印にて示している。

また、画像記録装置１では、既述のように、１つのシフト済みタイミングパルス８１９がベースクロック８１３に対応付けられており、ベースクロック８１３に応じて出力される変換画素データ６９２は、図１０に示すように、ベースクロック期間におけるベースクロック間画素数の画素において、直前の画素から画素値が変化する画素の番号、および、当該画素の画素値（以下、それぞれ「変化画素番号」および「変化後画素値」という。）を示すものとなっている。

例えば、ベースクロック間画素数が４であり、図１１の最下段に示すように、あるベースクロック期間における４個の画素７１（図１１の最下段において太線の矩形にて囲む画素７１）において、３番目の画素７１と４番目の画素７１との間にて画素値が１から２に変化する場合には（図１１の最下段において画素値が１の画素７１を白色にて示し、画素値が２の画素７１に平行斜線を付す。図１１の下から２ないし５段目、並びに、図１６ないし図１８、図２０において同様。）、変化画素番号および変化後画素値はそれぞれ４および２とされ、図１１の下から２段目に示すように、２番目の画素７１と３番目の画素７１との間にて画素値が１から２に変化する場合には、変化画素番号および変化後画素値はそれぞれ３および２とされ、図１１の下から３段目に示すように、１番目の画素７１と２番目の画素７１との間にて画素値が１から２に変化する場合には、変化画素番号および変化後画素値は共に２とされる。

また、図１１の下から４段目に示すように、１番目の画素７１と直前のベースクロック期間における４番目の画素７１との間にて画素値が１から２に変化する場合には、変化画素番号および変化後画素値はそれぞれ１および２とされ、図１１の下から５段目（上から２段目）に示すように、画素値が変化する画素７１が存在しない場合には、変化画素番号は１とされ、変化後画素値は直前のベースクロック期間における最後の画素の画素値と同じとされる。なお、変化画素番号は、基準距離Ｔを単位とする論理的な座標値と捉えることができる。

図１２は基準位置アドレステーブル６１７２を示す図である。図１２に示す基準位置アドレステーブル６１７２は、直前のベースクロック８１３が発生した位置から１ないし４番目の画素のそれぞれに対する基準位置までの主走査方向の距離（以下、「基準位置アドレス」という。）をディレイクロック８１４のカウント数として示すテーブルとなっている（図１１の最上段参照）。図１２では、１ないし４番目の画素の基準位置アドレスをそれぞれ「第１基準位置アドレス」、「第２基準位置アドレス」、「第３基準位置アドレス」、「第４基準位置アドレス」と記している。

図１３は修正シフト量テーブル６１７１を示す図である。修正シフト量テーブル６１７１は、後述の補正テーブルを修正することにより生成されるものであり、複数通りの２つの画素値の組合せのそれぞれに対してシフト量（後述の補正テーブルから導かれる値を修正（変更）することにより得られる値であり、以下、「修正シフト量」という。）を示すものとなっており、実際には、修正シフト量はディレイクロック８１４のカウント数にて表されている。図１３では、画素値Ｍと画素値Ｎとの組合せに対する修正シフト量を「画素値Ｍ→Ｎ変化時修正シフト量」と記している（ただし、Ｍ、Ｎは１ないし４）。なお、修正シフト量は、隣接する２つの基準位置間の距離（すなわち、基準距離Ｔ）に相当するカウント数よりも小さい。

図９の修正シフト量取得部６１８では、出力データ生成部６３３からベースクロック８１３毎に入力される変換画素データ６９２の変化画素番号を用いて図１２の基準位置アドレステーブル６１７２を参照することにより、１つの基準位置アドレスが特定される。また、修正シフト量取得部６１８では、直前のベースクロック８１３にて入力された変換画素データ６９２の変化後画素値が記憶されており、直前の変化後画素値および今回の変化後画素値を用いて図１３の修正シフト量テーブル６１７１を参照することにより、１つの修正シフト量が特定される。そして、特定された基準位置アドレスおよび修正シフト量（既述のように、両者はディレイクロック８１４のカウント数として表されている。）を加算した値がシフトディレイ数として求められ、図５のシフト部６１３の第２レジスタ６１６３に、シフトディレイ数データ８１２として入力される。このように、シフトディレイ数データ８１２の値は、各カウンタ６１５１，６１５２の各カウント区間の最初の設定距離における始点から当該設定距離に含まれる変化点までの距離と当該変化点に対するシフト量との和を当該始点からのディレイクロック８１４のカウント数に換算した値となっている。

図１４は駆動電圧テーブル６１７３を示す図である。駆動電圧テーブル６１７３は複数通りの画素値にそれぞれ対応する目標駆動電圧を示すテーブルとなっており、図９の駆動電圧取得部６１９では、変換画素データ６９２の変化後画素値を用いて駆動電圧テーブル６１７３を参照することにより、変化後画素値に対応する駆動電圧が特定される。図１４では、変化後画素値１ないし４に対応する駆動電圧をそれぞれ「第１階調駆動電圧」、「第２階調駆動電圧」、「第３階調駆動電圧」、「第４階調駆動電圧」と記している。特定された駆動電圧は駆動電圧データ８１１として図５の第１レジスタ６１１１に入力される。

以上のようにして、図９の素子駆動要素６１において変換画素データ６９２から駆動電圧データ８１１およびシフトディレイ数データ８１２が生成されることにより、光変調素子４６１からの出力光量を変化後画素値に対応する階調に遷移させるとともに、その遷移位置をシフト（調整）することが可能となる。なお、画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１の詳細については後述する。

次に、画像記録装置１が基板９上に画像を記録する動作について図１５を参照しつつ説明する。画像記録装置１では、まず、各光変調素子４６１に対して補正テーブルが操作者により準備され、図９の主演算部６２に入力される（ステップＳ１１）。なお、図９では符号６８１を付す矢印にて補正テーブルを示している。

ここで、補正テーブルとは、各光変調素子４６１に対応する画素列における各変化点に関して、当該変化点を挟む２つの画素群に対応する基板９上の２つの領域（２つの画素群に対応するパターンが形成される２つの領域）間の境界の主走査方向の位置ずれ（すなわち、描画ずれ）を補正するために、当該光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量を示すものである。描画ずれの原因としては、撓み量が変化する際に可撓リボン４６１ａの状態が安定するまでの時間が、当該変化点を挟む２つの画素群の画素値の組合せによって相違すること、あるいは、当該光変調素子４６１の照射領域の主走査方向の長さや位置（照射位置）が他の光変調素子４６１と相違すること等が挙げられる。なお、補正テーブルは、例えば、ダミー基板に副走査方向に伸びるパターンを実際に描画する、あるいは、ステージ３１上に光検出部を設け、全ての光変調素子４６１からの光の照射領域の主走査方向の長さや位置を測定することにより取得される。

表１に示す補正テーブルでは、注目している注目画素の直前の画素の画素値と、注目画素の画素値（表１において、それぞれ「直前の画素値」および「現在の画素値」と記す。）との全ての組合せのそれぞれに対して、「標準シフト量」、「線幅補正シフト量」および「位置補正シフト量」が設定されている。なお、表１では、「直前の画素値」および「現在の画素値」が１と１の組合せ、１と２の組合せ、２と１の組合せ、２と２の組合せとされる場合のみを示しているが、実際には、「直前の画素値」および「現在の画素値」のそれぞれが３および４とされる組合せについても「標準シフト量」、「線幅補正シフト量」および「位置補正シフト量」が設定されている。

図１６は、補正テーブルにおける標準シフト量を説明するための図である。図１６の上段はベースクロック８１３を示し、中段は目標駆動電圧を示し、下段は画素列を示している。ここでは、図１６の上段および下段に示すようにベースクロック間画素数が４であるものとし、図１６の上段では、図８の上段と同様に、設定距離Ｗをベースクロック間画素数にて除した基準距離を符号Ｔを付す矢印にて示している。

標準シフト量は、上述の描画ずれを補正する必要が無い場合でも、出力光量の遷移位置を変化点に対応する位置から照射位置の基板９に対する相対移動方向の前側（主走査方向への移動時の前側であり、図１６の右側）に移動させるためのものである。例えば、図１６の中段および下段に示す例では、光変調素子４６１に対する目標駆動電圧を画素値１に対応する第１階調駆動電圧Ｖ１から画素値２に対応する第２階調駆動電圧Ｖ２へと変更する遷移位置が、画素値１の白い画素７１から平行斜線を付す画素値２の画素７１への変化点の位置（すなわち、画素値２の画素群の最初の画素７１の基準位置Ａ１ａ）に対して、標準シフト量である基準距離Ｔの１／２倍だけ移動する。既述のように、全ての光変調素子４６１のそれぞれに対して補正テーブルが個別に準備されるが、全ての補正テーブルの全ての画素値の組合せにおいて標準シフト量は等しくされる。

図１７は、補正テーブルにおける線幅補正シフト量を説明するための図である。線幅補正シフト量は、隣接する２つの画素群の画素値の組合せに依存する描画ずれを補正するためのものであり、例えば、変化点において画素値が１から２に変化する際には、表１を参照することにより光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置（例えば、出力光量の立ち上がり時間に依存する位置）を基準距離Ｔの１／３倍だけ照射位置の相対移動方向の前側に移動させることを示す（＋（１／３）Ｔ）が特定され、これにより、基板９上において画素値１の画素群に対応する領域と画素値２の画素群に対応する領域との境界位置のずれが補正される（すなわち、画素群の描画ずれが補正される。）。また、変化点において画素値が２から１に変化する際には、表１を参照することにより光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置（例えば、出力光量の立ち下がり時間に依存する位置）を基準距離Ｔの１／３倍だけ照射位置の相対移動方向の後側に移動させることを示す（−（１／３）Ｔ）が特定され、これにより、基板９上において画素値２の画素群に対応する領域と画素値１の画素群に対応する領域との境界位置のずれが補正される。

図１７の上から２段目には、図１６の中段における目標駆動電圧の変化（図１７の上から３段目にも同じものを破線にて示している。後述の図１８の上から４段目において同様。）に対して表１の線幅補正シフト量によるシフトをさらに追加したものを示している。ここでは、図１７の最下段に示すように、隣接する３つの画素群の画素値が１、２、１の順番にて変化し、中央の画素値２の画素群の画素数が５とされているため、図１７の上から２段目にて光変調素子４６１の目標駆動電圧が第２階調駆動電圧Ｖ２とされる距離は、５個の画素に相当する距離（基準距離Ｔの５倍）よりも基準距離Ｔの２／３倍だけ短くなり、これにより、画素値２の画素群に対応する基板９上の領域の主走査方向の幅が補正されることとなる。このように、補正テーブルにおける線幅補正シフト量は、実質的には、各画素値の画素群に対応する基板９上の領域の主走査方向の幅（線幅）を補正するためのものとなっている。

図１８は、補正テーブルにおける位置補正シフト量を説明するための図である。位置補正シフト量は、光変調素子４６１の照射位置の他の光変調素子４６１とのずれ（主走査方向のずれ）を補正するためのものである。位置補正シフト量は、各光変調素子４６１に対して個別に設定されるものであり、２つの画素の画素値の全ての組合せに対して同じ値が設定されている。例えば、図１７の上から２段目に示す例において（図１８の上から３段目にも同じものを一点鎖線にて示している。）、さらに、表１の位置補正シフト量（＋４（１／３）Ｔ）によるシフトを追加すると、変化点において画素値が１から２に変化する場合、および、変化点において画素値が２から１に変化する場合のいずれにおいても、図１８の上から２段目に示すように、光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置が基準距離Ｔの４（１／３）倍（（１３／３）倍）だけ照射位置の相対移動方向の前側（（＋Ｙ）側）にさらに移動することとなる。

この場合、光変調素子４６１の目標駆動電圧を第１階調駆動電圧Ｖ１から第２階調駆動電圧Ｖ２へと変更する位置（すなわち、出力光量の遷移位置）が、図１８の最下段に示す画素列における画素値１の画素７１から画素値２の画素７１への変化点の位置（画素７１ａの基準位置Ａ１ａ）に対して、基準距離Ｔの５倍よりも大きくかつ基準距離Ｔの６倍以下の距離だけ移動し、光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置のシフト量が、１つの画素に対応する基板９上の領域の主走査方向の幅に設定距離を加算した距離（すなわち、５画素に相当する距離）を超える。これにより、画素値１の画素７１から画素値２の画素７１への変化点（基準位置Ａ１ａ）に対する出力光量の遷移タイミングが、当該変化点が含まれるベースクロック期間の次の次の（２つ後の）ベースクロック期間に含まれ、ベースクロック８１３ａに対応する描画の際に参照されるシフトディレイ数データ８１２の値が示すカウント数が、設定距離Ｗの２倍のカウント区間に相当するカウント数を超えてしまう。既述のように、図５の第１および第２カウンタ６１５１，６１５２におけるディレイクロック８１４のカウント数はベースクロック８１３毎に交互に（すなわち、設定距離Ｗの２倍のカウント区間毎に）リセットされるため、図１の画像記録装置１では、図１８の最下段に示す画素列に基づいて図１８の上から２段目に示すような目標駆動電圧の変更を行うことはできない。

そこで、以下の説明にて詳述するように、画像記録装置１では、図１８の最下段において太線の矩形にて囲む画素７１ａの画素値を０に変更することにより、画素値１から画素値２への変化点を１画素分だけ移動（遅延）させる処理が行われるとともに、移動後の変化点に対して修正されたシフト量を求める処理が行われる。以下、基準距離Ｔの５倍をシフト上限距離と呼ぶ。

画像記録装置１において補正テーブルが準備されると、主演算部６２では、画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１の生成に係る処理が行われる。まず、図９のシフト量超過検出部６２１では、表１における２つの画素値の各組合せにおいて標準シフト量、線幅補正シフト量および位置補正シフト量を加算することにより、表２に示すように合計シフト量が求められる（ステップＳ１２）。

続いて、異なる２つの画素値の全ての組合せ（表２では、画素値１と画素値２の組合せおよび画素値２と画素値１の組合せ）において合計シフト量がシフト上限距離（すなわち、５画素に相当する基準距離Ｔの５倍）を超えるものが存在するか否かが確認される。ここでは、直前の画素値および現在の画素値がそれぞれ１および２とされる組合せのみにおいて、合計シフト量が基準距離Ｔの（＋５（１／６））倍（すなわち、（＋３１／６）倍）となってシフト上限距離よりも大きくかつ６倍以下となることが確認される。そして、テーブル生成部６２２では、直前の画素値および現在の画素値がそれぞれ１および２とされる組合せにおいて「画素加工数」を（＋１）とし、他の組合せにおいて「画素加工数」を０として、表３に示す画素加工テーブル６３１１が生成される。

画素加工数は、隣接する２つの画素群の間の変化点の移動量を示すものであり、表３の画素加工テーブル６３１１では、画素値１から画素値２に変化する変化点に対して画素加工数が（＋１）となることにより、当該変化点を１画素分だけ遅延させる画素列の加工が指示され、他の画素値の組合せに対しては画素加工数が０となることにより画素の加工を行わないことが指示されることとなる。画素加工テーブル６３１１は、図９のＦＰＧＡ制御要素６３のメモリ６３１に入力されて記憶される（ステップＳ１３）。なお、合計シフト量が基準距離Ｔのα倍（ただし、αは５以上の整数）よりも大きくかつ（α＋１）倍以下となる場合には、本実施の形態では画素加工数は（α−４）とされる。

テーブル生成部６２２では、合計シフト量がシフト上限距離よりも大きくなって画素加工数が０以外とされた画素値の組合せにおいて、対応する画素加工数に基準距離Ｔを乗じた値が求められ、合計シフト量から当該値を引いた値が修正シフト量として求められる。また、合計シフト量がシフト上限距離以下となる画素値の組合せについては合計シフト量がそのまま修正シフト量とされる。したがって、表２の例では、直前の画素値および現在の画素値がそれぞれ１および２とされる組合せにおいて修正シフト量が基準距離Ｔの（＋４（１／６））倍とされ、他の画素値の組合せについては合計シフト量がそのまま修正シフト量とされ、表４に示す修正シフト量テーブル６１７１が生成される。修正シフト量テーブル６１７１は図９の素子駆動要素６１のメモリ６１７に入力されて記憶される（ステップＳ１４）。なお、同一の２つの画素値の組合せにおいて合計シフト量がシフト上限距離を超えるものが存在する場合には、シフト上限距離よりも小さい任意の値（例えばベースクロック期間の半分に相当する量）が修正シフト量とされる。また、実際には、修正シフト量は、ディレイクロック８１４の分解能に相当するシフト量の整数倍に近い値に変更され、既述のように、ディレイクロック８１４のカウント数であるシフトディレイ数を素子駆動要素６１にて与えることが可能となっている。

以上のようにして、画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１が準備されると、基板９の主走査方向への一定速度での移動が開始されるとともに（ステップＳ１５）、制御部６が有する図示省略の画像メモリに記憶された対象画像のデータが変調器制御部６０に入力される。既述のように、図９の変調器制御部６０では、各画素列加工部６３２に対応する画素列データ６９１が入力される。

画素列加工部６３２では、図１８の最下段に示すように、隣接する３つの画素群の画素値がそれぞれ１、２、１である場合、最初の（図１８の左側の）画素値１の白い画素群と画素値２の平行斜線を付す画素群との間の変化点に対する画素加工数は表３の画素加工テーブル６３１１を参照することにより（＋１）として求められ、画素値２の画素群の最初の画素７１ａの画素値が１に変更されて変化点が移動（遅延）する。また、画素値２の画素群と次の（図１８の右側の）画素値１の画素群との間の変化点に対する画素加工数は０として求められ、変化点の移動は行われない。なお、表３に示すように同一の画素値を有する画素７１の間では画素加工数は０となり、画素の加工は行われないため、画素加工数は変化点に対してのみ影響を与えるものとなる。

実際には、画素列加工部６３２では、図１９に示すようにランレングスデータとして入力される画素列のデータにおいてランレングスの長さを変更することにより、変化点の移動が行われる。図１９では、１つのランレングスを矩形（符号６９０ａ，６９０ｂ，６９０ｃを付す。）にて図示している。

図１９中にて「ＤＡＴＡ（ｎ）」と記すランレングス６９０ｂと直後の「ＤＡＴＡ（ｎ＋１）」と記すランレングス６９０ｃとの間の位置である変化点（以下、「注目変化点」という。）に注目した場合、まず、ランレングス６９０ｂの画素値および直後のランレングス６９０ｃの画素値を用いて画素加工テーブル６３１１を参照することにより注目変化点に対する画素加工数が求められる。画素列加工部６３２には、表５に示す画素列データ６９１の修正条件が予め記憶されており、例えばランレングス６９０ｂの直前の「ＤＡＴＡ（ｎ−１）」と記すランレングス６９０ａとランレングス６９０ｂとの間の変化点に対して求められた画素加工数（表５中にて「ＤＡＴＡ（ｎ−１）に対する画素加工数」と記す。）が０であり、注目変化点に対して求められる画素加工数（表５中にて「ＤＡＴＡ（ｎ）に対する画素加工数」と記す。）も０である場合には、ランレングス６９０ｂの長さの変更量（表５中にて「ＤＡＴＡ（ｎ）に対する実際の加工」と記す。）は０とされる。

表５に示すように、ランレングス６９０ａとランレングス６９０ｂとの間の変化点に対して求められた画素加工数が０であり、注目変化点に対して求められる画素加工数が（＋１）である場合には、ランレングス６９０ｂの長さの変更量が（＋１）とされる（すなわち、ランレングス６９０ｂが１画素だけ長くされる。）。また、ランレングス６９０ａとランレングス６９０ｂとの間の変化点に対して求められた画素加工数が（＋１）であり、注目変化点に対して求められる画素加工数が０である場合には、ランレングス６９０ａが（＋１）だけ伸長されていることにより、注目変化点が１画素だけ遅延しているため、ランレングス６９０ｂの長さの変更量が（−１）とされる（すなわち、ランレングス６９０ｂが１画素だけ短くされる。）。さらに、ランレングス６９０ａとランレングス６９０ｂとの間の変化点に対して求められた画素加工数が（＋１）であり、注目変化点に対して求められる画素加工数が（＋１）である場合には、ランレングス６９０ａが（＋１）だけ伸長されていることにより、注目変化点が１画素だけ既に遅延しているため、ランレングス６９０ｂの長さの変更量が０とされる。

図１８の最下段に示す例において、隣接する３つの画素群のうち中央の画素群の画素数（ランレングスの長さ）が５である場合には、最初の（図１８の左側の）画素値１の白い画素群と画素値２の平行斜線を付す画素群との間の変化点に対する画素加工数が（＋１）であり、画素値２の画素群と次の（図１８の右側の）画素値１の画素群との間の変化点に対する画素加工数が０であることにより、画素値２の画素群の画素数（ランレングスの長さ）の変更量は（−１）となり、画素値２の画素群の画素数が４に変更される。

以上のように、画像記録装置１では、対象画像データがランレングスデータとして画素列加工部６３２に入力され、各変化点を移動する際に、ランレングスデータのランレングスの長さを変更することにより、変化点の移動が容易に行われ、画素列データ６９１が加工される（ステップＳ１６）。画素列加工部６３２の設計によっては、対象画像のデータはランレングスデータ以外の形式にて表されていてもよい。

画素列加工部６３２における画素列データの加工に並行して、加工後の画素列データ（の部分）は、出力データ生成部６３３にて復号化されてベースクロック間画素数毎に区切られ、既述のように、ベースクロック間画素数の画素において直前の画素から画素値が変化する画素の番号、および、当該画素の画素値（すなわち、変化画素番号および変化後画素値）を示す変換画素データ６９２が生成される。

例えば、図１８の最下段において、画素７１ａの画素値が画素列加工部６３２の処理により１に変更されている（白い画素となっている）ものとして、図１８の最上段のベースクロック８１３ａに対応する描画の際に参照される変換画素データ６９２の変化画素番号および変化後画素値は、ベースクロック８１３ａ，８１３ｂ間の４個の画素７１における変化点の不存在により共に１とされる（既述のように、変化点が存在しない場合も変化画素番号は１とされ、変化後画素値は直前のベースクロック期間における最後の画素の画素値と同じとされる。）。また、ベースクロック８１３ｂに対応する描画の際に参照される変換画素データ６９２の変化画素番号および変化後画素値は、ベースクロック８１３ｂ，８１３ｃ間の４個の画素７１のうち最初の画素（最初の基準位置）における画素値１から画素値２への変化点の存在により、それぞれ１および２とされ、ベースクロック８１３ｃに対応する描画の際に参照される変換画素データ６９２の変化画素番号および変化後画素値は、ベースクロック８１３ｃ，８１３ｄ間の４個の画素７１のうち最初の画素（最初の基準位置）における画素値２から画素値１への変化点の存在により、共に１とされる。

そして、基板９がベースクロック間画素数に相当する設定距離だけ移動する毎に発生するベースクロック８１３に応じて、変換画素データ６９２が素子駆動要素６１に出力される（ステップＳ１７）。素子駆動要素６１では、変換画素データ６９２から駆動電圧データ８１１およびシフトディレイ数データ８１２を生成して光変調素子４６１を制御することにより、光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置をシフトしつつ基板９上にパターンが描画される（ステップＳ１８）。

このとき、図１８の最上段におけるベースクロック８１３ｂに対応する描画の際には、変化画素番号および変化後画素値がそれぞれ１および２とされる変換画素データ６９２に基づいて１番目の画素に対応する基準位置アドレス（ここでは０となる。）が特定されるとともに、修正シフト量が直前の変化後画素値および今回の変化後画素値を用いて（＋４（１／６）Ｔ）（すなわち、＋（２５／６）Ｔ）として特定される。これにより、シフトディレイ数データ８１２の値が、設定距離Ｗの２倍のカウント区間よりも短い距離（＋４（１／６）Ｔ）に相当するカウント数として求められ、図１８の上から２段目に示すような目標駆動電圧の変更が実現される。なお、変更後の目標駆動電圧は、変換画素データ６９２の変化後画素値に基づいて第２階調駆動電圧Ｖ２とされる。

実際には、ステップＳ１７における変換画素データ６９２の生成および素子駆動要素６１への入力、並びに、ステップＳ１８における変換画素データ６９２に基づくパターンの描画は基板９上に対象画像を示す画像の全体が記録されるまで繰り返される（ステップＳ１９）。対象画像の全体が記録されると、基板９の主走査方向への移動が停止され、基板９上に画像を記録する動作が完了する（ステップＳ２０）。

以上に説明したように、図１の画像記録装置１では、補正テーブルにおいて２つの画素値の各組合せに対して合計シフト量を求めることにより、実質的に、各光変調素子４６１に対応する画素列の各変化点に関して、画素群の描画ずれを補正するために光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量（修正前のシフト量）が求められる。続いて、合計シフト量がシフト上限距離よりも大きくなる組合せに対して、基準距離Ｔのβ倍として表される合計シフト量におけるβの整数部から４を引いた値を画素加工数とし、合計シフト量と画素加工数に基準距離Ｔを乗じた値との差を修正シフト量として画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１が作成される。

これにより、実際の画像記録の際に、各変化点に対する上記シフト量が、１つの画素に対応する基板９上の領域の主走査方向の幅に設定距離を加算したシフト上限距離を超える場合に、当該変化点が列方向に移動するように対象画像の画素の画素値が変更されるとともに、当該変化点に対応するシフト量が、当該シフト量から当該変化点が移動した画素数に相当する距離を減算した値に修正され、シフト上限距離以下となる修正後のシフト量が取得されることとなる。そして、主走査機構２５に同期しつつ変更後の対象画像および修正後のシフト量に基づいて空間光変調器４６を制御することにより、基板９に画像を記録する際に、光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置をシフト上限距離を超えてシフトさせつつ画像を精度よく記録することが実現される。

ところで、光変調素子からの出力光量の遷移がベースクロック期間にて１度だけ可能とされる比較例の画像記録装置では、上記の対象画像の画素値の変更およびシフト量の修正のみでは、画像を適切に印刷することができない場合がある。図２０はベースクロック８１３および画素列を示す図である。図２０の上段はベースクロック８１３を示し、中段は変化点の移動前の画素列を示し、下段は変化点の移動後の画素列を示している。なお、図２０の中段および下段では、変化点の位置を符号Ａ２を付す矢印にて示している。

図２０の上段および中段に示すように、ベースクロック間画素数が４として設定されている場合には、対象画像のデータは、各画素列において連続して同一の画素値を有する各画素群における画素数が４以上として生成されており（論理的な最小線幅が４画素に相当する幅であると捉えることができる。）、これにより、光変調素子４６１からの出力光量の遷移がベースクロック期間にて１度だけ可能とされる比較例の画像記録装置において、画像を適切に記録することが可能とされている。この場合に、仮に、図１５のステップＳ１６の画素列データの加工において、変化点を１画素だけ遅延させる処理が行われると、図２０の下段に示すように、画素数が３となる画素群（平行斜線を付す画素７１の集合）が生成されてベースクロック期間にて２つの変化点が存在してしまい、比較例の画像記録装置では画像を適切に記録することができなくなってしまう。

これに対し、図１の画像記録装置１では、２つのカウンタ６１５１，６１５２および２つのコンパレータ６１４１，６１４２が設けられ、２つのカウンタ６１５１，６１５２がベースクロック８１３毎に交互にリセットされることにより、ベースクロック期間にて２つの変化点が存在する場合でも、画像を適切に印刷することが可能となる。

また、画像記録装置１では、複数通りの２つの画素値の組合せのそれぞれに対して移動前の変化点のシフト量を示す複数の補正テーブルが全ての光変調素子４６１に対応して予め準備され、主演算部６２により２つの画素値の各組合せに対する変化点の移動量を示す複数の画素加工テーブル６３１１、および、２つの画素値の各組合せに対して補正テーブルの値を修正したシフト量（修正シフト量）を示す複数の修正シフト量テーブル６１７１が複数の補正テーブルから生成される。そして、画素列加工部６３２において画素列の各変化点における２つの画素値の組合せを用いて対応する画素加工テーブル６３１１を参照することにより、当該変化点の移動量を取得して変化点を列方向に移動する処理が行われ、修正シフト量取得部６１８において画素列の各変化点における２つの画素値の組合せを用いて対応する修正シフト量テーブル６１７１を参照することにより、当該変化点の修正シフト量を取得する処理が行われる。これにより、画像記録装置１では、基板９に画像を記録する際に、シフト上限距離を超える遷移位置のシフトを容易に実現することができる。

ここで、ＲＩＰ（Raster Image Processor）において対象画像のデータを生成する際に、補正テーブルに基づいて予め変化点を移動した画像データを作成することも考えられるが、この場合、補正テーブルの内容が変更されると、画像データを再度作り直す必要が生じ、画像記録に係る処理に要する時間が長くなってしまう。

これに対し、画像記録装置１では、補正テーブルの内容が変更された場合であっても、上記のように、画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１を更新（修正）するのみでよいため、画像記録に係る処理に要する時間を短縮することが可能となる。

既述のように、画像記録装置１では、複数（全て）の光変調素子４６１のそれぞれに対して１つの素子駆動要素６１および１つのＦＰＧＡ制御要素６３が設けられるため、本実施の形態では、複数のＦＰＧＡ制御要素６３におけるメモリ６３１の集合が複数の光変調素子４６１にそれぞれ対応する複数の画素加工テーブル６３１１を記憶する第１のテーブル記憶部と捉えられ、複数の素子駆動要素６１におけるメモリ６１７の集合が複数の光変調素子４６１にそれぞれ対応する複数の修正シフト量テーブル６１７１を記憶する第２のテーブル記憶部と捉えられる。また、複数のＦＰＧＡ制御要素６３における画素列加工部６３２の集合が、各変化点の移動量を取得して当該変化点を列方向に移動する画像変更部と捉えられ、複数の素子駆動要素６１における修正シフト量取得部６１８の集合が、各変化点に対する修正後のシフト量を取得するシフト量取得部と捉えられる。

図２１は、本発明の第３の実施の形態に係る素子駆動要素の構成を示す図である。図２１の素子駆動要素６１ａでは、図５の素子駆動要素６１に比べてシフト部６１３ａのみが相違しており、他の構成は同様であり、同符号を付している。シフト部６１３ａはセレクタ６４３、オッドコンパレータ６４１、イーブンコンパレータ６４２、１つのカウンタ６４４、タイミングコントローラ６４５、アキュムレータ６５、並びに、第２、第３および第５レジスタ６４７，６４８，６４９を有する。

図２２はアキュムレータ６５の構成を示す図である。アキュムレータ６５は、補助タイミングコントローラ６５１、セレクタ６５２、コンパレータ６５３、加算器６５４、減算器６５５、並びに、第７、第８および第６レジスタ６５６，６５７，６５８を有する。

図２１および図２２に示すように、素子駆動要素６１ａでは、クロック発生部６０１からのベースクロック８１３が、タイミングコントローラ６４５、第１レジスタ６１１１およびＦＩＦＯレジスタ６１１２に入力され、ディレイクロック８１４はタイミングコントローラ６４５、カウンタ６４４、セレクタ６４３、並びに、アキュムレータ６５の補助タイミングコントローラ６５１に入力される。

図２３．Ａないし図２３．Ｄは、素子駆動要素６１ａのタイミングチャートである。以下、図２１、図２２、並びに、図２３．Ａないし図２３．Ｄを参照して、素子駆動要素６１ａの動作の詳細について説明する。

素子駆動要素６１ａでは、図９を参照して説明した上記第２の実施の形態と同様に駆動電圧データ８１１およびシフトディレイ数データ８１２が画像記録動作に並行して取得される。例えば、図２３．Ｃの最上段において符号８１３ｃを付すベースクロックが発生する際には、画素値２に対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｃが取得されて、図２３．Ｃの下から３段目に示すように第１レジスタ６１１１に入力され、ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロック８１３にて入力された駆動電圧データ８１１の値８１１ｂがＦＩＦＯレジスタ６１１２に入力される。

また、ベースクロック８１３ｃが発生する際には、カウント数１９７を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃも取得されてシフト部６１３ａの第２および第３レジスタ６４７，６４８に入力される。このとき、タイミングコントローラ６４５では、ベースクロック８１３ｃの発生により、図２３．Ａの上から６段目に示すイーブンストアパルス８１５および第２ストアパルス８２１が生成され、第２レジスタ６４７および第５レジスタ６４９にそれぞれ入力されることにより、図２３．Ｃの下から４段目および６段目に示すように、第２レジスタ６４７のみにてシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが記憶されるとともに、ベースクロック８１３ｃの２つ前のベースクロック８１３にて第２レジスタ６４７に入力されていたカウント数１９３を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ａが第５レジスタ６４９に記憶される。第２ストアパルス８２１は、カウンタ６４４、並びに、アキュムレータ６５の補助タイミングコントローラ６５１および第７レジスタ６５６にも入力される。

カウンタ６４４では、ディレイクロック８１４がカウントされており、第２ストアパルス８２１の入力によりカウンタ６４４におけるカウント数が０に戻される（リセットされる）。そして、イーブンコンパレータ６４２において、第５レジスタ６４９が保持する値（すなわち、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ａが示すカウント数１９３）とカウンタ６４４からのカウント数とが比較され、カウンタ６４４からのカウント数が１９３となると、図２３．Ａの上から８段目に示すようにイーブンコンパレータ６４２からセレクタ６４３にベースクロック８１３ｃに対して遅延したタイミングパルス８３２（以下、「イーブンタイミングパルス８３２」という。）が出力される。このとき、セレクタ６４３にはＦＩＦＯレジスタ６１１２からイーブンコンパレータ６４２の選択を示すセレクト信号８２０が出力されており、イーブンコンパレータ６４２からのイーブンタイミングパルス８３２に対応するシフト済みタイミングパルス８１９が、次のディレイクロック８１４に同期してＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。

ＦＩＦＯレジスタ６１１２では、このシフト済みタイミングパルス８１９に応答して、ベースクロック８１３ｃの２つ前のベースクロック８１３にて第１レジスタ６１１１に入力された駆動電圧データ８１１の値８１１ａが出力レジスタ６１１３に出力され、ベースクロック８１３ｃに対応する位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ａに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ａに従った出力光量の遷移が行われる（図２３．Ａの下から４段目参照）。また、ＦＩＦＯレジスタ６１１２では、シフト済みタイミングパルス８１９に応答して、オッドコンパレータ６４１の選択を示すセレクト信号８２０がセレクタ６４３に出力される。

一方で、アキュムレータ６５の補助タイミングコントローラ６５１では、既述のようにベースクロック８１３ｃの発生により第２ストアパルス８２１が入力されると、オーバー２００信号８２２が入力されている場合には第８レジスタ６５７に対して第１ロードパルス８２３が出力され、オーバー２００信号８２２が入力されていない場合には第１ロードパルス８２３は出力されない。ここで、オーバー２００信号８２２は、ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロック８１３に応答して第３レジスタ６４８に入力されたシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂが示すカウント数と、ベースクロック期間に相当するディレイクロック８１４のカウント数として予め設定された値２００とをコンパレータ６５３にて比較し、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂが示すカウント数が２００を超えている場合に補助タイミングコントローラ６５１に出力される信号である。

実際には、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂがカウント数２０２を示すことにより、図２３．Ａの下から２段目に示すようにオーバー２００信号８２２が補助タイミングコントローラ６５１に出力されており、図２３．Ｃの上から３段目に示すように第１ロードパルス８２３が補助タイミングコントローラ６５１から第８レジスタ６５７に出力される。これにより、第８レジスタ６５７にて減算器６５５の値が読み込まれる。このとき、減算器６５５には、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂが示すカウント数２０２から２００を減算したカウント数を示す値が保持されており、第８レジスタ６５７ではカウント数２を示す値が記憶される。なお、図２２では、符号Ｒ２００を付す矢印にてシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂと比較される値が減算器６５５に入力されていることを示している（加算器６５４において同様）。

なお、セレクタ６５２には、加算器６５４に接続された第７レジスタ６５６からの信号、制御部６における図示省略の構成要素から入力される値３９９を示す信号（図２２中に符号Ｒ３９９を付す矢印にて示す。）、および、減算器６５５に接続された第８レジスタ６５７からの信号が入力されており、ベースクロック８１３ｃの直前のベースクロック８１３に応答して生成されたオーバー２００信号８２２の入力により、補助タイミングコントローラ６５１から値３９９を示す信号の選択を指示するセレクト信号８２４が入力されることにより、セレクタ６５２では値３９９が出力値とされる。また、ベースクロック８１３ｃの直前に、後述する第２ロードパルス８２５が生成されて第６レジスタ６５８に入力されることにより、ベースクロック８１３ｃの発生時には第６レジスタ６５８にて値３９９が記憶されている（図２３．Ｃの上から５段目参照）。加算器６５４における動作については後述する。

続いて、基板９が直前のベースクロック８１３ｃの位置から設定距離だけ移動して次のベースクロック８１３ｄが発生する際には、画素値０に対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｄが第１レジスタ６１１１に入力されるとともに、駆動電圧データ８１１の値８１１ｃがＦＩＦＯレジスタ６１１２に入力される。また、カウント数１９７を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが第２および第３レジスタ６４７，６４８に入力され、ベースクロック８１３ｄの発生により、図２３．Ａの上から５段目に示すようにオッドストアパルス８１７がタイミングコントローラ６４５にて生成されて第３レジスタ６４８に入力されることにより、図２３．Ｃの上から７段目に示すように第３レジスタ６４８においてのみシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが記憶される。シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄは、第３レジスタ６４８に接続されるアキュムレータ６５のコンパレータ６５３、加算器６５４および減算器６５５にて参照される。

オッドコンパレータ６４１ではアキュムレータ６５の第６レジスタ６５８が保持する値３９９が参照されており、オッドコンパレータ６４１に順次入力されるカウンタ６４４からのカウント数（ただし、カウンタ６４４はベースクロック８１３ｄの直前のベースクロック８１３ｃの発生後からディレイクロック８１４を継続してカウントしている。）が３９９となると、図２３．Ａの上から７段目に示すようにベースクロック８１３ｄに対して遅延したタイミングパルス８３１（以下、「オッドタイミングパルス８３１」という。）がセレクタ６４３に出力される。後述するように、セレクタ６４３ではこのオッドタイミングパルス８３１が無視され、シフト済みタイミングパルス８１９は出力されない。

一方で、ベースクロック８１３ｄの発生直後において、アキュムレータ６５のコンパレータ６５３では、第３レジスタ６４８が保持する値（すなわち、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄ）とコンパレータ６５３に予め設定された値２００とが比較され、ここでは、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが示すカウント数１９７が２００を超えていないため、オーバー２００信号８２２が補助タイミングコントローラ６５１に出力されない状態となる（ＯＦＦとされる。）。

また、加算器６５４ではシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが示すカウント数１９７に、ベースクロック期間に相当するディレイクロック８１４のカウント数２００を加算した値３９７が出力値とされ、減算器６５５ではシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが示すカウント数１９７から２００を減算した値が出力値とされる。

実際には、補助タイミングコントローラ６５１においてもディレイクロック８１４がカウントされており、ベースクロック８１３ｄの直前のベースクロック８１３ｃによる第２ストアパルス８２１の生成からのカウント数が３９９となると、補助タイミングコントローラ６５１からセレクタ６５２に第８レジスタ６５７の選択を指示するセレクト信号８２４が入力されてセレクタ６５２にて第８レジスタ６５７からの値が選択される。

このとき、第８レジスタ６５７では、ベースクロック８１３ｃの発生に伴って入力されたカウント数２を示す値が保持されている。また、補助タイミングコントローラ６５１では、セレクト信号８２４に僅かに遅延して第２ロードパルス８２５が生成されて第６レジスタ６５８に入力され、第６レジスタ６５８にてセレクタ６５２からの値（カウント数２を示す値）が記憶される（図２３．Ｃの上から５段目参照）。

続いて、ベースクロック８１３ｄの次のベースクロック８１３ｅが発生すると、画素値３に対応する駆動電圧データ８１１の値８１１ｅが第１レジスタ６１１１に入力され、直前のベースクロック８１３ｄにて入力された駆動電圧データ８１１の値８１１ｄがＦＩＦＯレジスタ６１１２に入力される。また、カウント数１７０を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｅが第２および第３レジスタ６４７，６４８に入力され、タイミングコントローラ６４５から第２レジスタ６４７および第５レジスタ６４９にイーブンストアパルス８１５および第２ストアパルス８２１がそれぞれ入力されることにより、第２レジスタ６４７におけるシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが第５レジスタ６４９に記憶されるとともに、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｅが第２レジスタ６４７にて記憶される。

補助タイミングコントローラ６５１では、図２３．Ａの最下段に示すようにオッドセレクト信号８２６が生成されてセレクタ６４３に入力される。セレクタ６４３では、オッドセレクト信号８２６の入力によりオッドコンパレータ６４１から直前に入力されたオッドタイミングパルス８３１が無視され、シフト済みタイミングパルス８１９は出力されない。

カウンタ６４４では、第２ストアパルス８２１によりカウンタ６４４におけるカウント数が０に戻される。また、オッドコンパレータ６４１ではアキュムレータ６５の第６レジスタ６５８の値（すなわち、カウント数２を示す値）と、カウンタ６４４のカウント数とが比較され、カウンタ６４４のカウント数が２となると、ベースクロック８１３ｅに対して遅延したオッドタイミングパルス８３１がオッドコンパレータ６４１からセレクタ６４３に出力される。

このとき、セレクタ６４３にはオッドセレクト信号８２６が入力されていることにより、オッドコンパレータ６４１からの出力が強制的に選択され、シフト済みタイミングパルス８１９が次のディレイクロック８１４に同期してＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。これにより、図２３．Ａの下から４段目に示すようにベースクロック８１３ｅの直前のベースクロック８１３ｄに対応する位置から、カウント数２０２を示すシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｂに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ｂに従った出力光量の遷移が行われる。なお、図２３．Ａおよび図２３．Ｂの上から３段目には、仮にカウンタ６４４がオッドストアパルス８１７のタイミングにてリセットされる場合のカウント数を「仮想カウンタ出力値」として示している。

オッドタイミングパルス８３１はアキュムレータ６５の補助タイミングコントローラ６５１にも出力されており、オッドタイミングパルス８３１に応答してオッドセレクト信号８２６がＯＦＦとされる。また、補助タイミングコントローラ６５１では、第７レジスタ６５６の選択を指示するセレクト信号８２４がセレクタ６５２に入力されてセレクタ６５２にて第７レジスタ６５６からの値が選択される。このとき、第７レジスタ６５６では、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが示すカウント数１９７に２００を加算したカウント数３９７を示す値が記憶されている。さらに、補助タイミングコントローラ６５１では、セレクト信号８２４に僅かに遅延して第２ロードパルス８２５が生成されて第６レジスタ６５８に入力され、第６レジスタ６５８にてセレクタ６５２からの値（カウント数３９７を示す値）が記憶される（図２３．Ｃの上から５段目参照）。

カウンタ６４４では、ディレイクロック８１４のカウントがさらに継続されており、イーブンコンパレータ６４２において、第５レジスタ６４９にて記憶されるシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃが示すカウント数１９７とカウンタ６４４からのカウント数とが一致すると、イーブンコンパレータ６４２からセレクタ６４３にベースクロック８１３ｅに対して遅延したイーブンタイミングパルス８３２が出力される。このとき、セレクタ６４３にはＦＩＦＯレジスタ６１１２からイーブンコンパレータ６４２の選択を示す信号が出力されており、シフト済みタイミングパルス８１９が次のディレイクロック８１４に同期してＦＩＦＯレジスタ６１１２および出力レジスタ６１１３へと出力される。これにより、ベースクロック８１３ｅに対応する位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｃに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ｃに従った出力光量の遷移が行われる。

続いて、基板９が直前のベースクロック８１３ｅの位置から設定距離だけ移動して次のベースクロック８１３ｆが発生する際には、駆動電圧データ８１１の値が第１レジスタ６１１１に入力されるとともに、タイミングコントローラ６４５におけるオッドストアパルス８１７の生成により第３レジスタ６４８にてシフトディレイ数データ８１２の値が読み込まれる。

既述のように、第６レジスタ６５８には第７レジスタ６５６の値（すなわち、シフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄが示すカウント数１９７に２００を加算したカウント数を示す値）が記憶されており、オッドコンパレータ６４１に順次入力されるカウンタ６４４からのカウント数（ただし、カウンタ６４４はベースクロック８１３ｆの直前のベースクロック８１３ｅの発生後からディレイクロック８１４をカウントしている。）が３９７となると、オッドコンパレータ６４１からセレクタ６４３にベースクロック８１３ｆに対して遅延したオッドタイミングパルス８３１が出力される。これにより、ベースクロック８１３ｆに対応する位置からシフトディレイ数データ８１２の値８１２ｄに応じた距離だけシフトした位置にて、駆動電圧データ８１１の値８１１ｄに従った出力光量の遷移が行われる。

以上のように、図２１の素子駆動要素６１ａでは、１つ置きのベースクロック８１３にて発生する第２ストアパルス８２１にてカウンタ６４４がリセットされることにより、カウンタ６４４においてベースクロック８１３に基づいて設定距離の２倍のカウント区間毎にディレイクロック８１４のカウントが開始される。

ところで、図２３．Ａおよび図２３．Ｂの上から３段目の仮想カウンタ出力値、および、上から４段目のカウンタ出力値に示すように、素子駆動要素６１ａでは、オッドコンパレータ６４１およびイーブンコンパレータ６４２に対して設定距離だけシフトした開始位置から上記のカウント区間に等しい長さの区間（以下、「重複カウント区間」という。）が順次設定されていると捉えることができ、ここでは、シフトディレイ数データ８１２の値がそのまま参照されるイーブンコンパレータ６４２の各重複カウント区間がカウンタ６４４のカウント区間と重なっている。また、シフトディレイ数データ８１２の値は、当該素子駆動要素６１に対応する画素列において各重複カウント区間の最初の設定距離における始点から当該最初の設定距離に含まれる変化点までの距離と当該変化点に対するシフト量との和を当該重複カウント区間の始点からのディレイクロック８１４のカウント数に換算したシフト換算値を示すものとなる。

素子駆動要素６１ａでは、重複カウント区間がカウンタ６４４のカウント区間と相違するオッドコンパレータ６４１に関して、対応するシフトディレイ数データ８１２の値が示すカウント数が設定距離に相当するカウント数２００を超えない場合には、加算器６５４にて当該カウント数に２００を加算した値がオッドコンパレータ６４１の設定値として入力され、対応するシフトディレイ数データ８１２の値が示すカウント数が２００を超える場合には、減算器６５５にて当該カウント数から２００を減算した値がオッドコンパレータ６４１の設定値として入力される。これにより、図２１の素子駆動要素６１ａでは、カウンタを１つのみ設けつつ、１画素に相当する距離を超えて光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置をシフトさせることが可能となる構成が実現され、さらに、上記第２の実施の形態における手法と組み合わせる場合には、シフト上限距離を超えて出力光量の遷移位置をシフトさせることが可能となる。

なお、オッドコンパレータ６４１の設定値の入力に係る上記処理は、シフトディレイ数データ８１２の値が示すカウント数に設定距離に相当するカウント数２００を加算した値が、２個の設定距離に相当するカウント数４００を超えない場合に当該値を設定値とし、当該値が２個の設定距離に相当するカウント数４００を超える場合に、シフトディレイ数データ８１２の値が示すカウント数から２００を減算した値を設定値としてオッドコンパレータ６４１に設定する処理と捉えることもできる。

図２４は、本発明の第４の実施の形態に係る画像記録装置１ａの構成を示す図である。画像記録装置１ａは画像記録用の光を出射する１つの光学ヘッド４１ａおよび画像が記録される記録媒体９ａを外側面に保持する保持部である保持ドラム７０を有する。記録媒体９ａには光学ヘッド４１ａによる光の照射（露光）による描画により画像が記録される。記録媒体９ａとしては、例えば、刷版、刷版形成用のフィルム等が用いられる。なお、保持ドラム７０として無版印刷用の感光ドラムが用いられてもよく、この場合、記録媒体９ａは感光ドラムの表面に相当し、保持ドラム７０が記録媒体９ａを一体的に保持していると捉えることができる。

保持ドラム７０は円筒面の中心軸を中心にモータ８１により回転し、これにより、光学ヘッド４１ａが記録媒体９ａに対して主走査方向に（後述する複数の光変調素子からの光が照射される位置の配列方向に対して垂直な方向に）相対的に一定の速度で移動する。また、光学ヘッド４１ａはモータ８２およびボールねじ８３により保持ドラム７０の回転軸に平行な（主走査方向に垂直な）副走査方向に移動可能とされ、光学ヘッド４１ａの位置はエンコーダ（図示省略）により検出される。このように、モータ８１，８２、ボールねじ８３を含む移動機構により、保持ドラム７０の外側面および記録媒体９ａが、空間光変調器を有する光学ヘッド４１ａに対して一定の速度で主走査方向に相対的に移動するとともに主走査方向に交差する副走査方向にも相対的に移動する。モータ８１，８２およびエンコーダは制御部６ａに接続され、制御部６ａがモータ８１，８２および光学ヘッド４１ａ内の空間光変調器からの信号光の出射を制御することにより、保持ドラム７０上の記録媒体９ａに光による画像記録が行われる。

図２５は光学ヘッド４１ａの内部構成の概略を示す図である。光学ヘッド４１ａ内には、複数の発光点を一列に有するバータイプの半導体レーザである光源４３ａ、および、回折格子型の複数の光変調素子を一列に配列して有する空間光変調器４６が配置され、光源４３ａからの光は、レンズ４７１（実際には、集光レンズ、シリンドリカルレンズ等により構成される。）およびプリズム４７２を介して空間光変調器４６へと導かれる。このとき、光源４３ａからの光は線状光（光束断面が線状の光）とされ、ライン状に配列される複数の光変調素子上に照射される。

空間光変調器４６の各光変調素子は、上記第１の実施の形態と同様の構成である制御部６ａの変調器制御部６０（図２４参照）により制御される。なお、図２５では、変調器制御部６０の複数の素子駆動要素６１（素子駆動要素６１ａであってもよい。）を１つのブロックにて示している。光変調素子から出射される０次光はプリズム４７２へと戻され、１次回折光はプリズム４７２とは異なる方向へと導かれる。なお、迷光となることを防止するために１次回折光は図示を省略する遮光部により遮光される。

各光変調素子からの０次光はプリズム４７２にて反射され、ズームレンズ４７３を介して光学ヘッド４１ａ外の記録媒体９ａへと導かれ、複数の光変調素子の像が副走査方向に並ぶように記録媒体９ａ上に形成される。ズームレンズ４７３はズームレンズ駆動モータ４７４にて倍率が可変とされており、これにより、記録される画像の解像度が変更される。

図２４の画像記録装置１ａにおいても、上記第１の実施の形態に係る画像記録装置１と同様に（または、上記第２もしくは第３の実施の形態に係る画像記録装置１と同様に）、各光変調素子に対応する画素列の各変化点に関して、画素の描画ずれを補正するために光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量が求められる。そして、１画素に相当する距離を超える出力光量の遷移位置のシフトを許容しつつ、記録媒体９ａ上に画像が精度よく記録される。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。

上記第１の実施の形態では、図５の各カウンタ６１５１，６１５２からのカウント数と比較される設定値をコンパレータ６１４１，６１４２に入力する設定値入力部が、タイミングコントローラ６１６１、並びに、第２、第４および第５レジスタ６１６３〜６１６５により実現され、上記第３の実施の形態では、図２１のカウンタ６４４からのカウント数と比較される設定値をコンパレータ６４１，６４２に入力する設定値入力部が、タイミングコントローラ６４５、アキュムレータ６５、並びに、第２、第３および第５レジスタ６４７〜６４９により実現されるが、複数の光変調素子４６１のそれぞれに対して設けられる設定値入力部は他の構成により実現されてもよい。

上記第１および第２の実施の形態では、２つのカウンタ６１５１，６１５２およびコンパレータ６１４１，６１４２が設けられるが、画像記録装置の各素子駆動要素では３以上のカウンタおよびコンパレータが設けられてもよく、この場合、複数の画素に相当する距離を超えて光変調素子４６１からの出力光量の遷移位置をシフトさせることが可能となる。以上のように、画像記録装置の各素子駆動要素では、カウント開始位置が設定距離だけ順にシフトするとともに、ベースクロック８１３に基づいてそれぞれが設定距離のＫ倍のカウント区間（Ｋは２以上の整数）毎にディレイクロック８１４のカウントを開始するＫ個のカウンタ、および、Ｋ個のカウンタからそれぞれ入力されるカウント数が設定値以上となる際に、光変調素子４６１からの出力光量の遷移を指示する信号を出力するＫ個のコンパレータが設けられ、設定値入力部が、当該素子駆動要素に対応する画素列において各カウンタの各カウント区間の最初の設定距離における始点から当該設定距離に含まれる変化点までの距離と当該変化点に対するシフト量との和を当該始点からのディレイクロック８１４のカウント数に換算した設定値を、当該カウンタに接続されたコンパレータに入力する。これにより、１画素に相当する距離を超えて光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトさせることが可能となる。

また、上記第３の実施の形態でも同様に、画像記録装置の各素子駆動要素に３以上のコンパレータが設けられてもよく、素子駆動要素では、ベースクロック８１３に基づいて、設定距離のＫ倍のカウント区間（Ｋは２以上の整数）毎にディレイクロック８１４のカウントを開始する１つのカウンタ、および、１ないしＫの番号にそれぞれに対応付けられるとともに、カウンタから入力されるカウント数が設定値以上となる際に、光変調素子４６１からの出力光量の遷移を指示する信号を出力するＫ個のコンパレータが設けられる。そして、Ｋ個のコンパレータに対して番号に従って設定距離だけ順にシフトした開始位置からカウント区間に等しい長さの重複カウント区間が順次設定されるとともに、番号が１であるコンパレータの各重複カウント区間がカウンタのカウント区間と重なっているものとして、当該素子駆動要素に対応する画素列において各重複カウント区間の最初の設定距離における始点から当該設定距離に含まれる変化点までの距離と当該変化点に対するシフト量との和を当該始点からのディレイクロック８１４のカウント数に換算したシフト換算値が求められ、設定値入力部が、当該重複カウント区間に対応するコンパレータの番号から１を減じた値に設定距離に相当するカウント数を乗じた番号換算値をシフト換算値に加算した値が、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数を超えない場合に当該値を設定値とし、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数を超える場合に、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数から番号換算値を減算した値を、シフト換算値から減算して得られる値を設定値として、当該重複カウント区間に対応するコンパレータに入力する。これにより、１画素に相当する距離を超えて光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトさせることが可能となる。

上記第２の実施の形態では、各素子駆動要素６１が２つのカウンタ６１５１，６１５２および２つのコンパレータ６１４１，６１４２のみを有することにより、シフト上限距離が１つの画素に対応する基板９上の領域の主走査方向の幅に設定距離を加算したものとされるが、上述のように、素子駆動要素がＫ個のカウンタおよびＫ個のコンパレータを有する場合には、シフト上限距離は１つの画素に対応する基板９上の領域の主走査方向の幅に設定距離の（Ｋ−１）倍を加算した値とされる。そして、各変化点に対するシフト量がシフト上限距離を超える場合に、当該変化点が列方向に移動するように対象画像の画素の画素値が変更されるとともに、当該変化点に対するシフト量を、当該シフト量から当該変化点が移動した画素数に相当する距離を減算した値に修正して、シフト上限距離以下となる修正後のシフト量が取得されることにより、シフト上限距離を超えて遷移位置をシフトさせることが可能となる（第３の実施の形態において同様）。

上記第２の実施の形態において、図１７の例では、光変調素子４６１において目標駆動電圧が画素値２に対応する第２階調駆動電圧Ｖ２とされる距離が短くされる場合（図２６の上から４段目参照）について述べたが、図２６の上から３段目に示すように、目標駆動電圧が第２階調駆動電圧Ｖ２とされる距離が長くなるように補正テーブルにおける線幅補正シフト量が決定されていてもよい。また、画像記録装置１，１ａでは、光変調素子４６１の遷移位置を照射位置の進行方向の前側にシフトさせる以外に（図２６の上から５段目参照）、図２６の最下段に示すように、照射位置の進行方向の後側にシフトさせてもよい。

このような場合であっても、描画ずれの補正を行わない場合のシフト量である標準シフト量を基準距離Ｔの１／２倍に設定し、１つの画素に対応する基板９または記録媒体９ａ上の領域の主走査方向の幅の半分から画素群の描画ずれに基づく距離（上記実施の形態では、線幅補正シフト量および位置補正シフト量）を増減した値を、（画素の加工に伴う）修正を行う前のシフト量とすることにより、光変調素子４６１の出力光量の遷移位置を主走査方向の両側に容易に移動させることができ、その結果、画像を精度よく記録することが可能となる。

上記第２の実施の形態では、画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１を用いることにより、シフト上限距離を超える遷移位置のシフトを容易に行うことが実現されるが、各変化点のシフト量がシフト上限距離を超える場合に、当該変化点が列方向に移動するように対象画像の画素の画素値が変更されるとともに、当該変化点に対するシフト量を、当該シフト量から当該変化点が移動した画素数に相当する距離を減算した値に修正して、シフト上限距離以下となる修正後のシフト量が取得されるのであるならば、画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１を用いることなく画像記録が行われてもよい。

図１および図２４の画像記録装置１，１ａでは、複数の光変調素子４６１を有する空間光変調器４６が設けられ、複数の光変調素子４６１により対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画が行われることにより、画像を高速に記録することが実現されるが、画像記録装置の設計によっては、１つの光変調素子を有する光変調器が用いられてもよい。この場合、１つの画素列加工部６３２および１つの修正シフト量取得部６１８がそれぞれ各変化点の移動量を取得して当該変化点を列方向に移動する画像変更部、および、各変化点に対する修正後のシフト量を取得するシフト量取得部と捉えられ、同一の画素加工テーブル６３１１および修正シフト量テーブル６１７１を用いて複数の画素列に対応する描画が行われる。

画像記録装置１，１ａにおいて、描画における信号光は必ずしも０次光である必要はなく、１次回折光が信号光とされてもよい。また、撓んでいない状態の可撓リボン４６１ａと固定リボン４６１ｂとの相対的位置関係が上記実施の形態とは異なり、可撓リボン４６１ａが撓んだ状態で０次光が出射される光変調素子４６１が用いられてもよい。これらの場合においても、光変調素子４６１の動作タイミングをシフトすることにより、適切な画像記録が実現される。

可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂは帯状の反射面として捉えることができるのであるならば、厳密な意味でのリボン形状である必要はない。例えば、ブロック形状の上面が固定リボンの反射面としての役割を果たしてもよい。

光変調素子４６１は回折格子型に限定されず、例えば液晶シャッタ等であってもよい。さらに、光変調素子４６１は光を反射するものにも限定されず、例えば、レーザアレイが光変調素子４６１としての役割を果たしてもよい。これらの場合においても各素子における描画ずれを補正することにより、適切な画像記録が実現される。

また、２次元の空間光変調器が採用されてもよく、この場合、光変調素子４６１の各１次元の配列に対して、上記実施の形態における複数の光変調素子４６１に対する補正が適用される。

上記第２の実施の形態では、合計シフト量がシフト上限距離を超える変化点を検出して、当該変化点を移動しつつシフト量を修正する演算部が、主演算部６２、複数のＦＰＧＡ制御要素６３および複数の素子駆動要素６１により実現されるが、画像を高速に記録する必要がない場合には、演算部の機能が主演算部６２における演算のみにより（ソフトウェア的に）実現されてもよい。

また、画像記録装置１，１ａでは、基板９および記録媒体９ａの主走査方向への移動速度はほぼ一定とされるため、以上の説明における距離（または位置）の概念は時間（または時刻）として捉えることも可能である。

基板９および記録媒体９ａは光学ヘッド４１，４１ａに対して相対的に移動可能であるならば他の手法により移動されてもよい。また、画像の情報を保持する記録媒体は、プリント配線基板や半導体基板等の感光性材料が塗布された、あるいは、感光性を有する他の材料であってもよく、光の照射による熱に反応する材料であってもよい。

第１の実施の形態に係る画像記録装置の側面図である。 画像記録装置の平面図である。 空間光変調器を示す図である。 光変調素子の断面を示す図である。 光変調素子の断面を示す図である。 変調器制御部の一部の構成を示す図である。 ベースクロックおよびディレイクロックを示す図である。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 ベースクロックおよび画素列を示す図である。 第２の実施の形態に係る変調器制御部の構成を示すブロック図である。 変換画素データの構造を示す図である。 変換画素データを説明するための図である。 基準位置アドレステーブルを示す図である。 修正シフト量テーブルを示す図である。 駆動電圧テーブルを示す図である。 基板上に画像を記録する動作の流れを示す図である。 標準シフト量を説明するための図である。 線幅補正シフト量を説明するための図である。 位置補正シフト量を説明するための図である。 画素列のデータ構造を示す図である。 ベースクロックおよび画素列を示す図である。 第３の実施の形態に係る素子駆動要素の構成を示す図である。 アキュムレータの構成を示す図である。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 素子駆動要素のタイミングチャートである。 第４の実施の形態に係る画像記録装置の構成を示す図である。 光学ヘッドの内部構成を示す図である。 線幅補正シフト量および位置補正シフト量の他の例を示す図である。

符号の説明

１，１ａ 画像記録装置
３ 基板保持部
６，６ａ 制御部
９ 基板
９ａ 記録媒体
２５ 主走査機構
４６ 空間光変調器
６１，６１ａ 素子駆動要素
６２ 主演算部
６３ ＦＰＧＡ制御要素
６５ アキュムレータ
７０ 保持ドラム
７１，７１ａ 画素
８１ モータ
６０１ クロック発生部
８１３，８１３ａ〜８１３ｇ ベースクロック
８１４ ディレイクロック
４６１ 光変調素子
６１７，６３１ メモリ
６１８ 修正シフト量取得部
６３２ 画素列加工部
６４１，６４２，６１４１，６１４２ コンパレータ
６４４，６１５１，６１５２ カウンタ
６４５，６１６１ タイミングコントローラ
６４７〜６４９，６１６３〜６１６５ レジスタ
６１７１ 修正シフト量テーブル
６３１１ 画素加工テーブル
Ｗ 設定距離

Claims (8)

1. 光の照射により記録媒体に画像を記録する画像記録装置であって、
   光変調素子を有する光変調器と、
   前記光変調器からの信号光により画像が記録される記録媒体を保持する保持部と、
   前記保持部を前記光変調器に対して相対的に移動して前記光変調素子からの光が照射される記録媒体上の照射位置を走査方向に連続的に移動する移動機構と、
   記録媒体への記録対象である対象画像において、前記走査方向に対応する列方向に複数の画素が並ぶ各画素列にて画素値が変化する２つの画素の間の位置である各変化点に関して、画素の描画ずれを補正するために前記光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量を求める演算部と、
   前記移動機構に同期しつつ、前記対象画像および前記シフト量に基づいて前記光変調器を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部が、
   記録媒体上の前記照射位置が、前記対象画像の前記各画素列における１以上の画素に相当する設定距離だけ前記走査方向に移動する毎にベースクロックを発生するとともに、１画素に相当する距離を所定数に等分割した距離だけ前記走査方向に移動する毎にディレイクロックを発生するクロック発生部と、
   カウント開始位置が前記設定距離だけ順にシフトしており、前記ベースクロックに基づいて、それぞれが前記設定距離のＫ倍のカウント区間（Ｋは２以上の整数）毎に前記ディレイクロックのカウントを開始するＫ個のカウンタと、
   前記Ｋ個のカウンタからそれぞれ入力されるカウント数が設定値以上となる際に、前記光変調素子からの出力光量の遷移を指示する信号を出力するＫ個のコンパレータと、
   前記各画素列において各カウンタの各カウント区間の最初の設定距離における始点から前記最初の設定距離に含まれる変化点までの距離と前記変化点に対するシフト量との和を前記始点からの前記ディレイクロックのカウント数に換算した設定値を、前記各カウンタに接続されたコンパレータに入力する設定値入力部と、
   を備えることを特徴とする画像記録装置。
2. 請求項１に記載の画像記録装置であって、
   前記光変調器が複数の光変調素子を有し、
   前記制御部が、前記複数の光変調素子のそれぞれに対して前記Ｋ個のカウンタ、前記Ｋ個のコンパレータおよび前記設定値入力部を有し、
   前記複数の光変調素子が、前記対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画を行うことを特徴とする画像記録装置。
3. 請求項１に記載の画像記録装置であって、
   前記演算部が、前記各変化点に対する前記シフト量が、１つの画素に対応する記録媒体上の領域の前記走査方向の幅に前記設定距離の（Ｋ−１）倍を加算したシフト上限距離を超える場合に、前記各変化点が前記列方向に移動するように前記対象画像の画素の画素値を変更するとともに、前記各変化点に対する前記シフト量を、前記シフト量から前記各変化点が移動した画素数に相当する距離を減算した値に修正して、前記シフト上限距離以下となる修正後のシフト量を取得することを特徴とする画像記録装置。
4. 請求項３に記載の画像記録装置であって、
   前記演算部において、前記各変化点に対して、前記２つの画素の画素値の組合せに基づいて修正前の前記シフト量が求められ、
   前記演算部が、
   複数通りの２つの画素値の組合せのそれぞれに対する変化点の移動量を示す画素加工テーブルを記憶する第１テーブル記憶部と、
   前記各画素列の各変化点における２つの画素値の組合せを用いて前記画素加工テーブルを参照することにより、前記各変化点の移動量を取得して前記各変化点を前記列方向に移動する画像変更部と、
   前記複数通りの２つの画素値の組合せのそれぞれに対する修正後のシフト量を示す修正シフト量テーブルを記憶する第２テーブル記憶部と、
   前記各画素列の前記各変化点における２つの画素値の組合せを用いて前記修正シフト量テーブルを参照することにより、前記各変化点に対する前記修正後のシフト量を取得するシフト量取得部と、
   を備えることを特徴とする画像記録装置。
5. 請求項４に記載の画像記録装置であって、
   前記光変調器が複数の光変調素子を有し、
   前記制御部が、前記複数の光変調素子のそれぞれに対して前記Ｋ個のカウンタ、前記Ｋ個のコンパレータおよび前記設定値入力部を有し、
   前記複数の光変調素子が、前記対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画を行い、
   前記複数の光変調素子にそれぞれ対応する複数の画素加工テーブルおよび複数の修正シフト量テーブルが前記第１テーブル記憶部および前記第２テーブル記憶部に記憶されることを特徴とする画像記録装置。
6. 光の照射により記録媒体に画像を記録する画像記録装置であって、
   光変調素子を有する光変調器と、
   前記光変調器からの信号光により画像が記録される記録媒体を保持する保持部と、
   前記保持部を前記光変調器に対して相対的に移動して前記光変調素子からの光が照射される記録媒体上の照射位置を走査方向に連続的に移動する移動機構と、
   記録媒体への記録対象である対象画像において、前記走査方向に対応する列方向に複数の画素が並ぶ各画素列にて画素値が変化する２つの画素の間の位置である各変化点に関して、画素の描画ずれを補正するために前記光変調素子からの出力光量の遷移位置をシフトするシフト量を求める演算部と、
   前記移動機構に同期しつつ、前記対象画像および前記シフト量に基づいて前記光変調器を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部が、
   記録媒体上の前記照射位置が、前記対象画像の前記各画素列における１以上の画素に相当する設定距離だけ前記走査方向に移動する毎にベースクロックを発生するとともに、１画素に相当する距離を所定数に等分割した距離だけ前記走査方向に移動する毎にディレイクロックを発生するクロック発生部と、
   前記ベースクロックに基づいて、前記設定距離のＫ倍のカウント区間（Ｋは２以上の整数）毎に前記ディレイクロックのカウントを開始する１つのカウンタと、
   １ないしＫの番号にそれぞれに対応付けられるとともに、前記１つのカウンタから入力されるカウント数が設定値以上となる際に、前記光変調素子からの出力光量の遷移を指示する信号を出力するＫ個のコンパレータと、
   前記Ｋ個のコンパレータに対して前記番号に従って前記設定距離だけ順にシフトした開始位置から前記カウント区間に等しい長さの重複カウント区間が順次設定され、前記番号が１であるコンパレータの各重複カウント区間が前記１つのカウンタの前記カウント区間と重なっており、前記各画素列において各重複カウント区間の最初の設定距離における始点から前記最初の設定距離に含まれる変化点までの距離と前記変化点に対するシフト量との和を前記始点からの前記ディレイクロックのカウント数に換算したシフト換算値が求められ、前記各重複カウント区間に対応するコンパレータの番号から１を減じた値に前記設定距離に相当するカウント数を乗じた番号換算値を前記シフト換算値に加算した値が、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数を超えない場合に前記加算した値を設定値とし、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数を超える場合に、Ｋ個の設定距離に相当するカウント数から前記番号換算値を減算した値を、前記シフト換算値から減算して得られる値を設定値として、前記各重複カウント区間に対応するコンパレータに入力する設定値入力部と、
   を備えることを特徴とする画像記録装置。
7. 請求項６に記載の画像記録装置であって、
   前記光変調器が複数の光変調素子を有し、
   前記制御部が、前記複数の光変調素子のそれぞれに対して前記１つのカウンタ、前記Ｋ個のコンパレータおよび前記設定値入力部を有し、
   前記複数の光変調素子が、前記対象画像に含まれる互いに異なる複数の画素列の描画を行うことを特徴とする画像記録装置。
8. 請求項２、５または７に記載の画像記録装置であって、
   前記複数の光変調素子のそれぞれが、帯状の固定反射面と可撓反射面とが交互に配列された回折格子型の光変調素子であることを特徴とする画像記録装置。

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