JP5334774B2 - パターン描画装置 - Google Patents
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Description
2 保持部移動機構
9 基板
41 光学ヘッド
61 ストレージユニット
62 ストレージ
71 管理情報
72 描画データ
601 記憶部
614 固定ディスク
621 パーティション
641 データ読出制御部
643 バックアップ作成部
912,912a 線状領域
Claims (5)
- 基板にパターンを描画するパターン描画装置であって、
描画データに従ってエネルギービームを基板に照射するヘッドと、
基板上における前記エネルギービームの照射領域を前記基板に対して相対的に移動する移動機構と、
複数の描画パターンを示す複数の描画データを複数のパーティションにそれぞれ記憶するストレージと、
各パーティションに割り当てられたパーティション識別情報と、前記各パーティションに記憶される描画データが示す描画パターンに割り当てられた描画パターン識別情報とを対応付ける管理情報を記憶する、前記ストレージとは異なる記憶部と、
基板に描画する対象描画パターンの前記描画パターン識別情報を用いて前記管理情報を参照することにより、前記対象描画パターンを示す対象描画データが記憶される対象パーティションを特定し、前記照射領域の相対移動に並行して、前記対象描画データを前記対象パーティションから前記ヘッドに出力させるデータ読出制御部と、
前記管理情報のバックアップを他の記憶部に作成するバックアップ作成部と、
を備えることを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項1に記載のパターン描画装置であって、
前記ヘッドと同様の構造を有するもう1つのヘッドと、
前記ストレージ、前記記憶部、前記データ読出制御部および前記バックアップ作成部の集合であるストレージユニットと同様の構造を有するもう1つのストレージユニットと、
をさらに備え、
前記移動機構が、前記ヘッドおよび前記もう1つのヘッドを一体的に、かつ、前記基板に対して相対的に移動し、
前記ストレージユニットの前記記憶部に記憶される前記管理情報のバックアップ、および、前記もう1つのストレージユニットの前記記憶部に記憶される前記管理情報のバックアップが、前記ストレージユニットおよび前記もう1つのストレージユニットとは個別に設けられる前記他の記憶部に作成されることを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項1または2に記載のパターン描画装置であって、
前記バックアップ作成部が、前記ストレージにおける描画データの追加、削除または変更により前記管理情報の内容が変更される毎に、前記管理情報のバックアップを前記他の記憶部に作成することを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載のパターン描画装置であって、
前記ストレージにおいて、前記複数の描画データのそれぞれが圧縮データとして記憶され、
前記管理情報が、前記複数の描画データのそれぞれのサイズを含み、
前記データ読出制御部が、前記管理情報における前記対象描画データのサイズを、前記対象パーティションから読み出すべきデータのサイズとして特定することを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項4に記載のパターン描画装置であって、
前記エネルギービームの前記照射領域が主走査方向に前記基板に対して相対的に移動することにより、前記基板上において前記主走査方向に伸びる線状領域に前記対象描画パターンの一部が描画され、前記照射領域が前記主走査方向に交差する副走査方向に移動した後、前記線状領域に平行な他の線状領域に前記対象描画パターンの他の一部が描画され、
前記管理情報において、各線状領域に対応する部分描画データのサイズが含まれ、
前記データ読出制御部が、前記各線状領域への描画を行う際に、前記管理情報における前記各線状領域に対応する前記部分描画データのサイズを、前記対象パーティションから読み出すべきデータのサイズとして特定することを特徴とするパターン描画装置。
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