CN100462777C - 偏振光膜检查装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供偏振光膜检查装置及方法。该检查装置包括：第一装载/卸载部(100)，设置在衬底板(100a)一侧，装载/卸载偏振光膜(10)；第二装载/卸载部(200)，设置在衬底板的另一侧，装载/卸载偏振光膜；检查部(300)，设置在第一装载/卸载部和第二装载/卸载部之间，检查偏振光膜；第一载体(400)，抓持由第一装载/卸载部装载的偏振光膜，并在第一装载/卸载部和检查部之间移动；第二载体(500)，抓持由第二装载/卸载部装载的偏振光膜，并在第二装载/卸载部和检查部之间移动；载体转换装置(600)，使第一载体和第二载体分别从第一装载/卸载部和第二装载/卸载部向检查部交替地往复移动，以改善偏振光膜检查作业的生产性。

Description

偏振光膜检查装置及方法
技术领域
本发明涉及偏振光膜检查装置，特别涉及可以自动检查适用于LCD的偏振光膜有无次品的偏振光膜检查装置及方法。
背景技术
LCD(Liquid Crystal Display液晶显示器)由于采用液晶的双折射特性，所以使用偏振光膜来调节入射到液晶分子上的光的振动方向。偏振光膜具有以下功能:使沿多个方向振动并入射的自然光变成只沿一个方向振动的偏振光，其种类有碘类、染料类、相位差、半透射以及反射型等偏振光膜。其中碘类偏振光膜作为具有高透射以及高偏光特性的高精细LCD用偏振光膜，将碘用在透明的PVA(Poly VinylAlcohol聚乙烯醇)薄膜中，从而可以吸收可见光区域的光。
偏振光膜的结构大致由TAC(Tri-Acetyl-Cellulose三乙酰纤维素)膜、粘结剂、偏振光元件、粘结剂以及TAC薄膜依次层叠而成。为制造具有上述结构的偏振光膜，需要使用辊(roller)等，因而在偏振光膜的制造过程中，辊的摩擦力可能产生细微的刮痕(scratch)。此外，在偏振光膜的制造过程中，由于PVA膜层上的细微变形或者损伤等将会失去偏振光功能，光直接通过而可能产生漏光。这样在偏振光膜由于细微的变形或损伤等而失去偏振光的功能或者发生刮痕等的缺陷的情况下对LCD画面进行驱动时，可能发生画面中产生斑点的致命的缺陷。
在现有技术中，为了检查可能在LCD画面中产生致命缺陷的偏振光膜有没有缺陷并将其消除，操作者以眼睛直接观察的方式确认并进行检查。也就是说，操作者以眼睛观察的方式对偏振光膜进行确认，从而检查偏振光膜中是否因漏光、刮痕、气泡或者异物而产生次品。
发明内容
然而，现有技术中，在作业者直接检查偏振光膜的情况下，根据作业者的熟练程度，检查的精度以及生产率可能降低。例如，作业者的熟练程度低的情况下，可能发生检查作业的疏漏。此外，即使操作者是熟练人员，由于其疲劳程度也有可能使检查作业的生产率降低。
因此，本发明的目的在于为了能够解决上述问题而提供一种偏振光膜检查装置及方法，在对偏振光膜进行是否有缺陷的检查时，利用在检查部的两侧设置的偏振光膜的装载/卸载部，在位于一个装载/卸载部上的载体上装载/卸载偏振光膜的期间，可对位于另一装载/卸载部的载体所抓持的偏振光膜进行检查，能够改善偏振光膜的检查作业的生产性。
为达到上述目的，本发明的偏振光膜检查装置包括:
第一装载/卸载部，设置在衬底板的一侧，装载/卸载偏振光膜；
第二装载/卸载部，设置在所述衬底板的另一侧，与所述第一装载/卸载部相向地设置，装载/卸载偏振光膜，其中，所述第一装载/卸载部和所述第二装载/卸载部分别包括:放置偏振光膜的升降板；和使所述升降板升降的升降机；
检查部，设置在所述第一装载/卸载部和所述第二装载/卸载部之间，对偏振光膜进行检查，其中，所述检查部包括:场扫描器，对偏振光膜进行场扫描来进行检查；行扫描器，对偏振光膜进行行扫描来进行检查，
第一载体，保持由所述第一装载/卸载部装载的偏振光膜，并在第一装载/卸载部和所述检查部之间移动；
第二载体，保持由所述第二装载/卸载部装载的偏振光膜，并在第二装载/卸载部和所述检查部之间移动，其中，所述第一载体和第二载体分别包括:多个载体抓持件，抓持偏振光膜；多个载体移动块，其中设置有所述多个抓持件，按照各抓持件能够抓持偏振光膜的方式前/后移动；多个载体驱动部件，使所述多个载体移动块前/后移动；
载体转换装置，使所述第一载体和所述第二载体分别从所述第一装载/卸载部和所述第二装载/卸载部向所述检查部交替地往复移动，
其中，所述检查部的场扫描器包括:平板荧光灯，产生光；多个场扫描摄影机，设置在所述平板荧光灯的上侧，在与偏振光膜的移送方向垂直的方向上排成一列，对所述偏振光膜进行扫描，
所述检查部的行扫描器包括:第一行扫描摄影部，对偏振光膜的上侧面进行行扫描；第一行扫描驱动部件，其中设置有所述第一行扫描摄影部；第二行扫描摄影部，对所述偏振光膜的下侧面进行行扫描；第二行扫描驱动部件，其中设置有所述第二行扫描摄影部。
本发明的偏振光膜检查方法包括以下步骤:第一步骤，将偏振光膜装载到位于第一装载/卸载部的第一载体上；第二步骤，在位于第一装载/卸载部的第一载体抓持偏振光膜时，将第一载体移送到检查部，对被第一载体抓持的偏振光膜进行检查；第三步骤，对被移送到检查部的第一载体所抓持的偏振光膜进行检查期间，将偏振光膜装载到位于第二装载/卸载部的第二载体上；第四步骤，在检查部中结束对第一载体所抓持的偏振光膜的检查时，将第一载体移送到第一装载/卸载部中；第五步骤，将第一载体移送到第一装载/卸载部的同时，将抓持偏振光膜的第二载体移送到检查部，对第二载体所抓持的偏振光膜进行检查；第六步骤，在结束被移送到检查部的第二载体所抓持的偏振光膜的检查时，将第二载体移送到第二装载/卸载部中；第七步骤，在第二载体移送到第二装载/卸载部时，卸载第二载体所抓持的偏振光膜，然后，在将所要检查的偏振光膜装载到第二载体的期间，实施第二步骤。
附图说明
图1所示的是本发明偏振光膜检查装置的俯视图；
图2是图1所示的偏振光膜检查装置的主视图；
图3是图1和图2所示的偏振光膜检查装置的部分放大立体图；
图4是图2所示检查部的放大图；
图5是行扫描摄影机的放大立体图；
图6是本发明偏振光膜检查装置的偏振光膜检查方法的示意图。
符号说明
10 偏振光膜                 100 第一装载/卸载部
200 第二装载/卸载部         110、210 升降板
120、220 升降机             300 检查部
310 场扫描器                320 行扫描器
400 第一载体                500 第二载体
410、510 载体驱动部件       420、520 载体移动块
430、530 载体抓持件         600 载体转换装置
610 定子                    620 第一可动件
630 第二可动件
具体实施方式
以下，将参照附图对本发明的实施例进行详细说明。
图1是本发明偏振光膜检查装置的俯视图，图2是图1所示的偏振光膜检查装置的主视图。
如图所示，本发明偏振光膜检查装置包括:第一装载/卸载部100，设置在衬底板100a一侧，装载/卸载偏振光膜10；第二装载/卸载部200，设置在衬底板100a的另一侧，与第一装载/卸载部100相对而设置，装载/卸载偏振光膜10；检查部300，设置在第一装载/卸载部100和第二装载/卸载部200之间，对偏振光膜2进行检查；第一载体400，夹住由第一装载/卸载部100装载的偏振光膜10并在第一装载/卸载部100和检查部300之间移动；第二载体500，夹住由第二装载/卸载部200装载的偏振光膜10并在第二装载/卸载部200和检查部300之间移动；载体转换器600，使第一载体400和第二载体500分别从第一装载/卸载部100和第二装载/卸载部200向检查部300交替地往复移动。
下面，使用附图对本发明的偏振光膜的检查装置的结构详细进行说明。
如图1和图2所示，本发明的偏振光膜检查装置包括第一装载/卸载部100、第二装载/卸载部200、检查部300、第一载体400、第二载体500和载体转换器600，以下对上述结构详细地按顺序进行说明。
第一装载/卸载部100设置在衬底板100a一侧，在偏振光膜检查装置的一侧偏振光膜10被装载时，按照第一载体400能够夹住偏振光膜10的方式进行升降。
第二装载/卸载部200按照与第一装载/卸载部100相向的方式设置在衬底板100a的另一侧，以在偏振光膜检查装置的另一侧装载/卸载偏振光膜10。如图2和图3所示，第一装载/卸载部100、第二装载/卸载部200分别包括升降板110、210和升降机120、220。
升降机120、220分别包括滑动导向件121、221和按照沿着该滑动导向件121、221移动的方式设置的移动块122、222。在移动块122、222的上侧面上分别设置有连接部件123、223，在连接部件123、223的上端设置有升降板110、210。
升降板110、210通过升降机120、220进行升降，使放置在升降板110、210的偏振光膜10移动至能够由第一载体400和第二载体500分别抓持的位置。在此，将升降板110、210移动的升降机120、220分别适用线性电动机或滚珠丝杠移送机构。
将移动至抓持位置的偏振光膜10抓住的第一载体400和第二载体500为了抓住被检查的偏振光膜10或者将检查完的偏振光膜10卸载，分别位于第一装载/卸载部100、第二装载/卸载部200。
如图1和图3所示，位于第一装载/卸载部100、第二装载/卸载部200的第一载体400和第二载体500分别包括载体板401、501、载体驱动部件410、510、多个载体移动块420、520和多个载体抓持件430、530。在此，载体驱动部件410、510作为产生驱动力的装置，使用旋转电动机(图中未示出)、旋转轴(图中未示出)和轴转换装置(图中未示出)，分别设置在载体板401、501上。
在载体驱动部件410、510的上侧，多个载体移动块420、520按照可通过载体驱动部件410、510移动的方式设置，且通过载体驱动部件410、510的驱动力前/后行进。在按照通过载体驱动部件410、510移动的方式被设置的多个载体移动块420、520的上侧分别设置有载体抓持件430、530，以能够在四个方向上抓住偏振光膜10，载体抓持件430、530在第一载体400和第二载体500上分别具有四个。
如图1和图4所示，对偏振光膜10被抓持到通过多个载体移动块420、520驱动的第一载体400和第二载体500上的情况进行检查的检查部300设置在第一装载/卸载部100和第二装载/卸载部200之间，对偏振光膜10进行检查。
检查偏振光膜10的检查部300主要包括场扫描器310和行扫描器320。
场扫描器310为了检查在偏振光膜10中发生的漏光现象进行扫描检查，场扫描器310包括平板荧光灯311和多个场扫描摄影机312。在平板荧光灯311上使用的是适用于LCD的背光，多个场扫描摄影机312在平板荧光灯311的上侧排成一列，对被移送来的偏振光膜10进行扫描。如果偏振光膜10通过进行场扫描的多个场扫描摄影机312，则偏振光膜10接受行扫描检查。
用来进行偏振光膜10的行扫描检查的行扫描器320包括第一行扫描摄影部321、第一行扫描驱动部件322、第二行扫描摄影部323、第二行扫描驱动部件324。
第一行扫描摄影部321设置在偏振光膜10的上侧，以能够行扫描偏振光膜10的上侧面，第二行扫描摄影部323设置在偏振光膜10的下侧，以能够行扫描偏振光膜10的下侧面。在分别设置在偏振光膜10的上/下侧的第一行扫描摄影部321和第二行扫描摄影部323中，各杆状行扫描照明321a、323a和多个行扫描摄影机321b、323b以偏振光膜10为基准，分别倾斜20°至65°而设置，优选倾斜45°而设置，检查在偏振光膜10上是否含有异物或者气泡。
为了更正确地检查在偏振光膜10上含有并能够产生缺陷的异物或者气泡，使多个场扫描摄影机312、行扫描照明321a、323a、多个行扫描摄影机321b、323b、透射检查照明325a和多个透射检查摄影机325b进行直线移动或者对其进行旋转而调整倾斜角度。
为了将多个场扫描摄影机312、行扫描照明321a、323a、透射检查照明325a分别沿着直线方向移动，分别具有微型测量仪326。如图5所示，在微型测量仪326中，第一固定块326c设置在固定板326a上，第二固定块326d设置在移动板326b上，在调整微型测量仪326时，移动板326b沿着固定板326a直线前/后进。
为了将多个行扫描摄影机321b、323b分别斜向旋转而对倾斜角进行调整，具有第一倾斜调整部件327和第二倾斜调整部件328，为了将透射检查摄影机325b斜向旋转而调整位置，具有第二倾斜调整部件328。
如图5所示，通过微型测量仪326直线移动的行扫描摄影机321b、323b和调整透射检查摄影机325b的倾斜角度的第一倾斜调整部件327和第二倾斜调整部件328使行扫描摄影机321b、323b和透射检查摄影机325b旋转第一旋转角m1和第二旋转角m2以调整倾斜角度。为此，第一倾斜调整部件327和第二倾斜调整部件328分别包括具有凸曲面的第一旋转块328b和具有凹曲面的第二旋转块328a。
在第一旋转块328b和第二旋转块328a的曲面的中央形成有螺纹凸出部(图中未示出)，形成有螺纹凸出部的调整部件328c与分别形成在第一旋转块328b和第二旋转块328a上的螺纹凸出部啮合。由此，在调整部件328c旋转时，第一旋转块328b沿着第二旋转块328a的曲面移动，以能够调整行扫描摄影机321b、323b和透射检查摄影机325b的倾斜角度。
以在倾斜角度和直线方向上可移动的方式设置的第一行扫描摄影部321和第二行扫描摄影部323分别设置在第一行扫描驱动部件322和第二行扫描驱动部件324上。第一行扫描驱动部件322使第一行扫描摄影部321移动，第二行扫描驱动部件324使第二行扫描摄影部323移动，能够将分别形成在第一行扫描摄影部321和第二行扫描摄影部323的行扫描照明321a、323a和行扫描摄影机321b、323b之间的间隔m变窄或变宽。
通过将行扫描照明321a、323a和行扫描摄影机321b、323b之间的间隔m变窄，在能够将检查部300的尺寸设定为小型尺寸的第一行扫描驱动部件322和第二行扫描驱动部件324上设置透射检查摄影机摄影部325。
透射检查摄影机摄影部325为了检查可能含有在偏振光膜10的内侧的较大异物，包括杆状透射检查照明325a和多个透射检查摄影机325b。在此，透射检查照明325a设置在第二行扫描驱动部件324上，多个透射检查摄影机325b设置在第一行扫描驱动部件322上。
设置透射检查照明325a和多个透射检查摄影机325b的第一行扫描驱动部件322和第二行扫描驱动部件324分别包括固定板322a、324a、滑动导向件322b、324b、检查移动块322c、324c和检查移动板322d、324d，在检查移动板322d、324d上进一步分别包括多个透射检查摄影机325b和透射检查照明325a。
如果结束通过包含有透射检查照明325a和多个透射检查摄影机325b的行扫描器320对偏振光膜10的检查，则抓持偏振光膜10的第一载体400或者第二载体500分别向第一装载/卸载部100、第二装载/卸载部200或者场扫描器310移动。
为了将第一载体400和第二载体500交替地向第一装载/卸载部100、第二装载/卸载部200或者扫描器检查部300移动，如图1所示地设置有载体转换装置600，以位于衬底板100a的长度方向上。
载体转换装置600为了将第一载体400和第二载体500分别从第一装载/卸载部100和第二装载/卸载部200交替地向检查部300往复移动，采用线性电动机，载体转换装置600包括定子610、第一可动件620和第二可动件630。
定子610设置有多个永磁体611，第一可动件620和第二可动件630分别设置有多个电枢线圈621、631，以可相对定子610移动的方式设置。
在沿着定子610移动的第一可动件620和第二可动件630的上侧分别设置有第一载体400和第二载体500，在永磁体611和电枢线圈621、631之间产生推力时，第一可动件620和第二可动件630沿着定子610移动，使第一载体400和第二载体500移动。在与载体转换装置600相对的方向设置有导轨640，以在第一可动件620和第二可动件630沿着定子610移动时，对设置在第一可动件620和第二可动件630上的第一载体400和第二载体500进行引导。
行标记器(line marker)700按照可在水平和垂直方向上移动的方式设置在检查部300的两侧，以表示通过导轨640引导并移动的第一载体400或者第二载体500所抓持的偏振光膜10的方向。另外，行标记器700可采用笔、喷墨机构或者压印器，在对偏振光膜10提供保护的保护膜(图中未示出)上做行标记，表示偏振光膜的方向。
下面，使用图6对如上构成的本发明的偏振光膜检查装置所使用的偏振光膜检查方法进行说明。
如图6(A)所示，为了检查偏振光膜10，首先实施第一步骤，即，将偏振光膜10装载到位于第一装载/卸载部100的第一载体400上。
在第一步骤中将偏振光膜10装载并抓持在第一载体400上后，进行第二步骤。如图6(B)中箭头‘a’所示，将第一载体400移送到检查部300，然后将第一载体400朝向箭头‘b’方向移送，对被第一载体400抓持的偏振光膜10进行检查。在此，在第二步骤对第一载体400所抓持的偏振光膜10检查的情况下，首先将偏振光膜10移送到场扫描器310上，然后移送到行扫描器320上，实施偏振光膜10的场扫描检查后，再实施行扫描检查。
在对第二步骤中被移送到检查部300的由第一载体400所抓持的偏振光膜10进行检查期间，实施将偏振光膜10装载到位于第二装载/卸载部200的第二载体500上的第三步骤。
在第三步骤中在检查部300中结束对第一载体400所抓持的偏振光膜10的检查时，实施第四步骤，即，如图6(C)的箭头‘c’所示，将第一载体400移送到第一装载/卸载部100中。
在实施将第一载体400移送到第一装载/卸载部100的第四步骤的同时，如箭头‘d’所示，实施第五步骤，将抓持偏振光膜10的第二载体500移送到检查部300后，将第二载体500再次朝向箭头‘e’方向移送，以检查由第二载体500抓持的偏振光膜10。在此，在第五步骤对第二载体500所抓持的偏振光膜10进行检查的情况下，将偏振光膜10首先移送到场扫描器310中，然后再移动到行扫描器320中，以进行偏振光膜10的场扫描检查，然后再进行扫描检查。
在第五步骤中结束被移送到检查部300的第二载体500所抓持的偏振光膜10的检查后，实施将第二载体500移送到第二装载/卸载部200的第六步骤。
在实施第六步骤后，实施第七步骤。在该步骤中，卸载移送到第二装载/卸载部200的第二载体500所抓持的偏振光膜10，然后在装载想要检查的偏振光膜10的期间实施第二步骤。由此，对可能包含在偏振光膜10的漏光现象或异物进行检查。
如上所述，本发明的偏振光膜的检查装置和检查方法在检查部的两侧具有对偏振光膜进行装载和卸载的装载/卸载部，在位于一个装载/卸载部上的载体上装载/卸载偏振光膜期间，可对位于另一装载/卸载部对载体所抓持的偏振光膜进行检查，具有能够改善偏振光膜的检查作业的生产性的优点。

Claims (13)

1.一种偏振光膜检查装置，其特征在于，包括：
第一装载/卸载部，设置在衬底板的一侧，装载/卸载偏振光膜；
第二装载/卸载部，设置在所述衬底板的另一侧，与所述第一装载/卸载部相向地设置，装载/卸载偏振光膜，其中，所述第一装载/卸载部和所述第二装载/卸载部分别包括：放置偏振光膜的升降板；和使所述升降板升降的升降机；
检查部，设置在所述第一装载/卸载部和所述第二装载/卸载部之间，对偏振光膜进行检查，其中，所述检查部包括：场扫描器，对偏振光膜进行场扫描来进行检查；行扫描器，对偏振光膜进行行扫描来进行检查，
第一载体，保持由所述第一装载/卸载部装载的偏振光膜，并在第一装载/卸载部和所述检查部之间移动；
第二载体，保持由所述第二装载/卸载部装载的偏振光膜，并在第二装载/卸载部和所述检查部之间移动，其中，所述第一载体和第二载体分别包括：多个载体抓持件，抓持偏振光膜；多个载体移动块，其中设置有所述多个抓持件，按照各抓持件能够抓持偏振光膜的方式前/后移动；多个载体驱动部件，使所述多个载体移动块前/后移动；
载体转换装置，使所述第一载体和所述第二载体分别从所述第一装载/卸载部和所述第二装载/卸载部向所述检查部交替地往复移动，
其中，所述检查部的场扫描器包括：平板荧光灯，产生光；多个场扫描摄影机，设置在所述平板荧光灯的上侧，在与偏振光膜的移送方向垂直的方向上排成一列，对所述偏振光膜进行扫描，
所述检查部的行扫描器包括：第一行扫描摄影部，对偏振光膜的上侧面进行行扫描；第一行扫描驱动部件，其中设置有所述第一行扫描摄影部；第二行扫描摄影部，对所述偏振光膜的下侧面进行行扫描；第二行扫描驱动部件，其中设置有所述第二行扫描摄影部。
2.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述第一行扫描摄影部和所述第二行扫描摄影部分别包括：
行扫描照明，其斜向设置；
多个行扫描摄影机，斜向设置以接收由所述行扫描照明照射并通过偏振光膜的表面反射的光，
所述行扫描照明和所述多个行扫描摄影机通过所述第一行扫描驱动部件和所述第二行扫描驱动部件能够将相互间的间隔变窄或变宽。
3.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，在所述第一行扫描驱动部件中进一步包括多个透射检查摄影机，在所述第二行扫描驱动部件中进一步包括透射检查照明。
4.根据权利要求3所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述多个行扫描摄影机和透射检查摄影机包括：
微型测量器，将行扫描摄影机和透射检查摄影机朝向倾斜方向直线移动；
第一倾斜调整部件，将所述行扫描摄影机和透射检查摄影机分别按照以第一旋转角度进行旋转的方式进行调整；
第二倾斜调整部件，将所述行扫描摄影机和透射检查摄影机分别按照第二旋转角度进行旋转的方式进行调整。
5.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述多个场扫描摄影机分别包括产生倾斜方向移动的微型测量器。
6.根据权利要求2所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述行扫描照明包括产生倾斜方向移动的微型测量器。
7.根据权利要求3所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述透射检查摄影机包括产生倾斜方向移动的微型测量器。
8.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，在所述检查部的两侧分别设有用以表示偏振光膜方向的行标记器。
9.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述第一载体和所述第二载体分别包括：
载体板；
载体驱动部件，设置在所述载体板上；
多个载体移动块，能够利用所述载体驱动部件移动，通过载体驱动部件的驱动力能够前/后移动；
多个载体抓持件，分别设置在所述载体移动块的上侧，抓持偏振光膜。
10.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述载体转换装置使用线性电动机。
11.根据权利要求1所述的偏振光膜检查装置，其特征在于，所述载体转换装置包括：
定子；
第一可动件，以能够相对于所述定子移动的方式设置，其上侧设置有所述第一载体；
第二可动件，以能够相对于所述定子移动的方式设置，其上侧设置有所述第二载体。
12.一种偏振光膜检查方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一步骤，将偏振光膜装载到位于第一装载/卸载部的第一载体上；
第二步骤，在位于第一装载/卸载部的第一载体抓持所述偏振光膜时，将第一载体移送到检查部，对被第一载体抓持的偏振光膜进行检查；
第三步骤，对被移送到所述检查部的第一载体所抓持的偏振光膜进行检查期间，将偏振光膜装载到位于第二装载/卸载部的第二载体上；
第四步骤，在所述检查部中结束对第一载体所抓持的偏振光膜的检查时，将第一载体移送到第一装载/卸载部中；
第五步骤，将第一载体移送到第一装载/卸载部的同时，将抓持所述偏振光膜的第二载体移送到所述检查部，对第二载体所抓持的偏振光膜进行检查；
第六步骤，在对被移送到所述检查部的第二载体所抓持的偏振光膜的检查结束时，将所述第二载体移送到所述第二装载/卸载部中；
第七步骤，在所述第二载体移送到所述第二装载/卸载部时，卸载第二载体所抓持的偏振光膜，然后，在将所要检查的偏振光膜装载到第二载体的期间，实施所述第二步骤。
13.根据权利要求12所述的偏振光膜检查方法，其特征在于，对所述第一载体所抓持的偏振光膜进行检查的第二步骤和对所述第二载体所抓持的偏振光膜进行检查的第五步骤在对所述第一载体和第二载体所抓持的偏振光膜进行检查的情况下，分别实施场扫描检查后，再实施行扫描检查。
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