JP4522986B2 - 偏光フィルム検査装置及び方法 - Google Patents
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Description
100:第1ローディング/アンローディング部
200:第2ローディング/アンローディング部
110,210:昇降プレート
120,220:昇降機
300:検査部
310:領域スキャナ
320:ラインスキャナ
400:第1キャリア
500:第2キャリア
410,510:キャリア駆動部材
420,520:キャリア移動ブロック
430,530:キャリアグリッパ
600:キャリアトランスファ
610:固定子
620:第1可動子
630:第2可動子
Claims (15)
- ベースプレートの一側に設置され、偏光フィルムをローディング/アンローディングさせる第1ローディング/アンローディング部と、
前記ベースプレートの他側に前記第1ローディング/アンローディング部と対向するように設置され、偏光フィルムをローディング/アンローディングさせる第2ローディング/アンローディング部と、
前記第1ローディング/アンローディング部と前記第2ローディング/アンローディング部との間に設置され、偏光フィルムを検査する検査部と、
前記第1ローディング/アンローディング部によってローディングされる偏光フィルムをグリップして、第1ローディング/アンローディング部と前記検査部との間を移動する第1キャリアと、
前記第2ローディング/アンローディング部によってローディングされる偏光フィルムをグリップして、第2ローディング/アンローディング部と前記検査部との間を移動する第2キャリアと、
前記第1キャリアと前記第2キャリアとをそれぞれ前記第1ローディング/アンローディング部と前記第2ローディング/アンローディング部とから検査部に交互に往復動させるキャリアトランスファと、から構成されることを特徴とする偏光フィルム検査装置。 - 前記第1ローディング/アンローディング部と前記第2ローディング/アンローディング部は、偏光フィルムが設置される昇降プレートと、前記昇降プレートを昇/下降させる昇降機と、からなり、
前記昇降機は、スライディングガイドと、前記スライディングガイドに沿って移動されるように設置された移動ブロックとからなり、
前記移動ブロックの上側面には、連結部材が設置されて、前記連結部材の上端には、昇降プレートが設置されていることを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記第1キャリアと前記第2キャリアとは、それぞれ偏光フィルムをグリップする複数個のキャリアグリッパと、
前記複数個のグリッパが設置されてそれぞれのグリッパが偏光フィルムをグリップすることができるように前/後進移動する複数個のキャリア移動ブロックと、
前記キャリア移動ブロックを前/後進移動させる複数個のキャリア駆動部材とを具備することを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記検査部は、偏光フィルムを領域スキャニングして検査する領域スキャナと、
偏光フィルムをラインスキャニングして検査するラインスキャナとを具備することを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記領域スキャナは、光を発生する平板蛍光ランプと、
前記平板蛍光ランプの上側に設置され、移送される偏光フィルムをスキャニングするように、偏光フィルムの移送方向と直角になる方向に一列に配設され、偏光フィルムをスキャニングする複数個の領域スキャンカメラとを具備することを特徴とする請求項4に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記ラインスキャナは、偏光フィルムの上側面をラインスキャニングする第1ラインスキャンカメラ部と、
前記第1ラインスキャンカメラ部が設置される第1ラインスキャン駆動部材と、
偏光フィルムの下側面をラインスキャニングする第2ラインスキャンカメラ部と、
前記第2ラインスキャンカメラ部が設置される第2ラインスキャン駆動部材と、から構成されることを特徴とする請求項4に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記第1ラインスキャンカメラ部と前記第2ラインスキャンカメラ部とは、それぞれ斜めに設置され、傾斜した方向に移動させるマイクロメーターが具備されたラインスキャン照明と、
前記ラインスキャン照明から照射され偏光フィルムの表面を通じて反射される光を受信するように斜めに設置された複数個のラインスキャンカメラと、から構成されて、
前記ラインスキャン照明と前記複数個のラインスキャンカメラとは、前記第1ラインスキャン駆動部材と前記第2ラインスキャン駆動部材とによって互いの間隔が狭められたり離れたりすることができるように移動させることを特徴とする請求項6に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記第1ラインスキャン駆動部材には、複数個の透過検査カメラ部がさらに具備され、前記第2ラインスキャン駆動部材には、透過検査照明がさらに具備され、該透過検査照明は傾斜した方向に移動させるマイクロメーターが具備されたことを特徴とする請求項6に記載の偏光フィルム検査装置。
- 前記複数個のラインスキャンカメラと透過検査カメラとは、傾斜した方向にラインスキャンカメラと透過検査カメラを直線移動させるマイクロメーターと、
前記ラインスキャンカメラと透過検査カメラとをそれぞれ第1回動角度に回動されるように調整する第1傾斜調整部材と、
前記ラインスキャンカメラと透過検査カメラとをそれぞれ第2回動角度に回動されるように調整する第2傾斜調整部材とを具備することを特徴とする請求項7または8に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記複数個の領域スキャンカメラは、傾斜した方向に移動させるマイクロメーターが具備されることを特徴とする請求項5に記載の偏光フィルム検査装置。
- 前記第1キャリアと前記第2キャリアとは、それぞれキャリアプレートと、
前記キャリアプレートに設置されるキャリア駆動部材と、
前記キャリア駆動部材によって移動されることができるように設置され、キャリア駆動部材の駆動力によって前/後進移動される複数個のキャリア移動ブロックと、
前記キャリア移動ブロックの上側にそれぞれ設置され、偏光フィルムをグリップする複数個のキャリアグリッパとを具備することを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記キャリアトランスファは、リニアモータが適用されることを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。
- 前記キャリアトランスファは、固定子と、
前記固定子に移動可能なように設置され、上側に前記第1キャリアが設置された第1可動子と、
前記固定子に移動可能なように設置され、上側に前記第2キャリアが設置された第2可動子とを具備することを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 第1ローディング/アンローディング部に位置した第1キャリアに偏光フィルムをローディングする第1段階と、
第1ローディング/アンローディング部に位置した第1キャリアが偏光フィルムをグリップすると、第1キャリアを検査部に移送させて、第1キャリアにグリップされた偏光フィルムを検査する第2段階と、
前記検査部に移送された第1キャリアにグリップされた偏光フィルムを検査する間、第2ローディング/アンローディング部に位置した第2キャリアに偏光フィルムをローディングする第3段階と、
前記検査部で第1キャリアにグリップされた偏光フィルムの検査が完了されると、第1キャリアを第1ローディング/アンローディング部に移送させる第4段階と、
前記第1キャリアを前記第1ローディング/アンローディング部に移送させると共に、偏光フィルムをグリップしている第2キャリアを前記検査部に移送させて、第2キャリアにグリップされた偏光フィルムを検査する第5段階と、
前記検査部に移送された第2キャリアにグリップされた偏光フィルムの検査が完了されると、第2キャリアを第2ローディング/アンローディング部に移送させる第6段階と、
前記第2ローディング/アンローディング部に前記第2キャリアが移送されると、第2キャリアにグリップされた偏光フィルムをアンローディングした後、検査される偏光フィルムを第2キャリアにローディングする間、前記第2段階を実施する第7段階とを具備することを特徴とする偏光フィルム検査方法。 - 前記第1キャリアにグリップされた偏光フィルムを検査する第2段階と、前記第2キャリアにグリップされた偏光フィルムを検査する第5段階とは、それぞれ第1キャリアと第2キャリアとにグリップされた偏光フィルムを検査する場合に領域スキャン検査を実施した後、ラインスキャン検査を実施することを特徴とする請求項14に記載の偏光フィルム検査方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050117594A KR100788733B1 (ko) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 편광필름 검사장치 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155736A JP2007155736A (ja) | 2007-06-21 |
JP4522986B2 true JP4522986B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=38130484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006328454A Expired - Fee Related JP4522986B2 (ja) | 2005-12-05 | 2006-12-05 | 偏光フィルム検査装置及び方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4522986B2 (ja) |
KR (1) | KR100788733B1 (ja) |
CN (1) | CN100462777C (ja) |
TW (1) | TWI312062B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100804033B1 (ko) * | 2007-10-04 | 2008-02-18 | 주식회사 쓰리비 시스템 | 광학 필름 검사장치 |
CN102564352B (zh) * | 2010-12-31 | 2014-09-10 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 偏振分光棱镜镀膜面角度测量装置和测量方法 |
KR101448556B1 (ko) * | 2014-05-16 | 2014-10-14 | 에스맥 (주) | 전도성 필름의 인쇄 배선 경도 시험기 |
JP6774176B2 (ja) * | 2015-11-05 | 2020-10-21 | 日東電工株式会社 | シートの検査装置及び検査方法 |
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CN107490578B (zh) * | 2016-06-12 | 2020-10-09 | 英泰克普拉斯有限公司 | 半导体元件检查装置 |
CN108254316A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-07-06 | 南京图思灵智能科技有限责任公司 | 一种抽屉式切片装卸系统和病理切片扫描仪 |
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CN108189068A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-06-22 | 南京图思灵智能科技有限责任公司 | 一种切片装卸系统和病理切片扫描仪 |
CN108226041A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-06-29 | 南京图思灵智能科技有限责任公司 | 设有支撑组件的切片装卸系统和病理切片扫描仪 |
CN108152208A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-06-12 | 南京图思灵智能科技有限责任公司 | 设有水平引导臂的切片装卸系统和病理切片扫描仪 |
KR102298108B1 (ko) * | 2020-11-27 | 2021-09-03 | 주식회사 머신앤비전 | 글라스 기판의 복합 검사 장치 |
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Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH1179389A (ja) | 1997-09-16 | 1999-03-23 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 基板ガラス検査加工システム |
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JP2002196038A (ja) | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ando Electric Co Ltd | オートハンドラ |
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CN1677140A (zh) * | 2004-03-30 | 2005-10-05 | 力特光电科技股份有限公司 | 偏光板检测装置及方法 |
KR100552935B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2006-02-22 | 주식회사 디이엔티 | 평판 디스플레이 검사장치 |
-
2005
- 2005-12-05 KR KR1020050117594A patent/KR100788733B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-12-04 TW TW095144948A patent/TWI312062B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-12-05 CN CNB2006101618844A patent/CN100462777C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-05 JP JP2006328454A patent/JP4522986B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007155736A (ja) | 2007-06-21 |
TW200732643A (en) | 2007-09-01 |
CN1979261A (zh) | 2007-06-13 |
KR100788733B1 (ko) | 2007-12-26 |
TWI312062B (en) | 2009-07-11 |
CN100462777C (zh) | 2009-02-18 |
KR20070058829A (ko) | 2007-06-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |