TWI312062B - Apparatus and method for inspecting polarizing film - Google Patents

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TWI312062B TW095144948A TW95144948A TWI312062B TW I312062 B TWI312062 B TW I312062B TW 095144948 A TW095144948 A TW 095144948A TW 95144948 A TW95144948 A TW 95144948A TW I312062 B TWI312062 B TW I312062B
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Description

1312062 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 技術領域 本發明係有關於偏光膜檢查裝置，特別係有關於可自 5動地檢查使用於LCD之偏光膜有無瑕薇的偏光膜檢查裝置 及方法。 【先前技術】 習知技術 因LCD(液晶顯示器）係利用液晶雙折射特性，故使用偏 10光膜以調節射入液晶分子之光的振動方向。偏光膜具有使 沿複數方向振動且射入之自然光成為只沿單一方向振動之 偏光的機能，其種類有碘系、染料系、相位差、半穿透及 反射型等偏光膜。其中，碘系偏光膜係具有高穿透及高偏 光特性的尚精細LCD用偏光膜，而在透明pvA(聚乙稀醇) 15 膜使用硬可吸收可見光區域的光。 概略來說，偏光膜的構造係依序積層TAC(三醋酸纖維 素)膜、接著劑、偏光元件、接著劑及TAC膜構成。在使用 滾筒等以製造具有此種結構之偏光膜時，在偏光膜的製造 過程中，會因滚筒的摩擦力而產生細微刮痕。另外，在偏 20光膜的製造過程中，由於PVA膜層會有細微變形或損傷等 而喪失偏光機能，故會產生光直接通過的光直通現象。如 此，在因偏光膜有細微變形或損傷等而喪失偏光機能或產 生如刮痕等瑕疫時驅動LCD畫面，會產生晝面色度不均的 致命瑕疲。 5 1312062 以往，作業者係直接以目視確認來進行檢查，以檢查 偏光膜有無會使LCD畫面產生致命瑕疵的缺陷並加以除 去。即，作業者係以目視確認偏光膜，來檢查偏光膜是否 有產生光直通現象、到痕、氣泡或異物之瑕疵。 5【發明内容】 發明揭示 發明所欲解決之問題 然而，以往在作業者直接檢查偏光膜時，會由於作業 者的熟練度使檢查精度及生產性降低。例如，當作業者的 1〇熟練度低時，有可能會產生檢查作業的失誤，即使是熟練 者，也有可此會由於作業者疲勞而使檢查作業的生產性降 低的問題點。
因此，本發明係有鑑於前述問題點而作成者，且其目 的在於提供偏光膜檢查裝置及方法，係在檢查偏光财無 15缺陷時，將偏光膜之裝載/卸載部設在檢查部㈣，且可在 將偏光膜«/㈣純於其巾—輯/㈣部之載具的期 間，在檢查部檢查夾持於位於另一裝载/卸載部之載具之偏 光膜，以改善偏光膜的檢查作業生產性者。 用以解決問題之手段 20 發月之偏光膜檢查裝置包含有：第i 裝載/卸載部，係設於基板1 φ — ^ ’、—側且可裝載/卸載偏光膜 另丨卸載部，係與第1裝載/卸載部相對地設於基板 側’且可裝載，卸載偏光膜者;檢查 裁/卸載部與第2裝載/卸載部之間，用以檢查偏光膜者二 6 1312062 載具，係可夹持藉由第!裝载 裝载/卸載部與檢查部之間移動者载 由第2裝載/卸載部裝载之 装、2可夹持藉 查部之間移動者； I而在第2裝载/卸载部與檢 具分別從第i裝載/知運达機’係可使第1載具和第2載 至檢查部者/ 和第2裝载/卸載部交互往返移動 膜裝包含有··第1步驟’係將偏光 、、第1裝載/卸载部之第1載具，·第2步驟，係在 10 15 =^，檢查被第1载具夾持之偏光膜;第3步驟， 門：檢查部且被第1載具夾持之偏光膜的期 4將偏先膜裝載於位於第2裝载/卸載部之第2載且；第4 步驟，係在檢查部完成被第1傭«之偏光膜的檢杳時， 使第1載具移送至第1裝載/卸載部；第5步驟，係在使㈣ 具移送至第戰/卸卿的_，使續偏賴之第2載具 移送至檢查部’以檢查祕於第2載具之偏光膜；第6步驟， 係在完成料至檢查部且被第2載具㈣之偏光膜的檢查 後，使第2載具移送至第2袭載/卸載部；及第7步驟，係在 第2載具移送至第2裝載/卻載部且卸載夾持於第2載具之偏 光膜後，在將欲檢查之偏域裝第2魅_間，進行 第2步驟。 【實施方式】 實施發明之最佳形態 以下，利用添附圖式更詳細地說明本發明之實施例如 20 1312062 下。 第1圖係本發明之偏光膜檢查裝置之平面圖 第1圖所示之偏光膜檢查裳置的正面圖。 m ,、 10 15 如圖所示’本發明之偏光膜檢查裝置包含有·第 /卸載部⑽），係設於基_峨Η㈣辣卸』 1(10)者，第2裝載/卸載部(鳩），係與第1 (_相對地設於基板⑽a)另一侧且可裝載/卸載偏光膜 (1〇)者；檢查部(300)，係設於第1裝載/卸載部（100)與第2裝 載/卸載部_)之間，用以檢查偏光膜⑽者⑷載具 (鄉係可夾持藉由第工裝載/卸載部(1_載之偏光膜⑽ 在第1裝载/卸載部(100)與檢查部(遍)之間移動者·第2載具 _)’係可錄藉㈣2裝載/卸載部(2晴载之偏光膜⑽ 在第2裝载/卸載部(2〇0)與檢查部_)之間移動者；及載具 運送機_，係可分別使第丨載具(4哪2載具綱從第、】 装載/卸載部_)和第2裝載/卸載部(200)交互往返移動至 檢查部(3 00)者。 利用添附圖式更詳細説明本發明之偏光膜檢查裝置的 構成如下。 如第1圖及第2圖所示，本發明之偏光膜檢查裝置係由 2〇第1裝載/卸載部（100)、第2裝載/卸載部(200)、檢查部(3〇〇)、 第1載具(400)、第2載具(5〇〇)及載具運送機(6〇〇)構成。如下 更詳細地依序說明各個構成。 第1裝載/卸載部（100)設於基板（l〇〇a)之一側，且可在偏 光膜檢查裝置之一側裝載偏光膜（10)時使其上升/下降，以 1312062 使第1載具(400)可夹持偏光膜（10)。 第2裝載/卸載部(200)係與第1裝載/卸載部（1〇〇)相對地 設於基板(l〇〇a)另一側，以在偏光膜檢查裝置另一側裝載/ 卸載偏光膜（10)，第1裝載/卸載部（100)和第2裝載/卸載部 5 (2〇〇)分別如第2圖及第3圖所示，係由升降板（11〇、210)及 升降機(120、220)構成。 升降機（120、220)係分別由滑動引導構件（121、221) 及可沿該滑動引導構件（121、221)移動地設置之移動體 (122、222)構成。移動體（122、222)之上側面分別設有連結 10構件（123、223)，該連結構件（123、223)上端設有升降板 (110 、 210)。 升降板(110、210)可藉由升降機(120、220)上昇/下降， 移動至第1載具(400)和第2載具(500)可分別夾持安置於升 降板（110、210)之偏光膜（10)的位置。此時，可使升降板 15 (110、210)移動之升降機（12〇、220)可使用線性馬達或滾珠 螺桿移送機構等。 用以夾持且移動至夾持位置之偏光膜（1〇)之第丨載具 (400)和第2載具(5〇〇)係位於第i裝載/卸載部（1〇〇)和第2裝 載/卸载部(200)，以夹持欲檢查之偏光膜（1〇)或卸載已檢查 20 完之偏光膜（10)。 如第1圖及第3圖所示，位於第丨裝載/卸載部（1〇〇)及第2 裝載/卸載部(200)之第i載具(400)和第2載具(5〇〇)係分別由 載板(401、501)、載具驅動構件(410、51〇)、多數個載具移 動體(420、520)及多數個載具夾持器（43〇、53〇)構成。此時， 9 1312062 載具驅動構件(410、510)係使用旋轉馬達（圖未示）、轉軸（圖 未示）及軸變換器（圖未示）作為用以產生驅動力之裝置，且 各別設於載板(401、501)上。 載具驅動構件(410、510)上側設有可藉由載具驅動構 5件(410、510)移動之多數個載具移動體(420、520)，可藉由 載具驅動構件(410、510)的驅動力前進/後退移動。設置成 可藉由載具驅動構件(410、510)移動之多數個載具移動體 (420、520)上側設有可分別在4個方向夹持偏光膜（10)之載 具夾持器(430、530)，第1載具(400)和第2載具(500)分別各 10具有4個載具夾持器（430、530)。 如第1圖及第4圖所示，在由多數個載具移動體(42〇、 520)驅動之第丨載具(400)和第2載具(5〇〇)夹持有偏光膜（1〇) 時，用以檢查其之檢查部(300)係設於第丨裝載/卸載部（1〇〇) 和第2裝載/卸載部(2〇〇)之間，以檢查偏光膜（1〇)。 15 心檢查偏光膜⑽之檢查部_)大致係由區域掃描
器(310)和線掃描器(320)構成。 20 區域掃描係由平板螢光燈(311)和多數個區域 掃描照相機(312)構成’且可進行掃插檢查，以檢查偏光膜 ⑽所產生之光直通現象。平板螢光燈如)係使用[⑶（液 晶顯不器)使用之背光’而多數個區域 板榮光燈㈣上側配設成-直列’以掃描所移逆之偏 ⑽。在偏光膜⑽通過用以進行區域掃描之二= 描照相機(312)後，偏光膜⑽會接受線掃描檢查 用以進行偏光膜⑽之線掃描檢 二 ―的線知描器（320)係 10 1312062 由第1線掃描照相機部(3U)、第丨線掃描驅動構件(3D)、第 2線掃如照相機部(323)及第2線掃描驅動構件㈣)構成。 第1線掃描照相機部(321)係設於偏光膜⑽上侧，以對 偏光膜(10)上側面進行線掃描，而第2線掃描照相機部⑽) 5則6又於偏光膜（1〇m則，以對偏光膜⑽下側自進行線掃 描^別叹於偏光膜（1〇)上/下側之第丨線掃描照相機部(321) 和第2線掃描照相機部(323)分別設有以偏光膜（1〇)為基準 各自傾斜20到65。之棒狀線掃描照明部(321a、323a)和多數 個線掃描照相機(321b、323b) ’且最好是設成傾斜45。，來 10檢查偏光膜⑽是否有含有異物或氣泡。 為更正確地檢查含在偏光膜（10)使其產生瑕疵之異物 或氣泡等’可使歸魅域掃觀滅(3丨2)、線掃描照明 部(321a、323a)、多數個線掃描照相機(321b、323b)、穿透 檢查fc、明部(325a)及多數個穿透檢查照相機(325b)直線移 動或轉動，以調整傾斜角度。 多數個區域掃描照相機(312)、線掃描照明部（321a、 323a)及穿透檢查照明部(325a)分別設有測微器(326)，以使 其可在直線方向移動。如第5圖所示，測微器（326)係在固定 板(326a)设置第1固定體(326c) ’在移動板(326b)設置第2固 20定體(326d)構成，在調整測微器（326)時，移動板(326b)可沿 固疋板(326a)在直線方向上前進/後退。 為使多數個線掃描照相機(321b、323b)傾斜轉動以調 整傾斜角度’設有第1傾斜調整構件(327)及第2傾斜調整構 件(328) ’為使穿透檢查照相機（325的傾斜轉動以調整位 11 1312062 置，設有第2傾斜調整構件(328)。 如第5圖所示，用以調整藉由測微器（326)直線移動之 線掃描照相機(321b、323b)和穿透檢查照相機(325b)之傾斜 角度的第1傾斜調整構件(327)及第2傾斜調整構件(328)可 5使線掃描照相機(321b、323b)和穿透檢查照相機(325b)轉動 第1轉動角度(ml)第2轉動角度，以調整傾斜角度。為此， 第1傾斜調整構件(327)及第2傾斜調整構件(328)係分別由 具有凸曲面之第1轉動體(328b)和具有凹曲面之第2轉動體 (328a)構成。 10 第1轉動體(328b)與第2轉動體(328a)的曲面中央形成 有螺紋牙（圖未示），形成有螺紋牙之調整構件(328c)可與分 別形成於第1轉動體(328b)和第2轉動體(328a)之螺紋牙卡 合。因此，當旋轉調整構件(328c)時，第1轉動體(328b)就 會沿第2轉動體(328a)的曲面移動，而可調整線掃描照相機 15 (321b、323b)和穿透檢查照相機(325b)的傾斜角度。 設成可在傾斜角度和直線方向移動之第1線掃描照相 機部（321)和第2線掃描照相機部（323)係分別設於第〖線掃 描驅動構件(322)和第2線掃描驅動構件(324)。第1線掃描驅 動構件(322)可使第1線掃描照相機部(321)移動，而第2線掃 20描驅動構件(324)則可使第2線掃描照相機部(323)移動，以 調整分別構成於第1線掃描照相機部(321)和第2線掃描照相 機部（323)之線掃描照明部（32丨a、323a)與線掃描照相機 (321b、323b)之間的間隔(m)，使其縮短或增長。 欲將線掃描照明部（321a、323a)與線掃描照相機 12 1312062 (321b，323b)之間的間隔(m)調整成較窄時，可將檢查部(300) 的大小設成袖珍型，且第1線掃描驅動構件(322)和第2線掃 描驅動構件(3 24)設有穿透檢查照相機部(3 25)。 穿透檢查照相機部（325)係由棒狀穿透檢查照明部 • 5 (325a)和多數個穿透檢查照相機(325b)構成，以檢查可含在 . 偏光膜（1〇)内側之大型異物。此時，穿透檢查照明部(325a) 係設於第2線掃描驅動構件(324)，多數個穿透檢查照相機 (325b)係設於第1線掃描驅動構件(322)。 B 設有穿透檢查照明部(325a)和多數個穿透檢查照相機 10 (325b)之第1線掃描驅動構件(322)和第2線掃描驅動構件 (324)係分別由固定板(322a、324a)、滑動引導構件(322b、 324b)、檢查移動體(322c、324c)及檢查移動板(322d、324d) 構成，檢查移動板(322d、324d)係設成還分別具有多數個穿 透檢查照相機(325b)和穿透檢查照明部(325a)。 - 15 通過還設有穿透檢查照明部(325a)和多數個穿透檢查 照相機(325b)之線掃描器（320)完成偏光膜（1〇)檢查時，失持 偏光膜（10)之第1載具(400)或第2載具(5〇〇)會分別移動至第 1裝載/卸載部（100)、第2裝載/卸載部（200)或區域掃描器 (310) 〇 2〇 如第1圖所示，基板(l〇〇a)的長邊方向設有載具運送機 (6〇〇)，以使第1載具(4〇〇)和第2載具(5〇〇)交互移動至第^裝 载/卸載部（100)、第2裝載/卸載部(200)或檢查部(3〇〇)。 為使第1載具(400)和第2載具(500)分別由第}裝載/卸 载部（100)和第2裝載/卸載部（2〇〇)交互往返移動至檢查部 13 1312062 (300)，載具運送機(600)係使用線性馬達，且係由固定件 (610)、第1移動件(620)及第2移動件(630)構成。 固定件(610)配設有多數個永久磁鐵(611)，第1移動件 (620)及第2移動件(630)分別配設有多數個電枢線圈（621、 5 631)，且可移動地設置於固定件(610)。 可沿固定件(610)移動之第1移動件(620)和第2移動件 (63〇)上側分別設有第1載具(400)第2載具(5〇0)，在永久磁鐵 (611)與電樞線圈（621、631)之間產生推力時，第1移動件(62〇) 和第2移動件(630)就會沿固定件(610)移動，使第1載具(4〇〇) 10和第2載具(500)移動。與載具運送機(6〇〇)相對的方向設有 導軌(640) ’以在沿固定件(610)移動時，引導設於第i移動 件(620)和第2移動件(630)之第1載具(400)和第2載具(500)。 檢查部（3 00)兩側設有可朝水平及垂直方向移動的劃 線器（700)，以顯示夾持於由導軌(640)引導移動之第1載具 15 (400)或第2載具(5〇〇)之偏光膜（1〇)的方向。而且，劃線器 (7〇〇)係使用筆 '噴墨機構或打印機，可在可保護偏光膜（10) 之保護膜（圖未示）上作線記號來顯示偏光膜的方向。 利用添附之第6圖，說明使用如此構成之本發明之偏光 膜檢查裝置之偏光膜的檢查方法如下。 20 如第6(A)圖所示，首先進行將偏光膜（10)裝載於位於第 1裝載/卸載部（100)之第1載具(400)上的第1步驟，以檢查偏 光膜（10)。 在第1步驟中將偏光膜（10)夹持裝载於第1載具(400) 後’進行使第1載具(40〇)如第6(B)圖所示之箭頭‘a’移送 14 1312062 至檢查部(300)後，將第1載具(400)朝箭頭‘b，方向移送， 檢查夹持於第1載具(400)之偏光膜(1〇)的第2步驟。此時， 第2步驟在檢查夾持於第1载具(4〇〇)之偏光膜（1〇)時，係先 將偏光膜（10)移送至區域掃描器（310)後再移送至線掃描器 5 (320) ’對偏光膜〇〇)進行區域掃描檢查後再進行線掃描檢 查。 在第2步驟中檢查移送至檢查部(3〇〇)之夾持於第^載 具(400)之偏光膜（10)的期間，進行將偏光膜（1〇)裝載於位於 第2裝載/卸載部(200)之第2載具(5〇〇)的第3步驟。 1〇 在第3步驟中於檢查部⑽)檢查完夹持於^載具(4〇〇) 之偏光膜(10)後，進行使第丨載具(彻)如第6⑼圖所示之箭 頭C移送至第1裝載/卸載部（1〇〇)的第4步驟。 在進打使第1載具(400)移送至第1裝載/卸載部（1〇〇)的 ι步驟的同時，進行使夾持偏光膜⑽之第2載具(500)如箭頭
15 d’移送至檢查部(300)後，再使第2載具(500)箭頭V 方向移送，檢查夾持於第2載具⑽)之偏光膜⑽的第5步 驟。此時，帛5步驟在檢查夾持於第2載具(5〇〇)之偏光膜⑽ 時，係先將偏光膜（10)移送至區域掃描器(31〇)後再移送至 線掃描器(32〇)，對偏光膜（1〇)進行區域掃描檢查後再進行 20 線掃描檢查。 在第5步驟檢查完移送至檢查部(3〇〇)之夾持於第2載 ”（5〇0)之偏光膜⑽後，進行使第2载具(獅)移送至第2裝 载/卸載部(200)的第6步驟。 在進行第6步驟後’進行在卸載夾持於移送至第2裝载/ 15
1312062 卸載部(200)之第2載具(5〇〇)之偏光臈（1〇)後，在將欲檢查之 偏光膜（10)裝載於第2載具(5〇〇)的期間進行第2步驟的第7 步驟，檢查偏光膜（1〇)所含有之光直通現象或異物。 發明效果 5 如以上說明，本發明之偏光膜檢查裝置及方法係將可 裝載/卸載偏光膜之裝載/卸載部設在檢查部兩側，且可在將 偏光膜裝載/卸載於位於其中一裝載/卸載部之載具的期 間，檢查夹持於位於另-裝載/卸載部之載具之偏光膜，提 供可改善偏光膜的檢查作業生產性的優點。 10【圖式簡單說明】 第1圖係本發明之偏光膜檢查裝置之平面圖。 第2圖係第1圖所示之偏光膜檢查裝置之正面圖。 第3圖係第1圖及第2圖所示之偏光膜檢查裝置的部分 放大透視圖。 第4圖係第2圖所示之檢查部的放大圖。 第5圖係第4圖所示之線掃描照相機的放大透視圖。 第6(A)、(B)及(C)圖係顯示本發明之偏光膜檢查裝置之 偏光膜檢查方法的圖。 【主要元件符號說明】 10...偏光膜 100…第1裝翁卸載部 100a... 110210·.·升降板 120,220··.升降機 121…滑動引導構件 122…移動體 123…連結構件 200…第2裝銜卸載部 300…檢查部 16 1312062 310.. .區域掃描器 311…平板螢光燈 312.. .區域掃描照相機 320…線掃描器 321…線掃描照相機部 321a…線掃描照相機 321b...線掃描照明部 322…第1線掃描驅動構件 322a^324a…固定板 322b，324b".滑動引導構件 322c,324c...檢查移動體 322江324<1.“檢查移動板 324…第2線掃描驅動構件 325.. .穿透檢查照相機部 325a...穿透檢查照明部 325b...穿透檢查照相機 326…測微器 326a…固定板 326b…移動板 326c...第1固定體 326d...第2固定體 327…第1傾斜調整構件 328…第2傾斜調整構件 328a·..第2轉動體凹面 328b.··第1轉動體凸面 328c…調整構件 400…第1載具 401.501.. .載板 410,510…載具驅動構件 420,520…載具移動體 430,530…載具爽持器 500…第2載具 600…載具運送機 610…固定件 611…永久磁鐵 620…第1可移動件 621.631.. .電柩線圈 630.. .第2可移動件 640…導執 700.. .劃線器 m…間隔距離 ml^…轉動角度 17

Claims (1)

1312062 申請專利範圍： 1. 一種偏光膜檢查裝置，包含有： 第1裝載/卸載部，係設於基板其中一側且可裝載/ 卸載偏光膜者； 第2裝載/卸載部，係與前述第1裝載/卸載部相對地 設於前述基板另一侧，且可裝載/卸載偏光膜者； 檢查部，係設在前述第1裝載/卸載部與前述第2裝 載/卸載部之間，用以檢查前述偏光膜者； 10 第1載具，係可夾持藉由前述第1裝載/卸載部裝載 之前述偏光膜而在前述第1裝載/卸載部與前述檢查部 之間移動者； 第2載具，係可夾持藉由前述第2裝載/卸載部裝載 之偏光膜而在前述第2裝載/卸載部與前述檢查部之間 移動者；及 15 載具運送機，係可使前述第1載具和前述第2載具分 別從前述第1裝載/卸載部和前述第2裝載/卸載部交互往 返移動至前述檢查部者。 2_如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述第1 裝載/卸載部和前述第2裝載/卸載部分別包含有： 20 升降板，係可安置前述偏光膜者；及 升降機，係可使前述升降板上升/下降者。 3.如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述第1 載具和前述第2載具分別包含有： 多數個載具夾持器，係可夾持前述偏光膜者； 18 1312062 多數個載具移動體，係設在前述多數個载具夾持器 上，且可前進/後退移動以使前述多數個載具夾持器可 分別失持前述偏光膜者；及 多教個載具驅動構件，係可使前述多數個載具移動 體前進/後退移動者。 〃 4·如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述檢 查部包含有： 區域掃描器，係可對前㈣光膜進行區域掃描檢查 者；及 — 線掃描器，係可對前述偏光膜進行線掃描檢查者。 5·如申請專利範圍第4項之偏光膜檢查裝置，其中前述區 域知描器包含有： 平板螢光燈，係用以產生光者；及 多數個區域掃插照相機，係設於前述平板螢光燈上 側，且可掃描所移送之前述偏光膜地在與前述偏光膜之 移送方向垂直的方向配置成一直列，以掃描前述偏光膜 者。 6.如申請專利範圍第4項之偏光膜檢查裝置，其中前述線 掃描器包含有： 第1線掃描照相機部，係可線掃描前述偏光膜之上 側面者； 第1線掃描驅動構件，係設於前述第丨線掃描照相機 部者； 第2線掃描照相機部，係可線掃描前述偏光膜之下 19 1312062 側面者；及 第2線掃描驅動構件，係設於前述第2線掃描照相機 部者。 7. 如申請專利範圍第6項之偏光膜檢查裝置，其中前述第1 5 線掃描照相機部和前述第2線掃描照相機部分別包含 有： 線掃描照明部，係傾斜設置者；及 多數個線掃描照相機，係傾斜設置，以接收由前述 線掃描照明部照射且透過前述偏光膜表面反射之光者， 10 且前述線掃描照明部和前述多數個線掃描照相機 可藉由前述第1線掃描驅動構件和前述第2線掃描驅動 構件移動，以縮短、增長相互間之間隔。 8. 如申請專利範圍第6項之偏光膜檢查裝置，其中前述第1 線掃描驅動構件更包含有多數個穿透檢查照相機部，而 15 前述第2線掃描驅動構件更包含有穿透檢查照明部。 9. 如申請專利範圍第7或8項之偏光膜檢查裝置，其中前述 多數個線掃描照相機和前述穿透檢查照相機包含有： 測微器，係可使前述線掃描照相機和前述穿透檢查 照相機在傾斜方向上直線移動者； 20 第1傾斜調整構件，係可調整前述線掃描照相機和 前述穿透檢查照相機，使之分別轉動第1轉動角度者； 及 第2傾斜調整構件，係可調整前述線掃描照相機和 前述穿透檢查照相機，使之分別轉動第2轉動角度者。 20 1312062 10.如申請專利範圍第5、7或8項之偏光膜檢查裝置，其中 前述多數個區域掃描照相機、前述線掃描照明部及前述 穿透檢查照明部分別包含有可使其在傾斜方向上移動 之測微器。 5 11.如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述檢 查部兩側分別設有用以顯示前述偏光膜方向的劃線器。 12. 如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述第1 載具和前述第2載具分別包含有： 載板； 10 載具驅動構件，係設於前述載板上者； 多數個載具移動體，係設成可藉由前述載具驅動構 件移動，且可藉由前述載具驅動構件的驅動力前進/後 退移動者；及 多數個載具夾持器，係分別設在前述載具移動體上 15 側，且可夾持前述偏光膜者。 13. 如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述載 具運送機使用線性馬達。 14. 如申請專利範圍第1項之偏光膜檢查裝置，其中前述載 具運送機包含有： 20 固定件； 第1可移動件，係可移動地設於前述固定件，且上 側配置有前述第1載具者；及 第2可移動件，係可移動地設於前述固定件，且上 側配置有前述第2載具者。 21 1312062 15- —種偏光膜檢查方法，包含有： 第1步驟’係將偏光膜裝載於位於第】裝载 之第1載具； 第2步驟，係在位於前述第1裝載/卸載部之前述扪 載具爽持前述偏光膜時，使前述第m具移送至檢查 部’檢查被前述第1載具夾持之前述偏光膜； — 第3步驟，係在檢查移送至前述檢查部且被前述第i 載具夾持之前述偏光膜的期間，將偏光膜㈣於值於第 2裝載/卸載部之第2載具； 10 15 20 第4步驟’係在前述檢查部完成被前述^載具夹持 之前述偏光膜的檢查時，使前述第i載具移送至前 裝載/卸載部； 第5步驟，係在使前述仏載具移送至前述第i裝載/ 卸載部的同時，使夾持偏光膜之前述第2載具移送至前 述檢查部’以檢查諸於前述第2載具之偏光膜； 第6步驟’係在完成移送至前述檢查部且被前述第2 載具夹持之偏光膜的檢查後，使前述第2载具移送至前 述第2裝載/卸载部；及 第7步驟，係在前述第2載具移送至前述第2裝载/卸 2部且卸额持於前述第2載具之偏光賴，在將欲檢 -之偏光膜裝载於前述第2载具的_，進 步驟。 乐2 如申二專利範圍第15項之偏光膜檢查方法，係在檢查夹 持於前述第！載具之偏光膜的第2步驟，及檢查夹持:前 22 1312062
述第2載具之偏光膜的第5步驟中，於檢查分別夾持於前 述第1載具和前述第2載具之偏光膜時，先進行區域掃描 檢查後再進行線掃描檢查。 23
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