JP2002196038A

JP2002196038A - オートハンドラ

Info

Publication number: JP2002196038A
Application number: JP2000392773A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Okudaira; 哲也奥平; Mamoru Hironaka; 守廣中
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 2000-12-25
Filing date: 2000-12-25
Publication date: 2002-07-10
Also published as: US20020079882A1; KR20020053000A

Abstract

(57)【要約】【課題】オートハンドラによるデバイスの連続処理で
１デバイスあたりの総処理時間を短縮する。【解決手段】未測定のＩＣ１が複数載置されたトレー
２を収容するローダ１１と、ローダのトレーを測定準備
位置Ｐ１に移送する供給シャトル１２と、測定準備位置
Ｐ１で待機する供給シャトル上のトレーを把持し該把持
したトレー内の未測定ＩＣをトレーに載置した状態のま
まで順次ＩＣソケット４に移送すると共にトレー内すべ
てのＩＣに対してＩＣソケットでの測定が終了したとこ
ろでトレーを収容準備位置Ｐ２に移送する測定ステージ
２０と、測定ステージから受け取ったトレーを収容バッ
ファＰ３に移送する収容シャトル１３と、収容バッファ
Ｐ３で待機する収容シャトル上のトレーに載置される測
定済みのＩＣをＩＣソケットでの測定結果に基づいて分
類収容する分類収容部とを備えるオートハンドラ１００
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、未測定のデバイス
を測定部に移送し、測定部での測定結果に基づいて測定
済みのデバイスを分類収容するオートハンドラに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のオートハンドラの構成を図５によ
り説明する。従来のオートハンドラは、ローダ５１、空
トレーバッファ５２、アンローダ５３、分類ユニット５
４、供給ハンド５５、供給シャトル５６、測定ハンド５
７、収容シャトル５８及び収容ハンド５９を備える。ロ
ーダ５１には複数枚のトレー５０が収容され、各トレー
５０には未測定のＩＣ１（デバイス）が複数載置され
る。トレー５０内の各ＩＣ１は供給ハンド５５によって
順次取り出され、ＩＣ１がすべて取り出されて空になっ
たトレー５０は空トレーバッファ５２に送られる。空ト
レーバッファ５２には空になったトレー５０が一時的に
収容される。アンローダ５３には複数枚のトレー５０が
収容され、各トレー５０には良品と判定された測定済み
のＩＣ１が複数収容される。アンローダ５３は空トレー
バッファ５２から送られてきた空のトレー５０を受け取
って、受け取った空のトレー５０に良品と判定された測
定済みのＩＣ１を充填する。分類ユニット５４にはトレ
ー５０が１枚載置され、そのトレー５０には不良品と判
定された測定済みのＩＣ１が収容される。

【０００３】供給ハンド５５は、ローダ５１に収容され
るトレー５０内の未測定ＩＣ１を１個ずつ吸着して順次
供給シャトル５６上に移送する。供給シャトル５６は供
給ハンド５５から受け取ったＩＣ１を１個ずつ測定ハン
ド５７の吸着位置Ｓ２に移送する。測定ハンド５７は供
給シャトル５６上のＩＣ１を吸着した後、回転アーム６
０の回転により１８０度旋回して、吸着したＩＣ１をＩ
Ｃソケット４（測定部）と対向する位置に移送する。続
いて、ＩＣ１をＩＣソケット４に押し付けてコンタクト
させ、所定時間経過したら（即ち、ＩＣ１の電気的特性
の測定が終了したら）、ＩＣ１をＩＣソケット４から離
脱させる。その後、回転アーム６０の回転により１８０
度旋回して、吸着したＩＣ１を収容シャトル５８上に移
送する。収容シャトル５８は測定ハンド５７から測定済
みのＩＣ１を受け取って、受け取ったＩＣ１を１個ずつ
収容ハンド５９の吸着位置Ｓ４に移送する。収容ハンド
５９は収容シャトル５８上のＩＣ１を吸着して、良品と
判定されたＩＣ１をアンローダ５３に移送する一方、不
良品と判定されたＩＣ１を分類ユニット５４に移送す
る。ＩＣソケット４は測定ハンド５７の旋回軌道の直下
に配置され、図示省略のＩＣテスタと電気的に接続され
ている。ＩＣソケット４には接触子が設けられ、接触子
にＩＣのリードが接触した状態においてＩＣ１の電気的
特性が測定される。

【０００４】次に、上記オートハンドラ各部の動作と処
理時間について図６を参照しながら説明する。供給ハン
ド５５の動作は、供給シャトル５６上からローダ５１に
移動する工程、ローダ５１のＩＣ１を吸着する工程、ロ
ーダ５１から供給シャトル５６上に移動する工程、供給
シャトル５６上でＩＣ１の吸着を解除する工程からな
り、これら一連の動作を実行するのに１サイクルで３．
８秒を要する。つまり、ローダ５１の未測定ＩＣ１を供
給シャトル５６上に移送するのにＩＣ１個あたり３．８
秒を要する。供給シャトル５６の動作は、供給ハンド５
５の吸着解除位置Ｓ１から測定ハンド５７の吸着位置Ｓ
２に移動する工程、測定ハンド５７の吸着位置Ｓ２から
供給ハンド５５の吸着解除位置Ｓ１に移動する工程から
なる。但し、供給シャトル５６の場合には、供給ハンド
５５からＩＣ１を受け取るときや、測定ハンド５７にＩ
Ｃ１を引き渡すときに、各々の位置Ｓ１・Ｓ２で停止が
必要になることから、１サイクルで２．４秒を要する。
つまり、供給ハンド５５から受け取ったＩＣ１を測定ハ
ンド５７に引き渡すのにＩＣ１個あたり２．４秒を要す
る。

【０００５】測定ハンド５７の動作は、供給シャトル５
６上のＩＣ１を吸着する工程、供給シャトル５６上から
ＩＣソケット４の対向位置に回動する工程、吸着したＩ
Ｃ１をＩＣソケット４にコンタクトさせる工程、ＩＣソ
ケット４の対向位置から収容シャトル５８上に回動する
工程、収容シャトル５８上でＩＣ１の吸着を解除する工
程からなり、これら一連の動作を実行するのに１サイク
ルで３．０秒を要する。つまり、ＩＣ１の電気的特性を
測定するのにＩＣ１個あたり３．０秒を要する。なお、
両測定ハンド５７は上記１サイクルの動作を交互に実行
し、待機中の測定ハンド５７は稼働中の測定ハンド５７
と共に回転動作のみを実行する。

【０００６】収容シャトル５８の動作は、測定ハンド５
７の吸着解除位置Ｓ３から収容ハンド５９の吸着位置Ｓ
４に移動する工程、収容ハンド５９の吸着位置Ｓ４から
測定ハンド５７の吸着解除位置Ｓ３に移動する工程から
なる。収容シャトル５８の場合にも、供給シャトル５６
の場合と同様に、各々の位置Ｓ３・Ｓ４で停止が必要に
なることから、１サイクルで２．４秒を要する。つま
り、測定ハンド５７から受け取ったＩＣ１を収容ハンド
５９に引き渡すのにＩＣ１個あたり２．４秒を要する。
収容ハンド５９の動作は、収容シャトル５８上のＩＣ１
を吸着する工程、収容シャトル５８上からアンローダ５
３又は分類ユニット５４に移動する工程、アンローダ５
３又は分類ユニット５４でＩＣ１の吸着を解除する工
程、アンローダ５３又は分類ユニット５４から収容シャ
トル５８上に移動する工程からなり、これら一連の動作
を実行するのに１サイクルで３．８秒を要する。つま
り、測定済みのＩＣ１を収容シャトル５８からアンロー
ダ５３又は分類ユニット５４に移送するのにＩＣ１個あ
たり３．８秒を要する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のオートハン
ドラでは、測定ハンド５７が１サイクルの動作を実行す
るのに要する時間よりも、供給ハンド５５や収容ハンド
５９が１サイクルの動作を実行するのに要する時間の方
が長かったため、ＩＣ１個あたりの測定時間（ＩＣ１と
ＩＣソケット４のコンタクト時間）をいくら短縮して
も、ＩＣ１個あたりの総処理時間を短縮できないという
問題点があった。つまり、測定時間が短いＩＣ１の場合
には、供給ハンド５５や収容ハンド５９によるＩＣ１の
移送処理がボトルネックとなって、測定ハンド５７によ
るＩＣ１の測定処理に待ちが生じ、オートハンドラ全体
としての処理効率が悪くなるという問題点があった。

【０００８】本発明の課題は、オートハンドラによるデ
バイスの連続処理で、１デバイスあたりの総処理時間を
短縮することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１及び図２に示
すように、未測定のデバイス（例えば、ＩＣ１など）を
測定部（例えば、ＩＣソケット４など）に移送し、前記
測定部での測定結果に基づいて測定済みのデバイスを分
類収容するオートハンドラ１００であって、未測定のデ
バイスが複数載置されたトレー２を収容するローダ１１
と、前記ローダのトレーを測定準備位置Ｐ１に移送する
供給シャトル１２と、前記測定準備位置で待機する供給
シャトル上のトレーを把持し、把持したトレー内の未測
定デバイスをトレーに載置した状態のままで順次前記測
定部に移送すると共に、トレー内すべてのデバイスに対
して前記測定部での測定が終了したところで、トレーを
収容準備位置Ｐ２に移送する測定ステージ２０と、前記
収容準備位置で前記測定ステージからトレーを受け取
り、受け取ったトレーを収容バッファＰ３に移送する収
容シャトル１３と、前記収容バッファで待機する前記収
容シャトル上のトレーに載置される測定済みのデバイス
を前記測定部での測定結果に基づいて分類収容する分類
収容部（例えば、アンローダ１５、分類ユニット１６及
び収容ハンド１４によって構成される分類収納部など）
とを備えることを特徴とする。

【００１０】請求項１記載の発明によれば、トレー内の
未測定デバイスをトレーに載置した状態のままで順次測
定部に移送する構成としたので、未測定デバイスを１個
ずつ測定部に移送する場合と比べて、未測定デバイスを
測定部に移送する際の１デバイスあたりの処理時間を大
幅に短縮できる。従って、測定時間が短いデバイスであ
っても、１デバイスあたりの測定時間を短縮することに
よって、１デバイスあたりの総処理時間を短縮できる。
また、供給シャトル、測定ステージ及び収容シャトルの
各々がトレーごとデバイスを移送するので、デバイスの
載せ替え作業を省略できる。従って、デバイスの外観不
良や静電破壊等の発生を低減できる。

【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載のオ
ートハンドラにおいて、例えば、図３に示すように、ト
レー２には、デバイスを収容する複数の凹部２ａが設け
られ、各凹部の底面には、凹部に収容したデバイスのリ
ード３をトレー下方に臨ませる接続用開口部２ｂが設け
られていることを特徴とする。

【００１２】請求項２記載の発明によれば、トレーに複
数の凹部を設け、各凹部の底面に接続用開口部を設けた
ので、複数のデバイスを一度に移送できると共に、トレ
ーに収容した状態のままでデバイスの電気的特性を測定
できる。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１又は２に
記載のオートハンドラにおいて、例えば、図３に示すよ
うに、前記測定ステージ２０は、トレー２を把持するト
レー把持部２１と、前記トレー把持部を水平方向に移動
させるＸＹステージと、前記トレー把持部を昇降させる
エレベータとを備え、前記ＸＹステージは前記トレー把
持部を水平方向に移動させることで、トレー内のデバイ
スを順次前記測定部に対向配置させ、前記エレベータは
前記トレー把持部を昇降させることで、前記測定部に対
向配置されたトレー内のデバイスを前記測定部に接離さ
せることを特徴とする。

【００１４】請求項３記載の発明によれば、ＸＹステー
ジがトレー把持部を水平方向に移動させることで、トレ
ー内のデバイスが順次測定部に対向配置され、エレベー
タがトレー把持部を昇降させることで、測定部に対向配
置されたトレー内のデバイスが測定部に接離される。従
って、トレーに収容した状態のままで各デバイスを測定
部に移送できる。

【００１５】請求項４記載の発明は、請求項３記載のオ
ートハンドラにおいて、例えば、図３に示すように、ト
レー２には被係合部（例えば、ガイド孔２ｅなど）が設
けられる一方、トレー把持部２１には前記被係合部と係
合離脱自在な係合部（例えば、ガイドピン２６など）が
設けられ、前記係合部と前記被係合部とが係合した状態
にて、トレーが前記トレー把持部に対して位置決めされ
ることを特徴とする。

【００１６】請求項４記載の発明によれば、トレーに被
係合部を設ける一方、トレー把持部に被係合部と係合離
脱自在な係合部を設けたので、トレー把持部に対してト
レーを正確に位置決めできる。従って、トレー内のデバ
イスを測定部に正確に移送できる。

【００１７】請求項５記載の発明は、請求項４記載のオ
ートハンドラにおいて、例えば、図３に示すように、ト
レー把持部２１には、前記係合部を有するベース部２２
が設けられ、前記ベース部には、トレー２内の各デバイ
スをトレーに押え付けるコンタクトプッシャ２５が取り
付けられていることを特徴とする。

【００１８】請求項５記載の発明によれば、コンタクト
プッシャがトレー内の各デバイスをトレーに押え付ける
ので、トレーから各デバイスがこぼれ落ちることを防止
できると共に、測定部に設けられる接触子等の接続部分
に各デバイスのリードを確実に接触させることができ
る。

【００１９】請求項６記載の発明は、請求項５記載のオ
ートハンドラにおいて、例えば、図３に示すように、コ
ンタクトプッシャ２５はトレー２内の各デバイス毎に設
けられ、各コンタクトプッシャは遊びを持った状態でベ
ース部２２に取り付けられていることを特徴とする。

【００２０】請求項６記載の発明によれば、各コンタク
トプッシャが遊びを持った状態でベース部に取り付けら
れているので、デバイスの収容位置に多少のばらつきが
あったとしても、そのばらつきを吸収でき、各コンタク
トプッシャで各デバイスを安定した状態で押え付けるこ
とができる。

【００２１】請求項７記載の発明は、請求項１〜６の何
れかに記載のオートハンドラにおいて、例えば、図１及
び図２に示すように、前記分類収容部は、良品と判定さ
れた測定済みのデバイスを収容するアンローダ１５と、
不良品と判定された測定済みのデバイスを収容する分類
ユニット１６と、収容バッファＰ３で待機する収容シャ
トル１３上のトレー２に載置される測定済みのデバイス
の中で不良品と判定されたデバイスのみを取り出して前
記分類ユニットに移送する不良品移送手段（例えば、収
容ハンド１４など）と、不良品と判定されたデバイスが
取り除かれて良品と判定されたデバイスのみが収容され
たトレーを、前記収容シャトルから前記アンローダに移
送する良品移送手段（例えば、収容ハンド１４など）と
を備えることを特徴とする。

【００２２】請求項７記載の発明によれば、不良品と判
定されたデバイスがトレーから取り除かれて分類ユニッ
トに収容される一方、良品と判定されたデバイスがトレ
ーに載置された状態のままアンローダに収容される。従
って、良品と判定されたデバイスをアンローダで載せ替
える作業を省略できる。

【００２３】請求項８記載の発明は、請求項７記載のオ
ートハンドラにおいて、不良品と判定されたデバイスが
前記不良品移送手段によって前記分類ユニットに移送さ
れた後に、不良品と判定されたデバイスが取り除かれて
生じたトレーの空き位置に良品と判定されたデバイスを
補充してトレー内を満杯状態とする補充手段を備えるこ
とを特徴とする。

【００２４】請求項８記載の発明によれば、不良品と判
定されたデバイスが取り除かれて生じたトレーの空き位
置に良品と判定されたデバイスが補充されるので、良品
と判定されたデバイスがアンローダのトレー内に隙間な
く充填される。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。まず、構成を説明する。図１
及び図２に示すように、本発明に係るオートハンドラ１
００は、ローダ１１、供給シャトル１２、測定ステージ
２０、収容シャトル１３、収容ハンド１４、アンローダ
１５及び分類ユニット１６により概略構成される。

【００２６】ローダ１１には、昇降自在に保持されたト
レー載置台１１Ａが設けられ、トレー載置台１１Ａ上に
は、未測定のＩＣ１（デバイス）を複数収容したトレー
２が積み重ねて載置されている。ローダ１１には、トレ
ー載置台１１Ａ上に積み重ねたトレー２の上端位置を検
出するトレー検出センサ（図示省略）が設けられると共
に、トレー載置台１１Ａ上に積み重ねた最上段のトレー
２を分離する分離機構が設けられている。分離機構は、
例えば、互いに対向配置された一対の支持アーム１１
Ｂ、各支持アーム１１Ｂを互いに近接離間する方向に水
平移動させるシリンダ装置（図示省略）などによって構
成される。例えば、トレー載置台１１Ａ上に積み重ねた
最上段のトレー２を分離する際には、先ず、最上段のト
レー２を支持アーム１１Ｂの高さ位置に配置すべく、ト
レー検出センサの検出に基づいてトレー載置台１１Ａの
高さを調整する。次に、シリンダ装置の駆動により支持
アーム１１Ｂを互いに近接させ、最上段のトレー２を支
持アーム１１Ｂで狭持させる。次に、トレー載置台１１
Ａを下降させることで、最上段のトレー２をトレー載置
台１１Ａ上の他のトレー２から分離する。

【００２７】供給シャトル１２はトレー２を載置するト
レー載置部１２Ａを有し、ローダ１１と測定ステージ２
０との間を往復する。供給シャトル１２はローダ１１の
分離機構によって分離された最上段のトレー２を受け取
って、受け取ったトレー２を測定ステージ２０下方の測
定準備位置Ｐ１に移送する。そして、測定準備位置Ｐ１
でトレー載置部１２Ａ上のトレー２を引き渡し、引き渡
し終了後、次のトレー２を受け取りにローダ１１に戻
る。測定ステージ２０は測定準備位置Ｐ１で待機する供
給シャトル１２上のトレー２を把持し、把持したトレー
２内の未測定ＩＣ１をトレー２に載置した状態のままで
順次ＩＣソケット４（測定部）に移送する。そして、ト
レー２内すべてのＩＣ１に対する測定が終了したところ
で、トレー２を収容準備位置Ｐ２に移送する。収容シャ
トル１３はトレー２を載置するトレー載置部１３Ａを有
し、収容準備位置Ｐ２と収容バッファＰ３との間を往復
する。収容シャトル１３は収容準備位置Ｐ２で測定ステ
ージ２０からトレー２を受け取って、受け取ったトレー
２を収容バッファＰ３に移送する。そして、収容バッフ
ァＰ３でトレー載置部１３Ａ上のトレー２を引き渡し、
引き渡し終了後、次のトレー２を受け取りに収容準備位
置Ｐ２に戻る。

【００２８】収容ハンド１４は本発明に係る不良品移送
手段を構成していて、収容バッファＰ３で待機する収容
シャトル１３上のトレー２に載置される測定済みＩＣ１
の中で不良品と判定されたＩＣ１のみを取り出して分類
ユニット１６に移送する。また、収容ハンド１４は本発
明に係る良品移送手段も兼ねており、不良品と判定され
たＩＣ１が取り除かれて良品と判定されたＩＣ１のみが
収容されたトレー２を、収容シャトル１３からアンロー
ダ１５に移送する。アンローダ１５は昇降自在に保持さ
れたトレー載置台１５Ａを備える。アンローダ１５は良
品と判定されたＩＣ１のみが収容されたトレー２を収容
ハンド１４より受け取って、受け取ったトレー２をトレ
ー載置台１５Ａ上に積み重ねて載置する。分類ユニット
１６は不良品収容トレー１６Ａを備え、不良品収容トレ
ー１６Ａに不良品と判定されたＩＣ１を収容する。つま
り、分類ユニット１６、アンローダ１５及び収容ハンド
１４によって、本発明に係る分類収容部が構成されてい
る。

【００２９】次に、測定ステージ２０の構成を詳細に説
明する。

【００３０】測定ステージ２０は、トレー２を把持する
トレー把持部２１、トレー把持部２１を昇降するエレベ
ータ（図示省略）、トレー把持部２１を水平方向に移動
させるＸＹステージ（図示省略）により概略構成され
る。エレベータはトレー把持部２１を昇降させること
で、ＩＣソケット４に対向配置されたトレー２内のＩＣ
１をＩＣソケット４に接離させる。エレベータは周知の
装置によって構成され、例えば、トレー把持部２１を鉛
直方向に移動自在に支持する支持部、駆動源となるモー
タ、モータの出力軸の回転運動をトレー把持部２１の昇
降運動に変換する動力伝達機構（例えば、ラック・ピニ
オン機構、ボールネジ機構）等によって構成される。Ｘ
Ｙステージはトレー把持部２１を水平方向に移動させる
ことで、トレー２内のＩＣ１を順次ＩＣソケット４に対
向配置させる。ＸＹステージは周知の装置によって構成
され、例えば、トレー把持部２１を支持する支持部をＸ
軸方向（水平面内の一方向）に移動自在に保持するＸ軸
スライドテーブル、Ｘ軸スライドテーブルをＹ軸方向
（水平面内においてＸ軸と直交する方向）に移動自在に
保持するＹ軸スライドテーブル、駆動源となるＸ軸及び
Ｙ軸モータ、Ｘ軸モータの出力軸の回転運動を支持部の
Ｘ軸方向への直線運動に変換するＸ軸動力伝達機構、Ｙ
軸モータの出力軸の回転運動をＸ軸スライドテーブルの
Ｙ軸方向への直線運動に変換するＹ軸動力伝達機構等に
よって構成される。

【００３１】図３に示すように、トレー把持部２１は、
ベース部２２、コンタクトプッシャ２５、開閉クランパ
２４及びガイドピン２６・２７により概略構成される。
ベース部２２は基板２２Ａの下面にプッシャベース２２
Ｂを取り付けてなり、エレベータによって水平方向に移
動自在に保持されると共に、ＸＹステージによって昇降
自在に保持されている。開閉クランパ２４は一対の支持
アーム２４ａからなり、各支持アーム２４ａは揺動自在
な状態で基板２２Ａの各側端部に取り付けられている。
各支持アーム２４ａには図示省略のシリンダ装置が取り
付けられ、各シリンダ装置の駆動によって図３（ａ）の
状態と図３（Ｂ）の状態の各々に可逆的に回動変換可能
となっている。また、各支持アーム２４ａの先端部には
内側方に突出する係止部２４ｂが設けられている。図３
（Ｂ）に示すように、各支持アーム２４ａの先端部が下
方を向いて開閉クランパ２４が閉じた状態では、各支持
アーム２４ａの間に挟まれたトレー２が各支持アーム２
４ａ先端の係止部２４ｂによって下方向への移動が規制
された状態となって、トレー２がトレー把持部２１から
離脱不能な状態（つまり、トレー把持部２１により把持
された状態）となる。この状態から、シリンダ装置の駆
動により支持アーム２４ａの先端部が互いに離間する方
向に回動して開閉クランパ２４が開いた状態に変換され
ると、各係止部２４ｂによる上記規制が解除されて、ト
レー２が解放された状態になる。ガイドピン２６はプッ
シャベース２２Ｂ下面から下方に向けて立設されてい
る。ガイドピン２６は本発明に係る係合部を構成し、開
閉クランパ２４でトレー２を把持したときに、トレー２
のガイド孔２ｅ（被係合部）に嵌入される。これによっ
て、開閉クランパ２４で把持されたトレー２がトレー把
持部２１に対して位置決めされる。

【００３２】コンタクトプッシャ２５はその下端部が下
方に突出した状態で、かつ遊びを持った状態でベース部
２２に取り付けられている。コンタクトプッシャ２５は
トレー２の各凹部２ａ（後述）に対応して複数設けられ
ており、開閉クランパ２４でトレー２を把持したとき
に、各コンタクトプッシャ２５の下端部が各凹部２ａに
嵌入することで、各凹部２ａ内のＩＣ１をトレー２に押
し付ける構成となっている。各コンタクトプッシャ２５
の下端部には、ＩＣ１のリード３をＩＣソケット４の接
触子５に圧接させる圧接部２５ａが下方に突出する状態
で設けられ、各コンタクトプッシャ２５上端のフランジ
部２５ｂには、プッシャベース２２Ｂの延出部２２ｃを
上下に貫通する状態で、ガイドピン２７が下方に向けて
立設されている。

【００３３】ＩＣソケット４（測定部）は測定ステージ
２０の下方に配置され、ＩＣテスタ（図示省略）と電気
的に接続されている。ＩＣソケット４の上面隅部には、
上方に向けてガイドピン４ａが立設されている。また、
ＩＣソケット４の上面中央には一対の接触子５が上方に
突出する状態で設けられ、各接触子５にＩＣ１のリード
３が接触した状態においてＩＣ１の電気的特性が測定さ
れる。

【００３４】トレー２は矩形板状に形成されて、複数段
に積み重ね可能に構成されている。トレー２には、ＩＣ
１を水平姿勢で収容する平面視矩形状の凹部２ａが縦横
に並んで複数設けられ、各凹部２ａの底面には、凹部２
ａに収容したＩＣ１を位置決めするリブ２ｆが突設され
ると共に、凹部２ａに収容したＩＣ１のリード３をトレ
ー２下方に臨ませる接続用開口部２ｂが設けられてい
る。従って、トレー２に収容した状態のままでＩＣ１の
電気的特性を測定できる。また、トレー２には、トレー
把持部２１の各ガイドピン２６・２７を通すガイド孔２
ｅ・２ｃが上下に貫通する状態で設けられると共に、Ｉ
Ｃソケット４の各ガイドピン４ａを通すガイド孔２ｄが
上下に貫通する状態で設けられている。

【００３５】次に、測定ステージ２０の動作を説明す
る。

【００３６】先ず、測定準備位置Ｐ１で待機する供給シ
ャトル１２上のトレー２を把持する。即ち、ＸＹステー
ジがトレー把持部２１を供給シャトル１２上のトレー２
と対向する位置に水平移動させた後、エレベータがトレ
ー把持部２１を下降させて、トレー把持部２１の各ガイ
ドピン２６・２７をトレー２の各ガイド孔２ｅ・２ｃに
嵌入させると同時に、各コンタクトプッシャ２５の下端
部をトレー２の各凹部２ａに嵌入させる。これによっ
て、トレー２がベース部２２及び各コンタクトプッシャ
２５に対して位置決めされると共に、トレー２の各凹部
２ａに収容される各ＩＣ１が各々に対応するコンタクト
プッシャ２５によって押え付けられる。この状態で、シ
リンダ装置の駆動により開閉クランパ２４が閉じた状態
に変換され、これによって、図３（ｂ）に示すように、
供給シャトル１２上のトレー２がトレー把持部２１に把
持された状態となる。

【００３７】次に、トレー把持部２１で把持したトレー
２内の各ＩＣ１を、トレー２に載せたままの状態で順次
ＩＣソケット４に移送する。即ち、ＸＹステージがトレ
ー把持部２１を水平移動させることで、トレー２内のＩ
Ｃ１の何れか（以下、第１のＩＣとする。）をＩＣソケ
ット４と対向する位置に水平移動させた後、エレベータ
がトレー把持部２１を下降させることで、前記第１のＩ
ＣをＩＣソケット４に移送する。その際に、トレー２の
ガイド孔２ｄにＩＣソケット４のガイドピン４ａが嵌入
されて、前記第１のＩＣがＩＣソケット４に対して位置
決めされる。また、前記第１のＩＣのリード３がＩＣソ
ケット４の接触子５とコンタクトプッシャ２５の圧接部
２５ａとの間に挟まれた状態となって、前記第１のＩＣ
のリード３がＩＣソケット４の接触子５に接触される。
この状態で前記第１のＩＣの電気的特性が測定され、測
定が終了したら、エレベータがトレー把持部２１を上昇
させることで、トレー２をＩＣソケット４から離脱させ
る。その後、ＸＹステージがトレー把持部２１を水平移
動させることで、トレー２内の別のＩＣ１（以下、第２
のＩＣとする。）をＩＣソケット４と対向する位置に水
平移動させ、前記第１のＩＣと同様にして、前記第２の
ＩＣをＩＣソケット４に移送する。その後、上記一連の
動作を繰り返し、トレー２内の各ＩＣ１を順次ＩＣソケ
ット４に移送する。

【００３８】こうして、トレー２内すべてのＩＣ１の電
気的特性を測定し終えたら、収容準備位置Ｐ２で待機す
る収容シャトル１３上にトレー２を移送する。即ち、Ｘ
Ｙステージがトレー把持部２１を収容シャトル１３上に
水平移動させた後、エレベータがトレー把持部２１を下
降させて、トレー２を収容シャトル１３上に載置する。
その後、シリンダ装置の駆動により開閉クランパ２４が
開いた状態に変換され、これによって、係止部２４ｂに
よる係止が解除されて、トレー２が収容シャトル１３上
で解放される。こうして、収容シャトル１３上にトレー
２を移送し終えたら、次のトレー２を受け取りに測定準
備位置Ｐ１に移動する。

【００３９】次に、上記オートハンドラ１００によって
実行される各処理について図４を参照しながら説明す
る。

【００４０】先ず、ローダ１１から測定ステージ２０に
トレー２を移送する処理が実行される。この処理は、供
給シャトル１２がローダ１１のトレー２を測定準備位置
Ｐ１に移送する工程、測定準備位置Ｐ１で待機する供給
シャトル１２上のトレー２をトレー把持部２１が把持す
る工程からなり、全体で３．０秒を要する。トレー２内
には複数の未測定ＩＣ１が収容されていることから、Ｉ
Ｃ１個あたりの処理時間は３．０秒未満となる。例え
ば、トレー２に収容されるＩＣ１の数量を１０個とした
場合、ＩＣ１個あたりの処理時間は０．３秒となる。

【００４１】続いて、トレー２内の未測定ＩＣ１をＩＣ
ソケット４に移送する処理が実行される。この処理は、
ＸＹステージがトレー把持部２１を水平方向に移動させ
てトレー２内のＩＣ１の一つ（第１のＩＣ）をＩＣソケ
ット４に対向配置させる工程、エレベータがトレー把持
部２１を下降させて前記第１のＩＣをＩＣソケット４に
移送する工程、前記第１のＩＣをＩＣソケット４にコン
タクトさせる工程（ＩＣ１の電気的特性を測定する工
程）、エレベータがトレー把持部２１を上昇させてトレ
ー２をＩＣソケット４から離脱させる工程、ＸＹステー
ジがトレー把持部２１を水平方向に移動させてトレー２
を原点位置に戻す工程からなり、これら一連の動作を実
行するのに１サイクルで３．０秒を要する。つまり、Ｉ
Ｃ１の電気的特性を測定するのにＩＣ１個あたり３．０
秒を要する。この処理はトレー２内のＩＣ１の数量分だ
け繰り返される。なお、図４ではトレー２内にＩＣ１が
２個収容される場合のタイムチャートを例示したが、こ
れに限られるものではない。

【００４２】次に、測定ステージ２０から収容バッファ
Ｐ３にトレー２を移送する処理が実行される。この処理
は、トレー把持部２１が収容シャトル１３にトレー２を
引き渡す工程、収容シャトル１３がトレー把持部２１か
ら受け取ったトレー２を収容バッファＰ３に移送する工
程からなり、全体で３．０秒を要する。トレー２内には
複数の未測定ＩＣ１が収容されていることから、ＩＣ１
個あたりの処理時間は３．０秒未満となる。

【００４３】次に、前述した、ローダ１１から測定ステ
ージ２０にトレー２を移送する処理が実行され、この処
理に続いて、トレー２内の各未測定ＩＣ１をＩＣソケッ
ト４に移送する処理、測定ステージ２０から収容バッフ
ァＰ３にトレー２を移送する処理が順次実行される。

【００４４】また、トレー２内の各未測定ＩＣ１をＩＣ
ソケット４に移送する処理が終了すると、ローダ１１か
ら測定ステージ２０にトレー２を移送する上記処理と同
時に、収容バッファＰ３で待機する収容シャトル１３上
のトレー２に載置される測定済みＩＣ１の中で不良品と
判定されたＩＣ１を取り出して分類ユニット１６に移送
する処理が開始される。この処理は、収容ハンド１４が
収容シャトル１３上のＩＣ１を吸着する工程、収容ハン
ド１４が収容シャトル１３上から分類ユニット１６に移
動する工程、収容ハンド１４が分類ユニット１６でＩＣ
１の吸着を解除する工程からなり、これら一連の動作を
実行するのに１サイクルで２．６秒を要する。この処理
は不良品と判定されたＩＣ１がトレー２からすべて取り
除かれるまで繰り返される。

【００４５】不良品と判定されたＩＣ１を分類ユニット
１６に移送する処理が終了したら、良品と判定されたＩ
Ｃ１のみが収容されたトレー２を収容シャトル１３から
アンローダ１５に移送する処理が実行される。この処理
は、収容ハンド１４が収容シャトル１３上のトレー２を
吸着する工程、収容ハンド１４が収容シャトル１３上か
らアンローダ１５に移動する工程、収容ハンド１４がア
ンローダ１５でトレー２の吸着を解除する工程からな
り、これら一連の動作を実行するのに１サイクルで３．
０秒を要する。トレー２内には複数の測定済みＩＣ１が
収容されていることから、ＩＣ１個あたりの処理時間は
３．０秒未満となる。

【００４６】このように、この実施の形態のオートハン
ドラ１００によれば、トレー２内の未測定ＩＣ１をトレ
ー２に載置した状態のままで順次ＩＣソケット４に移送
する構成としたので、未測定ＩＣ１を１個ずつＩＣソケ
ット４に移送する場合と比べて、ＩＣ１個あたりの移送
時間を大幅に短縮できる。また、供給シャトル１２、収
容シャトル１３及び収容ハンド１４の各々によるＩＣ１
個あたりの移送時間が、測定ステージ２０によるＩＣ１
個あたりの測定時間よりも短くなるので、ＩＣ１個あた
りの測定時間を短縮することにより、ＩＣ１個あたりの
総処理時間を短縮できる。また、供給シャトル１２、測
定ステージ２０及び収容シャトル１３の各々がトレー２
ごとＩＣ１を移送する構成としたので、ＩＣ１の載せ替
え作業を省略できる。従って、ＩＣ１の外観不良や静電
破壊等の発生を防止できる。また、不良品と判定された
ＩＣ１がトレー２から取り除かれて分類ユニット１６に
収容される一方、良品と判定されたＩＣ１がトレー２に
載置された状態のままアンローダ１５に収容される構成
としたので、良品と判定されたＩＣ１をアンローダ１５
で載せ替える作業を省略できる。

【００４７】また、トレー２にガイド孔２ｅ・２ｃを設
ける一方、トレー把持部２１にガイド孔２ｅ・２ｃと係
合離脱自在なガイドピン２６・２７を設けたので、トレ
ー把持部２１に対してトレー２を正確に位置決めでき
る。また、コンタクトプッシャ２５がトレー２内の各Ｉ
Ｃ１をトレー２に押え付ける構成としたので、トレー２
から各ＩＣ１がこぼれ落ちることを防止できると共に、
ＩＣ１のリード３をＩＣソケット４の接触子５に確実に
接触させることができる。また、各コンタクトプッシャ
２５が遊びを持った状態でベース部２２に取り付けられ
ているので、ＩＣ１の収容位置に多少のばらつきがあっ
たとしても、そのばらつきを吸収でき、各コンタクトプ
ッシャ２５で各ＩＣ１を安定した状態で押え付けること
ができる。

【００４８】なお、本発明はこの実施の形態のオートハ
ンドラ１００に限られるものではなく、これ以外にも種
々のバリエーションが有り得る。例えば、この実施の形
態では、ＩＣソケット４の数を単数としたが、複数とす
ることも可能である。例えば、トレー２に収容されるＩ
Ｃ１の数量分だけＩＣソケット４を設けるようにしても
よい。また、この実施の形態では、不良品と判定された
ＩＣ１が取り除かれて良品と判定されたＩＣ１のみとな
ったトレー２をそのままアンローダ１５に収容する構成
としたが、例えば、不良品と判定されたＩＣ１が取り除
かれて生じたトレー２の空き位置に良品と判定されたＩ
Ｃ１を補充してトレー２内を満杯状態としてからトレー
２をアンローダ１５に収容する構成とすることも可能で
ある。その場合、良品と判定されたＩＣ１のみが収容さ
れるトレー２を一時的に留保する良品留保部を収容バッ
ファＰ３の近傍に設け、良品留保部に留保されるトレー
２内のＩＣ１を補充用のＩＣとして用いる。また、良品
留保部へのトレー２の移送や、良品留保部から収容バッ
ファＰ３へのＩＣ１の移送には収容ハンド１４を用い
る。即ち、本発明に係る補充手段を良品留保部及び収容
ハンド１４によって構成する。このような構成によれ
ば、良品と判定されたＩＣ１をアンローダ１５のトレー
２内に隙間なく充填できる。

【００４９】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、未測定デ
バイスを１個ずつ測定部に移送する場合と比べて、未測
定デバイスを測定部に移送する際の１デバイスあたりの
処理時間を大幅に短縮できる。従って、測定時間が短い
デバイスであっても、１デバイスあたりの測定時間を短
縮することによって、１デバイスあたりの総処理時間を
短縮できる。また、供給シャトル、測定ステージ及び収
容シャトルの各々がトレーごとデバイスを移送するの
で、デバイスの載せ替え作業を省略できる。従って、デ
バイスの外観不良や静電破壊等の発生を低減できる。

【００５０】請求項２記載の発明によれば、複数のデバ
イスを一度に移送できると共に、トレーに収容した状態
のままでデバイスの電気的特性を測定できる。請求項３
記載の発明によれば、トレーに収容した状態のままで各
デバイスを測定部に移送できる。請求項４記載の発明に
よれば、トレー把持部に対してトレーを正確に位置決め
できる。

【００５１】請求項５記載の発明によれば、トレーから
各デバイスがこぼれ落ちることを防止できると共に、測
定部に設けられる接触子等の接続部分に各デバイスのリ
ードを確実に接触させることができる。請求項６記載の
発明によれば、デバイスの収容位置に多少のばらつきが
あったとしても、そのばらつきを吸収でき、各コンタク
トプッシャで各デバイスを安定した状態で押え付けるこ
とができる。請求項７記載の発明によれば、良品と判定
されたデバイスをアンローダで載せ替える作業を省略で
きる。請求項８記載の発明によれば、良品と判定された
デバイスをアンローダのトレー内に隙間なく充填でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一実施の形態のオートハンド
ラの概略構成を示す平面図である。

【図２】同、正面図である。

【図３】測定ステージの動作説明図である。

【図４】図１のオートハンドラで実行される各処理のタ
イムチャートである。

【図５】従来のオートハンドラの一構成例を示す平面図
である。

【図６】図５のオートハンドラで実行される各処理のタ
イムチャートである。

【符号の説明】

１ＩＣ（デバイス）２トレー２ａ凹部２ｂ接続用開口部２ｃ、２ｅガイド孔（被係合部）３リード４ＩＣソケット（測定部）５接触子１１ローダ１２供給シャトル１３収容シャトル１４収容ハンド１５アンローダ１６分類ユニット２０測定ステージ２１トレー把持部２２ベース部２４開閉クランパ２５コンタクトプッシャ２６、２７ガイドピン（係合部）１００オートハンドラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】未測定のデバイスを測定部に移送し、前記
測定部での測定結果に基づいて測定済みのデバイスを分
類収容するオートハンドラであって、未測定のデバイスが複数載置されたトレーを収容するロ
ーダと、前記ローダのトレーを測定準備位置に移送する供給シャ
トルと、前記測定準備位置で待機する供給シャトル上のトレーを
把持し、把持したトレー内の未測定デバイスをトレーに
載置した状態のままで順次前記測定部に移送すると共
に、トレー内すべてのデバイスに対して前記測定部での
測定が終了したところで、トレーを収容準備位置に移送
する測定ステージと、前記収容準備位置で前記測定ステージからトレーを受け
取り、受け取ったトレーを収容バッファに移送する収容
シャトルと、前記収容バッファで待機する前記収容シャトル上のトレ
ーに載置される測定済みのデバイスを前記測定部での測
定結果に基づいて分類収容する分類収容部とを備えるこ
とを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】トレーには、デバイスを収容する複数の凹
部が設けられ、各凹部の底面には、凹部に収容したデバ
イスのリードをトレー下方に臨ませる接続用開口部が設
けられていることを特徴とする請求項１記載のオートハ
ンドラ。
【請求項３】前記測定ステージは、トレーを把持するトレー把持部と、前記トレー把持部を水平方向に移動させるＸＹステージ
と、前記トレー把持部を昇降させるエレベータとを備え、前記ＸＹステージは前記トレー把持部を水平方向に移動
させることで、トレー内のデバイスを順次前記測定部に
対向配置させ、前記エレベータは前記トレー把持部を昇降させること
で、前記測定部に対向配置されたトレー内のデバイスを
前記測定部に接離させることを特徴とする請求項１又は
２に記載のオートハンドラ。
【請求項４】トレーには被係合部が設けられる一方、前記トレー把持部には前記被係合部と係合離脱自在な係
合部が設けられ、前記係合部と前記被係合部とが係合した状態にて、トレ
ーが前記トレー把持部に対して位置決めされることを特
徴とする請求項３記載のオートハンドラ。
【請求項５】前記トレー把持部には、前記係合部を有す
るベース部が設けられ、前記ベース部には、トレー内の
各デバイスをトレーに押え付けるコンタクトプッシャが
取り付けられていることを特徴とする請求項４記載のオ
ートハンドラ。
【請求項６】前記コンタクトプッシャはトレー内の各デ
バイス毎に設けられ、各コンタクトプッシャは遊びを持
った状態で前記ベース部に取り付けられていることを特
徴とする請求項５記載のオートハンドラ。
【請求項７】前記分類収容部は、良品と判定された測定済みのデバイスを収容するアンロ
ーダと、不良品と判定された測定済みのデバイスを収容する分類
ユニットと、前記収容バッファで待機する前記収容シャトル上のトレ
ーに載置される測定済みのデバイスの中で不良品と判定
されたデバイスのみを取り出して前記分類ユニットに移
送する不良品移送手段と、不良品と判定されたデバイスが取り除かれて良品と判定
されたデバイスのみが収容されたトレーを、前記収容シ
ャトルから前記アンローダに移送する良品移送手段とを
備えることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の
オートハンドラ。
【請求項８】不良品と判定されたデバイスが前記不良品
移送手段によって前記分類ユニットに移送された後に、
不良品と判定されたデバイスが取り除かれて生じたトレ
ーの空き位置に、良品と判定されたデバイスを補充して
トレー内を満杯状態とする補充手段を備えることを特徴
とする請求項７記載のオートハンドラ。