WO2021091061A1 - 표시 장치 - Google Patents

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WO2021091061A1
WO2021091061A1 PCT/KR2020/011847 KR2020011847W WO2021091061A1 WO 2021091061 A1 WO2021091061 A1 WO 2021091061A1 KR 2020011847 W KR2020011847 W KR 2020011847W WO 2021091061 A1 WO2021091061 A1 WO 2021091061A1
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electrode
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light emitting
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김덕성
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삼성디스플레이 주식회사
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    • H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks

Definitions

  • the present invention relates to a display device.
  • OLED organic light emitting display
  • LCD liquid crystal display
  • a device that displays an image of a display device includes a display panel such as an organic light emitting display panel or a liquid crystal display panel.
  • a light emitting display panel may include a light emitting device.
  • a light emitting diode LED
  • OLED organic light emitting diode
  • Inorganic light-emitting diodes Inorganic light-emitting diodes.
  • An object of the present invention is to provide a display device including a light-emitting area in which light-emitting elements are disposed and a non-light-emitting area in which circuit elements are disposed.
  • a problem to be solved by the present invention is to provide a display device in which the number of manufacturing processes is reduced by forming members disposed in a light emitting area and a non-emitting area in the same process.
  • a display device for solving the above problem includes a substrate, a first bank structure and a second bank structure spaced apart on the substrate, a first electrode and the second bank structure disposed on the first bank structure.
  • a second electrode disposed on a bank structure, a light emitting device disposed between the first electrode and the second electrode, wherein the bank structure includes a base layer, an upper layer disposed on the base layer, and between the base layer and the upper layer And the disposed intermediate layer, and the first electrode is disposed to cover the first bank structure.
  • the substrate may have an emission area and a non-emission area, and the first bank structure, the second bank structure, and the light emitting device may be disposed in the emission area.
  • a first transistor including a /drain electrode may be further included, and the first gate electrode may be disposed on the same layer as the base layer of the bank structure.
  • the source/drain electrodes of the first transistor may be disposed on the same layer as the upper layer of the bank structure.
  • At least a portion of the first electrode may be disposed in the non-emissive region, and a portion of the first electrode disposed in the non-emissive region may contact the source/drain electrodes of the first transistor.
  • a third bank structure disposed on the emission region of the substrate and disposed between the first bank structure and the second bank structure, and a third electrode disposed on the third bank structure may further be included.
  • the light-emitting device includes a first light-emitting device disposed between the first bank structure and the third bank structure, and a second light-emitting device disposed between the third bank structure and the second bank structure, and the second One end of the light-emitting device may be electrically connected to the first electrode, and one end of the second light-emitting device may be electrically connected to the second electrode.
  • a first planarization layer disposed on the source/drain electrode in the non-emission area, and an outer bank layer disposed to surround the bank structures in the light-emitting area may further be included.
  • the height from the upper surface of the substrate to the upper surface of the first planarization layer may be substantially the same as the height from the upper surface of the substrate to the upper surface of the outer bank layer.
  • the intermediate layer of the bank structure may be disposed to surround the outer surface of the base layer.
  • the upper layer may overlap at least a partial region of the base layer in the thickness direction with the intermediate layer therebetween.
  • first insulating layer disposed on at least a partial region on the first electrode and the second electrode, wherein the first insulating layer is at least a partial region of a portion of the first electrode disposed on the first bank structure And can be arranged to be non-overlapping.
  • a second insulating layer disposed on at least a portion of the first insulating layer may be further included, and the second insulating layer may be disposed such that a portion of the first electrode that is non-overlapping with the first insulating layer is exposed.
  • the light-emitting device may be disposed on the first insulating layer, and at least a portion of the second insulating layer may be disposed on the light-emitting device, and both ends of the light-emitting device may be exposed.
  • a display device for solving the above problem includes a substrate having a light emitting region and a non-emitting region, disposed on the non-emitting region of the substrate, and including a first active material layer of a first transistor. 1 semiconductor layer, a first gate insulating layer disposed on the substrate and the first semiconductor layer, and a first gate conductive layer disposed on the first gate insulating layer, wherein the first transistor is disposed in the non-emissive region
  • a first gate conductive layer including a first gate electrode of and a plurality of base layers disposed in the light emitting region, a first interlayer insulating layer disposed on the first gate electrode, and a plurality of base layers disposed to cover the plurality of base layers.
  • An interlayer insulating layer including an intermediate layer, a first data conductive layer including a source/drain electrode of a first transistor disposed on the first interlayer insulating layer, and a plurality of upper layers disposed on the intermediate layer, at least a partial region of the And a plurality of electrodes disposed on the upper layer and spaced apart from each other, and at least one light emitting device disposed between the plurality of electrodes.
  • the base layer includes a first base layer and a second base layer disposed to be spaced apart from each other
  • the intermediate layer includes a first intermediate layer disposed to cover the first base layer and a second intermediate layer disposed to cover the second base layer
  • the upper layer may include a first upper layer disposed on the first intermediate layer and a second upper layer disposed on the second intermediate layer.
  • the electrode is disposed on the first upper layer, a first electrode disposed to cover the first base layer and the first intermediate layer, and a first electrode disposed on the second upper layer to cover the second base layer and the second intermediate layer
  • the second electrode may be disposed, and the light emitting device may be electrically connected to the first electrode and the second electrode.
  • first contact electrode disposed on the first electrode and a second contact electrode disposed on the second electrode, wherein the first contact electrode directly contacts the first electrode and one end of the light emitting device
  • second contact electrode may directly contact the second electrode and the other end of the light emitting device.
  • At least a portion of the first electrode may be disposed in the non-emissive region, and a portion of the first electrode disposed in the non-emissive region may contact the source/drain electrodes of the first transistor.
  • a first insulating layer disposed to cover at least a portion of the first electrode and the second electrode may be further included, and the light emitting device may be disposed on the first insulating layer.
  • the first insulating layer may further include a second insulating layer disposed in at least a partial region, and at least a portion of the second insulating layer may be disposed on the light-emitting device, and both ends of the light-emitting device may be exposed. .
  • planarization layer disposed on the first data conductive layer, wherein the planarization layer includes a first planarization layer disposed to cover the non-emission area and an outer bank layer disposed to surround an outer surface of the light-emitting area can do.
  • the display device may include a bank structure including a base layer and an upper layer formed on the same layer as the gate conductive layer and the data conductive layer disposed in the non-emissive region.
  • the bank structure may be disposed in the light emitting area to form an area where the light emitting device is disposed.
  • the bank structure disposed in the light-emitting area is formed in the same process as the circuit elements or wirings in the non-emissive area, thereby reducing the number of manufacturing processes for the display device.
  • FIG. 1 is a plan view of a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view illustrating wirings included in a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of one pixel included in a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 4 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 5 is a layout diagram illustrating one sub-pixel of FIG. 4.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along lines I-I' and II-II' of FIG. 4.
  • FIG. 7 is a schematic diagram of a light emitting device according to an exemplary embodiment.
  • FIGS. 8 to 15 are cross-sectional views illustrating a part of a manufacturing process of a display device according to an exemplary embodiment.
  • 16 is a plan view illustrating a step in a manufacturing process of a display device according to an exemplary embodiment.
  • 17 to 19 are cross-sectional views illustrating another part of a manufacturing process of a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of a display device according to another exemplary embodiment.
  • 21 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view illustrating a part of the display device of FIG. 21.
  • FIG. 23 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 24 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view illustrating a part of the display device of FIG. 24.
  • 26 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • FIG. 27 is a cross-sectional view illustrating a part of the display device of FIG. 26.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a display device according to an exemplary embodiment.
  • the display device 10 displays a moving picture or a still image.
  • the display device 10 may refer to all electronic devices that provide a display screen. For example, televisions, notebooks, monitors, billboards, Internet of Things, mobile phones, smart phones, tablet PCs (Personal Computers), electronic watches, smart watches, watch phones, head mounted displays, mobile communication terminals that provide display screens, An electronic notebook, an electronic book, a portable multimedia player (PMP), a navigation device, a game machine, a digital camera, a camcorder, and the like may be included in the display device 10.
  • PMP portable multimedia player
  • the display device 10 includes a display panel that provides a display screen.
  • Examples of the display panel include an LED display panel, an organic light emitting display panel, a quantum dot emission display panel, a plasma display panel, and a field emission display panel.
  • a display panel a case in which an LED display panel is applied is exemplified, but the present invention is not limited thereto, and the same technical idea may be applied to other display panels if applicable.
  • the shape of the display device 10 may be variously modified.
  • the display device 10 may have a shape such as a long horizontal rectangle, a long vertical rectangle, a square, a square with a round corner (vertex), other polygons, and circles.
  • the shape of the display area DPA of the display device 10 may also be similar to the overall shape of the display device 10. In FIG. 1, a display device 10 and a display area DPA having a rectangular shape having a long horizontal shape are illustrated.
  • the display device 10 may include a display area DPA and a non-display area NDA.
  • the display area DPA is an area in which a screen can be displayed
  • the non-display area NDA is an area in which the screen is not displayed.
  • the display area DPA may be referred to as an active area
  • the non-display area NDA may also be referred to as an inactive area.
  • the display area DPA may generally occupy the center of the display device 10.
  • the display area DPA may include a plurality of pixels PX.
  • the plurality of pixels PX may be arranged in a matrix direction.
  • the shape of each pixel PX may be a rectangle or a square in a plane, but is not limited thereto, and each side may have a rhombus shape in which each side is inclined with respect to one direction.
  • Each of the pixels PX may be alternately arranged in a stripe type or a pentile type.
  • each of the pixels PX may include one or more light-emitting elements 300 that emit light of a specific wavelength band to display a specific color.
  • a non-display area NDA may be disposed around the display area DPA.
  • the non-display area NDA may completely or partially surround the display area DPA.
  • the display area DPA has a rectangular shape, and the non-display area NDA may be disposed adjacent to four sides of the display area DPA.
  • the non-display area NDA may form a bezel of the display device 10.
  • FIG. 2 is a schematic plan view illustrating wirings included in a display device according to an exemplary embodiment.
  • the display device 10 may include a plurality of wires.
  • the plurality of wirings may include a scan line SCL, a sensing line SSL, a data line DTL, a reference voltage line RVL, a first voltage line VDDL, and the like. Further, although not shown in the drawing, the plurality of wirings may further include a second voltage line VSSL.
  • the scan line SCL and the sensing line SSL may extend in the first direction DR1.
  • the scan line SCL and the sensing line SSL may be connected to the scan driver SDR.
  • the scan driver SDR may include a driving circuit.
  • the scan driver SDR may be disposed on the other side of the non-display area NDA in the first direction DR1 of the display area DPA, for example, to the left of the display area DPA, but is not limited thereto.
  • the scan driver SDR is connected to the signal connection line CWL, and at least one end of the signal connection line CWL may be connected to an external device by forming a pad WPD_CW on the non-display area NDA.
  • the data line DTL and the reference voltage line RVL may extend in a second direction DR2 crossing the first direction DR1.
  • the first voltage line VDDL may include a portion extending in the second direction DR2.
  • the first voltage line VDDL may further include a portion extending in the first direction DR1.
  • the first voltage line VDDL may have a mesh structure, but is not limited thereto.
  • the second voltage line VSSL may include a portion extending in the second direction DR2 and a portion extending in the first direction DR1 like the first voltage line VDDL. .
  • a wiring pad WPD may be disposed at at least one end of the data line DTL, the reference voltage line RVL, and the first voltage line VDDL. Each wiring pad WPD may be disposed in the non-display area NDA.
  • the wiring pad WPD_DT (hereinafter, referred to as'data pad') of the data line DTL is a non-display area NDA positioned below the other side of the second direction DR2 of the display area DPA.
  • the non-display area NDA may be disposed above the area DPA, which is one side of the second direction DR2.
  • the data pad WPD_DT, the reference voltage pad WPD_RV, and the first power pad WPD_VDD may all be disposed in the same area, for example, in the non-display area NDA positioned above the display area DPA.
  • an external device may be mounted on the wiring pad WPD.
  • the external device may be mounted on the wiring pad WPD through an anisotropic conductive film, ultrasonic bonding, or the like.
  • Each pixel PX of the display device 10 includes a pixel driving circuit.
  • the above-described wirings may apply a driving signal to each pixel driving circuit while passing through or around each pixel PX.
  • the pixel driving circuit may include a transistor and a capacitor.
  • the number of transistors and capacitors of each pixel driving circuit may be variously modified.
  • the pixel driving circuit will be described by taking a 3T1C structure including three transistors and one capacitor as an example, but is not limited thereto, and other various modified pixels (PX ) Structure may be applied.
  • FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of one pixel included in a display device according to an exemplary embodiment.
  • each pixel PX of the display device includes three transistors TR1, TR2, and TR3 and one storage capacitor Cst in addition to the light emitting element EL.
  • the light emitting element EL emits light according to the current supplied through the first transistor TR1. A detailed description of the light-emitting element EL will be described later.
  • One end of the light emitting element EL is connected to the first source/drain electrode of the first transistor TR1, and the other end is lower than the high potential voltage (first power voltage VDD) of the first voltage line VDDL. It may be connected to a second voltage line VSSL to which a low potential voltage (second power voltage, VSS) is supplied.
  • the first transistor TR1 adjusts the current flowing from the first voltage line VDDL to which the first power voltage is supplied to the light emitting element EL according to the voltage difference between the gate electrode and the source electrode.
  • the gate electrode of the first transistor TR1 is connected to the first source/drain electrode of the second transistor TR2, the first source/drain electrode is connected to the first electrode of the light emitting element EL, and the second source
  • the /drain electrode may be connected to the first voltage line VDDL to which the first power voltage VDD is applied.
  • the second transistor TR2 is turned on by the scan signal of the scan line SCL to connect the data line DTL to the gate electrode of the first transistor TR1.
  • the gate electrode of the second transistor TR2 is connected to the scan line SCL, the first source/drain electrode is connected to the gate electrode of the first transistor TR1, and the second source/drain electrode is connected to the data line DTL. ) Can be connected.
  • the third transistor TR3 is turned on by the sensing signal of the sensing line SSL to connect the reference voltage line RVL to the first source/drain electrodes of the first transistor TR1.
  • the gate electrode of the third transistor TR3 is connected to the sensing line SSL, the first source/drain electrode is connected to the reference voltage line RVL, and the second source/drain electrode is connected to the first transistor TR1. It may be connected to the first source/drain electrode.
  • the first source/drain electrode of each of the first to third transistors TR1, TR2, and TR3 may be a source electrode, and the second source/drain electrode may be a drain electrode, but is not limited thereto, The opposite could be the case.
  • the capacitor Cst is formed between the gate electrode of the first transistor TR1 and the first source/drain electrodes.
  • the storage capacitor Cst stores a voltage difference between the gate voltage of the first transistor TR1 and the first source/drain voltage.
  • Each of the first to third transistors TR1, TR2, and TR3 may be formed as a thin film transistor.
  • the first to third transistors TR1, TR2, and TR3 have been mainly described as being formed of an N-type MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor), but the present invention is not limited thereto. That is, the first to third transistors TR1, TR2, and TR3 may be formed of P-type MOSFETs, or some of them may be formed of N-type MOSFETs, and some of them may be formed of P-type MOSFETs.
  • N-type MOSFET Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor
  • FIG. 4 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to an exemplary embodiment.
  • each of the plurality of pixels PX may include a first sub-pixel PX1, a second sub-pixel PX2, and a third sub-pixel PX3.
  • the first sub-pixel PX1 emits light of a first color
  • the second sub-pixel PX2 emits light of a second color
  • the third sub-pixel PX3 emits light of a third color.
  • the first color may be blue
  • the second color may be green
  • the third color may be red.
  • each sub-pixel PXn may emit light of the same color.
  • FIG. 4 illustrates that the pixel PX includes three sub-pixels PXn, the present invention is not limited thereto, and the pixel PX may include a larger number of sub-pixels PXn.
  • each of the pixels PX of the display device 10 may include an emission area EMA and a non-emission area NEA.
  • the first sub-pixel PX1 is a first emission area EMA1 and a first non-emission area NEA1
  • the second sub-pixel PX2 is a second emission area EMA2 and a second non-emission area NEA2.
  • the third sub-pixel PX3 may include a third emission area EMA3 and a third non-emission area NEA3.
  • the light-emitting area EMA may be defined as an area through which light emitted from the light-emitting element 300 disposed for each pixel PX is emitted.
  • the light emitting device 300 includes an active layer 330, and the active layer 330 may emit light of a specific wavelength band without direction. Light emitted from the active layer 330 of the light-emitting device 300 may also be emitted in a lateral direction of the light-emitting device 300, including the direction of both ends of the light-emitting device 300.
  • the light-emitting area EMA of each sub-pixel PXn includes an area in which the light-emitting element 300 is disposed, and is a region adjacent to the light-emitting element 300 and includes a region in which light emitted from the light-emitting element 300 is emitted. can do. Further, the present invention is not limited thereto, and the light emitting area EMA may also include a region in which light emitted from the light emitting device 300 is reflected or refracted by another member to be emitted.
  • Each pixel PX or sub-pixel PXn includes a pixel driving circuit, and these may be disposed in the non-emission area NEA of each pixel PX or sub-pixel PXn. That is, the non-emission area NEA may be an area in which circuit elements constituting the pixel driving circuit of each pixel PX or sub-pixel PXn, or a plurality of wirings are disposed. In addition, the non-emission area NEA is an area other than the light-emitting area EMA, and may be an area in which light is not emitted because the light emitted from the light-emitting element 300 does not reach.
  • the light emitting element 300 emitting light and the circuit elements for driving the light emitting element 300 are disposed in different regions, for example, the light emitting region EMA and the non-emission region NEA. , They can be non-overlapping with each other in the thickness direction. Accordingly, the display device 100 may emit light to an upper surface or a rear surface of the region based on the region in which the light emitting elements 300 are disposed. Further, as will be described later, the bank structures ('410' and '420' in FIG. 4) providing a region in which the light emitting elements 300 are arranged are in the same process as the circuit elements or wirings of the non-emission region NEA. May be formed, and the number of manufacturing processes of the display device 10 may be shortened.
  • FIG. 5 is a layout diagram illustrating one sub-pixel of FIG. 4.
  • 6 is a cross-sectional view taken along lines I-I' and II-II' of FIG. 4.
  • the external bank layer (“450” in FIG. 4) and the first planarization layer (“180” in FIG. 4) disposed in each sub-pixel PXn are omitted.
  • Part II′ of FIG. 6 is a cross section of a partial area of the non-emission area NEA of each sub-pixel PXn
  • a part II-II′ of FIG. 6 is a part of the emission area EMA of each sub-pixel PXn It is the cross section of the area.
  • each pixel PX or sub-pixel PXn of the display device 10 is a first substrate 110 and a semiconductor disposed on the first substrate 110.
  • a layer, a plurality of conductive layers, and a plurality of insulating layers may be included.
  • the plurality of conductive layers may include a first gate conductive layer, a first data conductive layer, an electrode, and a contact electrode
  • the plurality of insulating layers include a buffer layer 115, a first gate insulating layer 130, and a first
  • the protective layer 150, the first interlayer insulating layer 170, the first planarization layer 180, the first insulating layer 510, the second insulating layer 520, the third insulating layer 530, and the fourth insulating Layer 550 may be included.
  • the plurality of conductive layers and semiconductor layers may constitute the transistors TR1, TR2, and TR3 of each pixel PX, a storage capacitor Cst, and a plurality of signal lines or voltage lines described above with reference to FIG. 3. have.
  • FIG. 6 shows only a cross section of the first transistor TR1 among circuit elements disposed in the non-emission area NEA. Descriptions of other transistors of each sub-pixel PXn, for example, the second transistor TR2 and the third transistor TR3 will be omitted.
  • the first substrate 110 may be an insulating substrate.
  • the first substrate 110 may be made of an insulating material such as glass, quartz, or polymer resin. Further, the first substrate 110 may be a rigid substrate, but may be a flexible substrate capable of bending, folding, rolling, or the like.
  • a light emitting area EMA and a non-emissive area NEA are defined, a light emitting element 300 is disposed on the light emitting area EMA of the first substrate 110, and a non-emissive area NEA On ), as a circuit element, a first transistor TR1 or the like may be disposed.
  • the first light blocking layer BML1 may be disposed on the first substrate 110.
  • the first light blocking layer BML1 is disposed in the non-emission area NEA of the first substrate 110 and may be disposed to overlap a part of the first active material layer ACT of the first transistor TR1 to be described later. have.
  • the first light blocking layer BML1 includes a material that blocks light, and may prevent light from entering the first active material layer ACT.
  • the first light blocking layer BML1 may be formed of an opaque metallic material that blocks light transmission.
  • the present invention is not limited thereto, and in some cases, the first light blocking layer BML1 may be omitted.
  • the buffer layer 115 is disposed on the first substrate 110 including the first light blocking layer BML1.
  • the buffer layer 115 may be disposed on the entire surface of the non-emission area NEA and the emission area EMA of the first substrate 110.
  • the buffer layer 115 is formed on the first substrate 110 to protect the transistors TR1, TR2, and TR3 of the pixel PX from moisture penetrating through the first substrate 110, which is vulnerable to moisture permeation, and the surface is planarized. Function can be performed.
  • the buffer layer 115 may be formed of a plurality of inorganic layers that are alternately stacked.
  • the buffer layer 115 may be formed as a multilayer in which one or more inorganic layers of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), and a silicon oxynitride (SiON) are alternately stacked.
  • SiOx silicon oxide layer
  • SiNx silicon nitride layer
  • SiON silicon oxynitride
  • the semiconductor layer is disposed on the buffer layer 115.
  • the semiconductor layer may be disposed in the non-emission area NEA of each pixel PX or sub-pixel PXn to form an active material layer of each of the transistors TR1, TR2, and TR3.
  • the semiconductor layers include a first active material layer ACT1 of the first transistor TR1, a second active material layer ACT2 of the second transistor TR2, and a third active material layer ACT3 of the third transistor TR3. ) Can be included.
  • a second active material layer ACT2 is disposed above the center of the non-emission area NEA of the sub-pixel PXn, which is one side of the second direction DR2 of the center, and the second direction DR2
  • a first active material layer ACT1 and a third active material layer ACT3 may be disposed under the other side.
  • the first active material layer ACT1 of the first transistor TR1 and the third active material layer ACT3 of the third transistor TR3 may be formed integrally with one semiconductor layer. , Some of these may be the first active material layer ACT1, and the other part may be the third active material layer ACT3.
  • the semiconductor layer may include polycrystalline silicon, single crystal silicon, or oxide semiconductor.
  • the first active material layer ACT1 may include a first doped region ACT1a, a second doped region ACT1b, and a first channel region ACT1c.
  • the first doped region ACT1a and the second doped region ACT1b may be regions doped with impurities.
  • the first channel region ACT1c may be disposed between the first doped region ACT1a and the second doped region ACT1b.
  • Polycrystalline silicon can be formed by crystallizing amorphous silicon.
  • the crystallization method examples include a rapid thermal annealing (RTA) method, a solid phase crystallization (SPC) method, an excimer laser annealing (ELA) method, a metal induced crystallization (MILC) method, and a sequential lateral solidification (SLS) method.
  • RTA rapid thermal annealing
  • SPC solid phase crystallization
  • ELA excimer laser annealing
  • MILC metal induced crystallization
  • SLS sequential lateral solidification
  • the first active material layer ACT1 may include single crystal silicon, low temperature polycrystalline silicon, amorphous silicon, or the like.
  • the first active material layer ACT1 is not necessarily limited to the above.
  • the first active material layer ACT1 may include an oxide semiconductor.
  • the first doped region ACT1a may be a first conductive region
  • the second doped region ACT1b may be a second conductive region.
  • the oxide semiconductor may be an oxide semiconductor containing indium (In).
  • the oxide semiconductor is Indium-Tin Oxide (ITO), Indium-Zinc Oxide (IZO), Indium-Gallium Oxide (IGO), Indium- Indium-Zinc-Tin Oxide (IZTO), Indium-Gallium-Tin Oxide (IGTO), Indium-Gallium-Zinc-Tin Oxide, IGZTO) or the like.
  • ITO Indium-Tin Oxide
  • IZO Indium-Zinc Oxide
  • IGO Indium-Gallium Oxide
  • IZTO Indium-Indium-Zinc-Tin Oxide
  • IGTO Indium-Gallium-Zinc-Tin Oxide
  • IGZTO Indium-Gallium-Zinc-Tin Oxide
  • the first gate insulating layer 130 is disposed on the semiconductor layer and the buffer layer 115.
  • the first gate insulating layer 130 may include a semiconductor layer, that is, first to third active material layers ACT1, ACT2, and ACT3, and may be disposed on the buffer layer 115. That is, the first gate insulating layer 130 may be entirely disposed on the non-emission area NEA and the emission area EMA.
  • the first gate insulating layer 130 may function as a gate insulating layer of the first to third transistors TR1, TR2, and TR3.
  • the first gate insulating layer 130 may be formed of an inorganic material such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or a stacked structure thereof.
  • the first gate conductive layer is disposed on the first gate insulating layer 130.
  • the first gate conductive layer includes gate electrodes GE1, GE2, and GE3 of the first to third transistors TR1, TR2, and TR3 disposed in the non-emission area NEA, a scan line SCL, and a sensing line SSL. ), the second voltage line VSSL, the reference voltage distribution line RVT, the first capacitance electrode CSE1 of the storage capacitor Cst, and the base layer of the bank structures 410 and 420 disposed in the light emitting area EMA (411, 421) may be included.
  • the gate electrodes GE1, GE2, and GE3 of the first to third transistors TR1, TR2, and TR may be disposed to overlap the first to third active material layers ACT1, ACT2, and ACT3, respectively.
  • the first gate electrode GE1 overlaps at least a partial region of the first active material layer ACT1
  • the second gate electrode GE2 is at least a partial region of the second active material layer ACT2
  • a third gate electrode ( GE3) may overlap at least a portion of the third active material layer ACT3.
  • the first gate electrode GE1 may be electrically connected to the first capacitive electrode CSE1 of the storage capacitor Cst to be described later.
  • the second gate electrode GE2 may be electrically connected to the scan line SCL to be described later
  • the third gate electrode GE3 may be electrically connected to the sensing line SSL to be described later.
  • the scan line SCL may extend in the first direction DR1 and may be disposed beyond the boundary of neighboring sub-pixels PXn. That is, a plurality of pixels PX or sub-pixels PXn adjacent in the first direction DR1 may share one scan line SCL.
  • the scan line SCL may be disposed above the center of the non-emission area NEA of the sub-pixel PXn, which is one side of the second direction DR2.
  • the scan line SCL may be electrically connected to the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2 through a part of the first data conductive layer to be described later, and transmit a scan signal to the second transistor TR2. have.
  • the sensing line SSL may also extend in the first direction DR1 and may be disposed beyond the boundary of neighboring sub-pixels PXn. That is, a plurality of pixels PX or sub-pixels PXn adjacent in the first direction DR1 may share one sensing line SSL.
  • the sensing line SSL may be disposed below the other side of the second direction DR2 with respect to the center of the non-emission area NEA of the sub-pixel PXn.
  • the sensing line SSL may be electrically connected to the third gate electrode GE3 of the third transistor TR3 through a part of the first data conductive layer to be described later, and may transmit a sensing signal to the third transistor TR3. have.
  • the reference voltage distribution line RVT is disposed on the other side of the sensing line SSL in the second direction DR2 and may extend in the first direction DR1.
  • the reference voltage distribution line RVT is disposed extending from the first sub-pixel PX1 to the third sub-pixel PX3, and each pixel PX, that is, three sub-pixels PXn, is a reference voltage distribution line. (RVT) can be shared.
  • the reference voltage distribution line RVT may be electrically connected to the reference voltage line RVL to be described later and the first source/drain electrodes of the third transistor TR3 of each sub-pixel PXn. Through this, the reference voltage distribution line RVT may transfer the reference voltage applied from the reference voltage line RVL to the third transistor TR3.
  • the second voltage line VSSL is disposed on one side of the scan line SCL in the second direction DR2 and may extend in the first direction DR1.
  • the second voltage line VSSL may be disposed in the non-display area NDA of the display device 10 and may further include a portion extending in the second direction DR2.
  • a portion of the second voltage line VSSL extending in the second direction DR2 may be connected to the wiring pads WPD, through which the second power voltage VSS may be applied.
  • the second voltage line VSSL may be electrically connected to a second electrode (“220” in FIG. 4 ), which will be described later, to apply a second power voltage VSS to the light emitting device 300. Meanwhile, in FIG.
  • the second voltage line VSSL and the second electrode 220 are connected in the non-display area NDA, but the present invention is not limited thereto.
  • the second electrodes 220 of each sub-pixel PXn may be electrically connected at a portion extending in the first direction DR1 of the second voltage line VSSL.
  • the first capacitive electrode CSE1 of the storage capacitor Cst is disposed between the scan line SCL and the sensing line SSL.
  • the first capacitive electrode CSE1 of the storage capacitor Cst may be electrically connected to the first gate electrode GE1 of the first transistor TR1 and the second source/drain electrode SDE4 of the second transistor TR2. have.
  • the second source/drain electrode SDE4 of the second transistor TR2 is the second active material layer ACT2 through the first contact hole CT1 in a region overlapping with one side of the second active material layer ACT2. Can be in contact with one side of.
  • the second source/drain electrode SDE4 may be connected to the first capacitive electrode CSE1 of the storage capacitor Cst.
  • the display device 10 may include bank structures 410 and 420 disposed in the light emitting area EMA, and the light emitting device 300 may be disposed therebetween.
  • the bank structures 410 and 420 include a first bank structure 410 and a second bank structure 420, and these are disposed for each sub-pixel PXn so that the light emitting device 300 is disposed in the light emitting area EMA. It is possible to form an area to be used.
  • the bank structures 410 and 420 may have a multilayer structure in which a plurality of layers are stacked.
  • the bank structures 410 and 420 include base layers 411 and 421, intermediate layers 417 and 427, and upper layers 412 and 422, of which the base layers 411 and 421 are the first gates.
  • the conductive layer that is, may be disposed on the same layer as the first gate electrode GE1 of the first transistor TR1. That is, the first gate conductive layer may further include base layers 411 and 421 of the bank structures 410 and 420 disposed in the emission area EMA.
  • the first bank structure 410 and the second bank structure 420 each include a first base layer 411 and a second base layer 421, respectively, and each of them includes a first gate insulating layer ( 130) placed directly on.
  • the first base layer 411 and the second base layer 421 extend in the second direction DR2 within the emission area EMA of each sub-pixel PXn and are disposed to be spaced apart from each other in the first direction DR1. I can. Lengths of the first base layer 411 and the second base layer 421 measured in the second direction DR2 may be substantially the same.
  • Other layers may be further disposed on the first base layer 411 and the second base layer 421, and these may form one bank structure 410 and 420.
  • the first base layer 411 and the second base layer 421 are disposed in the light emitting area EMA to form the bank structures 410 and 420, and these are circuit elements disposed in the non-emissive area NEA. Or, it may not be electrically connected to the wires. That is, the first base layer 411 and the second base layer 421 are disposed on the first gate conductive layer, are electrically insulated therefrom, and the light-emitting area EMA is provided to provide an area in which the light-emitting element 300 is disposed. It may be disposed on the top. A more detailed description of the bank structures 410 and 420 will be described later.
  • the first gate conductive layer is any one of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu), or It may be formed of a single layer or multiple layers made of an alloy of. However, it is not limited thereto.
  • the first protective layer 150 is disposed on the first gate conductive layer.
  • the first passivation layer 150 is disposed in the non-emission area NEA, the active material layers ACT1, ACT2, ACT3 of the first to third transistors TR1, TR2, and TR3, and a plurality of signal lines, etc. It can be arranged to cover.
  • the first protective layer 150 may be formed of an inorganic material such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or a stacked structure thereof.
  • the interlayer insulating layer is disposed on the first protective layer 150 and the base layers 411 and 421 of the bank structures 410 and 420.
  • the interlayer insulating layer is a first interlayer insulating layer 170 disposed on the first passivation layer 150 of the non-emission area NEA, and a bank structure disposed on the base layers 411 and 421 of the light emitting area EMA.
  • Intermediate layers 417 and 427 of 410 and 420 may be disposed.
  • the first interlayer insulating layer 170 and the intermediate layers 417 and 427 of the bank structures 410 and 420 may be disposed on the same layer and formed in the same process.
  • the intermediate layers 417 and 427 of the bank structures 410 and 420 include a first intermediate layer 417 disposed on the first base layer 411 and a second intermediate layer 427 disposed on the second base layer 421 can do.
  • the first intermediate layer 417 and the second intermediate layer 427 may be disposed on the same layer as the first interlayer insulating layer 170 disposed in the non-emissive region NEA, and these 2 It may be disposed to cover the base layer 421.
  • the intermediate layers 417 and 427 are disposed to cover the outer surfaces of the base layers 411 and 421, respectively, so that some of the lower surfaces may directly contact the first gate insulating layer 130.
  • the first interlayer insulating layer 170 may function as an insulating layer between the first gate conductive layer and other layers disposed thereon.
  • the first interlayer insulating layer 170 and the intermediate layers 417 and 427 may be formed of an inorganic material such as silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or a stacked structure thereof.
  • the first data conductive layer is disposed on the first interlayer insulating layer 170 and the intermediate layers 417 and 427.
  • the first data conductive layer includes first source/drain electrodes SDE1 of the data line DTL, the first voltage line VDDL, the reference voltage line RVL, and the first to third transistors TR1, TR2, and TR3.
  • SDE3 and SDE5 and second source/drain electrodes SDE2 and SDE4 a plurality of conductive patterns DP1 and DP2, a second capacitive electrode CSE2 of the storage capacitor Cst, and a bank structure 410,
  • the upper layers 412 and 422 of 420 may be included.
  • the data line DTL, the first voltage line VDDL, and the reference voltage line RVL of the first data conductive layer are disposed over the non-emission area NEA and the emission area EMA, respectively, and first to third First source/drain electrodes SDE1, SDE3, SDE5 and second source/drain electrodes SDE2 and SDE4 of the transistors TR1, TR2, and TR3, a plurality of conductive patterns DP1 and DP2, and a storage capacitor
  • the second capacitive electrode CSE2 of (Cst) may be disposed in the non-emission area NEA, and the upper layers 412 and 422 of the bank structures 410 and 420 may be disposed in the light-emitting area EMA.
  • the data line DTL may extend in the second direction DR2 and may be disposed beyond the boundary of the neighboring sub-pixels PXn. For example, a plurality of pixels PX or sub-pixels PXn adjacent in the second direction DR2 may share one data line DTL.
  • the data line DTL may be disposed on the right side of the first direction DR1 with respect to the center of the non-emission area NEA of the sub-pixel PXn.
  • the data line DTL may contact one side of the second active material layer ACT2 of the second transistor TR2 through the second contact hole CT2. That is, some of the data lines DTL may be the first source/drain electrodes SDE3 of the second transistor TR2, and through this, a data signal applied to the data line DTL is transmitted to the second transistor TR2. Can be delivered.
  • the first voltage line VDDL may also extend in the second direction DR2 and may be disposed beyond the boundary of neighboring sub-pixels PXn. For example, a plurality of pixels PX or sub-pixels PXn adjacent in the second direction DR2 may share one first voltage line VDDL.
  • the first voltage line VDDL may be disposed on the left side of the other side in the first direction DR1 with respect to the center of the non-emission area NEA of the sub-pixel PXn.
  • the first voltage line VDDL may contact one side of the first active material layer ACT1 of the first transistor TR1 through the third contact hole CT3. That is, some of the first voltage lines VDDL may be the first source/drain electrodes SDE1 of the first transistor TR1, through which the first power voltage VDD applied to the first voltage line VDDL. ) May be transferred to the first transistor TR1.
  • the first voltage line VDDL and the data line DTL may be disposed for each sub-pixel PXn. As shown in the drawing, the first voltage line VDDL and the data line DTL are respectively disposed on the left and right sides with respect to the center of each sub-pixel PXn, and extend in the second direction DR2 to be It may be disposed over the light-emitting area NEA and the light-emitting area EMA. The first voltage line VDDL and the data line DTL disposed in the emission area EMA may be disposed under the outer bank layer 450 to be described later.
  • the reference voltage line RVL may be disposed one pixel PX, that is, one for every three sub-pixels PXn.
  • the reference voltage line RVL may be disposed on the left side of the third sub-pixel PXn data line DTL, which is one side of the first direction DR1, and may extend in the second direction DR2.
  • a plurality of pixels PX adjacent in the second direction DR2 may share one reference voltage line RVL.
  • the reference voltage line RVL may be electrically connected to the above-described reference voltage distribution line RVT, and the reference voltage applied through the reference voltage line RVL is each sub-pixel PXn through the reference voltage distribution line RVT. ) May be transferred to the third transistor TR3.
  • the second capacitive electrode CSE2 of the storage capacitor Cst is disposed between the first voltage line VDDL and the data line DTL.
  • the second capacitive electrode CSE2 of the storage capacitor Cst may be disposed to overlap the first capacitive electrode CSE1, and a storage capacitor Cst may be formed therebetween.
  • the second capacitive electrode CSE2 of the storage capacitor Cst may be connected to the second source/drain electrode SDE2 of the first transistor TR1.
  • the second source/drain electrode SDE2 of the first transistor TR1 may contact a portion of the first light blocking layer BML1 and the first active material layer ACT1 through the fourth contact hole CT4.
  • the second source/drain electrode SDE2 of the first transistor TR1 is in contact with one side of the third active material layer ACT3 of the third transistor TR3, Source/drain electrodes can also be configured.
  • the first source/drain electrode SDE5 of the third transistor TR3 may contact one side of the third active material layer ACT3 and the reference voltage distribution line RVT.
  • the first source/drain electrode SDE5 of the third transistor TR3 may receive a reference voltage from the reference voltage distribution line RVT.
  • the first conductive pattern DP1 and the second conductive pattern DP2 of the first data conductive layer may be connected to a part of the first gate conductive layer.
  • the first conductive pattern DP1 may be connected to the scan line SCL and the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2, and the scan signal applied from the scan line SCL is transmitted to the second transistor TR2. It can be transferred to the second gate electrode GE2 of.
  • the second conductive pattern DP2 may be connected to the sensing line SSL and the third gate electrode GE3 of the third transistor TR3, and a sensing signal applied from the sensing line SSL is transmitted to the third transistor TR3. It can be transferred to the third gate electrode GE3 of.
  • the bank structures 410 and 420 include upper layers 412 and 422 disposed on the intermediate layers 417 and 427, and the upper layers 412 and 422 are the sources of the first transistor TR1. / May be disposed on the same layer as the drain electrodes SDE1 and SDE2. That is, the first data conductive layer may further include upper layers 412 and 422 of the bank structures 410 and 420 disposed in the emission area EMA.
  • the first bank structure 410 and the second bank structure 420 each include a first upper layer 412 and a second upper layer 422, each of which is a first intermediate layer 417 positioned in the light emitting area EMA And directly on the second intermediate layer 427.
  • the first upper layer 412 and the second upper layer 422 may have the same shape as the first base layer 411 and the second base layer 421, respectively.
  • the first upper layer 412 and the second upper layer 422 extend in the second direction DR2 within the emission area EMA of each sub-pixel PXn and are spaced apart in the first direction DR1. It can be arranged to face each other.
  • Each of the base layers 411 and 421, the intermediate layers 417 and 427, and the upper layers 412 and 422 may form one bank structure 410 and 420, and an electrode 210, which will be described later, on the bank structures 410 and 420 , 220) can be arranged.
  • the first upper layer 412 and the second upper layer 422 are disposed in the light emitting area EMA to form the bank structures 410 and 420, and these are non-emission
  • the circuit elements or wirings disposed in the area NEA may not be electrically connected. That is, the first upper layer 412 and the second upper layer 422 are disposed on the first data conductive layer, are electrically insulated from them, and are provided with a light emitting area (EMA) to provide an area in which the light emitting device 300 is disposed. It may be disposed on the top.
  • EMA light emitting area
  • the first bank structure 410 and the second bank structure 420 are disposed adjacent to the center of the light emitting area EMA of each sub-pixel PXn, and They may be disposed to face each other in one direction DR1.
  • the first bank structure 410 and the second bank structure 420 extend in the second direction DR2 in the emission area EMA of each sub-pixel PXn, and are adjacent in the second direction DR2. It may be terminated so as not to extend to the other sub-pixel PXn.
  • the first bank structure 410 and the second bank structure 420 may be disposed for each sub-pixel PXn to form a pattern on the front surface of the display device 10.
  • the bank structures 410 and 420 are disposed so as to be spaced apart from each other in the light emitting area EMA, thereby forming an area in which the light emitting element 300 is disposed therebetween.
  • EMA light emitting area
  • a plurality of bank structures 410 and 420 may be disposed according to the number of electrodes 210 and 220 to be described later, or a larger number of other bank structures 410 and 420 may be further disposed.
  • the display device 10 is configured to be disposed in the emission area EMA of each pixel PX or sub-pixel PXn.
  • the bank structures 410 and 420 are non-emission areas NEA. It may be disposed on the same layer as the gate electrodes GE1, GE2, and GE3 or the source/drain electrodes of the transistors TR1, TR2, and TR3, for example.
  • circuit elements for driving the light-emitting element 300 and the bank structures 410 and 420 providing a region in which the light-emitting element 300 is disposed are formed in the same process. Therefore, the number of manufacturing processes of the display device 10 can be shortened.
  • the light-emitting element 300 emitting light and a circuit element for driving the same for example, the first transistor TR1 may be disposed so as to be non-overlapping with each other in the thickness direction, and the display device 10 includes Light may be emitted in the direction of the top or bottom of the first substrate 110 on which the 300) is disposed.
  • the first substrate 110 is formed on the light emitting area EMA of the first substrate 110.
  • It may have a structure in which at least a portion protrudes from the top surface.
  • the protruding portions of the first bank structure 410 and the second bank structure 420 may have inclined sides, and light emitted from the light emitting device 300 disposed therebetween is the bank structures 410 and 420 Can proceed towards the inclined side of.
  • the electrodes 210 and 220 disposed on the bank structures 410 and 420 include a material having a high reflectance, light emitted from the light emitting device 300 is It may be reflected from the side and emitted toward the top of the first substrate 110. That is, the bank structures 410 and 420 may provide a region in which the light emitting device 300 is disposed, and at the same time perform a function of a reflective partition wall reflecting light emitted from the light emitting device 300 upward.
  • a plurality of electrodes 210 and 220 and a first insulating layer 510 may be disposed on the first data conductive layer in the emission area EMA.
  • the display device 10 may include a plurality of electrodes 210 and 220 disposed on the bank structures 410 and 420 and a plurality of light emitting devices 300 disposed therebetween.
  • the plurality of electrodes 210 and 220 may include a first electrode 210 disposed on the first bank structure 410 and a second electrode 220 disposed on the second bank structure 420.
  • the first electrode 210 may be disposed to extend in the second direction DR2 within the emission area EMA of each sub-pixel PXn.
  • the first electrode 210 does not extend to the other sub-pixel PXn adjacent in the second direction DR2, but is spaced apart from the outer bank layer 450 surrounding the emission area EMA of each sub-pixel PXn. Can be deployed.
  • at least a portion of the first electrode 210 may be disposed in the non-emission area NEA.
  • the first electrode 210 may be electrically connected to the first transistor TR1 through a portion disposed in the non-emission area NEA. For example, as illustrated in FIG.
  • a portion disposed in the non-emission area NEA of the first electrode 210 may directly contact the second source/drain electrode SDE2 of the first transistor TR1.
  • the first electrodes 210 disposed in each sub-pixel PXn may receive different electric signals from each of the first transistors TR1.
  • the first electrode 210 is arranged to partially cover the second source/drain electrode SDE2 of the first transistor TR1, but is not limited thereto.
  • at least one layer is further disposed between the first electrode 210 and the first source/drain electrode SDE2 so that the first electrode 210 passes through the first source/drain electrode through a contact hole penetrating the layer. It may contact the drain electrode SDE2.
  • the first electrode 210 may be electrically connected to the first source/drain electrode SDE2 through a bridge disposed on another layer.
  • the second electrode 220 includes a second electrode stem portion 220S extending in the first direction DR1 and disposed, and a second electrode branch branched from the second electrode stem portion 220S in the second direction DR2. It may include a part 220B.
  • the second electrode stem 220S may extend in the first direction DR1 and may be disposed to cross the other sub-pixel PXn. That is, the plurality of sub-pixels PXn or the pixels PX adjacent in the first direction DR1 may share one second electrode stem 220S.
  • the second electrode stem 220S may be electrically connected to the second voltage line VSSL.
  • the second electrode stem 220S may have one electrode contact in the non-display area NDA positioned at the outer portion of the display area DPA in which the plurality of pixels PX or sub-pixels PXn are disposed. It may be electrically connected to the second voltage line VSSL through the hole CNTS.
  • the pixels PX or sub-pixels PXn sharing one second electrode stem 220S may receive the same electric signal.
  • the present invention is not limited thereto, and in some embodiments, the second electrode stem 220S is omitted, and the second electrodes 220 disposed in each sub-pixel PXn are respectively It may be electrically connected to the line (VSSL).
  • the second electrode branch 220B may be spaced apart from the first electrode 210 and face each other in the first direction DR1.
  • the second electrode branch portion 220B extends in the second direction DR2 and may be spaced apart from the second electrode branch portion 220B so as not to be disposed in the non-emission area NEA.
  • the plurality of electrodes 210 and 220 may be electrically connected to the light emitting devices 300 and may receive a predetermined voltage so that the light emitting device 300 emits light.
  • the plurality of electrodes 210 and 220 are electrically connected to the light emitting element 300 through the contact electrodes 261 and 262 to be described later, and the electrical signals applied to the electrodes 210 and 220 are transmitted to the contact electrodes. It may be transmitted to the light emitting device 300 through 261 and 262.
  • at least a portion of each of the electrodes 210 and 220 may be used to form an electric field in the sub-pixel PXn to align the light emitting device 300.
  • the first electrode 210 may be a pixel electrode separated for each sub-pixel PXn, and the second electrode 220 may be a common electrode commonly connected along each sub-pixel PXn.
  • One of the first electrode 210 and the second electrode 220 may be an anode electrode of the light emitting device 300, and the other may be a cathode electrode of the light emitting device 300.
  • the first electrode 210 is disposed on the first bank structure 410, and a part of the second electrode 220 or the second electrode branch 220B is a second electrode. It may be disposed on the bank structure 420.
  • the first electrode 210 and the second electrode 220 may be disposed to cover the first bank structure 410 and the second bank structure 420, respectively.
  • the width measured in one direction of the first electrode 210 and the second electrode 220 is greater than the width measured in the one direction of the first bank structure 410 and the second bank structure 420.
  • It may be formed and disposed to cover outer surfaces of the first bank structure 410 and the second bank structure 420. Accordingly, some of the lower surfaces of the first electrode 210 and the second electrode 220 may be in contact with the first gate insulating layer 130, and other portions may be in contact with the bank structures 410 and 420.
  • each of the electrodes 210 and 220 may include a transparent conductive material.
  • each of the electrodes 210 and 220 may include a material such as Indium Tin Oxide (ITO), Indium Zinc Oxide (IZO), and Indium Tin-Zinc Oxide (ITZO), but is not limited thereto.
  • each of the electrodes 210 and 220 may include a conductive material having high reflectivity.
  • each of the electrodes 210 and 220 may include a metal such as silver (Ag), copper (Cu), or aluminum (Al) as a material having a high reflectance. In this case, light incident on each of the electrodes 210 and 220 may be reflected to be emitted in the upper direction of each sub-pixel PXn.
  • the electrodes 210 and 220 may have a structure in which one or more layers of a transparent conductive material and a metal layer having a high reflectivity are stacked, or may be formed as one layer including them.
  • each of the electrodes 210 and 220 has a stacked structure of ITO/silver (Ag)/ITO/IZO, or an alloy containing aluminum (Al), nickel (Ni), lanthanum (La), etc. Can be However, it is not limited thereto.
  • first electrode 210 and one second electrode 220 are disposed in each sub-pixel PXn, but the present invention is not limited thereto. Like the bank structures 410 and 420, a larger number of the first electrodes 210 and the second electrodes 220 may be disposed.
  • the first electrode 210 and the second electrode 220 do not necessarily have only a shape extending in one direction, and may be disposed in various structures.
  • the first electrode 210 and the second electrode 220 may have a partially curved or bent shape, and one electrode may be disposed to surround the other electrode.
  • At least some regions of the first electrode 210 and the second electrode 220 are spaced apart from each other and face each other, so that if a region in which the light emitting element 300 is to be disposed is formed, the structure or shape in which they are disposed is not particularly limited. .
  • the first insulating layer 510 may be disposed entirely in the light emitting area EMA, and may be disposed so that some areas of each of the electrodes 210 and 220 are exposed.
  • the first insulating layer 510 is disposed on the outside of the other side of the area around the bank structures 410 and 420 in addition to the area between the electrodes 210 and 220 or the bank structures 410 and 420 spaced apart from each other. Can be.
  • an opening (not shown) may be formed so that a portion of the top surfaces of the first electrode 210 and the second electrode 220 are exposed.
  • the opening of the first insulating layer 510 may be formed to expose a portion of portions of the bank structures 410 and 420 of the first electrode 210 and the second electrode 220.
  • the first insulating layer 510 may protect the first electrode 210 and the second electrode 220 and insulate them from each other. In addition, it is possible to prevent the light emitting device 300 disposed on the first insulating layer 510 from being damaged by direct contact with other members.
  • the shape and structure of the first insulating layer 510 is not limited thereto.
  • the first planarization layer 180 is disposed on the first data conductive layer in the non-emission area NEA, and the outer bank layer 450 is disposed on the first insulating layer 510 in the emission area EMA.
  • the first planarization layer 180 and the outer bank layer 450 are disposed on the same layer and may be simultaneously formed in one process. Accordingly, in an exemplary embodiment, the first planarization layer 180 and the outer bank layer 450 may have substantially the same height from the first substrate 110 to the upper surface. However, it is not limited thereto.
  • the first planarization layer 180 may be disposed to cover the entire area including the first data conductive layer in the non-emission area NEA.
  • the first planarization layer 180 may protect the first data conductive layer and at the same time perform a function of flattening a step formed by circuit elements disposed in the non-emission area NEA.
  • the outer bank layer 450 is disposed on a partial area of the emission area EMA and may be formed in the same process as the first planarization layer 180 of the non-emission area NEA. However, as shown in FIG. 5, the first planarization layer 180 is disposed to cover the non-emission area NEA, while the outer bank layer 450 is disposed so that a partial area of the light-emitting area EMA is exposed. Can be.
  • the outer bank layer 450 may be disposed at the boundary between the sub-pixels PXn.
  • the outer bank layer 450 is disposed to extend in the first direction DR1 and the second direction DR2, and the light emitting device 300 is disposed between the bank structures 410 and 420 and the electrodes 210 and 220 It may be disposed to surround the bank structures 410 and 420 and the electrodes 210 and 220 including the area to be formed. That is, the outer bank layer 450 may form a lattice pattern on the entire surface of the display area DPA.
  • the height of the outer bank layer 450 may be greater than the height of the bank structures 410 and 420.
  • the outer bank layer 450 divides the neighboring sub-pixels PXn and at the same time, as described later, in the inkjet process for disposing the light emitting element 300 during the manufacturing process of the display device 10, the sub-pixels adjacent to the ink It can perform the function of preventing overflow with (PXn).
  • the light emitting device 300 may be disposed between the first electrode 210 and the second electrode 220. One end of the light emitting device 300 may be electrically connected to the first electrode 210 and the other end may be electrically connected to the second electrode 220. Both ends of the light-emitting device 300 may be in contact with contact electrodes 261 and 262 to be described later, and may be electrically connected to the first electrode 210 and the second electrode 220, respectively.
  • the plurality of light emitting devices 300 are disposed to be spaced apart from each other and may be substantially aligned in parallel with each other.
  • the interval at which the light emitting devices 300 are separated is not particularly limited.
  • a plurality of light-emitting devices 300 may be arranged adjacent to each other to form a group, and other plurality of light-emitting devices 300 may be grouped in a state spaced apart at a predetermined interval, and have non-uniform density but oriented in one direction. Can also be aligned.
  • the light-emitting element 300 has a shape extending in one direction, and the direction in which each electrode, for example, the first electrode 210 and the second electrode branch 220B, is extended and the light-emitting element 300 The direction in which) is extended may be substantially vertical.
  • the present invention is not limited thereto, and the light emitting device 300 may be disposed at an angle without being perpendicular to the direction in which the respective electrodes extend.
  • the light emitting device 300 may include an active layer 330 including different materials to emit light of different wavelength bands to the outside.
  • the display device 10 may include light-emitting elements 300 that emit light of different wavelength bands.
  • the light emitting device 300 of the first sub-pixel PX1 includes an active layer 330 that emits first light L1 having a first wavelength in a center wavelength band
  • the light-emitting device of the second sub-pixel PX2 ( 300) includes an active layer 330 that emits second light L2 having a second wavelength in the center wavelength band
  • the light emitting device 300 of the third sub-pixel PX3 has a center wavelength band as a third wavelength.
  • An active layer 330 that emits phosphorus third light L3 may be included.
  • the first light L1 is emitted from the first sub-pixel PX1
  • the second light L2 is emitted from the second sub-pixel PX2
  • the third light is emitted from the third sub-pixel PX3.
  • L3 can be emitted.
  • the first light L1 is blue light having a center wavelength band ranging from 450 nm to 495 nm
  • the second light L2 is green light having a center wavelength band ranging from 495 nm to 570 nm
  • the third light (L3) may be red light having a central wavelength band ranging from 620 nm to 752 nm.
  • each of the first sub-pixel PX1, the second sub-pixel PX2, and the third sub-pixel PX3 may include the same type of light emitting device 300 to emit light of substantially the same color. have.
  • the light emitting device 300 may be disposed on the first insulating layer 510 between the electrodes 210 and 220.
  • the light emitting device 300 may be disposed on the first insulating layer 510 disposed between the bank structures 410 and 420.
  • the present invention is not limited thereto, and although not shown in the drawing, at least some of the light emitting devices 300 disposed in each sub-pixel PXn are regions other than the region formed between the bank structures 410 and 420, for example, a bank. It may be disposed between the structures 410 and 420 and the outer bank layer 450.
  • the light emitting device 300 may be disposed so that some regions overlap each of the electrodes 210 and 220 in the thickness direction. In this case, one end of the light emitting device 300 may be disposed on the first electrode 210 and the other end may be disposed on the second electrode 220.
  • a plurality of layers may be disposed in a direction parallel to the top surface of the first substrate 110 or the first insulating layer 510.
  • the light emitting element 300 of the display device 10 may have a shape extending in one direction, and may have a structure in which a plurality of semiconductor layers are sequentially disposed in one direction.
  • the light emitting device 300 is disposed so that one extended direction is parallel to the first insulating layer 510, and a plurality of semiconductor layers included in the light emitting device 300 are parallel to the top surface of the first insulating layer 510 It can be arranged sequentially along the line. However, it is not limited thereto.
  • a plurality of layers may be disposed in a direction perpendicular to the first insulating layer 510. A more detailed description of the structure of the light emitting device 300 will be described later with reference to other drawings.
  • the second insulating layer 520 includes the first planarization layer 180 of the non-emission area NEA, the outer bank layer 450 of the emission area EMA, a portion of the bank structures 410 and 420, and a light emitting device ( 300).
  • the second insulating layer 520 is disposed to cover the first planarization layer 180 entirely in the non-emission area NEA, but in the light-emitting area EMA, both ends of the light-emitting element 300 and the first electrode ( 210 and a portion of the upper surface of the second electrode 220 may be disposed to be exposed.
  • the second insulating layer 520 may be partially disposed on the light emitting device 300 disposed between the first electrode 210 and the second electrode 220.
  • a portion of the second insulating layer 520 disposed on the light emitting element 300 has a shape extending in the second direction DR2 between the first electrode 210 and the second electrode 220 of the light emitting area EMA Can have.
  • a portion of the second insulating layer 520 may form a stripe-shaped or island-shaped pattern in the emission region EMA of each sub-pixel PXn.
  • the second insulating layer 520 is disposed to partially cover the outer surface of the light-emitting element 300 to protect the light-emitting element 300 and to fix the light-emitting element 300 during the manufacturing process of the display device 10 You can also do Here, the second insulating layer 520 is disposed so that one end and the other end of the light emitting device 300 are exposed, and the exposed end and the other end of the light emitting device 300 are contact electrodes 261 and 262 to be described later. Can be in contact with.
  • the second insulating layer 520 is disposed to cover the outer bank layer 450, the first electrode 210 and the second electrode 220, It may be arranged so that a part of the upper surface is exposed.
  • the second insulating layer 520 is the same as the first insulating layer 510 and the second insulating layer 520 has an opening (not shown) so that the top surfaces of the first electrode 210 and the second electrode 220 are partially exposed. Can be formed.
  • the opening of the second insulating layer 520 may be disposed to overlap the opening of the first insulating layer 510.
  • a portion of the upper surface of the first electrode 210 and the second electrode 220 is exposed because the first insulating layer 510 and the second insulating layer 520 are not disposed, and the exposed portion is a contact electrode to be described later. (261, 262) can be deployed.
  • a plurality of contact electrodes 261 and 262 and a third insulating layer 530 may be disposed on the second insulating layer 520 of the emission area EMA.
  • the plurality of contact electrodes 261 and 262 may have a shape extending in one direction.
  • the plurality of contact electrodes 261 and 262 may contact the light-emitting element 300 and the electrodes 210 and 220, respectively, and the light-emitting elements 300 may form the first electrode 210 through the contact electrodes 261 and 262.
  • the second electrode 220 may receive electric signals.
  • the contact electrodes 261 and 262 may include a first contact electrode 261 and a second contact electrode 262.
  • the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 may be disposed on the first electrode 210 and the second electrode 220, respectively.
  • the first contact electrode 261 is disposed on the first electrode 210 and extends in the second direction DR2
  • the second contact electrode 262 is the second electrode 220 or the second electrode branch ( 220B) may have a shape extending in the second direction DR2.
  • the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 may be spaced apart from each other in the first direction DR1, and they form a stripe pattern in the light emitting area EMA of each sub-pixel PXn. can do.
  • the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 have a width measured in one direction, respectively, the first electrode 210 and the second electrode 220, or the second electrode branch ( 220B) may be greater than or equal to the measured width in one direction.
  • the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 contact one end and the other end of the light emitting device 300, respectively, and at the same time, the top surfaces of the first electrode 210 and the second electrode 220 are formed. It can be arranged to cover.
  • the present invention is not limited thereto, and in some cases, the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 may be disposed to cover only a portion of the first electrode 210 and the second electrode 220.
  • a semiconductor layer is exposed on an extended end surface of the light emitting device 300 in one direction, and the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 are exposed end surfaces of the semiconductor layer.
  • the light emitting device 300 may be in contact with. However, it is not limited thereto. In some cases, side surfaces of both ends of the light emitting device 300 may be partially exposed.
  • an insulating film surrounding the outer surface of the semiconductor layer of the light emitting element 300 ('380 in FIG. ') may be partially removed, and the exposed side surface of the light emitting device 300 may contact the first and second contact electrodes 261 and 262.
  • first contact electrode 261 and one second contact electrode 262 are disposed in one sub-pixel PXn, but the present invention is not limited thereto.
  • the number of first and second contact electrodes 261 and 262 may vary according to the number of first and second electrodes 210 and 220 disposed in each sub-pixel PXn.
  • the first contact electrode 261 is disposed on the first electrode 210 and the second insulating layer 520.
  • the first contact electrode 261 may contact one end of the light emitting device 300 and the exposed upper surface of the first electrode 210.
  • One end of the light emitting device 300 may be electrically connected to the first electrode 210 through the first contact electrode 261.
  • the third insulating layer 530 is disposed on the first contact electrode 261.
  • the third insulating layer 530 may electrically insulate the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 from each other.
  • the third insulating layer 530 is disposed to cover the first contact electrode 261, but is not disposed on the other end of the light emitting device 300 so that the light emitting device 300 can contact the second contact electrode 262. May not.
  • the third insulating layer 530 may partially contact the first contact electrode 261 and the second insulating layer 520 on the upper surface of the second insulating layer 520.
  • a side surface of the third insulating layer 530 in a direction in which the second electrode 220 is disposed may be aligned with a side surface of the second insulating layer 520. However, it is not limited thereto.
  • the second contact electrode 262 is disposed on the second electrode 220, the second insulating layer 520, and the third insulating layer 530.
  • the second contact electrode 262 may contact the other end of the light emitting device 300 and the exposed upper surface of the second electrode 220.
  • the other end of the light emitting device 300 may be electrically connected to the second electrode 220 through the second contact electrode 262.
  • the first contact electrode 261 may be disposed between the first electrode 210 and the third insulating layer 530, and the second contact electrode 262 may be disposed on the third insulating layer 530. .
  • the second contact electrode 262 may partially contact the second insulating layer 520, the third insulating layer 530, the second electrode 220, and the light emitting element 300.
  • One end of the second contact electrode 262 in the direction in which the first electrode 210 is disposed may be disposed on the third insulating layer 530.
  • the first contact electrode 261 and the second contact electrode 262 may be non-contact with each other by the second insulating layer 520 and the third insulating layer 530.
  • the present invention is not limited thereto, and in some cases, the third insulating layer 530 may be omitted.
  • the contact electrodes 261 and 262 may include a conductive material.
  • it may include ITO, IZO, ITZO, aluminum (Al), and the like. However, it is not limited thereto.
  • the fourth insulating layer 550 may be entirely disposed on the first substrate 110 over the emission area EMA and the non-emission area NEA.
  • the fourth insulating layer 550 may function to protect the external environment of members disposed on the first substrate 110.
  • first insulating layer 510, second insulating layer 520, third insulating layer 530, and fourth insulating layer 550 may include an inorganic insulating material or an organic insulating material.
  • first insulating layer 510, the second insulating layer 520, the third insulating layer 530, and the fourth insulating layer 550 are silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), Inorganic insulating materials such as silicon oxynitride (SiOxNy), aluminum oxide (Al2O3), and aluminum nitride (AlN) may be included.
  • the first insulating layer 510, the second insulating layer 520, the third insulating layer 530, and the fourth insulating layer 550 are organic insulating materials, such as acrylic resin, epoxy resin, phenol resin, polyamide. Resin, polyimide resin, unsaturated polyester resin, polyphenylene resin, polyphenylene sulfide resin, benzocyclobutene, cardo resin, siloxane resin, silsesquioxane resin, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polymethyl methacrylate It may include a acrylate-polycarbonate synthetic resin and the like. However, it is not limited thereto.
  • the light emitting device 300 may be a light emitting diode (Light Emitting diode), specifically, the light emitting device 300 has a size of a micrometer (micro-meter) or a nanometer (nano-meter) unit, It may be made of an inorganic light emitting diode. Inorganic light emitting diodes may be aligned between the two electrodes that form a polarity when an electric field is formed in a specific direction between two electrodes facing each other. The light emitting device 300 may be aligned between the electrodes by an electric field formed on the two electrodes.
  • Light Emitting diode Light Emitting diode
  • the light emitting device 300 may have a shape extending in one direction.
  • the light emitting device 300 may have a shape such as a rod, a wire, or a tube.
  • the light emitting device 300 may be cylindrical or rod-shaped.
  • the shape of the light-emitting element 300 is not limited thereto, and has a shape of a polygonal column such as a regular cube, a rectangular parallelepiped, or a hexagonal column, or extends in one direction but has a partially inclined outer surface. 300) can have a variety of forms.
  • a plurality of semiconductors included in the light emitting device 300 to be described later may have a structure that is sequentially disposed or stacked along the one direction.
  • the light emitting device 300 may include a semiconductor layer doped with an arbitrary conductivity type (eg, p-type or n-type) impurity.
  • the semiconductor layer may receive an electric signal applied from an external power source and emit it as light in a specific wavelength band.
  • FIG. 7 is a schematic diagram of a light emitting device according to an exemplary embodiment.
  • the light emitting device 300 may include a first semiconductor layer 310, a second semiconductor layer 320, an active layer 330, an electrode layer 370, and an insulating layer 380.
  • the first semiconductor layer 310 may be an n-type semiconductor.
  • the first semiconductor layer 310 when the light emitting device 300 emits light in a blue wavelength band, the first semiconductor layer 310 is AlxGayIn1-x-yN (0 ⁇ x ⁇ 1,0 ⁇ y ⁇ 1, 0 ⁇ x+y ⁇ It may include a semiconductor material having the formula 1).
  • it may be any one or more of n-type doped AlGaInN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, and InN.
  • the first semiconductor layer 310 may be doped with an n-type dopant.
  • the n-type dopant may be Si, Ge, Sn, or the like.
  • the first semiconductor layer 310 may be n-GaN doped with n-type Si.
  • the length of the first semiconductor layer 310 may range from 1.5 ⁇ m to 5 ⁇ m, but is not limited thereto.
  • the second semiconductor layer 320 is disposed on the active layer 330 to be described later.
  • the second semiconductor layer 320 may be a p-type semiconductor.
  • the second semiconductor layer 320 when the light emitting device 300 emits light in a blue or green wavelength band, the second semiconductor layer 320 is AlxGayIn1-x-yN (0 ⁇ A semiconductor material having a formula of x ⁇ 1,0 ⁇ y ⁇ 1, 0 ⁇ x+y ⁇ 1) may be included.
  • it may be any one or more of AlGaInN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, and InN doped with p-type.
  • the second semiconductor layer 320 may be doped with a p-type dopant.
  • the p-type dopant may be Mg, Zn, Ca, Se, Ba, or the like.
  • the second semiconductor layer 320 may be p-GaN doped with p-type Mg.
  • the length of the second semiconductor layer 320 may range from 0.05 ⁇ m to 0.10 ⁇ m, but is not limited thereto.
  • the first semiconductor layer 310 and the second semiconductor layer 320 are configured as one layer, but the present invention is not limited thereto. According to some embodiments, depending on the material of the active layer 330, the first semiconductor layer 310 and the second semiconductor layer 320 may have a larger number of layers, such as a clad layer or a tensile strain barrier reducing (TSBR). It may further include a layer. This will be described later with reference to other drawings.
  • TSBR tensile strain barrier reducing
  • the active layer 330 is disposed between the first semiconductor layer 310 and the second semiconductor layer 320.
  • the active layer 330 may include a material having a single or multiple quantum well structure.
  • the active layer 330 includes a material having a multiple quantum well structure, a plurality of quantum layers and well layers may be alternately stacked with each other.
  • the active layer 330 may emit light by combining an electron-hole pair according to an electric signal applied through the first semiconductor layer 310 and the second semiconductor layer 320.
  • the active layer 330 when the active layer 330 emits light in a blue wavelength band, it may include a material such as AlGaN or AlGaInN.
  • the active layer 330 when the active layer 330 has a structure in which quantum layers and well layers are alternately stacked in a multiple quantum well structure, the quantum layer may include a material such as AlGaN or AlGaInN, and the well layer may include a material such as GaN or AlInN.
  • the active layer 330 includes AlGaInN as a quantum layer and AlInN as a well layer, and as described above, the active layer 330 is blue light having a center wavelength band in the range of 450 nm to 495 nm. Can emit
  • the active layer 330 may have a structure in which a semiconductor material having a large band gap energy and a semiconductor material having a small band gap energy are alternately stacked with each other, or a wavelength band of emitted light.
  • Other Group 3 to Group 5 semiconductor materials may be included according to the present invention.
  • the light emitted by the active layer 330 is not limited to light in the blue wavelength band, and in some cases, light in the red and green wavelength bands may be emitted.
  • the length of the active layer 330 may range from 0.05 ⁇ m to 0.10 ⁇ m, but is not limited thereto.
  • light emitted from the active layer 330 may be emitted not only to the outer surface of the light emitting device 300 in the longitudinal direction, but also to both side surfaces.
  • the light emitted from the active layer 330 is not limited in directionality in one direction.
  • the electrode layer 370 may be an ohmic contact electrode. However, the present invention is not limited thereto, and may be a Schottky contact electrode.
  • the light emitting device 300 may include at least one electrode layer 370. 7 illustrates that the light emitting device 300 includes one electrode layer 370, but is not limited thereto. In some cases, the light emitting device 300 may include or be omitted in a larger number of electrode layers 370. The description of the light emitting device 300 to be described later may be equally applied even if the number of electrode layers 370 is changed or other structures are further included.
  • the electrode layer 370 may reduce resistance between the light emitting device 300 and the electrode or the contact electrode.
  • the electrode layer 370 may include a conductive metal.
  • the electrode layer 370 is aluminum (Al), titanium (Ti), indium (In), gold (Au), silver (Ag), ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), and ITZO ( Indium Tin-Zinc Oxide) may contain at least any one.
  • the electrode layer 370 may include a semiconductor material doped with n-type or p-type. The electrode layer 370 may include the same material or different materials, but is not limited thereto.
  • the insulating layer 380 is disposed to surround the outer surfaces of the plurality of semiconductor layers and electrode layers described above.
  • the insulating layer 380 may be disposed to surround at least an outer surface of the active layer 330, and may extend in one direction in which the light emitting device 300 extends.
  • the insulating layer 380 may function to protect the members.
  • the insulating layer 380 may be formed to surround side surfaces of the members, and both ends of the light emitting device 300 in the longitudinal direction may be exposed.
  • the insulating layer 380 is formed to extend in the longitudinal direction of the light emitting device 300 to cover from the first semiconductor layer 310 to the side surface of the electrode layer 370, but is not limited thereto.
  • the insulating layer 380 may cover only the outer surface of some of the semiconductor layers including the active layer 330, or may partially expose the outer surface of each electrode layer 370 by covering only a part of the outer surface of the electrode layer 370.
  • the insulating layer 380 may be formed to have a rounded top surface in cross section in a region adjacent to at least one end of the light emitting device 300.
  • the thickness of the insulating layer 380 may range from 10 nm to 1.0 ⁇ m, but is not limited thereto. Preferably, the thickness of the insulating layer 380 may be about 40 nm.
  • the insulating layer 380 is a material having insulating properties, for example, silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiOxNy), aluminum nitride (AlN), It may include aluminum oxide (Al2O3), and the like. Accordingly, an electrical short that may occur when the active layer 330 directly contacts an electrode through which an electrical signal is transmitted to the light emitting device 300 may be prevented. In addition, since the insulating layer 380 protects the outer surface of the light emitting device 300 including the active layer 330, it is possible to prevent a decrease in luminous efficiency.
  • the outer surface of the insulating layer 380 may be surface-treated.
  • the light emitting device 300 may be sprayed onto the electrode in a state dispersed in a predetermined ink to be aligned.
  • the surface of the insulating layer 380 may be hydrophobic or hydrophilic.
  • the light emitting device 300 may have a length h of 1 ⁇ m to 10 ⁇ m or 2 ⁇ m to 6 ⁇ m, and preferably 3 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • the diameter of the light emitting device 300 may be in the range of 300 nm to 700 nm, and the aspect ratio of the light emitting device 300 may be 1.2 to 100.
  • the present invention is not limited thereto, and the plurality of light emitting devices 300 included in the display device 10 may have different diameters according to a composition difference of the active layer 330.
  • the diameter of the light emitting device 300 may have a range of about 500 nm.
  • the display device 10 includes bank structures 410 and 420 providing an area in which the light emitting element 300 is disposed in the light emitting area EMA, and the light emitting element 300 in the non-emissive area NEA. Circuit elements for driving the may be disposed on the same layer.
  • the base layers 411 and 421 and the upper layers 412 and 422 of the bank structures 410 and 420 are each of the first gate electrode GE1 and the source/drain electrodes SDE1 and SDE2 of the first transistor TR1, respectively. It can be disposed on the same layer and formed at the same time in one process. Accordingly, the manufacturing process of the display device 10 according to the exemplary embodiment may be shortened.
  • FIGS. 8 to 15 are cross-sectional views illustrating a part of a manufacturing process of a display device according to an exemplary embodiment.
  • a first substrate 110 is prepared, a first light blocking layer BML1, a buffer layer 115, a first active material layer ACT1, and A first gate insulating layer 130 is formed.
  • the buffer layer 115 and the first gate insulating layer 130 are entirely disposed on the first substrate 110, and the first light blocking layer BML1 and the first active material layer ACT1 are non-emission areas NEA. It is placed only on.
  • a first gate conductive layer is formed on the first gate insulating layer 130.
  • a first gate electrode GE1 disposed in the non-emissive region NEA, and a first base layer 411 and a second base layer 421 disposed in the light emitting region EMA are formed on the first gate insulating layer 130.
  • the first gate electrode GE1, the first base layer 411, and the second base layer 421 are included in the first gate conductive layer and disposed on the same layer, and they can be formed simultaneously in one process. have.
  • an interlayer insulating layer is formed on the first gate conductive layer.
  • a first interlayer insulating layer 170 entirely covering the non-emission area NEA, and a first intermediate layer 417 disposed to cover the first base layer 411 in the light emitting area EMA And a second intermediate layer 427 disposed to cover the second base layer 421.
  • the first interlayer insulating layer 170, the first intermediate layer 417, and the second intermediate layer 427 are included in the interlayer insulating layer and are disposed on the same layer, and they can be formed simultaneously in one process. .
  • a first data conductive layer is formed on the interlayer insulating layer.
  • a first upper layer 412 disposed on the intermediate layer 417 and a second upper layer 422 disposed on the second intermediate layer 427 are formed.
  • the source/drain electrodes SDE1 and SDE2 of the first transistor TR1, the first upper layer 412 and the second upper layer 422 are included in the first data conductive layer and are disposed on the same layer, They can be formed simultaneously in one process.
  • the first transistor TR1 may be formed in the non-emission area NEA, and the first bank structure 410 and the second bank structure 420 may be formed in the emission area EMA.
  • the first electrode 210 and the second electrode 220 are formed on the bank structures 410 and 420 of the light emitting area EMA, and a first insulating material layer covering them. (510') is formed. Since an opening (not shown) is not formed in the first insulating material layer 510 ′ of FIG. 13, the first electrode 210 and the second electrode 220 may be entirely covered. In a subsequent process, the first insulating layer 510 ′ is partially etched, and an opening (not shown) exposing a portion of the top surfaces of the first electrode 210 and the second electrode 220 is formed to form the first insulating layer ( 510).
  • the outer bank layer 450 is formed. As described above, the first planarization layer 180 and the outer bank layer 450 are formed simultaneously in one process.
  • the first planarization layer 180 and the outer bank layer 450 are formed of an organic insulating material such as polyimide (PI), and their height, for example, the first substrate 110 Heights from the top surface of the first planarization layer 180 and the top surface of the outer bank layer 450 may be substantially the same. However, it is not limited thereto.
  • the light emitting device 300 is disposed between the first electrode 210 and the second electrode 220 or between the first bank structure 410 and the second bank structure 420. .
  • the light emitting device 300 is sprayed onto the light emitting area EMA of each pixel PX or sub-pixel PXn in a state dispersed in a predetermined ink through an inkjet process, and the first electrode 210 It may be aligned between the electrodes 210 and 220 through a process of forming an electric field between the and the second electrode 220.
  • an alignment signal is applied to the first electrode 210 and the second electrode 220 after spraying the light-emitting element 300 dispersed in the ink onto the light-emitting area EMA, an electric field is formed between them and the light-emitting element 300 ) May receive a dielectrophoretic force due to the electric field.
  • the light-emitting element 300 receiving the dielectrophoretic force may be aligned between the first electrode 210 and the second electrode 220 while changing the orientation direction and position in the ink.
  • one of the first electrode 210 and the second electrode 220 may be grounded, and the other electrode may be applied with AC power.
  • the first electrode 210 is grounded and AC power is applied to the second electrode 220
  • the second electrode 220 is directly connected to the second electrode 220 rather than the second voltage line (VSSL).
  • VSSL second voltage line
  • AC power can be applied.
  • the process of applying AC power to the second electrode 220 may be performed through the wiring connected to the second electrode 220 during the manufacturing process of the display device 10, and then the process of disconnecting the wiring is performed. can do.
  • 16 is a plan view illustrating a step in a manufacturing process of a display device according to an exemplary embodiment.
  • the second electrode stem portion 220S is extended and disposed in the non-display area NDA during the manufacturing process of the display device 10.
  • the second electrode 220 may be disposed in the non-display area NDA by extending the second electrode stem 220S in the first direction DR1.
  • the second electrode 220 is not displayed.
  • the second electrode 220 may receive AC power through a pad (not shown) disposed in the region NDA.
  • AC power is directly applied to the second electrode 220 through the pad, AC power is directly supplied without passing through wires electrically connected to the second electrode 220, for example, a second voltage line (VSSL). Can be authorized. Accordingly, AC power is applied to circuit elements and wirings of the display device 10 to prevent them from being damaged.
  • VSSL second voltage line
  • a process of disconnecting a partial region of the second electrode stem 220S ('CS' in FIG. 16) is performed. can do.
  • the second electrode 220 may receive only the second power voltage VSS through the second voltage line VSSL.
  • contact electrodes 261 and 262 disposed on the first electrode 210 and the second electrode 220 are formed to electrically connect the light emitting device 300 and the electrodes 210 and 220.
  • 17 to 19 are cross-sectional views illustrating another part of a manufacturing process of a display device according to an exemplary embodiment.
  • a second insulating layer 520 is formed on a portion of the light emitting device 300 and the first insulating layer 510.
  • the shape of the second insulating layer 520 is entirely disposed on the first insulating layer (510' in FIG. 15), and then the first electrode 210 and the second electrode 220, and It may be formed by performing a patterning process exposing both ends of the light emitting device 300.
  • the first insulating layer 510 ′ may also be partially removed, through which the first insulating layer 510 may be formed.
  • a portion of the upper surface of the first electrode 210 and the second electrode 220 is respectively exposed at the same time, but the present invention is not limited thereto.
  • a process of exposing a portion of the upper surface of the second electrode 220 may be performed.
  • the process of disconnecting a partial region (“CS” of FIG. 16) of the second electrode 220 may be performed in the same process as the process of forming the second insulating layer 520.
  • a partial area of the second electrode 220 (' CS') can also be patterned at the same time.
  • the number of necessary processes between the processes of exposing a portion of the first electrode 210 and the second electrode 220 may be further reduced.
  • a first contact electrode 261 disposed on the first electrode 210, a third insulating layer 530 disposed on the first contact electrode 261, and A second contact electrode 262 disposed on the second electrode 220 is formed.
  • the description of their arrangement and structure is the same as described above.
  • a fourth insulating layer 550 disposed to cover members disposed on the first substrate 110 may be formed to manufacture the display device 10 according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of a display device according to another exemplary embodiment.
  • the third insulating layer 530 may be omitted. This embodiment is different from the embodiment of FIG. 6 in that the third insulating layer 530 is omitted.
  • overlapping descriptions will be omitted and descriptions will be made focusing on differences.
  • the third insulating layer 530 is omitted, and the second contact electrode 262 may be directly disposed on the second insulating layer 520_1.
  • the second insulating layer 520_1 includes an organic insulating material
  • the first contact electrode 261_1 and the second contact electrode 262_1 may be formed simultaneously in one process.
  • a portion of the upper surfaces of the first electrode 210 and the second electrode 220 may be exposed at the same time.
  • the first contact electrode 261_1 and the second contact electrode 262_1 are simultaneously formed, but they may be spaced apart from each other on the second insulating layer 520 disposed on the light emitting element 300. Accordingly, a portion of the lower surface of the second contact electrode 262_1 may directly contact the second insulating layer 520_1.
  • the third insulating layer 530 is omitted, and the first contact electrode 261_1 and the second contact electrode 262_1 are simultaneously formed in one process, so that the display device 10_1 ) The number of manufacturing processes can be further shortened.
  • 21 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment. 22 is a cross-sectional view illustrating a part of the display device of FIG. 21.
  • the external bank layer 450 may be omitted in the display device 10_2 according to an exemplary embodiment. This embodiment differs from the embodiment of FIG. 5 in that the outer bank layer 450 is omitted.
  • overlapping descriptions will be omitted and descriptions will be made focusing on differences.
  • the outer bank layer 450 may be omitted. As described above, the outer bank layer 450 distinguishes each sub-pixel PXn and prevents ink from overflowing to the other sub-pixels PXn in the inkjet process of arranging the light emitting element 300. You can do it. However, in some cases, when the ink can be located in the light emitting area EMA of the sub-pixel PXn, the outer bank layer 450 may be omitted.
  • the ink may overflow to other sub-pixels PXn, for example, when a plurality of sub-pixels PXn include the same type of light-emitting element 300, the ink may include a plurality of sub-pixels (PXn). PXn) can also be sprayed to overflow.
  • the outer bank layer 450 may be omitted, and only the first planarization layer 180 may be disposed on the non-emission area NEA.
  • FIG. 23 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • the second electrode stem 220S is omitted, and the second electrode 220 is an electrode contact hole CNTS formed for each sub-pixel PXn. Through the second voltage line VSSL may be electrically connected.
  • This embodiment is different from the embodiment of FIG. 5 in that the second electrode stem portion 220S of the second electrode 220 is omitted.
  • overlapping descriptions will be omitted and descriptions will be made focusing on differences.
  • the second electrode stem 220S may be omitted.
  • the second electrode 220 is disposed for each sub-pixel PXn, and the second electrodes 220 disposed in the plurality of sub-pixels PXn may be separated from each other.
  • the second electrode 220 may extend in the second direction DR2 and be electrically connected to the second voltage line VSSL disposed between the sub-pixels PXn adjacent in the first direction DR1. .
  • FIG. 5 a plurality of pixels PX or sub-pixels PXn are arranged in a first direction DR1 and a second direction DR2, and wirings disposed in each of the pixels PX or PXn are illustrated.
  • each of the plurality of wires may extend in the first direction DR1.
  • FIG. 5 shows that one pixel PX or the sub-pixel PXn is disposed on one second voltage line VSSL above the non-emission area NEA, but as shown in FIG. 23
  • the second voltage line VSSL may be extended and disposed under the EMA.
  • the second electrode 220 may extend in the second direction DR2 to partially overlap the second voltage line VSSL, and the second voltage through the electrode contact hole CNTS in the overlapped region. It may be electrically connected to the line VSSL.
  • the second voltage line VSSL may overlap a portion extending in the first direction DR1 of the outer bank layer 450, and the second electrode 220 and the second voltage line VSSL are The connected electrode contact hole CNTS may be formed in a region overlapping the external bank layer 450. However, it is not limited thereto.
  • the display device 10 may further include a greater number of bank structures 410 and 420 or a greater number of electrodes 210 and 220.
  • 24 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • 25 is a cross-sectional view illustrating a part of the display device of FIG. 24.
  • a display device 10_4 includes a third bank structure 430_4 and a first electrode disposed between a first bank structure 410_4 and a second bank structure 420_4.
  • the third electrode 230_4 is disposed between the (210_4) and the second electrode 220_4 and disposed on the third bank structure 430_4, and between the first contact electrode 261_4 and the second contact electrode 262_4. It may further include a third contact electrode 263_4 disposed on the third electrode 230_4 and disposed on the third electrode 230_4.
  • This embodiment is different from the embodiments of FIGS. 5 and 6 in that the third bank structure 430_4 and the third electrode 230_4 are further included.
  • overlapping descriptions will be omitted and descriptions will be made focusing on differences.
  • the display device 10_4 of FIGS. 24 and 25 may further include a third bank structure 430_4.
  • the third bank structure 430_4 may have substantially the same structure as the first bank structure 410_4 and the second bank structure 420_4. That is, the third bank structure 430_4 includes a third base layer 431_4 disposed on the first gate conductive layer, a third intermediate layer 437_4 disposed to cover the third base layer 431_4, and a third intermediate layer 437_4. It may include a third upper layer 432_4 disposed on and disposed on the first data conductive layer. Description of these is the same as described above for the first base layer 411_4, the first intermediate layer 417_4, and the first upper layer 412_7.
  • the third bank structure 430_7 is disposed between the first bank structure 410_4 and the second bank structure 420_4 so as to face them apart, and extends in the second direction DR2 within the light emitting area EMA. Can have. Accordingly, regions in which the light emitting elements 300 are disposed between the first bank structure 410_4 and the third bank structure 430_4 and between the third bank structure 430_4 and the second bank structure 420_4 are formed. In addition, a larger number of light emitting devices 300 may be disposed per sub-pixel PXn.
  • the third electrode 230_4 is disposed on the third bank structure 430_4.
  • the third electrode 230_4 may be formed such that the width measured in one direction is greater than the width measured in the one direction of the third bank structure 430_4, and may be formed to surround the outer surface of the third bank structure 430_4.
  • the third electrode 230_4 is formed to expose a part of the upper surface on the third bank structure 430_4 like the first electrode 210_4, extends in the second direction DR1, and extends the first electrode 210_4 and the second electrode. It may be disposed between the electrodes 220_4 so as to face them apart from each other.
  • the third electrode 230_4 may not be electrically connected to circuit elements or wires disposed in each pixel PX or sub-pixel PXn. have.
  • the first electrode 210_4 is electrically connected to the second source/drain electrode SDE2 of the first transistor TR1, and the second electrode 220_4 is electrically connected to the second voltage line VSSL.
  • the three electrodes 230_4 may be floating electrodes that are not electrically connected to them.
  • the third electrode 230_4 may be an electrode through which an electrical signal applied from circuit elements or wires is not directly transmitted, but an electrical signal transmitted to the first electrode 210_4 and the second electrode 220_4 flows.
  • a third contact electrode 263_4 may be further disposed on the third electrode 230_4.
  • the third contact electrode 263_4 is formed between the light emitting device 300 disposed between the first bank structure 410_4 and the third bank structure 430_4, and between the third bank structure 430_4 and the second bank structure 420_4.
  • Each of the light-emitting elements 300 disposed in may be in contact with each other.
  • the light emitting device 300 disposed between the first bank structure 410_4 and the third bank structure 430_4 has one end in contact with the first contact electrode 261_4 and the other end in contact with the third contact electrode 263_4 And, one end of the light emitting device 300 disposed between the third bank structure 430_4 and the second bank structure 420_4 is in contact with the third contact electrode 263_4, and the other end is in contact with the second contact electrode 262_4. Can be in contact with.
  • the third contact electrode 263_4 may also contact the exposed upper surface of the third electrode 230_4. Accordingly, the light emitting devices 300 may be electrically connected to the third electrode 230_4 through the third contact electrode 263_4.
  • one third bank structure 430_4, one third electrode 230_4, and one third contact electrode 263_4 are disposed, but is not limited thereto and the number of them may be larger. .
  • the electric signal When an electric signal is transmitted through the first electrode 210_4, the electric signal may be transmitted to one end of the light emitting device 300 disposed between the first bank structure 410_4 and the third bank structure 430_4. .
  • the electric signal may be transmitted to the third contact electrode 263_4 and the third electrode 230_4, and may be transmitted to the light emitting device 300 disposed between the third bank structure 430_4 and the second bank structure 420_4. have.
  • Each of the electric signals may be transmitted only through the first electrode 210_4, and they may be connected in series.
  • the display device 10_4 further includes a third bank structure 430_4, a third electrode 230_4, and a third contact electrode 263_4, and some of the plurality of light emitting devices 300 are serially arranged. By connecting, the luminous efficiency can be further improved.
  • the display device 10 includes a greater number of first electrodes 210 and a first bank structure 410, and a greater number of light emitting devices 300 are disposed per sub-pixel PXn. Each can be connected in parallel.
  • 26 is a layout diagram illustrating one pixel of a display device according to another exemplary embodiment.
  • 27 is a cross-sectional view illustrating a part of the display device of FIG. 26.
  • the display device 10_5 may include a plurality of first bank structures 410_5, and a second bank structure 420_5 may be disposed therebetween.
  • the first electrode 210_5 includes a first electrode stem portion 210S_5 and a first electrode branch portion 210B_5, and the second electrode 220_5 is a second electrode between the first electrode branches 210B_5.
  • the electrode branch 220B_5 may be disposed.
  • This embodiment is different from the embodiments of FIGS. 5 and 6 in that it further includes a plurality of first bank structures 410_5 and first electrodes 210_5.
  • overlapping descriptions will be omitted and descriptions will be made focusing on differences.
  • the display device 10_5 of FIGS. 26 and 27 may include a plurality of first bank structures 410_5, and a second bank structure 420_5 may be disposed therebetween. That is, the first bank structures 410_5 and the second bank structures 420_5 are alternately disposed in the light emitting area EMA of each sub-pixel PXn, and they may face each other apart from each other. Areas in which the light-emitting elements 300 are disposed are formed between the first bank structure 410_5 and the second bank structure 420_5 and between the second bank structure 420_5 and the first bank structure 410_5. Light-emitting elements 300 may be disposed.
  • the first bank structure 410_5 spaced apart from the first bank structure 410_5 is further disposed on one side of the first direction DR1 of the second bank structure 420_5 in the embodiments of FIGS. 5 and 6. have.
  • the first electrode 210_5 includes a first electrode stem 210S_5 extending in the first direction DR1 and a plurality of first electrode branches branched from the first electrode stem 210S_5 in the second direction DR2. It may include a part 210B_5.
  • the first electrode branch portions 210B_5 are disposed on the first bank structure 410_5, respectively, and the first electrode stem portions 210S_5 may interconnect them.
  • the first electrode 210_5 is electrically connected to the first transistor TR1 through a portion protruding from one side of the first electrode stem portion 210S_5, and transmits an electric signal to each of the first electrode branch portions 210B_5. I can.
  • the second electrode 220_5 includes a second electrode stem portion 220S_5 and a second electrode branch portion 220B_5.
  • the second electrode branch portions 220B_5 are disposed on the second bank structure 420_5, and both sides may face the first electrode branch portions 210B_5, respectively. That is, in the present embodiment, the first electrode branch 210B_5 spaced apart from the first electrode branch portion 210B_5 is further disposed on one side of the first direction DR1 of the second electrode branch portion 220B_5 in the embodiment of FIGS. It may be understood that the first electrode branch portions 210B_5 are electrically connected to each other through the first electrode stem portion 210S_5.
  • first contact electrodes 261_5 may be disposed on the first electrode branches 210B_5. Unlike FIG. 5, the first contact electrodes 261_5 may be disposed in a larger number.
  • Light emitting elements 300 are respectively disposed in regions formed between the first bank structure 410_5 and the second bank structure 420_5, each of which has at least one end portion of the first electrode branch through the first contact electrode 261_5 It can be electrically connected to (210B_5). Unlike the embodiments of FIGS. 24 and 25, in this embodiment, at least one end of each of the light-emitting elements 300 disposed in different regions is electrically connected to the first electrode branch 210B_5, so that the first transistor ( It can receive electric signals from TR1) at the same time.
  • the light emitting devices 300 disposed in different regions may have other ends electrically connected to the second electrode branch 220B_5 and simultaneously receive electrical signals from the second voltage line VSSL. That is, the light emitting devices 300 of the present embodiment may be connected in parallel. Description of the other members is the same as described above, and detailed descriptions will be omitted.

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Abstract

표시 장치가 제공된다. 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 이격되어 배치된 제1 뱅크 구조물 및 제2 뱅크 구조물, 상기 제1 뱅크 구조물 상에 배치된 제1 전극 및 상기 제2 뱅크 구조물 상에 배치된 제2 전극, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 배치된 발광 소자를 포함하고, 상기 뱅크 구조물은 기저층, 상기 기저층 상에 배치된 상부층, 및 상기 기저층과 상부층 사이에 배치된 중간층을 포함하며, 상기 제1 전극은 상기 제1 뱅크 구조물을 덮도록 배치된다.

Description

표시 장치
본 발명은 표시 장치에 관한 것이다.
표시 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 유기발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등과 같은 여러 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
표시 장치의 화상을 표시하는 장치로서 유기 발광 표시 패널이나 액정 표시 패널과 같은 표시 패널을 포함한다. 그 중, 발광 표시 패널로써, 발광 소자를 포함할 수 있는데, 예를 들어 발광 다이오드(Light Emitting Diode, LED)의 경우, 유기물을 발광 물질로 이용하는 유기 발광 다이오드(OLED), 무기물을 발광 물질로 이용하는 무기 발광 다이오드 등이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 발광 소자들이 배치된 발광 영역과 회로 소자들이 배치되는 비발광 영역을 포함하는 표시 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 발광 영역과 비발광 영역에 배치되는 부재들을 동일한 공정에서 형성하여 제조 공정 수가 감소된 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 이격되어 배치된 제1 뱅크 구조물 및 제2 뱅크 구조물, 상기 제1 뱅크 구조물 상에 배치된 제1 전극 및 상기 제2 뱅크 구조물 상에 배치된 제2 전극, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 배치된 발광 소자를 포함하고, 상기 뱅크 구조물은 기저층, 상기 기저층 상에 배치된 상부층, 및 상기 기저층과 상부층 사이에 배치된 중간층을 포함하며, 상기 제1 전극은 상기 제1 뱅크 구조물을 덮도록 배치된다.
상기 기판은 발광 영역 및 비발광 영역이 정의되고, 상기 제1 뱅크 구조물, 상기 제2 뱅크 구조물 및 상기 발광 소자는 상기 발광 영역에 배치될 수 있다.
상기 기판의 상기 비발광 영역에 배치된 제1 트랜지스터로써, 제1 활성물질층, 상기 제1 활성물질층 상에 배치된 제1 게이트 전극 및 상기 제1 활성물질층의 적어도 일부 영역에 접촉하는 소스/드레인 전극을 포함하는 제1 트랜지스터를 더 포함하고, 상기 제1 게이트 전극은 상기 뱅크 구조물의 상기 기저층과 동일 층에 배치될 수 있다.
상기 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극은 상기 뱅크 구조물의 상기 상부층과 동일 층에 배치될 수 있다.
상기 제1 전극은 적어도 일부가 상기 비발광 영역에 배치되고, 상기 제1 전극의 상기 비발광 영역에 배치된 부분은 상기 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극과 접촉할 수 있다.
상기 기판의 상기 발광 영역 상에 배치되고 상기 제1 뱅크 구조물과 상기 제2 뱅크 구조물 사이에 배치된 제3 뱅크 구조물, 및 상기 제3 뱅크 구조물 상에 배치된 제3 전극을 더 포함할 수 있다.
상기 발광 소자는 상기 제1 뱅크 구조물과 상기 제3 뱅크 구조물 사이에 배치된 제1 발광 소자, 및 상기 제3 뱅크 구조물과 상기 제2 뱅크 구조물 사이에 배치된 제2 발광 소자를 포함하고, 상기 제1 발광 소자는 일 단부가 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 발광 소자는 일 단부가 상기 제2 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 비발광 영역에서 상기 소스/드레인 전극 상에 배치된 제1 평탄화층, 및 상기 발광 영역에서 상기 뱅크 구조물들을 둘러싸도록 배치된 외부 뱅크층을 더 포함할 수 있다.
상기 기판의 상면으로부터 상기 제1 평탄화층의 상면까지의 높이는 상기 기판의 상면으로부터 상기 외부 뱅크층의 상면까지의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 뱅크 구조물의 상기 중간층은 상기 기저층의 외면을 둘러싸도록 배치될 수 있다.
상기 상부층은 상기 중간층을 사이에 두고 상기 기저층의 적어도 일부 영역과 두께 방향으로 중첩할 수 있다.
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 상의 적어도 일부 영역에 배치된 제1 절연층을 더 포함하고, 상기 제1 절연층은 상기 제1 전극 중 상기 제1 뱅크 구조물 상에 배치된 부분 중 적어도 일부 영역과 비중첩하도록 배치될 수 있다.
상기 제1 절연층 상의 적어도 일부 영역에 배치된 제2 절연층을 더 포함하고, 상기 제2 절연층은 상기 제1 전극 중 상기 제1 절연층과 비중첩하는 부분이 노출되도록 배치될 수 있다.
상기 발광 소자는 상기 제1 절연층 상에 배치되고, 상기 제2 절연층 중 적어도 일부는 상기 발광 소자 상에 배치되되 상기 발광 소자의 양 단부가 노출되도록 배치될 수 있다.
상기 제1 전극 상에 배치된 제1 접촉 전극 및 상기 제2 전극 상에 배치된 제2 접촉 전극을 더 포함하고, 상기 제1 접촉 전극은 상기 제1 전극 중 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층과 비중첩하는 부분과 직접 접촉하고, 상기 발광 소자의 노출된 일 단부와 직접 접촉할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 다른 실시예에 따른 표시 장치는 발광 영역 및 비발광 영역의 정의된 기판, 상기 기판의 상기 비발광 영역 상에 배치되고, 제1 트랜지스터의 제1 활성물질층을 포함하는 제1 반도체층, 상기 기판 및 상기 제1 반도체층 상에 배치된 제1 게이트 절연층, 상기 제1 게이트 절연층 상에 배치된 제1 게이트 도전층으로써, 상기 비발광 영역에 배치된 상기 제1 트랜지스터의 제1 게이트 전극 및 상기 발광 영역에 배치된 복수의 기저층을 포함하는 제1 게이트 도전층, 상기 제1 게이트 전극 상에 배치된 제1 층간 절연층 및 상기 복수의 기저층을 덮도록 배치된 복수의 중간층을 포함하는 층간 절연층, 상기 제1 층간 절연층 상에 배치된 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극 및 상기 중간층 상에 배치된 복수의 상부층을 포함하는 제1 데이터 도전층, 적어도 일부 영역이 상기 상부층 상에 배치되고, 서로 이격 대향하는 복수의 전극들 및 상기 복수의 전극들 사이에 배치된 적어도 하나의 발광 소자를 포함한다.
상기 기저층은 서로 이격되어 배치된 제1 기저층 및 제2 기저층을 포함하고, 상기 중간층은 상기 제1 기저층을 덮도록 배치된 제1 중간층 및 상기 제2 기저층을 덮도록 배치된 제2 중간층을 포함하고, 상기 상부층은 상기 제1 중간층 상에 배치된 제1 상부층 및 상기 제2 중간층 상에 배치된 제2 상부층을 포함할 수 있다.
상기 전극은 상기 제1 상부층 상에 배치되고 상기 제1 기저층 및 상기 제1 중간층을 덮도록 배치된 제1 전극, 및 상기 제2 상부층 상에 배치되고 상기 제2 기저층 및 상기 제2 중간층을 덮도록 배치된 제2 전극을 포함하고, 상기 발광 소자는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 제1 전극 상에 배치된 제1 접촉 전극 및 상기 제2 전극 상에 배치된 제2 접촉 전극을 더 포함하고, 상기 제1 접촉 전극은 상기 제1 전극 및 상기 발광 소자의 일 단부와 직접 접촉하고, 상기 제2 접촉 전극은 상기 제2 전극 및 상기 발광 소자의 타 단부와 직접 접촉할 수 있다.
상기 제1 전극은 적어도 일부가 상기 비발광 영역에 배치되고, 상기 제1 전극의 상기 비발광 영역에 배치된 부분은 상기 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극과 접촉할 수 있다.
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 적어도 일부 영역을 덮도록 배치된 제1 절연층을 더 포함하고, 상기 발광 소자는 상기 제1 절연층 상에 배치될 수 있다.
상기 제1 절연층 상의 적어도 일부 영역에 배치된 제2 절연층을 더 포함하고, 상기 제2 절연층 중 적어도 일부는 상기 발광 소자 상에 배치되되 상기 발광 소자의 양 단부가 노출되도록 배치될 수 있다.
상기 제1 데이터 도전층 상에 배치된 평탄화층을 더 포함하고, 상기 평탄화층은 상기 비발광 영역을 덮도록 배치된 제1 평탄화층 및 상기 발광 영역의 외면을 둘러싸도록 배치된 외부 뱅크층을 포함할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치는 비발광 영역에 배치되는 게이트 도전층 및 데이터 도전층과 동일 층에 형성되는 기저층 및 상부층을 포함하는 뱅크 구조물을 포함할 수 있다. 뱅크 구조물은 발광 영역에 배치되어 발광 소자가 배치되는 영역을 형성할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 발광 영역에 배치된 뱅크 구조물을 비발광 영역의 회로 소자들 또는 배선들과 동일한 공정에서 형성함으로써, 표시 장치의 제조 공정 수를 단축시킬 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 배선들을 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 일 화소의 등가 회로도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 5는 도 4의 일 서브 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 6은 도 4의 I-I'선 및 II-II'선을 따라 자른 단면도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 발광 소자의 개략도이다.
도 8 내지 도 15는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 일부를 나타내는 단면도들이다.
도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 일 단계를 나타내는 평면도이다.
도 17 내지 도 19는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 다른 일부를 나타내는 단면도들이다.
도 20은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 21은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 22는 도 21의 표시 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 23은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 24는 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 25는 도 24의 표시 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 26은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 27은 도 26의 표시 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 표시 장치(10)는 동영상이나 정지영상을 표시한다. 표시 장치(10)는 표시 화면을 제공하는 모든 전자 장치를 지칭할 수 있다. 예를 들어, 표시 화면을 제공하는 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷, 모바일 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC(Personal Computer), 전자 시계, 스마트 워치, 워치 폰, 헤드 마운트 디스플레이, 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(Portable Multimedia Player), 내비게이션, 게임기, 디지털 카메라, 캠코더 등이 표시 장치(10)에 포함될 수 있다.
표시 장치(10)는 표시 화면을 제공하는 표시 패널을 포함한다. 표시 패널의 예로는 LED 표시 패널, 유기발광 표시 패널, 양자점 발광 표시 패널, 플라즈마 표시 패널, 전계방출 표시 패널 등을 들 수 있다. 이하에서는 표시 패널의 일 예로서, LED 표시 패널이 적용된 경우를 예시하지만, 그에 제한되는 것은 아니며, 동일한 기술적 사상이 적용 가능하다면 다른 표시 패널에도 적용될 수 있다.
표시 장치(10)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(10)는 가로가 긴 직사각형, 세로가 긴 직사각형, 정사각형, 코너부(꼭지점)가 둥근 사각형, 기타 다각형, 원형 등의 형상을 가질 수 있다. 표시 장치(10)의 표시 영역(DPA)의 형상 또한 표시 장치(10)의 전반적인 형상과 유사할 수 있다. 도 1에서는 가로가 긴 직사각형 형상의 표시 장치(10) 및 표시 영역(DPA)이 예시되어 있다.
표시 장치(10)는 표시 영역(DPA)과 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DPA)은 화면이 표시될 수 있는 영역이고, 비표시 영역(NDA)은 화면이 표시되지 않는 영역이다. 표시 영역(DPA)은 활성 영역으로, 비표시 영역(NDA)은 비활성 영역으로도 지칭될 수 있다. 표시 영역(DPA)은 대체로 표시 장치(10)의 중앙을 차지할 수 있다.
표시 영역(DPA)은 복수의 화소(PX)를 포함할 수 있다. 복수의 화소(PX)는 행렬 방향으로 배열될 수 있다. 각 화소(PX)의 형상은 평면상 직사각형 또는 정사각형일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고 각 변이 일 방향에 대해 기울어진 마름모 형상일 수도 있다. 각 화소(PX)는 스트라이프 타입 또는 펜타일 타입으로 교대 배열될 수 있다. 또한, 화소(PX)들 각각은 특정 파장대의 광을 방출하는 발광 소자(300)를 하나 이상 포함하여 특정 색을 표시할 수 있다.
표시 영역(DPA)의 주변에는 비표시 영역(NDA)이 배치될 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)을 전부 또는 부분적으로 둘러쌀 수 있다. 표시 영역(DPA)은 직사각형 형상이고, 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)의 4변에 인접하도록 배치될 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 장치(10)의 베젤을 구성할 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 배선들을 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 2를 참조하면, 표시 장치(10)는 복수의 배선들을 포함할 수 있다. 복수의 배선은 스캔 라인(SCL), 센싱 라인(SSL), 데이터 라인(DTL), 기준 전압 라인(RVL), 제1 전압 라인(VDDL) 등을 포함할 수 있다. 또한, 도면에 도시되지 않았으나, 복수의 배선은 제2 전압 라인(VSSL)을 더 포함할 수 있다.
스캔 라인(SCL)과 센싱 라인(SSL)은 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 스캔 라인(SCL)과 센싱 라인(SSL)은 스캔 구동부(SDR)에 연결될 수 있다. 스캔 구동부(SDR)는 구동 회로를 포함할 수 있다. 스캔 구동부(SDR)는 비표시 영역(NDA) 중 표시 영역(DPA)의 제1 방향(DR1)의 타 측, 예컨대 표시 영역(DPA)의 좌측에 배치될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 스캔 구동부(SDR)는 신호 연결 배선(CWL)과 연결되고, 신호 연결 배선(CWL)의 적어도 일 단부는 비표시 영역(NDA) 상에서 패드(WPD_CW)를 형성하여 외부 장치와 연결될 수 있다.
데이터 라인(DTL)과 기준 전압 라인(RVL)은 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제1 전압 라인(VDDL)은 제2 방향(DR2)으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 또한, 제1 전압 라인(VDDL)은 제1 방향(DR1)으로 연장되는 부분을 더 포함할 수 있다. 이에 따라 제1 전압 라인(VDDL)은 메쉬 구조를 가질 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 도면에 도시되지 않았으나, 제1 전압 라인(VDDL)과 동일하게 제2 전압 라인(VSSL)도 제2 방향(DR2)으로 연장되는 부분과 제1 방향(DR1)으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다.
데이터 라인(DTL), 기준 전압 라인(RVL)과 제1 전압 라인(VDDL)의 적어도 일 단부에는 배선 패드(WPD)가 배치될 수 있다. 각 배선 패드(WPD)는 비표시 영역(NDA)에 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 데이터 라인(DTL)의 배선 패드(WPD_DT, 이하, '데이터 패드'라 칭함)는 표시 영역(DPA)의 제2 방향(DR2)의 타 측인 하측에 위치하는 비표시 영역(NDA)에 배치되고, 기준 전압 라인(RVL)의 배선 패드(WPD_RV, 이하, '기준 전압 패드')와 제1 전압 라인(VDDL)의 배선 패드(WPD_VDD, 이하, '제1 전원 패드')는 표시 영역(DPA)의 제2 방향(DR2)의 일 측인 상측에 위치하는 비표시 영역(NDA)에 배치될 수 있다. 다른 예로, 데이터 패드(WPD_DT), 기준 전압 패드(WPD_RV)와 제1 전원 패드(WPD_VDD)가 모두 동일한 영역, 예컨대 표시 영역(DPA)의 상측에 위치하는 비표시 영역(NDA)에 배치될 수도 있다. 배선 패드(WPD) 상에는 상술한 바와 같이 외부 장치가 실장될 수 있다. 상기 외부 장치는 이방성 도전 필름, 초음파 접합 등을 통해 배선 패드(WPD) 상에 실장될 수 있다.
표시 장치(10)의 각 화소(PX)는 화소 구동 회로를 포함한다. 상술한 배선들은 각 화소(PX) 또는 그 주위를 지나면서 각 화소 구동 회로에 구동 신호를 인가할 수 있다. 화소 구동 회로는 트랜지스터와 커패시터를 포함할 수 있다. 각 화소 구동 회로의 트랜지스터와 커패시터의 개수는 다양하게 변형될 수 있다. 이하에서, 화소 구동 회로가 3개의 트랜지스터와 1개의 커패시터를 포함하는 3T1C 구조를 예로 하여, 화소 구동 회로에 대해 설명하지만, 이에 제한되지 않고 2T1C 구조, 7T1C 구조, 6T1C 구조 등 다른 다양한 변형 화소(PX) 구조가 적용될 수도 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 일 화소의 등가 회로도이다.
도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 각 화소(PX)는 발광 소자(EL) 이외에, 3개의 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)와 1개의 스토리지 커패시터(Cst)를 포함한다.
발광 소자(EL)는 제1 트랜지스터(TR1)를 통해 공급되는 전류에 따라 발광한다. 발광 소자(EL)에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
발광 소자(EL)의 일 단은 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스/드레인 전극에 연결되고, 타 단은 제1 전압 라인(VDDL)의 고전위 전압(제1 전원 전압, VDD)보다 낮은 저전위 전압(제2 전원 전압, VSS)이 공급되는 제2 전압 라인(VSSL)에 연결될 수 있다.
제1 트랜지스터(TR1)는 게이트 전극과 소스 전극의 전압 차에 따라 제1 전원 전압이 공급되는 제1 전압 라인(VDDL)으로부터 발광 소자(EL)로 흐르는 전류를 조정한다. 제1 트랜지스터(TR1)의 게이트 전극은 제2 트랜지스터(TR2)의 제1 소스/드레인 전극에 연결되고, 제1 소스/드레인 전극은 발광 소자(EL)의 제1 전극에 연결되며, 제2 소스/드레인 전극은 제1 전원 전압(VDD)이 인가되는 제1 전압 라인(VDDL)에 연결될 수 있다.
제2 트랜지스터(TR2)는 스캔 라인(SCL)의 스캔 신호에 의해 턴-온되어 데이터 라인(DTL)을 제1 트랜지스터(TR1)의 게이트 전극에 연결시킨다. 제2 트랜지스터(TR2)의 게이트 전극은 스캔 라인(SCL)에 연결되고, 제1 소스/드레인 전극은 제1 트랜지스터(TR1)의 게이트 전극에 연결되며, 제2 소스/드레인 전극은 데이터 라인(DTL)에 연결될 수 있다.
제3 트랜지스터(TR3)는 센싱 라인(SSL)의 센싱 신호에 의해 턴-온되어 기준 전압 라인(RVL)을 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스/드레인 전극에 연결시킨다. 제3 트랜지스터(TR3)의 게이트 전극은 센싱 라인(SSL)에 연결되고, 제1 소스/드레인 전극은 기준 전압 라인(RVL)에 연결되며, 제2 소스/드레인 전극은 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스/드레인 전극에 연결될 수 있다.
일 실시예에서, 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들 각각의 제1 소스/드레인 전극은 소스 전극이고, 제2 소스/드레인 전극은 드레인 전극일 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 그 반대의 경우일 수도 있다.
커패시터(Cst)는 제1 트랜지스터(TR1)의 게이트 전극과 제1 소스/드레인 전극 사이에 형성된다. 스토리지 커패시터(Cst)는 제1 트랜지스터(TR1)의 게이트 전압과 제1 소스/드레인 전압의 차전압을 저장한다.
제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들 각각은 박막 트랜지스터(thin film transistor)로 형성될 수 있다. 또한, 도 3에서는 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)이 N 타입 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)으로 형성된 것을 중심으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)이 P 타입 MOSFET으로 형성되거나, 일부는 N 타입 MOSFET으로, 다른 일부는 P 타입 MOSFET으로 형성될 수도 있다.
이하에서는 다른 도면을 더 참조하여 일 실시예에 따른 표시 장치(10)의 일 화소(PX)의 구조에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 4를 참조하면, 복수의 화소(PX)들 각각은 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3)를 포함할 수 있다. 제1 서브 화소(PX1)는 제1 색의 광을 발광하고, 제2 서브 화소(PX2)는 제2 색의 광을 발광하며, 제3 서브 화소(PX3)는 제3 색의 광을 발광할 수 있다. 제1 색은 청색, 제2 색은 녹색, 제3 색은 적색일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 각 서브 화소(PXn)들은 동일한 색의 광을 발광할 수도 있다. 또한, 도 4에서는 화소(PX)가 3개의 서브 화소(PXn)들을 포함하는 것을 예시하였으나, 이에 제한되지 않고, 화소(PX)는 더 많은 수의 서브 화소(PXn)들을 포함할 수 있다.
또한, 표시 장치(10)의 각 화소(PX)들은 발광 영역(EMA)과 비발광 영역(NEA)을 포함할 수 있다. 제1 서브 화소(PX1)는 제1 발광 영역(EMA1)과 제1 비발광 영역(NEA1)을, 제2 서브 화소(PX2)는 제2 발광 영역(EMA2)과 제2 비발광 영역(NEA2)을, 제3 서브 화소(PX3)는 제3 발광 영역(EMA3)과 제3 비발광 영역(NEA3)을 포함할 수 있다. 발광 영역(EMA)은 각 화소(PX) 마다 배치되는 발광 소자(300)에서 방출된 광이 출사되는 영역으로 정의될 수 있다. 후술할 바와 같이, 발광 소자(300)는 활성층(330)을 포함하고, 활성층(330)은 특정 파장대의 광을 방향성 없이 방출할 수 있다. 발광 소자(300)의 활성층(330)에서 방출된 광들은 발광 소자(300)의 양 단부 방향을 포함하여, 발광 소자(300)의 측면 방향으로도 방출될 수 있다. 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA)은 발광 소자(300)가 배치된 영역을 포함하여, 발광 소자(300)와 인접한 영역으로 발광 소자(300)에서 방출된 광들이 출사되는 영역을 포함할 수 있다. 또한, 이에 제한되지 않고, 발광 영역(EMA)은 발광 소자(300)에서 방출된 광이 다른 부재에 의해 반사되거나 굴절되어 출사되는 영역도 포함할 수 있다.
각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)는 화소 구동 회로를 포함하고, 이들은 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA)에 배치될 수 있다. 즉, 비발광 영역(NEA)은 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)의 화소 구동 회로를 구성하는 회로 소자들, 또는 복수의 배선들이 배치되는 영역일 수 있다. 또한, 비발광 영역(NEA)은 발광 영역(EMA) 이외의 영역으로, 발광 소자(300)에서 방출된 광들이 도달하지 않아 광이 출사되지 않는 영역일 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 광을 방출하는 발광 소자(300)와 이를 구동하기 위한 회로 소자들이 서로 다른 영역, 예를 들어 발광 영역(EMA) 및 비발광 영역(NEA)에 배치되고, 이들은 서로 두께방향으로 비중첩할 수 있다. 이에 따라, 표시 장치(100)는 발광 소자(300)들이 배치된 영역을 기준으로, 상기 영역의 상면, 또는 배면으로 광을 출사시킬 수 있다. 나아가, 후술할 바와 같이 발광 소자(300)들이 배치되는 영역을 제공하는 뱅크 구조물(도 4의 '410', '420')들이 비발광 영역(NEA)의 회로 소자들 또는 배선들과 동일한 공정에서 형성될 수 있고, 표시 장치(10)의 제조 공정 수가 단축될 수 있다.
이하, 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)에 포함된 구성들의 배치에 관한 구체적인 설명은 다른 도면이 더 참조된다.
도 5는 도 4의 일 서브 화소를 나타내는 레이아웃도이다. 도 6은 도 4의 I-I'선 및 II-II'선을 따라 자른 단면도이다. 도 5에서는 설명의 편의를 위해, 각 서브 화소(PXn)에 배치되는 외부 뱅크층(도 4의 '450') 및 제1 평탄화층(도 4의 '180')을 생략하여 도시하였다. 도 6의 I-I' 부분은 각 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 중 일부 영역의 단면이고, 도 6의 II-II'부분은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 중 일부 영역의 단면이다.
도 4에 더하여 도 5 및 도 6을 참조하면, 표시 장치(10)의 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)는 제1 기판(110), 및 제1 기판(110) 상에 배치되는 반도체층, 복수의 도전층, 및 복수의 절연층을 포함할 수 있다. 상기 복수의 도전층은 제1 게이트 도전층, 제1 데이터 도전층, 전극 및 접촉 전극을 포함할 수 있고, 상기 복수의 절연층은 버퍼층(115), 제1 게이트 절연층(130), 제1 보호층(150), 제1 층간 절연층(170), 제1 평탄화층(180), 제1 절연층(510), 제2 절연층(520), 제3 절연층(530) 및 제4 절연층(550)을 포함할 수 있다. 상기 복수의 도전층과 반도체층은 도 3을 참조하여 상술한 각 화소(PX)의 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들, 스토리지 커패시터(Cst), 및 복수의 신호선 또는 전압 라인 등을 구성할 수 있다. 도 6에서는 비발광 영역(NEA)에 배치된 회로 소자들 중, 제1 트랜지스터(TR1)의 단면만을 도시하고 있다. 각 서브 화소(PXn)의 다른 트랜지스터들, 예를 들어 제2 트랜지스터(TR2) 및 제3 트랜지스터(TR3)에 대한 설명은 생략하기로 한다.
먼저, 제1 기판(110)은 절연 기판일 수 있다. 제1 기판(110)은 유리, 석영, 또는 고분자 수지 등의 절연 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 기판(110)은 리지드 기판일 수 있지만, 벤딩(bending), 폴딩(folding), 롤링(rolling) 등이 가능한 플렉시블(flexible) 기판일 수도 있다. 제1 기판(110)은 발광 영역(EMA) 및 비발광 영역(NEA)이 정의되고, 제1 기판(110)의 발광 영역(EMA) 상에는 발광 소자(300)가 배치되고, 비발광 영역(NEA) 상에는 회로 소자로써, 제1 트랜지스터(TR1) 등이 배치될 수 있다.
제1 차광층(BML1)은 제1 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 제1 차광층(BML1)은 제1 기판(110)의 비발광 영역(NEA)에 배치되며, 후술하는 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 활성물질층(ACT)의 일부와 중첩하도록 배치될 수 있다. 제1 차광층(BML1)은 광을 차단하는 재료를 포함하여, 제1 활성물질층(ACT)에 광이 입사되는 것을 방지할 수 있다. 일 예로, 제1 차광층(BML1)은 광의 투과를 차단하는 불투명한 금속 물질로 형성될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않으며, 경우에 따라서 제1 차광층(BML1)은 생략될 수 있다.
버퍼층(115)은 제1 차광층(BML1)을 포함하여 제1 기판(110) 상에 배치된다. 버퍼층(115)은 제1 기판(110)의 비발광 영역(NEA)과 발광 영역(EMA) 전면에 배치될 수 있다. 버퍼층(115)은 투습에 취약한 제1 기판(110)을 통해 침투하는 수분으로부터 화소(PX)의 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들을 보호하기 위해 제1 기판(110) 상에 형성되며, 표면 평탄화 기능을 수행할 수 있다. 버퍼층(115)은 교번하여 적층된 복수의 무기층들로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 버퍼층(115)은 실리콘 산화층(SiOx), 실리콘 질화층(SiNx), 실리콘 산질화물(SiON) 중 하나 이상의 무기층이 교번하여 적층된 다중층으로 형성될 수 있다.
반도체층은 버퍼층(115) 상에 배치된다. 반도체층은 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA)에 배치되어, 각 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들의 활성물질층을 구성할 수 있다. 반도체층은 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 활성물질층(ACT1)과, 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 활성물질층(ACT2) 및 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 활성물질층(ACT3)을 포함할 수 있다.
이들은 후술하는 제1 게이트 도전층의 게이트 전극(GE1, GE2, GE3)들과 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있다. 도면 상 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 부분 중심을 기준으로, 중심의 제2 방향(DR2) 일 측인 상측에는 제2 활성물질층(ACT2)이 배치되고, 제2 방향(DR2) 타 측인 하측에서는 제1 활성물질층(ACT1)과 제3 활성물질층(ACT3)이 배치될 수 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 활성물질층(ACT1)과 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 활성물질층(ACT3)은 하나의 반도체층으로 일체화되어 형성될 수 있고, 이 중 일부분이 제1 활성물질층(ACT1)이고, 다른 일부분이 제3 활성물질층(ACT3)일 수 있다.
한편, 예시적인 실시예에서, 반도체층은 다결정 실리콘, 단결정 실리콘, 산화물 반도체 등을 포함할 수 있다. 반도체층이 다결정 실리콘을 포함하는 경우, 제1 활성물질층(ACT1)은 제1 도핑 영역(ACT1a), 제2 도핑 영역(ACT1b) 및 제1 채널 영역(ACT1c)을 포함할 수 있다. 제1 도핑 영역(ACT1a)과 제2 도핑 영역(ACT1b)은 불순물로 도핑된 영역일 수 있다. 제1 채널 영역(ACT1c)은 제1 도핑 영역(ACT1a)과 제2 도핑 영역(ACT1b) 사이에 배치될 수 있다. 다결정 실리콘은 비정질 실리콘을 결정화하여 형성될 수 있다. 상기 결정화 방법의 예로는 RTA(Rapid thermal annealing)법, SPC(Solid phase crystallization)법, ELA(Excimer laser annealing)법, MILC(Metal induced crystallization)법, SLS(Sequential lateral solidification)법 등을 들 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 예로, 제1 활성물질층(ACT1)은 단결정 실리콘, 저온 다결정 실리콘, 비정질 실리콘 등을 포함할 수도 있다.
다만, 제1 활성물질층(ACT1)이 반드시 상술한 바에 제한되는 것은 아니다. 예시적인 실시예에서, 제1 활성물질층(ACT1)은 산화물 반도체를 포함할 수도 있다. 이 경우, 제1 도핑 영역(ACT1a)은 제1 도체화 영역일 수 있고, 제2 도핑 영역(ACT1b)은 제2 도체화 영역일 수 있다. 제1 활성물질층(ACT1)이 산화물 반도체를 포함하는 경우, 상기 산화물 반도체는 인듐(In)을 함유하는 산화물 반도체일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 상기 산화물 반도체는 인듐-주석 산화물(Indium-Tin Oxide, ITO), 인듐-아연 산화물(Indium-Zinc Oxide, IZO), 인듐-갈륨 산화물(Indium-Gallium Oxide, IGO), 인듐-아연-주석 산화물(Indium-Zinc-Tin Oxide, IZTO), 인듐-갈륨-주석 산화물(Indium-Gallium-Tin Oxide, IGTO), 인듐-갈륨-아연-주석 산화물(Indium-Gallium-Zinc-Tin Oxide, IGZTO) 등일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않는다.
제1 게이트 절연층(130)은 반도체층 및 버퍼층(115)상에 배치된다. 제1 게이트 절연층(130)은 반도체층, 즉 제1 내지 제3 활성물질층(ACT1, ACT2, ACT3)을 포함하여, 버퍼층(115) 상에 배치될 수 있다. 즉, 제1 게이트 절연층(130)은 비발광 영역(NEA)과 발광 영역(EMA) 상에 전면적으로 배치될 수 있다. 제1 게이트 절연층(130)은 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)의 게이트 절연막으로 기능할 수 있다. 제1 게이트 절연층(130)은 무기물, 예컨대 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 이들이 적층된 구조로 형성될 수 있다.
제1 게이트 도전층은 제1 게이트 절연층(130) 상에 배치된다. 제1 게이트 도전층은 비발광 영역(NEA)에 배치되는 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들의 게이트 전극(GE1, GE2, GE3)들, 스캔 라인(SCL), 센싱 라인(SSL), 제2 전압 라인(VSSL), 기준 전압 분배 라인(RVT) 및 스토리지 커패시터(Cst)의 제1 용량 전극(CSE1)과, 발광 영역(EMA)에 배치되는 뱅크 구조물(410, 420)의 기저층(411, 421)을 포함할 수 있다.
먼저, 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR)들의 게이트 전극(GE1, GE2, GE3)들은 각각 제1 내지 제3 활성물질층(ACT1, ACT2, ACT3)들과 중첩하도록 배치될 수 있다. 제1 게이트 전극(GE1)은 제1 활성물질층(ACT1)의 적어도 일부 영역과 중첩하고, 제2 게이트 전극(GE2)은 제2 활성물질층(ACT2)의 적어도 일부 영역, 제3 게이트 전극(GE3)은 제3 활성물질층(ACT3)의 적어도 일부 영역과 중첩할 수 있다. 제1 게이트 전극(GE1)은 후술하는 스토리지 커패시터(Cst)의 제1 용량 전극(CSE1)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 게이트 전극(GE2)은 후술하는 스캔 라인(SCL)과 전기적으로 연결되고, 제3 게이트 전극(GE3)은 후술하는 센싱 라인(SSL)과 전기적으로 연결될 수 있다.
스캔 라인(SCL)은 제1 방향(DR1)으로 연장되어 이웃하는 서브 화소(PXn)들의 경계를 넘어 배치될 수 있다. 즉, 제1 방향(DR1)으로 이웃하는 복수의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들은 하나의 스캔 라인(SCL)을 공유할 수 있다. 스캔 라인(SCL)은 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 중심을 기준으로, 제2 방향(DR2) 일 측인 상측에 배치될 수 있다. 스캔 라인(SCL)은 후술하는 제1 데이터 도전층의 일부를 통해 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)과 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 트랜지스터(TR2)에 스캔 신호를 전달할 수 있다.
센싱 라인(SSL)도 제1 방향(DR1)으로 연장되어 이웃하는 서브 화소(PXn)들의 경계를 넘어 배치될 수 있다. 즉, 제1 방향(DR1)으로 이웃하는 복수의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들은 하나의 센싱 라인(SSL)을 공유할 수 있다. 센싱 라인(SSL)은 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 중심을 기준으로, 제2 방향(DR2) 타 측인 하측에 배치될 수 있다. 센싱 라인(SSL)은 후술하는 제1 데이터 도전층의 일부를 통해 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 게이트 전극(GE3)과 전기적으로 연결될 수 있고, 제3 트랜지스터(TR3)에 센싱 신호를 전달할 수 있다.
기준 전압 분배 라인(RVT)은 센싱 라인(SSL)의 제2 방향(DR2) 타 측에 배치되고, 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 기준 전압 분배 라인(RVT)은 제1 서브 화소(PX1)로부터 제3 서브 화소(PX3)까지 연장되어 배치되고, 각 화소(PX), 즉 3개의 서브 화소(PXn)는 하나의 기준 전압 분배 라인(RVT)을 공유할 수 있다. 기준 전압 분배 라인(RVT)은 후술하는 기준 전압 라인(RVL) 및 각 서브 화소(PXn)의 제3 트랜지스터(TR3)의 제1 소스/드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다. 이를 통해 기준 전압 분배 라인(RVT)은 기준 전압 라인(RVL)으로부터 인가되는 기준 전압을 제3 트랜지스터(TR3)에 전달할 수 있다.
제2 전압 라인(VSSL)은 스캔 라인(SCL)의 제2 방향(DR2) 일 측에 배치되고, 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 또한, 제2 전압 라인(VSSL)은 표시 장치(10)의 비표시 영역(NDA)에 배치되고, 제2 방향(DR2)으로 연장되는 부분을 더 포함할 수 있다. 제2 전압 라인(VSSL) 중 제2 방향(DR2)으로 연장되는 부분은 상술한 배선 패드(WPD)들에 접속할 수 있고, 이를 통해 제2 전원 전압(VSS)이 인가될 수 있다. 제2 전압 라인(VSSL)은 후술하는 제2 전극(도 4의 '220')과 전기적으로 연결되어 발광 소자(300)에 제2 전원 전압(VSS)을 인가할 수 있다. 한편, 도 4에서는 제2 전압 라인(VSSL)과 제2 전극(220)이 비표시 영역(NDA)에서 연결된 것이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서 각 서브 화소(PXn)의 제2 전극(220)들은 제2 전압 라인(VSSL)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 부분에서 각각 전기적으로 연결될 수도 있다.
스토리지 커패시터(Cst)의 제1 용량 전극(CSE1)은 스캔 라인(SCL)과 센싱 라인(SSL) 사이에 배치된다. 스토리지 커패시터(Cst)의 제1 용량 전극(CSE1)은 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 게이트 전극(GE1) 및 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 소스/드레인 전극(SDE4)과 전기적으로 연결될 수 있다.
제2 트랜지스터(TR2)의 제2 소스/드레인 전극(SDE4)은 제2 활성물질층(ACT2)의 일 측과 중첩하는 영역에서 제1 컨택홀(CT1)을 통해 제2 활성물질층(ACT2)의 일 측과 접촉할 수 있다. 제2 소스/드레인 전극(SDE4)은 스토리지 커패시터(Cst)의 제1 용량 전극(CSE1)과 연결될 수 있다.
한편, 표시 장치(10)는 발광 영역(EMA)에 배치된 뱅크 구조물(410, 420)을 포함하고, 발광 소자(300)는 이들 사이에 배치될 수 있다. 뱅크 구조물(410, 420)은 제1 뱅크 구조물(410) 및 제2 뱅크 구조물(420)을 포함하고, 이들은 각 서브 화소(PXn) 마다 배치되어 발광 영역(EMA)에서 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 형성할 수 있다.
뱅크 구조물(410, 420)은 복수의 층들이 적층된 다중층 구조를 가질 수 있다. 일 실시예에 따르면, 뱅크 구조물(410, 420)은 기저층(411, 421), 중간층(417, 427) 및 상부층(412, 422)을 포함하고, 이 중 기저층(411, 421)은 제1 게이트 도전층, 즉 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 게이트 전극(GE1)과 동일 층에 배치될 수 있다. 즉, 제1 게이트 도전층은 발광 영역(EMA)에 배치된 뱅크 구조물(410, 420)의 기저층(411, 421)을 더 포함할 수 있다.
제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)은 각각 제1 기저층(411) 및 제2 기저층(421)을 포함하고, 이들은 각각 발광 영역(EMA)에 위치하는 제1 게이트 절연층(130) 상에 직접 배치된다. 제1 기저층(411)과 제2 기저층(421)은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 내에서 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 제1 방향(DR1)으로 이격 대향하도록 배치될 수 있다. 제1 기저층(411)과 제2 기저층(421)의 제2 방향(DR2)으로 측정된 길이는 실질적으로 동일할 수 있다. 제1 기저층(411)과 제2 기저층(421) 상에는 다른 층들이 더 배치될 수 있고, 이들은 하나의 뱅크 구조물(410, 420)을 형성할 수 있다.
다만, 제1 기저층(411)과 제2 기저층(421)은 뱅크 구조물(410, 420)을 형성하기 위해 발광 영역(EMA)에 배치되는 것으로, 이들은 비발광 영역(NEA)에 배치된 회로 소자들 또는 배선들과 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. 즉, 제1 기저층(411)과 제2 기저층(421)은 제1 게이트 도전층에 배치되되, 이들과 전기적으로 절연되고, 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 제공하기 위해 발광 영역(EMA) 상에 배치된 것일 수 있다. 뱅크 구조물(410, 420)에 대한 보다 자세한 설명은 후술하기로 한다.
제1 게이트 도전층은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 보호층(150)은 제1 게이트 도전층 상에 배치된다. 제1 보호층(150)은 비발광 영역(NEA)에 배치되어, 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)의 활성물질층(ACT1, ACT2, ACT3)들, 및 복수의 신호 라인 등을 덮도록 배치될 수 있다. 제1 보호층(150)은 무기물, 예컨대 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 이들이 적층된 구조로 형성될 수 있다.
층간 절연층은 제1 보호층(150)과 뱅크 구조물(410, 420)의 기저층(411, 421) 상에 배치된다. 층간 절연층은 비발광 영역(NEA)의 제1 보호층(150) 상에 배치된 제1 층간 절연층(170)과, 발광 영역(EMA)의 기저층(411, 421) 상에 배치된 뱅크 구조물(410, 420)의 중간층(417, 427)이 배치될 수 있다. 제1 층간 절연층(170)과 뱅크 구조물(410, 420)의 중간층(417, 427)은 동일한 층에 배치되어 동일한 공정에서 형성될 수 있다.
뱅크 구조물(410, 420)의 중간층(417, 427)은 제1 기저층(411) 상에 배치된 제1 중간층(417) 및 제2 기저층(421) 상에 배치된 제2 중간층(427)을 포함할 수 있다. 제1 중간층(417)과 제2 중간층(427)은 비발광 영역(NEA)에 배치된 제1 층간 절연층(170)과 동일한 층에 배치될 수 있고, 이들은 각각 제1 기저층(411)과 제2 기저층(421)을 덮도록 배치될 수 있다. 중간층(417, 427)은 각각 기저층(411, 421)의 외면을 커버하도록 배치됨으로써, 하면 중 일부가 제1 게이트 절연층(130)과 직접 접촉할 수 있다.
제1 층간 절연층(170)은 제1 게이트 도전층과 그 위에 배치되는 다른 층들 사이에서 절연막의 기능을 수행할 수 있다.
제1 층간 절연층(170)과 중간층(417, 427)은 무기물, 예컨대 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 이들이 적층된 구조로 형성될 수 있다.
제1 데이터 도전층은 제1 층간 절연층(170) 및 중간층(417, 427) 상에 배치된다. 제1 데이터 도전층은 데이터 라인(DTL), 제1 전압 라인(VDDL), 기준 전압 라인(RVL), 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들의 제1 소스/드레인 전극(SDE1, SDE3, SDE5)들 및 제2 소스/드레인 전극(SDE2, SDE4)들, 복수의 도전 패턴(DP1, DP2)들 및 스토리지 커패시터(Cst)의 제2 용량 전극(CSE2)과, 뱅크 구조물(410, 420)의 상부층(412, 422)을 포함할 수 있다. 제1 데이터 도전층의 데이터 라인(DTL), 제1 전압 라인(VDDL), 기준 전압 라인(RVL)은 각각 비발광 영역(NEA)과 발광 영역(EMA)에 걸쳐 배치되고, 제1 내지 제3 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들의 제1 소스/드레인 전극(SDE1, SDE3, SDE5)들 및 제2 소스/드레인 전극(SDE2, SDE4)들, 복수의 도전 패턴(DP1, DP2)들 및 스토리지 커패시터(Cst)의 제2 용량 전극(CSE2)은 비발광 영역(NEA)에 배치되며, 뱅크 구조물(410, 420)의 상부층(412, 422)은 발광 영역(EMA)에 배치될 수 있다.
데이터 라인(DTL)은 제2 방향(DR2)으로 연장되어 이웃하는 서브 화소(PXn)들의 경계를 넘어 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 방향(DR2)으로 이웃하는 복수의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들은 하나의 데이터 라인(DTL)을 공유할 수 있다. 데이터 라인(DTL)은 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 중심을 기준으로, 제1 방향(DR1) 일 측인 우측에 배치될 수 있다. 데이터 라인(DTL)은 제2 컨택홀(CT2)을 통해 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 활성물질층(ACT2) 일 측과 접촉할 수 있다. 즉, 데이터 라인(DTL) 중 일부는 제2 트랜지스터(TR2)의 제1 소스/드레인 전극(SDE3)일 수 있으며, 이를 통해 데이터 라인(DTL)으로 인가되는 데이터 신호는 제2 트랜지스터(TR2)에 전달될 수 있다.
제1 전압 라인(VDDL)도 제2 방향(DR2)으로 연장되어 이웃하는 서브 화소(PXn)들의 경계를 넘어 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 방향(DR2)으로 이웃하는 복수의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들은 하나의 제1 전압 라인(VDDL)을 공유할 수 있다. 제1 전압 라인(VDDL)은 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 중심을 기준으로, 제1 방향(DR1) 타 측인 좌측에 배치될 수 있다. 제1 전압 라인(VDDL)은 제3 컨택홀(CT3)을 통해 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 활성물질층(ACT1) 일 측과 접촉할 수 있다. 즉, 제1 전압 라인(VDDL) 중 일부는 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스/드레인 전극(SDE1)일 수 있으며, 이를 통해 제1 전압 라인(VDDL)으로 인가되는 제1 전원 전압(VDD)은 제1 트랜지스터(TR1)에 전달될 수 있다.
제1 전압 라인(VDDL)과 데이터 라인(DTL)은 각 서브 화소(PXn) 마다 배치될 수 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 제1 전압 라인(VDDL)과 데이터 라인(DTL)은 각 서브 화소(PXn)의 중심을 기준으로 좌측과 우측에 각각 배치되고, 제2 방향(DR2)으로 연장되어 비발광 영역(NEA) 및 발광 영역(EMA)에 걸쳐 배치될 수 있다. 발광 영역(EMA)에 배치된 제1 전압 라인(VDDL)과 데이터 라인(DTL)은 후술하는 외부 뱅크층(450)의 하부에 배치될 수 있다.
기준 전압 라인(RVL)은 하나의 화소(PX), 즉 3개의 서브 화소(PXn)마다 하나씩 배치될 수 있다. 예를 들어, 기준 전압 라인(RVL)은 제3 서브 화소(PXn) 데이터 라인(DTL)의 제1 방향(DR1) 일 측인 좌측에 배치되고, 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제2 방향(DR2)으로 이웃하는 복수의 화소(PX)들은 하나의 기준 전압 라인(RVL)을 공유할 수 있다. 기준 전압 라인(RVL)은 상술한 기준 전압 분배 라인(RVT)과 전기적으로 연결될 수 있고, 기준 전압 라인(RVL)을 통해 인가되는 기준 전압은 기준 전압 분배 라인(RVT)을 통해 각 서브 화소(PXn)의 제3 트랜지스터(TR3)로 전달될 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)의 제2 용량 전극(CSE2)은 제1 전압 라인(VDDL)과 데이터 라인(DTL) 사이에 배치된다. 스토리지 커패시터(Cst)의 제2 용량 전극(CSE2)은 제1 용량 전극(CSE1)과 중첩하도록 배치될 수 있으며, 이들 사이에서 스토리지 커패시터(Cst)가 형성될 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)의 제2 용량 전극(CSE2)은 제1 트랜지스터(TR1)의 제2 소스/드레인 전극(SDE2)과 연결될 수 있다. 제1 트랜지스터(TR1)의 제2 소스/드레인 전극(SDE2)은 제4 컨택홀(CT4)을 통해 제1 차광층(BML1) 및 제1 활성물질층(ACT1)의 일부와 접촉할 수 있다. 또한, 제1 트랜지스터(TR1)의 제2 소스/드레인 전극(SDE2)은 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 활성물질층(ACT3)의 일 측과도 접촉하여 제3 트랜지스터(TR3)의 제2 소스/드레인 전극을 구성할 수도 있다.
제3 트랜지스터(TR3)의 제1 소스/드레인 전극(SDE5)은 제3 활성물질층(ACT3)의 일 측, 및 기준 전압 분배 라인(RVT)과 접촉할 수 있다. 제3 트랜지스터(TR3)의 제1 소스/드레인 전극(SDE5)은 기준 전압 분배 라인(RVT)으로부터 기준 전압을 전달 받을 수 있다.
제1 데이터 도전층의 제1 도전 패턴(DP1) 및 제2 도전 패턴(DP2)은 제1 게이트 도전층의 일부와 연결될 수 있다. 제1 도전 패턴(DP1)은 스캔 라인(SCL) 및 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)과 연결될 수 있고, 스캔 라인(SCL)으로부터 인가되는 스캔 신호를 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)에 전달할 수 있다. 제2 도전 패턴(DP2)은 센싱 라인(SSL) 및 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 게이트 전극(GE3)과 연결될 수 있고, 센싱 라인(SSL)으로부터 인가되는 센싱 신호를 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 게이트 전극(GE3)에 전달할 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 뱅크 구조물(410, 420)은 중간층(417, 427) 상에 배치되는 상부층(412, 422)을 포함하고, 상부층(412, 422)은 제1 트랜지스터(TR1)의 소스/드레인 전극(SDE1, SDE2)과 동일 층에 배치될 수 있다. 즉, 제1 데이터 도전층은 발광 영역(EMA)에 배치된 뱅크 구조물(410, 420)의 상부층(412, 422)을 더 포함할 수 있다.
제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)은 각각 제1 상부층(412) 및 제2 상부층(422)을 포함하고, 이들은 각각 발광 영역(EMA)에 위치하는 제1 중간층(417) 및 제2 중간층(427) 상에 직접 배치된다. 제1 상부층(412) 및 제2 상부층(422)은 각각 제1 기저층(411) 및 제2 기저층(421)과 동일한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 상부층(412)과 제2 상부층(422)은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 내에서 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 제1 방향(DR1)으로 이격 대향하도록 배치될 수 있다. 기저층(411, 421), 중간층(417, 427) 및 상부층(412, 422)은 각각 하나의 뱅크 구조물(410, 420)을 형성할 수 있고, 뱅크 구조물(410, 420) 상에는 후술하는 전극(210, 220)들이 배치될 수 있다.
다만, 기저층(411, 421)과 동일하게, 제1 상부층(412)과 제2 상부층(422)은 뱅크 구조물(410, 420)을 형성하기 위해 발광 영역(EMA)에 배치되는 것으로, 이들은 비발광 영역(NEA)에 배치된 회로 소자들 또는 배선들과 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. 즉, 제1 상부층(412)과 제2 상부층(422)은 제1 데이터 도전층에 배치되되, 이들과 전기적으로 절연되고, 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 제공하기 위해 발광 영역(EMA) 상에 배치된 것일 수 있다.
뱅크 구조물(410, 420)에 대하여 구체적으로 설명하면, 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 중심부에 인접하여 배치되고, 제1 방향(DR1)으로 서로 이격 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA)에서 제2 방향(DR2)으로 연장되되, 제2 방향(DR2)으로 이웃하는 다른 서브 화소(PXn)로 연장되지 않도록 종지할 수 있다. 일 예로, 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)은 각 서브 화소(PXn) 마다 배치되어 표시 장치(10) 전면에 있어서 패턴을 이룰 수 있다. 뱅크 구조물(410, 420)은 발광 영역(EMA)에서 서로 이격 대향하도록 배치됨으로써, 이들 사이에 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 형성할 수 있다. 도면에서는 하나의 제1 뱅크 구조물(410)과 하나의 제2 뱅크 구조물(420)이 배치된 것이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서 후술하는 전극(210, 220)의 수에 따라 뱅크 구조물(410, 420)은 각각 복수개 배치될 수 있고, 또는 더 많은 수의 다른 뱅크 구조물(410, 420)이 더 배치될 수도 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA)에 배치되는 구성, 예를 들어 뱅크 구조물(410, 420)은 비발광 영역(NEA)에 배치되는 구성, 예를 들어 트랜지스터(TR1, TR2, TR3)들의 게이트 전극(GE1, GE2, GE3) 또는 소스/드레인 전극들과 동일한 층에 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 발광 소자(300)를 구동하기 위한 회로 소자들과, 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 제공하는 뱅크 구조물(410, 420)이 동일한 공정에서 형성될 수 있으므로, 표시 장치(10)의 제조 공정 수가 단축될 수 있다. 또한, 광을 방출하는 발광 소자(300)와 이를 구동하기 위한 회로 소자, 예를 들어 제1 트랜지스터(TR1)는 서로 두께 방향으로 비중첩하도록 배치될 수 있고, 표시 장치(10)는 발광 소자(300)가 배치되는 제1 기판(110)의 상면, 또는 배면 방향으로 광을 출사시킬 수 있다.
또한, 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)은 복수의 층들이 적층된 다중층 구조로 형성됨에 따라, 제1 기판(110)의 발광 영역(EMA) 상에서 제1 기판(110) 상면을 기준으로 적어도 일부가 돌출된 구조를 가질 수 있다. 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)의 돌출된 부분은 경사진 측면을 가질 수 있고, 이들 사이에 배치되는 발광 소자(300)에서 방출된 광은 뱅크 구조물(410, 420)의 경사진 측면을 향해 진행될 수 있다. 후술할 바와 같이, 뱅크 구조물(410, 420) 상에 배치되는 전극(210, 220)들이 반사율이 높은 재료를 포함하는 경우, 발광 소자(300)에서 방출된 광은 뱅크 구조물(410, 420)의 측면에서 반사되어, 제1 기판(110)의 상부 방향으로 출사될 수 있다. 즉, 뱅크 구조물(410, 420)은 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 제공함과 동시에 발광 소자(300)에서 방출된 광을 상부 방향으로 반사시키는 반사격벽의 기능을 수행할 수도 있다.
발광 영역(EMA)의 제1 데이터 도전층 상에는 복수의 전극(210, 220) 및 제1 절연층(510)이 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 뱅크 구조물(410, 420) 상에 배치되는 복수의 전극(210, 220)들과, 이들 사이에 배치된 복수의 발광 소자(300)들을 포함할 수 있다. 복수의 전극(210, 220)은 제1 뱅크 구조물(410) 상에 배치된 제1 전극(210) 및 제2 뱅크 구조물(420) 상에 배치된 제2 전극(220)을 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제1 전극(210)은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 내에서 제2 방향(DR2)으로 연장되어 배치될 수 있다. 제1 전극(210)은 제2 방향(DR2)으로 이웃하는 다른 서브 화소(PXn)로 연장되지 않고, 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA)을 둘러싸는 외부 뱅크층(450)과 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제1 전극(210)의 적어도 일부 영역은 비발광 영역(NEA)에 배치될 수 있다. 제1 전극(210)은 비발광 영역(NEA)에 배치된 부분을 통해 제1 트랜지스터(TR1)와 전기적으로 연결될 수 있다. 일 예로, 도 6에 도시된 바와 같이 제1 전극(210)의 비발광 영역(NEA)에 배치된 부분은 제1 트랜지스터(TR1)의 제2 소스/드레인 전극(SDE2)과 직접 접촉할 수 있다. 각 서브 화소(PXn)에 배치되는 제1 전극(210)들은 각각의 제1 트랜지스터(TR1)들로부터 서로 다른 전기 신호를 인가 받을 수 있다. 다만, 도면에서는 제1 전극(210)이 부분적으로 제1 트랜지스터(TR1)의 제2 소스/드레인 전극(SDE2)을 덮도록 배치된 것이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 몇몇 실시예에서 제1 전극(210)과 제1 소스/드레인 전극(SDE2) 사이에는 적어도 하나의 층이 더 배치되어 제1 전극(210)은 상기 층을 관통하는 컨택홀을 통해 제1 소스/드레인 전극(SDE2)과 접촉할 수 있다. 또한, 경우에 따라서 제1 전극(210)은 다른 층에 배치된 브릿지를 통해 제1 소스/드레인 전극(SDE2)과 전기적으로 연결될 수도 있다.
제2 전극(220)은 제1 방향(DR1)으로 연장되어 배치된 제2 전극 줄기부(220S)와, 제2 전극 줄기부(220S)에서 제2 방향(DR2)으로 분지된 제2 전극 가지부(220B)를 포함할 수 있다.
제2 전극 줄기부(220S)는 제1 방향(DR1)으로 연장되어 다른 서브 화소(PXn)를 가로지르도록 배치될 수 있다. 즉, 제1 방향(DR1)으로 이웃하는 복수의 서브 화소(PXn) 또는 화소(PX)는 하나의 제2 전극 줄기부(220S)를 공유할 수 있다. 제2 전극 줄기부(220S)는 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제2 전극 줄기부(220S)는 복수의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들이 배치된 표시 영역(DPA)의 외곽부에 위치하는 비표시 영역(NDA)에서 하나의 전극 컨택홀(CNTS)을 통해 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 전극(210)과 달리, 제2 전극(220)은 하나의 제2 전극 줄기부(220S)를 공유하는 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들이 동일한 전기 신호를 인가 받을 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않으며, 몇몇 실시예에서 제2 전극(220)은 제2 전극 줄기부(220S)가 생략되고, 각 서브 화소(PXn)마다 배치된 제2 전극(220)들은 각각 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결될 수도 있다.
제2 전극 가지부(220B)는 제1 전극(210)과 제1 방향(DR1)으로 이격되어 대향할 수 있다. 제2 전극 가지부(220B)는 제2 방향(DR2)으로 연장되되, 비발광 영역(NEA)에는 배치되지 않도록 이와 이격될 수 있다.
복수의 전극(210, 220)들은 발광 소자(300)들과 전기적으로 연결되고, 발광 소자(300)가 광을 방출하도록 소정의 전압을 인가 받을 수 있다. 예를 들어, 복수의 전극(210, 220)들은 후술하는 접촉 전극(261, 262)을 통해 발광 소자(300)와 전기적으로 연결되고, 전극(210, 220)들로 인가된 전기 신호를 접촉 전극(261, 262)을 통해 발광 소자(300)에 전달할 수 있다. 또한, 각 전극(210, 220)의 적어도 일부는 발광 소자(300)를 정렬하기 위해 서브 화소(PXn) 내에 전기장을 형성하는 데에 활용될 수도 있다.
예시적인 실시예에서, 제1 전극(210)은 각 서브 화소(PXn) 마다 분리된 화소 전극이고, 제2 전극(220)은 각 서브 화소(PXn)를 따라 공통으로 연결된 공통 전극일 수 있다. 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 중 어느 하나는 발광 소자(300)의 애노드(Anode) 전극이고, 다른 하나는 발광 소자(300)의 캐소드(Cathode) 전극일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않으며 그 반대의 경우일 수도 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 전극(210)은 제1 뱅크 구조물(410) 상에 배치되고, 제2 전극(220) 중 일부, 또는 제2 전극 가지부(220B)는 제2 뱅크 구조물(420) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은 각각 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)을 덮도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은 일 방향으로 측정된 폭이 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)의 상기 일 방향으로 측정된 폭보다 크게 형성되어 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420)의 외면을 커버하도록 배치될 수 있다. 이에 따라 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 하면 중 일부는 제1 게이트 절연층(130)과 접촉하고, 다른 일부는 뱅크 구조물(410, 420)과 접촉할 수 있다.
각 전극(210, 220)은 투명성 전도성 물질을 포함할 수 있다. 일 예로, 각 전극(210, 220)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin-Zinc Oxide) 등과 같은 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 몇몇 실시예에서, 각 전극(210, 220)은 반사율이 높은 전도성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 각 전극(210, 220)은 반사율이 높은 물질로 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속을 포함할 수 있다. 이 경우, 각 전극(210, 220)으로 입사되는 광을 반사시켜 각 서브 화소(PXn)의 상부 방향으로 출사시킬 수도 있다.
또한, 전극(210, 220)은 투명성 전도성 물질과 반사율이 높은 금속층이 각각 한층 이상 적층된 구조를 이루거나, 이들을 포함하여 하나의 층으로 형성될 수도 있다. 예시적인 실시예에서, 각 전극(210, 220)은 ITO/은(Ag)/ITO/IZO의 적층구조를 갖거나, 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 란타늄(La) 등을 포함하는 합금일 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 도면에서는 각 서브 화소(PXn)에 하나의 제1 전극(210)과 하나의 제2 전극(220)이 배치된 것을 도시하고 있으나, 이에 제한되지 않는다. 뱅크 구조물(410, 420)과 같이, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은 더 많은 수가 배치될 수 있다. 또한, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은 반드시 일 방향으로 연장된 형상만을 갖지 않고, 다양한 구조로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은 부분적으로 곡률지거나, 절곡된 형상을 가질 수 있고, 어느 한 전극이 다른 전극을 둘러싸도록 배치될 수도 있다. 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은 적어도 일부 영역이 서로 이격되어 대향함으로써, 그 사이에 발광 소자(300)가 배치될 영역이 형성된다면 이들이 배치되는 구조나 형상은 특별히 제한되지 않는다.
제1 절연층(510)은 발광 영역(EMA)에 전면적으로 배치되되, 각 전극(210, 220)의 일부 영역이 노출되도록 배치될 수 있다. 제1 절연층(510)은 각 전극(210, 220)들, 또는 뱅크 구조물(410, 420)들이 이격된 사이 영역에 더하여, 뱅크 구조물(410, 420)을 중심으로 상기 영역의 반대편 외측에도 배치될 수 있다. 다만, 제1 절연층(510)은 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부가 노출되도록 개구부(미도시)가 형성될 수 있다. 제1 절연층(510)의 상기 개구부는 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 뱅크 구조물(410, 420) 상에 놓여진 부분 중 일부 영역이 노출되도록 형성될 수 있다.
제1 절연층(510)은 제1 전극(210)과 제2 전극(220)을 보호함과 동시에 이들을 상호 절연시킬 수 있다. 또한, 제1 절연층(510) 상에 배치되는 발광 소자(300)가 다른 부재들과 직접 접촉하여 손상되는 것을 방지할 수도 있다. 다만, 제1 절연층(510)의 형상 및 구조는 이에 제한되지 않는다.
비발광 영역(NEA)의 제1 데이터 도전층 상에는 제1 평탄화층(180)이 배치되고, 발광 영역(EMA)의 제1 절연층(510) 상는 외부 뱅크층(450)이 배치된다. 제1 평탄화층(180)과 외부 뱅크층(450)은 동일한 층에 배치되어, 하나의 공정에서 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라, 예시적인 실시예에서, 제1 평탄화층(180)과 외부 뱅크층(450)은 제1 기판(110)으로부터 상면까지 높이가 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않는다.
제1 평탄화층(180)은 비발광 영역(NEA)의 제1 데이터 도전층을 포함하여 이를 전면적으로 덮도록 배치될 수 있다. 제1 평탄화층(180)은 제1 데이터 도전층을 보호함과 동시에, 비발광 영역(NEA)에 배치된 회로 소자들에 의해 형성된 단차를 평탄화하는 기능을 수행할 수도 있다.
외부 뱅크층(450)은 발광 영역(EMA)의 일부 영역 상에 배치되고, 비발광 영역(NEA)의 제1 평탄화층(180)과 동일한 공정에서 형성될 수 있다. 다만, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 평탄화층(180)은 비발광 영역(NEA)을 전면적으로 덮도록 배치되되, 외부 뱅크층(450)은 발광 영역(EMA)의 일부 영역이 노출되도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 외부 뱅크층(450)은 각 서브 화소(PXn)들 간의 경계에 배치될 수 있다. 외부 뱅크층(450)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 배치되며, 뱅크 구조물(410, 420) 및 전극(210, 220)들 사이에 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 포함하여 뱅크 구조물(410, 420)과 전극(210, 220)들을 둘러싸도록 배치될 수 있다. 즉, 외부 뱅크층(450)은 표시 영역(DPA) 전면에 있어서 격자형 패턴을 형성할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 외부 뱅크층(450)의 높이는 뱅크 구조물(410, 420)의 높이보다 클 수 있다. 외부 뱅크층(450)은 이웃하는 서브 화소(PXn)들을 구분함과 동시에 후술할 바와 같이 표시 장치(10)의 제조 공정 중, 발광 소자(300)를 배치하기 위한 잉크젯 공정에서 잉크가 인접한 서브 화소(PXn)로 넘치는 것을 방지하는 기능을 수행할 수 있다.
발광 소자(300)는 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이에 배치될 수 있다. 발광 소자(300)는 일 단부가 제1 전극(210)과 전기적으로 연결되고, 타 단부가 제2 전극(220)과 전기적으로 연결될 수 있다. 발광 소자(300)는 양 단부가 후술하는 접촉 전극(261, 262)과 접촉하고, 이를 통해 각각 제1 전극(210)과 제2 전극(220)에 전기적으로 연결될 수 있다.
복수의 발광 소자(300)들은 서로 이격되어 배치되며 실질적으로 상호 평행하게 정렬될 수 있다. 발광 소자(300)들이 이격되는 간격은 특별히 제한되지 않는다. 경우에 따라서 복수의 발광 소자(300)들이 인접하게 배치되어 무리를 이루고, 다른 복수의 발광 소자(300)들은 일정 간격 이격된 상태로 무리를 이룰 수도 있으며, 불균일한 밀집도를 가지되 일 방향으로 배향되어 정렬될 수도 있다. 또한, 예시적인 실시예에서 발광 소자(300)는 일 방향으로 연장된 형상을 가지며, 각 전극, 예컨대 제1 전극(210)과 제2 전극 가지부(220B)가 연장된 방향과 발광 소자(300)가 연장된 방향은 실질적으로 수직을 이룰 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않으며, 발광 소자(300)는 각 전극들이 연장된 방향에 수직하지 않고 비스듬히 배치될 수도 있다.
일 실시예에 따른 발광 소자(300)는 서로 다른 물질을 포함하는 활성층(330)을 포함하여 서로 다른 파장대의 광을 외부로 방출할 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 서로 다른 파장대의 광을 방출하는 발광 소자(300)들을 포함할 수 있다. 제1 서브 화소(PX1)의 발광 소자(300)는 중심 파장대역이 제1 파장인 제1 광(L1)을 방출하는 활성층(330)을 포함하고, 제2 서브 화소(PX2)의 발광 소자(300)는 중심 파장대역이 제2 파장인 제2 광(L2)을 방출하는 활성층(330)을 포함하고, 제3 서브 화소(PX3)의 발광 소자(300)는 는 중심 파장대역이 제3 파장인 제3 광(L3)을 방출하는 활성층(330)을 포함할 수 있다.
이에 따라 제1 서브 화소(PX1)에서는 제1 광(L1)이 출사되고, 제2 서브 화소(PX2)에서는 제2 광(L2)이 출사되고, 제3 서브 화소(PX3)에서는 제3 광(L3)이 출사될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제1 광(L1)은 중심 파장대역이 450nm 내지 495nm의 범위를 갖는 청색광이고, 제2 광(L2)은 중심 파장대역이 495nm 내지 570nm의 범위를 갖는 녹색광이고, 제3 광(L3)은 중심 파장대역이 620nm 내지 752nm의 범위를 갖는 적색광 일 수 있다.
다만, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서는 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3) 각각은 동일한 종류의 발광 소자(300)를 포함하여 실질적으로 동일한 색의 광을 방출할 수도 있다.
발광 소자(300)는 각 전극(210, 220) 사이에서 제1 절연층(510) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(300)는 뱅크 구조물(410, 420) 사이에 배치된 제1 절연층(510) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않으며, 도면에 도시되지 않았으나 각 서브 화소(PXn) 내에 배치된 발광 소자(300)들 중 적어도 일부는 뱅크 구조물(410, 420) 사이에 형성된 영역 이외의 영역, 예를 들어 뱅크 구조물(410, 420)과 외부 뱅크층(450) 사이에 배치될 수도 있다. 또한 발광 소자(300)는 일부 영역이 각 전극(210, 220)과 두께 방향으로 중첩하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 발광 소자(300)의 일 단부는 제1 전극(210) 상에 배치되고, 타 단부는 제2 전극(220) 상에 배치될 수 있다.
한편, 도면에 도시되지 않았으나 발광 소자(300)는 제1 기판(110) 또는 제1 절연층(510)의 상면과 평행한 방향으로 복수의 층들이 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치(10)의 발광 소자(300)는 일 방향으로 연장된 형상을 갖고, 복수의 반도체층들이 일 방향으로 순차적으로 배치된 구조를 가질 수 있다. 발광 소자(300)는 연장된 일 방향이 제1 절연층(510)과 평행하도록 배치되고, 발광 소자(300)에 포함된 복수의 반도체층들은 제1 절연층(510)의 상면과 평행한 방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서는 발광 소자(300)가 다른 구조를 갖는 경우, 복수의 층들은 제1 절연층(510)에 수직한 방향으로 배치될 수도 있다. 발광 소자(300)의 구조에 대한 보다 자세한 설명은 다른 도면을 참조하여 후술하기로 한다.
제2 절연층(520)은 비발광 영역(NEA)의 제1 평탄화층(180), 및 발광 영역(EMA)의 외부 뱅크층(450), 뱅크 구조물(410, 420)의 일부 및 발광 소자(300) 상에 배치될 수 있다. 제2 절연층(520)은 비발광 영역(NEA)에서는 제1 평탄화층(180)을 전면적으로 덮도록 배치되되, 발광 영역(EMA)에서는 발광 소자(300)의 양 단부, 및 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부를 노출하도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 제2 절연층(520)은 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이에 배치된 발광 소자(300) 상에 부분적으로 배치될 수 있다. 제2 절연층(520)의 발광 소자(300) 상에 배치된 부분은 발광 영역(EMA)의 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이에서 제2 방향(DR2)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 일 예로, 제2 절연층(520)의 일부 영역은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA)에서 스트라이프형 또는 아일랜드형 패턴을 형성할 수 있다. 제2 절연층(520)은 발광 소자(300)의 외면을 부분적으로 감싸도록 배치되어 발광 소자(300)를 보호함과 동시에 표시 장치(10)의 제조 공정 중 발광 소자(300)를 고정시키는 기능을 수행할 수도 있다. 여기서, 제2 절연층(520)은 발광 소자(300)의 일 단부 및 타 단부가 노출되도록 배치되고, 발광 소자(300)의 노출된 일 단부 및 타 단부는 후술하는 접촉 전극(261, 262)과 접촉할 수 있다.
또한, 제2 절연층(520)은 외부 뱅크층(450)과 제1 전극(210) 및 제2 전극(220)을 덮도록 배치되되, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부가 노출되도록 배치될 수 있다. 제2 절연층(520)은 제1 절연층(510)과 동일하게 제2 절연층(520)은 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부가 노출되도록 개구부(미도시)가 형성될 수 있다. 제2 절연층(520)의 상기 개구부는 제1 절연층(510)의 개구부와 중첩하도록 배치될 수 있다. 이에 따라 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부는 제1 절연층(510)과 제2 절연층(520)이 배치되지 않아 노출되고, 상기 노출된 부분에는 후술하는 접촉 전극(261, 262)이 배치될 수 있다.
발광 영역(EMA)의 제2 절연층(520) 상에는 복수의 접촉 전극(261, 262)들과 제3 절연층(530)이 배치될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 접촉 전극(261, 262)들은 일 방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 복수의 접촉 전극(261, 262)들은 각각 발광 소자(300) 및 전극(210, 220)들과 접촉할 수 있고, 발광 소자(300)들은 접촉 전극(261, 262)을 통해 제1 전극(210)과 제2 전극(220)으로부터 전기 신호를 전달 받을 수 있다.
접촉 전극(261, 262)은 제1 접촉 전극(261) 및 제2 접촉 전극(262)을 포함할 수 있다. 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)은 각각 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 상에 배치될 수 있다. 제1 접촉 전극(261)은 제1 전극(210) 상에 배치되어 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 제2 접촉 전극(262)은 제2 전극(220), 또는 제2 전극 가지부(220B) 상에 배치되어 제2 방향(DR2)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)은 서로 제1 방향(DR1)으로 이격 대향할 수 있으며, 이들은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 내에서 스트라이프형 패턴을 형성할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)은 일 방향으로 측정된 폭이 각각 제1 전극(210)과 제2 전극(220), 또는 제2 전극 가지부(220B)의 상기 일 방향으로 측정된 폭과 같거나 더 클 수 있다. 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)은 각각 발광 소자(300)의 일 단부 및 타 단부와 접촉함과 동시에, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면을 덮도록 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 경우에 따라서 제1 접촉 전극(261) 및 제2 접촉 전극(262)은 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 일부만을 덮도록 배치될 수도 있다.
일 실시예에 따르면, 발광 소자(300)는 연장된 일 방향측 단부면에는 반도체층이 노출되고, 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)은 상기 반도체층이 노출된 단부면에서 발광 소자(300)와 접촉할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서 발광 소자(300)는 양 단부의 측면이 부분적으로 노출될 수도 있다. 표시 장치(10)의 제조 공정 중, 발광 소자(300)의 외면을 덮는 제2 절연층(520)을 형성하는 공정에서 발광 소자(300)의 반도체층 외면을 둘러싸는 절연막(도 7의 '380')이 부분적으로 제거될 수 있고, 발광 소자(300)의 노출된 측면은 제1 접촉 전극(261) 및 제2 접촉 전극(262)과 접촉할 수도 있다.
도면에서는 하나의 서브 화소(PXn)에 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)이 하나씩 배치된 것이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)의 개수는 각 서브 화소(PXn)에 배치된 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 수에 따라 달라질 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 제1 접촉 전극(261)은 제1 전극(210) 및 제2 절연층(520) 상에 배치된다. 제1 접촉 전극(261)은 발광 소자(300)의 일 단부 및 제1 전극(210)의 노출된 상면과 접촉할 수 있다. 발광 소자(300)의 일 단부는 제1 접촉 전극(261)을 통해 제1 전극(210)과 전기적으로 연결될 수 있다.
제3 절연층(530)은 제1 접촉 전극(261) 상에 배치된다. 제3 절연층(530)은 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)을 전기적으로 상호 절연시킬 수 있다. 제3 절연층(530)은 제1 접촉 전극(261)을 덮도록 배치되되, 발광 소자(300)가 제2 접촉 전극(262)과 접촉할 수 있도록 발광 소자(300)의 타 단부 상에는 배치되지 않을 수 있다. 제3 절연층(530)은 제2 절연층(520)의 상면에서 제1 접촉 전극(261) 및 제2 절연층(520)과 부분적으로 접촉할 수 있다. 제3 절연층(530)의 제2 전극(220)이 배치된 방향의 측면은 제2 절연층(520)의 일 측면과 정렬될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다.
제2 접촉 전극(262)은 제2 전극(220), 제2 절연층(520) 및 제3 절연층(530) 상에 배치된다. 제2 접촉 전극(262)은 발광 소자(300)의 타 단부 및 제2 전극(220)의 노출된 상면과 접촉할 수 있다. 발광 소자(300)의 타 단부는 제2 접촉 전극(262)을 통해 제2 전극(220)과 전기적으로 연결될 수 있다.
즉, 제1 접촉 전극(261)은 제1 전극(210)과 제3 절연층(530) 사이에 배치되고, 제2 접촉 전극(262)은 제3 절연층(530) 상에 배치될 수 있다. 제2 접촉 전극(262)은 부분적으로 제2 절연층(520), 제3 절연층(530), 제2 전극(220) 및 발광 소자(300)와 접촉할 수 있다. 제2 접촉 전극(262)의 제1 전극(210)이 배치된 방향의 일 단부는 제3 절연층(530) 상에 배치될 수 있다. 제1 접촉 전극(261)과 제2 접촉 전극(262)은 제2 절연층(520)과 제3 절연층(530)에 의해 상호 비접촉될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않으며, 경우에 따라 제3 절연층(530)은 생략될 수 있다.
접촉 전극(261, 262)은 전도성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, ITO, IZO, ITZO, 알루미늄(Al) 등을 포함할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다.
제4 절연층(550)은 제1 기판(110) 상에서 발광 영역(EMA)과 비발광 영역(NEA)에 걸쳐 전면적으로 배치될 수 있다. 제4 절연층(550)은 제1 기판(110) 상에 배치된 부재들 외부 환경에 대하여 보호하는 기능을 할 수 있다.
상술한 제1 절연층(510), 제2 절연층(520), 제3 절연층(530) 및 제4 절연층(550) 각각은 무기물 절연성 물질 또는 유기물 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 절연층(510), 제2 절연층(520), 제3 절연층(530) 및 제4 절연층(550)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiOxNy), 산화 알루미늄(Al2O3), 질화 알루미늄(AlN)등과 같은 무기물 절연성 물질을 포함할 수 있다. 또한, 제1 절연층(510), 제2 절연층(520), 제3 절연층(530) 및 제4 절연층(550)은 유기물 절연성 물질로써, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리아마이드 수지, 폴리이미드 수지, 불포화 폴리에스테르 수지, 폴리페닐렌 수지, 폴리페닐렌설파이드 수지, 벤조사이클로부텐, 카도 수지, 실록산 수지, 실세스퀴옥산 수지, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트-폴리카보네이트 합성수지 등을 포함할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 발광 소자(300)는 발광 다이오드(Light Emitting diode)일 수 있으며, 구체적으로 발광 소자(300)는 마이크로 미터(micro-meter) 또는 나노미터(nano-meter) 단위의 크기를 가지고, 무기물로 이루어진 무기 발광 다이오드일 수 있다. 무기 발광 다이오드는 서로 대향하는 두 전극들 사이에 특정 방향으로 전계를 형성하면 극성이 형성되는 상기 두 전극 사이에 정렬될 수 있다. 발광 소자(300)는 두 전극 상에 형성된 전계에 의해 전극 사이에 정렬될 수 있다.
일 실시예에 따른 발광 소자(300)는 일 방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 발광 소자(300)는 로드, 와이어, 튜브 등의 형상을 가질 수 있다. 예시적인 실시예에서, 발광 소자(300)는 원통형 또는 로드형(rod)일 수 있다. 다만, 발광 소자(300)의 형태가 이에 제한되는 것은 아니며, 정육면체, 직육면체, 육각기둥형 등 다각기둥의 형상을 갖거나, 일 방향으로 연장되되 외면이 부분적으로 경사진 형상을 갖는 등 발광 소자(300)는 다양한 형태를 가질 수 있다. 후술하는 발광 소자(300)에 포함되는 복수의 반도체들은 상기 일 방향을 따라 순차적으로 배치되거나 적층된 구조를 가질 수 있다.
발광 소자(300)는 임의의 도전형(예컨대, p형 또는 n형) 불순물로 도핑된 반도체층을 포함할 수 있다. 반도체층은 외부의 전원으로부터 인가되는 전기 신호를 전달 받고, 이를 특정 파장대의 광으로 방출할 수 있다.
도 7은 일 실시예에 따른 발광 소자의 개략도이다.
도 7을 참조하면 참조하면, 발광 소자(300)는 제1 반도체층(310), 제2 반도체층(320), 활성층(330), 전극층(370) 및 절연막(380)을 포함할 수 있다.
제1 반도체층(310)은 n형 반도체일 수 있다. 일 예로, 발광 소자(300)가 청색 파장대의 광을 방출하는 경우, 제1 반도체층(310)은 AlxGayIn1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 화학식을 갖는 반도체 재료를 포함할 수 있다. 예를 들어, n형으로 도핑된 AlGaInN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN 및 InN 중에서 어느 하나 이상일 수 있다. 제1 반도체층(310)은 n형 도펀트가 도핑될 수 있으며, 일 예로 n형 도펀트는 Si, Ge, Sn 등일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 반도체층(310)은 n형 Si로 도핑된 n-GaN일 수 있다. 제1 반도체층(310)의 길이는 1.5㎛ 내지 5㎛의 범위를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
제2 반도체층(320)은 후술하는 활성층(330) 상에 배치된다. 제2 반도체층(320)은 p형 반도체일 수 있으며 일 예로, 발광 소자(300)가 청색 또는 녹색 파장대의 광을 방출하는 경우, 제2 반도체층(320)은 AlxGayIn1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 화학식을 갖는 반도체 재료를 포함할 수 있다. 예를 들어, p형으로 도핑된 AlGaInN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN 및 InN 중에서 어느 하나 이상일 수 있다. 제2 반도체층(320)은 p형 도펀트가 도핑될 수 있으며, 일 예로 p형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Se, Ba 등일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 반도체층(320)은 p형 Mg로 도핑된 p-GaN일 수 있다. 제2 반도체층(320)의 길이는 0.05㎛ 내지 0.10㎛의 범위를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 도면에서는 제1 반도체층(310)과 제2 반도체층(320)이 하나의 층으로 구성된 것을 도시하고 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 몇몇 실시예에 따르면 활성층(330)의 물질에 따라 제1 반도체층(310)과 제2 반도체층(320)은 더 많은 수의 층, 예컨대 클래드층(clad layer) 또는 TSBR(Tensile strain barrier reducing)층을 더 포함할 수도 있다. 이에 대한 설명은 다른 도면을 참조하여 후술하기로 한다.
활성층(330)은 제1 반도체층(310)과 제2 반도체층(320) 사이에 배치된다. 활성층(330)은 단일 또는 다중 양자 우물 구조의 물질을 포함할 수 있다. 활성층(330)이 다중 양자 우물 구조의 물질을 포함하는 경우, 양자층(Quantum layer)과 우물층(Well layer)이 서로 교번적으로 복수개 적층된 구조일 수도 있다. 활성층(330)은 제1 반도체층(310) 및 제2 반도체층(320)을 통해 인가되는 전기 신호에 따라 전자-정공 쌍의 결합에 의해 광을 발광할 수 있다. 일 예로, 활성층(330)이 청색 파장대의 광을 방출하는 경우, AlGaN, AlGaInN 등의 물질을 포함할 수 있다. 특히, 활성층(330)이 다중 양자 우물 구조로 양자층과 우물층이 교번적으로 적층된 구조인 경우, 양자층은 AlGaN 또는 AlGaInN, 우물층은 GaN 또는 AlInN 등과 같은 물질을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 활성층(330)은 양자층으로 AlGaInN를, 우물층으로 AlInN를 포함하여 상술한 바와 같이, 활성층(330)은 중심 파장대역이 450nm 내지 495nm의 범위를 갖는 청색(Blue)광을 방출할 수 있다.
다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 활성층(330)은 밴드갭(Band gap) 에너지가 큰 종류의 반도체 물질과 밴드갭 에너지가 작은 반도체 물질들이 서로 교번적으로 적층된 구조일 수도 있고, 발광하는 광의 파장대에 따라 다른 3족 내지 5족 반도체 물질들을 포함할 수도 있다. 활성층(330)이 방출하는 광은 청색 파장대의 광으로 제한되지 않고, 경우에 따라 적색, 녹색 파장대의 광을 방출할 수도 있다. 활성층(330)의 길이는 0.05㎛ 내지 0.10㎛의 범위를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 활성층(330)에서 방출되는 광은 발광 소자(300)의 길이방향 외부면뿐만 아니라, 양 측면으로 방출될 수 있다. 활성층(330)에서 방출되는 광은 하나의 방향으로 방향성이 제한되지 않는다.
전극층(370)은 오믹(Ohmic) 접촉 전극일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 쇼트키(Schottky) 접촉 전극일 수도 있다. 발광 소자(300)는 적어도 하나의 전극층(370)을 포함할 수 있다. 도 7에서는 발광 소자(300)가 하나의 전극층(370)을 포함하는 것을 도시하고 있으나, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서 발광 소자(300)는 더 많은 수의 전극층(370)을 포함하거나, 생략될 수도 있다. 후술하는 발광 소자(300)에 대한 설명은 전극층(370)의 수가 달라지거나 다른 구조를 더 포함하더라도 동일하게 적용될 수 있다.
전극층(370)은 발광 소자(300)가 전극(210, 220) 또는 접촉 전극(261, 262)과 전기적으로 연결될 때, 발광 소자(300)와 전극 또는 접촉 전극 사이의 저항을 감소시킬 수 있다. 전극층(370)은 전도성이 있는 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 전극층(370)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 인듐(In), 금(Au), 은(Ag), ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ITZO(Indium Tin-Zinc Oxide) 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 또한 전극층(370)은 n형 또는 p형으로 도핑된 반도체 물질을 포함할 수도 있다. 전극층(370)은 동일한 물질을 포함할 수 있고, 서로 다른 물질을 포함할 수도 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
절연막(380)은 상술한 복수의 반도체층 및 전극층들의 외면을 둘러싸도록 배치된다. 예시적인 실시예에서, 절연막(380)은 적어도 활성층(330)의 외면을 둘러싸도록 배치되고, 발광 소자(300)가 연장된 일 방향으로 연장될 수 있다. 절연막(380)은 상기 부재들을 보호하는 기능을 수행할 수 있다. 일 예로, 절연막(380)은 상기 부재들의 측면부를 둘러싸도록 형성되되, 발광 소자(300)의 길이방향의 양 단부는 노출되도록 형성될 수 있다.
도면에서는 절연막(380)이 발광 소자(300)의 길이방향으로 연장되어 제1 반도체층(310)으로부터 전극층(370)의 측면까지 커버하도록 형성된 것을 도시하고 있으나, 이에 제한되지 않는다. 절연막(380)은 활성층(330)을 포함하여 일부의 반도체층의 외면만을 커버하거나, 전극층(370) 외면의 일부만 커버하여 각 전극층(370)의 외면이 부분적으로 노출될 수도 있다. 또한, 절연막(380)은 발광 소자(300)의 적어도 일 단부와 인접한 영역에서 단면상 상면이 라운드지게 형성될 수도 있다.
절연막(380)의 두께는 10nm 내지 1.0㎛의 범위를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 바람직하게는 절연막(380)의 두께는 40nm 내외일 수 있다.
절연막(380)은 절연특성을 가진 물질들, 예를 들어, 실리콘 산화물(Silicon oxide, SiOx), 실리콘 질화물(Silicon nitride, SiNx), 산질화 실리콘(SiOxNy), 질화알루미늄(Aluminum nitride, AlN), 산화알루미늄(Aluminum oxide, Al2O3) 등을 포함할 수 있다. 이에 따라 활성층(330)이 발광 소자(300)에 전기 신호가 전달되는 전극과 직접 접촉하는 경우 발생할 수 있는 전기적 단락을 방지할 수 있다. 또한, 절연막(380)은 활성층(330)을 포함하여 발광 소자(300)의 외면을 보호하기 때문에, 발광 효율의 저하를 방지할 수 있다.
또한, 몇몇 실시예에서, 절연막(380)은 외면이 표면처리될 수 있다. 발광 소자(300)는 표시 장치(10)의 제조 시, 소정의 잉크 내에서 분산된 상태로 전극 상에 분사되어 정렬될 수 있다. 여기서, 발광 소자(300)가 잉크 내에서 인접한 다른 발광 소자(300)와 응집되지 않고 분산된 상태를 유지하기 위해, 절연막(380)은 표면이 소수성 또는 친수성 처리될 수 있다.
발광 소자(300)는 길이(h)가 1㎛ 내지 10㎛ 또는 2㎛ 내지 6㎛의 범위를 가질 수 있으며, 바람직하게는 3㎛ 내지 5㎛의 길이를 가질 수 있다. 또한, 발광 소자(300)의 직경은 300nm 내지 700nm의 범위를 갖고, 발광 소자(300)의 종횡비(Aspect ratio)는 1.2 내지 100일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 표시 장치(10)에 포함되는 복수의 발광 소자(300)들은 활성층(330)의 조성 차이에 따라 서로 다른 직경을 가질 수도 있다. 바람직하게는 발광 소자(300)의 직경은 500nm 내외의 범위를 가질 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 발광 영역(EMA)에서 발광 소자(300)가 배치되는 영역을 제공하는 뱅크 구조물(410, 420)과, 비발광 영역(NEA)에서 발광 소자(300)를 구동하기 위한 회로 소자들이 동일한 층에 배치될 수 있다. 특히, 뱅크 구조물(410, 420)의 기저층(411, 421)과 상부층(412, 422)은 각각 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 게이트 전극(GE1)과 소스/드레인 전극(SDE1, SDE2)와 동일 층에 배치되어 하나의 공정에서 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 제조 공정이 단축될 수 있다.
이하, 다른 도면들을 참조하여 표시 장치(10)의 제조 공정에 대하여 설명하기로 한다. 이하에서는 표시 장치(10)의 제조 공정의 순서에 대하여 상세히 설명하기로 하고, 각 부재들의 형성 방법에 대한 설명은 생략하여 서술하기로 한다.
도 8 내지 도 15는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 일부를 나타내는 단면도들이다.
먼저, 도 8을 참조하면, 제1 기판(110)을 준비하고, 제1 기판(110) 상에 배치된 제1 차광층(BML1), 버퍼층(115), 제1 활성물질층(ACT1) 및 제1 게이트 절연층(130)을 형성한다. 버퍼층(115)과 제1 게이트 절연층(130)은 제1 기판(110) 상에 전면적으로 배치되고, 제1 차광층(BML1)과 제1 활성물질층(ACT1)은 비발광 영역(NEA)에만 배치된다.
이어, 도 9를 참조하면, 제1 게이트 절연층(130) 상에 제1 게이트 도전층을 형성한다. 제1 게이트 절연층(130) 상에서, 비발광 영역(NEA)에 배치되는 제1 게이트 전극(GE1)과, 발광 영역(EMA)에 배치되는 제1 기저층(411) 및 제2 기저층(421)을 형성한다. 상술한 바와 같이, 제1 게이트 전극(GE1)과 제1 기저층(411) 및 제2 기저층(421)은 제1 게이트 도전층에 포함되어 동일한 층에 배치되고, 이들은 하나의 공정에서 동시에 형성될 수 있다.
이어, 도 10을 참조하면, 제1 게이트 도전층 상에 층간 절연층을 형성한다. 제1 게이트 도전층 상에서, 비발광 영역(NEA)을 전면적으로 덮는 제1 층간 절연층(170)과, 발광 영역(EMA)에서 제1 기저층(411)을 덮도록 배치되는 제1 중간층(417) 및 제2 기저층(421)을 덮도록 배치되는 제2 중간층(427)을 형성한다. 상술한 바와 같이, 제1 층간 절연층(170)과 제1 중간층(417) 및 제2 중간층(427)은 층간 절연층에 포함되어 동일한 층에 배치되고, 이들은 하나의 공정에서 동시에 형성될 수 있다.
이어, 도 11을 참조하면, 층간 절연층 상에 제1 데이터 도전층을 형성한다. 층간 절연층 상에서, 비발광 영역(NEA)에 배치되는 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스/드레인 전극(SDE1) 및 제2 소스/드레인 전극(SDE2)과, 발광 영역(EMA)에서 제1 중간층(417) 상에 배치되는 제1 상부층(412) 및 제2 중간층(427) 상에 배치되는 제2 상부층(422)을 형성한다. 상술한 바와 같이, 제1 트랜지스터(TR1)의 소스/드레인 전극(SDE1, SDE2)과 제1 상부층(412) 및 제2 상부층(422)은 제1 데이터 도전층에 포함되어 동일한 층에 배치되고, 이들은 하나의 공정에서 동시에 형성될 수 있다. 이상의 공정을 통해 비발광 영역(NEA)에는 제1 트랜지스터(TR1)가 형성되고, 발광 영역(EMA)에는 제1 뱅크 구조물(410) 및 제2 뱅크 구조물(420)이 형성될 수 있다.
다음으로, 도 12 및 도 13을 참조하면, 발광 영역(EMA)의 뱅크 구조물(410, 420) 상에 제1 전극(210)과 제2 전극(220)을 형성하고, 이들을 덮는 제1 절연물층(510')을 형성한다. 도 13의 제1 절연물층(510')은 개구부(미도시)가 형성되지 않아 제1 전극(210)과 제2 전극(220)을 전면적으로 덮을 수 있다. 이후의 공정에서 제1 절연물층(510')은 부분적으로 식각되고, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부를 노출하는 개구부(미도시)가 형성되어 제1 절연층(510)을 형성할 수 있다.
이어, 도 14를 참조하면, 비발광 영역(NEA)의 제1 데이터 도전층 상에 배치되는 제1 평탄화층(180)과, 발광 영역(EMA)의 제1 절연층(510) 상에 배치되는 외부 뱅크층(450)을 형성한다. 상술한 바와 같이, 제1 평탄화층(180)과 외부 뱅크층(450)은 하나의 공정에서 동시에 형성된다. 몇몇 실시예에서, 제1 평탄화층(180)과 외부 뱅크층(450)은 폴리 이미드(Polyimide, PI)와 같은 유기 절연 물질로 형성되고, 이들의 높이, 예를 들어 제1 기판(110)의 상면으로부터 제1 평탄화층(180) 및 외부 뱅크층(450)의 상면까지의 높이는 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않는다.
다음으로, 도 15를 참조하면, 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이, 또는 제1 뱅크 구조물(410)과 제2 뱅크 구조물(420) 사이에 발광 소자(300)를 배치한다. 몇몇 실시예에서, 발광 소자(300)는 잉크젯 공정을 통해 소정의 잉크에 분산된 상태로 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA)에 분사되고, 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이에 전계를 형성하는 공정을 통해 전극(210, 220)들 사이에 정렬될 수 있다. 잉크 내에 분산된 발광 소자(300)를 발광 영역(EMA)에 분사한 뒤 제1 전극(210)과 제2 전극(220)에 정렬 신호를 인가하면, 이들 사이에는 전계가 형성되고 발광 소자(300)는 상기 전계에 의한 유전영동힘(Dielectrophoretic Force)을 받을 수 있다. 유전영동힘을 전달 받은 발광 소자(300)는 잉크 내에서 배향 방향 및 위치가 바뀌면서 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이에 정렬될 수 있다.
여기서, 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 중 어느 한 전극은 접지되고, 다른 전극은 교류 전원이 인가될 수 있다. 예를 들어 제1 전극(210)은 접지되고 제2 전극(220)에 교류 전원이 인가될 경우, 제2 전극(220)은 제2 전압 라인(VSSL)이 아닌 제2 전극(220)에 직접 교류 전원이 인가될 수 있다. 이와 같이 제2 전극(220)에 교류 전원을 인가하는 공정은 표시 장치(10)의 제조 공정 중 제2 전극(220)과 연결된 배선을 통해 수행될 수 있고, 이후 상기 배선을 단선하는 공정을 수행할 수 있다.
도 16은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 일 단계를 나타내는 평면도이다.
도 16은 표시 장치(10)의 제조 공정 중, 비표시 영역(NDA)에 제2 전극 줄기부(220S)가 연장되어 배치된 것을 도시하고 있다. 도 16을 참조하면, 제2 전극(220)은 제2 전극 줄기부(220S)가 제1 방향(DR1)으로 연장되어 비표시 영역(NDA)에도 배치될 수 있고, 도면에 도시되지 않았으나 비표시 영역(NDA)에 배치된 패드(미도시)를 통해 제2 전극(220)은 교류 전원을 인가 받을 수 있다. 상기 패드를 통해 교류 전원이 제2 전극(220)으로 직접 인가되는 경우, 제2 전극(220)과 전기적으로 연결된 배선들, 예를 들어 제2 전압 라인(VSSL) 등을 거치지 않고 직접 교류 전원이 인가될 수 있다. 이에 따라 표시 장치(10)의 회로 소자들 및 배선들에 교류 전원이 인가되어 이들이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 전극(210)과 제2 전극(220) 사이에 발광 소자(300)를 정렬한 뒤, 제2 전극 줄기부(220S)의 일부 영역(도 16의 'CS')을 단선하는 공정을 수행할 수 있다. 표시 장치(10)의 구동 시에는 제2 전극(220)은 제2 전압 라인(VSSL)을 통해 제2 전원 전압(VSS)만을 인가 받을 수 있다.
다음으로, 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 상에 배치되는 접촉 전극(261, 262)들을 형성하여 발광 소자(300)와 각 전극(210, 220)들을 전기적으로 연결한다.
도 17 내지 도 19는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 다른 일부를 나타내는 단면도들이다.
먼저, 도 17을 참조하면, 발광 소자(300)와 제1 절연층(510)의 일부 영역 상에 제2 절연층(520)을 형성한다. 도면에는 도시되지 않았으나, 제2 절연층(520)의 형상은 제1 절연물층(도 15의 510') 상에 전면적으로 배치된 후, 제1 전극(210)과 제2 전극(220), 및 발광 소자(300)의 양 단부를 노출하는 패터닝 공정을 수행함으로써 형성된 것일 수 있다. 상기 패터닝 공정에서 제1 절연물층(510')도 부분적으로 제거될 수 있고, 이를 통해 제1 절연층(510)이 형성될 수 있다. 도면에서는 제1 전극(210)과 제2 전극(220)이 각각 상면 일부가 동시에 노출된 것이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라서 후술하는 제1 접촉 전극(261)과 제3 절연층(530)을 형성하는 공정을 수행한 뒤에 제2 전극(220)의 상면 일부를 노출시키는 공정을 수행할 수도 있다.
한편, 몇몇 실시예에서, 제2 전극(220)의 일부 영역(도 16의 'CS')을 단선하는 공정은 제2 절연층(520)을 형성하는 공정과 동일한 공정에서 수행될 수도 있다. 제2 절연층(520)을 형성하는 공정에서, 절연성 물질을 제1 절연물층(510') 상면을 덮도록 형성한 후 이를 패터닝 할 때, 제2 전극(220)의 일부 영역(도 16의 'CS')도 동시에 패터닝할 수 있다. 이 경우, 발광 소자(300)를 배치한 뒤 제1 전극(210)과 제2 전극(220) 일부를 노출하는 공정 사이에 필요한 공정의 수를 더 단축시킬 수 있다.
다음으로, 도 18 및 도 19를 참조하면, 제1 전극(210) 상에 배치되는 제1 접촉 전극(261)과, 제1 접촉 전극(261) 상에 배치되는 제3 절연층(530) 및 제2 전극(220) 상에 배치되는 제2 접촉 전극(262)을 형성한다. 이들의 배치 및 구조에 대한 설명은 상술한 바와 동일하다.
이어, 제1 기판(110) 상에 배치된 부재들을 덮도록 배치되는 제4 절연층(550)을 형성하여 일 실시예에 따른 표시 장치(10)를 제조할 수 있다.
이하에서는 표시 장치(10)의 다양한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 20은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 20을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(10_1)는 제3 절연층(530)이 생략될 수 있다. 본 실시예는 제3 절연층(530)이 생략된 점에서 도 6의 실시예와 차이가 있다. 이하에서는 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
도 20의 표시 장치(10_1)는 제3 절연층(530)이 생략되고, 제2 접촉 전극(262)이 제2 절연층(520_1) 상에 직접 배치될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제2 절연층(520_1)이 유기 절연 물질을 포함하는 경우, 제1 접촉 전극(261_1)과 제2 접촉 전극(262_1)은 하나의 공정에서 동시에 형성될 수 있다. 발광 소자(300)를 배치한 뒤, 제2 절연층(520_1)을 형성하는 공정에서 도 17과 같이 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 상면 일부를 동시에 노출시킬 수 있다. 이후, 제1 접촉 전극(261_1)과 제2 접촉 전극(262_1)을 동시에 형성하되, 이들은 발광 소자(300) 상에 배치된 제2 절연층(520) 상에서 상호 이격될 수 있다. 이에 따라 제2 접촉 전극(262_1)은 하면 일부가 제2 절연층(520_1)과 직접 접촉할 수도 있다. 본 실시예에 따른 표시 장치(10_1)는 제3 절연층(530)이 생략되고, 제1 접촉 전극(261_1)과 제2 접촉 전극(262_1)이 하나의 공정에서 동시에 형성됨으로써, 표시 장치(10_1) 제조 공정의 수가 더 단축될 수 있다.
도 21은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다. 도 22는 도 21의 표시 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 21 및 도 22를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(10_2)는 외부 뱅크층(450)이 생략될 수 있다. 본 실시예는 외부 뱅크층(450)이 생략된 점에서 도 5의 실시예와 차이가 있다. 이하에서는 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
도 21 및 도 22의 표시 장치(10_2)는 외부 뱅크층(450)이 생략될 수 있다. 상술한 바와 같이, 외부 뱅크층(450)은 각 서브 화소(PXn)를 구분함과 동시에, 발광 소자(300)를 배치하는 잉크젯 공정에서 잉크가 다른 서브 화소(PXn)로 넘치는 것을 방지하는 기능을 수행할 수 있다. 다만, 경우에 따라서 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 내에 잉크를 위치시킬 수 있을 경우, 외부 뱅크층(450)은 생략될 수도 있다. 또한, 상기 잉크가 다른 서브 화소(PXn)로 넘치더라도 무방한 경우, 예를 들어 복수의 서브 화소(PXn)들이 동일한 종류의 발광 소자(300)를 포함하는 경우, 상기 잉크는 복수의 서브 화소(PXn)들에 넘치도록 분사될 수도 있다. 이 경우, 외부 뱅크층(450)은 생략되고, 비발광 영역(NEA) 상에 제1 평탄화층(180) 만이 배치될 수 있다.
도 23은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다.
도 23을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(10_3)는 제2 전극 줄기부(220S)가 생략되고, 제2 전극(220)은 각 서브 화소(PXn)마다 형성된 전극 컨택홀(CNTS)을 통해 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 본 실시예는 제2 전극(220)의 제2 전극 줄기부(220S)가 생략된 점에서 도 5의 실시예와 차이가 있다. 이하에서는 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
도 23의 표시 장치(10_3)는 제2 전극 줄기부(220S)가 생략될 수 있다. 제2 전극(220)은 제1 전극(210)과 같이 각 서브 화소(PXn)마다 배치되고, 복수의 서브 화소(PXn)에 배치된 제2 전극(220)들은 서로 분리될 수 있다. 이 경우, 제2 전극(220)은 제2 방향(DR2)으로 연장되어 제1 방향(DR1)으로 이웃한 서브 화소(PXn) 사이에 배치된 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결될 수 있다.
구체적으로, 도 5를 결부하여 설명하면 복수의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)들은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열되고, 이들 각각에 배치된 배선들, 예를 들어 제2 전압 라인(VSSL)의 경우에도 복수개의 배선들이 각각 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 이에 따라, 도 5에서는 하나의 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)의 비발광 영역(NEA) 상측에서 하나의 제2 전압 라인(VSSL)에 배치된 것이 도시되어 있으나, 도 23과 같이 발광 영역(EMA)의 하측에도 제2 전압 라인(VSSL)이 연장되어 배치될 수 있다. 이 경우, 제2 전극(220)은 제2 방향(DR2)으로 연장되어 제2 전압 라인(VSSL)과 부분적으로 중첩될 수 있고, 상기 중첩된 영역에서 전극 컨택홀(CNTS)을 통해 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 몇몇 실시예에서 제2 전압 라인(VSSL)은 외부 뱅크층(450)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 부분과 중첩할 수 있고, 제2 전극(220)과 제2 전압 라인(VSSL)이 연결되는 전극 컨택홀(CNTS)은 외부 뱅크층(450)과 중첩하는 영역에 형성될 수도 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 상술한 바와 같이, 표시 장치(10)는 더 많은 수의 뱅크 구조물(410, 420) 또는 더 많은 수의 전극(210, 220)을 더 포함할 수 있다.
도 24는 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다. 도 25는 도 24의 표시 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 24 및 도 25를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(10_4)는 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에 배치된 제3 뱅크 구조물(430_4), 제1 전극(210_4)과 제2 전극(220_4) 사이에 배치되며 제3 뱅크 구조물(430_4) 상에 배치된 제3 전극(230_4), 및 제1 접촉 전극(261_4)과 제2 접촉 전극(262_4) 사이에 배치되며 제3 전극(230_4) 상에 배치된 제3 접촉 전극(263_4)을 더 포함할 수 있다. 본 실시예는 제3 뱅크 구조물(430_4)과 제3 전극(230_4)을 더 포함하는 점에서 도 5 및 도 6의 실시예와 차이가 있다. 이하에서는 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
도 24 및 도 25의 표시 장치(10_4)는 제3 뱅크 구조물(430_4)을 더 포함할 수 있다. 제3 뱅크 구조물(430_4)은 실질적으로 제1 뱅크 구조물(410_4) 및 제2 뱅크 구조물(420_4)과 동일한 구조를 가질 수 있다. 즉, 제3 뱅크 구조물(430_4)은 제1 게이트 도전층에 배치된 제3 기저층(431_4), 제3 기저층(431_4)을 덮도록 배치된 제3 중간층(437_4), 및 제3 중간층(437_4) 상에 배치되고 제1 데이터 도전층에 배치된 제3 상부층(432_4)을 포함할 수 있다. 이들에 대한 설명은 제1 기저층(411_4), 제1 중간층(417_4) 및 제1 상부층(412_7)에 대하여 상술한 바와 동일하다. 제3 뱅크 구조물(430_7)은 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에서 이들과 이격 대향하도록 배치되며, 발광 영역(EMA) 내에서 제2 방향(DR2)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제3 뱅크 구조물(430_4) 사이, 제3 뱅크 구조물(430_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에 각각 발광 소자(300)들이 배치되는 영역이 형성될 수 있고, 각 서브 화소(PXn)당 더 많은 수의 발광 소자(300)들이 배치될 수 있다.
제3 전극(230_4)은 제3 뱅크 구조물(430_4) 상에 배치된다. 제3 전극(230_4)은 일 방향으로 측정된 폭이 제3 뱅크 구조물(430_4)의 상기 일 방향으로 측정된 폭보다 크도록 형성되어 제3 뱅크 구조물(430_4)의 외면을 감싸도록 형성될 수 있다. 또한 제3 전극(230_4)은 제1 전극(210_4)과 같이 제3 뱅크 구조물(430_4) 상에서 상면 일부가 노출되도록 형성되고, 제2 방향(DR1)으로 연장되며 제1 전극(210_4) 및 제2 전극(220_4) 사이에서 이들과 이격 대향하도록 배치될 수 있다.
다만, 제3 전극(230_4)은 제1 전극(210_4) 및 제2 전극(220_4)과 달리 각 화소(PX) 또는 서브 화소(PXn)에 배치된 회로 소자 또는 배선들과 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. 제1 전극(210_4)은 제1 트랜지스터(TR1)의 제2 소스/드레인 전극(SDE2)과 전기적으로 연결되고, 제2 전극(220_4)은 제2 전압 라인(VSSL)과 전기적으로 연결되나, 제3 전극(230_4)은 이들과 전기적으로 연결되지 않는 플로팅 전극(Floating electrode)일 수 있다. 제3 전극(230_4)은 회로 소자들 또는 배선들로부터 인가되는 전기 신호가 직접 전달되지 않고, 제1 전극(210_4)과 제2 전극(220_4)으로 전달된 전기 신호가 흐르는 전극일 수 있다.
제3 전극(230_4) 상에는 제3 접촉 전극(263_4)이 더 배치될 수 있다. 제3 접촉 전극(263_4)은 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제3 뱅크 구조물(430_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)와, 제3 뱅크 구조물(430_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)와 각각 접촉할 수 있다. 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제3 뱅크 구조물(430_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)는 일 단부는 제1 접촉 전극(261_4)과 접촉하고 타 단부는 제3 접촉 전극(263_4)과 접촉하며, 제3 뱅크 구조물(430_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)의 일 단부는 제3 접촉 전극(263_4)과 접촉하고 타 단부는 제2 접촉 전극(262_4)과 접촉할 수 있다. 또한, 제3 접촉 전극(263_4)은 제3 전극(230_4)의 노출된 상면과도 접촉할 수 있다. 이에 따라 발광 소자(300)들은 제3 접촉 전극(263_4)을 통해 제3 전극(230_4)과 전기적으로 연결될 수 있다. 도면에서는 하나의 제3 뱅크 구조물(430_4), 하나의 제3 전극(230_4) 및 하나의 제3 접촉 전극(263_4)이 배치된 것이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않고 이들의 수는 더 많을 수도 있다.
제1 전극(210_4)을 통해 전기 신호가 전달되면, 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제3 뱅크 구조물(430_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)의 일 단부로 상기 전기 신호가 전달될 수 있다. 상기 전기 신호는 제3 접촉 전극(263_4)과 제3 전극(230_4)으로 전달되고, 제3 뱅크 구조물(430_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)로 전달될 수 있다. 제1 뱅크 구조물(410_4)과 제3 뱅크 구조물(430_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)와 제3 뱅크 구조물(430_4)과 제2 뱅크 구조물(420_4) 사이에 배치된 발광 소자(300)는 각각 제1 전극(210_4)을 통해서만 전기 신호를 전달받을 수 있고, 이들은 직렬로 연결될 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치(10_4)는 제3 뱅크 구조물(430_4), 제3 전극(230_4) 및 제3 접촉 전극(263_4)을 더 포함하여 복수의 발광 소자(300)들 중 일부를 직렬로 연결함으로써 발광 효율을 더 향상시킬 수 있다.
또한, 표시 장치(10)는 더 많은 수의 제1 전극(210)과 제1 뱅크 구조물(410)을 포함하여 각 서브 화소(PXn) 당 더 많은 수의 발광 소자(300)들이 배치되되, 이들은 각각 병렬로 연결될 수 있다.
도 26은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일 화소를 나타내는 레이아웃도이다. 도 27은 도 26의 표시 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 26 및 도 27을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(10_5)는 복수의 제1 뱅크 구조물(410_5)을 포함하고, 제2 뱅크 구조물(420_5)이 이들 사이에 배치될 수 있다. 또한, 제1 전극(210_5)은 제1 전극 줄기부(210S_5)와 제1 전극 가지부(210B_5)를 포함하고, 제2 전극(220_5)은 제1 전극 가지부(210B_5)들 사이에 제2 전극 가지부(220B_5)가 배치될 수 있다. 본 실시예는 복수의 제1 뱅크 구조물(410_5)과 제1 전극(210_5)을 더 포함하는 점에서 도 5 및 도 6의 실시예와 차이가 있다. 이하에서는 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
도 26 및 도 27의 표시 장치(10_5)는 복수의 제1 뱅크 구조물(410_5)을 포함하고, 제2 뱅크 구조물(420_5)은 이들 사이에 배치될 수 있다. 즉, 제1 뱅크 구조물(410_5)과 제2 뱅크 구조물(420_5)은 각 서브 화소(PXn)의 발광 영역(EMA) 내에서 교번적으로 배치되고, 이들은 서로 이격 대향할 수 있다. 제1 뱅크 구조물(410_5)과 제2 뱅크 구조물(420_5) 사이, 제2 뱅크 구조물(420_5)과 제1 뱅크 구조물(410_5) 사이에는 발광 소자(300)들이 배치되는 영역이 형성되어 더 많은 수의 발광 소자(300)들이 배치될 수 있다. 즉, 본 실시예는 도 5 및 도 6의 실시예에서 제2 뱅크 구조물(420_5)의 제1 방향(DR1) 일 측에 이와 이격된 제1 뱅크 구조물(410_5)이 더 배치된 것으로 이해될 수 있다.
제1 전극(210_5)은 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 전극 줄기부(210S_5)와, 제1 전극 줄기부(210S_5)에서 제2 방향(DR2)으로 분지된 복수의 제1 전극 가지부(210B_5)를 포함할 수 있다. 제1 전극 가지부(210B_5)는 각각 제1 뱅크 구조물(410_5) 상에 배치되고, 제1 전극 줄기부(210S_5)는 이들은 상호 연결시킬 수 있다. 제1 전극(210_5)은 제1 전극 줄기부(210S_5)의 일 측에서 돌출된 부분을 통해 제1 트랜지스터(TR1)와 전기적으로 연결되고, 제1 전극 가지부(210B_5) 각각에 전기 신호를 전달할 수 있다.
제2 전극(220_5)은 제2 전극 줄기부(220S_5)와 제2 전극 가지부(220B_5)를 포함한다. 제2 전극 가지부(220B_5)는 제2 뱅크 구조물(420_5) 상에 배치되고, 양 측이 각각 제1 전극 가지부(210B_5)들과 이격 대향할 수 있다. 즉, 본 실시예는 도 5 및 도 6의 실시예에서 제2 전극 가지부(220B_5)의 제1 방향(DR1) 일 측에 이와 이격된 제1 전극 가지부(210B_5)가 더 배치되고, 각 제1 전극 가지부(210B_5)들이 제1 전극 줄기부(210S_5)를 통해 상호 전기적으로 연결된 것으로 이해될 수 있다.
또한, 제1 전극 가지부(210B_5)들 상에는 제1 접촉 전극(261_5)들이 배치될 수 있다. 도 5와 달리 제1 접촉 전극(261_5)은 더 많은 수로 배치될 수 있다.
제1 뱅크 구조물(410_5)과 제2 뱅크 구조물(420_5) 사이에 형성된 영역에는 각각 발광 소자(300)들이 배치되는데, 이들은 각각 적어도 일 단부가 제1 접촉 전극(261_5)을 통해 제1 전극 가지부(210B_5)와 전기적으로 연결될 수 있다. 도 24 및 도 25의 실시예와 달리, 본 실시예는 서로 다른 영역에 배치된 발광 소자(300)들이 각각 적어도 일 단부가 제1 전극 가지부(210B_5)와 전기적으로 연결됨으로써, 제1 트랜지스터(TR1)로부터 전기 신호를 동시에 전달 받을 수 있다. 또한, 서로 다른 영역에 배치된 발광 소자(300)들은 타 단부가 제2 전극 가지부(220B_5)와 전기적으로 연결되고, 제2 전압 라인(VSSL)으로부터 전기 신호를 동시에 전달 받을 수 있다. 즉, 본 실시예의 발광 소자(300)들은 병렬로 연결될 수 있다. 그 외 다른 부재들에 대한 설명은 상술한 바와 동일한 바, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (23)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 이격되어 배치된 제1 뱅크 구조물 및 제2 뱅크 구조물;
    상기 제1 뱅크 구조물 상에 배치된 제1 전극 및 상기 제2 뱅크 구조물 상에 배치된 제2 전극;
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 배치된 발광 소자를 포함하고,
    상기 뱅크 구조물은 기저층, 상기 기저층 상에 배치된 상부층, 및 상기 기저층과 상부층 사이에 배치된 중간층을 포함하며,
    상기 제1 전극은 상기 제1 뱅크 구조물을 덮도록 배치된 표시 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판은 발광 영역 및 비발광 영역이 정의되고,
    상기 제1 뱅크 구조물, 상기 제2 뱅크 구조물 및 상기 발광 소자는 상기 발광 영역에 배치된 표시 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 비발광 영역에 배치된 제1 트랜지스터로써, 제1 활성물질층, 상기 제1 활성물질층 상에 배치된 제1 게이트 전극 및 상기 제1 활성물질층의 적어도 일부 영역에 접촉하는 소스/드레인 전극을 포함하는 제1 트랜지스터를 더 포함하고,
    상기 제1 게이트 전극은 상기 뱅크 구조물의 상기 기저층과 동일 층에 배치된 표시 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극은 상기 뱅크 구조물의 상기 상부층과 동일 층에 배치된 표시 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 전극은 적어도 일부가 상기 비발광 영역에 배치되고,
    상기 제1 전극의 상기 비발광 영역에 배치된 부분은 상기 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극과 접촉하는 표시 장치.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 발광 영역 상에 배치되고 상기 제1 뱅크 구조물과 상기 제2 뱅크 구조물 사이에 배치된 제3 뱅크 구조물, 및 상기 제3 뱅크 구조물 상에 배치된 제3 전극을 더 포함하는 표시 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 발광 소자는 상기 제1 뱅크 구조물과 상기 제3 뱅크 구조물 사이에 배치된 제1 발광 소자, 및 상기 제3 뱅크 구조물과 상기 제2 뱅크 구조물 사이에 배치된 제2 발광 소자를 포함하고,
    상기 제1 발광 소자는 일 단부가 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되고,
    상기 제2 발광 소자는 일 단부가 상기 제2 전극과 전기적으로 연결된 표시 장치.
  8. 제2 항에 있어서,
    상기 비발광 영역에서 상기 소스/드레인 전극 상에 배치된 제1 평탄화층, 및 상기 발광 영역에서 상기 뱅크 구조물들을 둘러싸도록 배치된 외부 뱅크층을 더 포함하는 표시 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 기판의 상면으로부터 상기 제1 평탄화층의 상면까지의 높이는 상기 기판의 상면으로부터 상기 외부 뱅크층의 상면까지의 높이와 실질적으로 동일한 표시 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 뱅크 구조물의 상기 중간층은 상기 기저층의 외면을 둘러싸도록 배치된 표시 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 상부층은 상기 중간층을 사이에 두고 상기 기저층의 적어도 일부 영역과 두께 방향으로 중첩하는 표시 장치.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 상의 적어도 일부 영역에 배치된 제1 절연층을 더 포함하고,
    상기 제1 절연층은 상기 제1 전극 중 상기 제1 뱅크 구조물 상에 배치된 부분 중 적어도 일부 영역과 비중첩하도록 배치된 표시 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 절연층 상의 적어도 일부 영역에 배치된 제2 절연층을 더 포함하고,
    상기 제2 절연층은 상기 제1 전극 중 상기 제1 절연층과 비중첩하는 부분이 노출되도록 배치된 표시 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 발광 소자는 상기 제1 절연층 상에 배치되고,
    상기 제2 절연층 중 적어도 일부는 상기 발광 소자 상에 배치되되 상기 발광 소자의 양 단부가 노출되도록 배치된 표시 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 전극 상에 배치된 제1 접촉 전극 및 상기 제2 전극 상에 배치된 제2 접촉 전극을 더 포함하고,
    상기 제1 접촉 전극은 상기 제1 전극 중 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층과 비중첩하는 부분과 직접 접촉하고, 상기 발광 소자의 노출된 일 단부와 직접 접촉하는 표시 장치.
  16. 발광 영역 및 비발광 영역의 정의된 기판;
    상기 기판의 상기 비발광 영역 상에 배치되고, 제1 트랜지스터의 제1 활성물질층을 포함하는 제1 반도체층;
    상기 기판 및 상기 제1 반도체층 상에 배치된 제1 게이트 절연층;
    상기 제1 게이트 절연층 상에 배치된 제1 게이트 도전층으로써, 상기 비발광 영역에 배치된 상기 제1 트랜지스터의 제1 게이트 전극 및 상기 발광 영역에 배치된 복수의 기저층을 포함하는 제1 게이트 도전층;
    상기 제1 게이트 전극 상에 배치된 제1 층간 절연층 및 상기 복수의 기저층을 덮도록 배치된 복수의 중간층을 포함하는 층간 절연층;
    상기 제1 층간 절연층 상에 배치된 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극 및 상기 중간층 상에 배치된 복수의 상부층을 포함하는 제1 데이터 도전층;
    적어도 일부 영역이 상기 상부층 상에 배치되고, 서로 이격 대향하는 복수의 전극들; 및
    상기 복수의 전극들 사이에 배치된 적어도 하나의 발광 소자를 포함하는 표시 장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 기저층은 서로 이격되어 배치된 제1 기저층 및 제2 기저층을 포함하고,
    상기 중간층은 상기 제1 기저층을 덮도록 배치된 제1 중간층 및 상기 제2 기저층을 덮도록 배치된 제2 중간층을 포함하고,
    상기 상부층은 상기 제1 중간층 상에 배치된 제1 상부층 및 상기 제2 중간층 상에 배치된 제2 상부층을 포함하는 표시 장치.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 전극은 상기 제1 상부층 상에 배치되고 상기 제1 기저층 및 상기 제1 중간층을 덮도록 배치된 제1 전극, 및 상기 제2 상부층 상에 배치되고 상기 제2 기저층 및 상기 제2 중간층을 덮도록 배치된 제2 전극을 포함하고,
    상기 발광 소자는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결된 표시 장치.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 전극 상에 배치된 제1 접촉 전극 및 상기 제2 전극 상에 배치된 제2 접촉 전극을 더 포함하고,
    상기 제1 접촉 전극은 상기 제1 전극 및 상기 발광 소자의 일 단부와 직접 접촉하고,
    상기 제2 접촉 전극은 상기 제2 전극 및 상기 발광 소자의 타 단부와 직접 접촉하는 표시 장치.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 제1 전극은 적어도 일부가 상기 비발광 영역에 배치되고, 상기 제1 전극의 상기 비발광 영역에 배치된 부분은 상기 제1 트랜지스터의 소스/드레인 전극과 접촉하는 표시 장치.
  21. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 적어도 일부 영역을 덮도록 배치된 제1 절연층을 더 포함하고,
    상기 발광 소자는 상기 제1 절연층 상에 배치된 표시 장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 절연층 상의 적어도 일부 영역에 배치된 제2 절연층을 더 포함하고,
    상기 제2 절연층 중 적어도 일부는 상기 발광 소자 상에 배치되되 상기 발광 소자의 양 단부가 노출되도록 배치된 표시 장치.
  23. 제16 항에 있어서,
    상기 제1 데이터 도전층 상에 배치된 평탄화층을 더 포함하고,
    상기 평탄화층은 상기 비발광 영역을 덮도록 배치된 제1 평탄화층 및 상기 발광 영역의 외면을 둘러싸도록 배치된 외부 뱅크층을 포함하는 표시 장치.
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