WO2019176156A1 - 水処理装置 - Google Patents
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- C02F1/469—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods by electrochemical separation, e.g. by electro-osmosis, electrodialysis, electrophoresis
Definitions
- the present invention relates to a water treatment apparatus for treating water from an aqueous system and returning treated water to the aqueous system.
- Patent Document 1 In the open circulation type cooling system, a process of treating the cooling tower blow water and returning the treated water to the cooling tower is performed (Patent Document 1, etc.).
- pretreatment filtration Sand filtration, activated carbon, MF membrane, etc.
- RO membrane or EDR polarity conversion electrodialysis device
- the entire amount of blow water is treated with a pretreatment membrane, MF membrane or the like and then supplied to the RO membrane.
- RO membrane or the like water treatment chemicals or dissolved salts are concentrated in the concentrated water and discharged out of the system, and the permeated water such as the RO membrane is recovered as recovered water.
- the object of the present invention is to provide a water treatment apparatus in which useful components are recovered, water discharged outside the system can be easily treated, and operation troubles of the apparatus can be prevented.
- the water treatment device of the present invention is a permselective membrane device having a selective permeation membrane that is impermeable to useful components and accepts permeate water from an aqueous system, and removes the permeated water of the selective permeation membrane device.
- the aqueous water contains at least one of a rust inhibitor, a scale inhibitor, and a slime inhibitor.
- the water system is a cooling water system, a water treatment device, or a makeup water system that supplies makeup water to the water treatment device.
- the selective permeable membrane is an NF membrane
- the deionization device is an RO device or an electrodeionization device.
- water from an aqueous system is treated with a selective permeable membrane (a membrane with a high exclusion rate of divalent or higher ions, a membrane that excludes organic matter, etc.), and the permeable water of this selective permeable membrane is treated with an RO membrane or a membrane.
- a selective permeable membrane a membrane with a high exclusion rate of divalent or higher ions, a membrane that excludes organic matter, etc.
- RO membrane or a membrane a membrane with a high exclusion rate of divalent or higher ions, a membrane that excludes organic matter, etc.
- Process with deionization equipment such as EDR.
- the non-permeated water of a selective permeable membrane is returned to an aqueous system, and useful components are collect
- deionized water from the deionizer is returned to the water system to recover the water. In this way, useful components and water are recovered.
- the wastewater from the deionizer since the feedwater to the deionizer is removed from the useful components by the selective permeable membrane, the wastewater from the deionizer does not contain any useful components, and the deionizer wastewater can be treated. It becomes easy. Since the water supplied to the deionizer is processed by the selective permeable membrane, the impurity concentration is reduced, and the deionizer can be stably operated.
- FIG. 1 is a block diagram of a water treatment apparatus according to an embodiment.
- FIG. 2 is a block diagram of the test apparatus used in the examples.
- FIG. 3 is a block diagram of the test apparatus used in the examples.
- FIG. 4 is a block diagram of the test apparatus used in the comparative example.
- FIG. 5 is a graph showing the test results.
- FIG. 6 is a graph showing the test results.
- FIG. 7 is a graph showing the test results.
- the water system is a circulating cooling water system, but the present invention is not limited to this, and can be applied to the treatment of various water systems holding water containing useful components.
- a part of water in the water system 1 is pretreated by a pump 2 (for example, MF membrane, sand filtration, multilayer filtration (MMF), two-layer filtration (DMF), cartridge filter, etc.) or strainer.
- the solid material having a large particle diameter is removed and becomes pretreated water.
- This pretreatment water is supplied to the NF device 4 as a selective permeable membrane device.
- the non-permeate water (concentrated water) of the NF device 4 is returned to the water system 1 via the pipe 5. A part of the non-permeated water is discharged out of the system from the pipe 6 as necessary.
- the permeated water of the NF device is supplied to the RO device 9 as a deionization device via the pipe 7 and the pump 8.
- An electrodialyzer such as EDR may be used instead of the RO device.
- the permeated water of the RO device 9 is returned to the water system 1 through the pipe 10.
- Non-permeated water (concentrated water) of the RO device 9 is discharged out of the system from the pipe 11.
- a part of the water is returned to the water supply pipe 7 to the RO device via the pipe 12 and subjected to RO treatment again.
- the cooling water system 1 is added with water treatment agents such as a rust inhibitor, a scale inhibitor, and a slime inhibitor, and various useful components (polymer, phosphoric acid) are contained in the water from the aqueous system 1. Salt, organophosphate compound, zinc ion, calcium ion, etc.). These useful components are recovered into non-permeated water by the NF device 4 and returned to the water system 1. Since deionized water from the RO device 9 is also collected in the water system 1 via the pipe 10, the water is effectively used and the amount of makeup water is reduced.
- water treatment agents such as a rust inhibitor, a scale inhibitor, and a slime inhibitor
- various useful components polymer, phosphoric acid
- These useful components are recovered into non-permeated water by the NF device 4 and returned to the water system 1. Since deionized water from the RO device 9 is also collected in the water system 1 via the pipe 10, the water is effectively used and the amount of makeup water is reduced.
- the concentrated water of the RO device 9 includes components (such as chloride ions and silica) that are unnecessary for water treatment or that determine the upper limit of water treatment depending on the components. By discharging the concentrated water, these components are discharged out of the system. In this way, components that may cause problems in water treatment, such as chloride and silica, can be selectively removed, so that the concentration of such components in the aqueous system can be reduced.
- components such as chloride ions and silica
- Blowing from the water system 1 is also performed as necessary so that useful components in the water system 1 are not excessively concentrated.
- the amount of blown water from the water system can be reduced by discharging a part of the concentrated water of the NF device out of the system from the pipe 6.
- the present invention is applicable not only to cooling water systems but also to various water systems to which chemicals such as rust inhibitors and scale inhibitors are added.
- Example 1 ⁇ Process 1> The sample water collected from the actual circulating cooling water system was subjected to NF membrane filtration and concentration treatment by a circulation processing apparatus using the NF membrane module shown in FIG.
- the sample water in the tank 20 is supplied to the NF membrane module 23 through the pump 21 and the pipe 22.
- a part of the water discharged from the pump 21 is returned to the tank 20 through the pipe 29.
- the concentrated water of the NF membrane module 23 is returned to the tank 20 through a pipe 24 having a constant flow valve 25.
- the permeated water of the NF membrane module 23 is introduced from the pipe 26 to the permeated water tank 27 and the water amount is measured by the weight measuring device 28.
- the water in the tank 20 is gradually concentrated by continuing the operation of this device.
- the system was operated with a permeate recovery rate of 70% and a constant permeate flow rate.
- Transmembrane pressure (TMP) and solution electrical conductivity are monitored, and the normalization flux (m 3 / m 2 / day) was calculated.
- the concentrated sample water in the tank 20 is supplied to the vessel 33 of the RO unit 32 through the pump 30 and the piping 31 as feed water.
- the inside of the vessel 33 is partitioned into a primary chamber 35 and a secondary chamber 36 by an RO membrane 34 made of a flat membrane.
- the vessel 33 is disposed in a water bath 37 provided with a circulation pump 38 and a heater 39.
- the inside of the primary chamber 35 is agitated by a magnetic stirrer 40.
- Non-permeated water (concentrated water) that has passed through the primary chamber 35 flows into the concentrated water tank 44 through the pipe 41, the constant pressure valve 42, and the electric conductivity meter 43.
- the concentrated water tank 44 is installed on the weight measuring device 45, the amount of concentrated water flowing into the concentrated water tank 44 is measured, and the data is recorded in the logger 46.
- the permeated water in the secondary chamber 36 that has passed through the RO membrane 34 flows into the permeated water tank 52 through the pipe 50 and the electric conductivity meter 51.
- the permeated water tank 52 is installed on the weight measuring device 53, the amount of permeated water flowing into the permeated water tank 52 is measured, and the data is recorded in the logger 54.
- the pipes 31 and 50 are provided with pressure sensors 60 and 61, and water pressure data is recorded in the logger 62.
- Table 1 shows the analysis results of the sample water, the NF membrane concentrated water and permeated water in FIG. 2, and the RO membrane permeated water and concentrated water in FIG. Table 1 also shows the rejection rates of the NF membrane and the RO membrane.
- FIG. 5 shows the transition of normalized flux as a result of the RO membrane evaluation test by the flat membrane test.
- the permeation flux of the RO membrane was stable, and no clogging due to fouling of scales or organic substances was confirmed. From this result, it was confirmed that unnecessary ions were concentrated by the RO membrane and stably discharged out of the system.
- Example 1 ⁇ Experimental conditions> The actual actual cooling water as in Example 1 was used as the sample water, and this was used as shown in FIG. 4 by using an MF membrane (Kuraray Co., Ltd., PVDF pore size 0.02 ⁇ m) under conditions of an inlet pressure of 0.25 to 0.3 MPa. The whole amount was filtered at.
- the sample water in the tank 70 flows in the order of the pump 71, the pipe 72, the NF membrane module 73, and the pipe 74, is introduced into the filtered water tank 75, and the amount of water is measured by the weight measuring device 76. A part of the water discharged from the pump 71 is returned to the tank 70 through a pipe 77.
- a scale inhibitor Korean N-500 manufactured by Kurita Kogyo Co., Ltd.
- each sample A and B was operated at a permeate recovery rate of 70%, 30 ° C., and a constant permeate amount. Monitors the differential pressure (TMP, Trans Membrane Pressure) and solution conductivity, and calculates Normalized Flux (m 3 / m 2 / day) under the conditions of 0.75 MPa, transmembrane differential pressure corrected for solution osmotic pressure, and 25 ° C. did.
- TMP differential pressure
- TMP Trans Membrane Pressure
- RO concentrated water contains chemical components (zinc, phosphoric acid, polymer, etc.), making it difficult to meet the standards of the destination, additional treatment or discharge to industrial waste, recovery rate It is necessary to consider reducing the amount of noise.
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Abstract
水系1からの水を受け入れて透過処理する、有用成分非透過性の選択性透過膜(NF膜)を有したNF膜モジュール4と、該NF膜モジュール4の透過水を脱イオン処理するRO装置9と、前記NF膜モジュール4の非透過水と該RO装置9の透過水を前記水系1に戻す手段とを有する水処理装置。
Description
本発明は、水系からの水を処理し、処理水を該水系に戻す水処理装置に関する。
開放循環式冷却システムにあっては、冷却塔ブロー水を処理し、処理水を冷却塔に戻す処理が行われている(特許文献1等)。
最近は、水の使用量削減や回収が求められており、水処理を実施している系、例えば冷却水やボイラ等においても、その系外への排出ブロー水を回収することが求められている。しかし、従来の水回収技術は、水処理に有効な成分も除去してしまう。過剰に水中の成分を除去するため、エネルギーや薬品の無駄があった。
冷却塔ブロー水を回収するプロセスでは、前処理ろ過(砂ろ過、活性炭、MF膜等)とRO膜やEDR(極性転換方式電気透析装置)との組合せの処理が行われる。従来のブロー水回収プロセスでは、ブロー水の全量を前処理膜やMF膜等で処理した後にRO膜へ供給する。このRO膜等により、水処理薬品や溶存塩類等が濃縮水中に濃縮されて系外に排出され、RO膜等の透過水が回収水として回収される。
上記従来の回収プロセスでは、水処理に有効な成分であるカルシウム、亜鉛、ポリマー、りん酸や、ホスホン酸等の薬剤の成分など、原水中に含まれる各種の有用成分も全て濃縮水に含まれて系外に排出されてしまう。従来の回収プロセスでは、RO膜等で、亜鉛やりん酸、有機物(TOC,COD)等も濃縮されるため、RO膜等のファウリングが起きやすくなる。また、濃縮水を排出するに際しては、亜鉛やりん酸、COD,BOD等を除去処理する必要がある。
本発明は、有用成分が回収され、系外へ排出する水の処理が容易であり、装置の運転トラブルも防止される水処理装置を提供することを目的とする。
本発明の水処理装置は、水系からの水を受け入れて透過処理する、有用成分非透過性の選択性透過膜を有した選択性透過膜装置と、該選択性透過膜装置の透過水を脱イオン処理する脱イオン装置と、前記選択性透過膜装置の非透過水と該脱イオン装置の脱イオン水とを前記水系に戻す手段とを有する。
本発明の一態様では、前記水系の水は、防錆剤、スケール防止剤及びスライム防止剤の少なくとも1種を含んでいる。
本発明の一態様では、前記水系は冷却水系、水処理装置、又は水処理装置に補給水を供給する補給水系である。
本発明の一態様では、前記選択性透過膜はNF膜であり、前記脱イオン装置はRO装置又は電気脱イオン装置である。
本発明では、水系からの水を、選択性透過膜(2価以上のイオンの排除率が高い膜、有機物を排除する膜等)で処理し、この選択性透過膜の透過水をRO膜やEDR等の脱イオン装置で処理する。そして、選択性透過膜の非透過水を水系に返送して有用成分を回収する。また、脱イオン装置の脱イオン水を水系に返送して水を回収する。このようにして、有用成分及び水が回収される。
本発明では、脱イオン装置への給水は選択性透過膜で有用成分が除去されているため、脱イオン装置からの排水には有用成分が含まれておらず、脱イオン装置の排水の処理が容易となる。脱イオン装置への給水は、選択性透過膜で処理されているため、不純物濃度が低減されており、脱イオン装置の安定運転が可能となる。
選択性透過膜として、中空糸タイプの低圧型NF膜を用いる場合、従来の前処理膜の役割を代替することができ、装置を小型化することができる。
以下、図1を参照して実施の形態について説明する。図1では水系は循環冷却水系であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、有用成分を含む水を保持した各種水系の処理に適用することができる。
図1の水処理装置では、水系1の水の一部は、ポンプ2によって前処理膜(例えばMF膜や砂濾過、多層濾過(MMF)、2層濾過(DMF)、カートリッジフィルターなど)やストレーナ等よりなる前処理装置3に供給され、粒径の大きな固形物質が除去されて前処理水となる。この前処理水は、選択性透過膜装置としてのNF装置4に供給される。NF装置4の非透過水(濃縮水)は、配管5を介して水系1へ返送される。非透過水の一部は、必要に応じ、配管6から系外に排出される。
NF装置の透過水は、配管7、ポンプ8を介して脱イオン装置としてのRO装置9に供給される。RO装置の代りにEDRなどの電気透析装置が用いられてもよい。RO装置9の透過水は、配管10を介して水系1に返送される。RO装置9の非透過水(濃縮水)は、配管11から系外に排出される。水回収率向上のために、その一部は、配管12を介してRO装置への給水配管7へ返送され、再度RO処理される。
この実施の形態では、冷却水系1には、防錆剤、スケール防止剤、スライム防止剤などの水処理薬剤が添加されており、水系1からの水中には、各種有用成分(ポリマー、りん酸塩、有機りん酸化合物、亜鉛イオン、カルシウムイオン等)が含まれている。これらの有用成分はNF装置4で非透過水に回収され、水系1に戻される。RO装置9からの脱イオン水も配管10を介して水系1に回収されるので、水が有効利用され、補給水量が少なくなる。
RO装置9の濃縮水には、水処理上不要であったり、その成分によっては水処理の上限が決められてしまうような成分(塩化物イオンやシリカ等)が含まれている。濃縮水を排出することにより、これらの成分が系外に排出される。このように、塩化物やシリカ等の、水処理上問題を引き起こす可能性のある成分を選択的に除去できるため、このような成分の水系中での濃度を低下させることができる。
水系1において有用成分が過剰に濃縮しないように水系1からブローすることも必要に応じて実施する。図1の場合、NF装置の濃縮水の一部を配管6から系外に排出することにより、水系からのブロー水量を削減することができる。
本発明は、冷却水系以外にも、防錆剤やスケール防止剤などの薬剤を添加している各種水系にも適用可能である。
[実施例1]
<処理1>
実機循環冷却水系から採取したサンプル水を、図2に示すNF膜モジュールを用いた循環処理装置によってNF膜ろ過して濃縮処理した。
<処理1>
実機循環冷却水系から採取したサンプル水を、図2に示すNF膜モジュールを用いた循環処理装置によってNF膜ろ過して濃縮処理した。
図2では、タンク20内のサンプル水がポンプ21、配管22を介してNF膜モジュール23へ供給される。ポンプ21の吐出水の一部は配管29でタンク20へ返送される。NF膜モジュール23の濃縮水は、定流量弁25を有した配管24を介してタンク20へ返送される。NF膜モジュール23の透過水は、配管26から透過水槽27へ導入され、重量測定器28で水量が測定される。
この装置の運転を継続することにより、タンク20内の水が徐々に濃縮される。
NF膜としてはDe.MEM社製のもの(中空糸タイプNF膜)を用いた。入口圧力0.25~0.3MPaにて、50%回収の条件で膜濾過した。タンク20にサンプル水を5L取り入れ、透過水の水量が2.5Lとなった時点で、通水を終了した。
<処理2>
上記処理1で得られた透過水に対してスケール防止剤(栗田工業社製Kuriverter N-500)を10mg/L添加し、図3に示した、RO膜(Hydranautics社製、PA膜ES-20)を有するROシステムを用いて、透過水の回収率70%、一定透過水量で運転を実施した。膜間差圧(TMP,Trans Membrane Pressure)および、溶液電気伝導率をモニタリングし、溶液浸透圧を補正した膜間差圧0.75MPa、25℃条件の規格化透過流束Normalized Flux(m3/m2/day)を算出した。
上記処理1で得られた透過水に対してスケール防止剤(栗田工業社製Kuriverter N-500)を10mg/L添加し、図3に示した、RO膜(Hydranautics社製、PA膜ES-20)を有するROシステムを用いて、透過水の回収率70%、一定透過水量で運転を実施した。膜間差圧(TMP,Trans Membrane Pressure)および、溶液電気伝導率をモニタリングし、溶液浸透圧を補正した膜間差圧0.75MPa、25℃条件の規格化透過流束Normalized Flux(m3/m2/day)を算出した。
図3のROシステムでは、前記タンク20内の濃縮されたサンプル水を給水としてポンプ30、配管31を介してROユニット32のベッセル33に供給する。ベッセル33内は、平膜よりなるRO膜34によって1次室35と2次室36とに区画されている。ベッセル33は、循環ポンプ38及びヒータ39を備えたウォーターバス37内に配置されている。1次室35内は、マグネチックスターラ40によって撹拌される。1次室35を通液した非透過水(濃縮水)は、配管41、定圧弁42及び電気伝導度計43を経て濃縮水槽44に流入する。濃縮水槽44は重量測定器45上に設置されており、濃縮水槽44に流入する濃縮水量が測定され、そのデータがロガー46に記録される。
RO膜34を透過した2次室36内の透過水は、配管50、電気伝導度計51を経て透過水槽52に流入する。透過水槽52は重量測定器53上に設置されており、透過水槽52に流入する透過水量が測定され、そのデータがロガー54に記録される。
前記配管31,50には圧力センサ60,61が設けられており、水圧データがロガー62に記録される。
前記サンプル水と、図2のNF膜濃縮水及び透過水と、図3のRO膜透過水及び濃縮水の水質の分析結果を表1に示した。表1には、上記NF膜及びRO膜のリジェクト率も示した。
<考察>
冷却水の水処理において防食やスケール防止に重要となるカルシウム硬度、亜鉛、りん酸イオンやホスホン酸、ポリマー等は、図2のNF膜モジュール23の処理により、65~100%の高い率でリジェクトされた。一方で、腐食やスケールの因子となる塩化物イオンやシリカのNF膜排除率(リジェクト率)は-1~11%と低く、NF膜を通過している。
冷却水の水処理において防食やスケール防止に重要となるカルシウム硬度、亜鉛、りん酸イオンやホスホン酸、ポリマー等は、図2のNF膜モジュール23の処理により、65~100%の高い率でリジェクトされた。一方で、腐食やスケールの因子となる塩化物イオンやシリカのNF膜排除率(リジェクト率)は-1~11%と低く、NF膜を通過している。
図3のROシステムでは、RO膜の閉塞を引き起こす有機物成分は、RO膜処理によってそのほとんどが除去されている。図5に平膜試験によるRO膜の評価試験の結果として、Normalized Fluxの推移を示した。RO膜の透過流束は安定しており、スケールや有機物等のファウリングによる閉塞は確認されなかった。この結果より、RO膜により、不要なイオンが濃縮され、系外へ安定的に排出されることが認められた。
薬品成分(Zn,T-PO4,Polymer等)や有機物は、表1の通り、NF膜をほとんど透過せず、系内で再循環されるため、薬品の使用量が削減され、RO濃縮水中のZn,P,BOD濃度が低下した(Zn=0.7,P=1.3,BOD<20)。このことにより、環境負荷を低減すると共に、追加の処理を必要とせず排水することも可能となる。
[比較例1]
<実験条件>
実施例1と同じ実機実冷却水をサンプル水とし、これを図4に示すようにMF膜(クラレ社、PVDF製 孔径0.02μm)を用いて、入口圧力0.25~0.3MPaの条件にて全量濾過した。図4では、タンク70内のサンプル水がポンプ71、配管72、NF膜モジュール73、配管74の順に流れ、濾過水槽75に導入され、重量測定器76で水量が計測される。ポンプ71の吐出水の一部は配管77でタンク70へ返送される。
<実験条件>
実施例1と同じ実機実冷却水をサンプル水とし、これを図4に示すようにMF膜(クラレ社、PVDF製 孔径0.02μm)を用いて、入口圧力0.25~0.3MPaの条件にて全量濾過した。図4では、タンク70内のサンプル水がポンプ71、配管72、NF膜モジュール73、配管74の順に流れ、濾過水槽75に導入され、重量測定器76で水量が計測される。ポンプ71の吐出水の一部は配管77でタンク70へ返送される。
この濾過水にスケール防止剤(栗田工業社製Kuriverter N-500)を10mg/L添加した検水Aと、硫酸(1N)を3.4mL/L添加しpHを5.6に調整した検水Bを調製した。
各検水A,Bを前記図3に示したROシステム(RO膜は前記のものと同一)を用いて、透過水の回収率70%、30℃、一定透過水量で運転を実施し、膜間差圧(TMP,Trans Membrane Pressure)および溶液電気伝導率をモニタリングし、溶液浸透圧を補正した膜間差圧0.75MPa、25℃条件のNormalized Flux(m3/m2/day)を演算した。
<結果・考察>
検水Aを用いたときの水質分析結果および平膜試験装置によるNormalized Fluxの推移の観察結果をそれぞれ、表2、図6にそれぞれ示した。また、検水Bを用いたときの水質分析結果および平膜試験装置によるNormalized Fluxの推移の観察結果をそれぞれ、表3、図7に示した。
検水Aを用いたときの水質分析結果および平膜試験装置によるNormalized Fluxの推移の観察結果をそれぞれ、表2、図6にそれぞれ示した。また、検水Bを用いたときの水質分析結果および平膜試験装置によるNormalized Fluxの推移の観察結果をそれぞれ、表3、図7に示した。
表2、図5の通り、MF膜透過水にスケール防止剤を添加しただけの検水Aでは、カルシウム濃度も高くまた有機物も多く残存していることから、スケール防止剤を添加してMF及びRO処理しても、RO膜に明確なNormalized Fluxの閉塞傾向が確認された。pHを硫酸により調整した検水Bの場合は、スケール傾向が出ないためにFluxの低下は確認されず安定運定が可能となった。
硫酸によるpH調整はRO膜の運転の安定には効果的ではあるが、1m3のサンプルを処理するためには、90%硫酸として185gの添加が必要となり、例えば時間10m3の装置であれば、1ヶ月当たり1,300kg強の消費になることから、タンクや保管場所の管理が課題となる。
また、ROの濃縮水には、薬品成分(亜鉛、りん酸、ポリマー等)が含まれる事から、その排出先の基準を満たす事が困難となり、追加の処理もしくは、産廃への排出、回収率の低減等を検討する必要が生じる。
本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更が可能であることは当業者に明らかである。
本出願は、2018年3月14日付で出願された日本特許出願2018-046832に基づいており、その全体が引用により援用される。
本出願は、2018年3月14日付で出願された日本特許出願2018-046832に基づいており、その全体が引用により援用される。
1 水系
4 NF装置
9 RO装置
4 NF装置
9 RO装置
Claims (4)
- 水系からの水を受け入れて透過処理する、有用成分非透過性の選択性透過膜を有した選択性透過膜装置と、
該選択性透過膜装置の透過水を脱イオン処理する脱イオン装置と、
前記選択性透過膜装置の非透過水と該脱イオン装置の脱イオン水とを前記水系に戻す手段と
を有する水処理装置。 - 前記水系の水は、防錆剤、スケール防止剤及びスライム防止剤の少なくとも1種を含んでいることを特徴とする請求項1の水処理装置。
- 前記水系は冷却水系、水処理装置、又は水処理装置に補給水を供給する補給水系であることを特徴とする請求項1又は2の水処理装置。
- 前記選択性透過膜はNF膜であり、前記脱イオン装置はRO装置又は電気脱イオン装置であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項の水処理装置。
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