WO2016063465A1 - 状態検出センサ - Google Patents

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WO2016063465A1
WO2016063465A1 PCT/JP2015/005026 JP2015005026W WO2016063465A1 WO 2016063465 A1 WO2016063465 A1 WO 2016063465A1 JP 2015005026 W JP2015005026 W JP 2015005026W WO 2016063465 A1 WO2016063465 A1 WO 2016063465A1
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heat flux
sensor
heat
flux sensor
state detection
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PCT/JP2015/005026
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French (fr)
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倫央 郷古
坂井田 敦資
谷口 敏尚
岡本 圭司
芳彦 白石
Original Assignee
株式会社デンソー
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Publication date
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Priority to CN201580032589.6A priority patent/CN106461472B/zh
Priority to US15/329,272 priority patent/US10578496B2/en
Priority to EP15852234.2A priority patent/EP3211392B1/en
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    • G01K7/02Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Definitions

  • the present disclosure relates to a state detection sensor that detects the state of an object.
  • the abnormality determination apparatus includes a state detection sensor having a temperature sensor that detects the temperature of the upper surface of the object and a temperature sensor that detects the temperature of the lower surface of the object. Note that the object is subject to convection due to heat generation. Then, the abnormality determination device determines abnormal heat generation of the object based on a temperature difference between the temperature of the upper surface of the object and the temperature of the lower surface.
  • the temperature sensor is exposed to the outside air and is easily affected by a temperature change caused by the outside air. For this reason, the above-described state detection sensor has a problem that the temperature (state) of the object cannot be detected accurately depending on the state of the outside air. And in the abnormality determination apparatus using such a state detection sensor, since the temperature (state) of an object cannot be accurately detected by the state detection sensor, it is possible to accurately determine the abnormality of the object. There is a problem that it may not be possible.
  • This indication aims at providing the state detection sensor which can control that a detection accuracy falls regardless of the state of outside air in view of the above-mentioned point.
  • the present disclosure is a state detection sensor that outputs a sensor signal according to a state of an object, and a first heat flux sensor that outputs a first sensor signal according to a passing heat flux. And a second heat flux sensor that outputs a second sensor signal corresponding to the passing heat flux, a thermal buffer having a predetermined heat capacity, and a heat radiator having a predetermined heat capacity, the object side To the first heat flux sensor, the heat buffer, the second heat flux sensor, and the heat radiating body, and the first heat flux sensor corresponds to the heat flux between the object and the heat buffer.
  • a signal is output and a 2nd heat flux sensor provides the state detection sensor which outputs the 2nd sensor signal according to the heat flux between a thermal buffer and a thermal radiator.
  • the first heat flux sensor, the heat buffer having a predetermined heat capacity, the second heat flux sensor, and the heat radiator having a predetermined heat capacity are sequentially arranged from the object side. For this reason, it can suppress that the change of external air influences a 1st, 2nd heat flux sensor by discharge
  • prescribed heat capacity is arrange
  • the heat flux passing through the heat flux sensor becomes equal to the heat flux passing through the second heat flux sensor and abnormal heat generation occurs in the object, the heat flux passes through the first heat flux sensor instantaneously.
  • the heat flux and the heat flux passing through the second heat flux sensor are different (see FIGS. 7A and 7B). Therefore, according to the present disclosure, it is possible to output a sensor signal corresponding to the state of the object regardless of the state of the outside air, and it is possible to suppress a decrease in detection accuracy.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3.
  • FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 3.
  • FIG. 5 shows the manufacturing process of the 1st heat flux sensor shown in FIG. It is a figure which shows the heat flux which passes a 1st, 2nd heat flux sensor in case a blade part is normal.
  • the cutting device S1 includes a blade portion 1 and a pair of first and second jigs 2 and 3.
  • the blade portion 1 is fixed to the support member 4.
  • the first jig 2 has a main body 2a and three holding portions 2b protruding from the main body 2a in the same direction (only two are shown in FIG. 1), and three holding portions 2b.
  • the workpiece 10 is sandwiched.
  • the second jig 3 is disposed on the opposite side of the workpiece 10 from the side held by the first jig 2 so as to fix the workpiece 10 together with the first jig 2.
  • the workpiece 10 is fixed by the first and second jigs 2 and 3, and the direction along the protruding direction of the holding portion 2b of the first jig 2 is the center of the main body 2a.
  • the workpiece 10 is cut by bringing the workpiece 10 into contact with the blade portion 1 while rotating the workpiece 10 together with the first and second jigs 2 and 3 around the passing axial direction L.
  • the abnormality determination device S2 includes a state detection sensor (state detection device) 20 and a control unit (control device) 30, and the state detection sensor 20 is attached to the blade portion 1.
  • the state detection sensor 20 includes first and second heat flux sensors 20 a and 20 b, a thermal buffer 21 a, and a radiator 22.
  • first and second heat flux sensors 20a and 20b First, the configuration of the first and second heat flux sensors 20a and 20b will be described with reference to FIGS. Since the first and second heat flux sensors 20a and 20b have the same configuration, the first heat flux sensor 20a will be described as an example, but the reference numerals in parentheses in FIGS. This corresponds to the sign of the heat flux sensor 20b.
  • each of the first heat flux sensors 20a is formed by integrating an insulating base material 100, a front surface protection member 110, and a back surface protection member 120, and the first, The second interlayer connection members 130 and 140 are alternately connected in series.
  • the surface protection member 110 is omitted for easy understanding.
  • the insulating base material 100 is composed of a planar rectangular thermoplastic resin film represented by polyetheretherketone (PEEK), polyetherimide (PEI), and liquid crystal polymer (LCP).
  • PEEK polyetheretherketone
  • PEI polyetherimide
  • LCP liquid crystal polymer
  • first and second via holes 101 and 102 of the present embodiment have a cylindrical shape with a constant diameter from the front surface 100a to the back surface 100b of the insulating base material 100, but from the front surface 100a to the back surface 100b. You may be made into the taper shape where a diameter becomes small toward it. Moreover, it may be made into the taper shape where a diameter becomes small toward the surface 100a from the back surface 100b, and you may be made into the square cylinder shape.
  • a first interlayer connection member 130 is disposed in the first via hole 101, and a second interlayer connection member 140 is disposed in the second via hole 102.
  • the first and second interlayer connection members 130 and 140 are alternately arranged on the insulating base material 100.
  • the first and second interlayer connection members 130 and 140 are made of different conductive metals so as to exhibit the Seebeck effect.
  • the first interlayer connecting member 130 includes a metal compound (solid-sintered) in which a powder of a Bi—Sb—Te alloy constituting P-type maintains a crystal structure of a plurality of metal atoms before sintering. Sintered alloy).
  • the second interlayer connecting member 140 is made of a metal compound obtained by solid-phase sintering so that Bi-Te alloy powder constituting N-type maintains the crystal structure of a plurality of metal atoms before sintering.
  • the electromotive voltage can be increased by using a metal compound that is solid-phase sintered so as to maintain a predetermined crystal structure as the first and second interlayer connection members 130 and 140.
  • FIG. 3 is not a cross-sectional view, but the first and second interlayer connection members 130 and 140 are hatched for easy understanding.
  • a surface protection member composed of a planar rectangular thermoplastic resin film represented by polyether ether ketone (PEEK), polyether imide (PEI), and liquid crystal polymer (LCP) on the surface 100a of the insulating substrate 100 110 is arranged.
  • the surface protection member 110 has the same size as the planar shape of the insulating base material 100, and has a plurality of conductive surface patterns (a plurality of conductive patterns) in which a copper foil or the like is patterned on the side 110a facing the insulating base material 100. Are formed so as to be separated from each other.
  • Each surface pattern 111 is appropriately electrically connected to the first and second interlayer connection members 130 and 140, respectively.
  • first and second layers of each set 150 are shown.
  • the connection members 130 and 140 are connected to the same surface pattern 111. That is, the first and second interlayer connection members 130 and 140 of each set 150 are electrically connected via the surface pattern 111.
  • one first interlayer connection member 130 and one second interlayer connection member 140 that are adjacent along the longitudinal direction of the insulating base material 100 (the left-right direction in FIG. 4) are formed into a set 150. ing.
  • a back surface protection member composed of a planar rectangular thermoplastic resin film represented by polyether ether ketone (PEEK), polyether imide (PEI), and liquid crystal polymer (LCP). 120 is arranged.
  • the back surface protection member 120 has the same size as the planar shape of the insulating base material 100, and has a plurality of back surface patterns (a plurality of conductive patterns) in which a copper foil or the like is patterned on one surface 120 a facing the insulating base material 100. Are formed so as to be separated from each other.
  • Each back pattern 121 is appropriately electrically connected to the first and second interlayer connection members 130 and 140, respectively.
  • the first interlayer connection member 130 of one set 150 and the second interlayer connection member 140 of the other set 150 are connected to the same back surface pattern 121. That is, the first and second interlayer connection members 130 and 140 are electrically connected via the same back surface pattern 121 across the set 150.
  • the first and second interlayer connection members 130 and 140 adjacent to each other along the direction orthogonal to the longitudinal direction are the same at the outer edge of the insulating base material 100.
  • the back surface pattern 121 is connected. More specifically, the adjacent first and second interlayer connection members 130 and 140 are the same on the back so that those connected in series via the front surface pattern 111 and the back surface pattern 121 are folded back in the longitudinal direction of the insulating substrate 100. It is connected to the pattern 121.
  • the above is the basic configuration of the first heat flux sensor 20a in the present embodiment.
  • the configuration of the second heat flux sensor 20b is the same as that of the first heat flux sensor 20a.
  • the first and second via holes 201 and 202 are formed in a cylindrical shape having a constant diameter from the front surface 200a to the back surface 200b of the insulating base 200.
  • a first interlayer connection member 230 is disposed in the first via hole 201, and a second interlayer connection member 240 is disposed in the second via hole 202.
  • the surface protection member 210 has the same size as the planar shape of the insulating base material 200, and a plurality of surface patterns 211 patterned with copper foil or the like on one surface 210a facing the insulating base material 200 are separated from each other. Is formed.
  • Each surface pattern 211 is appropriately electrically connected to the first and second interlayer connection members 230 and 240, respectively.
  • the back surface protection member 220 has the same size as the planar shape of the insulating base material 200, and a plurality of back surface patterns 221 patterned with copper foil or the like on the one surface 220 a side facing the insulating base material 200 are separated from each other. Is formed.
  • Each back pattern 221 is electrically connected to the first and second interlayer connection members 230 and 240 as appropriate. 4, when one adjacent first interlayer connection member 230 and one second interlayer connection member 240 are set as a set 250, the first and second interlayer connection members 230 of each set 250, 240 is connected to the same surface pattern 211.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b output a sensor signal (electromotive voltage) corresponding to the heat flux passing through the first and second heat flux sensors 20a and 20b in the thickness direction. This is because when the heat flux changes, the electromotive voltage generated in the first and second interlayer connection members 130 and 140 alternately connected in series changes.
  • the thickness direction of the first and second heat flux sensors 20a and 20b is the stacking direction of the insulating base material 100, the surface protection member 110, and the back surface protection member 120, and is orthogonal to the plane of the insulating base material 100. It is a direction.
  • the manufacturing method of the first heat flux sensor 20a will be described with reference to FIGS. 6 (a) to 6 (h).
  • the manufacturing method of the second heat flux sensor 20b is the same as that of the first heat flux sensor 20a.
  • an insulating substrate 100 is prepared, and a plurality of first via holes 101 are formed by a drill, a laser, or the like.
  • each first via hole 101 is filled with a first conductive paste 131.
  • a method (apparatus) for filling the first via hole 101 with the first conductive paste 131 the method (apparatus) described in Japanese Patent Application No. 2010-50356 (Japanese Patent Laid-Open No. 2011-187619) by the present applicant is adopted. Good.
  • the insulating base material 100 is arranged on a holding table (not shown) with the suction paper 160 therebetween so that the back surface 100b faces the suction paper 160. Then, the first conductive paste 131 is filled into the first via hole 101 while the first conductive paste 131 is melted. As a result, most of the organic solvent of the first conductive paste 131 is adsorbed by the adsorption paper 160, and the alloy powder is placed in close contact with the first via hole 101.
  • the adsorbing paper 160 may be made of a material that can absorb the organic solvent of the first conductive paste 131, and general high-quality paper or the like is used.
  • the first conductive paste 131 is a paste obtained by adding an organic solvent such as paraffin having a melting point of 43 ° C. to a powder of Bi—Sb—Te alloy in which metal atoms maintain a predetermined crystal structure. Used. For this reason, when the first conductive paste 131 is filled, the surface 100a of the insulating substrate 100 is heated to about 43 ° C.
  • a plurality of second via holes 102 are formed in the insulating base material 100 by a drill, a laser, or the like. As described above, the second via holes 102 are formed alternately with the first via holes 101 so as to form a staggered pattern together with the first via holes 101.
  • the second conductive paste 141 is filled in each second via hole 102. This step can be performed in the same step as in FIG.
  • the insulating substrate 100 is disposed again on the holding table (not shown) via the suction paper 160 so that the back surface 100b faces the suction paper 160, and then the second conductive paste 141 is filled in the second via hole 102. To do. As a result, most of the organic solvent of the second conductive paste 141 is adsorbed by the adsorption paper 160, and the alloy powder is placed in close contact with the second via hole 102.
  • the second conductive paste 141 is a Bi-Te alloy powder in which metal atoms different from the metal atoms constituting the first conductive paste 131 maintain a predetermined crystal structure, and an organic solvent such as terpine having a melting point of room temperature. A paste made by adding is used. That is, the organic solvent constituting the second conductive paste 141 has a lower melting point than the organic solvent constituting the first conductive paste 131. And when filling the 2nd conductive paste 141, it is performed in the state by which the surface 100a of the insulating base material 100 was hold
  • the state in which the organic solvent contained in the first conductive paste 131 is solidified means that the organic solvent remaining in the first via hole 101 without being adsorbed by the adsorption paper 160 in the process of FIG. That is.
  • one surface 110a, 120a of the surface protection member 110 and the back surface protection member 120 facing the insulating substrate 100 is formed.
  • a copper foil or the like is formed.
  • the surface protection member 110 formed with a plurality of surface patterns 111 spaced apart from each other, and the back surface protection member 120 formed with a plurality of back surface patterns 121 spaced apart from each other.
  • the back surface protection member 120, the insulating base material 100, and the surface protection member 110 are sequentially laminated to form a laminate 170.
  • the laminated body 170 is disposed between a pair of press plates (not shown), and is pressed while being heated in a vacuum state from the upper and lower surfaces in the laminating direction. Integrate. Specifically, the first and second conductive pastes 131 and 141 are solid-phase sintered to form the first and second interlayer connection members 130 and 140, and the first and second interlayer connection members 130, The laminated body 170 is integrated by applying pressure while heating so that the front surface pattern 111 and the back surface pattern 121 are connected to each other.
  • a cushioning material such as rock wool paper may be disposed between the laminate 170 and the press plate. As described above, the first heat flux sensor 20a is manufactured.
  • the thermal buffer (heat storage body) 21a which is a heat conductor, is a flat plate made of a material having a predetermined heat capacity (thermal resistance), and is made of a metal such as Cu or Al. And resin.
  • the heat buffer 21 a is illustrated as having the same size as the first and second heat flux sensors 20 a and 20 b, but the first and second heat flux sensors 20 a and 20 b The size of the planar shape may be different from 20b.
  • the thermal buffer 21a includes the first heat flux sensor in a plane parallel to the plane of the insulating base material 100 of the first heat flux sensor 20a and the plane of the insulating base material 200 of the second heat flux sensor 20b.
  • the metal plate is made of a metal such as Cu or Al.
  • the heat radiator 22 has a flat plate shape made of a material having a predetermined heat capacity (thermal resistance), and is made of a metal such as Cu or Al, a resin, or the like. In the present embodiment, the material, thickness, and the like of the heat radiator 22 are appropriately adjusted so that the heat capacity is larger than the heat capacity of the heat buffer 21a.
  • the radiator 22 is made larger than the planar shape of the first and second heat flux sensors 20a and 20b and the heat buffer 21a. In the present embodiment, the heat radiator 22 directly radiates heat to the surrounding outside air, but may radiate heat to another heat sink, a coolant, or the like.
  • the state detection sensor 20 is arrange
  • the blade portion 1 corresponds to the object of the present disclosure.
  • the state detection sensor 20 is viewed from the arrangement direction (stacking direction) of the first heat flux sensor 20a, the thermal buffer 21a, the second heat flux sensor 20b, and the heat radiator 22, the second of the heat radiators 22. A portion protruding from the heat flux sensor 20 b is fixed to the blade portion 1 by being fastened to the blade portion 1 with a screw 23.
  • a spacer 24 made of resin or the like is disposed between the blade portion 1 and the radiator 22 so that the blade portion 1 and the radiator 22 are separated by a predetermined distance.
  • the screw 23 passes through the spacer 24 and is screwed to the blade portion 1.
  • an adhesive heat transfer sheet, heat transfer paste, or the like can be used between the first heat flux sensor 20a, the heat buffer 21a, the second heat flux sensor 20b, and the heat radiating body 22.
  • a heat transfer member is disposed and bonded to each other via the heat transfer member or the like.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are output from the first heat flux sensor 20a when a heat flux is generated between the blade portion 1 and the radiator 22 (outside air).
  • the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal output from the second heat flux sensor 20b are arranged to be opposite in polarity. That is, for example, when the polarity of the voltage of the first sensor signal is positive, the first and second heat flux sensors 20a and 20b are arranged so that the polarity of the voltage of the second sensor signal is negative. Yes.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are arranged so that the surface protecting members 110 face each other.
  • the external wiring 302 has connected the back surface pattern 121 provided in the output end 601a (refer FIG. 3) of the 1st heat flux sensor 20a to the control part 30.
  • FIG. In the external wiring 301 the surface pattern 111 provided on the connection end 601b (see FIG. 3) opposite to the output end 601a of the first heat flux sensor 20a is connected to the connection end 701b (see FIG. 3) of the second heat flux sensor 20b. )
  • the external wiring 303 connects the back surface pattern 221 provided at the output end 701 a opposite to the connection end 701 b of the second heat flux sensor 20 b to the control unit 30.
  • the external wiring 301 is extended downward in FIG. 2, but may be extended upward in FIG.
  • first and second flux sensors 20a and 20b By arranging the first and second flux sensors 20a and 20b to face each other as described above, for example, when the heat flux passes through the first heat flux sensor 20a from the back surface protection member 120 side to the surface protection member 110 side. Since the heat flux passes through the second heat flux sensor 20b from the front surface protection member 210 side to the back surface protection member 220 side, the first and second sensors output from the first and second heat flux sensors 20a and 20b. The polarity of the signal voltage is reversed.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b have positive voltage sensor signals when the heat flux from the back surface protection members 120 and 220 to the surface protection members 110 and 210 passes. Is arranged to output. For this reason, when the heat flux which goes to the heat radiating body 22 side from the blade part 1 side generate
  • a heat flux passing through the sensor 20b from the front surface protection member 210 side to the back surface protection member 220 side is generated, a positive voltage sensor signal is output from the first heat flux sensor 20a and a negative voltage is output from the second heat flux sensor 20b. A voltage sensor signal is output.
  • the above is the configuration of the state detection sensor 20 in the present embodiment.
  • the control unit 30 includes a CPU, various memories constituting a storage device (storage means), peripheral devices, and the like, and is connected to a speaker (sound means), a display device (display means), and the like (not shown). .
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are connected, and when the first and second sensor signals are input from the first and second heat flux sensors 20a and 20b, the first and second heat flux sensors 20a and 20b are connected. Based on the second sensor signal and the threshold value stored in the storage means, it is determined whether or not abnormal heat generation has occurred in the blade portion 1.
  • control unit 30 determines whether or not abnormal heat generation has occurred in the blade unit 1 by comparing the sum of the voltages of the first and second sensor signals with a threshold value.
  • the operator is notified that abnormal heat generation has occurred in the blade portion 1 via a display device (display means) or a speaker (sound means).
  • the abnormal heat generation in the blade portion 1 occurs when, for example, blade spillage occurs in the blade portion 1.
  • the above is the configuration of the abnormality determination device S2 in the present embodiment.
  • an abnormality determination method using the abnormality determination device S2 will be described.
  • the heat flux passing through the first and second heat flux sensors 20a and 20b in the state detection sensor 20 and the first and second sensor signals output from the first and second heat flux sensors 20a and 20b will be described.
  • the heat radiating body 22 is exposed to the outside air, but has a predetermined heat capacity as described above. For this reason, in the case of changes such as outside air, heat is accumulated and released with respect to the temperature change of the outside air in the heat radiating body 22, so that the first and second positions located on the blade portion 1 side from the heat radiating body 22. It is possible to suppress the heat flux sensors 20a and 20b from being affected by outside air.
  • FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the time of the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal when abnormal heat generation occurs in the blade portion 1 at time T1.
  • control unit 30 determines whether or not abnormal heat generation has occurred in the blade unit 1 based on the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal and the threshold value. In the present embodiment, it is determined whether or not the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal is greater than a threshold value. If the sum is greater than the threshold value, abnormal heat generation occurs in the blade portion 1 (cutting device S1). It is determined that
  • the control part 30 determines with the blade part 1 being normal.
  • the control unit 30 determines that the abnormal heat generation has occurred in the blade unit 1 and notifies the operator that the abnormal heat generation has occurred in the blade unit 1 via a voice unit, a display unit, or the like.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b that output the first and second sensor signals corresponding to the heat flux passing in the thickness direction, A heat buffer 21a and a heat radiator 22 having a predetermined heat capacity are provided.
  • the 1st heat flux sensor 20a, the thermal buffer 21a, the 2nd heat flux sensor 20b, and the heat radiator 22 are arrange
  • the thermal buffer 21a is disposed between the first heat flux sensor 20a and the second heat flux sensor 20b, the first heat flux sensor is used when no abnormal heat is generated in the blade portion 1.
  • the heat flux passing through 20a becomes equal to the heat flux passing through the second heat flux sensor 20b, and abnormal heat generation occurs in the blade portion 1, it instantaneously passes through the first heat flux sensor 20a.
  • the heat flux and the heat flux passing through the second heat flux sensor 20b are different (see FIGS. 7A and 7B). Therefore, it can suppress that the detection accuracy which detects the state of the blade part 1 falls irrespective of the state of external air.
  • the state detection sensor 20 can output highly accurate first and second sensor signals regardless of the state of the outside air.
  • the determination accuracy of abnormal heat generation in the unit 1 can be improved.
  • the first heat flux sensor 20a and the second heat flux sensor 20b are the first sensor signal voltage output from the first heat flux sensor 20a and the second heat flux sensor 20b.
  • the two sensor signals are arranged so that their polarities are opposite to each other. For this reason, the arithmetic processing in the control part 30 can be simplified.
  • the first and second via holes 101 and 102 are formed in the insulating base material 100 made of a thermoplastic resin, and the first and second interlayer connection members 130 are formed in the first and second via holes 101 and 102. , 140 are arranged to constitute the first and second heat flux sensors 20a, 20b. Therefore, it is possible to increase the density of the first and second interlayer connection members 130 and 140 by appropriately changing the number, diameter, interval, and the like of the first and second via holes 101 and 102. Thereby, an electromotive voltage can be enlarged and the high sensitivity of the 1st, 2nd heat flux sensors 20a and 20b can be achieved.
  • first and second heat flux sensors 20a and 20b of the present embodiment are solid phase so that the crystal structure before sintering is maintained as the first and second interlayer connection members 130, 140, 230, and 240.
  • Sintered metal compounds (Bi—Sb—Te alloy, Bi—Te alloy) are used. That is, the metal forming the first and second interlayer connection members 130, 140, 230, and 240 is a sintered alloy that is sintered in a state where a plurality of metal atoms maintain the crystal structure of the metal atoms.
  • first and second heat flux sensors 20a and 20b of the present embodiment are configured such that the insulating base materials 100 and 200, the surface protection members 110 and 210, and the back surface protection members 120 and 220 are made of a thermoplastic resin. , Has flexibility. For this reason, the 1st, 2nd heat flux sensors 20a and 20b can be suitably changed according to the shape of the portion where the 1st and 2nd heat flux sensors 20a and 20b are arranged.
  • abnormality determination is performed by determining whether the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal is greater than the threshold value.
  • the abnormality determination may be performed based on a period (a period from time T2 to time T4 in FIG. 8) in which the sum of the voltage of the second sensor signal is larger than the threshold value. According to this, the case where the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal is instantaneously larger than the threshold due to noise or the like can be excluded, and the determination accuracy can be further improved. it can.
  • the state detection sensor 20 includes a heat receiving body 25 disposed on the opposite side of the heat buffer 21a with the first heat flux sensor 20a interposed therebetween. That is, the state detection sensor 20 is provided with the heat receiving body 25 arrange
  • the heat receiving body 25 has a flat plate shape made of a material having a predetermined heat capacity (thermal resistance), and is made of a metal such as Cu or Al, a resin, or the like. Yes.
  • the heat receiving body 25 of the present embodiment is appropriately adjusted in material and thickness so that the heat capacity is smaller than that of the heat buffer 21a and the heat radiating body 22.
  • the state detection sensor 20 includes the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d in addition to the first and second heat flux sensors 20a and 20b and the heat buffer 21a. And thermal buffers 21b and 21c.
  • the state detection sensor 20 includes a first heat flux sensor 20a, a heat buffer 21a, a second heat flux sensor 20b, a heat buffer 21b, a third heat flux sensor 20c, a heat buffer 21c, The four heat flux sensors 20d and the radiator 22 are arranged in this order.
  • the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d have the same configuration as the first and second heat flux sensors 20a and 20b, and receive the third and fourth sensor signals corresponding to the heat flux passing in the thickness direction. Output.
  • the same reference numerals as those of the first heat flux sensor 20a are attached to the parts, and the insulating base material 200, the surface protection member 210, the surface pattern 211, the back surface protection member 220, the back surface pattern 221 and the first heat flux sensor 20d in the fourth heat flux sensor 20d.
  • 1, the same reference numerals as those of the second heat flux sensor 20b are attached to the respective portions of the second interlayer connection members 230 and 240.
  • the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d are arranged so that the surface protection members 110 and 210 face each other, like the first and second heat flux sensors 20a and 20b.
  • the external wiring 304 connects the back surface pattern 121 provided at the output end 601a (see FIG. 3) of the third heat flux sensor 20c to the control unit 30.
  • the external wiring 305 uses the surface pattern 111 provided on the connection end 601b (see FIG. 3) opposite to the output end 601a of the third heat flux sensor 20c as the connection end 701b (see FIG. 3) of the fourth heat flux sensor 20d. ) To the surface pattern 211 provided in FIG.
  • the external wiring 306 connects the back surface pattern 221 provided at the output end 701 a opposite to the connection end 701 b of the fourth heat flux sensor 20 d to the control unit 30.
  • the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d to face each other, for example, when the heat flux passes through the third heat flux sensor 20c from the back surface protection member 120 side to the surface protection member 110 side, for example. Since the heat flux passes through the fourth heat flux sensor 20d from the front surface protection member 210 side to the back surface protection member 220 side, the third and fourth sensor signals output from the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d. The polarities of the voltages are opposite to each other.
  • the thermal buffer bodies 21b and 21c have a flat plate shape made of a material having a predetermined heat capacity (thermal resistance), like the thermal buffer body 21a, such as a metal such as Cu or Al, a resin, or the like. It consists of In the present embodiment, the thermal buffers 21a to 21c are configured to have the same heat capacity.
  • the thermal buffers 21a to 21c are provided as a first thermal buffer (first thermal storage body), a second thermal buffer (second thermal storage body), and a third thermal buffer (third thermal storage body), respectively. Yes.
  • the control unit 30 is adapted to receive the third and fourth sensor signals in addition to the first and second sensor signals.
  • the first to fourth sensor signals are input, the sum of the voltages of the first and second sensor signals and the sum of the voltages of the third and fourth sensor signals are added, and the added value and the threshold value are added. To determine whether or not abnormal heat generation has occurred in the blade portion 1.
  • FIG. 11 shows an added value obtained by adding the sum of the voltages of the first and second sensor signals and the sum of the voltages of the third and fourth sensor signals when abnormal heat generation occurs in the blade portion 1 at time T11. It is a figure which shows the relationship between time and time.
  • control unit 30 controls the blade unit 1 based on the addition value obtained by adding the sum of the voltages of the first and second sensor signals, the sum of the voltages of the third and fourth signals, and the threshold value. It is determined whether or not abnormal heat generation has occurred.
  • the control part 30 determines with the blade part 1 being normal.
  • heat due to abnormal heat is also accumulated in the heat buffers 21b and 21c in order. That is, after the heat flux passing through the first heat flux sensor 20a is increased, the heat flux passing through the second heat flux sensor 20b, the third heat flux sensor 20c, and the fourth heat flux sensor 20d is sequentially increased. That is, the difference between the heat flux passing through the first heat flux sensor 20a and the heat flux passing through the second heat flux sensor 20b from time T13 is reduced, but the heat flux passing through the third heat flux sensor 20c, Since the heat fluxes passing through the four heat flux sensors 20d are different from each other, the added value increases again from time T14.
  • the added value is a value larger than the threshold during the period from time T12 to time T16.
  • the state detection sensor 20 may be configured to include the first to fourth heat flux sensors 20a to 20d and the thermal buffers 21a to 21c.
  • the period during which the added value is greater than the threshold becomes longer. For example, based on the period during which the added value is greater than the threshold.
  • noise that instantaneously exceeds the threshold value can be excluded. For this reason, it is possible to further improve the determination accuracy.
  • the state detection sensor 20 includes a first heat flux sensor 20a, a thermal buffer 21a, and a second heat flux sensor 20b arranged (stacked) in order.
  • the structural bodies 40a to 40i are used, the first to ninth structural bodies 40a to 40i are provided. Specifically, the first to ninth components 40a to 40i are centered on the first component 40a, and the second to ninth components 40b to 40i are evenly arranged around the first component 40a.
  • one heat radiating body 22 is disposed on the second heat flux sensor 20b of the first to ninth constituent bodies 40a to 40i. That is, in the present embodiment, the heat radiating body 22 is common to the first to ninth components 40a to 40i.
  • control unit 30 receives the first and second sensor signals from the first and second heat flux sensors 20a and 20b in the first to ninth components 40a to 40i, although not particularly illustrated. ing. Then, the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal in the first to ninth structural bodies 40a to 40i is added, and the added value is compared with a threshold value. It is determined whether or not abnormal heat generation has occurred.
  • first and second sensor signals similar to those in the first embodiment are output from the first and second heat flux sensors 20a and 20b in the first to ninth components 40a to 40i.
  • the control unit 30 adds all the voltages of the first sensor signal and the second sensor signal in the first to ninth components 40a to 40i, and compares the added value with a threshold value. Thus, it is determined whether or not abnormal heat generation has occurred in the blade portion 1.
  • the control part 30 determines with the blade part 1 being normal.
  • the state detection sensor 20 may be configured to include the first to ninth configuration bodies 40a to 40i. And when performing abnormality determination using such a state detection sensor 20, since the value (addition value) compared with a threshold value becomes large, a threshold value itself can be enlarged. For this reason, for example, even if the voltage of the first sensor signal and the second sensor signal in the first structure 40a fluctuates due to noise, the variation as a whole is small, and the determination accuracy can be further improved. .
  • the example in which the heat radiator 22 is common to the first to ninth components 40a to 40i has been described.
  • the first to ninth components 40a to 40i are provided with the heat radiator 22 respectively. It may be. Further, the number of the constructs 40a to 40i can be changed as appropriate.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are integrated. That is, one heat flux sensor is bent so as to sandwich the thermal buffer 21a.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are different from the cross section shown in FIG. 14 in that the surface pattern 111 provided on the connection end 601b (see FIG. 3) of the first heat flux sensor 20a
  • the surface pattern 211 provided on the connection end 701b (see FIG. 3) of the second heat flux sensor 20b and the surface pattern 350 provided on the surface protection members 110 and 210 are directly and continuously not via the external wiring 301. It is connected.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are configured by one heat flux sensor, and the first heat flux sensor 20a and the second heat flux sensor 20b are connected. Therefore, the external wiring 301 can be eliminated. Therefore, the number of parts can be reduced.
  • the surface pattern (connection pattern) 350 for connecting the first and second heat flux sensors 20a and 20b only needs to be changed in patterning in the process of FIG. 6E, and the manufacturing process is complicated. It will never be.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b have the insulating base materials 100 and 200, the surface protection members 110 and 210, and the back surface protection members 120 and 220, respectively, made of resin. It can be bent easily.
  • the cutting device S3 includes a spindle 401 that rotates in the axial direction, a bearing 402 that rotatably supports the spindle 401, a support member 403 that supports the spindle 401 and the bearing 402, and a spindle 401. And an end mill 404 having a blade portion 404a on the outer peripheral surface.
  • the end mill 404 rotates with the rotation of the spindle 401, and the workpiece member 10 is cut by contacting the workpiece 10 while the blade portion 404a of the end mill 404 rotates.
  • the state detection sensor 20 is arrange
  • two bearings 402 are arranged, and the state detection sensor 20 is arranged in the vicinity of each bearing 402.
  • the support member 403 corresponds to the object of the present disclosure.
  • the state detection sensor 20 is arranged in the order of the first heat flux sensor 20a, the heat buffer 21a, the second heat flux sensor 20b, and the radiator 22 from the support member 403 side. That is, the blade portion 1 in FIG. 2 is arranged so as to be the support member 403.
  • the controller 30 is not particularly illustrated in FIG. 15, the first and second sensor signals from the first and second heat flux sensors 20 a and 20 b in the state detection sensor 20 are received as in the first embodiment. It is designed to be entered.
  • the abnormality determination method of this embodiment will be described.
  • the workpiece 404 is cut by the blade portion 404a of the end mill 404 coming into contact with the workpiece 10; however, the blade portion 404a of the end mill 404 has a blade spill or the like.
  • the friction of the bearing 402 increases sharply.
  • abnormal heat generation due to friction occurs in the vicinity of the bearing 402. Therefore, as described in FIGS. 7A and 7B, the heat flux and the second heat flux sensor that instantaneously pass through the first heat flux sensor 20a.
  • the heat flux passing through 20b becomes different.
  • control unit 30 determines whether or not the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal is greater than the threshold value. If the sum is greater than the threshold value, abnormal heat generation occurs in the end mill 404 (cutting device S3). It is determined that it has occurred.
  • the abnormality determination device S2 that performs abnormality determination of the cutting device S3 by using the state detection sensor 20 of the present disclosure can be configured, and the same effect as in the first embodiment can be obtained.
  • the transfer device S ⁇ b> 4 includes a screw 501 having a screw portion 501 a, support members 502 provided at both ends in the axial direction of the screw 501, and a motor provided in the support member 502. 503. Further, the screw 501 is provided with a nut 504 that is paired with the screw 501 and screwed so as to be movable in the axial direction of the screw 501.
  • the nut 504 has a bearing 504 a and constitutes a so-called ball screw together with the screw 501, and is connected to the base 505.
  • the pedestal 505 is for mounting a device or the like to be transferred.
  • the pedestal 505 has a planar rectangular shape having a longitudinal direction in a direction orthogonal to the axial direction of the screw 501 (up and down direction in FIG. 16).
  • the substantially central portion is connected to the nut 504.
  • slide blocks 507 that are engaged with the rail 506 and are movable along the rail 506 are provided.
  • the support member 502 is omitted for easy understanding.
  • the state detection sensor 20 is provided in the nut 504 and each slide block 507 in the transfer device S4.
  • the nut 504 and each slide block 507 correspond to the object of the present disclosure.
  • the state detection sensor 20 is arranged in the order of the first heat flux sensor 20a, the heat buffer 21a, the second heat flux sensor 20b, and the heat radiator 22 from the nut 504 and the slide block 507 side, although not particularly shown. That is, the blade portion 1 in FIG. 2 is arranged so as to be the nut 504 or the slide block 507. 16 and 17, the control unit 30 is not particularly illustrated, but the first and second heat flux sensors 20a and 20b in the state detection sensor 20 are the first and second in the state detection sensor 20 as in the first embodiment. A sensor signal is input.
  • the transfer device S4 the pedestal 505 is transferred by rotating the screw 501.
  • the screw 501 and the nut 504 (bearing 504a), or between the slide block 507 and the rail 506, The friction increases sharply when a foreign object is caught in the surface.
  • abnormal heat generation due to friction occurs in the nut 504 and the slide block 507, and as described with reference to FIGS. 7A and 7B, the heat flux passing through the first heat flux sensor 20a and the second The heat flux passing through the heat flux sensor 20b becomes different.
  • control unit 30 determines whether or not the sum of the voltage of the first sensor signal and the voltage of the second sensor signal is larger than the threshold value, and if it is larger than the threshold value, the control unit 30 notifies the nut 504 and the slide block 507 (transfer device S4 ) Is determined to have abnormal heat generation.
  • the abnormality determination device S2 that performs the abnormality determination of the transfer device S4 using the state detection sensor 20 of the present disclosure can be configured, and the same effect as in the first embodiment can be obtained.
  • the radiator 22 is configured by the support member 4 with respect to the first embodiment, and the other aspects are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
  • the blade portion 1 is provided between the support member 4 and the flat support member 4 made of Cu or Al having a predetermined heat capacity (thermal resistance). It is fixed with screws 23 so as to constitute a predetermined space. And in the space between the blade part 1 and the support member 4, the 1st heat flux sensor 20a, the thermal buffer 21a, and the 2nd heat flux sensor 20b are arrange
  • control unit 30 is not particularly illustrated, but the first and second sensor signals from the first and second heat flux sensors 20 a and 20 b in the state detection sensor 20 are received as in the first embodiment. It is designed to be entered.
  • the radiator 22 is configured by the support member 4, and the first heat flux sensor 20 a, the heat buffer 21 a, and the second heat flux sensor 20 b are disposed between the blade portion 1 and the support member 4. Even in the configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
  • control unit 30 may determine the relationship between the heat flux obtained by converting the first and second sensor signals (electromotive voltage) into the heat flux and the threshold value.
  • the state detection sensor 20 when attaching the state detection sensor 20 to a target object, when there exists an unevenness
  • the insulation base materials 100 and 200, the surface protection members 110 and 210, and the back surface protection members 120 and 220 were demonstrated about the example comprised with a thermoplastic resin
  • the insulation base materials 100 and 200 are comprised. It can also be composed of a thermosetting resin. According to this, since the thermosetting resin does not flow in the process of FIG. 6H, the first and second via holes 101, 102, 201, 202 can be prevented from being displaced in the planar direction of the stacked body 170. .
  • the thermosetting resin provides a flow resistance when the thermoplastic resin flows, it is possible to suppress the thermoplastic resin from flowing out particularly at the outer edge portions of the insulating base materials 100 and 200.
  • the insulating base materials 100 and 200 may be made of thermoplastic resin, and the surface protection members 110 and 210 and the back surface protection members 120 and 220 may be made of thermosetting resin, or the surface protection members 110 and 210. Any one of the back surface protection members 120 and 220 may be made of a thermosetting resin. Furthermore, the insulating base materials 100 and 200, the surface protection members 110 and 210, and the back surface protection members 120 and 220 may not be resin.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are not limited to the above-described configuration, and may be any sensor that outputs a sensor signal according to the passing heat flux. Similarly, in each embodiment, the heat flux sensors 20a to 20d only need to output sensor signals according to the heat flux that passes.
  • the radiator 22 has a planar shape that is substantially the same as the planar shape of the second heat flux sensor 20b, and only the back surface protection member 120 of the second heat flux sensor 20b is used. It can also be arrange
  • the part which the heat radiator 22 receives to the influence of external air can be decreased, and the fluctuation
  • the arrangement location of the second via holes 101, 102 is appropriately changed, and the state detection sensor 20 is passed through substantially the center of the first heat flux sensor 20a, the heat buffer 21a, and the second heat flux sensor 20b. What is necessary is just to make it fasten to the blade part 1 with the screw
  • the state detection sensor 20 does not need to be screwed by the blade part 1 with the screw
  • a bonding member such as a double-sided tape or an adhesive is disposed between the state detection sensor 20 and the blade portion 1 and is bonded between the first heat flux sensor 20a, the thermal buffer 21a, and the second heat flux sensor 20b. You may make it arrange
  • the arrangement method of the first and second heat flux sensors 20a and 20b is changed so that the back surface protection members 120 and 220 are opposed to each other, and the back surface patterns 121 and 221 are mutually disposed. May be directly connected without using the external wiring 301.
  • the above embodiments can be combined as appropriate.
  • the second embodiment may be combined with the third to eighth embodiments, and the heat receiving body 25 may be provided.
  • the heat receiving body 25 may be common to the first to ninth constituent bodies 40a to 40i, or the heat receiving body 25 may be the first to ninth structures. You may make it provide in each of 9th structure 40a-40i.
  • the third embodiment may be combined with the fourth to eighth embodiments to include third and fourth heat flux sensors 20c and 20d and thermal buffers 21b and 21c, respectively.
  • the third embodiment is combined with the fifth embodiment, for example, the first and second heat flux sensors 20a and 20b are integrated and the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d are integrated.
  • only one of the first and second heat flux sensors 20a and 20b and the third and fourth heat flux sensors 20c and 20d may be integrated.
  • the fourth embodiment may be combined with the fifth to eighth embodiments to include the first to ninth constituent bodies 40a to 40i.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b may be integrated in each of the first to ninth structural bodies 40a to 40i.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b in some of the first to ninth constituent bodies 40a to 40i may be integrated.
  • the fifth embodiment may be combined with the sixth to eighth embodiments so that the first and second heat flux sensors 20a and 20b are integrated.
  • the external wiring 301 connects the surface pattern 111 provided at the connection end 601b of the first heat flux sensor 20a to the surface pattern 211 provided at the connection end 701b of the second heat flux sensor 20b.
  • the external wiring 301 may connect the back surface pattern 121 provided at the connection end of the first heat flux sensor 20a to the back surface pattern 221 provided at the connection end of the second heat flux sensor 20b.
  • the external wiring 305 in the third embodiment connects the back surface pattern 121 provided at the connection end of the third heat flux sensor 20c to the back surface pattern 221 provided at the connection end of the fourth heat flux sensor 20d. Also good.
  • the first and second heat flux sensors 20a and 20b are provided at the surface pattern 111 provided at the connection end 601b of the first heat flux sensor 20a and at the connection end 701b of the second heat flux sensor 20b.
  • the surface pattern 211 thus formed is directly and continuously connected by the surface pattern 350 provided on the surface protection members 110 and 210 without using the external wiring 301.
  • the first heat flux sensor 20a and the second heat flux sensor 20b are electrically connected to each other by connecting them directly and continuously using the back surface pattern 450 (see FIG. 14) provided on the back surface protection members 120 and 220. May be connected.

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Abstract

 通過する熱流束に応じた第1センサ信号を出力する第1熱流束センサ(20a)と、通過する熱流束に応じた第2センサ信号を出力する第2熱流束センサ(20b)と、所定の熱容量を有する熱緩衝体(21a)と、所定の熱容量を有する放熱体(22)とを備え、被対象物(1、403、504、507)側から第1熱流束センサ(20a)、熱緩衝体(21a)、第2熱流束センサ(20b)および放熱体(22)を順に配置する。そして、第1熱流束センサ(20a)から被対象物と熱緩衝体(21a)との間の熱流束に応じた第1センサ信号が出力されるようにし、第2熱流束センサ(20b)から熱緩衝体(21a)と放熱体(22)との間の熱流束に応じた第2センサ信号が出力されるようにする。

Description

状態検出センサ 関連出願の相互参照
 本開示は、2014年10月20日に出願された日本国特許出願第2014-213680号に基づくものであり、この開示をもってその内容を本明細書中に開示したものとする。
 本開示は、被対象物の状態を検出する状態検出センサに関するものである。
 従来より、被対象物の状態を検出する状態検出センサを用い、当該状態検出センサから出力されるセンサ信号に基づいて被対象物の異常発熱を判定する異常判定装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。すなわち、この異常判定装置は、被対象物における上部の表面の温度を検出する温度センサと、被対象物における下部の表面の温度を検出する温度センサとを有する状態検出センサを備えている。なお、被対象物は、発熱による対流が発生するものである。そして、異常判定装置は、被対象物の上部の表面の温度と下部の表面の温度との温度差に基づいて被対象物の異常発熱を判定している。
 しかしながら、このような状態検出センサでは、温度センサが外気に曝されており、外気による温度変化の影響を受け易い。このため、上記状態検出センサでは、外気の状態によっては被対象物の温度(状態)を正確に検出することができない場合があるという問題がある。そして、このような状態検出センサを用いた異常判定装置では、状態検出センサで被対象物の温度(状態)を正確に検出することができないために被対象物の異常判定を正確に行うことができない場合があるという問題がある。
特開平9-200918号公報
 本開示は上記点に鑑みて、外気の状態に関わらずに検出精度が低下することを抑制できる状態検出センサを提供することを目的とする。
 上記目的を達成するため、本開示では、被対象物の状態に応じたセンサ信号を出力する状態検出センサであって、通過する熱流束に応じた第1センサ信号を出力する第1熱流束センサと、通過する熱流束に応じた第2センサ信号を出力する第2熱流束センサと、所定の熱容量を有する熱緩衝体と、所定の熱容量を有する放熱体と、を有し、被対象物側から第1熱流束センサ、熱緩衝体、第2熱流束センサおよび放熱体の順に配置され、第1熱流束センサは、被対象物と熱緩衝体との間の熱流束に応じた第1センサ信号を出力し、第2熱流束センサは、熱緩衝体と放熱体との間の熱流束に応じた第2センサ信号を出力する状態検出センサを提供する。
 これによれば、被対象物側から第1熱流束センサ、所定の熱容量を有する熱緩衝体、第2熱流束センサおよび所定の熱容量を有する放熱体が順に配置される。このため、外気に曝される放熱体の熱の放出、蓄積によって外気の変化が第1、第2熱流束センサに影響することを抑制できる。そして、第1熱流束センサと第2熱流束センサとの間には所定の熱容量を有する熱緩衝体が配置されているため、被対象物に異常発熱が発生していない場合には、第1熱流束センサを通過する熱流束と第2熱流束センサを通過する熱流束とが等しくなり、被対象物に異常発熱が発生した場合には、瞬間的には、第1熱流束センサを通過する熱流束と第2熱流束センサを通過する熱流束とが異なるものとなる(図7Aおよび図7B参照)。したがって、本開示によれば、外気の状態に関わらずに被対象物の状態に応じたセンサ信号を出力することができ、検出精度が低下することを抑制できる。
本開示の第1実施形態における状態検出センサを用いて異常判定装置を構成し、当該異常判定装置を切断装置に取り付けた際の模式図である。 図1に示す状態検出センサの構成を示す断面図である。 第1、第2熱流束センサの構成を示す平面図である。 図3中のIV-IV線に沿った断面図である。 図3中のV-V線に沿った断面図である。 図3に示す第1熱流束センサの製造工程を示す断面図である。 刃部が正常である場合の第1、第2熱流束センサを通過する熱流束を示す図である。 刃部に異常発熱が発生した場合の第1、第2熱流束センサを通過する熱流束を示す図である。 第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和と、時間との関係を示す図である。 本開示の第2実施形態における状態検出センサの構成を示す断面図である。 本開示の第3実施形態における状態検出センサの構成を示す断面図である。 第3実施形態における第1、第2センサ信号の電圧の和と、第3、第4センサ信号の電圧の和とを加算した加算値と時間との関係を示す図である。 本開示の第4実施形態における状態検出センサの構成を示す断面図である。 図12に示す状態検出センサの平面図である。 本開示の第5実施形態における状態検出センサの構成を示す断面図である。 本開示の第6実施形態における異常判定装置を切削装置に適用した模式図である。 本開示の第7実施形態における異常判定装置を移送装置に適用した模式図である。 図16中の矢印A方向から視た模式図である。 本開示の第8実施形態における異常判定装置を切断装置に取り付けた際の模式図である。
 以下、本開示の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
 (第1実施形態)
 本開示の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、本開示の状態検出センサを用いて切断装置の異常発熱(状態)を判定する異常判定装置を構成した例について説明する。
 図1に示されるように、切断装置S1は、刃部1と、一対の第1、第2冶具2、3とを有している。本実施形態では、刃部1は、支持部材4に固定されている。また、第1冶具2は、本体部2aと、当該本体部2aから同じ方向に突出した3本の保持部2bを有しており(図1では2本のみ図示)、3本の保持部2bで被加工部材10を挟み込む構成とされている。第2冶具3は、第1冶具2と共に被加工部材10を固定するように、被加工部材10のうちの第1冶具2にて保持される側と反対側に配置されている。
 このような切断装置S1では、第1、第2冶具2、3によって被加工部材10を固定し、第1冶具2における保持部2bの突出方向に沿った方向であり、本体部2aの中心を通る軸方向L周りに第1、第2冶具2、3と共に被加工部材10を回転させながら当該被加工部材10を刃部1に当接させることによって被加工部材10を切断する。
 そして、異常判定装置S2は、状態検出センサ(状態検出装置)20と制御部(制御装置)30とを備えており、状態検出センサ20が刃部1に取り付けられている。
 状態検出センサ20は、図2に示されるように、第1、第2熱流束センサ20a、20b、熱緩衝体21aおよび放熱体22を備えている。まず、第1、第2熱流束センサ20a、20bの構成について図3~図5を参照しつつ説明する。なお、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、同じ構成であるため、第1熱流束センサ20aを例に挙げて説明するが、図3~図5中の括弧内の符号は第2熱流束センサ20bの符号に対応している。
 第1熱流束センサ20aは、図3~図5に示されるように、それぞれ絶縁基材100、表面保護部材110および裏面保護部材120が一体化され、この一体化されたものの内部で第1、第2層間接続部材130、140が交互に直列に接続されたものである。なお、図3では、理解をし易くするために、表面保護部材110を省略して示してある。
 絶縁基材100は、本実施形態では、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルイミド(PEI)、液晶ポリマー(LCP)で代表される平面矩形状の熱可塑性樹脂フィルムにて構成されている。そして、絶縁基材100の平面に直交する厚さ方向に貫通する複数の第1、第2ビアホール101、102が互い違いになるように千鳥パターンに形成されている。
 なお、本実施形態の第1、第2ビアホール101、102は、絶縁基材100の表面100aから裏面100bに向かって径が一定とされた円筒状とされているが、表面100aから裏面100bに向かって径が小さくなるテーパ状とされていてもよい。また、裏面100bから表面100aに向かって径が小さくなるテーパ状とされていてもよいし、角筒状とされていてもよい。
 そして、第1ビアホール101には第1層間接続部材130が配置され、第2ビアホール102には第2層間接続部材140が配置されている。つまり、絶縁基材100には、第1、第2層間接続部材130、140が互い違いになるように配置されている。
 第1、第2層間接続部材130、140は、ゼーベック効果を発揮するように、互いに異なる導電性金属で構成されている。例えば、第1層間接続部材130は、P型を構成するBi-Sb-Te合金の粉末が、焼結前における複数の金属原子の結晶構造を維持するように固相焼結された金属化合物(焼結合金)で構成される。また、第2層間接続部材140は、N型を構成するBi-Te合金の粉末が、焼結前における複数の金属原子の結晶構造を維持するように固相焼結された金属化合物で構成される。このように、第1、第2層間接続部材130、140として所定の結晶構造が維持されるように固相焼結された金属化合物を用いることにより、起電圧を大きくできる。
 なお、図3は、断面図ではないが、理解をし易くするために第1、第2層間接続部材130、140にハッチングを施してある。
 絶縁基材100の表面100aには、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルイミド(PEI)、液晶ポリマー(LCP)で代表される平面矩形状の熱可塑性樹脂フィルムにて構成される表面保護部材110が配置されている。この表面保護部材110は、絶縁基材100と平面形状が同じ大きさとされており、絶縁基材100と対向する一面110a側に銅箔等がパターニングされた導電性を有する複数の表面パターン(複数の表面導体部)111が互いに離間するように形成されている。そして、各表面パターン111はそれぞれ第1、第2層間接続部材130、140と適宜電気的に接続されている。
 具体的には、図4に示されるように、隣接する1つの第1層間接続部材130と1つの第2層間接続部材140とを組150としたとき、各組150の第1、第2層間接続部材130、140は同じ表面パターン111と接続されている。つまり、各組150の第1、第2層間接続部材130、140は表面パターン111を介して電気的に接続されている。なお、本実施形態では、絶縁基材100の長手方向(図4中紙面左右方向)に沿って隣接する1つの第1層間接続部材130と1つの第2層間接続部材140とが組150とされている。
 絶縁基材100の裏面100bには、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルイミド(PEI)、液晶ポリマー(LCP)で代表される平面矩形状の熱可塑性樹脂フィルムにて構成される裏面保護部材120が配置されている。この裏面保護部材120は、絶縁基材100と平面形状が同じ大きさとされており、絶縁基材100と対向する一面120a側に銅箔等がパターニングされた導電性を有する複数の裏面パターン(複数の裏面導体部)121が互いに離間するように形成されている。そして、各裏面パターン121はそれぞれ第1、第2層間接続部材130、140と適宜電気的に接続されている。
 具体的には、図4に示されるように、絶縁基材100の長手方向に隣接する組150において、一方の組150の第1層間接続部材130と他方の組150の第2層間接続部材140とが同じ裏面パターン121と接続されている。つまり、組150を跨いで第1、第2層間接続部材130、140が同じ裏面パターン121を介して電気的に接続されている。
 また、図5に示されるように、絶縁基材100の外縁では、長手方向と直交する方向(図3中紙面上下方向)に沿って隣接する第1、第2層間接続部材130、140が同じ裏面パターン121と接続されている。詳述すると、絶縁基材100の長手方向に表面パターン111および裏面パターン121を介して直列に接続されたものが折り返されるように、隣接する第1、第2層間接続部材130、140が同じ裏面パターン121と接続されている。
 以上が本実施形態における第1熱流束センサ20aの基本的な構成であり、上記のように、第2熱流束センサ20bの構成は、第1熱流束センサ20aと同様である。
 即ち、第2熱流束センサ20bでは、絶縁基材200、表面保護部材210および裏面保護部材220が一体化されている。そして、第1、第2ビアホール201、202は、絶縁基材200の表面200aから裏面200bに向かって径が一定とされた円筒状に形成されている。第1ビアホール201には第1層間接続部材230が配置され、第2ビアホール202には第2層間接続部材240が配置されている。表面保護部材210は、絶縁基材200と平面形状が同じ大きさとされており、絶縁基材200と対向する一面210a側に銅箔等がパターニングされた複数の表面パターン211が互いに離間するように形成されている。そして、各表面パターン211はそれぞれ第1、第2層間接続部材230、240と適宜電気的に接続されている。裏面保護部材220は、絶縁基材200と平面形状が同じ大きさとされており、絶縁基材200と対向する一面220a側に銅箔等がパターニングされた複数の裏面パターン221が互いに離間するように形成されている。そして、各裏面パターン221はそれぞれ第1、第2層間接続部材230、240と適宜電気的に接続されている。、図4に示されるように、隣接する1つの第1層間接続部材230と1つの第2層間接続部材240とを組250としたとき、各組250の第1、第2層間接続部材230、240は同じ表面パターン211と接続されている。
 このような第1、第2熱流束センサ20a、20bは、第1、第2熱流束センサ20a、20bを厚さ方向に通過する熱流束に応じたセンサ信号(起電圧)を出力する。熱流束が変化すると、交互に直列接続された第1、第2層間接続部材130、140にて発生する起電圧が変化するためである。なお、第1、第2熱流束センサ20a、20bの厚さ方向とは、絶縁基材100、表面保護部材110および裏面保護部材120の積層方向であって、絶縁基材100の平面に直交する方向のことである。
 ここで、上記第1熱流束センサ20aの製造方法について図6(a)~(h)を参照しつつ説明する。なお、第2熱流束センサ20bの製造方法も第1熱流束センサ20aと同様である。
 まず、図6(a)に示されるように、絶縁基材100を用意し、複数の第1ビアホール101をドリルやレーザ等によって形成する。
 次に、図6(b)に示されるように、各第1ビアホール101に第1導電性ペースト131を充填する。なお、第1ビアホール101に第1導電性ペースト131を充填する方法(装置)としては、本出願人による特願2010-50356号(特開2011-187619号)に記載の方法(装置)を採用すると良い。
 簡単に説明すると、吸着紙160を介して図示しない保持台上に、裏面100bが吸着紙160と対向するように絶縁基材100を配置する。そして、第1導電性ペースト131を溶融させつつ、第1ビアホール101内に第1導電性ペースト131を充填する。これにより、第1導電性ペースト131の有機溶剤の大部分が吸着紙160に吸着され、第1ビアホール101に合金の粉末が密接して配置される。
 なお、吸着紙160は、第1導電性ペースト131の有機溶剤を吸収できる材質のものであれば良く、一般的な上質紙等が用いられる。また、第1導電性ペースト131は、金属原子が所定の結晶構造を維持しているBi-Sb-Te合金の粉末を融点が43℃であるパラフィン等の有機溶剤を加えてペースト化したものが用いられる。このため、第1導電性ペースト131を充填する際には、絶縁基材100の表面100aが約43℃に加熱された状態で行われる。
 続いて、図6(c)に示されるように、絶縁基材100に複数の第2ビアホール102をドリルやレーザ等によって形成する。この第2ビアホール102は、上記のように、第1ビアホール101と互い違いとなり、第1ビアホール101と共に千鳥パターンを構成するように形成される。
 次に、図6(d)に示されるように、各第2ビアホール102に第2導電性ペースト141を充填する。なお、この工程は、上記図6(b)と同様の工程で行うことができる。
 すなわち、再び、吸着紙160を介して図示しない保持台上に裏面100bが吸着紙160と対向するように絶縁基材100を配置した後、第2ビアホール102内に第2導電性ペースト141を充填する。これにより、第2導電性ペースト141の有機溶剤の大部分が吸着紙160に吸着され、第2ビアホール102に合金の粉末が密接して配置される。
 第2導電性ペースト141は、第1導電性ペースト131を構成する金属原子と異なる金属原子が所定の結晶構造を維持しているBi-Te合金の粉末を融点が常温であるテレピネ等の有機溶剤を加えてペースト化したものが用いられる。つまり、第2導電性ペースト141を構成する有機溶剤は、第1導電性ペースト131を構成する有機溶剤より融点が低いものが用いられる。そして、第2導電性ペースト141を充填する際には、絶縁基材100の表面100aが常温に保持された状態で行われる。言い換えると、第1導電性ペースト131に含まれる有機溶剤が固化された状態で、第2導電性ペースト141の充填が行われる。これにより、第1ビアホール101に第2導電性ペースト141が混入することが抑制される。
 なお、第1導電性ペースト131に含まれる有機溶剤が固化された状態とは、上記図6(b)の工程において、吸着紙160に吸着されずに第1ビアホール101に残存している有機溶剤のことである。
 そして、上記各工程とは別工程において、図6(e)および図6(f)に示されるように、表面保護部材110および裏面保護部材120のうち絶縁基材100と対向する一面110a、120aに銅箔等を形成する。そして、この銅箔を適宜パターニングすることにより、互いに離間している複数の表面パターン111が形成された表面保護部材110、互いに離間している複数の裏面パターン121が形成された裏面保護部材120を用意する。
 その後、図6(g)に示されるように、裏面保護部材120、絶縁基材100および表面保護部材110を順に積層して積層体170を構成する。
 続いて、図6(h)に示されるように、この積層体170を図示しない一対のプレス板の間に配置し、積層方向の上下両面から真空状態で加熱しながら加圧することにより、積層体170を一体化する。具体的には、第1、第2導電性ペースト131、141が固相焼結されて第1、第2層間接続部材130、140が形成されると共に、第1、第2層間接続部材130、140と表面パターン111および裏面パターン121とが接続されるように加熱しながら加圧して積層体170を一体化する。
 なお、特に限定されるものではないが、積層体170を一体化する際には、積層体170とプレス板との間にロックウールペーパー等の緩衝材を配置してもよい。以上のようにして、上記第1熱流束センサ20aが製造される。
 熱伝導体である熱緩衝体(蓄熱体)21aは、図2に示されるように、所定の熱容量(熱抵抗)を有するもので構成された平板状とされており、CuやAl等の金属や樹脂等で構成されている。なお、熱緩衝体21aは、図2では第1、第2熱流束センサ20a、20bと平面形状が同じ大きさとされているものを図示しているが、第1、第2熱流束センサ20a、20bと平面形状の大きさが異なっていてもよい。本実施形態では、熱緩衝体21aは、第1熱流束センサ20aの絶縁基材100の平面および第2熱流束センサ20bの絶縁基材200の平面に平行な平面内において、第1熱流束センサ20aの絶縁基材100に設けられた複数の第1層間接続部材130および複数の第2層間接続部材240の全てを含む検出領域SE(図3参照)以上の範囲にわたって連続して設けられた一体の金属板であり、該金属板はCuやAl等の金属からなる。
 放熱体22は、所定の熱容量(熱抵抗)を有するもので構成された平板状とされており、CuやAl等の金属や樹脂等で構成されている。本実施形態では、放熱体22は、熱容量が熱緩衝体21aの熱容量より大きくなるように、材質や厚さ等が適宜調整されている。なお、放熱体22は、第1、第2熱流束センサ20a、20bおよび熱緩衝体21aの平面形状より大きくされている。本実施形態では、放熱体22は、周囲の外気に熱を直接放熱するものであるが、他のヒートシンクや、冷却液等に熱を放熱するものであってもよい。
 そして、状態検出センサ20は、刃部1側から第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bおよび放熱体22の順となるように、当該刃部1に配置されている。つまり、熱緩衝体21aは、第1熱流束センサ20aと第2熱流束センサ20bとの間に配置された状態となっている。なお、本実施形態では、刃部1が本開示の被対象物に相当している。そして、状態検出センサ20は、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bおよび放熱体22の配列方向(積層方向)から視たとき、放熱体22のうちの第2熱流束センサ20bから突出する部分が刃部1にネジ23にて締結されることによって刃部1に固定されている。
 なお、刃部1と放熱体22との間には、刃部1と放熱体22とが所定の距離だけ離間するように樹脂等で構成されるスペーサ24が配置されている。そして、ネジ23は、当該スペーサ24を貫通して刃部1にネジ留めされている。さらに、特に図示していなが、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bおよび放熱体22の間には、それぞれ接着性を有する熱伝シートや熱伝ペースト等の熱伝部材が配置されており、当該熱伝部材等を介して互いに接着されている。
 また、本実施形態では、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、刃部1と放熱体22(外気)との間で熱流束が発生した場合、第1熱流束センサ20aから出力される第1センサ信号の電圧と、第2熱流束センサ20bから出力される第2センサ信号の電圧との極性が反対となるように配置されている。つまり、例えば、第1センサ信号の電圧の極性が正である場合には、第2センサ信号の電圧の極性が負となるように、第1、第2熱流束センサ20a、20bが配置されている。
 具体的には、図2に示すように、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、互いの表面保護部材110が対向するように配置されている。そして、外部配線302は、第1熱流束センサ20aの出力端601a(図3参照)に設けられた裏面パターン121を制御部30へ接続している。外部配線301は、第1熱流束センサ20aの出力端601aとは反対側の連結端601b(図3参照)に設けられた表面パターン111を第2熱流束センサ20bの連結端701b(図3参照)に設けられた表面パターン211へ接続している。さらに、外部配線303は第2熱流束センサ20bの連結端701bとは反対側の出力端701aに設けられた裏面パターン221を制御部30へ接続している。なお、外部配線301は、図2の下方へ延設されているが図2の上方へ延設させてもよい。
 上記のように第1、第2流束センサ20a、20bを対向配置させることにより、例えば、熱流束が第1熱流束センサ20aを裏面保護部材120側から表面保護部材110側に通過する場合には、当該熱流束が第2熱流束センサ20bを表面保護部材210側から裏面保護部材220側に通過するため、第1、第2熱流束センサ20a、20bから出力される第1、第2センサ信号の電圧の極性が反対となる。
 なお、本実施形態では、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、裏面保護部材120、220側から表面保護部材110、210側に向かう熱流束が通過した際、正の電圧のセンサ信号を出力するように配置されている。このため、刃部1側から放熱体22側に向かう熱流束が発生した場合、つまり、第1熱流束センサ20aを裏面保護部材120側から表面保護部材110側に通過すると共に、第2熱流束センサ20bを表面保護部材210側から裏面保護部材220側に通過する熱流束が発生した場合、第1熱流束センサ20aから正の電圧のセンサ信号が出力され、第2熱流束センサ20bから負の電圧のセンサ信号が出力される。
 以上が本実施形態における状態検出センサ20の構成である。
 次に、制御部30について説明する。制御部30は、CPU、記憶装置(記憶手段)を構成する各種メモリ、周辺機器等を用いて構成されており、図示しないスピーカー(音声手段)や表示装置(表示手段)等と接続されている。そして、上記のように第1、第2熱流束センサ20a、20bと接続されており、第1、第2熱流束センサ20a、20bから第1、第2センサ信号が入力されると、第1、第2センサ信号と記憶手段に記憶されている閾値とに基づいて刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。具体的には、制御部30は、第1、第2センサ信号の電圧の和と閾値とを比較することにより、刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。そして、異常発熱が発生していると判定した場合には表示装置(表示手段)やスピーカー(音声手段)を介して刃部1に異常発熱が発生していることを作業者に報知する。なお、刃部1に異常発熱が発生するのは、例えば、刃部1に刃こぼれ等が発生した場合である。
 以上が本実施形態における異常判定装置S2の構成である。次に、上記異常判定装置S2を用いた異常判定方法について説明する。まず、状態検出センサ20における第1、第2熱流束センサ20a、20bを通過する熱流束および第1、第2熱流束センサ20a、20bから出力される第1、第2センサ信号について説明する。
 まず、放熱体22は、外気に曝された状態となっているが、上記のように所定の熱容量を有するもので構成されている。このため、外気のような変化の場合、放熱体22にて外気の温度変化に対して熱の蓄積および放出が行われることにより、放熱体22より刃部1側に位置する第1、第2熱流束センサ20a、20bが外気の影響を受けることを抑制できる。
 そして、刃部1に異常発熱が発生していない場合や、刃部1に異常発熱が発生してから所定期間経過した後では、熱緩衝体21aには所定の熱が蓄積されている状態となる。このため、図7Aの矢印にて示されるように、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とがほぼ等しくなる。したがって、第1熱流束センサ20aから出力される第1センサ信号の電圧と第2熱流束センサ20bから出力される第2センサ信号の電圧とは、極性が反対で絶対値がほぼ等しくなる。このため、この状態では、第1センサ信号の電圧と、第2センサ信号の電圧との和は略0(ゼロ)となる。
 これに対し、刃部1で異常発熱が発生した場合には、図7Bの矢印にて示されるように、瞬間的には、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束は大きくなるが、熱緩衝体21aに異常発熱による熱が蓄積されるため、第2熱流束センサ20bを通過する熱流束はほとんど変化しない。つまり、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なる。このため、刃部1で異常発熱が発生した場合には、第1熱流束センサ20aから出力される第1センサ信号の電圧と第2熱流束センサ20bから出力される第2センサ信号の電圧とは、極性が反対で絶対値も異なる信号となる。すなわち、刃部1に異常発熱が発生した場合には、外気の状態に関わらずに第1、第2熱流束センサ20a、20bから異常発熱に応じた第1、第2センサ信号が出力される。
 以上が第1、第2熱流束センサ20a、20bを通過する熱流束および第1、第2熱流束センサ20a、20bから出力される第1、第2センサ信号の関係である。次に、制御部30の異常判定について図8を参照しつつ説明する。なお、図8は、時点T1で刃部1に異常発熱が発生したときの第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和と時間との関係を示す図である。
 制御部30は、上記のように、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和と、閾値とに基づいて刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。本実施形態では、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より大きいか否かを判定し、閾値より大きい場合に刃部1(切断装置S1)に異常発熱が発生していると判定する。
 具体的には、刃部1に異常発熱が発生する時点T1以前では、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが等しく(図7A参照)、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より低い。このため、制御部30は、刃部1が正常であると判定する。
 これに対し、時点T1で異常発熱が発生すると、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なり(図7B参照)、時点T2から時点T4では、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より高くなる。このため、制御部30は、刃部1に異常発熱が発生したと判定し、音声手段や表示手段等を介して作業者に刃部1に異常発熱が発生していることを報知する。
 なお、時点T3以降では、上記のように、異常発熱による熱が熱緩衝体21aに蓄積されるため、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束との差が次第に小さくなる。このため、時点T3以降では、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が0に近づいていく。
 以上説明したように、本実施形態の状態検出センサ20では、厚さ方向に通過する熱流束に応じた第1、第2センサ信号を出力する第1、第2熱流束センサ20a、20bと、所定の熱容量を有する熱緩衝体21aおよび放熱体22を備えている。そして、刃部1側から第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bおよび放熱体22が順に配置されている。このため、放熱体22が熱の放出および蓄積を行うことによって外気が第1、第2熱流束センサ20a、20bに影響することを抑制できる。また、第1熱流束センサ20aと第2熱流束センサ20bとの間に熱緩衝体21aが配置されているため、刃部1に異常発熱が発生していない場合には、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが等しくなり、刃部1に異常発熱が発生した場合には、瞬間的には、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なるものとなる(図7Aおよび図7B参照)。したがって、外気の状態に関わらず刃部1の状態を検出する検出精度が低下することを抑制できる。
 そして、このような状態検出センサ20を用いて異常判定装置S2を構成することにより、状態検出センサ20は外気の状態に関わらずに高精度な第1、第2センサ信号を出力できるため、刃部1における異常発熱の判定精度の向上を図ることができる。
 さらに、本実施形態では、第1熱流束センサ20aおよび第2熱流束センサ20bは、第1熱流束センサ20aから出力される第1センサ信号の電圧と第2熱流束センサ20bから出力される第2センサ信号の電圧との極性が互いに反対となるように配置されている。このため、制御部30での演算処理を簡素化できる。
 そして、本実施形態では、熱可塑性樹脂からなる絶縁基材100に第1、第2ビアホール101、102を形成し、第1、第2ビアホール101、102内に第1、第2層間接続部材130、140を配置して第1、第2熱流束センサ20a、20bを構成している。このため、第1、第2ビアホール101、102の数や径、間隔等を適宜変更することで第1、第2層間接続部材130、140の高密度化が可能となる。これにより、起電圧を大きくでき、第1、第2熱流束センサ20a、20bの高感度化を図ることができる。
 さらに、本実施形態の第1、第2熱流束センサ20a、20bは、第1、第2層間接続部材130、140、230、240として、焼結前の結晶構造が維持されるように固相焼結された金属化合物(Bi-Sb-Te合金、Bi-Te合金)を用いている。すなわち、第1、第2層間接続部材130、140、230、240を形成する金属は、複数の金属原子が当該金属原子の結晶構造を維持した状態で焼結された焼結合金である。これにより、第1、第2層間接続部材130、140、230、240を形成する金属が液相焼結された焼結合金の場合と比較して、起電圧を大きくでき、第1、第2熱流束センサ20a、20bの高感度化を図ることができる。
 また、本実施形態の第1、第2熱流束センサ20a、20bは、絶縁基材100、200、表面保護部材110、210および裏面保護部材120、220が熱可塑性樹脂を用いて構成されており、可撓性を有している。このため、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、第1、第2熱流束センサ20a、20bが配置される部分の形状に応じて適宜変形できる。
 なお、上記では、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より大きいか否かを判定することによって異常判定を行う例について説明したが、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より大きくなっている期間(図8中では時点T2から時点T4の期間)に基づいて異常判定を行うようにしてもよい。これによれば、ノイズ等によって瞬間的に第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より大きくなるような場合を除くことができ、さらなる判定精度の向上を図ることができる。
 (第2実施形態)
 本開示の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第1熱流束センサ20aを挟んで熱緩衝体21aと反対側に受熱体を配置したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、図9に示されるように、状態検出センサ20は、第1熱流束センサ20aを挟んで熱緩衝体21aと反対側に配置される受熱体25を備えている。つまり、状態検出センサ20は、刃部1と第1熱流束センサ20aとの間に配置される受熱体25を備えている。この受熱体25は、熱緩衝体21aや放熱体22と同様に、所定の熱容量(熱抵抗)を有するもので構成された平板状とされ、CuやAl等の金属や樹脂等で構成されている。また、本実施形態の受熱体25は、熱容量が熱緩衝体21aおよび放熱体22より小さくなるように、材質や厚さが適宜調整されている。
 このような状態検出センサ20では、受熱体25の熱の放出、蓄積によって刃部1に発生するノイズ等の微小な熱流変化が第1、第2熱流束センサ20a、20bに影響することを抑制できる。このため、さらなる状態検出精度の向上を図ることができる。
 また、刃部1にノイズ等の微小な熱流変化が発生する場合、当該熱流変化は通常極めて短期的なものである。このため、本実施形態のように、受熱体25の熱容量を熱緩衝体21aや放熱体22の熱容量より小さくすることにより、短期的なノイズが第1、第2熱流束センサ20a、20bに影響することを効果的に抑制できる。
 (第3実施形態)
 本開示の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してさらに複数の熱流束センサと熱緩衝体を備えるものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、図10に示されるように、状態検出センサ20は、第1、第2熱流束センサ20a、20b、熱緩衝体21aに加えて、第3、第4熱流束センサ20c、20dおよび熱緩衝体21b、21cを備えている。そして、状態検出センサ20は、刃部1側から第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20b、熱緩衝体21b、第3熱流束センサ20c、熱緩衝体21c、第4熱流束センサ20dおよび放熱体22の順に配置されている。
 第3、第4熱流束センサ20c、20dは、上記第1、第2熱流束センサ20a、20bと同じ構成であり、厚さ方向に通過する熱流束に応じた第3、第4センサ信号を出力する。なお、図10中では、第3熱流束センサ20cにおける絶縁基材100、表面保護部材110、表面パターン111、裏面保護部材120、裏面パターン121および第1、第2層間接続部材130、140の各部位に対して第1熱流束センサ20aの符号と同じ符号を付し、第4熱流束センサ20dにおける絶縁基材200、表面保護部材210、表面パターン211、裏面保護部材220、裏面パターン221および第1、第2層間接続部材230、240の各部位に対して第2熱流束センサ20bの符号と同じ符号を付している。
 そして、第3、第4熱流束センサ20c、20dは、第1、第2熱流束センサ20a、20bと同様に、互いの表面保護部材110、210が対向するように配置されている。外部配線304は、第3熱流束センサ20cの出力端601a(図3参照)に設けられた裏面パターン121を制御部30へ接続している。外部配線305は、第3熱流束センサ20cの出力端601aとは反対側の連結端601b(図3参照)に設けられた表面パターン111を第4熱流束センサ20dの連結端701b(図3参照)に設けられた表面パターン211へ接続している。さらに、外部配線306は第4熱流束センサ20dの連結端701bとは反対側の出力端701aに設けられた裏面パターン221を制御部30へ接続している。このように第3、第4熱流束センサ20c、20dを対向配置させることにより、例えば、熱流束が第3熱流束センサ20cを裏面保護部材120側から表面保護部材110側に通過する場合には、当該熱流束が第4熱流束センサ20dを表面保護部材210側から裏面保護部材220側に通過するため、第3、第4熱流束センサ20c、20dから出力される第3、第4センサ信号の電圧の極性が互いに反対となる。
 また、熱緩衝体21b、21cは、上記熱緩衝体21aと同じように、所定の熱容量(熱抵抗)を有するもので構成された平板状とされており、CuやAl等の金属や樹脂等で構成されている。本実施形態では、各熱緩衝体21a~21cは、それぞれ同じ熱容量を有するように構成されている。また、熱緩衝体21a~21cは、それぞれ第1熱緩衝体(第1蓄熱体)、第2熱緩衝体(第2蓄熱体)および第3熱緩衝体(第3蓄熱体)として設けられている。
 制御部30は、第1、第2センサ信号に加えて、第3、第4センサ信号も入力されるようになっている。そして、第1~第4センサ信号が入力されると、第1、第2センサ信号の電圧の和と、第3、第4センサ信号の電圧の和とを加算し、加算した加算値と閾値とを比較することにより、刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。 
 次に、第1~第4熱流束センサ20a~20dから出力される第1~第4センサ信号について説明する。
 このような状態検出センサ20では、上記第1実施形態と同様に、刃部1に異常発熱が発生していない場合や、刃部1に異常発熱が発生してから所定期間経過した後では、各熱緩衝体21a~21cには所定の熱が蓄積されている状態となる。したがって、第1~第4熱流束センサ20a~20dを通過する熱流束がほぼ等しくなる。このため、第1、第2センサ信号の電圧は極性が互いに反対で絶対値がほぼ等しくなり、第3、第4センサ信号の電圧は極性が互いに反対で絶対値がほぼ等しくなる。
 また、刃部1で異常発熱が発生した場合には、熱緩衝体21a~21cに異常発熱による熱が順に蓄積されるため、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束が大きくなった後、第2熱流束センサ20b、第3熱流束センサ20cおよび第4熱流束センサ20dを通過する熱流束が順に大きくなる。そして、所定期間経過後、第1~第4熱流束センサ20a~20dを通過する熱流束が等しくなる。このため、刃部1で異常発熱が発生した場合には、まず、第1、第2センサ信号の電圧の極性および絶対値が異なったものとなり、その後、第3、第4センサ信号の電圧の極性および絶対値が異なったものとなる。
 次に、制御部30の異常判定について図11を参照しつつ説明する。なお、図11は、時点T11で刃部1に異常発熱が発生したときの第1、第2センサ信号の電圧の和と、第3、第4センサ信号の電圧の和とを加算した加算値と時間との関係を示す図である。
 制御部30は、上記のように、第1、第2センサ信号の電圧の和と、第3、第4信号の電圧の和とを加算した加算値と、閾値とに基づいて刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。
 具体的には、刃部1に異常発熱が発生する時点T11以前では、第1~第4熱流束センサ20a~20dを通過する熱流束が等しいため、第1、第2センサ信号の電圧の和と、第3、第4信号の電圧の和とを加算した加算値が閾値より低い。このため、制御部30は、刃部1が正常であると判定する。
 これに対し、時点T11で異常発熱が発生すると、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なる。なお、時点T11で異常発熱が発生した直後は、第3熱流束センサ20cを通過する熱流束と、第4熱流束センサ20dを通過する熱流束とは等しいままである。そして、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と、第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なるため、時点T12にて加算した加算値が閾値より大きくなる。
 その後、熱緩衝体21aに異常発熱による熱が蓄積されると、熱緩衝体21b、21cにも順に異常発熱による熱が蓄積される。つまり、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束が大きくなった後、第2熱流束センサ20b、第3熱流束センサ20cおよび第4熱流束センサ20dを通過する熱流束が順に大きくなる。すなわち、時点T13から第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束との差が小さくなるが、第3熱流束センサ20cを通過する熱流束と、第4熱流束センサ20dを通過する熱流束とが互いに異なるため、時点T14から再び加算値が大きくなる。そして、時点T15から第3熱流束センサ20cを通過する熱流束と、第4熱流束センサ20dを通過する熱流束との差も小さくなり、時点T16にて加算値が閾値より小さくなる。つまり、本実施形態では、加算値は、時点T12から時点T16の期間において、閾値より大きな値となる。
 以上説明したように、状態検出センサ20を第1~第4熱流束センサ20a~20dおよび熱緩衝体21a~21cを備える構成としてもよい。そして、このような状態検出センサ20を用いて異常判定を行う場合、加算値が閾値より大きくなる期間(時点T12~時点T15)が長くなるため、例えば、閾値より大きくなっている期間に基づいて異常判定を行うような場合には、瞬間的に閾値より大きくなるようなノイズを除外することができる。このため、さらなる判定精度の向上を図ることができる。
 (第4実施形態)
 本開示の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第1、第2熱流束センサ20a、20bを複数備えるものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、図12および図13に示されるように、状態検出センサ20は、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21aおよび第2熱流束センサ20bが順に配置(積層)されたものを構成体40a~40iとしたとき、第1~第9構成体40a~40iを備えている。具体的には、第1~第9構成体40a~40iは、第1構成体40aを中心とし、第2~第9構成体40b~40iが第1構成体40aの周囲に均等に配置されており、第1~第9構成体40a~40iの第2熱流束センサ20b上に一枚の放熱体22が配置されている。つまり、本実施形態では、放熱体22は第1~第9構成体40a~40iにて共通とされている。
 また、制御部30は、特に図示しないが、第1~第9構成体40a~40iにおける各第1、第2熱流束センサ20a、20bから第1、第2センサ信号が入力されるようになっている。そして、第1~第9構成体40a~40iにおける第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和を全て加算し、加算した加算値を閾値と比較することにより、刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。
 このような状態検出センサ20では、第1~第9構成体40a~40iにおける第1、第2熱流束センサ20a、20bから上記第1実施形態と同様の第1、第2センサ信号が出力される。
 次に、制御部30の異常判定について説明する。制御部30は、上記のように、第1~第9構成体40a~40iにおける第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧と和を全て加算し、加算した加算値を閾値と比較することにより、刃部1に異常発熱が発生しているか否かを判定する。
 具体的には、刃部1に異常発熱が発生していない場合では、第1~第9構成体40a~40iにおいて、第1、第2センサ信号の電圧は極性が反対で絶対値がほぼ等しくなる。このため、第1~第9構成体40a~40iにおける第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和を全て加算した加算値が閾値より低くなる。このため、制御部30は、刃部1が正常であると判定する。
 これに対し、刃部1に異常発熱が発生すると、各第1~第9構成体40a~40iにおいて、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なる。このため、各第1~第9構成体40a~40iにおける第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和を全て加算した加算値が閾値より大きくなり、刃部1に異常発熱が発生したと判定する。
 以上説明したように、状態検出センサ20を第1~第9構成体40a~40iを備える構成としてもよい。そして、このような状態検出センサ20を用いて異常判定を行う場合、閾値と比較する値(加算値)が大きくなるため、閾値自体を大きくできる。このため、例えば、ノイズに起因して第1構成体40aにおける第1、第2センサ信号の電圧が変動したとしても、全体としての変動は小さなものとなり、判定精度のさらなる向上を図ることができる。
 なお、上記では、第1~第9構成体40a~40iにおける放熱体22が共通とされている例を説明したが、第1~第9構成体40a~40iに放熱体22がそれぞれ備えられるようにしてもよい。また、構成体40a~40iの数は適宜変更可能である。
 (第5実施形態)
 本開示の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して状態検出センサ20の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、図14に示されるように、第1、第2熱流束センサ20a、20bが一体化されている。つまり、1つの熱流束センサが熱緩衝体21aを挟むように折り曲げられている。そして、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、図14に示す断面とは別の断面において、第1熱流束センサ20aの連結端601b(図3参照)に設けられた表面パターン111と、第2熱流束センサ20bの連結端701b(図3参照)に設けられた表面パターン211とが表面保護部材110、210に設けられた表面パターン350によって外部配線301を介さずに連続して直接接続されている。
 上記のように、本実施形態では、第1、第2熱流束センサ20a、20bを1つの熱流束センサで構成しており、第1熱流束センサ20aと第2熱流束センサ20bとを接続するための外部配線301を無くすことができる。したがって、部品点数の削減を図ることができる。
 なお、第1、第2熱流束センサ20a、20bを接続する表面パターン(接続パターン)350は、図6(e)の工程においてパターニングする際の形状を変更するのみでよく、製造工程が複雑になることもない。また、上記のように、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、絶縁基材100、200、表面保護部材110、210および裏面保護部材120、220がそれぞれ樹脂で構成されているため、容易に折り曲げることが可能である。
 (第6実施形態)
 本開示の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して切削装置の異常判定を行うようにしたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、切削装置の異常発熱を判定するのに異常判定装置S2を用いた例について説明する。図15に示されるように、切削装置S3は、軸方向周りに回転するスピンドル401と、スピンドル401を回転可能に保持するベアリング402と、スピンドル401およびベアリング402を支持する支持部材403と、スピンドル401の軸方向における一端部側に備えられ、外周面に刃部404aを有するエンドミル404とを有している。このような切削装置S3は、スピンドル401の回転と共にエンドミル404が回転し、当該エンドミル404の刃部404aが回転しながら被加工部材10に当接することによって被加工部材10を切削する。
 そして、状態検出センサ20は、切削装置S3うちの支持部材403におけるベアリング402の近傍に配置されている。本実施形態では、ベアリング402は、2つ配置されており、状態検出センサ20は、各ベアリング402の近傍にそれぞれ配置されている。
 なお、本実施形態では、支持部材403が本開示の被対象物に相当している。また、状態検出センサ20は、特に図示しないが、支持部材403側から第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bおよび放熱体22の順に配置されている。つまり、図2中の刃部1の部分が支持部材403となるように配置されている。また、図15では制御部30は特に図示していないが、上記第1実施形態と同様に、状態検出センサ20における第1、第2熱流束センサ20a、20bから第1、第2センサ信号が入力されるようになっている。
 次に、本実施形態の異常判定方法について説明する。上記切削装置S3では、被加工部材10を切削する際、エンドミル404の刃部404aが被加工部材10に当接することによって被加工部材を切削するが、エンドミル404の刃部404aに刃こぼれ等の異常が発生した場合、ベアリング402の摩擦が急峻に大きくなる。このとき、ベアリング402近傍には摩擦による異常発熱が発生するため、上記図7A、図7Bで説明したように、瞬間的に、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なるようになる。したがって、制御部30は、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より大きいか否かを判定し、閾値より大きい場合にエンドミル404(切削装置S3)に異常発熱が発生していると判定する。
 以上説明したように、本開示の状態検出センサ20を用いて切削装置S3の異常判定を行う異常判定装置S2を構成することもでき、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
 (第7実施形態)
 本開示の第7実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して移送装置の異常判定を行うようにしたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、移送装置の異常発熱を判定するのに異常判定装置S2を用いた例について説明する。図16および図17に示されるように、移送装置S4は、ネジ部501aを有するネジ501と、ネジ501の軸方向の両端部に備えられた支持部材502と、支持部材502に備えられたモータ503とを有している。また、ネジ501には、当該ネジ501と対となり、ネジ501の軸方向に移動可能な状態で螺合されているナット504が備えられている。ナット504は、ベアリング504aを有するものであってネジ501と共にいわゆるボールネジを構成するものであり、台座505と連結されている。
 台座505は、移送したい装置等を搭載するためのものであり、本実施形態では、ネジ501の軸方向と直交する方向(図16中紙面上下方向)に長手方向を有する平面矩形状とされ、略中央部がナット504と連結されている。そして、台座505のうちの長手方向における両端部には、レール506に係合されて当該レール506に沿って移動可能なスライドブロック507が備えられている。なお、図17では、理解をし易くするために、支持部材502を省略して示してある。
 このような移送装置S4は、モータが回転することによってネジ501が回転し、当該ネジ501の回転によってナット504が移動する。これにより、台座505がナット504と共にレール506(スライドブロック507)に沿って移動するため、所望箇所に台座505を移送することできる。
 そして、状態検出センサ20は、移送装置S4のうちのナット504および各スライドブロック507に備えられている。
 なお、本実施形態では、ナット504および各スライドブロック507が本開示の被対象物に相当している。また、状態検出センサ20は、特に図示しないが、ナット504およびスライドブロック507側から第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bおよび放熱体22の順に配置されている。つまり、図2中の刃部1の部分がナット504またはスライドブロック507となるように配置されている。また、図16および図17では制御部30は特に図示していないが、上記第1実施形態と同様に、状態検出センサ20における第1、第2熱流束センサ20a、20bから第1、第2センサ信号が入力されるようになっている。
 次に、本実施形態の異常判定方法について説明する。上記移送装置S4では、ネジ501が回転することによって台座505が移送されるが、ネジ501とナット504(ベアリング504a)との間に異物が挟まった場合や、スライドブロック507とレール506との間に異物が挟まった場合等に摩擦が急峻に大きくなる。このとき、ナット504やスライドブロック507には摩擦による異常発熱が発生するため、上記図7Aおよび図7Bで説明したように、瞬間的に、第1熱流束センサ20aを通過する熱流束と第2熱流束センサ20bを通過する熱流束とが異なるようになる。したがって、制御部30は、第1センサ信号の電圧と第2センサ信号の電圧との和が閾値より大きいか否かを判定し、閾値より大きい場合にナット504やスライドブロック507に(移送装置S4)に異常発熱が発生していると判定する。
 以上説明したように、本開示の状態検出センサ20を用いて移送装置S4の異常判定を行う異常判定装置S2を構成することもでき、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
 (第8実施形態)
 本開示の第8実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して放熱体22を支持部材4にて構成したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、図18に示されるように、刃部1は、所定の熱容量(熱抵抗)を有するCuやAlで構成された平板状の支持部材4に、当該支持部材4との間に所定の空間が構成されるようにネジ23にて固定されている。そして、刃部1と支持部材4との間の空間には、刃部1側から第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21aおよび第2熱流束センサ20bが順に配置されている。つまり、第2熱流束センサ20bを挟んで熱緩衝体21aと反対側に支持部材4が配置されている。すなわち、本実施形態の支持部材4は、所定の熱容量を有するもので構成されており、刃部1を固定すると共に放熱体22としても機能するようになっている。
 なお、図18では制御部30は特に図示していないが、上記第1実施形態と同様に、状態検出センサ20における第1、第2熱流束センサ20a、20bから第1、第2センサ信号が入力されるようになっている。
 以上説明したように、放熱体22を支持部材4で構成し、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bが刃部1と支持部材4との間に配置される構成としても上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
 (他の実施形態)
 本開示は上記した実施形態に限定されるものではなく、本開示の範囲内において適宜変更が可能である。
 また、上記各実施形態において、制御部30は、第1、第2センサ信号(起電圧)を熱流束に変換した熱流束と閾値との関係を判定してもよい。
 そして、上記各実施形態において、状態検出センサ20を被対象物に取り付ける際、被対象物の取り付け箇所に凹凸等がある場合には、当該凹凸を吸収する緩衝材を介して状態検出センサ20を被対象物に取り付けるようにしてもよい。
 さらに、上記各実施形態では、絶縁基材100、200、表面保護部材110、210および裏面保護部材120、220を熱可塑性樹脂で構成する例について説明したが、例えば、絶縁基材100、200を熱硬化性樹脂で構成することもできる。これによれば、図6(h)の工程において、熱硬化性樹脂が流動しないため、第1、第2ビアホール101、102、201、202が積層体170の平面方向に変位することを抑制できる。また、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂が流動する際の流動抵抗となるため、特に絶縁基材100、200の外縁部において、熱可塑性樹脂が流出してしまうことを抑制できる。同様に、絶縁基材100、200を熱可塑性樹脂で構成すると共に、表面保護部材110、210および裏面保護部材120、220を熱硬化性樹脂で構成してもよいし、表面保護部材110、210および裏面保護部材120、220のいずれか一方を熱硬化性樹脂で構成してもよい。さらに、絶縁基材100、200、表面保護部材110、210、裏面保護部材120、220は、樹脂ではなくてもよい。
 また、上記第1実施形態において、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、上記構成に限らず、通過する熱流束に応じてセンサ信号を出力するものであればよい。同様に、各実施形態において、熱流束センサ20a~20dは、通過する熱流束に応じてセンサ信号を出力するものであればよい。
 さらに、上記第1実施形態において、放熱体22は、平面形状の大きさが第2熱流束センサ20bの平面形状とほぼ同じ大きさであり、第2熱流束センサ20bの裏面保護部材120のみがほぼ覆われるように配置されているものとすることもできる。つまり、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20b、放熱体22の配列方向(積層方向)から視たとき、放熱体22が第2熱流束センサ20bから突出する部分を有しない構成とすることもできる。これによれば、放熱体22が外気の影響を受ける部分が少なくでき、放熱体22の外気による熱の変動を低減できる。なお、このような状態検出センサ20を刃部1に取り付ける場合には、例えば、第1、第2熱流束センサ20a、20b内の表面パターン111、裏面パターン121、層間接続部材130、140(第1、第2ビアホール101、102)の配置箇所を適宜変更し、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bの略中央部を貫通するように、状態検出センサ20をネジ23にて刃部1に締結されるようにすればよい。同様に、上記第2~第7実施形態においても、放熱体22の大きさを小さくするようにしてもよい。
 そして、上記各実施形態において、状態検出センサ20は、ネジ23にて刃部1にネジ留めされていなくてもよい。例えば、状態検出センサ20と刃部1との間に両面テープや接着剤等の接合部材を配置すると共に、第1熱流束センサ20a、熱緩衝体21a、第2熱流束センサ20bの間に接合部材を配置し、当該接合部材を介して各構成体を固定するようにしてもよい。また、受熱体25を備える場合には、受熱体25との間に接合部材を配置するようにしてもよい。
 また、上記第5実施形態において、第1、第2熱流束センサ20a、20bの配置方法を変更して互いの裏面保護部材120、220が対向するように配置し、互いの裏面パターン121、221が外部配線301を介さずに直接接続されるようにしてもよい。
 さらに、上記各実施形態を適宜組み合わせることもできる。例えば、上記第2実施形態を上記第3~第8実施形態に組み合わせ、それぞれ受熱体25を備えるようにしてもよい。なお、上記第2実施形態を第4実施形態に組み合わせる場合には、受熱体25を第1~第9構成体40a~40iに対して共通のものとしてもよいし、受熱体25を第1~第9構成体40a~40iのそれぞれに備えるようにしてもよい。
 また、上記第3実施形態を上記第4~第8実施形態に組み合わせ、それぞれ第3、第4熱流束センサ20c、20d、および熱緩衝体21b、21cを備えるようにしてもよい。なお、第3実施形態を第5実施形態に組み合わせる場合には、例えば、第1、第2熱流束センサ20a、20bを一体化すると共に第3、第4熱流束センサ20c、20dを一体化してもよいし、第1、第2熱流束センサ20a、20bおよび第3、第4熱流束センサ20c、20dのいずれか一方のみを一体化するようにしてもよい。
 そして、上記第4実施形態を上記第5~第8実施形態に組み合わせ、第1~第9構成体40a~40iを備えるようにしてもよい。なお、上記第4実施形態を上記第5実施形態に組み合わせる場合、第1~第9構成体40a~40iのそれぞれにおいて第1、第2熱流束センサ20a、20bを一体化するようにしてもよいし、第1~第9構成体40a~40iの一部の構成体における第1、第2熱流束センサ20a、20bを一体化するようにしてもよい。また、第5実施形態を第6~第8実施形態に組み合わせ、第1、第2熱流束センサ20a、20bを一体化するようにしてもよい。
 第1~第4実施形態では、外部配線301は、第1熱流束センサ20aの連結端601bに設けられた表面パターン111を第2熱流束センサ20bの連結端701bに設けられた表面パターン211へ接続している。この構成に代えて、外部配線301は、第1熱流束センサ20aの連結端に設けられた裏面パターン121を第2熱流束センサ20bの連結端に設けられた裏面パターン221へ接続してもよい。同様に、第3実施形態における外部配線305は、第3熱流束センサ20cの連結端に設けられた裏面パターン121を第4熱流束センサ20dの連結端に設けられた裏面パターン221へ接続してもよい。
 第5実施形態では、第1、第2熱流束センサ20a、20bは、第1熱流束センサ20aの連結端601bに設けられた表面パターン111と、第2熱流束センサ20bの連結端701bに設けられた表面パターン211とが表面保護部材110、210に設けられた表面パターン350によって外部配線301を介さずに連続して直接接続されている。この構成に代えて、第1熱流束センサ20aの複数の裏面パターン121のうちの連結端に位置する1つと、第2熱流束センサ20bの複数の裏面パターン221のうちの連結端に位置する1つとを裏面保護部材120、220に設けられた裏面パターン450(図14参照)を用いて連続して直接接続することによって、第1熱流束センサ20aと、第2熱流束センサ20bとを互いに電気的に接続してもよい。
 

 

Claims (11)

  1.  被対象物(1、403、504、507)の状態に応じたセンサ信号を出力する状態検出センサにおいて、
     通過する熱流束に応じた第1センサ信号を出力する第1熱流束センサ(20a)と、
     通過する熱流束に応じた第2センサ信号を出力する第2熱流束センサ(20b)と、
     所定の熱容量を有する熱緩衝体(21a)と、
     所定の熱容量を有する放熱体(22)と、を有し、
     前記被対象物(1、403、504、507)側から前記第1熱流束センサ(20a)、前記熱緩衝体(21a)、前記第2熱流束センサ(20b)および前記放熱体(22)の順に配置され、
     前記第1熱流束センサ(20a)は、前記被対象物(1、403、504、507)と前記熱緩衝体(21a)との間の前記熱流束に応じた第1センサ信号を出力し、前記第2熱流束センサ(20b)は、前記熱緩衝体(21a)と前記放熱体(22)との間の前記熱流束に応じた第2センサ信号を出力する状態検出センサ。
  2.  前記放熱体(22)の前記所定の熱容量は、前記熱緩衝体(21a)の前記所定の熱容量より大きい請求項1に記載の状態検出センサ。
  3.  所定の熱容量を有し、前記第1熱流束センサ(20a)を挟んで前記熱緩衝体(21a)と反対側に配置される受熱体(25)を備えている請求項1または2に記載の状態検出センサ。
  4.  前記受熱体(25)の前記所定の熱容量は、前記熱緩衝体(21a)の前記所定の熱容量より小さい請求項3に記載の状態検出センサ。
  5.  前記熱緩衝体(21a)は第1熱緩衝体であり、
     前記状態検出センサは、
     通過する熱流束に応じた第3センサ信号を出力する第3熱流束センサ(20c)と、
     通過する熱流束に応じた第4センサ信号を出力する第4熱流束センサ(20d)と、
     所定の熱容量を有する第2熱緩衝体(21b)と、
     所定の熱容量を有する第3熱緩衝体(21c)と、を有し、
     前記被対象物(1、403、504、507)側から前記第1熱流束センサ(20a)、前記第1熱緩衝体、前記第2熱流束センサ(20b)、前記第2熱緩衝体(21b)、前記第3熱流束センサ(20c)、前記第3熱緩衝体(21c)、前記第4熱流束センサ(20d)および前記放熱体(22)の順に配置されており、
     前記第2熱流束センサ(20b)は前記第1熱緩衝体と前記第2熱緩衝体(21b)との間の熱流束に応じた第2センサ信号を出力し、前記第3熱流束センサ(20c)は前記第2熱緩衝体(21b)と前記第3熱緩衝体(21c)との間の熱流束に応じた第3センサ信号を出力し、前記第4熱流束センサ(20d)は前記第3熱緩衝体(21c)と前記放熱体(22)との間の熱流束に応じた第4センサ信号を出力する請求項1ないし4のいずれか1つに記載の状態検出センサ。
  6.  前記第1熱流束センサ(20a)、前記熱緩衝体(21a)および前記第2熱流束センサ(20b)を有する構成体(40a~40i)を複数備えている請求項1ないし5のいずれか1つに記載の状態検出センサ。
  7.  前記状態検出センサによる検出時に前記第1熱流束センサ(20a)を通過する熱流束と前記第2熱流束センサ(20b)を通過する熱流束とが互いに等しいときには、前記第1熱流束センサ(20a)から出力される前記第1センサ信号の電圧と、前記第2熱流束センサ(20b)から出力される前記第2センサ信号の電圧とは、絶対値が等しく、かつ、極性が反対となる請求項1ないし6のいずれか1つに記載の状態検出センサ。
  8.  前記第1熱流束センサ(20a)および前記第2熱流束センサ(20b)には、熱可塑性樹脂からなる絶縁基材(100、200)に該絶縁基材(100、200)の平面に直交する厚さ方向に貫通する複数の第1ビアホール(101、201)および複数の第2ビアホール(102、202)がそれぞれ形成され、
     前記第1熱流束センサ(20a)および前記第2熱流束センサ(20b)のそれぞれにおいて、前記複数の第1ビアホール(101、201)には、導電性金属からなる複数の第1層間接続部材(130、230)がそれぞれ埋め込まれ、前記複数の第2ビアホール(102、202)には、前記複数の第1層間接続部材(130、230)の導電性金属とは異なる導電性金属からなる複数の第2層間接続部材(140、240)がそれぞれ埋め込まれ、前記複数の第1層間接続部材(130、230)および前記複数の第2層間接続部材(140、240)が、前記絶縁基材(100、200)の表面(100a、200a)に設けられた導電性を有する複数の表面パターン(111、211)と、前記絶縁基材(100、200)の裏面(100b、200b)に設けられた導電性を有する複数の裏面パターン(121、221)とを介して交互に直列接続されている請求項1ないし7のいずれか1つに記載の状態検出センサ。
  9.  前記第1熱流束センサ(20a)および前記第2熱流束センサ(20b)のそれぞれにおいて、前記複数の第1層間接続部材(130、230)を形成する導電性金属および前記複数の第2層間接続部材(140、240)を形成する前記導電性金属の少なくとも一方は、複数の金属原子が固相焼結によって当該金属原子の結晶構造を維持した状態で焼結された焼結合金である請求項8に記載の状態検出センサ。
  10.  前記第1熱流束センサ(20a)および前記第2熱流束センサ(20b)は、一体化されており、
     前記第1熱流束センサ(20a)の前記複数の表面パターン(111)のうちの1つと、前記第2熱流束センサ(20b)の前記複数の表面パターン(211)のうちの1つとを互いに直接接続するか、または前記第1熱流束センサ(20a)の前記複数の裏面パターン(121)のうちの1つと、前記第2熱流束センサ(20b)の前記複数の裏面パターン(221)のうちの1つとを連続して直接接続することによって、前記第1熱流束センサ(20a)と、前記第2熱流束センサ(20b)とを互いに電気的に接続した請求項8または9に記載の状態検出センサ。
  11.  前記熱緩衝体(21a)は、前記第1熱流束センサ(20a)の前記絶縁基材(100)の平面および前記第2熱流束センサ(20b)の前記絶縁基材(200)の平面に平行な平面内において、前記第1熱流束センサ(20a)の前記絶縁基材(100)に設けられた前記複数の第1層間接続部材(130)および前記複数の第2層間接続部材(240)の全てを含む検出領域(SE)以上の範囲にわたって連続して設けられた一体の金属板である請求項8~10のいずれか1つに記載の状態検出センサ。

     
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