KR101779073B1 - 상태 검출 센서 - Google Patents

상태 검출 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR101779073B1
KR101779073B1 KR1020167035201A KR20167035201A KR101779073B1 KR 101779073 B1 KR101779073 B1 KR 101779073B1 KR 1020167035201 A KR1020167035201 A KR 1020167035201A KR 20167035201 A KR20167035201 A KR 20167035201A KR 101779073 B1 KR101779073 B1 KR 101779073B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heat flux
sensor
heat
flux sensor
state detection
Prior art date
Application number
KR1020167035201A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170008276A (ko
Inventor
노리오 고우코
아츠시 사카이다
도시히사 다니구치
게이지 오카모토
요시히코 시라이시
Original Assignee
가부시키가이샤 덴소
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 덴소 filed Critical 가부시키가이샤 덴소
Publication of KR20170008276A publication Critical patent/KR20170008276A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101779073B1 publication Critical patent/KR101779073B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K3/00—Thermometers giving results other than momentary value of temperature
    • G01K3/08—Thermometers giving results other than momentary value of temperature giving differences of values; giving differentiated values
    • G01K3/14—Thermometers giving results other than momentary value of temperature giving differences of values; giving differentiated values in respect of space
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00—Measuring quantity of heat
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00—Measuring quantity of heat
    • G01K17/06—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device
    • G01K17/08—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature
    • G01K17/20—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature across a radiating surface, combined with ascertainment of the heat transmission coefficient
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K3/00—Thermometers giving results other than momentary value of temperature
    • G01K3/08—Thermometers giving results other than momentary value of temperature giving differences of values; giving differentiated values

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

통과하는 열유속에 따른 제 1 센서 신호를 출력하는 제 1 열유속 센서(20a), 통과하는 열유속에 따른 제 2 센서 신호를 출력하는 제 2 열유속 센서(20b), 사전결정된 열용량을 가진 열완충체(21a) 및 사전결정된 열용량을 가진 방열체(22)가 구비되고, 피대상물(1, 403, 504, 507)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22)가 차례로 배치된다. 그리고, 제 1 열유속 센서(20a)로부터 피대상물과 열완충체(21a) 사이의 열유속에 따른 제 1 센서 신호가 출력되도록 하고, 제 2 열유속 센서(20b)로부터 열완충체(21a)와 방열체(22) 사이의 열유속에 따른 제 2 센서 신호가 출력되도록 한다.

Description

상태 검출 센서{STATE DETECTION SENSOR}
관련 출원의 상호 참조
본 개시는 2014년 10월 20일 출원된 일본 특허출원 제2014-213680호에 기초한 것으로, 본 개시로서 그 내용을 본 명세서에 개시한 것으로 한다.
본 개시는 피대상물의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 관한 것이다.
종래부터, 피대상물의 상태를 검출하는 상태 검출 센서를 이용하여 상기 상태 검출 센서로부터 출력되는 센서 신호를 기초로 피대상물의 이상 발열을 판정하는 이상 판정 장치가 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 즉, 이러한 이상 판정 장치는 피대상물에 있어서의 상부의 표면의 온도를 검출하는 온도 센서와 피대상물에 있어서의 하부의 표면의 온도를 검출하는 온도 센서를 가진 상태 검출 센서를 구비한다. 또한, 피대상물은 발열에 의한 대류가 발생하는 것이다. 그리고, 이상 판정 장치는 피대상물의 상부의 표면의 온도와 하부의 표면의 온도의 온도차를 기초로 피대상물의 이상 발열을 판정한다.
그러나, 이와 같은 상태 검출 센서에서는 온도 센서가 외기에 노출되어 있어, 외기에 의한 온도 변화의 영향을 받기 쉽다. 이 때문에, 상기 상태 검출 센서에서는 외기의 상태에 따라 피대상물의 온도(상태)를 정확히 검출할 수 없는 경우가 있다는 문제가 있다. 그리고, 이와 같은 상태 검출 센서를 이용한 이상 판정 장치에서는 상태 검출 센서에서 피대상물의 온도(상태)를 정확히 검출할 수 없기 때문에 피대상물의 이상 판정을 정확하게 실시할 수 없는 경우가 있다는 문제가 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 제1997-200918호 공보
본 개시는 상기 점을 감안하여, 외기의 상태에 불구하고 검출 정밀도가 저하되는 것을 억제할 수 있는 상태 검출 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 개시에서는 피대상물의 상태에 따른 센서 신호를 출력하는 상태 검출 센서로서, 통과하는 열유속에 따른 제 1 센서 신호를 출력하는 제 1 열유속 센서; 통과하는 열유속에 따른 제 2 센서 신호를 출력하는 제 2 열유속 센서; 사전결정된 열용량을 가진 열완충체; 및 사전결정된 열용량을 가진 방열체;를 가지고, 피대상물측으로부터 제 1 열유속 센서, 열완충체, 제 2 열유속 센서 및 방열체의 차례로 배치되고, 제 1 열유속 센서는 피대상물과 열완충체 사이의 열유속에 따른 제 1 센서 신호를 출력하고, 제 2 열유속 센서는 열완충체와 방열체 사이의 열유속에 따른 제 2 센서 신호를 출력하는 상태 검출 센서를 제공한다.
이에 따르면, 피대상물측으로부터 제 1 열유속 센서, 사전결정된 열용량을 가진 열완충체, 제 2 열유속 센서 및 사전결정된 열용량을 가진 방열체가 차례로 배치된다. 이 때문에, 외기에 노출되는 방열체의 열의 방출 또는 축적에 의하여 외기의 변화가 제 1 및 제 2 열유속 센서에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 제 1 열유속 센서와 제 2 열유속 센서 사이에는 사전결정된 열용량을 가진 열완충체가 배치되기 때문에 피대상물에 이상 발열이 발생하지 않은 경우 제 1 열유속 센서를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서를 통과하는 열유속이 동등하게 되고, 피대상물에 이상 발열이 발생하는 경우 순간적으로는 제 1 열유속 센서를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서를 통과하는 열유속이 상이하게 된다(도 7a 및 도 7b 참조). 따라서, 본 개시에 따르면, 외기의 상태에 불구하고 피대상물의 상태에 따른 센서 신호를 출력할 수 있어, 검출 정밀도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 본 개시의 제 1 실시 형태에 있어서의 상태 검출 센서를 이용하여 이상 판정 장치를 구성하고, 상기 이상 판정 장치를 절단 장치에 부착하였을 때의 모식도이다.
도 2는 도 1에 도시된 상태 검출 센서의 구성을 도시한 단면도이다.
도 3은 제 1 및 제 2 열유속 센서의 구성을 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 제 1 열유속 센서의 제조 공정을 도시한 단면도이다.
도 7a는 날부가 정상인 경우 제 1 및 제 2 열유속 센서를 통과하는 열유속을 도시한 도면이다.
도 7b는 날부에 이상 발열이 발생한 경우 제 1 및 제 2 열유속 센서를 통과하는 열유속을 도시한 도면이다.
도 8은 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합과 시간의 관계를 도시한 도면이다.
도 9는 본 개시의 제 2 실시 형태에 있어서의 상태 검출 센서의 구성을 도시한 단면도이다.
도 10은 본 개시의 제 3 실시 형태에 있어서의 상태 검출 센서의 구성을 도시한 단면도이다.
도 11은 제 3 실시 형태에 있어서의 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 합과 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 합을 가산한 가산값과 시간의 관계를 도시한 도면이다.
도 12는 본 개시의 제 4 실시 형태에 있어서의 상태 검출 센서의 구성을 도시한 단면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 상태 검출 센서의 평면도이다.
도 14는 본 개시의 제 5 실시 형태에 있어서의 상태 검출 센서의 구성을 도시한 단면도이다.
도 15는 본 개시의 제 6 실시 형태에 있어서의 이상 판정 장치를 절삭 장치에 적용한 모식도이다.
도 16은 본 개시의 제 7 실시 형태에 있어서의 이상 판정 장치를 이송 장치에 적용한 모식도이다.
도 17은 도 16의 화살표 A방향에서 본 모식도이다.
도 18은 본 개시의 제 8 실시 형태에 있어서의 이상 판정 장치를 절단 장치에 부착하였을 때의 모식도이다.
이하, 본 개시의 실시 형태에 대하여 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 이하의 각 실시 형태 상호에 있어서, 서로 동일 또는 균등한 부분에는 동일부호를 붙여서 설명을 실시한다.
(제 1 실시 형태)
본 개시의 제 1 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 본 실시 형태에서는 본 개시의 상태 검출 센서를 이용하여 절단 장치의 이상 발열(상태)을 판정하는 이상 판정 장치를 구성한 예에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 절단 장치(S1)는 날부(刃部: blade)(1)와 한쌍의 제 1 및 제 2 지그(2, 3)를 가진다. 본 실시 형태에 있어서, 날부(1)는 지지 부재(4)에 고정되어 있다. 또한, 제 1 지그(2)는 본체부(2a) 및 상기 본체부(2a)로부터 동일한 방향으로 돌출된 3개의 지지부(2b)를 가지고(도 1에서는 2개만 도시), 3개의 지지부(2b)에서 피가공 부재(10)를 끼워 넣는 구성으로 되어 있다. 제 2 지그(3)는, 제 1 지그(2)와 함께 피가공 부재(10)를 고정하도록, 제 1 지그(2)에 의해 지지되는 피가공 부재(10)측의 반대측에 배치된다.
이와 같은 절단 장치(S1)에서는 제 1 및 제 2 지그(2, 3)에 의하여 피가공 부재(10)를 고정하고, 제 1 지그(2)에 있어서의 지지부(2b)의 돌출 방향과 평행한 본체부(2a)의 중심을 지나는 축방향(L)을 중심으로 제 1 및 제 2 지그(2, 3)와 함께 피가공 부재(10)를 회전시키면서 상기 피가공 부재(10)를 날부(1)에 맞닿게 함으로써 피가공 부재(10)를 절단한다.
그리고, 이상 판정 장치(S2)는 상태 검출 센서(상태 검출 장치)(20)와 제어부(제어 장치)(30)를 구비하고, 상태 검출 센서(20)가 날부(1)에 부착된다.
상태 검출 센서(20)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b), 열완충체(21a) 및 방열체(22)를 구비한다. 우선, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)의 구성에 대하여 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 또한, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 동일한 구성이기 때문에, 제 1 열유속 센서(20a)를 예로 들어 설명하지만, 도 3 내지 도 5의 괄호 내의 부호는 제 2 열유속 센서(20b)의 부호에 대응한다.
제 1 열유속 센서(20a)에 있어서, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 각각 절연 기재(100), 표면 보호 부재(110) 및 이면 보호 부재(120)는 일체로 형성되고, 이러한 일체로 된 것의 내부에서 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 번갈아 직렬로 접속된다. 또한, 도 3에는 이해하기 쉽게 하기 위하여 표면 보호 부재(110)가 생략되어 도시된다.
절연 기재(100)는 본 실시 형태에 있어서 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르이미드(PEI), 액정 폴리머(LCP)로 대표되는 평면 직사각형상의 열가소성 수지 필름으로 구성된다. 그리고, 절연 기재(100)의 평면에 직교하는 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1 및 제 2 비아홀(101, 102)이 엇갈리게 되도록 격자 패턴으로 형성된다.
또한, 본 실시 형태의 제 1 및 제 2 비아홀(101, 102)은 절연 기재(100)의 표면(100a)으로부터 이면(100b)을 향하여 직경이 일정한 원통 형상으로 되어 있지만, 표면(100a)으로부터 이면(100b)을 향하여 직경이 작아지는 테이퍼 형상으로 되어 있어도 좋다. 또한, 이면(100b)으로부터 표면(100a)을 향하여 직경이 작아지는 테이퍼 형상으로 되어 있어도 좋고, 각통 형상(square tube form)으로 되어 있어도 좋다.
그리고, 제 1 비아홀(101)에는 제 1 층간 접속 부재(130)가 배치되고, 제 2 비아홀(102)에는 제 2 층간 접속 부재(140)가 배치된다. 즉, 절연 기재(100)에는 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 엇갈리게 되도록 배치된다.
제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)는 제벡(seebeck) 효과를 발휘하도록 서로 다른 도전성 금속으로 구성된다. 예를 들면, 제 1 층간 접속 부재(130)는 P형을 구성하는 Bi-Sb-Te합금의 분말이 소결 전에 있어서의 복수의 금속 원자의 결정 구조를 유지하도록 고상 소결된 금속 화합물(소결 합금)로 구성된다. 또한, 제 2 층간 접속 부재(140)는 N형을 구성하는 Bi-Te합금의 분말이 소결 전에 있어서의 복수의 금속 원자의 결정 구조를 유지하도록 고상 소결된 금속 화합물로 구성된다. 이와 같이, 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)로서 사전결정된 결정 구조가 유지되도록 고상 소결된 금속 화합물을 이용함으로써 기전압을 크게 할 수 있다.
또한, 도 3은 단면도는 아니지만, 이해하기 쉽게 하기 위하여, 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)에 해칭을 실시하고 있다.
절연 기재(100)의 표면(100a)에는 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르이미드(PEI), 액정 폴리머(LCP)로 대표되는 평면 직사각형상의 열가소성 수지 필름으로 구성되는 표면 보호 부재(110)가 배치된다. 이러한 표면 보호 부재(110)는 절연 기재(100)와 평면 형상이 같은 크기로 되어 있고, 절연 기재(100)와 대향하는 일면(110a)측에 동박 등이 패터닝된 도전성을 가진 복수의 표면 패턴(복수의 표면 도체부)(111)이 서로 이격되도록 형성된다. 그리고, 각 표면 패턴(111)은 각각 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)와 적절히 전기적으로 접속된다.
구체적으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 인접하는 1개의 제 1 층간 접속 부재(130)와 1개의 제 2 층간 접속 부재(140)를 세트(150)로 하였을 때, 각 세트(150)의 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)는 같은 표면 패턴(111)과 접속된다. 즉, 각 세트(150)의 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)는 표면 패턴(111)을 통하여 전기적으로 접속된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 절연 기재(100)의 세로 방향(도 4의 지면 좌우 방향)을 따라 인접하는 1개의 제 1 층간 접속 부재(130)와 1개의 제 2 층간 접속 부재(140)가 세트(150)로 되어 있다.
절연 기재(100)의 이면(100b)에는 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르이미드(PEI), 액정 폴리머(LCP)로 대표되는 평면 직사각형상의 열가소성 수지 필름으로 구성되는 이면 보호 부재(120)가 배치된다. 이러한 이면 보호 부재(120)는 절연 기재(100)와 평면 형상이 같은 크기로 되어 있고, 절연 기재(100)와 대향하는 일면(120a)측에 동박 등이 패터닝된 도전성을 가진 복수의 이면 패턴(복수의 이면 도체부)(121)이 서로 이격되도록 형성된다. 그리고, 각 이면 패턴(121)은 각각 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)와 적절히 전기적으로 접속된다.
구체적으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 절연 기재(100)의 세로 방향에 인접하는 세트(150)에 있어서, 한쪽의 세트(150)의 제 1 층간 접속 부재(130)와 다른쪽의 세트(150)의 제 2 층간 접속 부재(140)가 같은 이면 패턴(121)과 접속된다. 즉, 세트(150)에 걸쳐 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 같은 이면 패턴(121)을 통하여 전기적으로 접속된다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 절연 기재(100)의 외부 가장자리에서는 세로 방향과 직교하는 방향(도 3의 지면 상하 방향)을 따라 인접하는 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 같은 이면 패턴(121)과 접속된다. 상세히 서술하면, 절연 기재(100)의 세로 방향에 표면 패턴(111) 및 이면 패턴(121)을 통하여 직렬로 접속된 것이 되꺾이도록 인접하는 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 같은 이면 패턴(121)과 접속된다.
이상이 본 실시 형태에 있어서의 제 1 열유속 센서(20a)의 기본적인 구성이고, 상기와 같이, 제 2 열유속 센서(20b)의 구성은 제 1 열유속 센서(20a)와 동일하다.
즉, 제 2 열유속 센서(20b)에서는 절연 기재(200), 표면 보호 부재(210) 및 이면 보호 부재(220)가 일체로 되어 있다. 그리고, 제 1 및 제 2 비아홀(201, 202)은 절연 기재(200)의 표면(200a)으로부터 이면(200b)을 향하여 직경이 일정한 원통 형상으로 형성된다. 제 1 비아홀(201)에는 제 1 층간 접속 부재(230)가 배치되고, 제 2 비아홀(202)에는 제 2 층간 접속 부재(240)가 배치되어 있다. 표면 보호 부재(210)는 절연 기재(200)와 평면 형상이 같은 크기로 되어 있고, 절연 기재(200)와 대향하는 일면(210a)측에 동박 등이 패터닝된 복수의 표면 패턴(211)이 서로 이격되도록 형성된다. 그리고, 각 표면 패턴(211)은 각각 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(230, 240)와 적절히 전기적으로 접속된다. 이면 보호 부재(220)는 절연 기재(200)와 평면 형상이 같은 크기로 되어 있고, 절연 기재(200)와 대향하는 일면(220a)측에 동박 등이 패터닝된 복수의 이면 패턴(221)이 서로 이격되도록 형성된다. 그리고, 각 이면 패턴(221)은 각각 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(230, 240)와 적절히 전기적으로 접속된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 인접하는 1개의 제 1 층간 접속 부재(230)와 1개의 제 2 층간 접속 부재(240)를 세트(250)로 하였을 때, 각 세트(250)의 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(230, 240)는 같은 표면 패턴(211)과 접속된다.
이와 같은 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 두께 방향으로 통과하는 열유속에 따른 센서 신호(기전압)를 출력한다. 열유속이 변화하면, 번갈아 직렬 접속된 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)에서 발생하는 기전압이 변화하기 때문이다. 또한, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)의 두께 방향이란, 절연 기재(100), 표면 보호 부재(110) 및 이면 보호 부재(120)의 적층 방향으로서 절연 기재(100)의 평면에 직교하는 방향을 말한다.
여기에서, 상기 제 1 열유속 센서(20a)의 제조 방법에 대하여 도 6(a) 내지 (h)를 참조하여 설명한다. 또한, 제 2 열유속 센서(20b)의 제조 방법도 제 1 열유속 센서(20a)와 동일하다.
우선, 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 절연 기재(100)를 준비하고, 복수의 제 1 비아홀(101)을 드릴이나 레이저 등에 의하여 형성한다.
다음으로, 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 각 제 1 비아홀(101)에 제 1 도전성 페이스트(131)를 충전한다. 또한, 제 1 비아홀(101)에 제 1 도전성 페이스트(131)를 충전하는 방법(장치)으로서는, 본 출원인에 의한 일본 특허출원 제 2010-50356호(특허공개 제2011-187619호)에 기재된 방법(장치)을 채용할 수 있다.
간단히 설명하면, 흡착지(160)를 통하여 도시되지 않는 지지대 상에 이면(100b)이 흡착지(160)와 대향하도록 절연 기재(100)를 배치한다. 그리고, 제 1 도전성 페이스트(131)를 용융시키면서 제 1 비아홀(101) 내에 제 1 도전성 페이스트(131)를 충전한다. 이에 따라, 제 1 도전성 페이스트(131)의 유기 용제의 대부분이 흡착지(160)에 흡착되고, 제 1 비아홀(101)에 합금의 분말이 밀접하게 배치된다.
또한, 흡착지(160)는 제 1 도전성 페이스트(131)의 유기 용제를 흡수할 수 있는 재질의 것이면 좋고, 일반적인 상질지 등이 이용된다. 또한, 제 1 도전성 페이스트(131)는 금속 원자가 사전결정된 결정 구조를 유지하는 Bi-Sb-Te합금의 분말을 융점이 43℃인 파라핀 등의 유기 용제를 추가하여 페이스트화한 것이 이용된다. 이 때문에, 제 1 도전성 페이스트(131)를 충전할 때에는 절연 기재(100)의 표면(100a)이 약 43℃로 가열된 상태에서 실시된다.
계속하여, 도 6(c)에 도시된 바와 같이, 절연 기재(100)에 복수의 제 2 비아홀(102)을 드릴이나 레이저 등에 의하여 형성한다. 이러한 제 2 비아홀(102)은 상기와 같이, 제 1 비아홀(101)과 엇갈리게 되고, 제 1 비아홀(101)과 함께 격자 패턴을 구성하도록 형성된다.
다음으로, 도 6(d)에 도시된 바와 같이, 각 제 2 비아홀(102)에 제 2 도전성 페이스트(141)를 충전한다. 또한, 이러한 공정은 상기 도 6(b)와 동일한 공정으로 실시할 수 있다.
즉, 다시 흡착지(160)를 통하여 도시되지 않는 지지대 상에 이면(100b)이 흡착지(160)와 대향하도록 절연 기재(100)를 배치한 후, 제 2 비아홀(102) 내에 제 2 도전성 페이스트(141)를 충전한다. 이에 따라, 제 2 도전성 페이스트(141)의 유기 용제의 대부분이 흡착지(160)에 흡착되고, 제 2 비아홀(102)에 합금의 분말이 밀접하게 배치된다.
제 2 도전성 페이스트(141)는 제 1 도전성 페이스트(131)를 구성하는 금속 원자와 다른 금속 원자가 사전결정된 결정 구조를 유지하는 Bi-Te합금의 분말을 융점이 상온인 테르피네(terpine) 등의 유기 용제를 추가하여 페이스트화한 것이 이용된다. 즉, 제 2 도전성 페이스트(141)를 구성하는 유기 용제는 제 1 도전성 페이스트(131)를 구성하는 유기 용제보다 융점이 낮은 것이 이용된다. 그리고, 제 2 도전성 페이스트(141)를 충전할 때에는 절연 기재(100)의 표면(100a)이 상온으로 유지된 상태에서 실시된다. 바꾸어 말하면, 제 1 도전성 페이스트(131)에 포함되는 유기 용제가 고화된 상태에서 제 2 도전성 페이스트(141)의 충전이 실시된다. 이에 따라, 제 1 비아홀(101)에 제 2 도전성 페이스트(141)가 혼입되는 것이 억제된다.
또한, 제 1 도전성 페이스트(131)에 포함되는 유기 용제가 고화된 상태란, 상기 도 6(b)의 공정에 있어서, 흡착지(160)에 흡착되지 않고 제 1 비아홀(101)에 잔존하는 유기 용제를 말한다.
그리고, 상기 각 공정과는 별도 공정에 있어서, 도 6(e) 및 도 6(f)에 도시된 바와 같이, 표면 보호 부재(110) 및 이면 보호 부재(120) 중, 절연 기재(100)와 대향하는 일면(110a, 120a)에 동박 등을 형성한다. 그리고, 이러한 동박을 적절히 패터닝함으로써 서로 이격되어 있는 복수의 표면 패턴(111)이 형성된 표면 보호 부재(110), 서로 이격되어 있는 복수의 이면 패턴(121)이 형성된 이면 보호 부재(120)를 준비한다.
이후, 도 6(g)에 도시된 바와 같이, 이면 보호 부재(120), 절연 기재(100) 및 표면 보호 부재(110)를 차례로 적층하여 적층체(170)를 구성한다.
계속하여, 도 6(h)에 도시된 바와 같이, 이러한 적층체(170)를 도시되지 않는 한쌍의 프레스판 사이에 배치하고, 적층 방향의 상하 양면으로부터 진공 상태로 가열하면서 가압함으로써 적층체(170)를 일체화한다. 구체적으로, 제 1 및 제 2 도전성 페이스트(131, 141)가 고상 소결되어 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 형성되고, 또한 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)와 표면 패턴(111) 및 이면 패턴(121)이 접속되도록 가열하면서 가압함으로써 적층체(170)를 일체화한다.
또한, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 적층체(170)를 일체화할 때에는 적층체(170)와 프레스판 사이에 록 울 페이퍼(rock wool paper) 등의 완충재를 배치하여도 좋다. 이상과 같이 하여, 상기 제 1 열유속 센서(20a)가 제조된다.
열전도체인 열완충체(축열체)(21a)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 사전결정된 열용량(열저항)을 가진 것으로 구성된 평판 형상으로 되어 있고, Cu나 Al 등의 금속이나 수지 등으로 구성된다. 또한, 열완충체(21a)는 도 2에서는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)와 평면 형상이 같은 크기로 되어 있는 것을 도시하고 있지만, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)와 평면 형상의 크기가 상이하여도 좋다. 본 실시 형태에 있어서, 열완충체(21a)는, 제 1 열유속 센서(20a)의 절연 기재(100)의 평면 및 제 2 열유속 센서(20b)의 절연 기재(200)의 평면에 평행한 평면 내에 있어서, 제 1 열유속 센서(20a)의 절연 기재(100)에 설치된 복수의 제 1 층간 접속 부재(130) 및 복수의 제 2 층간 접속 부재(240)의 전부를 포함하는 검출 영역(SE)(도 3 참조) 이상의 범위에 걸쳐 연속적으로 설치된 일체의 금속판이고, 상기 금속판은 Cu나 Al 등의 금속으로 이루어진다.
방열체(22)는 사전결정된 열용량(열저항)을 가진 것으로 구성된 평판 형상으로 되어 있고, Cu 또는 Al 등의 금속이나 수지 등으로 구성된다. 본 실시 형태에 있어서, 방열체(22)는 열용량이 열완충체(21a)의 열용량보다 커지도록 재질이나 두께 등이 적절히 조절된다. 또한, 방열체(22)는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b) 및 열완충체(21a)의 평면 형상보다 크게 되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 방열체(22)는 주위의 외기에 열을 직접 방열하는 것이지만, 다른 히트 싱크(heat sink) 또는 냉각액(coolant) 등에 열을 방열하는 것이어도 좋다.
그리고, 상태 검출 센서(20)는 날부(1)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22)의 차례로 상기 날부(1)에 배치된다. 즉, 열완충체(21a)는 제 1 열유속 센서(20a)와 제 2 열유속 센서(20b) 사이에 배치된 상태로 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 날부(1)는 본 개시의 피대상물에 상당한다. 그리고, 상태 검출 센서(20)는 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22)의 배열 방향(적층 방향)에서 보았을 때, 방열체(22) 중 제 2 열유속 센서(20b)로부터 돌출하는 부분이 날부(1)에 나사(23)로 체결됨으로써 날부(1)에 고정된다.
또한, 날부(1)와 방열체(22) 사이에는 날부(1)와 방열체(22)가 사전결정된 거리만큼 이격되도록 수지 등으로 구성되는 스페이서(24)가 배치된다. 그리고, 나사(23)는 상기 스페이서(24)를 관통하여 날부(1)에 나사 고정된다. 또한, 특별히 도시되어 있지 않지만, 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22) 사이에는 각각 접착성을 가진 열전 시트(heat transfer sheet) 또는 열전 페이스트(heat transfer paste) 등의 열전 부재가 배치되고, 상기 열전 부재 등을 통하여 서로 접착된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는, 날부(1)와 방열체(22)(외기) 사이에 열유속이 발생한 경우, 제 1 열유속 센서(20a)로부터 출력되는 제 1 센서 신호의 전압 및 제 2 열유속 센서(20b)로부터 출력되는 제 2 센서 신호의 전압의 극성이 반대로 되도록 배치된다. 즉, 예를 들면, 제 1 센서 신호의 전압의 극성이 플러스인 경우에는, 제 2 센서 신호의 전압의 극성이 마이너스로 되도록 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)가 배치된다.
구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 서로의 표면 보호 부재(110)가 대향하도록 배치된다. 그리고, 외부 배선(302)은 제 1 열유속 센서(20a)의 출력단(601a)(도 3 참조)에 설치된 이면 패턴(121)을 제어부(30)에 접속한다. 외부 배선(301)은 제 1 열유속 센서(121)의 출력단(601a)과 반대측의 연결단(601b)(도 3 참조)에 설치된 표면 패턴(111)을 제 2 열유속 센서(20b)의 연결단(701b)(도 3 참조)에 설치된 표면 패턴(211)에 접속한다. 또한, 외부 배선(303)은 제 2 열유속 센서(20b)의 연결단(701b)과 반대측의 출력단(701a)에 설치된 이면 패턴(221)을 제어부(30)에 접속한다. 또한, 외부 배선(301)은 도 2의 아래쪽으로 연장 설치되지만, 도 2의 위쪽으로 연장 설치되어도 좋다.
상기와 같이, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 대향 배치시킴으로써, 예를 들면, 열유속이 제 1 열유속 센서(20a)를 이면 보호 부재(120)측으로부터 표면 보호 부재(110)측으로 통과시키는 경우에는, 상기 열유속이 제 2 열유속 센서(20b)를 표면 보호 부재(210)측으로부터 이면 보호 부재(220)측으로 통과시키기 때문에, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 출력되는 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 극성이 반대로 된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는, 이면 보호 부재(120, 220)측으로부터 표면 보호 부재(110, 210)측으로 향하는 열유속이 통과하였을 때, 플러스 전압의 센서 신호를 출력하도록 배치된다. 이 때문에, 날부(1)측으로부터 방열체(22)측을 향하는 열유속이 발생한 경우, 즉, 제 1 열유속 센서(20a)를 이면 보호 부재(120)측으로부터 표면 보호 부재(110)측으로 통과시키고, 또한, 제 2 열유속 센서(20b)를 표면 보호 부재(210)측으로부터 이면 보호 부재(220)측으로 통과시키는 열유속이 발생한 경우, 제 1 열유속 센서(20a)로부터의 플러스 전압의 센서 신호가 출력되고, 제 2 열유속 센서(20b)로부터 마이너스 전압의 센서 신호가 출력된다.
이상이 본 실시 형태에 있어서의 상태 검출 센서(20)의 구성이다.
다음으로, 제어부(30)에 대하여 설명한다. 제어부(30)는 CPU, 기억 장치(기억 수단)를 구성하는 각종 메모리, 주변 기기 등을 이용하여 구성되고, 도시되지 않는 스피커(음성 수단) 또는 표시 장치(표시 수단) 등과 접속된다. 그리고, 상기와 같이, 제어부(30)가 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)와 접속되고, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 제 1 및 제 2 센서 신호가 입력되면, 제 1 및 제 2 센서 신호와 기억 수단에 기억되어 있는 한계값을 기초로 날부(1)에 이상 발열이 발생하는지 여부를 판정한다. 구체적으로, 제어부(30)는 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 합과 한계값을 비교함으로써 날부(1)에 이상 발열이 발생하는지 여부를 판정한다. 그리고, 이상 발열이 발생한다고 판정한 경우에는, 표시 장치(표시 수단)나 스피커(음성 수단)를 통하여 날부(1)에 이상 발열이 발생한다는 것을 작업자에게 통지한다. 또한, 날부(1)에 이상 발열이 발생하는 것은 예를 들면, 날부(1)에 날의 이 빠짐(chipping of blade) 등이 발생한 경우이다.
이상이 본 실시 형태에 있어서의 이상 판정 장치(S2)의 구성이다. 다음으로, 상기 이상 판정 장치(S2)를 이용한 이상 판정 방법에 대하여 설명한다. 우선, 상태 검출 센서(20)에 있어서의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 통과하는 열유속 및 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 출력되는 제 1 및 제 2 센서 신호에 대하여 설명한다.
우선, 방열체(22)는 외기에 노출된 상태로 되어 있지만, 상기와 같이, 사전결정된 열용량을 가진 것으로 구성된다. 이 때문에, 외기와 같은 변화의 경우, 방열체(22)에서 외기의 온도 변화에 대하여 열의 축적 및 방출이 실시됨으로써, 방열체(22)보다 날부(1)측에 위치하는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)가 외기의 영향을 받는 것을 억제할 수 있다.
그리고, 날부(1)에 이상 발열이 발생하지 않은 경우 또는 날부(1)에 이상 발열이 발생한 후 사전결정된 기간 경과한 후, 열완충체(21a)에는 사전결정된 열이 축적되어 있는 상태로 된다. 이 때문에, 도 7a의 화살표로 도시된 바와 같이, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 대략 동등하게 된다. 따라서, 제 1 열유속 센서(20a)로부터 출력되는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 열유속 센서(20b)로부터 출력되는 제 2 센서 신호의 전압은 극성이 반대이고 절대값이 대략 동등하게 된다. 이 때문에, 이 상태에서는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합은 대략 0(zero)으로 된다.
이에 대해, 날부(1)에서 이상 발열이 발생한 경우, 도 7b의 화살표로 도시된 바와 같이, 순간적으로 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속은 커지지만, 열완충체(21a)에 이상 발열에 의한 열이 축적되기 때문에 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속은 거의 변화하지 않는다. 즉, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하다. 이 때문에, 날부(1)에서 이상 발열이 발생한 경우, 제 1 열유속 센서(20a)로부터 출력되는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 열유속 센서(20b)로부터 출력되는 제 2 센서 신호의 전압은 극성이 반대이고 절대값도 다른 신호로 된다. 즉, 날부(1)에 이상 발열이 발생한 경우, 외기의 상태에 불구하고 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 이상 발열에 따른 제 1 및 제 2 센서 신호가 출력된다.
이상이 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 통과하는 열유속 및 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 출력되는 제 1 및 제 2 센서 신호의 관계이다. 다음으로, 제어부(30)의 이상 판정에 대하여 도 8을 참조하여 설명한다. 또한, 도 8은 시점(T1)에서 날부(1)에 이상 발열이 발생하였을 때의 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합과 시간의 관계를 도시한 도면이다.
제어부(30)는, 상기와 같이, 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합과 한계값을 기초로 하여 날부(1)에 이상 발열이 발생하는지 여부를 판정한다. 본 실시 형태에서는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 큰지의 여부를 판정하고, 한계값보다 큰 경우에 날부(1)(절단 장치(S1))에 이상 발열이 발생한다고 판정한다.
구체적으로, 날부(1)에 이상 발열이 발생하는 시점(T1) 이전에는 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 동등하고(도 7a 참조), 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 작다. 이 때문에, 제어부(30)는 날부(1)가 정상이라고 판정한다.
이에 대해, 시점(T1)에서 이상 발열이 발생하면, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하고(도 7b 참조), 시점(T2)으로부터 시점(T4)에서는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 커지게 된다. 이 때문에, 제어부(30)는 날부(1)에 이상 발열이 발생하였다고 판정하고, 음성 수단이나 표시 수단 등을 통하여 작업자에게 날부(1)에 이상 발열이 발생한다는 것을 통지한다.
또한, 시점(T3) 이후에는 상기와 같이, 이상 발열에 의한 열이 열완충체(21a)에 축적되기 때문에 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속의 차이가 점차 작아진다. 이 때문에, 시점(T3) 이후에는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 0에 가까워진다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 상태 검출 센서(20)에서는 두께 방향으로 통과하는 열유속에 따른 제 1 및 제 2 센서 신호를 출력하는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)와, 사전결정된 열용량을 가진 열완충체(21a) 및 방열체(22)를 구비한다. 그리고, 날부(1)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22)가 차례로 배치된다. 이 때문에, 방열체(22)가 열의 방출 및 축적을 실시함으로써 외기가 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제 1 열유속 센서(20a)와 제 2 열유속 센서(20b) 사이에 열완충체(21a)가 배치되기 때문에 날부(1)에 이상 발열이 발생하지 않은 경우, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 동등하게 되고, 날부(1)에 이상 발열이 발생한 경우, 순간적으로는 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이한 것으로 된다(도 7a 및 도 7b 참조). 따라서, 외기의 상태에 불구하고 날부(1)의 상태를 검출하는 검출 정밀도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
그리고, 이와 같은 상태 검출 센서(20)를 이용하여 이상 판정 장치(S2)를 구성함으로써, 상태 검출 센서(20)는 외기의 상태에 불구하고 고정밀도의 제 1 및 제 2 센서 신호를 출력할 수 있기 때문에, 날부(1)에 있어서의 이상 발열의 판정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 제 1 열유속 센서(20a) 및 제 2 열유속 센서(20b)는 제 1 열유속 센서(20a)로부터 출력되는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 열유속 센서(20b)로부터 출력되는 제 2 센서 신호의 전압의 극성이 서로 반대로 되도록 배치된다. 이 때문에, 제어부(30)에서의 연산 처리를 간소화할 수 있다.
그리고, 본 실시 형태에서는 열가소성 수지로 이루어지는 절연 기재(100)에 제 1 및 제 2 비아홀(101, 102)을 형성하고, 제 1 및 제 2 비아홀(101, 102) 내에 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)를 배치하여 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 구성한다. 이 때문에, 제 1 및 제 2 비아홀(101, 102)의 수나 직경, 간격 등을 적절히 변경함으로써 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)의 고밀도화가 가능하게 된다. 이에 따라, 기전압을 크게 할 수 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)의 고감도화를 도모할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140, 230, 240)로서, 소결 전의 결정 구조가 유지되도록 고상 소결된 금속 화합물(Bi-Sb-Te합금, Bi-Te합금)을 이용한다. 즉, 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140, 230, 240)를 형성하는 금속은 복수의 금속 원자가 상기 금속 원자의 결정 구조를 유지한 상태로 소결된 소결 합금이다. 이에 따라, 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140, 230, 240)를 형성하는 금속이 액상 소결된 소결 합금의 경우와 비교하여 기전압을 크게 할 수 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)의 고감도화를 도모할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 절연 기재(100, 200), 표면 보호 부재(110, 210) 및 이면 보호 부재(120, 220)가 열가소성 수지를 이용하여 구성되며 가요성을 가진다. 이 때문에, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)가 배치되는 부분의 형상에 따라서 적절히 변형할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 큰지의 여부를 판정함으로써 이상 판정을 실시하는 예에 대하여 설명하였지만, 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 큰 기간(도 8 중에서는 시점(T2)으로부터 시점(T4)의 기간)을 기초로 하여 이상 판정을 실시하도록 하여도 좋다. 이에 따르면, 노이즈 등에 의하여 순간적으로 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 커지는 경우를 제외할 수 있어서, 판정 정밀도의 향상을 더욱 도모할 수 있다.
(제 2 실시 형태)
본 개시의 제 2 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 제 1 열유속 센서(20a)를 사이에 두고 열완충체(21a)와 반대측에 수열체(heat receiving body)를 배치한 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서, 도 9에 도시된 바와 같이, 상태 검출 센서(20)는 제 1 열유속 센서(20a)를 사이에 두고 열완충체(21a)와 반대측에 배치되는 수열체(25)를 구비한다. 즉, 상태 검출 센서(20)는 날부(1)와 제 1 열유속 센서(20a) 사이에 배치되는 수열체(25)를 구비한다. 이러한 수열체(25)는 열완충체(21a)나 방열체(22)와 마찬가지로, 사전결정된 열용량(열저항)을 가진 것으로 구성된 평판 형상으로 되고, Cu 또는 Al 등의 금속이나 수지 등으로 구성된다. 또한, 본 실시 형태의 수열체(25)는 열용량이 열완충체(21a) 및 방열체(22)보다 작아지도록 재질이나 두께가 적절히 조절된다.
이와 같은 상태 검출 센서(20)에서는 수열체(25)의 열의 방출, 축적에 의하여 날부(1)에 발생하는 노이즈 등의 미소한 열류 변화가 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 상태 검출 정밀도의 향상을 더욱 도모할 수 있다.
또한, 날부(1)에 노이즈 등의 미소한 열류 변화가 발생하는 경우, 상기 열류 변화는 통상 매우 단기적인 것이다. 이 때문에, 본 실시 형태와 같이, 수열체(25)의 열용량을 열완충체(21a)나 방열체(22)의 열용량보다 작게 함으로써 단기적인 노이즈가 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)에 영향을 주는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
(제 3 실시 형태)
본 개시의 제 3 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 복수의 열유속 센서와 열완충체를 더 구비하는 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서, 도 10에 도시된 바와 같이, 상태 검출 센서(20)는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20c, 20d), 열완충체(21a)에 추가하여 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d) 및 열완충체(21b, 21c)를 구비한다. 그리고, 상태 검출 센서(20)는 날부(1)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b), 열완충체(21b), 제 3 열유속 센서(20c), 열완충체(21c), 제 4 열유속 센서(20d) 및 방열체(22)의 차례로 배치된다.
제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d)는 상기 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)와 같은 구성이고, 두께 방향으로 통과하는 열유속에 따른 제 3 및 제 4 센서 신호를 출력한다. 또한, 도 10 중에서는 제 3 열유속 센서(20c)에 있어서의 절연 기재(100), 표면 보호 부재(110), 표면 패턴(111), 이면 보호 부재(120), 이면 패턴(121) 및 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(130, 140)의 각 부위에 대하여 제 1 열유속 센서(20a)의 부호와 동일한 부호를 붙이고, 제 4 열유속 센서(20d)에 있어서의 절연 기재(200), 표면 보호 부재(210), 표면 패턴(211), 이면 보호 부재(220), 이면 패턴(221) 및 제 1 및 제 2 층간 접속 부재(230, 240)의 각 부위에 대하여 제 2 열유속 센서(20b)의 부호와 동일한 부호를 붙인다.
그리고, 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d)는, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)와 마찬가지로, 서로의 표면 보호 부재(110, 210)가 대향하도록 배치된다. 외부 배선(304)은 제 3 열유속 센서(20c)의 출력단(601a)(도 3 참조)에 설치된 이면 패턴(121)을 제어부(30)에 접속한다. 외부 배선(305)은 제 3 열유속 센서(20c)의 출력단(601a)과 반대측의 연결단(601b)(도 3 참조)에 설치된 표면 패턴(111)을 제 4 열유속 센서(20d)의 연결단(701b)(도 3 참조)에 설치된 표면 패턴(211)에 접속한다. 또한, 외부 배선(306)은 제 4 열유속 센서(20d)의 연결단(701b)과 반대측의 출력단(701a)에 설치된 이면 패턴(221)을 제어부(30)에 접속한다. 이와 같이, 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d)를 대향 배치시킴으로써 예를 들면, 열유속이 제 3 열유속 센서(20c)를 이면 보호 부재(120)측으로부터 표면 보호 부재(110)측으로 통과시키는 경우에는, 상기 열유속이 제 4 열유속 센서(20d)를 표면 보호 부재(210)측으로부터 이면 보호 부재(220)측으로 통과시키기 때문에 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d)로부터 출력되는 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 극성이 서로 반대로 된다.
또한, 열완충체(21b, 21c)는, 상기 열완충체(21a)와 마찬가지로, 사전결정된 열용량(열저항)을 가진 것으로 구성된 평판 형상으로 되어 있고, Cu 또는 Al 등의 금속이나 수지 등으로 구성된다. 본 실시 형태에 있어서, 각 열완충체(21a~21c)는 각각 같은 열용량을 갖도록 구성된다. 또한, 열완충체(21a~21c)는 각각 제 1 열완충체(제 1 축열체), 제 2 열완충체(제 2 축열체) 및 제 3 열완충체(제 3 축열체)로서 설치된다.
제어부(30)에는 제 1 및 제 2 센서 신호에 추가하여 제 3 및 제 4 센서 신호도 입력된다. 그리고, 제 1 내지 제 4 센서 신호가 입력되면, 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 합과 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 합을 가산하고, 가산한 가산값과 한계값을 비교함으로써 날부(1)에 이상 발열이 발생하는지 여부를 판정한다.
다음으로, 제 1 내지 제 4 열유속 센서(20a~20d)로부터 출력되는 제 1 내지 제 4 센서 신호에 대하여 설명한다.
이와 같은 상태 검출 센서(20)에 있어서, 상기 제 1 실시 형태와 마찬가지로, 날부(1)에 이상 발열이 발생하지 않은 경우 또는 날부(1)에 이상 발열이 발생한 후 사전결정된 기간 경과한 후, 각 열완충체(21a~21c)에는 사전결정된 열이 축적되어 있는 상태로 된다. 따라서, 제 1 내지 제 4 열유속 센서(20a~20d)를 통과하는 열유속이 대략 동등하게 된다. 이 때문에, 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압은 극성이 서로 반대이고 절대값이 대략 동등하게 되고, 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압은 극성이 서로 반대이고 절대값이 대략 동등하게 된다.
또한, 날부(1)에서 이상 발열이 발생한 경우, 열완충체(21a~21c)에 이상 발열에 의한 열이 차례로 축적되기 때문에, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속이 커진 후, 제 2 열유속 센서(20b), 제 3 열유속 센서(20c) 및 제 4 열유속 센서(20d)를 통과하는 열유속이 차례로 커진다. 그리고, 사전결정된 기간 경과 후, 제 1 내지 제 4 열유속 센서(20a~20d)를 통과하는 열유속이 동등하게 된다. 이 때문에, 날부(1)에서 이상 발열이 발생한 경우에는, 우선, 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 극성 및 절대값이 상이한 것으로 되고, 이후, 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 극성 및 절대값이 상이한 것으로 된다.
다음으로, 제어부(30)의 이상 판정에 대하여 도 11을 참조하여 설명한다. 또한, 도 11은 시점(T11)에서 날부(1)에 이상 발열이 발생하였을 때의 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 합과 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 합을 가산한 가산값과 시간의 관계를 도시한 도면이다.
제어부(30)는, 상기와 같이, 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 합과 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 합을 가산한 가산값과 한계값을 기초로 하여 날부(1)에 이상 발열이 발생하지 여부를 판정한다.
구체적으로, 날부(1)에 이상 발열이 발생하는 시점(T11) 이전에는 제 1 내지 제 4 열유속 센서(20a~20d)를 통과하는 열유속이 동등하기 때문에, 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압의 합과 제 3 및 제 4 센서 신호의 전압의 합을 가산한 가산값이 한계값보다 작다. 이 때문에, 제어부(30)는 날부(1)가 정상이라고 판정한다.
이에 대해, 시점(T11)에서 이상 발열이 발생하면, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하다. 또한, 시점(T11)에서 이상 발열이 발생한 직후에는 제 3 열유속 센서(20c)를 통과하는 열유속과 제 4 열유속 센서(20d)를 통과하는 열유속은 동등한 상태이다. 그리고, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하기 때문에 시점(T12)에서 가산한 가산값이 한계값보다 커진다.
이후, 열완충체(21a)에 이상 발열에 의한 열이 축적되면, 열완충체(21b, 21c)에도 차례로 이상 발열에 의한 열이 축적된다. 즉, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속이 커진 후, 제 2 열유속 센서(20b), 제 3 열유속 센서(20c) 및 제 4 열유속 센서(20d)를 통과하는 열유속이 차례로 커진다. 즉, 시점(T13)으로부터 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속의 차이가 작아지지만, 제 3 열유속 센서(20c)를 통과하는 열유속과 제 4 열유속 센서(20d)를 통과하는 열유속이 서로 상이하기 때문에, 시점(T14)으로부터 다시 가산값이 커진다. 그리고, 시점(T15)으로부터 제 3 열유속 센서(20c)를 통과하는 열유속과 제 4 열유속 센서(20d)를 통과하는 열유속의 차이도 작아지고, 시점(T16)으로부터 가산값이 한계값보다 작아진다. 즉, 본 실시 형태에서는 가산값은 시점(T12)에서 시점(T16)의 기간에 있어서 한계값보다 큰 값으로 된다.
이상 설명한 바와 같이, 상태 검출 센서(20)를 제 1 내지 제 4 열유속 센서(20a~20d) 및 열완충체(21a~21c)를 구비하는 구성으로 하여도 좋다. 그리고, 이와 같은 상태 검출 센서(20)를 이용하여 이상 판정을 실시하는 경우, 가산값이 한계값보다 커지는 기간(시점(T12)~시점(T15))이 길어지기 때문에, 예를 들면, 한계값보다 커져 있는 기간을 기초로 하여 이상 판정을 실시하는 경우에는, 순간적으로 한계값보다 커지는 노이즈를 제외할 수 있다. 이 때문에, 판정 정밀도의 향상을 더욱 도모할 수 있다.
(제 4 실시 형태)
본 개시의 제 4 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 복수로 구비하는 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 상태 검출 센서(20b)는 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a) 및 제 2 열유속 센서(20b)가 차례로 배치(적층)된 것을 구성체(40a~40i)로 하였을 때, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)를 구비한다. 구체적으로, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)는 제 1 구성체(40a)를 중심으로 하여 제 2 내지 제 9 구성체(40b~40i)가 제 1 구성체(40a)의 주위에 균등하게 배치되고, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)의 제 2 열유속 센서(20b) 상에 1개의 방열체(22)가 배치된다. 즉, 본 실시 형태에 있어서, 방열체(22)는 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에서 공통으로 되어 있다.
또한, 제어부(30)는 특별히 도시되지 않지만 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 각 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 제 1 및 제 2 센서 신호를 입력받는다. 그리고, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합을 모두 가산하고, 가산한 가산값을 한계값과 비교함으로써 날부(1)에 이상 발열이 발생하는지 여부를 판정한다.
이와 같은 상태 검출 센서(20)에서는 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 상기 제 1 실시 형태와 동일한 제 1 및 제 2 센서 신호가 출력된다.
다음으로, 제어부(30)의 이상 판정에 대하여 설명한다. 제어부(30)는 상기와 같이, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합을 모두 가산하고, 가산한 가산값을 한계값과 비교함으로써 날부(1)에 이상 발열이 발생하는지 여부를 판정한다.
구체적으로, 날부(1)에 이상 발열이 발생되지 않은 경우, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서, 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압은 극성이 반대이고 절대값이 대략 동등하게 된다. 이 때문에, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합을 모두 가산한 가산값이 한계값보다 작아진다. 이 때문에, 제어부(30)는 날부(1)가 정상이라고 판정한다.
이에 대해, 날부(1)에 이상 발열이 발생하면, 각 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서, 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하다. 이 때문에, 각 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합을 모두 가산한 가산값이 한계값보다 커지고, 날부(1)에 이상 발열이 발생하였다고 판정한다.
이상 설명한 바와 같이, 상태 검출 센서(20)를 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)를 구비하는 구성으로 하여도 좋다. 그리고, 이와 같은 상태 검출 센서(20)를 이용하여 이상 판정을 실시하는 경우, 한계값과 비교하는 값(가산값)이 커지기 때문에 한계값 자체를 크게 할 수 있다. 이 때문에, 예를 들면, 노이즈에 기인하여 제 1 구성체(40a)에 있어서의 제 1 및 제 2 센서 신호의 전압이 변동되더라도, 전체로서의 변동은 작다. 따라서 판정 정밀도의 향상을 더욱 도모할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 있어서의 방열체(22)가 공통으로 되는 예를 설명하였지만, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 방열체(22)가 각각 구비되도록 하여도 좋다. 또한, 구성체(40a~40i)의 개수는 적절히 변경할 수 있다.
(제 5 실시 형태)
본 개시의 제 5 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 상태 검출 센서(20)의 구성을 변경한 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서, 도 14에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)가 일체로 되어 있다. 즉, 1개의 열유속 센서가 열완충체(21a)를 끼우도록 접어 구부러져 있다. 그리고, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 도 14에 도시된 단면과는 별개의 단면에 있어서, 제 1 열유속 센서(20a)의 연결단(601b)(도 3 참조)에 설치된 표면 패턴(111)과 제 2 열유속 센서(20b)의 연결단(701b)(도 3 참조)에 설치된 표면 패턴(211)이 표면 보호 부재(110, 210)에 설치된 표면 패턴(350)에 의하여 외부 배선(301)을 통하지 않고 연속적으로 직접 접속된다.
상기와 같이, 본 실시 형태에서는 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 1개의 열유속 센서로 구성하고, 제 1 열유속 센서(20a)와 제 2 열유속 센서(20b)를 접속하기 위한 외부 배선(301)을 없앨 수 있다. 따라서, 부품수의 삭감을 도모할 수 있다.
또한, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 접속하는 표면 패턴(접속 패턴)(350)은 도 6(e)의 공정에 있어서 패터닝할 때의 형상을 변경하는 것만을 필요로 하며, 이에 따라 제조 공정이 복잡해지지 않을 것이다. 또한, 상기와 같이, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 절연 기재(100, 200), 표면 보호 부재(110, 210) 및 이면 보호 부재(120, 220)가 각각 수지로 구성되기 때문에 용이하게 접어 구부리는 것이 가능하다.
(제 6 실시 형태)
본 개시의 제 6 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 절삭 장치의 이상 판정을 실시하도록 한 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에서는 절삭 장치의 이상 발열을 판정하는데 이상 판정 장치(S2)를 이용한 예에 대하여 설명한다. 도 15에 도시된 바와 같이, 절삭 장치(S3)는 축방향 주위로 회전하는 스핀들(401), 스핀들(401)을 회전 가능하게 지지하는 베어링(402), 스핀들(401) 및 베어링(402)을 지지하는 지지 부재(403) 및 스핀들(401)의 축방향에 있어서의 일단부측에 구비되며 외주면에 날부(404a)를 가진 엔드밀(end mill)(404)을 가진다. 이와 같은 절삭 장치(S3)는, 스핀들(401)의 회전과 함께 엔드밀(404)이 회전하고 상기 엔드밀(404)의 날부(404a)가 회전하면서 피가공 부재(10)에 맞닿음으로써, 피가공 부재(10)를 절삭한다.
그리고, 상태 검출 센서(20)는 절삭 장치(S3) 중 지지 부재(403)에 있어서의 베어링(402)의 근처에 배치된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링(402)은 2개 배치되고, 상태 검출 센서(20)는 각 베어링(402)의 근처에 각각 배치된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 지지 부재(403)는 본 개시의 피대상물에 상당한다. 또한, 상태 검출 센서(20)는 특별히 도시되지 않지만 지지 부재(403)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22)의 차례로 배치된다. 즉, 도 2의 날부(1) 부분이 지지 부재(403)로 되도록 배치된다. 또한, 도 15에는 제어부(30)는, 특별히 도시되어 있지 않지만 상기 제 실시 형태와 마찬가지로 상태 검출 센서(20)에 있어서의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 제 1 및 제 2 센서 신호를 입력받는다.
다음으로, 본 실시 형태의 이상 판정 방법에 대하여 설명한다. 상기 절삭 장치(S3)에서는 피가공 부재(10)를 절삭할 때, 엔드밀(404)의 날부(404a)가 피가공 부재(10)에 맞닿음으로써 피가공 부재를 절삭하지만, 엔드밀(404)의 날부(404a)에 날의 이 빠짐 등의 이상이 발생한 경우, 베어링(402)의 마찰이 급속히 커진다. 이때, 베어링(402) 근처에는 마찰에 의한 이상 발열이 발생하기 때문에, 도 7a 및 7b에서 설명한 바와 같이, 순간적으로 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하게 된다. 따라서, 제어부(30)는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 큰지의 여부를 판정하고, 한계값보다 큰 경우에 엔드밀(404)(절삭 장치(S3))에 이상 발열이 발생한다고 판정한다.
상술한 바와 같이, 본 개시의 상태 검출 센서(20)를 이용하여 절삭 장치(S3)의 이상 판정을 실시하는 이상 판정 장치(S2)를 구성할 수도 있으며, 상기 제 1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
(제 7 실시 형태)
본 개시의 제 7 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 이송 장치의 이상 판정을 실시하도록 한 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에서는 이송 장치의 이상 발열을 판정하는 데 이상 판정 장치(S2)를 이용한 예에 대하여 설명한다. 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 이송 장치(S4)는 나사부(501a)를 가진 나사(501), 나사(501)의 축방향의 양단부에 구비된 지지부재(502) 및 지지 부재(502)에 구비된 모터(503)를 가진다. 또한, 나사(501)에는 상기 나사(501)와 쌍을 이루며 나사(501)의 축방향으로 이동 가능한 상태에서 나사 맞춤되는 너트(504)가 구비된다. 너트(504)는 베어링(504a)을 가진 것으로서, 나사(501)와 함께 이른바 볼 나사(ball screw)를 구성하는 것으로 받침대(505)와 연결된다.
받침대(505)는 이송하기 원하는 장치 등을 탑재하기 위한 것으로, 본 실시 형태에서는 나사(501)의 축방향과 직교하는 방향(도 16의 지면 상하 방향)으로 세로 방향을 가진 평면 직사각형 형상으로 되고, 대략 받침대(505)의 중앙부가 너트(504)와 연결된다. 그리고, 받침대(505) 중 세로 방향에 있어서의 양단부에는 레일(506)에 걸어 맞추어져서 상기 레일(506)을 따라 이동 가능한 슬라이드 블록(slide block)(507)이 구비된다. 또한, 도 17에는 이해하기 쉽게 하기 위하여 지지 부재(502)가 생략되어 도시된다.
이와 같은 이송 장치(S4)는 모터가 회전함으로써 나사(501)가 회전하고, 상기 나사(501)의 회전에 의하여 너트(504)가 이동한다. 이에 따라, 받침대(505)가 너트(504)와 함께 레일(506)(슬라이드 블록(507))을 따라 이동하기 때문에 원하는 부분으로 받침대(505)를 이송할 수 있다.
그리고, 상태 검출 센서(20)는 이송 장치(S4) 중 너트(504) 및 각 슬라이드 블록(507)에 구비된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 너트(504) 및 각 슬라이드 블록(507)은 본 개시의 피대상물에 상당한다. 또한, 상태 검출 센서(20)는 특별히 도시되지 않지만 너트(504) 및 슬라이드 블록(507)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b) 및 방열체(22)의 차례로 배치된다. 즉, 이들 구성들은 너트(504) 또는 슬라이드 블록(507)이 도 2의 날부(1)의 위치에 배치되도록 설치된다. 또한, 도 16 및 도 17에는 제어부(30)가 특별히 도시되어 있지 않지만, 상기 제 1 실시 형태와 마찬가지로, 상태 검출 센서(20)에 있어서의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 제 1 및 제 2 센서 신호를 입력받는다.
다음으로, 본 실시 형태의 이상 판정 방법에 대하여 설명한다. 상기 이송 장치(S4)에서는 나사(501)가 회전함으로써 받침대(505)가 이송되지만, 나사(501)와 너트(504)(베어링(504a)) 사이에 이물질이 낀 경우 또는 슬라이드 블록(507)과 레일(506) 사이에 이물질이 낀 경우 등에 마찰이 급속히 커진다. 이때, 너트(504)나 슬라이드 블록(507)에는 마찰에 의한 이상 발열이 발생하기 때문에, 상기 도 7a 및 도 7b에서 설명한 바와 같이, 순간적으로 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 상이하게 된다. 따라서, 제어부(30)는 제 1 센서 신호의 전압과 제 2 센서 신호의 전압의 합이 한계값보다 큰지의 여부를 판정하고, 한계값보다 큰 경우에 너트(504)나 슬라이드 블록(507)(이송 장치(S4))에 이상 발열이 발생한다고 판정한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 개시의 상태 검출 센서(20)를 이용하여 이송 장치(S4)의 이상 판정을 실시하는 이상 판정 장치(S2)를 구성할 수도 있으며, 상기 제 1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
(제 8 실시 형태)
본 개시의 제 8 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태는 제 1 실시 형태에 대하여 방열체(22)를 지지 부재(4)로 구성한 것으로, 그 밖의 나머지는 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에 여기에서는 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서, 도 18에 도시된 바와 같이, 날부(1)는 사전결정된 열용량(열저항)을 가진 Cu 또는 Al로 구성된 평판 형상의 지지 부재(4)에, 상기 지지 부재(4)와의 사이에 사전결정된 공간을 형성하도록 나사(23)로 고정되어 있다. 그리고, 날부(1)와 지지 부재(4) 사이의 공간에는 날부(1)측으로부터 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a) 및 제 2 열유속 센서(20b)가 차례로 배치된다. 즉, 제 2 열유속 센서(20b)를 사이에 두고 열완충체(21a)와 반대측에 지지 부재(4)가 배치된다. 즉, 본 실시 형태의 지지 부재(4)는 사전결정된 열용량을 가진 것으로 구성되고, 날부(1)를 고정하고, 또한 방열체(22)로서도 기능한다.
또한, 도 18에는 제어부(30)가 특별히 도시되어 있지 않지만, 상기 제 1 실시 형태와 마찬가지로, 상태 검출 센서(20)에 있어서의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)로부터 제 1 및 제 2 센서 신호를 입력받는다.
상술한 바와 같이, 방열체(22)를 지지 부재(4)로 구성하고, 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a) 및 제 2 열유속 센서(20b)가 날부(1)와 지지 부재(4) 사이에 배치되는 구성으로 하여도 상기 제 1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
(다른 실시 형태)
본 개시는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 개시의 범위 내에서 적절히 변경이 가능하다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 제어부(30)는 제 1 및 제 2 센서 신호(기전압)를 열유속으로 변환한 열유속과 한계값의 관계를 판정하여도 좋다.
그리고, 상기 각 실시 형태에 있어서, 상태 검출 센서(20)를 피대상물에 부착할 때, 피대상물의 부착 부분에 요철 등이 있는 경우에는, 상기 요철을 흡수하는 완충재를 통하여 상태 검출 센서(20)를 피대상물에 부착하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 각 실시 형태에서는 절연 기재(100, 200), 표면 보호 부재(110, 210) 및 이면 보호 부재(120, 220)를 열가소성 수지로 구성하는 예에 대하여 설명하였지만, 예를 들면, 절연 기재(100, 200)를 열경화성 수지로 구성할 수도 있다. 이에 따르면, 도 6(h)의 공정에 있어서, 열경화성 수지가 유동하지 않기 때문에, 제 1 및 제 2 비아홀(101, 102, 201, 202)이 적층체(170)의 평면 방향으로 변위하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 열경화성 수지는 열가소성 수지가 유동할 때의 유동 저항으로 되기 때문에, 특히 절연 기재(100, 200)의 외부 가장자리부에 있어서, 열가소성 수지가 유출되는 것을 억제할 수 있다. 마찬가지로, 절연 기재(100, 200)를 열가소성 수지로 구성하고, 또한 표면 보호 부재(110, 210) 및 이면 보호 부재(120, 220)를 열경화성 수지로 구성하여도 좋고, 표면 보호 부재(110, 210) 및 이면 보호 부재(120, 220) 중 어느 한쪽을 열경화성 수지로 구성하여도 좋다. 또한, 절연 기재(100, 200), 표면 보호 부재(110, 210), 이면 보호 부재(120, 220)는 수지가 아니어도 좋다.
또한, 상기 제 1 실시 형태에 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 상기 구성에 한정되지 않고, 통과하는 열유속에 따라서 센서 신호를 출력하는 것이면 좋다. 마찬가지로, 각 실시 형태에 있어서, 열유속 센서(20a~20d)는 통과하는 열유속에 따라서 센서 신호를 출력하는 것이면 좋다.
또한, 상기 제 1 실시 형태에 있어서, 방열체(22)는 평면 형상의 크기가 제 2 열유속 센서(20b)의 평면 형상과 대략 같은 크기이고, 제 2 열유속 센서(20b)의 이면 보호 부재(120)만이 대략 덮이도록 배치되는 것으로 할 수도 있다. 즉, 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b), 방열체(22)의 배열 방향(적층 방향)에서 보았을 때, 방열체(22)가 제 2 열유속 센서(20b)로부터 돌출하는 부분을 갖지 않는 구성으로 할 수도 있다. 이에 따르면, 방열체(22)가 외기의 영향을 받는 부분을 적게 할 수 있어서, 방열체(22)의 외기에 의한 열의 변동을 저감할 수 있다. 또한, 이와 같은 상태 검출 센서(20)를 날부(1)에 부착하는 경우에는, 예를 들면, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b) 내의 표면 패턴(111), 이면 패턴(121), 층간 접속 부재(130, 140)(제 1 및 제 2 비아홀(101, 102))의 배치 부분을 적절히 변경하고, 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b)의 대략 중앙부를 관통하도록 상태 검출 센서(20)를 나사(23)로 날부(1)에 체결되도록 하면 좋다. 마찬가지로, 상기 제 2 내지 제 7 실시 형태에 있어서도, 방열체(22)의 크기를 작게 하도록 하여도 좋다.
그리고, 상기 각 실시 형태에 있어서, 상태 검출 센서(20)는 나사(23)로 날부(1)에 나사 고정되지 않아도 좋다. 예를 들면, 상태 검출 센서(20)와 날부(1) 사이에 양면 테이프 또는 접착제 등의 접합 부재를 배치하고, 또한 제 1 열유속 센서(20a), 열완충체(21a), 제 2 열유속 센서(20b)의 사이에 접합 부재를 배치하고, 상기 접합 부재를 통하여 각 구성체를 고정하도록 하여도 좋다. 또한, 수열체(25)를 구비하는 경우에는, 수열체(25)와의 사이에 접합 부재를 배치하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 제 5 실시 형태에 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)의 배치 방법을 변경하여 서로의 이면 보호 부재(120, 220)가 대향하도록 배치하고, 서로의 이면 패턴(121, 221)이 외부 배선(301)을 통하지 않고 직접 접속되도록 하여도 좋다.
또한, 상기 각 실시 형태를 적절히 조합할 수도 있다. 예를 들면, 상기 제 2 실시 형태를 상기 제 3 내지 제 8 실시 형태에 조합하고, 각각 수열체(25)를 구비하도록 하여도 좋다. 또한, 상기 제 2 실시 형태를 제 4 실시 형태에 조합하는 경우에는, 수열체(25)를 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)에 대하여 공통의 것으로 하여도 좋고, 수열체(25)를 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)의 각각에 구비하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 제 3 실시 형태를 상기 제 4 내지 제 8 실시 형태에 조합하고, 각각 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d) 및 열완충체(21b, 21c)를 구비하도록 하여도 좋다. 또한, 제 3 실시 형태를 제 5 실시 형태에 조합하는 경우에는 예를 들면, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 일체화하고, 또한 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d)를 일체화하여도 좋고, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b) 및 제 3 및 제 4 열유속 센서(20c, 20d)의 어느 한쪽만을 일체화하도록 하여도 좋다.
그리고, 상기 제 4 실시 형태를 상기 제 5 내지 제 8 실시 형태에 조합하고, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)를 구비하도록 하여도 좋다. 또한, 상기 제 4 실시 형태를 상기 제 5 실시 형태에 조합하는 경우, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)의 각각에 있어서 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 일체화하도록 하여도 좋고, 제 1 내지 제 9 구성체(40a~40i)의 일부의 구성체에 있어서의 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 일체화하도록 하여도 좋다. 또한, 제 5 실시 형태를 제 6 내지 제 8 실시 형태에 조합하고, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)를 일체화하도록 하여도 좋다.
제 1 내지 제 4 실시 형태에 있어서, 외부 배선(301)은 제 1 열유속 센서(20a)의 연결단(601b)에 설치된 표면 패턴(111)을 제 2 열유속 센서(20b)의 연결단(701b)에 설치된 표면 패턴(211)에 접속한다. 이러한 구성에 대신하여, 외부 배선(301)은 제 1 열유속 센서(20a)의 연결단에 설치된 이면 패턴(121)을 제 2 열유속 센서(20b)의 연결단에 설치된 이면 패턴(221)에 접속하여도 좋다. 마찬가지로, 제 3 실시 형태에 있어서의 외부 배선(305)은 제 3 열유속 센서(20c)의 연결단에 설치된 이면 패턴(121)을 제 4 열유속 센서(20d)의 연결단에 설치된 이면 패턴(221)에 접속하여도 좋다.
제 5 실시 형태에 있어서, 제 1 및 제 2 열유속 센서(20a, 20b)는 제 1 열유속 센서(20a)의 연결단(601b)에 설치된 표면 패턴(111)과 제 2 열유속 센서(20b)의 연결단(701b)에 설치된 표면 패턴(211)이 표면 보호 부재(110, 210)에 설치된 표면 패턴(350)에 의하여 외부 배선(301)을 통하지 않고 연속적으로 직접 접속된다. 이러한 구성에 대신하여, 제 1 열유속 센서(20a)의 복수의 이면 패턴(121) 중 연결단에 위치하는 1개와 제 2 열유속 센서(20b)의 복수의 이면 패턴(221) 중 연결단에 위치하는 1개를 이면 보호 부재(120, 220)에 설치된 이면 패턴(450)(도 14 참조)을 이용하여 연속적으로 직접 접속함으로써 제 1 열유속 센서(20a)와 제 2 열유속 센서(20b)를 서로 전기적으로 접속하여도 좋다.

Claims (11)

  1. 피대상물(1, 403, 504, 507)의 상태에 따른 센서 신호를 출력하는 상태 검출 센서에 있어서,
    통과하는 열유속에 따른 제 1 센서 신호를 출력하는 제 1 열유속 센서(20a);
    통과하는 열유속에 따른 제 2 센서 신호를 출력하는 제 2 열유속 센서(20b);
    사전결정된 열용량을 가진 열완충체(21a); 및
    사전결정된 열용량을 가진 방열체(22);를 가지고,
    상기 피대상물(1, 403, 504, 507)측으로부터 상기 제 1 열유속 센서(20a), 상기 열완충체(21a), 상기 제 2 열유속 센서(20b) 및 상기 방열체(22)의 차례로 배치되고,
    상기 제 1 열유속 센서(20a)는 상기 피대상물(1, 403, 504, 507)과 상기 열완충체(21a) 사이의 상기 열유속에 따른 제 1 센서 신호를 출력하고, 상기 제 2 열유속 센서(20b)는 상기 열완충체(21a)와 상기 방열체(22) 사이의 상기 열유속에 따른 제 2 센서 신호를 출력하는
    상태 검출 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 방열체(22)의 상기 사전결정된 열용량은 상기 열완충체(21a)의 상기 사전결정된 열용량보다 큰
    상태 검출 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    사전결정된 열용량을 가지며 상기 제 1 열유속 센서(20a)를 사이에 두고 상기 열완충체(21a)와 반대측에 배치되는 수열체(25)를 구비하는
    상태 검출 센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 수열체(25)의 상기 사전결정된 열용량은 상기 열완충체(21a)의 상기 사전결정된 열용량보다 작은
    상태 검출 센서.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 열완충체(21a)는 제 1 열완충체이고,
    상기 상태 검출 센서는,
    통과하는 열유속에 따른 제 3 센서 신호를 출력하는 제 3 열유속 센서(20c);
    통과하는 열유속에 따른 제 4 센서 신호를 출력하는 제 4 열유속 센서(20d);
    사전결정된 열용량을 가진 제 2 열완충체(21b); 및
    사전결정된 열용량을 가진 제 3 열완충체(21c);를 가지고,
    상기 피대상물(1, 403, 504, 507)측으로부터 상기 제 1 열유속 센서(20a), 상기 제 1 열완충체, 상기 제 2 열유속 센서(20b), 상기 제 2 열완충체(21b), 상기 제 3 열유속 센서(20c), 상기 제 3 열완충체(21c), 상기 제 4 열유속 센서(20d) 및 상기 방열체(22)의 차례로 배치되고,
    상기 제 2 열유속 센서(20b)는 상기 제 1 열완충체와 상기 제 2 열완충체(21b) 사이의 열유속에 따른 제 2 센서 신호를 출력하고,
    상기 제 3 열유속 센서(20c)는 상기 제 2 열완충체(21b)와 상기 제 3 열완충체(21c) 사이의 열유속에 따른 제 3 센서 신호를 출력하고,
    상기 제 4 열유속 센서(20d)는 상기 제 3 열완충체(21c)와 상기 방열체(22) 사이의 열유속에 따른 제 4 센서 신호를 출력하는
    상태 검출 센서.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 열유속 센서(20a), 상기 열완충체(21a) 및 상기 제 2 열유속 센서(20b)를 가진 구성체(40a~40i)를 복수로 구비하는
    상태 검출 센서.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 상태 검출 센서에 의한 검출 시, 상기 제 1 열유속 센서(20a)를 통과하는 열유속과 상기 제 2 열유속 센서(20b)를 통과하는 열유속이 서로 동등할 때, 상기 제 1 열유속 센서(20a)로부터 출력되는 상기 제 1 센서 신호의 전압과 상기 제 2 열유속 센서(20b)로부터 출력되는 상기 제 2 센서 신호의 전압은 절대값이 동등하고, 또한 극성이 반대로 되는
    상태 검출 센서.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 열유속 센서(20a) 및 상기 제 2 열유속 센서(20b)에는 열가소성 수지로 이루어지는 절연 기재(100, 200)에 상기 절연 기재(100, 200)의 평면에 직교하는 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1 비아홀(101, 201) 및 복수의 제 2 비아홀(102, 202)이 각각 형성되고,
    상기 제 1 열유속 센서(20a) 및 상기 제 2 열유속 센서(20b)의 각각에 있어서, 상기 복수의 제 1 비아홀(101, 201)에는 도전성 금속으로 이루어지는 복수의 제 1 층간 접속 부재(130, 230)가 각각 매립되고, 상기 복수의 제 2 비아홀(102, 202)에는 상기 복수의 제 1 층간 접속 부재(130, 230)의 도전성 금속과는 다른 도전성 금속으로 이루어지는 복수의 제 2 층간 접속 부재(140, 240)가 각각 매립되고, 상기 복수의 제 1 층간 접속 부재(130, 230) 및 상기 복수의 제 2 층간 접속 부재(140, 240)가 상기 절연 기재(100, 200)의 표면(100a, 200a)에 설치된 도전성을 가진 복수의 표면 패턴(111, 211)과 상기 절연 기재(100, 200)의 이면(100b, 200b)에 설치된 도전성을 가진 복수의 이면 패턴(121, 221)을 통하여 번갈아 직렬 접속되는
    상태 검출 센서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제 1 열유속 센서(20a) 및 상기 제 2 열유속 센서(20b)의 각각에 있어서, 상기 복수의 제 1 층간 접속 부재(130, 230)를 형성하는 도전성 금속 및 상기 복수의 제 2 층간 접속 부재(140, 240)를 형성하는 상기 도전성 금속의 적어도 한쪽은 복수의 금속 원자가 고상 소결에 의하여 상기 금속 원자의 결정 구조를 유지한 상태로 소결된 소결 합금인
    상태 검출 센서.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제 1 열유속 센서(20a) 및 상기 제 2 열유속 센서(20b)는 일체화되어 있고,
    상기 제 1 열유속 센서(20a)의 상기 복수의 표면 패턴(111) 중 1개와 상기 제 2 열유속 센서(20b)의 상기 복수의 표면 패턴(211) 중 1개를 서로 직접 접속하거나, 상기 제 1 열유속 센서(20a)의 상기 복수의 이면 패턴(121) 중 1개와 상기 제 2 열유속 센서(20b)의 상기 복수의 이면 패턴(221) 중 1개를 연속적으로 직접 접속함으로써 상기 제 1 열유속 센서(20a)와 상기 제 2 열유속 센서(20b)를 서로 전기적으로 접속한
    상태 검출 센서.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 열완충체(21a)는, 상기 제 1 열유속 센서(20a)의 상기 절연 기재(100)의 평면 및 상기 제 2 열유속 센서(20b)의 상기 절연 기재(200)의 평면에 평행한 평면 내에 있어서, 상기 제 1 열유속 센서(20a)의 상기 절연 기재(100)에 설치된 상기 복수의 제 1 층간 접속 부재(130) 및 상기 복수의 제 2 층간 접속 부재(240)의 전부를 포함하는 검출 영역(SE) 이상의 범위에 걸쳐 연속적으로 설치된 일체의 금속판인
    상태 검출 센서.
KR1020167035201A 2014-10-20 2015-10-02 상태 검출 센서 KR101779073B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2014-213680 2014-10-20
JP2014213680A JP6303973B2 (ja) 2014-10-20 2014-10-20 状態検出センサ
PCT/JP2015/005026 WO2016063465A1 (ja) 2014-10-20 2015-10-02 状態検出センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170008276A KR20170008276A (ko) 2017-01-23
KR101779073B1 true KR101779073B1 (ko) 2017-09-18

Family

ID=55760526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020167035201A KR101779073B1 (ko) 2014-10-20 2015-10-02 상태 검출 센서

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10578496B2 (ko)
EP (1) EP3211392B1 (ko)
JP (1) JP6303973B2 (ko)
KR (1) KR101779073B1 (ko)
CN (1) CN106461472B (ko)
TW (1) TWI579543B (ko)
WO (1) WO2016063465A1 (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6358234B2 (ja) * 2015-11-12 2018-07-18 株式会社デンソー 稼働状態の診断装置
JP6249009B2 (ja) * 2015-11-12 2017-12-20 株式会社デンソー 異常診断装置
JP6358233B2 (ja) * 2015-11-12 2018-07-18 株式会社デンソー 組付状態の診断装置
JP6642394B2 (ja) 2016-11-30 2020-02-05 株式会社デンソー 歪み検出装置
JP6614169B2 (ja) * 2017-01-25 2019-12-04 株式会社Ｓｏｋｅｎ 生理的熱量の計測器
JP2018189554A (ja) * 2017-05-09 2018-11-29 株式会社Ｓｏｋｅｎ 熱流式センサモジュール
JP6799522B2 (ja) * 2017-11-30 2020-12-16 三菱重工業株式会社 熱流束計測システム
WO2019111133A1 (en) 2017-12-08 2019-06-13 3M Innovative Properties Company Differential thermoelectric device
US11426818B2 (en) 2018-08-10 2022-08-30 The Research Foundation for the State University Additive manufacturing processes and additively manufactured products
JP2020133889A (ja) * 2019-02-12 2020-08-31 Ntn株式会社 軸受装置およびスピンドル装置
KR102133934B1 (ko) 2019-07-03 2020-07-14 김외철 자가전원형 기반 사물인터넷 연동가능한 센서/프로세서 일체형 상태감시센서
DE102020204501A1 (de) 2020-04-07 2021-10-07 Zf Friedrichshafen Ag Wärmeflusssensor, Wärmeflusserfassungsvorrichtung sowie Temperaturüberwachungsvorrichtung
CN112338110B (zh) * 2020-12-04 2021-12-24 中国科学院力学研究所 热电偶瞬态热流传感器高灵敏度集成式构造方法
CN112856491B (zh) * 2021-01-15 2022-08-19 宁波方太厨具有限公司 防干烧燃烧器及包含其的防干烧灶具
CN113503981B (zh) * 2021-06-22 2023-04-25 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种连环垂向锯齿型热电堆热流传感器及其制造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011174851A (ja) 2010-02-25 2011-09-08 Isuzu Motors Ltd 熱流束計の校正装置
JP2012255717A (ja) 2011-06-09 2012-12-27 Etou Denki Kk 熱流センサ及び熱流センサの製造方法
JP2014139585A (ja) 2014-04-16 2014-07-31 Seiko Epson Corp 温度測定装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6113121A (ja) 1984-06-28 1986-01-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 熱流センサ
JPH08201188A (ja) * 1995-01-24 1996-08-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 熱流束計
JPH09200918A (ja) 1996-01-18 1997-07-31 Nissin Electric Co Ltd 電気機器の内部過熱異常診断方法
GB2317014B (en) * 1996-08-28 2000-06-28 United Biscuits Ltd Improvements in and relating to the measurement of heat flux in ovens
FR2832798B1 (fr) * 2001-11-27 2004-01-30 Captec Comparateur de flux thermiques
KR100690926B1 (ko) * 2006-02-03 2007-03-09 삼성전자주식회사 마이크로 열유속 센서 어레이
DE102006016956B4 (de) * 2006-04-11 2009-10-08 Electrolux Home Products Corp. N.V. Verfahren zum Bestimmen der von einem Gargut aufgenommenen Wärme in einem Gargerät und Gargerät zur Durchführung des Verfahrens
JP2008194253A (ja) * 2007-02-14 2008-08-28 Citizen Holdings Co Ltd 便座および体温測定方法
GB0815694D0 (en) * 2008-08-28 2008-10-08 Cambridge Tempreature Concepts Tempreature sensor structure
JP2011017485A (ja) * 2009-07-09 2011-01-27 Toto Ltd 浴室乾燥機
JP5305354B2 (ja) * 2009-07-10 2013-10-02 独立行政法人日本原子力研究開発機構 温度・熱流束測定装置
JP5423487B2 (ja) 2010-03-08 2014-02-19 株式会社デンソー 貫通ビアへの導電材料充填装置およびその使用方法
AU2010355257B2 (en) * 2010-06-08 2015-11-05 Sundrop Fuels, Inc. Various methods and apparatuses for an ultra-high heat flux chemical reactor
CN102401699B (zh) * 2010-09-17 2015-08-19 三菱综合材料株式会社 温度传感器
JP5527162B2 (ja) * 2010-10-29 2014-06-18 セイコーエプソン株式会社 温度計及び温度計測方法
CN102879419B (zh) * 2011-07-15 2014-04-09 郭晓明 一种建筑保温材料的监控系统
KR101436234B1 (ko) * 2012-01-31 2014-08-29 도시바 기카이 가부시키가이샤 절삭 가공 온도의 측정 방법
JP2013210326A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Citizen Holdings Co Ltd 接触式内部温度計
JP2014007376A (ja) * 2012-05-30 2014-01-16 Denso Corp 熱電変換装置
CN202947809U (zh) * 2012-12-18 2013-05-22 文伟廷 一种木工刀具切削温度测试装置
CN203288656U (zh) * 2013-06-09 2013-11-13 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 微型热电器件

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011174851A (ja) 2010-02-25 2011-09-08 Isuzu Motors Ltd 熱流束計の校正装置
JP2012255717A (ja) 2011-06-09 2012-12-27 Etou Denki Kk 熱流センサ及び熱流センサの製造方法
JP2014139585A (ja) 2014-04-16 2014-07-31 Seiko Epson Corp 温度測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106461472A (zh) 2017-02-22
EP3211392A4 (en) 2017-10-11
US20170211990A1 (en) 2017-07-27
TW201627642A (zh) 2016-08-01
JP2016080577A (ja) 2016-05-16
US10578496B2 (en) 2020-03-03
CN106461472B (zh) 2018-10-02
EP3211392A1 (en) 2017-08-30
EP3211392B1 (en) 2018-08-01
JP6303973B2 (ja) 2018-04-04
TWI579543B (zh) 2017-04-21
WO2016063465A1 (ja) 2016-04-28
KR20170008276A (ko) 2017-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101779073B1 (ko) 상태 검출 센서
KR101833278B1 (ko) 열류 분포 측정 장치
US20160109286A1 (en) Vibration detector
US10788379B2 (en) Abnormality diagnosis apparatus
KR102134003B1 (ko) 가동 상태의 진단 장치
KR101901415B1 (ko) 질량 유량계 및 속도계
JP5376865B2 (ja) 固体撮像装置及び電子撮像装置
CN109196318B (zh) 热流测定装置
WO2017204033A1 (ja) 熱流測定装置の製造方法
US10477669B2 (en) Circuit substrate
WO2011081166A1 (ja) デバイス設置構造及びデバイス設置方法
JP5631457B2 (ja) 固体撮像装置及び電子撮像装置
TW201842314A (zh) 振動檢測器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant