WO2013153598A1

WO2013153598A1 - 実装ヘッド洗浄装置

Info

Publication number: WO2013153598A1
Application number: PCT/JP2012/059684
Authority: WO
Inventors: 賢司下坂; 芳行本田
Original assignee: 富士機械製造株式会社
Priority date: 2012-04-09
Filing date: 2012-04-09
Publication date: 2013-10-17
Also published as: CN106102439B; CN104206046A; EP2838332B1; CN104206046B; JPWO2013153598A1; EP2838332A4; EP2838332A1; CN106102439A; JP6066999B2

Abstract

【課題】ロータリヘッドを備えた実装ヘッド自体を洗浄ユニットにセットできるとともに、実装ヘッド内のエア通路の洗浄だけでなく、洗浄後に実装ヘッドの性能を検査できるようにした実装ヘッド洗浄装置を提供する。【解決手段】実装ヘッド４７を着脱可能に装着する洗浄ユニット９０は、エア供給源１０１より供給されたエアを洗浄用通路１１６、１１７あるいは検査用通路１０６に選択的に供給する切替手段（１０５、１１５）と、切替手段によって選択された洗浄用通路あるいは検査用通路より、複数の吸着ノズル５５に各々接続された実装ヘッド内の各負圧エア通路８５にエアを導入する導入手段（１３１、１３２、１３３）と、検査用通路中に設けられたエア測定手段（１０８、１１２）を備える。

Description

実装ヘッド洗浄装置

　本発明は、ロータリヘッドを備えた実装ヘッド内のエア通路を洗浄し、かつ洗浄後に実装ヘッドの性能を検査できるようにした実装ヘッド洗浄装置に関するものである。

　ロータリ型の実装ヘッドを備えた部品実装機においては、円周上に複数の吸着ノズルを昇降可能に保持したロータリヘッドがインデックス可能に設けられている。この種の実装ヘッドを備えた部品実装機においては、電子部品を吸着するために、複数の吸着ノズルにそれぞれ連なるエア通路に負圧エアが順次導入されるようになっているが、吸着ノズルによって電子部品を吸着する際に、エア通路にほこり等が吸引されるため、実装ヘッド内を定期的にメンテナンス（洗浄）する必要がある。

　従来、メンテナンス装置として、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載のものは、メンテナンス時に、実装ヘッドのヘッド保持装置１２よりリボルバヘッド１１を取外して、このリボルバヘッド１１をメンテナンス装置の台座３３上にセットする。そして、セットしたリボルバヘッド１１の上面にメンテナンスアダプタ４０を取付けて、リボルバヘッド１１内部のエア通路をメンテナンス液供給装置４１に接続し、手動操作にて、リボルバヘッド１１の円周上に設けた複数の吸着ノズルに連なるエア通路を洗浄するようになっている。

特開２０１１－３６７９号公報

　しかしながら、特許文献１に記載のものにおいては、手動操作にて、リボルバヘッド１１の円周上に設けた複数の吸着ノズルに連なるエア通路を洗浄するものであり、しかも、メンテナンス時には、部品実装機の実装ヘッドよりリボルバヘッド１１を分解して取外し、メンテナンス装置の台座３３上にセットするものであるため、メンテナンス作業が煩雑となり、メンテナンスに多くの時間を要する問題があった。

　しかも、特許文献１に記載のものにおいては、リボルバヘッド１１内のエア通路を単に洗浄するだけであり、洗浄後にリボルバヘッドを検査する機能を有していないため、エア通路の洗浄が良好に行われたどうかを検証することができない問題があった。

　本発明は、上記した問題を解決するためになされたもので、ロータリヘッドを備えた実装ヘッド自体を洗浄ユニットにセットできるとともに、実装ヘッド内のエア通路の洗浄だけでなく、洗浄後に実装ヘッドの性能を検査できるようにした実装ヘッド洗浄装置を提供することを目的とするものである。

　上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の特徴は、部品を吸着する吸着ノズルを有する実装ヘッドを備え、該実装ヘッド内の負圧エア通路にエアあるいはオイルミストを供給して、前記実装ヘッド内を洗浄する実装ヘッド洗浄装置であって、部品実装機から取外された前記実装ヘッドを装着する個所に、前記部品実装機と共通のヘッドクランプ装置を備えたことである。
　上記した構成によれば、部品実装機から取外された実装ヘッドを、部品実装機と共通のヘッドクランプ装置によって装着できるので、実装ヘッド内の洗浄を簡単かつ効率的に行うことができる。
　請求項２に係る発明の特徴は、部品を吸着する吸着ノズルを有する実装ヘッドを備え、該実装ヘッド内の負圧エア通路にエアあるいはミストオイルを供給して、実装ヘッド内を洗浄するようにした実装ヘッド洗浄装置であって、前記実装ヘッドを着脱可能に装着する洗浄ユニットを有し、該洗浄ユニットには、エア供給源より供給されたエアを洗浄用通路あるいは検査用通路に選択的に供給する切替手段と、該切替手段によって選択された洗浄用通路あるいは検査用通路より、前記複数の吸着ノズルに各々接続された前記実装ヘッド内の各負圧エア通路にエアを導入する導入手段と、前記検査用通路中に設けられたエア測定手段とを備えたことである。

　上記した構成によれば、実装ヘッド自体を洗浄ユニットに装着して実装ヘッド内の負圧エア通路を洗浄するものであるので、部品実装機より実装ヘッドを取外して洗浄ユニットに装着することにより、実装ヘッド内を自動で洗浄することが可能となり、洗浄作業が簡単に、かつ短時間で行うことができるようになる。

　また、上記した構成によれば、洗浄ユニットの洗浄用通路より実装ヘッド内の負圧エア通路に導入されるエアによって、負圧エア通路を洗浄することができるので、部品吸着時等に吸着ノズルより負圧エア通路内に吸い込んだほこり等を排除することができる。しかも、洗浄後に、切替手段を切替えて洗浄ユニットの検査用通路より実装ヘッド内にエアを導入することにより、検査用通路のエアの流れをエア測定手段によって測定することができる。
　請求項３に係る発明の特徴は、請求項２において、前記エア測定手段によって測定された情報に基づいて、洗浄結果を表示する操作パネルを備えたことである。
　上記した構成によれば、検査用通路中に設けたエア測定手段によって測定した情報を操作パネルに表示することができる。

　請求項４に係る発明の特徴は、請求項２または請求項３において、前記エア測定手段は、前記検査用通路を流通するエアの流量を測定する流量測定センサからなっていることである。

　上記した構成によれば、検査用通路中に設けた流量測定センサによって測定した流量の情報を操作パネルに表示することができ、操作パネルに、洗浄結果およびそれに基づく合否等を表示することができる。

　請求項５に係る発明の特徴は、請求項２ないし請求項４のいずれか１項において、洗浄用通路は、エアを供給する洗浄エア通路と、オイルミストを供給する洗浄オイル通路からなり、これら洗浄エア通路および洗浄オイル通路を切替えて、前記負圧エア通路にエアあるいはオイルミストを供給するようになっていることである。

　上記した構成によれば、負圧エア通路の洗浄を、エアあるいはオイルによって選択的に行うことができ、例えば、一定の時期毎にエアによる洗浄を行い、数回のエアによる洗浄毎にオイルによる洗浄を行うことにより、実装ヘッドの効果的な洗浄が可能となる。

　請求項６に係る発明の特徴は、請求項２ないし請求項５のいずれか１項において、前記洗浄ユニットは、前記実装ヘッドの前記吸着ノズルより排出される汚れたエアあるいはオイルを吸引する汚れ吸引ブロアを有していることである。

　上記した構成によれば、汚れ吸引ブロアによって、負圧エア通路の洗浄によって吸着ノズルより排出される汚れたエアあるいはオイルを、周囲に飛散させなくすることができる。

　請求項７に係る発明の特徴は、請求項３ないし請求項６のいずれか１項において、前記操作パネルには、前記洗浄ユニットに前記実装ヘッドが装着された際に、前記実装ヘッドを洗浄する洗浄モードと、前記実装ヘッドを検査する検査モードの選択画面が表示され、前記洗浄モードあるいは前記検査モードを選択することにより、洗浄サイクルあるいは検査サイクルが実施されるようになっていることである。

　上記した構成によれば、実装ヘッドの洗浄ユニットへの装着後は、操作パネルに表示される選択画面に従って操作することにより、洗浄モードあるいは検査モードを選択でき、洗浄サイクルあるいは検査サイクルを容易に実施することができる。

　請求項８に係る発明の特徴は、請求項７において、前記検査サイクルの実施時には、前記吸着ノズルよりエアが排出されないように蓋をするようになっていることである。

　上記した構成によれば、検査サイクル時には、蓋によって吸着ノズルからのエアの排出が阻止できるので、吸着ノズルを保持するノズル軸の摺動部からのエアの漏洩等を検査することが可能となる。

　請求項９に係る発明の特徴は、請求項８において、前記検査用通路には、前記検査用通路内のエア圧を測定する圧力センサが接続され、前記検査サイクルの実施時に、測定したエア圧およびそれに基づく合否の判定結果を、前記操作パネルに表示するようになっていることである。

　上記した構成によれば、吸着ノズルを保持するノズル軸の摺動部からのエアの漏洩等の検査を、圧力センサによるエア圧の測定によって行うことができ、その結果を操作パネルに表示することができる。

　請求項１０に係る発明の特徴は、請求項８において、前記実装ヘッドは、部品を吸着する複数の吸着ノズルを円周上に保持したロータリヘッドをインデックス可能に備え、前記負圧エア通路にエアを供給した状態で、前記ロータリヘッドを順次インデックスするとともに、各インデックス位置において前記各吸着ノズルを昇降させ、これら吸着ノズルの昇降移動時間を測定し、測定した昇降移動時間およびそれに基づく合否の判定結果を、前記操作パネルに表示するようになっていることである。

　上記した構成によれば、ロータリヘッド内を摺動する吸着ノズルを保持するノズル軸や、負圧エア通路への負圧エアの供給および遮断の切替えを行うメカニカル切替バルブ等の摺動部からのエアの漏洩等の検査を行えるばかりでなく、吸着ノズルの昇降移動時間の測定によって、吸着ノズルを保持したノズル軸の摺動抵抗を測定することができ、摺動部のほこりや金属粉のかみこみ等の異常状態を検査することができる。

本発明の実装ヘッド洗浄装置を適用した部品実装機の全体を示す斜視図である。本発明の実施の形態に係るロータリ型の実装ヘッドを示す図である。実装ヘッドをＸ軸スライドあるいは洗浄ユニットにクランプするヘッドクランプ装置を示す図である。実装ヘッドをＸ軸スライドあるいは洗浄ユニットに装着した状態を示す断面図である。負圧エア通路を開閉するメカニカル切替バルブを示す図である。実装ヘッド内を洗浄する洗浄ユニットを示す図である。洗浄ユニットに設けられた流体供給回路を示す図である。洗浄ユニットを制御する制御装置を示すブロック図である。エアによる洗浄サイクルを示すフローチャートである。オイルによる洗浄サイクルを示すフローチャートである。洗浄後の検査サイクルを示すフローチャートである。

　以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１に示すように、部品実装機１０は、部品供給装置２０、基板搬送装置３０および部品移載装置４０を備えている。

　部品供給装置２０は、一例として、基台１１上に複数のカセット式のフィーダ２１をＸ軸方向に並設して構成したものからなる。フィーダ２１は、基台１１に離脱可能に取付けた本体フレーム２２に着脱可能に装着され、多数の電子部品を間隔を有して一列に収容したテープを巻回した供給リール２３を有している。フィーダ２１の内部には、図示してないが、テープをピッチ送りする駆動源となるモータが内蔵され、このモータによってテープが１ピッチずつ送り出され、テープに収容された電子部品がフィーダ２１の先端部に設けられた部品供給位置に順次供給される。

　基板搬送装置３０は、回路基板ＢをＸ軸方向に搬送するとともに、所定位置に位置決め保持するもので、一例として、搬送手段３１、３２を２列並設したダブルコンベアタイプのもので構成されている。各搬送手段３１、３２は、基台１１上にそれぞれ一対のガイドレール３３、３４を互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設している。搬送手段３１，３２には、ガイドレール３３、３４によって案内される回路基板Ｂを支持して搬送する一対のコンベアベルト（図示せず）が並設されている。

　部品移載装置４０はＸＹロボットからなり、ＸＹロボットは、基台１１上に装架されて部品供給装置２０および基板搬送装置３０の上方に配設され、ガイドレール４１に沿ってＸ軸方向と直交するＹ軸方向に移動可能なＹ軸スライド４３を備えている。Ｙ軸スライド４３のＹ軸方向移動は、ボールねじを介してサーボモータ４４により制御される。Ｙ軸スライド４３には、Ｘ軸スライド４５がＸ軸方向に移動可能に案内支持され、Ｘ軸スライド４５のＸ軸方向移動は、ボールねじを介してサーボモータ４６により制御される。

　Ｘ軸スライド４５には、後に詳細に述べるように、電子部品を吸着する吸着ノズルを有する実装ヘッド４７が着脱可能に装着されている。また、Ｘ軸スライド４５には、回路基板Ｂの基準マーク（図示せず）を撮像する基板カメラ４８が取付けられている。

　実装ヘッド４７は、図２に示すように、Ｘ軸スライド４５に着脱可能に装着されたヘッド本体５０を有している。ヘッド本体５０には、Ｒ軸モータ５１によって所定角度ずつインデックスされるインデックス軸５２が回転可能に支持され、このインデックス軸５２の下端にロータリヘッド５３が固定されている。

　ロータリヘッド５３の円周上には、複数（例えば、１２個）のノズル軸５４がロータリヘッド５３の回転軸線と平行な方向に昇降可能かつ回転可能に保持されている。ノズル軸５４は、図略のスプリングのばね力によって通常上昇端位置に保持されている。ノズル軸５４の各先端には、電子部品を吸着する吸着ノズル５５がそれぞれ着脱可能に装着されている。

　これにより、Ｒ軸モータ５１が駆動されると、インデックス軸５２を介して複数の吸着ノズル５５を保持したノズル軸５４が鉛直軸線回り（Ｒ軸方向）に回動され、複数の吸着ノズル５５が所定の角度位置（部品吸着位置）に順次インデックスされる。

　インデックス軸５２上には、従動ギヤ５６とθ軸ギヤ５７を形成した回転体５８が回転のみ可能に支持されている。ヘッド本体５０には、θ軸モータ５９が固定され、θ軸モータ５９によって回転される駆動ギヤ６０に、従動ギヤ５６が噛合されている。θ軸ギヤ５７は回転体５８の軸方向に沿って所定長さに亘って形成され、このθ軸ギヤ５７に、各ノズル軸５４の上端に固定されたノズルギヤ６１がそれぞれ相対摺動可能に噛合されている。

　これにより、θ軸モータ５９が駆動されると、駆動ギヤ６０、従動ギヤ５６、θ軸ギヤ５７およびノズルギヤ６１を介して、すべてのノズル軸５４がロータリヘッド５３に対して回転（自転）される。

　また、ヘッド本体５０には、ノズル作動部材６２がガイドバー６３によって上下方向に摺動可能に案内されている。ノズル作動部材６２は、ヘッド本体５０に固定されたＺ軸モータ６４にて作動されるボールねじ機構６５により、昇降されるようになっている。ノズル作動部材６２は、部品吸着位置にインデックスされたノズル軸５４の上端に当接して、ノズル軸５４をＺ軸方向の下方に押圧する押圧部６６を有している。

　これにより、Ｚ軸モータ６４が駆動されると、ボールねじ機構６５によってノズル作動部材６２が上下方向に移動され、押圧部６６によって部品吸着位置に割出されたノズル軸５４がＺ軸方向に昇降される。

　基台１１上には、吸着ノズル５５によって吸着された電子部品を下方より撮像する部品カメラ６８（図１参照）が固定されている。部品カメラ６８は、吸着ノズル５５によって吸着した電子部品を、部品供給装置２０の部品供給位置から回路基板Ｂ上の所定位置に移動する途中で撮像して、吸着ノズル５５の中心に対する電子部品の芯ずれおよび角度ずれ等を検出し、この芯ずれ等に基づいて実装ヘッド４７のＸＹ方向の移動量を補正するとともに、吸着ノズル５５を回転して角度補正し、電子部品が回路基板Ｂ上の定められた座標位置に正確に装着できるようにしている。

　上記した構成の実装ヘッド４７は、回路基板Ｂ等の種類に応じて複数種類用意されている。これら実装ヘッド４７は、Ｘ軸スライド４５に対して着脱可能に装着され、実装ヘッド４７の洗浄時や検査時には、Ｘ軸スライド４５より取外され、後述する洗浄ユニット９０（図６参照）に装着される。

　次に、実装ヘッド４７をＸ軸スライド４５にクランプするヘッドクランプ装置７０の構成について、図３および図４に基づいて説明する。

　図３において、実装ヘッド４７は、Ｘ軸スライド４５の正面部に着脱可能に装着されるようになっている。すなわち、Ｘ軸スライド４５の正面部に装着される実装ヘッド４７の背面部の上部には、係合ブロック７１が設けられ、この係合ブロック７１に係合ローラ７２がＸ軸方向と平行な軸線の回りに回転可能に軸承されている。また、実装ヘッド４７の背面部の下部には、Ｘ軸方向に所定量離間した位置に、断面Ｖ字状の２つの脚部７３がＸ軸方向に所定量離間して形成されている。

　一方、Ｘ軸スライド４５の正面部の上部には、係合ブロック７１を収納する収納穴７４が形成され、この収納穴７４内に、係合ブロック７１の両側に係合する一対の上部位置決め用ローラ７５がＸ軸方向に離間して設けられている。また、Ｘ軸スライド４５の正面部の下部には、２つの脚部７３に係合するＶ溝状の２つの脚部支承部７６が形成され、脚部支承部７６の上方には、一対の下部位置決め用ローラ７７がＸ軸方向に離間して設けられている。一対の下部位置決め用ローラ７７は、実装ヘッド４７の２つの脚部７３の内側端面に係合されるようになっている。

　これにより、２つの脚部７３と２つの脚部支承部７６との係合によって、実装ヘッド４７はＸ軸スライド４５に対しＺ軸方向の移動が規制される。しかも、各一対の上部位置決め用ローラ７５および下部位置決め用ローラ７７が、係合ブロック７１の両側および２つの脚部７３の内側端面にそれぞれ係合されることにより、実装ヘッド４７はＸ軸スライド４５に対しＸ軸方向の移動が規制される。その状態で、実装ヘッド４７の背面部がＸ軸スライド４５の正面部に面接触可能となる。

　Ｘ軸スライド４５の上部には、図４に示すように、プッシャ部材８０が上下方向に摺動可能に支持され、ピン８１によって回転運動が規制されている。プッシャ部材８０の先端（下端）には、実装ヘッド４７に軸支された係合ローラ７２に係合する傾斜面８０ａが形成されている。プッシャ部材８０の傾斜面８０ａは、係合ローラ７２との係合によって、実装ヘッド４７の背面部をＸ軸スライド４５の正面部に圧接するように作用する。プッシャ部材８０の上端にはくさび面８０ｂが形成され、このくさび面８０ｂに押圧部材８３のくさび面８３ａがくさび係合されるようになっている。押圧部材８３は図略の操作部材の操作によって軸方向に移動され、両くさび面８３ａ、８０ｂを介してプッシャ部材８０を下方に押圧するようになっている。

　また、実装ヘッド４７には、ノズル軸５４の中心部に形成された負圧エア通路８５（図５参照）に、連通路１３４（図５参照）およびエア導入通路１３３を介して連通する接続管路１３２が設けられている。この接続管路１３２は、実装ヘッド４７がＸ軸スライド４５に装着されることによってＸ軸スライド４５に設けられた供給管路１３１に接続されるようになっている。

　図５に示すように、吸着ノズル５５は、ノズル軸５４の中心部に形成された負圧エア通路８５に負圧エアが供給されることにより電子部品を吸着し、負圧エアの供給が絶たれるとともに、正圧が供給されることにより電子部品を解放するようになっている。負圧エア通路８５への負圧エアの供給および遮断の切替えが、各ノズル軸５４毎に設けられたメカニカル切替バルブ（以下、メカバルブという）８７によって行われる。

　吸着ノズル５５と同数（Ｎ個）のメカバルブ８７は、それぞれロータリヘッド５３に上下方向に摺動可能に嵌合されている。メカバルブ８７の各上端はロータリヘッド５３の上面より突出され、それら突出部に係合部８７ａが形成されている。メカバルブ８７の係合部８７ａは、ステッピングモータ８８によって所定量昇降される作動軸８９の係合部８９ａに離脱可能に係合可能となっており、ロータリヘッド５３のインデックスによって、作動軸８９の係合部８９ａにメカバルブ８７の係合部８７ａが順次係合される。

　なお、メカバルブ８７は、図略の摩擦力保持装置により、重力等によって摺動するのを阻止されており、メカバルブ８７に摩擦力に打ち勝つ大きさの力が加えられない限り、上昇端位置あるいは下降端位置に保持されるようになっている。

　部品吸着位置にインデックスされた吸着ノズル５５に対応するメカバルブ８７は、ロータリヘッド５３の回転（Ｒ軸回転）によって、作動軸８９より係合を離脱され、ロータリヘッド５３が所定角度インデックスされると、隣接する吸着ノズル５５に対応するメカバルブ８７が作動軸８９に係合される。そして、作動軸８９がステッピングモータ８８によって昇降されることにより、上昇端位置と下降端位置との間で移動される。

　メカバルブ８７が図５に示す位置より上昇端位置まで移動されると、メカバルブ８７はＯＮ動作され、実装ヘッド４７内に供給されたエアが負圧エア通路８５に導入可能となる。反対に、メカバルブ８７の下降端位置への移動により、メカバルブ８７はＯＦＦ動作され、実装ヘッド４７内に供給されたエアの負圧エア通路８５への導入が遮断される。

　図６は、実装ヘッド４７の負圧エア通路８５を洗浄する洗浄ユニット９０の全体を示す斜視図で、洗浄ユニット９０は、キャスタ９２付きの作業台９３上に設置されており、洗浄ユニット９０は、作業台９３とともに、任意の位置に移動可能となっている。かかる洗浄ユニット９０に、ロータリヘッド５３（図２参照）を備えた実装ヘッド４７が適宜装着され、ある程度透明な樹脂等からなる図略の開閉可能なカバーによって覆われるようになっている。洗浄ユニット９０には、操作パネル９５が取付けられ、この操作パネル９５に、表示部（モニタ）１２５、データ入力用のキーボード１２６が設けられ、このキーボード１２６に、スタートボタンＳＢ等の各種操作ボタンや、表示部１２５に表示されたカーソルを移動する矢印キー１２８等が設けられている。

　表示部１２５には、洗浄ユニット９０に装着された実装ヘッド４７を洗浄するか検査するかの選択モード等が表示されるとともに、洗浄後の検査結果等が表示されるようになっている。

　洗浄ユニット９０には、部品実装機１０から取外された実装ヘッド４７を装着する個所に、ヘッドクランプ装置９６が設けられ、このヘッドクランプ装置９６によって実装ヘッド４７が、洗浄ユニット９０のユニット本体９１に位置決めクランプされる。また、洗浄ユニット９０には、実装ヘッド４７内を洗浄したエアやオイルを吸引する汚れ吸引ブロア９７を有するオイル回収ボックス９８が設けられている。

　なお、ヘッドクランプ装置９６は、部品実装機１０のＸ軸スライド４５に実装ヘッド４７をクランプするヘッドクランプ装置７０（図４参照）と共通（同じ構成）のものであり、図４は、洗浄ユニット９０のユニット本体９１に実装ヘッド４７を装着（位置決めクランプ）した状態を示している。そして、実装ヘッド４７を洗浄する場合には、部品実装機１０より実装ヘッド４７が取外されて洗浄ユニット９０まで運ばれ、ヘッドクランプ装置９６によって、洗浄ユニット９０のユニット本体９１に装着される。

　図７は、洗浄ユニット９０側に設けられた流体供給回路１００を示すもので、流体供給回路１００は、エア供給源（コンプレッサ）１０１に接続されたエア供給通路１０２を備え、エア供給通路１０２には、レギュレータバルブ１０３が配置されたメイン通路１０４が接続されている。

　メイン通路１０４は、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５を介して、洗浄用エア通路１１６と洗浄用オイル通路１１７に選択的に接続されるようになっている。これら洗浄用エア通路１１６と洗浄用オイル通路１１７は、洗浄・検査経路切替バルブ１１０の手前で互いに接続され、洗浄・検査経路切替バルブ１１０の入力ポートに接続されている。

　洗浄用オイル通路１１７には、ルブリケータ１１８（図６参照）が配設され、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５の切替えによって、メイン通路１０４と洗浄用オイル通路１１７とが接続される。洗浄用オイル通路１１７にエアが供給されると、ルブリケータ１１８によりオイルをミスト状にして、洗浄・検査経路切替バルブ１１０の入力ポートに送り込むようになっている。

　なお、オイルとしては、例えば、フッ素オイルに揮発性溶剤を混合したものが用いられる。逆に、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５の切替えによって、メイン通路１０４と洗浄用エア通路１１６とが接続されると、洗浄・検査経路切替バルブ１１０の入力ポートにエアが送り込まれる。

　一方、メイン通路１０４は、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５と並列に配置された検査用バルブ１０５を介して、検査用エア通路１０６に接続されている。検査用エア通路１０６中には、上流側より流量測定センサ１０８およびフィルタ１０９が配置され、フィルタ１０９を通過したエアは、洗浄・検査経路切替バルブ１１０の入力ポートに送り込まれる。また、検査用エア通路１０６より分岐した分岐通路１１１には、検査用エア通路１０６を流れるエア圧を測定する真空圧測定センサ１１２が接続されている。これら流量測定センサ１０８および真空圧測定センサ１１２によって、エア測定手段を構成している。

　そして、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５および検査用バルブ１０５の切替えによって、検査用エア通路１０６を介して供給された検査エア、あるいは洗浄用エア通路１１６または洗浄用オイル通路１１７を介して選択的に供給されたエアまたはオイル（オイルミスト）が、洗浄・検査経路切替バルブ１１０を介してユニット本体９１に設けた供給管路１３０に供給される。

　上記した検査用バルブ１０５およびエア・オイル洗浄切替バルブ１１５によって、エア供給源１０１より供給されたエアを洗浄用通路１１６、１１７あるいは検査用エア通路１０６に選択的に供給する切替手段を構成している。

　さらに、エア供給通路１０２には、汚れ吸引ブロア９７（図６参照）が汚れ吸引バルブ１１９を介して接続されている。汚れ吸引バルブ１１９は、実装ヘッド４７の洗浄時に切替えられ、実装ヘッド４７の吸着ノズル５５の先端より排出される汚れたエアあるいはオイルを、汚れ吸引ブロア９７によって吸引し、汚れたエアあるいはオイルが周囲に飛散するのを防止するようになっている。

　洗浄ユニット９０のユニット本体９１への実装ヘッド４７の位置決めクランプによって、ユニット本体９１に設けられた供給管路１３０と実装ヘッド４７のヘッド本体５０に設けられた接続管路１３２とが互いに接続され、これら供給管路１３０および接続管路１３２を介して、洗浄ユニット９０側より実装ヘッド４７内に形成されたエア導入通路１３３にエアやオイルが供給される。これら供給管路１３０、接続管路１３２およびエア導入通路１３３によって、洗浄用エア通路１１６、洗浄用オイル通路１１７あるいは検査用エア通路１０６より、各負圧エア通路８５にエアを導入する導入手段を構成している。

　図８は、洗浄ユニット９０を制御する制御装置１２０を示すもので、制御装置１２０は、中央処理装置（ＣＰＵ）１２１と、各種の制御データおよび制御プログラム等を記憶するメモリ（ＲＯＭ１２２およびＲＡＭ１２３）と、入出力インターフェイス１２４を備えている。入出力インターフェイス１２４には、上記した操作パネル９５の表示部１２５、等が接続されている。

　また、入出力インターフェイス１２４には、洗浄ユニット９０に装着された実装ヘッド４７のＲ軸モータ５１、θ軸モータ５９、Ｚ軸モータ６４およびステッピングモータ８８を制御するモータ制御ユニット１２７が接続されるとともに、流体供給回路１００の流量測定センサ１０８および真空圧測定センサ１１２が接続されている。かかる制御装置１２０によって、洗浄ユニット９０に装着された実装ヘッド４７の洗浄サイクルや検査サイクルが実行処理される。

　操作パネル９５の表示部１２５には、洗浄ユニット９０に装着された実装ヘッド４７のシリアルナンバーが表示されるとともに、洗浄あるいは検査の実施日時、各種の検査結果、ならびに検査結果に基づく合否の判定結果等が表示され、これら表示内容は、制御装置１２０のＲＡＭ１２３に記憶されるようになっている。
　制御装置１２０には、外部コンピュータ１４０がＬＡＮケーブル１４１を介して接続され、外部コンピュータ１４０に、洗浄を行った日時や検査結果等のデータをＬＡＮケーブル１４１を介して転送し、保存できるようになっている。これによって、外部コンピュータ１４０で、洗浄および検査の履歴を閲覧することができるようになり、また、次の洗浄時期等を報知することが可能となる。

　次に実装ヘッド４７を洗浄あるいは検査する動作について説明する。実装ヘッド４７を洗浄あるいは検査する場合には、部品実装機１０のＸ軸スライド４５より実装ヘッド４７を取外し、洗浄ユニット９０のユニット本体９１に装着する。実装ヘッド４７の洗浄ユニット９０への装着は、部品実装機１０に装着する場合と同様にして行える。

　具体的には、実装ヘッド４７の脚部７３をユニット本体９１の脚部支承部（７６）に係合させるとともに、実装ヘッド４７の係合ブロック７１および脚部７３を、ユニット本体９１の上部および下部位置決め用ローラ（７５、７７）に係合させながら、実装ヘッド４７の背面部をユニット本体９１の表面部に接近させる。これにより、係合ローラ７２により自由状態のプッシャ部材（８０）が持ち上げられて、係合ローラ７２がプッシャ部材（８０）を乗り越え、実装ヘッド４７のヘッド本体５０の背面部がユニット本体９１の表面部に接触される。

　これにより、洗浄ユニット９０側の供給管路１３０と実装ヘッド４７側の接続管路１３２とが互いに接続され、洗浄ユニット９０のエア供給源１０１より実装ヘッド４７内のエア導入通路１３３にエアおよびオイルミストを供給できる状態となる。

　この状態で、図略の操作部材を操作することにより、くさび作用によってプッシャ部材（８０）が下方に押圧され、プッシャ部材（８０）が係合ローラ７２に係合して、実装ヘッド４７の背面が洗浄ユニット９０のユニット本体９１の表面に圧接され、実装ヘッド４７が洗浄ユニット９０に位置決めクランプされる。しかる後、洗浄ユニット９０と実装ヘッド４７との電気系統および通信系統をコネクタ接続し、洗浄・検査の前準備が完了する。

　このようにして、実装ヘッド４７が洗浄ユニット９０に装着され、図略のカバーを閉じると、操作パネル９５に実装ヘッド４７のシリアルナンバーが表示されるとともに、洗浄モードを実行するか検査モードを実行するかの選択画面が表示される。ここで、例えば、洗浄モードを選択すると、次いで、エアによる洗浄か、オイル（例えばフッ素オイルを含むオイルミスト）による洗浄かの選択画面が表示される。エアによる洗浄を選択し、操作パネル９５上のスタートボタンＳＢを操作すると、エアによる洗浄サイクルが実行される。

　なお、エアによる洗浄はオイルによる洗浄に比べて簡便であるため、例えば１ヶ月毎にエアによる洗浄を実施し、例えば３ヶ月毎に潤滑を兼ねたオイルによる洗浄を実施し、必要に応じて、検査モードを実施することが好ましい。これによって、時間を浪費することなく、実装ヘッド４７を効果的に洗浄、検査することが可能となる。

　エアによる洗浄が選択されると、図９のフローに示すエア洗浄サイクルが実行される。すなわち、ステップ２００において、Ｒ軸モータ５１によってロータリヘッド（Ｒ軸）５３が原位置に移動され、次いで、ステップ２０２において、Ｒ軸が所定角度（吸着ノズル５５がＮ本とすると、３６０／Ｎ度）インデックスされる。続くステップ２０４において、各吸着ノズル５５に対応して設けられたメカバルブ８７がステッピングモータ８８により、ＯＦＦ動作（図５に示す状態）され、負圧エア通路８５が閉止される。

　次いで、ステップ２０６において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたか否かが判断され、Ｎ回未満と判断された場合には、上記したステップ２０２～２０６の処理が繰り返される。ステップ２０６において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたと判断されると、後述するステップ２０８に移行する。このような処理によって、各吸着ノズル５５に対応するすべてのメカバルブ８７がＯＦＦ動作され、各吸着ノズル５５に通ずるすべての負圧エア通路８５が閉止状態にリセットされる。

　次いで、ステップ２０８において、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５が図７の右方（洗浄用エア通路１１６側）に切替えられるとともに、洗浄・検査経路切替バルブ１１０が図７の右方に切替えられ、同時に、汚れ吸引バルブ１１９が図７の右方に切替えられる。これにより、エア供給源１０１からエア供給通路１０２に供給されたエアが、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５、洗浄用エア通路１１６および洗浄・検査経路切替バルブ１１０を介して、洗浄ユニット９０の供給管路１３０に供給され、実装ヘッド４７の接続管路１３２を介して実装ヘッド４７内のエア導入通路１３３にエアが導入される。同時に、エア供給通路１０２に供給されたエアは、汚れ吸引バルブ１１９を介して汚れ吸引ブロア９７に供給され、汚れ吸引ブロア９７を作動する。

　続いて、ステップ２１０において、部品吸着位置にインデックスされた最初の吸着ノズル５５に対応するメカバルブ８７が、ステッピングモータ８８によって上昇されてＯＮ動作され、最初の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５が開放される。これによって、実装ヘッド４７内のエア導入通路１３３に導入されたエアが、連通路１３４を介して最初の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５に供給され、吸着ノズル５５の先端より噴出される。

　負圧エア通路８５に導入された洗浄エアは、ノズル軸５４およびメカバルブ８７の摺動部にも供給され、電子部品の吸着によって負圧エア通路８５内に吸い込んだほこり等が実装ヘッド４７内より排除され、ノズル軸５４およびメカバルブ８７の汚れが洗い流される。吸着ノズル５５の先端より噴出されたエアは、汚れ吸引ブロア９７によって吸引され、飛散が防止される。

　次いで、ステップ２１２において、Ｚ軸モータ６４によって昇降されるノズル作動部材６２により、最初の吸着ノズル５５を保持したノズル軸５４がＺ軸方向に所定回数上下運動される。これにより、ノズル軸５４の摺動部（ロータリヘッド５３との嵌合部）より、ほこりや、ノズル軸５４の摺動によって発生した金属粉が、エアによって有効に排除され、ノズル軸５４の汚れが洗い流される。その後、ステップ２１４において、最初の吸着ノズル５５に対応したメカバルブ８７が再びＯＦＦ動作され、負圧エア通路８５が閉止される。

　次いで、ステップ２１６において、Ｒ軸（ロータリヘッド５３）が所定角度（３６０／Ｎ度）インデックスされ、続くステップ２１８において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたか否かが判断され、Ｎ回未満と判断された場合には、上記したステップ２１０～２１８の処理が繰り返され、２番目、３番目の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５が開放されて、各負圧エア通路８５が順次洗浄される。

　そして、ステップ２１８において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたと判断されると、すなわち、最後（Ｎ番目）の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５およびノズル軸５４やメカバルブ８７の洗浄が終了すると、ステップ２２０に移行し、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５、洗浄・検査経路切替バルブ１１０および汚れ吸引バルブ１１９が図７に示す原位置に切替えられ、実装ヘッド４７へのエアの供給を停止する。

　続いて、ステップ２２２において、検査用バルブ１０５が図７の右方に切替えられ、エア供給源１０１からエア供給通路１０２に供給されたエアが、検査用バルブ１０５を介して検査用エア通路１０６に供給される。検査用エア通路１０６に供給されたエアは、流量測定センサ１０８を通過した後、洗浄・検査経路切替バルブ１１０を介して、洗浄ユニット９０の供給管路１３０に供給され、実装ヘッド４７の接続管路１３２を介して実装ヘッド４７内のエア導入通路１３３に導入される。

　続いて、ステップ２２４において、メカバルブ８７がＯＮ動作され、このメカバルブ８７のＯＮ動作により、エア導入通路１３３に導入されたエアが連通路１３４を介して負圧エア通路８５に供給され、吸着ノズル５５より外部に排出される。

　この際、流量測定センサ１０８によって、検査用エア通路１０６を流通する流量が測定され、測定された流量の情報は制御装置１２０のＲＡＭ１２３に記憶される。ＲＡＭ１２３に記憶された流量の情報は、ＲＯＭ１２２に予め登録されている閾値と比較され、測定された流量が閾値を超えている場合には、すなわち、実装ヘッド４７内を洗浄した結果、ほこり等が排除され、エアが十分に流通している場合には、エアによる洗浄が良好に行われたものと判断し、合格と判断する。

　その後、ステップ２２６において、メカバルブ８７がＯＦＦ動作される。次いで、ステップ２２８において、Ｒ軸が所定角度（３６０／Ｎ度）インデックスされ、続くステップ２３０において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたか否かが判断され、Ｎ回未満と判断された場合には、上記したステップ２２４～２３０を繰り返す。ステップ２３０において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたと判断されると、ステップ２３２に移行し、検査用バルブ１０５を原位置に切替える。次いで、ステップ２３４において、操作パネル９５に流量測定センサ１０８にて測定した流量検査結果および合否の判定結果を表示して、エアによる洗浄サイクルを終了する。

　しかる後、洗浄済みの実装ヘッド４７を洗浄ユニット９０より取外し、別の実装ヘッド４７を洗浄する場合には、上記したと同様な手順で実装ヘッド４７を洗浄ユニット９０に装着し、エアによる洗浄を行う場合には、スタートボタンＳＢを押すだけで、上記した洗浄サイクルが開始される。

　一方、別のサイクル（オイルによる洗浄あるいは検査）を実行する場合には、操作パネル９５に表示される選択画面を選択することによって、選択されたサイクルが実行される。

　図１０は、オイルによる洗浄のフローを示すもので、先に示したエアによる洗浄と異なる点は、図９のＡの処理（ステップ２００～２２０）中のステップ２０８において、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５を上記とは反対に図７の左方（洗浄用オイル通路１１７側）に切替えること、および上記のステップ２２０の後に、ステップ３０２～３２４の動作を追加し、その後に、図９のＢの処理（ステップ２２２～２３４）を行うようにしたことである。

　エア・オイル洗浄切替バルブ１１５を図７の左方に切替えることにより、メイン通路１０４に供給されたエアを洗浄用オイル通路１１７に送り込み、ルブリケータ１１８によってオイル（フッ素オイル）をミスト状にして実装ヘッド４７内に送り込み、負圧エア通路８５をオイルミストによって洗浄することができる。なお、それ以外の処理は同じであるため省略する。

　追加のステップ３０２～３２４は、負圧エア通路８５内にオイル（オイルミスト）を供給すると、オイルが負圧エア通路８５内に付着して残存したり、ノズル軸５４およびメカバルブ８７の摺動部に侵入するため、オイルによる洗浄の後に、負圧エア通路８５にエアを供給して実装ヘッド４７内に残存するオイルを吹き飛ばすこと、ならびに、その後にアイドリング運転を所定時間（例えば、３０秒程度）行って、ノズル軸５４およびメカバルブ８７の摺動部を残ったオイルによって潤滑するためである。従って、以下においては、主に追加のステップ３０２～ステップ３２４について説明する。

　図９に示すように、ステップ２０８において、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５が図７の左方（洗浄用オイル通路１１７側）に切替えられ、ステップ２１０において、メカバルブ８７がＯＮ動作されると、メイン通路１０４に供給されたエアが洗浄用オイル通路１１７に送り込まれ、ルブリケータ１１８によってオイル（フッ素オイル）をミスト状にして実装ヘッド４７内に送り込み、最初の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５をオイルミストによって洗浄する。

　このようにして、最後の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５のオイルによる洗浄が終了し、図９のＡの処理が完了すると、ステップ３００において、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５を洗浄用エア通路１１６側に切替えるとともに、汚れ吸引バルブ１１９を切替えて汚れ吸引ブロア９７を作動させる。次いで、ステップ３０２において、メカバルブ８７がＯＮ動作されるとともに、ステップ３０４において、Ｚ軸モータ６４によって、最初の吸着ノズル５５を保持したノズル軸５４がＺ軸方向に所定回数上下運動される。

　これにより、最初の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５にエアが供給され、オイルによる洗浄によって負圧エア通路８５や、ノズル軸５４およびメカバルブ８７の摺動部に付着したオイルが吹き飛ばされて、吸着ノズル５５の先端より噴出され、汚れ吸引ブロア９７によって吸引される。その後、ステップ３０６において、最初の吸着ノズル５５に対応したメカバルブ８７がＯＦＦ動作され、負圧エア通路８５が閉止される。

　次いで、ステップ３０８において、Ｒ軸が所定角度（３６０／Ｎ度）インデックスされ、続くステップ３１０において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたか否かが判断される。Ｎ回未満と判断された場合には、上記したステップ３０２～３１０が繰り返される。ステップ３１０において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたと判断されると、ステップ３１２に移行し、エア・オイル洗浄切替バルブ１１５および汚れ吸引バルブ１１９が図７に示す原位置に切替えられる。

　続いて、ステップ３１４において、最初の吸着ノズル５５に対応したメカバルブ８７が再びＯＮ動作され、次いで、ステップ３１６、３１８において、吸着ノズル５５を保持したノズル軸５４がＺ軸用モータ６４によって下降および上昇され、アイドリング運転される。これにより、オイルによって、ノズル軸５４の摺動部が効果的に潤滑される。その後、ステップ３２０において、メカバルブ８７がＯＦＦ動作される。

　次いで、ステップ３２２において、Ｒ軸が所定角度インデックスされ、次の吸着ノズル５５が部品吸着位置にインデックスされる。そして、続くステップ３２４において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたか否かが判断され、Ｎ回未満と判断された場合には、上記したステップ３１４～３２４の処理が繰り返される。ステップ３２４において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたと判断されると、図９のＢの処理（ステップ２２２～２３４）を行って、オイルによる洗浄後の流量検査を実施し、流量測定センサ１０８にて測定した流量検査結果および合否の判定結果を操作パネル９５に表示して、オイルによる洗浄サイクルを終了する。

　次に、エアあるいはオイルによって実装ヘッド４７内を洗浄した後に、実装ヘッド４７の性能を検査する検査モードによる検査サイクルを図１１のフローに基づいて説明する。検査モードを実行する場合には、吸着ノズル５５の先端よりエアが噴出されないように、すべての吸着ノズル５５の先端に蓋１３５（図２参照）がされる。このため、実装ヘッド４７が洗浄ユニット９０より一旦取外される。そして、実装ヘッド４７を取外した状態で、吸着ノズル５５の先端に蓋１３５が被せられ、しかる後、実装ヘッド４７が洗浄ユニット９０に再び装着される。

　実装ヘッド４７が洗浄ユニット９０に装着されると、操作パネル９５に、実装ヘッド４７のシリアルナンバーが表示されるとともに、実行すべきモードが洗浄か検査かの選択画面が表示される。ここで、検査モードを選択し、スタートボタンＳＢを操作すると、検査モードが実行される。すなわち、図１１のフローに示す検査サイクルが実行される。

　図１１において、ステップ４００～４０６によって、図９のステップ２００～２０６で述べたと同様にして、各吸着ノズル５５に対応するすべてのメカバルブ８７がＯＦＦ動作され、各吸着ノズル５５に通ずるすべての負圧エア通路８５が閉止状態にリセットされる。

　次いで、ステップ４０８において、検査用バルブ１０５が図７の右方に切替えられる。これにより、エア供給源１０１からエア供給通路１０２に供給されたエアが、検査用バルブ１０５を介して検査用エア通路１０６に供給される。検査用エア通路１０６に供給されたエアは、洗浄ユニット９０の供給管路１３０より、実装ヘッド４７の接続管路１３２を介してエア導入通路１３３に供給される。

　続いて、ステップ４１０において、メカバルブ８７がＯＮ動作され、部品吸着位置にインデックスされた最初の吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５が開放される。これによって、実装ヘッド４７内のエア導入通路１３３に導入されたエアが、連通路１３４を介して吸着ノズル５５に通ずる負圧エア通路８５に供給される。しかしながら、吸着ノズル５５には蓋１３５が被せられて、吸着ノズル５５の先端からのエアの噴出が阻止されているため、負圧エア通路８５に導入されたエアは、メカバルブ８７やノズル軸５４の摺動部等を介して外部に漏洩する。かかるエアの漏洩によって、負圧エア通路８５中の圧力が変化する。

　負圧エア通路８５に通ずる検査用エア通路１０６には、真空圧測定センサ１１２が接続されているため、負圧エア通路８５中のエアの圧力が真空圧測定センサ１１２によって測定され、測定されたエア圧の情報は制御装置１２０のＲＡＭ１２３に記憶される。そして、エア圧の情報は、ＲＯＭ２０２に予め登録された閾値と比較され、正常か異常が判定される。

　次いで、ステップ４１２、４１４において、Ｚ軸モータ６４が駆動され、最初の吸着ノズル５５を保持したノズル軸５４がＺ軸方向に下降および上昇される。Ｚ軸モータ６４によるノズル軸５４の下降および上昇に要したＺ軸移動時間は、続くステップ４１６で計測され、ＲＡＭ１２３に記憶される。ここで、Ｚ軸移動時間は、ノズル軸５４の摺動抵抗に依存し、例えば、ノズル軸５４の摺動部にほこり等の異物が侵入しているような場合には、摺動抵抗が大きくなり、Ｚ軸移動時間が長くなる。そして、ＲＡＭ１２３に記憶されたＺ軸移動時間は、ＲＯＭ１２２に予め登録されている閾値と比較され、合否が判定される。

　続くステップ４１８においては、メカバルブ８７がＯＦＦ動作され、次いで、ステップ４２０において、Ｒ軸（ロータリヘッド５３）がＲ軸モータ５１によって所定角度（３６０／Ｎ度）インデックスされる。続くステップ４２２において、Ｒ軸モータ５１によるロータリヘッド５３のＲ軸移動時間が計測され、ＲＡＭ１２３に記憶される。ＲＡＭ１２３に記憶されたＲ軸移動時間は、ＲＯＭ１２２に予め登録されている閾値と比較され、合否が判定される。

　次いで、ステップ４２４において、Ｒ軸のインデックスがＮ回繰り返されたか否かが判断され、Ｎ回未満と判断された場合には、上記したステップ４１０～４２０の処理が繰り返され、Ｎ回繰り返されたと判断されると、ステップ４２６において、操作パネル９５の表示部１２５上に、Ｚ軸移動時間およびＲ軸移動時間、およびそれに基づく合否の判定結果が表示されるとともに、その判定結果に基づいて実装ヘッド４７の性能が正常であるか、異常であるかが表示される。

　例えば、Ｎ本のノズル軸５４の１つでも、Ｚ軸移動時間が閾値を逸脱し、合否判定で不合格と判断された場合には、実装ヘッド４７が異常と判断される。異常と判断された実装ヘッド４７は、洗浄ユニット９０より取外された後、異常処置が講ぜられるが。この場合、実装ヘッド４７の異常が、どのノズル軸５４に起因しているかが検査結果より明らかとなるので、実装ヘッド４７の異常の処置を容易に行えるようになる。実装ヘッド４７の性能検査としては、Ｚ軸およびＲ軸の他に、θ軸を追加してもよい。

　なお、洗浄ユニット９０に実装ヘッド４７を装着したまま、吸着ノズル５５に蓋１３５を取付けることができれば、エアあるいはオイルによる洗浄後に実装ヘッド４７を取外すことなく、検査サイクルを継続して実施することが可能となる。この場合には、ロータリヘッド５３のＲ軸が既に原位置に移動されており、また、複数の吸着ノズル５５にそれぞれ対応するすべてのメカバルブ８７がＯＦＦ状態に保持されているため、検査サイクルにおけるステップ４００～４０６の処理を省略することができる。

　上記した実施の形態によれば、部品実装機１０から取外された実装ヘッド４７を、部品実装機１０と共通のヘッドクランプ装置９６により装着して、実装ヘッド４７内の負圧エア通路８５にエアあるいはオイルミストを供給し、実装ヘッド４７内を洗浄するものであるので、実装ヘッド内の洗浄を簡単かつ効率的に行うことができる。

　また、実装ヘッド４７の洗浄ユニット９０への装着後は、操作パネル９５に表示される選択画面に従って操作パネル９５を操作するだけで、洗浄モードあるいは検査モード等を選択でき、洗浄サイクルあるいは検査サイクルを容易に実施することができる。

　しかも、洗浄ユニット９０の洗浄用エア通路１１６あるいは洗浄用オイル通路１１７より、実装ヘッド４７内の各負圧エア通路８５に導入されるエアあるいはオイルによって、負圧エア通路８５を洗浄することができる。これにより、部品吸着時等に吸着ノズル５５より負圧エア通路８５内に吸い込んだほこり等を排除することができるとともに、洗浄後に、検査用バルブ１０５を切替えて、検査用エア通路１０６より実装ヘッド４７内にエアを導入することにより、検査用エア通路１０６中に設けた流量測定センサ１０８によって測定した流量の情報を操作パネル９５に表示することができ、操作パネル９５に、洗浄結果およびそれに基づく合否等を表示することができる。

　上記した実施の形態によれば、負圧エア通路８５の洗浄を、エアあるいはオイルによって選択的に行うことができ、例えば、一定の時期毎にエアによる洗浄を行い、数回のエアによる洗浄毎にオイルによる洗浄を行うことにより、実装ヘッド４７の効果的な洗浄が可能となる。また、汚れ吸引ブロア９７によって、負圧エア通路８５の洗浄によって吸着ノズル５５より排出される汚れたエアあるいはオイルを、周囲に飛散させなくすることができる。

　また、上記した実施の形態によれば、検査サイクル時には、吸着ノズル５５からのエアの排出を蓋１３５によって阻止するようにしたので、ロータリヘッド５３内を摺動する吸着ノズル５５を保持するノズル軸５４や、負圧エア通路への負圧エアの供給および遮断の切替えを行うメカニカル切替バルブ８７等の各摺動部からのエアの漏洩等を真空圧測定センサ１１２によって検査することが可能となる。

　さらに、検査サイクル時に、Ｚ軸モータ６４によって昇降される吸着ノズル５５の昇降移動時間を測定することによって、吸着ノズル５５を保持したノズル軸５４の摺動抵抗を測定することができ、摺動部へのほこりや金属粉のかみこみ等による異常状態を検査することができる。
　上記した実施の形態においては、部品実装機１０から取外した実装ヘッド４７を、部品実装機１０と共通のヘッドクランプ装置９６により、洗浄ユニット９０に装着する例について述べたが、必ずしも共通のヘッドクランプ装置９６である必要はない。
　上記した実施の形態においては、複数の吸着ノズル５５を保持したロータリヘッド５３をインデックス可能に備えた実装ヘッド４７内を洗浄する例について述べたが、本発明は、単一の吸着ノズルを有する実装ヘッド４７内の洗浄にも適用可能である。

　斯様に、本発明は上記した実施の形態で述べた構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の形態を採り得るものである。

　１０…部品実装機、４７…実装ヘッド、５１…Ｒ軸モータ、５３…ロータリヘッド、５４…ノズル軸、５５…吸着ノズル、５９…θ軸モータ、６４…Ｚ軸モータ、８５…負圧エア通路、８７…メカニカル切替バルブ、９０…洗浄ユニット、９５…操作パネル、９６…ヘッドクランプ装置、９７…汚れ吸引ブロア、１００…流体供給回路、１０１…エア供給源、１０５…検査用バルブ、１０８、１１２…エア測定手段（流量測定センサ、真空圧測定センサ）、１１０…洗浄・検査経路切替バルブ、１１５…エア・オイル洗浄切替バルブ、１１６…洗浄用エア通路、１１７…洗浄用オイル通路、１１８…ルブリケータ、１２０…制御装置、１２４…表示部、１３０、１３２、１３３…導入手段（供給管路、接続管路、エア導入通路）、１３５…蓋。

Claims

　部品を吸着する吸着ノズルを有する実装ヘッドを備え、該実装ヘッド内の負圧エア通路にエアあるいはオイルミストを供給して、前記実装ヘッド内を洗浄する実装ヘッド洗浄装置であって、
　部品実装機から取外された前記実装ヘッドを装着する個所に、前記部品実装機と共通のヘッドクランプ装置を備えた実装ヘッド洗浄装置。
　部品を吸着する吸着ノズルを有する実装ヘッドを備え、該実装ヘッド内の負圧エア通路にエアあるいはミストオイルを供給して、実装ヘッド内を洗浄するようにした実装ヘッド洗浄装置であって、
　前記実装ヘッドを着脱可能に装着する洗浄ユニットを有し、該洗浄ユニットには、
　エア供給源より供給されたエアを洗浄用通路あるいは検査用通路に選択的に供給する切替手段と、
　該切替手段によって選択された洗浄用通路あるいは検査用通路より、前記複数の吸着ノズルに各々接続された前記実装ヘッド内の各負圧エア通路にエアを導入する導入手段と、
　前記検査用通路中に設けられたエア測定手段と、
を備えてなる実装ヘッド洗浄装置。
　請求項２において、前記エア測定手段によって測定された情報に基づいて、洗浄結果を表示する操作パネルを備えてなる実装ヘッド洗浄装置。
　請求項２または請求項３において、前記エア測定手段は、前記検査用通路を流通するエアの流量を測定する流量測定センサからなっている実装ヘッド洗浄装置。
　請求項２ないし請求項４のいずれか１項において、洗浄用通路は、エアを供給する洗浄エア通路と、オイルミストを供給する洗浄オイル通路からなり、これら洗浄エア通路および洗浄オイル通路を切替えて、前記負圧エア通路にエアあるいはオイルミストを供給するようになっている実装ヘッド洗浄装置。
　請求項２ないし請求項５のいずれか１項において、前記洗浄ユニットは、前記実装ヘッドの前記吸着ノズルより排出される汚れたエアあるいはオイルを吸引する汚れ吸引ブロアを有している実装ヘッド洗浄装置。
　請求項３ないし請求項６のいずれか１項において、前記操作パネルには、前記洗浄ユニットに前記実装ヘッドが装着された際に、前記実装ヘッドを洗浄する洗浄モードと、前記実装ヘッドを検査する検査モードの選択画面が表示され、前記洗浄モードあるいは前記検査モードを選択することにより、洗浄サイクルあるいは検査サイクルが実施されるようになっている実装ヘッド洗浄装置。
　請求項７において、前記検査サイクルの実施時には、前記吸着ノズルよりエアが排出されないように蓋をするようになっている実装ヘッド洗浄装置。
　請求項８において、前記検査用通路には、前記検査用通路内のエア圧を測定する圧力センサが接続され、前記検査サイクルの実施時に、測定したエア圧およびそれに基づく合否の判定結果を、前記操作パネルに表示するようになっている実装ヘッド洗浄装置。
　請求項８において、前記実装ヘッドは、部品を吸着する複数の吸着ノズルを円周上に保持したロータリヘッドをインデックス可能に備え、前記負圧エア通路にエアを供給した状態で、前記ロータリヘッドを順次インデックスするとともに、各インデックス位置において前記各吸着ノズルを昇降させ、これら吸着ノズルの昇降移動時間を測定し、測定した昇降移動時間およびそれに基づく合否の判定結果を、前記操作パネルに表示するようになっている実装ヘッド洗浄装置。