WO2012157719A1 - 光学フィルタ及び光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)前記基板側において、前記屈折率変化の前記基板側の終点まで、前記屈折率が前記基板の屈折率に近づくように変化する部分と、
(2)前記反射防止構造体側において、前記屈折率変化の前記反射防止構造体側の終点まで、前記屈折率が前記反射防止構造体の屈折率に近づくように変化する部分と
を有することが好ましい。
図2のように構成した、吸収タイプのNDフィルタについて、以下に詳しく記載する。
屈折率傾斜薄膜12は、メタモードスパッタ法により、SiO2とTiOx膜の成膜レートを調整しながら、この2種類を混合させ、屈折率を膜厚方向で連続的に変化させる事で、所望の吸収特性を得るように調整し作製した。
図7は、屈折率傾斜薄膜の作製に用いたスパッタ成膜装置の基板搬送装置の回転軸に直交する面での平面断面図である。
図2のように構成した、吸収タイプのNDフィルタについて、以下に詳しく記載する。本実施例では、基板13の片面側に、薄膜中の少なくても一部に吸収を持つ屈折率傾斜薄膜12を配置した。反射防止構造体は設けない構成とした。
実施例1での環境安定性の効果を考察する為に、図8と略同様となる分光透過率特性を多層膜構成を用いて、膜厚200nmで作製し、その他材料やプロセスは可能な限り実施例1と同様となるように作製したNDフィルタ4について以下に記載する。
実施例1と同様に基板13には厚さ1.0mmのSFL-6ガラスを用い、基板13と屈折率傾斜薄膜12からなるNDフィルタを作製した。屈折率傾斜薄膜12は膜厚が200nmとなるように、メタモードスパッタ法により、SiO2とTiOx膜の成膜レートを調整しながら、この2種類を混合させ、連続的に組成を変化させる事で、屈折率を膜厚方向で連続的に変化させ、所望の吸収特性を得るように調整し作製した。これに加え、TiOxのxを変化させる事で、可視波長領域における分光透過率が、長波長側になるにつれ高くなる領域と、長波長側になるにつれ低くなる領域とを、屈折率傾斜薄膜12中に設ける構成とした。このように、特定の波長領域における分光透過率において、同一膜中に相反する分散形状を持つ領域を設ける事で、例えばNDフィルタであれば、より波長分散の小さい、より平坦な分光透過特性を得る事が可能となる。
<反射防止構造体について>
基板13上に屈折率傾斜薄膜12の形成後、UV硬化性樹脂を用いた光ナノインプリント法により、屈折率傾斜薄膜12上に、反射防止効果を持つサブミクロンピッチの反射防止構造体としての微細周期構造体151と152を形成した。
このような構造体の1つである、反射防止効果を持つ微細周期構造体は、一般的にモス・アイ構造体などと呼ぶことも可能である。構造体の形状を擬似的に屈折率の変化が連続的となる形状とする事で、物質間の屈折率差に起因した反射の低減を図ったものである。
以上によって作製されたNDフィルタの、分光反射率特性、及び分光透過率特性が図15である。濃度は約0.70程度であり、可視波長領域の殆どにおいて反射率が0.4%以下になっている。本構成により、非常に低い反射率を実現できた。測定には、分光光度計(U4100(株)日立ハイテクノロジーズ社製)を用いた。
図16のように基板両面に屈折率傾斜薄膜を形成したフィルタの作製について以下に記載する。
図20に光量絞り装置を示す。ビデオカメラあるいはデジタルスチルカメラ等の撮影光学系に使用するに適した光量絞り装置の絞りは、CCDやCMOSセンサと言った固体撮像素子への入射光量を制御するために設けられているものである。被写界が明るくなるにつれ、絞り羽根31を制御し、より小さく絞り込まれていく構造になっている。このとき、小絞り状態時に発生する像性能の劣化に対する対策として、絞りの近傍にNDフィルタ34を配置し、被写界の明るさが同一であっても、絞りの開口をより大きくできる構造にしている。入射光がこの光量絞り装置33を通過し、固体撮像素子(不図示)に到達する事で電気的な信号に変換され画像が形成される。
図22は光学測定装置である干渉顕微鏡の機能及び構成を示す。光源910は光源として所定の波長を出力する。この光源910から出力された観察光から、フィルタ911にて一定の波長成分のみが抽出される。その後、観察光は、それぞれ異なる透過率を有するNDフィルタ912を保持したフィルタホルダ913の回転位置に応じて選択的に光路上に配置されたNDフィルタ912を介して、適宜光量が調節される。光源としては、単色波長のレーザ光源等も光源として用いることができる。
実施例1~4で記載したNDフィルタ以外の光学フィルタにおいても、吸収を持つタイプで透過光の平坦性を課題とする光学フィルタであれば同様の効果を期待でき、例えばカラーフィルタなどに応用する事が可能である。これらの光学フィルタに本発明を適用する事で、反射率を低減しつつ、所望の透過特性を得る事が可能となる。また、これらの光学フィルタを搭載する事で、前述の不具合を改善した各種の光学装置を得る事が可能となる。
12、221、222.屈折率傾斜薄膜
3、13、23、51.基板
15、151、152、251、252.微細周期構造体
16、161、162.反射防止膜
31.絞り羽根
32.絞り羽根支持板
33.光量絞り装置
4、14、24、34.44、912.NDフィルタ
41.撮影光学系
41A、41B、41C、41D.レンズユニット
42.固体撮像素子
43.光学ローパスフィルタ
45、46.絞り羽根
52.基板搬送装置
53.真空槽
54,55.スパッタ領域
54a、55a.ターゲット
56.高周波電源
57.反応領域
Claims (13)
- 光透過性を有する基板と、
膜厚方向に前記基板側へ向かって前記基板の屈折率に近づくように屈折率変化する光吸収性の屈折率傾斜薄膜と、
を備えたことを特徴とする光学フィルタ。 - 前記屈折率傾斜薄膜は、その膜厚方向において、
可視波長領域の分光透過特性が長波長側になるにつれて高くなる領域と、
可視波長領域の分光透過特性が長波長側になるにつれて低くなる領域と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。 - 前記屈折率傾斜薄膜を構成する物質の組成は、前記膜厚方向に連続的に変化することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光学フィルタ。
- 前記屈折率傾斜薄膜の前記基板側とは反対側の面の上に反射防止構造体を備え、
前記屈折率傾斜薄膜は、前記基板の屈折率と前記反射防止構造体の屈折率との屈折率差を低減するように膜厚方向に屈折率変化することを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の光学フィルタ。 - 前記反射防止構造体は、可視光の波長よりも短いピッチの微細構造体であることを特徴とする請求項4に記載の光学フィルタ。
- 前記基板の前記反射防止構造体側とは反対側の面の上に、他の反射防止構造体を備えたことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の光学フィルタ。
- 前記基板と前記他の反射防止構造体との間に前記他の反射防止構造体の屈折率と前記基板の屈折率との屈折率差を低減するように膜厚方向に屈折率変化する他の屈折率傾斜薄膜を備えたことを特徴とする請求項6に記載の光学フィルタ。
- 前記他の反射防止構造体は、単層又は複数層の反射防止膜であり、前記他の屈折率傾斜薄膜は、前記反射防止膜の前記他の屈折率傾斜薄膜に隣接する層の屈折率と前記基板の屈折率との屈折率差を低減するように、前記膜厚方向に屈折率変化することを特徴とする請求項7に記載の光学フィルタ。
- 前記第2の反射防止構造体は、可視光の波長よりも短いピッチの微細構造体であることを特徴とする請求項7に記載の光学フィルタ。
- 前記屈折率傾斜薄膜が3種類以上の元素から構成されている事を特徴とする請求項1~6いずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 前記屈折率傾斜薄膜の基板側の屈折率変化の終点と前記基板との屈折率差は、0.05より小さいことを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 前記微細構造体は、可視光の波長よりも短いピッチの周期構造を有することを特徴とする請求項1~11のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 請求項1~12のいずれか一項に記載の光学フィルタを撮影光学系に備えたことを特徴とする光学装置。
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