WO2012070546A1 - 転写装置及び樹脂パターン製造方法 - Google Patents

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聡 白鳥
海田　由里子
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Asahi Glass Co Ltd
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Definitions

  • the present invention relates to a transfer device and a resin pattern manufacturing method, and more particularly, to a transfer device and a resin pattern manufacturing method capable of stably and continuously forming a flexible mold made of resin.
  • a nanoimprint method in which a fine concavo-convex structure on the surface of a nanometer is used to transfer the fine concavo-convex structure to a resist or a resin using a mold.
  • This nanoimprint method has recently been attracting attention because it has a shorter processing time than conventional methods using photolithography and etching, requires less equipment costs and material costs to form a fine relief structure, and is excellent in productivity. Collecting.
  • manufacturing methods using photolithography and etching are generally good at single-wafer processes based on rigid (ie, rigid) substrates such as silicon wafers and quartz substrates, whereas nanoimprints are rigid substrates. It is characterized by good compatibility with a roll-to-roll process using a flexible substrate such as a resin film as well as a single-wafer process using as a base material.
  • the roll-to-roll process requires a roll-shaped mold, but it is very difficult to form a nano-order pattern into a roll shape.
  • a method of wrapping the material around a transfer roll and substituting it is proposed.
  • the nickel mold used here can be produced by forming a resist pattern on a rigid substrate such as a silicon wafer using photolithography and then replicating the resist pattern by nickel electroforming.
  • a replica may be obtained from the etched fine pattern by nickel electroforming.
  • defects such as scratches and dirt on the mold become defects in the transferred product, and therefore it is necessary to replace the mold as soon as it occurs. Therefore, a mold that can be obtained at a lower cost than a nickel mold is required.
  • the nanoimprint mold used in the roll-to-roll process can be wound around the transfer roll, has excellent durability, and is inexpensive. For this reason, a resin-made flexible mold in which a pattern is once nanoimprinted on a film from an expensive flat master made of a material such as quartz or silicon is used (Patent Document 1).
  • a resin film coated with a photocurable resin and a mold are fixed between stages that are parallel plates and spaced apart, with the pattern surface and the photocurable resin coated surface facing each other, and one stage on the other side
  • UV light is applied to form a pattern on the resin film, or a resin film coated with a photo-curable resin and the master of the mold
  • the method is such that the photo-curing resin application surface is placed so as to face each other, a pressure roll is pressed against the resin film, scanned, and then irradiated with UV light to form a pattern on the resin film.
  • in-plane pressing unevenness can be suppressed by lowering the roughness of the stage surface, but as the mold area increases, it is necessary to increase the pressing pressure, which increases the size of the device, etc. There's a problem. Further, when transferring by the mold, air existing between the convex portions of the mold tends to remain on the surface of the resin pattern as bubbles, which may cause a pattern defect. As a method of preventing bubbles from remaining, a method of transferring under reduced pressure has been proposed. Similarly, as the mold size increases, the size of the chamber in which the mold is accommodated increases, and a large-capacity vacuum pump is required. There is a problem such as becoming overhanging. In the case of the latter method, pressing unevenness of the pressure roll becomes a cause of transfer failure.
  • the unevenness from the mold (not shown) is transferred to the resin 3 applied on the film 1 which becomes the base material after the transfer.
  • the height of the film was indicated by H), and the height was not uniform depending on the location, and there was a risk of uneven film thickness.
  • the present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a transfer apparatus and a resin pattern manufacturing method capable of stably and continuously forming a resin-made flexible mold. To do.
  • the present invention provides a transfer member having rigidity or flexibility, a transfer member having rigidity or flexibility, and at least one of the transfer member and the transfer member.
  • Application means for applying a curable resin to a predetermined area transfer means for transferring the transfer member and the transferred member to each other with the curable resin interposed therebetween; and a curing means for curing the curable resin;
  • the transfer apparatus includes a peeling unit that peels the transferred transfer member and the transferred member from each other, and at least one of the transfer member and the transferred member has flexibility.
  • the transfer means is a member that is pressed against one of the transfer member or one of the members to be transferred while having flexibility against the other member of the transfer member or the member to be transferred.
  • a pressure roller that feeds and scans in parallel, and a tension generating means that pulls the one flexible member with a predetermined tension from the pressure roller toward a diagonal direction forward from the scanning direction. It is characterized by.
  • the transfer member is a member provided with a mold having a concavo-convex pattern on the surface.
  • the pressure roller then feeds and scans in parallel with the other member of the transfer member or the member to be transferred while pressing against one of the members having flexibility among the transfer member or the member to be transferred. At this time, one member having flexibility is pulled with a predetermined tension from the pressure roller toward the diagonally forward direction from the scanning direction.
  • the resin is not yet transferred. Air leaks out of the gap. For this reason, even if it does not process in a pressure-reduced environment, a bubble does not remain on the resin side.
  • the concavo-convex pattern is transferred to the curable resin by pressing the concavo-convex pattern of the transfer member against the curable resin. Thereafter, the pattern shape can be maintained by curing the curable resin and releasing the mold.
  • the present invention includes a transfer member having rigidity or flexibility, a transfer member having rigidity or flexibility, and at least one of the transfer member and the transfer member.
  • the transfer apparatus includes a peeling unit that peels the transferred transfer member and the transferred member from each other, and at least one of the transfer member and the transferred member has flexibility. And the peeling means is against the other member of the transfer member or the member to be transferred while pressing against the flexible member of the transfer member or the member to be transferred.
  • a pressure roller that scans back in parallel; and tension generating means for pulling the one flexible member with a predetermined tension from the pressure roller toward the front oblique direction with the pressure roller as a fulcrum.
  • the transfer member is a member provided with a mold having a concavo-convex pattern on the surface. Then, while pressing against the flexible member of the transfer member or the member to be transferred with the pressure roller, the scanning is performed in parallel with the other member of the transfer member or the member to be transferred. At this time, one member having flexibility is pulled with a predetermined tension from the pressure roller toward the diagonally forward direction from the scanning direction. By comprising in this way, the flexible member in a transfer member or a to-be-transferred member can be smoothly peeled from a fixed position little by little from the other member in a transfer member or a to-be-transferred member.
  • the present invention is an invention of a transfer device, and comprises a reversing means for reversing either the transfer member or the transfer target member.
  • the present invention is an invention of a transfer device, and has the flexibility so that one of the flexible members is bent at a corner of one end of the other member.
  • a first elevating roll that holds one end of one member at a position higher than the height of the corner portion is provided.
  • the present invention (Claim 5) is an invention of a transfer device, and includes a second lifting roll for holding the one flexible member in the oblique direction.
  • the present invention is an invention of a transfer device, wherein a feeding side guide roll having a first tension sensor that guides a feeding side of the one flexible member, and the flexibility A winding-side guide roll that guides a winding side of one member having a second tension sensor, a feeding roll that feeds out the one flexible member, and one flexible member A take-up roll that winds up the member, drives the feeding roll based on the tension detected by the first tension sensor, and moves the take-up roll based on the tension detected by the second tension sensor. It is characterized by being driven.
  • the present invention is an invention of a transfer device, wherein the curing means is configured to include a light irradiation mechanism in which ultraviolet light emitting elements are arranged in a straight line.
  • the ultraviolet light emitting elements are arranged in a straight line, it is cheaper than arranging the ultraviolet light emitting elements on one side. Further, if the scanning is performed at a constant speed, unevenness in the amount of irradiation light does not occur in the scanning direction.
  • the curing means can be based on heat or the like.
  • the present invention is an invention of a transfer apparatus, wherein a length measuring means for measuring the unwinding dimension of the one flexible member, and an unwinding dimension measured by the length measuring means. And a cutting means for cutting the one flexible member.
  • the present invention cures a predetermined area of a predetermined area of a transfer member having rigidity or flexibility or a predetermined area of a transfer target member having rigidity or flexibility.
  • the transfer member and the transferred member are transferred after the transfer resin and the transferred member are transferred to each other with the curable resin interposed therebetween, and the curable resin is cured.
  • the pressure roller is fed and scanned in parallel to the transfer member or the other member of the transferred member while pressing, and the flexible roller is used as a fulcrum for the one member having flexibility. Run Toward the front oblique direction than the direction wherein the traction with a predetermined tension.
  • the present invention cures a predetermined area of a predetermined area of a transfer member having rigidity or flexibility or a predetermined area of a transfer target member having rigidity or flexibility.
  • the transfer member and the transferred member are transferred after the transfer resin and the transferred member are transferred to each other with the curable resin interposed therebetween, and the curable resin is cured.
  • a resin pattern manufacturing method in which a resin pattern is created by peeling each other from each other, and in the peeling step, a pressure roller is applied to one of the transfer member or one of the members to be transferred that has flexibility.
  • the pressure roller is scanned back in parallel with the transfer member or the other member of the member to be transferred while pressing, and the flexible roller is used as a fulcrum for the one member having flexibility. From ⁇ direction toward a diagonally forward direction, characterized in that pulling a predetermined tension.
  • the transfer member or the other member of the transferred member is pressed against the flexible member of the transfer member or the transferred member with the pressure roller. Since one of the flexible members is pulled with a predetermined tension from the scanning direction toward the front oblique direction with the pressure roller as a fulcrum, the transfer member or the covered member is scanned. One of the members of the transfer member or the member to be transferred that is flexible can be pressed little by little against the other member of the transfer member, and air can be discharged from a slight gap where the resin has not yet been transferred. Push it out. For this reason, even if it does not process in a pressure-reduced environment, a bubble does not remain on the resin side.
  • the front view of the transfer apparatus which is embodiment of this invention AA arrow cross-sectional view in FIG.
  • the top view of the transfer device which is an embodiment of the present invention
  • Conceptual diagram of transcription of the present invention The figure which shows each processing process of a transfer device Diagram showing each processing step of transfer device (details of transfer) Diagram showing each processing step of transfer device (details of peeling)
  • the figure explaining the diversity of embodiment of this invention Example of application to roll-to-roll nanoimprint transfer system Example of flexible substrate having multiple application areas
  • FIG. 1 is a front view of a transfer apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG.
  • a mode in which a transfer member is a rigid mold and a transfer target member is a flexible substrate 9 will be described.
  • a feeding roll 11 wound with a flexible base 9 and a feeding-side guide roll 13 for guiding the flexible base 9 to the upper right are provided at the left end of the transfer device 10.
  • a winding roll 15 for winding the flexible base material 9 and a winding side guide roll 17 for guiding the flexible base material 9 are attached to the upper left of the transfer apparatus 10 at the right end.
  • the feeding-side guide roll 13 and the winding-side guide roll 17 are attached so that the height in the Z-axis direction is the same. Therefore, when the flexible base material 9 is passed, the flexible base material 9 is stretched horizontally in the Y-axis direction between the feeding side guide roll 13 and the winding side guide roll 17. It has become.
  • the feeding side guide roll 13 and the winding side guide roll 17 are provided with tension sensors 19 and 21, respectively, and torque control is performed on a motor (not shown) for driving the feeding roll 11 based on the tension detected by the tension sensor 19. Is supposed to do. On the other hand, torque control is performed on a motor (not shown) for driving the take-up roll 15 based on the tension detected by the tension sensor 21. Thereby, the tension of the flexible base material 9 can be adjusted.
  • a vacuum suction stage 20 that can be evacuated from a vacuum pump (not shown) is disposed at the center of the transfer device 10.
  • a plurality of small holes are formed on one surface of the vacuum suction stage 20, and outside air is sucked to the vacuum pump side through the small holes.
  • the vacuum suction stage 20 is rotatable about the horizontal axis 25, and the rigid mold member 23 can be placed from above while being opened around the horizontal axis 25.
  • the mounted rigid mold member 23 is fixed to the vacuum suction stage 20 by suction in a small hole of the vacuum suction stage 20.
  • a flexible base material 9 is sandwiched between the upper and lower sides of the Z-axis direction on the left and right sides of the vacuum suction stage 20 and the rigid mold member 23 when tilted horizontally, and is movable up and down in the Z-axis direction.
  • One lifting rolls 27a and 27b and second lifting rolls 29a and 29b are provided, respectively.
  • a pressure roller 31 is disposed horizontally below the rigid mold member 23 with the flexible base material 9 interposed therebetween so as to be movable horizontally at a constant speed in the Y-axis direction.
  • a UV irradiation lamp 33 in which ultraviolet light emitting elements such as LEDs (not shown) are linearly arranged in the X-axis direction as shown in FIG.
  • the UV irradiation lamp 33 is provided as an irradiation mechanism, and is movable horizontally at a constant speed in the Y-axis direction.
  • a resin application area 35 is formed on the left side of the vacuum suction stage 20 and the first elevating rolls 27a and 27b of the rigid mold member 23 when it is tilted horizontally.
  • the nozzle 37 is positioned and controlled by an XYZ axis robot 39.
  • the winding guide roll 17 is provided with a length meter (not shown) so that the moving distance of the flexible base material 9 can be measured.
  • the flexible base material 9 is sent to the cutting stage 40 shown in FIG. 3 so that the flexible base material 9 can be cut by a film cutter (not shown).
  • FIG. 4 is a conceptual diagram of transfer according to the present invention.
  • a rigid mold member 23 having a pattern portion 43 with an uneven pattern is placed on a vacuum suction stage 20 (not shown).
  • the rigid mold member 23 is sucked by the vacuum suction stage 20. It is in the state.
  • the material of the rigid mold member 23 is quartz, silicon, nickel or the like.
  • a photocurable resin 47 is applied to the resin application area 35 of the flexible substrate 9 by a resin application nozzle 37.
  • a thermoplastic resin or a thermosetting resin film can be used as a material of the flexible substrate 9.
  • a photocurable composition that can be photocured by photoradical polymerization can be used as a material of the photocurable resin 47.
  • a method for applying the photocurable resin 47 die coating, bar coating, blade coating, knife coating, roll coating, spray coating, ink jet, or the like can be used.
  • a thermosetting resin that can be thermoset by thermal radical polymerization can also be used.
  • a linear infrared heater or the like in the X-axis direction is provided as a heating device, and the infrared heater may be scanned horizontally at a constant speed in the Y-axis direction. .
  • the surface of the rigid mold member 23 may be subjected to a surface treatment in advance in order to improve releasability.
  • This surface treatment preferably includes a compound having a fluoroalkyl group (which may have an etheric oxygen atom), a silicone chain, or a long-chain alkyl group having 4 to 24 carbon atoms. It is particularly preferable to include a compound having
  • the resin application area 35 of the flexible base material 9 is wider than the entire pattern portion 43 of the rigid mold member 23 and is narrower than the outer shape of the rigid mold member 23. That is, as shown in FIG. 4A, the resin application area 35 is formed inside the flexible substrate 9, and the rigid mold member 23 is formed outside the surface of the resin application area 35. .
  • FIG. 4C shows the transfer process.
  • the pressure roller 31 is moved in the positive direction along the Y axis while pressing the pressure roller 31 with a predetermined pressure in the Z axis direction from below.
  • the right end side of the flexible base material 9 is pulled obliquely downward to the right with a constant tension.
  • the photo-curable resin 47 is cured by UV irradiation, but any side of the rigid mold member 23 side and the flexible substrate 9 side can be used as long as ultraviolet rays can be transmitted. May be irradiated.
  • the photocurable resin 47 of the flexible substrate 9 is peeled from the rigid mold member 43.
  • the pressure roller 31 is pressed from below at a predetermined pressure in the Z-axis direction, and is moved in the Y-axis negative direction as opposed to the transfer step of FIG.
  • the right end side of the flexible base material 9 is pulled obliquely downward to the right with a constant tension.
  • the position of the peeling portion is kept constant and the peeling speed is kept constant.
  • the peeling is gradually performed, so that smooth peeling is possible.
  • FIG. 5A shows a resin base material passing process.
  • the first elevating rolls 27a and 27b and the second elevating rolls 29a and 29b are opened, and the flexible base 9 is horizontally disposed in the Y-axis direction between the feeding side guide roll 13 and the take-up side guide roll 17. Are in a balanced state with a predetermined tension.
  • the resin application nozzle 37 applies resin to the resin application area 35 while being moved by the XYZ axis robot 39.
  • one end of the flexible base material 9 is fixed by the first elevating rolls 27a and 27b, while the tension is kept constant by the tension sensor 19 on the other end side, so that the coating film thickness is uniform. Kept.
  • the surface of the photocurable resin 47 of the flexible base 9 is opened with the first lifting rolls 27a and 27b and the second lifting rolls 29a and 29b opened.
  • the flexible base material 9 is moved in the positive direction of the Y-axis to a position where it meets the surface of the rigid mold member 23.
  • the first elevating rolls 27a and 27b and the second elevating rolls 29a and 29b are closed again.
  • the flexible base material 9 is not pressed against the rigid mold member 23 at once, but is pressed gradually by scanning the pressure roller 31.
  • the first elevating rolls 27a and 27b are raised in FIG. 6A, while the second elevating rolls 29a and 29b are lowered.
  • the flexible base material 9 is bent into a “ ⁇ ” shape (“L” shape) at the bottom corner of the rigid mold member 23.
  • the pressure roller 31 is moved at a constant speed in the positive direction of the Y axis while pressing the pressure roller 31 from below with a predetermined pressure. At this time, the right end side of the flexible base material 9 is pulled obliquely downward to the right with a constant tension by the tension sensor 21 of the rewinding guide roller 17.
  • the UV irradiation lamp 33 that is linear in the X-axis direction is scanned horizontally at a constant speed in the Y-axis direction, thereby causing ultraviolet rays. Is irradiated to cure the photocurable resin 47. Unlike the arrangement of the UV irradiation lamp 33 on one surface, the UV irradiation lamp 33 is inexpensive because it is configured in a straight line in the X-axis direction. Further, by scanning at a constant speed, there is no unevenness in the amount of irradiation light in the Y-axis direction.
  • the cured photocurable resin 47 is peeled from the rigid mold member 23.
  • the flexible substrate 9 is not peeled off from the rigid mold member 23 at once, but is peeled off while scanning the pressure roller 31.
  • the pressure roller 31 is moved in the Y-axis negative direction so that the pressure roller 31 is a fulcrum in order to gradually peel the flexible substrate 9.
  • the right end side of the flexible base material 9 is pulled obliquely downward to the right with a constant tension by the tension sensor 21 of the rewinding guide roller 17.
  • the second elevating rolls 29a and 29b are raised, and the first elevating rolls 27a and 27b are lowered.
  • the flexible substrate 9 is sent to the cutting stage 40 in FIG.
  • the resin pattern 100 composed of the flexible substrate 9 and the photocurable resin 47 thus completed can make the film thickness of the photocurable resin 47 uniform.
  • the photocurable resin may be applied to either the mold side or the substrate side as shown in FIG.
  • the photocurable resin 47 is applied on the flexible base material 9 that is a base material.
  • the photocurable resin 147 may be applied to the base material 109 side as in the present embodiment, or may be applied to the mold 123 side.
  • the member to be transferred is the flexible base material 9 and the transfer member is the rigid mold member 23 has been described.
  • the member to which the pressure roller 31 is applied may be a transfer member having flexibility, that is, a flexible mold.
  • the member to be transferred may be flexible or rigid.
  • the member to which the pressure roller 31 is applied is a flexible transfer member, that is, a flexible member, as in the transfer process. It may be a mold. In this case, the member to be transferred may be flexible or rigid.
  • the transfer member may be a flexible member, that is, a flexible mold.
  • the transferred member may be flexible or rigid (second embodiment).
  • the pressure roller 31 is applied to the flexible mold.
  • the photocurable resin 147 may be applied to the base material 109 side or may be applied to the mold 123 side.
  • the rigid transfer member may be a glass plate.
  • thermoplastic resin or a thermosetting resin film or a metal sheet having flexibility as a base material, and a resin pattern formed by nanoimprinting on one side thereof can be used as a flexible mold.
  • the base material is preferably a thermoplastic resin or thermosetting resin film that transmits ultraviolet rays.
  • the UV irradiation lamp 33 irradiates from the lower side of the flexible substrate 9, but if ultraviolet rays can pass, as shown in FIG. Irradiation may be performed from below the base material 109 or from above the mold 123.
  • the first embodiment is suitable when a flexible thermoplastic resin or a thermosetting resin film is used as a substrate and quartz, silicon, metal, or the like having high rigidity is used as a mold.
  • the second embodiment is suitable when a resin mold is used as a flexible mold and a glass plate, a thermoplastic resin, or a thermosetting resin film is used as a base material.
  • the transfer portion is conventionally configured in a drum type as shown in FIG.
  • a single-wafer mold 100 (for example, three sheets) is used by being attached to a cylindrical transfer drum 50.
  • a plurality of resin application areas 35 can be formed on the flexible substrate 9.
  • the resin mold 200 having three resin application areas 35 ⁇ / b> A, 35 ⁇ / b> B, and 35 ⁇ / b> C is generated, and the resin mold 200 is wound around the transfer drum 50, so that the mounting operation can be easily completed.
  • the transfer apparatus and the resin pattern manufacturing method of the present invention are useful for manufacturing a resin pattern using a mold for nanoimprinting (particularly, a mold having a maximum dimension of any one of the width, height, and pitch of the protrusions of 950 nm or less). is there.
  • a mold for nanoimprinting particularly, a mold having a maximum dimension of any one of the width, height, and pitch of the protrusions of 950 nm or less.

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Abstract

　樹脂製の可撓性のモールドを安定的に連続成形することの可能な転写装置及び樹脂パターン製造方法を提供する。　可撓性基材９の樹脂塗布エリア３５と剛性モールド部材２３とを対峙させた状態で、下方より加圧ローラ３１をＺ軸方向に所定圧力で押しつけつつＹ軸正方向に移動させる。この際、可撓性基材９の右端側は一定の張力で右斜め下方に向けて引っ張られている。この状態において、可撓性基材９の光硬化性樹脂４７を剛性モールド部材２３に対して少しずつ押しつけていくと剛性モールド部材２３の凸部と凸部間のまだ転写されていないわずかの隙間から空気を外部に押し出していく。このため、本転写装置１０を減圧環境下に置かなくても光硬化性樹脂４７側に気泡が残ることは無い。

Description

転写装置及び樹脂パターン製造方法
　本発明は転写装置及び樹脂パターン製造方法に係わり、特に、樹脂製の可撓性のモールドを安定的に連続成形することの可能な転写装置及び樹脂パターン製造方法に関する。
　従来、ナノメートルのオーダーの微細凹凸構造が表面に形成されたモールドを用いて、この微細凹凸構造をレジストや樹脂に転写するナノインプリント法が知られている。このナノインプリント法は、フォトリソグラフィーとエッチングを用いた従来の製法に比べて加工時間が短く、微細凹凸構造の形成に必要な装置コストや材料コストが少なくて済み、生産性にも優れるため、近年注目を集めている。
　また、フォトリソグラフィーとエッチングを用いた製法は、一般的にシリコンウェハーや石英基板などリジッドな（即ち剛性の）基板を基材とした枚葉プロセスを得意とするのに対し、ナノインプリントは剛性の基板を基材とした枚葉プロセスはもちろん、樹脂フィルムのような可撓性の基板を基材とした、ロール・ツー・ロールプロセスとの相性が良いのも特徴である。
　一方、ロール・ツー・ロールプロセスにはロール状のモールドが必要となるが　ナノオーダーのパターンをロール状に形成するのは非常に困難であるため、０．２ｍｍ厚程度の薄くて曲げられるニッケルモールドを転写用ロールに巻き付けて代用する手法などが提案されている。
　ここで用いるニッケルモールドは、シリコンウェハー等の剛性の基板上にフォトリソグラフィーを用いてレジストパターンを形成した後、ニッケル電鋳によりその複製を取ることにより作製することができる。なお、この場合レジストパターンを形成後、エッチングした微細パターンからニッケル電鋳により複製を得ても良い。
　またナノインプリントにおいて、モールドの傷や汚れ等の欠陥は転写品の欠陥となるため、発生したら直ちにモールドを交換する必要がある。したがってニッケルモールドより安価に得られるモールドが求められる。
　したがって、ロール・ツー・ロールプロセスに用いられるナノインプリント用のモールドは転写用ロールに巻き付けることができ、かつ、耐久性に優れ、安価であることが望まれる。このため、石英、シリコン等の材質からなる高価で平板の原盤から一旦フィルム上にパターンをナノインプリントした樹脂製の可撓性のモールドを用いることが行われている（特許文献１）。
国際公開第２００９／１４８１３８号
　ところで、樹脂製の可撓性のモールドを製造するためには、種々の方法が提案されている。
　例えば、平行平板で一定の間隔をおいたステージ間に、光硬化性樹脂を塗布した樹脂フィルムとモールドを、パターン面と光硬化性樹脂塗布面が向かい合う状態で固定し、一方のステージを反対側のステージに精密に平行を維持したまま押し当てた後、ＵＶ光を照射して、パターンを樹脂フィルム上に形成する方法や、光硬化性樹脂を塗布した樹脂フィルムとモールドの原盤をパターン面と光硬化性樹脂塗布面が向かい合うように重ね合わせて設置し、樹脂フィルムに対して加圧ロールを押し当て走査させた後、ＵＶ光を照射して、パターンを樹脂フィルム上に形成するといった方法が挙げられる。
　前者の方法の場合、面内の押しムラはステージ表面の粗度を低くすることにより抑えることができるが、モールドの面積が大きくなると押し圧を高くする必要があり、装置が大掛かりになる等の問題がある。また、モールドにより転写される際にモールドの凸部と凸部の間に存在する空気が気泡として樹脂パターン表面に残り易く、パターンの欠陥となる恐れがあった。気泡を残存させない方法として、減圧下で転写する方法が提案されているが、同様にモールドのサイズが大きくなるとそれを納めるチャンバーサイズが大きくなり、併せて大容量の真空ポンプが必要となり、装置が大掛かりになる等の問題がある。
　後者の方法の場合、加圧ロールの押しムラが転写不良の要因となる。
　図１１に示すように、転写後に基材となるフィルム１上に塗布された樹脂３には図示しないモールドからの凹凸が転写されるが、この押しムラによって樹脂３の残膜部分（図中残膜の高さをＨで示す）には場所によって高さが均一とはならず膜厚ムラを生じる恐れがあった。
　本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、樹脂製の可撓性のモールドを安定的に連続成形することの可能な転写装置及び樹脂パターン製造方法を提供することを目的とする。
　このため本発明（請求項１）は、剛性若しくは可撓性を有する転写部材と、剛性若しくは可撓性を有する被転写部材と、前記転写部材又は前記被転写部材のいずれかの少なくとも一箇所の所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布する塗布手段と、前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写する転写手段と、前記硬化性樹脂を硬化させる硬化手段と、前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離する剥離手段とを備えた転写装置であって、前記転写部材及び前記被転写部材のいずれか少なくとも一方の部材は可撓性を有する部材であり、前記転写手段は、前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に送り走査する加圧ローラと、前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引する張力発生手段を有することを特徴とする。
　転写部材は表面に凹凸パターンの施されたモールドを備えた部材である。
　そして加圧ローラで転写部材又は被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ転写部材又は被転写部材の内の他方の部材に対して平行に送り走査する。そして、この際には可撓性を有する一方の部材をこの加圧ローラを支点として走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引する。
　このように、転写部材又は被転写部材の内の他方の部材に対し転写部材又は被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材を少しずつ押しつけていくと樹脂のまだ転写されていないわずかの隙間から空気が外部に漏れ出ていく。このため、減圧環境下で処理しなくても樹脂側に気泡が残ることは無い。
　なお、本発明において、転写部材の凹凸パターンを硬化性樹脂に押し付けることにより、当該凹凸パターンが、硬化性樹脂に転写される。この後、硬化性樹脂を硬化させて、モールドを離型することにより、パターン形状を保持することができる。
　また、本発明（請求項２）は、剛性若しくは可撓性を有する転写部材と、剛性若しくは可撓性を有する被転写部材と、前記転写部材又は前記被転写部材のいずれかの少なくとも一箇所の所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布する塗布手段と、前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写する転写手段と、前記硬化性樹脂を硬化させる硬化手段と、前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離する剥離手段とを備えた転写装置であって、前記転写部材及び前記被転写部材のいずれか少なくとも一方の部材は可撓性を有する部材であり、前記剥離手段は、前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に戻り走査する加圧ローラと、前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引する張力発生手段を有することを特徴とする。
　転写部材は、表面に凹凸パターンの施されたモールドを備えた部材である。
　そして、加圧ローラで転写部材又は被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ転写部材又は被転写部材の内の他方の部材に対して平行に戻り走査する。そして、この際には可撓性を有する一方の部材をこの加圧ローラを支点として走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引する。
　このように構成することで、転写部材又は被転写部材の内の他方の部材より転写部材又は被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材を一定の位置より少しずつ円滑に剥離できる。
　更に、本発明（請求項３）は転写装置の発明であって、前記転写部材又は前記被転写部材のいずれかを反転させる反転手段を備えて構成した。
　このことにより、転写部材又は被転写部材の設置作業が容易に行える。
　更に、本発明（請求項４）は転写装置の発明であって、前記可撓性を有する一方の部材が前記他方の部材の一端の角部で折曲されるように該可撓性を有する一方の部材の一端を該角部の高さよりも高い位置に保持する第１昇降ロールを備えて構成した。
　可撓性を有する一方の部材が他方の部材の一端の角部で折曲されていることで、転写開始点より完全に転写が行われ、加圧ローラの走査の際に加圧ローラの手前側が剥離されることを防止できる。
　更に、本発明（請求項５）は転写装置の発明であって、前記可撓性を有する一方の部材を前記斜め方向に向けて保持する第２昇降ロールを備えて構成した。
　更に、本発明（請求項６）は転写装置の発明であって、前記可撓性を有する一方の部材の繰り出し側を案内し第１のテンションセンサーを有する繰り出し側ガイドロールと、前記可撓性を有する一方の部材の巻き取り側を案内し第２のテンションセンサーを有する巻き取り側ガイドロールと、前記可撓性を有する一方の部材を繰り出しする繰り出しロールと、前記可撓性を有する一方の部材を巻き取りする巻き取りロールとを備え、前記第１のテンションセンサーで検出した張力を基に前記繰り出しロールを駆動し、前記第２のテンションセンサーで検出した張力を基に前記巻き取りロールを駆動することを特徴とする。
　更に、本発明（請求項７）は転写装置の発明であって、前記硬化手段は、紫外線発光素子を直線状に配列した光照射機構を備えて構成した。
　紫外線発光素子を直線状に配列したので、紫外線発光素子を一面に配置するのと異なり、安価である。また、一定速度で走査すれば走査方向で照射光量にムラが生じない。なお、硬化手段は、熱等によることも可能である。
　更に、本発明（請求項８）は転写装置の発明であって、前記可撓性を有する一方の部材の巻き出し寸法を計測する測長手段と、該測長手段で計測された巻き出し寸法を基に前記可撓性を有する一方の部材を切断する切断手段を備えて構成した。
　更に、本発明（請求項９）は、剛性若しくは可撓性を有する転写部材の所定エリア、又は、剛性若しくは可撓性を有する被転写部材の所定エリアの内のいずれかの所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布し、前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写し、前記硬化性樹脂を硬化させた後に、前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離させることで樹脂パターンを作成する樹脂パターン製造方法であって、前記転写の工程において、前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し加圧ローラを押し当てつつ該加圧ローラを前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に送り走査し、前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引することを特徴とする。
　更に、本発明（請求項１０）は、剛性若しくは可撓性を有する転写部材の所定エリア、又は、剛性若しくは可撓性を有する被転写部材の所定エリアの内のいずれかの所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布し、前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写し、前記硬化性樹脂を硬化させた後に、前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離させることで樹脂パターンを作成する樹脂パターン製造方法であって、前記剥離の工程において、前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し加圧ローラを押し当てつつ該加圧ローラを前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に戻り走査し、前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引することを特徴とする。
　以上説明したように本発明によれば、加圧ローラで転写部材又は被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に送り走査し、可撓性を有する一方の部材をこの加圧ローラを支点として走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引するように構成したので、転写部材又は被転写部材の内の他方の部材に対し転写部材又は被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材を少しずつ押しつけていくことができ、樹脂のまだ転写されていないわずかの隙間から空気を外部に押し出していく。このため、減圧環境下で処理しなくても樹脂側に気泡が残ることは無い。
本発明の実施形態である転写装置の正面図 図１中のＡ－Ａ矢視断面図 本発明の実施形態である転写装置の平面図 本発明の転写の概念図 転写装置のそれぞれの処理工程を示す図 転写装置のそれぞれの処理工程を示す図（転写の詳細） 転写装置のそれぞれの処理工程を示す図（剥離の詳細） 本発明の実施形態の多様性について説明する図 ロール・ツー・ロール方式のナノインプリント転写システムへの適用例 複数枚分の塗布エリアを有する可撓性基材の例 従来の転写後の基材の様子を示す図
　以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の実施形態である転写装置の正面図を図１に、図１中のＡ－Ａ矢視断面図を図２に、平面図を図３に示す。
　まず、第１の実施形態として、転写部材が剛性モールドであり、被転写部材が可撓性基材９である形態について説明する。
　図１～図３において、転写装置１０の左端には、可撓性基材９の捲回されている繰り出しロール１１とその右上にこの可撓性基材９を案内する繰り出し側ガイドロール１３とが取り付けられている。一方、この転写装置１０の右端には可撓性基材９を巻き取る巻き取りロール１５とその左上にこの可撓性基材９を案内する巻き取り側ガイドロール１７とが取り付けられている。
　繰り出し側ガイドロール１３と巻き取り側ガイドロール１７とはＺ軸方向の高さが同じになるように取り付けられている。したがって、可撓性基材９を通紙した際には可撓性基材９はこの繰り出し側ガイドロール１３と巻き取り側ガイドロール１７との間でＹ軸方向に向けて水平に張られるようになっている。
　繰り出し側ガイドロール１３と巻き取り側ガイドロール１７にはそれぞれテンションセンサー１９、２１が備えられており、テンションセンサー１９で検出した張力を基に繰り出しロール１１駆動用の図示しないモータに対してトルク制御を行うようになっている。一方、テンションセンサー２１で検出した張力を基に巻き取りロール１５駆動用の図示しないモータに対してトルク制御を行うようになっている。このことにより、可撓性基材９の張力を調整できるようになっている。
　転写装置１０の中央部には図示しない真空ポンプから真空引き自在の真空吸着ステージ２０が配設されている。真空吸着ステージ２０の片面には複数の小穴が開けられ、この小穴を通じて外気が真空ポンプ側に吸引されるようになっている。
　この真空吸着ステージ２０は水平軸２５回りに回動自在になっており、水平軸２５回りに開いた状態で剛性モールド部材２３を上から載置可能になっている。そして、載置された剛性モールド部材２３はこの真空吸着ステージ２０の小穴における吸引により真空吸着ステージ２０に対し固定されるようになっている。
　水平に倒された際の真空吸着ステージ２０及び剛性モールド部材２３の左右側部には可撓性基材９をＺ軸方向上側と下側とから挟み込み、かつ、Ｚ軸方向に昇降自在の第１昇降ロール２７ａ、２７ｂと第２昇降ロール２９ａ、２９ｂがそれぞれ配設されている。
　剛性モールド部材２３の可撓性基材９を挟んだ下側には加圧ローラ３１がＹ軸方向に向けて水平に一定速度で移動自在に配設されている。また、剛性モールド部材２３の可撓性基材９を挟んだ下側には図２に示すようにＸ軸方向に図示しないＬＥＤ等の紫外線発光素子を直線状に配置したＵＶ照射ランプ３３が光照射機構として備えられ、このＵＶ照射ランプ３３はＹ軸方向に向けて水平に一定速度で移動自在になっている。
　水平に倒された際の真空吸着ステージ２０及び剛性モールド部材２３の第１昇降ロール２７ａ、２７ｂを挟んだ左方には樹脂塗布エリア３５が形成され、このエリア内に樹脂を塗布する樹脂塗布用ノズル３７がＸＹＺ軸型ロボット３９により位置決め制御されるようになっている。
　巻き取り側ガイドロール１７には、図示しない測長計が配設され、可撓性基材９の移動距離を計測可能なようになっている。そして、所定長分の転写が終了した段階で可撓性基材９は図３に示す切断ステージ４０に送られ図示しないフィルムカッターにより可撓性基材９を切断可能なようになっている。
　次に、本発明の実施形態の動作を説明する。
　図４に本発明の転写の概念図を示す。図４（Ａ）において、図示しない真空吸着ステージ２０上には凹凸のパターンの施されたパターン部４３を有する剛性モールド部材２３が載置され、この剛性モールド部材２３は真空吸着ステージ２０に吸着された状態である。剛性モールド部材２３の材質は石英、シリコン、ニッケル等である。
　一方、可撓性基材９の樹脂塗布エリア３５には樹脂塗布用ノズル３７により光硬化性樹脂４７が塗布されている。ここに可撓性基材９の材質としては熱可塑性樹脂又は、熱硬化性樹脂フィルムを用いることができる。
　また、光硬化性樹脂４７の材質としては光ラジカル重合により光硬化しうる光硬化性組成物を用いることができる。光硬化性樹脂４７を塗布する方法としては、ダイコート、バーコート、ブレードコート、ナイフコート、ロールコート、スプレイコート、インクジェット等で可能である。
　なお、光硬化性樹脂４７の代わりに、熱ラジカル重合により熱硬化しうる熱硬化性樹脂を用いることもできる。その際には、ＵＶ照射ランプ３３の代わりに、Ｘ軸方向に直線状の赤外ヒーター等を加熱装置として備え、この赤外ヒーターをＹ軸方向に向けて水平に一定速度で走査すればよい。
　剛性モールド部材２３の表面には離形性を向上するために予め表面処理が施されていてもよい。この表面処理にはフルオロアルキル基（エーテル性酸素原子を有していてもよい。）、シリコーン鎖、又は炭素数４～２４の長鎖アルキル基を有する化合物を含むことが好ましく、フルオロアルキル基を有する化合物を含むことが特に好ましい。
　図４（Ｂ）において、図示しない真空吸着ステージ２０上に剛性モールド部材２３を載置した後、真空吸着ステージ２０を反転させて、可撓性基材９と対峙させる。このように剛性モールド部材２３を載置した後に反転させればよいので作業が容易である。
　この際には、可撓性基材９の樹脂塗布エリア３５が剛性モールド部材２３のパターン部４３全体より広く、剛性モールド部材２３の外形よりも狭く配置されている。即ち、図４（Ａ）に示すように、樹脂塗布エリア３５は可撓性基材９の内側に形成され、更に、剛性モールド部材２３は樹脂塗布エリア３５の面よりも外側に形成されている。
　図４（Ｃ）は転写の工程である。このように可撓性基材９の樹脂塗布エリア３５と剛性モールド部材２３とを対峙させた状態で、下方より加圧ローラ３１をＺ軸方向に所定圧力で押しつけつつＹ軸正方向に移動させる。この際、可撓性基材９の右端側は一定の張力で右斜め下方に向けて引っ張られている。
　この状態において、可撓性基材９上の光硬化性樹脂４７を剛性モールド部材２３に対して少しずつ押しつけていくと剛性モールド部材２３の凸部と凸部間のまだ転写されていないわずかの隙間から空気が外部に漏れ出ていく。このため、本転写装置１０を減圧環境下に置かなくても光硬化性樹脂４７側に気泡が残ることは無い。
　更に、図４（Ｄ）に示すように、ＵＶ照射により光硬化性樹脂４７を硬化させるが、紫外線が透過可能であれば、剛性モールド部材２３側、可撓性基材９側のいずれの側から照射されてもよい。
　その後、図４（Ｅ）に示すように可撓性基材９の光硬化性樹脂４７を剛性モールド部材４３から剥離していく。この処理では、下方より加圧ローラ３１をＺ軸方向に所定圧力で押しつけつつ図４（Ｃ）の転写工程とは逆にＹ軸負方向に移動させる。この際、可撓性基材９の右端側は一定の張力で右斜め下方に向けて引っ張られている。このことにより、剥離部の位置が一定に保たれ、かつ剥離速度が一定に保たれ、その結果徐々に剥離がなされるため円滑な剥離が可能である。
　次に、転写装置のそれぞれの処理工程を図５、図６及び図７に基づき詳細に説明する。図５（Ａ）は樹脂基材通し工程である。第１昇降ロール２７ａ、２７ｂと第２昇降ロール２９ａ、２９ｂとはそれぞれ開放しており、繰り出し側ガイドロール１３と巻き取り側ガイドロール１７の間に可撓性基材９がＹ軸方向に水平に所定の張力で均衡された状態に張られている。
　次に、図５（Ｂ）の樹脂塗布工程では、第１昇降ロール２７ａ、２７ｂと第２昇降ロール２９ａ、２９ｂとをそれぞれ閉じる。この状態で樹脂塗布用ノズル３７は、ＸＹＺ軸型ロボット３９により移動されつつ樹脂塗布エリア３５内に対し樹脂を塗布する。このとき、第１昇降ロール２７ａ、２７ｂにより可撓性基材９の一端は固定されている一方で、他端側はテンションセンサー１９で張力が一定にされているので、塗布膜厚が均一に保たれる。
　次に、図５（Ｃ）のシート送り工程では、第１昇降ロール２７ａ、２７ｂと第２昇降ロール２９ａ、２９ｂとをそれぞれ開放した状態で可撓性基材９の光硬化性樹脂４７面が剛性モールド部材２３の面と合わさる位置まで可撓性基材９をＹ軸正方向に移動させる。
　次に、図５（Ｄ）の転写工程では、再び第１昇降ロール２７ａ、２７ｂと第２昇降ロール２９ａ、２９ｂとを閉じる。この際、可撓性基材９を一気に剛性モールド部材２３に押しつけるのではなく加圧ローラ３１を走査させることで少しずつ押しつけていくようにする。
　即ち、図６の転写工程詳細説明図に示すように、まず図６（Ａ）において第１昇降ロール２７ａ、２７ｂを上昇させ、一方、第２昇降ロール２９ａ、２９ｂを下降させる。第１昇降ロール２７ａ、２７ｂの上昇により、可撓性基材９は剛性モールド部材２３の底面角部において「く」の字（「Ｌ」の字）に折曲される。
　この状態で、下方より加圧ローラ３１をＺ軸方向に所定圧力で押しつけつつＹ軸正方向に一定速度で移動させる。この際、可撓性基材９の右端側は巻き戻し用ガイドローラ１７のテンションセンサー２１により一定の張力で右斜め下方に向けて引っ張られている。
　この状態において、可撓性基材９の光硬化性樹脂４７を剛性モールド部材２３に対して少しずつ加圧ローラ３１で押しつけていくと剛性モールド部材２３の凸部と凸部間のまだ転写されていないわずかの隙間から空気が外部に漏れ出ていく。
　また、このように剛性モールド部材２３の底面角部において「く」の字（「Ｌ」の字）に折曲されていることで、転写開始点より完全に転写が行われ、加圧ローラ３１のＹ軸正方向への移動の際に加圧ローラ３１から見たときのＹ軸負方向側が剥離されることを防止できる。
　その後、図６（Ｂ）のように、加圧ローラ３１の走査は終了する。
　次に、図５（Ｅ）のＵＶ照射工程では、図２に示すようにＸ軸方向に直線状であるＵＶ照射ランプ３３がＹ軸方向に向けて水平に一定速度で走査されることで紫外線が照射され光硬化性樹脂４７を硬化させる。ＵＶ照射ランプ３３は一面に配置するのと異なり、Ｘ軸方向に直線状に構成したので安価である。また、一定速度で走査されることでＹ軸方向には照射光量にムラが生じない。
　次に、図５（Ｆ）の剥離工程では、硬化された光硬化性樹脂４７を剛性モールド部材２３から剥離させる。この際、転写工程と同様に可撓性基材９を一気に剛性モールド部材２３から剥離させるのではなく加圧ローラ３１を走査させつつ剥がすようにする。
　即ち、図７の剥離工程詳細説明図に示すように、可撓性基材９を徐々に剥がすために加圧ローラ３１を支点にするように加圧ローラ３１をＹ軸負方向に移動させる。この際、可撓性基材９の右端側は巻き戻し用ガイドローラ１７のテンションセンサー２１により一定の張力で右斜め下方に向けて引っ張られている。その後、加圧ローラ３１が戻り終わった時点で第２昇降ロール２９ａ、２９ｂを上昇させ、第１昇降ロール２７ａ、２７ｂを下降させる。そして、図７（Ｃ）において可撓性基材９を切断ステージ４０に送る。
　以上により、可撓性基材９上の光硬化性樹脂４７に高精度な転写が行われる。このようにして完成した可撓性基材９及び光硬化性樹脂４７からなる樹脂パターン１００は、光硬化性樹脂４７の膜厚を均一にできる。
　なお、光硬化性樹脂は図８（Ａ）に示すように、モールド側と基材側のいずれに塗布されてもよい。本実施形態では、基材である可撓性基材９上に光硬化性樹脂４７を塗布するとして説明をした。しかしながら、図８（Ａ）の塗布工程に示すように、光硬化性樹脂１４７は本実施形態のように基材１０９側に塗布されてもよいし、モールド１２３側に塗布されてもよい。
　また、本実施形態では、被転写部材が可撓性基材９であり、転写部材が剛性モールド部材２３である場合を説明した。しかしながら、図８（Ｂ）の転写工程に示すように、加圧ローラ３１を当てられる部材が可撓性を有する転写部材、即ち可撓性のモールドであってもよい。
　この場合、被転写部材は可撓性であっても剛性であってもよい。
　更に、同様に、本実施形態の剥離工程では、転写工程と同様に図８（Ｄ）に示すように、加圧ローラ３１を当てられる部材は可撓性を有する転写部材、即ち可撓性のモールドであってもよい。
　この場合、被転写部材は可撓性であっても剛性であってもよい。
　即ち、本発明の他の実施形態においては、転写部材が可撓性を有する部材、即ち可撓性のモールドであってもよい。
　そして、被転写部材は可撓性であっても剛性であってもよい（第２の実施形態）。この場合は、可撓性モールドに加圧ローラ３１を当てることになる。そして、図８（Ａ）の塗布工程に示すように、光硬化性樹脂１４７は基材１０９側に塗布されてもよいし、モールド１２３側に塗布されてもよい。剛性の被転写部材は、ガラス板であってもよい。
　なお、可撓性モールドとしては、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂フィルムや、可撓性を持つ金属シートを基材とし、その片面にナノインプリントで樹脂パターンを形成したものを用いることができるが、紫外線が透過する熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂フィルムを基材としたものが好ましい。
　更に、本実施形態のＵＶ照射工程では、可撓性基材９の下側からＵＶ照射ランプ３３で照射するとして説明したが、紫外線が通過可能であれば、図８（Ｃ）に示すように、基材１０９の下方から照射してもモールド１２３の上方から照射してもいずれでもよい。
　第１の実施形態は、可撓性の熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂フィルムを基材として使用し、剛性の高い石英やシリコンや金属等をモールドとして使用する場合に適する。第２の実施形態は、可撓性のモールドとして樹脂モールドを使用し、ガラス板、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂フィルムを基材として使用する場合に適する。
　次に、この転写装置１０で作成した樹脂モールド１００を図示しないロール・ツー・ロール方式のナノインプリント転写システムに適用した場合について説明する。転写部分は従来、図９のようにドラム式に構成されている。図９において枚葉のモールド１００を（例えば３枚）円柱状の転写ドラム５０に貼り付けて用いていた。
　しかしながら、このように３枚の樹脂モールド１００が独立している場合、それぞれの樹脂モールド１００の位置を微調整する必要がある。また、３箇所取り付け作業を行うため煩雑である。
　一方、本発明の実施形態では、図１０に示すように、可撓性基材９上に複数枚分の樹脂塗布エリア３５を形成可能である。かかる構成によれば、例えば３連の樹脂塗布エリア３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃを有する樹脂モールド２００を生成し、この樹脂モールド２００を転写ドラム５０に巻き付けることで簡単に取り付け作業を終了することができる。
　本発明の転写装置及び樹脂パターン製造方法は、ナノインプリント用のモールド（特に凸部の幅、高さ、ピッチのうちのいずれかの最大寸法が９５０ｎｍ以下のモールド）を用いる樹脂パターンの製造に有用である。
　なお、２０１０年１１月２２日に出願された日本特許出願２０１０－２６０３８７号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
　　９　可撓性基材
　１０　転写装置
　１１　繰り出しロール
　１３　繰り出し側ガイドロール
　１５　巻き取りロール
　１７　巻き取り側ガイドロール
　１９、２１　テンションセンサー
　２０　真空吸着ステージ
　２３　剛性モールド部材
　２７ａ、２７ｂ　第１昇降ロール
　２９ａ、２９ｂ第２昇降ロール
　３１　加圧ローラ
　３３　ＵＶ照射ランプ
　３５　樹脂塗布エリア
　３７　樹脂塗布用ノズル
　３９　ＸＹＺ軸型ロボット
　４０　切断ステージ
　４３　パターン部
　４７、１４７　光硬化性樹脂
　５０　転写ドラム
　１００、２００　樹脂モールド

Claims (10)

  1. 　剛性若しくは可撓性を有する転写部材と、
    剛性若しくは可撓性を有する被転写部材と、
    前記転写部材又は前記被転写部材のいずれかの少なくとも一箇所の所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布する塗布手段と、
    前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写する転写手段と、
    前記硬化性樹脂を硬化させる硬化手段と、
    前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離する剥離手段とを備えた転写装置であって、
    前記転写部材及び前記被転写部材のいずれか少なくとも一方の部材は可撓性を有する部材であり、
    前記転写手段は、
    前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に送り走査する加圧ローラと、
    前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引する張力発生手段を有することを特徴とする転写装置。
  2. 　剛性若しくは可撓性を有する転写部材と、
    剛性若しくは可撓性を有する被転写部材と、
    前記転写部材又は前記被転写部材のいずれかの少なくとも一箇所の所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布する塗布手段と、
    前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写する転写手段と、
    前記硬化性樹脂を硬化させる硬化手段と、
    前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離する剥離手段とを備えた転写装置であって、
    前記転写部材及び前記被転写部材のいずれか少なくとも一方の部材は可撓性を有する部材であり、
    前記剥離手段は、
    前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し押し当てつつ前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に戻り走査する加圧ローラと、
    前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引する張力発生手段を有することを特徴とする転写装置。
  3. 　前記転写部材又は前記被転写部材のいずれかを反転させる反転手段を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の転写装置。
  4. 　前記可撓性を有する一方の部材が前記他方の部材の一端の角部で折曲されるように該可撓性を有する一方の部材の一端を該角部の高さよりも高い位置に保持する第１昇降ロールを備えたことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の転写装置。
  5. 　前記可撓性を有する一方の部材を前記斜め方向に向けて保持する第２昇降ロールを備えたことを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の転写装置。
  6. 　前記可撓性を有する一方の部材の繰り出し側を案内し第１のテンションセンサーを有する繰り出し側ガイドロールと、
    前記可撓性を有する一方の部材の巻き取り側を案内し第２のテンションセンサーを有する巻き取り側ガイドロールと、
    前記可撓性を有する一方の部材を繰り出しする繰り出しロールと、
    前記可撓性を有する一方の部材を巻き取りする巻き取りロールとを備え、
    前記第１のテンションセンサーで検出した張力を基に前記繰り出しロールを駆動し、
    前記第２のテンションセンサーで検出した張力を基に前記巻き取りロールを駆動することを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の転写装置。
  7. 　前記硬化手段は、紫外線発光素子を直線状に配列したＵＶ照射機構を備えたことを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載の転写装置。
  8. 　前記可撓性を有する一方の部材の巻き出し寸法を計測する測長手段と、
    該測長手段で計測された巻き出し寸法を基に前記可撓性を有する一方の部材を切断する切断手段を備えたことを特徴とする請求項１～７のいずれか一項に記載の転写装置。
  9. 　剛性若しくは可撓性を有する転写部材の所定エリア、又は、剛性若しくは可撓性を有する被転写部材の所定エリアの内のいずれかの所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布し、
    前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写し、
    前記硬化性樹脂を硬化させた後に、
    前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離させることで樹脂パターンを作成する樹脂パターン製造方法であって、
    前記転写の工程において、
    前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し加圧ローラを押し当てつつ該加圧ローラを前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に送り走査し、
    前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引することを特徴とする樹脂パターン製造方法。
  10. 　剛性若しくは可撓性を有する転写部材の所定エリア、又は、剛性若しくは可撓性を有する被転写部材の所定エリアの内のいずれかの所定エリアに対し硬化性樹脂を塗布し、
    前記転写部材と前記被転写部材とを前記硬化性樹脂を介在して互いに転写し、
    前記硬化性樹脂を硬化させた後に、
    前記転写された前記転写部材と前記被転写部材とを互いに剥離させることで樹脂パターンを作成する樹脂パターン製造方法であって、
    前記剥離の工程において、
    前記転写部材又は前記被転写部材の内の可撓性を有する一方の部材に対し加圧ローラを押し当てつつ該加圧ローラを前記転写部材又は前記被転写部材の内の他方の部材に対して平行に戻り走査し、
    前記可撓性を有する一方の部材を該加圧ローラを支点として前記走査方向より前方斜め方向に向けて所定の張力で牽引することを特徴とする樹脂パターン製造方法。
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