JP2019174755A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
15 露光ステージ
20 基板供給装置(基板供給部)
22A、22B 供給リール
26A、26B 駆動機構(供給側駆動機構)
30 基板巻取装置(基板巻取部)
32A、32B 巻取リール
36 テンションローラ
36A、36B 駆動機構(巻取側駆動機構)
37 テンション測定ローラ
39 テンション測定ローラ
40 露光部
45 架台
50 ステージ移動機構
60 搬送部移動機構
70 移動制御部
120X,120Y 基板供給装置
130X,130Y 基板巻取装置
140A1、140A2 アクチュエータ
140B1、140B2 アクチュエータ
150A1、150A2 アクチュエータ
150B1、150B2 アクチュエータ
W1、W2 長尺基板
Claims (9)
- 少なくとも1つの長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記露光ステージを間にして対向配置され、前記長尺基板を搬送する少なくとも1つのリール対と、
前記リール対の間に設けられ、前記長尺基板と接する複数のローラとを備え、
前記リール対および前記複数のローラが、前記露光ステージとともに基板搬送ラインに沿って往復移動可能であり、
前記複数のローラは、基板搬送ラインに沿った往復移動中に他のローラに対して位置変動可能なテンションローラを含むことを特徴とする露光装置。 - 前記露光ステージを基板搬送ラインに沿って往復移動させるステージ移動機構と、
前記リール対を、前記露光ステージとともに基板搬送ラインに沿って往復移動させる搬送部移動機構とをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記テンションローラが、前記露光ステージの下流側に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記テンションローラが、偏芯していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記テンションローラが、上方向の移動を制限されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置。
- 前記リール対の供給リールに対し、前記長尺基板の送り出し方向とは逆方向にトルクをかける供給側駆動機構を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記長尺基板の計測されたテンションに基づき、前記リール対の巻取リールにかかるトルク量を制御する巻取側駆動機構を備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。
- 前記長尺基板が、並列した複数の長尺基板で構成され、
前記テンションローラが、前記複数の長尺基板に跨っていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。 - 前記複数のローラが、前記テンションローラよりも下流側に配置され、前記長尺基板のテンションを計測するテンション測定ローラを含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の露光装置。
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- 2018-03-29 JP JP2018065536A patent/JP7040981B2/ja active Active
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入江明、他: "次世代パッケージ基板用ダイレクトイメージング技術", エレクトロニクス実装学会誌 , vol. 13, no. 5, JPN6021032830, 2010, pages 409 - 412, ISSN: 0004649114 * |
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