TW201228845A - Transfer device and method for producing resin pattern - Google Patents

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201228845 • 六、發明說明： c 明戶斤屬^_冬好冷貝j 發明領域 本發明係有關於一種轉印裝置及樹脂圖案製造方法， 特別是可將樹脂製可撓性模具穩定地連續成形之轉印裝置 及樹脂圖案製造方法。 L Λ* 4标;3 發明背景 習知，已知有使用表面形成有奈米級細微構造之模 具，將此細微凹凸構造轉印於抗蝕劑或樹脂之奈米壓印 法。此奈米壓印法加工時間較使用光刻及蝕刻之習知製法 . 短，形成細微凹凸構造所需之裝置成本或材料成本較少， • 生產性亦優異，故近年受到注目。 又，使用光刻及蝕刻之製法一般係擅長將矽晶圓或石 英基板等硬（即，剛性）基板為基材之單片式製程，相對於 此，奈米壓印當然也擅長以剛性基板為基材之單片式製 程，且與以諸如樹脂薄膜之可撓性基板為基材之捲繞式 (roll to roll)製程之相容性佳亦為其特徵。 另一方面，捲繞式製程需要輥狀模具，但由於將奈米 級圖案形成輥狀非常困難，故提出將〇2mm厚度左右之薄 且彎曲之鎳模具捲繞於轉印用輥來取代之手法等。 在此使用之鎳模具可藉著於矽晶圓等剛性基板上使用 光刻法形成抗蝕圖案後，以電鑄鎳取得其複製而製作。此 外，此時，形成抗姓圖案後，亦可從已餘刻之細微圖案以 3 201228845 電鑄鎳獲得複製。 又’在奈米壓印中，由於模具之傷痕或污垢等缺陷形 成為轉印品之缺陷，故當發生後，需立刻更換模具。因而， 要求可以比鎳模具更低價取得之模具。 因而，用於捲繞式製程之奈米壓印用模具以可捲繞於 轉印用輥，且，耐久性優異又低價為理想。因此，使用樹 月曰製可撓性模具’該樹脂製可撓性模具係從由石英、矽等 材貝構成、鬲價且為平板之母片，先將圖案以奈米壓印於 薄膜上者（專利文獻1)。 先行技術文獻 專利文獻 專利文獻1 :國際公開第2〇〇9/148138號 C發明内容：| 發明概要 發明欲解決之課題 而為製造樹脂製可撓性模具，提出了各種方法。 可舉下列方法為例，於在以平行平板隔開一定間隔之 台間’將塗佈有光硬化性樹脂之樹脂薄膜與模具以圖案面 與光硬化性樹脂塗佈面面對面之狀態固定，將其中一方之 台以與對側之台精密地維持平行之狀態直接壓抵後，照射 UV光，而於樹脂薄膜上形成圖案之方法；以及將塗佈有光 硬化性樹脂之樹脂薄膜與模具之母片重疊設置成圖案面與 光硬化性樹脂塗佈面面對面，對樹脂薄膜壓抵加壓輥，使 其掃瞄後，照射UV光而於樹脂薄膜上形成圖案之方法。 201228845 若為前者之方法時，面内之按壓不均可藉降低台表面 之粗链度而抑制，但當模具之面積增大時，需提高按壓壓 力’而有裝置龐大等之問題。又，於以模具轉印之際，存 在於模具之凸部與凸部間之空氣易形成為氣泡而殘留於樹 脂圖案表面，而有形成為圖案之缺陷之虞。已提出在減壓 下轉印之方法作為不使氣泡殘存之方法，同樣地，當模具 之尺寸增大時’收納其之腔室尺寸增大，同時需要大容量 之真空泵，而有裝置龐大等之問題。 為後者方法時，加壓棍之按壓不均為轉印不良之主要 原因。 如第11圖所示，在塗佈於轉印後作為基材之薄膜1上之 樹脂上，轉印有來自圖中未示之模具之凹凸，因為上述按 壓不均’樹脂3之殘餘膜部份（以Η顯示圖中殘餘膜之高度) 因場所不同，高度不均一，而有產生膜厚不均之虞。 本發明即係鑑於此種習知課題而發明者，其以提供可 將樹脂製可撓性模具穩定地連續成形之轉印裝置及樹脂圖 案製造方法為目的。 用以欲解決課題之·手段 因此，本發明（申請專利範圍第1項）係一種轉印裝置， 其包含有具有剛性或可撓性之轉印構件、具有剛性或可撓 性之被轉印構件、對前述轉印構件或前述被轉印構件中任 一者之至少一處之預定區域塗佈硬化性樹脂的塗佈機構、 使刖述轉印構件與前述被轉印構件間存在前述硬化性樹脂 而相互轉印之轉印機構、使前述硬化性樹脂硬化之硬化機 201228845 將4已轉印之前述轉印構件與前述被轉印構件相 :’離之剝離機構；又，前述轉印構件及前述被轉印構件 中至少任一構件係具有可撓性 •張力產生機搆，該加具有 =述㈣印構財具有可撓性之其中-構件麵!5^ 則返轉印構件或前龍轉印構件巾之另—構件平行地& =晦者；該張力產生機構係㈣加_為支點= 具有可撓性之其中—構件從前述掃㈣向朝前方傾斜^ 以預定張力牽引者。 向 轉印構件係具有於表面施與凹凸圖案之模具之構件。 又’一面以加壓親對轉印構件或被轉印構 ^ =之其中—構件㈣，_面對轉印構件或被轉印構= 另-構件平行崎鱗猫。又，料，以此加 點，將具有可撓性之其卜構件從掃以朝前 ^ 以預定張力料。 μ 因 如此，當對轉印構件或被轉印構件中之另一 按壓轉印構件或被轉印構件中具有可撓性之其中2漸漸 時，空氣會從樹脂之尚未轉印之些微間隙漏出至外部冓^ 此，即使不在減壓環境下處理，亦不致於樹脂側殘留氣包| 此外，在本發明中’藉由將轉印構件之凹凸圖案丸按壓 至硬化性樹脂’可將該凹凸圖案轉印於硬化性樹脂。7 藉由使硬化刪旨硬化，將模具賴，可鱗 又，本發明（申請專利範圍第2項）係一種轉印裝置 包含有具有剛性或可撓性之轉印構件、具有剛性或可持2 201228845 之被轉印構件、對前述轉印構件或前述被轉印構件中任一 者之至少一處之預定區域塗佈硬化性樹脂的塗佈機構、使 θ述轉印構件與前述被轉印構件間存在硬化性樹脂而相互 轉印之轉印機構、使前述硬化性樹脂硬化之硬化機構、及 將别述已轉印之前述轉印構件與前述被轉印構件相互剝離 之剝離機構’ Λ ’前述轉印構件及前述被轉印構件中至少 任構件係具有可撓性之構件，前述剝離機構具有加壓輥 及張力產生機構，該加壓輥係—面對前述轉印構件或前述 被轉印構件中具有可撓性之其中—構件壓抵，—面對前述 ^印構件切述卿印構件巾之另—構件平行地後退掃越 X張力產生機構係以該加㈣為支點將前述且有可 =生構件從前述_方向朝前方傾斜方向定 ^印構件係具有於表面施與凹凸圖案之模具之構件。 ，對轉印構件或被轉印構 之另一 繞性之其中—播杜中具有可 节構件昼抵，一面對轉㈣ Έί **»〇 構件平行地後退掃猫。又，此味 《隱件中 ，將罝右… 此時，以此加壓輥為支 向以預枝力牽引。 6朝别方傾斜方 藉由如此構成，可從轉印構件或被 冓件將轉印構件或被轉印構件中具有 之另- 從1位置漸漸平順地剝離。 之'、中—構件 之發 者翻 :者’本發明(申請專利範圍第3項)係轉印裝置 匕含有使前㈣印構件騎述被轉印構件令任— 201228845 轉之翻轉機構而構成。 藉此，可易進行轉印構件或被轉印構件之設置作業。 再者，本發明（申請專利範圍第4項）係轉印裝置之發 明，包含有第1升降輥而構成，該第1升降輥係將前述具有 可撓性之其中一構件之一端保持於高於前述另一構件之一 端之角部之高度的位置，以使該具有可撓性之其中一構件 在前述另一構件之一端之角部彎折。 藉由將具有可撓性之其中一構件在另一構件之一端之 角部彎折，可從轉印開始點完全地進行轉印，而於加壓輥 掃猫之際，可防止加壓親之前面側剝離。 再者，本發明（申請專利範圍第5項）係轉印裝置之發 明，包含有將前述具有可撓性之其中一構件朝前述斜方向 保持之第2升降輥而構成。 又，本發明（申請專利範圍第6項）係轉印裝置之發明， 包含有引導前述具有可撓性之其中一構件之送出側，且具 有第1張力感測器之送出側引導輥、引導前述具有可撓性之 其中一構件之捲繞側，且具有第2張力咸測器之捲繞側引導 輥、送出前述具有可撓性之其中一構件之送出輥、及捲繞 前述具有可撓性之其中一構件之捲繞輥；且該轉印裝置根 據以前述第1張力感測器檢測出之張力，驅動前述送出輥， 並根據以前述第2張力感測器檢測出之張力，驅動前述捲繞 輥。 再者，本發明（申請專利範圍第7項）係轉印裝置之發 明，前述硬化機構具有將紫外線發光元件排列成直線狀之 201228845 光照射設備而構成。 由於將紫外線發光元件排列成直線狀，故與將紫外線 發光元件配置成一面不同，為低價。又，若以一定速度掃 瞄時，在掃瞄方向照射光量不致產生不均。此外，硬化機 構亦可藉由熱等。 又，本發明（申請專利範圍第8項）係轉印裝置之發明， 包含有測長機構及切斷機構而構成，該測長機構係測量前 述具有可撓性之其中一構件之捲出尺寸者；該切斷機構係 根據以該測長機構所測量之捲出尺寸，切斷前述具有可撓 性之其中一構件者。 再者，本發明（申請專利範圍第9項）係一種樹脂圖案製 造方法，係對具有剛性或可撓性之轉印構件之預定區域、 或者具有剛性或可撓性之被轉印構件之預定區域中的任一 者之預定區域塗佈硬化性樹脂，然後，使前述轉印構件與 前述被轉印構件間存在前述硬化性樹脂而相互轉印，使前 述硬化性樹脂硬化後，藉由使前述已轉印之前述轉印構件 與前述被轉印構件相互剝離，而作成樹脂圖案，且在前述 轉印之步驟中，一面對前述轉印構件或前述被轉印構件中 具有可撓性之其中一構件壓抵加壓輥，一面將該加壓輥對 前述轉印構件或前述被轉印構件中之另一構件平行地前進 掃瞄，且以該加壓輥為支點，將前述具有可撓性之其中一 構件從前述掃瞄方向朝前方傾斜方向以預定張力牽引。 又，本發明（申請專利範圍第10項）係一種樹脂圖案製造 方法，係對具有剛性或可撓性之轉印構件之預定區域、或 9 201228845 者具有剛性或可撓性之被轉印構件之預定區域中的任一者 之預定區域塗佈硬化性樹脂，然後，使前述轉印構件與前 述被轉印構件間存在前述硬化性樹脂而相互轉印，使前述 硬化性樹脂硬化後，藉由使前述已轉印之前述轉印構件與 前述被轉印構件相互剝離，而作成樹脂圖案，且在前述剝 離之步驟中，一面對前述轉印構件或前述被轉印構件中具 有可撓性之其中一構件壓抵加壓輥，一面將該加壓輥對前 述轉印構件或前述被轉印構件中之另一構件平行地後退掃 瞄，且以該加壓輥為支點，將前述具有可撓性之其中一構 件從前述掃瞄方向朝前方傾斜方向以預定張力牽引。 發明效果 如以上所說明，根據本發明，由於構造成一面以加壓 輥對轉印構件或被轉印構件中具有可撓性之其中一構件壓 抵，一面對轉印構件或前述被轉印構件中之另一構件平行 地前進掃瞄，並以此加壓輥為支點，將具有可撓性之其中 一構件從掃瞄方向朝前方傾斜方向以預定張力牽引，故可 對轉印構件或被轉印構件中之另一構件漸漸按壓轉印構件 或被轉印構件中具有可撓性之其中一構件，空氣從樹脂之 尚未轉印之些微間隙漏出至外部。因此，即使不在減壓環 境下處理，亦不致於樹脂側殘留氣泡。 圖式簡單說明 第1圖係本發明實施形態之轉印裝置之正面圖。 第2圖係第1圖中之A-A箭號視角截面圖。 第3圖係本發明實施形態之轉印裝置之平面圖。

S 10 201228845 第4(A)圖-第4(E)圖係本發明之轉印之概念圖。 第5(A)圖-第5(F)圖係顯示轉印裝置之各處理步驟的 圖。 第6(A)圖-第6(B)圖係顯示轉印裝置之各處理步驟的圖 (轉印之細節）。 第7(A)圖-第7(C)圖係顯示轉印裝置之各處理步驟的圖 (剝離之細節）。 第8(A)圖-第8(D)圖係說明本發明實施形態之多樣性之 圖。 第9圖係對捲繞式奈米壓印轉印系統之應用例。 第10圖係具有複數片量之塗佈區域之可撓性基材之 . 例0 ^ 第11圖係顯示習知轉印後之基材之樣態的圖。 I：實施方式3 用以實施發明之形態 以下，就本發明之實施形態作說明。於第1圖顯示本發 明實施形態之轉印裝置之正面圖，於第2圖顯示第1圖中之 A-A箭號視角截面圖，於第3圖顯示平面圖。 首先，就轉印構件為剛性模具，被轉印構件為可撓性 基材9之形態作為第1實施形態進行說明。 在第1圖〜第3圖中，於轉印裝置1〇之左端安裝有盤繞可 撓性基材9之送出輥11及將此可撓性基材9引導至其右上之 送出側引導輥13。另一方面，於此轉印裝置10之右端安裝 有捲繞可撓性基材9之捲繞輥15及將此可撓桂基材9引導至 £ 11 201228845 其左上之捲繞側引導輥π。 送出側引導輥13與捲繞側引導輥17安裝成2軸方向之 高度相同。因而，於使可撓性基材9進給通過之際’可撓性 基材9在此送出側引導輥13與捲繞側引導輥Π間朝Υ軸方向 水平張開。 於送出側引導輥13及捲繞側引導輥Π分別裝備有張力 感測器19、21，根據由張力感測器19所檢測出之張力，對 送出輥11驅動用之圖中未示之馬達進行轉矩控制。另一方 面’根據由張力感測器21所檢測出之張力，對捲繞輥15驅 動用之圖中未示之馬達進行轉矩控制。藉此，可調整可撓 性基材9之張力。 於轉印裝置10之中央部配設有可從圖中未示之真空泵 自由抽真空之真空吸附台20。於真空吸附台20之單面開設 複數小孔，而可透過該等小孔，將外部空氣吸引至真空泵 側。 此真空吸附台20可環繞水平軸25旋動自如，而可在環 繞水平軸25而敞開之狀態下，從上方載置剛性模具構件 23 °然後’所載置之剛性模具構件23可藉由此真空吸附台 20之小孔之吸引，對真空吸附台2〇固定。 於傾倒成水平之際之真空吸附台2 〇及剛性模具構件2 3 之左右側部分別設有可從ζ軸方向上側與下側夾緊可撓性 基材9，且於Ζ軸方向升降自如之第丨升降輥27a、27b及第2 升降輥29a、29b。 加壓輥31以朝Y軸方向以一定速度水平移動自如之方

S 201228845 式配設於剛性模具構件23之夾住可撓性基材9之下側。又， 於剛性模具構件23之夾住可撓性基材9之下側裝備有如第2 圖所示’於X軸方向將圖中未示之LED等紫外線發光元件配 置成直線狀之UV照射燈33作為光照射設備，此uv照射燈 33可朝Y軸方向以一定速度水平移動自如。 於傾倒成水平之際之真空吸附台2〇及剛性模具構件23 之夾住第1升降輥27a、27b之左方形成樹脂塗佈區域35，用 以將树月曰塗佈於此區域内之樹脂塗佈用喷嘴3 7藉由χγζ轴 式機器人39控制定位。 於捲繞側引導輥17配設圖中未示之測長計，而可測量 可撓性基材9之移動距離。又，在預定長度量之轉印結束之 階段，將可撓性基材9送至第3圖所示之切斷台4〇，而可以 圖中未示之薄膜切斷器切斷可撓性基材9。 接著’說明本發明之實施形態之動作。 於第4圖顯示本發明之轉印之概念圖。在第4(A)圖中， 於圖中未示之真空吸附台20上載置具有經施與凹凸圖案之 圖案部43的剛性模具構件23，此剛性模具構件23呈吸附於 真空吸附台20之狀態。剛性模具構件23之材質為石英、石夕、 鎳等。 另一方面’於可撓性基材9之樹脂塗佈區域35以樹脂塗 佈用喷嘴37塗佈有光硬化性樹脂47。在此，可撓性基材9之 材質可使用熱塑性樹脂或熱硬化性樹脂薄膜。 又’光硬化性樹脂47之材質可使用可藉由光引發自由 基聚合而光硬化之光硬化性組成物。塗佈光硬化性樹脂47 13 201228845 之方法可為剛模塗料、棒塗佈、刀片塗佈、刮刀塗佈、親 塗、喷塗、喷墨等。 此外’亦可使用可藉由熱引發自由基聚合而熱硬化之 熱硬化性樹脂取代光硬化性樹脂…此時，具有於χ軸方向 形成直線狀之紅外線加熱料作為加熱裝置來取代队照 射燈33,只要此紅外線加熱器可朝·方向以—定速度水平 掃瞒即可。 、亦可於雜㈣構件23之細預総行表面處理，以 使脫模性提高。此表面處理宜包含具有氟烧基(亦可具有峻 性氧原子）、石夕鏈、或碳數4〜24之長鍵炫基之化合物，以包 含具有氟烷基之化合物為特佳。 在第4(B)圖中，將剛性模具構件23載置於圖中未示之 真空吸附㈣上後’使真空吸附台_轉，與可撓性基材9 相對。如此，由於在載置剛性模具構件23後，使其翻轉即 可，故作業容易。 此時，可撓性基材9之樹脂塗佈區域35配置成大於剛性 模具構件23之圖案部43全體，窄於剛性模具構件23之外 形。即，如第4(A)圖所示，樹脂塗佈區域35形成於可撓性 基材9之内側，進而，剛性模具構件23形成於比樹脂塗佈區 域35之面為外側。 第4(C)圖係轉印之步驟。如此，在使可撓性基材9之樹 脂塗佈區域35與剛性模具構件23相對之狀態下，一面從下 方將加壓輥31於Ζ軸方向以預定壓力按壓，一面使其於γ軸 正方向移動。此時’將可撓性基材9之右端側以一定張力朝

S 14 201228845 右斜下方拉伸。 在此狀態下，當將可撓性基材9上之光硬化性樹脂们對 剛性模具構件23漸漸按壓時，空氣從剛性模具構件23之凸 部與凸部間之尚未轉印之些微的間隙漏出至外部。因此， 即使不將本轉印裝置10放置於減壓如竟下，氣泡亦不致殘 留於光硬化性樹脂47侧。 再者，如第4(D)圖所示，藉由UV照射，使光硬化性樹 月曰47硬化，只要紫外線可透過，從剛性模具構件^側、可 撓性基材9側任一側照射皆可。 之後，如第4(E)圖所示，將可撓性基材9之光硬化性樹 脂47從剛性模具構件43剝離。在此處理中，一面從下方將 加壓輥31於Z轴方向以預定壓力按壓，一面與第4(c)圖之轉 印步驟相反地，使其於γ軸負方向移動。此時，將可撓性基 材9之右端側以一定張力朝右斜下方拉伸。藉此，由於將剝 離部之位置保持一定，且將剝離速度保持一定，結果，可 逐漸地剝離’故可進行平順之剝離。 接下來’依據第5圖、第6圖及第7圖，詳細地說明轉印 裝置之各處理步驟。第5(A)圖係樹脂基材進給通過步驟。 第1升降輥27a、27b與第2升降輥29a ' 29b分別開放，可撓 性基材9在送出侧引導輥13與捲繞側引導輥17間張開成於γ 軸方向水平地以預定張力平衡之狀態。 接著’在第5(B)圖之樹脂塗佈步驟，分別將第1升降輥 27a、27b與第2升降輥29a、29b關閉。在此狀態下，樹脂塗 佈用噴嘴37—面藉由χγζ軸式機器人39移動，一面對樹脂 15 201228845 塗佈區域35内塗佈樹脂。此時，藉由第i升降報27a、27b固 定可撓性基材9之一端，另一方面，另—端側以張力感測器 19使張力一定，故可將塗佈膜厚保持均一。 接著’在第5(C)圖之薄片進給步驟中，在將第1升降親 27a、27b與第2升降輥29a、29b分別開放之狀態下，使可撓 性基材9於Y軸正方向移動至可換性基材9之光硬化性樹脂 47面與剛性模具構件23之面一致之位置。 然後’在第5(D)圖之轉印步驟中，再度將第1升降親 27a、27b與第2升降輥29a、29b關閉。此時，非一次將可撓 性基材9按壓至剛性模具構件23，而是藉由使加壓輥幻掃 瞄，而漸漸按壓。 即，如第6圖之轉印步驟詳細說明圖所示，首先，在第 6(A)圖中，使第！升降輥27a、27b上升，另一方面，使第2 升降輥29a、29b下降。藉由第1升降輥27a、27b之上升，可 撓性基材9在剛性模具構件23之底面角部彎折成「< (「L」字八 在此狀態下，一面從下方將加壓輥31於Z軸方向以預定 壓力按壓’-面於γ轴正方向以—㈣度移動。此時，可繞 性基材9之右端側藉由捲回則丨導輥17之張力感測器21以 一定張力朝右斜下方拉伸。 在此狀態下，㈣触基材9之光硬化崎脂47對明性 模具構件加加_3ι漸漸按壓時，空氣便從剛性模具構 件23之凸。卩與凸部間之尚未轉印之些微之間隙漏出至 部。 r

S 16 201228845 又，藉由如此’在剛性模具構件23之底面角部，彎折 成「<」字（「L」字），從轉印開始點完全進行轉印，而可 於加壓輥軸正方向移動之際，防止從加壓㈣觀看時 之Y轴負方向側剝離。 之後，如第6(B)圖，加壓李昆31之掃晦結束。 接著，在第5(E)圖之UV照射步驟中，如第2圖所示，於 X軸方向形成直線狀之UV照射燈33朝丫軸方向以—定速度 水平地_，藉此，騎紫外線，使光硬化性細旨47硬化二 由於UV照射燈33與配置於-整面者不同，係於χ軸方向構 造成直線狀，故低價。又’藉由以—定速度掃猫，於γ轴方 向不致產生照射光量不均。 接著，在第5(F)圖之剝離步驟，使已硬化之光硬化性樹 脂47從剛性模具構件23_。此時，與轉印步驟同樣地， 不使可撓性基材9一次從剛性模具構件23剝離，而是一面使 加屋親31掃瞒，一面剝除。 即，如第7圖之剝離步驟詳細說明圖所示，為將可撓性 基材9逐漸剝除，使加壓輥31為支點地使加壓輥31於¥軸負 方向移動。此時，可撓性基材9之右端側藉由捲回用引導輥 17之張力感測器21以一定張力朝右斜下方拉伸。之後，在 加壓輥31結束返回之時間點，使第2升降輥2%、2%上升， 並使第1升降報27a、27b下降。然後，在第7(c)圖中，將可 撓性基材9送至切斷台40。 根據以上，可對可撓性基材9上之光硬化性樹脂47進行 高精確度之轉印。由如此進行而完成之可撓性基材9及光硬 17 201228845 化性樹脂47所構成之樹脂圖案1〇〇可使光硬化性樹脂47之 膜厚均一。 此外’如第8(A)圖所示，光硬化性樹脂亦可塗佈於模 具側與基材侧任一者。在本實施形態中，說明了將光硬化 性樹脂47塗佈於作為基材之可撓性基材9上。然而，如第8(A) 圖之塗佈步驟所示，光硬化性樹脂147可如本實施形態，塗 佈於基材109側，亦可塗佈於模具123侧。 又’在本實施形態中’說明了被轉印構件為可撓性基 材9，轉印構件為剛性模具構件23之情形。然而，如第8⑻ 圖之轉印步驟所示，抵接加壓輥31之構件亦可為具有可撓 性之轉印構件，即，可撓性模具。 此％，被轉印構件可為可撓性，亦可為剛性。 再者，同樣地，在本實施形態之剝離步驟，與轉印步 驟同樣地，如第8(D)圖所示，抵接加壓輥31之構件亦可為 有"I撓性之轉印構件，即，可撓性模具。 此時，被轉印構件可為可撓性，亦可為剛性。 即，在本發明另一實施形態中，轉印構件亦可為具有 可撓性之構件，即，可撓性模具。 △又，婦印構件可為可触’亦可_性（第2實施形 癌）。此時，將加壓報31抵接可撓性模具。然:後，如第购 圖之塗佈步驟所示，可將光硬化性樹脂147塗佈於基材刚 側’亦可塗佈於模具123側。剛性之被轉印構件亦可為玻璃 板。 此外，可撓性模具可使用以熱塑性樹脂或熱硬化性樹

S 18 201228845 脂薄膜、或者具有可撓性之金屬片為基材，於其單面以奈 米壓印形成有樹脂圖案者’而以將紫外線可透過之熱塑性 樹脂或熱硬化性樹脂薄膜作為基材者為佳。 再者，在本實施形態之uv照射步驟，說明了從可撓性 基材9之下側以UV照射燈33照射，只要紫外線可通過，如 第8(C)圖所示，從基材1〇9之下方照射、從模具〖a之上方 照射皆可。 第1實施形態適合使用可撓性熱塑性樹脂或熱硬化性 樹脂薄膜作為基材，使用剛性高之石英、矽或金屬等作為 模具之情形。第2實施形態適合使用樹脂模具作為可撓性模 具，使用玻璃板、熱塑性樹脂或熱硬化性樹脂薄膜作為基 材之情形。 接著，說明以此轉印裝置1〇所作成之樹脂模具1〇〇應用 於圖中未示之捲繞式奈米壓印轉印系統之情形。轉印部份 如習知第9圖，構造成滾筒式。在第9圖中，將單片式模具 100(例如3片）貼附於圓柱狀轉印滾筒50。 然而，如上述般3片樹脂模具1〇〇為獨立時，需微調整 各樹脂模具100之位置。又，由於進行3處安裝作業，故繁 雜。 另一方面，在本發明實施形態中，如第1〇圖所示，可 於可撓性基材9上形成複數片量之樹脂塗佈區域35。根據此 結構’生成具有3連串樹脂塗佈區域35A、35B、35C之樹脂 模具200 ’藉由將此樹脂模具2〇〇纏繞於轉印滚筒50，可簡 單地結束安裝作業。

S 19 201228845 產業上之可利用性 本發明之轉印裝置及樹脂圖案製造方法對使用奈米壓 印用模具(特別是凸部之寬度、高度、間距中任一者之最大 尺寸為950nm以下之模具）之樹脂圖案的製造為有用。 此外，於此引用2010年11月22日提申之日本專利申請 案2010-260387號說明書、申請專利範圍、圖式及摘要之所 有内容，並將之納入作為本發明之說明書之揭示。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明實施形態之轉印裝置之正面圖。 第2圖係第1圖中之A-A箭號視角截面圖。 第3圖係本發明實施形態之轉印裝置之平面圖。 第4(A)圖-第4(E)圖係本發明之轉印之概念圖。 第5(A)圖-第5(F)圖係顯示轉印裝置之各處理步驟的 圖。 第6(A)圖-第6(B)圖係顯示轉印裝置之各處理步驟的圖 (轉印之細節）。 第7(A)圖-第7(C)圖係顯示轉印裝置之各處理步驟的圖 (剝離之細節）。 第8(A)圖-第8(D)圖係說明本發明實施形態之多樣性之 圖。 第9圖係對捲繞式奈米壓印轉印系統之應用例。 第10圖係具有複數片量之塗佈區域之可撓性基材之 例。 第11圖係顯示習知轉印後之基材之樣態的圖。

S 20 201228845 【主要元件符號說明】 9.. .可撓性基材 10.. .轉印裝置 11.. .送出輥 13.. .送出側引導輥 15.. .捲繞輥 17.. .捲繞側引導輥 19，21…張力感測器 20.. .真空吸附台 23.. .剛性模具構件 25.. .水平軸 27a，27b...第1升降輥 29a，29b...第2升降輥 31.. .加壓輥 33.. .UV照射燈 35，35A-35C...樹脂塗佈區域 37.. .樹脂塗佈用喷嘴 39.. .XYZ軸式機器人 40.. .切斷台 43.. .圖案部 47，147...光硬化性樹脂 50.. .轉印滾筒 100，200…樹脂模具 109.. .基材 123.. .模具 X，Y，Z...方向 21

Claims (1)

1. 201228845 七、申請專利範圍： 1. 一種轉印裝置，係包含有： 轉印構件，係具有剛性或可撓性者. 被轉印構件，係具有剛性或可撓性者，· 塗佈機構’係對前述轉印構件或前述被轉印構件中 任-者之至少一處之預定區域塗佈硬化性樹脂者； ^印機構’係使前述轉印構件與前述被轉印構件間 存在前述硬化性樹脂而相互轉印者； 硬化機構，係使前述硬化性樹脂硬化者；及 、剝離機構’係將前述已轉印之前述轉印構件與前述 被轉印構件相互剝離者； 又，前述轉印構件及前述被轉印構件巾至少任一構 件係具有可撓性之構件， 前述轉印機構具有： 加壓親，係—㈣錢轉印構件讀述被轉印構件 中具有可撓性之其中-構件壓抵，—㈣前述轉印構件 或前述被轉印構件巾之ϋ件平行地前鱗瞒者；及 張力產生機構，係、以該加壓觀為支點，將前述具有 可撓性之其中-構件從前述掃瞒方向朝前方傾斜方向 以預定張力牽引者。 2· 一種轉印裝置，係包含有： 轉印構件，係具有剛性或可撓性者； 被轉印構件’係具有剛性或可撓性者； 塗佈機構，係對前述轉印構件或前述被轉印構件中 S 22 201228845 任一者之至少一處之預定區域塗佈硬化性樹脂者； 轉印機構，係使前述轉印構件與前述被轉印構件間 存在硬化性樹脂而相互轉印者； 硬化機構，係使前述硬化性樹脂硬化者；及 剝離機構，係將前述已轉印之前述轉印構件與前述 被轉印構件相互剝離者； 又，削述轉印構件及前述被轉印構件中至少任一構 件係具有可撓性之構件， 前述剝離機構具有： 加壓輥’係一面對前述轉印構件或前述被轉印構件 中具有可撓性之其中一構件壓抵，一面對前述轉印構件 或前述被轉印構件中之另一構件平行地後退掃瞄者；及 張力產生機構，係以該加壓輥為支點，將前述具有 可挽性之其中一構件從前述掃瞄方向朝前方傾斜方向 以預定張力牽引者。 3. 如申請專利範圍第丨或2項之轉印裝置，其包含有使前述 轉印構件或前述被轉印構件中任一者翻轉之翻轉機構。 4. 如申請專利範圍第丨至；^項中任一項之轉印裝置，其包含 有： 第1升降輭•，係將前述具有可撓性之其中一構件之 一端保持於高於前述另一構件之一端之角部之高度的 位置，以使該具有可撓性之其中一構件在前述另一構件 之一端之角部_折。 5.如申請專利範圍第丨至4項中任一項之轉印裝置，其包含 23 201228845 有將前述具有可撓性之其中一構件朝前述斜方向保持 之第2升降輥。 6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之轉印裝置，其包含 有： 送出側引導輥，係引導前述具有可撓性之其中一構 件之送出側，且具有第1張力感測器者； 捲繞側引導輥，係引導前述具有可撓性之其中一構 件之捲繞側，且具有第2張力感測器者； 送出輥，係送出前述具有可撓性之其中一構件者； 捲繞輥，係捲繞前述具有可撓性之其中一構件者； 且該轉印裝置根據以前述第1張力感測器檢測出之 張力，驅動前述送出輥，並根據以前述第2張力感測器 檢測出之張力，驅動前述捲繞輥。 7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之轉印裝置，其中前 述硬化機構具有將紫外線發光元件排列成直線狀之U V 照射設備。 8. 如申請專利範圍第1至7項中任一項之轉印裝置，其包含 有： 測長機構，係測量前述具有可撓性之其中一構件之 捲出尺寸者；及 切斷機構，係根據以該測長機構所測量之捲出尺 寸，切斷前述具有可撓性之其中一構件者。 9. 一種樹脂圖案製造方法，係對具有剛性或可撓性之轉印 構件之預定區域、或者具有剛性或可撓性之被轉印構件 S 24 201228845 之預定區域中的任一者之預定區域塗佈硬化性樹脂， 然後，使前述轉印構件與前述被轉印構件間存在前 述硬化性樹脂而相互轉印， 使前述硬化性樹脂硬化後， 藉由使前述已轉印之前述轉印構件與前述被轉印 構件相互剝離，而作成樹脂圖案， 且在前述轉印之步驟中， 一面對前述轉印構件或前述被轉印構件中具有可 撓性之其中一構件壓抵加壓輥，一面將該加壓輥對前述 轉印構件或前述被轉印構件中之另—構件平行地前進 掃瞄， 且以§亥加壓幸昆為支點’將别迷具有可挽性之其中一 構件從前述掃瞒方向朝前方傾斜方向以預定張力牽引。 ίο. 種樹爿曰圖案製造方法’係對具有剛性或可撓性之轉印 構件之預定區域、或者具有剛性或可撓性之被轉印構件 之預定區域中的任-者之預定區域塗佈硬化性樹脂， 然後，使前印構件與前印餐間存在前 述硬化性樹脂而相互轉印， 使前述硬化性樹脂硬化後， 藉由使前述已轉印之前述轉印構件與前述被轉印 構件相互剝離，而作成樹脂圖案， 且在前述剝離之步驟中， 一面對前述轉印構件或前述被轉印構件中具有可 撓性之其中-構件壓抵加壓輥〜面將該加壓概對前述 25 201228845 轉印構件或前述被轉印構件中之另一構件平行地後退 掃瞄， 且以該加壓輥為支點，將前述具有可撓性之其中一 構件從前述掃瞄方向朝前方傾斜方向以預定張力牽引。 S 26