WO2007119551A1

WO2007119551A1 - 希土類永久磁石材料の製造方法

Info

Publication number: WO2007119551A1
Application number: PCT/JP2007/056586
Authority: WO
Inventors: Hajime Nakamura; Takehisa Minowa; Koichi Hirota
Original assignee: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Priority date: 2006-04-14
Filing date: 2007-03-28
Publication date: 2007-10-25
Also published as: TW200802428A; BRPI0702848B1; KR101361556B1; EP1890301A4; BRPI0702848A; JP4605396B2; CN101317238B; US8420010B2; TWI423274B; MY146948A; CN101317238A; RU2417138C2; RU2007141922A; KR20080110450A; EP1890301A1; US20090226339A1; EP1890301B1; JP2007287874A

Abstract

　Ｒ1－Ｆｅ－Ｂ系組成（Ｒ1はＳｃ及びＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなる焼結磁石体に対し、Ｍ（ＭはＡｌ、Ｃｕ、Ｚｎから選ばれる１種又は２種以上）を０．５質量％以上含有し且つ平均粒子径が３００μｍ以下の粉末と、Ｒ2のフッ化物（Ｒ2はＳｃ及びＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）を３０質量％以上含有し且つ平均粒子径が１００μｍ以下の粉末との混合粉体を当該焼結磁石体の表面に存在させた状態で、当該磁石体及び当該混合粉体を当該磁石体の焼結温度以下の温度で真空又は不活性ガス中において熱処理を施すことにより、当該混合粉体に含まれていたＭ及びＲ2の少なくとも１種を当該磁石体に吸収させることを特徴とする希土類永久磁石材料の製造方法。　本発明によれば、高性能で、且つＴｂあるいはＤｙの使用量の少ないＲ－Ｆｅ－Ｂ系焼結磁石を提供することができる。

Description

明細書

希土類永久磁石材料の製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、残留磁束密度の低減を抑制しながら保磁力を増大させた R—Fe— B系永久磁石の製造方法に関する。

背景技術

[0002] Nd— Fe— B系永久磁石は、その優れた磁気特性のために、ますます用途が広がつてきている。近年、環境問題への対応から家電をはじめ、産業機器、電気自動車、風力発電へ磁石の応用の幅が広がったことに伴い、 Nd— Fe— B系磁石の高性能化が要求されている。

[0003] 磁石の性能の指標として、残留磁束密度と保磁力の大きさを挙げることができる。 N d— Fe— B系焼結磁石の残留磁束密度増大は、 Nd Fe B化合物の体積率増大と

2 14

結晶配向度向上により達成され、これまでに種々のプロセスの改善が行われてきている。保磁力の増大に関しては、結晶粒の微細化を図る、 Nd量を増やした組成合金を用いる、あるいは効果のある元素を添加する等、様々なアプローチがある中で、現在最も一般的な手法は Dyや Tbで Ndの一部を置換した組成合金を用いることである。 Nd Fe B化合物の Ndをこれらの元素で置換することで、化合物の異方性磁界が

2 14

増大し、保磁力も増大する。一方で、 Dyや Tbによる置換は化合物の飽和磁気分極を減少させる。従って、上記手法で保磁力の増大を図る限りでは残留磁束密度の低下は避けられない。更に、 Tbや Dyは高価な金属であるので、できるだけ使用量を減らすことが望ましい。

[0004] Nd— Fe— B磁石は結晶粒界面で逆磁区の核が生成する外部磁界の大きさが保磁力となる。逆磁区の核生成には結晶粒界面の構造が強く影響しており、界面近傍における結晶構造の乱れが磁気的な構造の乱れ、即ち結晶磁気異方性の低下を招き、逆磁区の生成を助長する。一般的には結晶界面から 5nm程度の深さまでの磁気的構造が保磁力の増大に寄与している、即ちこの領域では結晶磁気異方性が低下していると考えられているが、保磁力増大のための有効な組織形態を得ることは困難であった。

[0005] なお、本発明に関連する従来技術としては、下記のものが挙げられる。

特許文献 1：特公平 5 - 31807号公報

特許文献 2：特開平 5— 21218号公報

非特許文献 1 :K. — D. Durst and H. Kronmuller, "THE COERCIV E FIELD OF SINTERED AND MELT- SPUN NdFeB MAGNETS" , Journal of Magnetism and Magnetic Materials 68 (1987) 63— 7 5

非特許文献 2 :K. T. Park, K. Hiraga and M. Sagawa, "Effect of Metal― Coating and Consecutive Heat Treatment on Coercivity o f Thin Nd— Fe— B Sintered Magnets", Proceedings of the Sixteen International Workshop on Rare— Earth Magnets and Their Applic ations, Sendai, p. 257 (2000)

非特許文献 3 :町田憲一、川寄尚志、鈴木俊治、伊東正浩、堀川高志、 "Nd— Fe— B系焼結磁石の粒界改質と磁気特性"、粉体粉末冶金協会講演概要集平成 16年度春季大会、 p. 202

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] 本発明は、上述した従来の問題点に鑑みなされたもので、高性能で、且つ Tbある Vヽは Dyの使用量の少なヽ R— Fe— B系焼結磁石 (Rは Sc及び Yを含む希土類元素カゝら選ばれる 2種以上）としての希土類永久磁石材料の製造方法を提供することを目的とするものである。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明者らは、 Nd— Fe— B系焼結磁石に代表される R¹— Fe— B系焼結磁石 (R¹ は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上）に対し、 Al、 Cu、 Zn から選ばれる 1種以上を主成分とする粉末と R²のフッ化物を主成分とする粉末との混合粉体を磁石表面近くの空間内に存在させた状態で、焼結温度よりも低、温度で加熱することにより、混合粉体に含まれていた M及び Z又は R²が磁石体に高効率に吸収され、結晶粒の界面近傍にのみ Mと R²を濃化させることで界面近傍の構造を改質し、結晶磁気異方性を回復あるいは増大させることで、残留磁束密度の低下を抑制しつつ保磁力を増大できることを見出し、この発明を完成したものである。

即ち、本発明は、以下の希土類永久磁石材料の製造方法を提供する。

請求項 1：

R¹— Fe— B系組成 (R¹は Sc及び Yを含む希土類元素力も選ばれる 1種又は 2種以上）からなる焼結磁石体に対し、 M (MはA1、 Cu、 Znから選ばれる 1種又は 2種以上 )を 0. 5質量％以上含有し且つ平均粒子径が 300 μ m以下の粉末と、 R²のフッ化物 (R²は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上）を 30質量％以上含有し且つ平均粒子径が 100 /z m以下の粉末との混合粉体を当該焼結磁石体の表面に存在させた状態で、当該磁石体及び当該混合粉体を当該磁石体の焼結温度以下の温度で真空又は不活性ガス中において熱処理を施すことにより、当該混合粉体に含まれていた M及び R²の少なくとも 1種を当該磁石体に吸収させることを特徴とする希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 2 :

上記混合粉体により処理される焼結磁石体の最小部の寸法が 20mm以下である請求項 1記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 3 :

上記混合粉体の存在量が、焼結磁石体の表面から距離 lmm以下の当該磁石体を取り囲む、空間内における平均的な占有率で 10容積％以上である請求項 1又は 2 記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 4 :

上記焼結磁石体に対し、上記混合粉体の吸収処理後、更に低温で時効処理を施すことを特徴とする請求項 1、 2又は 3記載の希土類永久磁石材料の製造方法。請求項 5 :

M (M«A1、 Cu、 Zn力選ばれる 1種又は 2種以上）を含有する粉末力 Mとその酸ィ匕物との混合物を含むことを特徴とする請求項 1乃至 4のいずれ力 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。 R²のフッ化物の R²に、 Nd、 Pr、 Dy、 Tb力も選ばれる 1種又は 2種以上が 10原子⁰ /₀ 以上含まれることを特徴とする請求項 1乃至 5のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 7 :

M (M«A1、 Cu、 Zn力選ばれる 1種又は 2種以上）を 0. 5質量％以上含有し且つ平均粒子径が 300 μ m以下の粉末と、 R²のフッ化物 (R²は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上）を 30質量％以上含有し且つ平均粒子径が 100 μ m以下の粉末との混合粉体を水系又は有機系の溶媒に分散させたスラリーとして供給することを特徴とする請求項 1乃至 6のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 8 :

焼結磁石体を上記混合粉体により処理する前に、アルカリ、酸又は有機溶剤のいずれか 1種以上により洗浄することを特徴とする請求項 1乃至 7のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 9 :

焼結磁石体を上記混合粉体により処理する前に、その表面をショットブラストで除去することを特徴とする請求項 1乃至 8のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 10 :

焼結磁石体を上記混合粉体による吸収処理後又は時効処理後にアルカリ、酸又は有機溶剤のいずれか 1種以上により洗浄することを特徴とする請求項 1乃至 9のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 11 :

焼結磁石体を上記混合粉体による吸収処理後又は時効処理後に更に研削加工することを特徴とする請求項 1乃至 10のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

請求項 12 : 焼結磁石体を上記混合粉体による吸収処理後、時効処理後、当該時効処理後のアルカリ、酸又は有機溶剤のいずれか 1種以上による洗浄後、又は上記時効処理後の研削加工後に、メツキ又は塗装することを特徴とする請求項 1乃至 11のいずれか 1 項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

発明の効果

[0009] 本発明によれば、高性能で、且つ Tbあるいは Dyの使用量の少ない R— Fe— B系焼結磁石を提供することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0010] 本発明は、高性能で、且つ Tbあるいは Dyの使用量の少ない R—Fe— B系焼結磁石材料に関するものである。

ここで、 R— Fe— B系焼結磁石体は、常法に従い、母合金を粗粉砕、微粉砕、成型、焼結させること〖こより得ることができる。

なお、本発明において、 R及び R¹はいずれも Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれるものであるが、 Rは主に得られた磁石体に関して使用し、 R¹は主に出発原料に関して用いる。

[0011] この場合、母合金には、

T、 A、及び必要により Eを含有する。 R¹は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上で、具体的には Sc、 Y、 La、 Ce、 Pr 、 Nd、 Sm、 Eu、 Gd、 Tb、 Dy、 Ho、 Er、 Yb及び Luが挙げられ、好ましくは Nd、 Pr、 Dyを主体とする。これら Sc及び Yを含む希土類元素は合金全体の 10〜15原子％、特に 12〜 15原子％であることが好ましく、更に好ましくは中に Ndと Prあるヽはそのいずれか 1種を全 R¹に対して 10原子％以上、特に 50原子％以上含有することが好適である。 Tは Fe及び Coから選ばれる 1種又は 2種で、 Feは合金全体の 50原子 %以上、特に 65原子％以上含有することが好ましい。 Aはホウ素（B)及び炭素（C) 力も選ばれる 1種又は 2種で、 Bは合金全体の 2〜15原子％、特に 3〜8原子％含有することが好ましい。 Eは Al、 Cu、 Zn、 In、 Si、 P、 S、 Ti、 V、 Cr、 Mn、 Ni、 Ga、 Ge、 Zr、 Nb、 Mo、 Pd、 Ag、 Cd、 Sn、 Sb、 Hf、 Ta、 Wの中力も選ばれる 1種又は 2種以上を 0〜11原子％、特に 0. 1〜5原子％含有してもよい。残部は窒素 (N)、酸素（O )、水素 (H)等の不可避的な不純物であり、通常それらの合計量は 4原子％以下である。

[0012] 母合金は原料金属あるいは合金を真空あるいは不活性ガス、好ましくは Ar雰囲気中で溶解したのち、平型やブックモールドに铸込む、あるいはストリップキャストにより铸造することで得られる。また、本系合金の主相である R¹ Fe B化合物組成に近い

2 14

合金と焼結温度で液相助剤となる希土類に富む合金とを別々に作製し、粗粉砕後に秤量混合する、いわゆる 2合金法も本発明には適用可能である。但し、主相組成に近い合金に対しては、铸造時の冷却速度や合金組成に依存して初晶の ex Feが残存し易ぐ R¹ Fe B化合物相の量を増やす目的で必要に応じて均質化処理を施す。

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その条件は真空あるいは Ar雰囲気中にて 700〜1 , 200°Cで 1時間以上熱処理する。液相助剤となる希土類に富む合金については上記铸造法のほかに、いわゆる液体急冷法やストリップキャスト法も適用できる。

[0013] 上記合金は、通常 0. 05〜3mm、特〖こ 0. 05〜： L 5mmに粗粉砕される。粗粉砕工程にはブラウンミルあるいは水素粉砕が用いられ、ストリップキャストにより作製された合金の場合は水素粉砕が好ましい。粗粉は、例えば高圧窒素を用いたジェットミル【こ Jり通常 0. 2〜30 111、特【こ0. 5〜20 111【こ微粉#される₀

[0014] 微粉末は磁界中圧縮成型機で成型され、焼結炉に投入される。焼結は真空あるいは不活性ガス雰囲気中、通常 900〜1 , 250。C、特に 1 , 000〜1 , 100。Cで行われる。得られた焼結磁石は、正方晶 R¹ Fe Bィ匕合物を主相として 60〜99体積％、特に

2 14

好ましくは 80〜98体積％含有し、残部は 0. 5〜20体積％の希土類に富む相、 0〜 10体積％の8に富む相、 0. 1〜10体積％の希土類の酸化物及び不可避的不純物により生成した炭化物、窒化物、水酸ィ匕物のうち少なくとも 1種あるいはこれらの混合物又は複合物力なる。

[0015] 得られた焼結ブロックは所定形状に研削加工することができる。本発明にお、て磁石体に吸収される M及び Z又は R²は磁石体表面より供給されるため、磁石体が大きすぎる場合、本発明の効果を達成できなくなる。そのため、その形態をなす最小部の寸法が 20mm以下、好ましくは 0. 2〜： LOmmに加工された形状であることが好適である。また最大部の寸法は 0. l〜200mm、特に 0. 2〜 150mmとすることが好ましい。なお、その形状も適宜選定されるが、例えば板状や円筒状等の形状に加工、形成することができる。

[0016] 次いで、上記焼結磁石体に対し、 M (MはA1、 Cu、 Zn力も選ばれる 1種又は 2種以上）を 0. 5質量％以上含有し、且つ平均粒子径が 300 m以下の粉末と、 R²のフッ化物 (R²は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上）を 30質量％以上含有し、且つ平均粒子径が 100 m以下の粉末との混合粉体を磁石表面に存在させ、磁石と混合粉体を真空あるいは Ar、 He等の不活性ガス雰囲気中で焼結温度以下の温度にて熱処理する。この処理により M及び Z又は R²は磁石内に吸収される。この時、 M単独で磁石表面に存在させた場合には効率的に磁石内に吸収されず、 R²のフッ化物との混合状態において効率的に吸収される。 Mは主に粒界相を経由して磁石内に吸収され、その際に R¹ Fe B結晶粒の界面構造を改質し、この結果

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、保磁力は増大する。この効果を十分に発現させるためには、 Mは Al、 Cu、 Znであり、これら単体の粉末や、合金粉末、更にはこれらと Mn、 Fe、 Co、 Ni、 Si、 Ti、 Ag、 Ga、 B等との混合粉あるいは合金粉末を用いることができる。この場合、粉末に含まれる Mは 0. 5質量％以上であり、好ましくは 1質量％以上、更に好ましくは 2質量％以上であり、その上限は特に制限されず、 100質量％とすることができ、また、 95質量％以下、特に 90質量％以下とすることができる。

[0017] 更に、 Mを主成分とする粉末表面の 10面積％以上を酸化物、炭化物、窒化物、水素化物の 1種以上で覆われた粉末においても本発明の効果を達成することができる。この場合、本粉末は、上記 Mと、その酸ィ匕物との混合物を含むことができ、 Mの酸化物を含有させても本発明の効果を達成することができる。なお、 Mの含有量は上記の通りであるが、 Mの酸化物の含有量は、 Mの 0. 1〜50質量⁰ /₀である。

[0018] また、この粉末の粒径は小さ、ほど吸収効率が高くなるので、その平均粒子径は 5 00 μ m以下、好ましくは 300 μ m以下、更に好ましくは 100 μ m以下であることが好適である。その下限は特に制限されないが、 lnm以上、特に 10nm以上であることが好ましい。なお、本発明において、平均粒子径は、例えばレーザー回折法などによる粒度分布測定装置等を用いて質量平均値 D (即ち、累積質量が 50%となるときの

50

粒子径又はメジアン径)などとして求めることができる。

[0019] 同時に吸収される R²は、 R¹ Fe B結晶粒と粒界近傍で置換反応を起こすため、 R¹ Fe B結晶粒の結晶磁気異方性を低下させないような希土類元素が好ましい。従つ

14

て、 R²は Sc及び Yを含む希土類元素力も選ばれる力 R²としては Pr、 Nd、 Tb、 Dy の 1種以上を主体とすることが好ましい。特に好ましくは、 R²にこれら Pr、 Nd、 Tb、 D yから選ばれる 1種又は 2種以上の元素が 10原子％以上、より好ましくは 20原子％以上、更に好ましくは 40原子％以上含有し、 100原子％含まれていてもよい。更に、磁石表面に存在させる R²のフッ化物は、好ましくは R²Fであるが、これ以外の R²0 F (

3 m n m、 nは任意の正数)や、金属元素により R²の一部を置換したあるいは安定ィ匕されたもの等、本発明の効果を達成することができる R²とフッ素を含むフッ化物を指す。

[0020] R²のフッ化物を含む粉末は、 R²のフッ化物を 30質量％以上、好ましくは 50質量％以上、更に好ましくは 70質量％以上含み、 100質量％含んでも差し支えないが、この場合、この粉末に含まれる R²のフッ化物以外の粉粒物としては、 Sc及び Yを含む希土類元素の酸化物、水酸化物、ホウ化物等が挙げられる。

[0021] また、この R²のフッ化物を含む粉末の平均粒子径は、 100 μ m以下であり、好ましくは 50 m以下、より好ましくは 20 m以下、更に好ましくは 10 m以下である。その下限は特に制限されないが、 lnm以上、特に 10nm以上とすることが好ましい。

[0022] 上記 Mを含有する粉末 (P— 1)と R²のフッ化物を含有する粉末 (P— 2)との混合粉体において、粉末 (P— 1)と粉末 (P— 2)との混合割合は、質量比として Ρ—1 : Ρ— 2 = 1： 99〜90： 10、特に 1： 99〜40： 60であることが好まし!/ヽ。

[0023] 磁石表面空間における混合粉体による占有率は高いほど吸収される M及び R量が多くなるので、本発明における効果を達成させるために、上記占有率は、磁石表面力も距離 lmm以下の磁石体を取り囲む、空間内での平均的な値で 10容積％以上、好ましくは 40容積％以上である。なお、その上限は特に制限されないが、通常 95容積％以下、特に 90容積％以下である。

[0024] 上記混合粉体を存在させる方法としては、例えば、上記混合粉体を水あるいは有機溶剤に分散させ、このスラリーに磁石体を浸した後に熱風や真空により乾燥させる、あるいは自然乾燥させる。この他にスプレーによる塗布等も可能である。いずれの具体的手法にせよ、非常に簡便に且つ大量に処理できることが特徴と言える。なお、スラリー中における上記混合粉体の含有量は、 1〜90質量％、特に 5〜70質量％とすることができる。

[0025] 上記のように、混合粉体を磁石体表面に存在させ、磁石体と粉末は真空あるいは A r、 He等の不活性ガス雰囲気中で焼結温度以下の温度にて熱処理される。この場合、熱処理温度は、上記焼結体の焼結温度 (T °Cと称する）以下であるが、好ましくは、

S

(T—10)°C以下、特に (T 20) °C以下であることが好ましい。また、その下限は 21

S S

0°C以上、特に 360°C以上であることが好ましい。熱処理時間は、熱処理温度により相違するが、 1分〜 100時間、より好ましくは 5分〜 50時間、更に好ましくは 10分〜 2 0時間であることが好まし、。

[0026] 上記のように吸収処理を行った後、得られた焼結磁石体に対して時効処理を施すことが好ましい。この時効処理としては、吸収処理温度未満、好ましくは 200°C以上で吸収処理温度より 10°C低!、温度以下、更に好ましくは 350°C以上で吸収処理温度より 10°C低い温度以下であることが望ましい。また、その雰囲気は真空あるいは Ar 、 He等の不活性ガス中であることが好ましい。時効処理の時間は 1分〜 10時間、好ましくは 10分〜 5時間、特に 30分〜 2時間である。

[0027] なお、上述した焼結磁石体の研削加工時にお!、て、研削加工機の冷却液に水系のものを用いる、あるいはカ卩ェ時に研削面が高温に曝される場合、被研削面に酸ィ匕膜が生じ易ぐこの酸化膜が付着物から磁石体への吸収反応を妨げることがある。このような場合には、アルカリ、酸あるいは有機溶剤のいずれカゝ 1種以上を用いて洗浄する、あるいはショットブラストを施して、その酸ィ匕膜を除去することで適切な吸収処理ができる。即ち、上記の吸収処理を行う前に、所定形状に加工された焼結磁石体をアルカリ、酸又は有機溶剤のいずれか 1種以上により洗浄する、あるいは焼結磁石体の表面層をショットブラストで除去することができる。

[0028] また、吸収処理後、又は上記時効処理後、アルカリ、酸あるいは有機溶剤のいずれ力 1種以上により洗浄したり、更に研削加工を行うことができ、あるいは吸収処理後、時効処理後、上記洗浄後、研削加工後のいずれかにメツキあるいは塗装することができる。

[0029] なお、アルカリとしては、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、クェン酸カリウム、クェン酸ナトリウム、酢酸カリウム、酢酸ナトリウム、シユウ酸カリウム、シユウ酸ナトリウム等、酸としては、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸、クェン酸、酒石酸等、有機溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等を使用することができる。この場合、上記アルカリや酸は、磁石体を浸食しない適宜濃度の水溶液として使用することができる。

[0030] また、上記洗浄処理、ショットブラスト処理や研削処理、メツキ、塗装処理は常法に準じて行うことができる。

[0031] 以上のようにして得られた永久磁石材料は、高性能な永久磁石として用いることができる。

実施例

[0032] 以下、本発明の具体的態様につ!、て実施例及び比較例をもって詳述するが、本発明の内容はこれに限定されるものではない。なお、下記例で、フッ化ネオジム等による磁石表面空間の占有率 (存在率）は、粉末処理後の磁石における寸法変化、質量増と粉末物質の真密度より算出した。

[0033] [実施例 1]

純度 99質量％以上の Nd、 Al、 Fe、 Cuメタルとフエロボロンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により、 Ndが 14. 0原子％、 A1が 0. 5原子％、 Cuが 0. 3原子％、 Bが 5. 8原子％、 Feが残部力なる薄板状の合金を得た。この合金を室温にて 0. l lMPaの水素ガスに曝して水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら 500°Cまで加熱して部分的に水素を放出させ、冷却して力も篩にかけ、 50メッシュ以下の粗粉末とした。

[0034] 続、て、粗粉は高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の質量中位粒径 4. 7 μ mに微粉砕した。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下 15kOeの磁界中で配向させながら、約 ltonZcm²の圧力で成型した。次いで、この成型体を Ar雰囲気の焼結炉内に投入し、 1, 060°Cで 2時間焼結して磁石ブロックを作製した。磁石ブロックはダイヤモンドカッターにより 50 X 20 X厚み 2mm寸法に全面研削加工した後、アル力リ溶液、純水、硝酸、純水の順で洗浄，乾燥した。

[0035] 続いて、ァノレミ-ゥム偏平粉（100— x) gとフツイ匕ネオジム xg (x=0, 25, 50, 75, 100)をエタノール 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、アルミニウム偏平粉の平均厚さは 3. 5 /ζ πι、平均径は 36 mであり、フッ化ネオジム粉末の平均粒子径は 2. 4 mであった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面からの距離が平均 13 mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 40〜45容積％であった。

[0036] アルミニウム偏平粉とフッ化ネオジム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 800°Cで 8時間と、う条件で吸収処理を施し、更に 500°Cで 1時間時効処理して急冷することで、本発明による磁石体を得た。 x=0及び 100は比較例であり、 x= 25, 50, 75をそれぞれ Ml— 1, Ml— 2, Ml— 3と称し、 x=0, 100をそれぞれ PI— 1 , PI— 2と称する。更に粉末を存在させずに熱処理のみを施した磁石体も作製した。これを P1— 3と称する。

[0037] 磁石体 Ml— 1〜3及び P1— 1〜3の磁気特性を表 1に示した。アルミニウム偏平粉のみの P1— 1とフッ化ネオジムのみの P1— 2の保磁力は、熱処理のみを施した P1— 3の保磁力とほぼ同値であるのに対して、本発明による磁石体 Ml— 1〜3は 84kAm 以上の増大が認められた。また、残留磁束密度の低下は l lmT以下であった。

[0038] [表 1]

[0039] [実施例 2]

純度 99質量％以上の Nd、 Al、 Feメタルとフエロボロンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により、 Ndが 13. 5原子 %、 A1が 0. 5原子％、 Bが 6. 0原子％、 Feが残部力もなる薄板状の合金を得た。この合金を室温にて 0. l lMPaの水素ガスに曝して水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら 500°Cまで加熱して部分的に水素を放出させ、冷却して力も篩にかけ、 5 0メッシュ以下の粗粉末 (合金粉末 A)とした。 [0040] これとは別に、純度 99質量％以上の Nd、 Dy、 Fe、 Co、 Al、 Cuメタルとフエロボ口ンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、平型に铸造して、 Ndが 20原子％、 D yが 10原子％、 Feが 24原子％、 Bが 6原子％、 A1が 1原子％、 Cuが 2原子％、 Coが残部からなるインゴットを得た。この合金は窒素雰囲気中、ジョークラッシャーとブラウンミルを用いて粉砕した後、篩にかけて、 50メッシュ以下の粗粉末 (合金粉末 B)とした。

[0041] 上記 2種の粉末を、質量分率で合金粉末 A：合金粉末 B = 90 : 10となるように秤量してから、 Vミキサーにより 30分間混合し、高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の質量中位粒径 4. 7 mの微粉末とした。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下 1 5kOeの磁界中で配向させながら、約 ltonZcm²の圧力で成型した。次いで、この成型体を Ar雰囲気の焼結炉内に投入し、 1, 060°Cで 2時間焼結して磁石ブロックを作製した。磁石ブロックはダイヤモンドカッターにより 40 X 12 X厚み 4mm寸法に全面研削加工した後、アルカリ溶液、純水、硝酸、純水の順で洗浄 ·乾燥した。

[0042] 続いて、ァノレミ-ゥム偏平粉 xgとフツイ匕テノレビゥム（100— x) g (x=0, 0. 5, 1, 1.

5, 2)をエタノール 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、アルミニウム偏平粉の平均厚さは 3. 5 /ζ πι、平均径は 36 mであり、フッ化テルビウム粉末の平均粒子径は 1. 6 mであった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面力もの距離が平均 15 mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 40〜50容積％であった。

[0043] アルミニウム偏平粉とフッ化テルビウム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 800°Cで 20時間という条件で吸収処理を施し、更に 510°Cで 1時間時効処理して急冷することで、磁石体を得た。 x=0は比較例であり、 x=0. 5, 1, 1. 5, 2をそれぞれ M2— 1, M2- 2, M2- 3, M2— 4と称し、 x=0を P2— 1と称する。更に粉末を存在させずに熱処理のみを施した磁石体も作製した。これを P2— 2と称する。

[0044] 磁石体 M2— 1〜4及び P2— 1〜2の磁気特性を表 2に示した。フッ化テルビウムのみの P2— 1は P2— 2と比較して 390kAm高!、保磁力を示して!/、るのに対して、本発明による磁石体 M2— 1〜4は 443kAm以上の増大が認められた。また、残留磁束密度の低下は 12mT以下であった。 [0045] [表 2]

[0046] [実施例 3]

純度 99質量％以上の Nd、 Pr、 Al、 Feメタルとフエロボロンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により、 Ndが 12. 5 原子％、Prが 1. 5原子％、A1が 0. 5原子％、Bが 5. 8原子％、 Feが残部力なる薄板状の合金を得た。この合金に室温にて 0. l lMPaの水素ガスに曝して水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら 500°Cまで加熱して部分的に水素を放出させ、冷却して力も篩にかけ、 50メッシュ以下の粗粉末とした。

[0047] 続、て、粗粉は高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の質量中位粒径 4. 4 μ mに微粉砕した。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下 15kOeの磁界中で配向させながら、約 ltonZcm²の圧力で成型した。次いで、この成型体を Ar雰囲気の焼結炉内に投入し、 1, 060°Cで 2時間焼結して磁石ブロックを作製した。磁石ブロックはダイヤモンドカッターにより 50 X 50 X厚み 8mm寸法に全面研削加工した後、アル力リ溶液、純水、硝酸、純水の順で洗浄，乾燥した。

[0048] 続いて、銅粉（100— x) gとフツイ匕デイスプロシゥム xg (x=0, 25, 50, 75, 100)を純水 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、銅粉の平均粒子径は 15 μ mであり、フッ化デイスプロシゥム粉末の平均粒子径は 1 . 6 mであった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面からの距離が平均 42 μ mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 45 〜55容積％であった。

[0049] 銅粉とフッ化デイスプロシゥム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 850°C で 12時間という条件で吸収処理を施し、更に 535°Cで 1時間時効処理して急冷することで、磁石体を得た。 x=0及び 100は比較例であり、 x= 25, 50, 75をそれぞれ M3- 1, M3- 2, M3— 3と称し、 x=0, 100をそれぞれ P3— 1, P3— 2と称する。更に粉末を存在させずに熱処理のみを施した磁石体も作製した。これを P3— 3と称する。

[0050] 磁石体 M3— 1〜3及び P3— 1〜3の磁気特性を表 3に示した。銅粉のみの P3— 1 の保磁力は、熱処理のみを施した P3— 3の保磁力とほぼ同値であった。フッ化デイスプロシゥムのみの P3 - 2は P3 - 3と比較して 175kAm高!、保磁力を示して!/、るのに対して、本発明による磁石体 M3— 1〜3は 247kAm以上の増大が認められた。また、残留磁束密度の低下は 18mT以下であった。

[0051] [表 3]

[0052] [実施例 4]

純度 99質量％以上の Nd、 Al、 Feメタルとフエロボロンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により、 Ndが 13. 5原子 %、 A1が 0. 5原子％、 Bが 6. 0原子％、 Feが残部力もなる薄板状の合金を得た。この合金を室温にて 0. l lMPaの水素ガスに曝して水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら 500°Cまで加熱して部分的に水素を放出させ、冷却して力も篩にかけ、 5 0メッシュ以下の粗粉末 (合金粉末 C)とした。

[0053] これとは別に、純度 99質量％以上の Nd、 Dy、 Fe、 Co、 Al、 Cuメタルとフエロボ口ンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、平型に铸造して、 Ndが 20原子％、 D yが 10原子％、 Feが 24原子％、 Bが 6原子％、 A1が 1原子％、 Cuが 2原子％、 Coが残部からなるインゴットを得た。この合金は窒素雰囲気中、ジョークラッシャーとブラウンミルを用いて粉砕した後、篩にかけて、 50メッシュ以下の粗粉末 (合金粉末 D)とした。

[0054] 上記 2種の粉末を、質量分率で合金粉末 C :合金粉末 D = 90 : 10となるように秤量してから、 Vミキサーにより 30分間混合し、高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の質量中位粒径 4. 7 mの微粉末とした。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下 1 5kOeの磁界中で配向させながら、約 ltonZcm²の圧力で成型した。次いで、この成型体を Ar雰囲気の焼結炉内に投入し、 1, 060°Cで 2時間焼結して磁石ブロックを作製した。磁石ブロックはダイヤモンドカッターにより 40 X 12 X厚み 4mm寸法に全面研削加工した後、アルカリ溶液、純水、硝酸、純水の順で洗浄 ·乾燥した。

[0055] 続いて、アルミニウム偏平粉（50—x) g、銅粉 xgとフッ化ネオジム 50g (x=0, 25, 50)をエタノール 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、アルミニウム偏平粉の平均厚さは 3. 5 m、平均径は 36 μ m、銅粉末の平均粒子径は 15 μ mであり、フッ化ネオジム粉末の平均粒子径は 2. 4 μ mであつた。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面力の距離が平均 62 μ mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 30〜40容積％でめつに。

[0056] アルミニウム偏平粉、銅粉とフッ化ネオジム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 800°Cで 10時間という条件で吸収処理を施し、更に 500°Cで 1時間時効処理して急冷することで、磁石体を得た。 x=0, 25, 50をそれぞれ M4— 1, M4— 2, M 4— 3と称する。更に粉末を存在させずに熱処理のみを施した磁石体も作製した。これを P4— 1と称する。

[0057] 磁石体 M4— 1〜3及び P4— 1の磁気特性を表 4に示した。本発明による磁石体 M 4 1〜3は熱処理のみを施した P4— 1の保磁力に対して 152kAm以上の増大が認められた。また、残留磁束密度の低下は 12mT以下であった。

[0058] [表 4]

Β_Γ[Τ] [kAm- (BH)_max[kJ/m³]

M4- 1 1. 403 1202 381

実施例 M4- 2 1. 404 1218 381

M4- 3 1. 405 1210 382

比較例 P4- 1 1. 415 1050 388 [0059] [実施例 5]

[0060] 続、て、粗粉は高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の質量中位粒径 4. 7 μ mに微粉砕した。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下 15kOeの磁界中で配向させながら、約 ltonZcm²の圧力で成型した。次いで、この成型体を Ar雰囲気の焼結炉内に投入し、 1, 060°Cで 2時間焼結して磁石ブロックを作製した。磁石ブロックはダイヤモンドカッターにより 50 X 20 X厚み 4mm寸法に全面研削加工した後、アル力リ溶液、純水、硝酸、純水の順で洗浄，乾燥した。

[0061] 続いて、亜 10粉（100— x) gとフツイ匕デイスプロシゥム xg (x=0, 25, 50, 75, 100) をエタノール 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、亜鉛粉の平均粒子径は 20 /z mであり、フッ化デイスプロシゥム粉末の平均粒子径は 1. 6 mであった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面力もの距離が平均 32 mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 40〜45容積％であった。

[0062] 亜鉛粉とフッ化デイスプロシゥム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 850 °Cで 10時間と、う条件で吸収処理を施し、更に 520°Cで 1時間時効処理して急冷することで、本発明による磁石体を得た。 x=0及び 100は比較例であり、 x= 25, 50, 75をそれぞれ M5— 1, M5- 2, M5— 3と称し、 x=0, 100をそれぞれ P5— 1, P5 2と称する。更に粉末を存在させずに熱処理のみを施した磁石体も作製した。これを P5— 3と称する。

[0063] 磁石体 M5— 1〜3及び P5— 1〜3の磁気特性を表 5に示した。亜鉛粉のみの P5 —1の保磁力は、熱処理のみを施した P5— 3の保磁力とほぼ同値であった。フツイ匕デイスプロシゥムのみの P5 - 2は P5 - 3と比較して 378kAm高!、保磁力を示して!/ヽるのに対して、本発明による磁石体 M5— 1〜3は 474kAm以上の増大が認められた。また、残留磁束密度の低下は 23mTであった。

[表 5]

[0065] [実施例 6]

純度 99質量⁰ /₀以上の Nd、 Pr、 Al、 Fe、 Cu、 Si、 Ti、 V、 Cr、 Mn、 Ni、 Ga、 Ge、 Z r、 Nb、 Mo、 Hf、 Ta、 Wメタルとフエロボロンを用いて Ar雰囲気中で高周波溶解した後、銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により、 Ndが 11. 5原子％、 Prが 2. 0原子⁰ /₀、 A1が 0. 5原子⁰ /₀、 Cu力 . 3原子⁰ /₀、 E (Cu、 Si、 Ti、 V、 Cr、 Mn、 Ni、 G a、 Ge、 Zr、 Nb、 Mo、 Hf、 Ta、 W)が 0. 5原子％、 Bが 5. 8原子％、 Feが残部からなる薄板状の合金を得た。この合金に室温にて 0. l lMPaの水素ガスに曝して水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら 500°Cまで加熱して部分的に水素を放出させ、冷却してから篩にかけ、 50メッシュ以下の粗粉末とした。

[0066] 続、て、粗粉は高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の質量中位粒径 4. 7 μ mに微粉砕した。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下 15kOeの磁界中で配向させながら、約 ltonZcm²の圧力で成型した。次いで、この成型体を Ar雰囲気の焼結炉内に投入し、 1, 060°Cで 2時間焼結して磁石ブロックを作製した。磁石ブロックはダイヤモンドカッターにより 5 X 5 X厚み 2. 5mm寸法に全面研削加工した後、アル力リ溶液、純水、クェン酸、純水の順で洗浄 '乾燥した。

[0067] 続いて、アルミニウム偏平粉 70gとフッ化ネオジム 30gをエタノール 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、アルミニウム偏平粉の平均厚さは 3. 5 m、平均径は 36 μ mであり、フッ化ネオジム粉末の平均粒子径は 2. であった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面からの距離が平均 35 μ mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 35〜45容積％であった。

[0068] アルミニウム偏平粉とフッ化ネオジム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 800°Cで 8時間という条件で吸収処理を施し、更に 470〜520°Cで 1時間時効処理して急冷することで、本発明による磁石体を得た。これらの磁石体を添加元素が E = C u、 Siゝ Ti、 V、 Cr、 Mn、 Niゝ Ga、 Ge、 Zr、 Nb、 Mo、 Hf、 Ta、 Wの j噴に磁石体 M6 1〜15と称する。比較のために熱処理のみを施した磁石体も作製した。これらも同様に P6— 1〜15と称する。

[0069] 磁石体 M6— 1〜15及び P6— 1〜15の磁気特性を表 6に示した。本発明による磁石体 M6— 1〜 15は、熱処理のみを施した P6— 1〜 15の保磁力に対して同一添カロ元素で比較して 47kAm以上の増大が認められた。また、残留磁束密度の低下は 29 mT以下であった。

[0070] [表 6]

B_r[T] [kAm- (BH)_max[kJ/m³]

M6-1 1.400 1082 379

M6-2 1.388 1019 373

M6-3 1.390 1027 373

M6-4 1.389 1050 373

M6-5 1.382 1066 369

M6-6 1.380 1003 369

M6-7 1.378 995 368

実施例 M6-8 1.398 1178 378

M6-9 1.400 1090 379

M6-10 1.387 1050 372

M6-11 1.372 1027 365

M6-12 1.382 1042 369

M6-13 1.372 1035 364

M6-14 1.378 1003 367

M6-15 1.384 987 370

P6-1 1.405 1003 383

P6-2 1.398 947 379

P6-3 1.396 971 378

P6-4 1.401 995 380

P6-5 1.389 1019 374

P6-6 1.390 931 375

P6-7 1.385 931 372

比較例 P6-8 1.403 1066 381

P6-9 1.407 995 384

P6-10 1.399 971 380

P6-11 1.395 955 377

P6-12 1.395 979 377

P6-13 1.401 971 381

P6-14 1.388 939 373

P6-15 1.391 923 375

[0071] [実施例 7]

実施例 2と同様な組成及び作製法で焼結体ブロックを作製した。磁石ブロックはダィャモンドカッターにより 40 X 12 X厚み 4mm寸法に全面研削加工した後、アルカリ溶液、純水、硝酸、純水の順で洗浄，乾燥した。

[0072] 続いて、アルミニウム偏平粉 lgとフッ化テルビウム 99gをエタノール 100gと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、アルミニウム偏平粉の平均厚さは 3. 5 m、平均径は 36 μ mであり、フッ化テルビウム粉末の平均粒子径は 1. 6 mであった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面からの距離が 8 mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 45 容積％であった。

[0073] アルミニウム偏平粉とフッ化テルビウム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 800°Cで 20時間という条件で吸収処理を施し、更に 510°Cで 1時間時効処理して急冷した。この磁石体に対して、アルカリ溶液で洗浄した後、酸洗浄して乾燥させた。各洗浄の前後には純水による洗浄工程が含まれている。この本発明の磁石体を磁石体 M7と称する。

磁石体 M7の磁気特性を表 7に示した。吸収処理後に洗浄していない M2と比較して、吸収処理後に洗浄工程を加えても、高い磁気特性を示すことがわかる。

[0074] [表 7]

[0075] [実施例 8及び 9]

[0076] 続いて、アルミニウム偏平粉 lgとフッ化テルビウム 99gをエタノール lOOgと混合した混濁液に超音波を印加しながら磁石体を 60秒間浸した。なお、アルミニウム偏平粉の平均厚さは 3. 5 m、平均径は 36 μ mであり、フッ化テルビウム粉末の平均粒子径は 1. 6 mであった。引き上げた磁石は熱風にて直ちに乾燥させた。この時、混合粉末は磁石の表面からの距離が 9 mの空間を取り囲んでおり、その占有率は 45 容積％であった。

[0077] アルミニウム偏平粉とフッ化テルビウム粉により覆われた磁石体に対し、 Ar雰囲気中 800°Cで 20時間という条件で吸収処理を施し、更に 510°Cで 1時間時効処理して急冷した。この磁石体に対して、外周刃切断機により 10 X 5 X厚み 4mm寸法に研削加工した。この本発明の磁石体を M8と称する。この磁石体に更に電気銅 Zニッケルメツキを施し、本発明の磁石体 M9を得た。

[0078] 磁石体 M8及び M9の磁気特性を表 8に示した。吸収処理後に加工、メツキ処理を施した磁石においても、それらの処理を施していない M2と同等な磁気特性が得られていることがわ力る。

[0079] [表 8]

B_f [T] H kAm- (BH) [kjZm³]

M8 1. 400 1573 379

実施例

M9 1. 401 1574 378

Claims

請求の範囲

[1] R¹— Fe— B系組成 (R¹は Sc及び Yを含む希土類元素力も選ばれる 1種又は 2種以上）からなる焼結磁石体に対し、 M (MはA1、 Cu、 Znから選ばれる 1種又は 2種以上 )を 0. 5質量％以上含有し且つ平均粒子径が 300 μ m以下の粉末と、 R²のフッ化物 (R²は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上）を 30質量％以上含有し且つ平均粒子径が 100 /z m以下の粉末との混合粉体を当該焼結磁石体の表面に存在させた状態で、当該磁石体及び当該混合粉体を当該磁石体の焼結温度以下の温度で真空又は不活性ガス中において熱処理を施すことにより、当該混合粉体に含まれていた M及び R²の少なくとも 1種を当該磁石体に吸収させることを特徴とする希土類永久磁石材料の製造方法。

[2] 上記混合粉体により処理される焼結磁石体の最小部の寸法が 20mm以下である請求項 1記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[3] 上記混合粉体の存在量が、焼結磁石体の表面から距離 lmm以下の当該磁石体を取り囲む、空間内における平均的な占有率で 10容積％以上である請求項 1又は 2 記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[4] 上記焼結磁石体に対し、上記混合粉体の吸収処理後、更に低温で時効処理を施すことを特徴とする請求項 1、 2又は 3記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[5] M (Mは Al、 Cu、 Zn力も選ばれる 1種又は 2種以上）を含有する粉末が、 Mとその酸ィ匕物との混合物を含むことを特徴とする請求項 1乃至 4のいずれ力 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[6] R²のフッ化物の R²に、 Nd、 Pr、 Dy、 Tb力選ばれる 1種又は 2種以上が 10原子⁰ /₀ 以上含まれることを特徴とする請求項 1乃至 5のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[7] M (Mは Al、 Cu、 Znから選ばれる 1種又は 2種以上）を 0. 5質量％以上含有し且つ平均粒子径が 300 μ m以下の粉末と、 R²のフッ化物 (R²は Sc及び Yを含む希土類元素から選ばれる 1種又は 2種以上）を 30質量％以上含有し且つ平均粒子径が 100 μ m以下の粉末との混合粉体を水系又は有機系の溶媒に分散させたスラリーとして供給することを特徴とする請求項 1乃至 6のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[8] 焼結磁石体を上記混合粉体により処理する前に、アルカリ、酸又は有機溶剤のヽずれか 1種以上により洗浄することを特徴とする請求項 1乃至 7のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[9] 焼結磁石体を上記混合粉体により処理する前に、その表面をショットブラストで除去することを特徴とする請求項 1乃至 8のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[10] 焼結磁石体を上記混合粉体による吸収処理後又は時効処理後にアルカリ、酸又は有機溶剤のいずれか 1種以上により洗浄することを特徴とする請求項 1乃至 9のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[11] 焼結磁石体を上記混合粉体による吸収処理後又は時効処理後に更に研削加工することを特徴とする請求項 1乃至 10のいずれか 1項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。

[12] 焼結磁石体を上記混合粉体による吸収処理後、時効処理後、当該時効処理後のアルカリ、酸又は有機溶剤のいずれか 1種以上による洗浄後、又は上記時効処理後の研削加工後に、メツキ又は塗装することを特徴とする請求項 1乃至 11のいずれか 1 項記載の希土類永久磁石材料の製造方法。