WO2007015379A1

WO2007015379A1 - シート切断装置及び切断方法

Info

Publication number: WO2007015379A1
Application number: PCT/JP2006/314484
Authority: WO
Inventors: Hideaki Nonaka; Kan Nakata; Yoshiaki Sugishita; Kenji Kobayashi
Original assignee: Lintec Corporation
Priority date: 2005-08-04
Filing date: 2006-07-21
Publication date: 2007-02-08
Also published as: US8186254B2; CN101237973A; CN101237973B; TWI349606B; JP2007062004A; US20090126542A1; US20100089216A1; JP4452691B2; KR101213966B1; KR20080031940A; TW200720037A; DE112006002063T5

Abstract

　貼付テーブル１３上のウエハＷにシートＳを貼付した後に、当該シートＳをウエハ外縁に沿って切断する切断装置１５。この切断装置１５は、貼付テーブル１３の側方に配置されたロボット本体６２と、このロボット本体６２の先端に位置する工具保持チャック６９を介して支持されたカッター刃６３とを備えている。カッター刃６３は工具保持チャック６９に着脱自在であって、交換可能に設けられているとともに、予め設定された移動軌跡に沿って姿勢調整された状態でシートＳの切断を行うようになっている。

Description

明細書

シート切断装置及び切断方法

技術分野

[0001] 本発明はシート切断装置及び切断方法に係り、更に詳しくは、予め設定された軌跡に沿ってシートを切断することができるとともに、シートの切断を高精度に行うことができるシート切断装置及び切断方法に関する。

背景技術

[0002] 従来より、半導体ウェハ（以下、単に、「ウェハ」と称する）には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面又は表面に感熱接着性の接着シートを貼付することが行われている。

[0003] このようなシートの貼付方法としては、ウェハ形状に対応した平面形状のシートが帯状の剥離シートに仮着された原反を用い、ピールプレートでそのシートを剥離シート力剥離してウェハに貼付する方法、或いは、帯状の剥離シートに帯状のシートが仮着された原反を用い、剥離シートからそのシートを剥離してウェハに貼付した後に、ウェハ外周に沿って切断を行うことでウェハ上にシートを貼付する方法が知られている (例えば、特許文献 1参照)。

[0004] 特許文献 1 :特許第 2919938号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、ウェハ形状に対応した平面形状のシートを貼付する方法にあっては、ウェハの外縁とシートの外縁とを精度良く位置合わせするための高精度なシート繰出構造やテーブル移動機構が不可避になる、という不都合がある。

また、特許文献 1の貼付装置に用いられた切断装置は、当該切断装置がウェハを支持する貼付テーブルの真上に配置されており、ウェハの中心を通る直線上に回転中心を有する切断装置を用、なければならなヽ構成であるため、切断装置の回転中心とウェハの回転中心との位置合わせが非常に高精度に要求されるという不都合がある。また、切断方向がウェハの外周に沿う円周方向となり、他の平面形状、例えば、多角形状の外縁に沿う方向への切断には適合せず、切断装置としての汎用性が乏しいものとなっている。

し力も、ウェハサイズが変更になる度にカッターの位置調整が必要であるうえ、切断装置のカッターは、一定の姿勢に保たれるため、シートの厚みや、被着体の外縁断面形状等に応じてカッター刃の姿勢調整も行えない。たとえ姿勢調整ができたとしても、その姿勢変更に伴う切断径の狂いを再度調整しなければならないという不都合がある。

更に、切断装置がウェハ上に位置しているため、装置に不具合が生じた場合、ゥェハを除去する作業や、メンテナンスを行う際に、カッター刃が作業者の手に触れ、怪我を招くという不都合もある。

[0006] [発明の目的]

本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、切断時のカッターの姿勢調整を可能にし、しかも、それに伴い切断位置が変化しても、切断径を高精度に設定値に保つことができるうえ、切断形状の制約も受けることなく切断を行うことのできるシート切断装置及び切断方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0007] 前記目的を達成するため、本発明は、貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断装置において、

ロボット本体と、このロボット本体の自由端側に支持されたカッター刃とを備え、前記ロボット本体は、複数の関節を有しそれら関節が数値情報により制御される多関節ロボットである、という構成を採っている。

[0008] また、本発明は、貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断装置において、

前記貼付テーブルの側方に配置されたロボット本体と、このロボット本体の自由端側に支持されるとともに予め設定された軌跡に沿って移動可能に設けられたカッター刃とを備え、

前記ロボット本体は、自由端側に工具保持チャックを含み、当該工具保持チャックを介してカッター刃が着脱自在に設けられて、る。 [0009] 更に、前記カッター刃はヒータを内蔵することができる。

[0010] また、前記カッター刃は振動装置を介して振動可能に設けることもできる。

[0011] 更に、前記ロボット本体は、前記カッター刃が前記被着体の外縁に沿ってシートを切断する際に、カッター刃の姿勢を調整可能に支持する構成が採用されている。

[0012] 本発明において、前記シート切断時のカッター刃の姿勢は、切断方向上面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜したトウイン角を維持し、カツター刃の刃縁がカッター刃の背部よりも被着体の外縁に接近している、という構成を採ることができる。

[0013] また、前記シート切断時のカッター刃の姿勢は、切断方向正面視において当該カツター刃の中心線が傾斜したキャンバ角を維持し、前記シートを前記被着体の外縁からはみ出すことなく切断するように設けることもできる。

[0014] 更に、前記シート切断時のカッター刃の姿勢は、切断方向側面視において当該力ッター刃の中心線が切断方向に傾斜したキャスタ角を維持し、前記シートと刃縁とでなす角度が鋭角に保たれる、という構成を採用することができる。

[0015] また、前記ロボット本体の近傍にカッター刃を検査する検査手段が併設される、という構成を採っている。

[0016] 更に、本発明は、貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断方法において、

複数の関節を有しそれら関節が数値情報により制御される多関節ロボットであって自由端側にカッター刃の姿勢が調整可能な状態で保持されるロボット本体を用い、前記カッター刃が予め設定された軌跡に沿って移動することで前記シートが切断される、という方法を採っている。

[0017] また、本発明は、貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断方法において、

前記貼付テーブルの側方に配置されたロボット本体の自由端側にカッター刃の姿勢が調整可能な状態で保持される切断装置を用い、

当該切断装置はカッター刃を有し、当該カッター刃が予め設定された軌跡に沿つて移動することで前記シートが切断される、 t 、う方法を採って、る。 [0018] 前記切断方法において、前記カッター刃を加熱した状態でシートを切断することができる。

[0019] また、前記カッター刃を振動させながらシートを切断することもできる。

[0020] 更に、前記カッター刃は、切断方向上面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜したトウイン角を維持し、カッター刃の刃縁がカッター刃の背部よりも被着体の外縁に接近した状態でシートを切断する、 t 、う方法を採って、る。

[0021] また、前記カッター刃は、切断方向正面視において当該カッター刃の中心線が傾斜したキャンバ角を保持し、前記シートを前記被着体の外縁からはみ出すことなく切断する方法も採用することができる。

[0022] 更に、前記カッター刃は、切断方向側面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に傾斜したキャスタ角を保持し、前記シートと刃縁とでなす角度が鋭角に保たれながらシートを切断する、 t ヽぅ方法を採ってもょヽ。

[0023] また、前記シートは、帯状の剥離シートを被着体として粘着剤を介して仮着された粘着シートであり、

前記剥離シートを切断することなく粘着シートと粘着剤とを切断する方法も採用可能である。

[0024] 更に、前記シートは、帯状の剥離シートを被着体として粘着剤を介して仮着された粘着シートであり、

前記剥離シート及び又は粘着シートを完全に切断することなく切取線を形成するように部分切断を行う、という方法を採ることもできる。

発明の効果

[0025] 本発明によれば、ロボット本体が NC (Numerical Control)により制御されるものであるから、加工物に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御される。従って、従来の切断手段のようにウェハサイズが変更になる度にカッター刃の位置を手作業で変更する必要がなくなる。更に、従来の切断手段では、カッター刃の姿勢変更に伴い、狂った切断径をその都度再調整する必要があつたが、本発明のロボット本体は、どのようにカッター刃の姿勢が変更になったとしても、切断径を高精度に設定値に保つことができる。また、非切断動作時に、カッター刃をテーブルの上方領域力外れた外側位置、すなわちテーブルの側方位置に退避できるため、貼付テーブル上に広！、作業スペースを確保することができ、被着体を手作業で貼付テーブル力も除去するような場合や、メンテナンス時に、作業者がカッター刃に触れてしまうような危険性を少なくすることができる。

また、工具保持チャックを介してカッター刃が着脱自在であるから、カッター刃の交換作業を容易且つ迅速に行うことができる。

[0026] 更に、カッター刃がヒータを内蔵している構成によれば、接着シートをいつそう切断し易くなる。

[0027] また、振動装置を介してカッター刃が振動しながら切断を行う構成により、切断能力を向上させることが可能となる。

[0028] 更に、カッター刃は、ロボットの関節を制御することによってその姿勢がどのようにでも調整可能なので、シートの腰の強さ、厚み、被着体の外周側断面形状等に応じて切断角度を変化させて用途に応じた切断を行うことができる。

例えば、カッター刃がトウイン角を保持する状態では、被着体の外縁位置にぴつたり合わせたシートの切断を実現することができる。

また、カッター刃がキャンバ角を保持する状態では、被着体の外縁に面取加工がなされているような場合、シートを被着体の外縁からはみ出すことなぐ切断することが可能となる。

更に、カッター刃がキャスタ角を保持する状態では、シートの腰の強さ、厚みに応じて刃先を傾斜させることによってシート切断力の軽減が達成される。

[0029] また、カッター刃の検査手段を切断装置に併設した構成により、刃縁の欠損や、刃縁にシートの粘着剤が転着した程度を自動的に検出することができ、これによつて新たなカッター刃に交換することができ、良好な切断能力を安定して保つことができる。図面の簡単な説明

[0030] [図 1]本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。

[図 2]前記シート貼付装置の概略斜視図。

[図 3]切断装置の先端側領域を示す拡大斜視図。 [図 4]カッター刃及び検査手段の拡大斜視図。

[図 5]テーブル及び切断装置の部分断面図。

[図 6]トウイン角を保って接着シートを切断する動作説明図。

[図 7]キャンバ角を保って接着シートを切断する動作説明図。

[図 8]キャスタ角を保って接着シートを切断する動作説明図。

[図 9]ウェハに貼付された接着シートの切断状態を示す拡大断面図。

符号の説明

[0031] 10 シート貼付装置

15 切断装置

16 検査手段

17 ストック装置

62 ロボッ卜本体

63 カッター刃

63A 刃ホルダ

63B 刃

63D 刃縁

63E 背部

63F 先端部

63j 基部

69 工具保持チャック

L 原反

PS 剥離シート

s 接着シート

S1 不要接着シート

w ウェハ (被着体）

発明を実施するための最良の形態

[0032] 以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

[0033] 図 1には、本発明に係る切断装置が適用されたシート貼付装置の概略正面図が示され、図 2には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置 10は、ベース 11の上部に配置されたシート繰出ユニット 12と、被着体としてのゥェハ Wを支持するテーブル 13と、ウエノ、 Wの上面側に繰り出された接着シート Sに押圧力を付与してウェハ Wに貼付する押圧ローラ 14と、ウェハ Wに接着シート Sを貼付した後に当該ウェハ Wの外縁に沿って接着シート Sを切断する切断装置 15と、当該切断装置 15の後述するカッター刃 63を検査する検査手段 16 (図 2参照）と、カッター刃 63等のストック装置 17と、ウェハ Wの外側の不要接着シート S1をテーブル 13の上面から剥離する剥離装置 18と、不要接着シート S1を巻き取る卷取装置 19とを備えて構成されている。

[0034] 前記シート繰出ユニット 12は、帯状の剥離シート PSの一方の面に帯状の接着シート Sが仮着されたロール状の原反 Lを支持する支持ローラ 20と、この支持ローラ 20から繰り出された原反 Lを急激に反転して接着シート Sを剥離シート PSから剥離するピールプレート 22と、剥離シート PSを巻き取って回収する回収ローラ 23と、支持ローラ 20と回収ローラ 23との間に配置された複数のガイドローラ 25〜31と、ガイドローラ 25 , 26間に配置されたバッファローラ 33と、ガイドローラ 27, 28間に配置されるとともに、ロードセル 39及び当該ロードセル 39に支持されて前記ピールプレート 22の基部側に位置する張力測定ローラ 40とを含む張力測定手段 35と、ピールプレート 22、ガイドローラ 27, 28, 29及び張力測定手段 35を一体的に支持して前記押圧ローラ 14と相互に作用してウェハ Wに対する接着シート Sの貼付角度 Θを一定に保つ貼付角度維持手段 37とを備えて構成されている。前記ガイドローラ 27, 29には、ブレーキシユー 32, 42が併設されており、これらブレーキシュ一 32, 42は、接着シート Sをゥェハ Wに貼付する際に、シリンダ 38、 48によって対応するガイドローラ 27, 29に対して進退することによって接着シート Sを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている

[0035] なお、前記シート繰出ユニット 12並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段 35及び貼付角度維持手段 37は、本出願人によって出願された特願 2005— 19880 6号に開示されたものと同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。

[0036] 前記テーブル 13は、図 5にも示されるように、平面視略方形の外側テーブル 51と、平面視略円形の内側テーブル 52とにより構成されている。外側テーブル 51は内側テーブル 52の外縁との間に隙間 Cを形成する状態で当該内側テーブル 52を受容可能な凹状に設けられて、るとともに、単軸ロボット 54を介してベース 11に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル 52は、単軸ロボット 56を介して外側テーブル 51に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル 51と内側テ一ブル 52は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シート Sの厚み、ウェハ Wの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。

[0037] 前記押圧ローラ 14は、門型フレーム 57を介して支持されている。門型フレーム 57 の上面側には、シリンダ 59, 59力設けられており、これらシリンダ 59の作動により押圧ローラ 14が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム 57は、図 2に示されるように、単軸ロボット 60及びガイドレール 61を介して図 1中 X方向に移動可能に設けられている。

[0038] 前記切断装置 15は、図 3ないし図 5にも示されるように、ロボット本体 62と、当該口ボット本体 62の自由端側に支持されたカッター刃 63とを備えて構成されている。ロボット本体 62は、図 5に示されるように、ベース部 64と、当該ベース部 64の上面側に配置されて矢印 A〜F方向に回転可能に設けられた第 1アーム 65A〜第 6アーム 65F と、第 6アーム 65Fの先端側すなわちロボット本体 62の自由端側に取り付けられたェ具保持チャック 69とを含む。第 2、第 3及び第 5アーム 65B、 65C、 65Eは、図 5中 Y X Z面内で回転可能に設けられているとともに、第 1、第 4及び第 6アーム 65A、 65D 、 65Fは、その軸周りに回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット本体 62は NC (Numerical Control)により制御されるものである。すなわち、加工物に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるものであって、従来の切断手段のようにウェハサイズが変更になるごとにカッター刃の位置を手作業で変更するものとは全く違う方式を利用するものである。更に、従来の切断手段では、カッター刃の姿勢変更 (後述するトウイン角 α 1、キャンバ角 a 2、キャスタ角 a 3)に伴い、狂った切断径をその都度再調整する必要があった力本実施形態のロボット本体 62は、どのようにカッター刃の姿勢が変更になったとしても、切断径を高精度に設定値に保つことができる。また、非切断動作時に、カッター刃 63をテーブル 13の上方領域力も外れた外側位置、すなわちテーブル 13の側方位置に退避させるように設けられている。

[0039] 前記工具保持チャック 69は、図 3に示されるように、略円筒状をなすカッター刃受容体 70と、当該カッター刃受容体 70の周方向略 120度間隔を隔てた位置に配置されてカッター刃 63と後述する吸着アーム 100を着脱自在に保持する三つのチャック爪 71とを備えて構成されている。各チャック爪 71は、内方端が鋭角となる先尖形状部 71Aとされており、空圧によってカッター刃受容体 70の中心に対して径方向に進退可能となっている。

[0040] 前記カッター刃 63は、図 4に示されるように、基部領域を形成する刃ホルダ 63Aと、当該刃ホルダ 63Aの先端側に挿入して固定された刃 63Bとにより構成されている。刃ホルダ 63Aは略円柱状をなし、その外周面の周方向略 120度間隔位置には、基端から中間部まで延びる長さの溝 72が軸方向に沿って形成され、これらの溝 72に前記チャック爪 71の先尖形状部 71Aが係合することで、工具保持チャック 69に対するカッター刃 63の位置が一定に保たれるようになって!/、る。

[0041] 前記刃ホルダ 63Aには、図示しないヒータと、振動装置が内蔵されており、ヒータによって刃 63Bを加熱することができるとともに、振動装置によって刃 63Bを振動させることができるようになつている。なお、ヒータとしてはコイルヒータが例示でき、また振動装置としては、超音波振動装置を例示することができる。

[0042] 前記カッター刃検査手段 16は、図 2及び図 4に示されるように、切断装置 15に併設されたカメラにより構成されている。このカッター刃検査手段 16は、カッター刃 63における刃縁 63Dの欠損や、刃縁 63Dに対する粘着剤の転着状態を検出するものであり、欠損を検知したり、或いは、粘着剤の転着量が許容範囲を超えたときに、図示しない制御装置に信号を出力し、これに対応してロボット本体 62が自動でストック装置 17 に収容された他のカッター刃 63と交換するようになって、る。

[0043] 前記ストック装置 17は、図 2に示されるように、カッター刃 63をそれぞれ収容する第 1のストツ力 17Aと、ウェハ Wを吸着保持するための吸着アーム 100を収容する第 2 のストツ力 17Bとを含む。本実施形態では、切断装置 15を移載装置としても利用できるようになっており、カッター刃 63に代えて吸着アーム 100を保持したときに、ウェハ Wを移載する汎用性を備えたものとなっている。なお、吸着アーム 100は、前記刃ホルダ 63Aと同一の溝 72を備えたアームホルダ 100Aと、このアームホルダ 100Aに取り付けられるとともに先端側に図示しない減圧装置に連通するバキューム穴 100Cを備えた Y型アーム部 100Bと力もなる。他の吸着アーム 100は、形状の違う I型アームや、サイズの違うウェハを吸着するためのアームであって、 8インチ、 12インチ等の半導体ウェハに対応する吸着アームをストックできるようになって、る。

[0044] 前記剥離装置 18は、図 1及び図 2に示されるように、小径ローラ 80と、大径ローラ 8 1とにより構成されている。これら小径ローラ 80及び大径ローラ 81は、移動フレーム F に支持されている。この移動フレーム Fは、図 2中 Y方向沿って相対配置された前部フレーム F1と、この前部フレーム F1に連結部材 83を介して連結された後部フレーム F2とからなり、後部フレーム F2は、単軸ロボット 85に支持されている一方、前部フレーム F1は、前記ガイドレール 61に支持され、これにより、移動フレーム Fは、図 2中 X 方向に移動可能となっている。大径ローラ 81は、図 1に示されるように、アーム部材 8 4に支持されているとともに、当該アーム部材 84はシリンダ 88によって大径ローラ 81 が小径ローラ 80に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。

[0045] 前記卷取装置 19は、移動フレーム Fに支持された駆動ローラ 90と、回転アーム 91 の自由端側に支持され、ばね 92を介して駆動ローラ 90の外周面に接して不要接着シート S1を-ップする卷取ローラ 93とにより構成されている。駆動ローラ 90の軸端には、駆動モータ Mが配置されており、当該モータ Mの駆動により、駆動ローラ 90が回転し、卷取ローラ 93がこれに追従回転することで不要接着シート S1が巻き取られるようになつている。なお、卷取ローラ 93は、卷取量が増大するに従って、ばね 92の力に抗して図 1中右方向へ回転することとなる。

[0046] 次に、本実施形態における接着シート Sの切断方法について、図 5ないし図 8をも参照しながら説明する。なお、接着シート Sの貼付方法は、特願 2005— 198806号と同一であり、従って、ここでは、シート貼付方法の説明を省略する。

[0047] 初期設定として、図示しない入力装置にウェハの外形寸法と、図 6に示されるように、切断方向上面視においてカッター刃 63の中心線が切断方向に対して傾斜したトウイン角 ( 1、図 7に示されるように、切断方向正面視においてカッター刃 63の中心線が傾斜したキャンバ角 α 2、図 8に示されるように、切断方向側面視においてカッター刃 63の中心線が切断方向に傾斜したキャスタ角 a 3をそれぞれ入力する。

前述の角度 α 1〜 α 3について別言すれば、図 6ないし図 8に示され態様で説明すれば、トウイン角 1は、刃 63Bの刃縁 63Dが背部 63Eよりもウェハ Wの外縁に接近した状態であり、キャンバ角 α 2は、刃 63Βの先端部 63Fが基部 63Jよりも外側に位置する角度であり、キャスタ角 α 3は、刃 63Βの基部 63Jが先端部 63Fよりも切断方向に進んだ角度と、うことができる。

なお、接着シート Sがウェハ Wの下面側となり、当該接着シート Sを上面側力もゥェハ外縁に沿って切断すると仮定した場合のキャンバ角は、刃 63Βの基部 63Jが先端部 63Fよりも外側に位置する角度となる。また、キャスタ角《3は、刃縁 63Dと接着シート Sとで形成される角度が鋭角であればよぐ従って、基部 63Jが先端部 63Fよりも切断方向に対して遅れた傾斜姿勢も取り得ることとなる。

[0048] 接着シート Sをウエノ、 Wに貼付する間は、切断装置 15は、カッター刃 63がテープル 13の側方位置に待避した位置に保たれる。そして、図 5に示されるように、ウェハ Wの上面に接着シート Sが貼付された後に、カッター刃 63がテーブル 13の上方位置に移動するようにロボット本体 62が所定動作する。

[0049] 次、で、前記入力装置に入力されたデータを基に、図示しな!、制御装置の記憶部に格納された移動軌跡データを読み出し、刃 63Βは、トウイン角 a 1、キャンバ角 a 2 、キャスタ角 α 3を保持しながらウェハ外形に沿って接着シート Sを切断する（図 6〜図 8参照)。この際、常温でのシート Sの切断が困難な場合は、刃 63Βをコイルヒータで加熱してもよいし、超音波振動装置によって振動させてもよい。これにより、接着シート Sは、ウェハ Wの外縁に一致する状態で、しかも、切断抵抗を非常に小さくした状態で切断することができる。

なお、ウェハ Wの外縁断面形状は、図 9に示されるように、面取カ卩ェがなされているため、前述したトウイン角 α 1とキャンバ角 α 2と〖こより、ウェハ Wの上面 W1と側端面 W2との交点 Ρに近づけて切断することができる。従って、ウェハ Wの外縁から接着シート Sの外縁がはみ出すことがなぐ接着シート Sが貼付された後のウェハ Wを後ェ程で裏面研削する場合において、はみ出したシート部分がグラインダーに巻き込まれるような不都合を回避することができる。

[0050] 接着シート Sの切断が完了すると、切断装置 15は、一時的に移載装置として作用すべぐ工具保持チャック 69からカッター刃 63Bを外して吸着アーム 100に持ち替え動作を行う。この際、カッター刃 63Bは、検査手段 16にて刃縁 63Dの検査を受けることとなる。ここで、刃縁 63Dの折損や、粘着剤の転着量が許容範囲を超えた不良カツター刃であることが検出されると、次の切断時には、当該不良カッター刃 63Bを用いることなく新たなカッター刃 63Bに交換すべき信号を図示しない制御装置に出力した状態で、不良カッター刃 63Bをストック装置 17に収容する。

[0051] 吸着アーム 100を支持した切断装置 15は、接着シート Sの切断が完了した後のゥエノ、 Wを吸着して次工程に移載するとともに、次に接着シート Sを貼付すべきウェハ Wを図示しないウェハストッカカもテーブル 13上に移載する。そして、ウェハ Wの移載が完了すると、切断装置 15は、吸着アーム 100を第 2のストツ力 17Bに収容動作し、新たなカッター刃 63を工具保持チャック 69に装填して次の切断に備えることとなる

[0052] 移載装置として一時的に作用する切断装置 15を介してウェハ Wがテーブル 13から取り去られると、剥離装置 16によって不要接着シート S1が巻き取られる。なお、この卷取は、特願 2005— 198806号に開示された作用と同一であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

[0053] 従って、このような実施形態によれば、ウェハ Wに貼付された接着シート Sをウェハ外縁に沿って高精度に切断することができるとともに、種々の平面形状を備えた被着体を対象としたシート切断を行うことができるという効果を得る。

[0054] 以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されている力本発明は、これに限定されるものではない。

すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなぐ以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更をカロえることができるものである。例えば、前記実施形態では、ウェハ Wに貼付された接着シート Sをウェハ Wの外縁に沿って切断する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、帯状の剥離シートを被着体として粘着剤を介して仮着された粘着シートを対象とし、剥離シートを切断することなく粘着シートと粘着剤とを切断したり、剥離シート及び又は粘着シートを完全に切断することなく切取線を形成するように部分切断を行うことちでさる。

Claims

請求の範囲

[1] 貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断装置において、ロボット本体と、このロボット本体の自由端側に支持されたカッター刃とを備え、前記ロボット本体は、複数の関節を有しそれら関節が数値情報により制御される多関節ロボットであることを特徴とするシート切断装置。

[2] 貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断装置において、前記貼付テーブルの側方に配置されたロボット本体と、このロボット本体の自由端側に支持されるとともに予め設定された軌跡に沿って移動可能に設けられたカッター刃とを備え、

前記ロボット本体は、自由端側に工具保持チャックを含み、当該工具保持チャックを介してカッター刃が着脱自在に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。

[3] 前記カッター刃はヒータを内蔵していることを特徴とする請求項 1又は 2記載のシート切断装置。

[4] 前記カッター刃は振動装置を介して振動可能に設けられていることを特徴とする請求項 1, 2又は 3記載のシート切断装置。

[5] 前記ロボット本体は、前記カッター刃が前記被着体の外縁に沿ってシートを切断する際に、カッター刃の姿勢を調整可能に支持することを特徴とする請求項 1ないし 4の何れかに記載のシート切断装置。

[6] 前記シート切断時のカッター刃の姿勢は、切断方向上面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜したトウイン角を維持し、カッター刃の刃縁がカツター刃の背部よりも被着体の外縁に接近していることを特徴とする請求項 5記載のシート切断装置。

[7] 前記シート切断時のカッター刃の姿勢は、切断方向正面視において当該カッター刃の中心線が傾斜したキャンバ角を維持し、前記シートを前記被着体の外縁からはみ出すことなく切断することを特徴とする請求項 5又は 6記載のシート切断装置。

[8] 前記シート切断時のカッター刃の姿勢は、切断方向側面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に傾斜したキャスタ角を維持し、前記シートと刃縁とでなす角度が鋭角に保たれることを特徴とする請求項 5, 6又は 7記載のシート切断装置。

[9] 前記ロボット本体の近傍にカッター刃を検査する検査手段が併設されていることを特徴とする請求項 1ないし 8の何れかに記載のシート切断装置。

[10] 貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断方法にぉヽて、複数の関節を有しそれら関節が数値情報により制御される多関節ロボットであって自由端側にカッター刃の姿勢が調整可能な状態で保持されるロボット本体を用い、前記カッター刃が予め設定された軌跡に沿って移動することで前記シートが切断されることを特徴とするシート切断方法。

[11] 貼付テーブル上の被着体に貼付されたシートを切断するシート切断方法において、前記貼付テーブルの側方に配置されたロボット本体の自由端側にカッター刃の姿勢が調整可能な状態で保持される切断装置を用い、

当該切断装置はカッター刃を有し、当該カッター刃が予め設定された軌跡に沿つて移動することで前記シートが切断されることを特徴とするシート切断方法。

[12] 前記カッター刃を加熱した状態でシートを切断することを特徴とする請求項 10又は 1

1記載のシート切断方法。

[13] 前記カッター刃を振動させながらシートを切断することを特徴とする請求項 10、 11又は 12記載のシート切断方法。

[14] 前記カッター刃は、切断方向上面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜したトウイン角を維持し、カッター刃の刃縁がカッター刃の背部よりも被着体の外縁に接近した状態でシートを切断することを特徴とする請求項 10ないし 13 の何れか〖こ記載のシート切断方法。

[15] 前記カッター刃は、切断方向正面視において当該カッター刃の中心線が傾斜したキヤンバ角を保持し、前記シートを前記被着体の外縁からはみ出すことなく切断することを特徴とする請求項 10ないし 14の何れかに記載のシート切断方法。

[16] 前記カッター刃は、切断方向側面視において当該カッター刃の中心線が切断方向に傾斜したキャスタ角を保持し、前記シートと刃縁とでなす角度が鋭角に保たれながらシートを切断することを特徴とする請求項 10ないし 15の何れかに記載のシート切断方法。

[17] 前記シートは、帯状の剥離シートを被着体として粘着剤を介して仮着された粘着シートであり、

前記剥離シートを切断することなく粘着シートと粘着剤とを切断することを特徴とする請求項 10又は 11記載のシート切断方法。

前記シートは、帯状の剥離シートを被着体として粘着剤を介して仮着された粘着シートであり、

前記剥離シート及び又は粘着シートを完全に切断することなく切取線を形成するように部分切断を行うことを特徴とする請求項 10又は 11記載のシート切断方法。