JP5981764B2 - シート形成装置およびシート形成方法 - Google Patents
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Description
この特許文献1の構成では、ウェハの外縁にカッタ刃を当接させて、接着シートを切断している。
また、本発明のシート形成装置では、前記除去手段は、前記はみ出し部分の一部を保持する保持手段と、前記保持手段と前記支持手段とを互いに接離する方向に相対移動させる第1移動手段と、前記保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の外縁に沿って相対移動させる第2移動手段とを備える、ことが好ましい。
また、保持手段によりはみ出し部分の一部を保持し、第1移動手段および第2移動手段により保持手段と支持手段とを互いに接離する方向および板状部材の外縁に沿って相対移動させることで、板状部材の外縁に沿ったはみ出し部分の全部を一度に除去する構成と比べて、円滑にはみ出し部分を除去することができ、板状部材に与えるストレスを低減することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
このように、はみ出し部分AS3の一部をはみ出し片AS4として順次除去することで、はみ出し部分AS3の全部を一度に除去する構成と比べて、除去するときにウェハWFに加わる力を低減することができ、ウェハWFの破損を抑制できる。
そして、除去手段20が直動モータ23を駆動し、粘着板21を下降させてはみ出し片AS4を粘着板21と受け板43Aとの間に挟み込んで粘着シート41Aに転着させる。
また、保持手段に、加圧ポンプやタービン等の加圧手段を並設し、気体を噴出して、はみ出し片AS4を箱部42に吹き飛ばして除去してもよいし、粘着シート41Aに転着させてもよい。
さらに、本発明の第1移動手段としては、支持テーブル14を昇降させる構成を設け、粘着板21を停止させた状態で支持テーブル14を離間させてはみ出し片AS4を除去するようにしてもよいし、粘着板21と支持テーブル14との両方を相互に離間させてはみ出し片AS4を除去するようにしてもよい。また、第1移動手段は、粘着板21と支持テーブル14とを離間できればよく、例えば、直動モータ23をウェハWFの中心軸に対して斜めに取り付けてもよい。また、粘着板21をはみ出し部分AS3に接触させた後、除去手段20が直動モータ23とリニアモータ25とを同時に駆動し、粘着板21を上昇させるとともに、左または右方向に移動させて、ウェハWFの中心に近づく方向、または、ウェハWFの中心から離れる方向に向かってはみ出し部分AS3を引っ張って除去してもよい。
また、本発明の第2移動手段としては、粘着板21をウェハWFの外縁に沿って旋回させる構成を設け、支持テーブル14を停止させた状態で粘着板21を旋回させてもよいし、支持テーブル14と粘着板21との両方を相互に旋回させてもよい。さらに、保持手段および回収手段を複数設けてもよい。
また、粘着板21の形状としては、中心角が直角や鈍角の略円弧板状であってもよいし、略円環板状さらには略多角形板状であってもよい。
さらには、角部WF3は、90°よりも小さい形状であってもよいし、大きい形状であってもよし、R面取りされていてもよい。
また、支持テーブル14が回転する角度は、粘着板21の略円弧状の中心角と略等しい角度以下でもよい。
さらに、吸引部11は、ウェハWFが保持可能な限り、他のもので構成することができ、例えば、保持面12に吸引孔を複数形成してもよい。
また、図1の二点鎖線で示すように、駆動機器としての直動モータ51と、直動モータの出力軸52に支持された押え板53とで構成された表面WF1側からウェハWFを押える押え手段50を設けてもよい。これにより、ウェハWFの位置ずれを抑制するとともに、ウェハWFをはみ出し部分AS3と共に引き上げて破損してしまうことを防止することができる。
さらに、図3に示すように、裏面WF2が上面となるようウェハWFを支持テーブル14で支持し、支持テーブル14の下方に除去手段20を配置し、除去手段20が支持テーブル14の下方からはみ出し部分AS3を除去してもよい。
また、保持手段は、はみ出し部分AS3の全部に接触するものであってもよく、この場合、除去手段は、一括ではみ出し部分AS3を除去してもよい。
また、原接着シートAS1は、ウェハWFからはみ出す長さを有するものであれば、ウェハWFの外形よりも小さい幅のものであってもよい。
14…支持テーブル(支持手段)
20…除去手段
21…粘着板(保持手段)
23…直動モータ(第1移動手段)
27…回動モータ(第2移動手段)
40,40A…回収手段
AS1…原接着シート
AS2…接着シート
AS3…はみ出し部分
AS4…はみ出し片
WF…ウェハ(板状部材)
WF3…角部
Claims (4)
- 板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成装置であって、
前記一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートが貼付された前記板状部材を当該原接着シート側から支持する支持手段と、
前記板状部材の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分を除去する除去手段とを備え、
前記除去手段は、前記板状部材の他方の面側から前記はみ出し部分を引き剥がして除去することで前記接着シートを形成することを特徴とするシート形成装置。 - 前記除去手段で除去した前記はみ出し部分を回収する回収手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のシート形成装置。
- 前記除去手段は、前記はみ出し部分の一部を保持する保持手段と、前記保持手段と前記支持手段とを互いに接離する方向に相対移動させる第1移動手段と、前記保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の外縁に沿って相対移動させる第2移動手段とを備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート形成装置。
- 板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成方法であって、
前記一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートが貼付された前記板状部材を当該原接着シート側から支持する工程と、
前記板状部材の外縁からはみ出したはみ出し部分を前記板状部材の他方の面側から引き剥がして除去することで前記接着シートを形成する工程とを有することを特徴とするシート形成方法。
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