JP4680818B2 - シート切断装置及び切断方法 - Google Patents
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このように、特許文献1に開示されたシート切断方法は、シートをウエハに貼付した状態で行うものではないため、前記吸着装置等、シート切断用の専用装置が必要になり、ウエハ処理装置全体としての構造の大型化、複雑化や、ウエハ処理工程の煩雑性を惹起する、という不都合がある。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した状態で、前記シートを板状部材の外周より内側で切断することのできるシート切断装置及び切断方法を提供することにある。
前記板状部材とシートとの間に介装されるとともに、前記板状部材とシートとの間に所定の隙間を形成する隙間形成手段を含み、
前記隙間形成手段は、内側開放形状とされ、その内側開放端面の所定高さ位置に設けられた底部を含む段部を備え、前記内側開放形状に沿ってカッター刃を相対的に移動させることで前記シートを板状部材よりも小さく切断するとともに、前記底部が前記カッター刃の先端と板状部材との間に位置して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止する、という構成を採っている。
前記板状部材とシートとの間に介装されるとともに、前記板状部材とシートとの間に所定の隙間を形成する隙間形成手段を含み、
前記隙間形成手段は、内側開放形状とされ、その内側開放端面に、上端開放形状が下端開放形状よりも小さい段部を備え、前記内側開放形状に沿ってカッター刃を相対的に移動させることで前記シートを板状部材よりも小さく切断するとともに、前記段部が前記カッター刃の先端を受容して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止する、という構成を採っている。
内側開放形状を備え、その内側開放端面の所定高さ位置に設けられた底部を含む段部を有する隙間形成手段を前記板状部材に対面配置しておき、
当該隙間形成手段側にシートを供給して貼付し、
次いで、前記隙間形成手段の内側開放形状に沿ってカッター刃を用いてシートを切断することで、前記底部が前記カッター刃の先端と板状部材との間に位置して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止し、前記板状部材の大きさよりも小さい大きさにシートを切断する、という方法を採っている。
更に、本発明は、板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断方法において、
内側開放形状を備え、その内側開放端面に、上端開放形状が下端開放形状よりも小さい段部を有する隙間形成手段を前記板状部材に対面配置しておき、
当該隙間形成手段側にシートを供給して貼付し、
次いで、前記隙間形成手段の内側開放形状に沿ってカッター刃を用いてシートを切断することで、前記段部がカッター刃の先端を受容して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止し、前記板状部材の大きさよりも小さい大きさにシートを切断する、という方法を採っている。
更に、前記隙間形成手段の内側開放端面に切欠部を設けた構成では、当該切欠部にカッター刃の先端が受容されるので、カッター刃の先端が板状部材に接触してしまうおそれを確実に回避することができる。
また、前記カッター刃の移動方向に対する後部に押圧部材を設けた構成によれば、カッター刃によるシート切断後の未圧着領域を板状部材に押しつけることができるので、貼付不良を生ずることはない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
このような構成とした場合には、何らかの原因で刃12Bの差し込み深さに誤差が生じたとしても、ウエハWを傷つけることを確実に防止することができる、という効果が付加される。また、刃12Bの先端が段部30Bの底部に所定の押圧力で接しながらシートSを切断するようにしてもよい。
11 ロボット(保持手段)
12 カッター刃
12A 刃ホルダ
12B 刃
13 隙間形成手段
26 カメラ(刃先検査装置)
30 リング部材
30A 傾斜面
30B 段部
C1 隙間
S シート
S1 シート傾斜領域
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (5)
- 板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材の面に貼付した後に、保持手段に保持されたカッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断装置において、
前記板状部材とシートとの間に介装されるとともに、前記板状部材とシートとの間に所定の隙間を形成する隙間形成手段を含み、
前記隙間形成手段は、内側開放形状とされ、その内側開放端面の所定高さ位置に設けられた底部を含む段部を備え、前記内側開放形状に沿ってカッター刃を相対的に移動させることで前記シートを板状部材よりも小さく切断するとともに、前記底部が前記カッター刃の先端と板状部材との間に位置して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止することを特徴とするシート切断装置。 - 前記カッター刃の移動方向に対する後部に押圧部材が併設され、当該押圧部材は、前記カッター刃によるシート切断後の未圧着領域を押圧して前記板状部材に貼付することを特徴とする請求項1記載のシート切断装置。
- 板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材の面に貼付した後に、保持手段に保持されたカッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断装置において、
前記板状部材とシートとの間に介装されるとともに、前記板状部材とシートとの間に所定の隙間を形成する隙間形成手段を含み、
前記隙間形成手段は、内側開放形状とされ、その内側開放端面に、上端開放形状が下端開放形状よりも小さい段部を備え、前記内側開放形状に沿ってカッター刃を相対的に移動させることで前記シートを板状部材よりも小さく切断するとともに、前記段部が前記カッター刃の先端を受容して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止することを特徴とするシート切断装置。 - 板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断方法において、
内側開放形状を備え、その内側開放端面の所定高さ位置に設けられた底部を含む段部を有する隙間形成手段を前記板状部材に対面配置しておき、
当該隙間形成手段側にシートを供給して貼付し、
次いで、前記隙間形成手段の内側開放形状に沿ってカッター刃を用いてシートを切断することで、前記底部が前記カッター刃の先端と板状部材との間に位置して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止し、前記板状部材の大きさよりも小さい大きさにシートを切断することを特徴とするシート切断方法。 - 板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断方法において、
内側開放形状を備え、その内側開放端面に、上端開放形状が下端開放形状よりも小さい段部を有する隙間形成手段を前記板状部材に対面配置しておき、
当該隙間形成手段側にシートを供給して貼付し、
次いで、前記隙間形成手段の内側開放形状に沿ってカッター刃を用いてシートを切断することで、前記段部がカッター刃の先端を受容して切断時にシートを突き抜けるカッター刃の先端が前記板状部材に接触することを防止し、前記板状部材の大きさよりも小さい大きさにシートを切断することを特徴とするシート切断方法。
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