WO2006126441A1 - 電子部品用パッケージ、このパッケージを使用した電子部品、および電子部品用パッケージの製造方法 - Google Patents

電子部品用パッケージ、このパッケージを使用した電子部品、および電子部品用パッケージの製造方法 Download PDF

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WO2006126441A1
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electronic component
shield
resin
shield case
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PCT/JP2006/309911
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Inventor
Makoto Kitamura
Nihei Kaishita
Takeshi Takeda
Original Assignee
Murata Manufacturing Co., Ltd.
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K5/00Casings, cabinets or drawers for electric apparatus
    • H05K5/0091Housing specially adapted for small components
    • H05K5/0095Housing specially adapted for small components hermetically-sealed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/04Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
    • H01L23/053Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body
    • H01L23/055Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body the leads having a passage through the base
    • HELECTRICITY
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    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49861Lead-frames fixed on or encapsulated in insulating substrates
    • HELECTRICITY
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

Definitions

  • the present invention relates to a structure of an electronic component package in which a shield case is insert-molded and a manufacturing method thereof.
  • Patent Document 1 many electronic component packages use a terminal-integrated package in which a control signal terminal is integrally molded with a resin case.
  • This electronic component is a semiconductor device in which a main circuit block and a control circuit block are mounted on a terminal integrated package in which a resin case and a control signal terminal are integrally molded.
  • the terminal-integrated package manufacturing method uses a lead frame in which a large number of control signal terminals are interconnected with tie bars, and the outer lead part is the surface strength of the upper mold and lower mold of the resin case. After insert molding in the pulled out state, cut the tie bar.
  • a main circuit block and a control circuit block are incorporated into the terminal integrated package obtained as described above, and a semiconductor device is obtained by wire bonding.
  • there is no shield case in the package there is a problem that it is vulnerable to noise.
  • Patent Documents 2 and 3 disclose packages for electronic parts having a shield structure.
  • Patent Document 2 is an electronic component in which a shield case is attached to a circuit board having a circuit component mounted on an insulating substrate so as to cover the circuit component, and the hoop material is bent and covered to be shielded. A case is formed, and the shield case is attached to the circuit board.
  • the bottom side of the circuit board is not shielded at all, so the circuit components are only mounted on the top surface of the flat circuit board.
  • the solder runs up on the circuit board and There is a possibility that the mounted circuit components will short-circuit with the shield case.
  • a plurality of L-shaped hot terminals are insert molded at the side end of the resin molded article, and a metal shield plate is insert molded at the bottom of the resin molded article.
  • a metal shield case is covered from above, and the shield case is connected to a ground terminal extending from the shield plate to shield the whole.
  • the bottom surface side of the resin molded body is securely shielded by the shield plate, and a plurality of hot terminals and shield plates can be insert-molded collectively.
  • solder may run up when the hot terminal is mounted, causing a short circuit with the shield case.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 11-176992
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-299879
  • Patent Document 3 JP-A-4-286193
  • a preferred embodiment of the present invention is to provide an electronic component package that is excellent in shielding properties and can solve problems such as short-circuits with built-in components. Moreover, it is providing the electronic component using the said package for electronic components. Furthermore, it is providing the manufacturing method of the package for electronic components which can be manufactured with high precision and efficiency.
  • a preferred first embodiment according to the present invention is a shield case formed of a metal plate in a bottomed shape and having a through hole formed in the bottom thereof, and a molded case formed on the inner surface and the outer surface of the shield case. It is inserted into the shield case through the through hole and in a non-contact manner, with one end exposed on the inner surface of the resin case and the other end exposed on the outer surface of the resin case.
  • a package for an electronic component comprising a hot terminal insert-molded in the resin case.
  • a second preferred embodiment according to the present invention uses the electronic component package of the first embodiment, accommodates an electronic component element inside the resin case, and has an electrode portion of the resin case.
  • the electronic component is connected to one end of a hot terminal exposed on the inner surface, and the opening of the package is closed by a shield cover.
  • a third preferred embodiment of the present invention is a first embodiment in which a shield case having a bottomed shape and having a through hole formed in the bottom portion is integrally formed, and a burring portion is formed in a portion other than the shield case.
  • the lead frame and the second lead frame are overlapped, and a tie bar for connecting the hot terminal to the runner in the second lead frame is fixed by caulking to the burring portion of the first lead frame, and the tie bar is attached
  • the process of separating the lead frame force and the tie bar including the first caulking fixed first lead frame and the hot terminal are inserted into the mold.
  • a method for manufacturing an electronic component package comprising: a resin molding process so as to be exposed on an outer surface; and a process of separating a hot terminal from the tie bar and obtaining a package after the resin molding.
  • a bottomed shield case is insert-molded in a resin case, and a hot terminal is inserted into the resin case. Almost all of the inner and outer surfaces of the shield case are covered with grease.
  • the hot terminal is inserted into the shield case in a non-contact manner through a through hole formed in the bottom of the shield case, one end of the hot terminal is exposed on the inner surface of the grease case, and the other end is exposed on the outer surface of the grease case. Exposed. That is, one end of the hot terminal is located above the bottom of the shield case, and the other end is located below the bottom of the shield case.
  • the bottom surface and the side surface of the electronic component element are surrounded by the shield case, so that the shielding property is good and the inner surface of the shield case is covered with grease. Therefore, there is no fear of contact and short-circuit between the electronic component element and the shield case. Furthermore, since the resin case has a bottomed shape, that is, a side wall, it is possible to eliminate solder run-up defects when mounting electronic components.
  • the hot terminal is inserted through the bottom through hole of the shield case, The hot terminal can be pulled out of the case which hardly degrades the moldability. Since the hot terminals are insert-molded in a batch while maintaining the relative positional relationship with the shield case, the number of manufacturing processes can be reduced and the manufacturing cost can be reduced. Since oil is present, the problem of contact between the two can be solved.
  • a part or all of the upper end opening of the shield case is formed so as to expose the grease case force, and a shield cover is attached to the upper end opening of the resin case.
  • the shield cover can be structured to be electrically connected to the upper end opening of the shield case.
  • the bottom portion of the shield case is formed with an external terminal that is cut and raised outwardly and partly exposed on the outer surface of the grease case. It ’s good.
  • the external terminal for connecting the shield case to the ground potential is formed integrally with the shield case, the external terminal can be easily formed by cutting and lifting the bottom of the shield case outward.
  • an internal terminal that is cut and raised inward at the bottom of the shield case and a part thereof is exposed on the inner surface of the grease case.
  • the electronic component element can be easily connected to the ground potential via the shield case by connecting the ground portion of the electronic component element mounted inside the resin case to the internal terminal.
  • the electronic component element housed in the inside of the resin case is an infrared sensor
  • a part or all of the shield cover is made of Si. Since the Si plate has power conductivity that allows infrared light to pass through, it can reliably shield external electromagnetic noise. Therefore, all six surfaces of the infrared sensor can be shielded, and an infrared sensor with excellent noise resistance can be obtained.
  • the electronic component package according to the present invention When the electronic component package according to the present invention is manufactured, the electronic component package can be manufactured efficiently and with high accuracy by using the method of the third embodiment. That is, a shield case is integrally formed on the first lead frame, a second lead frame integrally formed with a hot terminal is superimposed on the first lead frame, and the hot terminal is connected to a runner in the second lead frame.
  • the tie bar is fixed by caulking to the first lead frame, and the tie bar is separated from the second lead frame force.
  • fixing by caulking insert the hot terminal into the shield case without contact with the through-hole force at the bottom of the shield case.
  • a burring portion is formed in advance on the first lead frame.
  • a tie bar including a first lead frame and a hot terminal fixed with caulking is inserted into a mold and molded with grease.
  • the shield case and the hot terminal are simultaneously insert-molded.
  • One end of the hot terminal is exposed on the inner surface of the resin-molded resin case, and the other end is exposed on the outer surface of the resin case.
  • the package according to a preferred embodiment of the present invention has a structure in which a resin is molded on the inner surface and the outer surface of a bottomed shield case.
  • the shielding performance against the element is good, and at the same time, it is possible to eliminate the short circuit between the built-in electronic component element and the shielding case.
  • the shield case and the hot terminal are connected so that the hot terminal penetrates the through hole of the shield case in a non-contact manner, one end is exposed on the inner surface of the resin case, and the other end is exposed on the outer surface of the resin case. Since the insert molding is performed with the relative position maintained, the shield case and hot The electronic component element housed inside the resin case that is unlikely to short-circuit with the terminal can be reliably pulled out of the shield case through the hot terminal.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of a bottom side force of an example of an electronic component package according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of the electronic component package shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view of a lead frame provided with a shield case and hot terminals for manufacturing an electronic component package.
  • FIG. 5 is a plan view of the lead frame shown in FIG.
  • FIG. 6 is a manufacturing process diagram of a cutting and caulking device cut along line VI-VI in FIG.
  • FIG. 7 is a perspective view of the lead frame after cutting and crimping.
  • 1 to 3 show an example of an electronic component that is useful in the present invention.
  • This electronic component shows an example of a surface-mount type infrared sensor device.
  • This sensor device includes a bottomed (cup-shaped) package 1, an infrared sensor S accommodated in the package 1, and a shield cover 30 attached to the upper end opening of the cage 1.
  • the knock case 1 includes a resin case 2, a shield case 10 insert-molded in the resin case 2, and a plurality (two in this case) of hot terminals 20.
  • the shield case 10 is formed in a bottomed shape (cup shape) with a metal plate, and the inner surface and outer surface thereof are covered with the resin 2.
  • the external terminal 11 is exposed at the bottom outer surface of the resin case 2 and the internal terminal 12 is exposed at the bottom inner surface of the resin case 2.
  • Two through holes 13 are formed at the bottom of the shield case 10 along the long side facing the external terminal 11.
  • the upper end opening 14 of the shield case 10 is made of grease. Force exposed at the upper surface of the upper end opening 3 of the screw 2 may not be exposed.
  • the hot terminal 20 is bent into a crank shape and is inserted into the through hole 13 of the shield case 10 in a non-contact manner.
  • One end 21 of the hot terminal 20 is exposed at the bottom inner surface of the resin case 2, and the other end 22 is It is exposed on the outer surface of the bottom of the grease case 2.
  • the hot terminal 20 is arranged ergonomically such that one end 21 and the other end 22 thereof have different heights with respect to the bottom of the shield case 10.
  • an infrared sensor S is accommodated with its sensing surface facing upward, and its input / output electrodes are connected to one end 21 of the hot terminal 20 exposed on the bottom inner surface of the resin case 2.
  • the grounding electrode is connected to the internal terminal 12 of the shield case 10!
  • the upper end opening of the knock 1 is closed by the shield cover 30.
  • the shield cover 30 is made of Si which has the property of absorbing infrared noise but absorbing electromagnetic noise.
  • the shield cover 30 is formed in the upper end opening 14 of the shield case 10 exposed in the upper end opening 3 of the resin case 2. Electrically connected. Therefore, the shield cover 30 is connected to the ground potential via the external terminal 11 together with the shield case 10.
  • the shield case 10 and the shield cover 30 substantially surround the entire six surfaces of the infrared sensor S, good shielding performance can be obtained.
  • the sensing surface of the infrared sensor S is made of Si, there is an advantage in that it is possible to provide a wide sensing area without having to make a hole for sensing in the shield cover 30 and at the same time secure shielding performance.
  • the material of the shield cover 30 is not limited to Si, but may be a metal plate provided with sensing holes.
  • first lead frame 40 in which the shield case 10 is integrally formed
  • second lead frame 50 in which the hot terminal 20 is integrally formed.
  • the first lead frame 40 is punched from a hoop material, and strip-shaped runners 41 are formed on both sides, and pilot holes 42 are formed in the runner 41 at regular pitch intervals.
  • a shield case 10 is formed in a connected state via a tie bar 43 !!
  • the shield case 10 is formed by deep drawing and has an external terminal 11, an internal terminal 12 and a through hole 13 at the bottom. Is formed.
  • the runner 41 is connected by another tie bar 44, and a plurality (two in this case) of burring portions 45 are formed on the tie bar 44.
  • Both the second lead frame 50 and the hoop material are punched, band-like runners 51 are formed on both sides, and pilot holes 52 are formed in the runner 51 at regular pitch intervals.
  • Hot terminals 20 are formed between the runners 51 via tie bars 53.
  • the tie bar 53 is formed with a fitting hole 54 corresponding to the burring portion 45.
  • the first lead frame 40 and the second lead frame 50 are arranged in an orthogonal direction as shown in FIG. 5, and are fixed by caulking using a caulking die 60 shown in FIG.
  • the caulking die 60 includes a first die (punch) 61 having a positioning pin 62, a second die (die) 63 having an opening hole 64 into which the first die 61 can be inserted, and a first lead.
  • a third mold 65 that supports the bottom surface of the frame 40 is provided.
  • the diameter of the positioning pin 62 is the same as or slightly larger than the outer diameter of the burring portion 45, and a tapered surface 62a is provided at the tip thereof.
  • the positioning pin 62 is passed through the through hole 61a of the first mold 61 so as to be movable up and down.
  • an annular groove 61b is formed for the burring portion 45 after crimping to enter.
  • the second lead frame 50 is disposed between the first mold 61 and the second mold 63, and the second mold 63 and the third mold 65 are arranged.
  • the first lead frame 40 is disposed between the two.
  • the first mold 61 is lowered, the second lead frame 50 is sandwiched between the first mold 61 and the second mold 63 as shown in FIG.
  • the lead frame 40 is sandwiched between the second mold 63 and the third mold 65.
  • the positioning pin 62 is inserted into the fitting hole 54 of the second lead frame 50, and the second lead frame 50 is positioned with respect to the first mold 61.
  • the first die 61, the second die 63, the third die 65, and the first lead frame 40 can be positioned relative to each other by positioning means (not shown).
  • the burring portion 45 is squeezed so as to spread out, and a part of the burring portion 45 is part of the first mold 61. It enters into the annular groove 61b. Thus, the cut portion 50a is fixed to the first lead frame 40.
  • FIG. 7 shows the first lead frame 40 with the cut portion 50a fixed by caulking.
  • the cut portion 50a is separated from the second lead frame 50 in a state where the tie bar 53 is integrally connected to the hot terminal 20. Therefore, the one end 21 of the hot terminal 20 is inserted into the through hole 13 of the shield case 10 without contact.
  • the first lead frame 40 to which the hot terminal 20 is coupled is set in a molding die, and the insert mode is performed.
  • the package 1 shown in FIG. 1 to FIG. 3 is cut by an appropriate means after the insert molding or simultaneously with the insert molding by cutting the hot terminal 20 and the tie bar 43 connecting the shield case 10 to the first lead frame 40. Can be obtained.
  • the shield case 10 and the hot terminal 20 are supplied in a lead frame state (hoop material), and these are caulked. Since it is fixed and inserted into a molding die while maintaining the relative relationship, insert molding is performed, so that each part does not become disjoint, productivity is improved, and dimensional accuracy can be easily obtained.
  • a burring portion 45 is formed in the first lead frame 40 for fixing by force, and the burring portion 45 is fitted into the fitting hole 54 of the second lead frame 50 to be caulked. This eliminates the need for special parts and reduces costs.
  • the external terminal 11 and the internal terminal 12 are integrally formed by cutting and raising the shield case 10, but these terminals can be omitted. Further, another terminal may be fixed to the shield case 10 as the external terminal 11 or the internal terminal 12.
  • the knocking according to the present invention The electronic component element accommodated in the inside is not limited to the infrared sensor, but can be used for any electronic part! /.

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Description

明 細 書
電子部品用パッケージ、このパッケージを使用した電子部品、および電子 部品用パッケージの製造方法
技術分野
[0001] 本発明は、シールドケースをインサートモールドした電子部品用パッケージの構造お よびその製造方法に関するものである。
背景技術
[0002] 一般に電子部品用パッケージは、特許文献 1に示されるように、榭脂ケースに制御信 号端子を一体にインサート成形した端子一体型パッケージを用いたものが多い。この 電子部品は、榭脂ケースと制御信号端子を一体にインサート成形した端子一体型パ ッケージに、主回路ブロックと制御回路ブロックとを実装した半導体装置である。端子 一体型パッケージの製造方法は、制御信号端子を多数本の端子間をタイバーで相 互連結したリードフレームとし、そのァウタリード部を榭脂ケースの成形金型の上型と 下型の合わせ面力 引き出した状態でインサート成形した後、タイバーをカットするこ とにより行う。上記のようにして得られた端子一体型パッケージに主回路ブロックと制 御回路ブロックとを組み込み、ワイヤボンディングして半導体装置を得る。しかしなが ら、パッケージにシールドケースが配置されていないので、ノイズに弱いという問題が ある。
[0003] シールド構造を持つ電子部品用パッケージとして、特許文献 2, 3に記載のものがあ る。
[0004] 特許文献 2は、絶縁基板上に回路構成部品を搭載した回路基板に、回路構成部品 を被覆するようにシールドケースを取り付けた電子部品であって、フープ材を曲げカロ ェしてシールドケースを形成し、このシールドケースを回路基板に被せて取り付ける ように構成している。
ところが、このパッケージ構造では、回路基板の底面側が何らシールドされていない ので、ノイズに対して弱ぐしカゝも回路構成部品が平板状の回路基板の上面に搭載さ れているに過ぎないので、リフロー半田の際に半田が回路基板上に駆け上がり、搭 載された回路構成部品がシールドケースとショートする可能性がある。
[0005] 特許文献 3の図 5では、榭脂成形体の側端部に複数の L型ホット端子をインサートモ 一ルドするとともに、榭脂成形体の底部に金属製のシールド板をインサートモールド し、その上から金属製シールドケースを被せ、シールドケースをシールド板から延び る接地端子に接続することで全体をシールドするものが開示されている。この場合に は、榭脂成形体の底面側がシールド板によって確実にシールドされ、し力も複数のホ ット端子およびシールド板を一括でインサートモールドできる利点がある。しかし、ホッ ト端子とシールドケースとが近接しているため、ホット端子の実装時にはんだが駆け 上がり、シールドケースとショートする恐れがある。
特許文献 1:特開平 11— 176992号公報
特許文献 2:特開 2002— 299879号公報
特許文献 3 :特開平 4— 286193号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] そこで、本発明の好ま 、実施形態の目的は、シールド性に優れ、かつ内蔵部品と のショートといった不具合を解消できる電子部品用パッケージを提供することにある。 また、上記電子部品用パッケージを用いた電子部品を提供することにある。さらに、 高精度にかつ効率よく製造できる電子部品用パッケージの製造方法を提供すること にある。
課題を解決するための手段
[0007] 本発明に係る好ましい第 1実施形態は、金属板により有底形状に形成され、その底 部に貫通穴が形成されたシールドケースと、上記シールドケースの内面および外面 にモールドされた有底形状の榭脂ケースと、上記貫通穴を介してシールドケース内 に非接触で挿入され、一端部が上記榭脂ケースの内面に露出し、他端部が上記榭 脂ケースの外面に露出するように、上記榭脂ケース内にインサートモールドされたホ ット端子と、を備えたことを特徴とする電子部品用パッケージである。
[0008] 本発明に係る好ましい第 2実施形態は、第 1実施形態の電子部品用パッケージを使 用し、上記榭脂ケースの内部に電子部品素子を収容し、その電極部を榭脂ケースの 内面に露出したホット端子の一端部に接続するとともに、上記パッケージの開口部が シールドカバーで閉じられていることを特徴とする電子部品である。
[0009] 本発明に係る好ましい第 3実施形態は、有底形状でかつ底部に貫通穴が形成され たシールドケースを一体に形成するとともに、上記シールドケース以外の部位にバー リング部を形成した第 1リードフレームを準備する工程と、ホット端子を一体に形成し た第 2リードフレームを準備する工程と、上記ホット端子が上記貫通穴を介してシー ルドケース内に非接触で挿入されるように第 1リードフレームと第 2リードフレームとを 重ね合わせ、上記ホット端子を上記第 2リードフレーム内のランナーに連結するため のタイバーを第 1リードフレームのバーリング部にカシメ固定するとともに、上記タイバ 一を第 2リードフレーム力も分離する工程と、上記カシメ固定された第 1リードフレーム および上記ホット端子を含むタイバーを金型に挿入し、上記シールドケースの内面お よび外面に榭脂モールドする工程であって、上記ホット端子の一端部が榭脂モール ドされた榭脂ケースの内面に露出し、他端部が榭脂ケースの外面に露出するように 榭脂モールドする工程と、榭脂モールド後、上記タイバーからホット端子のみを分離 してパッケージを得る工程と、を備えた電子部品用パッケージの製造方法である。
[0010] 本発明の第 1実施形態に係る電子部品用パッケージでは、榭脂ケースに有底形状 のシールドケースをインサートモールドするとともに、その榭脂ケースにホット端子をィ ンサートモ一ルドする。シールドケースの内面および外面のほぼ全面が榭脂で覆わ れている。ホット端子は、シールドケースの底部に形成された貫通穴を介してシール ドケース内に非接触で挿入され、その一端部が榭脂ケースの内面に露出し、他端部 が榭脂ケースの外面に露出している。つまり、ホット端子の一端部はシールドケース の底部より上方に位置し、他端部はシールドケースの底部より下方に位置して 、る。
[0011] このパッケージの中に電子部品素子を実装すれば、電子部品素子の底面および側 面がシールドケースで囲まれるので、シールド性が良好であるとともに、シールドケー スの内面が榭脂で覆われて 、るので、電子部品素子とシールドケースとの接触 ·ショ ートの恐れがない。さらに、榭脂ケースが有底形状つまり側壁を有するため、電子部 品の実装時の半田の駆け上がり不良をなくすことができる。
また、ホット端子はシールドケースの底部貫通穴を介して挿入されているので、シー ルド性を殆ど低下させることがなぐケース外部へホット端子を引き出すことができる。 し力も、ホット端子がシールドケースと相対位置関係を維持した状態で一括してイン サートモールドされるので、製造工程数を削減でき、製造コストを抑えることができると ともに、両者の間には榭脂が介在するので、両者が接触するという問題を解消できる
[0012] 本発明の好ま 、実施の形態によれば、シールドケースの上端開口部の一部または 全部が榭脂ケース力 露出するように形成され、榭脂ケースの上端開口部にシール ドカバーが装着され、シールドカバーはシールドケースの上端開口部と電気的に接 続されている構造とすることができる。この場合は、シールドケースとシールドカバーと によって、ケースの内部に収容される電子部品素子の 6面全面を取り囲むことができ るので、より良好なシールド性を得ることができる。
[0013] 他の好ましい実施の形態によれば、シールドケースの底部には、外側に向力つて切り 起こされ、一部が榭脂ケースの外面に露出した外部端子が形成されている構造とす るのがよ 、。シールドケースをアース電位に接続するための外部端子をシールドケー スに一体に形成する場合、シールドケースの底部を外側に向力つて切り起こせば、 簡単に外部端子を形成できる。
[0014] さらに他の好ましい実施の形態によれば、シールドケースの底部に、内側に向力つて 切り起こされ、一部が榭脂ケースの内面に露出した内部端子を形成することもできる 。この場合には、榭脂ケースの内部に実装される電子部品素子のアース部をこの内 部端子に接続することで、電子部品素子をシールドケースを介してアース電位に簡 単に接続できる。
[0015] 榭脂ケースの内部に収容される電子部品素子が赤外線センサの場合には、シールド カバーの一部または全部が Siで形成されて 、るのがよ 、。 Si板は赤外線を通過させ る力 導電性を有するので、外部の電磁波ノイズを確実にシールドできる。そのため、 赤外線センサの 6面すべてをシールドでき、耐ノイズ性に優れた赤外線センサを得る ことができる。
[0016] 金属製シールドカバーを赤外線センサの上力 被せる方式の場合、シールドカバー にセンシング用の穴をあける必要があり、シールド性が低下するとともに、センシング 領域が穴の開口径に限られ、狭くなるという問題がある。これに対し、シールドカバー 全体を Siで形成すれば、シールドカバーにセンシング用の穴を開ける必要がなぐセ ンシング領域を広く取れると同時に、シールド性を確保できると!、う利点がある。
[0017] 本発明にかかる電子部品用パッケージを製造する場合に、第 3実施形態の方法を用 いることで、効率よくかつ精度の高い電子部品用パッケージを製造できる。すなわち 、第 1リードフレームにシールドケースを一体に形成し、この第 1リードフレームにホット 端子を一体に形成した第 2リードフレームを重ね合わせ、ホット端子を第 2リードフレ ーム内のランナーに連結するためのタイバーを第 1リードフレームにカシメ固定すると ともに、タイバーを第 2リードフレーム力も分離する。カシメ固定に際して、ホット端子を シールドケースの底部の貫通穴力もシールドケース内に非接触で挿入する。カシメ 固定するために、第 1リードフレームに予めバーリング部を形成しておく。次に、カシメ 固定された第 1リードフレームおよびホット端子を含むタイバーを金型に挿入し、榭脂 モールドする。このとき、シールドケースとホット端子が同時にインサートモールドされ る。ホット端子の一端部は榭脂モールドされた樹脂ケースの内面に露出し、他端部は 榭脂ケースの外面に露出する。榭脂モールド後、タイバー力 ホット端子のみを分離 してパッケージを得ることができる。
[0018] 上記のように、第 1リードフレームにホット端子の周辺部分 (タイバー)をカシメ固定す ることで、シールドケースとホット端子との相対位置関係を維持し、この状態のまま金 型に挿入してインサートモールドするので、寸法精度の高い電子部品用パッケージ を効率よく製造することができる。
発明の効果
[0019] 以上の説明のように、本発明の好ましい実施形態によるパッケージは、有底形状のシ 一ルドケースの内面および外面に榭脂がモールドされた構造となっているので、内蔵 される電子部品素子に対するシールド性が良好であると同時に、内蔵される電子部 品素子とシールドケースとのショートといった不具合を解消できる。また、ホット端子が シールドケースの貫通穴を非接触で貫通し、一端部が榭脂ケースの内面に露出し、 他端部が榭脂ケースの外面に露出するように、シールドケースとホット端子とを相対 関係位置を維持した状態でインサートモールドしてあるので、シールドケースとホット 端子とがショートする恐れがなぐ榭脂ケースの内部に収容される電子部品素子をホ ット端子を介してシールドケースの外部へ確実に引き出すことができる。
図面の簡単な説明
[0020] [図 1]本発明にかかる電子部品用パッケージの一例の底面側力も見た斜視図である
[図 2]図 1に示す電子部品用パッケージの平面図である。
[図 3]図 2の III III線断面図である。
[図 4]電子部品用パッケージを製造するためのシールドケースおよびホット端子を設 けたリードフレームの斜視図である。
[図 5]図 4に示すリードフレームの平面図である。
[図 6]図 5の VI— VI線で切断した切断'カシメ装置の製造工程図である。
[図 7]切断カシメ後のリードフレームの斜視図である。
発明を実施するための最良の形態
[0021] 以下に、本発明の実施の形態を、実施例を参照して説明する。
実施例 1
[0022] 図 1〜図 3は、本発明に力かる電子部品の一例を示す。
この電子部品は、表面実装型の赤外線センサ装置の例を示す。このセンサ装置は、 有底形状 (カップ形状)のパッケージ 1と、その中に収容される赤外線センサ Sと、ノ¾ ケージ 1の上端開口部に装着されるシールドカバー 30とで構成されている。
[0023] ノ ッケージ 1は、榭脂ケース 2と、榭脂ケース 2にインサートモールドされたシールドケ ース 10および複数 (ここでは 2本)のホット端子 20とで構成されて 、る。シールドケー ス 10は、金属板により有底形状 (カップ形状)に形成されており、その内面および外 面が榭脂 2で覆われている。シールドケース 10の底部には、長辺に沿って下方に向 力つて切り起こされた 2個の外部端子 11と、短辺に沿って上方に向力つて切り起こさ れた 1個の内部端子 12とが形成されており、外部端子 11は榭脂ケース 2の底部外面 に露出し、内部端子 12は榭脂ケース 2の底部内面に露出している。シールドケース 1 0の底部であって、外部端子 11と対向する長辺に沿った位置には、 2個の貫通穴 13 が形成されている。この実施例では、シールドケース 10の上端開口部 14が榭脂ケ一 ス 2の上端開口部 3の上面に露出している力 露出していなくてもよい。
[0024] ホット端子 20はクランク形状に折り曲げられており、シールドケース 10の貫通穴 13に 非接触で挿通され、その一端部 21が榭脂ケース 2の底部内面に露出し、他端部 22 が榭脂ケース 2の底部外面に露出している。すなわち、ホット端子 20は、その一端部 21および他端部 22がシールドケース 10の底部に対して異なる高さになるように、立 体的に配置されている。
[0025] パッケージ 1の内部には、赤外線センサ Sがそのセンシング面を上側に向けて収容さ れ、その入出力用電極が榭脂ケース 2の底部内面に露出したホット端子 20の一端部 21に接続され、アース用電極がシールドケース 10の内部端子 12に接続されて!、る 。ノ ッケージ 1の上端開口部はシールドカバー 30によって閉じられている。この実施 例のシールドカバー 30は、赤外線は通過するが電磁ノイズを吸収する性質を持つ Si によって形成されており、榭脂ケース 2の上端開口部 3に露出したシールドケース 10 の上端開口部 14に電気的に接続されている。そのため、シールドカバー 30は、シー ルドケース 10とともに外部端子 11を介してアース電位に接続される。
[0026] 上記のようにシールドケース 10およびシールドカバー 30によって赤外線センサ Sの 周囲 6面のほぼ全域が囲まれているので、良好なシールド性能を得ることができる。 し力も、赤外線センサ Sのセンシング面を Siで形成すれば、シールドカバー 30にセン シング用の穴を開ける必要がなぐセンシング領域を広く取れると同時に、シールド性 を確保できると ヽぅ利点がある。
なお、シールドカバー 30の材質は Siに限るものではなぐ金属板にセンシング用の 穴を設けたものでもよい。
[0027] 次に、上記構成よりなるパッケージ 1の製造方法を図 4〜図 6にしたがって説明する。
図 4,図 5は、シールドケース 10を一体形成した第 1リードフレーム 40と、ホット端子 2 0を一体形成した第 2リードフレーム 50とを示す。第 1リードフレーム 40は、フープ材 から打ち抜かれたものであり、両側部に帯状のランナー 41が形成され、ランナー 41 にはパイロット穴 42が一定ピッチ間隔で形成されている。ランナー 41の間にはタイバ 一 43を介してシールドケース 10が連結状態で形成されて!、る。シールドケース 10は 深絞り加工で形成され、その底部には外部端子 11、内部端子 12および貫通穴 13が 形成されている。ランナー 41は別のタイバー 44によって連結されており、このタイバ 一 44には複数 (ここでは 2個)のバーリング部 45が形成されている。
[0028] 第 2リードフレーム 50もフープ材カも打ち抜かれたものであり、両側部に帯状のラン ナー 51が形成され、ランナー 51にはパイロット穴 52が一定ピッチ間隔で形成されて いる。ランナー 51の間にはタイバー 53を介してホット端子 20がー体形成されている。 タイバー 53には、上記バーリング部 45と対応する嵌合穴 54が形成されている。
[0029] 第 1リードフレーム 40と第 2リードフレーム 50は、図 5に示すように直交方向に配置さ れ、図 6に示すカシメ金型 60を用いてカシメ固定される。カシメ金型 60は、位置決め ピン 62を有する第 1金型 (パンチ) 61と、第 1金型 61を挿入可能な開口穴 64を有す る第 2金型 (ダイス) 63と、第 1リードフレーム 40の底面を支える第 3金型 65とを備え ている。位置決めピン 62の直径はバーリング部 45の外径と同一あるいはそれより僅 かに大径であり、その先端にテーパ面 62aが設けられている。位置決めピン 62は第 1 金型 61の揷通穴 61aに上下に移動可能に揷通されている。揷通穴 61aの下端開口 部の周囲には、カシメ後のバーリング部 45が入り込むための環状溝 61bが形成され ている。
[0030] 図 6の(a)に示すように、まず第 1金型 61と第 2金型 63との間に第 2リードフレーム 50 を配置し、第 2金型 63と第 3金型 65との間に第 1リードフレーム 40を配置する。次に 、第 1金型 61を降下させると、図 6の(b)のように、第 2リードフレーム 50が第 1金型 61 と第 2金型 63との間に挟まれると共に、第 1リードフレーム 40が第 2金型 63と第 3金型 65との間に挟まれる。そして、位置決めピン 62が第 2リードフレーム 50の嵌合穴 54 に挿入され、第 2リードフレーム 50が第 1金型 61に対して位置決めされる。なお、第 1 金型 61、第 2金型 63、第 3金型 65、および第 1リードフレーム 40の相互の位置決め は図示しない位置決め手段によって実施できる。
[0031] さらに第 1金型 61を降下させると、図 6の(c)のように、第 1金型 61と第 2金型 63との 間で第 2リードフレーム 50から一部 50aがカットされ、カットされた部分 50aは第 1金型 61と一緒に開口穴 64の中を降下する。このとき、カット部分 50aは嵌合穴 54に位置 決めピン 62が嵌合した状態のまま降下するので、位置ずれを起こすことがない。そし て、位置決めピン 62の先端テーパ面 62aが第 1リードフレーム 40のバーリング部 45 に嵌合する。
[0032] ひき続いて第 1金型 61を降下させると、図 6の(d)のように、カット部分 50aの嵌合穴 5 4が位置決めピン 62によってガイドされてバーリング部 45に嵌合し、カット部分 50aは 第 1金型 61で押されて第 1リードフレーム 40の上面に密着する。
[0033] ここで、位置決めピン 62だけを下方に押し込むと、図 6の(e)のように、バーリング部 4 5は押し広げるようにカシメられ、バーリング部 45の一部が第 1金型 61の環状溝 61b に入り込む。こうしてカット部分 50aは第 1リードフレーム 40に対して固定される。
[0034] その後、第 1〜第 3金型 61, 63, 65を型開きすると、図 6の (f)のように、上面にカット 部分 50aをカシメ固定した第 1リードフレーム 40を取り出すことができる。図 7はカット 部分 50aをカシメ固定した第 1リードフレーム 40を示す。上記カット部分 50aは、図 7 に示すように、第 2リードフレーム 50からタイバー 53をホット端子 20と一体に連結した 状態で分離したものである。そのため、ホット端子 20の一端部 21はシールドケース 1 0の貫通穴 13に非接触で挿入されて!ヽる。
[0035] ホット端子 20を結合した第 1リードフレーム 40を成形金型にセットし、インサートモー ルドを実施する。インサートモールド後あるいはインサートモールドと同時に、ホット端 子 20とシールドケース 10を第 1リードフレーム 40に連結しているタイバー 43とを適宜 手段によってカットすることで、図 1〜図 3に示したパッケージ 1を得ることができる。
[0036] 上記のようにシールドケース 10とホット端子 20と力もなる複合部品をインサートモー ルドするに際し、シールドケース 10とホット端子 20とをそれぞれリードフレーム状態( フープ材)で供給し、これらをカシメ固定し、その相対関係を維持したまま成形金型に 挿入してインサートモールドするので、各部品がばらばらにならずに済み、生産性が 向上するとともに、寸法精度を容易に出すことができる。また、力しめ固定のために第 1リードフレーム 40にバーリング部 45を形成しておき、このバーリング部 45を第 2リー ドフレーム 50の嵌合穴 54に嵌合させてカシメるので、固定用の専用部品が不要にな り、低コストになるという利点がある。
[0037] 上記実施例では、シールドケース 10に外部端子 11や内部端子 12を切り起こしによ つて一体形成したが、これら端子は省略可能である。また、外部端子 11や内部端子 12として、別端子をシールドケース 10に固定してもよい。本発明にかかるノ ッケージ 内に収容される電子部品素子としては、赤外線センサに限らず、あらゆる電子部 用!/、ることができる。

Claims

請求の範囲
[1] 金属板により有底形状に形成され、その底部に貫通穴が形成されたシールドケース と、
上記シールドケースの内面および外面にモールドされた有底形状の榭脂ケースと、 上記貫通穴を介してシールドケース内に非接触で挿入され、一端部が上記榭脂ケ一 スの内面に露出し、他端部が上記榭脂ケースの外面に露出するように、上記榭脂ケ ース内にインサートモールドされたホット端子と、を備えたことを特徴とする電子部品 用ノヽッケーン。
[2] 上記シールドケースの上端開口部の一部または全部が上記榭脂ケース力も露出す るように形成され、
上記榭脂ケースの上端開口部にシールドカバーが装着され、
上記シールドカバーは上記シールドケースの上端開口部と電気的に接続されて 、る ことを特徴とする請求項 1に記載の電子部品用パッケージ。
[3] 上記シールドケースの底部には、外側に向力つて切り起こされ、一部が榭脂ケースの 外面に露出した外部端子が形成されていることを特徴とする請求項 1または 2に記載 の電子部品用パッケージ。
[4] 上記シールドケースの底部には、内側に向力つて切り起こされ、一部が榭脂ケースの 内面に露出した内部端子が形成されて 、ることを特徴とする請求項 1な 、し 3の ヽず れかに記載の電子部品用パッケージ。
[5] 請求項 1ないし 4のいずれかに記載の電子部品用パッケージを使用し、
上記榭脂ケースの内部に電子部品素子を収容し、その電極部を榭脂ケースの内面 に露出したホット端子の一端部に接続するとともに、
上記パッケージの開口部がシールドカバーで閉じられて 、ることを特徴とする電子部
P
PPo
[6] 上記シールドケースの底部には、内側に向力つて切り起こされ、一部が榭脂ケースの 内面に露出した内部端子が形成され、
上記電子部品素子には、上記内部端子と接続された電極部が設けられていることを 特徴とする請求項 5に記載の電子部品。
[7] 上記電子部品素子は赤外線センサであり、
上記シールドカバーの一部または全部が Siで形成されていることを特徴とする請求 項 5または 6に記載の電子部品。
[8] 有底形状でかつ底部に貫通穴が形成されたシールドケースを一体に形成するととも に、上記シールドケース以外の部位にバーリング部を形成した第 1リードフレームを 準備する工程と、
ホット端子を一体に形成した第 2リードフレームを準備する工程と、
上記ホット端子が上記貫通穴を介してシールドケース内に非接触で挿入されるように 第 1リードフレームと第 2リードフレームとを重ね合わせ、上記ホット端子を上記第 2リ ードフレーム内のランナーに連結するためのタイバーを第 1リードフレームのバーリン グ部にカシメ固定するとともに、上記タイバーを第 2リードフレーム力も分離する工程と 上記カシメ固定された第 1リードフレームおよび上記ホット端子を含むタイバーを金型 に挿入し、上記シールドケースの内面および外面に榭脂モールドする工程であって 、上記ホット端子の一端部が榭脂モールドされた樹脂ケースの内面に露出し、他端 部が榭脂ケースの外面に露出するように榭脂モールドする工程と、
榭脂モールド後、上記タイバー力 ホット端子のみを分離してパッケージを得る工程 と、を備えた電子部品用パッケージの製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010063813A1 (de) 2009-12-28 2011-06-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elektronikkomponentenvorrichtung und Leitungsrahmen
DE102010063889A1 (de) 2009-12-28 2011-06-30 Murata Manufacturing Co. Ltd., Kyoto Elektronikkomponentenunterbringungsgehäuse-Leitungsrahmen
KR101420015B1 (ko) 2011-10-25 2014-07-15 니혼 고꾸 덴시 고교 가부시끼가이샤 반도체 장치용 패키지의 집합체, 반도체 장치의 집합체, 반도체 장치의 제조 방법

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8780004B1 (en) 2012-01-31 2014-07-15 Western Digital Technologies, Inc. Dual configuration enclosure with optional shielding
JP5465288B2 (ja) * 2012-08-08 2014-04-09 Necトーキン株式会社 赤外線センサ
US9515009B2 (en) * 2015-01-08 2016-12-06 Texas Instruments Incorporated Packaged semiconductor device having leadframe features preventing delamination
WO2016114114A1 (ja) * 2015-01-15 2016-07-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 センサ
JP6704126B2 (ja) * 2015-12-17 2020-06-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 接続構造体
US10446309B2 (en) 2016-04-20 2019-10-15 Vishay Dale Electronics, Llc Shielded inductor and method of manufacturing
CN113091921A (zh) * 2021-03-26 2021-07-09 瓷金科技(河南)有限公司 贴片式传感器用封装管壳及使用该管壳的贴片式传感器

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6448450A (en) * 1987-08-19 1989-02-22 Fujitsu Ltd Package for semiconductor device
JPH01138739A (ja) * 1987-11-25 1989-05-31 Nec Corp 集積回路パッケージ
JPH03270178A (ja) * 1990-03-20 1991-12-02 Murata Mfg Co Ltd 赤外線センサ
JPH0428446U (ja) * 1990-06-29 1992-03-06
JPH0482254A (ja) * 1990-07-25 1992-03-16 Shinko Electric Ind Co Ltd 電子部品用パッケージの製造方法
JPH0428446B2 (ja) 1986-01-14 1992-05-14 Kawasaki Seitetsu Kk
JPH04286193A (ja) 1991-03-14 1992-10-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波部品
JPH06275741A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Toppan Printing Co Ltd 半導体装置
JPH07321254A (ja) * 1994-05-25 1995-12-08 Nec Corp 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
US5650659A (en) * 1995-08-04 1997-07-22 National Semiconductor Corporation Semiconductor component package assembly including an integral RF/EMI shield
JP2002299879A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Kyocera Corp 電子部品の製造方法
JP2003115578A (ja) * 2001-10-05 2003-04-18 Canon Inc 不揮発固体磁気メモリ装置、該不揮発固体磁気メモリ装置の製造方法およびマルチ・チップ・パッケージ
JP2005123237A (ja) * 2003-10-14 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd カバーの製造方法とこれを用いたモジュール

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4680617A (en) * 1984-05-23 1987-07-14 Ross Milton I Encapsulated electronic circuit device, and method and apparatus for making same
JPS6448450U (ja) 1987-09-21 1989-03-24
JPH0428446A (ja) 1990-05-21 1992-01-31 Kubota Corp アルミニウム製のフランジ付薄肉円筒体の成形方法
JPH04252053A (ja) * 1991-01-28 1992-09-08 Toshiba Corp 電子部品
JPH11176992A (ja) 1997-12-15 1999-07-02 Fuji Electric Co Ltd 半導体装置
US6686653B2 (en) * 2000-06-28 2004-02-03 Institut National D'optique Miniature microdevice package and process for making thereof

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0428446B2 (ja) 1986-01-14 1992-05-14 Kawasaki Seitetsu Kk
JPS6448450A (en) * 1987-08-19 1989-02-22 Fujitsu Ltd Package for semiconductor device
JPH01138739A (ja) * 1987-11-25 1989-05-31 Nec Corp 集積回路パッケージ
JPH03270178A (ja) * 1990-03-20 1991-12-02 Murata Mfg Co Ltd 赤外線センサ
JPH0428446U (ja) * 1990-06-29 1992-03-06
JPH0482254A (ja) * 1990-07-25 1992-03-16 Shinko Electric Ind Co Ltd 電子部品用パッケージの製造方法
JPH04286193A (ja) 1991-03-14 1992-10-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波部品
JPH06275741A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Toppan Printing Co Ltd 半導体装置
JPH07321254A (ja) * 1994-05-25 1995-12-08 Nec Corp 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
US5650659A (en) * 1995-08-04 1997-07-22 National Semiconductor Corporation Semiconductor component package assembly including an integral RF/EMI shield
JP2002299879A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Kyocera Corp 電子部品の製造方法
JP2003115578A (ja) * 2001-10-05 2003-04-18 Canon Inc 不揮発固体磁気メモリ装置、該不揮発固体磁気メモリ装置の製造方法およびマルチ・チップ・パッケージ
JP2005123237A (ja) * 2003-10-14 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd カバーの製造方法とこれを用いたモジュール

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1885171A4 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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DE102010063889A1 (de) 2009-12-28 2011-06-30 Murata Manufacturing Co. Ltd., Kyoto Elektronikkomponentenunterbringungsgehäuse-Leitungsrahmen
JP2011138921A (ja) * 2009-12-28 2011-07-14 Murata Mfg Co Ltd 電子部品装置及びリードフレーム
KR101420015B1 (ko) 2011-10-25 2014-07-15 니혼 고꾸 덴시 고교 가부시끼가이샤 반도체 장치용 패키지의 집합체, 반도체 장치의 집합체, 반도체 장치의 제조 방법

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