JP6704126B2 - 接続構造体 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1におけるセンサ701の分解斜視図である。実施の形態1におけるセンサ701は印加された加速度を検出する加速度センサである。センサ701は、センサチップ4100と、センサチップ4100からの出力に基づいて各種の演算を行う集積回路4200と、センサチップ4100と集積回路4200とを配置するためのパッケージ4300と、パッケージ4300から引き出される端子4400と、パッケージ4300から引き出されるリード4402と、パッケージ4300の上面を覆う蓋4600とを備える。実施の形態1では集積回路4200は特定用途向け集積回路(ASIC)である。
実施の形態2におけるセンサは、図1から図7に示す実施の形態1におけるセンサ701と同様に、基板402a、402bとセンサ基板401とを有するセンサチップ4100を備える。図9は実施の形態2におけるセンサチップ4100の上面図である。
実施の形態3におけるセンサ701では、固定電極433aと柱状電極435aが電気的に接続されている。
図13は、実施の形態1におけるセンサ701とほぼ同じ構造を有する実施の形態4におけるセンサ702の拡大図である。図14は、図13に示すセンサ702の拡大図であり、領域R409を示す。実施の形態4におけるセンサ702は図1から図7に示す実施の形態1におけるセンサ701と基本的に同じ構造を有する。
図15は実施の形態5におけるセンサ1000の斜視図である。センサ1000はパッケージ5300と、パッケージ5300を覆う蓋とを備える。図15では、パッケージ5300の蓋は図示されていない。パッケージ5300は、センサチップ5100と、センサチップ5100からの出力に基づいて各種の演算を行う集積回路5200と、が搭載されている。実施の形態5では、センサ1000は加速度を検出する加速度センサであり、集積回路5200は特定用途向け集積回路(ASIC)である。
図24Aは、基準状態でのセンサ1000の主軸であるX軸の方向の加速度を示すX検出部510の出力を示し、図24Bは他軸であるZ軸の方向の加速度を示すZ検出部530の出力を示す。図24Cは主軸であるX軸の方向の加速度を検出するX検出部510の断面図である。図中に示される直線O511、O521は理想的な出力を示し、曲線O512、O522は実際の出力を示している。すなわち、理想的なセンサでは、印加する加速度に対して出力が比例するが、実際の出力には誤差が含まれる。そのため、印加する加速度に対して出力が比例する線形領域E501内の出力だけを使用してもよく、線形領域E501の外の出力を集積回路5200で補正してもよい。
図25Aは補正状態での主軸であるX軸の加速度を示すX検出部510の出力を示し、図25Bは補正状態での他軸であるZ軸の加速度を示すZ検出部530の出力を示す。図25Cは補正状態でのX検出部510の断面図である。補正状態では、図25Bに示すように、他軸からの影響が比較的大きい。そのため、図25Aに示すように、主軸の出力を示す曲線O513と理想的な出力を示す直線O511との差が基準状態の場合に比べて大きい。
Xout2= Xout1/(1−AGCcode×Zout)・・・(式1)
比較例の補正回路は、補正係数(1/(1−AGCcode×Zout))を変更することで出力Xout1を補正する。具体的には、出力Zoutが正のとき出力Xout1が増幅され、出力Zoutが負のとき出力Xout1が減衰されるように、出力Xout1を線形に補正する。
Xout2=Xout1/(1−AGCcode×Zout×W501) (Zout>0) ・・・(式2)
Xout2=Xout1/(1−AGCcode×Zout×W502) (Zout≦0) ・・・(式3)
重み付けするための変数W501、W502は補正係数を重み付けするための変数であり、以下のように決定される。
Xout21=Xout1/(1−AGCcode1×Zout) ・・・(式4)
図29Aは式4で得られたX検出部510の出力特性を示す。
Xout22=Xout21/(1+|AGCcode2×Zout|) ・・・(式5)
式4、式5により、式3と同様に、他軸の方向の加速度による主軸の方向の加速度を示す出力への影響を緩和し、主軸の出力特性を改善することができる。図29Bは式5を用いて補正した出力Xout22の出力特性を示す。
402a 基板(第1の基板)
402b 基板(第2の基板)
403 接続部
410 X検出部
410a 矩形枠
411 可動電極
412a,412b ビーム部
413a,413b 固定電極
414a,414b 貫通電極
420 Y検出部
420a 矩形枠
421 可動電極
422a,422b ビーム部
423a,423b 固定電極
424a,424b 貫通電極
430 Z検出部
430a 矩形枠
431 可動電極
432a,432b,432c,432d ビーム部
433a,433b 固定電極
434a,434b 貫通電極
435a 柱状電極
435b 柱状電極
435c 柱状電極
435d 柱状電極
438a,438b,438c 電極
439a,439b,439c,439d,439e 配線
441a,441b,441c,441d 接続部
442a,442b,442c,442d 凸部
444 酸化膜
4100 センサチップ
4200 集積回路
4300 パッケージ
4302 間隔
4400 端子
4402 リード
4402c 先端
4404 グランド
4600 蓋
491,492 溝部
501 センサ部
502a 基板
502b 基板
503 フレーム部
510 X検出部
510a 矩形枠
511 可動電極
512a,512b ビーム部
513a,513b 固定電極
514a,514b 貫通電極
520 Y検出部
520a 矩形枠
521 可動電極
522a,522b ビーム部
523a,523b 固定電極
530 Z検出部
530a 矩形枠
531 可動電極
532a,532b,532c,532d ビーム部
533a,533b 固定電極
533b1 矩形領域
533b2 突出領域
534a 貫通電極
534b 貫通電極
534c 固定電極
5210 補正回路
5100 センサチップ
5200 集積回路
5300 パッケージ
5400 端子
5500 基板
1000 センサ
Claims (6)
- センサ基板と、
前記センサ基板の上面に対向して前記センサ基板に接続された基板と、
前記センサ基板と前記基板との間に接続された配線と、
を備え、
前記センサ基板は、前記センサ基板の前記上面に沿って延伸方向に延びる第1の凸部と、前記センサ基板の前記上面に沿って前記延伸方向に延びる第2の凸部とを有し、
前記配線は、
前記基板と前記第1の凸部との間に挟まれた第1の端部と、
前記基板と前記第2の凸部との間に挟まれた第2の端部と、
を有する、接続構造体。 - 前記センサ基板は、
前記センサ基板の前記上面に設けられて前記延伸方向に延びる第3の凸部と、
前記センサ基板の前記上面に設けられて前記延伸方向に延びる第4の凸部と、
をさらに有し、
前記延伸方向における前記第3の凸部の長さは前記延伸方向における前記第1の凸部の長さより大きく、
前記延伸方向における前記第4の凸部の長さは前記延伸方向における前記第2の凸部の長さより大きい、請求項1に記載の接続構造体。 - 前記センサ基板は柱状電極をさらに有し、
前記第1の凸部と前記第2凸部と前記第3の凸部と前記第4の凸部とは前記柱状電極の上面に設けられている、請求項2に記載の接続構造体。 - 上方から見て、前記配線は、前記第1の端部から前記第2の端部まで延びる第1の直線部分と、前記第1の端部と前記第2の端部との間の前記第1の直線部分から直角に延びる第2の直線部分とを有して実質的にT字形状を有する部分を有する、請求項2に記載の接続構造体。
- 前記センサ基板は、前記基板に接続された接続部をさらに有し、
前記第1の凸部と前記第2の凸部とは前記接続部の近傍に設けられている、請求項1に記載の接続構造体。 - 前記センサ基板は、前記基板に接続された接続部をさらに有し、
前記接続部と前記第1の凸部と前記第2の凸部とは、前記センサ基板の前記上面に平行な直線に沿って配置されている、請求項1に記載の接続構造体。
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Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3737729A (en) * | 1971-06-14 | 1973-06-05 | Zeltex Inc | Electronic package and method of construction |
JPS5481073A (en) | 1977-12-12 | 1979-06-28 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Sealing method for semiconductor element |
DE3735455A1 (de) * | 1987-03-18 | 1988-09-29 | Telefonbau & Normalzeit Gmbh | Elektrische bauelemente |
US4879589A (en) * | 1988-01-25 | 1989-11-07 | Semetex Corporation | Hermetic leadless semiconductor device package |
ATE145292T1 (de) * | 1992-03-17 | 1996-11-15 | Massachusetts Inst Technology | Geringbenachbarte dreidimensionale verbindung. |
US5691885A (en) * | 1992-03-17 | 1997-11-25 | Massachusetts Institute Of Technology | Three-dimensional interconnect having modules with vertical top and bottom connectors |
US5854534A (en) * | 1992-08-05 | 1998-12-29 | Fujitsu Limited | Controlled impedence interposer substrate |
EP0586888B1 (en) * | 1992-08-05 | 2001-07-18 | Fujitsu Limited | Three-dimensional multichip module |
JPH07113708A (ja) | 1993-10-20 | 1995-05-02 | Hitachi Ltd | 半導体絶対圧力センサの製造方法 |
US5969259A (en) * | 1995-04-07 | 1999-10-19 | Sensym, Inc. | Side port package for micromachined fluid sensor |
JP3278363B2 (ja) * | 1996-11-18 | 2002-04-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体加速度センサ |
JPH1123610A (ja) | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Omron Corp | 静電容量型多軸加速度検出装置 |
US6040625A (en) * | 1997-09-25 | 2000-03-21 | I/O Sensors, Inc. | Sensor package arrangement |
WO2000016107A1 (fr) * | 1998-09-16 | 2000-03-23 | Hitachi, Ltd. | Procede de fabrication d'un substrat d'inspection d'un dispositif a semi-conducteurs |
JP2000164741A (ja) | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Toyota Motor Corp | 半導体装置 |
US6404046B1 (en) * | 2000-02-03 | 2002-06-11 | Amkor Technology, Inc. | Module of stacked integrated circuit packages including an interposer |
US6518659B1 (en) * | 2000-05-08 | 2003-02-11 | Amkor Technology, Inc. | Stackable package having a cavity and a lid for an electronic device |
US6492699B1 (en) * | 2000-05-22 | 2002-12-10 | Amkor Technology, Inc. | Image sensor package having sealed cavity over active area |
TW492114B (en) * | 2000-06-19 | 2002-06-21 | Advantest Corp | Method and apparatus for edge connection between elements of an integrated circuit |
US6343940B1 (en) * | 2000-06-19 | 2002-02-05 | Advantest Corp | Contact structure and assembly mechanism thereof |
US6701786B2 (en) * | 2002-04-29 | 2004-03-09 | L-3 Communications Corporation | Closed loop analog gyro rate sensor |
KR101170287B1 (ko) * | 2004-06-21 | 2012-07-31 | 카프레스 에이/에스 | 프로브의 정렬을 제공하기 위한 장치 및 방법과, 테스트 샘플의 특정 위치 상의 전기적 특성을 테스트하기 위한 테스트 장치 |
US7238999B2 (en) * | 2005-01-21 | 2007-07-03 | Honeywell International Inc. | High performance MEMS packaging architecture |
JP4433050B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2010-03-17 | 株式会社村田製作所 | 電子部品用パッケージの製造方法、及び電子部品の製造方法 |
US7481113B2 (en) * | 2005-07-27 | 2009-01-27 | Ricoh Company, Ltd. | Semiconductor sensor with projection for preventing proof mass from sticking to cover plate |
JP5105736B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2012-12-26 | 株式会社東芝 | プリント回路板、電子機器、およびプリント回路板の製造方法 |
FI119729B (fi) * | 2005-11-23 | 2009-02-27 | Vti Technologies Oy | Menetelmä mikroelektromekaanisen komponentin valmistamiseksi ja mikroelektromekaaninen komponentti |
JP4692373B2 (ja) | 2006-04-28 | 2011-06-01 | パナソニック電工株式会社 | 静電容量式センサ |
JP4403424B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2010-01-27 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
US8115265B2 (en) * | 2008-03-26 | 2012-02-14 | Meggitt (San Juan Capistrano), Inc. | Interconnection system on a plane adjacent to a solid-state device structure |
US8080925B2 (en) * | 2008-09-23 | 2011-12-20 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Inertial sensor with dual cavity package and method of fabrication |
US8193555B2 (en) * | 2009-02-11 | 2012-06-05 | Megica Corporation | Image and light sensor chip packages |
EP2421050A1 (en) * | 2009-04-15 | 2012-02-22 | Sunovel (Suzhou) Technologies Limited | Thin film of solar battery structure, thin film of solar battery array and manufacturing method thereof |
JP5493767B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2014-05-14 | 大日本印刷株式会社 | センサーユニットおよびその製造方法 |
US8516887B2 (en) * | 2010-04-30 | 2013-08-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric z-axis gyroscope |
US8618620B2 (en) * | 2010-07-13 | 2013-12-31 | Infineon Technologies Ag | Pressure sensor package systems and methods |
JP5791294B2 (ja) * | 2011-02-11 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 静電容量型電気機械変換装置 |
JPWO2012124282A1 (ja) * | 2011-03-11 | 2014-07-17 | パナソニック株式会社 | センサ |
KR20140020963A (ko) * | 2011-04-21 | 2014-02-19 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 역학량 측정 장치 |
JP2013079895A (ja) | 2011-10-05 | 2013-05-02 | Panasonic Corp | 半導体物理量センサ |
JP2013156066A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Wacom Co Ltd | 静電容量方式圧力センシング半導体デバイス |
US8810023B2 (en) * | 2012-07-06 | 2014-08-19 | Texas Instruments Incorporated | Cantilever packages for sensor MEMS (micro-electro-mechanical system) |
EP2908141B1 (en) | 2012-10-12 | 2017-03-15 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Acceleration sensor |
JP6074854B2 (ja) | 2013-06-06 | 2017-02-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 加速度センサ |
DE102013101732A1 (de) * | 2013-02-21 | 2014-08-21 | Epcos Ag | Sensorsystem |
JP2015010856A (ja) | 2013-06-27 | 2015-01-19 | パナソニック株式会社 | 加速度センサ |
DE102014202821B4 (de) * | 2014-02-17 | 2023-03-30 | Robert Bosch Gmbh | Gehäuse für ein mikromechanisches Sensorelement |
US20170089941A1 (en) * | 2014-04-08 | 2017-03-30 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Sensor |
JP6255517B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2017-12-27 | 株式会社フジクラ | 圧力センサおよび圧力センサモジュール |
US10015882B1 (en) * | 2015-01-05 | 2018-07-03 | Qorvo Us, Inc. | Modular semiconductor package |
WO2016114114A1 (ja) * | 2015-01-15 | 2016-07-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | センサ |
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