WO2004029313A1 - 高硬度・高強度で強靭なナノ結晶金属バルク材及びその製造方法 - Google Patents

高硬度・高強度で強靭なナノ結晶金属バルク材及びその製造方法 Download PDF

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Harumatsu Miura
Nobuaki Miyao
Hidenori Ogawa
Kazuo Oda
Munehide Katsumura
Masaru Mizutani
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Definitions

  • the present invention relates to a metal, in particular, a nanocrystalline metal bulk material having high hardness, high strength and toughness, and a method for producing the same.
  • deformation processing can be performed at a relatively low temperature even for materials that are extremely difficult to plastically process due to their high melting point or melting temperature.
  • the coercive force increases as the crystal grain size D becomes smaller in the nano-order particle size range, as opposed to the case where the crystal grain size D is in the micron order range.
  • the crystal grain size D of many metal materials manufactured by the melting method is usually several microns to several thousand microns, and it is difficult to make D nano-order even by post-processing.
  • the lower limit of the achievable grain size is about 4 to 5 ⁇ . Therefore, such an ordinary method cannot obtain a material whose particle size is reduced to nano size. Disclosure of the invention
  • the present invention solves the above-mentioned problems, and is the following invention.
  • the present invention provides mechanical milling (MM) or mechanical alloying (MM) using elemental metal or metalloid powder alone, or a ball mill or the like of mixed powder to which other elements are added.
  • MA treatment and solidification molding of the resulting nanocrystalline powder, or the method utilizing superplasticity in the molding process to reduce the crystal grain size.
  • a metal bulk material comprising an aggregate of metal nanocrystal particles
  • Nanocrystalline metal plaque material High hardness, high strength, and toughness characterized in that an oxide of a metal or a metalloid is present as a crystal grain growth inhibitor between and / or inside the nanocrystalline particles.
  • Nanocrystalline metal plaque material Nanocrystalline metal plaque material.
  • a metal bulk material comprising an aggregate of metal nanocrystal particles
  • Nanocrystalline metal bulk material High hardness, high strength, and toughness characterized in that a metal or metalloid nitride is present as a crystal grain growth inhibitor between and / or inside the nanocrystal particles. Nanocrystalline metal bulk material.
  • a metal bulk material comprising an aggregate of metal nanocrystal particles
  • a high hardness, high strength, and tough nano-particle characterized in that a metal or metalloid carbide is present as a crystal grain growth inhibitor between and / or inside each nano-crystal particle. Crystalline metal bulk material.
  • a metal bulk material comprising an aggregate of metal nanocrystal particles
  • High hardness and high hardness characterized in that a metal or metalloid boride (boride) is present as a crystal grain growth suppressing substance between and / or inside the nanocrystal particles.
  • a metal or metalloid boride boride
  • a strong and tough nanocrystalline metal bulk material boride
  • a metal bulk material comprising an aggregate of metal nanocrystal particles
  • each of the nanocrystalline particles as a crystal grain growth suppressing substance, (1) a metal or metalloid oxide, (2) a metal or metalloid nitride, (3) In the presence of two or more compounds selected from metal or metalloid carbides, [4] metal or metalloid silicides (silicides), and [5] metal or metalloid borides (borides) High hardness ⁇ High strength and tough nanocrystalline metal bulk material.
  • the bulk material composed of the metal nanocrystal particles or the aggregate thereof contains nitrogen from 0.01 to 5.0
  • the bulk material consisting of metal nanocrystal particles or an aggregate thereof contains 0.1 to 2 nitrogen.
  • the high-hardness, high-strength, tough nanocrystalline metal bulk material according to any one of the above items (1) to (6), characterized by containing 0% by mass.
  • the bulk material composed of metal nanocrystal particles or an aggregate thereof contains 0.01 to 1.0 mass of oxygen in the form of a metal oxide. / 0.
  • the high hardness, high strength and tough nanocrystalline metal barrier material according to any one of the above items (1) to (8), characterized in that:
  • the nanocrystalline metal-forming components are aluminum, magnesium, zinc, titanium, calcium, beryllium, antimony, itdium, scandium, indium, uranium, gold, silver, chromium, zirconium, tin, tungsten, tantalum, and iron.
  • the preceding paragraph characterized by one or more selected from the group consisting of: nickel, cobalt, copper, niobium, platinum, vanadium, manganese, molybdenum, lanthanum, rhodium, carbon, silicon, boron, nitrogen, phosphorus.
  • the high-hardness, high-strength and tough nanocrystalline metal bulk material according to any one of 1) to (10).
  • nanocrystal metal forming component is a dental white metal element.
  • Metal bulk material
  • the metal nanocrystal particles are obtained by mechanical milling (MM) using a ball mill or the like or mechanical alloying (MA).
  • MM mechanical milling
  • MA mechanical alloying
  • the high-hardness and high-strength tough nanocrystalline metal bulk material according to any one of (1) to (13) above.
  • High hardness and high hardness by subjecting the metal powder to solidification molding such as sheath rolling (Sheath Rolling), spark plasma sintering (Spark Plasma Sintering), and hot solidification molding such as extrusion molding or explosion molding.
  • solidification molding such as sheath rolling (Sheath Rolling), spark plasma sintering (Spark Plasma Sintering), and hot solidification molding such as extrusion molding or explosion molding.
  • a method for producing a nanocrystalline metal bulk material which is characterized by forming a strong and tough metal bulk material.
  • High hardness and high hardness by subjecting the same metal powder to hot solidification molding such as sheath rolling (S heat rolling), spark plasma sintering (S park plasma sintering), extrusion molding, or solidification molding such as explosion molding.
  • hot solidification molding such as sheath rolling (S heat rolling), spark plasma sintering (S park plasma sintering), extrusion molding, or solidification molding such as explosion molding.
  • a method for producing a nanocrystalline metal bulk material which is characterized by forming a strong and tough metal bulk material.
  • Mechanical two Carmi ring or atmosphere applying mechanical ⁇ b queuing is, (1) inert gas such as argon gas, (2) N 2 gas, or (3) any one selected from NH3 gas, Or [4] [:! ]
  • inert gas such as argon gas
  • N 2 gas or (3) any one selected from NH3 gas, Or [4] [:! ]
  • the atmosphere in which the mechanical milling or mechanical alloying is performed is a vacuum or a reduced atmosphere in which a small amount of a reducing substance such as H 2 gas is added in a vacuum or a vacuum.
  • a reducing substance such as H 2 gas
  • the metal powder is subjected to hot solidification molding such as sheath rolling, spark plasma sintering, extrusion molding or solidification molding treatment such as explosion molding,
  • the added nitride is dispersed, or the metal element nitride, carbonitride, etc. is precipitated and dispersed.
  • the method for producing a bulk nanocrystalline metal material according to any one of the above items (16) to (21), characterized in that the metal bulk material has high hardness and high strength and is tough.
  • composition of the nanocrystalline metal contains 0 to 40% by mass of another element, and its solidification molding temperature is at least 10% lower than the melting point or melting temperature.
  • High hardness and high strength characterized by subjecting the same steel powder to solidification at a temperature near the superplasticity temperature by hot solidification molding such as spark plasma sintering, hot pressing, extrusion molding, rolling, or explosive molding.
  • hot solidification molding such as spark plasma sintering, hot pressing, extrusion molding, rolling, or explosive molding.
  • a method for producing a nanocrystalline iron bulk material which comprises performing a solidification molding process at a temperature near the superplastic expression temperature by hot solidification molding such as hot pressing, extrusion molding, rolling, or explosion molding, or the like.
  • the nanocrystalline steel powder is solidified and formed by spark plasma sintering, hot pressing, extrusion molding, hot solidification molding such as rolling, or explosion molding to form steel pulp material.
  • High hardness ⁇ A method of manufacturing a high-strength and tough nanocrystalline steel compact.
  • the nanocrystalline iron powder is manufactured by subjecting each fine powder of the iron forming component of the nanocrystal to mechanical alloying (MA) using a ball mill or the like, and then the nanocrystalline iron powder is produced by discharge plasma sintering. Solidification by hot solidification molding such as sintering, hot pressing, extrusion molding, compression molding or explosion molding to form an iron bulk material, and then forming the iron bulk material at a temperature near the superplastic expression temperature High hardness ⁇ High strength and toughness.
  • MA mechanical alloying
  • the powder having an ultrafine grain structure is obtained.
  • the solidification molding at a temperature of 10% or less of the melting point or the melting temperature of the powder makes it easier to manufacture the bulk material.
  • a mixed powder obtained by adding carbon, niobium, titanium, etc. to a powder of a simple metal such as iron, cobalt, nickel, aluminum, etc. is subjected to mechanical alloying (MA), a superfine crystal grain structure is obtained.
  • MA mechanical alloying
  • FIG. 1 shows the results obtained by adding 15 atomic% of the other element (A) to the powder of each element of iron, cobalt, and nickel used in the embodiment of the present invention and subjecting them to mechanical alloying (MA) treatment for 50 hours. It is a graph which shows the average crystal grain size of an element.
  • FIG. 2 is a graph showing the relationship between the crystal grain size D of iron used in the examples of the present invention and the logarithm 10 g / 3 of the grain boundary segregation factor iS of the added solute element.
  • FIG. 3 shows the crystal grain size D c of cobalt used in the examples of the present invention.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the logarithm of the grain boundary segregation factor iS of the added solute element and 1 log ⁇ .
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the crystal grain size D of the sample used in the examples of the present invention and the amount of tantalum added (at.%).
  • an elemental powder of a simple metal such as iron, cobalt, nickel, aluminum, and copper, or a powder obtained by adding other elements to a powder of such a simple metal and using a ball mill or the like, in an atmosphere of argon gas or the like.
  • MM or MA-treated powder can be easily refined to a grain size of around 10 to 20 nm by mechanical energy added by a ball mill, for example, to a grain size of about 25 nm.
  • the Vickers hardness of the iron thus obtained is about 100,000.
  • MM and MA treated powder is vacuum-sealed in a stainless steel tube (sheath) with an inner diameter of about 7 mm, and this is sheathed using a rolling mill at a temperature not higher than the melting point or 10% lower than the melting temperature.
  • a sheet having a thickness of about 1.5 mm and a resistance to 1.5 GPa or more can be easily manufactured.
  • a mechanical powder using a ball mill or the like is added to a mixed powder obtained by adding about 0.5 to 15 mass% of other elements such as carbon, niobium and titanium to elemental powders such as iron, cobalt, nickel, aluminum and copper.
  • elemental powders such as iron, cobalt, nickel, aluminum and copper.
  • a powder of a single metal such as iron, cobalt, nickel, aluminum, and copper, or a powder obtained by adding other elements to a powder of such a single metal, is subjected to mechanical milling (MM) or mechanical alloying (MA) treatment. Then, a powder of nano-sized grain structure is produced, and solidification molding such as sheath rolling and extrusion is performed, which is inevitable in mechanical milling (MM) or mechanical alloying (MA) processing.
  • Example 2 By adjusting the amount of iron oxide generated in the iron oxide to about 0.5% by mass as the amount of oxygen, the crystal grains become coarse due to the pinning effect on crystal grain boundaries of the iron oxide and the like. Therefore, the production of the nanocrystalline material can be performed more effectively.
  • Example 3 By adjusting the amount of iron oxide generated in the iron oxide to about 0.5% by mass as the amount of oxygen, the crystal grains become coarse due to the pinning effect on crystal grain boundaries of the iron oxide and the like. Therefore, the production of the nanocrystalline material can be performed more effectively.
  • D Fe , Dc; , And D Ni are the average grain sizes (nm) of iron, cobalt, and nickel, respectively. According to this figure, the grain refinement of each element of iron, cono-noreto and nickel is more effectively promoted by carbon, niobium, tantalum, titanium, etc. You can see that
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the common logarithm 1 o g
  • the additive element A is carbon (C), nitrogen (N), tantalum (Ta), vanadium (V), and the like.
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the value of a common logarithm of 10 g 3 of a grain boundary segregation factor i3 in cobalt and the addition element (A) in cobalt.
  • Additive element A is carbon (C), niobium (Nb), tantalum (Ta), etc. As can be seen from this figure, the larger the value of 1 og j3, the smaller the effect of crystal grain refinement during MA processing. It turns out that it is big.
  • Example 2 the larger the value of 1 og j3, the smaller the effect of crystal grain refinement during MA processing. It turns out that it is big.
  • Figure 4 shows the elemental powder mixture of iron, chromium, nickel, and tantalum together with iron nitride.
  • Example 4 the Vickers hardness Hv of the high-carbon steel It has been found that the hardness is higher than that of a quenched material having an insite structure.
  • Example 4 the Vickers hardness Hv of the high-carbon steel It has been found that the hardness is higher than that of a quenched material having an insite structure.
  • Iron, chromium, nickel and elemental powder and iron nitride of each component tantalum the mixed powder (containing nitrogen 8.51 mass 0/0), a ball mill mechanical ⁇ loin grayed using (MA) (Atmosphere: Argon gas), (a) F e 86 C r isNi ( mass 0 / o) and (b) F e 69. 2 5 C r 2.
  • N i sT a 2 N. . 75 (% by mass) alloy powders were prepared. Then, these alloy powders were loaded into graphite dies with an inner diameter of 40 mm, and subjected to spark plasma sintering (SPS) at 900 ° C in a vacuum.
  • SPS spark plasma sintering
  • Table 2 shows the analysis values for ⁇ ! , elongation ⁇ , and oxygen and nitrogen.
  • both the hardness Hv and the tensile strength ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ were found to be extremely large due to the effects of both the solid solution of nitrogen and the ultra-fine grain refinement.
  • powder of nano-sized ultrafine crystal grains can be easily obtained by the mechanical alloying ( ⁇ ) treatment of the raw material powder, and metal oxides inevitably generated in the treated powder can be obtained. Since the grain growth during the solidification process is suppressed, solidification molding utilizing superplasticity is facilitated.
  • a mechanical alloying ( ⁇ ) treated powder of a hypereutectoid steel composition having a carbon content of 0.765 to 2.14% (mass) exhibits superplasticity.
  • the solidification molding used was able to be effectively achieved. An example is described below.
  • each S i concentration of the solidified molded product obtained by applying a compressive load (X) Table 3 shows the average crystal grain size d, hardness Hv, tensile strength ⁇ ⁇ ⁇ , elongation ⁇ , and oxygen / nitrogen analysis values (% by mass). The reason for including nitrogen in this alloy sample is to increase its strength.
  • the Si concentration is preferably between 2.0 and 3.5% (mass).
  • the carbon content is 2.2 to 4.3% ( (Mass)
  • MA mechanical alloying
  • Example 5 a mixed powder of an elemental powder of each component of iron, carbon and chromium and iron nitride (containing nitrogen: 8.51% by mass) was subjected to mechanical alloying (MA). F e 94 of the iron composition. 3 C 3. 5 C r 2 N. . 2 (wt%) make the alloy powder, filling the same powder graphite die having an inner diameter of 4 Omm, at 700 ° C in a vacuum, under a molding pressure 60 MP a, by hot pressing of 1 5 minutes The sintered body was 40 mm in diameter and 5 mm in thickness.
  • MA mechanical alloying
  • each of 550, 600, 650, 700, 750 ° solidified molded body obtained by applying a compressive load 30 minutes at a thickness direction strain rate 10- 4 / s of the sintered body at each temperature of C the average grain size d in the molding temperature T, hardness Hv, tensile strength sigma beta, Shinpi ⁇ and oxygen and nitrogen analysis values are shown in Table 4.
  • Example 6 from a mixed powder of elemental powders of each component of titanium, tantalum, niobium, zirconium and iron, by mechanical alloying (MA), (a) Ti 88 T a 6 Nb4F e 2 (mass 0 /.), (B) TiseNb eZr 4 F e 2 (mass./.) And (c) T i ssZ R eT a 4 Fe 2 (mass%)
  • MA mechanical alloying
  • B TiseNb eZr 4 F e 2 (mass./.)
  • T i ssZ R eT a 4 Fe 2 (mass%) The powder was placed in a graphite die with an inner diameter of 4 Omm, and was pre-sintered with a diameter of 40 mm and a thickness of 5 mm by hot pressing under vacuum at 850 ° C under a molding pressure
  • Table 5 is a 50 ° C higher temperature than T SP, 10- 4 average crystal grain size d of the solidified molded product obtained by adding 30 minutes compression load at strain rates of Zs, hardness Hv, tensile strength These are analysis values of ⁇ ⁇ , elongation ⁇ and oxygen.
  • Example 5 Table 3
  • Example 6 Table 4
  • Example 7 Table 5
  • Example 5 Table 3
  • Example 6 Table 4
  • Example 7 Table 5
  • Example 5 Table 3
  • the solidification process became more effective when the Si concentration was 2% by mass or more, because the grain growth was large and suppressed under compressive load by S S. Will be interpreted as
  • Example 8 an alloy having a high melting temperature such as Ti group was used. According to the present invention, it was also found that this can be converted into powder composed of nano-sized crystal grains by MA treatment, and the bulk material can be manufactured by solidification molding treatment at a relatively low temperature.
  • Example 8 an alloy having a high melting temperature such as Ti group was used. According to the present invention, it was also found that this can be converted into powder composed of nano-sized crystal grains by MA treatment, and the bulk material can be manufactured by solidification molding treatment at a relatively low temperature.
  • the crystal grains in the nanocrystalline material according to the present invention are ultrafine, and the metal oxides present between and / or inside the nanocrystalline particles are effectively acting to suppress the growth of crystal grains. Is a major reason.
  • difficult-to-process materials such as mirror iron, high melting point materials, and titanium alloys, which have been conventionally limited in their use due to their brittleness, can be converted into nanocrystalline powders by mechanical coloring (MA) processing.
  • MA mechanical coloring
  • Examples 6 and 7 above by applying the method of solidification molding utilizing manufacturing and superplasticity, a new method with high hardness and high toughness that cannot be obtained by the conventional method It has been found that materials (bulk material, which is an aggregate of nanocrystalline grains) can be easily manufactured.
  • the nanocrystalline metal bulk material obtained by the present invention is suitably used for the following applications.
  • the nanocrystalline metal bulk material according to the present invention When used for a rotating part of a bearing, the amount of the material used can be greatly reduced due to the strength characteristics described above. Through a large decrease in the centrifugal force of the rolling elements, it is possible to greatly reduce the power used during bearing operation.
  • Metallic materials which are widely used as gear materials, give one part the contradictory properties of having abrasion resistance on its surface (tooth surface) and strong and tough inside.
  • a nanocrystalline metal pulp material having ultra-hard and tough properties manufactured by, for example, extrusion processing according to the present invention is used for such a purpose, such a treatment as surface hardening is unnecessary.
  • the matrittus in the case of quenched and tempered materials such as molybdenum-based high-speed steel, which are often used as high-temperature cutting tool materials, the matrittus has a tempered martensite phase that is unstable at elevated temperatures. Above a temperature of around 400 ° C, it has the property of rapidly softening.
  • the nanocrystalline metal bulk material according to the present invention does not show rapid softening in such a temperature range because the matrix itself is composed of a stable phase, it is used as a superior tool material for hot working. be able to.
  • the nanocrystalline metal bulk material according to the present invention is composed of a matrix that is relatively thermally stable as described above, it can be more effectively used for an extrusion tool or the like that undergoes a severe thermal change during use.
  • Titanium-based bulk material--high-nitrogen chromium-manganese austenitic steel unlike nickel-containing chromium-nickel austenitic stainless steel, does not cause dermatitis or other diseases on the human body, and can be used by scalpels and medical devices used by surgeons. It is also promising as a material for cryogenic appliances and other general-purpose knives and tools.

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Abstract

高硬度・高強度で強靭なナノ結晶金属バルク材及びその製造方法を提供する。　金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の酸化物、窒化物、炭化物、硼化物等を存在させてなるものである。　ナノ金属バルク材形成成分の各微粉末を、ボ−ルミル等を用いてメカニカルアロイング（ＭＡ）することによって、ナノ金属粉末を製造した後、粉末を放電プラズマ焼結、押出し成形、圧延等で熱間固化成形又は爆発成形などの固化成形処理して高硬度・高強度で強靭なナノ結晶金属バルク材となす。

Description

明 細 書 高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材及びその製造方法 技術分野 ，
この発明は、 金属、 特に高硬度 ·高強度で強靭なナノ結晶金属バルク材及びそ の製造方法に関する。 背景技術
金属材料の強さ、 硬さは、 ぺツチの関係式が示すように、 結晶粒径 Dが小さ くなるほど増加し、 このような関係は Dが数十 n m付近までは同じょうに成立す るので、 結晶粒径をナノサイズレベルまで超微細化することは、 金属材料を強化 する最も重要な手段の一つである。
一方、 結晶粒径をナノサイズレベルまで超微細化すると、 多くの金属材料で は、 0 . 5 T m (T m :融点 （K) ) 以上の温度域において超塑性という特異な 現象を示すようになる。
この現象を利用すると、 高い融点ないし、 融解温度のため、 その塑性加工な どが非常に難しい材料でも比較的低レ、温度でその変形加工処理が可能となる。
さらにまた、 鉄、 コバルト、 ニッケル等の磁性元素では、 結晶粒径 Dがミク ロンのオーダの範囲にある場合とは逆に、 ナノォーダの粒径範囲では Dは小にな るほど、 保磁力が低下し、 軟磁性特性が向上するという報告もみられる。
し力 し、 溶解法で製造されている多くの金属材料の結晶粒径 Dは、 通常数ミ クロン〜数千ミクロンであり、 後処理によっても Dをナノオーダにすることは難 しく、 例えば、 鋼の結晶粒径微細化プロセスとして重要な制御圧延の場合でも、 その到達できる粒径の下限は 4〜 5 μ ηι程度である。 従って、 このような通常の 方法では、 ナノサイズまでに粒径を微細化した材料は得られない。 発明の開示
本発明は上記課題を解決するものであって、 下記の発明である。
本発明は、 基本的には、 元素状の金属又は半金属の粉末単体、 又はこれに他 元素等を添加した混合粉末のボールミル等を用いたメカ二カルミリング （MM) 又はメカニカルァロイング （MA) 処理と、 それにより得られたナノ結晶微粉末 の固化成形処理、 又は同成形過程での超塑性を利用した方法により、 結晶粒径を ナノサイズのレベルまで微細化した場合に達成できるその限界に近い強さ （高強 度） ないし硬さ （超硬質） 及び耐食性をもつバルク材を提供することである。 すなわち、 本発明は、 下記構成のナノ結晶金属バルク材及びその製造方法であ る。
( 1 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質と して金属又は半金属の酸化物を存在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度 で強靱なナノ結晶金属パルク材。
( 2 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質と して金属又は半金属の窒化物を存在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度 で強靭なナノ結晶金属バルク材。
( 3 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質と して金属又は半金属の炭化物を存在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度 で強靱なナノ結晶金属バルク材。
( 4 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質と して金属又は半金属のケィ化物 （シリサイ ド） を存在させてなることを特徴とす る高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
( 5 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質と して金属又は半金属の硼化物 （ボライ ド） を存在させてなることを特徴とする高 硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
( 6 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質と して、 〔1〕 金属又は半金属の酸化物、 〔2〕 金属又は半金属の窒化物、 〔3〕 金属又は半金属の炭化物、 〔4〕 金属又は半金属のケィ化物 （シリサイ ド） 又は 〔5〕 金属又は半金属の硼化物 （ボライ ド） から選ばれる 2種以上の化合物を存 在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
( 7 ) 金属ナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、 窒素を 0 . 0 1〜 5. 0質量％含有するものであることを特徴とする前項 （1) 〜 （6) のいずれ か 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(8) 金属ナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、 窒素を 0. 1〜2
. 0質量％含有するものであることを特徴とする前項 （1) 〜 （6) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(9) 金属ナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、 金属酸化物の形態 で酸素を 0. 01〜1. 0質量。 /0含有したものであることを特徴とする前項 （1 ) 〜 （8) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルタ 材。
(10) 金属ナノ結晶粒子の集合体の固化成形過程での脱窒を防ぐため、 ナノ結 晶金属より窒素との化学的親和力が大き！/、金属元素を含有せしめてなることを特 徴とする前項 （1) 〜 （9) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナ ノ結晶金属バルク材。
(1 1) ナノ結晶金属形成成分が、 アルミニウム、 マグネシウム、 亜鉛、 チタン 、 カルシウム、 ベリリウム、 アンチモン、 イツトリゥム、 スカンジウム、 インジ ゥム、 ウラン、 金、 銀、 クロム、 ジルコニウム、 錫、 タングステン、 タンタル、 鉄、 ニッケル、 コバルト、 銅、 ニオブ、 白金、 バナジウム、 マンガン、 モリプデ ン、 ランタン、 ロジウム、 炭素、 珪素、 硼素、 窒素、 リンから選ばれる 1種又は 2種以上であることを特微とする前項 （1) 〜 （10) のいずれか 1項に記載の 高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(1 2) ナノ結晶金属形成成分が、 歯科用白金属元素であることを特徴とする前 項 （1) 〜 （10) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金 属バルク材。
(1 3) ナノ結晶金属が、 N i 3A l、 F e3A l、 F eA l、 T i yA 1、 T i A l、 T i A 1 a, Z rA "、 NbA "、 N i A l、 Nb3A l、 Nb2A l、 Mo S 、 Nb5S i 3、 T "S "、 Nb2B e 17、 Co3T i、 N " (S i、 T i ) 、 S i C、 S N4、 A 1 N、 T i N i、 Z r B2、 H f B2、 C r 3C2、 又は N i 3A 1 -N i 3Nb金属間化合物から選ばれるいずれか 1種又は 2種以上 であることを特徴とする前項 （1) 〜 （10) のいずれか 1項に記載の高硬度 - 高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(14) 金属ナノ結晶粒子が、 ボールミル等を用いるメカニカルミリング （MM ) 又はメカニカルァロイング （MA) によって得られたものであることを特徴と する前項 （1) 〜 （1 3) のいずれか 1項に記載の高硬度 '高強度で強靱なナノ 結晶金属バルク材。
(1 5) ナノ結晶金属形成成分の各微粉末を、
ボールミル等を用いてメカニカルァロイング （MA) することによって、 ナノ結 晶金属粉末を製造した後、
同金属粉末をシース圧延 （Sh e a t h Ro l l i n g) , 放電プラズマ焼結 (S p a r k P l a sma S i n t e r i n g ) 、 押出し成形等の熱間固化 成形又は爆発成形などの固化成形処理することにより高硬度 ·高強度で強靱な金 属バルク材となすことを特微とするナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(16) ナノ結晶金属形成成分の各微粉末を、
窒素源となる物質とともに混合し、 '
ボールミル等を用いてメカニカルァロイング （MA) することによって、 高窒素 濃度ナノ結晶金属粉末を製造した後、
同金属粉末をシース圧延 （S h e a t h Ro l l i n g) , 放電プラズマ焼結 (S p a r k P l a sma S i n t e r i n g) 、 押出し成形等の熱間固化 成形又は爆発成形などの固化成形処理することにより高硬度 ·高強度で強靱な金 属バルク材となすことを特微とするナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(1 7) 窒素源となる物質が、 金属窒化物であることを特徴とする前項 （16) に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(18) 窒素源となる物質が、 N2ガス又は NH3ガスであることを特徴とする前 項 （16) 記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(1 9) メカ二カルミリング又はメカニカルァロイングを施す雰囲気が、 〔1〕 アルゴンガスなどの不活性ガス、 〔2〕 N2ガス、 又は 〔3〕 NH3ガスから選ば れるいずれか 1種、 又は 〔4〕 〔：！〕 〜 〔3〕 から選ばれる 2種以上の混合ガス の雰囲気であることを特徴とする前項 （15) 〜 （18) のいずれか 1項に記載 のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(20) メカ二カルミリング又はメカニカルァロイングを施す雰囲気が、 若干の H2ガスなどの還元性物質を加えたガスの雰囲気であることを特徴とする前項 （ 19) に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(21) メカ二カルミリング又はメカニカルァロイングを施す雰囲気が、 真空又 は真空中に若干の H 2ガスなどの還元性物質を加えた真空又は還元雰囲気である ことを特徴とする前項 （15) 又は （16) に記載のナノ結晶金属バルク材の製 造方法。
( 2 2 ) ナノ結晶金属形成成分の各微粉末と、 金属窒化物を 1〜 1 0体積％又は ナノ結晶金属より窒素との化学的親和力の大きい窒素親和性金属を 0 . 5〜1 0 質量％を、 '
窒素源となる物質とともに混合し、
ボールミル等を用いてメカ-カルァロイング （MA) することによって、 高窒素 ナノ結晶金属粉末を製造した後、
同金属粉末をシース圧延、 放電プラズマ焼結、 押出し成形等の熱間固化成形又は 爆発成形などの固化成形処理し、
その際のメカニカルァロイング （MA) 過程及びメカニカルァロイング （MA) 処理粉末の固化成形過程で前記添加窒化物を分散させるか又は前記金属元素の窒 化物、 炭窒化物等を析出 ·分散させ、
高硬度 ·高強度で強靱な金属バルク材となすことを特微とする前項 （1 6 ) 〜 （ 2 1 ) のいずれか 1項に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
( 2 3 ) ナノ結晶金属の配合組成が、 他元素を 0〜4 0質量％含有するものであ り、 その固化成形の温度が融点ないし融解温度より 1 0 %以上低い温度であるこ とを特微とする前項 （1 5 ) 〜 （2 2 ) のいずれか 1項に記載のナノ結晶金属バ ルク材の製造方法。
( 2 4 ) ナノ結晶の鋼形成成分の各粉末をボールミル等を用いてメカニカルァロ イング （MA) することによって、 ナノ結晶鋼粉末を製造した後、
同鋼粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の熱間固化成 形又は爆発成形などで超塑性発現温度近傍の温度で固化成形処理することを特徴 とする高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶鋼バルク材の製造方法。
( 2 5 ) ナノ結晶の錶鉄形成成分の各粉末をボールミル等を用いてメカニカルァ 口イング （MA) することによって、 ナノ結晶鍚鉄粉末を製造した後、 同鏡鉄粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の熱間固化 成形又は爆発成形などで超塑性発現温度近傍の温度で固化成形処理することを特 徵とするナノ結晶鎳鉄バルク材の製造方法。
( 2 6 ) ナノ結晶の鋼形成成分の各粉末をボールミル等を用いてメカニカルァロ イング （MA) することによって、 ナノ結晶鋼粉末を製造した後、
同ナノ結晶鋼粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の熱 間固化成形又は爆発成形などで固化成形処理して鋼パルク材となし、
その後前記鋼バルク材を超塑性発現温度近傍の温度で成形加工することを特徴と する高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶鋼成形体の製造方法。
( 2 7 ) ナノ結晶の鎵鉄形成成分の各微粉末をボールミル等を用いてメカニカル ァロイング （MA) することによって、 ナノ結晶錶鉄粉末を製造した後、 同ナノ結晶铸鉄粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧 ®等の 熱間固化成形又は爆発成形などで固化成形処理して铸鉄バルク材となし、 その後前記铸鉄バルク材を超塑性発現温度近傍の温度で成形加工することを特徴 とする高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶踌鉄成形体の製造方法。
以上述べたとおり、 本発明によれば、 金属単体又はこれに他元素を添加した 粉末材料をメカニカルミリング （MM) 又はメカニカルァロイング （MA) 処理 すると、 いずれも超微細結晶粒組織をもつ粉末となり、 同粉末の融点ないし融解 温度より 1 0 %低い温度以下での固化成形により、 そのバルク材の製造をより容 易に達成できる。
鉄、 コバルト、 ニッケル、 アルミニウムなどの実用金属単体の粉末に炭素、 ニオブ、 チタンなどを添加した混合粉末をメカニカルァロイング （MA) 処理す ると、 より超微細な結晶粒組織となり、 前記のような固化成形により、 容易にナ ノ結晶粒組織をもつバルク材となって、 その強さ、 硬さは溶解法よるものに比べ 、 はるかに高い値を示す。
また、 ナノ結晶材料においては、 その結晶粒の大きさ、 組成などの適当な選 択により、 超塑性が発現され、 この現象は、 MA粉末の固化成形プロセスに効果 的に適用できる。 図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明実施例で用いられる鉄、 コバルト、 ニッケル各元素の粉末 に他元素 （A) を 1 5原子％添加し、 5 0 hメカニカルァロイング （MA) 処理 したときの各元素の平均結晶粒径を示すグラフ図である。
第 2図は、 本発明実施例で用いられる鉄の結晶粒径 D と添加した溶質元素 の粒界偏析因子 iSの対数 1 0 g /3との関係を示すグラフ図である。
第 3図は、 本発明実施例で用いられるコバルトの結晶粒径 D c。と添加した溶 質元素の粒界偏析因子 iSの対数 1 o g βとの関係を示すグラフ図である。
第 4図は、 本発明実施例で用いられる試料の結晶粒径 Dとタンタルの添加量 (原子％) との関係を示すグラフ図である。 発明を実施するための最良の形態 次に本発明の実施の形態について説明する。
本発明では、 鉄、 コバルト、 ニッケル、 アルミニウム、 銅などの単体金属の 元素状粉末又はこれらの単体金属の粉末に他元素を添カ卩したものをボールミル等 を用いて、 アルゴンガスなどの雰囲気中にて室温でのメカニカルミリング （MM ) 又はメカェカルァロイング （MA) 処理を施す。
MM又は M A処理された粉末は、 ボールミルによつて付加された機械的エネ ルギ一により、 1 0〜 2 0 n m前後の結晶粒径まで容易に微細化し、 例えば粒径 約 2 5 n mまで微細化した鉄のビッカース硬さは 1 0 0 0程度となる。
次いで、 そのような MM、 MA処理粉末を約 7 mm内径のステンレス鋼チュ ーブ （シース） に真空封入し、 これを融点ないし融解温度より 1 0 %低い温度以 下で圧延機を用いたシース圧延により固化成形すると、 例えば鉄の場合は 1 . 5 G P a以上の耐カを示す厚さ 1 . 5 mm程度のシートを容易に製造することがで さる。
また、 鉄、 コバルト、 ニッケル、 アルミニウム、 銅などの元素状粉末に炭素 、 ニオブ、 チタンなど他元素等を 0 . 5から 1 5質量％程度添加した混合粉末に 、 ボールミル等を用いたメカニカルァロイング （MA) 処理を施すと、 MA過程 での微細化は一層促進され、 その結晶粒径は数ナノオーダのものとなる。 また、 前項に記載のメカニカルァロイング （MA) 処理粉末に通常、 MA処 理過程で酸化鉄の形態で必然的に混入する酸素の量を 0 . 5質量％程度までに調 整し、 固化成形過程での結晶粒粗大化を抑制する。 このような抑制効果を高める ため、 メカニカルァロイング （MA) 処理粉末に A 1 N、 N b Nなどの粒子分散 剤を 1〜 1 0体積％、 特に 3〜 5体積％添加することはより好ましい。 本発明では、 鉄、 コバルト、 ニッケル、 アルミニウム、 銅など単体金属の粉 末又はこれらの単体金属の粉末に他元素を添加したものをメカ二カルミリング （ MM) 又はメカニカルァロイング （MA) 処理して、 ナノサイズの結晶粒組織の 粉末を製造し、 これにシース圧延、 押出し加工などの固化成形を施すと、 メカ二 カルミリング (MM) 又はメカニカルァロイング (MA) 処理過程で必然的に生 成する若干量の酸化鉄を、 酸素量として 0 . 5質量％程度まで調整することによ つて、 その酸化鉄などの結晶粒界に対するピン止め効果 （p i n n i n g e f f e e t ) により、 結晶粒の粗大化が抑制されて、 ナノ結晶材料の製造をより効 果的に行うことができる。 実施例
以下、 本発明の実施例について添付図面を参照しながら説明する。
実施例 1 ：
図 1は、 鉄、 コバルト、 ニッケルの各元素の粉末に他元素 (A) として炭素 (C) 、 ニオブ （Nb) 、 タンタル （Ta) 、 チタン （T i) などを 15原子0 /0 加えた M85A15 (原子％) (M二鉄、 コバルト又はニッケル） ，組成の元素状混合 粉末を 5 O h (時間） メカニカルァロイング （MA) 処理したときの鉄、 コバル ト、 ニッケルの各元素の平均結晶粒径の変化を示すグラフ図である。
ここで DFe、 Dc；。、 DNiはそれぞれ鉄、 コバルト、 ニッケルの平均結晶粒径 (nm) である。 本図より、 鉄、 コノ ノレト、 ニッケルの各元素の結晶粒微細化は 、 炭素、 ニオブ、 タンタル、 チタンなどによって、 より効果的に促進され、 三元 素とも数ナノオーダの粒径まで微細化されることが解る。
また、 銅、 アルミニウム、 チタンの場合も、 他元素添加により、 結晶粒の微細 化が促進され、 これらの元素においては、 とくに炭素、 リン、 ホウ素の効果が大 きかった。
他元素 A：炭素 (C) 、 ニオブ （Nb) 、 タンタル （Ta) 、 リン （P) 、 ホウ素 （B) など （図中、 窒素 Nデータは鉄のみに関するもの） 。
図 2は鉄の結晶粒径 DF。と添力卩元素 （A) の鉄中における粒界偏析因子 の 常用対数 1 o g |3の値との関係を示すグラフ図である。
添加元素 Aは、 炭素 （C) 、 窒素 （N) 、 タンタル （Ta) 、 バナジウム （ V) などである。
本図より 1 o g j3の大きいものほど MA処理過程での結晶の微細化効果が大 きいことが解る。
図 3はコバルトの結晶粒径 Dc。と添加元素 （A) のコバルト中における粒界 偏析因子 i3の常用対数 1 0 g 3の値との関係を示すグラフ図である。
添加元素 Aは、 炭素 （C) 、 ニオブ （Nb) 、 タンタル （Ta) などである 本図より、 この場合も 1 o g j3の値の大きいものほど MA処理過程での結晶 粒の微細化効果が大きいことが解る。 実施例 2 ：
図 4は、 鉄、 クロム、 ニッケル、 タンタルの元素状混合粉末を窒化鉄ととも に 100 hMA処理して得た F e 64-yC r 18N i sT a yN10 (原子0 /。） (y = 0 〜1 5) 試料の平均結晶粒径 D (nm) とタンタルの添カ卩量 y (原子0 /0) の関係 を示したグラフ図である。
本図より、 鉄と添加元素との二成分系材料において、 その粒界偏析因子 の 大きい元素は、 鉄との多成系材料においても、 MA処理過程での結晶粒の微細化 効果が大きいことが示されている。 実施例 3 ：
鉄と炭素の元素状混合粉末をメカ-カルァロイング （MA) 処理 （MA処理 時間： 200 h) して、 F e 99.8C。.2 (質量％) の粉末試料を取得した。 次い で、 それをステンレス鋼チューブ （S h e a t h) へ真空封入した後、 シース圧 延 （Sh e a t h Ro l l i n g) (成形圧力： 98 MP a、 成形温度： 90 0°C) して、 下記表 1に示す固化成形体 （バルク材） を得た。
1]
鉄と炭素の元素状混合粉末からのメカニカルァロイング（MA)処理
Fe99.8Ca2(質量％)
粉末試料のステンレス鋼チューブ（Sheath)への真空封入による
シース圧延 (Sheath Rolling)固化成形体 (SR成形片）の平均結晶粒径 D, ビッカース硬さ Hv、及び酸素分析値
(ΜΑ処理時間： 200h、成形圧力：98MPa、成形温度： 900°C)
Figure imgf000011_0001
Dの値は Scherrerの式を用いて算出
* 厚さ約 1.4mm
以上の実施例 3、 表 1からみて、 本発明によれば、 MA処理による結晶粒の オーダまでの超微細化により、 そのビッカース硬さ Hvは高炭素鋼のマルテ ンサイト組織を有する焼入れ材以上の硬さを示すものとなることが解った。 実施例 4 ：
鉄、 クロム、 ニッケル及びタンタルの各成分の元素状粉末と窒化鉄 （含有窒 素： 8. 51質量0 /0) の混合粉末から、 ボールミルを用いたメカニカルァロイン グ （MA) (雰囲気：アルゴンガス） により、 （a) F e 86C r isNi (質量0 /o ) 及び （b) F e 69. 25C r 2。N i sT a 2N。.75 (質量％) 合金粉末をつくつた 次いで、 これらの合金粉末を内径 40mmの黒鉛製ダイスに装填して、 真空 において 900°Cにて放電プラズマ焼結 （SPS) した後、 同温度にて更に熱間 圧延加工を加え、 これを焼なまし （1 1 50°CX 15分間） してから水冷処理し て得られた固化成形試料の平均結晶粒径 d、 硬さ Hv、 引張強さ σ ι!、 伸び δ及 び酸素 ·窒素分析値は表 2のとおりである。
[表 2]
メカ二力ルァロイング（ Μ Α)処理後、放電プラズマ焼結 (真空、 900°C) + 圧延 (真空、 900°C) +焼なまし（1150°C X 15分間ノ水冷)を施した 固化成形体試料、
(aiFessCr^l^ (質量％)及び（b)Fe69 25Cr2。Ni8Ta2N0 75(質量0/ o)の 平均結晶粒径 d、硬さ Hv、引張強さ σΒ、伸び (5及び酸素'窒素分析値
Figure imgf000012_0001
MAに用いた原料粉末の酸素の分析値 ： 0.23〜0.28質量％ 表 2からみて、 熱間固化成形及び焼なまし過程でかなり大きな結晶粒の成長が 生じているが、 両成形体試料ともナノサイズレベルの結晶粒組織は保持されてい る。 これは、 MA処理した合金粉末中に含まれている酸素即ち金属酸化物の結晶 粒界に対するピニング効果によるものと解釈される。
また、 両合金において、 窒素固溶と結晶粒の超微細化の両効果によって、 硬 さ Hv、 引張強さ σΒとも極めて大きな値になっていることが解った。 粉末材料の固化成形に超塑性を利用するには、 まず、 材料における結晶粒が 極微細であることと超塑性による変形過程で結晶粒の成長を極力抑制することが 最も重要となる。
本発明によれば、 原料粉末のメカニカルァロイング （ΜΑ) 処理によりナノ サイズの超微細な結晶粒の粉末が容易に得られ、 又、 同 ΜΑ処理粉末に必然的に 生成する金属酸化物がその固化成過程での粒成長を抑制するので超塑性を利用し た固化成形加工が容易になる。
以下に、 本発明で超塑性を利用した固化成形実施例について添付の図表を参 照しながら説明する。 実施例 5 ：
本発明によれば、 炭素鋼組成の材料では、 炭素含有量が 0. 765〜2. 1 4% (質量） の過共析鋼組成のメカニカルァロイング （ΜΑ) 処理粉末において 、 超塑性を利用した固化成形を効果的に達成できた。 以下にその 1例について説 明する。
鉄、 炭素、 クロム、 マンガン及びケィ素の各成分の元素状粉末と窒化鉄 (含 有窒素： 8. 5 1質量％) の混合粉末から、 ボールミルを用いたメカニカルァロ ィング （ΜΑ) 処理 （雰囲気：アルゴンガス） により、 過共析鋼組成の F e -xC G C r！. τΜΐΐ ο. 5Νο. S i χ (質量0 /0) (x = 1 ~3) 合金粉末を作り、 同粉末を内径 4 Ommの黒鉛製ダイスに充填して、 真空中において 750°Cにて 成形圧力 6 OMP aの下で 15分間のホットプレスを行い、 直径 40mm、 厚さ 約 5 mmの仮焼結体とした。
次いで、 800°Cにおいて、 同焼結体の厚さ方向に歪速度 10— 4/s (秒） に て、 30分間、 圧縮荷重を加えて得た固化成形体の各 S i濃度 （X) (質量％) における平均結晶粒径 d、 硬さ Hv、 引張強さ σΒ、 伸び δ、 及び酸素 ·窒素分 析値は表 3のとおりである。 なお、 本合金試料に窒素を含有させているのは、 その強度を増大させているた めである。
表 3によると、 800°Cでのこれらの試料の固化過程は常温での硬さ Hvの値 から判断して、 S i濃度 2% (質量） 以上からより効果的になることが解る。
S i濃度は好ましくは 2. 0〜 3. 5% (質量） である。
[表 3]
メカニカルァロイング (MA)処理後固化成形した
Fe96 1— xC^ gCr-, 7Mn0 5N0 2Six (質量0 /o) (X=1〜3)試料の
Si濃度と固化成形過程での緻密化及び同成形体機械的性質の関係
Figure imgf000014_0001
*各 X濃度の MA処理粉末の平均結晶粒径 ： 7〜20nm 実施例 6 ：
本発明によれば、 鎵鉄組成の材料では、 炭素の含有量が 2. 2〜4. 3% ( 質量） の白鍚鉄糸且成のメカニカルァロイング （MA) 処理粉末において、 超塑性 を利用した固化成形を効果的に達成できた。 以下にその 1例について説明する。
前記実施例 5と同様の方法により、 鉄、 炭素及びクロムの各成分の元素状粉 末と窒化鉄 （含有窒素： 8. 51質量％) の混合粉末からメカニカルァロイング (MA) によって、 铸鉄組成の F e 94.3C3.5C r 2N。.2 (質量％) 合金粉末を つくり、 同粉末を内径 4 Ommの黒鉛製ダイスに充填して、 真空中 700°Cにて 、 成形圧力 60 MP aの下で、 1 5分間のホットプレスにより、 直径 40mm、 厚さ 5 mmの仮焼結体とした。
次いで、 550、 600、 650、 700、 750 °Cの各温度にて同焼結体 の厚さ方向に歪速度 10— 4/ sにて 30分間圧縮荷重を与えて得た固化成形体の 各成形温度 Tにおける平均結晶粒径 d、 硬さ Hv、 引張り強さ σΒ、 伸ぴ δ及び 酸素 ·窒素分析値は表 4のとおりである。
[表 4]
メカニカルァロイング（MA)処理した Fe94 3C3 5Cr2N0 2(質量0 /o)
粉末合、 金の固化成形温度と同成形体の機械的性質
T
550 600 650 700
(°C)
d
2080 2510 150 230 270
(nm)
Hv 145 210 810 740 690 び Β
1610 1530 1380
(MPa)
10 17 23
0.503 0.469 0.457 0.432 0.425
(質量％)
0.205 0.208 0.201 0.204 0 7.2 507
(質量％)
表 4によると、 各試料の固化過程は、 常温におけるその硬さから判断して 6 5 0°C以上の温度からより効果的になることが解る。 実施例 7 ：
前記実施例 6と同様の方法により、 チタン、 タンタル、 ニオブ、 ジルコユウ ム及び鉄の各成分の元素状粉末の混合粉体からメカニカルァロイング (MA) に よって、 （a) T i 88T a 6Nb4F e 2 (質量0/。） 、 (b) T i seNb eZ r 4F e 2 (質量。/。） 及び （c) T i ssZ r eT a 4F e 2 (質量％) 合金粉末を作り、 同 粉末を内径 4 Ommの黒鉛ダイスに装填して、 真空中 8 50°Cにて成形圧力 60 MP aの下で 1 5分間ホットプレスにより直径 40mm、 厚さ 5mm、 の仮焼結 体とした。
次いで、 種々の温度で同焼結体の厚さ方向に歪速度 1 0_''Zsにて 1 5分間 圧縮荷重を与え、 その焼結体の常温での硬さが急激にし始める温度を超塑性の開 始温度 TSPとして求めた。 結果は表 5のとおりであった
[表 5]
メカニカルァロイング（MA)処理した、（a)Ti88Ta6Nb4Fe2(質量％)、
Figure imgf000017_0001
及び (c)Ti88Zr6Ta4Fe2(質量0 /0)
合金粉末の固化成形体の機械的性質と成形過程での軟化 (超塑性)開始温度
Figure imgf000017_0002
MA処理粉末中の平均結晶粒径 ： 14〜20nm
表 5は、 TSPより 50°C高い温度で、 10— 4Zsの歪み速度にて 30分間圧 縮荷重を加えて得た固化成形体の平均結晶粒径 d、 硬さ Hv、 引張強さ σΒ、 伸 び δ及び酸素の分析値である。
実施例 5 (表 3) 、 実施例 6 (表 4) 、 実施例 7 (表 5) からみて、 ナノ結 晶から構成されている固化成形体においては、 その結晶粒の大きさ、 組成などに 応じて超塑性の起こる温度が存在し、 その温度付近から発現する超塑性によって 固化成形過程でのナノサイズレベルでの結晶粒子間の結合がより効果的に起こり 、 このことが常温での極端に高！/、バルク材の硬さに反映されているものと解釈さ れることが解った。
実施例 5 (表 3) において、 S i濃度が 2質量％以上で固化過程がより効果 的になるのは、 S 〖によって、 圧縮荷重のもとで、 粒成長が大きく、 抑制される ことによるものと解釈される。
また、 実施例 7 (表 5) からみて、 T i基のような高融解温度をもつ合金で も本発明によるとこれを M A処理によって、 ナノサイズの結晶粒からなる粉末に し、 比較的低い温度での固化成形処理によって、 そのバルク材を製造することが できることが解った。 実施例 8 ：
メカ-カルァロイング （MA) により作製した （a) A 193. sCueZ r 0. 5 (質量0 /0) 、 （b) C usrA 1 ,oF e a (質量0 /o) 、 (c) N i 48.25 C r 39F e ,oT i ,.75 A 1 i (質量％) の合金粉末は固化成形過程においてそれぞれ 430 °C、 750°C、 770°C付近の温度で超塑性を示し、 その温度は溶解法でつくら れたこれらの合金の超塑性開始温度より何れも約 50°Cほど低かった。
これは、 本発明によるナノ結晶材料における結晶粒が超微細なことと、 ナノ 結晶粒子間及び/又は同粒子の内部に存在する金属酸化物などが結晶粒成長抑制 に効果的に働いていることが大きな理由となっているものと角军釈される。
本発明によれば、 例えばその脆さのため、 従来その用途が限られていた鏡鉄 や高融点材料又はチタン合金のような難加工材料もメ力二カルァロイング （MA ) 処理によるナノ結晶粉末の製造と超塑性を利用した固化成形の方法の適用によ り、 前記実施例 6および実施例 7で述べたように、 従来法では得られなレ、高硬度 •高強度で高靱性を有する新規な （ナノ結晶粒の集合体であるバルク材） 材料を 容易に製造できることが解つた。 産業上の利用可能性
前記本発明で得られたナノ結晶金属バルク材は、 下記のような用途に好適に 使用される。
(1) ベアリング （軸受） 類、
本発明によるナノ結晶金属バルク材を軸受の回転部に用いると、 前記の強度特 性から、 その使用量を大幅に減らすことができるので、 これにより、 使用材料の 節減になるばかりでなく、 軸受転動体部の遠心力の大きな低下を通じて、 軸受運 転時の使用電力を大きく低減することができる。
(2) 歯車類
歯車の材料に多く用いられている金属材料では、 その表面部 （歯面部） には耐摩 耗性をもたせ、 そして内部には強レ、靱性をもたせるという相矛盾する性質を一つ の部品に与える必要があるため、 この場合は、 歯面部への浸炭などと焼入 '焼き もどしとを組み合わせたかなり高度な技術と熟練を要する表面硬化処理が必要と なるが、 本発明による、 例えば押し出し加工で製造した超硬質で強靱な特性を有 するナノ結晶金属パルク材をこれに用いる場合は、 そのような表面硬化などの処 理は不要である。
( 3 ) 熱間加工用工具、 押出工具類
例えば、 高温切削工具材として多く用いられているモリプデン系の高速度鋼の ような焼入れ ·焼きもどし材では、 そのマトリツタスが昇温域で不安定な焼きも どしマルテンサイ ト相からなるために、 4 0 0 °C付近の温度以上では急激に軟化 する性質をもっている。 しかし本発明によるナノ結晶金属バルク材は、 そのマト リックス自体が安定相からなるため、 そのような温度域で急激な軟化を示すこと はないので、 より優れた熱間加工向けの工具材料として用いることができる。 また、 本発明によるナノ結晶金属バルク材は、 上記のような熱的に比較的安定 なマトリックスからなるため、 使用時に熱的変化の激しい押出し工具などにも、 より効果的に用いることができる。
( 4 ) 医療器具類その他
チタン系バルク材ゃ高窒素クロム一マンガン系オーステナイ ト鋼は、 ニッケルを 含有するクロム一ニッケル系オーステナイトステンレス鋼と異なり、 人体に皮膚 炎などの疾病をひき起こすことがなく、 外科医が用いるメス、 医療用低温器具類 、 その他一般用のナイフ、 工具類の材料としても有望といえる。

Claims

請 求 の 範 囲
( 1 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、 前記各 ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質として金 属又は半金属の酸化物を存在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度で強靱 なナノ結晶金属バルク材。
( 2 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、 前記各 ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質として金 属又は半金属の窒化物を存在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度で強靱 なナノ結晶金属バルク材。
( 3 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、 前記各 ナノ結晶粒子の粒子間及び Z又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質として金 属又は半金属の炭化物を存在させてなることを特徴とする高硬度 ·高強度で強靱 なナノ結晶金属バルク材。
( 4 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、 前記各 ナノ結晶粒子の粒子間及び Z又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質として金 属又は半金属のケィ化物 （シリサイ ド） を存在させてなることを特徴とする高硬 度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
( 5 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、 前記各 ナノ結晶粒子の粒子間及び/又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質として金 属又は半金属の硼化物 （ボライド） を存在させてなることを特徴とする高硬度 · 高強度で強靭なナノ結晶金属バルク材。
( 6 ) 金属ナノ結晶粒子の集合体よりなる金属バルク材であって、 前記各 ナノ結晶粒子の粒子間及び Z又は同粒子の内部に、 結晶粒成長抑制物質として、
( 1 ) 金属又は半金属の酸化物、 （2 ) 金属又は半金属の窒化物、 （3 ) 金属又 は半金属の炭化物、 （4 ) 金属又は半金属のケィ化物 （シリサイド） 又は （5 ) 金属又は半金属の硼化物 （ボライド） 力 選ばれる 2種以上の化合物を存在させ てなることを特徴とする髙硬度 ·髙強度で強靭なナノ結晶金属バルク材。
(7) 金属ナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、 窒素を 0. 01〜5. 0質量％含有するものであることを特徴とする前記 （1) 〜 （6) の いずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(8) 金属ナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、 窒素を 0. 1〜2. 0質量％含有するものであることを特徴とする前記 （1) 〜 （6) のい ずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(9) 金属ナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、 金属酸化物 の形態で酸素を 0. 01〜1. 0質量％含有したものであることを特徴とする前 項 （1) 〜 （8) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靭なナノ結晶金属 バルク材。
(10) 金属ナノ結晶粒子の集合体の固化成形過程での脱窒を防ぐため、
-ナノ結晶金属より窒素との化学的親和力が大きレ、金属元素を含有せしめてなるこ とを特徴とする前項 （1) 〜 （9) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強 靱なナノ結晶金属バルク材。
(1 1) ナノ結晶金属形成成分が、
アルミニウム、 マグネシウム、 亜鉛、 チタン、 カルシウム、 ベリ リウム、 アンチ モン、 イットリウム、 スカンジウム、 インジウム、 ウラン、 金、 銀、 クロム、 ジ ルコニゥム、 錫、 タングステン、 タンタル、 鉄、 ニッケル、 コバルト、 銅、 ニォ ブ、 白金、 バナジウム、 マンガン、 モリブデン、 ランタン、 ロジウム、 炭素、 珪 素、 硼素、 窒素、 リンから選ばれる 1種又は 2種以上であることを特微とする前 項 （1) 〜 （10) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金 属バルク材。
(12) ナノ結晶金属形成成分が、
歯科用白金属元素であることを特徴とする前項 （1) 〜 （10) のいずれか 1項 に記載の高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(1 3) ナノ結晶金属が、 N i 3A l、 F e 3A l、 F eA l、 T i 3A 1 、 T i A l、 T i A 1 a, Z rA l 3、 NbA l N i A l、 Nb3A l、 Nb 2 A l、 Mo S i Nb5S "、 T "S i 3、 Nb2B e〖7、 Co3T i、 N i 3 ( S i、 T i ) 、 S i C、 S i 3N4、 A 1 N、 T i N i、 Z r B2、 Hf B2、 C r 3C2、 又は N i 3A 1— N i 3Nb金属間化合物から選ばれるいずれか 1種又は 2 種以上であることを特徴とする前項 （1) 〜 （10) のいずれか 1項に記載の高 硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶金属バルク材。
(14) 金属ナノ結晶粒子が、 ボールミル等を用いるメカ二カルミリング (MM) 又はメカニカルァロイング （MA) によって得られたものであることを 特徴とする前項 （1) 〜 （13) のいずれか 1項に記載の高硬度 ·高強度で強靱 なナノ結晶金属バルク材。
(1 5) ナノ結晶金属形成成分の各微粉末を、
ボールミル等を用いてメカニカルァロイング (MA) することによって、 ナノ結 晶金属粉末を製造した後、
同金属粉末をシース圧延 （S h e a t h Ro l l i n g) , 放電プラズマ焼結 (S p a r k P l a sma S i n t e r i n g) 、 押出し成形等の熱間固化 成形又は爆発成形などの固化成形処理することにより高硬度 ·高強度で強靱な金 属バルク材となすことを特微とするナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(1 6) ナノ結晶金属形成成分の各微粉末を、
窒素源となる物質とともに混合し、
ボールミル等を用いてメカニカルァロイング （MA) することによって、 高窒素 濃度ナノ結晶金属粉末を製造した後、
同金属粉末をシース圧延 （S h e a t h Ro l l i n g) , 放電プラズマ焼結 (S p a r k P l a sma S i n t e r i n g) 、 押出し成形等の熱間固化 成形又は爆発成形などの固化成形処理することにより高硬度 ·高強度で強靱な金 属バルク材となすことを特微とするナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(1 7) 窒素源となる物質が、 金属窒化物であることを特徴とする前項 （ 16) に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(18) 窒素源となる物質が、 N2ガス又は NH3ガスであることを特徴と する前項 （16) 記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(1 9) メカニカルミリング又はメカニカルァロイングを施す雰囲気が、 (1) アルゴンガスなどの不活性ガス、 （2) N2ガス、 又は （3) NH3ガスか ら選ばれるいずれか 1種、 又は （4) (1) 〜 （3) から選ばれる 2種以上の混 合ガスの雰囲気であることを特徴とする前項 （15) 〜 （18) のいずれか 1項 に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(20) メカ二カルミリング又はメカニカルァロイングを施す雰囲気が、 若干の H 2ガスなどの還元性物質を加えたガスの雰囲気であることを特徴とする 前項 （19) に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(21) メカ二カルミリング又はメカニカルァロイングを施す雰囲気が、 真空又は真空中に若干の H 2ガスなどの還元性物質を加えた真空又は還元雰囲気 であることを特徴とする前項 （15) 又は （1 6) に記載のナノ結晶金属バルタ 材の製造方法。
(22) ナノ結晶金属形成成分の各微粉末と、 金属窒化物を 1〜10体積 %又はナノ結晶金属より窒素との化学的親和力の大きい窒素親和性金属を 0. 5 〜 10質量％を、 窒素源となる物質とともに混合し、
ボールミル等を用いてメカニカルァロイング （MA) することによって、 高窒素 ナノ結晶金属粉末を製造した後、
同金属粉末をシース圧延、 放電プラズマ焼結、 押出し成形等の熱間固化成形又は 爆発成形などの固化成形処理し、
その際のメカニカルァロイング （MA) 過程及びメカニカルァロイング （MA) 処理粉末の固化成形過程で前記添加窒化物を分散させるか又は前記金属元素の窒 化物、 炭窒化物等を析出 ·分散させ、
高硬度 ·高強度で強靱な金属パルク材となすことを特微とする前項 （1 6) 〜 （ 21) のいずれか 1項に記載のナノ結晶金属バルク材の製造方法。
(23) ナノ結晶金属の配合組成が、 他元素を 0〜40質量％含有するも のであり、 その固化成形の温度が融点ないし融解温度より 10%以上低い温度で あることを特微とする前項 （15) 〜 （22) のいずれか 1項に記載のナノ結晶 金属バルク材の製造方法。
( 2 4 ) ナノ結晶の鋼形成成分の各粉末をボールミル等を用いてメカニカル ァロイング （MA) することによって、 ナノ結晶鋼粉末を製造した後、 同鋼粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の熱間固化成 形又は爆発成形などで超塑性発現温度近傍の温度で固化成形処理することを特徴 とする高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶鋼バルク材の製造方法。
( 2 5 ) ナノ結晶の铸鉄形成成分の各粉末をボールミル等を用いてメカ二力 ルァロイング （MA) することによって、 ナノ結晶鍀鉄粉末を製造した後、 同鏡鉄粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の熱間固化 成形又は爆発成形などで超塑性発現温度近傍の温度で固化成形処理することを特 徵とするナノ結晶铸鉄バルク材の製造方法。
( 2 6 ) ナノ結晶の鋼形成成分の各粉末をボールミル等を用いてメカニカル ァロイング （MA) することによって、 ナノ結晶鋼粉末を製造した後、 同ナノ結晶鋼粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の熱 間固化成形又は爆発成形などで固化成形処理して鋼バルク材となし、
その後前記鋼バルク材を超塑性発現温度近傍の温度で成形加工することを特徴と する高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶鋼成形体の製造方法。
( 2 7 ) ナノ結晶の铸鉄形成成分の各微粉末をボールミル等を用いてメカ二 カルァロイング （MA) することによって、 ナノ結晶鍀鉄粉末を製造した後、 同ナノ結晶铸鉄粉末を放電プラズマ焼結、 ホットプレス、 押出し成形、 圧延等の 熱間固化成形又は爆発成形などで固化成形処理して铸鉄バルク材となし、 その後前記鎵鉄パルク材を超塑性発現温度近傍の温度で成形加工することを特徴 とする高硬度 ·高強度で強靱なナノ結晶鎳鉄成形体の製造方法。
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