WO2004028228A1

WO2004028228A1 - 部品実装装置及び部品実装方法

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Publication number: WO2004028228A1
Application number: PCT/JP2002/009660
Authority: WO
Inventors: Kazunobu Sakai; Makoto Nakashima; Wataru Hirai; Yasuyuki Ishitani
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2001-06-08
Filing date: 2002-09-20
Publication date: 2004-04-01
Also published as: CN1278594C; JP2002368495A; EP1545181B1; EP1545181A4; US20050060883A1; US7185422B2; EP1545181A1; DE60233444D1; CN1613284A

Description

明細書部品実装装置及び部品実装方法技術分野

本発明は、樹脂基板等の回路形成体への安定した部品の実装を行う部品実装装置及び部品実装方法に関するものであり、特に吸着ノズルによる吸着で上記部品を保持し、上記部品の搬送を行う部品実装装置及び部品実装方法に関するものである。背景技術

樹脂基板等の回路形成体に部品を実装する部品実装装置において、上記部品を上記回路形成体に装着するまでの間に上記部品の認識作業を行い、該認識作業の結果に基いて上記回路形成体に上記部品を装着するときの上記回路形成体上の装着位置に対する補正量を求めておくことは、部品の装着時における装着精度及び装着率を向上させる上で重要である。

図 1 0は、回路形成体の一例である樹脂基板 2に部品 1を実装する従来の部品実装装置 1 0 0を示したものである。上記樹脂基板 2は、電子部品である上記部品 1を実装させる為に回路パターンが形成されているプリント基板であり、 X Y テーブル 8にて保持されている。又、部品供給装置 3に備えられたパーツカセット 4は、上記部品 1をテーピングにて収納しており、上記部品 1は、部品吸着位置 9において、円環状の移動経路 1 2に沿って図 1 0における時計回りの一方向間欠回転運動を行っているノズルュニット 6に備えられる吸着ノズル 5にて上記パーツカセット 4から 1個ずつ吸着される。

上記部品吸着位置 9における吸着作業の後、上記ノズルユニット 6は、上記移動経路 1 2に沿って部品認識位置 1 0まで移動し、上記ノズルュ-ット 6の吸着ノズノレ 5に吸着されている部品 1は、部品認識装置 7にて所定の空間内における上記部品 1の吸着状態を認識される。上記部品認識装置 7にて得られた上記部品 1の認識情報が入力された制御装置 2 0は、該部品認識情報に基いて装着時における捕正量を算出し、該補正量を補正量格納部 2 0 cに格納する。そして、上記部品 1の認識後、上記ノズルュ二ット 6は、上記移動経路 1 2に沿って部品装着位置 1 1へ移動する。

そして、上記制御装置 2 0は、 N Cデータ格納部 2 0 aから読み出された N C データに登録されている上記樹月旨基板 2上の座標と、上記補正量格納部 2 0 cに格納した上記補正量とに基いて上記樹脂基板 2上の装着位置の座標を算出し、更に、上記補正量に基いて角度補正を行う為の上記吸着ノズル 5の回転角を算出する。そして、上記制御装置 2 0は、算出された該回転角に基いて上記吸着ノズル 5を中心軸周りに回転させるとともに、算出された上記樹脂基板 2上の装着位置の座標に基いて上記 XYテーブル 8を作動させて上記樹脂基板 2を移動させる。そして、上記部品装着位置 1 1に上記ノズノレュニット 6が配置されたとき、上記ノズルュ二ット 6の上記吸着ノズル 5にて吸着される上記部品 1は、上記樹脂基板 2上に装着される。

図 1 1は、上記吸着ノズル 5にて吸着された上記部品 1の正規の吸着状態 1 b からのズレ量 Δ L及び傾き Δ Θを示したものである。尚、上記部品 1の正規の吸着状態 1 bとは、図 1 1において破線で示すように、部品 1の重心 1 aと上記吸着ノズル 5の中心軸 5 bとが重なる状態のことをいう。上述したように、上記部品実装装置 1 0 0では、吸着ノズル 5の吸着にて部品 1を保持し、樹脂基板 2上に装着する。この場合、上記部品 1がパーツカセット 4に備えられるテーピングのキヤビティ内にてばらつきが生じたり、部品実装装置 1 0 0における上記吸着ノズル 5の組み付け状態にばらつきが生じたりすることにより、図 1 0に示す部品吸着位置 9における吸着作業時において、図 1 1に示すように部品 1がズレ量 Δ L分ずれることがある。

吸着ノズル 5で部品 1を吸着した際、部品 1の重心 1 aが吸着ノズノレ 5の中心軸 5 bからずれた場合でも、上記部品 1は、図 1 0に示す移動経路 1 2に沿って移動するノズルュニット 6により当初設定されていた搬送速度で搬送される。よつて、上記ノズルュ二ット 6の移動時の加速度に応じて上記部品 1に慣性力が加わることで、図 1 1に示すズレ量が大きい場合には、上記部品 1に働くモーメントが大きくなる。その結果、部品認識装置 7にて上記部品 1を認識して補正量を算出したときから部品装着位置 1 1にて上記部品 1を装着するまでノズルュニット 6が移動する際、上記吸着ノズル 5の中心軸 5 から上記部品 1をずらそうとするモーメント力が上記部品 1に働き、上記部品 1は、上記吸着ノズル 5の下端部 5 aにて部品認識時の状態から更にずれる可能性がある。従って、従来の部品実装装置 1 0 0では、上記補正量に基いた位置補正のみで上記樹脂基板 2上に上記部品 1を装着したときに、上記部品 1を装着した上記樹脂基板 2上の位置が N Cデータと部品認識情報とに基く上記樹脂基板 2上の装着位置よりずれてしまう可能性があった。

尚、上述した従来例ではロータリータイプの部品実装装置 1 0 0を用いて説明したが、上記吸着ノズル 5を備えるノズルュニット 6が XY平面上において自在に移動できる X Yロポットタイプの部品実装装置の場合でも、部品認識後に生じたズレ量の変ィ匕に対して補正を行うことができない。

本発明は、上述した問題を解決すべくなされたものであり、回路形成体への部品の装着精度及び装着率を向上させる部品実装装置、及び部品実装方法を提供することを目的とする。発明の開示

本発明は、上記目的を達成するため、以下のように構成している。

本発明の第 1態様である部品実装装置は、回路形成体に装着すべき部品を吸着にて保持する吸着ノズルを備え、上記部品が上記吸着ノズルにて吸着される部品吸着位置から、上記吸着ノズルにて吸着された上記部品が上記回路形成体に装着される部品装着位置まで上記吸着ノズルにて吸着された上記部品を搬送する部品搬送装置と、

上記部品吸着位置から上記部品装着位置までの上記部品搬送装置による上記吸着ノズルの移動経路上に存在する部品認識位置にて、上記吸着ノズルに吸着されている上記部品を認識する部品認識装置と、

上記部品認識装置にて得られた部品認識情報に基いて上記吸着ノズルにおける上記部品の正規の吸着状態からのズレ量を求め、上記部品認識後から上記部品装着までにおける上記部品搬送装置による、上記部品の搬送速度を上記ズレ量の大きさに基いて制御する制御装置とを備えることを特徴とする。

上記制御装置による上記部品の上記搬送速度の制御は、当初設定していた設定速度を減速若しくは維持することで上記搬送速度を求める制御であってもよい。上記制御装置は、上記部品認識後に上記設定速度で上記部品を搬送することで上記部品に生じる力であり、かつ、上記吸着ノズルによる上記部品の部品認識時における吸着位置から上記部品をずらそうとする力を上記ズレ量に基いて求め、該部品をずらそうとする力と上記吸着ノズルの有する部品保持力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御することができる。

上記制御装置は、上記部品保持力と均衡する上記部品をずらそうとする力に基くズレ量であるしきい値を上記部品認識情報に基いて求められる上記ズレ量が超えるとき、上記設定速度を減速して上記搬送速度を求めることができる。

上記制御装置は、上記吸着ノズルにて保持された上記部品の性状にかかる情報を格納する部品情報格納部を備え、上記部品保持力と上記部品データ格納部から読み出される上記部品の性状に応じて変化する上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御することができる。

上記部品搬送装置は、種類が異なる上記吸着ノズルを複数備え、

上記制御装置は、上記各吸着ノズルの種類と上記部品保持力との関係を示す情報を格納する吸着ノズル用格納部を備え、上記部品認識装置にて認識される上記部品を吸着する上記吸着ノズルの上記吸着ノズル用格納部から読み出された上記部品保持力と、当該吸着ノズノレにて吸着されている上記部品に働く上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御することができる。本発明の第 2態様である部品実装方法は、回路形成体に装着すべき部品を吸着ノズルで吸着し、上記吸着ノズルにて吸着された上記部品を上記回路形成体に装着するまで搬送する部品実装方法において、

部品吸着後から部品装着までの間に、上記吸着ノズルにて吸着された上記部品の部品認識を行い、

該部品認識にて得られた部品認識情報に基レヽて上記吸着ノズルにおける上記部品の正規の吸着状態からのズレ量を求め、

上記部品認識後から上記部品装着までにおける上記部品の搬送速度を上記ズレ量の大きさに基いて制御することを特徴とする。

上記第 2態様において、上記搬送速度の制御は、当初設定していた設定速度を減速若しくは維持することで上記搬送速度を求める制御であってもよい。

又、上記第 2態様において、上記ズレ量に基いた上記搬送速度の制御は、上記部品認識後に上記設定速度で搬送することで上記部品に生じる力であり、かつ、上記吸着ノズルによる上記部品の部品認識時における吸着位置から上記部品をずらそうとする力を上記ズレ量に基いて求め、該部品をずらそうとする力と上記吸着ノズルの有する部品保持力との比較結果に基いて制御することができる。又、上記第 2態様において、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品保持力と均衡する上記部品をずらそうとする力に基くズレ量であるしきい値を上記部品認識情報に基いて求められる上記ズレ量が超える場合、上記設定速度を減速して上記搬送速度を求めることができる。

又、上記第 2態様において、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品の性状に応じて変化する上記部品をずらそうとする力を考慮して制御することができる。

又、上記第 2態様において、種類が異なる複数の上記吸着ノズルが存在するとき、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品を吸着する上記吸着ノズルの種類に応じて変化する上記部品保持力を考慮して制御することができる。上述した、本発明の第 1態様である部品実装装置、及び本発明の第 2態様である部品実装方法では、部品吸着位置から部品装着位置までの移動経路に沿って移動する吸着ノズルにて吸着された部品を上記移動経路上の部品認識位置において認識し、該部品認識にて得られた部品認識情報に基いてズレ量を求めることで、該ズレ量の大きさに基いて部品認識後から部品装着までの搬送速度を求めた。その結果、求めた上記搬送速度にて部品認識後から部品装着までの上記部品の搬送を行うことで、部品認識後における上記ズレ量の更なる変化を抑制することができ、上記回路形成体上への上記部品の装着精度及び装着率を向上させることがでさる。

又、当初設定していた設定速度を減速若しくは維持することで上記搬送速度を求める構成を採ることで、上記ズレ量から上記搬送速度の求め方の 1つとして考えられる、例えば各ズレ量に対応した搬送速度を予め求めておく方法等に比べて、上記搬送速度を求める為の実験等は不要であり、又、より細かく搬送速度を決定可能な場合も生じる。

又、上記部品認識後に上記設定速度で上記部品を搬送することで上記部品に働く力であり、かつ、上記吸着ノズルによる上記部品の部品認識時における吸着位置から上記部品をずらそうとする力を上記ズレ量に基いて求めるように構成することで、該部品をずらそうとする力と上記吸着ノズルの有する部品保持力との比較結果に基いて上記搬送速度を求めることができる。従って、上記ズレ量が大きくなることで上記部品をずらそうとする力が上記部品保持力を超えることによる吸着不安定を抑制することができ、上記部品認識後での上記ズレ量の更なる変化を抑制することができる。

又、上記部品保持力と上記部品をずらそうとする力とが均衡したときの上記部品のズレ量をしきい値とした場合、正規の吸着状態からの上記部品のズレ量が上記しきい値を超えるとき、上記設定速度を減速して上記搬送速度を求めるように構成することもできる。該構成によれば、上記ズレ量が上記しきい値を超えない場合での上記部品をずらそうとする力を求めることを省略することができる。又、上記部品保持力と上記部品の性状に応じて変ィヒする上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御することで、上記部品の性状の変ィ匕に応じた上記部品をずらそうとする力の変化に対応して上記搬送速度を厳密に制御することができる。従って、質量、体積及び高さが異なる複数の部品を上記回路形成体へ装着する場合においても装着精度及び装着率を向上させることができる。

又、種類が異なる吸着ノズルが複数ある場合、上記吸着ノズルの種類に応じて変化する上記部品保持力と上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御することで、上記吸着ノズルの種類に応じて上記部品保持力の大きさが変化する場合でも上記搬送速度を制御することができる。従って、上記回路形成体への上記部品の装着精度及び装着率を向上させることができる。図面の簡単な説明本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、

図 1は、本発明の第 1実施形態にかかる部品実装装置の斜視図であり、図 2は、図 1に示す部品実装装置における制御装置の接続状態を示す説明図であり、

図 3は、図 1に示す部品実装装置に備えられる部品認識装置による部品認識を示す斜視図であり、

図 4は、所定の部品保持力に対する部品をずらそうとする力と部品のズレ量との関係を示すダラフであり、

図 5は、本発明の第 1実施形態にかかる部品実装方法を示すフローチャートであり、

図 6は、所定の部品保持力に対する部品をずらそうとする力と該部品の質量との関係を示すグラフであり、

図 7は、本発明の第 2実施形態にかかる部品実装装置における制御装置の接続状態を示す説明図であり、

図 8は、吸着ノズルの有する部品保持力と部品をずらそうとする力との関係を示すグラフであり、

図 9は、本発明の第 3実施形態にかかる部品実装装置における制御装置の接続状態を示す説明図であり、

図 1 0は、従来の部品実装装置における制御装置の接続状態を示す説明図であり、

図 1 1は、部品の正規の吸着状態からのズレ量及び傾きを示す説明図である。発明を実施するための最良の形態

以下、図面を参照して本発明における第 1実施形態である部品実装装置及び部品実装方法について詳細に説明する。

上記部品実装装置及び部品実装方法では、樹脂基板、紙一フエノール基板、セラミック基板、ガラス 'エポキシ（ガラエポ）基板、フィルム基板等の回路基板、単層基板若しくは多層基板等の回路基板、部品、筐体、又はフレーム等の回路形成体に電子部品、機械部品、光学部品等の部品を実装する。尚、各図において同一部材には、同一の参照符号を付している。又、上記部品実装装置及び上記部品実装方法において上記部品は、吸着ノズルによる吸着にて保持されるものであり、図 1 1において破線で示すように、部品 1の重心 1 aと上記吸着ノズル 5の中心軸 5 bとが重なる状態 1 bを上記部品 1の正規の吸着状態とする。

図 1は、本発明の第 1実施形態にかかる部品実装装置 2 0 0の全体の構成を示す斜視図であり、図 2は、上記部品実装装置 2 0 0における制御装置 3 0の接続状態を示すものである。

上記部品実装装置 2 0 0は、図 2に示すように上記吸着ノズル 5を備えたノズルュ-ット 6を円環状の移動経路 1 2に沿って等間隔に 1 6台備える、ロータリ一タイプの部品実装装置である。そして、上記部品実装装置 2 0 0は、図 1に示すように部品搬送装置 1 3と、部品供給装置 3と、部品認識装置 7と、 XYテーブル 8とを備えている。そして、上記部品搬送装置 1 3と、上記部品供給装置 3 と、上記部品認識装置 7と、上記 XYテープノレ 8とは、各々制御装置 3 0に接続される。

上記部品搬送装置 1 3は、上記各ノズルュ-ット 6を備えており、上記制御装置 3 0の制御に基いて動作されることで、上記各ノズルュ-ット 6の図 2に示す上記移動経路 1 2に沿った時計回りの一方向間欠回転運動を行う。よって、上記ノズルュ二ット 6の上記一方向間欠回転運動により、上記吸着ノズル 5にて吸着される上記部品 1の搬送が行われる。尚、上記一方向間欠回転運動における回転角は、 2 2 . 5 ° である。又、上記吸着ノズゾレ 5は、図 1 1に示す中心軸 5 b 回りに回転可能であり、該回転は、上記制御装置 3 0にて制御される。

上記部品供給装置 3は、図 2に示す上記移動経路 1 2上の部品吸着位置 9において、図 1に示すように上記ノズルュ二ット 6の下方に配置される。又、上記部品認識装置 7は、図 2に示す上記部品吸着位置 9から上記移動経路 1 2に沿って 9 0 ° 時計回りに移動した上記移動経路 1 2上の部品認識位置 1 0において、図 1に示すように上記ノズルユエット 6の下方に配置される。又、上記 XYテープル 8は、図 2に示す上記部品認識位置 1 0から上記移動経路 1 2上にて 9 0 ° 時計回りに移動した上記移動経路 1 2上の部品装着位置 1 1において、図 1に示すように上記ノズルュ二ット 6の下方に配置される。尚、上記ノズルュ二ット 6は、上記部品搬送装置 1 3による一方向間欠回転運動により、図 2に示す上記部品吸着位置 9、上記部品認識位置 1 0及び上記部品装着位置 1 1において停止する。

上記部品供給装置 3は、上記部品吸着位置 9に配置された上記吸着ノズル 5が吸着すべき部品 1を供給するものであり、上記制御装置 3 0の制御により図 1における X軸方向への往復移動が可能な部品供給テーブル 3 aと、上記部品供給テ一ブル 3 a上に組み付けられる複数のパーツカセット 4とを備える。尚、上記各パーツカセット 4に組み付けられるリーノレ 1 4に卷き取られたテーピング内に収納される部品 1の種類、形状及び^ ^寸法等は、該リール 1 4が組み付けられるパーツカセット 4毎に各々異なる。よって、上記部品供給装置 3による部品 1の選択は、上記制御装置 3 0にて上記部品供給テーブル 3 aを作動させ、上記部品供給位置 9に配置されたノズルュニット 6に備えられる吸着ノズル 5の図 1 1に示す下端部 5 aと、吸着すべき部品 1を供給するパーツカセット 4とを対向させることで行われる。

上記部品認識装置 7は、上記部品認識位置 1 0へと搬送された上記部品 1の上記吸着ノズル 5による吸着位置、及び吸着状態を認識するものである。又、上記部品認識装置 7にて認識された上記部品 1の上記吸着位置及び上記吸着状態の部品認識情報は、上記部品 1の装着時における補正量を算出する為、上記部品認識装置 7から上記制御装置 3 0へ出力される。又、上記部品認識装置 7には、図 1 に示すようにモニター 7 aが接続されている。そして、上記モニター 7 aは、図 3に示すように上記部品認識装置 7にて認識された所定の空間内における上記部品 1の吸着位置及び吸着状態を表示できる。尚、上記部品認識装置 7にて認識される上記部品 1が図 1 1に示す正規の吸着状態 1 bからずれる具体的な要因は、上記テーピングのキヤビティ内における上記部品 1の収納位置のばらつき、上記部品供給装置 3における上記パーツカセット 4の取付位置におけるばらつきや上記パーツカセット 4自体のばらつき、上記部品実装装置 2 0 0における上記吸着ノズル 5の組み付け状態のばらつき、及び上記パーツカセット 4における上記テ一ビングの送り位置のばらつき等の少なくとも 1つである。上記 X Yテーブル 8は、上記部品 1の装着される回路形成体の一例である樹月旨基板 2を保持するものであり、上記制御装置 3 0の制御により上記樹脂基板 2を図 1における X軸方向及び Υ軸方向へと自在に移動させることができる。よって、上記上記 Χ Υテーブル 8にて上記樹脂基板 2を移動させることで、上記部品装着位置 1 1へ搬送された上記部品 1が装着される上記樹脂基板 2上の装着位置（図示せず）を上記部品装着位置 1 1の下方に配置することができる。

上記制御装置 3 0は、図 2に示すように N Cデータ格納部 3 0 aと、補正量演算部 3 0 bと、補正量格納部 3 0 cと、ノズル中心軸格納部 3 0 dと、ズレ量演算部 3 0 eと、しきい値格納部 3 0 f とを備える。

上記 N Cデータ格納部 3 0 aは、上記部品供給装置 3から上記部品 1を供給する順番、上記部品 1を上記部品供給位置 9から上記部品装着位置 1 1へ搬送する為に設定された設定速度、及び上記部品 1を装着すべき上記樹脂基板 2上の座標等を登録する N Cデータを格納している。又、上記補正量演算部 3 0 bは、上記 N Cデータ格納部 3 0 aから読み出された N Cデータと、上記部品認、識装置 7から入力された上記部品認識情報に基いて得られる図 1 1に示す上記部品 1の重心 1 aの位置データ及び傾き Δ Θの角度データとに基き、上記樹脂基板 2上に上記部品 1を装着する為の補正量を演算するものである。又、上記補正量格納部 3 0 cは、上記補正量演算部 3 O bにて算出された上記捕正量を一時格納するものであり、上記制御装置 3 0は、上記 N Cデータと上記補正量格納部 3 0 cからの上記補正量とに基いて上記 X Yテーブル 8を作動させることで上記樹脂基板 2の位置決めを行うことができる。又、上記制御装置 3 0は、上記補正量格納部 3 0 c から読み出した上記補正量に基いて上記吸着ノズル 5を図 1 1における中心軸 5 a回りに回転させることで上記部品 1の角度補正を行うことができる。

図 2に示す上記ノズル中心軸格納部 3 0 dは、図 3に示す上記部品認識装置 7 にて認、識される所定の空間内における吸着ノズル 5の図 1 1に示す中心軸 5 bの位置を格納するものである。尚、上記吸着ノズル 5の中心軸 5 bの位置データは、図 2に示す上記部品認識装置 7にて上記部品 1を吸着していない状態の上記吸着ノズル 5を認識することで得られる。

又、上記ズレ量演算部 3 0 eは、図 1 1に示すズレ量 Δ Lを算出するものであり、該ズレ量は、図 2に示す上記ノズル中心軸格納部 3 0 dから読み出された上記中心軸 5 bの位置データと、上記部品認識情報に基く上記部品 1の重心 1 aの位置データとに基いて算出される。

又、図 2に示す上記しきい値格納部 3 0 f は、図 1 1に示す上記ズレ量 Δ Lに対するしきい値を格納したものである。そして、図 2に示す上記制御装置 3 0は、上記しきい値格納部 3 0 f から読み出される上記しきい値と上記ズレ量 A Lとを比較する。該比較結果より上記ズレ量 Δ Lが上記しきい値を超えるとき、上記制御装置 3 0は、当初設定していた設定速度を減速することで部品認識後から部品装着までの上記部品 1の搬送速度を求め、求めた該搬送速度に基いて図 1に示す上記部品搬送装置 1 3の動作制御を行う。そして、上記部品搬送装置 1 3は、上記搬送速度にて上記部品 1を上記部品認識位置 1 0から上記部品装着位置 1 1へ搬送する。又、上記ズレ量が上記しきい値を超えないとき、上記制御装置 3 0は、上記設定速度を上記部品認識後から上記部品装着までの上記搬送速度とし、上記設定速度に基いて図 1に示す上記部品搬送装置 1 3の動作制御を行うことで、上記部品搬送装置 1 3は、該設定速度にて上記部品 1を上記部品認識位置 1 0から上記部品装着位置 1 1へ搬送する。

上記部品 1を搬送することで上記部品 1に生じる力であり、かつ、上記部品認識装置 7で認識した上記部品 1の上記吸着位置から上記部品 1をずらそうとする力 F mと、上記吸着ノズル 5の有する部品保持力 F 0との関係を表すグラフを図 4に示す。尚、本図における横軸は、上記ズレ量 A Lであり、縦軸は、上記部品

1に働く力 Fである。上記部品保持力 F 0は、上記吸着ノズル 5の図 1 1に示す下端部 5 aでの真空圧及び開口径等で一意に決まる。よって、上記部品保持力 F 0は、使用する上記吸着ノズル 5の種類を決定しておくことで図 4に示すように一定の値を取る。それに対し、上記部品 1をずらそうとする力 Fmは、上記部品認識後から上記部品装着までの搬送速度の加速度等にて上記部品 1の外部から加わり、上記搬送速度に比例して大きくなる。更に、図 1 1に示すように上記ズレ量 Δ Lが大きいほど上記吸着ノズル 5の中心軸 5 bと上記部品 1の重心 1 aとがずれる為、上記部品 1をずらそうとする力 F mは、上記吸着ノズル 5の下端部 5 aの中心を支点とするモーメントとして働く形になって発生し、図 4に示すように上記ズレ量 Δ Lに対して近似的に比例すると考えられる。

上記ズレ量 Δ Lが上記しきい値と同じ値を取るとき、上記搬送速度が上記設定速度である場合の上記部品 1をずらそうとする力 F mは、上記部品保持力 F 0と均衡する。即ち、上記しきレ、値は、上記搬送速度を上記設定速度とした場合において、上記部品保持力 F 0と均衡する、上記部品 1をずらそうとする力 F mに基くズレ量となる。よって、図 1に示す上記部品実装装置 2 0 0において上記ズレ量 Δ Lが上記しきい値を超える場合、上記搬送速度を上記設定速度とした場合の上記部品 1をずらそうとする力 F mが上記部品保持力 F Oを超えることとなる為、吸着ノズル 5による吸着が不安定となり、部品認識後における上記部品 1の更なるズレが生じることとなる。

そこで、上記ズレ量 A Lが上記しきい値を超える場合、上記制御装置 3 0は、上記設定速度を減速することで部品認識後から部品装着までの搬送速度を求めることを決定する。該決定に従って上記搬送速度の値を求める為、以下の動作を行う。即ち、先ず始めに、上記制御装置 3 0は、上記搬送速度を上記設定速度とした場合の上記部品 1をずらそうとする力 F mを上記ズレ量 A Lの大きさに基いて算出する。次に、上記制御装置 3 0は、該算出結果の上記部品 1をずらそうとする力 F mと、予め設定しておいた上記部品保持力 F 0とを比較する。上述のように上記しきい値は、上記部品 1をずらそうとする力 F mと上記部品保持力 F 0とが均衡した状態に対応した値であることから、ここでの比較動作は、上記部品保持力 F 0を超える上記部品 1をずらそうとする力 F mと、上記部品保持力 F 0との差を求める動作となる。そして、該比較結果に基いて上記設定速度から減速すべき量を求め、上記搬送速度を求める。

ここで上記搬送速度の求め方の一例としては、上記搬送速度に比例して上記部品 1をずらそうとする力 F mが大きくなり、更に、上記部品 1をずらそうとする力 F mは、上記ズレ量に近似的に比例することから、上記ズレ量が上記しきい値を超える場合、上記ズレ量と、上記しきい値との差が増加するに従つて、上記減速すべき量を増加させる。本実施形態の場合、上記比較結果に基いて上記減速すべき量を求め、上記設定速度から上記減速すべき量を差し引いて上記搬送速度を求める。求めた上記搬送速度にて上記部品 1を搬送することにより、上記部品 1をずらそうとする力 Fmを抑制することができる。その結果、部品認識後での上記ズレ量の更なる変化を抑制することができる。従って、上記樹脂基板 2上への上記部品 1の装着精度及び装着率を向上させることができる。又、上記比較結果に基いて上記搬送速度を求める為、上記搬送速度は、上記ズレ量厶 Lの更なる変化を抑制できる速度の内の最高速度となる。

本実施形態では、上記ズレ量が上記しきい値を超える場合、上記ズレ量 Δ Lと、上記しきい値との差に比例して上記減速すべき量を変化させているが、本実施形態の第 1の変形例として、上記減速すべき量を予め一定値として設定しておき、上記ズレ量 A Lが上記しきい値を超えるときには、上記設定速度から上記 —定値分を差し引いて搬送速度としてもよい。ここで上記一定値とは、上記設定速度から減算される値であって、例えば、いかなる部品 1を搬送した場合であつても上記ズレ量 Δ Lの更なる変化を生じさせな！/ヽ搬送速度を上記設定速度から求めることができる値である。尚、該一定値は、上記ズレ量 Δ Lと上記しきい値との上記差の大きさにかかわらず、 1つの値である。本変形例の場合、実験等にて予め上記一定値を求め、求めた該一定値を N Cデータの 1つとして設定しておく必要があるが、上述した上記部品保持力 F 0と上記部品 1をずらそうとする力 F mとの比較演算処置は不要となることから、上記制御装置 3 0における上記搬送速度を求める為の演算処理は、上述の実施形態の場合よりも容易になる。

又、部品認識後から部品装着までの搬送速度の制御方法は、ズレ量がしきい値を超えるときに、当初設定していた設定速度から減速することで該搬送速度を制御する方法のみに限定されない。即ち、上述した本実施形態での方法及ぴ第 1の変形例とは更に異なる、本実施形態の第 2の変形例として、ズレ量の大きさに応じた対応速度を予め N Cデータの 1つとして設定しておき、部品認識時に部品認識装置 7にて認識された部品 1のズレ量 Δ Lの大きさ力ら、上記ズレ量 Δ Lに対応する上記対応速度を導出し、該対応速度を部品認識後から部品装着までの搬送速度としてもよい。つまり、各対応速度が当該搬送速度に相当する。ここでの対応速度とは、部品認識後から部品装着までの搬送中に、上記部品 1に対して上記ズレ量 Δ Lの更なる変化を生じさせない速度である。本変形例の場合、予め上記対応速度を実験等にて求め、求めた上記対応速度を N Cデータの 1つとして設定しておく必要があるが、上述した第 1の変形例の場合と同様に上記部品保持力 F 0と上記部品 1をずらそうとする力 Fmとの比較演算処置が不要となることから、上記制御装置 3 0における上記搬送速度を求める為の処理は、上述の実施形態の場合よりも容易になる。又、個々のズレ量 A Lの大きさに応じて夫々上記対応速度が設定されていることから、上述した第 1の変形例の場合よりも厳密な搬送速度の制御が可能となる。

第 2の変形例は、上述のように上記設定速度を用いない場合での上記搬送速度を求める方法であり、上述した実施形態のように減算することで上記搬送速度を求める方法ではない。上述した実施形態のように上記設定速度から減速することで上記搬送速度を求める場合では、上記部品認識装置 7による部品認識を行う度に上記ズレ量に基いて上記比較演算処理を行い、上記搬送速度を演算する為、上述した第 2の変形例に比べて、より厳密に上記搬送速度を求めることができる。上記ズレ量 Δ Lと上記しきい値との比較結果に基いて上記搬送速度を求めた後、上記制御装置 3 0は、上記部品搬送装置 1 3の動作制御を行う。そして、上記部品搬送装置 1 3は、求めた上記搬送速度にて上記ノズルュェット 6を上記移動経路 1 2に沿って移動させる。上記ノズルュ二ット 6の該移動により、上記部品 1 は、上記設定速度を減速して求めた上記搬送速度で部品認識位置 1 0から部品装着位置 1 1まで搬送されることとなる。

上記制御装置 3 0が上記設定速度を減速して上記搬送速度とするように制御することで、上記部品 1をずらそうとする力 F mは、図 4に示すように上記部品保持力 F 0に対して減少し、図 1に示す吸着ノズル 5による部品 1の吸着は、安定する。そして、上記吸着ノズル 5による上記部品 1の吸着が安定することにより、部品認識後における上記部品 1の搬送時にぉ、て、上記部品 1のズレ量 Δ Lが変化することを防止することができる。その結果、上記補正量のみで上記樹脂基板 2の位置決めにおける位置補正を行うことができ、上記部品 1を上記樹脂基板 2 上に精密に装着することができる。

上記部品実装装置 2 0 0における部品実装方法について、以下に説明する。図 5は、上記部品実装装置 2 0 0における一連の実装作業を示すフローチヤ一トである。まず、ステップ（図中では「S」で表記） 1において、図 1に示す全ての吸着ノズル 5が部品 1を吸着していない状態で部品搬送装置 1 3を作動し、部品認識装置 7で上記全ての吸着ノズル 5の図 1 1に示す中心軸 5 bの位置を認識する。図 1に示す上記部品認識装置 7にて認識された図 1 1に示す上記中心軸 5 bの位置は、図 2に示す制御装置 3 0のノズル中心軸格納部 3 0 dにデータとして格納される。

上記全ての吸着ノズル 5の図 1 1に示す上記中心軸 5 bの認識が完了した後、図 5に示すステップ 2に示すように、図 2に示す部品吸着位置 9において、吸着ノズル 5による部品 1の吸着が行われる。まず、上記制御装置 3 0は、 N Cデータ格納部 3 0 aから読み出される N Cデータに基いて部品供給テーブル 3 aを作動させ、上記 N Cデータにて示される部品 1の供給が可能なパーツカセット 4を上記部品吸着位置 9に配置されたノズルュ二ット 6の下方に配置する。そして、上記ノズルュ-ット 6に備えられる吸着ノズル 5にて上記パーツカセット 4から部品 1を吸着する。尚、上記吸着ノズル 5は、部品吸着後から部品装着までの間、 —定の部品保持力にて上記部品 1を吸着する。

部品吸着後、上記部品 1は、図 5に示すステップ 3に示すように、図 2に示すノズルュ二ット 6の移動により部品認識位置 1 0へ搬送される。

上記部品認識位置 1 0において図 5に示すステップ 4に示すように、上記部品 1は、図 1に示す部品認識装置 7にて認識される。そして、図 5に示すステップ 5に示すように、図 1に示す上記制御装置 3 0は、該認識にて得られた部品認識情報に基いて図 1 1に示す上記部品 1の重心 1 aの位置及び傾き Δ Θを算出する。そして、該部品 1の重心 1 aの位置データ及び傾き Δ Θの角度データに基き、図 2に示す上記制御装置 3 0は、図 5に示すステップ 6に示すように補正量を算出し、該補正量を図 2に示す捕正量格納部 3 0 cに格納する。

上記補正量を算出し、更に、図 5に示すステップ 7に示すように、図 2に示す上記制御装置 3 0は、上記ノズル中心軸格納部 3 0 dから読み出される図 1 1に示す吸着ノズル 5の中心軸 5 bの位置データと、図 5に示すステップ 5において算出した上記部品 1の図 1 1に示す重心 1 aの位置データとに基いてズレ量 Δ L を算出する。次に、図 5に示すステップ 8に示すように、図 2に示す制御装置 3 0は、しき V、値格納部 3 0 f から読み出されたしきい値と上記ズレ量 Δ Lとを比較し、該比較結果に基いて、部品認識後から部品装着までの上記部品 1の搬送速度を上記設定速度に比して減速若しくは等速に制御することを決定する。そして、上記ズレ量が上記しきい値を超え、上記搬送速度を上記設定速度に比して減速するように決定した場合、上記制御装置 3 0は、上記ズレ量 Δ Lの大きさに基いて上記搬送速度を上記設定速度とした場合の上記部品 1をずらそうとする力 F mを算出する。そして、上記制御装置 3 0は、上記吸着ノズル 5の部品保持力 F Oと上記部品 1をずらそうとする力 F mとを比較して上記部品 1をずらそうとする力 F m と上記部品保持力 F 0との差を求め、上記部品 1をずらそうとする力 F mと上記部品保持力 F 0との差に基いて上記設定速度から減速すべき量を求めることで、部品認識後から部品装着までの上記部品 1の搬送速度を決定する。

上記搬送速度を決定した後、上記制御装置 3 0は、上記搬送速度が図 5に示すステップ 8にて決定した値をとるように図 1に示す上記部品搬送装置 1 3を動作し、部品認識位置 1 0カゝら上記ノズルュ二ット 6を上記搬送速度にて図 2に示す上記移動経路 1 2に沿って移動させる。該ノズルュニット 6の移動により、上記部品 1は、図 5に示すステップ 9に示すように、図 2に示す上記部品装着位置 1 1へ搬送される。尚、部品認識後から部品装着までの間、上記制御装置 3 0は、上記補正量格納部 3 0 cからの上記補正量に基いて上記吸着ノズル 5を図 1 1に示す上記中心軸 5 a回りに回転させ、上記部品 1の角度補正を行う。

又、上記ノズルュニット 6が部品認識位置 1 0から部品装着位置 1 1まで移動する間、図 5に示すステップ 1 0に示すように、図 2に示す上記制御装置 3 0は、上記 N Cデータ格納部 3 0 aからの N Cデータと、上記補正量格納部 3 0 cからの上記捕正量とに基いて上記 X Yテーブル 8にて保持された樹脂基板 2の位置決めを行う。

上記樹脂基板 2の位置決め及び上記部品 1の角度補正が完了した状態で上記部品 1が上記部品装着位置 1 1に配置されたとき、上記部品 1は、図 5に示すステップ 1 1に示すように、上記 N Cデータに登録されていた図 1に示す上記樹脂基板 2上の装着位置に装着される。上記部品 1の装着が完了した後、上記吸着ノズル 5を備える上記ノズルュ-ット 6は、上記部品搬送装置 1 3にて図 2に示す上記移動経路 1 2に沿って上記部品吸着位置 9まで移動し、再び図 5に示すステップ 2からステップ 1 1までの一連の作業を繰り返す。

上記第 1実施形態において、上記部品実装装置 2 0 0は、部品認識装置 7にて得られた上記部品 1の部品認識情報に基いてズレ量 Δ Lを求め、該ズレ量 Δしの大きさに基いて部品認識後から部品装着までの上記部品 1の搬送速度を求める。その結果、求めた該搬送速度にて上記部品 1を搬送することで、上記部品認識後力ら上記部品装着までに上記部品 1が部品認識時の状態よりも更にずれることを防止することができる。よって、部品認識後から部品装着までに上記部品 1が更にずれることを防止することで、上記部品 1を樹脂基板 2上に装着するとき、上記樹脂基板 2上へ上記部品 1が実際に装着される位置と、 N Cデータ及び部品認識情報に基く補正量にて導出される上記樹脂基板 2上の装着位置とがずれるのを防止できる。従って、上記部品 1を常に上記装着位置へ装着することが可能となり、その結果、上記部品実装装置 2 0 0は、上記部品 1の上記樹脂基板 2上への装着精度及び装着率を向上させることができる。

又、吸着ノズル 5の有する部品保持力 F 0と、上記ズレ量 Δ Lに基く部品 1をずらそうとする力 F mとの比較結果に基いて上記搬送速度を制御することで、上記部品 1をずらそうとする力 F mが上記部品保持力 F 0を超えることによる吸着不安定を抑制することができる。

又、上記ズレ量 Δ Lに対してしきい値を設けることで、上記部品 1をずらそうとする力 F mが上記部品保持力 F 0を超えない場合には、上記部品 1をずらそうとする力 F mを求めることを省略できる。

尚、上記第 1実施形態において上記部品 1をずらそうとする力 F mの算出が困難な場合、上記部品 1の設定速度と上記ズレ量 A Lとの関係を実験にて予め求めておき、上記実験にて求められた設定速度のデータを予め N Cデータに追記する形で登録しておいてもよい。よって、上記制御装置 3 0は、上記設定速度のデータを読み出すことで部品認識後から部品装着までの上記部品 1の搬送速度を制御することができる。 (第 2実施形態）

上記第 1実施形態にかかる部品実装装置 2 0 0及び部品実装方法では、上記部品 1をずらそうとする力の大きさが図 1 1に示すズレ量の大きさに近似的に比例することに基いて部品認識後から部品装着までの部品 1の搬送速度の制御を行っている。

伹し、図 6に示すように上記部品 1をずらそうとする力 F mの大きさは、上記部品 1の質量にも比例して変化する。よって、図 7に示すように第 2実施形態にかかる部品実装装置 3 0 0において制御装置 3 0は、上記部品 1の質量の変化に対して対応可能なように予め部品 1の質量、体積及び高さ等の性状にかかる情報を登録した部品情報格納部 3 0 gを備えておくことができる。そして、上記制御装置 3 0は、部品認識装置 7にて得られた上記部品 1の部品認識情報に基いて求められたズレ量 Δ Lと、上記部品情報格納部 3 0 gから読み出された上記部品 1 の性状にかかる情報とに基いて上記部品 1をずらそうとする力 F mを求めることができる。そして、上記制御装置 3 0は、該部品 1をずらそうとする力 F mと上記部品保持力 F 0との比較結果に基いて、部品認識後から部品装着までの搬送速度を制御することができる。

上記第 2実施形態にかかる部品実装装置 3 0 0及び部品実装方法では、部品 1 の性状に応じて変化する部品 1をずらそうとする力 F mに対して、部品認識後から部品装着までの部品 1の搬送速度の制御を更に厳密に行うことが可能となる。尚、上記部品 1の質量が不明で上記部品情報格納部 3 0 gに登録が不可能な場合、上記部品 1の性状として上記部品 1の体積を予め上記部品情報格納部 3 0 g に登録している状態で更に上記部品 1の密度を登録して上記部品 1の質量を算出する力、又は一例として鉄等の一般的な比重を想定して上記部品情報格納部 3 0 gに登録して上記部品 1の仮の質量を算出することで、該質量に基いて搬送速度を決定することができる。

又、上記部品 1の体積を用いる場合、部品 1を認識する為の部品ライブラリデータに上記部品 1の寸法が予め登録されていることが多い為、上記部品ライブラリデータを利用して上記部品 1の質量を算出すれば、部品 1の質量を上記部品情報格納部 3 0 gに改めて登録しておく場合よりも簡便にすることができる。 (第 3実施形態）

上記第 1実施形態及び上記第 2実施形態では、上記吸着ノズル 5が一定の部品保持力を有する場合で話を進めてきた。しカゝし、種類の異なる吸着ノズル 5が複数ある場合、上記吸着ノズル 5の種類に応じて上記吸着ノズル 5の図 1 1に示す下端部 5 aの形状及び開口径が変化する。そして、該下端部 5 aの形状及び開口径の変化に応じて上記部品 1の上記吸着ノズル 5に対する吸着面積が変化する為、該吸着面積の変化に応じて上記吸着ノズル 5の有する部品保持力 F 0が増減する。そして、図 8に示すように該部品保持力 F 0の増減に伴い、上記部品保持力 F 0 に対するズレ量の吸着安定領域も又、増減する。従って、上記部品保持力の変化に対応した部品 1の搬送速度の制御が必要となる。

よって、図 9に示すように第 3実施形態にかかる部品実装装置 4 0 0において、制御装置 3 0は、吸着ノズル 5の種類と部品保持力との関係を示す情報を格納する吸着ノズル用格納部 3 0 hを備えておくことができる。そして、上記制御装置 3 0は、部品認識装置 7にて得られた部品 1の部品認識情報に基いて求められた図 1 1に示すズレ量に基いて図 8に示す上記部品 1をずらそうとする力 F m を求め、該部品 1をずらそうとする力 F mと図 9に示す上記吸着ノズル用格納部 3 0 hから読み出される上記部品 1を吸着する吸着ノズル 5に応じた部品保持力 F mとの比較結果に基いて、部品認識後から部品装着までの搬送速度を制御することができる。

上記第 3実施形態にかかる部品実装装置 4 0 0及び部品実装方法では、上記部品 1を吸着する上記吸着ノズル 5の種類に応じて部品保持力 F 0の大きさが変化する場合でも、部品認識後の搬送速度を制御することができ、上記樹脂基板 2への上記部品 1の装着精度及ぴ装着率を向上させることができる。更に、上記吸着ノズル 5の種類に応じて部品保持力 F 0がー意に決定される為、第 2実施形態の場合のように部品 1毎に性状を登録することよりも設定が簡便となる。

尚、上記部品実装装置 4 0 0に備えられるノズルュ二ット 6が種類の異なる複数の吸着ノズル 5を選択可能に備えているマルチノズルュ二ットの場合、上記ノズルュ二ット 6において各吸着ノズル 5には各々登録番号が付されており、上記吸着ノズル 5の登録番号は、予め部品ライブラリデータに登録されていることが多い。よって、上記部品ライブラリデータを利用して上記吸着ノズル 5の種類を導出し、上記吸着ノズル 5の部品保持力を算出すれば、吸着ノズル 5の部品保持力 F 0を吸着ノズル用格納部 3 0 hに改めて登録しておく場合よりも簡便にすることができる。

又、上記第 1〜 3実施形態を併用することで、上記第 1 ~ 3実施形態を単独で用いる場合よりも装着精度及び装着率を更に向上させることが可能であり、かつ、より好ましい。

尚、上記第 1〜3実施形態では、ロータリータイプの部品実装装置 2 0 0， 3 0 0 , 4 0 0を用いて説明したが、上記吸着ノズル 5を備えるノズルュ二ット 6 が X Y平面上において自在に移動可能な X Yロボットタイプの部品実装装置の場合でも上記第 1〜 3実施形態にかかる部品実装方法を用いることができ、部品認識後におけるズレ量 Δ Lの変化を抑制することができる。本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である _c そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理されるべきである。

Claims

請求の範囲

1 . 回路形成体（2 ) に装着すべき部品（1 ) を吸着にて保持する吸着ノズル ( 5 ) を備え、上記部品が上記吸着ノズルにて吸着される部品吸着位置（9 ) から、上記吸着ノズルにて吸着された上記部品が上記回路形成体に装着される部品装着位置（1 1 ) まで上記吸着ノズルにて吸着された上記部品を搬送する部品搬送装置（1 3 ) と、

上記部品吸着位置から上記部品装着位置までの上記部品搬送装置による上記吸着ノズルの移動経路（1 2 ) 上に存在する部品認識位置（1 0 ) にて、上記吸着ノズルに吸着されている上記部品を認識する部品認識装置（ 7 ) と、

上記部品認識装置にて得られた部品認識情報に基いて上記吸着ノズルにおける上記部品の正規の吸着状態（l b ) からのズレ量（A L) を求め、上記部品認識後から上記部品装着までにおける、上記部品搬送装置による上記部品の搬送速度を上記ズレ量の大きさに基いて制御する制御装置（ 3 0 ) とを備えることを特徴とする部品実装装置。

2. 上記制御装置による上記搬送速度の上記制御は、当初設定していた設定速度を減速若しくは維持することで上記搬送速度を求める制御である、請求項 1記

3 . 上記制御装置は、上記部品認識後に上記設定速度で上記部品を搬送することで上記部品に生じる力であり、カゝつ、上記吸着ノズルによる上記部品の部品認識時における吸着位置から上記部品をずらそうとする力（F m) を上記ズレ量に基いて求め、該部品をずらそうとする力と上記吸着ノズルの有する部品保持力 (F 0 ) との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 2記載の部品実

4 . 上記制御装置は、上記部品保持力と均衡する上記部品をずらそうとする力に基くズレ量であるしきい値を上記部品認識情報に基いて求められる上記ズレ量が超えるとき、上記設定速度を減速して搬送速度を求める、請求項 3記載の部品

5 . 上記制御装置は、上記吸着ノズルにて保持された上記部品の性状にかかる情報を格納する部品情報格納部（3 0 g ) を備え、上記部品保持力と上記部品デ一タ格納部から読み出される上記部品の性状に応じて変化する上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 3記載の部品

6 . 上記制御装置は、上記吸着ノズルにて保持された上記部品の性状にかかる情報を格納する部品情報格納部（3 0 g ) を備え、上記部品保持力と上記部品デ一タ格納部から読み出される上記部品の性状に応じて変化する上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 4記載の部品 7 . 上記部品搬送装置は、種類が異なる上記吸着ノズルを複数備え、

上記制御装置は、上記各吸着ノズルの種類と上記部品保持力との関係を示す情報を格納する吸着ノズル用格納部（3 O h ) を備え、上記部品認識装置にて認識される上記部品を吸着する上記吸着ノズルの上記吸着ノズル用格納部から読み出された上記部品保持力と、当該吸着ノズルにて吸着されている上記部品に働く上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 3記載の部品実装装置。

8 . 上記部品搬送装置は、種類が異なる上記吸着ノズルを複数備え、

上記制御装置は、上記各吸着ノズルの種類と上記部品保持力との関係を示す情報を格納する吸着ノズル用格納部（3 O h ) を備え、上記部品認識装置にて認識される上記部品を吸着する上記吸着ノズルの上記吸着ノズル用格納部から読み出された上記部品保持力と、当該吸着ノズルにて吸着されている上記部品に働く上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 4記載の部品実装装置。

9 . 上記部品搬送装置は、種類が異なる上記吸着ノズルを複数備え、

上記制御装置は、上記各吸着ノズルの種類と上記部品保持力との関係を示す情報を格納する吸着ノズル用格納部（3 O h ) を備え、上記部品認識装置にて認識される上記部品を吸着する上記吸着ノズルの上記吸着ノズル用格納部から読み出された上記部品保持力と、当該吸着ノズルにて吸着されている上記部品に働く上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 5記載の部品実装装置。

1 0 . 上記部品搬送装置は、種類が異なる上記吸着ノズルを複数備え、

上記制御装置は、上記各吸着ノズルの種類と上記部品保持力との関係を示す情報を格納する吸着ノズル用格納部（3 O h ) を備え、上記部品認識装置にて認識される上記部品を吸着する上記吸着ノズルの上記吸着ノズル用格納部から読み出された上記部品保持力と、当該吸着ノズルにて吸着されている上記部品に働く上記部品をずらそうとする力との比較結果に基いて上記搬送速度を制御する、請求項 6記載の部品実装装置。

1 1 . 回路形成体（2 ) に装着すべき部品（1 ) を吸着ノズル ( 5 ) で吸着し、上記吸着ノズルにて吸着された上記部品を上記回路形成体に装着するまで搬送する部品実装方法において、

該部品認識にて得られた部品認識情報に基いて上記吸着ノズルにおける上記部品の正規の吸着状態（l b ) からのズレ量（A L) を求め、

上記部品認識後から上記部品装着までにおける上記部品の搬送速度を上記ズレ量の大きさに基いて制御することを特徴とする部品実装方法。

1 2. 上記搬送速度の制御は、当初設定していた設定速度を減速若しくは維持することで上記搬送速度を求める制御である、請求項 1 1記載の部品実装方法。

1 3 . 上記ズレ量に基いた上記搬送速度の制御は、上記部品認識後に上記設定速度で搬送することで上記部品に生じる力であり、かつ、上記吸着ノズルによる上記部品の部品認識時における吸着位置から上記部品をずらそうとする力（F m) を上記ズレ量に基いて求め、該部品をずらそうとする力と上記吸着ノズルの有する部品保持力（F 0 ) との比較結果に基いて制御する、請求項 1 2記載の部品実装方法。

1 4 · 上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品保持力と均衡する上記部品をずら.そうとする力に基くズレ量であるしきい値を上記部品認識情報に基いて求められる上記ズレ量が超える場合、上記設定速度を減速して搬送速度を求める、請求項 1 3記載の部品実装方法。

1 5 . 上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品の性状に応じて変ィ匕する上記部品をずらそうとする力を考慮して制御する、請求項 1 3記載の部品実装方法。

1 6 . 上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品の性状に応じて変化する上記部品をずらそうとする力を考慮して制御する、請求項 1 4記載の部品実装方法。

1 7 . 種類が異なる複数の上記吸着ノズルが存在するとき、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品を吸着する上記吸着ノズルの種類に応じて変ィ匕する上記部品保持力を考慮して制御する、請求項 1 3記載の部品実装方法。

1 8 . 種類が異なる複数の上記吸着ノズルが存在するとき、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品を吸着する上記吸着ノズルの種類に応じて変化する上記部品保持力を考慮して制御する、請求項 1 4記載の部品実装方法。

1 9 . 種類が異なる複数の上記吸着ノズルが存在するとき、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品を吸着する上記吸着ノズルの種類に応じて変化する上記部品保持力を考慮して制御する、請求項 1 5記載の部品実装方法。

2 0 . 種類が異なる複数の上記吸着ノズルが存在するとき、上記ズレ量に基く上記搬送速度の制御は、上記部品を吸着する上記吸着ノズルの種類に応じて変ィ匕する上記部品保持力を考慮して制御する、請求項 1 6記載の部品実装方法。