WO2000066504A1 - Moule de formation de substrat en verre, materiau en verre formant un substrat de verre et substrat de verre pour disque magnetique - Google Patents

Moule de formation de substrat en verre, materiau en verre formant un substrat de verre et substrat de verre pour disque magnetique Download PDF

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WO2000066504A1
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glass
glass material
molding die
regulating member
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Kazuaki Takagi
Kunio Hibino
Tomokazu Tokunaga
Fujio Okuyama
Minoru Onoda
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Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a method for mass-producing a glass substrate for a magnetic disk most suitable for a recording medium such as a magnetic disk at a low cost.
  • a glass substrate for a magnetic disk has been manufactured by a polishing method in which a glass substrate for a magnetic disk is cut out to a predetermined size and then polished to obtain a smooth surface.
  • a polishing method in which a glass substrate for a magnetic disk is cut out to a predetermined size and then polished to obtain a smooth surface.
  • ultra-smoothness has been required for the substrate surface, and high precision has been required for the polishing process, which is extremely difficult technically. Therefore, polishing such substrates one by one has a drawback that the number of steps is large and the cost is high.
  • the press molding method that transfers the molding surface of the mold by heating, molding, and cooling the glass material does not require post-processing, so it is inexpensive, has high productivity, and has high quality. Numerous studies have already been made in the field of device manufacturing, and practical use is being pursued.
  • the substrate thickness is small, the outside diameter is large, Forming a material with a large ratio of plate thickness to outer diameter is a different challenge than molding a material with a relatively small ratio of lens thickness to outer diameter, such as an optical element, that has a curvature. Had.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-1763237 discloses a body mold, a lens surface molding mold slidably fitted to the body mold, and a body mold holder for holding the periphery of the body mold.
  • a molding method using a lens molding apparatus wherein the heat shrinkage of the body mold is smaller than the heat shrinkage of the lens material, and the heat shrinkage of the body mold holder is larger than the heat shrinkage of the lens material. It is shown.
  • this device it is possible to obtain a molded glass lens having a desired thickness by defining the thickness dimension of the barrel holder, and the heat shrinkage of the barrel holder is smaller than the heat shrinkage of the lens material. Since the lens is configured to be large, the upper pressing force always acts on the lens during the cooling process, so that the lens can obtain the desired surface shape.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-26843 discloses a method of using a thin glass material to be molded in order to form a glass molded body having a large outer diameter and a small thickness.
  • the glass material to be molded since the glass material to be molded has a shape close to the glass molded body, it can be easily heated, has a small amount of deformation, and can easily shorten the molding cycle.
  • the present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art, has a glass substrate for a magnetic disk having an ultra-smooth surface, and can be manufactured by press molding, a glass substrate molding die and a glass substrate capable of obtaining the same
  • An object of the present invention is to provide a glass material for molding and a method for producing a glass substrate.
  • the present invention has the following configuration.
  • the glass substrate molding die of the present invention includes a pair of upper and lower dies and a regulating member that regulates a gap between the upper and lower dies, and is a glass substrate molding die for producing a parallel plate-shaped glass substrate.
  • the amount of heat shrinkage of the regulating member is smaller than the amount of heat shrinkage of the glass substrate material. Since the amount of heat shrinkage of the regulating member that regulates the gap in the thickness direction of the upper and lower molds is smaller than the amount of heat shrinkage of the glass substrate material, the upper and Z or lower surfaces of the glass substrate are molded during molding and cooling. And separate. Therefore, a glass substrate having a diameter larger than the thickness and an ultra-smooth surface can be easily manufactured.
  • the material of the regulating member having a smaller heat shrinkage than the glass substrate material varies depending on the glass material used, and examples thereof include tungsten carbide, alumina, chromium, sapphires, and zircon.
  • the molding die of the present invention exerts the above effects particularly remarkably when used for molding a glass substrate in which the relationship between the outer diameter X and the thickness Y satisfies X> 40Y.
  • the regulating member in the molding die of the present invention has a gap of 1 mm between the upper and lower molds. It is preferable to regulate as follows.
  • a concave portion in at least one of the central portions of the upper and lower molds. Furthermore, the number of types that can be identified can be increased by providing a plurality of the concave portions.
  • the glass substrate forming glass material of the present invention is used to manufacture a parallel plate-shaped glass substrate using a forming die including a pair of upper and lower molds and a regulating member for regulating a gap between the upper and lower molds.
  • a glass material used for the molding member having a heat shrinkage larger than the heat shrinkage of the regulating member, and, when placed on the molding die, makes point contact with the molding die;
  • the present invention is characterized in that when the number of contact portions with the molding die increases due to the pressure forming, the contact portions are continuously deformed so that air is not entrained in the contact portions.
  • the glass material is placed in a molding die comprising a pair of upper and lower molds and a regulating member for regulating the gap between the upper and lower molds, the glass material is pressure molded.
  • the heat shrinkage of the regulating member is smaller than the heat shrinkage of the glass material, and the glass material is in point contact with the molding die when placed in the molding die.
  • the heat shrinkage of the regulating member that regulates the gap in the thickness direction of the upper and lower molds is smaller than the heat shrinkage of the glass material. Then, after molding and cooling, the upper and lower surfaces of the glass substrate are separated from the mold. Therefore, a glass substrate having a diameter larger than the thickness and an ultra-smooth surface can be easily manufactured. Furthermore, since the glass material is initially formed in point contact with the mold and then formed while increasing the contact area so that air is not entrained, the molding yield is good and a high quality glass substrate is formed. Can be obtained stably. As a shape of the glass material for realizing this, for example, it is preferable that the vertical cross section is circular or elliptical.
  • the second method of manufacturing a glass substrate of the present invention includes a first step of placing a glass material in a molding die including a pair of upper and lower molds and a regulating member for regulating a gap between the upper and lower molds. A second step of heating and softening the glass material, a third step of press-molding the glass material on a parallel plate-shaped glass substrate, a fourth step of cooling the glass substrate, A fifth step of removing the glass substrate, wherein the heat shrinkage of the regulating member is smaller than the heat shrinkage of the glass material.
  • the third method of manufacturing a glass substrate of the present invention includes: a first step of placing a glass material on a tray; a second step of heating and softening the glass material; and A third step of placing the glass material in a molding die comprising a pair of upper and lower molds and a regulating member for regulating the gap between the upper and lower molds; and pressure molding the glass material into a parallel plate-like glass substrate.
  • a fourth step of cooling the glass substrate, a fifth step of cooling the glass substrate, and a sixth step of removing the glass substrate It is characterized by being smaller than the amount.
  • the pressurization is continued until the temperature of the glass substrate reaches at least the glass transition temperature in the cooling step. Thereby, the shape accuracy of the mold can be accurately transferred to the glass substrate.
  • the relationship between the outer diameter X and the thickness Y of the glass substrate satisfies X> 40Y.
  • the regulating members It is preferable to regulate the gap between the upper and lower molds to 1 mm or less. Further, it is preferable to provide a concave portion in at least one of the central portions of the upper and lower molds, and it is more preferable that the concave portion is plural.
  • the glass substrates obtained by the first, second, and third manufacturing methods are suitable for a magnetic disk.
  • the glass substrate does not affect the surface of the glass substrate. It is also possible to include special bubbles in the glass substrate.
  • a glass substrate having a desired ultra-smooth surface and having no undulation can be obtained by die molding without the need for post-processing. Therefore, it is possible to obtain an inexpensive and stable quality glass substrate for a magnetic disk.
  • FIG. 1 (A) is a cross-sectional view of a glass substrate molding die according to Embodiments 1 and 2 of the present invention
  • FIG. 1 (B) is a glass substrate molding die according to Embodiments 3 and 4 of the present invention. It is sectional drawing.
  • FIG. 2 is a top view of a glass substrate molding die according to Embodiments 1 to 4 of the present invention.
  • FIG. 3 is an external view of a glass material for forming a glass substrate of the present invention.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an outline of a glass substrate forming apparatus according to Embodiments 1 and 2 of the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view schematically illustrating a glass substrate forming apparatus according to Embodiments 3 and 4 of the present invention.
  • FIG. 6 is an external view of the glass substrate of the present invention. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIGS. (Embodiment 1)
  • FIG. 1 (A) is a cross-sectional view showing a state in which a glass substrate forming glass material 4 is placed in a glass substrate forming die according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the glass substrate molding die is provided with an upper die 1 having a molding surface 1a for obtaining a glass substrate 19 (FIG. 6) having a desired surface roughness, and is arranged substantially coaxially with and opposed to the upper die 1. Between a lower mold 2 having a molding surface 2 a for obtaining a glass substrate 19 having a desired surface roughness, and a molding surface 1 a of the upper mold 1 and a molding surface 2 a of the lower mold 2 when molding is completed. And a regulating member 3 that regulates the gap of the airbag.
  • the surface roughness (R a) of the molding surfaces 1 a and 2 a at this time is suitably 5 nm or less for a magnetic disk, preferably 2 nm or less, and more preferably 1 nm or less.
  • the gap varies depending on the thickness of the glass substrate to be formed, but is substantially the same as the thickness of the glass substrate, and is at most about 1 mm.
  • FIG. 2 is a view of the upper die 1 provided with the concave portion 5 as viewed from above.
  • convex portions to which the concave portions 5 are transferred are formed on both surfaces of the glass substrate.
  • eight small recesses arranged in a row in the center of the mold, and locations corresponding to the eight recesses (below each) are 0 to 8 depending on the mold number.
  • the recesses are arranged in a row in various combinations.
  • WC tungsten carbide
  • IGE Yu Roy trademark of Sumitomo Electric Industries, Ltd.
  • FIG. 3 shows an example of the shape of the glass material 4 for forming a glass substrate.
  • the shape of the glass material may be any shape as long as it makes point contact in the initial state of being placed on the mold, and in the deformation process, the contact part continuously expands so that air does not get caught in the mold.
  • the vertical cross section is preferably circular or elliptical.
  • FIG. 4 shows the glass substrate molding die shown in Fig. 1 (A) and the glass substrate molding material shown in Fig. 3 (B) (outer diameter 20 mm, thickness 7 mm, cross-section in the thickness direction is approximately elliptical.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing an outline of a glass substrate forming apparatus for forming the glass substrate 19 shown in FIG.
  • the upper die 1 is fixed to the heat sink 6, and the heat sink 6 is fixed to the chamber 11 through an insulating plate 8.
  • the lower mold 2 is fixed to a heater 7, and the heater 7 is fixed on a cylinder rod 10 driven up and down by a cylinder 11 via an insulating plate 9.
  • the ring-shaped regulating member 3 is placed on the flange surface of the lower die 2 so that the gap between the upper die 1 and the lower die 2 becomes 0.635 mm when the molding is completed.
  • the glass substrate to be made is a magnetic disk glass substrate with an outer diameter of 65 mm and a thickness of 0.635 mm.
  • the glass material 4 supplied to the mounting table 15 is substantially centered on the lower mold forming surface 2a in the chamber 1 2 in the N 2 atmosphere by the glass material chuck 16 from the outside of the chamber 1 2. Is placed.
  • lower die 2 rises slowly by cylinder 11.
  • the heaters 6 and 7 are turned on.
  • the glass material 4 is heated at 770 (the temperature at which the glass viscosity becomes 7.1 poise), and the inside of the material is heated to this temperature.
  • the glass material 4 expands with the heating, and is deformed by fixing the upper and lower molds. At this time, since a bubble may be involved, the lower mold 2 is held with a low load.
  • the glass material 4 is formed by the regulating member 3 to have a thickness of 0.635 mm, which is the same as the space created between the upper mold 1 and the lower mold 2.
  • the power to the heaters 6 and 7 is turned off, and the upper mold 1, the lower mold 2, the regulating member 3, and the glass material 4 are cooled while the high load is maintained.
  • the cooling may be performed forcibly, but the cooling must be performed so that the temperature in the surface of the molding die is as uniform as possible.
  • the upper mold 1, the lower mold 2, the regulating member 3, and the glass material 4 contract. Since the gap between the upper mold 1 and the lower mold 2 is regulated by the regulating member 3, the amount of the gap depends on the amount of contraction of the regulating member 3. Since the heat shrinkage of the glass material 4 is larger than the heat shrinkage of the regulating member 3, As the temperature decreases, the glass material 4 can be released from the upper and lower molds gradually.
  • a high load is applied to the glass substrate molding die by the cylinder 11 until the temperature of the glass material 4 reaches the glass transition point temperature of 539 ° C., and thereafter the pressure is reduced to a low load.
  • the lower mold 2 is lowered by the cylinder 11 and returns to the home position.
  • the glass substrate 19 remaining in the molding die was transferred between the cooling room 17 and the cooling room 18 in the cooling step by a transfer pad (not shown), and was gradually cooled. Later, it is removed from the molding device and molding is completed.
  • FIG. 6C shows an external view of the glass substrate 19 according to the present embodiment.
  • the resulting glass substrate 19 has a super-smooth surface with a surface roughness of 1 nm, the surface of the mold is almost transferred, and has no flatness within 5 m. It has a projection 22 for determining the model number.
  • Embodiment 2 of the present invention is the same as Embodiment 1 except that a glass material for forming a glass substrate 4 uses a material containing bubbles inside.
  • the glass substrate 19 according to the present invention has a structure containing bubbles 21 inside as shown in FIG. 6 (B). That is, the specific gravity is lighter than that of the glass substrate 19 shown in FIG. 6A or FIG. 6C which does not include the bubble 21 and is effective as a glass substrate for a magnetic disk required to rotate at a high speed.
  • FIG. 1 (B) is a cross-sectional view showing a state in which a glass substrate molding glass material 4 is placed in a glass substrate molding die according to Embodiment 3 of the present invention.
  • An upper mold 1 provided with a molding surface 1a for obtaining a glass substrate 1 9 having a surface roughness of 1 (FIG. 6), and a glass substrate 1 having a desired surface roughness disposed so as to be substantially coaxially opposed to the upper mold 1
  • a lower die 2 having a molding surface 2a for obtaining a molding member 9; and a regulating member 3 for regulating a gap between the molding surface 1a of the upper die 1 and the molding surface 2a of the lower die 2 when molding is completed.
  • It is composed of
  • the surface roughness (R a) of the molding surfaces 1 a and 2 a at this time is suitably 5 nm or less for a magnetic disk, preferably 2 nm or less, and more preferably 1 nm or less.
  • the gap varies depending on the thickness of the glass substrate to be formed, but is substantially the same as the thickness of the glass substrate, and is at most about 1 mm.
  • FIG. 2 is a view of the upper mold 1 provided with the concave portion as viewed from above.
  • each member of the mold for forming glass substrates is made of a cemented carbide mainly composed of tungsten carbide (WC) (“IGE Yu Roy” (trademark of Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
  • the molding surfaces 1a and 2a are added to a desired surface roughness, and are covered with a platinum (Pt) -based alloy protective film.
  • FIG. 5 shows the results shown in Fig. 6 (C) using the glass substrate molding die shown in Fig. 1 (B) and the glass substrate molding material (22.1 mm diameter sphere) shown in Fig. 3 (A).
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing an outline of a glass substrate forming apparatus for forming a glass substrate 19;
  • the glass tray 20 used in the step of placing the glass material 4 and heating and softening is made of a material having good releasability from the glass material 4 at a high temperature, for example, carbides such as SiC and TiC, carbon, and A. It is made of a nitride such as 1N or TiN, or is formed on the surface by various film forming techniques such as a CVD method, and is finished to a desired surface roughness.
  • Fig. 3 (A) also has a point contact in the initial state of being placed on the mold, and the contact part continuously expands so that air does not get caught in the mold during the deformation process. is there.
  • the upper mold 1 is fixed to the heater 6, and the heater 6 is fixed to the chamber 11 via a heat insulating plate 8.
  • the lower mold 2 is fixed to a heater 7, and the heat sink 7 is fixed on a cylinder rod 10 driven up and down by a cylinder 11 via an insulating plate 9.
  • the ring-shaped regulating member 3 is placed on the molding surface 2a of the lower die 2 so that the gap between the upper die 1 and the lower die 2 becomes 0.8 mm when the molding is completed.
  • the glass substrate to be made is a glass substrate for magnetic disks with an outer diameter of 95 mm and a thickness of 0.8 mm.
  • the glass material 4 supplied to the glass material tray 20 on the mounting table 15 is transferred between the preheated upper heater 13 and the preheated heater 14 in the N 2 atmosphere by the glass material check 16. You.
  • the glass material 4 is heated at 750 (the temperature at which the glass viscosity becomes 6.4 poise), and the inside of the material is heated until this temperature is reached (heating softening step).
  • the glass material 4 is transported by the glass material chuck 16 again between the upper mold 1 and the lower mold 2 in the chamber 1 12 while being placed on the glass material tray 20. Then, only the glass material 4 is checked by a transfer device (not shown), and after the glass material chuck 16 and the glass material tray 20 are retracted, the glass material chuck 16 and the glass material tray 20 are placed almost at the center on the molding surface 2 a of the lower mold 2. .
  • the glass material 4 is formed by the regulating member 3 to have the same thickness of 0.8 mm as the gap created between the upper mold 1 and the lower mold 2.
  • the upper mold 1 and the lower mold 2 are set to 600 by heaters 6 and 7, respectively. Since the glass material 4 after the deformation has a thin thickness of 0.8 mm, it is immediately cooled to this temperature.
  • the power of heaters 6 and 7 is turned off, and the upper mold 1, lower mold 2, regulating member 3 and glass material 4 are cooled while the high load is maintained.
  • the cooling may be performed forcibly, but the cooling must be performed so that the temperature in the surface of the molding die is as uniform as possible.
  • the upper mold 1, the lower mold 2, the regulating member 3, and the glass material 4 contract.
  • the upper die 1 and lower die 2 are voided by the regulating member 3. Therefore, the gap amount depends on the contraction amount of the regulating member 3. Since the heat shrinkage of the glass material 4 is greater than the heat shrinkage of the regulating member 3, the glass material 4 can be gradually released from the upper and lower molds as the temperature decreases.
  • a high load is applied to the glass substrate forming die by the cylinder 11 until the temperature of the glass material 4 reaches the glass transition point temperature of 492, and then the pressure is reduced to a low load.
  • the lower mold 2 is lowered by the cylinder 11 and returns to the home position.
  • the glass substrate 19 remaining in the molding die is transferred between the upper cooling fan 17 and the lower cooling fan 18 in the cooling process by a transfer pad (not shown), and after being gradually cooled. , Removed from the molding equipment, and the molding is completed.
  • FIG. 6C shows an external view of the glass substrate 19 according to the present embodiment.
  • the obtained glass substrate 19 has almost the same shape of the mold forming surface, has an ultra-smooth surface with a surface roughness of 0.6 nm, has a flatness of 5 zm or less, and has no undulation. It has a protrusion 22 for determining the mold number.
  • the heating temperature of the glass material 4 by the preheating upper heater 13 and the preheating lower heater 14 is set to 700 ° C. (the temperature at which the glass viscosity becomes 7.1 poise).
  • the outer diameter is 95 mm and the thickness is the same as in the third embodiment.
  • the external shape of the obtained glass substrate 19 is as shown in FIG. 6 (C), and the glass substrate 19 has an ultra-smooth surface with a surface roughness of 0.6 nm, on which the shape of the mold forming surface is almost transferred. It has a flatness of 5 or less, no undulation, and has a convex portion 22 at the center for identifying the number of the molding die.

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Description

明 細 書 ガラス基板成形用金型、 ガラス基板成形用ガラス素材、 ガラス基板の製造方法及び磁気デイスク用ガラス基板 技術分野
本発明は磁気ディスクなどの記録媒体に最適な磁気ディスク用ガラス 基板を大量かつ安価に生産する方法に関する。 背景技術
近年、 磁気記録の分野、 特に磁気ディスクにおいては、 小型化、 薄型 化、 高容量化等の高性能化が進んでいる。 これに伴って高密度磁気記録 媒体への要求が高まっている。 ガラス基板は、 高剛性、 高硬度で平滑化 が容易で、 高密度化、 高信頼性化に極めて有利なことから盛んに検討さ れている。
従来、 磁気ディスク用ガラス基板は所定のサイズに切り抜かれた後、 平滑な表面を得るために基板を研磨する研磨法により製造されてきた。 しかしながら、 近年、 基板表面には超平滑性が要求され、 研磨工程には 技術的にも非常に難しい高い精度が求められるようになつている。 従つ て、 こうした基板を 1枚 1枚研磨することは工程数も多く高価になると いう欠点があった。
また、 ガラス素材を加熱、 成形、 冷却することで、 成形型の成形面を 転写するプレス成形法は、 後加工を必要としないため、 安価で生産性が 高く、 かつ高品質であるため、 光学素子製造の分野では既に数多くの検 討がなされ、 実用化が図られている。
しかしながら、 ガラス基板のように基板厚が薄く、 外径が大きく、 基 板厚と外径との比が大きなものを成形することは、 光学素子の様にレン ズ厚と外径との比が比較的小さく、 曲率を持ったものを成形する時とは 違った課題を有していた。
例えば特開平 1 一 1 7 6 2 3 7号公報では、 胴型と、 この胴型に摺動 可能に嵌合するレンズ面成形型と、 胴型の周囲を保持する胴型ホルダー とを具備し、 胴型の熱収縮量をレンズ素材の熱収縮量より小さく、 胴型 ホルダ一の熱収縮量をレンズ素材の熱収縮量よりも大きく構成したこと を特徴とするレンズ成形装置を用いた成形方法が示されている。
この装置を用いると、 胴型ホルダーの厚さ寸法を規定することにより 所望の厚さの成形ガラスレンズを得ることができ、 また、 胴型ホルダ一 の熱収縮量がレンズ素材の熱収縮量よりも大きく構成されているため、 冷却の過程では常にレンズに上型の加圧力が作用するため、 レンズは所 望の面形状を得ることができる。
しかしながら、 外径 Xと厚さ Yの関係が X > 4 0 Yであるような薄肉 のガラス基板を成形するときに、 このように上型の加圧力が常にガラス 素材にかかった状態で冷却すると、 ガラス素材が上下型に密着し離型す ることができないという欠点があった。 近年では特にガラス基板表面を 超平滑にする要望があり、 金型転写面を超平滑にするほどその傾向が強 くなる。
また、 例えば特開平 2— 2 6 8 4 3号公報では、 外径が大きく、 肉厚 が薄いガラス成形体を成形するために、 薄肉形状の被成形ガラス素材を 用いる方法が示されている。 この方法は、 被成形ガラス素材がガラス成 形体に近い形状をしているため、 加熱しやすく、 変形量も少なく、 成形 サイクルを短くすることが容易である。
しかしながら、 このような形状のガラス素材を用いて、 平行平板であ るガラス基板を成形すると、 ガラス素材を成形型に載置した時点でガラ ス素材と成形型との間に空気が嚙み込み、 成形過程を経てもこれを全て 抜くことができず、 ガラス基板にバブルを発生させるという欠点があつ た。 また、 ここでもガラス基板表面を超平滑にするほどその傾向が強く なる。 発明の開示
本発明は、 前記した従来技術の欠点を解消し、 超平滑な表面を有し、 プレス成形で製造可能な磁気ディスク用ガラス基板と、 これを得ること ができるガラス基板成形用金型、 ガラス基板成形用ガラス素材、 及びガ ラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、 本発明は以下の構成とする。
本発明のガラス基板成形用金型は、 一対の上下型と前記上下型の空隙 を規制する規制部材とからなり、 平行平板状のガラス基板を製造するた めのガラス基板成形用金型であって、 前記規制部材の熱収縮量が、 前記 ガラス基板材料の熱収縮量よりも小さいことを特徴とする。 上下型の厚 さ方向の空隙を規制する規制部材の熱収縮量が、 ガラス基板材料の熱収 縮量よりも小さいために、 成形後、 冷却時に、 ガラス基板の上面及び Z 又は下面は金型と分離する。 従って、 厚さに対して径が大きく、 かつ表 面が超平滑なガラス基板を容易に製造することができる。
ここで、 ガラス基板材料よりも熱収縮量の小さい規制部材の材質とし ては、 用いるガラス素材により異なるが、 例えば、 タングステンカーバ イ ト、 アルミナ、 クロム、 サフアイャ、 ジルコン等が挙げられる。 本発明の成形用金型は、 外径 Xと厚さ Yとの関係が X > 4 0 Yを満足 するようなガラス基板の成形に用いると上記の効果を特に顕著に発揮す る。
また、 本発明の成形用金型における規制部材は上下型の空隙を 1 mm 以下に規制するものであることが好ましい。
また、 用いた金型を特定するために、 上下型の少なくともどちらか一 方の中央部に凹部を設けることが好ましい。 更に、 その凹部を複数とす ることで識別できる種類を増大させることができる。
次に、 本発明のガラス基板成形用ガラス素材は、 一対の上下型と前記 上下型の空隙を規制する規制部材とからなる成形用金型を使用して平行 平板状のガラス基板を製造する際に用いられるガラス素材であって、 前 記規制部材の熱収縮量よりも大きな熱収縮量を有し、 前記成形用金型に 載置されたときは前記成形用金型と点接触し、 加圧成形されることによ り前記成形用金型との接触部が増えるときには前記接触部に空気を巻き 込まないように連続的に変形するような形状を有することを特徴とする また、 本発明の第 1のガラス基板の製造方法は、 一対の上下型と前記 上下型の空隙を規制する規制部材とからなる成形用金型内にガラス素材 を載置した後、 前記ガラス素材を加圧成形して、 平行平板状のガラス基 板を製造する方法であって、 前記規制部材の熱収縮量は、 前記ガラス素 材の熱収縮量よりも小さく、 前記ガラス素材は、 前記成型用金型内に載 置されたときは前記成形用金型と点接触し、 加圧成形されることにより 前記成形用金型との接触部が増えるときには前記接触部に空気を巻き込 まないように連続的に変形することを特徴とする。
上記のガラス基板成形用ガラス素材及び第 1のガラス基板の製造方法 によれば、 上下型の厚さ方向の空隙を規制する規制部材の熱収縮量が、 ガラス素材の熱収縮量よりも小さいために、 成形後、 冷却時に、 ガラス 基板の上面及びノ又は下面は金型と分離する。 従って、 厚さに対して径 が大きく、 かつ表面が超平滑なガラス基板を容易に製造することができ る。 更に、 ガラス素材は、 金型に対して、 当初は点接触し、 その後空気を 巻き込まないように接触面積を増大させながら成形されていくので、 成 形の歩留まりが良好で、 高品質のガラス基板を安定して得ることができ る。 これを実現するためのガラス素材の形状として、 例えばその垂直断 面が円形状または楕円形状であることが好ましい。
また、 本発明の第 2のガラス基板の製造方法は、 一対の上下型と前記 上下型の空隙を規制する規制部材とからなる成形用金型内にガラス素材 を載置する第 1の工程と、 前記ガラス素材を加熱し軟化させる第 2のェ 程と、 前記ガラス素材を平行平板状のガラス基板に加圧成形する第 3の 工程と、 前記ガラス基板を冷却する第 4の工程と、 前記ガラス基板を取 り出す第 5の工程とを有し、 前記規制部材の熱収縮量は、 前記ガラス素 材の熱収縮量よりも小さいことを特徴とする。
また、 本発明の第 3のガラス基板の製造方法は、 受け皿上にガラス素 材を載置する第 1の工程と、 前記ガラス素材を加熱し軟化させる第 2の 工程と、 前記受け皿上の前記ガラス素材を一対の上下型と前記上下型の 空隙を規制する規制部材とからなる成形用金型内に載置する第 3の工程 と、 前記ガラス素材を平行平板状のガラス基板に加圧成形する第 4のェ 程と、 前記ガラス基板を冷却する第 5の工程と、 前記ガラス基板を取り 出す第 6の工程とを有し、 前記規制部材の熱収縮量は、 前記ガラス素材 の熱収縮量よりも小さいことを特徴とする。
上記第 2 , 第 3の製造方法において、 冷却工程でガラス基板の温度が 少なくともガラス転移点温度になるまで加圧を継続することが好ましい 。 これにより、 金型の形状精度を正確にガラス基板に転写することがで さる。
上記第 1， 第 2 , 第 3の製造方法において、 ガラス基板の外径 Xと厚 さ Yとの関係が X〉4 0 Yを満足するのが好ましい。 また、 規制部材は 上下型の空隙を 1 mm以下に規制するのが好ましい。 また、 上下型の少 なくともどちらか一方の中央部に凹部を設けるのが好ましく、 その凹部 は複数であるのがより好ましい。
また、 上記第 1， 第 2， 及び第 3の製造方法により得られるガラス基 板は磁気ディスク用として好適であり、 また、 磁気ディスク用ガラス基 板とした場合、 ガラス基板の表面に影響しないようなバブルをガラス基 板内に含ませることも可能である。
以上のように、 本発明によれば、 金型成形により所望の超平滑な表面 を持った、 うねりのないガラス基板が、 後加工を必要とすることなく得 られる。 よって、 安価で安定した品質の磁気ディスク用ガラス基板を得 ることができる。 図面の簡単な説明
図 1 ( A ) は本発明の実施の形態 1及び 2におけるガラス基板成形用 金型の断面図、 図 1 ( B ) は本発明の実施の形態 3及び 4におけるガラ ス基板成形用金型の断面図である。
図 2は、 本発明の実施の形態 1〜 4におけるガラス基板成形用金型の 上面図である。
図 3は、 本発明のガラス基板成形用ガラス素材の外観図である。 図 4は、 本発明の実施の形態 1及び 2におけるガラス基板の成形装置 の概要を示す断面図である。
図 5は、 本発明の実施の形態 3及び 4におけるガラス基板の成形装置 の概要を示す断面図である。
図 6は、 本発明のガラス基板の外観図である。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の実施の形態について、 図 1〜図 6を用いて説明する。 (実施の形態 1 )
図 1 ( A ) は、 本発明の実施の形態 1におけるガラス基板成形用金型 内にガラス基板成形用ガラス素材 4を載置した状態を示す断面図である 。
ガラス基板成形用金型は、 所望の表面粗さのガラス基板 1 9 (図 6 ) を得るための成形面 1 aを備えた上型 1と、 この上型 1とほぼ同軸上に 対向配置され所望の表面粗さのガラス基板 1 9を得るための成形面 2 a を備えた下型 2と、 成形完了時の上型 1の成形面 1 aと下型 2の成形面 2 aとの間の空隙を規制する規制部材 3とから構成されている。 このと きの成形面 1 a， 2 aの表面粗さ （R a ) は、 磁気ディスク用としては 5 n m以下が適当で、 望ましくは 2 n m以下、 さらに望ましくは l n m 以下である。
また、 上記空隙は成形するガラス基板の厚さにより異なるが、 ガラス 基板の厚さとほぼ同じであり、 最大でも 1 mm程度である。
また、 用いた金型を特定するために、 具体的には用いた金型番号を判 別するために、 上型 1および下型 2の中央部には複数の凹部 5が設けて ある。 図 2はその凹部 5を設けた上型 1を上面から見た図である。 このようなガラス基板成形用金型を用いると、 ガラス基板成形後、 ガ ラス基板の両面にはこの凹部 5が転写した凸部が形成される。 具体的に は、 金型の中央部に横 1列に配列された 8個の小さな凹部と、 その 8個 の凹部に対応した箇所 （それぞれの下） に金型番号によって異なるよう に 0〜 8個の凹部が様々な組み合わせで横 1列に配列される。 これによ りガラス基板 1 9がどの金型で成形されたかが判別できるようになって いる。 この場合は 2 5 6通りの組み合わせとなる。 この数は金型を判別 するには充分な数であるが、 このような凹部の配置は 8つに限られるも のではなく、 用途に応じて凹部の数を変えてもよいし、 凹部の配列方法 を変えてもよい。 尚、 このような凹部は金型を特定する他に、 金型とガ ラス基板との離型性を良好にする効果も有する。
ガラス基板成形用金型の各部材はタングステンカーバイト （WC) を 主成分とする超硬合金 （「ィゲ夕ロイ」 （住友電気工業株式会社の商標） 、 バインダレスシリーズ、 線熱膨張係数 α = 43 X 1 0 7 (室温〜 4 0 0°Ο) により形成される。 成形面 1 a、 2 aは所望の表面粗さに加 ェされ、 白金 （P t ) 系の合金保護膜により被覆されている。
図 3は、 ガラス基板成形用ガラス素材 4の形状の例を示している。 ガ ラス素材の形状は、 金型に載置した初期状態では点接触し、 変形過程で は金型との間に空気を巻き込まないように連続的に接触部が広がってい く形状であれば良い。 具体的には垂直断面が円形状または楕円形状であ るのが好ましい。 硝種としては、 ソ一ダライム系のガラス （ガラス転移 点温度 T g = 5 3 9で、 線熱膨張係数ひ = 8 7 X 1 0— 7 ( 1 0 0〜 3 00で）） を用いた。
また、 図 4は図 1 (A) に示すガラス基板成形用金型と図 3 (B) に 示すガラス基板成形用素材 （外径 2 0mm、 厚さ 7mm、 厚さ方向断面 形状は略楕円状） を用いて、 図 6 (C) に示すガラス基板 1 9を成形す るためのガラス基板の成形装置の概要を示す断面図である。
上型 1は、 ヒー夕 6に固定され、 ヒー夕 6はチャンバ一 1 2に断熱板 8を介して固定されている。 また、 下型 2は、 ヒータ 7に固定され、 ヒ 一夕 7は断熱板 9を介してシリンダ 1 1により上下駆動するシリンダロ ッド 1 0上に固定されている。 リング状の規制部材 3は、 下型 2のフラ ンジ面に、 成形完了時、 上型 1と下型 2との空隙が 0. 63 5 mmにな るように載置されている。
次に成形する過程について説明する。 本発明の実施の形態 1において 作るガラス基板は、 外径 6 5 mm、 厚さ 0 . 6 3 5 mmの磁気ディスク 用ガラス基板である。
まず、 載置台 1 5に供給されたガラス素材 4は、 チャンバ一 1 2外か ら硝材チャック 1 6により、 N 2 雰囲気中のチャンバ一 1 2内の下型 成形面 2 a上のほぼ中央に載置される。
載置後、 下型 2がシリンダ 1 1によりゆつくりと上昇する。 ガラス素 材 4が上型成形面 1 aに接するまで上昇したところでヒー夕 6， 7の電 源が入れられる。 ガラス素材 4は 7 7 0 （ガラス粘度が 7 . 1ポアズ になる温度） で加熱され、 素材内部がこの温度になるまで加熱される。 加熱に伴いガラス素材 4は膨張し、 上下型が固定されていることによつ て変形を生じる。 このとき、 バブルを巻き込むこともあるので、 下型 2 は低荷重により保持されている。
ガラス素材 4が内部まで加熱軟化された後、 シリンダ 1 1により下型 2に高荷重がかけられることにより下型 2が上昇し、 ガラス素材 4が加 圧成形され、 規制部材 3が上型 1のフランジ部に当たったところで変形 は終了する。
このときガラス素材 4は規制部材 3により上型 1と下型 2との間につ くられる空隙と同じ 0 . 6 3 5 mmの厚さに成形されている。
変形が終了した時点でヒータ 6 , 7の電源は切られ、 高荷重が保持さ れたまま、 上型 1、 下型 2、 規制部材 3およびガラス素材 4は冷却され る。 このとき強制的に冷却しても良いが、 成形用金型の面内ができるだ け均一温度になるように冷却しなければならない。
この冷却の過程において、 上型 1、 下型 2、 規制部材 3およびガラス 素材 4はそれぞれ収縮する。 上型 1と下型 2は規制部材 3によって空隙 を規制されているので、 この空隙量は規制部材 3の収縮量に依存する。 規制部材 3の熱収縮量よりもガラス素材 4の熱収縮量の方が大きいので 、 温度が下がるにつれて次第にガラス素材 4は上下金型から離型するこ とができる。
ガラス基板成形用金型には、 ガラス素材 4の温度がガラス転移点温度 の 5 3 9 °Cになるまでシリンダ 1 1により高荷重がかけられ、 その後低 荷重に減圧される。
その後、 3 0 0 °C程度まで冷却後、 シリンダ 1 1により下型 2は下降 され、 原点位置に戻る。 成形用金型内に残ったガラス基板 1 9は図示さ れていない搬送パッドにより冷却工程の冷却上ヒ一夕 1 7と冷却下ヒー 夕 1 8との間に移載され、 徐冷された後、 成形装置から取り出し、 成形 は終了する。
図 6 ( C ) は、 本実施の形態によるガラス基板 1 9の外観図を示して いる。 得られたガラス基板 1 9は、 金型成形面の形状がほぼ転写され、 表面粗さ 1 n mの超平滑な表面を持ち、 平坦度 5 m以内でうねりがな く、 中央部に成形用金型の番号を判別するための凸部 2 2を有している 。
なお、 ここでは、 上型 1および下型 2の中央部に金型番号を判別する ための複数の凹部 5を設けた場合を説明したが、 上型 1および下型 2の どちらか一方のみにこの凹部 5を設けた場合でも良い。 また、 この凹部 5が無くても良く、 この場合に得られるガラス基板 1 9は、 図 6 ( A ) に示すように、 凸部 2 2を有しない他は図 6 ( C ) に示すガラス基板と 全く同様なガラス基板である。
(実施の形態 2 )
本発明の実施の形態 2は、 ガラス基板成形用ガラス素材 4として、 内 部にバブルを含んだ素材を使用する他は実施の形態 1と同じである。 す なわち、 バブルを含んだ素材を成形することにより、 本発明によるガラ ス基板 1 9は図 6 ( B ) に示すように内部にバブル 2 1を含んだものと なり、 バブル 2 1を含まない図 6 ( A ) または （C ) に示すガラス基板 1 9よりも比重の軽いものとなり、 高速回転を要求される磁気ディスク 用ガラス基板として有効である。
(実施の形態 3 )
図 1 ( B ) は、 本発明の実施の形態 3におけるガラス基板成形用金型 内にガラス基板成形用ガラス素材 4を載置した状態を示す断面図である ガラス基板成形用金型は、 所望の表面粗さのガラス基板 1 9 (図 6 ) を得るための成形面 1 aを備えた上型 1と、 この上型 1とほぼ同軸上に 対向配置され所望の表面粗さのガラス基板 1 9を得るための成形面 2 a を備えた下型 2と、 成形完了時の上型 1の成形面 1 aと下型 2の成形面 2 aとの間の空隙を規制する規制部材 3とから構成されている。 このと きの成形面 1 a， 2 aの表面粗さ （R a ) は、 磁気ディスク用としては 5 n m以下が適当で、 望ましくは 2 n m以下、 さらに望ましくは l n m 以下である。
また、 上記空隙は成形するガラス基板の厚さにより異なるが、 ガラス 基板の厚さとほぼ同じであり、 最大でも 1 mm程度である。
また、 実施の形態 1と同様に、 用いた金型を特定するために、 上型 1 および下型 2の中央部には複数の凹部 5が設けてある。 図 2はその凹部 を設けた上型 1を上面から見た図である。
このようなガラス基板成形用金型を用いると、 ガラス基板成形後、 ガ ラス基板の両面にはこの凹部 5が転写した凸部が形成される。 具体的に は、 実施の形態 1と同様に、 横 1列に配列された 8個の小さな凹部と、 その下に金型番号によって異なる凹部が配列されている。 これによりガ ラス基板 1 9がどの金型で成形されたかが判別できるようになつている ガラス基板成形用金型の各部材はタングステンカーバイ ト （WC) を 主成分とする超硬合金 （「ィゲ夕ロイ」 （住友電気工業株式会社の商標）
、 バインダレスシリーズ、 線熱膨張係数ひ = 43 X 1 0—7 (室温〜 4 0 Ot:)) により形成される。 成形面 1 a， 2 aは所望の表面粗さに加 ェされ、 白金 （P t) 系の合金保護膜により被覆されている。
図 5は図 1 (B) に示すガラス基板成形用金型と図 3 (A) に示すガ ラス基板成形用素材 （直径 2 2. 1mmの球） を用いて、 図 6 (C) に 示すガラス基板 1 9を成形するためのガラス基板の成形装置の概要を示 す断面図である。
ガラス素材 4を載置し加熱し軟化させる工程で用いる硝材受け皿 2 0 は、 高温でガラス素材 4との離型性が良好な材料、 例えば S i Cや T i C等の炭化物、 カーボン、 A 1 Nや T i N等の窒化物等からなるか、 あ るいはそれらが CVD法などの各種成膜技術により表面に形成されてお り、 所望の表面粗さに仕上げられている。
用いたガラス素材の硝種は、 アルミノシリゲートのガラス （ガラス転 移点温度 T g = 49 2で、 線熱膨張係数 α = 9 5 X 1 0— 7 ( 1 0 0〜 3 0 O )) であり、 図 3 (A) に示す形状も金型に載置した初期状態 では点接触し、 変形過程で金型との間に空気を巻き込まないように連続 的に接触部が広がっていく形状である。
上型 1は、 ヒータ 6に固定され、 ヒ一夕 6はチャンバ一 1 2に断熱板 8を介して固定されている。 また、 下型 2は、 ヒータ 7に固定され、 ヒ —夕 7は断熱板 9を介してシリンダ 1 1により上下駆動するシリンダロ ッド 1 0上に固定されている。 リング状の規制部材 3は、 下型 2の成形 面 2 aに、 成形完了時、 上型 1と下型 2との空隙が 0. 8 mmになるよ うに載置されている。
次に成形する過程について説明する。 本発明の実施の形態 3において 作るガラス基板は、 外径 9 5 mm、 厚さ 0 . 8 mmの磁気ディスク用ガ ラス基板である。
まず、 載置台 1 5上の硝材受け皿 2 0に供給されたガラス素材 4は、 硝材チヤック 1 6により、 N 2 雰囲気中の予熱上ヒータ 1 3と予熱下 ヒータ 1 4との間に移載される。 ここで、 ガラス素材 4は 7 5 0で （ガ ラス粘度が 6 . 4ポアズになる温度） で加熱され、 素材内部がこの温度 になるまで加熱される （加熱軟化工程）。
加熱後、 ガラス素材 4は硝材受け皿 2 0に載置されたまま、 再び硝材 チャック 1 6によりチャンバ一 1 2内の上型 1と下型 2との間に搬送さ れる。 そして、 図示されていない移載装置によりガラス素材 4のみチヤ ックされ、 硝材チャック 1 6及び硝材受け皿 2 0が退避した後、 下型 2 の成形面 2 a上のほぼ中央に載置される。
載置後、 直ちにシリンダ 1 1に圧力が供給され、 下型 2は上昇し、 高 荷重で加圧成形される。 下型 2の成形面 2 a上の規制部材 3が上型成形 面 1 aに当たったところで変形は終了する。
このときガラス素材 4は規制部材 3により上型 1と下型 2との間につ くられる空隙と同じ 0 . 8 mmの厚さに成形されている。
ここで、 上型 1と下型 2はそれぞれヒータ 6 , 7により 6 0 0でに設 定されている。 変形後のガラス素材 4は 0 . 8 mmの薄肉であるため直 ちにこの温度まで冷却される。
変形が終了した時点でヒー夕 6 , 7の電源は切られ、 高荷重が保持さ れたまま、 上型 1、 下型 2、 規制部材 3およびガラス素材 4は冷却され る。 このとき強制的に冷却しても良いが、 成形用金型の面内ができるだ け均一温度になるように冷却しなければならない。
この冷却の過程において、 上型 1、 下型 2、 規制部材 3およびガラス 素材 4はそれぞれ収縮する。 上型 1と下型 2は規制部材 3によって空隙 を規制されているので、 この空隙量は規制部材 3の収縮量に依存する。 規制部材 3の熱収縮量よりもガラス素材 4の熱収縮量の方が大きいので 、 温度が下がるにつれて次第にガラス素材 4は上下金型から離型するこ とができる。
ガラス基板成形用金型には、 ガラス素材 4の温度がガラス転移点温度 の 4 9 2 になるまでシリンダ 1 1により高荷重がかけられ、 その後低 荷重に減圧される。
その後、 3 0 0 °C程度まで冷却後、 シリンダ 1 1により下型 2は下降 され、 原点位置に戻る。 成形用金型内に残ったガラス基板 1 9は図示さ れていない搬送パッドにより冷却工程の冷却上ヒー夕 1 7と冷却下ヒー 夕 1 8との間に移載され、 徐冷された後、 成形装置から取り出し、 成形 は終了する。
図 6 ( C ) は、 本実施の形態によるガラス基板 1 9の外観図を示して いる。 得られたガラス基板 1 9は、 金型成形面の形状がほぼ転写され、 表面粗さ 0 . 6 n mの超平滑な表面を持ち、 平坦度 5 z m以内でうねり がなく、 中央部に成形用金型の番号を判別するための凸部 2 2を有して いる。
なお、 ここでは、 上型 1および下型 2の中央部に金型番号を判別する ための複数の凹部 5を設けた場合を説明したが、 上型 1および下型 2の どちらか一方のみにこの凹部 5を設けた場合でも良い。 また、 この凹部 5が無くても良く、 この場合に得られるガラス基板 1 9は、 図 6 ( A ) に示すように、 凸部 2 2を有しない他は図 6 ( C ) に示すガラス基板と 全く同様なガラス基板である。
(実施の形態 4 )
本実施の形態では、 予熱上ヒータ 1 3と予熱下ヒータ 1 4とによるガ ラス素材 4の加熱温度を 7 0 0 °C (ガラス粘度が 7 . 1ポアズになる温 度） とし、 また、 成形時のヒータ 6， 7による上型 1と下型 2の加熱温 度を 7 0 0 とする以外は実施の形態 3と同様にして、 外径 9 5 mm、 厚さ 0 . 8 mmの磁気ディスク用ガラス基板を製造する。
得られるガラス基板 1 9の外観形状は図 6 ( C ) に示すとおりであり 、 ガラス基板 1 9は、 金型成形面の形状がほぼ転写され、 表面粗さ 0 . 6 n mの超平滑な表面を持ち、 平坦度 5 以内でうねりがなく、 中央 部に成形用金型の番号を判別するための凸部 2 2を有している。
以上に説明した実施の形態は、 いずれもあくまでも本発明の技術的内 容を明らかにする意図のものであって、 本発明はこのような具体例にの み限定して解釈されるものではなく、 その発明の精神と請求の範囲に記 載する範囲内でいろいろと変更して実施することができ、 本発明を広義 に解釈すべきである。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 一対の上下型と前記上下型の空隙を規制する規制部材とからなり
、 平行平板状のガラス基板を製造するためのガラス基板成形用金型であ つて、
前記規制部材の熱収縮量が、 前記ガラス基板材料の熱収縮量よりも小 さいことを特徴とするガラス基板成形用金型。
2 . 前記ガラス基板の外径 Xと厚さ Yとの関係が X > 4 0 Yを満足す る請求項 1に記載のガラス基板成形用金型。
3 . 前記規制部材が上下型の空隙を 1 mm以下に規制する請求項 1に 記載のガラス基板成形用金型。
4 . 上下型の少なくともどちらか一方の中央部に凹部を設けた請求項 1に記載のガラス基板成形用金型。
5 . 前記凹部が複数である請求項 4に記載のガラス基板成形用金型。
6 . 一対の上下型と前記上下型の空隙を規制する規制部材とからなる 成形用金型を使用して平行平板状のガラス基板を製造する際に用いられ るガラス素材であって、
前記規制部材の熱収縮量よりも大きな熱収縮量を有し、
前記成形用金型に載置されたときは前記成形用金型と点接触し、 加圧 成形されることにより前記成形用金型との接触部が増えるときには前記 接触部に空気を巻き込まないように連続的に変形するような形状を有す ることを特徴とするガラス基板成形用ガラス素材。
7 . 前記ガラス基板の外径 Xと厚さ Yとの関係が X > 4 0 Yを満足す る請求項 6に記載のガラス基板成形用ガラス素材。
8 . 垂直断面が円形状または楕円形状である請求項 6に記載のガラス 基板成形用ガラス素材。
9 . 一対の上下型と前記上下型の空隙を規制する規制部材とからなる 成形用金型内にガラス素材を載置した後、 前記ガラス素材を加圧成形し て、 平行平板状のガラス基板を製造する方法であって、
前記規制部材の熱収縮量は、 前記ガラス素材の熱収縮量よりも小さく 、
前記ガラス素材は、 前記成型用金型内に載置されたときは前記成形用 金型と点接触し、 加圧成形されることにより前記成形用金型との接触部 が増えるときには前記接触部に空気を巻き込まないように連続的に変形 することを特徴とするガラス基板の製造方法。
1 0 . 前記ガラス素材の垂直断面が円形状または楕円形状である請求 項 9に記載のガラス基板の製造方法。
1 1 . 一対の上下型と前記上下型の空隙を規制する規制部材とからな る成形用金型内にガラス素材を載置する第 1の工程と、
前記ガラス素材を加熱し軟化させる第 2の工程と、
前記ガラス素材を平行平板状のガラス基板に加圧成形する第 3の工程 と、
前記ガラス基板を冷却する第 4の工程と、
前記ガラス基板を取り出す第 5の工程とを有し、
前記規制部材の熱収縮量は、 前記ガラス素材の熱収縮量よりも小さい ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
1 2 . 前記第 4の工程でガラス基板の温度が少なくともガラス転移点 温度になるまで加圧を継続する請求項 1 1に記載のガラス基板の製造方 法。
1 3 . 受け皿上にガラス素材を載置する第 1の工程と、
前記ガラス素材を加熱し軟化させる第 2の工程と、
前記受け皿上の前記ガラス素材を一対の上下型と前記上下型の空隙を 規制する規制部材とからなる成形用金型内に載置する第 3の工程と、 前記ガラス素材を平行平板状のガラス基板に加圧成形する第 4の工程 と、
前記ガラス基板を冷却する第 5の工程と、
前記ガラス基板を取り出す第 6の工程とを有し、
前記規制部材の熱収縮量は、 前記ガラス素材の熱収縮量よりも小さい ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
1 4 . 前記第 5の工程でガラス基板の温度が少なくともガラス転移点 温度になるまで加圧を継続する請求項 1 3に記載のガラス基板の製造方 法。
1 5 . 前記ガラス基板の外径 Xと厚さ Yとの関係が X〉 4 0 Yを満足 する請求項 9 、 1 1又は 1 3に記載のガラス基板の製造方法。
1 6 . 前記規制部材が上下型の空隙を l mm以下に規制する請求項 9 、 1 1又は 1 3に記載のガラス基板の製造方法。
1 7 . 上下型の少なくともどちらか一方の中央部に凹部を設けた請求 項 9 、 1 1又は 1 3に記載のガラス基板の製造方法。
1 8 . 前記凹部が複数である請求項 1 7に記載のガラス基板の製造方 法。
1 9 . 前記ガラス素材を前記成型用金型内に載置したときは前記ガラ ス素材は前記成形用金型と点接触し、 かつ前記ガラス素材を加圧成形す ることにより前記成形用金型との接触部が増えるときには前記ガラス素 材は前記接触部に空気を巻き込まないように連続的に変形する請求項 1 1又は 1 3に記載のガラス基板の製造方法。
2 0 . 前記ガラス素材の垂直断面が円形状または楕円形状である請求 項 1 1又は 1 3に記載のガラス基板の製造方法。
2 1 . 請求項 9 、 1 1又は 1 3に記載のガラス基板の製造方法により 得られる磁気ディスク用ガラス基板。
2 2 . ガラス基板の表面に影響しないバブルをガラス基板内に含む請 求項 2 1に記載の磁気ディスク用ガラス基板。
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