WO1980002665A1

WO1980002665A1 - Appareil d'usinage basculant par electro-erosion

Info

Publication number: WO1980002665A1
Application number: PCT/JP1980/000112
Authority: WO
Inventors: T Oizumi; S Yamada; T Ito
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp; T Oizumi; S Yamada; T Ito
Priority date: 1979-05-30
Filing date: 1980-05-27
Publication date: 1980-12-11
Also published as: DE3047554C2; CH652632A5; US4467167A; US4453071A; DE3047554T1

Description

明細書

発明の名称

放電加工による笞せ加工装置

技術分野

本発明は、電極が被加工物に押し込まれる方向に送られる勣きを与える装置とともに、上記方向に垂直な方向の要素を持った摇動運動を与える装置とを備えた放電加ェ装置の改良に関するものである。

背景技術

従来放電加工におては、電極が被加工物に押し込まれる方向に電極と被加工物に相対的な動きを与え、通常その方向に対して上記電極と被加工物との距離が一定になるようにサ ― ボを取 ]? な力；ら加工を行なっている。ここで、通常放電加工においては、荒加工の後、同様な形状でかつ若干寸法の異なる複数の電極を用いて仕上加工を行なっていた。これは荒加工においては加工速度は高' が加工面が荒く、一方仕上加工にいては加工面は細かいが加工速度が低く、また電極と被加工物との側面ギャッブは仕上加工の方が狭いことに起因している。

そのため一本の電極で荒加工から仕上加工まで加工する目的で、荒加工が終了した後、電極あるいは被加工物に通常の送 J9 方向と垂直な要素を持った動き、例えば公耘円運動を与え、見かけ上寸法が大きい電極を用いたと同様に、荒加工に使用した電極で仕上加工も行なう装置が提案されてる。

これは例えば第 1 図に示すようなもので、電極（1)と裱加工物（²)を絶縁液中で対向させ、パルス電流供給装置（³) よ ]? 供給されるパルス電流を加工間隙に通電することによ！）、被加工物（²) を加工する。その時電極（1)は、電圧差動回路）、増巾器（⁵)からなるサーホ'回路及び該回路の出力信号によ駆動される油圧サーボバルブ（⁶) 、油圧シリンダ（からなるサーボ機構によ ]9 、被加工物（²)に対して押し込まれる方向（ z軸方向）に、例えば加工間隙の電圧 v_d が平均的に規準値 v _s と一 ¾する様に、送 ]? 込まれ加工が進行する。ここで最終所望深さよ ]3 少し手前に設定された深さまで荒加工が終了した後、パルス電流供給装置は）の 1 パルスのエネルギーを / J、さくなるように変更し、更に電極運動制御装置（8) によ ]？、既知の方法でサ - ボモータ（9) &0)を動かすことによ ] 3 、 X — Y クロステープル ¾!] ）に違続して、例えば円運動を行なわせる。この場合サ― ボモータ（9) , ftO) には位相が異な ]5 、振巾は上記荒加工と仕上加工の側面ギヤップの差の分に対応する電圧を有する正弦波を加えれば良い。そして、この様に電極 '' 1) と被加工物）を相対的に公転円運動をさせながら再度所望桀さまで加工を行なう。この場合、相対的な公転円運動の直径に当たる寸法だけ電極（1)が拔大されたのと等価な効杲を持っため、先に行なった荒加工による荒い加工面は除去されるというものである。

： T10 ここで、この方法で第 2 図に示すような楕円斬面を有する電極（1)を用いて、それに対応する穴を被加工物（²)上

に加工する場合、公転円運動の軌跡の各部分に対して被

加工物（²)が除去されるべき量は、電極（1) が大きな曲率半

径を有している部分では、小さな曲率半径を有している

部分に比べて非常に大きい。そのため加工が進行するに

つれて第 3 図に示すように、その曲率半径の大きい部分

の加工された深さのほうが曲率半径の小さな部分の加工

された深さよ大きくな ]? 、加工深さに大きな差を持つ ― てくる。 .

そのため、この装置におては、深穴の加工になると、

先に行なった荒加工による荒い加工面を十分取 ] 5 切るこ

とができないし、仕上加工の際の電極の到達する深さが、

電極の形状によつて各部分毎に差ができるという大きな

欠点を有している。

発明の開示

本発明は上記欠点に鑑みてなされたもので、電極の一

部が所望する加工深さに達した時、電極の最深加工位置

が、その位置以下にならないように制御をしながら、所

定の期間、摇動運動を行なうように構成することによ ) 、

仕上加工楕度を向上させることを目的とするものである。

また、本発明は電極が所定の加工深さに達した後、電

極がその深さ以下にならないように制御をしながら加工

を行ない、加工間隙の正常状態がある一定時間以上違続

':'ヱ- wn ο , するまで、上記電極に揺動運動を与えることによ D 、仕上加工精度を向上させることを目的とする。

さらに、本発明は電極がある所定の加工深さに達した後、電極がその所定加工深さにある時間が、所定の時間持続したことを検出することによ、電極の全ての部分に対して十分所定加工深さまで加工が完了したことを検知し、仕上加工精変の向上を計ることを目的とする。

さらにまた、本発明は電極の一部が所望する加工深さに達した時、電極の最深加工位置が、その位置 ¾ 下にならない様に制御をしながら、所望の回数の摇動違動を行なう様に構成することによ ] 3 、仕上加工精度を向上させることを目的とする。

さらにまた、本発明は電極と被加工物との間に所定形状に沿う相対的な周期的摇動運動を与えながら放電加工を行なう際、上記周期的揺動運動の速度を比較的高くすることによ ]3、電珲及び被加工物間に介在する加工液に液流を与え、かくはんし、加工粉の底面への滞留を防ぐと共に、上記所定形状の大きさを加工間隙の状態に応じて変化させる様にすることによ、荒加工終了時の位置よ ]? 最終所望寸法形状まで自動的に拡大することのできる放電加工制 ¾方法を提供するものである。

上記目的を達成するため、本発明の装置は、加工が進んで電極と被加工物とが所定の位置関係となったことを検岀する手段と、この検出手段からの信号にもとづて、上記所定位置関係となった時以降、摇動加工を所定期間遂行させる指令を出力する手段とを備えてる。

図面の簡単な説明

第 1 図は従来装置を示す搆成図、. 第 2 図，第 5 は楕

円電極による加工状態説明図、第 4 図は本発明装置の一実施例を示す構成図、第 5 図は本発明の他の実施例を示

す構成図で、加工間隙の電圧値が基準値よ大きくなつ

ている時間が所定時間つづくと加工を停止させるように

した装置を示す図、第 ό 図は本発明のさらに他の実施例

を示す搆成図で、電極と被加工物との所定の位置関係が

予め設定した時間継続されると加工を停止させるように

した装置を示す図、第 7 図は本発明のさらに他の実施例

を示す構成図で、摇動違動の回数を設定することができ

るようにした装置を示す図、第 8 図は本発明のさらに他

の実施例を示す搆成図で、摇動違動軌跡を変更させるよ

うにした装置を示す図である。

発明を実施するための最良の形態

第 4 図は、本発明装置の一実施例で、電極運動制御装

置）よの信号によ ]? サ ―ボモータ (⁹) , Μ を駆動するこ

とによ j? 、 X — Υ クロステーブル（11) , (13 を動作させ、電

極（1) と被加工物（²) との間に相対的に公転円運動を与える

ことは、第 1 図に示す従来装置と同様である。

また差動トランス）のコィルの部分は機械の固定側に

固定されていると共に、その可動鉄心は Ζ 軸方向に対し

_ OMPI ,

、 ?o— 、聽 o て電極（1) と同様な動きをする様に構成されてお ]? 、また ( 1は、例えば特公昭 53 - 32112 号公報の第 1 図）と同様の回路で、加工間隙の電 V_d と規蕖電圧 V_S との差電

Vd - V_S と、差動トランス（13 との出力のうち、低い方を優先的に選択するための比較選択回路である。ここで該比較選択回路（ )の動作は、上記特公昭 53 - 321 12 号公報中に詳述してある如く、機械の固定側に固定された差動トランス）のコィル部の位置をあらかじめ設定しておけば、その設定位置よ ]) 上では、加工間隙での電圧 v_d と規準電圧 Vs との差電圧 Vd - Vs. によ電極（1)の位置は制御され、また上記設定位置にくれば、差動トランスの出力が優先的に選択されることによ！）、サ ―ボバルブ (⁶) と油圧シリンタ ' （⁷)力らなるサーボ機構によって、その位置以下には電極（1) が降下しない様に制御するものであ

O

次にこの実施例の装置の動作は、通常抵抗とコンデンサ等から構成される単安定マルチバイブレータ ^ の時間設定装置 (16) によ ]3電極（1) の設定加工位置での所望公転運動時間が設定されてお ]?、フリップフ口ップな7)はリセットされているため、 AN:D ゲート as)は閉じられている。

次に加工の進行中には、差動トランス α の出力は、比較器 9) によ比較電圧 ν_Β と比較されているカ、比較電

E の方が低いため、比較器 ^の出力は零を保ち、フリップフ π ッブ（17) には影響しない。ここでもっと加工が

O PI

ノノ V/IP(5 進行し、電極（1) が設定加工位置に達すると差動トランス (13)の出力が比較器（19 の比較電圧 V_B 以下にな ]3 、該比較器 9)の出力は 1 になる。するとその出力によ D フリップフロップ（17)がセットされ、その Q 出力は 1 にな ]? AN D ゲ一ト ⁸)に達する。この時上記フリップフロッブ（17) の Q 出力は単安定マルチバイブレータ（15)にも入るため、該単安定マルチバイブレータ）は、時間設定装置（1 によ設定された時間だけ作動するとともにその出力を 1 にする。また、この出力の反転した信号が AND ゲート（18) に入ってお ]? 、上記単安定マルチバイブレータ 3 が作動中は AND ゲート &⁸) の出力は零に保持され、時間設定装置）によ設定された時間の後、 AND ゲート d の出力は 1 にな D 、パ' ルス電流発生装置（³)に加工終了信号として作用するとともに、フリップフロップ（17)をリセットし、一連の動作は終了する。

この時単安定マルチバイブレータ（15)の作動中は、電極 (1)の位置は、上記差動トランス（13)で設定されている位置以下に下ることはないため、被加工物（²)のうち加工されずに残っている部分は、徐々に加工されていく。

このように上記時間設定装置 )に十分な時間を設定しておけば、電極（1)の一部が所望する加工深さに達してから、被加工物上の加工されずに残った部分を全て加工することができるため、荒加工後、仕上加工を行なう場合にも荒加工面が残ることはなく、また仕上加工精度も向上させること力；できる。 - 5 図は本発明装置の他の実施例で、電極運動制御装置（⁸) よ ]) の信号によ、サーボモータ（⁹) , を駆動することによ ]3 、 X - γ クロステーブル !），）を動作させ、電極（1) と被加工物）との間に相対的に公転円運動を与えることは、第 1 図に示す従来装置と同様である。また差動トランス）のコィルの部分は機械の固定側に固定されていると共にその可動鉄心は Ζ 軸方向に対して、電極（1) と同様な動きをする様に構成されてお ]? 、また ftiは加工間隙の電圧 v_d と規準電圧との差.電圧 v _d - v_s と差動トランス）との出力のうち、低い方を優先的に選択するための比較選択回路である。

この実施例の装置の動作としては、まず電極（1) が所定の加工深さに達する前において加工している間は、差動トランス）の出力は比較器（5)の比較電 E VB よ ]? 高いため、該比較器 ® の出力は零になってお、また加工間隙は、前記加工間隙サーボ回路（⁴) , (5)及び加工間隙サ一ボ機構（⁶) , (⁷) によ ]? Vd - V_S はほぼ零になるように制御されているため、 V d - Vs < Vc の関係にあ ]3 比較器 ¾の出力もまた零になっている。この時、フリッブフロップ

( 以下と記す）はリセットされているものとしその Q 出力は零である。ここでもっと加工が進行し、電極（1) が所定加工深さ達つすると、差動トランス ³)の出力が比較器 G3の比較電 V_B 以下にな ]?、該比較器 ©の

ΟΜΡΙ

V.^rIFO 出力は 1 になることによ IJ F Z F Mをセットし、その Q 出力は 1 になる。そしてこの出力は AND ゲート ^に入力されるが、 AND ゲ — ト ^の他方の入力は 0 であるため閉じたままである。この時電極（1) は、差動トランス Wによ設定された所定加工深さ以下になることはないため、加工間隙の電 E Vd は徐々に上昇し、ある時間の後、電 E差動回路）の出力 V_d - V_S は Vc 以上にな ]5 、比較器（22) の出力は 1 になる。すると AND ゲート ^は開かれるため、 AND ゲ — ト ^ の出力は 1 にな ]) AND ゲート）の入力端子のひとつにこの 1 信号が入力される。この 1 信号は同時に単安定マルチバイブレータ ( 以下 OSM と記す） ^を作動させて、その出力を 1 とし、この OSM ^)の出力は反転素子を通して 0 信号となって AND ゲート）に入力されるためゲ — ト ^の出力は 0 となっている。ここで OSM 64)は作動中に入力が入っても作動する形式のものである。そのため 0 SM の作動完了後にまだ AND ゲート ^の出力が 1 ならば、即ち加工間隙の状態に対応する電圧 Y - V_S 力； Vc 以上であるならば、 AND ゲート（¾) の出力は 1 にな ϊ) , パルス電流発生装置は）に加工終了信号として作用すると共に、 (20)をリセットし、一違の動作を終了する。このため OSM の動作時間を十分大きく取れば、被加工物（²)のうち、除去されずに残っている部分は徐々に加工されてく。

このように本発明装置を用いて放電加工を行なうならば、電極が所定加工深さに達してから、被加工物上の加ェされずに残った部分を全て加工することができるため、荒加工後、仕上加工を行なう場合にも荒加工面が残ることはなく、また仕上加工精度も向上させることができる。

第 ό 図は本発明のさらに他の実施例を示す図で、この実施例の装置の動作は、電極（1)が差動トランス ft³) によ ]) 設定される所定位置よ ]? 上にある状態で、加工が進行している際には、差動トランス ³)の出力は、比較器によ

]? 比較電 VB と比較されてお ]?、またその比較の結果比較電圧の方が低いため、比較罨の出力は零を保つ。

ここでもっと加工が進行し、電極（1)が設定加工位置に達すると、差動トランス asの出力が比較器 ®の比較電 E v_B 以下にな ]? 該比較器）の出力は 1 になる。すると単安定マルチバイブレータ（以下 O SM と記す）（27)は、所定の時間だけ作動し、この O S M (¾)の出力は 1 にな ]? 反転素子を通して、ゲート )を閉じる。ここで電極（1)が設定加工位置に達した初期の段階においては、電極（1)の形状によ ]? 、被加工物）上の加工穴の深さにはムラがあ、上記 O SM の作動時間中に、 .電極（1) は上方へ移動し、比較器の出力は零になってしまう。このため AND ゲート ^ の出力は零の状態を保つ。この様にしてある時間経つと、上記加工穴の加工深さのムラがなくなっていることによ ]9、電極（1)は設定加工位置に留まる時間は徐々に長くなつてくる。そしてその時間が O SM (27)の作動時間を越えると、 Α Ν Ώ ゲートし? 9)の出力は 1 にな ]) 、パルス電流発生装置（³)に加工終了信号として作用し、一連の動作は終了する。

このように上記単安定マルチバイブレータ（^を十分な時間作動するように設定しておけば、電極（1)の一部が所

望する加工深さに達してから、被加工物上の加工されず

に残った部分を全て加工することができるため、荒加工後、仕上加工を'行なう場合にも荒加工面が残ることはなく、また仕上加工精度も向上させることができる。

第 7 図は、本発明装置のさらに他の一実施例を示す図で、 '電極運動制御装置（8) よ D の信号によ ]9 、サ —ボモ - タ（⁹) , 0)を駆動することによ ]3 、 X - Y クロステーブル

(11) , (12)を動作させ、電極（1) と被加工物（²) との間に相対的に公転円運動を与えることは、第 1 図に示す従来装置と同様である。しかし、電極運動制御装置（⁸)は出力端子

(8A) を有し、この出力端子（8A) には、電極（1)の運動の 1 周期毎にパルスが出る様になつている。次にこの実施例の装置の動作は、ディジタルスィツチ等から搆成される回転教設定装置）によ ]? 、電極（1)の所望公転運動回数が設定されてお ]9 、フリップフロップ（

以下？と記述する）はリセットされているため、

F / i 3lj の Q 出力は 0 であ ]) AND ゲート（33 は閉じられている。次に加工の進行につれて上記電極運動制御装置（⁸)の出

Ο:ΛΡΙ

4' WIPO . 力端子（δΑ) には、電極公転運動の 1 周期毎にパルスが出力されているが、上記の如く AND ゲ ― ト 62)は閉じられているため、カウンタ 6 には上記パルスは加算されず、また上記の ¾ " 出力はカウンタ（33)のリセット端子に入っているため力ゥンタ（33)の内容は 0 である。

ここで、もっと加工が進行し、電極（1)の一部分が設定加工位置に達つすると、差動トランス &³)の出力がコンパレ―タ 6 の比較電圧 V_B 以下にな ]? 、該コンパレータ ^ の出力は 1 になる。するとその出力によ ]) がセットされ、その Q 出力は 1 になるため AND ゲート 6 は、電極運動制御装置（⁸)の出力端子（8A) にパルスが出力されるたびに信号を出し、これがカウンタ 03)に加算される。

即ちカウンタ）には、電極（1)があらかじめ設定された深さに達した後の電極公転運動数が加算される。ここで力ゥンタ S3)の内容と、上記運動回数設定装置）に設定された内容とがー致すると、一致検出回路 ^ によ i? 一致信号が出力され、パルス電流供給装置）に加工終了信号として作用すると共に、をリセットし、一連の動作を終了するが、力ゥンタ）にパルスが計数されている間は、電極 (1)の位置は、上記差動トランス ³) で設定されている位置以下に下ることはないため、裰加工 ¾ (²)のうち加工されずに残っている部分は、徐々に加工されていく

この様に上記電極運動回数設定装置∞ に十分な数を設定しておけば、電極（1)の一部が所望する加工深さに達し o:.

V.'IPO Ti てから、被加工物上の加工されずに残った部分を全て加ェすることができるため、荒加工後、仕上加工を行なう場合にも荒加工面が残ることはなく、また仕上加工精度も向上させることができる。

ところで、上述した種々の実施例におて、通常荒加ェの後、仕上加工に移る際、最終所望形状に対応するように上記偏心量を決定すると、仕上加工の初期の段階で電極被加工物間に短絡が発生し、加工不能の状態となるまた、このような通常の電極の送方向と垂直な方向の要素を持った公転運動の加工にいては、電極の側面（公転運動の加工方向に対応する）の加工で発生した加工粉は、電極の底面部に滞留しやすくなるため、加工の進行につれ、電極の側面方向ばか ]? でなく、電極の底面方向でも短絡等が発生する可能性が大きく、一旦底面方向で短絡等の異常事態が発生した場合、サ - ボによ ]? 電極の側面方向の加工間隙が開ても、底面方向の短絡は解消せず、結果として加工速度が低下することがあった。

この問題を解決するために、本発明では、さらに摇動運動を付与する装置を.制御するようにした。以下、これを説明する。

第 8 図において、電極（1) と被加工物）を加工液中で対向させ、パルス電流供給装置）よ ]? 供給されるパルス電流を上記電極（1) と被加工物 (²) よ成る加工間隙に通電することによ ] 9 、被加工物は）を加工する。ここで荒加工の θ;.ίΡΙ /. VvIPO 場合は、位置サ ― ボ加工間隙サーボ切換スィツチは、

B の方向にあ ]? 、その時電極（1)は、電圧差動回路（⁴)、増巾器（⁵)からなるサーボ回路、及び該回路の出力信号によ

駆動される油圧サ —ホ'バルブ（⁶)、油圧シリンダ（?）等から搆成されるサーボ機構によ ]) 、被加工物）に対して押し込まれる方向（ Z 軸方向）に、例えば加工間隙の電圧

Vd が平均的に規準値 Vs と一致するように、送 ]3 込まれ加工が進行する。また、この時サーボモータ（⁹) , には電圧がかからないように構成することによ ]? 、 X — Υクロステーブルな1) , (1 に取 ]? 付けられた電極（1)の X , Υ方向の位置は移動しな。このようにして、加工が所定深さに達すると、サ ― ボ切換スィッチ 66) を Α側に倒す。ここ-で差動トランス（11)のコィル側は機械の固定側に固定されてお ] 3 、またその可動鉄心は Z 軸方向に対して電極（1) と同様な動きをするように構成されているため電極（1)の位置は、差動トランス）の誤差信号が零になるように、即ち上記所定深さの位置にサ — ボされることになる。ここで電極違動制御装置（S) は、その端子（8X) に E_r Sm wt の電圧を発生し、また端子 (8Y) には E_r C o s wt の電 Eを発生し、各々の電圧をサーボモータ（⁹) , &0) に印加することによ、電極（1) に公転円運動を行なわせるように構成されてお ]? 、またその円運動の半径に対応する電 llr

は、可変抵抗器によ ]9 制御することが可能で、また可変抵抗器 ^の抵抗値はステツピングモータ 38)が回耘する

C:.:PI * / ^WIPO ことによ ]? 段階的に変化する。 - 次に仕上加工に移る際には、まずパルス電流発生装置は）によ ]? 、仕上加工に適する加工条件を選択設定する。そしてまず上記公転円運動の半径を一番小さい段階になるように電圧 E_r を設定し、加工を開始すると、前述した如く電極運動制御装置）の端子（8X) ，（8Y) には、それぞれ E_r Sin wt E_r Cos vrt の電 Eが出力され、サ— ボモ一タ（9) ， CIO)力；駆動されることによ ]? 、 X — Y クロステ - ブル &!) ，（L2) に取 ]? 付けられた電極（1)に公転円運動が与えられる。こ'こで電極運動制^装置（⁸)の端子（8C) には、 (8X) あるいは（ 8Y) の電 Eの 1 周期毎にパルス信号が出力されるように構成されている。また加工間隙の電圧は比較'器 ^ に入力されてお ]? 、その値が比較電圧 v_B 以下になると、比較器 ^の出力には、 1 が出力され、フリツプフ π ッブ（以下： F Z F と記す））をリセットし、その出力 Q を零にし、 AND ゲ ― ト（⁴1) を閉じる。一方加工間隙の電圧が比較電圧 V_B 以上になると、比較器 )の出力は零のままに保たれ、 F / F Wには影響しない。ここで前述した如く電極運動制御装置（⁸)の *端子（8C) にパルス信号が出力されると、その信号は、そのパルス信号のパルス巾程度、遅延素子（⁴2) によ ]9遅延させられ、 F // F 0) のセット端子に入 ]? 、 F Z F (40) の Q 出力を 1 にし、 AND ゲート 1) を開く。そこで次の電極（1) の公転円運動の 1 周期の間に、即ち次に端子（8C) にパルス信号が出力されるまでに、加工間隙の電圧が比較電圧 VB 以下にならないと！¹ (40)の Q 出力は 1 にセットされたままになっているため、 AND ゲート（⁴1) は開かれてる。そして上記出力端子（8C)に次のパルス信号が出力されると、そのパルス信号は ΑΝΏ ゲート（⁴1) を通って、ステッピングモータ IB8)の制御回路（）の端子（⁴³P) に入 ]? 、ステッピングモ -タ 68)を駆動する。すると可変抵抗抑の抵抗値力 1 段階変化し、電極運動制御装置（⁸)の端子（8X) , (SY) の電

Eの振巾 E_r は、 1 段階高くなることによ ]3 、電極（1)の公転円運動の半径は拡大される。. このように加工間隙の電圧が比較器 (³⁹) の比較電 V_B 以上を保つならば、加工間隙の状態を正常とみなし、電極（1)の公転円運動の半径は順次段階的に拡大されて行く。しかし、加工間隙で加ェ粉等によ ]) 短絡が発生した場合には、比教器 63 の出力は 1 になるため、 ϊ¹ / Ϊ¹ (40) はリセットされ、 AND ゲート

(41) が閉じられ、ステッピングモータ制御装置（⁴³) にパルス信号が入力されることはなく、ステッピングモータ

68)は駆動されず、電極（1) の公転円運動の半径も変化しないため、同じ半径の公転円運動を繰 ]?返す。その間に加ェ液がかくはんされ短絡の原因となった加工粉等は外へ排出され、また正常な状態に復帰するというものである _c

このように上記公耘円運動の半径を段階的に拡大させて行く際に、加工間隙の電圧によ ]9 、その拡大制御を行なうため、加工間隙の加工粉等による短絡を解除するこ o:i?i '— Ύ7Ι?0 ATI0 とが可能にな、また公転速度を速くすることによ ]?、加工粉の底面への滞留も防ぐことが可能になるため加工効率を著しく高めることができる。

ここで、上記の 1 段階毎の半径を拡大させる量は、加ェ間隙長以下にすることが望ましい。また上記実施例中におては、周期時並進運動として公転円運動によ ]) 説明したが、これは他の形状にも適用できることは当然である。さらに、この実施例においてはサ ― ボ切換スイツチ（36) を用たが、これは前の実施例で示した比較選択回路に置き換えても良い。 .

ここで、上記種々の実施例においては、差動トランスの位置を加工前に所望する加工深さの位置に設定し、その位置での電極運動回数を設定する様にしたが、加工中上記差動トランスの位置を段階的に移動させることも可能であ ] 3 、その場合、設定された揺動加工期間は、その段階毎期間を定めることができる。また上記種々の実施例中においては、電極運動形状を円としたが、その他の形状の違動を行なわせた場合にも本発明が適用できることは当然である。

また、摇動違動は電極側を運動させるのではなく被加ェ物側を運動させるようにすることも可能である。

Claims

-請求の範囲

1. 電極と被加工物との間に加工用放電エネルギを供給する電源と、電極と被加工物とをある方向に沿って相対送 ]? 運動させる送 ]5 手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持った相対摇動運動を与える手段とを備え、この摇動違動付与手段によ ]9 摇動運動させつつ電源よ ]3 加工用放電エネルギを供給して揺動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物とが上記ある方向において所定の位置関係となったことを検出する位置検出手段と、この検出手段からの検出信号にもとづて、上記所定の位置関係となった時以降上記摇動加工を所定期間遂行させる指令を出力する手段とを備えた放電加工装置。 ·

2. 請求の範囲第 1 項に記載の放電加工装置におて、

電極と被加工物とを所定の位置関係に保持するための手段をさらに備え、この保持手段は位置検出手段の信号によ ]3 相対送 ])違動付与手段を制御して電極と被加ェ物とを所定の位置関係に保持するものであることを特徵とする放電加工装置。

3. 請求の範囲第 2 項に記載の放電加工装置において、

揺動加工の遂行指令供給手段は、電極と被加工物とが所定の位置関係となったことを検出した位置検出手段の信号によ J9 動作を開始することを特徵とする放電加

O PI

V IPO

4. 請求の範囲第 1 項に記載の放電加工装置において、摇動加工の遂行指令供給手段は、所定期間経過後において電源を不動作状態とすることを特徵とする放電加ェ装置。

5. 請求の範囲第 1 項に記載の放電加工装置において、相対送 ]? 運動付与手段の動作を制御する電気的駆動手段を有し、この電気的駆動手段は、電極と被加工物との間の加工ギャップにおける加工状態の良否を判別した信号と、被加工物に対する電極の位置を表わす信号とを入力とし、かっこれら両，号を択一的に用いて相対送 ] 9 運動付与手段を制御することを特徵とする放電加工装置。

6. 請求の範囲第 3 項に記載の放電加工装置において、電気的駆動手段は、電極と被加工物とが所定の位置関係になるまでは加工状態の良否判別信号を用い、所定の位置関係になった以降は位置信号を用て相対送 ]? 運動付与手段を制御することを特徵とする放電加工装

7. 電極と被加工物との間に加工用放電エネルギを供給する電源と、電極と被加工物とをある方向に沿って相対送運動させる送 ]5 手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持った相対摇動運動を与える手段とを備え、この摇動運動付与手段によ ]5 摇勣運動させつつ電源よ加工用放電エネルギを供给して摇動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物とが上記ある方向におて所定の位置関係となったことを検出する位置検出手段と、位置検出手段が信号を出力するとそれによ信号出力状態に保持される可逆反転手段と、この可逆反転手段からの出力信号によ、上記所定の位置関係になった時以降、上記摇動加ェを所定期間遂行させる指令を出力する手段とを備えた放電加工装置。

8. 電極と被加工物との間に加工用放電エネルギを供給する電源と、電極と被加工物 ^: をある方向に沿って相対送 ] 3 運動させる送 U 手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持った相対摇動運動を与える手段とを備

'え、この摇動運動付与手段によ！？摇動運動させつつ電源よ ]3 加工用放電エネルギを供給して揺動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物とが上記ある方向において所定の位置関係となったことを検出する位置検出手段と、この検出手段からの検出信号にもとづて、上記所定の位置関係となった時以降上記摇動加工を所定の時間遂行させる指令を供給する時限手段とを備えた放電加工装置。

9. 請求の範囲第 ό 項に記載の放電加工装置において、時限手段は、遂行指令の供給時間を設定するための時間設定手段と、この時間設定手段の設定時間にもとづて時限動作し、設定時間経過時に信号を発生する手段とを有していることを特徴とする放電加工装置。

10. 請求の範囲第 9 項に記載の放電加工装置にて、

時限信号発生手段は、電源に接続され、設定時間経過時に動作停止指令を発生することを特徴とする放電加ェ装置。

1 1. 電極と被加工物との間に加工用放電エネルギを供給

する電源と、電極と被加工物とをある方向に沿って相対送 ]?運動させる送 ] 3 手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持った相対摇動運動を与える手段とを備え、この摇動運動付与手段によ摇動運動させつつ電源よ ]5加工用放電エネルギを供給して摇動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物とが上記ある方向において所定の位置関係となったことを検出する位置検出手段と、上記電極と被加工物との間の加工間隙の電 E値が所定の基準値よ大きいとき信号を発生する手段と、上記位置検出手段が上記所定の位置関係を検出した後において上記間隙電検出手段が所定時間以上信号を継続的に発生したことを検出する手段とを備え、この.信号継続検出手段が所定時間以上の信号発生継続を検出するまで上記揺動加工を遂行させることを特徵とする放電加工装置。

12. 請求の範囲第 1 0 項に記載の放電加工装置にいて、信号継続検出手段は、位置検出手段の出力信号と、間隙電圧検出手段の出力信号とが動作信号として入力さ

■0： ίΡΙ ν,ΊΡΟ れることを特徴とする放電加工装置。

15. 請求の範囲第 1 1 項に記載の放電加工装置において、信号謎続検出手段は、時限動作するとともに時限経過時に信号を発生する時限信号発生手段を有し、この手段は、位置検出手段の出力信号が発生され、かつ間隙電圧検出手段の出力信号が発生されると時限動作を開始することを特徵とする放電加工装置。

14. 請求の範囲第 1 2 項に記載の放電加工装置にて、信号継続検出手段は、位置検出手段の出力信号と間隙電圧検出手段の出力にもとづく.信号とが入力されると信号を出力するゲート手段とこの信号ゲート手段の出力端子に接続され、その出力端子からの信号にもとづ

'て時限動作し時限経過時に信号を発生する時限信号発生手段とを有することを特徴とする放電加工装置。

15. 請求の範囲第 1 4 項記載の放電加工装置において、

-信号継続検出手段は、ゲート手段の出力信号を入力とするとともに時限信号発生手段の出力信号を入力とし、両信号が入力されると加工を停止させる信号を出力する手段をさらに有してることを特徵とする放電カロ'ェ装置。

16. 電極と被加工物との間に加工用放電工ネルギを烘給

する電源と電極と被加工物とをある方向に沿って相対送 ]3 運動させる送手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持った相対摇動運動を与える手段とを備え、この摇動運動付与手段によ ]9 揺動運動させつつ電源よ

OMPI

Λ V IPO~ D 加工用放電エネルギを供給して揺動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物とが上記ある方向において所定の位置関係に達した後その所定の位置関係が摇動加工中にいて予め定められた時間継続されるとそれを検出して加工停止の指令を出力する手段を有した放電加工装置。

17. 請求の範囲第 1 ό 項に記載の放電加工装置におて、

電極と被加工物とが所定の位置関係にあると、それを検出して信号を出力する手段と、この位置検出手段からの出力信号にもとづて時限動作を開始し、時限経過時に信号を出力する手段と、上記位置検出手段の出力信号よび上記時限信号発生手段の出力信号とを入力とし、これら両信号が入力されると加工を停止させる信号を出力する手段とを有した放電加工装置。

18. 電極と被加工物との間に加工用放電エネルギを供給

する電源と、電極と被加工物とをある方向に沿って相対送違動させる送 ]? 手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持った相対摇動運動を与える手段とを備え、この揺動運動付与手段によ ]) 摇動運動させつつ電源よ加工用放電エネルギを供給して摇動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物とが上記ある方向にいて所定の位置関係となったことを検出して信号を出力する位置検出手段と、この位置検出手段からの信号にもとづて上記所定の位置

OMPI 関係となった以降上記摇動加工を所定の摇動運動回数遂行させる手段とを備えた放電加工装置。

19. 請求の範囲第 1 7 項に記載の放電加工装置において、

揺動加工遂行手段は、摇動加工の摇動違動回数を設定するための手段と、位置検出手段が検出信号を発した後の揺動運動回数を計数する手段と、回数設定手段と回数計数手段との内容を比較し、それらの内容が一致すると加工停止のための指令を出力する判別手段とを有していることを特徴とする放電加工装置。

20. 請求の範囲第 1 8 項に記載の.放電加工装置において、

摇動運動付与手段は、摇動運動の一回毎に信号を出力する手段を有してお ]? 、この信号出力手段の信号が摇動回数計数手段に供給されることを特徵とする放電加

— L [ . o

21. 請求の範囲第 2 0 項に記載の放電加工装置において、

位置検出手段からの出力信号と揺動信号出力手段からの出力信号とを入力とし、位置検出手段からの出力信号が入力されると摇動信号出力手段の出力にもとづく信号を揺動回数計数手段に供給する手段を有したことを特徵とする放電加工装置。

22. 請求の範囲第 1 9 項に記載の放電加工装置にいて、

摇動回数計数手段は判別手段が信号を出力する動作にもとづてリセットされることを特徵とする放電加工

Οί .ΡΙ― ν,·ι:-ο ~ 、、'Ά，.， ^ 2δ. 請求の範囲第 2 2 項に記載の放電加工装置において、摇動回数計数手段のリセット状態は、位置検出手段が信号を出力することによ D 解除されることを特徵とする放電加工装置。

24. 電極と被加工物との間に加工用放電エネルギを供給

する電源と、 '電極と被加工物とをある方向に沿って相対送 ]) 運動させる送手段と、上記ある方向に垂直な方向の成分を持つた相対摇動運動を与える手段とを備え、この摇動運動付与手段によ ]? 摇動違動させつつ電源よ ]3 加工用放電エネルギを供.給して摇動加工を行ない得る放電加工装置であって、上記電極と上記被加工物との上記ある方向における位置関係を検出する位置

'検出手段と、位置検出手段の出力信号によ ]3 上記相対送運動付与手段を制御して、上記電極と上記被加工物とを上記ある方向におて所定の位置関係に保持する保持手段と、上記電極と上記被加工物との間の加工間隙の状態を検出する手段と、加工間隙状態検出手段の出力信号によ D 上記摇動運動付与手段を制御して摇動運動軌跡を変更させる手段とを備えたことを特徵とする放電加工装置。

25. 請求の範囲第 2 3 項に記載の放電加工装置におて、

相対摇動運動付与手段は、摇動運動の所定周期毎に信号を出力することを特徵とする放電加工装置。

26. 請求の範囲第 2 3 項に記載の放電加工装置において、

Οί.ίΡΙ _

，つ軌跡変更手段は、加工間隙状態検出手段が加工間隙の正常状態を検出した信号にもとづて摇動運動孰跡を大きくする指令を揺動運動付与手段に供給することを特徵とする放電加工装置。

27. 請求の範囲第 2 3 項に記載の放電加工装置において、孰跡変更手段は、揺動運動の所定周期中加工間隙伏態検出手段が正常状態であることを検出した信号を出力しているとき摇動違動軌跡を大きくする指令を出力することを特徵とする放電加工装置。

28. 請求の範囲第 2 ό 項に記载の.放電加工装置において、

軌跡変更手段は、摇動運動の所定周期中加工間隙が正常状態であれば信号を出力する手段と、相対摇動運動付与手段が摇動違動の所定周期毎に出力する信号と上記信号出力手段との信号とが供給され、上記信号出力手段の信号が入力されてるときには相対摇動違動付与手段の周期的な出力が入力されるごとに摇動運動軌跡を大きくする指令を出力する手段とを有してることを特徵とする放電加工装置。

29. 請'求の'範囲第 2 3 項に記載の放電加工装置において、

軌跡変更手段は、摇動運動の軌跡の大きさに対応する電圧指令を相对摇動運動付与手段に供給することによ

]? 軌跡を変更させることを特徵とする放電加工装置。

30. 請求の範囲第 2 8 項に記載の放電加工装置において、

孰跡変更手段は、相対摇動運動付与手段に摇勣違動孰

〇 .':？ι . ^ν '— 〇跡の大きさに対応する電圧指令を与える可変抵抗器を有し、この可変抵抗器の抵抗値を変化させて軌跡を変

更させることを特徵とする放電加工装置。

31. 請求の範囲第 2 9 項に記載の放電加工装置において

軌跡変更手段は、可変抵抗器の抵抗値を変化させる駆

動手段をさらに有していることを特徵とする放電加工

32. 請求の範囲第 2 ό 項に記載の放電加工装置において

軌跡変更手段が出力する軌跡変更指令によ 1? 摇動運動付与手段が孰跡を大きくする曩は、電極と被加工物との間の距離よ小さい量であることを特徵とする放電

加工装置。

〇M?I _ /., Vv IPO .