UA73127C2 - Non-evaporable getter alloy and articles made of it - Google Patents
Non-evaporable getter alloy and articles made of it Download PDFInfo
- Publication number
- UA73127C2 UA73127C2 UA2002010286A UA2002010286A UA73127C2 UA 73127 C2 UA73127 C2 UA 73127C2 UA 2002010286 A UA2002010286 A UA 2002010286A UA 2002010286 A UA2002010286 A UA 2002010286A UA 73127 C2 UA73127 C2 UA 73127C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- alloy
- differs
- heter
- vanadium
- fact
- Prior art date
Links
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 113
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 113
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 title abstract 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 28
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 25
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 38
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 229910001122 Mischmetal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 14
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical class [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002429 nitrogen sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 for example Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 2
- 101100287724 Caenorhabditis elegans shk-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000927 Ge alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000745 He alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000979 O alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000691 Re alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000035622 drinking Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
- C01B3/0031—Intermetallic compounds; Metal alloys; Treatment thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
- C01B21/0405—Purification or separation processes
- C01B21/0433—Physical processing only
- C01B21/045—Physical processing only by adsorption in solids
- C01B21/0483—Physical processing only by adsorption in solids in getters
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/50—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
- C01B3/508—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by selective and reversible uptake by an appropriate medium, i.e. the uptake being based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
- C22C1/045—Alloys based on refractory metals
- C22C1/0458—Alloys based on titanium, zirconium or hafnium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C16/00—Alloys based on zirconium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
- H01J7/183—Composition or manufacture of getters
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Thermal Insulation (AREA)
- Orthopedics, Nursing, And Contraception (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
Опис винаходу
Винахід стосується невипаровних гетерних сплавів, зокрема, невипаровних гетерних сплавів, які 2 забезпечують ефективну сорбцію газів, зокрема, нітрогену.
Невипаровні гетерні сплави (НВГ сплави) можуть оборотно поглинати гідроген і необоротно поглинати такі гази, як оксиген, воду, оксиди карбону, а деякі сплави - нітроген.
У першу чергу ці сплави використовують для підтримання вакууму, що є необхідним у багатьох випадках, наприклад, у прискорювачах частинок, рентгенівських трубках, плоских дисплеях емісіонного типу і у вакуумних 710 теплоізолюючих засобах, наприклад, термосах, дюарах або трубопроводах екстракції і транспортування нафти.
НВГ сплави можуть бути використані для видалення незначних кількостей зазначених газів з інших газів, звичайно благородних. Прикладом можуть бути флюоресцентні лампи, зокрема, наповнені благородними газами під тиском кілька десятих мбар, у яких НВГ сплав використовується для видалення слідів оксигену, води, гідрогену і інших газів, що є необхідним для створення належної робочої атмосфери у лампі. Іншим прикладом є 12 очищення інертних газів у мікроелектронній галузі.
Звичайно головними компонентами таких сплавів є цирконій і/або титан, але можуть бути присутні один або кілька елементів з групи перехідних металів або алюміній.
НВГ сплави є об'єктом кількох патентів. У патенті США 3203901 описані сплави 21-АЇ, зокрема сплав 7тг - 8495, А! - 1695, який виготовляється і є у продажу під назвою 51 101; у патенті США 4071335 описані сплави 21-Мі, зокрема сплав 7 - 75,75, Мі - 24,395, який виготовляється і є у продажу під назвою 51 199; у патенті
США 4306887 описані сплави 21-Ре, зокрема сплав 2 - 76,8905, Ре - 23,495, який виготовляється і є у продажу під назвою 51 198; у патенті США 4312669 описані сплави 21-М-Ге, зокрема сплав 2г - 7095, М - 246905, Бе - 5,496, який виготовляється і є у продажу під назвою 51 707; у патенті США 4668424 описані сплави 7-М-добавки (у вигляді одного або кількох перехідних металів); у патенті США 4839085 описані сплави 21-М-Е, де Е - елемент, с обраний з групи, утвореної залізом, алюмінієм, нікелем і марганцем; у патенті США 5180568 описані мішметалеві (У сполуки 274М. М.", де Му, М." - однакові або різні, обрані з групи Ст, Мп, Ре, Со, Мі, зокрема сполука 2г1М.Мі, яка виготовляється і є у продажу під назвою 5 909; у патенті США 5961750 описані сплави 2І-Со-А, де А - елемент, обраний з групи, утвореної ітрієм, лантаном, рідкоземельними елементами або їх сумішами, зокрема сплав 7 - 80,895, Со -14,295, Ф - 595, який виготовляється і є у продажу під назвою 51 787; гетерні сплави на - основі 7г і М описані у кількох заявках на патент від фірми дарап Ріопісв, зокрема, у заявках Кокаї 5-4809, с 6-135707 і 7-242401.
НВГ сплави мають різні властивості залежно від їх складу. Наприклад, сплав 51 101 є найкращим для сорбції -- гідрогену, але вимагає активуючої обробки при відносно високих температурах (щонайменше 7002С); сплав ЗІ са 198 має низькі сорбційні якості щодо нітрогену і тому використовується для очищення цього газу; сполуки, 32 описані у патенті 5180567, не поглинають гідрогену. Внаслідок різниці у якостях НВГ сплав обирають залежно т від майбутнього використання. Зокрема, найширше використання знайшов сплав 5Ї 707 завдяки його високим сорбційним якостям, зокрема, до гідрогену, і відносно низькій температурі активування.
Важливим застосуванням є видалення атмосферних газів, наприклад, при виготовленні засобів « термоізоляції, коли необхідно видалити залишки газів з вакуумованого об'єму. Це викликано тим, що для З7З 70 зниження коштів виробництва видалення повітря помпою припиняють через деякий час, залишаючи у с вакуумованому проміжку невеликий залишковий тиск перед герметизацією. Сорбція атмосферних газів є також "з необхідною у інерціальних акумуляторах енергії, принцип роботи яких полягає у обертанні великої маси з великою швидкістю у вакуумній камері. Тут вакуум є необхідним для запобігання втратам енергії через тертя цієї маси у повітрі. У цьому випадку важливим є активність НВГ сплаву до нітрогену, оскільки він становить 8095 повітря і, крім того, його найважче видаляти. - Галуззю, у якій потрібно видаляти небажані гази з найвищою ефективністю, є виробництво напівпровідників. (4) Відомо, що забруднення від обробляючих газів можуть залишатись у шарах, що утворюють твердотільні з пристрої, створюючи електронні дефекти. Рівень чистоти, який необхідно підтримувати у цій індустрії, досягає одиниць млн"! (10712 відносно атомів або молекул). Отже, для видалення забруднень необхідно мати НВГ сплави іме) 50 дуже високої ефективності. Як уже відзначалось, серед таких забруднень найбільш неприємним є нітроген, -Ч оскільки його найважче видаляти НВГ сплавами.
Об'єктом винаходу є НВГ сплави, які забезпечують ефективну сорбцію газів, зокрема, нітрогену.
Цю задачу вирішено створенням НВГ сплавів, які включають цирконій, ванадій, залізо, марганець і щонайменше один елемент, обраний з групи, яку утворюють ітрій, лантан і рідкоземельні елементи, у пропорціях (тут і далі масових, якщо не зумовлено інше), що можуть знаходитись у таких межах:
ГФ) цирконій - від 60 до 8595,
ГФ ванадій - від 2 до 2095, залізо - від 0,5 до 1095, марганець - від 2,5 до 3095 і 60 ітрій, лантан, рідкоземельні елементи або їх суміші - від 1 до 695.
Далі наведено опис винаходу з посиланнями на креслення, у яких:
Фіг.1-5 - різні втілення гетерних пристроїв, у яких використовуються сплави винаходу,
Фіг.6-11 - результати тестів на сорбцію газу сплавів винаходу і еталонного сплаву при різних умовах.
Сплав згідно з винаходом відрізняється від сплавів патенту 4312669 нижчим вмістом ванадію і заліза, які бо замінені марганцем і ітрієм, лантаном або одним з рідкоземельних елементів; від сплавів патенту 4668424,
оскільки в них відсутні ванадій і марганець і присутній нікель у кількостях 20-4595; від сплавів патенту 4839085, оскільки в них відсутні ітрій, лантан і рідкоземельні елементи і вони, порівняно з сплавами винаходу, містять вищі кількості винадію і нижчі кількості заліза і марганцю; від сполук патенту 5180568, оскільки вони є тернарними міжметалевими сполуками 271М.'М.", які не містять ванадію або ітрію, лантану або рідкоземельних елементів; від сплавів патенту 5961750, у яких є кобальт і нема ванадію, заліза і марганцю. Як уже відзначалось ці відмінності складів дуже впливають на сорбцію газів, зокрема нітрогену.
При вмісті цирконію нижче 60905 сорбція газу сплавом знижується, а при вмісті цирконію вище 8595 сплав стає занадто пластичним і важким у обробці при виготовлені гетерних пристроїв. Відхилення вмісту інших компонентів 7/0 сплаву за зазначені процентні межі звичайно знижує сорбцію, зокрема нітрогену, при високому вмісті ванадію і сорбцію гідрогену при високому вмісті заліза або марганцю. Було виявлено, що сплави з вмістом ванадію нижче 295 є занадто пірофорними і тому небезпечними, а підвищення вмісту ітрію, лантану або рідкоземельних елементів вище 695 не поліпшує сорбційних якостей, але робить сплав нестійким у повітрі, що утруднює його зберігання перед використанням. Згідно з винаходом, особливо корисним є використання мішметалу (ММ) /5 Замість останніх елементів. Мішметалами називають різні комерційні суміші, які містять, у першу Чергу, церій, лантан і неодим і невеликі кількості порівняно недорогих інших рідкоземельних елементів. Точний склад мішметалу не має значення, оскільки згадані елементи мають однакові реакційні якості і тому реактивність різних мішметалів є, по суті, однаковою, навіть якщо вміст окремих елементів змінюється, і тому точний склад цього компонента не впливає на робочі якості сплаву згідно з винаходом.
Згідно з зазначеними вище межами бажані сплави мають такий склад: цирконій - приблизно 65-7595, бажано приблизно 67-70965, ванадій - 2,5-1595, марганець - 5-2590, співвідношення залізо/ванадій - від 1:4 до 1:5. сч
Найкращими серед сплавів винаходу є сплав складу: 7 - 7095, М - 1595, Ре - 3,395, Мп - 8,795, ММ - 3595 і сплав складу: 2 - 69905, М - 2,695, Ре - 0,695, Мп - 24895, ММ - 3905. і)
Сплави згідно з винаходом можуть бути приготовлені сплавлюванням у печі, починаючи з частинок або порошків складових металів у пропорції, що відповідає бажаному кінцевому складу. Сплавлювання здійснюється у дуговій печі у атмосфері інертного газу, наприклад, аргону під тиском ЗО0Омбар, або у індукційній печі, М зо бажано у вакуумі або інертному газі. Можна також застосувати інші методи, відомі у металургії.
На практиці сплави згідно з винаходом використовуються у вигляді гранул матеріалу гетера окремо або на с підложці, або у контейнері. У будь-кому разі бажано використовувати сплави у вигляді порошків з розміром «- частинок нижче 250мкм, більш бажано розміром 40-125мкм. Збільшення розміру частинок призводить до надмірного зниження питомої поверхні (площі поверхні на одиницю маси), а зменшення розміру нижче 40мкм ме) (хоча це є необхідним у певних випадках) створює труднощі при виготовленні гетера (тонкі порошки важче ї- переміщувати автоматичними засобами); крім того вони стають більш пірофоричними).
НВГ сплави згідно з винаходом можуть бути активовані при температурах 300-5002С протягом 10-120хвил.
Температура впливає сильніше, ніж тривалість, і активування при 4002С протягом 1Охвил. дає майже повну активність. «
Після активування ці сплави можуть при кімнатній температурі поглинати такі гази, як гідроген, оксид - с карбону і нітроген, причому гідроген вони поглинають не гірше, а оксид карбону і нітроген краще, ніж існуючі ц сплави. Звичайно максимальна робоча температура сплаву становить приблизно 5002С, якщо вона не порушує "» стабільності і функцій пристрою, куди він введений. Оптимальна робоча температура сплаву залежить від конкретного застосування; наприклад, у випадку термоізоляційного проміжка ця температура визначається температурою найтеплішої стінки проміжка, для інерціальних акумуляторів енергії ця температура є кімнатною, а -і очищення газів проводять при температурі приблизно 3000-4002. сю Всі відомі НВГ матеріали поглинають гідроген оборотно і тому ефективність сорбції оцінюють через баланс тиску гідрогену на сплаві у функції температури і кількості сорбованого гідрогену. З цієї точки зору сорбція - гідрогену сплавами винаходу є дуже ефективною, на рівні найбільш поширеного сплаву 5 707. Порівняно з 5 7 50 707 сплав винаходу має сорбційну здатність у 15 разів вищу до нітрогену і у 10 разів вищу до СО.
Як уже відзначалось, гетерні засоби, згідно з винаходом, можуть мати різні форми, наприклад, мати форму що таблеток, виготовлених з порошку гетерного сплаву, або на підложці, звичайно, металевій. У обох випадках ущільнення порошку виконуються пресуванням або пресуванням з подальшим спіканням. Таблетки, виготовлені лише пресуванням, використовуються у термоізоляційних засобах і при очищенні газів. При використання підложки її виготовляють з сталі, нікелю або нікелевих сплавів у формі стрічки, на поверхню якої порошок о сплаву осаджують і закріплюють холодною прокаткою або спіканням. Такі гетерні засоби можна використовувати у лампах. Підложка може мати також форму контейнера належної геометрії, який з пресуванням або без нього ко заповнюють порошком. Стінки контейнера мають бути пористими, проникними для газу, але здатними утримувати порошок. Такі контейнери зручно використовувати у інерційних акумуляторах енергії, з доданням до 60 порошку гігроскопічного матеріалу, наприклад, оксиду кальцію. Деякі з цих варіантів ілюстровані Фіг.1-5, де
Фіг.1 ілюструє таблетку 10, виготовлену пресуванням порошків НВГ сплавів винаходу. Фіг.2 ілюструє НВГ засіб 20, що має форму, зручну для використання у лампах, яку одержують нарізанням по лінії А-А з стрічки 21, утвореної металевою підложкою 22 з нанесеними на неї порошками 23 сплаву винаходу. Фіг, містить перетин пристрою 30, утвореного відкритим металевим контейнером 31, у якому знаходиться порошок 32 НВГ сплаву. 65 Фіг.4 містить перетин пристрою 40, утвореного металевим контейнером 41 з порошком 42 НВГ сплаву, закритого пористою септою 43. Фіг5 містить зображення пристрою 50, подібного попереднім і призначеного для використання у інерційному акумуляторі, у якому міститься порошок НВГ сплаву 51 згідно з винаходом і гігроскопічний матеріал 52.
Далі наведено приклади, які, не обмежуючи винаходу, слугують його ілюстрацією.
Приклад 1
Приклад стосується приготування сплаву згідно з винаходом. У індукційній печі було виготовлено 100г сплаву складу: 72 - 7095, М - 1595, Ге - 3,395, Мп - 8,795, ММ - 395, причому був використаний комерцьійний сплав
М-Бе з 81,595 ванадію. Мішметал містив 5095 церію, З09о лантану, 1596 неодиму і 595 інших рідкоземельних елементів. Злиток сплаву був перемелений у порошок на молоточковому млині, і порошок був просіяний для /о одержання частинок розміром 40-128мкм.
Приклад 2
Приклад стосується приготування другого сплаву згідно з винаходом, подібного сплаву Прикладу 1, але іншого складу: 2 - 6995, М - 2,695, Ре - 0,695, Мп - 24,895, ММ -395.
Приклад З (порівняння)
Приклад стосується виготовлення добре відомого НВГ сплаву для використання як еталона. Були приготовлені 100г сплаву 5 707 методом згідно з Прикладом 1 з використанням 42 і сплаву М-Ге у належній пропорції.
Приклад 4
Приклад стосується вимірювання сорбції нітрогену сплавом винаходу. 0,2г порошку, приготовленого, як у Прикладі 1, активували при 50022 протягом 1Охвил. і внесли у вимірювальну камеру. Тест на сорбцію нітрогену виконували згідно з стандартом АЗТМ ЕЕ 798-82 при кімнатній температурі і тиску нітрогену 4х10 мбар.
Результати тесту наведені графічно на Фіг, як швидкість сорбції (позначена З і виміряна у см З поглинутого газу за сек. на 1г сплаву) у функції кількості поглинутого газу (позначеної СО і виміряної у см? газу, помножених на тиск у мбар на 1г сплаву). с
Приклад 5 о
Був повторений тест Прикладу 4 з 0,2г порошку Прикладу 2. Результати відображені кривою 2 Фіг.б.
Приклад 6 (порівняння)
Був повторений тест Прикладу 4 з 0,2г порошку Прикладу 3. Результати відображені кривою З Фіг.б.
Приклад 7 о
Був повторений тест Прикладу 4, але з СО, який був обраний для тесту тому, що він найчастіше сч зустрічається у порожнинах засобів термоізоляції. Результати відображені кривою 4 Фіг.7.
Приклад 8 «-
Був повторений тест Прикладу 7 з 0,2г порошку Прикладу 2. Результати відображені кривою 5 Фіг.7. со
Приклад 9 (порівняння)
Зо Був повторений тест Прикладу 7 з 0,2г порошку Прикладу 3. Результати відображені кривою 6 Фіг.7. в.
Приклад 10
Був повторений тест Прикладу 4, але з гідрогеном, який був обраний для тесту тому, що він разом з СО є найбільш присутнім у порожнинах засобів термоізоляції. Результати відображені кривою 7 Фіг.8. «
Приклад 11
Був повторений тест Прикладу 10 з 0,2г порошку Прикладу 2. Результати відображені кривою 8 Фіг.8. о) с Приклад 12 (порівняння) "» Був повторений тест Прикладу 10 з 0,2г порошку Прикладу 3. Результати відображені кривою 9 Фіг.8. " Приклад 13
Був повторений тест Прикладу 4, але при температурі 3002С. Результати відображені кривою 10 Фіг.9.
Приклад 14 (порівняння) - Був повторений тест Прикладу 13 з 0,2г порошку Прикладу 3. Результати відображені кривою 11 Фіг.9.
Га Приклад 15
Був повторений тест Прикладу 4, але з використанням замість порошку таблеток висотою 2мм, діаметром - 4мм і масою приблизно 125мг, виготовлених з порошку Прикладу 1. Результати відображені кривою 12 Фіг.10. ма 70 Приклад 16 (порівняння)
Був повторений тест Прикладу 15 з використанням таблеток такого ж розміру, виготовлених з порошку "м Прикладу 3. Результати відображені кривою 13 Фіг.10.
Приклад 17
Був повторений тест Прикладу 15, але з СО. Результати відображені кривою 14 Фіг.11.
Приклад 18 (порівняння)
ГФ) Був повторений тест Прикладу 17 з використанням таблеток таких же розмірів, як у Прикладі 17, виготовлених з порошку Прикладу 3. Результати відображені кривою 15 Фіг.11. ді Важливим фактором для практичної оцінки НВГ сплаву, особливо при його використанні при кімнатній температурі, є сорбційна здатність при певній швидкості сорбції. У нормальних умовах теоретична сорбційна 60 здатність сплаву, яку визначають як стехіометричне завершення реакції між металевими компонентами і абсорбованими газами, ніколи не досягається, і тому чим нижчою є робоча температура, тим повільніше проходить ця реакція. Отже, з практичної точки зору, за здатність гетерного сплаву приймають ту, яка має місце при зниженні швидкості сорбції від початкового значення до мінімального, прийнятного у конкретному застосуванні; крім того, вважається, що цим мінімальним значенням є швидкість, з якою гази проникають у бо вакуумований об'єм внаслідок проникності стінок. При очищенні це мінімальне значення визначається щонайменше потоком забруднювачів, що надходить у сплав. При виконанні цих практичних вимог гетерний сплав буде здатний повністю абсорбувати весь об'єм газових забруднень, з якими він контактує. Аналіз тестів показує, що сорбційна здатність сплавів винаходу є кращою, ніж у сплаву 5ІЇ 707, зокрема, сорбція нітрогену приблизно у 5-15 разів перевищує цей показник сплаву 51 707 і приблизно у 3-5 разів перевищує цей показник 5 707 при використанні таблеток. Сорбція СО сплавом винаходу при кімнатній температурі у 3-5 разів перевищує цей показник сплаву ЗІ 707 при використанні порошків (Фіг.7) і у 6-10 разів при використанні таблеток (Фіг.11). Сорбція сплавом винаходу гідрогену є кращою за цей показник сплаву 5 707 при використанні порошків (Фіг.8) при кімнатній температурі і навіть при температурі 3002С (Фіг.9). ю
Ат / рн
Пд
ФІГ. 1 с р. Фі А й 20 о і по І дяки ши Й шия І т Шини ст ТТ пт - зо хх и, не ин тт, с кн кт оди Й р с ан І т ян
І
! І ге 23 д їх ші с . » " ФІГ.2 30 -І зе о ( й поняття і ра ці й а о а ВН тя я УНН їй ра й па.
Ф) іме)
ФІГ. З 60 б5 а ма г и вар в авта вл в ат шкі в я 4 «ДЕН ИЕЕИИЯ
А
Синя, й ФІГ. я б й й в а аа ват ат о св ера с ее о о Ж и До й й 52
КД и и т І Ме аву зв гу в'я; пе енену ; й; оди нави де: ОА Я п оо с
МО и у ДОК Уч БАН о ТО КИ ДИ ИН
ОО а кт ин (5)
ПОВ а КН МС 77 - зо с? пи
ІІІ ІБГІ БІГ БІВ с «-
ФІГ.5 о і. у 10000 - - с юоо г . и» - 1 -і - 100 «о 5 З (95) 8 б - ко 10- що пропо
ГФ! |! Н Й ЩІ 10 100 ко с(смЗмбаріг) бо
Фіг.6 б5 й 4 питні ч00о Ши 70 5 106- 2
І5 75 (а) й
Ю
Под т и тт т оо оо 0 ! " р СісмЗмбаріс) Ге! (о) 000 ю" ге 7 с «- 1000- о
З
8 - « з. 2 с 5 а А
Із 5 7 10- -І (95) шк 1 -к т 6 6 т т я вод ю : я то 1000 10000 ще О(смЗмбар/т)
ФІГ.8 (Ф) ко во 65 коп. 100 2 7 (5) 15 нн на и аа У 1 Я 1 10 100 00 0.01 й ОФісмЗмбаріг) се (о) 10000 З - с «- 1000- о - 1
ІЗ
100 їх - З с 5 . 5 "» й 19- -І
ОО у оішитТт подолян з й пе т 1 106 04 ма 20 0 Сі(смЗмбаріг) і
ІЙ ФІГ.10 (Ф. ко бо б5 й Ше 00 Із і ж 15 х 00102 о Л4 - - -Тх 0.01 б
О(смЗмбаріє) с 7 ФІГ.11 о
Claims (25)
1. Невипаровний гетерний сплав з високою сорбційною здатністю до газів, зокрема до нітрогену, який включає цирконій, ванадій, залізо, марганець і щонайменше один елемент, вибраний з групи, до складу якої ьо входять ітрій, лантан і рідкісноземельні елементи, у пропорціях, що можуть варіюватись у таких межах, мас. 90: со цирконій від 60 до 85 у ванадій від 2 до 20 залізо від О,5 до 10 марганець від 2,5 до ЗО і « ітрій, лантан, рідкісноземельні елементи або їх суміші від 1 до 6. шщ с
2. Сплав за п. 1, який відрізняється тим, що вміст цирконію знаходиться у межах приблизно 65 - 75 мас.9б.
з
3. Сплав за п. 2, який відрізняється тим, що вміст цирконію знаходиться у межах приблизно 67 - 70 мас. 90.
4. Сплав за п. 1, який відрізняється тим, що вміст ванадію знаходиться у межах приблизно 2,5 - 15 мас. 95.
5. Сплав за п. 1, який відрізняється тим, що вміст марганцю знаходиться у межах приблизно 5 - 25 мас.9б. -І
6. Сплав за п. 1, який відрізняється тим, що масове відношення між залізом і ванадієм знаходиться у межах від 1:4 до 1:5.
о
7. Сплав за п. 1, який відрізняється тим, що має склад, мас. 9б: - цирконій - 70, ванадій - 15, залізо - 3,3, марганець - 8,7 і мішметал - 3.
8. Сплав за п. 1, який відрізняється тим, що має склад, мас. 9б: ко цирконій - 69, ванадій - 2,6, залізо - 0,6, марганець - 24,8 і мішметал - 3.
І 9. Гетерний пристрій, який містить сплав за п. 1 у формі порошку.
10. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що зазначений сплав має розмір частинок менше 250 мкм.
11. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що порошок має розмір частинок у межах 40 - 125 мкм.
12. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що має форму таблетки, виготовленої лише з порошків гетерного сплаву.
(Ф. 13. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що виготовлений розрізанням уздовж паралельних ліній у ко повздовжньому напрямку стрічки, виготовленої з металевої основи, на якій нанесені порошки гетерного сплаву.
14. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що виготовлений з порошків гетерного сплаву, розміщених у во відкритому згори контейнері.
15. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що виготовлений з порошків гетерного сплаву, розміщених у контейнері, закритому пористою кришкою.
16. Пристрій за п. 15, який відрізняється тим, що на додаток до порошків гетерного сплаву містить порошок поглинаючого вологу матеріалу. в5
17. Термоізоляційний виріб, що має вакуумований проміжок, який містить сплав за п. 1.
18. Виріб за п. 17, який відрізняється тим, що вакуумований проміжок містить гетерний пристрій за п. 11.
19. Газоочисник, що містить сплав за п. 1.
20. Газоочисник за п. 19, який відрізняється тим, що містить гетерний пристрій за п. 12.
21. Лампа, що містить сплав за п. 1.
22. Лампа за п. 21, яка відрізняється тим, що містить гетерний пристрій за п. 13.
23. Вакуумована камера інерційних акумуляторів енергії, яка містить сплав за п. 1.
24. Камера за п. 23, яка відрізняється тим, що містить пристрій за п. 15.
25. Камера за п. 23, яка відрізняється тим, що містить пристрій за п. 16. 70 Офіційний бюлетень "Промислоава власність". Книга 1 "Винаходи, корисні моделі, топографії інтегральних мікросхем", 2005, М 6, 15.06.2005. Державний департамент інтелектуальної власності Міністерства освіти і науки України. с щі 6) ча с «- (зе)
м. -
с . и? -І (95) - з 50 що іме) 60 б5
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT2000MI001200A IT1317951B1 (it) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | Leghe getter non evaporabili |
| PCT/IT2001/000269 WO2001092590A1 (en) | 2000-05-30 | 2001-05-28 | Non-evaporable getter alloys |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA73127C2 true UA73127C2 (en) | 2005-06-15 |
Family
ID=11445152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA2002010286A UA73127C2 (en) | 2000-05-30 | 2001-05-28 | Non-evaporable getter alloy and articles made of it |
Country Status (23)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6521014B2 (uk) |
| EP (1) | EP1285100B1 (uk) |
| JP (1) | JP3917514B2 (uk) |
| KR (1) | KR100697436B1 (uk) |
| CN (1) | CN1138865C (uk) |
| AT (1) | ATE275645T1 (uk) |
| AU (1) | AU7447401A (uk) |
| BR (1) | BR0105182B1 (uk) |
| CA (1) | CA2380469C (uk) |
| CZ (1) | CZ2002379A3 (uk) |
| DE (1) | DE60105412T2 (uk) |
| DK (1) | DK1285100T3 (uk) |
| ES (1) | ES2227211T3 (uk) |
| HK (1) | HK1049684B (uk) |
| HU (1) | HUP0202352A2 (uk) |
| IT (1) | IT1317951B1 (uk) |
| MX (1) | MXPA02001096A (uk) |
| PT (1) | PT1285100E (uk) |
| RU (1) | RU2260069C2 (uk) |
| TR (1) | TR200402752T4 (uk) |
| TW (1) | TW574055B (uk) |
| UA (1) | UA73127C2 (uk) |
| WO (1) | WO2001092590A1 (uk) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20023858U1 (de) * | 1999-06-02 | 2007-03-01 | Saes Getters S.P.A., Lainate | Unabhängig von Aktivierungsbehandlungen zur Wasserstoffsorption befähigte Verbundmaterialien |
| JP4024151B2 (ja) | 2001-05-01 | 2007-12-19 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 放電ランプ |
| US7001535B2 (en) * | 2002-05-10 | 2006-02-21 | Sandia National Laboratories | Polymer formulation for removing hydrogen and liquid water from an enclosed space |
| TWI245308B (en) * | 2002-09-13 | 2005-12-11 | Getters Spa | Non-evaporable getter compositions which can be reactivated at low temperature after exposure to reactive gases at a higher temperature |
| US20050169766A1 (en) * | 2002-09-13 | 2005-08-04 | Saes Getters S.P.A. | Getter compositions reactivatable at low temperature after exposure to reactive gases at higher temperature |
| US7553355B2 (en) * | 2003-06-23 | 2009-06-30 | Matheson Tri-Gas | Methods and materials for the reduction and control of moisture and oxygen in OLED devices |
| ITMI20032208A1 (it) * | 2003-11-14 | 2005-05-15 | Getters Spa | Catodo con getter integrato e bassa funzione lavoro per lampade a catodo freddo. |
| WO2005073998A2 (en) | 2004-01-05 | 2005-08-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Compact high-pressure discharge lamp and method of manufacturing |
| US20060006789A1 (en) * | 2004-07-08 | 2006-01-12 | Shigeo Itoh | Electron-beam excited light-emitting devices |
| KR100641301B1 (ko) * | 2004-09-15 | 2006-11-02 | 주식회사 세종소재 | 겟터 겸용 수은 보충재 |
| ITMI20042271A1 (it) * | 2004-11-23 | 2005-02-23 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili per assorbimento di idrogeno |
| WO2006075680A1 (ja) | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 気体吸着性物質、気体吸着合金および気体吸着材 |
| ITMI20050281A1 (it) * | 2005-02-23 | 2006-08-24 | Getters Spa | Lampada a scarica ad alta pressione miniaturizzata contenente un dispositivo getter |
| JP4807552B2 (ja) | 2005-04-27 | 2011-11-02 | パナソニック株式会社 | 吸着材 |
| CN1873891A (zh) * | 2005-06-03 | 2006-12-06 | 清华大学 | 真空器件、其制造方法以及吸气装置 |
| CN1300502C (zh) * | 2005-06-06 | 2007-02-14 | 朱雷 | 用于真空隔热板的吸气装置 |
| CN1877780B (zh) * | 2005-06-10 | 2011-09-28 | 清华大学 | 真空显示器及其制造方法 |
| ITMI20060361A1 (it) * | 2006-02-28 | 2007-09-01 | Getters Spa | Assorbimento di idrogeno mediante l'impiego di leghe getter non evaporabili metodo ed applicazioni |
| US7859350B1 (en) | 2009-04-28 | 2010-12-28 | Sandia Corporation | Microfabricated ion frequency standard |
| WO2012081004A1 (en) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | Konstantin Chuntonov | Sorption apparatuses for the production of pure gases |
| ITMI20111870A1 (it) | 2011-10-14 | 2013-04-15 | Getters Spa | Composizioni di getter non evaporabili che possono essere riattivate a bassa temperatura dopo l'esposizione a gas reattivi ad una temperatura maggiore |
| ITMI20111987A1 (it) | 2011-11-03 | 2013-05-04 | Getters Spa | Getters compositi perfezionati |
| KR101859234B1 (ko) | 2012-04-30 | 2018-05-18 | 주식회사 케이씨씨 | 진공단열재용 복합 게터 및 이를 포함하는 진공단열재 |
| ITMI20122092A1 (it) | 2012-12-10 | 2014-06-11 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili riattivabili dopo l'esposizione a gas reattivi |
| ITMI20131921A1 (it) * | 2013-11-20 | 2015-05-21 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e monossido di carbonio |
| US11213786B2 (en) * | 2015-03-06 | 2022-01-04 | Mécanique Analytique Inc. | Methods and systems for managing gas purification |
| CN108149069A (zh) * | 2016-12-02 | 2018-06-12 | 北京有色金属研究总院 | 一种吸气合金材料及其应用 |
| CN109859868B (zh) * | 2019-01-10 | 2024-05-10 | 中国原子能科学研究院 | 一种高温锂回路净化用热阱系统 |
| CN111621671B (zh) * | 2020-06-18 | 2022-03-15 | 南京哲玺太电子科技有限公司 | 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用 |
| CN112410614A (zh) * | 2020-10-16 | 2021-02-26 | 北京赛博泰科科技有限公司 | 一种非蒸散型低温激活锆基吸气合金及其制备方法 |
| CN113699425B (zh) * | 2021-08-31 | 2022-07-15 | 中国科学技术大学 | 非蒸散型四元Ti-Zr-V-Cu真空吸气剂薄膜及其制备方法 |
| CN114574721B (zh) * | 2022-03-01 | 2022-12-13 | 秦皇岛江龙吸气材料有限公司 | 多元非蒸散型低温激活吸气剂及其制造工艺 |
| CN115341120A (zh) * | 2022-07-06 | 2022-11-15 | 上海大学 | 一种非蒸散型低温激活锆基吸气剂合金及其制备方法 |
| WO2024028240A1 (en) | 2022-08-01 | 2024-02-08 | Saes Getters S.P.A. | Snap-on getter pump assembly and its use |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1110271B (it) * | 1979-02-05 | 1985-12-23 | Getters Spa | Lega ternaria getterante non evaporabile e metodo di suo impiego per l'assorbimento di acqua,vapore d'acqua,di altri gas |
| US4839085A (en) * | 1987-11-30 | 1989-06-13 | Ergenics, Inc. | Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby |
| US4996002A (en) * | 1987-11-30 | 1991-02-26 | Ergenics, Inc. | Tough and porus getters manufactured by means of hydrogen pulverization |
| US5456740A (en) * | 1994-06-22 | 1995-10-10 | Millipore Corporation | High-efficiency metal membrane getter element and process for making |
| IT1290451B1 (it) * | 1997-04-03 | 1998-12-03 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili |
| IT1297013B1 (it) * | 1997-12-23 | 1999-08-03 | Getters Spa | Sistema getter per la purificazione dell'atmosfera di lavoro nei processi di deposizione fisica da vapore |
-
2000
- 2000-05-30 IT IT2000MI001200A patent/IT1317951B1/it active
-
2001
- 2001-05-15 TW TW090111588A patent/TW574055B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-05-28 JP JP2002500780A patent/JP3917514B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-28 UA UA2002010286A patent/UA73127C2/uk unknown
- 2001-05-28 DE DE60105412T patent/DE60105412T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-28 RU RU2002105025/02A patent/RU2260069C2/ru active
- 2001-05-28 AT AT01940988T patent/ATE275645T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-05-28 US US10/031,908 patent/US6521014B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-28 KR KR1020027001261A patent/KR100697436B1/ko active IP Right Grant
- 2001-05-28 BR BRPI0105182-2A patent/BR0105182B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2001-05-28 CA CA002380469A patent/CA2380469C/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-28 TR TR2004/02752T patent/TR200402752T4/xx unknown
- 2001-05-28 HU HU0202352A patent/HUP0202352A2/hu unknown
- 2001-05-28 CN CNB018015107A patent/CN1138865C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-28 PT PT01940988T patent/PT1285100E/pt unknown
- 2001-05-28 AU AU74474/01A patent/AU7447401A/en not_active Abandoned
- 2001-05-28 WO PCT/IT2001/000269 patent/WO2001092590A1/en active IP Right Grant
- 2001-05-28 MX MXPA02001096A patent/MXPA02001096A/es active IP Right Grant
- 2001-05-28 EP EP01940988A patent/EP1285100B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-28 CZ CZ2002379A patent/CZ2002379A3/cs unknown
- 2001-05-28 DK DK01940988T patent/DK1285100T3/da active
- 2001-05-28 ES ES01940988T patent/ES2227211T3/es not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-03-14 HK HK03101843.4A patent/HK1049684B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT1317951B1 (it) | 2003-07-21 |
| DE60105412T2 (de) | 2005-09-22 |
| TW574055B (en) | 2004-02-01 |
| JP3917514B2 (ja) | 2007-05-23 |
| CN1138865C (zh) | 2004-02-18 |
| CZ2002379A3 (cs) | 2003-01-15 |
| EP1285100A1 (en) | 2003-02-26 |
| BR0105182A (pt) | 2002-05-07 |
| DE60105412D1 (de) | 2004-10-14 |
| CA2380469C (en) | 2007-12-18 |
| HK1049684A1 (en) | 2003-05-23 |
| KR100697436B1 (ko) | 2007-03-20 |
| ITMI20001200A1 (it) | 2001-11-30 |
| MXPA02001096A (es) | 2002-08-20 |
| AU7447401A (en) | 2001-12-11 |
| ES2227211T3 (es) | 2005-04-01 |
| HUP0202352A2 (hu) | 2002-11-28 |
| CN1380907A (zh) | 2002-11-20 |
| RU2260069C2 (ru) | 2005-09-10 |
| PT1285100E (pt) | 2004-11-30 |
| DK1285100T3 (da) | 2005-01-17 |
| ATE275645T1 (de) | 2004-09-15 |
| CA2380469A1 (en) | 2001-12-06 |
| US6521014B2 (en) | 2003-02-18 |
| US20030007883A1 (en) | 2003-01-09 |
| EP1285100B1 (en) | 2004-09-08 |
| BR0105182B1 (pt) | 2008-11-18 |
| KR20020019592A (ko) | 2002-03-12 |
| ITMI20001200A0 (it) | 2000-05-30 |
| TR200402752T4 (tr) | 2004-11-22 |
| WO2001092590A1 (en) | 2001-12-06 |
| HK1049684B (zh) | 2004-06-25 |
| JP2003535218A (ja) | 2003-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| UA73127C2 (en) | Non-evaporable getter alloy and articles made of it | |
| JP2893528B2 (ja) | 非蒸発型ゲッタ合金 | |
| JP5997293B2 (ja) | ゲッター材料の組み合わせを含むゲッターデバイス | |
| ES2318568T3 (es) | Aleaciones absorbentes no evaporables para la sorcion de hidrogeno. | |
| CN104335316B (zh) | 特别适用于氢和氮吸附的非蒸发性吸气剂合金 | |
| RU2670511C2 (ru) | Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно подходящие для сорбции водорода и монооксида углерода | |
| ITMI20090410A1 (it) | Leghe getter non evaporabili adatte particolarmente per l'assorbimento di idrogeno | |
| WO2007099575A2 (en) | Use of non-evaporable getter alloys for the sorption of hydrogen in vacuum and in inert gases | |
| WO2006075347A2 (en) | Mercury dispensing compositions and device using the same | |
| US20130039825A1 (en) | Barium containing granules for sorption applications | |
| ES2735827T3 (es) | Aleaciones getter no evaporables particularmente adecuadas para la sorción de hidrógeno y monóxido de carbono | |
| JP2743123B2 (ja) | 水素貯蔵用材料 | |
| JP5061289B2 (ja) | 気体吸着性物質および気体吸着材 | |
| UA53626C2 (uk) | Газопоглинаючий сплав, що не випаровується і пристрій на його основі | |
| CN101146608A (zh) | 气体吸附性物质、气体吸附合金及气体吸附材 |