RU2670511C2 - Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно подходящие для сорбции водорода и монооксида углерода - Google Patents
Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно подходящие для сорбции водорода и монооксида углерода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2670511C2 RU2670511C2 RU2016120582A RU2016120582A RU2670511C2 RU 2670511 C2 RU2670511 C2 RU 2670511C2 RU 2016120582 A RU2016120582 A RU 2016120582A RU 2016120582 A RU2016120582 A RU 2016120582A RU 2670511 C2 RU2670511 C2 RU 2670511C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- getter
- alloy
- getter device
- powders
- hydrogen
- Prior art date
Links
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 73
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 73
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 31
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 31
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 15
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 title abstract 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 18
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 16
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 4
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 4
- -1 xp ohm Chemical compound 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 abstract 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 10
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 7
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 4
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000000829 induction skull melting Methods 0.000 description 2
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000863 Ferronickel Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010793 Steam injection (oil industry) Methods 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004349 Ti-Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004692 Ti—Al Inorganic materials 0.000 description 1
- ZGTNJINJRMRGNV-UHFFFAOYSA-N [V].[Fe].[Zr] Chemical compound [V].[Fe].[Zr] ZGTNJINJRMRGNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 229910002059 quaternary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
- C22C1/045—Alloys based on refractory metals
- C22C1/0458—Alloys based on titanium, zirconium or hafnium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C16/00—Alloys based on zirconium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C30/00—Alloys containing less than 50% by weight of each constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J61/26—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering; Means for preventing blackening of the envelope
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
- H01J7/183—Composition or manufacture of getters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/112—Metals or metal compounds not provided for in B01D2253/104 or B01D2253/106
- B01D2253/1122—Metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/108—Hydrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/50—Carbon oxides
- B01D2257/502—Carbon monoxide
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Abstract
Группа изобретений относится к геттерному устройству для сорбции водорода и монооксида углерода. Геттерное устройство содержит композицию порошков неиспаряемого геттерного сплава, которая содержит цирконий, ванадий, титан и алюминий. Указанный неиспаряемый геттерный сплав необязательно содержит по меньшей мере один дополнительный химический элемент в суммарном количестве менее 8 ат.% от общей композиции неиспаряемого геттерного сплава, являющейся суммой циркония, ванадия, титана, алюминия и указанных необязательно присутствующих дополнительных элементов, сбалансированных до 100 ат.%. В качестве дополнительных химических элементов указанный неиспаряемый геттерный сплав содержит по меньшей мере один металл, выбранный из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля, в количестве от 0,1 до 7 ат.% от упомянутой общей композиции неиспаряемого геттерного сплава и необязательно содержит незначительные количества других химических элементов в количестве менее 1% относительно упомянутой общей композиции сплава. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 2 табл., 10 ил.
Description
Настоящее изобретение относится к новым геттерным сплавам с повышенной скоростью сорбции водорода и монооксида углерода, к способу сорбции водорода указанными сплавами и к устройствам, чувствительным к водороду, в которых используются указанные сплавы для удаления водорода.
Сплавы, которые являются объектом настоящего изобретения, особенно полезны для всех применений, требующих высокой скорости сорбции значительных количеств водорода и монооксида углерода.
Среди наиболее интересных применений этих новых сорбирующих сплавов - осветительные лампы, вакуумные насосы и газоочистка.
Использование геттерных материалов для удаления водорода в этих применениях уже известно, но разработанные и используемые в настоящее время решения не подходят для соответствия требованиям, которые вызваны непрерывными технологическими разработками, которые устанавливают все более и более жесткие лимиты и ограничения.
В лампах освещения, с особым упором на газоразрядные лампы высокого давления и ртутные лампы низкого давления, присутствие не только водорода даже при низком содержании, но и других газообразных загрязняющих веществ существенно снижает характеристики устройств. Более подробную информацию по явлению ухудшения можно найти в ЕР 1704576, относящемуся к сорбции водорода и остаточного монооксида углерода различными материалами.
В данной конкретной области применения особенно важна не только способность материала к эффективной сорбции водорода при высоких температурах, но для некоторых ламп важна и высокая скорость сорбции, а также низкая температура активации материала в отношении сорбции других газов, по сравнению с обычными неиспаряемыми геттерными (NEG) сплавами.
Другой областью применения, которая может получить преимущество от использования геттерных сплавов, способных к сорбции водорода при высоких температурах, являются геттерные насосы. Этот тип насосов описан в US 5324172 и US 6149392, а также в WO 2010/105944, все на имя заявителя. Возможность использования геттерного материала насоса при высокой температуре улучшает их характеристики с точки зрения сорбционной емкости по другим газам, но в данном случае высокая скорость сорбции является основным вопросом, настолько же важным, как и емкость, чтобы получить более хорошие характеристики устройства.
Другой областью применения, в которой достигается эффект за счет преимуществ геттерного материала, способного сорбировать водород и монооксид углерода с высокой скоростью сорбции, является очистка газов, используемых в полупроводниковой промышленности. По существу, в частности, когда требуются высокие расходы потоков, обычно выше нескольких л/мин, геттерный материал должен быстро сорбировать газообразные вещества, чтобы удалить газовые примеси, такие как N2, Н2О, О2, СН4, СО, СO2.
Два из наиболее эффективных решений удаления водорода описаны в ЕР 0869195 и в WO 2010/105945, обе на имя заявителя. Первое решение использует Цирконий-Кобальт-РЗ сплавы, где РЗ может составлять максимум 10%, и выбран из иттрия, лантана и других редкоземельных (РЗ) металлов, в частности, высоко оценивают сплав со следующим массовым процентным содержанием: Zr 80,8%, Со 14,2% и РЗ 5%. Вместо этого, второе решение использует сплавы на основе иттрия, чтобы максимизировать удаляемое количество водорода также при температурах выше 200°С, но их свойства необратимой сорбции газа существенно ограничены в отношении потребностей многих применений, требующих условий вакуума.
Отдельное решение, пригодное для быстрого геттерирования водорода и других нежелательных газов, таких как СО, N2 и О2, описано в US 4360445, но стабилизированное кислородом интерметаллическое соединение цирконий-ванадий-железо, раскрытое в нем, успешно может быть использовано только в определенном диапазоне температур (т.е. -196°С до 200°С), что требует большого количества кислорода, понижающего сорбционную емкость и скорость на грамм, т.е. ограничивает его область возможного применения.
В качестве альтернативы US 4839035 раскрывает неиспаряемый геттерный сплав, подходящий для удаления водорода и монооксида углерода, с акцентом на Zr-богатые композиции, выбранные в системе цирконий-ванадий-алюминий. Даже если эти сплавы кажутся эффективными в плане облегчения некоторых стадий в процессе производства, скорости сорбции при воздействии Н2 и СО недостаточны для использования во многих применениях, как, например, в геттерных насосах для высоковакуумных систем. WO 2013/175340 на имя заявителя, описывает некоторые стабильные геттерные сплавы, содержащие цирконий, ванадий и титан (то есть не требующие большого количества кислорода для получения интерметаллического соединения) и имеющие улучшенную сорбционную емкость по отношению к некоторым газообразным загрязняющим веществам. Однако WO 2013/175340 не раскрывает путь достижения улучшения скорости сорбции по водороду и одновременно другим газообразным веществам, т.е. монооксиду углерода.
Таким образом предполагаются улучшенные характеристики по водороду и монооксиду углерода сплавов в соответствии с настоящим изобретением и оцениваются двойным возможным значением, а именно увеличением скорости сорбции Нг, и с низким равновесным давлением водорода. Для наиболее интересных сплавов в соответствии с настоящим изобретением, это свойство следует рассматривать и связывать с неожиданным улучшением сорбционных характеристик относительно других газообразных веществ и, в частности, относительно СО. Кроме того, эти сплавы обладают более низкими температурами активации и более низкими потерями частиц в сочетании с более высокой устойчивостью к охрупчиванию и устойчивостью к водород-катионированию.
Поэтому целью настоящего изобретения является создание геттерных устройств, на основе использования нового неиспаряемого геттерного материала, способного преодолеть недостатки известного уровня техники. Эти цели достигаются с помощью геттерного устройства, содержащего порошки четверного неиспаряемого геттерного сплава, указанный неиспаряемый геттерный сплав содержит в качестве элементов композиции цирконий, ванадий, титан и алюминий и имеет содержание указанных элементов в атомных процентах, которое может варьировать в следующих диапазонах атомных процентов:
a. цирконий от 38 до 44,8%
b. ванадий от 14 до 29%
c. титан от 13 до 15%
d. алюминий от 11,5 до 35%,
причем указанные диапазоны атомных процентов выражены относительно суммы циркония, ванадия, титана и алюминия в неиспаряемом геттерном сплаве.
Авторы настоящего изобретения неожиданно установили, что четверные сплавы в системе Zr-V-Ti-Al имеют повышенную скорость сорбции Н2 и СО, когда количество титана выбрано в диапазоне от 13 до 15%.
Необязательно композиция неиспаряемого геттерного сплава может дополнительно содержать в качестве дополнительных элементов композиции один или более металлов с общей атомной концентрацией менее 8% относительно общей композиции сплава. В частности, эти один или несколько металлов, могут быть выбраны из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля с общим содержанием в атомных процентах предпочтительно от 0,1 до 7%, более предпочтительно от 0,1 до 5%. Кроме того, незначительные количества других химических элементов могут присутствовать в композиции сплава, если их общее процентное содержание составляет менее 1% относительно общей композиции сплава.
Эти и другие преимущества и характеристики сплавов и устройств в соответствии с настоящим изобретением будут понятны специалистам в данной области техники из последующего подробного описания некоторых не ограничивающих его осуществлений со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых:
фиг. 1 представляет устройство, содержащее геттерные тела в соответствии с одним осуществлением настоящего изобретения;
Фиг. 1а и 1b представляют некоторые спеченные геттерные тела в соответствии с настоящим изобретением, пригодные для использования в геттерном устройстве, представленном на фиг.1;
Фиг. 2-4 представляют устройства, изготовленные из единого тела из спрессованного сплава в соответствии с различными возможными осуществлениями; и
Фиг. 5-8 представляют другие геттерные устройства на основе порошка сплава в соответствии с настоящим изобретением.
В области геттерных насосов требуется эффективно сорбировать водород за счет работы при высоких температурах, например, при 200°С, так, чтобы геттерный материал был способен эффективно сорбировать примеси других газов, а также N2, Н2О, О2, СН4, СО, СО2, которые могут присутствовать в камере, подлежащей откачиванию газа. В этом случае, все сплавы, которые являются предметом настоящего изобретения, имеют признаки, которые обладают преимуществом в данном применении, причем особенно ценятся те, которые имеют более высокое сродство к некоторым газовым примесям.
Фиг. 1 представляет дискообразные геттерные элементы (121, 121', …) удобно собранные в стопу (120), чтобы получить объект с повышенными характеристиками откачки. Стопа может быть снабжена нагревательным элементом, соосным к несущему элементу (122), и установленным на вакуумном фланце или фиксированным в вакуумной камере с помощью соответствующих держателей. Некоторые не ограничивающие осуществления геттерных элементов, пригодных для использования для получения указанной стопы, показаны на фиг. 1a - 1b.
Фиг. 2-3 представляют соответственно, цилиндр 20 и панель 30, изготовленную вырезанием из листа сплава соответствующей толщины или полученную прессованием порошка сплава. Для практического использования устройства должны быть установлены в фиксированном положении в контейнере, который должен поддерживаться свободным от водорода. Устройства 20 и 30 могут быть закреплены непосредственно на внутренней поверхности контейнера, например, с помощью точечной сварки, когда указанная поверхность выполнена из металла. Альтернативно устройства 20 или 30 могут быть размещены в контейнере с помощью соответствующих опор и крепление на опорах может быть осуществлено при помощи сварки или механического сжатия.
Фиг. 4 представляет другое возможное осуществление геттерного устройства 40, в котором используется отдельное тело из сплава согласно изобретению, в частности, для сплавов, имеющих свойства высокой пластичности. В этом случае сплав изготовлен в виде полосы, из которой вырезают часть 41 искомого размера, и часть 41 изгибают в ее части 42 вокруг опоры 43 в виде металлической проволоки. Опора 43 может быть линейной, но предпочтительно она снабжена изгибами 44, 44', 44ʺ, которые помогают размещать детали 41, чья форма может поддерживаться с помощью одной или нескольких точек сварки (не показаны на фиг.) в зоне перекрытия 45, хотя простое сжатие при сгибании вокруг опоры 43 может быть достаточным с учетом пластичности этих сплавов.
Альтернативно другие геттерные устройства в соответствии с изобретением могут быть изготовлены с использованием порошков сплавов. В случае, когда используются порошки, они предпочтительно имеют размер частиц менее 500 мкм и более предпочтительно менее 300 мкм в некоторых применениях от 0 до 125 мкм.
Фиг. 5 представляет вид с разрывом устройства 50, имеющего форму таблетки 51 с опорой 52, вставленной в него; такое устройство может быть изготовлено, например, путем прессования порошков в пресс-форме с опорой 52 размещенной в пресс-форме перед загрузкой порошка. Альтернативно опора 52 может быть приварена к таблетке 51.
Фиг. 6 представляет устройство 60, сформированное из порошков сплава 61 в соответствии с изобретением, запрессованных в металлический контейнер 62; устройство 60 может быть закреплено на опоре (не показана на рисунке), например, с помощью ее приваривания к контейнеру 62.
Наконец фиг. 7-8 представляют другой тип устройства, содержащего опору 70, изготовленную начиная с металлического листа 71 с углублением 72, полученным путем прессования листа 71 в подходящей форме. Большую часть нижней части углубления 72 затем удаляют отрезанием, получая отверстие 73, и опора 70 удерживается внутри пресс-формы так, что углубление 72 может быть заполнено порошками сплава, которые затем прессуют на месте, получая таким образом устройство 80 (если смотреть в разрезе по линии А-А' фиг. 7), в котором набивка порошка 81 имеет две поверхности, 82 и 83, открытые для сорбции газа.
Во всех устройствах, в соответствии с изобретением опоры, контейнеры и любые другие металлические части, которые не сформированы из сплава согласно изобретению, выполнены из металлов, имеющих низкое давление пара, таких как вольфрам, тантал, ниобий, молибден, никель, ферроникель или сталь, чтобы предотвратить эти части от испарения из-за высокой рабочей температуры, которой подвергаются указанные устройства.
Сплавы, пригодные для геттерных устройств в соответствии с изобретением, могут быть получены плавлением чистых элементов, предпочтительно, в виде порошка или кусочков, для того, чтобы получить искомые атомные отношения. Плавление должно проводиться в контролируемой атмосфере, например, под вакуумом или в атмосфере инертного газа (аргон предпочтителен), чтобы избежать окисления готовящегося сплава. Среди наиболее распространенных технологий плавления, но без ограничения ими, могут быть использованы дуговая плавка, вакуумная индукционная плавка (VIM), вакуумно-дуговой переплав (VAR), индукционная гарнисажная плавка (ISM), электрошлаковый переплав (ESR), или электронно-лучевой переплав (ЕВМ). Спекание или спекание при высоком давлении порошков также может быть использовано для формирования множества различных форм, таких как диски, бруски, кольца и т.д. из неиспаряющихся геттерных сплавов согласно настоящему изобретению, например, для использования в геттерных насосах. В возможном осуществлении настоящего изобретения, кроме того, спеченные продукты могут быть получены с использованием смеси порошков геттерного сплава, имеющих состав по п. 1, необязательно в смеси с порошком металла, такого как, например, титан, цирконий или их смеси, чтобы получить геттерные элементы, как правило, в виде брусков, дисков или аналогичных форм, а также описанных, например, в ЕР 0719609.
В качестве примера, поликристаллические слитки могут быть получены с помощью дуговой плавки соответствующих смесей элементов высокой чистоты в атмосфере аргона. Затем слиток может быть измельчен в шаровой мельнице в корпусе из нержавеющей стали в атмосфере аргона и затем просеян до искомой фракции порошка обычно менее 500 мкм, предпочтительно менее 300 мкм.
Во втором аспекте изобретение заключается в применении геттерного устройства, как описано выше, для удаления водорода и монооксида углерода. Например, указанное применение может быть направлено на удаление водорода и монооксида углерода из закрытой системы или устройства, включающих или содержащих вещества или структурные элементы, которые чувствительны к присутствию указанных газов. Альтернативно указанное применение может быть направлено на удаление водорода и монооксида углерода из газовых потоков, используемых в производственных процессах с участием веществ или структурных элементов, которые чувствительны к присутствию указанных газов. Водород и монооксид углерода отрицательно влияют на характеристики и на свойства устройства и указанный нежелательный эффект может быть устранен или ограничен посредством по меньшей мере геттерного устройства, содержащего четверной неиспаряемый геттерный сплав, содержащий в качестве элементов композиции цирконий, ванадий, титан, алюминий и имеющий содержание указанных элементов в атомных процентах, которое может варьировать в следующих диапазонах:
a. цирконий от 38 до 44,8%;
b. ванадий от 14 до 29%
c. титан от 13 до 15%
d. алюминий от 11,5 до 35%,
причем указанные диапазоны атомных процентов приведены относительно суммы циркония, ванадия, титана и алюминия в неиспаряемом геттерном сплаве.
Необязательно композиция неиспаряемого геттерного сплава может дополнительно содержать в качестве дополнительных элементов композиции один или более металлов с общей атомной концентрацией менее 8% относительно общей композиции сплава. В частности, эти металлы могут быть выбраны из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля с общим атомным процентным содержанием предпочтительно от 0,1 до 7%, более предпочтительно от 0,1 до 5%. Кроме того, незначительные количества других химических элементов могут присутствовать в композиции сплава, если их общее процентное содержание составляет менее 1% относительно общей композиции сплава.
Применение в соответствии с изобретением может быть осуществлено при использовании геттерного сплава в виде порошка, порошков спрессованных в таблетки, ламинированных на подходящих металлических листах или расположенных внутри одного из подходящих контейнеров, возможные варианты хорошо известны специалистам в данной области техники.
Альтернативно применение в соответствии с изобретением может быть осуществлено при использовании геттерного сплава в виде спеченных (или спеченных при высоком давлении) порошков, при необходимости в смеси с порошками металлов, таких как, например, титан или цирконий или их смеси.
Приведенные выше соображения относительно расположения геттерного материала в соответствии с настоящим изобретением являются общими и пригодны независимо от способа применения материала или конкретной структуры контейнера.
Не ограничивающие примеры систем чувствительных к водороду, которые могут достичь определенных преимуществ от использования вышеописанных геттерных устройств, являются вакуумные камеры, транспортирующие средства криогенных жидкостей (например, водорода или азота), солнечные приемники, колба термоса, гидравлические линии с вакуумной изоляцией (например, для закачки пара), электронные трубки, дьюары и т.д.
Изобретение далее будет проиллюстрировано с помощью следующих примеров. Эти не ограничивающие примеры иллюстрируют некоторые осуществления, которые предназначены, чтобы научить специалиста в данной области техники, как реализовать изобретение.
Примеры
Несколько поликристаллических слитков готовят дуговой плавкой соответствующих смесей составляющих металлических элементов высокой чистоты в атмосфере аргона. Каждый слиток затем измельчают в шаровой мельнице в корпусе из нержавеющей стали в атмосфере аргона с последующим просеиванием до искомой фракции порошка, то есть менее 300 мкм.
150 мг каждого сплава, из перечисленных в таблице 1 (см ниже), прессуют в кольцевых контейнерах, чтобы получить образцы, обозначенные как образцы А, В, С, D, Е, (в соответствии с настоящим изобретением), и образец сравнения 1.
Сравнивают их сорбционные характеристики по водороду и монооксиду углерода.
Испытание для оценки сорбционной емкости по Н2 и СО осуществляют на стенде в сверхвысоком вакууме. Образец геттера устанавливают внутри баллона и ионизационный вакуумметр позволяет измерять давление на образце, в то время как другой ионизационный вакуумметр позволяет измерять давление выше по потоку от канала, расположенного между двумя датчиками. Геттер активируется радиочастотной печью при 550°С×60 мин, после чего его охлаждают и выдерживают при температуре 200°С. Поток Н2 или СО подают на геттер с известным расходом, сохраняя постоянное давление 3×10-6 торр. Измерением давления до и после прохождения канала и интегрированием изменения давления во времени можно рассчитать скорость откачки и количество сорбированное геттером. Регистрируемые данные представлены в таблице 2.
Claims (20)
1. Геттерное устройство, содержащее композицию порошков неиспаряемого геттерного сплава, характеризующееся тем, что композиция порошков неиспаряемого геттерного сплава содержит цирконий, ванадий, титан и алюминий при следующем содержании элементов относительно их суммарного содержания, ат.%:
цирконий от 38 до 44,8
ванадий от 14 до 29
титан от 13 до 15
алюминий от 11,5 до 35,
причем указанный неиспаряемый геттерный сплав необязательно содержит по меньшей мере один дополнительный химический элемент в суммарном количестве менее 8 ат.% от общей композиции неиспаряемого геттерного сплава, являющейся суммой циркония, ванадия, титана, алюминия и указанных необязательно присутствующих дополнительных элементов, сбалансированных до 100 ат.%, при этом в качестве дополнительных химических элементов указанный неиспаряемый геттерный сплав содержит по меньшей мере один металл, выбранный из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля, в количестве от 0,1 до 7 ат.% от упомянутой общей композиции неиспаряемого геттерного сплава и необязательно содержит незначительные количества других химических элементов в количестве менее 1% относительно упомянутой общей композиции сплава.
2. Гетеррное устройство по п. 1, в котором указанный по меньшей мере один дополнительный элемент, выбранный из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля, имеет содержание в атомных процентах от 0,1 до 5% относительно общей композиции сплава.
3. Геттерное устройство по п. 1 или 2, в котором указанные порошки геттерного сплава смешаны с порошками металла.
4. Геттерное устройство по п. 3, в котором указанные порошки металла выбраны из титана, циркония или их смесей.
5. Геттерное устройство по любому из пп. 1, 2 или 4, в котором указанные порошки сплава имеют размер частиц менее 500 мкм.
6. Геттерное устройство по п. 3, в котором указанные порошки сплава имеют размер частиц менее 500 мкм.
7. Геттерное устройство по п. 5, в котором указанные порошки сплава имеют размер частиц менее 300 мкм.
8. Геттерное устройство по п. 6, в котором указанные порошки сплава имеют размер частиц менее 300 мкм.
9. Геттерное устройство по любому из пп. 1, 2, 4, 6-8, в котором указанные порошки сплава спрессованы и спечены для формирования единого геттерного элемента.
10. Геттерное устройство по п. 3, в котором указанные порошки сплава спрессованы и спечены для формирования единого геттерного элемента.
11. Геттерное устройство по п. 5, в котором указанные порошки сплава спрессованы и спечены для формирования единого геттерного элемента.
12. Геттерное устройство по п. 9, которое представляет собой геттерный насос, картридж для геттерного насоса или насос, содержащий один или несколько насосных элементов.
13. Геттерное устройство по п. 10 или 11, которое представляет собой геттерный насос, картридж для геттерного насоса или насос, содержащий один или несколько насосных элементов.
14. Применение геттерного устройства по любому из пп. 1 - 13 для сорбции водорода и монооксида углерода.
15. Чувствительная к водороду система, содержащая геттерное устройство, отличающаяся тем, что она содержит геттерное устройство по любому из пп. 1 - 13.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ITMI2013A001921 | 2013-11-20 | ||
| IT001921A ITMI20131921A1 (it) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e monossido di carbonio |
| PCT/IB2014/066169 WO2015075648A1 (en) | 2013-11-20 | 2014-11-19 | Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and carbon monoxide sorption |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016120582A RU2016120582A (ru) | 2017-11-30 |
| RU2016120582A3 RU2016120582A3 (ru) | 2018-05-30 |
| RU2670511C2 true RU2670511C2 (ru) | 2018-10-23 |
Family
ID=49958554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016120582A RU2670511C2 (ru) | 2013-11-20 | 2014-11-19 | Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно подходящие для сорбции водорода и монооксида углерода |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9416435B1 (ru) |
| EP (1) | EP3071720B1 (ru) |
| JP (1) | JP6416898B2 (ru) |
| KR (1) | KR102022755B1 (ru) |
| CN (1) | CN105593389B (ru) |
| IT (1) | ITMI20131921A1 (ru) |
| MY (1) | MY174195A (ru) |
| RU (1) | RU2670511C2 (ru) |
| WO (1) | WO2015075648A1 (ru) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107076133B (zh) | 2014-06-26 | 2019-06-18 | 工程吸气公司 | 吸气剂泵送系统 |
| ITUA20163861A1 (it) * | 2016-05-27 | 2017-11-27 | Getters Spa | Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and carbon monoxide sorption |
| CN111041257A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-21 | 上海晶维材料科技有限公司 | 一种具有表面高通量布气系统吸气材料的制备方法 |
| CN111621671B (zh) * | 2020-06-18 | 2022-03-15 | 南京哲玺太电子科技有限公司 | 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用 |
| CN112410639A (zh) * | 2020-10-16 | 2021-02-26 | 北京赛博泰科科技有限公司 | 一种非蒸散型低温激活宽程工作吸气合金及其制备方法 |
| CN114121573A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-01 | 上海晶维材料科技有限公司 | 一种无颗粒吸气剂 |
| CN115074669A (zh) * | 2022-06-10 | 2022-09-20 | 南京华东电子真空材料有限公司 | 一种低温激活的大容量吸气薄膜 |
| WO2024028240A1 (en) | 2022-08-01 | 2024-02-08 | Saes Getters S.P.A. | Snap-on getter pump assembly and its use |
| CN116555714B (zh) * | 2023-03-13 | 2023-12-29 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种TiZrV-Al磁控溅射靶材及其制备方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4360445A (en) * | 1981-06-16 | 1982-11-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Oxygen stabilized zirconium-vanadium-iron alloy |
| US4839085A (en) * | 1987-11-30 | 1989-06-13 | Ergenics, Inc. | Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby |
| EP0719609A2 (en) * | 1994-12-02 | 1996-07-03 | Saes Getters S.P.A. | A process for producing high-porosity non-evaporable getter materials and materials thus obtained |
| WO2004024965A2 (en) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Saes Getters S.P.A. | Getter compositions reactivatable at low temperature after exposure to reactive gases at higher temperature |
| RU2253695C2 (ru) * | 2000-09-27 | 2005-06-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления |
| RU2260069C2 (ru) * | 2000-05-30 | 2005-09-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Неиспаряемые геттерные сплавы |
| RU2388839C2 (ru) * | 2004-11-23 | 2010-05-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Неиспаряющиеся газопоглотительные сплавы для сорбции водорода |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4849205A (en) * | 1987-11-17 | 1989-07-18 | Kuochih Hong | Hydrogen storage hydride electrode materials |
| US4839035A (en) | 1988-02-25 | 1989-06-13 | Iafrate John A | Cylindrical screen separator with spirally arranged clearing and conveying blades |
| US5104617A (en) * | 1990-04-26 | 1992-04-14 | Energy Conversion Devices, Inc. | Catalytic hydrogen storage electrode materials for use in electrochemical cells and electrochemical cells incorporating the materials |
| US5096667A (en) * | 1989-11-24 | 1992-03-17 | Energy Conversion Devices, Inc. | Catalytic hydrogen storage electrode materials for use in electrochemical cells and electrochemical cells incorporating the materials |
| JPH04233125A (ja) * | 1990-12-07 | 1992-08-21 | Urgenics Inc | ゲッタ・ストリップ |
| IT1255438B (it) | 1992-07-17 | 1995-10-31 | Getters Spa | Pompa getter non evaporabile |
| US6109880A (en) * | 1994-10-31 | 2000-08-29 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system including focus shields |
| IT1290451B1 (it) | 1997-04-03 | 1998-12-03 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili |
| IT1295340B1 (it) | 1997-10-15 | 1999-05-12 | Getters Spa | Pompa getter ad elevata velocita' di assorbimento di gas |
| JP3528599B2 (ja) * | 1998-05-21 | 2004-05-17 | トヨタ自動車株式会社 | 水素吸蔵合金 |
| JP2003022744A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Sony Corp | 非蒸発型ゲッター、表示装置およびこれらの製造方法 |
| CN101194343B (zh) | 2004-01-05 | 2010-12-08 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 紧凑的高压放电灯及其制造方法 |
| CN1796579A (zh) * | 2004-12-21 | 2006-07-05 | 成都思摩纳米技术有限公司 | 一种制备锆－钒－铁吸气剂的新工艺 |
| CN101163586A (zh) * | 2005-02-17 | 2008-04-16 | 泽斯吸气剂公司 | 柔性多层吸气器 |
| ITMI20090402A1 (it) | 2009-03-17 | 2010-09-18 | Getters Spa | Sistema di pompaggio combinato comprendente una pompa getter ed una pompa ionica |
| ITMI20090410A1 (it) | 2009-03-18 | 2010-09-19 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili adatte particolarmente per l'assorbimento di idrogeno |
| KR101224385B1 (ko) * | 2011-02-11 | 2013-01-21 | 하호 | 저온용 게터 및 그의 제조방법 |
| US9272259B2 (en) * | 2012-04-19 | 2016-03-01 | Ovonic Battery Company, Inc. | Metal hydride alloys having improved activation and high rate performance |
| ITMI20120872A1 (it) | 2012-05-21 | 2013-11-22 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e azoto |
| CN102758101B (zh) * | 2012-08-07 | 2013-12-18 | 南京盖特电子有限公司 | 一种非蒸散型低温激活锆基吸气剂合金及其制法 |
-
2013
- 2013-11-20 IT IT001921A patent/ITMI20131921A1/it unknown
-
2014
- 2014-11-19 US US15/025,537 patent/US9416435B1/en active Active
- 2014-11-19 MY MYPI2016701758A patent/MY174195A/en unknown
- 2014-11-19 EP EP14815042.8A patent/EP3071720B1/en active Active
- 2014-11-19 JP JP2016524586A patent/JP6416898B2/ja active Active
- 2014-11-19 KR KR1020167008256A patent/KR102022755B1/ko active IP Right Grant
- 2014-11-19 CN CN201480054162.1A patent/CN105593389B/zh active Active
- 2014-11-19 RU RU2016120582A patent/RU2670511C2/ru active
- 2014-11-19 WO PCT/IB2014/066169 patent/WO2015075648A1/en active Application Filing
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4360445A (en) * | 1981-06-16 | 1982-11-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Oxygen stabilized zirconium-vanadium-iron alloy |
| US4839085A (en) * | 1987-11-30 | 1989-06-13 | Ergenics, Inc. | Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby |
| EP0719609A2 (en) * | 1994-12-02 | 1996-07-03 | Saes Getters S.P.A. | A process for producing high-porosity non-evaporable getter materials and materials thus obtained |
| RU2260069C2 (ru) * | 2000-05-30 | 2005-09-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Неиспаряемые геттерные сплавы |
| RU2253695C2 (ru) * | 2000-09-27 | 2005-06-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления |
| WO2004024965A2 (en) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Saes Getters S.P.A. | Getter compositions reactivatable at low temperature after exposure to reactive gases at higher temperature |
| RU2388839C2 (ru) * | 2004-11-23 | 2010-05-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Неиспаряющиеся газопоглотительные сплавы для сорбции водорода |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017504712A (ja) | 2017-02-09 |
| WO2015075648A1 (en) | 2015-05-28 |
| CN105593389B (zh) | 2017-06-13 |
| RU2016120582A3 (ru) | 2018-05-30 |
| MY174195A (en) | 2020-03-13 |
| KR102022755B1 (ko) | 2019-09-18 |
| ITMI20131921A1 (it) | 2015-05-21 |
| KR20160088286A (ko) | 2016-07-25 |
| US9416435B1 (en) | 2016-08-16 |
| RU2016120582A (ru) | 2017-11-30 |
| EP3071720A1 (en) | 2016-09-28 |
| US20160237533A1 (en) | 2016-08-18 |
| JP6416898B2 (ja) | 2018-10-31 |
| EP3071720B1 (en) | 2018-02-28 |
| CN105593389A (zh) | 2016-05-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2670511C2 (ru) | Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно подходящие для сорбции водорода и монооксида углерода | |
| KR101564871B1 (ko) | 수소 및 질소 흡착에 특히 적절한 비-증발형 게터 합금 | |
| RU2260069C2 (ru) | Неиспаряемые геттерные сплавы | |
| CN101068942B (zh) | 用于氢气吸附的非蒸散型吸气剂合金 | |
| JP5306535B2 (ja) | 非−蒸発性イットリウムベースのゲッター合金を用いた水素感受性デバイスからの水素除去方法 | |
| JPH10324937A (ja) | 非蒸発型ゲッタ合金 | |
| KR20090023424A (ko) | 수소 흡착을 위한 이트륨 기재의 비증발성 게터 합금 | |
| US10995390B2 (en) | Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and carbon monoxide sorption |