KR20160088286A - 수소 및 일산화탄소 수착에 특히 적합한 비-증발성 게터 합금 - Google Patents

수소 및 일산화탄소 수착에 특히 적합한 비-증발성 게터 합금 Download PDF

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Abstract

수소 및 일산화탄소 수착에 특히 적합한, 4원 합금의 분말을 기재로 하는 개선된 수착 속도를 갖는 게터 장치이며, 상기 합금은 주요 구성 원소로서 지르코늄, 바나듐, 티타늄 및 알루미늄을 포함하는 조성을 갖는 것인 게터 장치가 기재되어 있다.

Description

수소 및 일산화탄소 수착에 특히 적합한 비-증발성 게터 합금 {NON-EVAPORABLE GETTER ALLOYS PARTICULARLY SUITABLE FOR HYDROGEN AND CARBON MONOXIDE SORPTION}
본 발명은 증가된 수소 및 일산화탄소 수착 속도를 갖는 신규 게터 합금, 상기 합금을 이용하여 수소를 수착하는 방법, 및 수소를 제거하기 위한 상기 합금을 이용하는 수소-감수성 장치에 관한 것이다.
본 발명의 대상인 합금은 상당한 양의 수소 및 일산화탄소의 높은 수착 속도를 요구하는 모든 적용에 특히 유용하다.
이들 신규 수착 합금에 대한 가장 관심있는 적용 중에, 조명 램프, 진공 펌프 및 가스 정제가 있다.
이들 적용에서의 수소 제거를 위한 게터 물질의 사용은 이미 공지되어 있으나, 현재 개발되고 사용되는 해결책은 점점 더 많은 견고한 제한 및 제약을 두게 되는 지속적인 기술 개발에 의해 부여되는 요건을 충족시키기에 적합하지 않다.
조명 램프에서, 특히 고압 방전 램프 및 저압 수은 램프와 관련하여, 심지어 낮은 수준에서의 수소 뿐만 아니라 다른 가스상 오염물의 존재는 장치 성능을 상당히 감소시킨다. 분해 현상에 관한 보다 많은 정보는 수소 및 잔류 일산화탄소 수착을 위한 다양한 물질에 관한 EP 1704576에서 찾아볼 수 있다.
이 특정한 적용 분야에서 고온에서 효율적으로 수소를 수착하기 위한 물질 용량 뿐만 아니라 다른 가스 종의 수착에 관한 물질의 높은 수착 속도 및 낮은 활성화 온도가 또한 통상적인 NEG 합금과 관련하여 특히 중요하다.
고온에서 수소 수착이 가능한 게터 합금의 사용에서 이익을 얻을 수 있는 또 다른 적용 분야는 게터 펌프이다. 이 유형의 펌프는 다양한 특허, 예컨대 모두 본 출원인 명의의 US 5324172 및 US 6149392 뿐만 아니라 국제 특허 공개 WO 2010/105944에 기재되어 있다. 고온에서 펌프의 게터 물질을 사용할 수 있는 것은 다른 가스에 대한 수착 용량의 관점에서 그의 성능을 증가시키나, 이 경우에 높은 수착 속도는 보다 우수한 장치 성능을 얻기 위한 용량과 동일한 주요 이슈이다.
높은 수착 속도로 수소 및 일산화탄소 수착이 가능한 게터 물질의 이점으로부터 이익을 얻는 또 다른 적용 분야는 반도체 산업에서 사용되는 가스의 정제이다. 사실, 특히 높은 유량, 전형적으로 몇 l/min보다 높은 유량이 요구되는 경우에, 게터 물질은 가스 오염물, 예컨대 N2, H2O, O2, CH4, CO, CO2를 제거하기 위해 가스상 종을 신속하게 수착해야 한다.
수소 제거를 위한 가장 효율적인 해결책들 중 두 가지가 둘 다 본 출원인 명의의 EP 0869195 및 국제 특허 공개 WO 2010/105945에 개시되어 있다. 제1 해결책은 지르코늄-코발트-RE 합금을 사용하며, 여기서 RE는 최대 10%일 수 있고, 이트륨, 란타넘 및 다른 희토류 중에서 선택된다. 특히, 하기 중량 백분율: Zr 80.8%- Co 14.2% 및 RE 5%를 갖는 합금이 특히 인지된 바 있다. 대신에, 제2 해결책은 200℃ 초과의 온도에서 또한 수소의 제거가능한 양을 최대화하기 위해 이트륨-기재 합금을 사용하나, 그의 비가역적 가스 수착의 특성은 진공 조건을 요구하는 많은 적용의 필요와 관련하여 본질적으로 제한되어 있다.
수소 및 다른 원치 않는 가스, 예컨대 CO, N2 및 O2를 신속하게 게터링하는데 유용한 특정한 해결책은 US 4360445에 기재되어 있으나, 그에 개시된 산소-안정화된 지르코늄-바나듐-철 금속간 화합물은 그램당 수착 용량 및 속도를 낮추는, 즉 가능한 적용의 분야를 제한하는 대량의 산소를 요구하는 특정한 범위의 온도 (즉, -196℃ 내지 200℃)에서만 성공적으로 사용될 수 있다.
대안으로서, US 4839035는 지르코늄-바나듐-알루미늄 시스템에서 선택된 Zr-풍부 조성에 초점을 맞춘 수소 및 일산화탄소를 제거하는데 적합한 비-증발성 게터 합금을 개시하고 있다. 이들 합금은 제조 공정에서 일부 단계를 용이하게 하는데 효과적인 것으로 보이지만, H2 및 CO에 대한 노출 시의 흡수 속도는 많은 적용에서, 예를 들어 고진공 시스템을 위한 게터 펌프에서 적용되기에 충분하지 않다. 본 출원인 명의의 국제 특허 공개 번호 WO 2013/175340은 지르코늄, 바나듐 및 티타늄을 함유하고 (즉, 금속간 화합물을 수득하기 위해 대량의 산소를 요구하지 않음), 몇몇 가스상 오염물에 관하여 개선된 수착 용량을 갖는 일부 안정한 게터 합금을 기재하고 있다. 그러나, WO 2013/175340은 수소에 관하여, 및 동시에 다른 가스상 종, 즉 일산화탄소에 대하여 수착 속도의 개선을 얻는 방법에 대해서는 언급하지 않고 있다.
따라서 본 발명에 따른 합금의 수소 및 일산화탄소에 대한 개선된 특징은 이중의 가능한 의미, 주로 H2에 대해 증가된 수착 속도 및 낮은 수소 평형 압력으로 의도되고, 평가되어야 한다. 본 발명에 따른 가장 관심있는 합금에 대해, 이 특성은 다른 가스상 종 및 특히 CO에 관하여 예상외의 개선된 수착 성능을 갖는 것으로 고려되고 연관되어야 한다. 더욱이, 이들 합금은 수소 재순환에 대한 보다 높은 취화 및 저항성과 함께 보다 낮은 활성화 온도 및 보다 낮은 입자 손실을 나타낸 바 있다.
따라서 본 발명의 목적은 선행 기술의 단점을 극복할 수 있는 신규 비-증발성 게터 물질의 사용을 기반으로 하는 게터 장치를 제공하는 것이다. 이들 목적은 4원 비-증발성 게터 합금의 분말을 함유하는 게터 장치이며, 상기 비-증발성 게터 합금은 조성 원소로서 지르코늄, 바나듐, 티타늄 및 알루미늄을 포함하고, 하기 원자 백분율 범위:
a. 지르코늄 38 내지 44.8%
b. 바나듐 14 내지 29%
c. 티타늄 13 내지 15%
d. 알루미늄 11.5 내지 35%
내에서 달라질 수 있는 상기 원소의 원자 백분율 조성을 가지며, 상기 원자 백분율 범위는 비-증발성 게터 합금 내의 지르코늄, 바나듐, 티타늄 및 알루미늄의 합계와 관련하여 고려되는 것인 게터 장치에 의해 달성된다.
본 발명자들은 놀랍게도 티타늄 양이 13 내지 15%에 포함되는 범위에서 선택된 경우에 Zr-V-Ti-Al 시스템 내의 4원 합금이 개선된 H2 및 CO 수착 속도를 갖는다는 것을 밝혀내었다.
임의로, 비-증발성 게터 합금 조성은 합금 조성의 총계에 대해 8% 미만의 전체 원자 농도로 1종 이상의 금속을 추가의 조성 원소로서 추가로 포함할 수 있다. 특히, 이들 1종 이상의 금속은 바람직하게는 0.1 내지 7%, 보다 바람직하게는 0.1 내지 5%에 포함되는 전체 원자 백분율로 철, 크로뮴, 망가니즈, 코발트 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택될 수 있다. 더욱이, 미량의 다른 화학 원소가 그의 전체 백분율이 합금 조성의 총계에 대해 1% 미만인 경우에 합금 조성에 존재할 수 있다.
본 발명에 따른 합금 및 장치의 이들 및 다른 이점 및 특징은 첨부된 도면을 참조하여 하기 그의 일부 비제한적인 실시양태의 상세한 설명으로부터 관련 기술분야의 통상의 기술자에게 명백할 것이다.
도 1은 본 발명의 한 실시양태에 따른 게터 몸체를 함유하는 장치를 제시하고;
도 1a 및 1b는 도 1의 게터 장치에서 사용하기에 적합한 본 발명에 따른 일부 소결 게터 몸체를 제시하고;
도 2 내지 4는 상이한 가능한 실시양태에 따른 단일 압축 합금 몸체로 제조된 장치를 제시하고;
도 5 내지 8은 본 발명에 따른 합금 분말을 기재로 하는 다른 게터 장치를 제시한다.
게터 펌프의 분야에서, 배기될 챔버 내에 존재할 수 있는 다른 가스 분술물 N2, H2O, O2, CH4, CO, CO2를 또한 게터 물질이 효율적으로 수착할 수 있도록 하는 방식으로 고온, 예를 들어 200℃에서 작동하여 효율적인 방식으로 수소를 수착하는 것이 요구된다. 이 경우에, 본 발명의 대상인 모든 합금은 본 출원에서 유리한 특색을 가지며, 몇몇 가스 불순물에 대해 보다 높은 친화도를 갖는 것들이 특히 인지된다.
도 1은 증가된 펌핑 성능을 갖는 대상체를 얻기 위해 스택(120)으로 편리하게 조립된 원반형 게터 요소(121, 121',…)를 제시한다. 스택은 지지 요소(122)에 대해 동축인 가열 요소가 구비될 수 있고, 진공 플랜지 상에 장착되거나 또는 적합한 홀더에 의해 진공 챔버 내에 고정될 수 있다. 상기 스택을 얻기 위해 사용되기에 적합한 게터링 요소의 일부 비제한적 실시양태가 도 1a 및 1b에 제시되어 있다.
도 2 및 3은 각각 적합한 두께의 합금 시트를 절단하여 제조되거나 또는 합금 분말의 압축으로 얻어진 실린더(20) 및 보드(30)를 제시한다. 그의 실제 사용을 위해, 장치는 수소가 없이 유지되어야 하는 용기 내에 고정된 위치에 위치되어야 한다. 장치(20 및 30)는 용기의 내부 표면에, 예를 들어 상기 표면이 금속으로 제조된 경우에 스팟 용접에 의해 직접 고정될 수 있다. 대안적으로, 장치(20 또는 30)는 적합한 지지체에 의해 용기 내에 위치될 수 있고, 지지체 상의 장착은 용접 또는 기계적 압축에 의해 수행될 수 있다.
도 4는 게터 장치(40)의 또 다른 가능한 실시양태를 제시하며, 여기서 본 발명에 따른 합금의 별개의 몸체가, 특히 높은 가소성 특색을 갖는 이들 합금에 사용된다. 이 경우에 합금은 목적하는 크기를 갖는 조각(41)이 절단되어 있는 스트립의 형태로 제조되고, 조각(41)은 금속 와이어의 형태인 지지체(43)의 주위로 그의 부분(42)에서 굽어진다. 지지체(43)는 선형일 수 있으나, 조각(41)의 위치지정을 돕는 커브(44, 44', 44")와 함께 제공되는 것이 바람직하며, 그의 형상은 중첩 영역(45)에서 1개 또는 여러 용접점 (도면에 제시되지 않음)에 의해 유지될 수 있더라도, 지지체(43) 주위의 굽힘 동안의 단순 압축이 이들 합금의 가소성을 고려하면 충분할 수 있다.
대안적으로, 본 발명에 따른 다른 게터 장치가 합금의 분말을 사용하여 제조될 수 있다. 분말이 사용되는 경우에, 이들은 바람직하게는 500 μm 미만, 보다 더 바람직하게는 300 μm 미만, 일부 적용에서는 0 내지 125 μm를 포함하는 입자 크기를 갖는다.
도 5는 내부에 지지체(52)가 삽입된 태블릿(51)의 형상을 갖는 장치(50)의 파단도를 제시하며; 이러한 장치는 예를 들어 분말을 붓기 전에 금형 내에 제조된 지지체(52)를 갖는 금형 내에서 분말의 압축에 의해 제조될 수 있다. 대안적으로, 지지체(52)는 태블릿(51)에 용접될 수 있다.
도 6은 금속 용기(62)에서 가압된 본 발명에 따른 합금 분말(61)에 의해 제조된 장치(60)를 제시하며; 장치(60)는 예를 들어 지지체에 용기(62)를 용접함으로써 지지체 (도면에 제시되지 않음)에 고정될 수 있다.
최종적으로, 도 7 및 8은 적합한 금형 내에서 시트(71)를 가압하여 얻어진 함몰부(72)를 갖는 금속 시트(71)로부터 출발하여 제조된 지지체(70)를 포함하는 또 다른 종류의 장치를 제시한다. 이어서 함몰부(72)의 바닥 부분의 대부분을 절단에 의해 제거하여 구멍(73)을 얻고, 지지체(70)를 가압 금형 내에 두어 함몰부(72)가 합금 분말로 채워질 수 있도록 하고, 이어서 이를 계내 가압하여 분말 패키지(81)가 가스 수착을 위해 2개의 노출된 표면(82 및 83)을 갖는 것인 장치(80)를 얻는다 (도 7의 선 A-A'를 따라 취해진 단면에서 보여짐).
본 발명에 따른 모든 장치에서 본 발명에 따른 합금으로 형성되지 않은 지지체, 용기 및 다른 임의의 금속 부분은 상기 장치가 노출된 높은 작업 온도로 인해 이들 부분이 증발되는 것을 예방하기 위해 낮은 증기압을 갖는 금속, 예컨대 텅스텐, 탄탈럼, 니오븀, 몰리브데넘, 니켈, 니켈 철 또는 강철로 제조된다.
본 발명에 따른 게터 장치에 유용한 합금은, 목적하는 원자 비를 얻기 위해, 바람직하게는 분말 또는 조각의 순수한 원소를 용융시켜 제조될 수 있다. 제조되는 합금의 산화를 회피하기 위해 용융은 제어된 분위기 하에, 예를 들어 진공 또는 불활성 가스 (아르곤이 바람직함) 하에 수행되어야 한다. 가장 흔한 용융 기술 중에서, 아크 용융, 진공 유도 용융 (VIM), 진공 아크 재용융 (VAR), 유도 스컬 용융 (ISM), 일렉트로 슬래그 재용융 (ESR), 또는 전자 빔 용융 (EBM)이 비제한적으로 사용될 수 있다. 분말의 소결 또는 고압 소결이 또한 사용되어 예를 들어 게터 펌프 내에서 사용되기 위한, 본 발명의 비-증발성 게터 합금의 많은 상이한 형상, 예컨대 디스크, 바, 고리 등을 형성할 수 있다. 본 발명의 가능한 실시양태에서, 더욱이, 소결 생성물은 금속성 분말, 예컨대 예를 들어 티타늄, 지르코늄 또는 그의 혼합물과 임의로 혼합된 청구범위 제1항에 따른 조성을 갖는 게터 합금 분말의 혼합물을 사용하여 게터 원소를 통상적으로 바, 디스크 또는 예를 들어 EP0719609에 널리 기재된 바와 유사한 형상으로 얻음으로써 얻어질 수 있다.
예로서, 다결정질 잉곳은 아르곤 분위기 하에 고순도의 구성 원소의 적절한 혼합물을 아크 용융시켜 제조될 수 있다. 이어서, 잉곳은 아르곤 분위기 하에 스테인레스 스틸 병에서 볼 밀링에 의해 분쇄되고, 후속적으로 목적하는 분말 분획, 통상적으로 500 μm 미만, 또는 보다 바람직하게는 300 μm 미만으로 체질될 수 있다.
그의 제2 측면에서, 본 발명은 수소 및 일산화탄소 제거를 위한 상기 기재된 게터 장치의 사용으로 이루어진다. 예를 들어, 상기 용도는 상기 가스의 존재에 대해 감수성인 물질 또는 구조적 요소를 포함하거나 함유하는 폐쇄 시스템 또는 장치로부터의 수소 및 일산화탄소 제거에 관한 것일 수 있다. 대안적으로, 상기 용도는 상기 가스의 존재에 대해 감수성인 물질 또는 구조적 요소를 수반하는 제조 공정에서 사용되는 가스 유동으로부터의 수소 및 일산화탄소 제거에 관한 것일 수 있다. 수소 및 일산화탄소는 장치의 특징 또는 성능에 부정적인 영향을 미치고, 상기 원치 않는 효과는, 적어도, 조성 원소로서 지르코늄, 바나듐, 티타늄, 알루미늄을 포함하고, 하기 범위:
a. 지르코늄 38 내지 44.8%;
b. 바나듐 14 내지 29%
c. 티타늄 13 내지 15%
d. 알루미늄 11.5 내지 35%
내에서 달라질 수 있는 상기 원소의 원자 백분율 조성을 갖는 4원 비-증발성 게터 합금을 함유하며, 상기 원자 백분율 범위는 비-증발성 게터 합금 내의 지르코늄, 바나듐, 티타늄 및 알루미늄의 합계와 관련하여 고려되는 것인 게터 장치에 의해 회피 또는 제한된다.
임의로, 비-증발성 게터 합금 조성은 합금 조성의 총계에 대해 8% 미만의 전체 원자 농도로 1종 이상의 금속을 추가의 조성 원소로서 추가로 포함할 수 있다. 특히, 이들 금속은 바람직하게는 0.1 내지 7%, 보다 바람직하게는 0.1 내지 5%에 포함되는 전체 원자 백분율로 철, 크로뮴, 망가니즈, 코발트 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택될 수 있다. 더욱이, 그의 전체 백분율이 합금 조성의 총계에 대해 1% 미만인 경우에 미량의 다른 화학 원소가 합금 조성에 존재할 수 있다.
본 발명에 따른 사용은 필(pill)로 가압된 분말, 적합한 금속 시트 상에 라미네이트되거나 또는 적합한 용기 중 하나 안에 위치된 분말의 형태로 게터 합금을 사용하는 것에 의한 적용을 밝혀내며, 가능한 변형은 관련 기술분야의 통상의 기술자에게 공지되어 있다.
대안적으로, 본 발명에 따른 사용은 금속성 분말, 예컨대 예를 들어 티타늄 또는 지르코늄 또는 그의 혼합물과 임의로 혼합된 소결 (또는 고압 소결) 분말의 형태로 게터 합금을 사용하는 것에 의한 적용을 밝혀낼 수 있다.
본 발명에 따른 게터 물질의 위치지정에 관한 상기 고려사항은 물질의 사용 방식 또는 그의 용기의 특정한 구조에 독립적으로 이들을 사용하는데 일반적이고 적합하다.
상기 기재된 게터 장치의 사용으로부터 특정한 이익을 얻을 수 있는 수소-감수성 시스템의 비제한적 예는 진공 챔버, 극저온 액체 수송 (예를 들어, 수소 또는 질소), 태양열 흡수기, 진공 병, 진공 절연된 유동 라인 (예를 들어, 스팀 주입용), 전자 튜브, 듀어 등이다.
본 발명은 하기 실시예에 의해 추가로 예시될 것이다. 이들 비제한적 예는 통상의 기술자에게 본 발명을 실행하는 방법을 교시하도록 의도된 일부 실시양태를 예시한다.
실시예
아르곤 분위기 하에 고순도 금속성 구성 원소의 적절한 혼합물을 아크 용융시켜 여러 다결정질 잉곳을 제조하였다. 이어서, 각각의 잉곳을 아르곤 분위기 하에 스테인레스 스틸 병에서 볼 밀링에 의해 분쇄하고, 후속적으로 목적하는 분말 분획, 즉 300 μm 미만으로 체질하였다.
샘플 A, B, C, D, E (본 발명에 따름) 및 참조 1로 라벨링된 샘플을 얻기 위해 표 1 (하기 참조)에 열거된 각각의 합금 150 mg을 환상 용기에서 가압하였다.
<표 1>
Figure pct00001
이들을 수소 및 일산화탄소에 대한 그의 수착 성능에서 비교하였다.
H2 및 CO 수착 용량 평가를 위한 시험을 초고진공 벤치 상에서 수행하였다. 게터 샘플을 벌브 안에 장착하고, 이온 게이지가 샘플 상의 압력을 측정하도록 하면서, 또 다른 이온 게이지가 2개의 게이지 사이에 위치된 전도도의 상류 압력을 측정하도록 하였다. 게터를 550℃ x 60분에서 고주파 오븐으로 활성화시키고, 그 후에 이를 냉각시키고, 200℃에서 유지하였다. H2 또는 CO의 유동을 3 x 10-6 torr의 일정한 압력을 유지하면서 기지의 전도도를 통해 게터 위로 통과시켰다. 전도도 전후의 압력을 측정하고, 시간 내의 압력 변화를 통합하고, 게터의 펌핑 속도 및 수착된 양을 계산할 수 있다. 기록된 데이터는 표 2에 보고되었다.
<표 2>
Figure pct00002

Claims (10)

  1. 특히 수소 및 일산화탄소에 대한 높은 가스 수착 효율을 갖는 비-증발성 게터 합금 분말을 함유하는 게터 장치이며, 상기 합금 분말은 조성 원소로서 지르코늄, 바나듐, 티타늄 및 알루미늄을 포함하고, 하기 범위:
    a. 지르코늄 38 내지 44.8%
    b. 바나듐 14 내지 29%
    c. 티타늄 13 내지 15%
    d. 알루미늄 11.5 내지 35%
    내에서 달라질 수 있는 상기 원소의 원자 백분율 조성을 가지며, 상기 원자 백분율 범위는 비-증발성 게터 합금 내의 지르코늄, 바나듐, 티타늄 및 알루미늄의 합계와 관련하여 고려되고, 상기 비-증발성 게터 합금은 합금 조성의 총계에 대해 8% 미만의 원자 백분율 조성으로 1종 이상의 추가의 원소를 임의로 포함하고, 지르코늄, 바나듐, 티타늄, 알루미늄 및 상기 임의로 존재하는 추가의 원소의 합계는 100% 원자 백분율 조성에 균형을 이루는 것을 특징으로 하는, 게터 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 1종 이상의 추가의 원소가 합금 조성의 총계에 대해 0.1 내지 7%에 포함되는 원자 백분율 조성으로 철, 크로뮴, 망가니즈, 코발트 또는 니켈로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 게터 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 1종 이상의 추가의 원소가 합금 조성의 총계에 대해 0.1 내지 5%에 포함되는 원자 백분율로 존재하는 것인 게터 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 추가의 원소가 합금 조성의 총계에 대해 1% 미만의 백분율로 합금 조성에 존재하는 미량의 다른 화학 원소를 추가로 포함하는 것인 게터 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 게터 합금 분말이 금속 분말과 혼합되며, 상기 금속 분말이 바람직하게는 티타늄 및 지르코늄 또는 그의 혼합물 사이에서 선택되는 것인 게터 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 합금 분말이 500 μm 미만, 바람직하게는 300 μm 미만의 입자 크기를 갖는 것인 게터 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 합금 분말이 압축되고 소결되어 단일 몸체 게터 요소를 형성하는 것인 게터 장치.
  8. 제7항에 있어서, 게터 펌프, 게터 펌프용 카트리지, 또는 1종 이상의 펌핑 요소를 함유하는 펌프인 게터 장치.
  9. 수소 및 일산화탄소의 제거를 위한 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 게터 장치의 용도.
  10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 게터 장치를 함유하는 수소-감수성 시스템.
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