CN111621671B - 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用 - Google Patents

锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用 Download PDF

Info

Publication number
CN111621671B
CN111621671B CN202010559222.2A CN202010559222A CN111621671B CN 111621671 B CN111621671 B CN 111621671B CN 202010559222 A CN202010559222 A CN 202010559222A CN 111621671 B CN111621671 B CN 111621671B
Authority
CN
China
Prior art keywords
getter
zirconium
vanadium
iron
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010559222.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111621671A (zh
Inventor
杨兵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing Zheshitai Electronic Technology Co ltd
Original Assignee
Nanjing Zheshitai Electronic Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing Zheshitai Electronic Technology Co ltd filed Critical Nanjing Zheshitai Electronic Technology Co ltd
Priority to CN202010559222.2A priority Critical patent/CN111621671B/zh
Publication of CN111621671A publication Critical patent/CN111621671A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111621671B publication Critical patent/CN111621671B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C16/00Alloys based on zirconium
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/02Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
    • B22F1/0003
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/04Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from solid material, e.g. by crushing, grinding or milling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2220/00Aspects relating to sorbent materials
    • B01J2220/40Aspects relating to the composition of sorbent or filter aid materials
    • B01J2220/42Materials comprising a mixture of inorganic materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)

Abstract

本申请公开一种锆系非蒸散型吸气剂,所述吸气剂包括以质量百分数计的如下组分:锆60%‑80%、钒5%‑25%、铁2%‑15%、钛2%‑15%、铝2%‑10%;该吸气剂是通过将锆、钒、铁、钛、铝混合均匀后,加热至液化并保温至少30分钟,然后冷却、破碎、球磨并过筛得到200微米以下获得的;该吸气剂抗氧化性能优于传统低温激活锆钒铁吸气剂,燃烧点高于锆钒铁吸气剂,同时吸气性能优于锆钒铁吸气合金;更有利于中高温真空器件的运用,填补了500℃‑800℃激活的中温吸气剂的空白。

Description

锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用
技术领域
本申请涉及吸气剂领域,特别是一种锆系非蒸散型吸气剂。
背景技术
吸气剂是一类有效地吸着某些(种)气体分子的制剂或装置的通称,以用来获得或维持真空以及纯化气体。吸气剂多应用于电真空器件和真空科技领域,如电光源、热绝缘装置(如保温容器、真空玻璃等)、电真空器件(如收讯放大管、功率发射管、高压脉冲调制管、示波管、行波管等)、以及基础物理研究(如受控核聚变装置、正负电子对撞机等)中,以吸收制备过程残余气体和器件工作时放出的气体,起到提高和维持器件真空度、稳定器件的作用,对器件的性能及使用寿命有重要的影响。
吸气剂一般分为蒸散型与非蒸散型两种类型,非蒸散型吸气剂是指激活后可以直接吸收气体的吸气剂。锆基合金材料是目前使用最为广泛的非蒸散型吸气剂,其按激活温度可分为低温激活吸气剂和高温激活吸气剂两种类型,在500度以下可以有效激活的吸气剂为低温激活吸气剂,如锆钒铁吸气剂;在800度以上可以有效激活的吸气剂为高温激活吸气剂如锆铝吸气剂,适宜于500-800℃温度范围内的非蒸散吸气剂仍为空白(锆钒铁吸气剂在400℃会被激活,在温度600℃左右时会消耗一部分吸气性能;锆铝在600℃只有40%左右被激活,故实践中该温度范围内通常使用锆钒铁吸气剂)。非蒸散型吸气剂吸气量大,维持时间长,且所应用的器件可以返修,故目前广泛应用于真空管、真空保温杯制备中。
真空器件生产常为高温环境,现有非蒸散型吸气剂由于燃点较低,在高温环境的应用中对工艺的保证要求较高,提升了制备难度及报废率。以真空保温杯工艺为例,采用传统锆钒铁吸气剂时,保温杯经过高温排气,温度达到600度以上,在排气结束出炉、装料时,热电偶与炉壁温度存在温差,炉壁温度在300℃左右,生产线在将上一批真空保温杯烘烤排气结束取出,换新一批真空保温杯进入炉膛排气,由于此时换入的产品无真空,保温杯内吸气剂周围的氧浓度高,炉内温度不均,吸气剂在较高温度暴露在大量空气中,强烈氧化甚至造成靠近炉壁部分产品里的吸气剂燃烧,导致吸气剂失效或吸气剂部分失效,极大的影响产品的质量,产品合格率较低。此外,一些钛材真空器件或需要无铅封接的真空器件,在制作过程中封接温度较高,如500℃-700℃保持1小时以上,真空器件材料放气较大。现有一些产品在锆钒铁吸气合金中添加抗氧化材料,或减少钒锆含量,以提高抗燃烧温度,但降低了吸气材料活性,牺牲吸气性能,吸气量和吸气速率也下降。因此,研发一种激活温度范围宽、燃点高、吸气量大的非蒸散型吸气剂已成为本领域亟待解决的技术难题。
发明内容
针对上述问题,本申请提供一种锆系非蒸散型吸气剂,其燃点高,吸气量大,以延长真空器件寿命并提高真空器件制备工艺的安全性。
本申请是通过以下技术方案实现的:
一种锆系非蒸散型吸气剂,由以下原料组成:以质量百分比计,锆60%-80%、钒5%-25%、铁2%-15%、钛2%-15%、铝2%-10%;所获得的锆系非蒸散型吸气剂经球磨后粉末颗粒度不高于200微米(含200微米)。
进一步而言,上述锆系非蒸散型吸气剂中,各成分质量百分比优选:锆70-72%、钒13-18%、铁4-6%、钛4-8%、铝2-3%。
其次,本申请还提供了上述锆系非蒸散型吸气剂的制备方法,其具体步骤如下:
按质量比依次将锆、钒、铁、钛、铝元素金属混合均匀后,在真空熔炼炉熔加热至液化(约1800℃),保温至少30分钟,再将液化的合金浇入坩埚中冷却,破碎、球磨并过筛得到200微米以下的粉末,即获得所述锆系非蒸散型吸气剂。
第三,本申请该提供了该非蒸散型吸气剂在制备吸气器件中的应用;该锆系非蒸散型吸气剂可根据实际需要压制成型锭状、碎片状、带状、片状,用于多种不同产品种类的使用。
本申请提供的锆系非蒸散型吸气剂在真空中可以大量吸附氢气,同时还可以吸附氧气、氮气、一氧化碳、水蒸气等,在真空器件中广泛使用,比如传统的锆钒铁、锆铝吸气剂广泛用于气体放电灯、真空开关管、行波管、真空保温杯等器件中,起到吸附残余气体,保证系统工作寿命期间的真空度等作用。与现有非蒸散型吸附剂相比,本申请提供的吸气材料具有以下有益效果:
1、采用本发明锆钒铁钛铝元素制备的的吸气剂,激活后起始抽速和总吸气容量显著提高,防止吸气材料在真空器件制备中过早失效,从而延长真空器件工作寿命,节省成本。
2、采用本发明的吸气合金制成的吸气剂,抗氧化性能优于传统低温激活锆钒铁吸气剂,燃烧点高于锆钒铁吸气剂,同时吸气性能优于锆钒铁吸气合金;在真空器件生产过程中,遇到高温工序不易燃,降低吸气剂在生产过程燃烧失效风险,提高真空器件制备的工艺的安全性能。
3、采用本发明的吸气合金制成的吸气剂,其激活温度低于传统的高温激活锆铝吸气剂,吸气性能与锆铝吸气剂相当,更有利于中高温真空器件的运用,填补了500℃-800℃激活的中温吸气剂的空白。
附图说明
图1为实施例样品吸气剂430℃的起始抽速和吸气容量示意图;
图2为实施例样品吸气剂650℃的起始抽速和吸气容量示意图。
具体实施方式
以下结合具体实施方式对本申请进一步说明,除非特别说明,以下实施例涉及的原料均为市售购买。
以下实施例涉及的锆、钒、铁、钛、铝粉末均以颗粒状或块状混合熔炼。
合金熔炼采用真空感应熔炼炉,设备型号:TPY/ZKRL/50P;
实施例1常规锆钒铁吸气剂
具体步骤如下:
将锆、钒、铁分别按照占合金质量70%、24.6%、5.4%配比后混合均匀,在真空感应熔炼炉中加热至1800℃(真空度10-2Pa,以下实施例同),将其全部液化并保温30分钟,再浇入冷却坩埚中。冷却后取出,破碎、球磨并过筛得到200微米以下的粉末,压制成型(压力:10T)重量约270mg的柱状样品CK。
本实施例中原料配比参见《吸气剂》(江苏科学技术出版社,1983)P126表28所公开的内容。
实施例2锆系非蒸散型吸气剂制备
将锆钒铁钛铝依次按占合金质量百分比72%、18%、4%、4%、2%配比后混合均匀,在真空感应熔炼炉中加热至1800℃,将其全部液化并保温60分钟,之后浇入冷却坩埚中。冷却后取出并破碎球磨并过筛得到200微米以下粉末,并压制成型(压力:10T)重量约270mg的柱状样品I。
实施例3锆系非蒸散型吸气剂制备
将锆钒铁钛铝依次按占合金质量百分比70%、13%、6%、8%、3%配比后混合均匀,在真空感应熔炼炉中加热至1800℃,将其全部液化并保温60分钟,之后浇入冷却坩埚中。冷却后取出,破碎、球磨并过筛得到200微米以下粉末,压制成型(压力:10T)重量约270mg的样品II。
实施例4常规高温吸气剂锆铝吸气剂
将锆、铝按占合金质量百分比84%、16%配比后混合均匀,在真空感应熔炼炉中加热至1800℃,将其全部液化并保温60分钟,再浇入冷却坩埚中。冷却后取出,破碎、球磨并过筛得到200微米以下粉末,压制成型(压力:10T)重量约270mg的柱状样品Ⅲ。
各实施例获得的样品性能检测如下:
1、吸气量检测
将实施例1-3获得的样品CK、样品I、样品II、分别按照国标《GBT25497-2010吸气剂气体吸放性能测试方法》中记载的方法进行吸气性能测试,测试的吸气曲线如图1所示。
图1中样品激活温度:500℃,10分钟;测试气体:氢气;测试设备:吸气剂定压法吸气性能测试台;图1可见,样品I和样品II,起始抽速及吸气量是样品CK的1.3~1.4倍;吸气性能明显提高;。
2、激活温度/吸气检测
将实施例2-4获得的样品I、样品II、样品Ⅲ分别按照国标《GBT25497-2010吸气剂气体吸放性能测试方法》中记载的方法进行吸气性能测试,测试的吸气曲线如图2所示。
图2中激活温度:650℃,10分钟,测试气体:氢气;测试设备:吸气剂定压法吸气性能测试台;由图2可见,样品I和样品II较样品Ⅲ,在650度10分钟相同的激活条件下,样品I和样品II吸气性能明显优于样品Ⅲ;
3、燃烧温度检测1
将实施例1-3获得的样品CK、样品I、样品II分别放入烘箱,开始升温至200℃,并测试燃烧起始温度,每个实施例取样3次,其结果如表1所示:
表1吸气剂在烘箱中燃烧温度
Figure BDA0002545473400000041
Figure BDA0002545473400000051
4、燃烧温度检测2
将实施例1-3获得的样品CK、样品I、样品II分别放入烘箱,开始升温至270℃,并测试燃烧起始温度,每个实施例取样3次,其结果如表2所示:
表2吸气剂在烘箱中燃烧温度
样品 1 2 3
实施例1 370秒燃烧 300秒燃烧 350秒燃烧
实施例2 600秒未燃烧 600秒未燃烧 600秒未燃烧
实施例3 600秒未燃烧 600秒未燃烧 600秒未燃烧
5、低温激活检测
表3
样品 起始抽速(ml/s) 吸气量(mltorr)
实施例1 720 30
实施例2 930 40
实施例3 990 44
由表3可见,在低温(430℃)激活时,新合金吸气剂(样品I、样品II)性能优于常规低温吸气剂锆钒铁吸气剂(样品CK),起始抽速是实施例1锆钒铁非蒸散型吸气剂(样品CK)的1.3~1.4倍;吸气总量是实施例1常规锆钒铁吸气剂的1.3~1.5倍;可见,新合金吸气剂(样品I、样品II)抗氧化性比常规锆钒铁产品提高了70℃,抗氧化效果明显提升。
6、中温激活实验
表4
Figure BDA0002545473400000052
Figure BDA0002545473400000061
由表4可见,在中温(650℃,10分钟)激活时,吸气剂性能实施例2实施例3(样品I、样品II)优于实施例4常规高温吸气剂锆铝吸气剂(样品III),其起始抽速是锆铝吸气剂的1.4~1.5倍;吸气量是常规锆铝吸气剂的1.6~1.8倍。

Claims (3)

1.一种锆系非蒸散型吸气剂,其特征在于,所述吸气剂由如下组分组成:以质量百分比计:锆 70-72%、钒 13-18%、铁 4-6%、钛4-8%、铝 2-3%。
2.如权利要求1所述非蒸散型吸气剂的制备方法,其特征在于,步骤如下:
按质量比依次将锆、钒、铁、钛、铝混合均匀后,加热至液化并保温至少30分钟,然后冷却、破碎、球磨并过筛,所得到 200微米以下的粉末即为所述锆系非蒸散型吸气剂。
3.如权利要求1所述非蒸散型吸气剂在制备吸气器件中的应用。
CN202010559222.2A 2020-06-18 2020-06-18 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用 Active CN111621671B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010559222.2A CN111621671B (zh) 2020-06-18 2020-06-18 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010559222.2A CN111621671B (zh) 2020-06-18 2020-06-18 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111621671A CN111621671A (zh) 2020-09-04
CN111621671B true CN111621671B (zh) 2022-03-15

Family

ID=72258486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010559222.2A Active CN111621671B (zh) 2020-06-18 2020-06-18 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111621671B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113699425B (zh) * 2021-08-31 2022-07-15 中国科学技术大学 非蒸散型四元Ti-Zr-V-Cu真空吸气剂薄膜及其制备方法
CN116000310A (zh) * 2023-01-18 2023-04-25 上海交通大学包头材料研究院 基于3d打印的锆钒铁吸气剂的制备方法及锆钒铁吸气剂

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2750617B2 (ja) * 1989-08-08 1998-05-13 株式会社日本製鋼所 水素吸蔵合金
US5532076A (en) * 1993-04-20 1996-07-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Hydrogen storage alloy and electrode therefrom
IT1317951B1 (it) * 2000-05-30 2003-07-21 Getters Spa Leghe getter non evaporabili
CN1796579A (zh) * 2004-12-21 2006-07-05 成都思摩纳米技术有限公司 一种制备锆-钒-铁吸气剂的新工艺
BRPI0716836A2 (pt) * 2006-09-15 2013-11-05 Getters Spa Sistemas de absorvedor de metal
ITMI20131921A1 (it) * 2013-11-20 2015-05-21 Getters Spa Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e monossido di carbonio
CN108149069A (zh) * 2016-12-02 2018-06-12 北京有色金属研究总院 一种吸气合金材料及其应用
CN106835024B (zh) * 2017-01-06 2019-07-12 苏州晶鼎鑫光电科技有限公司 一种制备非蒸散型薄膜吸气剂的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111621671A (zh) 2020-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111621671B (zh) 锆系非蒸散型吸气剂及其制备方法与应用
US4312669A (en) Non-evaporable ternary gettering alloy and method of use for the sorption of water, water vapor and other gases
EP0869195B1 (en) Non-evaporable getter alloys
CN110317974B (zh) 一种钇-镍稀土系储氢合金
JP4044563B2 (ja) より高温で反応性ガスにさらした後、低温で再活性化することのできる非蒸発性ゲッター組成物
US11685968B2 (en) Nano dispersion copper alloy with high air-tightness and low free oxygen content and brief manufacturing process thereof
CN112095035A (zh) 一种非蒸散型低温激活高温吸气合金及其制备方法
CN100417738C (zh) 耐高温、抗电弧侵蚀复合稀土钼合金及其制备方法
CN112694257A (zh) 防爆锂原电池盖组及封接玻璃的制备方法和封接工艺
CN101538127A (zh) 一种金属钛与玻璃极柱的封接方法
WO2007148362A9 (en) Non-evaporable getter alloys based on yttrium for hydrogen sorption
CN108417785B (zh) 氟氮掺杂石墨烯包覆钛酸锂复合材料及其制备方法
CN109225119A (zh) 一种锆类非蒸散型吸气剂的制备方法
CN104745865B (zh) 一种非蒸散型低温激活钛基吸气剂合金及其制备方法
CN103545159B (zh) 一种在灯管内固定汞齐的方法
CN112573832A (zh) 一种热电池用铝及铝合金与无氧铜封接玻璃粉及其制备方法和应用
CN114293086B (zh) 一种储氢高熵合金及其制备方法
US11462395B1 (en) Method for on-orbit calibration of basic parameters of mass spectrometer
CN100351413C (zh) 一种高容量稀土镁基贮氢合金制备方法
CN114873913B (zh) 钛合金与可伐合金封接用玻璃焊料、其制备方法及其应用
CN112301264A (zh) 一种非蒸散型低温激活吸气合金及其制备方法
CN112410614A (zh) 一种非蒸散型低温激活锆基吸气合金及其制备方法
CN102031434A (zh) 一种镁基储氢合金材料及其制备方法
CN113493309A (zh) 钛或钛合金-可伐合金封接用焊料、其制备方法及其应用
CN115786768B (zh) 一种超低温真空杜瓦结构的气体吸附材料及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant