ITMI20111870A1 - Composizioni di getter non evaporabili che possono essere riattivate a bassa temperatura dopo l'esposizione a gas reattivi ad una temperatura maggiore - Google Patents
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Description
"COMPOSIZIONI GETTER NON EVAPORABILI CHE POSSONO
ESSERE RIATTIVATE A BASSA TEMPERATURA DOPO ESPOSIZIONE A GAS REATTIVI A TEMPERATURA PIU’ ELEVATA"
La presente invenzione riguarda composizioni contenenti leghe getter nonevaporabili che, dopo aver perso la loro funzionalità a causa di una esposizione a gas reattivi ad una prima temperatura, possono poi essere riattivati con un trattamento termico ad una seconda temperatura, più bassa della prima.
Le leghe getter non-evaporabili, anche conosciute come leghe NEG, possono assorbire reversibilmente idrogeno e irreversibilmente gas come ossigeno, acqua, ossido di carbonio, idrocarburi e, in alcuni casi, azoto.
Queste leghe sono impiegate in un numero di applicazioni industriali che richiedono il mantenimento del vuoto in sistemi sigillati: esempi di queste applicazioni sono gli acceleratori di particelle, i tubi per la generazione di raggi X, schermi con tubi a raggi catodici o CRTs, gli schermi piatti del tipo a generazione di campo (chiamati FEDs), le camere evacuate per l’isolamento termico come quelle usate nelle bottiglie termiche (thermos), le bottiglie Dewar ed i tubi per l’estrazione ed il trasporto di petrolio, i bulbi evacuati per le lampade a scarica ad alta intensità e i vetri isolati con il vuoto.
Le leghe NEG possono anche essere impiegate per rimuovere i gas sopra menzionati quando presenti in tracce in altri gas, generalmente gas nobili o azoto. Un esempio à ̈ l’uso in lampade riempite con gas, in particolare lampade fluorescenti che sono riempite con gas nobili a pressioni variabili tra pochi hectoPascal (hPa) ed alcune decine di hectoPascal, dove la lega NEG ha la funzione di rimuovere tracce di ossigeno, vapor d’acqua, idrogeno e altri gas così da garantire un livello di pulizia dell’atmosfera gassosa sufficiente per il corretto funzionamento della lampada. Altri esempi sono negli schermi al plasma, dove la funzione del NEG à ̈ sostanzialmente simile a quella delle lampade fluorescenti, e nell’utilizzo di una nega NEG per rimuovere tracce di impurezze gassose per la purificazione di gas, come gas nobili e azoto, impiegati nel campo dei semiconduttori.
Queste leghe generalmente hanno zirconio e/o titanio come componenti principali e comprendono uno o più elementi addizionali compresi tra i metalli di transizione, le terre rare o l’alluminio.
Il principio di funzionamento di leghe NEG à ̈ la reazione tra gli atomi metallici sulla la superficie della lega e il gas assorbito, per cui uno strato di ossidi, nitruri o carburi dei metalli si forma sulla superficie, e quando la copertura della superficie à ̈ completa la lega non à ̈ più attiva per ulteriori assorbimenti. La sua funzione può essere ripristinata attraverso un trattamento di riattivazione, ad una temperatura che à ̈ almeno la stessa e preferibilmente superiore alla temperatura di esercizio, eseguito per un tempo sufficientemente lungo per avere una diffusione dello strato assorbito dentro il bulk (volume) della lega e per creare di nuovo una superficie pulita e attiva.
La temperatura di attivazione di una lega getter à ̈ definita come la temperatura minima necessaria per la lega per ottenere una superficie almeno parzialmente attiva e avviare l'assorbimento dei gas attivi entro alcune decine di secondi.
Le leghe NEG possono essere classificate in due principali sottogruppi: leghe NEG che richiedono una temperatura di attivazione superiore a 450 °C sono di solito chiamate "leghe ad alta temperatura di attivazione" o semplicemente "leghe getter ad alta temperatura", mentre leghe NEG che richiedono una temperatura di attivazione inferiore a 450 °C sono chiamate "leghe a bassa temperatura di attivazione" o semplicemente "leghe getter a bassa temperatura". A seguito della definizione di "Temperatura di attivazione", le leghe getter a bassa temperatura possono essere attivate anche attraverso l'utilizzo di temperature superiori a 450°C; in queste condizioni esse possono essere attivate in un tempo molto breve rispetto al tempo necessario per le leghe getter ad alta temperatura. Per esempio, a secondo della alta temperatura applicata, esse possono essere attivate in un tempo che à ̈ tra 3 e 30 volte più corto di quello per le leghe getter ad alta temperatura.
Come esempi di leghe getter ad alta temperatura, il brevetto americano no.
3.203.901 descrive leghe Zr-Al ed il brevetto americano no.4.071.335 descrive le leghe Zr-Ni.
D'altra parte, come esempi di leghe getter a bassa temperatura, possono essere citati i seguenti documenti:
- il brevetto US no.4.312.669 illustra leghe Zr-V-Fe;
- il brevetto US no. 4.668.424 presenta leghe zirconio-nichel-mischmetal con l'aggiunta opzionale di uno o più metalli di transizione;
- il brevetto US no. 4.839.085 parla di leghe Zr-V-E, dove E Ã ̈ un elemento selezionato tra ferro, nichel, manganese e alluminio o una loro miscela;
- il brevetto US no. 5.180.568 riguarda composti intermetallici Zr-M'-M ", dove M 'e M "sono identici o diverse fra loro e vengono selezionati tra Cr, Mn, Fe, Co e Ni;
- il brevetto US no. 5.961.750 descrive leghe Zr-Co-A leghe, in cui A Ã ̈ un elemento selezionati tra ittrio, lantanio, terre rare o una loro miscela;
- il brevetto US no. 6.521.014 propone leghe zirconio-vanadio-ferro manganesemischmetal; e
- il brevetto US no. 7.727.308 illustra composizioni Zr-Y-M in cui M viene selezionato tra Al, Fe, Cr, Mn, V.
Le leghe NEG sono usate da sole o in miscela con un secondo componente, generalmente un metallo, in grado di garantire particolari caratteristiche ad un corpo formato con la lega, come ad esempio una maggiore resistenza meccanica. Le miscele più comunemente usate con i metalli sono composizioni che comprendono leghe Zr-V-Fe o Zr-Al e zirconio o titanio come descritte rispettivamente nei brevetti GB 2.077.487 e US 3.926.832, mentre il brevetto americano no. 5.976.723 descrive composizioni contenenti alluminio e una lega NEG di formula Zr1-x-Tix-M '-M ", dove M' e M" sono metalli selezionati tra Cr, Mn, Fe, Co e Ni, e x à ̈ compreso tra 0 e 1.
Un problema importante, che si verifica in alcuni casi, à ̈ che non à ̈ possibile trattare una lega per la sua attivazione o riattivazione ad una temperatura superiore a quella a cui à ̈ stata esposta precedentemente in presenza di gas durante la fabbricazione dei dispositivi. E’ in particolare il caso di leghe che vengono utilizzate in dispositivi in cui il volume da tenere sotto vuoto o in atmosfera controllata à ̈ definito da pareti in vetro. La produzione di questi dispositivi in genere richiede che la lega getter sia inserita nella sua posizione finale, quando il dispositivo à ̈ ancora aperto e il suo volume interno à ̈ esposto all'atmosfera; successivamente, il dispositivo à ̈ sigillato attraverso un cosiddetto processo di "frit-sealing", in cui fra le due porzioni di vetro da saldare à ̈ posta una pasta vetrosa a basso punto di fusione che, portata a circa 400-420 ° C, fonde, unendo così le due porzioni di vetro.
Il vuoto o l’atmosfera controllata possono essere ottenute nel volume interno del dispositivo prima della sigillatura (nei cosiddetti processi "in camera", in cui le fasi di montaggio del dispositivo sono eseguite in una camera sotto vuoto o atmosfera controllata) o, più comunemente, dopo il frit-sealing per mezzo di una "coda", cioà ̈ una piccola tubulazione di vetro che entra nel volume ed à ̈ adatta per la connessione ad un sistema di pompaggio.
Nel caso di dispositivi contenenti atmosfera controllata, come i display al plasma e alcune lampade, la codetta à ̈ utilizzata anche per il riempimento con il gas desiderato dopo la rimozione dell'aria e infine il dispositivo à ̈ sigillato con la chiusura della codetta, di solito grazie compressione a caldo.
In ogni caso, durante il frit-sealing, la lega NEG à ̈ esposta a un’atmosfera di gas reattivi che sono i gas rilasciati dalla pasta vitrea a basso punto di fusione nel caso dei processi "in camera†, e questi stessi gas in aggiunta ai gas atmosferici nel caso di processi con "codetta". Il contatto tra la lega e i gas reattivi avviene ad una temperatura che dipende dal processo: il dispositivo può essere portato alla temperatura di fritsealing in modo omogeneo all'interno di un forno, nel qual caso la lega NEG sarà esposta ai gas reattivi ad una temperatura di circa 400-420°C; in alternativa, à ̈ possibile utilizzare un riscaldamento localizzato, e.g. per irraggiamento, nel qual caso la temperatura del getter durante l’operazione dipende dalla sua distanza dalla zona di sigillatura.
Ad ogni modo, durante queste operazioni la superficie della lega NEG reagisce con più o meno intensità con i gas che sono presenti, con una conseguente disattivazione almeno parziale della lega, tale che la velocità di assorbimento e la capacità residua possono risultare insufficienti per il funzionamento previsto nel dispositivo. Quindi sarebbe richiesto un trattamento di riattivazione ad una temperatura almeno pari, o preferibilmente superiore, a quella del frit-sealing, trattamento che à ̈ però generalmente non applicabile, sia per prevenire una nuova fusione della pasta vetrosa di sigillatura, che metterebbe in pericolo la tenuta di saldatura sia per evitare danni alla stabilità meccanica delle parti che formano le pareti vetrose del dispositivo contenente il getter.
In altri casi, come nella maggior parte delle produzioni di lampade a scarica, la lega getter à ̈ inserita nella sua posizione finale quando il dispositivo à ̈ ancora in aria e le parti in vetro sono sigillate per mezzo di fusione del vetro (la cosiddetta sigillatura del vetro); in seguito, il dispositivo à ̈ evacuato per mezzo di una piccola tubulazione di vetro presente nella struttura, dopo la sua connessione ad un sistema di pompaggio. Durante il processo di sigillatura del vetro la lega getter può raggiungere temperature nell’intervallo di 400-450 ° C in presenza di aria e di altri gas reattivi con conseguente passivazione e disattivazione della lega.
Il brevetto europeo pubblicato come EP 1537250 descrive composizioni getter che possono essere riattivate attraverso un trattamento ad una temperatura inferiore a quella di una precedente esposizione a gas reattivi.
Queste composizioni sono costituite da una miscela di polveri di un primo componente che à ̈ titanio o da una miscela di titanio e almeno uno tra nichel e cobalto, con un secondo componente che à ̈ una lega getter non-evaporabile che comprende zirconio, vanadio, ferro e almeno un ulteriore componente scelto tra manganese e uno o più elementi scelti tra ittrio, lantanio e terre rare. Anche se quelle composizioni sono state trovate essere in grado di riattivazione completa, in termini di proprietà di assorbimento di monossido di carbonio, esse hanno mostrato una limitata possibilità di essere riattivato ad assorbire altri gas, per esempio l'idrogeno.
E' oggetto della presente invenzione fornire composizioni contenenti una lega getter non-evaporabile che, dopo aver perso la sua funzionalità a causa di una esposizione a gas reattivi ad una prima temperatura, può essere riattivata attraverso un trattamento termico ad una seconda temperatura che à ̈ più bassa della prima e senza i limiti delle proprietà di assorbimento che caratterizzano le composizioni descritte nell’arte nota.
Questo oggetto à ̈ realizzato secondo la presente invenzione attraverso composizioni getter che contengono una miscela di polveri di due diversi componenti, essendo detti componenti composti da leghe getter non evaporabili, caratterizzata dal fatto che il primo dei due detti componenti à ̈ costituito da una lega getter nonevaporabile avente una alta temperatura di attivazione, il secondo componente consiste in una lega getter non-evaporabile avente una bassa temperatura di attivazione ed il rapporto in peso tra il primo ed il secondo componente à ̈ superiore a 1:4 e inferiore a Gli inventori hanno scoperto che le composizioni dell’invenzione, contrariamente alle leghe NEG da sole e alle composizioni note di una lega NEG con uno o più metalli, possono essere esposte a gas reattivi (come i gas atmosferici) a temperature relativamente alte, per esempio circa 400-450 ° C, come richiesto per la sigillatura con pasta vetrosa di parti di vetro o per la sigillatura diretta del vetro a caldo, e quindi possono essere completamente riattivate, recuperando buone proprietà di assorbimento per i gas attivi, mediante un trattamento termico a temperature più basse, tali da non mettere in pericolo la tenuta della saldatura vetrosa o la resistenza meccanica delle parti di vetro che sono vicine alla composizione. Le composizioni dell'invenzione hanno una interazione limitata con i gas attivi presenti durante il processo di sigillatura e dunque mantengono una maggiore capacità residua di assorbire i gas.
L'invenzione sarà descritta nel seguito con riferimento alla figura 1, nella quale le curve di assorbimento di H2a 400 °C di alcune composizioni dell'invenzione sono confrontate con quelle delle composizioni della tecnica nota quando riattivate dopo esposizione a gas reattivi.
Le leghe NEG utilizzate nelle composizioni come leghe getter non-evaporabili ad alta temperatura di attivazione possono essere, ad esempio, leghe a base di zirconio o a base di titanio, con particolare riferimento alle leghe binarie di zirconio come Zr-Ni e Zr-Al o leghe ternarie di zirconio come Zr-Ni-X e Zr-Al-X, in cui il contenuto del terzo elemento metallico X à ̈ inferiore al 10% rispetto al peso totale della miscela di lega getter. Al fine di ottenere composizioni secondo la presente invenzione, la lega NEG ad alta temperatura di attivazione à ̈ caratterizzata da una temperatura di attivazione superiore a 450 °C e dall’essere generalmente impiegata in forma di polvere con particelle di dimensioni inferiori a 220 micron e preferibilmente inferiore a 130 micron.
Le leghe NEG utilizzate nelle composizioni come leghe getter non-evaporabili a bassa temperatura di attivazione possono essere, ad esempio, leghe a base di zirconio con particolare riferimento a leghe Zr-Co-A (dove A à ̈ un elemento selezionato tra ittrio, lantanio, terre rare o una loro miscela), leghe Zr-Fe-Y, leghe Zr-V-Fe e leghe Zr-V-Fe-Mn-MischMetal. Al fine di ottenere composizioni della presente invenzione, la lalega NEG a bassa temperatura di attivazione si caratterizza per avere una temperatura di attivazione inferiore a 450 ° C e dall’essere generalmente impiegata in forma di una polvere con particelle di dimensioni inferiori a 250 micron e preferibilmente inferiore a 150 micron.
Secondo la presente invenzione, il rapporto di peso tra la lega NEG ad alta temperatura e la lega NEG a bassa temperatura à ̈ compreso tra circa 1:4 e 7:3, preferibilmente tra circa 3:7 e 3:2, ancor più preferibilmente in un rapporto di circa 2:3.
Le composizioni dell'invenzione hanno dimostrato buone proprietà di assorbimento di H2dopo riattivazione a seguito dell’esposizione a gas reattivi. Come risultato secondario inaspettato che può essere aggiunto alle proprietà di rimozione dell'idrogeno, in aggiunta tali composizioni hanno mostrato alta capacità di assorbimento e velocità di assorbimento per altri gas (ad esempio metano o gas contenenti ossigeno). Le composizioni possono essere usate per produrre dispositivi getter di varie forme, avendo un supporto o meno.
Un possibile modo di utilizzare le composizioni della presente invenzione à ̈ quello di formare dispositivi o elementi getter in forma di pillole ottenute per compressione, versando la miscela di polveri in uno stampo adatto e comprimendo la stessa con un punzone idoneo, con valori di pressione applicata generalmente superiori a 3000 Kg / cm ².
La compressione può essere seguita da una fase di sinterizzazione, in cui il compresso subisce un trattamento termico a temperature comprese tra circa 700 e 1000 °C sotto vuoto o atmosfera inerte. Mentre i dispositivi getter hanno generalmente la forma di una pillola nel caso di sola compressione, quando avviene anche la sinterizzazione, che aumenta la resistenza meccanica del corpo finito, possono essere ottenute anche altre forme, come ad esempio compresse relativamente sottili.
Come alternativa interessante, il dispositivo getter comprende polveri delle composizioni secondo l'invenzione supportate da un substrato meccanicamente adatto, generalmente di metallo. Il substrato può essere una striscia o un foglio metallici, nel qual caso le polveri della composizione possono essere depositate tramite laminazione a freddo o serigrafia seguita da sinterizzazione; laminazione a freddo à ̈ una tecnica ben nota nel campo della metallurgia delle polveri, mentre la produzione di depositi di materiale getter per serigrafia à ̈ illustrata nel brevetto US 5.882.727. Il substrato può essere anche un contenitore di varie forme, a condizione che ci sia almeno una parte aperta attraverso la quale la composizione dell'invenzione può venire in contatto con il volume da cui le impurità gassose devono essere rimosse, come ad esempio una corta struttura cilindrica in cui viene versata la miscela di polveri ed in cui, successivamente, detta miscela à ̈ compressa con un punzone adatto. Nel caso in cui la composizione dell'invenzione à ̈ introdotta in un contenitore, generalmente non à ̈ necessaria la sinterizzazione. Una struttura alternativa à ̈ una struttura filiforme creata piegando un substrato metallico lungo e stretto al fine di avvolgere e racchiudere le polveri dell'invenzione con l'eccezione di una fessura longitudinale per favorire l'assorbimento del gas.
In un secondo aspetto, la presente invenzione riguarda un sistema sensibile con un dispositivo getter ottenuto utilizzando una composizione getter contenente una miscela di polveri di due diversi componenti, essendo tali componenti composti da leghe getter non evaporabili, caratterizzati dal fatto che il primo dei due componenti à ̈ costituito da una lega getter non-evaporabile con alta temperatura di attivazione, il secondo componente à ̈ costituito da una lega getter non-evaporabile a bassa temperatura di attivazione e il rapporto in peso fra il primo ed il secondo componente à ̈ superiore a 1:4 e inferiore a 7:3. Esempi di sistemi sensibili che possono essere migliorati con la presente invenzione sono, in una lista non limitante, acceleratori di particelle, tubi a raggi X, schermi formati da tubi a raggi catodici o CRT, schermi piatti ad emissione di campo (chiamati FEDs), camicie evacuate per l'isolamento termico, come quelle usate nelle bottiglie termiche (thermos), bottiglie Dewar e tubi per l'estrazione e trasporto di petrolio, le camicie evacuate delle lampade a scarica ad alta intensità e dei vetri isolati sotto vuoto o delle lampade riempite di gas.
L'invenzione sarà ulteriormente illustrata dai seguenti esempi. Questi esempi, non limitanti, mostrano alcune realizzazioni progettate per mostrare agli esperti come mettere in pratica l'invenzione e per rappresentare il modo migliore di applicazione dell’invenzione stessa.
ESEMPIO 1
Un campione in base ad una composizione dell'invenzione à ̈ stato preparato mescolando una polvere della lega ad alta temperatura di attivazione Zr 86%-Al 14% in peso, con una polvere di una lega a bassa temperatura di attivazione Zr 70%- Fe 15%-Y 15% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era compresa tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. In seguito 120 mg di miscela sono stati compressi con una pressione di circa 4000 Kg/cm2 in un idoneo contenitore ad anello ed il campione à ̈ stato riscaldato in aria a 420 °C per circa 1 minuto. Infine à ̈ stato effettuato sul campione un test di assorbimento di H2a 400 ° C, in condizioni statiche, dosando idrogeno con una pressione iniziale di 0,133 hPa nella camera del getter avente un volume di circa 5000 cm3 (indicato anche come "centimetri cubi" o "cc"), dopo attivazione a 400 ° C per 1 minuto.
ESEMPIO 2
Un campione, in base ad una composizione dell'invenzione, à ̈ stato preparato mescolando una polvere di lega ad alta temperatura di attivazione Zr76% - Ni24% in peso con una polvere di lega a bassa temperatura di attivazione Zr 70%-Fe 15% -Y15% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era compresa tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. Poi un campione à ̈ stato preparato e testato secondo la modalità dell’esempio 1.
ESEMPIO 3
Un campione, in base ad una composizione dell'invenzione, à ̈ stato preparato mescolando una polvere di lega ad alta temperatura di attivazione Zr 79,2% - Ni 21,8% in peso con una polvere di una lega a bassa temperatura di attivazione Zr70% -Fe15% -Y15% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era compresa tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. Il campione à ̈ stato preparato e testato secondo la modalità dell’esempio 1.
ESEMPIO 4
Un campione, in base ad una composizione dell'invenzione, à ̈ stato preparato mescolando una polvere della lega ad alta temperatura di attivazione Zr86%-Al14% in peso con una polvere di lega a bassa temperatura di attivazione Zr70%-V 24,6%Fe5,4% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era compresa tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. Poi un campione à ̈ stato preparato e testato secondo la modalità dell’esempio 1.
ESEMPIO 5
Un campione, in base ad una composizione dell'invenzione, à ̈ stato preparato mescolando una polvere della lega ad alta temperatura di attivazione Zr 76% - Ni 24% in peso con una polvere di lega a bassa temperatura di attivazione Zr 80,8% - Co 14,2% - Terre Rare 5,0% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era compresa tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. Poi un campione à ̈ stato preparato e testato secondo la modalità dell’esempio 1.
ESEMPIO 6 (comparativa)
Un campione, à ̈ stato preparato mescolando una polvere di Ti elementare con una polvere di lega a bassa temperatura di attivazione Zr70%-V 24,6% -Fe 5,4% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era composto tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. Poi un campione à ̈ stato preparato e testato secondo la modalità dell’esempio 1.
ESEMPIO 7 (comparativa)
Un campione, à ̈ stato preparato mescolando una polvere di Ti elementare con una polvere di lega a bassa temperatura di attivazione Zr70%-V 15% - Fe 3,3% - Mn 8,7% -MM 3% in peso in un rapporto 2:3; la granulometria delle polveri era compresa tra 0 e 125 micron per entrambe le leghe. Poi un campione à ̈ stato preparato e testato secondo la modalità dell’ esempio 1.
Le curve di assorbimento (mostrate in figura 1) sono state ottenute per i diversi campioni di getter dopo passivazione dei materiali a 420 ° C per un breve periodo al fine di simulare le condizioni di sigillatura del vetro: Ã ̈ evidente che i campioni delle composizioni secondo l'invenzione sono molto meglio dei campioni comparativi in termini di rimozione di idrogeno dalla camera di prova.
Claims (8)
- RIVENDICAZIONI 1. Una composizione getter contenente una miscela di polveri di due diversi componenti, essendo detti componenti composti da leghe getter non-evaporabili, caratterizzata dal fatto che il primo dei due componenti à ̈ costituito da almeno una lega getter non- evaporabile con alta temperatura di attivazione, il secondo di detti componenti à ̈ costituito da almeno una lega getter non-evaporabile con bassa temperatura di attivazione e il rapporto in peso tra il primo e il secondo componente à ̈ superiore a 1:4 e inferiore a 7:3.
- 2. Una composizione getter secondo la rivendicazione 1, in cui il rapporto in peso tra la lega getter non-evaporabile con alta temperatura di attivazione e la lega getter non-evaporabile con bassa temperatura di attivazione à ̈ superiore a 3:7 e minore di 3:2, preferibilmente circa 2:3.
- 3. Una composizione getter secondo la rivendicazione 1 o 2, in cui la lega getter non-evaporabile con alta temperatura di attivazione à ̈ selezionata tra leghe binarie e ternarie basate su zirconio o su titanio o loro miscele.
- 4. Una composizione getter secondo la rivendicazione 3, in cui le leghe basate su zirconio o titanio sono selezionate tra leghe Zr-Al, Zr-Ni, Zr-Al-X o Zr-Ni-X o miscele delle stesse.
- 5. Una composizione getter secondo la rivendicazione 1 o 2, in cui la lega getter non-evaporabile con bassa temperatura di attivazione à ̈ costituita da leghe a base di Zr selezionate tra leghe Zr-Fe-Y, leghe Zr-V-Fe, leghe Zr-V-Fe-Mn-MischMetal e leghe Zr-Co-A dove A à ̈ un elemento scelto tra ittrio, lantanio, Terre Rare o loro miscele.
- 6. Una composizione getter secondo la rivendicazione 1 o 2, in cui la lega ad alta temperatura di attivazione e la lega a bassa temperatura di attivazione sono utilizzate in forma di polveri con granulometria minore rispettivamente di 220 micron e 250 micron.
- 7. Un dispositivo getter contenente una composizione in base ad una qualsiasi delle precedenti rivendicazioni.
- 8. Un sistema sensibile contenente un dispositivo getter secondo la rivendicazione 7.
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