TWI744226B - 附靜壓密封之馬達 - Google Patents

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TWI744226B TW105106328A TW105106328A TWI744226B TW I744226 B TWI744226 B TW I744226B TW 105106328 A TW105106328 A TW 105106328A TW 105106328 A TW105106328 A TW 105106328A TW I744226 B TWI744226 B TW I744226B
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Abstract

在附靜壓密封之馬達(1)中，藉由配置在前後突出的馬達旋轉軸(12)的第1、第2軸端部(12a、12c)之第1、第2靜壓密封部(30、40)，密封前後的間隙。供給到第1、第2靜壓密封部(30、40)的密封間隙(32、42)的密封氣體，係分歧到藥液氛圍(5a、5b)與馬達室(18)或者是編碼器室(21)而流動。藉由密封氣體的分歧流，可以防止塵埃從馬達室(18)、編碼器室(21)侵入到藥液氛圍(5a、5b)，可以防止含有藥液的氣體從藥液氛圍(5a、5b)侵入到馬達室(18)、編碼器室(21)。

Description

附靜壓密封之馬達
本發明係有關，例如，作為在半導體製造製程中所使用之晶圓的洗淨裝置、藥液塗布裝置、晶圓搬運裝置等的驅動源等，所使用的附靜壓密封之馬達。
作為使用在晶圓的洗淨等的驅動機構，專利文獻1所記載的構成是廣為人知的。在此所揭示的驅動機構中，容器內在配置成垂直的馬達中空軸的末端安裝旋轉床臺，使旋轉床臺旋轉，從相對於載置在其之上的晶圓而被配置在上側的供給噴嘴噴出洗淨液。為了確保中空軸的外周圍側及內周圍側之雙方的密封性，在中空軸的外周圍側及內周圍側配置曲徑填封。
具備這樣的密封部之驅動機構，係為了確保密封性具有指定的軸長是有必要的緣故，可惜馬達中空軸的軸方向的長度變長。從馬達中空軸的軸承位置到密封位置為止的距離變長的話，軸振動等會變大的緣故，為了避免密封性下降，不得不把密封大型化。
在專利文獻2，提案有作為密封部，使用靜壓密封之旋轉型電動機。在該旋轉型電動機中，在支撐馬達旋轉軸之兩側的馬達軸承的兩側形成密閉空間，密閉空間係藉由靜壓密封而被密封。靜壓密封，係被形成在與馬達旋轉軸的兩側的軸端部的外周圍面對峙之馬達殼件的兩側的部位。於各靜壓密封，透過形成在馬達殼件之供氣流路，從外部供給密封氣體。
被供給到各靜壓密封的密封氣體的一部分係被導入到密閉空間內，密閉空間內的內壓比起在馬達軸承的間所形成的馬達室內的內壓還高。在馬達殼件形成排氣口，從兩側的密閉空間通過兩側的馬達軸承流入到馬達室內的密封氣體，係從馬達室直接透過排氣口被排出到外部。經此，防止磨耗粉、膏狀物等從旋轉型電動機的內部兩端的馬達軸承漏出到外部而污染周圍環境。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平11-265868號專利公報
[專利文獻2]日本專利第4314625號專利公報
經由使用靜壓密封，可以緊緻地構成馬達的旋轉部與固定部之間的密封部的緣故，對馬達的扁平化有 利。但是，在專利文獻2記載的旋轉型電動機中，於馬達殼件的構成零件，在靜壓密封用的周圍溝及該周圍溝形成有用以供給密封氣體之供氣流路。而且，於兩側的馬達軸承之各個的外側，藉由從靜壓密封所漏出的密封氣體，形成用以使其內壓比馬達室的內壓還高的密閉空間。如此，於馬達殼件本身，形成靜壓密封、供氣流路，在馬達軸承的兩側附設密閉空間的緣故，招致構造複雜化、大型化，對於馬達的小型化方面是不佳的。
而且，做成在馬達殼件設有排氣口，而從馬達室內把氣體排出到外部。於馬達殼件的內周圍部，組裝有馬達定子的構成零件，一般，確保設置排氣口的空間方面，有困難的情況較多。為此，為了設置排氣口，馬達的軸長變長的情況較多，在馬達的小型化方面為不利。
更進一步，通過支撐馬達旋轉軸之兩側的馬達軸承的內部，密封氣體流入到馬達室內。為此，是有在馬達軸承的內部中所發生的磨耗粉等的異物擴散到馬達內部的各部分而附著之虞。
本發明的課題，係有鑑於這樣的問題點，提供有一種附靜壓密封之馬達，係不會招致機構的複雜化、大型化，可以防止異物漏出到外部，可以防止從外部腐蝕性的氣體或液體等侵入到內部。
為了解決上述的課題，本發明的附靜壓密封之馬達，係具有： 馬達殼件；編碼器罩蓋，係被安裝在前述馬達殼件的尾端；分隔板，係分隔形成在前述馬達殼件的內部的馬達室與形成在前述編碼器罩蓋的內部的編碼器室之間；馬達旋轉軸，係延長並貫通前述馬達殼件的殼件前板部分、前述分隔板、及前述編碼器罩蓋的罩蓋背板部分；第1靜壓密封部，係封鎖前述殼件前板部分、與從該殼件前板部分突出到前方的前述馬達旋轉軸的第1軸端部之間的間隙；第2靜壓密封部，係封鎖前述罩蓋背板部分、與從該罩蓋背板部分突出到後方的前述馬達旋轉軸的第2軸端部之間的間隙；分隔板連通路，係為了連通前述馬達室與前述編碼器室，形成在前述分隔板；以及排氣口，係為了連通前述編碼器室與外部，形成在前述編碼器罩蓋；前述第1靜壓密封部，係具備第1密封環，該第1密封環係在與前述第1軸端部的外周圍面之間，形成藉由從外部所供給的密封氣體而被密閉之第1密封間隙；前述第2靜壓密封部，係具備第2密封環，該第2密封環係在與前述第2軸端部的外周圍面之間，形成藉由從外部所供給的密封氣體而被密閉之第2密封間隙。
在本發明，在從馬達殼件的前端及編碼器罩蓋的尾端突出到前後之馬達旋轉軸的第1、第2軸端部， 安裝有第1、第2密封環。藉由這些密封環所構成的第1、第2靜壓密封部，密封在馬達殼件前端及編碼器罩蓋尾端中的馬達固定部與馬達旋轉部之間的間隙。
藉由被供給到第1、第2密封環的密封間隙的密封氣體，該密封間隙被密封，經由供給到密封間隙的密封氣體的一部分，形成從密封間隙朝向馬達室內、編碼器室內流動的氣流。經此，可以防止磨耗粉等的異物從馬達室內、編碼器室內漏出到外部。
流入到馬達室內的密封氣體係通過馬達室內，從分隔板連通路流入到編碼器室內。流入到編碼器室內的密封氣體，係從被形成在編碼器罩蓋的排氣口排出到外部，而在指定的回收部被回收。
另一方面，被供給到第1、第2密封環的密封間隙之密封氣體的一部分，係沿第1、第2軸端部的外周圍面流動到前側及後側，而從密封間隙流出到外部。密封間隙藉由密封氣體而被密封的同時，形成從密封間隙流出到外部之密封氣體的流動的緣故，可以防止從外部到馬達室內、編碼器室內，侵入有腐蝕性的氣體、液體等。
在本發明，把第1、第2密封環安裝到馬達旋轉軸的第1、第2軸端部，構成第1、第2靜壓密封部。於馬達殼件的構成構件形成密封氣體的供氣流路，與在其殼件前板部分、及在此所貫通的馬達旋轉軸的外周圍面之間形成靜壓密封部的情況相比，不會招致馬達構成零件的構造的複雜化，可以確實密封馬達殼件的前端的間隙及編 碼器罩蓋的尾端的間隙。
而且，使流入到馬達室內的密封氣體，透過分隔板連通路流出到編碼器室，從編碼器室透過形成在編碼器罩蓋的排氣口排出到外部。與在馬達罩蓋形成排氣口的情況相比，對馬達的扁平化有利。
亦即，在從馬達室直接排出密封氣體到外部的情況下，是有必要在馬達殼件形成排氣口。於馬達殼件的內周圍面組裝有構成馬達定子的定子芯、驅動線圈等。因此，多有無法確保在馬達殼件設置排氣口的空間的情況。設置排氣口的話，可惜馬達殼件的軸長會變長的情況居多，對馬達的扁平化不利。
而且，用於把馬達旋轉軸支撐在自由旋轉的狀態下的軸承，係被安裝在馬達殼件的殼件前板部分、馬達殼件的尾端所安裝的分隔板上。因排氣口等所致之剖面缺損，係對於確保對馬達殼件所必要之強度、剛性的方面，是為不利。編碼器罩蓋，係與馬達殼件相比，即便強度、剛性低也無妨，設置排氣口方面是容易的。
在此，第1、第2靜壓密封部係可以是如下的構成。前述第1密封環，係具備形成在其外周圍面之密封氣體的第1供氣口；前述第1密封間隙，係具備：圓環狀的第1供給氣體儲留部，係從前述第1供氣口供給有密封氣體；圓環狀的第1內側間隙，係比起連通該第1供給氣體儲留部與前述馬達室內之該第1供給氣體儲留部還要狹小；以及，圓環狀的第1外側間隙，係比起連通前述第1 供給氣體儲留部與外部之前述第1供給氣體儲留部還要狹小。
前述第2密封環，係具備形成在其外周圍面之密封氣體的第2供氣口；前述第2密封間隙，係具備：圓環狀的第2供給氣體儲留部，係從前述第2供氣口供給有密封氣體；圓環狀的第2內側間隙，係比起連通該第2供給氣體儲留部與前述編碼器室內之該第2供給氣體儲留部還要狹小；以及，圓環狀的第2外側間隙，係比起連通前述第2供給氣體儲留部與外部之前述第2供給氣體儲留部還要狹小。
在本發明的附靜壓密封之馬達中，支撐馬達旋轉軸的軸承，係分別被安裝在馬達殼件的殼件前板部分及分隔板。
在該情況下，期望於殼件前板部分中安裝有馬達側軸承的軸承安裝部，形成有使馬達側軸承迂迴，把密封氣體從第1密封間隙的第1內側間隙導入到馬達室內之迂迴通路。
經由形成迂迴通路，形成朝馬達室內的密封氣體之平穩的流動。而且，密封氣體通過馬達側軸承的內部，可以抑制在此所發生的磨耗粉等的異物飛散到馬達室內之情事。
尚且，幾乎沒有密封氣體通過另一方的編碼器側軸承的內部而流動之情事。亦即，在安裝有該軸承的分隔板形成有連通路，通過這裡密封氣體流入到編碼器室 內。而且，第2靜壓密封部中，從該第2密封間隙流入到編碼器室內的密封氣體係從該編碼器室透過排氣口排出到外部。因此，藉由密封氣體，並沒有在編碼器側軸承所發生的磨耗粉等的異物飛散到馬達室內或者是編碼器室內之虞。
本發明的附靜壓密封之馬達中，配置在編碼器室內的馬達編碼器，期望為磁編碼器者。這是考慮到在馬達室內所發生的含油(oil content)等的異物流入到編碼器室內而附著到馬達編碼器。使用磁編碼器的話，即便附著有含油等的異物，也不會對檢測動作帶來障礙。
尚且，可以把本發明的附靜壓密封之馬達的馬達旋轉軸做成中空軸。
1:附靜壓密封之馬達
1a:馬達軸線
2、3:隔離壁
2a、3a:圓形內周圍面
4:馬達設置氛圍
5a、5b:藥液氛圍
11:殼體
12:馬達旋轉軸
12a:第1軸端部
12b:圓形外周圍面
12c:第2軸端部
12d:圓形外周圍面
13:馬達殼件
13a:殼件胴部
13b:殼件前板部分
13c:軸承支撐部
13d:圓形內周圍面
14:編碼器罩蓋
14a:罩蓋胴部
14b:罩蓋背板部分
14c:排氣口
14d:圓形內周圍面
15:分隔板
15a:軸承支撐部
15b:分隔板連通路
16:馬達側軸承
17:編碼器側軸承
18:馬達室
19:定子組件
20:轉子組件
21:編碼器室
22:磁編碼器
22a:磁極編碼器板
22b:磁極檢測部
22c:訊號變換部
23:排氣回收管
30:第1靜壓密封部
31:第1密封環
31a:前側凸緣部
31b:後側凸緣部
31c:圓形外周圍面
31d:後側端面
31e:第1供氣口
32:第1密封間隙
32a:第1供給氣體儲留部
32b:第1內側間隙
32c:第1外側間隙
33:O型環
34:密封氣體迂迴通路
34a:半徑方向溝
34b:軸線方向溝
35:供氣管
40:第2靜壓密封部
41:第2密封環
41a:前側凸緣部
41b:後側凸緣部
41e:第2供氣口
42:第2密封間隙
42a:第2供給氣體儲留部
42b:第2內側間隙
42c:第2外側間隙
43:O型環
44:供氣管
[圖1]為適用本發明之附靜壓密封之馬達的前視圖及剖視圖。
[圖2]表示前側靜壓密封部之放大圖及密封間隙的壓力分布圖，以及，表示後側靜壓密封部之放大圖及密封間隙的壓力分布圖。
以下，參閱圖面，說明適用本發明之附靜壓密封之馬達的實施方式。以下所述之實施方式，乃是作為 把本發明用在晶圓的洗淨等之驅動機構而使用的情況之例，但本發明的附靜壓密封之馬達，是可以適用在有必要密封馬達設置氛圍、與包圍這裡的無塵室等的外周圍氛圍之間之各種的驅動機構。
(全體構成)
圖1(a)為有關本實施方式的附靜壓密封之馬達的前視圖；圖1(b)為其之剖視圖。附靜壓密封之馬達1，係被設置成架設在晶圓洗淨裝置的容器的構成零件也就是一對的隔離壁2、3之間，隔離壁2、3之間的空間為馬達設置氛圍4，隔離壁2、3的前後為晶圓洗淨用的藥液噴出到晶圓之藥液氛圍5a、5b。在確實密封馬達設置氛圍4與藥液氛圍5a、5b之間的狀態下，附靜壓密封之馬達1被設置在前後的隔離壁2、3之間。
附靜壓密封之馬達1(以下，簡單稱為「馬達1」)，係具備：圓桶狀的外殼11、以及利用把該外殼11的中心部分貫通在馬達軸線1a的方向而延伸之中空軸所構成的馬達旋轉軸12。
外殼11，係具備：馬達殼件13、以及安裝在該馬達殼件13中的馬達軸線1a的方向的其中一方的端部成同軸之編碼器罩蓋14。以下的說明中，方便上，把馬達軸線1a的方向中的馬達殼件13的側稱為「前側」，把編碼器罩蓋14的側稱為「後側」。
馬達殼件13，係具備：圓桶狀的殼件胴部 13a、以及從該前側的端部延伸到半徑方向的內方之圓盤狀的殼件前板部分13b。編碼器罩蓋14，係具備：安裝在殼件胴部13a成同軸之圓桶狀的罩蓋胴部14a、以及其後側的端部延伸到半徑方向的內方之圓盤狀的罩蓋背板部分14b。殼件胴部13a的尾端部，係藉由安裝在該尾端部成同軸之圓盤狀的分隔板15而被封鎖。
馬達旋轉軸12，係藉由前側的馬達側軸承16、以及後側的編碼器側軸承17，被支撐成自由旋轉的狀態。馬達側軸承16，被安裝到在殼件前板部分13b的內周圍側的部分所形成的軸承支撐部13c。編碼器側軸承17，被安裝到在分隔板15的內周圍面所形成的軸承支撐部15a。
藉由馬達殼件13、分隔板15、及馬達旋轉軸12所區劃出的空間為馬達室18，在此，裝入有安裝到殼件胴部13a的內周圍面之定子組件19及安裝到馬達旋轉軸12的外周圍面之轉子組件20。
藉由編碼器罩蓋14、分隔板15、及馬達旋轉軸12所區劃出的空間為編碼器室21，在此，裝入有用於檢測馬達旋轉軸12的旋轉資訊之磁編碼器22。磁編碼器22的磁極編碼器板22a被安裝到馬達旋轉軸12成同軸，磁極檢測部22b及訊號變換部22c被安裝到分隔板15。
於分隔板15中的半徑方向的中段的部位，形成有利用貫通孔所構成之分隔板連通路15b。透過分隔板連通路15b，連通馬達室18與編碼器室21。而且，於編 碼器罩蓋14的罩蓋胴部14a，形成排氣口14c。於排氣口14c，連接有排氣回收管23，透過這個可以把排氣回收到未圖示的回收部。
在此，馬達旋轉軸12的前側的第1軸端部12a，係從殼件前板部分13b突出到前方，更進一步，貫通前側的隔離壁2突入到藥液氛圍5a之側。於第1軸端部12a的外周圍部，在殼件前板部分13b與隔離壁2之間，配置有前側的第1靜壓密封部30。第1靜壓密封部30，係密封殼件前板部分13b的圓形內周圍面13d與第1軸端部12a的圓形外周圍面12b之間的間隙，同時，密封隔離壁2的圓形內周圍面2a與第1軸端部12a的圓形外周圍面12b之間的間隙。
同樣，馬達旋轉軸12的後側的第2軸端部12c，係從罩蓋背板部分14b突出到後方，更進一步，貫通後側的隔離壁3露出到藥液氛圍5b之側。於第2軸端部12c的外周圍部，在罩蓋背板部分14b與隔離壁3之間，配置有後側的第2靜壓密封部40。第2靜壓密封部40，係密封罩蓋背板部分14b的圓形內周圍面14d與第2軸端部12c的圓形外周圍面12d之間的間隙，同時，密封隔離壁3的圓形內周圍面3a與第2軸端部12c的圓形外周圍面12d之間的間隙。
前後的第1、第2靜壓密封部30、40係基本上為相同構造。第1靜壓密封部30，係具備：包圍第1軸端部12a成同軸之第1密封環31。第1密封環31，係 藉由螺栓，被安裝到殼件前板部分13b的內周緣部分成同軸。於第1密封環31的內周圍面與第1軸端部12a的圓形外周圍面12b之間，形成有藉由從外部所供給的氮氣等之清淨的密封氣體而被密閉之第1密封間隙32。
同樣，第2靜壓密封部40，係具備：包圍第2軸端部12c成同軸之第2密封環41。第2密封環41，係藉由螺栓，被安裝到罩蓋背板部分14b的內周緣部分。於第2密封環41的內周圍面與第2軸端部12c的圓形外周圍面12d之間，形成有藉由從外部所供給的氮氣等之清淨的密封氣體而被密閉之第2密封間隙42。
(第1、第2靜壓密封部)
圖2(a)、(b)，係分別為前側的第1靜壓密封部30的放大圖及第1密封間隙32的壓力分布圖。圖2(c)、(d)，係分別為後側的第2靜壓密封部40的放大圖及第2密封間隙42的壓力分布圖。
參閱圖2(a)進行說明，第1靜壓密封部30的第1密封環31，係其內周圍側的部分以前後對稱的狀態而突出，經此，形成前側凸緣部31a及後側凸緣部31b。前側凸緣部31a之側，係緊接到前側的隔離壁2的內周緣部分。後側凸緣部31b的圓形外周圍面31c及後側端面31d，係緊接到殼件前板部分13b的內周緣部分，在這些之間，藉由O型環33而被密封。
於第1密封環31的圓形外周圍面，開口有用 於把密封氣體從外部供給到第1密封間隙32之第1供氣口31e。於第1供氣口31e，連接供氣管35，供氣管35連到未圖示的密封氣體供給源。
在第1密封環31與第1軸端部12a之間所形成的第1密封間隙32，係具備：從第1供氣口31e供給有密封氣體之圓環狀的第1供給氣體儲留部32a、連通該第1供給氣體儲留部32a與馬達室18內之圓環狀的第1內側間隙32b、以及連通第1供給氣體儲留部32a與外部(藥液氛圍5a)之圓環狀的第1外側間隙32c。與第1供給氣體儲留部32a相比，該兩側的第1內側間隙32b、第1外側間隙32c係半徑方向的間隔為狹小。
在此，於安裝有第1密封環31之殼件前板部分13b的軸承支撐部13c作為密封氣體迂迴通路34的溝(半徑方向溝34a及軸線方向溝34b)，被形成在與馬達側軸承16之間。密封氣體迂迴通路34，係連通第1密封間隙32的第1內側間隙32b與馬達室18的內部空間。
接著，參閱圖2(c)進行說明，另一方的第2靜壓密封部40的第2密封環41，係其內周圍側的部分往前後突出，形成前側凸緣部41a及後側凸緣部41b。前側凸緣部41a，係緊接到罩蓋背板部分14b的內周緣部分，在這些之間，藉由O型環43而被密封。後側凸緣部41b，係緊接到後側的隔離壁3的內周緣部分。
於第2密封環41的圓形外周圍面，開口有用於把密封氣體從外部供給到第2密封間隙42之第2供氣 口41e。於第2供氣口41e，連接供氣管44，供氣管44連到未圖示的密封氣體供給源。
在第2密封環41與第2軸端部12c之間所形成的第2密封間隙42，係具備：從第2供氣口41e供給有密封氣體之圓環狀的第2供給氣體儲留部42a、連通該第2供給氣體儲留部42a與編碼器室內之圓環狀的第2內側間隙42b、以及連通第2供給氣體儲留部42a與外部(藥液氛圍5b)之圓環狀的第2外側間隙42c。與第2供給氣體儲留部42a相比，該兩側的第2內側間隙42b、第2外側間隙42c係半徑方向的間隔為狹小。
(動作說明)
該構成的馬達1中，把氮氣(N2)等之清淨的密封氣體，從第1、第2靜壓密封部30、40的供氣口31e、41e導入到第1、第2密封間隙32、42。導入到第1密封間隙32之密封氣體，係以第1供給氣體儲留部32a分歧到藥液氛圍5a與馬達室18而流動。供給到第1密封間隙32的密封氣體的靜壓分布，係沿第1密封間隙32中的馬達軸線1a的方向，成為如圖2(b)所表示般的狀態。亦即，第1供給氣體儲留部32a的部分壓力最高，沿馬達軸線1a，朝向第1內側間隙32b、第1外側間隙32c之側逐漸減少。
從前側的第1靜壓密封部30的第1密封間隙32流入到馬達室18的內部之密封氣體，係在馬達側軸承 16迂迴，通過密封氣體迂迴通路34流入到馬達室18的內部。流入到馬達室18的內部之密封氣體，係通過在分隔板15所形成的分隔板連通路15b而流入到編碼器室21，從在編碼器罩蓋14所形成的排氣口14c排出。
導入到後側的第2靜壓密封部40的第2密封間隙42的密封氣體，係以第2供給氣體儲留部42a分歧到藥液氛圍5b與編碼器室21而流動。該情況下的密封氣體的靜壓分布，係成為如圖2(d)所表示般的狀態。流入到編碼器室21的密封氣體，係從被形成在編碼器罩蓋14的排氣口14c被排出。
相對於藥液氛圍5a、5b的內壓及、馬達室18或是編碼器室21的內壓，把第1、第2供給氣體儲留部32、42的內壓維持得較高，經此，可以防止含有藥液之氣體侵入到馬達室18或是編碼器室21。而且，可以防止馬達室18或是編碼器室21的塵埃流出到藥液氛圍5a、5b。
1:附靜壓密封之馬達
1a:馬達軸線
2、3:隔離壁
2a、3a:圓形內周圍面
4:馬達設置氛圍
5a、5b:藥液氛圍
11:殼體
12:馬達旋轉軸
12a:第1軸端部
12b:圓形外周圍面
12c:第2軸端部
12d:圓形外周圍面
13:馬達殼件
13a:殼件胴部
13b:殼件前板部分
13c:軸承支撐部
13d:圓形內周圍面
14:編碼器罩蓋
14a:罩蓋胴部
14b:罩蓋背板部分
14c:排氣口
14d:圓形內周圍面
15:分隔板
15a:軸承支撐部
15b:分隔板連通路
16:馬達側軸承
17:編碼器側軸承
18:馬達室
19:定子組件
20:轉子組件
21:編碼器室
22:磁編碼器
22a:磁極編碼器板
22b:磁極檢測部
22c:訊號變換部
23:排氣回收管
30:第1靜壓密封部
31:第1密封環
32:第1密封間隙
40:第2靜壓密封部
41:第2密封環
42:第2密封間隙

Claims (6)

  1. 一種附靜壓密封之馬達，係具有：馬達殼件；編碼器罩蓋，係被安裝在前述馬達殼件的尾端；分隔板，係分隔形成在前述馬達殼件的內部的馬達室與形成在前述編碼器罩蓋的內部的編碼器室之間；馬達旋轉軸，係延長並貫通前述馬達殼件的殼件前板部分、前述分隔板、及前述編碼器罩蓋的罩蓋背板部分；第1靜壓密封部，係封鎖前述殼件前板部分、與從該殼件前板部分突出到前方的前述馬達旋轉軸的第1軸端部之間的間隙；第2靜壓密封部，係封鎖前述罩蓋背板部分、與從該罩蓋背板部分突出到後方的前述馬達旋轉軸的第2軸端部之間的間隙；分隔板連通路，係為了連通前述馬達室與前述編碼器室，形成在前述分隔板；以及排氣口，係為了連通前述編碼器室與外部，形成在前述編碼器罩蓋；前述第1靜壓密封部，係具備第1密封環，該第1密封環係在與前述第1軸端部的外周圍面之間，形成藉由從外部所供給的密封氣體而被密閉之第1密封間隙；經由供給到前述第1密封間隙的前述密封氣體的一部分，形成從該第1密封間隙朝向前述馬達室的外部與前述馬達室的內部之氣流；前述第2靜壓密封部，係具備第2密封環，該第2 密封環係在與前述第2軸端部的外周圍面之間，形成藉由從外部所供給的密封氣體而被密閉之第2密封間隙；經由供給到前述第2密封間隙的前述密封氣體的一部分，形成從該第2密封間隙朝向前述編碼器室的外部與前述編碼器室的內部之氣流。
  2. 如請求項1之附靜壓密封之馬達，其中，前述第1密封環，係具備：在其外周圍面所形成的密封氣體的第1供氣口；前述第1密封間隙，係具備：圓環狀的第1供給氣體儲留部，係從前述第1供氣口供給有密封氣體；圓環狀的第1內側間隙，係比起連通該第1供給氣體儲留部與前述馬達室內之該第1供給氣體儲留部還要狹小；以及，圓環狀的第1外側間隙，係比起連通前述第1供給氣體儲留部與外部之前述第1供給氣體儲留部還要狹小；前述第2密封環，係具備：形成在其外周圍面之密封氣體的第2供氣口；前述第2密封間隙，係具備：圓環狀的第2供給氣體儲留部，係從前述第2供氣口供給有密封氣體；圓環狀的第2內側間隙，係比起連通該第2供給氣體儲留部與前述編碼器室內之該第2供給氣體儲留部還要狹小；以及，圓環狀的第2外側間隙，係比起連通前述第2供給氣體儲留部與外部之前述第2供給氣體儲留部還要狹小。
  3. 如請求項2之附靜壓密封之馬達，其中具有：馬達側軸承，係被安裝到前述馬達室內中的前述殼 件前板部分而支撐前述馬達旋轉軸；以及編碼器側軸承，係被安裝到前述分隔板而支撐前述馬達旋轉軸。
  4. 如請求項3之附靜壓密封之馬達，其中，於前述殼件前板部分中安裝有前述馬達側軸承的軸承安裝部，形成有使前述馬達側軸承迂迴，把密封氣體從前述第1密封間隙的前述第1內側間隙導入到前述馬達室內之迂迴通路。
  5. 如請求項1至4中任一項之附靜壓密封之馬達，其中，被配置在前述編碼器室內的馬達編碼器為磁編碼器。
  6. 如請求項1至4中任一項之附靜壓密封之馬達，其中，前述馬達旋轉軸為中空軸。
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