JPWO2016166899A1 - 静圧シール付きモーター - Google Patents
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Abstract
Description
モーターケースと、
前記モーターケースの後端に取り付けたエンコーダーカバーと、
前記モーターケースの内部に形成されるモーター室と前記エンコーダーカバーの内部に形成されるエンコーダー室との間を仕切る仕切り板と、
前記モーターケースのケース前板部分、前記仕切り板、および前記エンコーダーカバーのカバー背板部分を貫通して延びるモーター回転軸と、
前記ケース前板部分と、当該ケース前板部分から前方に突出している前記モーター回転軸の第1軸端部との間の隙間を封鎖している第1静圧シール部と、
前記カバー背板部分と、当該カバー背板部分から後方に突出している前記モーター回転軸の第2軸端部との間の隙間を封鎖している第2静圧シール部と、
前記モーター室と前記エンコーダー室を連通するために前記仕切り板に形成した仕切り板連通路と、
前記エンコーダー室と外部を連通するために前記エンコーダーカバーに形成した排気口と
を有しており、
前記第1静圧シール部は、前記第1軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第1シール隙間を形成する第1シールリングを備え、
前記第2静圧シール部は、前記第2軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第2シール隙間を形成する第2シールリングを備えていることを特徴としている。
図1(a)は本実施の形態に係る静圧シール付きモーターの正面図であり、図1(b)はその断面図である。静圧シール付きモーター1は、ウエハ洗浄装置の容器の構成部品である一対の隔離壁2、3の間に架け渡された状態に設置され、隔離壁2、3の間の空間がモーター設置雰囲気4であり、隔離壁2、3の前後がウエハ洗浄用の薬液がウエハに吹き付けられる薬液雰囲気5a、5bである。モーター設置雰囲気4と薬液雰囲気5a、5bとの間を確実にシールした状態で、静圧シール付きモーター1が前後の隔離壁2、3の間に設置されている。
図2(a)、(b)は、それぞれ、前側の第1静圧シール部30の拡大図および第1シール隙間32の圧力分布図である。図2(c)、(d)は、それぞれ、後側の第2静圧シール部40の拡大図および第2シール隙間42の圧力分布図である。
この構成のモーター1においては、窒素ガス(N2)などの清浄なシールガスを、第1、第2静圧シール部30、40の給気口31e、41eから第1、第2シール隙間32、42に導入する。第1シール隙間32に導入されたシールガスは、第1給気溜まり32aで薬液雰囲気5aとモーター室18に分岐して流れる。第1シール隙間32に供給されるシールガスの静圧分布は、第1シール隙間32におけるモーター軸線1aの方向に沿って、図2(b)に示すような状態になる。すなわち、第1給気溜まり32aの部分において最も圧力が高く、モーター軸線1aに沿って、第1内側隙間32b、第1外側隙間32cの側に向かって漸減している。
Claims (6)
- モーターケースと、
前記モーターケースの後端に取り付けたエンコーダーカバーと、
前記モーターケースの内部に形成されるモーター室と前記エンコーダーカバーの内部に形成されるエンコーダー室との間を仕切る仕切り板と、
前記モーターケースのケース前板部分、前記仕切り板、および前記エンコーダーカバーのカバー背板部分を貫通して延びるモーター回転軸と、
前記ケース前板部分と、当該ケース前板部分から前方に突出している前記モーター回転軸の第1軸端部との間の隙間を封鎖している第1静圧シール部と、
前記カバー背板部分と、当該カバー背板部分から後方に突出している前記モーター回転軸の第2軸端部との間の隙間を封鎖している第2静圧シール部と、
前記モーター室と前記エンコーダー室を連通するために前記仕切り板に形成した仕切り板連通路と、
前記エンコーダー室と外部を連通するために前記エンコーダーカバーに形成した排気口と
を有しており、
前記第1静圧シール部は、前記第1軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第1シール隙間を形成する第1シールリングを備え、
前記第2静圧シール部は、前記第2軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第2シール隙間を形成する第2シールリングを備えていることを特徴とする静圧シール付きモーター。 - 前記第1シールリングは、その外周面に形成したシールガスの第1給気口を備え、
前記第1シール隙間は、前記第1給気口からシールガスが供給される円環状の第1給気溜まりと、この第1給気溜まりと前記モーター室内とを連通する当該第1給気溜まりよりも狭い円環状の第1内側隙間と、前記第1給気溜まりと外部とを連通する前記第1給気溜まりよりも狭い円環状の第1外側隙間とを備えており、
前記第2シールリングは、その外周面に形成したシールガスの第2給気口を備え、
前記第2シール隙間は、前記第2給気口からシールガスが供給される円環状の第2給気溜まりと、この第2給気溜まりと前記エンコーダー室内とを連通する当該第2給気溜まりよりも狭い円環状の第2内側隙間と、前記第2給気溜まりと外部とを連通する前記第2給気溜まりよりも狭い円環状の第2外側隙間とを備えている請求項1に記載の静圧シール付きモーター。 - 前記モーター室内における前記ケース前板部分に取り付けられて前記モーター回転軸を支持しているモーター側軸受けと、
前記仕切り板に取り付けられて前記モーター回転軸を支持しているエンコーダー側軸受けと
を有している請求項2に記載の静圧シール付きモーター。 - 前記ケース前板部分における前記モーター側軸受けが取り付けられている軸受け取り付け部には、前記モーター側軸受けを迂回させて、前記第1シール隙間の前記第1内側隙間から前記モーター室内にシールガスを導く迂回路が形成されている請求項3に記載の静圧シール付きモーター。
- 前記エンコーダー室内に配置されているモーターエンコーダーは磁気エンコーダーである請求項1に記載の静圧シール付きモーター。
- 前記モーター回転軸は中空軸である請求項1に記載の静圧シール付きモーター。
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