JP7265396B2 - 工作用の回転機器 - Google Patents

Description

開示する技術は、加工対象を支持する円テーブルなどの工作用の回転機器に関し、その中でも特に、非接触の状態で回転部位の潤滑油をシールする技術に関する。

この種の技術に関し、エアで内圧を高めたモータ収容室と、オイルミストが供給されるベアリングとの間の隙間を、ラビリンス構造にした歯車加工装置が、特許文献１に開示されている。

特開２０１３－１８０８０号公報

特許文献１では、オイルミストを供給する供給孔２１３と、排出する排出孔２１４とは、大きく異なる位置に設けられている。そのため、ベアリングの局所にオイルが滞るおそれがある。また、モータ収容室には、外部に通じる孔が多数設けられているため、エア圧を安定して保持するためには、多量のエアを消費する。

そこで、開示する技術の主たる目的は、少ないエアで、回転部位に供給される潤滑油を安定的かつ効果的に非接触シールできる、工作用の回転機器を提供することにある。

開示する技術は、工作用の回転機器に関する。前記回転機器は、テーブルを有するスピンドルと、前記テーブルを露出させた状態で、前記スピンドルを収容する筐体と、前記スピンドルを回転自在な状態で前記筐体に支持するベアリングと、前記筐体の内部スペースに収容されていて前記スピンドルを回転させるモータと、前記筐体に形成されていて前記内部スペースを加圧するエアが流れる加圧通路と、前記筐体に形成されていてオイルを含む潤滑エアが前記ベアリングを経由して流れる潤滑通路と、を備え、前記潤滑通路における前記ベアリングよりも下流側の部位が、所定のラビリンス構造を有する微小隙間を介して前記内部スペースに連通している。

好ましくは、前記微小隙間が、流路方向に間隔を隔てて設けられて流路断面を縮小する第１絞り部および第２絞り部を有している。

好ましくは、前記第１絞り部および前記第２絞り部の各々における前記潤滑通路の側に、前記内部スペースの側に向かって凹む返し部が設けられている。

好ましくは、前記第１絞り部および前記第２絞り部の少なくともいずれか一方における前記内部スペースの側に、前記潤滑通路の側に向かって流路断面が小さくなるテーパ部が設けられている。

好ましくは、前記微小隙間が、前記第１絞り部と前記第２絞り部との間の前記潤滑通路の側の部位に、流路断面を拡大する膨張部を有している。

開示する技術によれば、少ないエアで、回転部位に供給される潤滑油を安定的かつ効果的に非接触シールできる、工作用の回転機器が実現できる。

開示する技術を適用した回転機器を例示する概略縦断面図である。 潤滑通路を示すために、軸方向から見た回転機器の一部の概略断面図である。 図１に矢印Ｘで示す部分の概略拡大図である。矢印Ｙ１は潤滑エアの流れを示し、矢印Ｙ２はパージエアの流れを示している。 パージエアがラビリンスシールを流れる状態を説明する図である。 潤滑エアがラビリンスシールを流れる状態を説明する図である。 変形例の回転機器を示す図２相当図である。 変形例の回転機器の要部を示す部分拡大図である。

以下、開示する技術の実施形態を、図１等に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物あるいはその用途を制限するものではない。

説明で用いる「軸方向」は、回転軸Ｊが延びる方向を意味する。同様に、「周方向」は、回転軸Ｊを中心とする円周の方向を意味し、「径方向」は、回転軸Ｊを中心とする半径または直径の方向を意味する。「前」は機械加工時における使用側を意味し、「後」は機械加工時における不使用側を意味する。

図１に、開示する技術を適用したＮＣ円テーブル１（回転機器の一例）を示す。ＮＣ円テーブル１は、大略、筐体２、ボックス３、スピンドル４、モータ５などで構成されている。ＮＣ円テーブル１は、機械加工に用いられ、その前面のテーブル４２が高速回転する。

すなわち、テーブル４２にチャック等を装着してワーク（加工対象物）を支持する。そうした状態で、スピンドル４が高速で回転駆動される。回転するワークに、冷却用のオイルや水を供給しながら、切削具等を押し当てることにより、加工が行われる。

筐体２は、本体部２１、前蓋部２２、後蓋部２３などで構成されている。本体部２１の内部には、前後方向に貫通する円筒状の空間が形成されている。なお、以下の説明では、本体部２１の内部に存在する空間を「内部スペース２１ａ」ともいい、本体部２１の内部にパーツが組み付けられた状態では、残余の空間を内部スペース２１ａという場合もある（狭義）。

後蓋部２３は、円板状の部材からなる。後蓋部２３は、本体部２１の後側に形成されている円形の凹部に嵌め込まれている。後蓋部２３は、内部スペース２１ａの後側を覆うように、本体部２１の後側に組み付けられている。後蓋部２３には、丸穴２３ａが形成されている。丸穴２３ａの中心線と内部スペース２１ａの中心線とは、略一致している。

前蓋部２２は、円板状の部材からなる。前蓋部２２は、本体部２１の前側に形成されている円形の凹部に嵌め込まれている。前蓋部２２は、内部スペース２１ａの前側を覆うように、本体部２１の前側に組み付けられている。

前蓋部２２には、円形の開口部２２ａが形成されている。開口部２２ａの中心線と内部スペース２１ａの中心線とは、略一致している。内部スペース２１ａの前側には、環状のベアリング７が配置されている。

ベアリング７は、輪状の転動空間７ｃを間に介して互いに自在に回転する外輪部７ａおよび内輪部７ｂを有している。転動空間７ｃには、複数の転動体７ｄが収容されている。ベアリング７は、その外輪部７ａが、本体部２１と前蓋部２２との間に挟み込まれることにより、筐体２に組み付けられている。

ベアリング７の内側（軸方向での後側）には、環状のリング部材６が、ベアリング７の側面に隣接した状態で本体部２１に組み付けられている。リング部材６は、ベアリング７と共に、潤滑通路６０および微小隙間（ラビリンスシール７０）を構成しているが、これについては別途後述する。

スピンドル４は、シャフト４１およびテーブル４２を有している。シャフト４１は、多段円筒状の部材からなり、内部スペース２１ａに収容されている。

本実施形態では、テーブル４２は、開口部２２ａの内径よりも僅かに外径が小さい環状部材からなり、シャフト４１の前端面に組み付けられている。シャフト４１とテーブル４２とが組み付けられることにより、ベアリング７の内輪部７ｂが、シャフト４１とテーブル４２との間に挟み込まれている。

それにより、スピンドル４は、ベアリング７を介して筐体２に軸支されており、回転軸Ｊを中心に回転自在となっている。すなわち、スピンドル４は、回転体を構成している。なお、スピンドル４は、本実施形態のように複数のパーツを組み合わせて構成してもよいし、一体で構成してあってもよい。

上述したように、テーブル４２は、スピンドル４のうち、チャック等が装着される部位であり、テーブル４２の前面は、開口部２２ａを通じて筐体２の前面に露出している。スピンドル４の後端部は、丸穴２３ａを通じて筐体２の後面に露出している。

モータ５は、ロータ５１とステータ５２とを有し、内部スペース２１ａに収容されている。モータ５は、リング部材６よりも内部スペース２１ａの内側（軸方向での後側）に配置されている。ロータ５１は、環状の部材からなり、スピンドル４に固定されている。ステータ５２は、ロータ５１よりも大きな環状の部材からなり、ロータ５１と僅かなギャップを隔てて径方向に対向した状態で、本体部２１に固定されている。

ステータ５２に所定の制御電流を供給することで、ロータ５１との間に回転磁界が形成される。それによってスピンドル４が、直接駆動されて回転する（いわゆるダイレクトドライブ形式）。

ロータ５１の回転情報（回転数や回転位置）を検出するために、内部スペース２１ａに検出器８が設置されている。検出器８は、エンコーダ８ａおよびスケール８ｂを有している。エンコーダ８ａはブラケット９を介して本体部２１に取り付けられている。スケール８ｂは、スピンドル４に取り付けられていて、エンコーダ８ａに近接している。

ボックス３は、箱形の容器からなり、筐体２に組み付けられている。ボックス３の内部には、エアパージ配管１０が設置されている。エアパージ配管１０の上流側の端部は、継手を介して、コンプレッサ等、エアの供給源（図示せず）に接続されたエア供給管１１が接続されている。

エアパージ配管１０の下流側の端部には、流れるエア量の調整が可能な絞り弁１２が取り付けられている。工作時には、エア供給管１１および絞り弁１２を通じて、エア（パージエアともいう）が所定の流量でボックス３の内部に導入される。それにより、ボックス３の内部は、所定のエア圧で加圧される。

なお、ボックス３の内部の加圧は、内部スペース２１ａの内部を加圧することで間接的におこなってもよい。また、絞り弁１２は、ボックス３の外部に配置してもよいし、内部スペース２１ａに配置してもよい。絞り弁１２の配置は、これらに限るものではない。

本体部２１には、内部スペース２１ａとボックス３の内部とを連通する連通孔２１ｂが更に形成されている。ステータ５２およびエンコーダ８ａと電気的に接続するケーブル１３は、この連通孔２１ｂを通じて内部スペース２１ａからボックス３に引き出され、ボックス３を通じてＮＣ円テーブル１の外方に延出されている。

ボックス３の内部に導入されるパージエアは、連通孔２１ｂを通じて内部スペース２１ａにも流入する（連通孔２１ｂが加圧通路を構成）。従って、ボックス３の内部にパージエアが導入されると、ボックス３の内部と共に内部スペース２１ａも所定のエア圧で加圧される。

テーブル４２と筐体２との間の隙間には、その隙間をシールするために、環状の前側シール材１４（オイルシール）が装着されている。同様に、スピンドル４の後端部と丸穴２３ａとの間の隙間にも環状の後側シール材１５（オイルシール）が装着されている。

ＮＣ円テーブル１の場合、その周囲は、切粉や切削水に曝される。そのため、これら前側シール材１４および後側シール材１５により、これら異物の内部スペース２１ａへの侵入を防止している。また、上述したように、内部スペース２１ａは加圧されるので、前側シール材１４および後側シール材１５はまた、エア漏れも防止している。

（潤滑通路６０）
スピンドル４は高速回転するため、ベアリング７は、十分に潤滑かつ冷却する必要がある。そのため、このＮＣ円テーブル１では、オイルを含むエアである潤滑エア（例えばオイルミストやオイルエア）が、ベアリング７に供給できるように構成されている。

具体的には、潤滑エアがベアリング７の転動空間７ｃを経由して流れるように、本体部２１に潤滑通路６０が形成されている。潤滑通路６０は、図１、図２に示すように、導入路６０ａ、上流側環状路６０ｂ、複数の上流側中継路６０ｃ、複数の下流側中継路６０ｄ、下流側環状路６０ｅ、導出路６０ｆなどで構成されている。

導入路６０ａは、本体部２１に形成された直線状の細孔からなる。導入路６０ａの上流側の端部は、継手６１を介して、図外の潤滑エアの供給装置に接続されている。上流側環状路６０ｂは、本体部２１に形成された環状の隙間からなり、外輪部７ａの外周面に沿って周方向に延びている。導入路６０ａの下流側の端部は、この上流側環状路６０ｂに接続されている。

図２に示すように、各上流側中継路６０ｃは、径方向に延びるように外輪部７ａに形成された細孔からなり、外輪部７ａの周方向に互いに間隔を隔てて形成されている。各上流側中継路６０ｃは、上流側環状路６０ｂと転動空間７ｃとに連通している。

各上流側中継路６０ｃは、その下流端に流路断面を縮小するノズル部６２を有するのが好ましい。そうすれば、潤滑エアは、ノズル部６２を通過する際に断熱膨張して冷却されるので、ベアリング７を冷却できる。

各下流側中継路６０ｄは、リング部材６の内部に形成された略Ｌ状の細孔からなり、図２に示すように、リング部材６の周方向に互いに間隔を隔てて配置されている。各下流側中継路６０ｄの上流側の端部は、転動空間７ｃに連通している。

下流側環状路６０ｅは、周方向に延びる環状の細長い隙間からなり、リング部材６の外周部に形成されている。各下流側中継路６０ｄの下流側の端部は、下流側環状路６０ｅに連通している。

導出路６０ｆは、本体部２１に直線状に形成された細孔からなり、その上流側の端部が下流側環状路６０ｅに接続されている。導出路６０ｆの下流側の端部は、継手６３を介して、図外のフィルタ装置に接続されている。

それにより、図３に矢印Ｙ１で示すように、潤滑エアは、導入路６０ａ、上流側環状路６０ｂ、および各上流側中継路６０ｃを経由して、供給装置から転動空間７ｃに供給される。そして、転動空間７ｃに供給された潤滑エアは、各下流側中継路６０ｄ、下流側環状路６０ｅ、および導出路６０ｆを経由して、フィルタ装置に回収される。

従って、転動空間７ｃに、潤滑エアをバランスよく供給させることができるので、ベアリング７の局所にオイルが滞るのを抑制できる。

（微小隙間７０）
潤滑通路６０におけるベアリング７よりも下流側の部位が、所定のラビリンス構造を有する微小隙間（ラビリンスシール７０ともいう）を介して内部スペース２１ａと連通している。

ラビリンスシール７０は、いわゆる非接触型のシールであり、オイルが内部スペース２１ａに侵入することを防止する。摺動摩擦が無いため、ベアリング７が高速回転してもほとんど発熱することがなく、またエネルギー消費も抑制できる。

しかも、内部スペース２１ａからのパージエアの漏出量が抑制されるように工夫されている。従って、少ないエア供給量で内部スペース２１ａを陽圧に安定して保持できる。それにより、省エネと異物侵入防止とが効果的に実現できる。

ラビリンスシール７０は、内部スペース２１ａの側に面するベアリング７の側面と、リング部材６のその対向側面との間に、これらの全周にわたって形成されている。ラビリンスシール７０には、内部スペース２１ａと潤滑通路６０との間で、径方向にエアが流れる流路が形成される。

ラビリンスシール７０は、所定のラビリンス構造を有している。具体的には、図４Ａ、４Ｂにも示すように、そのラビリンス構造は、第１絞り部７０ａ、第２絞り部７０ｂ、膨張部７０ｃ、連通部７０ｄなどで構成されている。

連通部７０ｄは、潤滑通路６０における転動空間７ｃと各下流側中継路６０ｄとの間の部位と交差するように設けられている。ラビリンスシール７０は、この連通部７０ｄを介して潤滑通路６０に連通している。第１絞り部７０ａ、第２絞り部７０ｂ、および膨張部７０ｃは、連通部７０ｄよりも内部スペース２１ａの側に設けられている。

第１絞り部７０ａおよび第２絞り部７０ｂの各々は、ラビリンスシール７０の流路断面を縮小する部分からなり、内部スペース２１ａの側から順に、エアが流れる流路方向（径方向に相当）に間隔を隔てて設けられている。第１絞り部７０ａと第２絞り部７０ｂとの間、および、第２絞り部７０ｂよりも潤滑通路６０の側（連通部７０ｄの側）には、相対的に流路断面を拡大する部分が形成されている（これらを内部スペース２１ａの側から順に、第１膨張室７０ｅ、第２膨張室７０ｆともいう）。

第１絞り部７０ａおよび第２絞り部７０ｂの各々における潤滑通路６０の側には、内部スペース２１ａの側に向かって凹む返し部７１が設けられている。また、第２絞り部７０ｂにおける内部スペース２１ａの側には、潤滑通路６０の側に向かって流路断面を小さくするテーパ部７２が設けられている。

第１絞り部７０ａおよび第２絞り部７０ｂは、リング部材６の対向側面に、その全周にわたって形成されている。本実施形態では、第１絞り部７０ａと第２絞り部７０ｂとの間における潤滑通路６０の側の部位に、更に流路断面を拡大する膨張部７０ｃが形成されている。膨張部７０ｃは、内輪部７ｂの側面に、その全周にわたって形成されている。

膨張部７０ｃにおける内部スペース２１ａの側の端部は、第１膨張室７０ｅの径方向における中央部に位置している。膨張部７０ｃにおける潤滑通路６０の側の端部は、第１膨張室７０ｅにおける潤滑通路６０の側の端部と対向し、径方向において略一致している。

（ラビリンスシール７０の作用）
工作時には、潤滑通路６０を通じて、ベアリング７に潤滑エアが供給される。また、工作時には、ボックス３の内部にパージエアが導入される。それにより、ボックス３の内部と共に内部スペース２１ａも所定のエア圧で加圧される。

従って、通常は、図３に矢印Ｙ２で示すように、圧力差により、パージエアは、ラビリンスシール７０を通じて潤滑通路６０に流入し、潤滑エアに合流する。ラビリンスシール７０から流出するパージエアは、潤滑エアに混ざった状態で、各下流側中継路６０ｄ、下流側環状路６０ｅ、および導出路６０ｆを経由して、フィルタ装置に回収される。

（パージエアがラビリンスシール７０を流れる場合）
図４Ａに、パージエアがラビリンスシール７０を流れる状態を例示する。ラビリンスシール７０に流入したパージエアは、第１絞り部７０ａで圧縮された後、第１膨張室７０ｅで膨張する。その際、断熱膨張によってパージエアの圧力、温度が低下する。

更に、第１膨張室７０ｅでは渦が発生する。すなわち、返し部７１によって乱流が発生し、第１膨張室７０ｅの内部に、渦Ｔ１や渦Ｔ２が発生する。これら渦Ｔ１，Ｔ２の発生により、パージエアの内部エネルギーが消費されるので、第１膨張室７０ｅの圧力は更に低下する。

第３膨張室が設けられていると、パージエアの一部は膨張部７０ｃに入り込む。それにより、渦Ｔ３，Ｔ４も発生し、パージエアの内部エネルギーは、更にいっそう消費される。

その後、パージエアは、第２絞り部７０ｂで圧縮された後、第２膨張室７０ｆで再度膨張する。そして、返し部７１の作用により、渦Ｔ５が発生し、内部エネルギーが消費される。このように、パージエアは、内部エネルギーを消費しながらラビリンスシール７０を通過し、潤滑通路６０に流入する。

（潤滑エアがラビリンスシール７０を流れる場合）
潤滑エアが内部スペース２１ａの側に流れる場合を想定し、その状態を、図４Ｂに例示する。

第２絞り部７０ｂの入口部分には返し部７１が有るため、第２膨張室７０ｆで渦Ｔ６が発生する。この渦Ｔ６の回転方向は、パージエアでの渦Ｔ５とは逆になる。またこのとき、返し部７１は逆テーパとなっているため、渦Ｔ６は、回転の速い強い渦となり、潤滑エアの内部エネルギーは大きく消費される。

第２絞り部７０ｂに流入して圧縮された後、潤滑エアは、第１膨張室７０ｅおよび第３膨張室７０ｃへ同時に流入する。従って、膨張率が大きいため、潤滑エアの圧力、温度はパージエアよりも低下する。

エアは膨張することによってその流速は遅くなる。膨張部７０ｃは、潤滑エアの流れ方向から見た場合、第２絞り部７０ｂの出口近傍に設けられているのに対し、パージエアの流れ方向から見た場合、第１絞り部７０ａの出口から離れた位置に設けられている。そのため、潤滑エアは、パージエアの渦Ｔ３，Ｔ４よりも強い渦Ｔ７，Ｔ８を膨張部７０ｃで発生し、内部エネルギーを多量に消費する。

潤滑エアは、第１膨張室７０ｅでもパージエアよりも強い渦Ｔ９，Ｔ１０を発生するので、更にいっそう内部エネルギーを多量に消費した後、内部スペース２１ａに流入することとなる。このように、パージエアよりも潤滑エアの方が、ラビリンスシール７０を通過する時に消費する内部エネルギーが大きいため、ラビリンスシール７０では、潤滑エアよりもパージエアの方が流れ易くなっている。

ラビリンスシール７０により、内部スペース２１ａの側と潤滑通路６０の側とで圧力差（内部スペース２１ａの圧力＞第１膨張室７０ｅの圧力＞第２膨張室７０ｆ、潤滑通路６０の圧力）が形成される。従って、ラビリンスシール７０により、潤滑エアが内部スペース２１ａに侵入することを効果的に防止できる。

（オイルがラビリンスシール７０に侵入する場合）
ベアリング７に付着した液状のオイルが、ラビリンスシール７０へ侵入する場合について説明する。

第２絞り部７０ｂには、逆テーパ形状の返し部７１が設けられている。そのため、オイルは、まず、その返し部７１によって第２絞り部７０ｂへの侵入が阻止される。第２絞り部７０ｂにオイルが侵入しても、オイルはその狭い流路で油膜を形成し、しかも、内輪部７ｂは高速回転しているため、遠心力により、外周方向、つまり第２膨張室７０ｆの方へ飛ばされる。

第１膨張室７０ｅにオイルが侵入した場合にも、第１絞り部７０ａには返し部７１が設けられているので、第１絞り部７０ａへの侵入が阻止される。更に、第２絞り部７０ｂには、テーパ部７２が設けられているので、オイルは第２絞り部７０ｂへ戻され易くなっている。従って、ラビリンスシール７０により、オイルが内部スペース２１ａに侵入することを効果的に防止できる。

＜変形例＞
図５に、上述したＮＣ円テーブル１の変形例を示す。本変形例でのＮＣ円テーブル１’の基本的な構成は、上述したＮＣ円テーブル１と同じである。従って、同じ構成については、同じ符号を用いてその説明は省略する。

上述したＮＣ円テーブル１では、ラビリンスシール７０が、ベアリング７とリング部材６との間に設けられていたが、本変形例でのＮＣ円テーブル１’では、ラビリンスシール７０の主要部分が、スピンドル４とリング部材６との間に設けられている点で、主に相違する。

具体的には、第１絞り部７０ａ、第２絞り部７０ｂ、膨張部７０ｃなどからなるラビリンスシール７０の主要部分が、リング部材６の内周面と、それに対向するスピンドル４の外周面との間に形成されている。具体的には、図６に示すように、第１絞り部７０ａおよび第２絞り部７０ｂは、第１膨張室７０ｅおよび第２膨張室７０ｆを含め、リング部材６の内周面に形成されている。膨張部７０ｃは、スピンドル４の外周面に形成されている。

この場合も、上述したＮＣ円テーブル１と同様に、ラビリンスシール７０によって潤滑エアが内部スペース２１ａに侵入することを効果的に防止できる。

このＮＣ円テーブル１’では、第２絞り部７０ｂよりも内部スペース２１ａの側にオイルが侵入した場合、遠心力の作用を利用して排除するのは難しい。従って、遠心力の作用でオイルの排除を促進できるよう、第１絞り部７０ａおよび第２絞り部７０ｂの各々における流路方向の中間部分に、潤滑通路６０の側から内部スペース２１ａの側に向かって流路断面が小さくなる傾斜面部８０を設けるのが好ましい。

図例では、第１絞り部７０ａおよび第２絞り部７０ｂの各々に、そのような傾斜面部８０が設けられている。従って、第２絞り部７０ｂよりも内部スペース２１ａの側にオイルが侵入した場合でも、遠心力の作用で、オイルが内部スペース２１ａの側に侵入し難くなっている。

なお、開示する技術にかかる工作用の回転機器は、上述した実施形態に限定されず、それ以外の種々の構成をも包含する。例えば、膨張部７０ｃは設けた方が好ましいが、必須ではない。下流中継経路６０ｄは、複数に限らない。少なくとも１つの下流中継経路６０ｄがあればよい。

１ ＮＣ円テーブル（回転機器）
２ 筐体
３ ボックス
４ スピンドル
５ モータ
６ リング部材
７ ベアリング
８ 検出器
１０ エアパージ配管
１４ 前側シール材
１５ 後側シール材
２１ 本体部
２１ａ 内部スペース
２１ｂ 連通孔（加圧通路）
４２ テーブル
６０ 潤滑通路
６０ａ 導入路
６０ｂ 上流側環状路
６０ｃ 上流側中継路
６０ｄ 下流側中継路
６０ｅ 下流側環状路
６０ｆ 導出路
７０ 微小隙間（ラビリンスシール）
７０ａ 第１絞り部
７０ｂ 第２絞り部
７０ｃ 膨張部
７０ｄ 連通部
７１ 返し部
７２ テーパ部
Ｊ 回転軸

Claims (5)

1. 工作用の回転機器であって、
   テーブルを有するスピンドルと、
   前記テーブルを露出させた状態で、前記スピンドルを収容する筐体と、
   前記スピンドルを回転自在な状態で前記筐体に支持するベアリングと、
   前記筐体の内部スペースに収容されていて前記スピンドルを回転させるモータと、
   前記筐体に形成されていて前記内部スペースを加圧するパージエアが流れる加圧通路と、
   前記筐体に形成されていてオイルを含む潤滑エアが前記ベアリングを経由して流れる潤滑通路と、
   を備え、
   前記潤滑通路における前記ベアリングよりも下流側の部位が、所定のラビリンス構造を有する微小隙間を介して前記内部スペースに連通し、
   前記潤滑通路を通じて前記ベアリングに前記潤滑エアが供給されるとともに前記加圧通路を通じて前記内部スペースに前記パージエアが導入され、前記微小隙間によって形成される圧力差により、前記パージエアが前記微小隙間を通じて前記潤滑通路に流入して前記潤滑エアに合流する、工作用の回転機器。
2. 請求項１に記載の工作用の回転機器において、
   前記微小隙間が、流路方向に間隔を隔てて設けられて流路断面を縮小する第１絞り部および第２絞り部を有している、工作用の回転機器。
3. 請求項２に記載の工作用の回転機器において、
   前記第１絞り部および前記第２絞り部の各々における前記潤滑通路の側に、前記内部スペースの側に向かって凹む返し部が設けられている、工作用の回転機器。
4. 請求項２または請求項３に記載の工作用の回転機器において、
   前記第１絞り部および前記第２絞り部の少なくともいずれか一方における前記内部スペースの側に、前記潤滑通路の側に向かって流路断面が小さくなるテーパ部が設けられている、工作用の回転機器。
5. 請求項２～請求項４のいずれか１つに記載の工作用の回転機器において、
   前記微小隙間が、前記第１絞り部と前記第２絞り部との間の前記潤滑通路の側の部位に、流路断面を拡大する膨張部を有している、工作用の回転機器。

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