TWI658239B - 空氣調和裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種以向溫度控制對象空間供給空氣的管道，且可根據狀況而靈活地設定較佳的管道的配置型式的空氣調和裝置。空氣調和裝置包括：框體，具有空氣取入口及空氣噴出口，於其內部劃分形成連通空氣取入口與空氣噴出口的空氣流通路；送風機，使空氣自空氣取入口流通至空氣噴出口；冷卻部及加熱部，收容於框體中，對流通於空氣流通路中的空氣進行溫度控制；及分配箱，以覆蓋空氣噴出口的方式安裝於框體，且使其內部空間連通於空氣噴出口。於分配箱設置有朝上方開口的第1管道連接孔和朝與第1管道連接孔不同的方向開口的第2管道連接孔。

Description

空氣調和裝置

本發明是有關於一種空氣調和裝置。

作為於半導體製造設備等中所使用的精密溫調用的空氣調和裝置，有以下空氣調和裝置：具備具有空氣取入口及空氣噴出口的框體，於該框體內收容送風機、加熱部及冷卻部。關於此種空氣調和裝置，藉由送風機的驅動將空氣自裝置外部取入至空氣取入口，並藉由加熱部及冷卻部將所取入的空氣調節為所期望的溫度而由空氣噴出口噴出。空氣取入口及空氣噴出口可設置於框體的任意位置，於多數情況下，空氣取入口設置於框體的側面，空氣噴出口設置於框體的上表面或側面(例如，參照專利文獻1)。

此種空氣調和裝置通常用以藉由將管道連接於空氣噴出口來將經溫度控制的空氣經由管道而供給至溫度控制對象空間。另外，亦有以下情況：將具有多個孔的中空的箱連接於管道的下游側端部，並將分支用的管道連接於該箱的多個孔，藉此將經溫度控制的空氣供給至多個溫度控制對象空間。例如，於半導體製造設備中，有以下情況：藉由使用如上所述的箱而將由一個空氣調和裝置噴出的空氣分配於潔淨室及設置於該潔淨室內的多個裝置的內部等。

另外，於在半導體製造設備中使用時，此種空氣調和裝置有時配置於設置所述設備的空間的下一級的空間。於該情況下，連接於空氣噴出口的管道是以朝向上一級的空間而朝上方延伸的方式配置。

[現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-63242號公報

然而，專利文獻1中所揭示的空氣調和裝置中，於框體的上表面或側面設置有一個空氣噴出口，但該構成中，於將管道自空氣噴出口朝向溫度控制對象空間延伸的情況下，可產生不期望地必須使管道過多地彎曲的狀況。因此，有以下情況：因由管道的彎曲部分的增加所引起的壓力損失的增加，而產生不期望地必須使用以獲得所期望的風量的送風機的輸出增加的狀況，送風機的運轉效率降低。具體而言，例如於將空氣噴出口設置於框體的側面且使溫度控制對象空間相對於空氣調和裝置而位於上方的情況下，需要使管道朝上方彎曲。該情況與使管道直線性延伸的情況相比較，壓力損失增加，因此送風機的運轉效率降低。

另外，此種空氣調和裝置中，作為連接於空氣噴出口的管道，通常使用與空氣噴出口的直徑吻合的直徑的管道。此處，如專利文獻1所揭示般，於裝置的上表面或側面僅設置一個空氣 噴出口的構成中，有以下情況：根據設置條件，而管道的佔有區域會不期望地變大，產生空氣調和裝置的設置自由度受到制約的狀況或該裝置的周邊構件的配置自由度受到制約的狀況。另外，相對於溫度控制對象空間所要求的要求風量，管道變得過小，藉此亦可產生不期望地必須使送風機的輸出增加的狀況。

另外，於將空氣自空氣調和裝置供給至多個溫度控制對象空間時，如上所述，可將具有多個孔的中空的箱連接於與空氣噴出口連接的管道的下游側端部，且將分支用的管道連接於該箱的多個孔。然而，於該情況下，產生由管道的增加所引起的成本上升及構成的複雜化的問題。因此，期望不使結構複雜化而可將空氣供給至多個空間的構成。

本發明是考慮所述實際情況而成者，其目的在於提供一種可以多種型式連接用以向溫度控制對象空間供給空氣的管道，且可根據狀況而靈活地設定較佳的管道的配置型式的空氣調和裝置。

本發明為一種空氣調和裝置，所述空氣調和裝置的特徵在於包括：框體，具有取入空氣的空氣取入口及將所取入的空氣噴出的空氣噴出口，於其內部劃分形成連通所述空氣取入口與所述空氣噴出口的空氣流通路；送風機，使空氣自所述空氣取入口流通至所述空氣噴出口；調溫部，收容於所述框體中，對流通於所述空氣流通路中的空氣進行溫度控制；及分配箱，以覆蓋所述 空氣噴出口的方式安裝於所述框體，且使其內部空間連通於所述空氣噴出口，於所述分配箱設置有作為連接管道的孔的用以將空氣自所述內部空間供給至所述管道的第1管道連接孔與第2管道連接孔，所述第1管道連接孔朝上方開口，所述第2管道連接孔朝與所述第1管道連接孔不同的方向開口。

根據該空氣調和裝置，於將所連接的管道延伸至溫度控制對象空間時，可根據溫度控制對象空間的位置，自朝上方開口的第1管道連接孔及朝與其不同的方向開口的第2管道連接孔中適宜選擇於所述情況下可極力抑制管道的彎曲部分的管道連接孔。藉此，可抑制由管道所形成的不期望的彎曲部分所引起壓力損失的增加，藉此可抑制送風機的運轉效率的降低。另外，於有多個溫度控制對象空間的情況下，藉由將多個連接於管道連接孔的管道延伸至相對應的溫度控制對象空間，可抑制管道的增加並且可將經溫度控制的空氣供給至多個溫度控制對象空間。因而，可以多種型式連接用以向溫度控制對象空間供給空氣的管道，且可根據狀況而靈活地設定較佳的管道的配置型式。

於本發明的空氣調和裝置中，亦可於所述分配箱設置多個所述第1管道連接孔。

根據該構成，可使可通過管道而直接供給空氣的溫度控制對象空間增加，因此可提高便利性。

另外，多個所述第1管道連接孔中的至少一個(一部分)第1管道連接孔的開口面積亦可與其他第1管道連接孔的開口面 積不同。

根據該構成，於要求減小管道的佔有區域的情況下，藉由將細的管道連接於開口面積小的第1管道連接孔，可應對抑制佔有面積的要求，於溫度控制對象空間所要求的要求風量大的情況下，藉由將粗的管道連接於開口面積大的第1管道連接孔，可抑制由壓力損失所引起的送風機的不期望的輸出增加並且可將空氣供給至溫度控制對象空間。藉此，可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，亦可於所述分配箱設置多個所述第2管道連接孔。

根據該構成，可使可通過管道而直接供給空氣的溫度控制對象空間增加，因此可提高便利性。

於該情況下，多個所述第2管道連接孔中的至少一個(一部分)第2管道連接孔亦可朝與其他第2管道連接孔不同的方向開口。

根據該構成，例如於將所連接的管道延伸至溫度控制對象空間時，可根據溫度控制對象空間的位置，自彼此朝不同的方向開口的多個第2管道連接孔中適宜選擇於所述情況下可極力抑制管道的長度的管道連接孔。藉此，可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，於該情況下，朝不同的方向開口的所述第2管道連接孔的開口面積亦可彼此不同。

根據該構成，除了可選擇管道的連接的朝向以外，亦可選擇 管道的直徑，因此可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，多個所述第2管道連接孔亦可包含朝相同方向開口的至少兩個第2管道連接孔。

根據該構成，用以連接管道的可選擇的管道連接孔增多，因此可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，於該情況下，朝相同方向開口的至少兩個所述第2管道連接孔中的至少一個(一部分)第2管道連接孔的開口面積亦可與其他第2管道連接孔的開口面積不同。

根據該構成，於要求減小管道的佔有區域的情況下，於朝相同方向開口的第2管道連接孔中，將細的管道連接於開口面積小的第2管道連接孔，藉此可應對抑制佔有面積的要求，於溫度控制對象空間所要求的要求風量大的情況下，藉由將粗的管道連接於開口面積大的第2管道連接孔，可抑制由壓力損失所引起的送風機的不期望的輸出增加並且可將空氣供給至溫度控制對象空間。藉此，可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式。

另外，多個所述第2管道連接孔中的一部分第2管道連接孔於俯視時亦可朝所述空氣取入口側開口。

於該情況下，於所述框體以覆蓋所述空氣取入口的方式設置過濾器裝置，朝所述空氣取入口側開口的所述第2管道連接孔與 所述過濾器裝置的下游側且所述空氣取入口的上游側的部分亦可藉由折回流路而連接。

多個所述第2管道連接孔中的一部分第2管道連接孔與所述調溫部的上游側的部分亦可藉由折回流路而連接。

根據該構成，可將第2管道連接孔的一部分用作折回流路的連接部分，藉由將連接於朝空氣取入口側開口的第2管道連接孔的折回流路延伸至空氣取入口側，可使空氣返回而實現溫度控制的穩定性的提高。此時，可抑制折回流路的長度，且可使空氣順暢地返回。

另外，亦可所述分配箱設置用以可拆裝地安裝封閉構件的安裝結構，所述封閉構件將所述第1管道連接孔及所述第2管道連接孔加以封閉。

根據該構成，可防止空氣自不使用的第1管道連接孔及第2管道連接孔噴出並且可將空氣僅供給至溫度控制對象空間，從而可有效地將空氣供給至溫度控制對象空間。

此處，所述安裝結構亦可選擇性安裝所述封閉構件或所述管道。

根據該構成，可以單一的安裝結構選擇性安裝封閉構件或管道，因此可抑制構成的複雜化並且可提高便利性。

另外，所述第2管道連接孔亦可沿水平方向開口。

另外，所述第1管道連接孔亦可沿鉛垂方向朝上方開口。

另外，所述分配箱亦可安裝於所述框體的上表面。

另外，本發明為一種空氣調和裝置，所述空氣調和裝置的特徵在於包括：框體，具有取入空氣的空氣取入口及將所取入的空氣噴出的空氣噴出口，於其內部劃分形成連通所述空氣取入口與所述空氣噴出口的空氣流通路；送風機，使空氣自所述空氣取入口流通至所述空氣噴出口；調溫部，收容於所述框體中，對流通於所述空氣流通路中的空氣進行溫度控制；及分配箱，以覆蓋所述空氣噴出口的方式安裝於所述框體，且使其內部空間連通於所述空氣噴出口，於所述分配箱設置有作為連接管道的孔的用以將空氣自所述內部空間供給至所述管道的多個管道連接孔，所述多個管道連接孔包含朝相同方向開口的彼此開口面積不同的多種孔。

根據該空氣調和裝置，於要求減小管道的佔有區域的情況下，藉由將細的管道連接於開口面積小的管道連接孔，可應對抑制佔有面積的要求，於溫度控制對象空間所要求的要求風量大的情況下，藉由將粗的管道連接於開口面積大的管道連接孔，可抑制送風機的不期望的輸出增加並且可將空氣供給至溫度控制對象空間。另外，亦可使用多個管道而將經溫度控制的空氣供給至多個溫度控制對象空間。藉此，可根據狀況而靈活地設定較佳的管道的配置型式。

根據本發明，可以多種型式連接用以向溫度控制對象空間供給空氣的管道，且可根據狀況而靈活地設定較佳的管道的配 置型式。

1‧‧‧空氣調和裝置

2‧‧‧冷卻部

4‧‧‧加熱部

10‧‧‧第1冷卻單元

11、21‧‧‧壓縮機

12、22‧‧‧凝結器

13、23‧‧‧膨脹閥

14、24‧‧‧冷卻環管

15、25‧‧‧配管

16‧‧‧加熱環管

18‧‧‧加熱量調節閥

20‧‧‧第2冷卻單元

30‧‧‧空氣流通路

30A‧‧‧第1流路

30B‧‧‧第2流路

31‧‧‧空氣取入口

32‧‧‧空氣噴出口

36‧‧‧框體

36A、36B、36C、36D‧‧‧側壁部

36E‧‧‧上壁部

41‧‧‧溫度感測器

42‧‧‧濕度感測器

44‧‧‧上游側溫度感測器

50‧‧‧控制單元

60‧‧‧送風機

70‧‧‧加濕裝置

80‧‧‧分配箱

80A、80B、80C、80D‧‧‧側壁部

80E‧‧‧上壁部

81‧‧‧螺栓緊固孔

82‧‧‧螺栓

91‧‧‧第1管道連接孔

92~96‧‧‧第2管道連接孔

100‧‧‧折回流路

101‧‧‧風量調節用擋板

120‧‧‧管道

121‧‧‧凸緣

130‧‧‧封閉構件

131‧‧‧密封構件

200‧‧‧分隔構件

201‧‧‧流量調節擋板

312‧‧‧取入流路

313‧‧‧過濾器裝置

AS‧‧‧安裝結構

d1‧‧‧第1方向

d2‧‧‧第2方向

F1、F2‧‧‧空間

S‧‧‧內部空間

圖1是本發明的一實施形態的空氣調和裝置的立體圖。

圖2是表示圖1所示的空氣調和裝置的概略構成的圖。

圖3是自水平方向的一側朝斜下方觀察圖1所示的空氣調和裝置上的分配箱的立體圖。

圖4是自與圖3成為相反側的水平方向的另一側朝斜下方觀察圖1所示的空氣調和裝置上的分配箱的立體圖。

圖5是表示用以將封閉構件或管道安裝於圖1所示的空氣調和裝置的管道連接孔的安裝結構的圖。

圖6是表示圖1所示的空氣調和裝置的適用例的圖。

圖7是表示圖1所示的空氣調和裝置的一變形例的圖。

圖8是表示圖1所示的空氣調和裝置的一變形例的圖。

以下，參照隨附的圖式而對本發明的一實施形態進行詳細說明。

圖1是本發明的一實施形態的空氣調和裝置1的立體圖，圖2是表示空氣調和裝置1的概略構成的圖。本實施形態的空氣調和裝置1例如是用以將經溫度控制的空氣供給至進行光阻劑的塗佈及顯影的裝置的內部等的多個溫度控制對象空間而將各溫度控制對象空間的溫度維持為一定。

如圖1及圖2所示，該空氣調和裝置1包括：框體36，具有將該裝置外部的空氣取入的空氣取入口31及將由空氣取入口31取入的空氣噴出的空氣噴出口32，於其內部劃分形成連通空氣取入口31與空氣噴出口32的空氣流通路30；送風機60，使空氣自空氣取入口31朝向空氣噴出口32流通；冷卻部2，收容於空氣流通路30內，以可變的冷凍能力對由空氣取入口31取入的空氣進行冷卻；加熱部4，收容於空氣流通路30內，以可變的加熱能力對由空氣取入口31取入的空氣進行加熱；分配箱80，以覆蓋空氣噴出口32的方式安裝於框體36，且使其內部空間S連通於空氣噴出口32；折回流路100，自冷卻部2的下游側且加熱部4的下游側的位置(部分)延伸至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側的位置(部分)；及控制單元50，對冷卻部2的冷凍能力或加熱部4的加熱能力等進行控制。

冷卻部2及加熱部4是與對流通於空氣流通路30中的空氣進行溫度控制的與本發明所述的調溫部相對應者。另外，於圖2中，為了方便圖示，示為控制單元50位於框體36的外部，但實際上，控制單元50收容於框體36內。

如圖1所示，關於框體36，作為一例，呈長方體狀形成，設置於建造物內的地板面上。框體36具有：在與水平方向平行的第1方向d1上相對向的一對側壁部36A、36B；在與水平方向平行且與第1方向d1正交的第2方向d2上相對向並且將一對側壁部36A、36B的兩端部間連接的一對側壁部36C、36D；及跨及在 第1方向d1上相對向的一對側壁部36A、36B及在第2方向d2上相對向的一對側壁部36C、36D的各上邊緣而設置的上壁部36E。於圖1中，為了方便圖示，以虛線示出空氣取入口31及空氣噴出口32，於本實施形態中，空氣取入口31設置於位於第1方向d1的一側的側壁部36A，空氣噴出口32設置於上壁部36E中的第1方向d1的另一側的部分。

於空氣取入口31連接有用以使外部空氣朝向空氣取入口31流通的取入流路312，於取入流路312設置有過濾器裝置313。圖示的例子中，過濾器裝置313以隔著取入流路312而覆蓋空氣取入口31的方式安裝於框體36。本實施形態中，藉由驅動送風機60，外部空氣自過濾器裝置313流通於取入流路312，並自空氣取入口31流入至空氣流通路30內。關於所述過濾器裝置313，作為一例為化學過濾器，但亦可為高效率空氣微粒子(High Efficiency Particulate Air，HEPA)過濾器或超低穿透性空氣(Ultra Low Penetration Air，ULPA)過濾器，亦可包含化學過濾器與HEPA過濾器或ULPA過濾器。

如圖2所示，於本實施形態中，框體36的空氣流通路30自空氣取入口31朝上方延伸後，以朝第1方向d1的另一側延伸的方式彎曲。於空氣流通路30內，冷卻部2配置於加熱部4的上游側，於加熱部4的下游側進而設置有加濕裝置70。加濕裝置70電性連接於控制單元50，藉由控制單元50的控制，可以可變的加濕量對由空氣取入口31取入的空氣進行加濕。另外，本實施 形態中，於空氣流通路30內，送風機60設置於加濕裝置70的下游側。送風機60構成為可變更風量，於驅動空氣調和裝置1時，送風機60基本上以輸出一定的風量的方式進行驅動。再者，本實施形態中，冷卻部2配置於加熱部4的上游側，但冷卻部2亦可配置於加熱部4的下游側。另外，送風機60的位置亦可為與圖示的例子不同的位置。

空氣噴出口32設置於上壁部36E中的第1方向d1的另一側的部分，且朝上方、本實施形態中沿鉛垂方向朝向上方開口。此處，本實施形態中的分配箱80安裝於框體36的上壁部36E的上表面，因此由空氣噴出口32噴出的經溫度控制的空氣朝向上方而供給至分配箱80的內部空間S。

於分配箱80設置有連接為了方便圖示而以兩點鏈線表示的管道120的多個管道連接孔91~管道連接孔94(參照圖3及圖4)。藉此，本實施形態的空氣調和裝置1中，藉由將管道120連接於選自多個管道連接孔91~管道連接孔94中的一個或多個管道連接孔，可將空氣自內部空間S供給至一個或多個所期望的管道120，並可向所期望的溫度控制對象空間供給空氣。

於圖示的例子中，於分配箱80內設置有溫度感測器41與濕度感測器42，該些溫度感測器41及濕度感測器42對通過冷卻部2、加熱部4及加濕裝置70的空氣的溫度或濕度進行檢測。溫度感測器41及濕度感測器42將所檢測的溫度或濕度輸出至控制單元50，據此，控制單元50基於溫度感測器41所檢測的溫度 而對冷卻部2及加熱部4進行控制，並且基於濕度感測器42所檢測的濕度而對加濕裝置70進行控制。再者，於圖2中，為了方便圖示，溫度感測器41及濕度感測器42遠離分配箱80而示出，但溫度感測器41及濕度感測器42是以可對通過空氣噴出口32的空氣的溫度或濕度進行檢測的任意的態樣配置。

本實施形態中的分配箱80中，除了用於連接用以向溫度控制對象空間供給空氣的管道120的用途以外，亦可用以將管道連接孔91~管道連接孔94的一部分管道連接孔94與所述折回流路100連接。如圖1及圖2所示，折回流路100為配管構件，且以跨及取入流路312與分配箱80的方式設置，折回流路100的下游側的端部連通於取入流路312中的過濾器裝置313的下游側的位置。於折回流路100內設置有對流通於折回流路100中的空氣的風量進行調節的風量調節用擋板101，本實施形態中的風量調節用擋板101可以手動或自動對流通於折回流路100中的空氣的風量進行調節。再者，關於分配箱80的詳細情況，設為後述者。

其次，參照圖2對冷卻部2及加熱部4進行說明。首先，對冷卻部2進行說明，本實施形態中的冷卻部2包含第1冷卻單元10的冷卻環管14與第2冷卻單元20的冷卻環管24。於本實施形態中，包含冷卻環管14的第1冷卻單元10是藉由如下方式而構成：藉由配管15將以可變運轉頻率運轉且可調節轉速的壓縮機11、凝結器12、膨脹閥13及冷卻環管14依該順序連接以使熱媒體循環，包含冷卻環管24的第2冷卻單元20是藉由如下方式而 構成：藉由配管25將以可變運轉頻率運轉且可調節轉速的壓縮機21、凝結器22、膨脹閥23及冷卻環管24依該順序連接以使熱媒體循環。

於該些第1冷卻單元10及第2冷卻單元20中，壓縮機11、21將自冷卻環管14、24流出的低溫且低壓的氣體狀態的熱媒體壓縮，成為高溫且高壓的氣體狀態，而供給至凝結器12、22。壓縮機11、21是以可變運轉頻率運轉且根據運轉頻率而可調節轉速的反相器壓縮機。壓縮機11、21中，運轉頻率越高，可將更多的熱媒體供給至凝結器12、22。作為壓縮機11，較佳為採用一體具有反相器與馬達的渦卷型壓縮機。然而，只要是藉由利用反相器調節運轉頻率來進一步調節轉速而可調節熱媒體的供給量(流量)，則壓縮機11、21的形式並無特別限定。

另外，凝結器12、22是藉由冷卻水將經壓縮機11、21壓縮的熱媒體冷卻同時加以凝結，成為規定的冷卻溫度的高壓的液體狀態而供給至膨脹閥13、23。凝結器12、22的冷卻水可使用水，亦可使用其他冷媒。另外，膨脹閥13、23是藉由使由凝結器12、22供給的熱媒體膨脹而使其減壓，成為低溫且低壓的氣液混合狀態而供給至冷卻環管14、24。冷卻環管14、24是使所供給的熱媒體與溫度控制對象的空氣進行熱交換而對空氣進行冷卻。與空氣進行熱交換的熱媒體成為低溫且低壓的氣體狀態而自冷卻環管14、24流出並再次被壓縮機11、21壓縮。

如上所述的各冷卻單元10、20中，藉由使壓縮機11、 21的運轉頻率發生變化來調節轉速，可調節供給至凝結器12、22的熱媒體的供給量，並且可調節膨脹閥13、23的開度，藉此可調節供給至冷卻環管14、24的熱媒體的供給量。藉由進行此種調節而使冷凍能力成為可變。再者，本實施形態中，出於提高控制的穩定性的目的，第1冷卻單元10的壓縮機11以一定的頻率運轉。於實施此種運轉的情況下，壓縮機11可為以固定頻率運轉的壓縮機，於該情況下，可減低製造成本。

另外，對冷卻部2的配置態樣進行詳細敘述，本實施形態中，如圖2所示，於空氣流通路30內設置有沿空氣的流動延伸而將空氣流通路30的一部分二分割的分隔構件200，藉由分隔構件200將空氣流通路30的一部分劃分為第1流路30A與第2流路30B。然後，於第1流路30A設置有冷卻部2。另外，於分隔構件200的下游側的端部設置有對第1流路30A及第2流路30B的開度進行調節的流量調節擋板201。另一方面，於空氣取入口31內設置有上游側溫度感測器44，上游側溫度感測器44對與來自折回流路100的空氣合流的取入至空氣取入口31後的空氣的溫度進行檢測。此處，本實施形態中的流量調節擋板201是根據上游側溫度感測器44所檢測的溫度而被控制單元50控制，藉此可調節第1流路30A及第2流路30B的開度。

其次，對加熱部4進行說明，本實施形態中的加熱部4具有如下結構：使自第1冷卻單元10中的壓縮機11朝向凝結器12流出的熱媒體的一部分分支，經由加熱環管16及設置於其下游 側的加熱量調節閥18而以流入至位於壓縮機11的下游側的凝結器12的方式返回。此處，加熱環管16收容於空氣流通路30內。

詳細而言，加熱環管16具有熱媒體入口與熱媒體出口，熱媒體入口和壓縮機11與凝結器12之間的配管的上游側是藉由其他配管而連接，熱媒體出口和壓縮機11與凝結器12之間的配管的下游側進而藉由其他配管而連接。然後，於自熱媒體出口延伸的配管設置有加熱量調節閥18。藉此，加熱部4可使自壓縮機11朝向凝結器12流出的熱媒體的一部分分支，經由加熱環管16及加熱量調節閥18而以流入至凝結器12的方式返回。

該加熱部4中，經壓縮機11壓縮的高溫且高壓的氣體狀態的熱媒體被供給至加熱環管16。加熱環管16使所供給的熱媒體與溫度控制對象的空氣進行熱交換而對空氣進行加熱。然後，與空氣進行熱交換的熱媒體自加熱環管16返回至壓縮機11與凝結器12之間的配管。此處，藉由加熱量調節閥18對來自加熱環管16的熱媒體的返回量進行調節，可變更加熱環管16的加熱能力。熱媒體的返回量越多，加熱能力越增加。此種加熱部4的加熱能力可根據壓縮機11的運轉頻率及/或加熱量調節閥18的開度而進行調節。

其次，參照圖3至圖5對分配箱80進行說明。圖3是自水平方向(第2方向d2)的一側朝斜下方觀察空氣調和裝置1上的分配箱80的立體圖，圖4是自水平方向(第2方向d2)的另一側朝斜下方觀察空氣調和裝置1上的分配箱80的立體圖。另 外，圖5是表示用以將後述的封閉構件130或管道120安裝於空氣調和裝置1的管道連接孔91~管道連接孔94的安裝結構AS的圖。

如圖3及圖4所示，關於本實施形態中的分配箱80，作為一例，呈下方開放的長方體狀形成，且具有：在第1方向d1上相對向的一對側壁部80A、80B；在第2方向d2上相對向並且將一對側壁部80A、80B的兩端部間連接的一對側壁部80C、80D；及跨及在第1方向d1上相對向的一對側壁部80A、80B及在第2方向d2上相對向的一對側壁部80C、80D的各上邊緣而設置的上壁部80E。如上所述，於分配箱80設置有多個管道連接孔91~管道連接孔94，本實施形態中，作為管道連接孔，設置有朝上方開口的第1管道連接孔91、朝與第1管道連接孔91不同的方向開口的第2管道連接孔92、93、94。

於本實施形態中，第1管道連接孔91於分配箱80的上壁部80E設置有多個，各第1管道連接孔91為圓形，且沿鉛垂方向朝上方開口。另外，多個第1管道連接孔91中的至少一個(一部分)第1管道連接孔91的開口面積與其他第1管道連接孔91的開口面積不同。具體而言，圖示的例子中，七個第1管道連接孔91設置於分配箱80，其中的三個第1管道連接孔91的開口面積小於其他四個第1管道連接孔91的開口面積。圖示的例子中，小直徑的三個第1管道連接孔91的直徑成為150mm，大直徑的四個第1管道連接孔91的直徑成為250mm，但此種第1管道連 接孔91的尺寸或數量並無特別限定，當然亦可為其他態樣。

另外，第2管道連接孔92、93、94設置於分配箱80的側壁部80A、80C、80D，各第2管道連接孔92、93、94為圓形，且沿水平方向開口。於本實施形態中，多個第2管道連接孔92、93、94包含彼此朝不同的方向開口的第2管道連接孔92、第2管道連接孔93及第2管道連接孔94這三種孔。

詳細而言，第2管道連接孔92於位於第2方向d2的一側的側壁部80C設置有多個(圖示例中為三個)且朝第2方向d2的一側開口，並以在水平方向(第1方向d1)上排列的方式形成。圖示的例子中，各第2管道連接孔92的開口面積彼此相同，各第2管道連接孔92的直徑與所述小直徑的三個第1管道連接孔91的直徑同樣地成為150mm。另外，第2管道連接孔93於位於第2方向d2的另一側的側壁部80D設置有多個(圖示例中為兩個)且朝第2方向d2的另一側開口，並與所述第2管道連接孔92同樣地以在水平方向(第1方向d1)上排列的方式形成。圖示的例子中，各第2管道連接孔93的開口面積亦彼此相同，各第2管道連接孔93的直徑與所述大直徑的四個第1管道連接孔91的直徑同樣地成為250mm。另外，第2管道連接孔94於位於第1方向d1的一側的側壁部80A設置有多個(圖示例中為兩個)且朝第1方向d1的一側開口，並以在水平方向(第2方向d2)上排列的方式形成。圖示的例子中，各第2管道連接孔94的開口面積彼此相同，各第2管道連接孔94的直徑與所述大直徑的四個第1管道連接孔 91的直徑同樣地成為250mm。

此處，本實施形態中，假定於多個第2管道連接孔92、93、94中的第2管道連接孔92、93的一部分或全部連接管道120，另一方面，於第2管道連接孔94連接有所述折回流路100。詳細而言，如圖2所示，第2管道連接孔94與過濾器裝置313的下游側且空氣取入口31的上游側的部分藉由折回流路100而連接。此處，第2管道連接孔94於俯視時，即沿鉛垂方向朝下方觀察時，朝空氣取入口31側開口。藉此，可抑制折回流路100的長度而將折回流路100延伸至空氣取入口31側。

再者，如上所述的第2管道連接孔92、93、94的尺寸或數量並無特別限定，當然亦可為其他態樣。另外，本實施形態中，朝相同方向開口的例如多個第2管道連接孔92的開口面積相同，但例如朝相同方向開口的多個第2管道連接孔92中的至少一個(一部分)第2管道連接孔的開口面積亦可與其他第2管道連接孔92的開口面積不同。

另外，於分配箱80分別與第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93、94相對應地設置有安裝結構AS，所述安裝結構AS是用以可拆裝地安裝將第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93、94加以封閉的封閉構件130。圖5中，作為一例，示出有與兩個第1管道連接孔91相對應的安裝結構AS。本實施形態中的安裝結構AS包含設置於第1管道連接孔91周圍的多個螺栓緊固孔81，藉由將貫通於圓板狀的封閉構件130的多個螺栓82 緊固於相對應的螺栓緊固孔81而安裝封閉構件130。另外，如圖所示，安裝結構AS亦可藉由將貫通於管道120的端部的凸緣121的多個螺栓82緊固於相對應的螺栓緊固孔81而安裝管道120。即，本實施形態中的安裝結構AS可選擇性安裝封閉構件130或管道120。

再者，此種安裝結構AS並不限定於圖示的例子，亦可包含其他態樣。例如，安裝結構AS亦可包含以防止被押入至規定位置的封閉構件130或管道120的脫落的方式進行保持的球接頭(ball joint)等。另外，如圖5所示，本實施形態中的安裝結構AS構成為：藉由將貫通於封閉構件130或管道120的凸緣121的多個螺栓82隔著密封構件131而緊固於相對應的螺栓緊固孔81，從而安裝封閉構件130或管道120。圖示的密封構件131為呈環狀形成的橡膠等彈性構件，可氣密地保持封閉構件130或管道120。再者，密封構件131並不限定於此種態樣，例如，亦可為將固定於框體36側的液狀的密封材硬化而成者等。另外，亦可不設置此種密封構件131。

本實施形態中，如上所述，於第2管道連接孔94連接折回流路100。於該情況下，於所述風量調節用擋板101打開的狀態下，藉由驅動送風機60，經由折回流路100而供給至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側的位置的空氣與取入至空氣取入口31前的外部空氣合流。此處，本實施形態的空氣調和裝置1中，藉由風量調節擋板101的調節、管道120相對於第1管道連接孔 91及第2管道連接孔92、93的連接及封閉構件130的安裝，可使送風機60輸出的風量的0%~100%的風量的空氣返回至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側的位置。

再者，本實施形態中，如上所述，折回流路100的下游側的端部連通於取入流路312中的過濾器裝置313的下游側的位置，但折回流路100的下游側的端部亦可連通於取入流路312中的過濾器裝置313的上游側的位置。另外，折回流路100的下游側的端部亦可連通於空氣取入口31的下游側的位置。即，折回流路100的下游側的端部可連接於作為調溫部(冷卻部2及加熱部4)的上游側的部分的取入流路312或空氣流通路30中的調溫部(冷卻部2及加熱部4)的上游側的部分等。於該情況下，經由折回流路100而供給至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側即調溫部的上游側的位置(部分)的空氣與取入至空氣取入口31後的外部空氣合流。

其次，對本實施形態的空氣調和裝置1的動作進行說明。本實施形態的空氣調和裝置1中，溫度控制對象的由空氣取入口31取入的空氣藉由冷卻部2而冷卻，藉由加熱部4而加熱，並朝向預先設定的目標溫度而進行控制。

於將本實施形態的空氣調和裝置1加以運轉時，首先，於控制單元50中，輸入目標溫度與目標濕度。另外，藉由驅動送風機60，空氣流通路30內的空氣流動至空氣噴出口32側，藉此自空氣流通路30的空氣取入口31取入溫度控制對象的空氣。進 而，亦驅動各冷卻單元10、20的壓縮機11、21。另外，該例中，以使相對於送風機60輸出的風量的規定比例的風量的空氣自折回流路100返回至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側的位置的方式調節風量調節用擋板101的開度。進而，根據溫度控制對象空間的位置、數量、要求風量等而將管道120連接於第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93中的所期望的管道連接孔。

如上所述般驅動送風機60等，由空氣流通路30的空氣取入口31取入的空氣經上游側溫度感測器44檢測出溫度後，首先，通過冷卻部2(第1流路30A)及/或第2流路30B，其後，通過加熱部4。其後，該空氣藉由加濕裝置70而加濕後，由空氣噴出口32噴出，到達至分配箱80的內部空間S。然後，空氣的一部分經由第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93的一部分或全部而供給至一個或多個管道120。另外，空氣的另一部分自第2管道連接孔94經由折回流路100而返回至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側的位置。此處，通過空氣噴出口32的空氣藉由溫度感測器41而檢測溫度，藉由濕度感測器42而檢測濕度。然後，溫度感測器41將所檢測的溫度輸出至控制單元50，濕度感測器42將所檢測的濕度輸出至控制單元50。

然後，控制單元50基於溫度感測器41所檢測的溫度與目標溫度的差分，來控制加熱量調節閥18的開度、第1冷卻單元10的膨脹閥13的開度、第2冷卻單元20的膨脹閥23的開度及壓縮機21的運轉頻率，並以輸出與所述差分相對應的加熱能力及冷 凍能力的方式進行控制。另外，控制單元50亦基於濕度感測器42所檢測的濕度與目標濕度的差分來控制加濕裝置70的加濕能力。

然後，本實施形態中，經溫度控制的空氣經由第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93的一部分或全部而供給至一個或多個管道120，將經溫度控制的空氣自管道120供給至溫度控制對象空間。

另外，於進行此種運轉時，本實施形態的空氣調和裝置1中，可藉由折回流路100，將通過冷卻部2及加熱部4的空氣的一部分供給至冷卻部2的上游側且加熱部4的上游側的位置，從而與取入至空氣流通路30的空氣取入口31前的空氣合流。藉此，即便為根據環境溫度的顯著變動而取入至空氣取入口31的外部空氣的溫度發生大幅變動的情況下，該外部空氣亦藉由與經溫度控制的來自折回流路100的空氣合流，而其溫度變得接近於應進行溫度控制的溫度。即，產生相對於環境變動的影響的影響緩和效果。因此，即便不根據外部空氣的溫度的大幅變動而使冷凍能力或加熱能力急劇發生大幅變化，亦可容易將與來自折回流路100的空氣合流的外部空氣控制為所期望的溫度。

根據以上所說明的本實施形態的空氣調和裝置1，於將所連接的管道延伸至溫度控制對象空間時，可根據溫度控制對象空間的位置，自朝上方開口的第1管道連接孔91及朝與其不同的方向開口的第2管道連接孔92、93、94中適宜選擇於所述情況下可極力抑制管道的彎曲部分的管道連接孔。藉此，可抑制由管道 所形成的不期望的彎曲部分所引起的壓力損失的增加，藉此可抑制送風機的運轉效率的降低。另外，於有多個溫度控制對象空間的情況下，藉由將自多個管道連接孔91、92、93、94中選擇並加以連接的管道延伸至相對應的溫度控制對象空間，可抑制管道的增加並且可將經溫度控制的空氣供給至多個溫度控制對象空間。因而，可以多種型式連接用以向溫度控制對象空間供給空氣的管道，且可根據狀況而靈活地設定較佳的管道的配置型式。

另外，於分配箱80設置有多個第1管道連接孔91，藉此可使可通過管道而直接供給空氣的溫度控制對象空間增加，因此可提高便利性。

另外，多個第1管道連接孔91中的至少一個(一部分)第1管道連接孔91的開口面積與其他第1管道連接孔91的開口面積不同。藉此，於要求減小管道的佔有區域的情況下，藉由將細的管道連接於開口面積小的第1管道連接孔91，可應對抑制佔有面積的要求，於溫度控制對象空間所要求的要求風量大的情況下，藉由將粗的管道連接於開口面積大的第1管道連接孔91，可抑制由壓力損失所引起的送風機的不期望的輸出增加並且可將空氣供給至溫度控制對象空間。藉此，可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，於分配箱80設置有多個第2管道連接孔92、93、94，藉此與所述同樣地可使可通過管道而直接供給空氣的溫度控制對象空間增加，因此可提高便利性。

另外，多個第2管道連接孔92、93、94中的至少一個(一部分)第2管道連接孔朝與其他第2管道連接孔不同的方向開口。藉此，例如於將所連接的管道延伸至溫度控制對象空間時，可根據溫度控制對象空間的位置，自彼此朝不同的方向開口的多個第2管道連接孔92、93、94中適宜選擇於所述情況下可極力抑制管道的長度的管道連接孔。藉此，可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，朝不同的方向開口的例如第2管道連接孔92、93的開口面積彼此不同，藉此亦可選擇管道的連接的朝向，除此以外亦可選擇管道的直徑，因此可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。另外，多個第2管道連接孔92、93、94包含朝相同方向開口的至少兩個第2管道連接孔。藉此，亦可增多用以連接管道的可選擇的管道連接孔，因此可根據狀況而進一步靈活地設定較佳的管道的配置型式，且可提高便利性。

另外，多個第2管道連接孔92、93、94中的第2管道連接孔94於俯視時朝空氣取入口31側開口。然後，第2管道連接孔94與過濾器裝置313的下游側且空氣取入口31的上游側的部分藉由折回流路100而連接。根據該構成，可將第2管道連接孔92、93、94的一部分用作折回流路100的連接部，藉由將連接於朝空氣取入口31側開口的第2管道連接孔94的折回流路100延伸至空氣取入口側31，可使空氣返回而實現溫度控制的穩定性 的提高。此時，可抑制折回流路100的長度，且可使空氣順暢地返回。

另外，於分配箱80設置有用以可拆裝地安裝封閉構件130的安裝結構AS，所述封閉構件130將第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93、94加以封閉。藉此，可防止空氣自不使用的第1管道連接孔91及第2管道連接孔92、93、94噴出並且可將空氣僅供給至溫度控制對象空間，從而可有效地將空氣供給至溫度控制對象空間。但是，安裝結構AS可選擇性安裝封閉構件130或管道，因此可抑制構成的複雜化並且可提高便利性。

此處，圖6是表示空氣調和裝置1的適用例的圖。於圖6中，空氣調和裝置1配置於配置溫度控制對象空間(具體而言為半導體製造設備S)的空間F2的下一級的空間F1。如圖6所示，於多個溫度控制對象空間位於空氣調和裝置1的上方的情況下，根據本實施形態的空氣調和裝置1，藉由將管道連接於朝上方開口的第1管道連接孔91，可設定極力抑制所連接的管道的彎曲部分而將管道延伸至所期望的溫度控制對象空間的管道配置型式。另外，藉由使用多個第1管道連接孔91，可抑制管道的增加並且可將經溫度控制的空氣供給至多個溫度控制對象空間。

以上，對本發明的一實施形態進行了說明，但本發明並不限定於所述實施形態及其變形例。

例如，所述實施形態中，分配箱80安裝於框體36的上表面，但如圖7所示，分配箱80亦可設置於框體36的側面。於 圖7所示的分配箱80設置有朝上方開口的第1管道連接孔91和朝與其不同的方向開口的第2管道連接孔95。再者，於該情況下，空氣噴出口32以在框體36的側面開口的方式形成。

另外，所述實施形態中，所有第2管道連接孔92、93、94朝水平方向開口，但其一部分或全部亦可如圖8所示的第2管道連接孔96般朝斜上方開口。另外，圖8所示的變形例中，分配箱80呈七面體狀形成，但分配箱80亦可為其他多面體狀，亦可為包含如球殼狀般的曲面的形狀。另外，所述實施形態中，設置有兩個冷卻部2與一個加熱部4，但冷卻部2及加熱部4的數量等亦並不限定於所述實施形態的態樣中。

Claims (8)

1. 一種空氣調和裝置，其特徵在於包括：框體，具有取入空氣的空氣取入口及將所取入的空氣噴出的空氣噴出口，於所述框體的內部劃分形成連通所述空氣取入口與所述空氣噴出口的空氣流通路；送風機，使空氣自所述空氣取入口流通至所述空氣噴出口；調溫部，收容於所述框體中，對流通於所述空氣流通路中的空氣進行溫度控制；及分配箱，以覆蓋所述空氣噴出口的方式安裝於所述框體，且使所述分配箱的內部空間連通於所述空氣噴出口，於所述分配箱設置有作為連接管道的孔的用以將空氣自所述內部空間供給至所述管道的第1管道連接孔與第2管道連接孔，所述第1管道連接孔朝上方開口，所述第2管道連接孔朝與所述第1管道連接孔不同的方向開口，其中多個所述第2管道連接孔中的一部分第2管道連接孔朝與其他第2管道連接孔不同的方向開口，其中多個所述第2管道連接孔中的一部分第2管道連接孔於俯視時朝設於所述框體的所述空氣取入口側開口，其中於所述框體以覆蓋所述空氣取入口的方式設置過濾器裝置，朝所述空氣取入口側開口的所述第2管道連接孔與所述過濾器裝置的下游側且所述調溫部的上游側的部分藉由折回流路而連接，通過所述調溫部的空氣的一部分不供給到所述管道，而是回到所述過濾器裝置的下游側且所述調溫部的上游側的部分。
2. 如申請專利範圍第1項所述的空氣調和裝置，其中所述折回流路連接到所述過濾器裝置的下游側且設於所述框體的所述空氣取入口的上游側的部分。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的空氣調和裝置，其中所述空氣取入口設在所述框體的位於與水平方向平行的第1方向的一方側的側壁部，所述空氣噴出口設在所述框體的所述第1方向的他方側的位置。
4. 如申請專利範圍第3項所述的空氣調和裝置，其中所述空氣流通路是從所述空氣取入口往上方延伸後，再往所述第1方向的他方側延伸。
5. 如申請專利範圍第4項所述的空氣調和裝置，其中所述空氣噴出口是朝上方開口。
6. 如申請專利範圍第1項所述的空氣調和裝置，其中所述第2管道連接孔沿水平方向開口。
7. 如申請專利範圍第1項所述的空氣調和裝置，其中所述第1管道連接孔沿鉛垂方向朝上方開口。
8. 如申請專利範圍第1項所述的空氣調和裝置，其中所述分配箱安裝於所述框體的上表面。