CN109477646A - 空气调节装置 - Google Patents

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Abstract

提供空气调节装置，能够按照各种模式连接用于向温度控制对象空间提供空气的管道，从而能够根据状况灵活地设定适当的管道的配置模式。空气调节装置(1)具有：壳体(36)，其具有空气取入口(31)和空气排出口(32)，在该壳体(36)的内部划分有使空气取入口(31)与空气排出口(32)连通的空气流通路(30)；送风机(60)，其使空气从空气取入口(31)向空气排出口(32)流通；冷却部(2)和加热部(4)，它们收纳于壳体(36)，对在空气流通路(30)中流通的空气进行温度控制；以及分配箱体(80)，其以覆盖空气排出口(32)的方式安装于壳体(36)，并且使该分配箱体(80)的内部空间与空气排出口(32)连通。在分配箱体(80)上设置有向上方开口的第1管道连接孔(91)和向与第1管道连接孔(91)不同的方向开口的第2管道连接孔(92、93、94)。

Description

空气调节装置
技术领域
本发明涉及空气调节装置。
背景技术
作为半导体制造设备等中所用的精密调温用的空气调节装置，存在如下的空气调节装置：其具备壳体，该壳体具有空气取入口和空气排出口，在该壳体内收纳送风机、加热部以及冷却部。像这样的空气调节装置利用送风机的驱动而在空气取入口从装置外部取入空气，将所取入的空气利用加热部和冷却部调节至期望的温度并从空气排出口排出。空气取入口和空气排出口可以设置在壳体的任意位置，但多数情况下，空气取入口设置于壳体的侧面，空气排出口设置于壳体的上表面或者侧面(例如，参照专利文献1)。
这种空气调节装置通常按照如下的方式使用：通过将管道与空气排出口连接，从而将被实施了温度控制的空气经由管道提供给温度控制对象空间。另外，有时通过将具有多个孔的中空的箱体与管道的下游侧端部连接并将分支用的管道与该箱体的多个孔连接，从而将被实施了温度控制的空气提供给多个温度控制对象空间。例如在半导体制造设备中，有时通过使用像上述那样的箱体而将从一个空气调节装置排出的空气分配给净化室和设置于该净化室内的多个装置的内部等。
另外，在使用于半导体制造设备时，这种空气调节装置有时配置于所述设备所设置的空间的下层的空间。在该情况下，成为如下的配置：与空气排出口连接的管道朝向上层的空间而向上方延伸。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009－63242号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在专利文献1所公开的空气调节装置中，一个空气排出口设置于壳体的上表面或者侧面，但在该结构中，在使管道从空气排出口朝向温度控制对象空间延伸的情况下，有时会产生不得不使管道进行非期望的多次弯曲的状况。因此，管道的弯曲部分的增加会导致压力损失的增加，从而产生不得不非期望地增加用于获得期望的风量的送风机的输出的状况，有时会使送风机的运转效率降低。具体而言，例如在空气排出口设置于壳体的侧面且温度控制对象空间相对于空气调节装置位于上方的情况下，需要使管道向上方弯曲。在该情况下，相比于使管道按照直线延伸的情况，由于压力损失增加而使送风机的运转效率降低。
另外，在这种空气调节装置中，作为与空气排出口连接的管道，一般使用直径与空气排出口的直径一致的管道。这里，在像专利文献1所公开的那样仅在装置的上表面或侧面设置有一个空气排出口的结构中，根据设置条件，有时会使管道的占有区域非期望地变大，从而产生空气调节装置的设置自由度受到制约的状况和该装置的周边部件的配置自由度受到制约的状况。另外，管道相对于温度控制对象空间所要求的要求风量而变得过小，会产生不得不使送风机的输出非期望地增加的状况。
另外，在从空气调节装置向多个温度控制对象空间提供空气时，如上所述，将具有多个孔的中空的箱体与管道的下游侧端部连接，且将分支用的管道与该箱体的多个孔连接，该管道的下游侧端部与空气排出口连接。然而，在该情况下，管道的增加导致产生成本上升和结构的复杂化的问题。因此，期望不使构造复杂化而能够向多个空间提供空气的结构。
本发明就是考虑像这样的情况而完成的，其目的在于提供空气调节装置，其能够以各种模式来连接用于向温度控制对象空间提供空气的管道，并且能够根据状况而灵活地设定适合的管道的配置模式。
用于解决课题的手段
本发明是一种空气调节装置，其特征在于，该空气调节装置具有：壳体，其具有取入空气的空气取入口和将所取入的空气排出的空气排出口，在该壳体的内部划分有使所述空气取入口与所述空气排出口连通的空气流通路；送风机，其使空气从所述空气取入口向所述空气排出口流通；调温部，其收纳于所述壳体，对在所述空气流通路中流通的空气进行温度控制；以及分配箱体，其以覆盖所述空气排出口的方式安装于所述壳体，并且使该分配箱体的内部空间与所述空气排出口连通，在所述分配箱体上设置有向上方开口的第1管道连接孔和向与所述第1管道连接孔不同的方向开口的第2管道连接孔，它们是供管道连接的孔，用于从所述内部空间向所述管道提供空气。
根据该空气调节装置，在将所连接的管道延伸至温度控制对象空间时，能够根据温度控制对象空间的位置而从向上方开口的第1管道连接孔和向与该第1管道连接孔不同的方向开口的第2管道连接孔之中适当选择能够尽量减少管道的弯曲部分的管道连接孔。由此通过抑制由形成管道非期望的弯曲部分导致的压力损失的增加，从而能够抑制送风机的运转效率的降低。另外，在存在多个温度控制对象空间的情况下，通过将与多个管道连接孔连接的管道延伸至对应的温度控制对象空间，而能能够抑制管道的增加并且将被温度控制了的空气提供给多个温度控制对象空间。因此，能够按照各种模式来连接用于向温度控制对象空间提供空气的管道，从而能够根据状况灵活地设定适当的管道对配置模式。
在本发明的空气调节装置中，也可以是在所述分配箱体上设置有多个所述第1管道连接孔。
根据该结构，由于增加了能够通过管道而直接提供空气的温度控制对象空间，因此能够提高便利性。
另外，也可以是多个所述第1管道连接孔中的至少一个第1管道连接孔的开口面积与其他的第1管道连接孔对开口面积不同。
根据该结构，在期望减小管道的占有区域的情况下，通过将较细的管道与开口面积较小的第1管道连接孔连接，能够应对减小占有面积抑制的要求，在温度控制对象空间所期望的要求风量较大的情况下，通过将较粗的管道与开口面积较大的第1管道连接孔连接，能够抑制由压力损失导致的送风机的非期望的输出增加并且将空气提供给温度控制对象空间。由此，能够根据状况更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。
另外，也可以是在所述分配箱体上设置有多个所述第2管道连接孔。
根据该结构，由于能够增加可通过管道直接提供空气的温度控制对象空间，因此能够提高便利性。
在该情况下，也可以是多个所述第2管道连接孔中的至少一个(一部分)第2管道连接孔向与其他的第2管道连接孔不同的方向开口。
根据该结构，例如能够根据温度控制对象空间的位置从向彼此不同的方向开口的多个第2管道连接孔之中适当选择能够尽量抑制在连接的管道延伸至温度控制对象空间时的管道的长度的管道连接孔。由此能够根据状况更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。
另外，在该情况下，也可以是向不同的方向开口的所述第2管道连接孔的开口面积彼此不同。
根据该结构，由于除了能够选择管道的连接的朝向还能够选择管道的直径，因此能够根据状况更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。
另外，也可以是在多个所述第2管道连接孔中包含有向同一方向开口的至少二个第2管道连接孔。
根据该结构，由于增加了可选择的用于连接管道的管道连接孔，因此能够根据状况更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。
另外，在该情况下，也可以是向同一方向开口的至少两个所述第2管道连接孔中的至少一个(一部分)第2管道连接孔的开口面积与其他的第2管道连接孔的开口面积不同。
根据该结构，在期望减小管道的占有区域的情况下，通过将较细的管道与在向同一方向开口的第2管道连接孔中的开口面积较小的第2管道连接孔连接，能够应对减小占有面积的要求，在温度控制对象空间所期望的要求风量较大的情况下，通过将较粗的管道与开口面积较大的第2管道连接孔连接，能够抑制由压力损失导致的送风机的非期望的输出增加并且将空气提供给温度控制对象空间。由此，能够根据状况更灵活地设定适当的管道的配置模式。
另外，也可以是多个所述第2管道连接孔中的一部分的第2管道连接孔在俯视时向所述空气取入口侧开口。
在该情况下，也可以是在所述壳体上以覆盖所述空气取入口的方式设置有过滤装置，向所述空气取入口侧开口的所述第2管道连接孔与在所述过滤装置的下游侧且所述空气取入口的上游侧的部分通过返回流路连接起来。
也可以是多个所述第2管道连接孔中的一部分的第2管道连接孔与所述调温部的上游侧的部分通过返回流路连接起来。
根据该结构，能够将第2管道连接孔的一部分作为返回流路的连接部分而利用，通过使与向空气取入口侧开口的第2管道连接孔连接的返回流路延伸至空气取入口侧而使空气返回，从而能够实现温度控制的稳定性的提高。此时，能够抑制返回流路的长度并且能够流畅地使空气返回。
另外，也可以是在所述分配箱体上设置有安装构造，该安装构造用于以能够装卸的方式安装封闭部件，该封闭部件对所述第1管道连接孔和所述第2管道连接孔进行封闭。
根据该结构，能够防止空气从未使用的第1管道连接孔和第2管道连接孔排出并且仅向温度控制对象空间提供空气，从而能够高效地向温度控制对象空间提供空气。
这里，也可以是所述安装构造能够选择性地安装所述封闭部件或者所述管道。
根据该结构，由于能够通过单一的安装构造选择性地安装封闭部件或者管道，因此能够抑制结构的复杂化并且提高便利性。
另外，也可以是所述第2管道连接孔沿着水平方向开口。
另外，也可以是所述第1管道连接孔沿着铅垂方向向上方开口。
另外，也可以是所述分配箱体安装于所述壳体的上表面。
另外，本发明是一种空气调节装置，其特征在于，该空气调节装置具有：壳体，其具有取入空气的空气取入口和将所取入的空气排出的空气排出口，在该壳体的内部划分有使所述空气取入口与所述空气排出口连通的空气流通路；送风机，其使空气从所述空气取入口向所述空气排出口流通；调温部，其收纳于所述壳体，对在所述空气流通路中流通的空气进行温度控制；以及分配箱体，其以覆盖所述空气排出口的方式安装于所述壳体，并且使该分配箱体的内部空间与所述空气排出口连通，在所述分配箱体上设置有多个管道连接孔，它们是供管道连接的孔，用于从所述内部空间向所述管道提供空气，所述多个管道连接孔由向同一方向开口的开口面积彼此不同的多种孔构成。
根据该空气调节装置，在期望减小管道的占有区域的情况下，通过将较细的管道与开口面积较小的管道连接孔连接，而能够应对减小占有面积的要求，在温度控制对象空间所期望的要求风量较大的情况下，通过将较粗的管道与开口面积较大的管道连接孔连接，能够抑制送风机的非期望的输出增加并且向温度控制对象空间提供空气。另外，能够使用多个管道将被实施了温度控制的空气提供给多个温度控制对象空间。由此，能够根据状况灵活地设定适当的管道的配置模式。
发明效果
根据本发明，能够按照各种模式连接用于向温度控制对象空间提供空气的管道，从而能够根据状况灵活地设定适当的管道的配置模式。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的空气调节装置的立体图。
图2是示出图1所示的空气调节装置的大致结构的图。
图3是从水平方向的一侧向斜下方观察到的图1所示的空气调节装置上的分配箱体的立体图。
图4是从作为与图3相反的一侧的水平方向的另一侧向斜下方观察到的图1所示的空气调节装置上的分配箱体的立体图。
图5是示出用于将封闭部件或管道安装于图1所示的空气调节装置的管道连接孔的安装构造的图。
图6是示出图1所示的空气调节装置的应用例的图。
图7是示出图1所示的空气调节装置的一个变形例的图。
图8是示出图1所示的空气调节装置的一个变形例的图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的一个实施方式详细地进行说明。
图1是本发明的一个实施方式的空气调节装置1的立体图，图2是示出空气调节装置1的大致结构的图。本实施方式的空气调节装置1例如被使用于对涂覆光致抗蚀剂和进行显影的装置的内部等的多个温度控制对象空间提供被实施了温度控制的空气，从而维持各温度控制对象空间的温度恒定。
如图1和图2所示，该空气调节装置1具有：壳体36，其具有取入该装置外部的空气的空气取入口31和将从空气取入口31取入的空气排出的空气排出口32，在该壳体的内部划分出使空气取入口31与空气排出口32连通的空气流通路30；送风机60，其使空气从空气取入口31朝向空气排出口32流通；冷却部2，其收纳于空气流通路30内，利用可变的冷冻能力对从空气取入口31取入的空气进行冷却；加热部4，其收纳于空气流通路30内，利用可变的加热能力对从空气取入口31取入的空气进行加热；分配箱体80，其以覆盖空气排出口32的方式安装于壳体36，并且使该分配箱体的内部空间S与空气排出口32连通；返回流路100，其从冷却部2的下游侧且加热部4的下游侧的位置(部分)延伸至冷却部2的上游侧且加热部4的上游侧的位置(部分)；以及控制单元50，其对冷却部2的冷冻能力和加热部4的加热能力等进行控制。
冷却部2和加热部4对应于对在空气流通路30流通的空气进行温度控制的本发明所述的调温部。另外，在图2中，为了便于图示，以控制单元50位于壳体36的外部的方式进行表示，但实际上控制单元50收纳于壳体36内。
如图1所示，壳体36作为一例而形成为长方体状并设置于建筑物内的地面上。壳体36具有：一对侧壁部36A、36B，它们在与水平方向平行的第1方向d1上对置；一对侧壁部36C、36D，它们在与水平方向平行且与第1方向d1垂直的第2方向d2上对置，并且将一对侧壁部36A、36B的两个端部之间连接；以及上壁部36E，其跨过在第1方向d1上对置的一对侧壁部36A、36B和在第2方向d2上对置的一对侧壁部36C、36D的各上缘而设置。在图1中，为了便于图示，利用虚线示出了空气取入口31和空气排出口32，但在本实施方式中，空气取入口31设置在位于第1方向d1的一侧的侧壁部36A上，空气排出口32设置在上壁部36E的第1方向d1的另一侧的部分。
在空气取入口31中连接有用于使外部的空气朝向空气取入口31流通的取入流路312，在取入流路312上设置有过滤装置313。在图示的例子中，过滤装置313以隔着取入流路312而覆盖空气取入口31的方式安装于壳体36。在本实施方式中，通过送风机60的驱动，外部的空气从过滤装置313起在取入流路312中流通，从空气取入口31流入空气流通路30内。上述的过滤装置313作为一例是化学过滤器，但可以是HEPA过滤器或ULPA过滤器，也可以是包含化学过滤器和HEPA过滤器或ULPA过滤器的过滤装置。
如图2所示，在本实施方式中，壳体36的空气流通路30在从空气取入口31向上方延伸之后，以向第1方向d1的另一侧延伸的方式弯曲。在空气流通路30内，冷却部2配置于加热部4的上游侧，在加热部4的下游侧还设置有加湿装置70。加湿装置70与控制单元50电连接，通过控制单元50的控制能够以可变的加湿量对从空气取入口31取入的空气进行加湿。另外，在本实施方式中，送风机60在空气流通路30内设置于加湿装置70的下游侧。送风机60构成为能够变更风量，但在驱动空气调节装置1时，送风机60基本上以输出恒定的风量的方式进行驱动。另外，在本实施方式中，冷却部2配置于加热部4的上游侧，但冷却部2也可以配置于加热部4的下游侧。另外，送风机60的位置也可以是与图示的例子不同的位置。
空气排出口32设置于上壁部36E的第1方向d1的另一侧的部分，其向上方(在本实施方式中是沿着铅垂方向朝向上方)开口。这里，由于本实施方式的分配箱体80安装于壳体36的上壁部36E的上表面，因此从空气排出口32排出并被实施了温度控制的空气朝向上方提供至分配箱体80的内部空间S。
在分配箱体80上，设置有多个供为了便于图示而以双点划线示出的管道120连接的管道连接孔91～94(参照图3和图4)。由此，在本实施方式的空气调节装置1中，通过将管道120与从多个管道连接孔91～94之中选择的一个或多个管道连接孔连接，从而从内部空间S向一个或多个所期望的管道120提供空气，能够向所期望的温度控制对象空间提供空气。
在图示的例子中，在分配箱体80内设置有温度传感器41和湿度传感器42，该温度传感器41和该湿度传感器42对通过了冷却部2、加热部4以及加湿装置70的空气的温度或湿度进行检测。温度传感器41和湿度传感器42将所检测的温度或湿度输出给控制单元50，由此，控制单元50根据温度传感器41所检测的温度对冷却部2和加热部4进行控制，并且根据湿度传感器42所检测的湿度对加湿装置70进行控制。另外，在图1中，为了便于图示，使温度传感器41和湿度传感器42与分配箱体80分开而示出，但温度传感器41和湿度传感器42以能够检测通过空气排出口32的空气的温度或湿度的任意的方式进行配置。
在本实施方式的分配箱体80中，除了与用于向温度控制对象空间提供空气供给的管道120进行连接的用途之外，管道连接孔91～94的一部分的管道连接孔94也被使用于与上述的返回流路100进行连接。如图1和图2所示，返回流路100是配管部件，其以跨过取入流路312和分配箱体80的方式设置，返回流路100的下游侧的端部与取入流路312上的过滤装置313的下游侧的位置连通。在返回流路100内设置有对在返回流路100中流通的空气的风量进行调节的风量调节用阻尼器101，本实施方式的风量调节用阻尼器101能够以手动和自动的方式调节在返回流路100中流通的空气的风量。另外，后面对分配箱体80的详细情况进行叙述。
接着，参照图2对冷却部2和加热部4进行说明。首先，对冷却部2进行说明，本实施方式的冷却部2由第1冷却单元10的冷却线圈14和第2冷却单元20的冷却线圈24构成。在本实施方式中，包含冷却线圈14在内的第1冷却单元10将按照可变运转频率进行运转而能够调节转速的压缩机11、冷凝器12、膨胀阀13以及冷却线圈14按照使热介质在它们之间循环的方式利用配管15按照该顺序进行连接而构成，包含冷却线圈24在内的第2冷却单元20将按照可变运转频率进行运转而能够调节转速的压缩机21、冷凝器22、膨胀阀23以及冷却线圈24按照使热介质在它们之间循环的方式利用配管25按照该顺序进行连接而构成。
在该第1和第2冷却单元10、20中，压缩机11、21对从冷却线圈14、24流出的低温且低压的气体状态的热介质进行压缩而使其成为高温且高压的气体状态，并提供给冷凝器12、22。压缩机11、21是按照可变运转频率进行运转并能够根据运转频率调节转速的变频压缩机。在压缩机11、21中，运转频率越高则会使更多的热介质提供给冷凝器12、22。作为压缩机11，优选采用一体具有逆变器和马达的涡旋式压缩机。然而，如果能够通过逆变器对运转频率的调节来调节转速从而调节热介质的供给量(流量)的话，不特别限定压缩机11、21的形式。
另外，冷凝器12、22利用冷却水使被压缩机11、21压缩的热介质冷却并且冷凝而成为规定的冷却温度的高压的液体状态，并提供给膨胀阀13、23。可以使用水作为冷凝器12、22的冷却水，也可以使用其它的制冷剂。另外，膨胀阀13、23使从冷凝器12、22提供的热介质膨胀从而使其减压而成为低温且低压的气液混合状态，并提供给冷却线圈14、24。冷却线圈14、24使所提供的热介质与温度控制对象的空气进行热交换，从而将空气冷却。与空气进行了热交换的热介质变成低温且低压的气体的状态，从冷却线圈14、24流出并再次被压缩机11、21压缩。
在像以上那样的各冷却单元10、20中，通过使压缩机11、21的运转频率变化并调节转速，能够调节向冷凝器12、22提供的热介质的供给量，并且由于能够调节膨胀阀13、23的开度因此能够调节向冷却线圈14、24提供的热介质的供给量。利用像这样的调节而使冷冻能力可变。另外，在本实施方式中，以提高控制的稳定性为目的，使第1冷却单元10的压缩机11按照恒定的频率运转。在实施像这样的运转的情况下，压缩机11可以是按照固定频率进行运转的压缩机，在该情况下能够降低制造成本。
另外，对冷却部2的配置方式进行详细描述，在本实施方式中，如图2所示，在空气流通路30内设置有沿着空气的流动延伸并将空气流通路30的一部分一分为二的隔板部件200，利用隔板部件200将空气流通路30的一部分划分成第1流路30A和第2流路30B。并且，在第1流路30A中设置有冷却部2。另外，在隔板部件200的下游侧的端部设置有对第1流路30A和第2流路30B的开度进行调节的流量调节阻尼器201。另一方面，在空气取入口31内设置有上游侧温度传感器44，上游侧温度传感器44对与来自返回流路100的空气汇合后的被取入到空气取入口31后的空气的温度进行检测。这里，本实施方式的流量调节阻尼器201被控制单元50根据上游侧温度传感器44所检测的温度进行控制，从而能够对第1流路30A和第2流路30B的开度进行调节。
接着，对加热部4进行说明，本实施方式的加热部4具有如下的返回构造：使从第1冷却单元10的压缩机11朝向冷凝器12流出的热介质的一部分分支，并经由加热线圈16和设置于该加热线圈16的下游侧的加热量调节阀18而在压缩机11的下游侧流入冷凝器12。这里，加热线圈16收纳于空气流通路30内。
详细而言，加热线圈16具有热介质入口和热介质出口，通过其它的配管将热介质入口和压缩机11与冷凝器12之间的配管的上游侧连接，通过另外的其他配管将热介质出口和压缩机11与冷凝器12之间的配管的下游侧连接。并且，在从热介质出口延伸的配管上设置有加热量调节阀18。由此，加热部4能够实现如下的返回：使从压缩机11朝向冷凝器12流出的热介质的一部分分支，并经由加热线圈16和加热量调节阀18流入冷凝器12。
在该加热部4中，将被压缩机11压缩了的高温且高压的气体状态的热介质提供给加热线圈16。加热线圈16使所提供的热介质与温度控制对象的空气进行热交换而将空气加热。然后，与空气进行了热交换的热介质从加热线圈16返回压缩机11与冷凝器12之间的配管。这里，加热量调节阀18能够通过对来自加热线圈16的热介质的返回量进行调节而变更加热线圈16的加热能力。热介质的返回量越多，加热能力增加。像这样的加热部4的加热能力能够根据压缩机11的运转频率和/或加热量调节阀18的开度而调节。
接着，参照图3至图5对分配箱体80进行说明。图3是从水平方向(第2方向d2)的一侧向斜下方观察到的空气调节装置1上的分配箱体80的立体图，图4是从水平方向(第2方向d2)的另一侧向斜下方观察到的空气调节装置1上的分配箱体80的立体图。另外，图5是示出用于将后述的封闭部件130或管道120安装于空气调节装置1的管道连接孔91～94的安装构造AS的图。
如图3和图4所示，作为一例，本实施方式的分配箱体80形成为下方开放的长方体状，其具有：一对侧壁部80A、80B，它们在第1方向d1上对置；一对侧壁部80C、80D，它们在第2方向d2上对置并且将一对侧壁部80A、80B的两端部间连接起来；以及上壁部80E，其跨过在第1方向d1上对置的一对侧壁部80A、80B和在第2方向d2上对置的一对侧壁部80C、80D的各上缘而设置。如上所述，在分配箱体80上设置有多个管道连接孔91～94，在本实施方式中，作为管道连接孔，设置有向上方开口的第1管道连接孔91和向与第1管道连接孔91不同的方向开口的第2管道连接孔92、93、94。
在本实施方式中，第1管道连接孔91在分配箱体80的上壁部80E上设置有多个，各第1管道连接孔91呈圆形，沿着铅垂方向向上方开口。另外，多个第1管道连接孔91中的至少一个(一部分)第1管道连接孔91的开口面积与其他的第1管道连接孔91的开口面积不同。具体而言，在图示的例子中，七个第1管道连接孔91设置于分配箱体80，其中三个第1管道连接孔91的开口面积小于其他四个第1管道连接孔91的开口面积。在图示的例子中，小直径的三个第1管道连接孔91的直径为150mm，大直径的四个第1管道连接孔91的直径为250mm，但像这样的第1管道连接孔91对尺寸和数量没有特别限定，当然也可以是其他的方式。
另外，第2管道连接孔92、93、94设置于分配箱体80侧壁部80A、80C、80D，各第2管道连接孔92、93、94呈圆形，沿着水平方向开口。在本实施方式中，多个第2管道连接孔92、93、94由彼此向不同的方向开口的第2管道连接孔92、第2管道连接孔93和第2管道连接孔94这三种孔构成。
详细而言，第2管道连接孔92在位于第2方向d2的一侧的侧壁部80C上设置有多个(在图示例中为三个)并且向第2方向d2的一侧开口，在水平方向(第1方向d1)上排列而形成。在图示的例子中，各第2管道连接孔92的开口面积彼此相同，各第2管道连接孔92的直径与上述的小直径的三个第1管道连接孔91的直径相同，且是150mm。另外，第2管道连接孔93在位于第2方向d2的另一侧的侧壁部80D上设置有多个(在图示例中为二个)并且向第2方向d2的另一侧开口，与上述的第2管道连接孔92相同，在水平方向(第1方向d1)上排列而形成。在图示的例子中，各第2管道连接孔93的开口面积也彼此相同，各第2管道连接孔93的直径与上述的大直径的四个第1管道连接孔91的直径相同，且是250mm。另外，第2管道连接孔94在位于第2方向d1的一侧的侧壁部80A上设置有多个(在图示例中为二个)并且向第1方向d2的一侧开口，在水平方向(第2方向d2)上排列而形成。在图示的例子中，各第2管道连接孔94的开口面积彼此相同，各第2管道连接孔94的直径与上述的大直径的四个第1管道连接孔91的直径相同，且是250mm。
这里，在本实施方式中，假设管道120与多个第2管道连接孔92、93、94中的第2管道连接孔92、93的一部分或者全部连接，另一方面在第2管道连接孔94上连接有上述的返回流路100。详细而言，如图2所示，第2管道连接孔94与过滤装置313的下游侧且空气取入口31的上游侧的部分通过返回流路100而连接。这里，第2管道连接孔94在俯视、即沿着铅垂方向向下方观察的情况下，向空气取入口31侧开口。由此，抑制了返回流路100的长度，能够使返回流路100延伸至空气取入口31侧。
另外，像以上那样的第2管道连接孔92、93、94的尺寸和数量没有特别限定，当然也可以是其他的方式。另外，在本实施方式中，向同一方向开口的例如多个第2管道连接孔92的开口面积相同，但例如也可以是，向同一方向开口的多个第2管道连接孔92中的至少一个(一部分)第2管道连接孔的开口面积与其他的第2管道连接孔92的开口面积不同。
另外，在分配箱体80中，分别与第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93、94的各个对应而设置有安装构造AS，该安装构造AS用于以可装卸的方式安装对第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93、94进行封闭的封闭部件130。图5中作为一例而示出了与二个第1管道连接孔91对应的安装构造AS。本实施方式的安装构造AS由设置于第1管道连接孔91的周围的多个螺栓紧固孔81构成，通过将穿过了圆板状的封闭部件130的多个螺栓82紧固于所对应的螺栓紧固孔81，从而安装封闭部件130。另外，如图所示，安装构造AS通过将穿过了管道120的端部的凸缘121的多个螺栓82紧固于所对应的螺栓紧固孔81，从而能够安装管道120。即，本实施方式的安装构造AS能够选择性地安装封闭部件130或者管道120。
另外，像这样的安装构造AS不限定于图示的例子，也可以以其他的方式构成。例如，安装构造AS也可以由按照防止已被压入到规定位置的封闭部件130或管道120脱落的方式进行保持的球窝接合等构成。另外，如图5所示，本实施方式的安装构造AS构成为通过将穿过了封闭部件130或管道120的凸缘121的多个螺栓82隔着密封部件131紧固于所对应的螺栓紧固孔81，从而安装封闭部件130或者管道120。图示的密封部件131是形成为环状的橡胶等的弹性部件，能够使封闭部件130或管道120保持气密。另外，密封部件131不限定于像这样的方式，也可以是例如使固定于壳体36侧的液状的密封材料硬化而成的方式等。另外，也可以不设置像这样的密封部件131。
在本实施方式中，如上所述，在第2管道连接孔94中连接返回流路100。在该情况下，在上述的风量调节用阻尼器101打开的状态下，通过驱动送风机60，从而使经由返回流路100向冷却部2的上游侧、且加热部4的上游侧的位置提供的空气与从空气取入口31取入前的外部的空气汇合。这里，在本实施方式的空气调节装置1中，通过调节风量调节用阻尼器101、将管道120与第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93连接、以及安装封闭部件130，从而能够使送风机60所输出的风量的0％～100％的风量的空气返回冷却部2的上游侧、且加热部4的上游侧的位置。
另外，在本实施方式中，如上所述，返回流路100的下游侧的端部与取入流路312的过滤装置313的下游侧的位置连通，但返回流路100的下游侧的端部也可以与取入流路312的过滤装置313的上游侧的位置连通。另外，返回流路100的下游侧的端部也可以与空气取入口31的下游侧的位置连通。即，返回流路100的下游侧的端部可以与作为调温部(冷却部2和加热部4)的上游侧的部分的取入流路312和空气流通路30的调温部(冷却部2和加热部4)的上游侧的部分等连接。在该情况下，经由返回流路100提供给冷却部2的上游侧、且加热部4的上游侧、即调温部的上游侧的位置(部分)的空气与从空气取入口31取入后的外部的空气汇合。
接着，对本实施方式的空气调节装置1的动作进行说明。在本实施方式的空气调节装置1中，从温度控制对象的空气取入口31取入的空气被冷却部2冷却或被加热部4加热从而被控制成预先设定的目标温度。
在使本实施方式的空气调节装置1运转时，首先，在控制单元50中，输入目标温度和目标湿度。另外，通过驱动送风机60，使空气流通路30内的空气向空气排出口32侧流动，从而从空气流通路30的空气取入口31取入温度控制对象的空气。此外，还驱动各冷却单元10、20的压缩机11、21。另外，在该例子中，对风量调节用阻尼器101的开度进行调节，以便使相对于送风机60所输出的风量的规定的比例的风量的空气从返回流路100返回至冷却部2的上游侧、且加热部4的上游侧的位置。此外，根据温度控制对象空间的位置、数量、要求风量等而在第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93中的期望的管道连接孔中连接管道120。
在以上述的方式对送风机60等进行驱动时，从空气流通路30的空气取入口31取入的空气在借助上游侧温度传感器44检测了温度之后，首先，通过冷却部2(第1流路30A)和/或第2流路30B，然后通过加热部4。接着，该空气在被加湿装置70加湿后从空气排出口32排出，到达分配箱体80的内部空间S。之后，空气的一部分经由第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93的一部分或者全部而提供给一个或多个管道120。另外，空气的其他的一部分从第2管道连接孔94经由返回流路100而返回至冷却部2的上游侧、且加热部4的上游侧的位置。这里，通过空气排出口32的空气借助温度传感器41检测温度，借助湿度传感器42检测湿度。然后，温度传感器41将所检测的温度输出给控制单元50，湿度传感器42将所检测的湿度输出给控制单元50。
然后，控制单元50根据温度传感器41所检测的温度与目标温度之间的差值，对加热量调节阀18的开度、第1冷却单元10的膨胀阀13的开度、第2冷却单元20的膨胀阀23的开度以及压缩机21的运转频率进行控制，从而进行控制以便按照与上述的差值对应的加热能力和冷冻能力进行输出。另外，控制单元50也根据湿度传感器42所检测的湿度与目标湿度之间的差值对加湿装置70的加湿能力进行控制。
然后，在本实施方式中，被实施了温度控制的空气经由第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93的一部分或者全部而被提供给一个或者多个管道120，从而从管道120向温度控制对象空间提供被实施了温度控制的空气。
另外，在像这样进行运转时，在本实施方式的空气调节装置1中，利用返回流路100将通过了冷却部2和加热部4的空气的一部分提供至冷却部2的上游侧、且加热部4的上游侧的位置，从而能够使其与从空气流通路30的空气取入口31取入前的空气汇合。由此，即使在随着环境温度的显著变动导致从空气取入口31取入的外部的空气的温度产生大幅变动的情况下，通过使该外部的空气与被实施了温度控制的来自返回流路100的空气进行汇合，从而使空气的温度接近应该被温度控制成的温度。即，能够产生相对于环境变动的影响的影响缓和效果。因此，即使不使冷冻能力或者加热能力随着外部的空气的温度的较大的变动而急剧地大幅变化，也容易将与来自返回流路100的空气汇合后的外部的空气控制至期望的温度。
根据以上说明的本实施方式的空气调节装置1，在将所连接的管道延伸至温度控制对象空间时，能够根据温度控制对象空间的位置而从向上方开口的第1管道连接孔91和向与该第1管道连接孔91不同的方向开口的第2管道连接孔92、93、94之中适当选择能够尽量减少管道的弯曲部分的管道连接孔。由此，由于能够抑制因形成于管道的非期望的弯曲部分导致的压力损失的增加，因此能够抑制送风机的运转效率的降低。另外，在存在多个温度控制对象空间的情况下，通过使从多个管道连接孔91、92、93、94选择出并进行了连接的管道延伸至所对应的温度控制对象空间，从而能够抑制管道的增加并且将被实施了温度控制的空气提供给多个温度控制对象空间。因此，能够按照各种模式将用于向温度控制对象空间提供空气的管道连接，能够根据状况灵活地设定适当的管道的配置模式。
另外，由于通过在分配箱体80上设置多个第1管道连接孔91而能够增加可通过管道直接提供空气的温度控制对象空间，因此能够提高便利性。
另外，多个第1管道连接孔91中的至少一个(一部分)第1管道连接孔91的开口面积与其他的第1管道连接孔91的开口面积不同。由此，在期望减小管道的占有区域的情况下，通过将较细的管道与开口面积较小的第1管道连接孔91连接，能够应对抑制占有面积的要求，在温度控制对象空间所期望的要求风量较大的情况下，通过将较粗的管道与开口面积较大的第1管道连接孔91连接，能够抑制压力损失所导致的送风机的非期望的输出增加并且将空气提供给温度控制对象空间。由此，能够根据状况而更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。
另外，通过在分配箱体80上设置多个第2管道连接孔92、93、94，从而与上述相同，由于能够增加可通过管道而直接提供空气的温度控制对象空间，因此能够提高便利性。
另外，多个第2管道连接孔92、93、94中的至少一个(一部分)第2管道连接孔向与其他的第2管道连接孔不同的方向开口。由此，例如能够从向彼此不同的方向开口的多个第2管道连接孔92、93、94之中，根据温度控制对象空间的位置而适当选择出能够尽量抑制在使所连接的管道延伸至温度控制对象空间时的管道的长度的管道连接孔。由此，能够根据状况而更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。
另外，由于通过使向不同方向开口的例如第2管道连接孔92、93的开口面积彼此不同，除了能够选择管道的连接的朝向之外，还能够选择管道的直径，因此能够根据状况而更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高便利性。另外，在多个第2管道连接孔92、93、94中包含向同一方向开口的至少二个第2管道连接孔。由此，由于增加了为连接管道而可供选择的管道连接孔，因此能够根据状况而更灵活地设定适当的管道的配置模式，从而能够提高利便性。
另外，多个第2管道连接孔92、93、9中的第2管道连接孔94在俯视时向空气取入口31侧开口。而且，第2管道连接孔94与过滤装置313的下游侧、且空气取入口31的上游侧的部分通过返回流路100连接。根据该结构，能够将第2管道连接孔92、93、94的一部分作为返回流路100的连接部分进行利用，将与向空气取入口31侧开口的第2管道连接孔94连接的返回流路100延伸至空气取入口31侧，而使空气返回，从而能够实现温度控制的稳定性的提高。此时，能够抑制返回流路100的长度，并且能够使空气流畅地返回。
另外，在分配箱体80上设置有安装构造AS，该安装构造AS用于以可装卸的方式安装对第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93、94进行封闭的封闭部件130。由此，能够防止空气从未使用的第1管道连接孔91和第2管道连接孔92、93、94排出并且仅向温度控制对象空间提供空气，从而能够高效地向温度控制对象空间提供空气。而且，安装构造AS由于能够选择性地安装封闭部件130或者管道，因此能够抑制结构的复杂化并且提高便利性。
这里，图6是示出空气调节装置1的使用例的图。在图6中，空气调节装置1配置于空间F2的下层的空间F1，在该空间F2中配置有温度控制对象空间(具体而言是半导体制造设备S)。如图6所示，在多个温度控制对象空间位于空气调节装置1的上方的情况下，根据本实施方式的空气调节装置1，通过将管道与向上方开口的第1管道连接孔91连接，能够设定成尽量减少所连接的管道的弯曲部分并使管道延伸至期望的温度控制对象空间的管道配置模式。另外，通过使用多个第1管道连接孔91，能够抑制管道的增加并且将被实施了温度控制的空气提供给多个温度控制对象空间。
以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的实施方式和其变形例。
例如，在上述的实施方式中，分配箱体80安装于壳体36的上表面，但也可以如图7所示使分配箱体80设置于壳体36的侧面上。在图7所示的分配箱体80中，设置有向上方开口的第1管道连接孔91和向与该第1管道连接孔91不同的方向开口的第2管道连接孔95。另外，在该情况下，空气排出口32形成为在壳体36的侧面开口。
另外，在上述的实施方式中，第2管道连接孔92、93、94全部向水平方向开口，但也可以是它们的一部分或者全部像图8所示的第2管道连接孔96那样向斜上方开口。另外，在图8所示的变形例中，分配箱体80形成为七面体状，但分配箱体80可以呈其它的多面体状，也可以呈包含球壳状那样的曲面的形状。另外，在上述的实施方式中，设置有二个冷却部2和一个加热部4，但冷却部2和加热部4的数量等也不限定于上述的实施方式的情况。
标号说明
1：空气调节装置；2：冷却部；4：加热部；30：空气流通路；31：空气取入口；32：空气排出口；36：壳体；36A、36B、36C、36D：侧壁部；36E：上壁部；60：送风机；80：分配箱体；80A、80B、80C、80D：侧壁部；80E：上壁部；91：第1管道连接孔；92～96：第2管道连接孔；100：返回流路；101：风量调节用阻尼器；120：管道；130：封闭部件；313：过滤装置；S：内部空间；d1：第1方向；d2：第2方向；AS：安装构造。

Claims (17)

1.一种空气调节装置，其特征在于，该空气调节装置具有：
壳体，其具有取入空气的空气取入口和将所取入的空气排出的空气排出口，在该壳体的内部划分有使所述空气取入口与所述空气排出口连通的空气流通路；
送风机，其使空气从所述空气取入口向所述空气排出口流通；
调温部，其收纳于所述壳体，对在所述空气流通路中流通的空气进行温度控制；以及
分配箱体，其以覆盖所述空气排出口的方式安装于所述壳体，并且使该分配箱体的内部空间与所述空气排出口连通，
在所述分配箱体上设置有向上方开口的第1管道连接孔和向与所述第1管道连接孔不同的方向开口的第2管道连接孔，它们是供管道连接的孔，用于从所述内部空间向所述管道提供空气。
2.根据权利要求1所述的空气调节装置，其特征在于，
在所述分配箱体上设置有多个所述第1管道连接孔。
3.根据权利要求2所述的空气调节装置，其特征在于，
多个所述第1管道连接孔中的至少一个第1管道连接孔的开口面积与其他的第1管道连接孔的开口面积不同。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的空气调节装置，其特征在于，
在所述分配箱体上设置有多个所述第2管道连接孔。
5.根据权利要求4所述的空气调节装置，其特征在于，
多个所述第2管道连接孔中的至少一个第2管道连接孔向与其他的第2管道连接孔不同的方向开口。
6.根据权利要求5所述的空气调节装置，其特征在于，
向不同的方向开口的所述第2管道连接孔的开口面积彼此不同。
7.根据权利要求6所述的空气调节装置，其特征在于，
在多个所述第2管道连接孔中包含有向同一方向开口的至少两个第2管道连接孔。
8.根据权利要求7所述的空气调节装置，其特征在于，
向同一方向开口的至少两个所述第2管道连接孔中的至少一个第2管道连接孔的开口面积与其他的第2管道连接孔的开口面积不同。
9.根据权利要求5所述的空气调节装置，其特征在于，
多个所述第2管道连接孔中的一部分的第2管道连接孔在俯视时向所述空气取入口侧开口。
10.根据权利要求9所述的空气调节装置，其特征在于，
在所述壳体上以覆盖所述空气取入口的方式设置有过滤装置，
向所述空气取入口侧开口的所述第2管道连接孔与所述过滤装置的下游侧且所述空气取入口的上游侧的部分通过返回流路连接起来。
11.根据权利要求5所述的空气调节装置，其特征在于，
多个所述第2管道连接孔中的一部分的第2管道连接孔与所述调温部的上游侧的部分通过返回流路连接起来。
12.根据权利要求1所述的空气调节装置，其特征在于，
在所述分配箱体上设置有用于以能够装卸的方式安装封闭部件的安装构造，该封闭部件对所述第1管道连接孔和所述第2管道连接孔进行封闭。
13.根据权利要求12所述的空气调节装置，其特征在于，
所述安装构造能够选择性地安装所述封闭部件或所述管道。
14.根据权利要求1所述的空气调节装置，其特征在于，
所述第2管道连接孔沿水平方向开口。
15.根据权利要求1所述的空气调节装置，其特征在于，
所述第1管道连接孔沿铅垂方向向上方开口。
16.根据权利要求1所述的空气调节装置，其特征在于，
所述分配箱体安装于所述壳体的上表面。
17.一种空气调节装置，其特征在于，该空气调节装置具有：
壳体，其具有取入空气的空气取入口和将所取入的空气排出的空气排出口，在该壳体的内部划分有使所述空气取入口与所述空气排出口连通的空气流通路；
送风机，其使空气从所述空气取入口向所述空气排出口流通；
调温部，其收纳于所述壳体，对在所述空气流通路中流通的空气进行温度控制；以及
分配箱体，其以覆盖所述空气排出口的方式安装于所述壳体，并且使该分配箱体的内部空间与所述空气排出口连通，
在所述分配箱体上设置有多个管道连接孔，它们是供管道连接的孔，用于从所述内部空间向所述管道提供空气，
所述多个管道连接孔由向同一方向开口的开口面积彼此不同的多种孔构成。
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