TWI644023B

TWI644023B - 流體輸送裝置

Info

Publication number: TWI644023B
Application number: TW106130345A
Authority: TW
Inventors: Chuan-Chang Feng; 馮傳彰; Chih-Hui Lai; 賴志諱
Original assignee: Scientech Corporation; 辛耘企業股份有限公司
Priority date: 2017-09-05
Filing date: 2017-09-05
Publication date: 2018-12-11
Also published as: CN109424557A; CN109424557B; TW201912942A; KR20200067995A; KR102124247B1

Abstract

一種流體輸送裝置包括一槽體、一流體驅動件、一主循環管路和一氣泡排除件。槽體用以容納流體。流體驅動件包括一流體驅動室和一旋轉扇。流體驅動室連通於槽體下方。旋轉扇位於流體驅動室內。當旋轉扇旋轉時，槽體內的流體受到旋轉扇帶動而從流體驅動室流出，並在流體驅動室內形成複數氣泡。主循環管路包括一第一端和一第二端。第一端連通流體驅動室。第二端連通槽體。氣泡排除件連通主循環管路，用以排出流體驅動室內的含有複數氣泡的部分流體。

Description

流體輸送裝置

本發明係關於一種流體輸送裝置，特別是可排出含有氣泡的部分流體的流體輸送裝置。

一般在用化學液對基板進行清潔或蝕刻製程時，化學液是存放在一液體循環系統裡。液體循環系統具有一儲存槽、一泵和一流通管，儲存槽用以儲存化學液並連接流通管，泵設置於儲存槽底部且設有旋轉扇；旋轉扇可以旋轉以攪動化學液，以驅使儲存槽內的化學液流向流通管。流通管上設置有輸出口，輸出口用以輸出液體至晶圓上，以便對基板進行清潔或蝕刻製程。

然而，當旋轉扇旋轉而攪動化學液時，或是化學液進行反應時，皆會讓化學液產生氣泡，且該些氣泡會卡在旋轉扇周圍或內部。當旋轉扇卡住的氣泡量累積到一定程度時，會使得旋轉扇空轉，且進一步得造成液體輸送中斷，甚至是讓旋轉扇的旋轉馬達毀壞。

因此，有必要提供一種新的液體循環系統，其可排出旋轉扇周圍的液體所含的氣泡。

本發明之主要目的係在提供一種可排出含有複數氣泡的部分流體的流體輸送裝置。

為達成上述之目的，本發明之一種流體輸送裝置用以輸送一流體，並排出含有複數氣泡的部分流體。流體輸送裝置包括一槽體、一流體驅動件、一主循環管路和一氣泡排除件。槽體用以容納流體。流體驅動件包括一流體驅動室和一旋轉扇。流體驅動室連通於槽體下方。旋轉扇位於流體驅動室內。當旋轉扇旋轉時，槽體內的流體受到旋轉扇帶動而從流體驅動室流出，並在流體驅動室內形成複數氣泡。主循環管路包括一第一端和一第二端。第一端連通流體驅動室。第二端連通槽體，第一端和第二端為主循環管路相對的兩端。氣泡排除件連通主循環管路，氣泡排除件用以排出流體驅動室內的含有複數氣泡的部分流體。

根據本發明之一實施例，其中氣泡排除件更包括一第一管路和一氣體供應部，第一管路連通流體驅動室；氣體供應部設於第一管路並提供一負壓，氣泡排除件藉由負壓而將流體驅動室內的含有複數氣泡的部分流體排出。

根據本發明之一實施例，其中氣泡排除件更包括一第一管路、一第二管路和一供氣部，該第一管路連通該流體驅動室，第二管路連通第一管路和槽體，供氣部設於第二管路，供氣部朝第二管路和槽體的連接處提供一正壓，以使第一管路產生一相對負壓。

根據本發明之一實施例，其中氣泡排除件更包括一流量控制閥，流量控制閥設於第一管路，以控制流過第一管路之流體的流量。

根據本發明之一實施例，其中氣泡排除件更包括一第三管路和一排液控制閥，第三管路連通流體驅動室，排液控制閥設於第三管路，以控制排出流體驅動室內的含有複數氣泡的部分流體。

根據本發明之一實施例，流體輸送裝置更包括一氣泡過濾件，氣泡過濾件設於主循環管路。

根據本發明之一實施例，氣泡排除件啟動預設時間，以將流體驅動室內含有複數氣泡的部分流體排出，接著啟動旋轉扇以將流體輸送至主循環管路。

根據本發明之一實施例，氣泡排除件持續運作，以將流體驅動室內含有複數氣泡的部分流體持續排出。

根據本發明之一實施例，流體輸送裝置更包括一壓力感測件，壓力感測件設置於主循環管路並電性連接氣泡排除件和旋轉扇；當壓力感測件偵測流體的一壓力低於一第一壓力值時，氣泡排除件排出流體驅動室內的含有複數氣泡的部分流體。

根據本發明之一實施例，其中當壓力感測件偵測流體的一壓力低於一第一壓力值時，氣泡排除件啟動預設時間，以排出流體驅動室內的含有複數氣泡的部分流體，且旋轉扇停止旋轉，當預設時間結束後，氣泡排除件停止排出該部分流體，且旋轉扇開始旋轉以使流體從流體驅動室流入第一端。

根據本發明之一實施例，其中當壓力感測件偵測流體的壓力低於一第二壓力值時，壓力感測件控制旋轉扇的旋轉速度提昇，以增加從流體驅動室流出的流體的流量。

根據本發明之一實施例，主循環管路更包括至少一流體輸出部，至少一流體輸出部用以輸出流體至外部，其中壓力感測件控制旋轉扇的旋轉速度，以控制從流體驅動室供給流體輸出部的流體的流量。

根據本發明之一實施例，其中第二壓力值高於第一壓力值。

藉由本發明之流體輸送裝置之結構，可以輸送流體至基板處理件的基板上，並且可以藉由流體之壓力變化而自動偵測氣泡之含量，以便在氣泡之含量過高時，藉由氣泡排除件將含有複數氣泡的部分流體自流體驅動室排出，以避免氣泡卡在內部結構上而造成內部結構毀壞或妨礙流體輸送。

為能讓貴審查委員能更瞭解本發明之技術內容，特舉較佳具體實施例說明如下。

以下請參考圖1和圖2關於本發明之第一實施例之流體輸送裝置。圖1係本發明之第一實施例之流體輸送裝置之示意圖。圖2係本發明之第一實施例之流體輸送裝置之系統架構圖。

如圖1和圖2所示，本發明之流體輸送裝置1用以輸送一流體L至基板處理件200的基板W上，並且流體輸送裝置1可以排出含有複數氣泡B的一部分流體L，以避免複數氣泡B卡在流體輸送裝置1的內部結構上。流體L例如為化學液或水，其可對基板W進行蝕刻或清洗製程。流體輸送裝置1包括一槽體10、一流體驅動件20、一主循環管路30、一氣泡排除件40、一壓力感測件50、一氣泡過濾件60和一控制件70。

在本發明之第一實施例之中，槽體10為一筒狀槽，用以容納流體L。流體驅動件20包括一流體驅動室21和一旋轉扇22。流體驅動室21連通於槽體10下方，流體驅動室21用以讓槽體10內的流體L集中往流體驅動室21之底部流動。旋轉扇22位於流體驅動室21內，並位於流體驅動室21之底部。當旋轉扇22旋轉時，流體L會受到旋轉扇22帶動而從槽體10內流至流體驅動室21後再沿著第一流動方向X流出，其中流體驅動室21內的部份流體L會受到旋轉扇22攪動而在流體驅動室21內形成複數氣泡B，且複數氣泡B容易在旋轉扇22攪動時，卡在旋轉扇22周圍或是流體驅動室21的頂部壁面。於本發明中，所舉例之流體驅動室21和槽體10連通之結構以及流體驅動室21的頂部壁面之結構，僅係作為舉例，流體驅動室21和槽體10之結構並不以本實施例之圖示態樣為限；只要會使含有複數氣泡B的一部分流體L影響流體驅動件20運作之流體驅動室21和槽體10之結構，即為本發明所欲表達之結構，並不以此為限。

在本發明之第一實施例之中，主循環管路30用以讓從流體驅動室21流出的流體L，沿著第一流動方向X流動而輸出至外部，再沿著第一流動方向X2流回槽體10，主循環管路30包括一第一端31、一第二端32和複數流體輸出部33。第一端31連通流體驅動室21，第一端31用以接收從流體驅動室21流出的流體L。第二端32連通槽體10，第二端32用以讓流體L沿著第一流動方向X2流回槽體10。第一端31和第二端32是主循環管路30上的相對兩端。複數流體輸出部33位於第一端31和第二端32之間，複數流體輸出部33用以輸出流體L至外部的基板處理件200，以使流體L對基板處理件200上的基板W進行蝕刻或清洗製程。各個流體輸出部33可設有閥門以控制輸出至外部的流體L之流量。本實施例的流體輸出部33之數量為複數個，但流體輸出部33之數量也可依照設計需求而變更為一個。

在本發明之第一實施例之中，氣泡排除件40透過主循環管路30連通流體驅動室21，氣泡排除件40用以於一預設時間內啟動，以排出流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L，並且在預設時間結束後，旋轉扇22會啟動以將流體L輸送至主循環管路30；或者氣泡排除件40也可設計為持續運作，以將流體驅動室21內含有複數氣泡B的部分流體L持續排出。第一實施例之氣泡排除件40包括一第一管路41、一氣體供應部42、一流量控制閥43和一出口44。第一管路41透過主循環管路30連通流體驅動室21。氣體供應部42設於第一管路41並透過吸引力而對第一管路41提供一負壓；氣泡排除件40可藉由負壓而吸引流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L，並將吸引到的含有複數氣泡B的部分流體L排放至外部。流量控制閥43設於第一管路41，以控制流過第一管路41之流體L的一流量。出口44設於氣體供應部42，出口44用以讓氣體供應部42藉由負壓而吸引的含有複數氣泡B的部分流體L流出至外部，以使含有複數氣泡B的部分流體L從流體輸送裝置1中排出。

在本發明之第一實施例之中，氣泡過濾件60設於主循環管路30，並位於第一端31和第二端32之間。氣泡過濾件60例如為濾網，其用以過濾流體L，以避免未被負壓吸引至第一管路41的含有複數氣泡B的部分流體L流至流體輸出部33進而對基板W造成汙染。控制件70例如為一中央處理器(Central Processing Unit，CPU)，控制件70電性連接旋轉扇22、氣泡排除件40之氣體供應部42和壓力感測件50，控制件70用以控制和協調流體輸送裝置1的各個電子元件運作，例如控制氣體供應部42運作，或是控制旋轉扇22的旋轉速度。

在本發明之第一實施例之中，壓力感測件50設置於主循環管路30，並電性連接氣泡排除件40之氣體供應部42、旋轉扇22和控制件70，壓力感測件50用以感測流體驅動室21內或者主循環管路30內的流體L之壓力，並藉由壓力的變化而傳送訊號給控制件70，以使控制件70根據訊號而控制氣泡排除件40和旋轉扇22運作；藉此，壓力感測件50可透過控制件70而控制旋轉扇22的一旋轉速度，以控制從流體驅動室21流出的流體L的流量，並控制從流體驅動室21供給流體輸出部33的流體L的流量。

當壓力感測件50偵測到流體L的壓力低於一第一壓力值時，壓力感測件50會傳送一第一電子訊號給控制件70，而控制件70會根據第一電子訊號控制氣泡排除件40和旋轉扇22；此時，受到控制件70控制的氣泡排除件40之氣體供應部42便會於一預設時間內啟動而產生負壓，且受到控制件70控制的旋轉扇22會停止旋轉，以使流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L順利得被負壓吸引至第一管路41，並沿著第二流動方向Y流到出口44，再從出口44流出至外部，如此一來即可排出含有複數氣泡B的部分流體L。當預設時間結束後，控制件70會控制氣泡排除件40之氣體供應部42停止運作並停止產生負壓，使得流體L不會再被負壓吸引；另外，控制件70也會控制旋轉扇22重新開始旋轉，以繼續使流體L從流體驅動室21流入第一端31。

當壓力感測件50偵測流體L的壓力低於一第二壓力值時，壓力感測件50會傳送一第二電子訊號給控制件70，控制件70會控制旋轉扇22，使旋轉扇22的旋轉速度提昇，以增加從流體驅動室21流出的流體L的流量。本發明之第二壓力值高於第一壓力值。

當要運用本發明之流體輸送裝置1輸送流體L至基板處理件200的基板W上時，可提供流體L至槽體10，流體L會儲存於槽體10並流至流體驅動室21；接著，控制件70會控制旋轉扇22旋轉，使得流體驅動室21內的流體L受到旋轉扇22帶動，而從流體驅動室21沿著第一流動方向X流至主循環管路30之第一端31；同時，流體L會受到旋轉扇22攪動而在流體驅動室21內形成複數氣泡B。沿著第一流動方向X流動的流體L流經複數流體輸出部33時，會沿著第一流動方向X1流動，而從流體輸出部33輸出至外部的基板處理件200的基板W上，如此一來即可對基板W進行製程。另外，未流入複數流體輸出部33的流體L會繼續沿著第一流動方向X2流向第二端32，最後再流回槽體10。

在流體L受到旋轉扇22攪動而在流體驅動室21內形成複數氣泡B時，複數氣泡B會影響流體L的壓力，使得壓力逐漸降低。或是受流體輸出部33輸出流體L至外部的基板處理件200，使得壓力改變。當壓力下降至低於第二壓力值時，壓力感測件50會傳送第二電子訊號給控制件70，控制件70會控制旋轉扇22，使旋轉扇22的旋轉速度提昇，以增加從流體驅動室21流出的流體L的流量，以增進流體L流入第一端31的效率。

當壓力下降至低於第一壓力值時，壓力感測件50會傳送第一電子訊號給控制件70，控制件70會根據第一電子訊號而控制氣泡排除件40和旋轉扇22；此時，受到控制件70控制的氣泡排除件40之氣體供應部42便會於預設時間內運作而產生負壓，且受到控制件70控制的旋轉扇22會停止旋轉，以使流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L順利得被負壓吸引至第一管路41，並沿著第二流動方向Y流到出口44，再從出口44流出至外部；如此一來，即可排出流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L。當預設時間結束後，控制件70會控制氣泡排除件40之氣體供應部42停止運作並停止產生負壓，使得流體L不會再被負壓吸引；另外，控制件70也會控制旋轉扇22重新開始旋轉，以繼續使流體L從流體驅動室21流入主循環管路30之第一端31，而從流體輸出部33輸出至外部。另外，若是具有氣泡B的流體L未被吸引至第一管路41，則當該流體L流經氣泡過濾件60時，氣泡過濾件60也可以過濾流體L內的氣泡B，並且讓過濾後的流體L再從第二端32回流至槽體10。

以下請參考圖3至圖4關於本發明之第二實施例之流體輸送裝置。圖3係本發明之第二實施例之流體輸送裝置之示意圖。圖3a係本發明之第二實施例之第一管路和第二管路之連接處之剖面圖。圖4係本發明之第二實施例之流體輸送裝置之系統架構圖。

如圖3、圖3a和圖4所示，第二實施例與第一實施例的差別在於，在第二實施例之流體輸送裝置1a之中，氣泡排除件40a不包括氣體供應部42和出口44，且氣泡排除件40a更包括一第二管路45和一供氣部46。第一管路41連通流體驅動室21，第二管路45連通第一管路41和槽體10，第二管路45用以讓含有複數氣泡B的部分流體L流回槽體10，且第二管路45和第一管路41的連接處係根據伯努利定律(Bernoulli's principle)而設計，其可在氣體沿著移動方向M移動時，在第二管路45和槽體10的連接處產生一正壓，並連帶著吸引流體L至第一管路並沿著移動方向M1移動至第二管路45。供氣部46設於第二管路45並電性連接控制件70。於本發明中，供氣部46可為廠務供氣端或是可移動式氣體加壓設備，但供氣部46之種類不以本發明之舉例為限，供氣部46可為其他能提供氣體之設備。供氣部46可提供沿著移動方向M移動的氣體，以朝第二管路45和槽體10的連接處提供一正壓；根據伯努利定律，在供氣部46往第二管路45和槽體10的連接處提供一正壓時，會同時在第一管路41產生一相對負壓，藉此，可透過該相對負壓而吸引流體L至第一管路41。於本發明中，僅舉一種可達成伯努利定律特性之結構，然而其結構可依實際需求而設計不同的結構，其結構不以本發明之舉例為限。

在第二實施例中，當流體L的壓力下降至低於第一壓力值時，壓力感測件50會傳送第一電子訊號給控制件70，控制件70會根據第一電子訊號而控制氣泡排除件40之供氣部46和旋轉扇22；此時，受到控制件70控制的氣泡排除件40之供氣部46便會於預設時間內啟動而朝第二管路45和槽體10的連接處提供一正壓，同時在第一管路41和主循環管路30的連接處產生一相對負壓；另外，受到控制件70控制的旋轉扇22會停止旋轉，以使流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L順利得被相對負壓吸引至第一管路41，並沿著第二流動方向Y1流到槽體10；如此一來，即可排出流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L。當預設時間結束後，控制件70會控制氣泡排除件40之供氣部46停止運作並停止產生相對負壓，使得流體L不會再被相對負壓吸引；另外，控制件70也會控制旋轉扇22重新開始旋轉，以繼續使流體L從流體驅動室21流入第一端31，而從流體輸出部33輸出至外部。

以下請參考圖5至圖6關於本發明之第三實施例之流體輸送裝置。圖5係本發明之第三實施例之流體輸送裝置之示意圖。圖5a係本發明之第三實施例之另一態樣的流體輸送裝置之示意圖。圖6係本發明之第三實施例之流體輸送裝置之系統架構圖。

如圖5和圖6所示，第三實施例與第二實施例的差別在於，在第三實施例之流體輸送裝置1b之中，氣泡排除件40b更包括一第三管路47和一排液控制閥48，第三管路47透過主循環管路30連通流體驅動室21，並用以將流體L輸送至外部。排液控制閥48設於第三管路47並電性連接控制件70，排液控制閥48用以控制排出流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L。

於第三實施例中，當供氣部46故障或無法正常提供正壓和相對負壓時，可以運用排液控制閥48來排出含有複數氣泡B的部分流體L。然而第三實施例之流體輸送裝置1c也可以設計為圖5a之態樣，其中氣泡排除件40c僅由第三管路47和排液控制閥48組成，當壓力下降至低於第一壓力值時，可以運用排液控制閥48來排出含有複數氣泡B的部分流體L。排液控制閥48為一閥門，當排液控制閥48之閥門開啟時，可以讓主循環管路30內的流體L受到重力牽引而沿著第三流動方向Z流入第三管路47，以使流體L流向外部；當排液控制閥48之閥門關閉時，流體L則無法穿過閥門。因此，當供氣部46故障或無法正常提供正壓和相對負壓時，可運用控制件70控制排液控制閥48之閥門開啟，讓主循環管路30內的流體L受到重力牽引而沿著第三流動方向Z流入第三管路47並流向外部，如此一來即可排出流體驅動室21內的含有複數氣泡B的部分流體L。於本發明中，係以流體驅動件20和氣泡排除件40分別作動作為舉例，實際上前述兩者可為同時作動，即流體驅動件20輸送流體L至主循環管路30時，同時啟動氣泡排除件40以將含有複數氣泡B的部分流體L排出流體驅動室21，並不以本發明之舉例為限。

本發明所提及之基板可為載板形式、晶圓形式、晶片形式等，並且可為圓型、方型，並不以此為限。並且藉由本發明之流體輸送裝置可應用於濕製程(清洗、蝕刻等)，例：單基板濕製程、多基板濕製程、單一方晶片錫球下金屬蝕刻、薄化晶圓支撐/剝離、碳化矽再生晶圓、再生矽晶圓等，並不以此為限。

藉由本發明之流體輸送裝置之結構，可以輸送流體L至基板處理件200的基板W上，並且可以藉由流體L之壓力變化而判斷氣泡B之含量，以便在氣泡B之含量過高時，藉由氣泡排除件40、40a、40b將含有複數氣泡B的部分流體L自流體驅動室21排出，以避免氣泡B卡在內部結構上而造成內部結構毀壞或妨礙流體L輸送。

需注意的是，上述僅為實施例，而非限制於實施例。譬如此不脫離本發明基本架構者，皆應為本專利所主張之權利範圍，而應以專利申請範圍為準。

1、1a、1b、1c‧‧‧流體輸送裝置

10‧‧‧槽體

20‧‧‧流體驅動件

21‧‧‧流體驅動室

22‧‧‧旋轉扇

30‧‧‧主循環管路

31‧‧‧第一端

32‧‧‧第二端

33‧‧‧流體輸出部

40、40a、40b、40c‧‧‧氣泡排除件

41‧‧‧第一管路

42‧‧‧氣體供應部

43‧‧‧流量控制閥

44‧‧‧出口

45‧‧‧第二管路

46‧‧‧供氣部

47‧‧‧第三管路

48‧‧‧排液控制閥

50‧‧‧壓力感測件

60‧‧‧氣泡過濾件

70‧‧‧控制件

200‧‧‧基板處理件

B‧‧‧氣泡

L‧‧‧流體

M、M1‧‧‧移動方向

W‧‧‧基板

X、X1、X2‧‧‧第一流動方向

Y、Y1‧‧‧第二流動方向

Z‧‧‧第三流動方向

圖1係本發明之第一實施例之流體輸送裝置之示意圖。圖2係本發明之第一實施例之流體輸送裝置之系統架構圖。圖3係本發明之第二實施例之流體輸送裝置之示意圖。圖3a係本發明之第二實施例之第一管路和第二管路之連接處之剖面圖。圖4係本發明之第二實施例之流體輸送裝置之系統架構圖。圖5係本發明之第三實施例之流體輸送裝置之示意圖。圖5a係本發明之第三實施例之另一態樣的流體輸送裝置之示意圖。圖6係本發明之第三實施例之流體輸送裝置之系統架構圖。

Claims

一種流體輸送裝置，用以輸送一流體並排出含有複數氣泡的一部分流體，該流體輸送裝置包括：一槽體，用以容納該流體；一流體驅動件，包括：一流體驅動室，連通於該槽體下方；以及一旋轉扇，位於該流體驅動室內，其中當該旋轉扇旋轉時，該槽體內的該流體受到該旋轉扇帶動而從該流體驅動室流出，並在該流體驅動室內形成該複數氣泡；一主循環管路，包括：一第一端，連通該流體驅動室；以及一第二端，連通該槽體；以及一氣泡排除件，連通該主循環管路，該氣泡排除件用以排出該流體驅動室內的含有該複數氣泡的該部分流體。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該氣泡排除件更包括一第一管路和一氣體供應部，該第一管路連通該流體驅動室，該氣體供應部設於該第一管路並提供一負壓，該氣泡排除件藉由該負壓而將該流體驅動室內的含有該複數氣泡的該部分流體排出。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該氣泡排除件更包括一第一管路、一第二管路和一供氣部，該第一管路連通該流體驅動室，該第二管路連通該第一管路和該槽體，該供氣部設於該第二管路，該供氣部朝該第二管路和該槽體的連接處提供一正壓，以使該第一管路產生一相對負壓。
如申請專利範圍第2項或第3項所述之流體輸送裝置，其中該氣泡排除件更包括一流量控制閥，該流量控制閥設於該第一管路，以控制流過該第一管路之該流體的一流量。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該氣泡排除件更包括一第三管路和一排液控制閥，該第三管路連通該流體驅動室，該排液控制閥設於該第三管路，以控制排出該流體驅動室內的含有該複數氣泡的該部分流體。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，更包括一氣泡過濾件，該氣泡過濾件設於該主循環管路。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該氣泡排除件啟動一預設時間，以將該流體驅動室內含有該複數氣泡的該部分流體排出，接著啟動該旋轉扇以將該流體輸送至該主循環管路。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該氣泡排除件持續運作，以將該流體驅動室內含有該複數氣泡的該部分流體持續排出。
如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，更包括一壓力感測件，該壓力感測件設置於該主循環管路並電性連接該氣泡排除件和該旋轉扇，當該壓力感測件偵測該流體的一壓力低於一第一壓力值時，該氣泡排除件排出該流體驅動室內的含有該複數氣泡的該部分流體。
如申請專利範圍第9項所述之流體輸送裝置，其中當該壓力感測件偵測該流體的該壓力低於該第一壓力值時，該氣泡排除件啟動該預設時間，以排出該流體驅動室內的含有該複數氣泡的該部分流體，且該旋轉扇停止旋轉，當該預設時間結束後，該氣泡排除件停止排出該部分流體，且該旋轉扇開始旋轉以使該流體從該流體驅動室流入該第一端。
如申請專利範圍第9項所述之流體輸送裝置，其中當該壓力感測件偵測該流體的該壓力低於一第二壓力值時，該壓力感測件控制該旋轉扇的一旋轉速度提昇，以增加從該流體驅動室流出的該流體的流量。
如申請專利範圍第11項所述之流體輸送裝置，其中該主循環管路更包括至少一流體輸出部，該至少一流體輸出部用以輸出該流體至外部，其中該壓力感測件控制該旋轉扇的該旋轉速度，以控制從該流體驅動室供給該流體輸出部的該流體的流量。
如申請專利範圍第11項所述之流體輸送裝置，其中該第二壓力值高於該第一壓力值。